JP2014051431A - Molding apparatus - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a molding apparatus that thermally softens and presses materials into shapes and has high versatility and capable of reducing production costs.SOLUTION: A molding apparatus 10 includes: a die unit 20 for holding material to be molded; a press unit 40 including a press plate for pressing the die unit 20 and a tunnel part 16 surrounding the press plate; a heating unit 30 including a heating plate for heating the die unit 20 and the tunnel part 16 surrounding the heating plate; a cooling unit 60 for cooling the die unit 20 after hot-molding to cool molded pieces; a transportation unit 70 for transporting the die unit 20; a host control part 12 for generally controlling heating, pressing, cooling and transportation; and an isolated chamber 11 configured by air-tightly joining the plurality of tunnel parts 16. At least one of the press unit 40 and the heating unit 30 can be rearranged.

Description

本発明は、成形装置に係り、例えば、被成形材を加熱軟化させてプレス成形し、例えばデジタルカメラ等に用いられる非球面ガラスレンズ等の成形品を製造するものに関する。   The present invention relates to a molding apparatus, and for example, relates to an apparatus for producing a molded product such as an aspheric glass lens used for a digital camera or the like by heat-softening a material to be molded and press-molding.

被成形材を熱軟化させて加圧成形する成形装置において、被成形材を保持する金型部を、加熱処理、プレス成形処理及び冷却処理をそれぞれ行う各ユニット間で移動させ、加熱、成形及び冷却の各工程を複数の被成形材に対して並行して進めることにより成形サイクルを短くする移動金型式の装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。   In a molding apparatus that heat-softens a material to be molded and performs pressure molding, the mold part that holds the material to be molded is moved between each unit that performs a heating process, a press molding process, and a cooling process, and heating, molding, and 2. Description of the Related Art A moving mold type apparatus that shortens a molding cycle by advancing each cooling process in parallel with a plurality of molding materials is known (see, for example, Patent Document 1).

この種の成形装置においては、内部を不活性ガス等の非酸化性雰囲気に保つため、１つの箱型の隔離チャンバ内に、各ユニットを並列配置するとともに、ユニット間において金型部を搬送する搬送ユニットを備えている。   In this type of molding apparatus, in order to keep the inside in a non-oxidizing atmosphere such as an inert gas, the units are arranged in parallel in one box-shaped isolation chamber, and the mold part is transported between the units. A transport unit is provided.

このような成形装置において、一般的に、隔離チャンバに組み込まれるユニットは夫々１つ又は２つ以上設けられるが、その個数は固定されている。すなわち、予め被成形材や成形品の特性に合わせて決定される処理時間に応じて設定されたユニット数が組み込まれている。例えば、複数のユニットで並行して複数の被成形材に処理を行う場合には、例えば、最も長く時間のかかるユニットの処理時間の経過後に一斉にユニットが開き、搬送ユニットにより金型部が隣のユニットへと搬送される。   In such a molding apparatus, generally, one or two or more units are provided in the isolation chamber, but the number is fixed. That is, the number of units set in advance according to the processing time determined in accordance with the characteristics of the material to be molded and the molded product is incorporated. For example, when processing a plurality of molding materials in parallel in a plurality of units, for example, the units are opened simultaneously after the processing time of the unit that takes the longest time elapses, and the mold unit is adjacent to the transport unit. To the next unit.

特開２００６−１９９５３７号公報JP 2006-199537 A

しかしながら、上記の技術では、以下のような問題がある。すなわち、上記の成形装置では、予め組み込まれるユニット数が固定されているため、対象となる成形品毎、規格毎に成形装置の設計変更や再製作が必要となる。このため、汎用性が低く、成形装置の製作コストが高いという問題がある。   However, the above technique has the following problems. In other words, in the above-described molding apparatus, the number of units to be incorporated is fixed in advance, so that it is necessary to change the design of the molding apparatus or remanufacture for each target molded product or standard. For this reason, there exists a problem that versatility is low and the manufacturing cost of a shaping | molding apparatus is high.

そこで本発明は、汎用性が高く、製作コストを低く抑えることができる成形装置を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a molding apparatus that has high versatility and can keep manufacturing costs low.

本発明の一例にかかる成形装置は、被成形材を保持する型ユニットと、前記型ユニットを加圧して前記被成形材を成形処理する成形部と、該成形部を囲繞する周壁部とを有するプレスユニットと、前記成形処理の前に前記型ユニットを加熱して前記被成形材を加熱処理する加熱部と、該加熱部を囲繞する周壁部とを有する加熱ユニットと、前記型ユニット を、前記加熱ユニット、及び前記プレスユニットを通る所定の搬送経路に沿って搬送する搬送ユニットと、前記プレスユニット、及び前記加熱ユニット、及び前記搬送ユニットを統括制御するホスト制御手段と、複数の前記周壁部同士が、互いに気密に連結されるとともに前記搬送経路における両端側を塞ぐ閉塞部を備えて構成された隔離チャンバと、を備え、前記プレスユニット及び前記加熱ユニットのうち少なくともいずれかは組み替え可能に構成されたことを特徴とする。   A molding apparatus according to an example of the present invention includes a mold unit that holds a molding material, a molding unit that pressurizes the molding unit to mold the molding material, and a peripheral wall that surrounds the molding unit. A heating unit having a press unit, a heating unit that heats the mold unit before the molding process and heat-treats the material to be molded, a peripheral wall that surrounds the heating unit, and the mold unit. A heating unit, a transport unit that transports along a predetermined transport path passing through the press unit, a host control unit that performs overall control of the press unit, the heating unit, and the transport unit, and a plurality of the peripheral wall portions And an isolation chamber configured to be closed with airtightly connected to each other and to close both end sides of the transport path, and the press unit. At least one of the fine said heating unit, characterized in that it is configured to be reclassified.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記成形処理の後に前記型ユニットを冷却して前記被成形材が前記成形処理された成形品を冷却処理する冷却部と、該冷却部を囲繞する周壁部と、を有する冷却ユニットをさらに備え、前記搬送ユニットは、前記型ユニットを、前記加熱ユニット、前記プレスユニット及び前記冷却ユニットを通る所定の搬送経路に沿って搬送し、前記ホスト制御手段は、前記プレスユニット、前記加熱ユニット、冷却ユニット及び前記搬送ユニットを統括制御することを特徴とする。   A molding apparatus according to another example of the present invention surrounds the cooling unit, a cooling unit that cools the mold unit after the molding process, and cools the molded product that has been molded by the material to be molded. A cooling unit having a peripheral wall, and the transport unit transports the mold unit along a predetermined transport path passing through the heating unit, the press unit, and the cooling unit, and the host control means The press unit, the heating unit, the cooling unit, and the transport unit are collectively controlled.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記隔離チャンバの内部が減圧状態または不活性ガス状態に保持可能であることを特徴とする。   A molding apparatus according to another example of the present invention is characterized in that the inside of the isolation chamber can be maintained in a reduced pressure state or an inert gas state.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記プレスユニット及び前記加熱ユニットは、それぞれユニット毎に独立して制御可能な独立制御手段を備えるとともに、前記独立制御手段は前記ホスト制御手段により制御されることを特徴とする。   In a molding apparatus according to another example of the present invention, the press unit and the heating unit each include independent control means that can be controlled independently for each unit, and the independent control means is controlled by the host control means. It is characterized by that.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記加熱ユニット及び前記プレスユニットが少なくとも１つずつ前記搬送経路に沿って並列して配置され、前記加熱ユニットの前記周壁部、前記プレスユニットの前記周壁部、及び前記冷却ユニットの前記周壁部が互いに着脱可能に連結されて前記隔離チャンバを成すことを特徴とする。   In the molding apparatus according to another example of the present invention, at least one of the heating unit and the press unit is arranged in parallel along the transport path, the peripheral wall portion of the heating unit, and the peripheral wall of the press unit. And the peripheral wall portion of the cooling unit are detachably connected to each other to form the isolation chamber.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記加熱部は、互いに接離可能に構成されるとともに、ヒータ機構を有し、その間に前記型ユニットが配された状態で、互いに近接することにより前記型ユニットを加熱する、複数の加熱プレートを備え、前記プレス部は、互いに接離可能に構成され、その間に前記型ユニットが配された状態で互いに近接することにより前記型ユニットに挟持された被成形材を加圧してプレス成形する、複数のプレスプレートを備え、前記冷却部は、互いに接離可能に構成されるとともに冷却機構を有し、その間に前記型ユニットが配された状態で、互いに近接することにより前記型ユニットを冷却する、複数の冷却プレートを備え、前記搬送ユニットは、前記プレスプレート同士、前記加熱プレート同士、及び前記冷却プレート同士が互いに離間する開状態において、前記型ユニットを搬送することを特徴とする。   A molding apparatus according to another example of the present invention is configured such that the heating units are configured to be able to contact and separate from each other and have a heater mechanism, and the mold units are disposed therebetween so as to approach each other. A plurality of heating plates for heating the mold unit are provided, and the press portions are configured to be able to contact and separate from each other, and are sandwiched between the mold units by being close to each other with the mold unit disposed therebetween. A plurality of press plates are formed by press-molding a material to be pressed, and the cooling unit is configured to be able to contact and separate from each other and has a cooling mechanism, and the mold unit is disposed therebetween, The cooling unit includes a plurality of cooling plates that cool the mold unit by being close to each other, and the transport unit includes the press plates, the heating plates, and the In open state retirement plate to each other away from each other, characterized by conveying the mold unit.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記冷却ユニットは、前記冷却プレートにヒータ機構が設けられ、前記ヒータ機構の温度設定により前記被成形材を冷却することを特徴とする。   The molding apparatus according to another example of the present invention is characterized in that the cooling unit is provided with a heater mechanism in the cooling plate, and cools the material to be molded by setting a temperature of the heater mechanism.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記冷却ユニットは、前記冷却プレートに冷媒流路が設けられ、前記冷媒により前記被成形材を冷却することを特徴とする。   The molding apparatus according to another example of the present invention is characterized in that the cooling unit is provided with a coolant channel in the cooling plate and cools the material to be molded by the coolant.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記冷却ユニットとして、前記冷却プレートにヒータ機構が設けられ、前記ヒータ機構の温度設定により前記被成形材を冷却する第１の冷却ユニットと、前記冷却プレートに冷媒流路が設けられ、前記冷媒により前記被成形材を冷却する第２の冷却ユニットと、を備えたことを特徴とする。   In the molding apparatus according to another example of the present invention, a heater mechanism is provided on the cooling plate as the cooling unit, and a first cooling unit that cools the material to be molded by setting a temperature of the heater mechanism; The plate is provided with a refrigerant flow path, and includes a second cooling unit that cools the molding material with the refrigerant.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記搬送ユニットは、複数の金型ユニットにそれぞれ設けられるとともに前記搬送経路に沿って延びる連結部と、前記搬送経路の一端側から他端側に向かって前記連結部を前記搬送経路に沿って押し出す押し出し機構と、を備え、前記連結部の長さは前記ユニット間のピッチに対応し、隣り合う前記連結部の端部同士が互いに係合可能に構成されたことを特徴とする。   In a molding apparatus according to another example of the present invention, the transport unit is provided in each of a plurality of mold units, and extends along the transport path, and from one end side to the other end side of the transport path. And an extruding mechanism for extruding the connecting portion along the transport path, the length of the connecting portion corresponds to the pitch between the units, and the ends of the adjacent connecting portions can be engaged with each other. It is structured.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、複数の前記周壁部は同様の着脱構造を有し、前記加熱ユニット、前記プレスユニット及び前記冷却ユニットの少なくともいずれかを増減することが可能に構成されたことを特徴とする。   A molding apparatus according to another example of the present invention is configured such that a plurality of the peripheral wall portions have the same detachable structure, and can increase or decrease at least one of the heating unit, the press unit, and the cooling unit. It is characterized by that.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記型ユニットは、成形品の上側の形状に対応して形成される上型と、前記上型に対向して配置されるとともに成形品の下側の形状に対応して形成される下型と、を備える型部と、前記型部が載置される支持部と、を備え、前記ステージ部の下面、または前記支持部が載置される前記加熱プレート、前記プレスプレート、及び前記冷却プレートの対向面の少なくともいずれかに、上下方向及び前記搬送方向に対して垂直方向に傾斜するテーパ面を有する案内部が形成されたことを特徴とする。   In the molding apparatus according to another example of the present invention, the mold unit is disposed so as to correspond to the shape of the upper side of the molded product, and disposed on the lower side of the molded product while facing the upper mold. A lower mold formed corresponding to the shape of the mold section, and a support section on which the mold section is mounted, and the lower surface of the stage section or the support section is mounted A guide portion having a tapered surface inclined in a vertical direction and a direction perpendicular to the transport direction is formed on at least one of the opposing surfaces of the heating plate, the press plate, and the cooling plate.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記隔離チャンバの内部と外部とを連通するとともに、その内部を減圧状態または不活性ガス状態に保持可能なロードロック室をさらに備えたことを特徴とする。   The molding apparatus according to another example of the present invention further includes a load lock chamber that allows the inside and the outside of the isolation chamber to communicate with each other and that the inside can be maintained in a decompressed state or an inert gas state. To do.

