JP2014067757A - Cutting device - Google Patents

Cutting device Download PDF

Info

Publication number
JP2014067757A
JP2014067757A JP2012210104A JP2012210104A JP2014067757A JP 2014067757 A JP2014067757 A JP 2014067757A JP 2012210104 A JP2012210104 A JP 2012210104A JP 2012210104 A JP2012210104 A JP 2012210104A JP 2014067757 A JP2014067757 A JP 2014067757A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spindle
electrode terminal
cutting
weight
peripheral surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012210104A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6059931B2 (en
Inventor
Kunio Oshida
邦雄 押田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Disco Corp
Original Assignee
Disco Abrasive Systems Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Disco Abrasive Systems Ltd filed Critical Disco Abrasive Systems Ltd
Priority to JP2012210104A priority Critical patent/JP6059931B2/en
Priority to CN201310449812.XA priority patent/CN103660049B/en
Publication of JP2014067757A publication Critical patent/JP2014067757A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6059931B2 publication Critical patent/JP6059931B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Dicing (AREA)
  • Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cutting device capable of suppressing wearing of an electrode terminal of an original point detection mechanism and failure in electrical conduction.SOLUTION: A cutting device 1 includes: a chuck table 10; a cutting means 20; and an original point detection mechanism 90. The original point detection mechanism 90 is constituted by including a guide hole 91 penetrated therethrough and formed on the upper side of a spindle housing 23, an electrode terminal 92 inserted into the guide hole so as to be slidable, and a weight 93 pressing the electrode terminal 92. The electrode terminal 92 is pressed to the outer peripheral surface 22a of a spindle 22 with constant force by the weight 93.

Description

本発明は、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハ等の被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削装置、さらに詳しくは切削ブレードの切り込み量を設定する基準となる切削ブレードの原点位置を検出するための原点検出機構を備えた切削装置に関する。   The present invention relates to a cutting apparatus provided with a cutting blade for cutting a workpiece such as a semiconductor wafer held on a chuck table, and more specifically, the origin position of a cutting blade serving as a reference for setting a cutting amount of the cutting blade. The present invention relates to a cutting device provided with an origin detection mechanism for detection.

半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等の被加工物のストリートに沿った切断は、通常、ダイサと呼ばれる切削装置によって行われている。この種の切削装置は、被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、前記チャックテーブルの保持面に対して垂直方向である切り込み送り方向に前記切削ブレードを移動せしめる切り込み送り手段と、前記切削ブレードの回転軸線の方向である割り出し送り方向に前記切削ブレードを移動せしめる割り出し送り手段と、前記切り込み送り方向および前記割り出し送り方向の双方に直交する切削送り方向に前記チャックテーブルを移動させる切削送り手段とを備えている。また、このような切削装置は、切削ブレードの切り込み量を設定するための基準となる切削ブレードの原点位置を検出するための原点検出機構を含んで構成されている（例えば、特許文献１参照）。   Cutting along a street of a workpiece such as a semiconductor wafer or an optical device wafer is usually performed by a cutting device called a dicer. This type of cutting apparatus includes a chuck table having a holding surface for holding a workpiece, a cutting means having a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table, and a holding surface of the chuck table. Cutting feed means for moving the cutting blade in a cutting feed direction that is perpendicular to the cutting direction, indexing feeding means for moving the cutting blade in an index feeding direction that is the direction of the rotation axis of the cutting blade, and the cutting feed Cutting feed means for moving the chuck table in a cutting feed direction orthogonal to both the direction and the index feed direction. In addition, such a cutting apparatus is configured to include an origin detection mechanism for detecting the origin position of the cutting blade that is a reference for setting the cutting amount of the cutting blade (see, for example, Patent Document 1). .

特許文献１に示された原点検出機構は、切削ブレードが先端に装着された回転スピンドルと、前記回転スピンドルを回転支持するスピンドルハウジングとを備えており、前記スピンドルハウジングには、前記回転スピンドルの後端面に向かって貫通する連通穴が設けられ、前記連通穴には、カーボンからなる電極端子が摺動可能に挿入され、前記電極端子は、スプリングにより回転スピンドルの後端面に向かって付勢されて前記回転スピンドルの後端面に押圧され、前記連通穴の端部には、リード線を取り付けたスプリング受けが螺合され、前記リード線は、原点検出回路に接続されている。   The origin detection mechanism disclosed in Patent Document 1 includes a rotary spindle with a cutting blade mounted at the tip thereof, and a spindle housing that rotatably supports the rotary spindle. The spindle housing includes a rear end of the rotary spindle. A communication hole penetrating toward the end surface is provided, and an electrode terminal made of carbon is slidably inserted into the communication hole, and the electrode terminal is urged toward the rear end surface of the rotary spindle by a spring. A spring receiver, to which a lead wire is attached, is screwed onto the end portion of the communication hole, pressed against the rear end surface of the rotary spindle, and the lead wire is connected to an origin detection circuit.

このように構成された原点検出機構は、切削ブレードを回転させつつ切削手段をチャックテーブルの保持面に向けて下降させて前記切削ブレードが前記チャックテーブルに接触すると、原点検出回路に電流が流れるので、この電流の流れを電流計によって検出し、この電流を検出した時点における切削ブレードの切り込み位置を原点位置に設定している。   The origin detection mechanism configured as described above causes a current to flow through the origin detection circuit when the cutting blade is lowered toward the holding surface of the chuck table while rotating the cutting blade and the cutting blade comes into contact with the chuck table. The current flow is detected by an ammeter, and the cutting position of the cutting blade at the time when the current is detected is set as the origin position.

実用新案登録第２５９７８０８号公報Utility Model Registration No. 2597808

このような原点検出機構は、回転スピンドルの後端面に電極端子がスプリングによって常時押圧されていることから、電極端子が摩耗していない状態（初期状態）では、スプリングが最も短くなるように収縮して押圧力が上昇し、必要以上に電極端子が摩耗する虞があり、電極端子の摩耗が進んだ状態（摩耗状態）では、電極端子の摩耗の進行に伴ってスプリングが伸長し押圧力が低下し、回転スピンドルと電極端子との電気的導通不良を生じる虞がある。   In such an origin detection mechanism, since the electrode terminal is always pressed against the rear end face of the rotary spindle by the spring, the spring contracts to the shortest when the electrode terminal is not worn (initial state). There is a risk that the electrode terminal will wear more than necessary, and the electrode terminal may be worn more than necessary. When the electrode terminal wear is advanced (wear state), the spring will expand as the electrode terminal wear proceeds and the pressure will decrease. In addition, there is a risk of causing poor electrical continuity between the rotating spindle and the electrode terminal.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、原点検出機構の電極端子の摩耗および電気的導通不良を抑制することができる切削装置を提供することを目的とする。   This invention is made | formed in view of the above, Comprising: It aims at providing the cutting device which can suppress abrasion of the electrode terminal of an origin detection mechanism, and electrical continuity failure.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードが一端に装着され回転軸が略水平であるスピンドルを含む切削手段と、前記切削ブレードと前記チャックテーブルとを接触させ、前記切削ブレードと前記チャックテーブルとの電気的導通により当該チャックテーブルに対する前記切削ブレードの切り込み方向の原点位置を検出する原点検出機構と、を備えた切削装置であって、前記原点検出機構は、前記スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングの上方の外周面から前記スピンドルに向かって該スピンドルハウジングの内周面に貫通形成されたガイド穴と、前記ガイド穴中に摺動可能に挿入され前記スピンドルの外周面に接触する電極端子と、導電性材料で所定の重さに形成され、前記電極端子を前記スピンドルの前記外周面に押圧する錘と、を含んで構成され、前記電極端子は、前記錘によって一定の力で前記スピンドルの前記外周面に押圧されることを特徴とする。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, the cutting apparatus of the present invention is equipped with a chuck table for holding a workpiece and a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table at one end. A cutting means including a spindle whose rotation axis is substantially horizontal, the cutting blade and the chuck table are brought into contact with each other, and a cutting direction of the cutting blade with respect to the chuck table by electrical conduction between the cutting blade and the chuck table An origin detection mechanism for detecting the origin position of the spindle housing, wherein the origin detection mechanism is directed from the outer peripheral surface of the spindle housing that rotatably supports the spindle toward the spindle. A guide hole formed in the inner peripheral surface of the guide hole and slidably inserted into the guide hole. An electrode terminal that contacts the outer peripheral surface of the spindle, and a weight that is formed of a conductive material and has a predetermined weight and presses the electrode terminal against the outer peripheral surface of the spindle, The spindle is pressed against the outer peripheral surface of the spindle with a constant force.

