JP2014072314A - 半導体装置、及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置、及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014072314A JP2014072314A JP2012216361A JP2012216361A JP2014072314A JP 2014072314 A JP2014072314 A JP 2014072314A JP 2012216361 A JP2012216361 A JP 2012216361A JP 2012216361 A JP2012216361 A JP 2012216361A JP 2014072314 A JP2014072314 A JP 2014072314A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal plate
- semiconductor element
- semiconductor device
- wiring board
- brazing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/562—Protection against mechanical damage
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/373—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
- H01L23/3735—Laminates or multilayers, e.g. direct bond copper ceramic substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Abstract
【課題】半田付け困難な金属からなる配線板と半導体素子との間の接合強度を高めて装置の信頼性を向上させる。
【解決手段】ヒートシンク11に接合された絶縁基板13に対して、半田付け困難な金属からなる配線板14を介して半導体素子17を実装した半導体装置10は、配線板14と半導体素子17との間に、半田付け容易な金属からなる金属板15を介在させている。そして、配線板14と金属板15とをロウ付けにより接合するとともに、金属板15と半導体素子17とを半田付けにより接合している。
【選択図】図1
【解決手段】ヒートシンク11に接合された絶縁基板13に対して、半田付け困難な金属からなる配線板14を介して半導体素子17を実装した半導体装置10は、配線板14と半導体素子17との間に、半田付け容易な金属からなる金属板15を介在させている。そして、配線板14と金属板15とをロウ付けにより接合するとともに、金属板15と半導体素子17とを半田付けにより接合している。
【選択図】図1
Description
本発明は、絶縁基板に対して、半田付け困難な金属からなる配線板を介して半導体素子を実装した半導体装置、及び半導体装置の製造方法に関する。
窒化アルミニウム等の絶縁基板の実装面に対して、アルミニウムからなる配線板を介して半導体素子を実装した半導体装置が知られている。上記半導体装置は、半田付け性(半田濡れ性)の悪い金属であるアルミニウムから配線板が構成されているため、配線板と半導体素子とを半田付けにより接合することが困難である。そこで、従来においては、アルミニウムからなる配線板の表面にNiからなるメッキ層を形成し、そのメッキ層に対して半導体素子を半田付けにより接合した構成が採用されている(例えば、特許文献1参照)。
ところで、配線板と半導体素子との間にメッキ層が介在される特許文献1の半導体装置の場合、配線板と半導体素子との間の接合強度を高めるためには、配線板に対するメッキ層の密着強度を高める必要がある。しかしながら、メッキの種類等を様々に変更したとしても、メッキ層の密着強度には限界がある。そのため、特許文献1の半導体装置は、配線板と半導体素子との間の接合強度を高めて、装置の信頼性の更なる向上を図ることが困難な構成であった。
本発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものであり、その目的は、半田付け困難な金属からなる配線板と半導体素子との間の接合強度を高めて信頼性の向上を図ることのできる半導体装置、及び半導体装置の製造方法を提供することにある。
上記の目的を達成するために請求項1に記載の半導体装置は、ベース部材に接合された絶縁基板に対して、半田付け困難な金属からなる配線板を介して半導体素子を実装した半導体装置であって、前記配線板と前記半導体素子との間に、半田付け容易な金属からなる金属板を介在し、前記ベース部材、前記絶縁基板、前記配線板、及び前記金属板をロウ付けにより一体に接合するとともに、前記金属板に対して前記半導体素子を半田付けにより接合したことを要旨とする。