本発明によれば、成形装置において、汎用性が高く、製作コストを低く抑えることが可能となる。   According to the present invention, in a molding apparatus, versatility is high and manufacturing costs can be kept low.

本発明の第１実施形態に係る成形装置の構成を一部切欠して示す平面図。FIG. 3 is a plan view showing a part of the configuration of the molding apparatus according to the first embodiment of the present invention. 同成形装置の構成を成形装置の構成を一部切欠して示す側面図。The side view which shows the structure of the shaping | molding apparatus by notching the structure of a shaping | molding apparatus partially. 同成形装置を示す説明図。Explanatory drawing which shows the molding apparatus. 同成形装置の金型ユニットを示す平面図。The top view which shows the die unit of the molding apparatus. 同金型ユニットを示す側面図。The side view which shows the same mold unit. 同金型ユニットの型部を示す側面図。The side view which shows the type | mold part of the same die unit. 同成形装置の搬入ユニットの構成を一部切欠して示す側面図。The side view which shows a part of structure of the carrying-in unit of the molding apparatus in a cutaway manner. 同成形装置の搬出ユニットの構成を一部切欠して示す側面図。The side view which shows a part of structure of the carrying-out unit of the molding apparatus in a cutaway manner. 同成形装置のユニットの増減を示す説明図。Explanatory drawing which shows increase / decrease in the unit of the shaping | molding apparatus. 本発明の第２実施形態に係る成形装置の型ユニット及びガイドレール部を示す説明図。Explanatory drawing which shows the type | mold unit and guide rail part of the shaping | molding apparatus which concern on 2nd Embodiment of this invention.

［第１実施形態］
以下に本発明の第１実施形態について、図１乃至図８を参照して説明する。なお、各図において適宜構成を拡大、縮小、省略して示している。 [First Embodiment]
A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. In each drawing, the configuration is appropriately enlarged, reduced, or omitted.

図１及び図２に示す成形装置１０は、ガラス素材等の被成形材１を、加熱処理により軟化させ、プレス処理により成形し、成形品としてデジタルカメラ等に代表される非球面ガラスレンズ等の光学ガラス素子２を製造する成形装置１０である。   A molding apparatus 10 shown in FIG. 1 and FIG. 2 softens a molding material 1 such as a glass material by heat treatment, molds it by press processing, and forms a molded product such as an aspheric glass lens represented by a digital camera or the like. This is a molding apparatus 10 for producing the optical glass element 2.

成形装置１０は、被成形材１または光学ガラス素子２を保持する金型ユニット２０（型ユニット）と、金型ユニット２０を加圧して被成形材１をプレス成形処理する２つのプレスユニット４０と、プレス成形処理の前に金型ユニット２０を加熱して被成形材１を加熱処理する２つの加熱ユニット３０と、プレスユニット４０にて成形処理された後の光学ガラス素子２（成形品）を徐冷処理する２つの徐冷ユニット５０と、徐冷処理された光学ガラス素子２を急冷処理する急冷ユニット６０と、金型ユニット２０を搬送する搬送ユニット７０と、図中Ｘ軸に沿う搬送経路の両端にそれぞれ設けられた搬入ユニット８０及び搬出ユニット９０と、これらユニット２０，３０，４０，５０，６０，７０，８０，９０のトンネル部１６を備えて構成され外部の大気から隔離する隔離チャンバ１１と、各ユニット及び隔離チャンバ１１の動作を制御するホスト制御部１２（図３に示す）と、を備えている。   The molding apparatus 10 includes a mold unit 20 (mold unit) that holds the molding material 1 or the optical glass element 2, and two press units 40 that press the mold unit 20 and press-mold the molding material 1. Two heating units 30 for heating the mold unit 20 by heating the mold unit 20 before the press molding process, and the optical glass element 2 (molded product) after the molding process by the press unit 40 are performed. Two slow cooling units 50 for performing slow cooling processing, a rapid cooling unit 60 for rapidly cooling the optical glass element 2 subjected to the slow cooling processing, a transport unit 70 for transporting the mold unit 20, and a transport path along the X axis in the figure And a tunnel unit 16 of these units 20, 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90, respectively. The isolation chamber 11 is isolated from outside atmosphere, and a host controller 12 for controlling the operation of each unit and the isolation chamber 11 (shown in FIG. 3), the.

隔離チャンバ１１には、隔離チャンバ１１の内部の気体を排出可能な真空ポンプ１３と窒素ガスを供給する窒素ガス供給ユニット１４が接続されている。これらにより、隔離チャンバ１１は高温にされる金型ユニット２０が酸化することを防止するように、大気に対して隔離された状態の真空雰囲気か、または不活性ガス雰囲気に置換可能に構成されている。   The isolation chamber 11 is connected to a vacuum pump 13 that can exhaust the gas inside the isolation chamber 11 and a nitrogen gas supply unit 14 that supplies nitrogen gas. Accordingly, the isolation chamber 11 is configured to be replaceable with a vacuum atmosphere isolated from the atmosphere or with an inert gas atmosphere so as to prevent the mold unit 20 to be heated from being oxidized. Yes.

複数のユニットは、Ｘ軸に沿う搬送方向の一端側（図１中右側）から順番に、搬入ユニット８０、１つ目の加熱ユニット３０、２つ目の加熱ユニット３０、１つ目のプレスユニット４０、２つ目のプレスユニット４０、１つ目の徐冷ユニット５０、２つ目の徐冷ユニット５０、急冷ユニット６０、搬出ユニット９０、の順で同じ間隔（ユニットピッチ）Ｐ１で並列されている。これら各ユニット３０，４０，５０，６０は組み替え可能に構成されている。   The plurality of units, in order from the one end side in the conveying direction along the X axis (the right side in FIG. 1), the carry-in unit 80, the first heating unit 30, the second heating unit 30, and the first press unit. 40, the second press unit 40, the first slow cooling unit 50, the second slow cooling unit 50, the rapid cooling unit 60, and the carry-out unit 90 are arranged in parallel at the same interval (unit pitch) P1. Yes. These units 30, 40, 50, 60 are configured to be rearranged.

図４〜図６に示すように、金型ユニット２０は、光学ガラス素子２の上側の形状に対応して形成される上金型２１（上型）と、上金型２１に対向して配置されるとともに光学ガラス素子２の下側の形状に対応して形成される下金型２２（下型）と、上金型２１及び下金型２２の外周部分に配置され光学ガラス素子２の外周部分の形状を成す筒状のガイド部材２３と、を備える型部２４と、型部２４を保持する保持部２５と、を備えている。   As shown in FIGS. 4 to 6, the mold unit 20 is disposed so as to face the upper mold 21 and the upper mold 21 (upper mold) formed corresponding to the upper shape of the optical glass element 2. And the lower mold 22 (lower mold) formed corresponding to the lower shape of the optical glass element 2 and the outer periphery of the optical glass element 2 disposed on the outer peripheral portion of the upper mold 21 and the lower mold 22. A mold part 24 including a cylindrical guide member 23 having a shape of a part, and a holding part 25 that holds the mold part 24 are provided.

上金型２１及び下金型２２はともにガイド部材２３に挿入されている。この上金型２１と下金型２２との間に被成形材１が配置される。   Both the upper mold 21 and the lower mold 22 are inserted into the guide member 23. The workpiece 1 is disposed between the upper mold 21 and the lower mold 22.

保持部２５は矩形の板状に構成された支持トレイ２６（支持部）と、支持トレイ２６から搬送経路の幅方向両端側に延びる延出部２７と、この延出部２７に接続されて搬送方向に延びる連結部２８とを備えて構成されている。   The holding portion 25 is connected to the support tray 26 (support portion) configured in a rectangular plate shape, an extension portion 27 extending from the support tray 26 to both ends in the width direction of the transport path, and connected to the extension portion 27 for transport. And a connecting portion 28 extending in the direction.

支持トレイ２６の上面の中央部に円形の凹部２６ａが形成されている。この凹部２６ａに下金型２２が載置されて型部２４が保持される。   A circular recess 26 a is formed at the center of the upper surface of the support tray 26. The lower mold 22 is placed in the recess 26a and the mold part 24 is held.

図６に示すように、支持トレイ２６の下面における搬送方向両端部には上下方向及び搬送方向に対して垂直方向に傾斜するテーパ面を有する案内部２６ｂが形成されている。これにより隣り合うユニットのプレート同士の間での搬送がスムーズに行われる。   As shown in FIG. 6, guide portions 26 b having tapered surfaces that are inclined in the vertical direction and in the vertical direction with respect to the transport direction are formed at both ends in the transport direction on the lower surface of the support tray 26. Thereby, conveyance between the plates of adjacent units is performed smoothly.

支持トレイ２６の搬送方向と交差する両端に、それぞれ搬送方向に延びる連結部２８が設けられている。連結部２８は、例えば、熱伝導率の小さなセラミクス、発泡セラミクス等から構成される細長部材であって、隣り合うユニットに配置された連結部２８同士が搬送方向において連続するように係合し、後述する搬送ユニット７０によって搬送される。   At both ends that intersect the transport direction of the support tray 26, connecting portions 28 that extend in the transport direction are provided. The connecting portion 28 is an elongated member made of, for example, ceramics having a low thermal conductivity, foamed ceramics, or the like, and is engaged so that the connecting portions 28 arranged in adjacent units are continuous with each other in the transport direction. It is transported by a transport unit 70 described later.