また、上記切削装置において、前記原点検出機構は、導電性材料で形成された弾性部材を介して前記錘が前記電極端子を押圧し、前記弾性部材は、前記スピンドルの回転および振動によって該スピンドルの前記外周面に接触する前記電極端子が弾んで電気的接触が断たれることを抑制することが好ましい。   In the cutting apparatus, the origin detection mechanism may be configured such that the weight presses the electrode terminal via an elastic member formed of a conductive material, and the elastic member is rotated by vibration and vibration of the spindle. It is preferable that the electrode terminal that contacts the outer peripheral surface is bounced to prevent electrical contact from being cut off.

また、上記切削装置において、前記原点検出機構は、前記電極端子の交換時期を検知する検知手段を備え、前記検知手段は、回転する前記スピンドルとの接触により前記電極端子が摩耗するのに伴って前記錘が所定の位置にまで下降したことを検知し、前記電極端子が所定の長さに摩耗したことを検出可能であることが好ましい。   Further, in the cutting apparatus, the origin detection mechanism includes a detection unit that detects the replacement timing of the electrode terminal, and the detection unit is worn as the electrode terminal wears due to contact with the rotating spindle. It is preferable that it is possible to detect that the weight has been lowered to a predetermined position and to detect that the electrode terminal has been worn to a predetermined length.

本発明の切削装置によれば、スピンドルハウジングの上方の外周面からスピンドルに向かって該スピンドルハウジングの内周面に貫通形成されたガイド穴中に摺動可能に挿入された電極端子を錘により前記スピンドルの外周面に押圧させているので、錘によって電極端子がスピンドルの外周面に常に一定の力で押圧されるようになり、電極端子の無駄な消耗およびスピンドルとの電気的導通不良を抑制することができるという効果を奏する。   According to the cutting device of the present invention, the electrode terminal slidably inserted into the guide hole formed through the inner peripheral surface of the spindle housing from the outer peripheral surface above the spindle housing toward the spindle is formed by the weight. Since the spindle is pressed against the outer peripheral surface of the spindle, the electrode terminal is always pressed against the outer peripheral surface of the spindle with a constant force by the weight, and wasteful consumption of the electrode terminal and poor electrical continuity with the spindle are suppressed. There is an effect that can be.

図１は、実施形態１に係る切削装置の構成例を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a cutting apparatus according to the first embodiment. 図２は、実施形態１に係る原点検出機構の構成例を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of the origin detection mechanism according to the first embodiment. 図３は、実施形態１に係る原点検出機構のガイド穴の構成例を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration example of guide holes of the origin detection mechanism according to the first embodiment. 図４は、原点検出時の原点検出機構の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of the origin detection mechanism at the time of origin detection. 図５は、実施形態２に係る原点検出機構のガイド穴の構成例を示す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration example of guide holes of the origin detection mechanism according to the second embodiment. 図６は、実施形態３に係る原点検出機構の検知手段の構成例を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration example of detection means of the origin detection mechanism according to the third embodiment. 図７は、電極端子の交換時期を検出する検知手段の説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of detection means for detecting the replacement timing of the electrode terminals.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換または変更を行うことができる。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. The constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the structures described below can be combined as appropriate. In addition, various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the scope of the present invention.

〔実施形態１〕
図１は、実施形態１に係る切削装置の構成例を示す図である。図２は、実施形態１に係る原点検出機構の構成例を示す図である。図３は、実施形態１に係る原点検出機構のガイド穴の構成例を示す図である。図４は、原点検出時の原点検出機構の説明図である。 Embodiment 1
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a cutting apparatus according to the first embodiment. FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration example of the origin detection mechanism according to the first embodiment. FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration example of guide holes of the origin detection mechanism according to the first embodiment. FIG. 4 is an explanatory diagram of the origin detection mechanism at the time of origin detection.

図１に示す実施形態１に係る切削装置１は、切削ブレード２１を備えた切削手段２０と、図示しない被加工物を保持したチャックテーブル１０とを相対移動させることで、被加工物に切削加工を施すダイサと呼ばれるものである。切削装置１は、チャックテーブル１０と、切削手段２０と、撮像手段３０と、Ｘ軸移動手段４０と、Ｙ軸移動手段５０と、Ｚ軸移動手段６０と、θ軸回転手段７０と、制御手段８０と、原点検出機構９０（図２に示す）とを含んで構成されている。   The cutting apparatus 1 according to Embodiment 1 shown in FIG. 1 performs cutting on a workpiece by relatively moving a cutting means 20 having a cutting blade 21 and a chuck table 10 holding a workpiece (not shown). This is called Dicer. The cutting apparatus 1 includes a chuck table 10, a cutting unit 20, an imaging unit 30, an X-axis moving unit 40, a Y-axis moving unit 50, a Z-axis moving unit 60, a θ-axis rotating unit 70, and a control unit. 80 and an origin detection mechanism 90 (shown in FIG. 2).

ここで、被加工物は、切削加工される加工対象であり、特に限定されないが、例えば、シリコン、ヒ化ガリウム（ＧａＡｓ）等を母材とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハ、セラミック、ガラス、サファイア（Ａｌ２Ｏ３）系の円板状の無機材料基板、金属や樹脂等の円板状の延性材料等、各種加工材料である。 Here, the workpiece is an object to be machined and is not particularly limited. For example, a disk-shaped semiconductor wafer, optical device wafer, or ceramic that uses silicon, gallium arsenide (GaAs), or the like as a base material. Glass, sapphire (Al 2 O 3 ) -based disc-shaped inorganic material substrate, and disc-shaped ductile material such as metal and resin.

チャックテーブル１０は、保持部１１の表面１２（保持面に相当）を構成する部分がポーラスセラミック等から形成された円盤形状であり、図示しない真空吸引源により、表面１２に載置された被加工物を吸引保持するものである。また、保持部１１と面一に形成された外周部分を含むチャックテーブル１０は、ステンレス鋼等の導電性材料で構成されている。   The chuck table 10 has a disk shape in which a portion constituting the surface 12 (corresponding to the holding surface) of the holding portion 11 is formed of porous ceramic or the like, and a work piece placed on the surface 12 by a vacuum suction source (not shown). The object is sucked and held. Further, the chuck table 10 including the outer peripheral portion formed flush with the holding portion 11 is made of a conductive material such as stainless steel.