上記構成では、半田付け困難な金属からなる配線板と半導体素子との間に介在される金属板を、配線板に対してロウ付けにより接合するとともに、半導体素子に対して半田付けにより接合している。これにより、半導体装置の機械的強度が高められて、装置の信頼性の向上を図ることができる。つまり、配線板と金属板とのロウ付けにより得られる接合強度は、配線板の表面にメッキ層を形成し、そのメッキ層に対して半導体素子を半田付けにより接合した従来構成におけるメッキ層の密着強度と比較して非常に高い。そのため、配線板と半導体素子との間の接合強度も同様に従来構成よりも高いものとなり、半導体装置の機械的強度が高められる。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記金属板の前記半導体素子側の接合面には半田溜まり部が設けられ、前記半田溜まり部に対して前記半導体素子が接合されていることを要旨とする。上記構成によれば、半田溜まり部を越えて金属板上に半田が不必要に広がることが抑制される。その結果、半導体素子と金属板との間に半田が保持されやすくなって、半田付けによる半導体素子と金属板との接合強度が高められる。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記半田溜まり部は、前記接合面の表面の酸化膜を除去することにより凹設されていることを要旨とする。
上記構成によれば、半田溜まり部は表面酸化により生じる酸化膜が除去されて、金属板上面における他の部位と比較して、金属酸化物の含有比率が低減されている。そのため、表面の半田濡れ性が高められて、金属板と半導体素子とを好適に接合させることができる。その結果、金属板と半導体素子との間の接合強度が高められる。
上記構成によれば、半田溜まり部は表面酸化により生じる酸化膜が除去されて、金属板上面における他の部位と比較して、金属酸化物の含有比率が低減されている。そのため、表面の半田濡れ性が高められて、金属板と半導体素子とを好適に接合させることができる。その結果、金属板と半導体素子との間の接合強度が高められる。
請求項4に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記金属板は、前記配線板上における前記半導体素子の搭載領域のみに設けられていることを要旨とする。
上記構成によれば、金属板の使用量が低減されるとともに、金属板を他の部材に接合するために必要となる接合材(半田材、ロウ材)の使用量も低減させることができる。そのため、半導体装置の製造コストを抑制することができる。更に、金属板が小さく形成されることにより、配線板上に金属板の非形成領域が設けられて金属板と配線板との線膨張係数の相違に起因して発生する熱応力が低減される。
上記構成によれば、金属板の使用量が低減されるとともに、金属板を他の部材に接合するために必要となる接合材(半田材、ロウ材)の使用量も低減させることができる。そのため、半導体装置の製造コストを抑制することができる。更に、金属板が小さく形成されることにより、配線板上に金属板の非形成領域が設けられて金属板と配線板との線膨張係数の相違に起因して発生する熱応力が低減される。
請求項5に記載の発明は、請求項1〜4のいずれか一項に記載の発明において、前記ベース部材と前記絶縁基板との間には、応力緩和空間を有する応力緩和部材が配置されていることを要旨とする。上記構成によれば、金属板と配線板との線膨張係数の相違に起因して発生する熱応力を応力緩和部材によって緩和させることができる。
請求項6に記載の発明は、請求項1〜5のいずれか一項に記載の発明において、前記ベース部材はヒートシンクであることを要旨とする。上記構成によれば、半導体素子において発生した熱がヒートシンクから放熱されて、半導体素子を冷却することができる。
請求項7に記載の半導体装置の製造方法は、請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法であって、前記ベース部材、前記絶縁基板、前記配線板、及び前記金属板をロウ付けにより一体に接合するロウ付け工程と、前記金属板に対して前記半導体素子を半田付けにより接合する半田付け工程とを有することを要旨とする。
上記構成によれば、配線板と半導体素子との間の接合強度が高い半導体装置を得ることができる。また、配線板の表面にメッキ層を形成するためのメッキ処理が不要であるため、従来構成と比較して製造コストを抑制することができる。
請求項8に記載の発明は、請求項7に記載の発明において、前記ロウ付け工程において、各部材間のロウ付けによる接合を一括で行うことを要旨とする。上記構成によれば、ロウ付け工程の工程数が削減されて製造コストを更に抑制することができる。
請求項9に記載の発明は、請求項7又は請求項8に記載の発明において、前記ロウ付け工程後、前記金属板における前記半導体素子側の接合面の酸化膜を除去する酸化膜除去工程を更に有し、前記半田付け工程において、前記金属板における前記酸化膜を除去した部分に対して、前記半導体素子を半田付けにより接合することを要旨とする。
上記構成によれば、金属板表面の酸化膜が除去されることにより、金属板表面の半田濡れ性が向上する。そのため、後の半田付け工程において、金属板と半導体素子とを好適に接合させることができる。その結果、金属板と半導体素子との間の接合強度が高い半導体装置を得ることができる。
本発明によれば、半田付け困難な金属からなる配線板と半導体素子との間の接合強度を高めて装置の信頼性の向上を図ることができる。