連結部２８の搬送方向における長さは、搬入ユニット８０、加熱ユニット３０、プレスユニット４０、徐冷ユニット５０、急冷ユニット６０、搬出ユニット９０、のユニット同士の間隔であるユニットピッチＰ１と同じ長さに設定されている。すなわち、隣り合うユニットに載置される金型ユニット２０の連結部２８同士が連続するように構成されている。   The length of the connecting portion 28 in the transport direction is the same as the unit pitch P1 which is the interval between the carry-in unit 80, the heating unit 30, the press unit 40, the slow cooling unit 50, the rapid cooling unit 60, and the carry-out unit 90. Is set to That is, it is comprised so that the connection parts 28 of the metal mold unit 20 mounted in an adjacent unit may continue.

図１及び図２に示すように、搬送方向に並列配置された２つの加熱ユニット３０は、それぞれ、周壁部としてのトンネル部１６と、このトンネル部１６に囲まれる領域において金型ユニット２０を挟むように上下に配置された上下の加熱プレート３１（加熱部）と、上下の加熱プレート３１にそれぞれ連結して上下方向に延びる支持軸３２と、上側の加熱プレート３１に接続される昇降手段としてのエアシリンダ３３と、これらの動作を制御する加熱制御部３４（図３に示す）と、を備えて構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the two heating units 30 arranged in parallel in the transport direction sandwich the mold unit 20 in the tunnel portion 16 as a peripheral wall portion and the region surrounded by the tunnel portion 16. The upper and lower heating plates 31 (heating units) arranged above and below, the support shaft 32 connected to the upper and lower heating plates 31 and extending in the vertical direction, and the lifting means connected to the upper heating plate 31 An air cylinder 33 and a heating control unit 34 (shown in FIG. 3) for controlling these operations are provided.

複数のトンネル部１６は、それぞれ加熱プレート３１、プレスプレート４１、徐冷プレート５１、急冷プレートの周囲を囲繞するとともに搬送方向における両端が開口する筒状に構成され、搬送方向両端の開口縁に規格化された着脱構造１６ａが設けられている。この着脱構造１６ａによって、他のユニットのトンネル部１６に気密に連結することが可能であり、かつ、この連結を解除することが出来る。なお、複数のトンネル部１６は全て同じ形状に構成され、端部の開口縁に規格化された着脱構造１６ａが設けられている。   Each of the plurality of tunnel portions 16 is configured in a cylindrical shape that surrounds the periphery of the heating plate 31, the press plate 41, the slow cooling plate 51, and the rapid cooling plate, and is open at both ends in the transport direction. An integrated attachment / detachment structure 16a is provided. By this detachable structure 16a, it is possible to airtightly connect to the tunnel portion 16 of another unit, and this connection can be released. The plurality of tunnel portions 16 are all configured in the same shape, and a standardized detachable structure 16a is provided at the opening edge of the end portion.

上下の加熱プレート３１は、矩形の板状に構成され、炭化珪素、炭素、窒化ホウ素、など、熱伝導が良く、潤滑性に優れ、安価な材料で構成される。加熱プレート３１には、加熱用のヒータ機構３６が組み込まれている。さらに上側の加熱プレート３１はエアシリンダ３３によって上下に昇降可能な構成となっている。   The upper and lower heating plates 31 are formed in a rectangular plate shape, and are made of an inexpensive material such as silicon carbide, carbon, boron nitride, etc. that has good thermal conductivity, excellent lubricity, and the like. A heater mechanism 36 for heating is incorporated in the heating plate 31. Further, the upper heating plate 31 can be moved up and down by an air cylinder 33.

この上側の加熱プレート３１を下降させ、下側の加熱プレート３１上に置かれた金型ユニット２０に接触及び加圧することにより加熱処理がなされる。このとき、加熱制御部３４により、所望する温度に温調される。   The upper heating plate 31 is lowered, and heat treatment is performed by contacting and pressurizing the mold unit 20 placed on the lower heating plate 31. At this time, the temperature is adjusted to a desired temperature by the heating control unit 34.

図３に示すように、加熱制御部３４は加熱ユニット３０における処理を行うために必要な所定の機能を有する制御盤３５が設けられており、規格化信号入力ポート３５ａ及び規格化信号出力ポート３５ｂを通じてシステム全体を統括制御するホスト制御部１２と接続されている。すなわち、加熱制御部３４は、入力ポート３５ａ及び出力ポート３５ｂを介してホスト制御部１２に接続され、規格化された信号によりホスト制御部１２に制御される。ユニット毎の夫々の機能は限定されているので、加熱制御部３４の入出力信号は少なく、例えば加熱ユニット３０に必要な情報として、「加熱時間」「加熱温度」「プロセス開始信号」「プロセス終了信号」などがある。   As shown in FIG. 3, the heating control unit 34 is provided with a control panel 35 having a predetermined function necessary for performing processing in the heating unit 30, and includes a standardized signal input port 35a and a standardized signal output port 35b. And is connected to a host control unit 12 that performs overall control of the entire system. That is, the heating control unit 34 is connected to the host control unit 12 via the input port 35a and the output port 35b, and is controlled by the host control unit 12 by a standardized signal. Since the functions of each unit are limited, the input / output signals of the heating control unit 34 are small. For example, information necessary for the heating unit 30 includes “heating time” “heating temperature” “process start signal” “process end” Signal ".

図１及び図２に示すように、搬送方向に並列配置された２つのプレスユニット４０は、それぞれ、搬送方向における両端が開口する筒状の周壁部としてのトンネル部１６と、このトンネル部１６に囲まれる領域において金型ユニット２０を挟むように上下に配置された上下のプレスプレート４１（プレス部）と、上下のプレスプレート４１にそれぞれ連結して上下方向に延びる支持軸４２と、上側のプレスプレート４１に接続される昇降手段としてのエアシリンダ４３と、これらの動作を制御するプレス制御部４４と、を備えて構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the two press units 40 arranged in parallel in the transport direction include a tunnel portion 16 as a cylindrical peripheral wall portion having both ends opened in the transport direction, and the tunnel portion 16. An upper and lower press plate 41 (press part) arranged vertically so as to sandwich the mold unit 20 in an enclosed area, a support shaft 42 connected to the upper and lower press plates 41 and extending in the vertical direction, and an upper press An air cylinder 43 as lifting means connected to the plate 41 and a press control unit 44 for controlling these operations are provided.

上下のプレスプレート４１は、矩形の板状に構成され、熱伝導性が良くかつ硬質材である超硬あるいはＳｉＣなどの材料で構成される。上側のプレスプレート４１はエアシリンダ４３によって上下に昇降可能な構成となり、また上側の支持軸４２には、プレスプレート４１の位置やプレス力を検出するプレス検出部４６が設けられている。   The upper and lower press plates 41 are formed in a rectangular plate shape, and are made of a material such as cemented carbide or SiC that has a good thermal conductivity and is a hard material. The upper press plate 41 can be moved up and down by an air cylinder 43, and the upper support shaft 42 is provided with a press detector 46 that detects the position of the press plate 41 and the pressing force.

この上側のプレスプレート４１を下降させ、下側のプレスプレート４１上に置かれた金型ユニット２０を加圧することにより加熱処理がなされる。このとき、プレス検出部４６の検出結果に応じてプレス制御部４４により所望のプレス力に調整される。なお、プレスプレート４１に、さらにヒータを備え、所望する温度に温調するようにしても良い。   The upper press plate 41 is lowered, and the mold unit 20 placed on the lower press plate 41 is pressurized to perform heat treatment. At this time, the press control unit 44 adjusts to a desired pressing force according to the detection result of the press detection unit 46. Note that the press plate 41 may be further provided with a heater to adjust the temperature to a desired temperature.

図３に示すように、プレス制御部４４はプレスユニット４０における処理を行うために必要な所定の機能を有する制御盤４５が設けられており、制御盤４５は、入力ポート４５ａ及び出力ポート４５ｂを介してホスト制御部１２に接続され、規格化された信号によりホスト制御部１２に制御される。プレスユニット４０に必要な情報として、「プレス力」「プレス時間」「プレス温度」「プロセス開始信号」「プロセス終了信号」などがある。   As shown in FIG. 3, the press control unit 44 is provided with a control panel 45 having a predetermined function necessary for performing processing in the press unit 40. The control panel 45 includes an input port 45a and an output port 45b. And is controlled by the host control unit 12 by a standardized signal. Information necessary for the press unit 40 includes “press force”, “press time”, “press temperature”, “process start signal”, “process end signal”, and the like.

図１及び図２に示すように、搬送方向に並列配置された２つの徐冷ユニット５０は、それぞれ、搬送方向における両端が開口する筒状の周壁部としてのトンネル部１６と、このトンネル部１６に囲まれる領域において金型ユニット２０を挟むように上下に配置された上下の徐冷プレート５１（冷却部）と、上下の徐冷プレート５１にそれぞれ連結して上下方向に延びる支持軸５２と、上側の徐冷プレート５１に接続される昇降手段としてのエアシリンダ５３と、これらのユニットの動作を制御する徐冷制御部５４（図３に示す）と、を備えて構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the two slow cooling units 50 arranged in parallel in the transport direction include a tunnel portion 16 as a cylindrical peripheral wall portion having both ends opened in the transport direction, and the tunnel portion 16. An upper and lower slow cooling plate 51 (cooling part) disposed above and below so as to sandwich the mold unit 20 in a region surrounded by, and a support shaft 52 connected to the upper and lower slow cooling plate 51 and extending in the vertical direction, An air cylinder 53 serving as an elevating means connected to the upper slow cooling plate 51 and a slow cooling control unit 54 (shown in FIG. 3) for controlling the operation of these units are configured.

上下の徐冷プレート５１は、矩形の板状に構成され、熱伝導性が良くかつ硬質材である超硬あるいはＳｉＣ等の材料で構成される。徐冷プレート５１には、徐冷用のヒータ機構５６が組み込まれている。さらに上側の徐冷プレート５１はエアシリンダ５３によって上下に昇降可能な構成となっている。   The upper and lower slow cooling plates 51 are formed in a rectangular plate shape, and are made of a material such as cemented carbide or SiC that has a good thermal conductivity and is a hard material. The slow cooling plate 51 incorporates a heater mechanism 56 for slow cooling. Further, the upper slow cooling plate 51 is configured to be moved up and down by an air cylinder 53.

この上側の徐冷プレート５１を下降させ、下側の徐冷プレート５１上に置かれた金型ユニット２０に接触及び加圧することにより徐冷処理がなされる。このとき、徐冷制御部５４により、所望する温度に温調される。   The upper cooling plate 51 is lowered, and a slow cooling process is performed by contacting and pressurizing the mold unit 20 placed on the lower annealing plate 51. At this time, the temperature is adjusted to a desired temperature by the slow cooling control unit 54.

図３に示すように、徐冷制御部５４は徐冷ユニット５０における処理を行うために必要な所定の機能を有する制御盤５５が設けられており、規格化信号入力ポート５５ａ及び規格化信号出力ポート５５ｂを通じてシステム全体を統括制御するホスト制御部１２と接続されている。すなわち、徐冷制御部５４は、入力ポート５５ａ及び出力ポート５５ｂを介してホスト制御部１２に接続され、規格化された信号によりホスト制御部１２に制御される。ユニット毎の夫々の機能は限定されているので、徐冷制御部５４の入出力信号は少なく、例えば徐冷ユニット５０に必要な情報として、「徐冷時間」「徐冷温度」「プロセス開始信号」「プロセス終了信号」などがある。   As shown in FIG. 3, the slow cooling control unit 54 is provided with a control panel 55 having a predetermined function necessary for performing processing in the slow cooling unit 50, and includes a standardization signal input port 55 a and a standardization signal output. It is connected to the host controller 12 that controls the entire system through the port 55b. That is, the slow cooling control unit 54 is connected to the host control unit 12 through the input port 55a and the output port 55b, and is controlled by the host control unit 12 by a standardized signal. Since the functions of each unit are limited, there are few input / output signals of the slow cooling control unit 54. For example, as the information required for the slow cooling unit 50, "slow cooling time", "slow cooling temperature", "process start signal" "Process end signal".