切削手段２０は、撮像手段３０によって撮像された被加工物の画像データに基づいて、チャックテーブル１０に保持された被加工物に切削液を供給しながら加工すべき領域に切削加工を施すためのものである。切削手段２０は、Ｙ軸移動手段５０とＺ軸移動手段６０とによってチャックテーブル１０に対してＹ軸方向およびＺ軸方向のそれぞれに相対移動可能に支持されている。切削手段２０は、切削ブレード２１と、スピンドル２２と、スピンドルハウジング２３と、切削液供給ノズル２４とを備えている。切削ブレード２１は、導電性材料で極薄のリング形状に形成された切削砥石であり、高速回転することでチャックテーブル１０に保持された被加工物を切削するものである。切削ブレード２１は、スピンドル２２のＹ軸方向の正方向側の一端（先端）に着脱可能に装着されている。スピンドル２２は、その回転軸が略水平である。ここでいう略水平とは、スピンドル２２の回転軸が水平であることを含み、切削ブレード２１による被加工物の切削加工において問題とならない水平度であることをいう。スピンドル２２は、導電性材料で形成され、図２に示すように、スピンドル本体部２４と、ロータ部２５と、スラストプレート部２６とを一体的に有している。スピンドル２２は、スピンドル本体部２４およびスラストプレート部２６とからなり、エアー軸受機構により回転自在に支持される。スピンドルハウジング２３は、筒状に形成され、内挿されたスピンドル２２を回転自在に支持している。スピンドルハウジング２３には、気体供給手段１００から供給配管１０１を介して高圧のエアーが供給される供給路２７が形成されている。供給路２７に供給された高圧のエアーは、スピンドル本体部２４およびスラストプレート部２６において、スピンドル２２とスピンドルハウジング２３との間にエアー層を形成し、エアー軸受けとなってスピンドル２２を支持する。ロータ部２５は、モータ２９の構成要素であり、ロータ部２５の径方向の外側には、ステータ２８が配設されている。ステータ２８は、スピンドルハウジング２３に固定され、通電により磁界を発生させてロータ部２５を回転駆動する回転力が発生し、切削ブレード２１を回転駆動する。   Based on the image data of the workpiece imaged by the imaging unit 30, the cutting unit 20 performs cutting on an area to be processed while supplying a cutting fluid to the workpiece held on the chuck table 10. Is. The cutting means 20 is supported by the Y-axis moving means 50 and the Z-axis moving means 60 so as to be movable relative to the chuck table 10 in the Y-axis direction and the Z-axis direction. The cutting means 20 includes a cutting blade 21, a spindle 22, a spindle housing 23, and a cutting fluid supply nozzle 24. The cutting blade 21 is a cutting grindstone formed in an extremely thin ring shape with a conductive material, and cuts the workpiece held on the chuck table 10 by rotating at high speed. The cutting blade 21 is detachably attached to one end (tip) on the positive side of the spindle 22 in the Y-axis direction. The spindle 22 has a substantially horizontal axis of rotation. The term “substantially horizontal” as used herein means that the rotation axis of the spindle 22 is horizontal, and that it is a level that does not cause a problem in the cutting of the workpiece by the cutting blade 21. The spindle 22 is formed of a conductive material, and integrally includes a spindle body 24, a rotor 25, and a thrust plate 26 as shown in FIG. The spindle 22 includes a spindle body 24 and a thrust plate part 26, and is rotatably supported by an air bearing mechanism. The spindle housing 23 is formed in a cylindrical shape and rotatably supports the inserted spindle 22. The spindle housing 23 is provided with a supply path 27 through which high-pressure air is supplied from the gas supply means 100 through the supply pipe 101. The high-pressure air supplied to the supply path 27 forms an air layer between the spindle 22 and the spindle housing 23 in the spindle main body 24 and the thrust plate portion 26 and supports the spindle 22 as an air bearing. The rotor portion 25 is a component of the motor 29, and a stator 28 is disposed outside the rotor portion 25 in the radial direction. The stator 28 is fixed to the spindle housing 23, generates a magnetic field by energization, generates a rotational force that rotationally drives the rotor portion 25, and rotationally drives the cutting blade 21.

撮像手段３０は、例えば、ＣＣＤ（Charge Couple Device）イメージセンサを用いたカメラ等であり、チャックテーブル１０に保持された被加工物を撮像し、画像を生成する。   The imaging means 30 is, for example, a camera or the like using a CCD (Charge Couple Device) image sensor, and images the workpiece held on the chuck table 10 to generate an image.

Ｘ軸移動手段４０は、Ｘ軸パルスモータ４２により発生した回転力によってＸ軸ボールネジ４３を回転駆動させることで、チャックテーブル１０が搭載されたＸ軸移動基台４１を一対のＸ軸ガイドレール４４によりガイドしつつＸ軸位置検出用スケール４５とＸ軸位置検出用センサ４６とによりＸ軸方向の相対位置を検出し、装置本体２に対してＸ軸方向の所定の位置に移動させる。Ｘ軸方向は、スピンドル２２の軸方向（Ｙ軸方向）および鉛直方向（Ｚ軸方向）の双方と直交する方向である。   The X-axis moving means 40 rotates and drives the X-axis ball screw 43 by the rotational force generated by the X-axis pulse motor 42, thereby causing the X-axis moving base 41 on which the chuck table 10 is mounted to be a pair of X-axis guide rails 44. The relative position in the X-axis direction is detected by the X-axis position detection scale 45 and the X-axis position detection sensor 46 while being guided, and the apparatus main body 2 is moved to a predetermined position in the X-axis direction. The X-axis direction is a direction orthogonal to both the axial direction (Y-axis direction) and the vertical direction (Z-axis direction) of the spindle 22.

Ｙ軸移動手段５０は、Ｙ軸パルスモータ５２により発生した回転力によってＹ軸ボールネジ５３を回転駆動させることで、Ｙ軸移動基台５１を一対のＹ軸ガイドレール５４によりガイドしつつＹ軸位置検出用スケール５５とＹ軸位置検出用センサ５６とによりＹ軸方向の相対位置を検出し、装置本体２に対してＹ軸方向の所定の位置に移動させる。Ｙ軸方向は、切削ブレード２１の回転軸の方向であり、鉛直方向（Ｚ軸方向）と直交する方向である。   The Y-axis moving unit 50 rotates the Y-axis ball screw 53 by the rotational force generated by the Y-axis pulse motor 52, thereby guiding the Y-axis moving base 51 by the pair of Y-axis guide rails 54, and the Y-axis position. The detection scale 55 and the Y-axis position detection sensor 56 detect the relative position in the Y-axis direction, and move the apparatus main body 2 to a predetermined position in the Y-axis direction. The Y-axis direction is the direction of the rotation axis of the cutting blade 21 and is a direction orthogonal to the vertical direction (Z-axis direction).

Ｚ軸移動手段６０は、Ｚ軸パルスモータ６２により発生した回転力によってＺ軸ボールネジ６３を回転駆動させることで、切削手段２０が固定されたＺ軸移動部材６１を一対のＺ軸ガイドレール６４によりガイドしつつ図示しないＺ軸位置検出用センサによりＺ軸方向の相対位置を検出し、装置本体２に対してＺ軸方向の所定の位置に移動させる。Ｚ軸方向は、本実施形態においては、鉛直方向である。   The Z-axis moving means 60 rotates the Z-axis ball screw 63 by the rotational force generated by the Z-axis pulse motor 62 so that the Z-axis moving member 61 to which the cutting means 20 is fixed is moved by a pair of Z-axis guide rails 64. While guiding, a relative position in the Z-axis direction is detected by a Z-axis position detection sensor (not shown), and the apparatus body 2 is moved to a predetermined position in the Z-axis direction. The Z-axis direction is the vertical direction in the present embodiment.