以下、本発明を具体化した一実施形態を図面にしたがって説明する。
図1に示すように、半導体装置10は、ベース部材としてのヒートシンク11を備えている。ヒートシンク11の上面(冷却面)には、応力緩和部材12がロウ付けにより接合されている。そして、応力緩和部材12の上面には、絶縁基板13がロウ付けにより接合されている。
図1に示すように、半導体装置10は、ベース部材としてのヒートシンク11を備えている。ヒートシンク11の上面(冷却面)には、応力緩和部材12がロウ付けにより接合されている。そして、応力緩和部材12の上面には、絶縁基板13がロウ付けにより接合されている。
応力緩和部材12は平板状をなし、その内部には上下面に貫通する貫通孔として形成される複数の応力緩和空間12aが設けられている。絶縁基板13としては、例えば、酸化アルミニウム、窒化珪素、炭化珪素、窒化アルミニウム、アルミナ・ジルコニウム等のセラミック材料からなるセラミック基板を用いることができる。
絶縁基板13の上面(実装面)には、半田付け困難な金属からなる配線板14がロウ付けにより接合されている。そして、配線板14の上面には、半田付け容易な金属からなる金属板15がロウ付けにより接合されている。金属板15は、上面視において外形形状が配線板14と同形状に形成され、配線板14の上面全体を覆うように重ねられている。
配線板14を構成する半田付け困難な金属の具体例としては、アルミニウム、アルミニウム合金が挙げられる。金属板15を構成する半田付け容易な金属の具体例としては、ニッケル、ニッケル合金、銅、銅合金が挙げられる。
図1(a)に示すように、金属板15の上面15aには、表面酸化によって生じる金属酸化物により形成される酸化膜15bが存在する。金属板15の上面15aには、この酸化膜15bの一部を機械的に除去して形成されるくぼみ状の除去部16が凹設されている。この除去部16は、酸化膜15bが除去されることによって、金属板15の上面15aにおける他の部位よりも表面の金属酸化物比率が小さくなっている。また、図1(b)に示すように、除去部16の外形形状は、半導体素子17の外形形状よりも僅かに大きい外形形状に形成されている。なお、本実施形態においては、金属板15の上面15aが半導体素子17側の接合面となる。
また、半導体素子17に設けられる各種端子は、ワイヤ等の配線材を介して図示しない外部接続端子等に電気的に接続されている。そして、本実施形態の半導体装置10は、外部接続端子等の外部に接続される部材の一部を除いて、装置全体が封止樹脂18によりモールドされてモジュール化されている。
次に、本実施形態の半導体装置10の製造方法を図2に従って説明する。
本実施形態の半導体装置10は、主にロウ付け工程、酸化膜除去工程、及び半田付け工程を順に経ることによって製造される。
本実施形態の半導体装置10は、主にロウ付け工程、酸化膜除去工程、及び半田付け工程を順に経ることによって製造される。
ロウ付け工程は、ヒートシンク11、応力緩和部材12、絶縁基板13、配線板14、金属板15をロウ付けにより接合する工程である。具体的には、各部材間にシート状のロウ材(図示略)を介在させつつ、ヒートシンク11、応力緩和部材12、絶縁基板13、配線板14、金属板15を積層する。そして、この積層体を加熱して各部材間に介在されるロウ材を溶融させた後、冷却してロウ材を固化させる。これにより、ヒートシンク11、応力緩和部材12、絶縁基板13、配線板14、金属板15がロウ付け(一括ロウ付け)により一体に接合される。
上記ロウ付け工程におけるロウ材の溶融時に、金属板15は高温環境下に曝される。そのため、金属板15の上面15aには表面酸化によって生じる酸化膜15bが形成される。酸化膜除去工程では、酸化膜15bを除去して、金属板15の上面15aに除去部16を形成する。具体的には、金属板15の上面15aにおける半導体素子17の接合予定位置に存在する酸化膜15bを機械的に除去することによって、金属板15の上面15aにくぼみ状の除去部16を凹設する。
半田付け工程は、上記積層体の金属板15に対して半導体素子17を半田付けにより接合する工程である。具体的には、金属板15の上面15aの除去部16上に、シート状の半田材(図示略)、及び半導体素子17を積層する。そして、この積層体を加熱して半田材を溶融させた後、冷却して半田材を固化させる。これにより、金属板15に対して半導体素子17が接合される。このとき、金属板15の除去部16は、酸化膜15bが除去されているため、金属酸化物比率が低減されて半田濡れ性が高い状態となっている。そのため、半田付けによる金属板15と半導体素子17との接合を良好に行うことができる。
半田付け工程後は、半導体素子17に設けられる各種端子と、外部接続端子等とをワイヤ等の配線材を介して電気的に接続する。そして、全体を封止樹脂18によりモールドすることによって、モジュール化された本実施形態の半導体装置10(パワーモジュール)が得られる。
次に、本実施形態の半導体装置10の作用を説明する。