図１及び図２に示すように、第２の冷却ユニットとしての急冷ユニット６０は、搬送方向における両端が開口する筒状の周壁部としてのトンネル部１６と、このトンネル部１６に囲まれる領域において金型ユニット２０を挟むように上下に配置された上下の急冷プレート６１（冷却部）と、上下の急冷プレート６１にそれぞれ連結して上下方向に延びる支持軸６２と、上側の急冷プレート６１に接続される昇降手段としてのエアシリンダ６３と、これらのユニットの動作を制御する急冷制御部６４（図３に示す）と、を備えて構成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the rapid cooling unit 60 as the second cooling unit includes a tunnel portion 16 as a cylindrical peripheral wall portion having both ends opened in the transport direction, and a region surrounded by the tunnel portion 16. Connected to the upper and lower quenching plates 61, the upper and lower quenching plates 61 (cooling portions) arranged vertically so as to sandwich the mold unit 20, the support shaft 62 connected to the upper and lower quenching plates 61 and extending vertically. The air cylinder 63 is used as an elevating means, and a rapid cooling control unit 64 (shown in FIG. 3) for controlling the operation of these units.

上下の急冷プレート６１は、矩形の板状に構成され、熱伝導性が良くかつ硬質材である超硬あるいはＳｉＣ等の材料で構成される。急冷プレート６１には、冷却触媒を流す流路を構成する冷媒配管６６が組み込まれている。さらに上側の急冷プレート６１はエアシリンダ６３によって上下に昇降可能な構成となっている。   The upper and lower quenching plates 61 are formed in a rectangular plate shape, and are made of a material such as cemented carbide or SiC that has a good thermal conductivity and is a hard material. The quenching plate 61 incorporates a refrigerant pipe 66 that constitutes a flow path through which the cooling catalyst flows. Further, the upper quenching plate 61 can be moved up and down by an air cylinder 63.

この上側の急冷プレート６１を下降させ、下側の急冷プレート６１上に置かれた金型ユニット２０に接触及び加圧することにより急冷処理がなされる。このとき、所望する温度に温調される。   The upper quenching plate 61 is lowered, and the die unit 20 placed on the lower quenching plate 61 is brought into contact with and pressurized to perform a rapid cooling process. At this time, the temperature is adjusted to a desired temperature.

急冷制御部６４は加熱ユニット３０における処理を行うために必要な所定の機能を有する制御盤６５が設けられており、規格化信号入力ポート６５ａ及び規格化信号出力ポート６５ｂを通じてシステム全体を統括制御するホスト制御部１２と接続されている。すなわち、急冷制御部６４は、入力ポート６５ａ及び出力ポート６５ｂを介してホスト制御部１２に接続され、規格化された信号によりホスト制御部１２に制御される。ユニット毎の夫々の機能は限定されているので、急冷制御部６４の入出力信号は少なく、例えば急冷ユニット６０に必要な情報として、「冷却時間」「冷却温度」「プロセス開始信号」「プロセス終了信号」などがある。   The rapid cooling control unit 64 is provided with a control panel 65 having a predetermined function necessary for performing processing in the heating unit 30, and controls the entire system through the standardized signal input port 65a and the standardized signal output port 65b. It is connected to the host controller 12. That is, the rapid cooling control unit 64 is connected to the host control unit 12 through the input port 65a and the output port 65b, and is controlled by the host control unit 12 by a standardized signal. Since the functions of each unit are limited, there are few input / output signals of the rapid cooling control unit 64. For example, as information necessary for the rapid cooling unit 60, “cooling time” “cooling temperature” “process start signal” “process end” Signal ".

図１及び図２に示すように、搬入ユニット８０は搬送方向における一端側、すなわち加熱ユニット３０の隣（図中右側）に配置されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the carry-in unit 80 is arranged at one end side in the transport direction, that is, next to the heating unit 30 (right side in the drawing).

搬入ユニット８０の一例を図７に示す。搬入ユニット８０の上部には、搬入側ゲート弁１０７、ロードロック室カバー１０３で形成される搬入側ロードロック室１１０、が設置されている。搬入側ゲート弁１０７を介して、支持トレイ２６がトンネル部１６と搬入側ロードロック室１１０との間を往復移動可能に構成されている。   An example of the carry-in unit 80 is shown in FIG. In the upper part of the carry-in unit 80, a carry-in side gate valve 107 and a load-in side load lock chamber 110 formed by the load lock chamber cover 103 are installed. The support tray 26 is configured to be capable of reciprocating between the tunnel portion 16 and the loading side load lock chamber 110 via the loading side gate valve 107.

ゲート弁１０７の上下にはシール機構１０４、１０６が設けられている。このシール機構によりトンネル部１６の気密を保持できる構造となっている。搬入側ロードロック室１１０を形成するロードロック室カバー１０３には、シリンダ軸シール１０１により気密状態を維持しつつ上下に移動可能なトレイ移動シリンダ１００が設けられている。トレイ移動シリンダ１００は支持トレイ２６を把持し、かつ、上下に支持トレイ２６を移動させる機能を有している。   Seal mechanisms 104 and 106 are provided above and below the gate valve 107. With this sealing mechanism, the tunnel portion 16 can be kept airtight. The load lock chamber cover 103 that forms the load-side load lock chamber 110 is provided with a tray moving cylinder 100 that can move up and down while maintaining an airtight state by the cylinder shaft seal 101. The tray moving cylinder 100 has a function of holding the support tray 26 and moving the support tray 26 up and down.

ロードロック室カバー１０３には、窒素供給ポート１０２及び窒素排気ポート１０５が設けられており、搬入側ロードロック室１１０を窒素置換することが出来る。   The load lock chamber cover 103 is provided with a nitrogen supply port 102 and a nitrogen exhaust port 105 so that the loading-side load lock chamber 110 can be replaced with nitrogen.

一方、搬入ユニット８０の下方には、移動時にガイドとなる搬入プレート８１と、この搬入プレート８１を載置可能な搬入プレート受台１０８と、支持トレイ２６を押し出すシリンダ軸７１と、搬入プレート受台移動シリンダ１０９と、が設置されている。搬入プレート受台１０８は搬入プレート受台移動シリンダ１０９により、図中左右方向に移動可能に構成されている。   On the other hand, below the carry-in unit 80, a carry-in plate 81 that serves as a guide during movement, a carry-in plate base 108 on which the carry-in plate 81 can be placed, a cylinder shaft 71 that pushes out the support tray 26, and a carry-in plate stand A moving cylinder 109 is installed. The carry-in plate pedestal 108 is configured to be movable in the left-right direction in the figure by a carry-in plate pedestal moving cylinder 109.

支持トレイ２６とシリンダ軸７１とは接触しているが互いに固定されていない。シリンダ軸７１は支持トレイ２６を図中左方向に押し出す機能を有しているが、右方に移動する機能は備えていない。   The support tray 26 and the cylinder shaft 71 are in contact but are not fixed to each other. The cylinder shaft 71 has a function of pushing the support tray 26 leftward in the figure, but does not have a function of moving to the right.

搬入プレート受台移動シリンダ１０９と搬入プレート８１とが固定され、搬入プレート受台移動シリンダ１０９を図中左右方向に自在に可動させることができる。   The carry-in plate holder moving cylinder 109 and the carry-in plate 81 are fixed, and the carry-in plate holder moving cylinder 109 can be freely moved in the left-right direction in the drawing.

次に、図８に搬出ユニット９０の一例を示す。搬出ユニット９０は搬入ユニット８０と同様に、ロードロック室カバー１２３で形成される搬出側ロードロック室１２９、搬出側ゲート弁１２６、搬出プレート９１、トレイ移動シリンダ１２０、シリンダ軸シール１２１、搬出プレート受台１２８、搬出プレート受台移動シリンダ１２７、シール機構１２４、１２５、を備え、搬出側ロードロック室１２９を介して支持トレイ２６と金型ユニット２０をトンネル部１６内の窒素雰囲気を壊すことなく取り出せる構造を有している。各部の機能及び構造は搬入ユニット８０と同一であるため説明を省略する。また、図示しない機構により、各シリンダ１０９，１２７，７３ａ、及びシリンダ軸７１と、隔離チャンバ１１との気密が保持されている。   Next, an example of the carry-out unit 90 is shown in FIG. Similarly to the carry-in unit 80, the carry-out unit 90 has a carry-out side load lock chamber 129 formed by a load lock chamber cover 123, a carry-out side gate valve 126, a carry-out plate 91, a tray moving cylinder 120, a cylinder shaft seal 121, a carry-out plate receiver. It is provided with a stand 128, a carry-out plate receiving moving cylinder 127, and seal mechanisms 124 and 125, and the support tray 26 and the mold unit 20 can be taken out via the carry-out side load lock chamber 129 without breaking the nitrogen atmosphere in the tunnel portion 16. It has a structure. Since the function and structure of each part are the same as the carry-in unit 80, description is abbreviate | omitted. The cylinders 109, 127, 73a, the cylinder shaft 71, and the isolation chamber 11 are kept airtight by a mechanism (not shown).

以上説明した、搬入ユニット８０、加熱ユニット３０、プレスユニット４０、徐冷ユニット５０、及び急冷ユニット６０、搬出ユニット９０は規格化されている。また、全てのトンネル部１６は規格化され、同形状に構成され、隣り合うトンネル部１６同士が互いに気密に連結可能、かつ、連結解除可能に構成されている。これら複数のトンネル部１６が互いに連結した状態において搬送経路の両端の開口部分が閉塞部１７で気密に閉塞され、略直方体などの箱型状の隔離チャンバ１１が構成されている。閉塞部１７は、規格化された着脱構造１６ａを備え、いずれのトンネル部１６とも着脱可能に構成されている。すなわち、隔離チャンバ１１は、各ユニットの外周に設けられたトンネル部１６と、その搬入側と搬出側の端部の閉塞部１７とにより構成され、内部に密閉された空間を形成する。   The carry-in unit 80, the heating unit 30, the press unit 40, the slow cooling unit 50, the rapid cooling unit 60, and the carry-out unit 90 described above are standardized. Moreover, all the tunnel parts 16 are standardized and comprised in the same shape, and the adjacent tunnel parts 16 can be connected to each other in an airtight manner and can be disconnected. In a state where the plurality of tunnel portions 16 are connected to each other, the opening portions at both ends of the transport path are hermetically closed by the closing portions 17, and a box-shaped isolation chamber 11 such as a substantially rectangular parallelepiped is configured. The blocking portion 17 includes a standardized attachment / detachment structure 16a and is configured to be attachable / detachable to / from any tunnel portion 16. That is, the isolation chamber 11 includes a tunnel portion 16 provided on the outer periphery of each unit, and a closing portion 17 at the end portion on the carry-in side and the carry-out side, and forms a sealed space inside.