θ軸回転手段７０は、θ軸回転モータ７１により切削ブレード２１に対してチャックテーブル１０が搭載されたテーブル７２を任意の角度の回転または連続回転をさせることができるように構成されている。テーブル７２は、θ軸回転モータ７１を介してＸ軸移動基台５１に支持され、チャックテーブル１０の中心軸線を中心として回転可能に構成されている。   The θ-axis rotating means 70 is configured so that the table 72 on which the chuck table 10 is mounted with respect to the cutting blade 21 can be rotated at an arbitrary angle or continuously rotated by a θ-axis rotating motor 71. The table 72 is supported by the X-axis movement base 51 via a θ-axis rotation motor 71 and is configured to be rotatable about the central axis of the chuck table 10.

制御手段８０は、コンピュータを有する電子制御装置であり、Ｘ軸移動手段４０とＹ軸移動手段５０とＺ軸移動手段６０とθ軸回転手段７０と気体供給手段１００（図２に示す）とにそれぞれ接続され、各手段４０，５０，６０，７０，１００を制御する。   The control means 80 is an electronic control device having a computer, and includes an X-axis movement means 40, a Y-axis movement means 50, a Z-axis movement means 60, a θ-axis rotation means 70, and a gas supply means 100 (shown in FIG. 2). Each means is connected to control each means 40, 50, 60, 70, 100.

ここで、実施形態１に係る原点検出機構９０について説明する。原点検出機構９０は、切削ブレード２１の切り込み量を設定するための基準となる切削ブレード２１の原点位置を検出するためのものである。原点検出機構９０は、図２に示すように、ガイド穴９１と、電極端子９２と、錘９３と、弾性部材９４とを備え、原点検出回路９５と、制御手段８０とを含んで構成されている。   Here, the origin detection mechanism 90 according to the first embodiment will be described. The origin detection mechanism 90 is for detecting the origin position of the cutting blade 21 that serves as a reference for setting the cutting amount of the cutting blade 21. As shown in FIG. 2, the origin detection mechanism 90 includes a guide hole 91, an electrode terminal 92, a weight 93, and an elastic member 94, and includes an origin detection circuit 95 and a control unit 80. Yes.

ガイド穴９１は、図２および図３に示すように、スピンドルハウジング２３の上方の外周面２３ａと該スピンドルハウジング２３の上方の内周面２３ｂとに連通しスピンドル２２に向かって貫通形成されている。ガイド穴９１は、スピンドル２２の回転軸に直交する鉛直方向（Ｚ軸方向）で貫通形成され、例えば、円形状の貫通孔として形成されている。ガイド穴９１の上端には、該ガイド穴９１と一直線上に連通する中空円筒状の筒状部９６が形成されている。ガイド穴９１および筒状部９６中には、電極端子９２と錘９３と弾性部材９４とが連結された状態で摺動可能に挿入されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the guide hole 91 communicates with the outer peripheral surface 23 a above the spindle housing 23 and the inner peripheral surface 23 b above the spindle housing 23, and is formed to penetrate toward the spindle 22. . The guide hole 91 is formed so as to penetrate in the vertical direction (Z-axis direction) orthogonal to the rotation axis of the spindle 22 and is formed as, for example, a circular through hole. A hollow cylindrical tubular portion 96 that communicates with the guide hole 91 in a straight line is formed at the upper end of the guide hole 91. The electrode terminal 92, the weight 93, and the elastic member 94 are slidably inserted into the guide hole 91 and the cylindrical portion 96 in a connected state.

電極端子９２は、摩擦係数が低く、耐摩耗性に優れ、耐熱性を有する導電性材料から形成されている。電極端子９２は、本実施形態においては、カーボンブラシが用いられている。電極端子９２は、その外形がガイド穴９１よりも僅かに小さく形成され、ガイド穴９１中に摺動可能に挿入されている。電極端子９２は、上端側に弾性部材９４が連結され、該弾性部材９４と電気的に接続されている。電極端子９２は、下端側がスピンドル２２の外周面２２ａと接触して前記スピンドル２２と電気的に接続されている。   The electrode terminal 92 is made of a conductive material having a low friction coefficient, excellent wear resistance, and heat resistance. In the present embodiment, the electrode terminal 92 is a carbon brush. The electrode terminal 92 has an outer shape slightly smaller than the guide hole 91 and is slidably inserted into the guide hole 91. The electrode terminal 92 is connected to an elastic member 94 on the upper end side, and is electrically connected to the elastic member 94. The electrode terminal 92 is electrically connected to the spindle 22 at the lower end side in contact with the outer peripheral surface 22 a of the spindle 22.

錘９３は、弾性部材９４を介して電極端子９２に自重を作用させ、電極端子９２を常に一定の力でスピンドル２２の外周面２２ａに押圧させるものである。錘９３は、金属などの導電性材料で構成されている。錘９３は、本実施形態においては、１０グラム（ｇ）前後の所定の重さを有している。ここでいう所定の重さとは、電極端子９２とスピンドル２２との電気的導通不良を抑制し、かつ、電極端子９２の無駄な消耗を抑えることができる重さであることをいい、電極端子９２に対して適切な重さであることをいう。錘９３は、その外形がガイド穴９１よりも僅かに小さく形成され、筒状部９６中に摺動可能に挿入されている。錘９３は、下端側に弾性部材９４が連結されているとともに上端側に原点検出回路９５の導線９７が連結され、弾性部材９４および導線９７と電気的に接続されている。錘９３は、電極端子９２の摩耗に伴ってガイド穴９１中に下降した時、該ガイド穴９１中に摺動可能に挿入される。   The weight 93 causes its own weight to act on the electrode terminal 92 via the elastic member 94, and always presses the electrode terminal 92 against the outer peripheral surface 22a of the spindle 22 with a constant force. The weight 93 is made of a conductive material such as metal. The weight 93 has a predetermined weight of about 10 grams (g) in the present embodiment. The predetermined weight here refers to a weight that can suppress an electrical continuity failure between the electrode terminal 92 and the spindle 22 and can suppress wasteful consumption of the electrode terminal 92. It means that it is appropriate weight. The weight 93 has an outer shape slightly smaller than the guide hole 91 and is slidably inserted into the cylindrical portion 96. The weight 93 has an elastic member 94 coupled to the lower end side and a conducting wire 97 of the origin detection circuit 95 coupled to the upper end side, and is electrically connected to the elastic member 94 and the conducting wire 97. When the weight 93 is lowered into the guide hole 91 as the electrode terminal 92 is worn, the weight 93 is slidably inserted into the guide hole 91.

