JP2014081222A - 圧力センサチップ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサダイアフラム11−1の一方の面11−1Aに接合する保持部材(第1の保持部材)11−6の周縁部11−6cの内縁L1を、センサダイアフラム11−1の他方の面11−1Bに接合するストッパ部材(第2の保持部材)11−3の周縁部11−3cの内縁L2よりも外側に位置させる。測定圧Paを高圧側の測定圧とし、測定圧Pbを低圧側の測定圧とした場合、センサダイアフラム11−1の一方の面11−1Aに高圧側の測定圧Paがかかると、保持部材11−6の周縁部11−6cの内縁L1(ダイアフラム支点)とストッパ部材11−3の周縁部11−3cの内縁L2(圧力印加側支点)との間で、拘束による過度な引っ張り応力が生じることなく撓むことができるので、この部分に生じる応力が低減されるものとなる。
【選択図】 図1
Description
〔実施の形態1〕
図1はこの発明に係る圧力センサチップの一実施の形態(実施の形態1)の概略を示す図である。同図において、図7と同一符号は図7を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。
実施の形態1では、センサダイアフラム11−1の他方の面11−1Bにセンサダイアフラム11−1の変位に沿った曲面とされた凹部11−3aを有するストッパ部材11−3を保持部材として設けるようにしたが、そのような凹部を有さない単純な形状の保持部材を設けるようにしてもよい。
図3はこの発明に係る圧力センサチップの他の実施の形態(実施の形態3)の概略を示す図である。なお、この実施の形態3では、圧力センサチップを符号12で示し、実施の形態1,2の圧力センサチップ11A,11Bと区別する。実施の形態1,2では、センサダイアフラム上で高圧側の測定圧を受ける面が必ず決まっていたが、実施の形態3では、センサダイアフラム上で高圧側の測定圧を受ける面は決まっていない。
実施の形態3では、バリアダイアフラム12−1の他方の面12−1Bにテーパ状とされた凹部12−3aを有する第2の保持部材12−3を設けるようにしたが、またバリアダイアフラム12−4の他方の面12−4Bにテーパ状とされた凹部12−6aを有する第2の保持部材12−6を設けるようにしたが、そのような形状の凹部を有さない単純な形状の保持部材を設けるようにしてもよい。
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。また、各実施の形態については、矛盾しない範囲で任意に組み合わせて実施することができる。
Claims (5)
- ダイアフラムの一方の面および他方の面にその周縁部を対面させて接合された第1および第2の保持部材を備えた圧力センサチップにおいて、
前記第1の保持部材の周縁部の内縁は、
前記第2の保持部材の周縁部の内縁よりも外側に位置している
ことを特徴とする圧力センサチップ。 - 請求項1に記載された圧力センサチップにおいて、
前記ダイアフラムは、
前記一方の面と前記他方の面との間に加わる圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムであり、
前記センサダイアフラムは、
前記一方の面が高圧側の測定圧の受圧面とされ、
前記他方の面が低圧側の測定圧の受圧面とされている
ことを特徴とする圧力センサチップ。 - 請求項2に記載された圧力センサチップにおいて、
前記第2の保持部材は、
前記センサダイアフラムに過大圧が印加された時の当該センサダイアフラムの過度な変位を阻止する凹部を備えている
ことを特徴とする圧力センサチップ。 - 請求項1に記載された圧力センサチップにおいて、
前記ダイアフラムと前記第1の保持部材と前記第2の保持部材とからそれぞれ構成される第1および第2の構成体と、
一方の面を第1の面とし、他方の面を第2の面とし、この第1の面と第2の面との間に加わる圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムとを備え、
前記センサダイアフラムは、
前記第1の構成体の第2の保持部材と前記第2の構成体の第2の保持部材との間に配設され、
前記第1の構成体の第2の保持部材には、
前記第1の構成体のダイアフラムの一方の面に加えられる測定圧を前記センサダイアフラムの第1の面に導く第1の圧力伝達媒体が封入され、
前記第2の構成体の第2の保持部材には、
前記第2の構成体のダイアフラムの一方の面に加えられる測定圧を前記センサダイアフラムの第2の面に導く第2の圧力伝達媒体が封入されている
ことを特徴とする圧力センサチップ。 - 請求項4に記載された圧力センサチップにおいて、
前記第1の構成体の第2の保持部材は、
前記第1の構成体のダイアフラムに過大圧が印加された時の当該ダイアフラムの過度な変位を阻止する凹部を備え、
前記第2の構成体の第2の保持部材は、
前記第2の構成体のダイアフラムに過大圧が印加された時の当該ダイアフラムの過度な変位を阻止する凹部を備えている
ことを特徴とする圧力センサチップ。
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