また、下側の加熱プレート３１、プレスプレート４１、徐冷プレート５１、急冷プレート６１、搬入プレート８１、及び搬出プレート９１は、所定の搬送経路に沿って上面が同一水平面上になるように一端側から他端側へ並列して配置されている。このため、金型ユニット２０を水平に移動させるのみの単純な構成で搬送が可能である。   The lower heating plate 31, press plate 41, slow cooling plate 51, quenching plate 61, carry-in plate 81, and carry-out plate 91 are arranged at one end so that the upper surface is on the same horizontal plane along a predetermined transport path. To the other end side in parallel. For this reason, conveyance is possible with a simple configuration in which the mold unit 20 is only moved horizontally.

搬送ユニット７０は、金型ユニット２０の連結部２８に連結されるシリンダ軸７１と、ホスト制御部１２に接続されてシリンダ軸７１を搬送方向に移動させる搬送用エアシリンダ７２と、押し出し距離を規制するストッパシリンダ７３ａと、を備えて構成されている。シリンダ軸７１は連結部２８と同軸に延び、搬送方向の一端側の連結部２８の端部に連続している。   The conveyance unit 70 regulates the extrusion distance, a cylinder shaft 71 coupled to the coupling portion 28 of the mold unit 20, a conveyance air cylinder 72 connected to the host control unit 12 and moving the cylinder shaft 71 in the conveyance direction. And a stopper cylinder 73a. The cylinder shaft 71 extends coaxially with the connecting portion 28 and continues to the end of the connecting portion 28 on one end side in the transport direction.

搬送用エアシリンダ７２は、隔離チャンバ１１の搬入側の端部に設置され、搬送方向に沿って一定ストロークで、連結部２８を押し出しする機能を有する。この連結部２８の移動に伴って、各金型ユニット２０が支持トレイ２６ごと搬送経路に沿って押し出しされることにより、複数の金型ユニット２０を一端側から他端側へ順番に搬送する。   The transfer air cylinder 72 is installed at the end of the isolation chamber 11 on the carry-in side, and has a function of pushing out the connecting portion 28 with a constant stroke along the transfer direction. Along with the movement of the connecting portion 28, each mold unit 20 is pushed out along the transport path together with the support tray 26, thereby transporting the plurality of mold units 20 in order from one end side to the other end side.

ストッパシリンダ７３ａは、搬出側の端部近傍に配置され、搬送の際に支持トレイ２６に当接して位置を規制することにより搬送距離を規制する機能を有する。なお、一回の搬送における搬送距離は、ユニットピッチＰ１であり、１つの金型ユニット２０の連結部２８の長さと等しい距離に設定される。   The stopper cylinder 73a is disposed in the vicinity of the end on the carry-out side, and has a function of regulating the conveyance distance by abutting the support tray 26 and regulating the position during conveyance. In addition, the conveyance distance in one conveyance is the unit pitch P1, and is set to a distance equal to the length of the connecting portion 28 of one mold unit 20.

以下、本実施の形態に係る成形装置１０を用いて、被成形材１から成形品としての光学ガラス素子２を製造する手順について説明する。   Hereinafter, a procedure for manufacturing the optical glass element 2 as a molded product from the molding material 1 using the molding apparatus 10 according to the present embodiment will be described.

成形装置１０においては、各ユニットに１つずつ金型ユニット２０が配置され、複数のユニットでの複数の処理を並行して行うが、以下説明のために１つの金型を中心として手順を説明する。   In the molding apparatus 10, one mold unit 20 is arranged for each unit, and a plurality of processes in a plurality of units are performed in parallel, but the procedure will be described mainly for one mold for the following description. To do.

すなわち、１つのユニットにおいて１つの金型ユニット２０に対する処理が行われ、他の処理ユニットでは、他の金型ユニット２０に対しての処理が行われる。図１及び図２では各ユニットに夫々１つずつ金型ユニット２０が配置されている場合を示している。   That is, processing for one mold unit 20 is performed in one unit, and processing for another mold unit 20 is performed in another processing unit. 1 and 2 show a case in which one mold unit 20 is arranged for each unit.

まず、ホスト制御部１２において、図示しない入力部を介してオペレータの操作により所定の情報が入力される。   First, in the host control unit 12, predetermined information is input by an operator's operation via an input unit (not shown).

まず、図示されていない搬送手段により金型ユニット２０が支持トレイ２６上に載せられた状態で、図７中の搬入側ゲート弁１０７上に設置される。このとき、ロードロック室カバー１０３は開状態、搬入側ゲート弁１０７は閉状態となっている。   First, the mold unit 20 is placed on the carry-in gate valve 107 in FIG. 7 in a state where the mold unit 20 is placed on the support tray 26 by a conveying means (not shown). At this time, the load lock chamber cover 103 is open, and the carry-in side gate valve 107 is closed.

設置が終了すると、ロードロック室カバー１０３が閉じ、ロードロック室カバー１０３に固定されたトレイ移動シリンダ１００が支持トレイ２６を把持する。ロードロック室カバー１０３が閉状態になることにより、搬入側ロードロック室１１０への外気流入はなくなる。   When the installation is completed, the load lock chamber cover 103 is closed, and the tray moving cylinder 100 fixed to the load lock chamber cover 103 holds the support tray 26. When the load lock chamber cover 103 is closed, the outside air does not flow into the loading side load lock chamber 110.

次に、搬入側ロードロック室１１０内にパージ用窒素が窒素供給ポート１０２より供給されるとともに、窒素排気ポート１０５より排気される。なお、窒素排気ポート１０５を真空排気装置に接続すれば、一旦搬入側ロードロック室１１０を真空にしてから窒素ガスを供給することができるので、高速で完全なパージを実施することができる。   Next, purge nitrogen is supplied from the nitrogen supply port 102 into the loading-side load lock chamber 110 and exhausted from the nitrogen exhaust port 105. If the nitrogen exhaust port 105 is connected to a vacuum exhaust device, nitrogen gas can be supplied after the loading-side load lock chamber 110 is once evacuated, so that complete purge can be performed at high speed.

搬入側ロードロック室１１０内が窒素雰囲気になったら、搬入側ゲート弁１０７を開き、図中トレイ移動シリンダ１００で、支持トレイ２６、金型ユニット２０を搬入プレート８１上に載置する。   When the inside of the loading-side load lock chamber 110 becomes a nitrogen atmosphere, the loading-side gate valve 107 is opened, and the support tray 26 and the mold unit 20 are placed on the loading plate 81 by the tray moving cylinder 100 in the drawing.

載置が終了したら、図中端面１１１と端面１１２が接触するまで搬入プレート受台移動シリンダ１０９を図中左方へ移動させる。移動の際にはシリンダ軸７１は伸縮させず、端面１１１，１１２が接触したらシリンダ軸７１を伸長し、先端が支持トレイ２６に接するまで左方へ動かす。以上で、搬入工程が完了する。   When the placement is completed, the carry-in plate support moving cylinder 109 is moved to the left in the drawing until the end surface 111 and the end surface 112 in the drawing contact each other. When moving, the cylinder shaft 71 is not expanded and contracted. When the end surfaces 111 and 112 come into contact with each other, the cylinder shaft 71 is extended and moved to the left until the tip contacts the support tray 26. This completes the carry-in process.

加熱ユニット３０など他のユニットの処理が完了したらシリンダ軸７１で支持トレイ２６をユニットピッチＰ１分左方へ移動させる。この移動動作後、シリンダ軸７１及び搬入プレート受台移動シリンダ１０９を右方へ戻す。その後上記の作業を繰り返す。   When processing of other units such as the heating unit 30 is completed, the support tray 26 is moved to the left by the unit pitch P1 by the cylinder shaft 71. After this moving operation, the cylinder shaft 71 and the carry-in plate support moving cylinder 109 are returned to the right. Thereafter, the above operation is repeated.

次に、搬送ユニット７０により、搬入ユニット８０の金型ユニット２０を、１つ目の加熱ユニット３０の加熱プレート３１上へ移動する（搬送処理）。この搬送処理は、各ユニットの上側のプレートを上昇させ、各ユニットにおいて上下のプレートを互いに離間する開状態とした状態で行う。   Next, the mold unit 20 of the carry-in unit 80 is moved onto the heating plate 31 of the first heating unit 30 by the transport unit 70 (transport process). This transport process is performed in a state where the upper plate of each unit is raised and the upper and lower plates in each unit are separated from each other.

ホスト制御部１２は、例えば、各ユニットの「プロセス終了信号」が出力された場合に、搬送ユニット７０を動作させ、金型ユニット２０を移動させる。   For example, when the “process end signal” of each unit is output, the host control unit 12 operates the transport unit 70 and moves the mold unit 20.

すなわち、搬送ユニット７０の搬送ユニット７０の搬送用エアシリンダ７２で搬送方向（図中Ｘ方向）に沿って連結部２８を押し出すことにより、ユニットピッチＰ１と同じピッチで連なる複数の金型ユニット２０を同時に移動させる。このとき案内部２６ｂにより、ユニット間での搬送がスムーズに行われる。   That is, a plurality of mold units 20 connected at the same pitch as the unit pitch P1 are formed by pushing the connecting portion 28 along the transport direction (X direction in the drawing) by the transport air cylinder 72 of the transport unit 70. Move at the same time. At this time, the conveyance between the units is smoothly performed by the guide portion 26b.

１つ目の加熱ユニット３０において、上側の加熱プレート３１を下降させ、金型ユニット２０を上下の加熱プレート３１で挟み込むことにより、上金型２１、下金型２２、及び被成形材１を加熱し、所定の温度で被成形材１を軟化させる（加熱処理）。   In the first heating unit 30, the upper heating plate 31 is lowered and the mold unit 20 is sandwiched between the upper and lower heating plates 31, thereby heating the upper mold 21, the lower mold 22, and the workpiece 1. Then, the molding material 1 is softened at a predetermined temperature (heat treatment).

ついで、金型ユニット２０は、上述と同様の搬送処理によって、１つ目の加熱ユニット３０から２つ目の加熱ユニット３０へ搬送される。   Next, the mold unit 20 is transferred from the first heating unit 30 to the second heating unit 30 by the same transfer process as described above.

２つ目の加熱ユニット３０において、上側の加熱プレート３１を下降させ、金型ユニット２０を上下の加熱プレート３１で挟み込むことにより、上金型２１、下金型２２、及び被成形材１を加熱して上記１つ目の加熱ユニット３０での温度よりも高い温度で加熱処理し、被成形材１を軟化させる。   In the second heating unit 30, the upper heating plate 31 is lowered and the mold unit 20 is sandwiched between the upper and lower heating plates 31 to heat the upper mold 21, the lower mold 22, and the molding material 1. Then, heat treatment is performed at a temperature higher than the temperature in the first heating unit 30 to soften the molding material 1.

ついで、金型ユニット２０は、上述と同様の搬送処理によって、２つ目の加熱ユニット３０から１つ目のプレスユニット４０へ搬送される。   Next, the mold unit 20 is transferred from the second heating unit 30 to the first press unit 40 by the same transfer process as described above.

１つ目のプレスユニット４０おいて、上側のプレスプレート４１を下降させ、金型ユニット２０を上下のプレスプレート４１で挟み込むことにより、被成形材１をプレス成形する（プレス処理）。   In the first press unit 40, the upper press plate 41 is lowered and the mold unit 20 is sandwiched between the upper and lower press plates 41 to press-mold the material 1 (press process).