弾性部材９４は、スピンドル２２の外周面２２ａに接触する電極端子９２が前記スピンドル２２の回転および振動によって弾むのを抑制し、電極端子９２とスピンドル２２との電気的接触が断たれるのを抑制するものである。弾性部材９４は、本実施形態においては、金属線などの導電性材料を螺旋状に巻いた圧縮コイルばねである。弾性部材９４は、下端側に電極端子９２が連結されているとともに上端側に錘９３が連結され、電極端子９２および錘９３と電気的に接続されている。弾性部材９４は、その外形がガイド穴９１よりも僅かに小さく形成され、ガイド穴９１中に摺動可能に挿入されている。弾性部材９４は、僅かな偏心等により振動するスピンドル２２の外周面２２ａと接触する電極端子９２の振動を吸収し、かつ、電極端子９２の振動に伴って固有振動しないばね定数を有している。   The elastic member 94 suppresses the electrode terminal 92 contacting the outer peripheral surface 22a of the spindle 22 from being bounced by the rotation and vibration of the spindle 22 and prevents the electrical contact between the electrode terminal 92 and the spindle 22 from being cut off. To do. In this embodiment, the elastic member 94 is a compression coil spring in which a conductive material such as a metal wire is spirally wound. The elastic member 94 has an electrode terminal 92 connected to the lower end side and a weight 93 connected to the upper end side, and is electrically connected to the electrode terminal 92 and the weight 93. The outer shape of the elastic member 94 is slightly smaller than the guide hole 91 and is slidably inserted into the guide hole 91. The elastic member 94 has a spring constant that absorbs the vibration of the electrode terminal 92 that comes into contact with the outer peripheral surface 22a of the spindle 22 that vibrates due to slight eccentricity and does not vibrate naturally with the vibration of the electrode terminal 92. .

原点検出回路９５は、導線９７と、第一スイッチ９８ａと、電流計９８ｂと、第二スイッチ９８ｃと、電源９８ｄとを含んで構成されている。導線９７は、錘９３と電流計９８ｂと第二スイッチ９８ｃと電源９８ｄとチャックテーブル１０とを電気的に直列に接続し、前記錘９３と前記電流計９８ｂとの間にアースと断接するスイッチである第一スイッチ９８ａを配設し、前記錘９３と前記第一スイッチ９８ａと前記アースとを電気的に直列に接続している。第一スイッチ９８ａと電流計９８ｂと第二スイッチ９８ｃとは、それぞれ制御手段８０と電気的に接続されている。制御手段８０は、第一スイッチ９８ａおよび第二スイッチ９８ｃを制御し、電流計９８ｂの検出結果を示す信号を取得可能に構成されている。   The origin detection circuit 95 includes a conducting wire 97, a first switch 98a, an ammeter 98b, a second switch 98c, and a power source 98d. The conducting wire 97 is a switch that electrically connects the weight 93, the ammeter 98b, the second switch 98c, the power source 98d, and the chuck table 10, and connects and disconnects between the weight 93 and the ammeter 98b. A first switch 98a is provided, and the weight 93, the first switch 98a, and the ground are electrically connected in series. The first switch 98a, the ammeter 98b, and the second switch 98c are electrically connected to the control means 80, respectively. The control means 80 is configured to control the first switch 98a and the second switch 98c and acquire a signal indicating the detection result of the ammeter 98b.

ここで、切削ブレード２１とチャックテーブル１０との接触時の電気的導通により前記チャックテーブル１０に対する切削ブレード２１の切り込み方向（Ｚ軸方向）の原点位置を検出するセットアップについて説明する。なお、原点位置は、切削ブレード２１の切り込み量を設定するための基準となるものである。   Here, a setup for detecting the origin position in the cutting direction (Z-axis direction) of the cutting blade 21 with respect to the chuck table 10 by electrical conduction when the cutting blade 21 and the chuck table 10 are in contact with each other will be described. The origin position is a reference for setting the cutting amount of the cutting blade 21.

図４に示すように、セットアップ時には、制御手段８０は、第一スイッチ９８ａを開き、第二スイッチ９８ｃを閉じ、切削ブレード２１を回転させつつ切削手段２０をチャックテーブル１０の表面１２に向けて降下させる。制御手段８０は、切削ブレード２１とチャックテーブル１０との接触により原点検出回路９５を含む閉回路に流れる電流が電流計９８ｂによって検出された時点における切削ブレード２１の切り込み位置を原点位置として設定する。   As shown in FIG. 4, at the time of setup, the control means 80 opens the first switch 98 a, closes the second switch 98 c, and lowers the cutting means 20 toward the surface 12 of the chuck table 10 while rotating the cutting blade 21. Let The control means 80 sets the cutting position of the cutting blade 21 when the current flowing through the closed circuit including the origin detection circuit 95 by the contact between the cutting blade 21 and the chuck table 10 is detected by the ammeter 98b as the origin position.

なお、図２に示すように、セットアップ時以外には、制御手段８０は、第一スイッチ９８ａを閉じ、第二スイッチ９８ｃを開き、スピンドル２２と電極端子９２と錘９３と弾性部材９４と導線９７と第一スイッチ９８ａとアースとを電気的に接続させ、スピンドル２２をアースする。   As shown in FIG. 2, the control means 80 closes the first switch 98a and opens the second switch 98c except during the setup, so that the spindle 22, the electrode terminal 92, the weight 93, the elastic member 94, and the conducting wire 97 are opened. And the first switch 98a and the ground are electrically connected, and the spindle 22 is grounded.

以上のように、実施形態１に係る切削装置１によれば、スピンドルハウジング２３の上方の外周面２３ａからスピンドル２２に向かって該スピンドルハウジング２３の内周面２３ｂに貫通形成されたガイド穴９１中に摺動可能に挿入された電極端子９２を錘９３により前記スピンドル２２の外周面２２ａに押圧させているので、錘９３によって電極端子９２がスピンドル２２の外周面２２ａに常に一定の力で押圧されるようになり、電極端子９２の無駄な消耗およびスピンドル２２との電気的導通不良を抑制することができるという効果を奏する。   As described above, according to the cutting device 1 according to the first embodiment, in the guide hole 91 formed through the inner peripheral surface 23b of the spindle housing 23 from the outer peripheral surface 23a above the spindle housing 23 toward the spindle 22. Since the electrode terminal 92 slidably inserted into the outer peripheral surface 22a of the spindle 22 is pressed by the weight 93, the electrode terminal 92 is always pressed against the outer peripheral surface 22a of the spindle 22 by a weight 93. As a result, it is possible to suppress the wasteful consumption of the electrode terminal 92 and the poor electrical continuity with the spindle 22.

また、実施形態１に係る切削装置１によれば、弾性部材９４を介して錘９３が電極端子９２をスピンドル２２の外周面２２ａに押圧するので、スピンドル２２の回転および振動によって電極端子９２が弾むのを抑制し、電極端子９２とスピンドル２２との電気的接触が断たれるのを抑制することができる。   Further, according to the cutting apparatus 1 according to the first embodiment, the weight 93 presses the electrode terminal 92 against the outer peripheral surface 22a of the spindle 22 via the elastic member 94, so that the electrode terminal 92 is bounced by the rotation and vibration of the spindle 22. It is possible to prevent the electrical contact between the electrode terminal 92 and the spindle 22 from being cut off.

また、実施形態１に係る切削装置１によれば、所定の重さの錘９３によって電極端子９２をスピンドル２２に一定の力で押圧させるので、電極端子９２が摩耗していない状態（初期状態）および電極端子９２の摩耗が進んだ状態（摩耗状態）において、電極端子９２の無駄な消耗およびスピンドル２２との電気的導通不良を抑制することができる。   Further, according to the cutting device 1 according to the first embodiment, the electrode terminal 92 is pressed against the spindle 22 by the weight 93 having a predetermined weight with a constant force, so that the electrode terminal 92 is not worn (initial state). In addition, in a state where the wear of the electrode terminal 92 has advanced (wear state), wasteful consumption of the electrode terminal 92 and poor electrical continuity with the spindle 22 can be suppressed.