半導体装置10は、半田付け困難な金属からなる配線板14と半導体素子17との間に、半田付け容易な金属からなる金属板15が介在されている。そして、配線板14と金属板15とをロウ付けにより接合するとともに、金属板15と半導体素子17とを半田付けにより接合することによって、配線板14と半導体素子17との間の接合部分が形成されている。
半導体装置10は、半田付け困難な金属からなる配線板14と半導体素子17との間に、半田付け容易な金属からなる金属板15が介在されている。そして、配線板14と金属板15とをロウ付けにより接合するとともに、金属板15と半導体素子17とを半田付けにより接合することによって、配線板14と半導体素子17との間の接合部分が形成されている。
配線板14と金属板15とのロウ付けにより得られる接合強度は、配線板の表面にメッキ層を形成し、そのメッキ層に対して半導体素子を半田付けにより接合した従来構成におけるメッキ層の密着強度と比較して非常に高い。そのため、配線板14と半導体素子17との間の接合強度も同様に従来構成よりも高いものとなる。これにより、半導体装置の機械的強度が高められて、装置の信頼性の向上を図ることができる。
本実施形態によれば、以下に記載する効果を得ることができる。
(1)半導体装置10は、半田付け困難な金属からなる配線板14と半導体素子17との間に、半田付け容易な金属からなる金属板15を介在させている。そして、配線板14と金属板15とがロウ付けにより接合されるとともに、金属板15と半導体素子17とが半田付けにより接合されている。上記構成によれば、半導体装置10の機械的強度が高められて装置の信頼性の向上を図ることができる。
(1)半導体装置10は、半田付け困難な金属からなる配線板14と半導体素子17との間に、半田付け容易な金属からなる金属板15を介在させている。そして、配線板14と金属板15とがロウ付けにより接合されるとともに、金属板15と半導体素子17とが半田付けにより接合されている。上記構成によれば、半導体装置10の機械的強度が高められて装置の信頼性の向上を図ることができる。
(2)金属板15の上面15aには、表面の酸化膜15bの一部を機械的に除去して形成される除去部16が設けられている。そして、金属板15の除去部16に対して半導体素子17が半田付けにより接合されている。除去部16は、金属板15の上面15aにおける他の部位と比較して金属酸化物の含有比率が低減されて半田濡れ性が高められている。そのため、金属板15の除去部16に対して、半導体素子17を半田付けにより良好に接合させることができる。その結果、金属板15と半導体素子17との間の接合強度が高められる。
(3)除去部16は、金属板15の上面15aの酸化膜15bの一部を機械的に除去したくぼみ状に形成されている。上記構成によれば、除去部16を半田溜まり部として機能させることができる。つまり、半田付け工程において、除去部16を越えて金属板15上に半田が不必要に広がることが抑制される。その結果、半導体素子17と金属板15との間に半田が保持されやすくなって、半田付けによる半導体素子17と金属板15との接合強度が高められる。
(4)ベース部材としてのヒートシンク11と絶縁基板13との間に、応力緩和空間12aを有する応力緩和部材12を配置している。上記構成によれば、金属板15と配線板14との間の線膨張係数の相違に起因して発生する熱応力を応力緩和部材12によって緩和させることができる。
(5)ベース部材としてヒートシンク11を備えている。上記構成によれば、半導体素子17において発生した熱をヒートシンク11から放熱させることにより、半導体素子17を冷却することができる。
(6)半導体装置10の製造方法は、ヒートシンク11、応力緩和部材12、絶縁基板13、配線板14、及び金属板15をロウ付けにより一体に接合するロウ付け工程と、金属板15に対して半導体素子17を半田付けにより接合する半田付け工程とを有する。上記構成によれば、配線板14と半導体素子17との間の接合強度が高い半導体装置を得ることができる。また、配線板14の表面にメッキ層を形成するためのメッキ処理が不要であるため、従来構成と比較して製造コストを抑制することができる。具体的には、メッキ処理に用いる装置の省略によるコスト削減を図ることができる。
(7)ロウ付け工程において、ヒートシンク11、応力緩和部材12、絶縁基板13、配線板14、及び金属板15の各部材間のロウ付けによる接合を一括で行っている。上記構成によれば、ロウ付け工程における工程数が削減されて、製造コストを更に抑制することができる。
(8)ロウ付け工程後、金属板15の上面15aの酸化膜15bを除去する酸化膜除去工程を更に有している。上記構成によれば、酸化膜15bが除去されることにより、金属板15の上面15aの半田濡れ性が高められる。そのため、後の半田付け工程において、金属板15と半導体素子17とをより好適に接合させることができる。
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
○ 除去部16は、酸化膜15bが完全に除去された構成であることが好ましいが、除去部16の表面に多少の金属酸化物が残存している構成も許容し得る。
○ 除去部16は、酸化膜15bが完全に除去された構成であることが好ましいが、除去部16の表面に多少の金属酸化物が残存している構成も許容し得る。