この際、プログラムされた任意のプレス力プロファイルの通りにプレス成形を行う。プレス成形はプレス力をフィードバックして制御され、例えば、プレス検出部４６にてプレス力を検出しながらプレス力をフィードバック制御する。なお、プレス量やプレス力は、金型ユニット２０ごとにホスト制御部１２にセットすることが可能である。すなわち、プレス量やプレス力は、所望の被成形材１ごとにプログラム設定される。このため、プレス位置やプレス力を高精度に制御することができ、かつ、任意なプレス工程をプログラミングすることが出来る。   At this time, press molding is performed in accordance with any programmed press force profile. The press molding is controlled by feedback of the pressing force. For example, the pressing force is feedback-controlled while the pressing detection unit 46 detects the pressing force. The pressing amount and pressing force can be set in the host controller 12 for each mold unit 20. That is, the pressing amount and pressing force are set for each desired material 1 to be programmed. For this reason, a press position and a press force can be controlled with high precision, and an arbitrary press process can be programmed.

ついで、金型ユニット２０は、上述と同様の搬送処理によって、１つ目のプレスユニット４０から２つ目のプレスユニット４０へ金型ユニット２０が搬送され、同様にプレスプレート４１によりプレス処理が成される。   Next, the mold unit 20 is transported from the first press unit 40 to the second press unit 40 by the same transport process as described above, and the press process is similarly performed by the press plate 41. Is done.

ついで、金型ユニット２０は、上述と同様の搬送処理によって、２つ目のプレスユニット４０から１つ目の徐冷ユニット５０へ金型ユニット２０が搬送される。   Next, the mold unit 20 is transported from the second press unit 40 to the first slow cooling unit 50 by the transport process similar to that described above.

１つ目の徐冷ユニット５０では、上側の徐冷プレート５１を下降させて金型ユニット２０を上下の徐冷プレート５１で挟み込むことにより、例えばヒータの温度調節により、金型ユニット２０が冷却される（徐冷処理）。   In the first slow cooling unit 50, the upper slow cooling plate 51 is lowered and the mold unit 20 is sandwiched between the upper and lower slow cooling plates 51, whereby the mold unit 20 is cooled, for example, by adjusting the temperature of the heater. (Slow cooling treatment).

ついで、金型ユニット２０は、上述と同様の搬送処理によって、１つ目の徐冷ユニット５０から２つ目の徐冷ユニット５０へ金型ユニット２０が搬送され、上記と同様に徐冷処理が成される。   Next, the mold unit 20 is transported from the first slow cooling unit 50 to the second slow cooling unit 50 by the same transport process as described above, and the slow cooling process is performed similarly to the above. Made.

ついで、金型ユニット２０は、上述と同様の搬送処理によって、２つ目の徐冷ユニット５０から急冷ユニット６０へ金型ユニット２０が搬送される。   Next, the mold unit 20 is transported from the second slow cooling unit 50 to the rapid cooling unit 60 by the same transport process as described above.

急冷ユニット６０では、上側の急冷プレート６１を下降させ、金型ユニット２０を上下の急冷プレート６１で挟み込むことにより、冷媒により、大気中においても酸化されない温度域まで冷却する（急冷処理）。   In the rapid cooling unit 60, the upper rapid cooling plate 61 is lowered, and the mold unit 20 is sandwiched between the upper and lower rapid cooling plates 61, so that the refrigerant is cooled to a temperature range that is not oxidized even in the atmosphere (rapid cooling process).

各ユニットでの処理が終了すると、シリンダ軸７１は金型ユニット２０、支持トレイ２６を一斉に移動させる。   When the processing in each unit is completed, the cylinder shaft 71 moves the mold unit 20 and the support tray 26 at the same time.

図８に移動後の搬出部を示す。このとき、ストッパシリンダ７３ａの先端が支持トレイ２６の左側面を押さえており、ストッパの機能を果たす。支持トレイ２６の移動が終了したら、ストッパシリンダ７３ａは、支持トレイ２６に接触しない位置まで図中左方へ後退する。   FIG. 8 shows the unloading part after movement. At this time, the tip of the stopper cylinder 73a presses the left side surface of the support tray 26, and functions as a stopper. When the movement of the support tray 26 is completed, the stopper cylinder 73a moves backward to the left in the drawing to a position where it does not contact the support tray 26.

また、搬出プレート受台移動シリンダ１２７は、金型ユニット２０を載置した搬出プレート９１を図中搬出側ゲート弁１２６の直下まで移動させる。この間、搬出側ゲート弁１２６は閉状態となっている。また、これに先んじて搬出側ロードロック室１２９の窒素パージは搬入側ロードロック室１１０と同様の方法で終了しておく。   Further, the carry-out plate receiving cylinder 127 moves the carry-out plate 91 on which the mold unit 20 is placed to a position just below the carry-out side gate valve 126 in the drawing. During this time, the carry-out side gate valve 126 is closed. Prior to this, the nitrogen purge of the carry-out side load lock chamber 129 is completed in the same manner as the carry-in side load lock chamber 110.

以上の作業が終了したら、搬出側ゲート弁１２６を開き、トレイ移動シリンダ１２０を下げて支持トレイ２６を把持し、図に示すように、搬出側ロードロック室１２９内まで持ち上げ、搬出側ゲート弁１２６を閉じる。   When the above operation is completed, the unloading side gate valve 126 is opened, the tray moving cylinder 120 is lowered, the support tray 26 is gripped, and as shown in the drawing, the unloading side load lock chamber 129 is lifted, and the unloading side gate valve 126 is opened. Close.

次に、金型ユニット２０を載置した支持トレイ２６を搬出側ゲート弁１２６上に設置し、設置が確認できたら搬出側ロードロック室カバー１２３を開き、図示しない搬送装置で、金型ユニット２０が載置された支持トレイ２６を搬送する。   Next, the support tray 26 on which the mold unit 20 is placed is installed on the carry-out side gate valve 126. When the installation is confirmed, the carry-out side load lock chamber cover 123 is opened, and the mold unit 20 is moved by a transfer device (not shown). Is conveyed.

上記動作完了後、搬出側ロードロック室カバー１２３を閉じ、窒素供給ポート１３１からの窒素供給と、窒素排気ポート１３２からの窒素排気とで搬出側ロードロック室カバー１２３内を窒素雰囲気にして搬出動作の準備をしておく。以上が搬出処理に関する一連の動作である。   After the above operation is completed, the carry-out side load lock chamber cover 123 is closed, and the carry-out operation is performed with the nitrogen supply from the nitrogen supply port 131 and the nitrogen exhaust from the nitrogen exhaust port 132 to make the inside of the carry-out side load lock chamber cover 123 a nitrogen atmosphere. Prepare for. The above is a series of operations related to the carry-out process.

この成形装置１０は、トンネル部１６同士が着脱可能であり、各ユニットが組み替え可能に構成されているため、図９に示すように、同様に構成されたトンネル部１６を備える別のユニットを増加し、あるいはユニットを減少することが可能である。   In this molding apparatus 10, the tunnel portions 16 can be attached to and detached from each other, and each unit is configured to be rearranged. Therefore, as shown in FIG. 9, another unit including the similarly configured tunnel portion 16 is increased. Or it is possible to reduce the number of units.

すなわち、例えば製造する光学ガラス素子２や被成形材１の特性が変わった場合、異なる製品を作成する場合等に、処理時間の増減を容易に行うことができる。例えば加熱ユニット３０を１つ減らし、徐冷ユニット５０を１つ増やす場合について図９に例示する。   That is, for example, when the characteristics of the optical glass element 2 to be manufactured or the material 1 to be molded are changed, or when a different product is produced, the processing time can be easily increased or decreased. For example, FIG. 9 illustrates a case where the heating unit 30 is reduced by one and the slow cooling unit 50 is increased by one.

本実施形態にかかる成形装置１０は以下に掲げる効果を奏する。すなわち、筒状のトンネル部１６を備えて構成される隔離チャンバ１１を備えるとともに、全てのユニットで統括制御する上位のホスト制御部を設けることにより、各ステーションの追加、削除、及び組み替えをユーザ側で自由にアレンジできる。   The molding apparatus 10 according to the present embodiment has the following effects. In other words, by providing an isolation chamber 11 configured with a cylindrical tunnel section 16 and providing a host control section that is supervised by all units, addition, deletion, and recombination of each station can be performed on the user side. Can be arranged freely.

したがって、生産品の増減、多品種少量生産など、ユーザの生産環境に安価に対応できる。すなわち、ユーザがプロセスの最適化を行う過程、又はその結果見出された最適化されたプロセスに容易に対応可能である。また、ユーザ所有の設備に対して短期間で最新のプレス方式、加熱方式を搭載したユニットを低コストで反映できる。   Therefore, it is possible to deal with the user's production environment at a low cost, such as increase / decrease in the number of products and small-lot production of various products. That is, it is possible to easily cope with a process in which the user optimizes the process or an optimized process found as a result. In addition, a unit equipped with the latest press method and heating method can be reflected at low cost in user-owned equipment in a short period of time.

このため、特に、携帯電話、デジタルカメラ等のモデルチェンジが頻繁に生じる分野に有効となる。例えば小口径レンズから大口径レンズに量産が移った場合には、最適なプロセスが異なるが、新規に装置を開発設計製作する必要がなく、開発期間の長期化やコスト増大にも対応できる。また、小口径専用の成形装置は場合によっては不要設備となってしまうが、各ユニットを総括制御可能とし、同様の構成としたことにより、増減可能なため、過剰に装置を製造した場合、他の装置に組み込むことが出来る。さらには、複数の装置間でのユニットを入れ替えることもでき、利便性が向上する。すなわち、量産アイテムが変化してもそれまで使用していた装置の一部を転用でき、休止設備を必要最低限に抑えることが可能となる。さらに、ユニット毎に開発可能であるため、開発に必要なスペースを少なくすることが出来る。   Therefore, this is particularly effective in fields where model changes frequently occur such as mobile phones and digital cameras. For example, when mass production moves from a small-aperture lens to a large-aperture lens, the optimum process is different, but it is not necessary to develop, design, and manufacture a new device, and it is possible to cope with a prolonged development period and an increase in cost. In addition, a small-diameter dedicated molding device may become unnecessary equipment in some cases, but each unit can be controlled overall and can be increased or decreased by adopting the same configuration. Can be incorporated into other devices. Furthermore, the unit between a plurality of apparatuses can be exchanged, and convenience is improved. That is, even if the mass-produced item changes, a part of the device that has been used can be diverted, and the downtime facility can be minimized. Furthermore, since each unit can be developed, the space required for development can be reduced.

［第２実施形態］
次に本発明の第２実施形態に係る成形装置１０について図１０を参照して説明する。なお、ガイドレール部２９を備えること以外は上記第１実施形態の成形装置１０と同様であるため説明を省略する。 [Second Embodiment]
Next, the shaping | molding apparatus 10 which concerns on 2nd Embodiment of this invention is demonstrated with reference to FIG. In addition, since it is the same as that of the shaping | molding apparatus 10 of the said 1st Embodiment except providing the guide rail part 29, description is abbreviate | omitted.

本実施形態に係る保持部２５は、上記第１実施形態と同様に、矩形板状の支持トレイ２６と、この支持トレイ２６から搬送路の幅方向両端側に延びる延出部２７と、延出部２７の端部から搬送方向両側に延びる連結部２８と、を備えている。連結部２８は下方に延びている。   As in the first embodiment, the holding unit 25 according to the present embodiment includes a rectangular plate-like support tray 26, an extension portion 27 extending from the support tray 26 to both ends in the width direction of the conveyance path, and an extension. A connecting portion 28 extending from the end of the portion 27 to both sides in the transport direction. The connecting portion 28 extends downward.