また、実施形態１に係る切削装置１によれば、スピンドル２２の外周面２２ａに電極端子９２を接触させるので、切削手段２０の軸方向（Ｙ軸方向）のサイズを小型化できる。したがって、切削装置１の省スペース化を図ることができる。   Further, according to the cutting device 1 according to the first embodiment, since the electrode terminal 92 is brought into contact with the outer peripheral surface 22a of the spindle 22, the size of the cutting means 20 in the axial direction (Y-axis direction) can be reduced. Therefore, space saving of the cutting device 1 can be achieved.

なお、上記実施形態１においては、切削装置１は、１個のスピンドル２２を有するダイサであるが、２個のスピンドル２２を有するダイサ、いわゆるデュアルダイサ（例えば、フェイシングデュアルダイサやパラレルデュアルダイサ）であってもよい。   In the first embodiment, the cutting device 1 is a dicer having one spindle 22, but a dicer having two spindles 22, a so-called dual dicer (for example, a facing dicer or a parallel dual dicer). It may be.

また、上記実施形態１においては、錘９３は、１０グラム（ｇ）前後の重さを有しているが、電極端子９２とスピンドル２２との電気的導通不良を抑制し、かつ、電極端子９２の無駄な消耗を抑えることのできる重さであればよいので、複数個の錘９３をガイド穴９１（筒状部９６を含む）中に挿入することで１０グラム前後の重さとしてもよい。   In the first embodiment, the weight 93 has a weight of about 10 grams (g). However, the electrical connection failure between the electrode terminal 92 and the spindle 22 is suppressed, and the electrode terminal 92 is provided. Therefore, the weight may be about 10 grams by inserting a plurality of weights 93 into the guide holes 91 (including the cylindrical portion 96).

また、上記実施形態１においては、弾性部材９４は、金属線などを螺旋状に巻いた圧縮コイルばねであるが、電極端子９２の振動を吸収することができるダンパーとしての機能を有し、かつ、導電性を有しているものを用いることができる。   In the first embodiment, the elastic member 94 is a compression coil spring in which a metal wire or the like is spirally wound. The elastic member 94 has a function as a damper capable of absorbing the vibration of the electrode terminal 92, and Those having conductivity can be used.

〔実施形態２〕
次に、実施形態２に係る切削装置１の原点検出機構９０について説明する。実施形態２に係る切削装置１の原点検出機構９０の基本的構成は、実施形態１に係る切削装置１の原点検出機構９０と同様であるので、同一部分の構成の説明は省略する。実施形態２に係る切削装置１の原点検出機構９０は、鉛直方向（Ｚ軸方向）を省スペース化することができるものである。 [Embodiment 2]
Next, the origin detection mechanism 90 of the cutting apparatus 1 according to the second embodiment will be described. Since the basic configuration of the origin detection mechanism 90 of the cutting device 1 according to the second embodiment is the same as that of the origin detection mechanism 90 of the cutting device 1 according to the first embodiment, the description of the configuration of the same portion is omitted. The origin detection mechanism 90 of the cutting apparatus 1 according to the second embodiment can save space in the vertical direction (Z-axis direction).

図５は、実施形態２に係る原点検出機構のガイド穴の構成例を示す図である。   FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration example of guide holes of the origin detection mechanism according to the second embodiment.

図５に示すように、原点検出機構９０は、鉛直方向に対して傾斜して貫通形成されたガイド穴９１と、該ガイド穴９１と一直線上に連通された筒状部９６とを有し、ガイド穴９１および筒状部９６中には、電極端子９２と錘９３と弾性部材９４とを傾斜させた状態で摺動可能に挿入している。   As shown in FIG. 5, the origin detection mechanism 90 includes a guide hole 91 that is formed to be inclined and penetrated with respect to the vertical direction, and a cylindrical portion 96 that communicates with the guide hole 91 in a straight line. The electrode terminal 92, the weight 93, and the elastic member 94 are slidably inserted into the guide hole 91 and the cylindrical portion 96 in an inclined state.

ガイド穴９１は、スピンドル２２の回転軸に直交し、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対してＸ軸方向の負方向に向かって傾斜角αで傾斜する方向で貫通形成されている。傾斜角αは、本実施形態においては、Ｘ軸方向の負方向に傾斜する−３０度に設定されている。   The guide hole 91 is formed to penetrate in a direction that is perpendicular to the rotation axis of the spindle 22 and that is inclined at an inclination angle α toward the negative direction in the X-axis direction with respect to the vertical direction (Z-axis direction). In the present embodiment, the inclination angle α is set to −30 degrees that incline in the negative direction of the X-axis direction.

筒状部９６は、ガイド穴９１と一直線上に連通しており、その傾斜角αは、本実施形態においては、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対してＸ軸方向の負方向に向かって傾斜する−３０度に設定されている。   The cylindrical portion 96 communicates with the guide hole 91 in a straight line, and the inclination angle α is inclined toward the negative direction in the X-axis direction with respect to the vertical direction (Z-axis direction) in the present embodiment. It is set to -30 degrees.

以上のように、実施形態２に係る切削装置１によれば、筒状部９６を鉛直方向に対して傾斜させているので、筒状部９６の鉛直方向における突出量Ｈを減少させることができる。したがって、実施形態２に係る切削装置１は、鉛直方向における省スペース化を図ることができる。   As described above, according to the cutting device 1 according to the second embodiment, since the cylindrical portion 96 is inclined with respect to the vertical direction, the protruding amount H of the cylindrical portion 96 in the vertical direction can be reduced. . Therefore, the cutting device 1 according to the second embodiment can save space in the vertical direction.

また、ガイド穴９１の傾斜角αは、Ｘ軸方向の負方向に傾斜する−３０度であるので、錘９３とガイド穴９１（筒状部９６を含む）との摩擦力が大きくならず、錘９３の重さを電極端子９２に十分に作用させることができ、電極端子９２とスピンドル２２との電気的導通不良を抑制することができる。   Further, since the inclination angle α of the guide hole 91 is −30 degrees inclined in the negative direction of the X-axis direction, the frictional force between the weight 93 and the guide hole 91 (including the cylindrical portion 96) does not increase. The weight of the weight 93 can be sufficiently applied to the electrode terminal 92, and poor electrical continuity between the electrode terminal 92 and the spindle 22 can be suppressed.

なお、上記実施形態２においては、傾斜角αは、Ｘ軸方向の負方向に傾斜する−３０度となっているが、錘９３とガイド穴９１（筒状部９６を含む）との摩擦力を無視できる範囲、かつ、非常に多くの個数の錘９３が必要とならない範囲であればよいので、Ｘ軸方向の正方向に傾斜する＋４５度からＸ軸方向の負方向に傾斜する−４５度の範囲内で設定することができ、好ましくは、Ｘ軸方向の正方向に傾斜する＋３０度からＸ軸方向の負方向に傾斜する−３０度の範囲に設定することができる。   In the second embodiment, the inclination angle α is −30 degrees inclined in the negative direction of the X-axis direction, but the frictional force between the weight 93 and the guide hole 91 (including the cylindrical portion 96). Can be ignored, and a range in which a very large number of weights 93 are not required is required, so that +45 degrees tilted in the positive direction of the X axis direction and −45 degrees tilted in the negative direction of the X axis direction. Preferably, it can be set within a range of +30 degrees inclined in the positive direction of the X axis direction to −30 degrees inclined in the negative direction of the X axis direction.