○ 除去部16の形成位置は特に限定されるものではない。例えば、除去部16は、金属板15の上面15aにおける半導体素子17を接合する接合部分にのみ局所的に形成されていてもよいし、金属板15の上面15a全体に形成されていてもよい。
また、除去部16の外形形状は特に限定されるものではない。例えば、金属板15に複数個の半導体素子17が接合される場合には、各半導体素子17のそれぞれに対応する外形形状の除去部16を同数設けてもよいし、複数個の半導体素子17を接合可能な外形形状の除去部16を一つ設けてもよい。なお、除去部16を半田溜まり部として機能させる場合には、除去部16を局所的に形成するとともに、除去部16の外形形状を半導体素子17と同じ又はそれよりも大きく形成することが好ましい。
○ 除去部16は、金属板15の上面15aの酸化膜15bを機械的に除去して形成される構成に限定されるものではない。例えば、酸化膜15bを化学薬品等により化学的に還元することによって除去した除去部16であってもよい。また、半導体装置10の製造方法における酸化膜除去工程は、酸化膜15bを機械的に除去する工程に限定されるものではなく、例えば、酸化膜15bを化学的に還元することによって除去する工程であってもよい。
○ 配線板14上の全面に金属板15を設けた構成に代えて、配線板14上における半導体素子17を搭載する搭載領域のみに金属板15を設けた構成としてもよい。例えば、図3に示すように、配線板14、金属板15、及び半導体素子17の積層方向において、配線板14上における半導体素子17と重なる領域のみに金属板15を配置してもよい。
この場合には、金属板15の使用量が低減されるとともに、金属板15を他の部材に接合するために必要となる接合材(半田材、ロウ材)の使用量も低減させることができる。そのため、半導体装置10の製造コストを抑制することができる。更に、金属板15が小さく形成されることにより、配線板14上に金属板15の非形成領域が設けられて金属板15と配線板14との線膨張係数の相違に起因して発生する熱応力が低減される。なお、図3のように構成した場合には、金属板15の上面全面の酸化膜15bを除去して、金属板15の上面全面を除去部16とすることが好ましい。
○ ヒートシンク11、応力緩和部材12、絶縁基板13、及び配線板14の各部材間に第2の金属板等の他の部材を介在させてもよい。また、応力緩和部材12を省略してもよい。また、ヒートシンク11を冷却機能のないベース部材に変更してもよい。
○ 封止樹脂18によりモールドする領域を変更してもよい。例えば、ヒートシンク11全体を封止樹脂18にて覆う構成に代えて、モールドする領域をヒートシンク11の上面(冷却面)までにとどめてもよいし、絶縁基板13までにとどめてもよい。
○ 半導体装置10の製造方法におけるロウ付け工程において、各部材を一括ロウ付けすることなく、各部材を順にロウ付けしてもよい。
○ 半導体装置10の製造方法において、酸化膜除去工程を省略してもよい。
○ 半導体装置10の製造方法において、酸化膜除去工程を省略してもよい。
○ ロウ付け工程及び半田付け工程における具体的なロウ付け方法及び半田付け方法は特に限定されるものではなく、半導体装置の各部材間の接合に用いられる公知の方法を適用することができる。また、ロウ材及び半田材としては、半導体装置の各部材間の接合に用いられる公知のロウ材及び半田材を用いることができる。
次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想を以下に記載する。
(イ)ベース部材に接合された絶縁基板に対して、半田付け困難な金属からなる配線板を介して半導体素子を実装した半導体装置の製造方法であって、前記ベース部材、前記絶縁基板、前記配線板、及び半田付け容易な金属からなる金属板を積層するとともにロウ付けにより一体に接合するロウ付け工程と、前記金属板に対して前記半導体素子を半田付けにより接合する半田付け工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
(イ)ベース部材に接合された絶縁基板に対して、半田付け困難な金属からなる配線板を介して半導体素子を実装した半導体装置の製造方法であって、前記ベース部材、前記絶縁基板、前記配線板、及び半田付け容易な金属からなる金属板を積層するとともにロウ付けにより一体に接合するロウ付け工程と、前記金属板に対して前記半導体素子を半田付けにより接合する半田付け工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
(ロ)前記金属板の前記半導体素子側の接合面には、表面の酸化膜を除去してなる除去部が設けられ、前記半導体素子は前記除去部に対して接合されている前記半導体装置。
10…半導体装置、11…ベース部材としてのヒートシンク、12…応力緩和部材、12a…応力緩和空間、13…絶縁基板、14…半田付け困難な金属からなる配線板、15…半田付け容易な金属からなる金属板、15a…半導体素子側の接合面としての上面、15b…酸化膜、16…除去部、17…半導体素子。
Claims (9)
- ベース部材に接合された絶縁基板に対して、半田付け困難な金属からなる配線板を介して半導体素子を実装した半導体装置であって、