さらに、成形装置１０の下方には保持部２５の移動をガイドするガイドレール部２９が備えられている。このガイドレール部２９は、各ユニットのプレートの下方において搬送路の幅方向両側に配置され、搬送経路に沿って延びている。   Further, a guide rail portion 29 that guides the movement of the holding portion 25 is provided below the molding apparatus 10. The guide rail portions 29 are disposed on both sides in the width direction of the transport path below the plate of each unit, and extend along the transport path.

ガイドレール部２９の上面には連結部２８の下端が係合するガイド溝２９ａを備えている。なお、図１０において、説明のためガイドレール部２９及び連結部２８を断面で示す。   On the upper surface of the guide rail portion 29, a guide groove 29a with which the lower end of the connecting portion 28 is engaged is provided. In addition, in FIG. 10, the guide rail part 29 and the connection part 28 are shown with a cross section for description.

ガイドレール部２９は連結部２８と等しい長さに設定されている。ガイドレール部２９のガイド溝２９ａに連通し、連結部２８に対して不活性ガスを噴出する噴出口２９ｂが形成されている。この噴出口２９ｂは、連結部２８の下端２８ａに対応する位置に設けられ、不活性ガスを噴出して連結部２８を含む保持部２５を浮上させた状態で、搬送用エアシリンダ７２により金型ユニット２０を一斉に搬送する。   The guide rail portion 29 is set to have a length equal to that of the connecting portion 28. A jet outlet 29 b that communicates with the guide groove 29 a of the guide rail portion 29 and jets an inert gas to the connecting portion 28 is formed. The jet outlet 29b is provided at a position corresponding to the lower end 28a of the connecting portion 28, and injects the inert gas and floats the holding portion 25 including the connecting portion 28, so that the die is moved by the transfer air cylinder 72. The units 20 are transported all at once.

すなわち、上記第１実施形態においては金型ユニット２０の支持トレイ２６に一体に設けられた連結部２８を押し出して搬送する構成であったが、この実施形態では、搬送の際に保持部２５を不活性ガスにより浮上させてガイドレール部２９に対して搬送方向に移動するように搬送する構成とした。   That is, in the first embodiment, the connecting portion 28 provided integrally with the support tray 26 of the mold unit 20 is pushed out and conveyed. In this embodiment, the holding portion 25 is moved during the conveyance. The structure is such that it is floated by an inert gas and transported so as to move in the transport direction with respect to the guide rail portion 29.

本実施形態においても上記第１実施形態と同様の効果が得られる。さらに、保持部２５を浮上させて搬送する構成としたことにより搬送に要する力を低く押さえることが可能となる。   Also in this embodiment, the same effect as the first embodiment can be obtained. Furthermore, since the holding unit 25 is lifted and transported, the force required for transport can be kept low.

なお、本発明は上記各実施形態に限定されるものではない。例えば、加熱手段としてヒータ機構を用いたが、ランプ加熱や高周波誘導加熱（ＲＦ）を使用してもよい。ランプ加熱の場合には加熱プレート３０を金型ユニット２０に近接させればよい。また、被成形材１や光学ガラス素子２も、上記実施形態に限られるものではなく、温度設定も適宜変更可能である。さらに、各ユニットの上側プレートの昇降手段を、それぞれエアシリンダ３３としたが、精密なプレス力制御を必要とされるプレス部の押圧機構として、エアシリンダ４３の代わりとして電動アクチュエータや油圧シリンダ等の別のアクチュエータにて駆動することも可能である。   The present invention is not limited to the above embodiments. For example, although a heater mechanism is used as the heating means, lamp heating or high frequency induction heating (RF) may be used. In the case of lamp heating, the heating plate 30 may be brought close to the mold unit 20. Further, the molding material 1 and the optical glass element 2 are not limited to the above embodiment, and the temperature setting can be changed as appropriate. Further, although the air cylinder 33 is used as the elevating means for the upper plate of each unit, an electric actuator, a hydraulic cylinder or the like can be used instead of the air cylinder 43 as a pressing mechanism for the press portion that requires precise pressing force control. It is also possible to drive with another actuator.

支持トレイ２６の下面にテーパ状の案内部２６ｂを設けたが、これに代え、またはこれに加えて支持トレイ２６が載置される前記加熱プレート３１、前記プレスプレート４１、及び前記冷却プレートの上面に、上下方向及び前記搬送方向に対して傾斜するテーパ面を有する案内部２６ｂが形成されていてもよい。   The tapered guide part 26b is provided on the lower surface of the support tray 26. Instead of or in addition to this, the upper surface of the heating plate 31, the press plate 41, and the cooling plate on which the support tray 26 is placed. In addition, a guide portion 26b having a tapered surface that is inclined with respect to the vertical direction and the conveying direction may be formed.

さらに、上記実施形態においては加熱ユニット、プレスユニット、及び冷却ユニットを備える例について説明したが、冷却ユニットを備えない成形装置、製造ラインにも本発明を適用することができる。   Furthermore, although the example provided with a heating unit, a press unit, and a cooling unit was demonstrated in the said embodiment, this invention is applicable also to the shaping | molding apparatus and manufacturing line which are not provided with a cooling unit.

また複数の実施形態の特徴を組み合わせて実施することも可能である。この他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。   It is also possible to combine the features of a plurality of embodiments. Of course, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

１０…成形装置、１１…隔離チャンバ、１２…ホスト制御部、１３…真空ポンプ、
１４…窒素ガス供給ユニット、１６…トンネル部、１６ａ…着脱構造、１７…閉塞部、
２０…金型ユニット、２１…上金型、２２…下金型、２３…ガイド部材、２４…型部、
２５…保持部、２６…支持トレイ、２６ａ…凹部、２６ｂ…案内部、２７…延出部、
２８…連結部、２８ａ…下端、２９…ガイドレール部、２９ａ…ガイド溝、
２９ｂ…噴出口、３０…加熱ユニット、３１…加熱プレート、３２…支持軸、
３３…エアシリンダ、３４…加熱制御部、３５…制御盤、３５ａ…入力ポート、
３５ｂ…出力ポート、３６…ヒータ機構、４０…プレスユニット、４１…プレスプレート、４２…支持軸、４３…エアシリンダ、４４…プレス制御部、４５…制御盤、
４５ａ…入力ポート、４５ｂ…出力ポート、４６…プレス検出部、５０…徐冷ユニット、５１…徐冷プレート、５２…支持軸、５３…エアシリンダ、５４…徐冷制御部、
５５…制御盤、５５ａ…入力ポート、５５ｂ…出力ポート、５６…ヒータ機構、
６０…急冷ユニット、６１…急冷プレート、６２…支持軸、６３…エアシリンダ、
６４…急冷制御部、６５…制御盤、６５ａ…入力ポート、６５ｂ…出力ポート、
６６…冷媒配管、７０…搬送ユニット、７１…シリンダ軸、７２…搬送用エアシリンダ、７３ａ…ストッパシリンダ、８０…搬入ユニット、８１…搬入プレート、９０…搬出ユニット、９１…搬出プレート、１１０…搬入側ロードロック室、１２９…搬出側ロードロック室。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Molding apparatus, 11 ... Isolation chamber, 12 ... Host control part, 13 ... Vacuum pump,
14 ... Nitrogen gas supply unit, 16 ... Tunnel part, 16a ... Detachable structure, 17 ... Closure part,
20 ... Mold unit, 21 ... Upper mold, 22 ... Lower mold, 23 ... Guide member, 24 ... Mold part,
25 ... holding part, 26 ... support tray, 26a ... concave part, 26b ... guide part, 27 ... extension part,
28 ... Connecting part, 28a ... Lower end, 29 ... Guide rail part, 29a ... Guide groove,
29b ... outlet, 30 ... heating unit, 31 ... heating plate, 32 ... support shaft,
33 ... Air cylinder, 34 ... Heating control unit, 35 ... Control panel, 35a ... Input port,
35b ... Output port, 36 ... Heater mechanism, 40 ... Press unit, 41 ... Press plate, 42 ... Support shaft, 43 ... Air cylinder, 44 ... Press controller, 45 ... Control panel,
45a ... Input port, 45b ... Output port, 46 ... Press detection unit, 50 ... Slow cooling unit, 51 ... Slow cooling plate, 52 ... Support shaft, 53 ... Air cylinder, 54 ... Slow cooling control unit,
55 ... Control panel, 55a ... Input port, 55b ... Output port, 56 ... Heater mechanism,
60 ... quenching unit, 61 ... quenching plate, 62 ... support shaft, 63 ... air cylinder,
64 ... Rapid cooling control unit, 65 ... Control panel, 65a ... Input port, 65b ... Output port,
66 ... Refrigerant piping, 70 ... Conveyance unit, 71 ... Cylinder shaft, 72 ... Conveyance air cylinder, 73a ... Stopper cylinder, 80 ... Carry-in unit, 81 ... Carry-in plate, 90 ... Carry-out unit, 91 ... Carry-out plate, 110 ... Carry-in Side load lock chamber, 129...