また、上記実施形態２においては、ガイド穴９１および筒状部９６は、Ｘ軸方向に傾斜させているが、筒状部９６の鉛直方向の省スペース化を図ることができればよいので、Ｙ軸方向に傾斜させてもよく、また、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の双方に傾斜させてもよい。   In the second embodiment, the guide hole 91 and the cylindrical portion 96 are inclined in the X-axis direction. However, since the space in the vertical direction of the cylindrical portion 96 may be reduced, the Y-axis It may be inclined in the direction, or may be inclined in both the X-axis direction and the Y-axis direction.

〔実施形態３〕
次に、本実施形態３に係る切削装置１の原点検出機構９０について説明する。実施形態３に係る切削装置１の原点検出機構９０の基本的構成は、実施形態１に係る切削装置１の原点検出機構９０と同様であるので、同一部分の構成の説明は省略する。実施形態３に係る切削装置１の原点検出機構９０は、電極端子９２の交換時期を検出することができるものである。 [Embodiment 3]
Next, the origin detection mechanism 90 of the cutting apparatus 1 according to the third embodiment will be described. Since the basic configuration of the origin detection mechanism 90 of the cutting device 1 according to the third embodiment is the same as that of the origin detection mechanism 90 of the cutting device 1 according to the first embodiment, the description of the configuration of the same portion is omitted. The origin detection mechanism 90 of the cutting device 1 according to the third embodiment can detect the replacement time of the electrode terminal 92.

図６は、実施形態３に係る原点検出機構の検知手段の構成例を示す図である。図７は、電極端子の交換時期を検出する検知手段の説明図である。   FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration example of detection means of the origin detection mechanism according to the third embodiment. FIG. 7 is an explanatory diagram of detection means for detecting the replacement timing of the electrode terminals.

図６に示すように、原点検出機構９０は、電極端子９２が摩耗するのに伴って錘９３が所定の位置にまで下降したことを検知する検知手段９９を備えている。ここでいう錘９３が所定の位置にまで下降したとは、図示しない摩耗限界線に電極端子９２の摩耗が達した時の位置にまで錘９３が下降したことをいう。検知手段９９は、例えば、錘９３の表面よりも光を反射する目印部材９９ａと、錘９３に光を照射するとともに目印部材９９ａから反射してきた光を検知するセンサ９９ｂとを含んで構成されている。目印部材９９ａは、電極端子９２の外面に形成された図示しない摩耗限界線に前記電極端子９２の摩耗が達した時に、センサ９９ｂが検知できる位置に配設されている。センサ９９ｂは、本実施形態においては、筒状部９６に配設され、制御手段８０と電気的に接続されている。制御手段８０は、センサ９９ｂの検知結果を示す信号を取得可能に構成されている。   As shown in FIG. 6, the origin detection mechanism 90 includes detection means 99 that detects that the weight 93 has been lowered to a predetermined position as the electrode terminal 92 is worn. Here, the weight 93 has been lowered to a predetermined position means that the weight 93 has been lowered to a position when the wear of the electrode terminal 92 reaches a wear limit line (not shown). The detection means 99 includes, for example, a mark member 99a that reflects light from the surface of the weight 93, and a sensor 99b that irradiates the weight 93 with light and detects light reflected from the mark member 99a. Yes. The mark member 99a is disposed at a position where the sensor 99b can detect when the wear of the electrode terminal 92 reaches a wear limit line (not shown) formed on the outer surface of the electrode terminal 92. In this embodiment, the sensor 99b is disposed in the cylindrical portion 96 and is electrically connected to the control means 80. The control means 80 is configured to be able to acquire a signal indicating the detection result of the sensor 99b.

ここで、電極端子９２の交換時期の検出について説明する。図７に示すように、電極端子９２の摩耗に伴って錘９３が所定の位置にまで下降した時、制御手段８０は、錘９３の目印部材９９ａをセンサ９９ｂが検知した検知結果を示す信号に基づいて、電極端子９２が所定の長さになるまで摩耗したことを検出する。次に、制御手段８０は、切削装置１の図示しない操作画面等に電極端子９２の交換時期を知らせるアラームを発し、オペレータ等の作業員に電極端子９２の交換を促す。   Here, detection of the replacement time of the electrode terminal 92 will be described. As shown in FIG. 7, when the weight 93 is lowered to a predetermined position as the electrode terminal 92 is worn, the control means 80 generates a signal indicating a detection result obtained by detecting the mark member 99a of the weight 93 by the sensor 99b. Based on this, it is detected that the electrode terminal 92 has been worn down to a predetermined length. Next, the control means 80 issues an alarm notifying the replacement timing of the electrode terminal 92 on an operation screen (not shown) of the cutting apparatus 1 and urges a worker such as an operator to replace the electrode terminal 92.

以上のように、実施形態３に係る切削装置１によれば、電極端子９２の摩耗に伴って錘９３が所定の位置にまで下降したことをセンサ９９ｂで検知するので、電極端子９２が所定の長さになるまで摩耗して該電極端子９２の交換時期となったことを検知手段９９により検出することができる。したがって、実施形態３に係る切削装置１は、電極端子９２の摩耗量に応じて、電極端子９２を適切な時期に交換することができる。   As described above, according to the cutting device 1 according to the third embodiment, the sensor 99b detects that the weight 93 has been lowered to a predetermined position as the electrode terminal 92 is worn. It can be detected by the detection means 99 that the electrode terminal 92 has been worn out until the length is reached, and it is time to replace the electrode terminal 92. Therefore, the cutting device 1 according to Embodiment 3 can replace the electrode terminal 92 at an appropriate time according to the amount of wear of the electrode terminal 92.

なお、上記実施形態３においては、検知手段９９は、錘９３の目印部材９９ａと該目印部材９９ａから反射してきた光を検知するセンサ９９ｂと含んで構成されているが、電極端子９２の摩耗に伴って所定の位置にまで錘９３が下降すると該錘９３に設けた凸部がスイッチを押して前記電極端子９２の交換時期を検出するように構成してもよく、錘９３との電気的導通によって電極端子９２の交換時期を検出するように構成してもよく、錘９３の移動量や位置などを検知することによって電極端子９２の交換時期を検出できる構成であればよい。   In the third embodiment, the detection means 99 includes the mark member 99a of the weight 93 and the sensor 99b that detects the light reflected from the mark member 99a. Accordingly, when the weight 93 is lowered to a predetermined position, the convex portion provided on the weight 93 may push the switch to detect the replacement time of the electrode terminal 92. It may be configured to detect the replacement time of the electrode terminal 92, and any configuration that can detect the replacement time of the electrode terminal 92 by detecting the moving amount or position of the weight 93 may be used.