前記配線板と前記半導体素子との間に、半田付け容易な金属からなる金属板を介在し、
前記ベース部材、前記絶縁基板、前記配線板、及び前記金属板をロウ付けにより一体に接合するとともに、前記金属板に対して前記半導体素子を半田付けにより接合したことを特徴とする半導体装置。 - 前記金属板の前記半導体素子側の接合面には半田溜まり部が設けられ、
前記半田溜まり部に対して前記半導体素子が接合されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記半田溜まり部は、前記接合面の表面の酸化膜を除去することにより凹設されていることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記金属板は、前記配線板上における前記半導体素子の搭載領域のみに設けられていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ベース部材と前記絶縁基板との間には、応力緩和空間を有する応力緩和部材が配置されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ベース部材はヒートシンクであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ベース部材、前記絶縁基板、前記配線板、及び前記金属板をロウ付けにより一体に接合するロウ付け工程と、
前記金属板に対して前記半導体素子を半田付けにより接合する半田付け工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ロウ付け工程において、各部材間のロウ付けによる接合を一括で行うことを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ロウ付け工程後、前記金属板における前記半導体素子側の接合面の酸化膜を除去する酸化膜除去工程を更に有し、
前記半田付け工程において、前記金属板における前記酸化膜を除去した部分に対して、前記半導体素子を半田付けにより接合することを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012216361A JP2014072314A (ja) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 半導体装置、及び半導体装置の製造方法 |
US14/032,690 US20140091444A1 (en) | 2012-09-28 | 2013-09-20 | Semiconductor unit and method for manufacturing the same |
KR1020130113517A KR20140042683A (ko) | 2012-09-28 | 2013-09-24 | 반도체 유닛 및 그의 제조 방법 |
DE102013219356.4A DE102013219356A1 (de) | 2012-09-28 | 2013-09-26 | Halbleiterbaueinheit und verfahren zu seiner herstellung |
CN201310451138.9A CN103715170A (zh) | 2012-09-28 | 2013-09-27 | 半导体单元及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012216361A JP2014072314A (ja) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 半導体装置、及び半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014072314A true JP2014072314A (ja) | 2014-04-21 |
Family
ID=50384393
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012216361A Pending JP2014072314A (ja) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 半導体装置、及び半導体装置の製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140091444A1 (ja) |
JP (1) | JP2014072314A (ja) |
KR (1) | KR20140042683A (ja) |
CN (1) | CN103715170A (ja) |
DE (1) | DE102013219356A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016076619A (ja) * | 2014-10-07 | 2016-05-12 | 昭和電工株式会社 | 電子モジュール用基板の製造方法及び電子モジュール用基板 |
JP7482815B2 (ja) | 2021-03-09 | 2024-05-14 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110476244B (zh) | 2017-03-31 | 2023-11-03 | 罗姆股份有限公司 | 功率模块及其制造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002043482A (ja) * | 2000-05-17 | 2002-02-08 | Ngk Insulators Ltd | 電子回路用部材及びその製造方法並びに電子部品 |
JP2006294699A (ja) * | 2005-04-06 | 2006-10-26 | Toyota Industries Corp | 放熱装置 |
JP2007251176A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 陽極酸化金属基板モジュール |
JP2009538534A (ja) * | 2006-05-23 | 2009-11-05 | インターナショナル レクティファイアー コーポレーション | 高効率両面冷却ディスクリートパワーパッケージ、特に革新的なパワーモジュール用の基本素子 |
JP2011029323A (ja) * | 2009-07-23 | 2011-02-10 | Mitsubishi Materials Corp | パワーモジュール用基板、パワーモジュール及びパワーモジュール用基板の製造方法 |
JP2012182279A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Showa Denko Kk | 絶縁回路基板およびその製造方法、パワーモジュール用ベースおよびその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1363325B1 (en) * | 2001-02-22 | 2013-02-20 | NGK Insulators, Ltd. | Member for electronic circuit, method for manufacturing the member |
US7059512B2 (en) * | 2002-11-06 | 2006-06-13 | Ricoh Company, Ltd. | Solder alloy material layer composition, electroconductive and adhesive composition, flux material layer composition, solder ball transferring sheet, bump and bump forming process, and semiconductor device |
US8723332B2 (en) * | 2007-06-11 | 2014-05-13 | Invensas Corporation | Electrically interconnected stacked die assemblies |
KR100927120B1 (ko) * | 2007-10-29 | 2009-11-18 | 옵토팩 주식회사 | 반도체 소자 패키징 방법 |
JP5245989B2 (ja) | 2009-03-31 | 2013-07-24 | 三菱マテリアル株式会社 | パワーモジュール用基板の製造方法およびヒートシンク付パワーモジュール用基板の製造方法 |
US8513792B2 (en) * | 2009-04-10 | 2013-08-20 | Intel Corporation | Package-on-package interconnect stiffener |
-
2012
- 2012-09-28 JP JP2012216361A patent/JP2014072314A/ja active Pending
-
2013
- 2013-09-20 US US14/032,690 patent/US20140091444A1/en not_active Abandoned
- 2013-09-24 KR KR1020130113517A patent/KR20140042683A/ko active IP Right Grant
- 2013-09-26 DE DE102013219356.4A patent/DE102013219356A1/de not_active Withdrawn
- 2013-09-27 CN CN201310451138.9A patent/CN103715170A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002043482A (ja) * | 2000-05-17 | 2002-02-08 | Ngk Insulators Ltd | 電子回路用部材及びその製造方法並びに電子部品 |
JP2006294699A (ja) * | 2005-04-06 | 2006-10-26 | Toyota Industries Corp | 放熱装置 |