１ 切削装置
１０ チャックテーブル
２０ 切削手段
２１ 切削ブレード
２２ スピンドル
２２ａ 外周面
２３ スピンドルハウジング
２３ａ 外周面
２３ｂ 内周面
９０ 原点検出機構
９１ ガイド穴
９２ 電極端子
９３ 錘
９４ 弾性部材
９９ 検知手段 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cutting device 10 Chuck table 20 Cutting means 21 Cutting blade 22 Spindle 22a Outer peripheral surface 23 Spindle housing 23a Outer peripheral surface 23b Inner peripheral surface 90 Origin detection mechanism 91 Guide hole 92 Electrode terminal 93 Weight 94 Elastic member 99 Detection means

Claims (3)

被加工物を保持するチャックテーブルと、
前記チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードが一端に装着され回転軸が略水平であるスピンドルを含む切削手段と、
前記切削ブレードと前記チャックテーブルとを接触させ、前記切削ブレードと前記チャックテーブルとの電気的導通により当該チャックテーブルに対する前記切削ブレードの切り込み方向の原点位置を検出する原点検出機構と、
を備えた切削装置であって、
前記原点検出機構は、
前記スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングの上方の外周面から前記スピンドルに向かって該スピンドルハウジングの内周面に貫通形成されたガイド穴と、
前記ガイド穴中に摺動可能に挿入され前記スピンドルの外周面に接触する電極端子と、
導電性材料で所定の重さに形成され、前記電極端子を前記スピンドルの前記外周面に押圧する錘と、
を含んで構成され、
前記電極端子は、前記錘によって一定の力で前記スピンドルの前記外周面に押圧される切削装置。 A chuck table for holding the workpiece;
A cutting means including a spindle having a cutting blade mounted on one end thereof for cutting the workpiece held on the chuck table and having a rotation axis substantially horizontal;
An origin detection mechanism for contacting the cutting blade and the chuck table, and detecting an origin position in a cutting direction of the cutting blade with respect to the chuck table by electrical conduction between the cutting blade and the chuck table;
A cutting device comprising:
The origin detection mechanism is
A guide hole formed through the inner peripheral surface of the spindle housing from the upper outer peripheral surface of the spindle housing that rotatably supports the spindle toward the spindle;
An electrode terminal slidably inserted into the guide hole and in contact with the outer peripheral surface of the spindle;
A weight formed of a conductive material and having a predetermined weight, and pressing the electrode terminal against the outer peripheral surface of the spindle;
Comprising
The electrode device is a cutting device that is pressed against the outer peripheral surface of the spindle by the weight with a constant force. 前記原点検出機構は、
導電性材料で形成された弾性部材を介して前記錘が前記電極端子を押圧し、
前記弾性部材は、前記スピンドルの回転および振動によって該スピンドルの前記外周面に接触する前記電極端子が弾んで電気的接触が断たれることを抑制する請求項１記載の切削装置。 The origin detection mechanism is
The weight presses the electrode terminal through an elastic member made of a conductive material,
The cutting apparatus according to claim 1, wherein the elastic member suppresses electrical contact from being cut off due to the electrode terminal contacting the outer peripheral surface of the spindle being bounced by rotation and vibration of the spindle. 前記原点検出機構は、
前記電極端子の交換時期を検知する検知手段を備え、
前記検知手段は、回転する前記スピンドルとの接触により前記電極端子が摩耗するのに伴って前記錘が所定の位置にまで下降したことを検知し、前記電極端子が所定の長さに摩耗したことを検出可能である請求項１または２記載の切削装置。 The origin detection mechanism is
A detection means for detecting the replacement time of the electrode terminal,
The detecting means detects that the weight is lowered to a predetermined position as the electrode terminal is worn by contact with the rotating spindle, and the electrode terminal is worn to a predetermined length. The cutting device according to claim 1 or 2, wherein
JP2012210104A 2012-09-24 2012-09-24 Cutting equipment Active JP6059931B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012210104A JP6059931B2 (en) 2012-09-24 2012-09-24 Cutting equipment
CN201310449812.XA CN103660049B (en) 2012-09-24 2013-09-23 Topping machanism

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012210104A JP6059931B2 (en) 2012-09-24 2012-09-24 Cutting equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014067757A true JP2014067757A (en) 2014-04-17
JP6059931B2 JP6059931B2 (en) 2017-01-11

Family

ID=50299426

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012210104A Active JP6059931B2 (en) 2012-09-24 2012-09-24 Cutting equipment

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6059931B2 (en)
CN (1) CN103660049B (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6975570B2 (en) * 2017-07-21 2021-12-01 株式会社ディスコ Cutting device and electrode terminal unit

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5326584U (en) * 1976-08-14 1978-03-07
CN201122782Y (en) * 2007-11-26 2008-09-24 黄理 Carbon brush abrasion reminding device of carbon brush electric motor
US20090033171A1 (en) * 2005-08-17 2009-02-05 Daniel Hans Johnson Continuous direct current generator
WO2012119832A1 (en) * 2011-03-09 2012-09-13 Schunk Bahn- Und Industrietechnik Gmbh Wear detection system and method

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60217045A (en) * 1984-04-11 1985-10-30 Omron Tateisi Electronics Co Work origin detecting device for machine tool
JPH06100442B2 (en) * 1990-02-19 1994-12-12 株式会社前川製作所 Rotational shaft wear detector for closed rotary machine
JP2597808Y2 (en) * 1993-07-20 1999-07-19 株式会社ディスコ Air spindle energizing mechanism
JP2597808B2 (en) * 1993-10-05 1997-04-09 株式会社日本除雪機製作所 Hydraulic two-system steering mechanism for work vehicle and switching control method thereof
JP5512946B2 (en) * 2008-09-29 2014-06-04 株式会社ディスコ Cutting equipment
JP5313026B2 (en) * 2009-04-17 2013-10-09 株式会社ディスコ Cutting equipment
CN101881646A (en) * 2009-05-08 2010-11-10 上海宝钢化工有限公司 Buoy used for buoy liquid level gauge
JP2011094761A (en) * 2009-11-02 2011-05-12 Ebara Corp Oil level detection and bearing monitoring device, and vacuum pump
CN201875076U (en) * 2010-11-19 2011-06-22 成都焊研威达科技股份有限公司 Lifting nut pair with abrasion detection device

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5326584U (en) * 1976-08-14 1978-03-07
US20090033171A1 (en) * 2005-08-17 2009-02-05 Daniel Hans Johnson Continuous direct current generator
CN201122782Y (en) * 2007-11-26 2008-09-24 黄理 Carbon brush abrasion reminding device of carbon brush electric motor
WO2012119832A1 (en) * 2011-03-09 2012-09-13 Schunk Bahn- Und Industrietechnik Gmbh Wear detection system and method
JP2014509823A (en) * 2011-03-09 2014-04-21 シュンク バーン ウント インドゥストリーテヒニーク ゲーエムベーハー Wear detection system and wear detection method

Also Published As

Publication number Publication date
CN103660049B (en) 2017-03-01
CN103660049A (en) 2014-03-26
JP6059931B2 (en) 2017-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110233128B (en) Chuck table, cutting device, and method for correcting chuck table
JP5313026B2 (en) Cutting equipment
JP2012086291A (en) Cutting grinding wheel
JP6059931B2 (en) Cutting equipment
JP2009107040A (en) Machining device
JP5340832B2 (en) Mounting flange end face correction method
JP2007142332A (en) Apparatus and method for mounting electronic component
JP2005022059A (en) Grinder and grinding method
JP5199812B2 (en) Cutting equipment
JP5335532B2 (en) Cutting equipment
JP5242348B2 (en) Processing equipment
JP6078297B2 (en) Processing equipment
JP3063810B2 (en) Rotating device having static pressure air bearing and method of manufacturing inner cylinder thereof
CN103831704B (en) A kind of slip ring becomes level pressure regulation on-line grinding device and its application method
CN109278205B (en) Cutting device and electrode terminal assembly
JP5906134B2 (en) Cutting equipment
JP2006237332A (en) Cutting apparatus
JP5123677B2 (en) Lens processing equipment
CN217344961U (en) Contact type height measuring device and scribing machine
JP2010087026A (en) Cutting apparatus
JP6168967B2 (en) Cutting equipment
CN110449930A (en) A kind of digital-controlled carving machine main shaft dynamic compression system
JP2019076991A (en) Method for detecting reference position of cutting device
JP2012232357A (en) Electrode unit
JP4072377B2 (en) Tool state detection device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150810

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160714

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160726

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160920

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161122

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161212

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6059931

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250