JP2007251176A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | 陽極酸化金属基板モジュール |
JP2009538534A (ja) * | 2006-05-23 | 2009-11-05 | インターナショナル レクティファイアー コーポレーション | 高効率両面冷却ディスクリートパワーパッケージ、特に革新的なパワーモジュール用の基本素子 |
JP2011029323A (ja) * | 2009-07-23 | 2011-02-10 | Mitsubishi Materials Corp | パワーモジュール用基板、パワーモジュール及びパワーモジュール用基板の製造方法 |
JP2012182279A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Showa Denko Kk | 絶縁回路基板およびその製造方法、パワーモジュール用ベースおよびその製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016076619A (ja) * | 2014-10-07 | 2016-05-12 | 昭和電工株式会社 | 電子モジュール用基板の製造方法及び電子モジュール用基板 |
JP7482815B2 (ja) | 2021-03-09 | 2024-05-14 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20140042683A (ko) | 2014-04-07 |
CN103715170A (zh) | 2014-04-09 |
US20140091444A1 (en) | 2014-04-03 |
DE102013219356A1 (de) | 2014-05-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6171622B2 (ja) | パワーモジュール用基板、パワーモジュール及びパワーモジュール用基板を製造する方法 | |
JP6323522B2 (ja) | 冷却器付パワーモジュール用基板 | |
JP4438489B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2010109132A (ja) | 熱電モジュールを備えたパッケージおよびその製造方法 | |
JP2011210822A (ja) | 冷却装置 | |
JP6189015B2 (ja) | 放熱装置および放熱装置の製造方法 | |
JP2007059860A (ja) | 半導体パッケージ及び半導体モジュール | |
JP2012074497A (ja) | 回路基板 | |
JP2010098057A (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール及び緩衝層付パワーモジュール用基板 | |
JP2012182279A (ja) | 絶縁回路基板およびその製造方法、パワーモジュール用ベースおよびその製造方法 | |
JP6380561B2 (ja) | 半導体モジュール | |
JP2014072314A (ja) | 半導体装置、及び半導体装置の製造方法 | |
JP6638626B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010238963A (ja) | パワーモジュール用基板、パワーモジュール用基板の製造方法及びパワーモジュール | |
JP2010238965A (ja) | パワーモジュール用基板、パワーモジュール用基板の製造方法及びパワーモジュール | |
JP6201297B2 (ja) | 銅板付きパワーモジュール用基板及び銅板付きパワーモジュール用基板の製造方法 | |
JP7298201B2 (ja) | ヒートシンク付き絶縁回路基板及びパワーモジュール | |
JP6392583B2 (ja) | 回路基板、および電子装置 | |
JP2014143342A (ja) | 半導体モジュール及びその製造方法 | |
JP6317178B2 (ja) | 回路基板および電子装置 | |
JP5648705B2 (ja) | ヒートシンク付パワーモジュール用基板、ヒートシンク付パワーモジュール及び緩衝層付パワーモジュール用基板 | |
JP5613913B2 (ja) | パワーモジュール用基板、パワーモジュール用基板の製造方法及びパワーモジュール | |
JP7338440B2 (ja) | ヒートシンク付き絶縁回路基板及び電子機器 | |
WO2016060079A1 (ja) | 冷却器付パワーモジュール用基板及びその製造方法 | |
JP2011073194A (ja) | 金属−セラミックス接合基板およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151222 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151225 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160419 |