本発明の一例にかかる成形装置は、被成形材を保持する型ユニットと、前記型ユニットを加圧して前記被成形材を成形処理するプレスユニットと、前記成形処理の前に前記型ユニットを加熱して前記被成形材を加熱処理する加熱ユニットと、前記プレスユニットと前記加熱ユニットを並列して収容する隔離チャンバと、前記加熱ユニット、及び前記プレスユニットにそれぞれ配置された複数の前記型ユニットを移動させることにより所定の搬送経路に沿って順次搬送する搬送ユニットと、前記プレスユニット、前記加熱ユニット、及び前記搬送ユニットを統括制御するホスト制御手段と、を備え、前記型ユニットは、それぞれ前記搬送経路に沿って延びるとともに隣り合う端部同士が互いに係合可能に構成された連結部を備え、前記搬送ユニットは、前記搬送経路に沿って前記連結部を押し出す押し出し機構を備え、複数の前記型ユニットは隣り合う前記連結部の端部同士が互いに当接して連続するように配置され、一括して搬送されることを特徴とする。 A molding apparatus according to an example of the present invention includes a mold unit that holds a molding material, a press unit that pressurizes the molding unit to mold the molding material, and heats the mold unit before the molding processing. A heating unit that heat-treats the material to be molded, an isolation chamber that accommodates the press unit and the heating unit in parallel, the heating unit, and a plurality of the mold units disposed in the press unit, respectively. A transport unit that sequentially transports along a predetermined transport path by moving , and a host control unit that performs overall control of the press unit , the heating unit, and the transport unit, and each of the mold units includes the transport unit. A connecting portion that extends along the path and is configured such that adjacent end portions can be engaged with each other; The die includes an extruding mechanism that pushes out the connecting portion along the transport path, and the plurality of mold units are arranged so that the ends of the adjacent connecting portions are in contact with each other and are transported collectively. It is characterized by being.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記成形処理の後に前記型ユニットを冷却して前記被成形材が前記成形処理された成形品を冷却処理する冷却ユニットをさらに備え、前記搬送ユニットは、前記型ユニットを、前記加熱ユニット、前記プレスユニット及び前記冷却ユニットを通る所定の搬送経路に沿って搬送し、前記ホスト制御手段は、前記プレスユニット、前記加熱ユニット、冷却ユニット及び前記搬送ユニットを統括制御することを特徴とする。 The molding apparatus according to another example of the present invention further includes a cooling unit that cools the mold unit after the molding process and cools the molded product that has been molded by the material to be molded. The mold unit is transported along a predetermined transport path passing through the heating unit, the press unit, and the cooling unit, and the host control means includes the press unit, the heating unit, the cooling unit, and the transport unit. It is characterized by overall control.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記加熱ユニット及び前記プレスユニットが少なくとも１つずつ前記搬送経路に沿って並列して配置されることを特徴とする。 Other molding apparatus according to an embodiment of the present invention is characterized in that the heating unit and the pressing unit is Ru are arranged in parallel along at least one at the transport path.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記プレスユニットは、前記型ユニットを加圧して前記被成形材を成形処理する成形部と、該成形部を囲繞する周壁部とを有し、前記加熱ユニットは、前記成形処理前の前に前記型ユニットを加熱して前記被成形材を加熱処理する加熱部と、該加熱部を囲繞する周壁部とを有し、前記冷却ユニットは、前記成形処理の後に前記型ユニットを冷却して前記被成形材が成形処理された成形品を冷却処理する冷却部と、該冷却部を囲繞する周壁部とを有し、前記隔離チャンバは、前記複数の周壁部同士が、互いに気密に連結されるとともに前記搬送経路における両端側を塞ぐ閉塞部を備えて構成され、複数の前記周壁部は同様の着脱構造を有し、前記加熱ユニット、前記プレスユニット及び前記冷却ユニットの少なくともいずれかを増減することが可能に構成されたことを特徴とする。 In the molding apparatus according to another example of the present invention, the press unit includes a molding unit that pressurizes the mold unit to mold the molding material, and a peripheral wall that surrounds the molding unit, The heating unit includes a heating unit that heats the molding material by heating the mold unit before the molding process, and a peripheral wall that surrounds the heating unit, and the cooling unit includes the molding unit A cooling unit that cools the mold unit after the processing and cools a molded product in which the molding material is molded; and a peripheral wall that surrounds the cooling unit; The peripheral wall portions are connected to each other in an airtight manner and are configured to include a closing portion that closes both ends of the transport path, and the plurality of peripheral wall portions have the same detachable structure, the heating unit, the press unit, The cooling unit Characterized in that is configured to be able to increase or decrease at least one.

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記型ユニットは、成形品の上側の形状に対応して形成される上型と、前記上型に対向して配置されるとともに成形品の下側の形状に対応して形成される下型と、を備える型部と、前記型部が載置される支持部と、を備え、前記支持部の下面、または前記支持部が載置される前記加熱プレート、前記プレスプレート、及び前記冷却プレートの対向面の少なくともいずれかに、上下方向及び前記型ユニットの搬送方向に対して垂直方向に傾斜するテーパ面を有する案内部が形成されたことを特徴とする。 In the molding apparatus according to another example of the present invention, the mold unit is disposed so as to correspond to the shape of the upper side of the molded product, and disposed on the lower side of the molded product while facing the upper mold. comprising: a lower mold which is formed corresponding to the shape and type portion comprising, and a support portion to which the mold part is placed, the lower surface of the support or the support portion is placed A guide portion having a tapered surface inclined in a vertical direction and a direction perpendicular to the conveying direction of the mold unit is formed on at least one of the opposing surfaces of the heating plate, the press plate, and the cooling plate. And

本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記隔離チャンバの内部と外部とを連通するとともに、その内部を減圧状態または不活性ガス状態に保持可能なロードロック室をさらに備えたことを特徴とする。
本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記搬送ユニットは、前記搬送経路に沿って並ぶ複数の前記型ユニットのうち、前記搬送経路に沿って一端側に配置される前記型ユニットの前記連結部に連結されるシリンダ軸を備え、前記押し出し機構は、前記シリンダ軸を前記型ユニットの搬送方向に沿って移動することを特徴とする。
本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記押し出し機構は、エアシリンダであることを特徴とする。
本発明の他の一例にかかる成形装置は、前記型ユニットに当接して前記型ユニットの位置を規制することにより前記型ユニットの搬送距離を規制するストッパシリンダを備えることを特徴とする。
本発明の他の一例に係る成形装置は、前記型ユニットに設けられた前記連結部の一端と他端との間の距離が、前記搬送路に沿って並列に配置された前記ユニット間のピッチと等しいことを特徴とする。 The molding apparatus according to another example of the present invention further includes a load lock chamber that allows the inside and the outside of the isolation chamber to communicate with each other and that the inside can be maintained in a decompressed state or an inert gas state. To do.
In the molding apparatus according to another example of the present invention, the transport unit is connected to the mold units arranged on one end side along the transport path among the plurality of mold units arranged along the transport path. A cylinder shaft coupled to the portion, wherein the push-out mechanism moves the cylinder shaft along a conveying direction of the mold unit.
The molding apparatus according to another example of the present invention is characterized in that the extrusion mechanism is an air cylinder.
A molding apparatus according to another example of the present invention includes a stopper cylinder that regulates a conveyance distance of the mold unit by abutting the mold unit and regulating a position of the mold unit.
In a molding apparatus according to another example of the present invention, a distance between one end and the other end of the connecting portion provided in the mold unit is a pitch between the units arranged in parallel along the conveyance path. It is equal to.

また複数の実施形態の特徴を組み合わせて実施することも可能である。この他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
［１］
被成形材を保持する型ユニットと、
前記型ユニットを加圧して前記被成形材を成形処理する成形部と、該成形部を囲繞する周壁部とを有するプレスユニットと、
前記成形処理の前に前記型ユニットを加熱して前記被成形材を加熱処理する加熱部と、該加熱部を囲繞する周壁部とを有する加熱ユニットと、
前記型ユニットを、前記加熱ユニット、及び前記プレスユニットを通る所定の搬送経路に沿って搬送する搬送ユニットと、
前記プレスユニット、及び前記加熱ユニット、及び前記搬送ユニットを統括制御するホスト制御手段と、
複数の前記周壁部同士が、互いに気密に連結されるとともに前記搬送経路における両端側を塞ぐ閉塞部を備えて構成された隔離チャンバと、を備え、
前記プレスユニット及び前記加熱ユニットのうち少なくともいずれかは組み替え可能に構成されたことを特徴とする成形装置。
［２］
前記成形処理の後に前記型ユニットを冷却して前記被成形材が前記成形処理された成形品を冷却処理する冷却部と、該冷却部を囲繞する周壁部と、を有する冷却ユニットをさらに備え、
前記搬送ユニットは、前記型ユニットを、前記加熱ユニット、前記プレスユニット及び前記冷却ユニットを通る所定の搬送経路に沿って搬送し、
前記ホスト制御手段は、前記プレスユニット、前記加熱ユニット、冷却ユニット及び前記搬送ユニットを統括制御することを特徴とする［１］記載の成形装置。
［３］
前記隔離チャンバの内部が減圧状態または不活性ガス状態に保持可能であることを特徴とする［１］記載の成形装置。
［４］
前記プレスユニット及び前記加熱ユニットは、それぞれユニット毎に独立して制御可能な独立制御手段を備えるとともに、前記独立制御手段は前記ホスト制御手段により制御されることを特徴とする［１］記載の成形装置。
［５］
前記加熱ユニット及び前記プレスユニットが少なくとも１つずつ前記搬送経路に沿って並列して配置され、
前記加熱ユニットの前記周壁部、前記プレスユニットの前記周壁部、及び前記冷却ユニットの前記周壁部が互いに着脱可能に連結されて前記隔離チャンバを成すことを特徴とする［１］記載の成形装置。
［６］
前記加熱部は、互いに接離可能に構成されるとともに、ヒータ機構を有し、その間に前記型ユニットが配された状態で、互いに近接することにより前記型ユニットを加熱する、複数の加熱プレートを備え、
前記プレス部は、互いに接離可能に構成され、その間に前記型ユニットが配された状態で互いに近接することにより前記型ユニットに挟持された被成形材を加圧してプレス成形する、複数のプレスプレートを備え、
前記冷却部は、互いに接離可能に構成されるとともに冷却機構を有し、その間に前記型ユニットが配された状態で、互いに近接することにより前記型ユニットを冷却する、複数の冷却プレートを備え、
前記搬送ユニットは、前記プレスプレート同士、前記加熱プレート同士、及び前記冷却プレート同士が互いに離間する開状態において、前記型ユニットを搬送することを特徴とする［５］記載の成形装置。
［７］
前記冷却ユニットは、
前記冷却プレートにヒータ機構が設けられ、前記ヒータ機構の温度設定により前記被成形材を冷却することを特徴とする［２］記載の成形装置。
［８］
前記冷却ユニットは、
前記冷却プレートに冷媒流路が設けられ、前記冷媒により前記被成形材を冷却することを特徴とする［２］記載の成形装置。
［９］
前記冷却ユニットとして、
前記冷却プレートにヒータ機構が設けられ、前記ヒータ機構の温度設定により前記被成形材を冷却する第１の冷却ユニットと、
前記冷却プレートに冷媒流路が設けられ、前記冷媒により前記被成形材を冷却する第２の冷却ユニットと、を備えたことを特徴とする［２］記載の成形装置。
［１０］
前記搬送ユニットは、複数の金型ユニットにそれぞれ設けられるとともに前記搬送経路に沿って延びる連結部と、
前記搬送経路の一端側から他端側に向かって前記連結部を前記搬送経路に沿って押し出す押し出し機構と、を備え、
前記連結部の長さは前記ユニット間のピッチに対応し、隣り合う前記連結部の端部同士が互いに係合可能に構成されたことを特徴とする［５］記載の成形装置。
［１１］
複数の前記周壁部は同様の着脱構造を有し、前記加熱ユニット、前記プレスユニット及び前記冷却ユニットの少なくともいずれかを増減することが可能に構成されたことを特徴とする［２］記載の成形装置。
［１２］
前記型ユニットは、成形品の上側の形状に対応して形成される上型と、前記上型に対向して配置されるとともに成形品の下側の形状に対応して形成される下型と、を備える型部と、前記型部が載置される支持部と、を備え、
前記ステージ部の下面、または前記支持部が載置される前記加熱プレート、前記プレスプレート、及び前記冷却プレートの対向面の少なくともいずれかに、上下方向及び前記搬送方向に対して垂直方向に傾斜するテーパ面を有する案内部が形成されたことを特徴とする［１］記載の成形装置。
［１３］
前記隔離チャンバの内部と外部とを連通するとともに、その内部を減圧状態または不活性ガス状態に保持可能なロードロック室をさらに備えたことを特徴とする［１］記載の成形装置。 It is also possible to combine the features of a plurality of embodiments. Of course, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.
Hereinafter, the invention described in the scope of claims of the present application will be appended.
[1]
A mold unit for holding a molding material;
A press unit having a molding unit that pressurizes the mold unit to mold the molding material, and a peripheral wall that surrounds the molding unit;
A heating unit that heats the mold unit before the molding process and heats the material to be molded; and a peripheral wall that surrounds the heating part;
A transport unit for transporting the mold unit along a predetermined transport path passing through the heating unit and the press unit;
Host control means for controlling the press unit, the heating unit, and the transport unit;
A plurality of the peripheral wall portions are connected to each other in an airtight manner and include an isolation chamber configured to include a closing portion that closes both end sides of the transfer path,
At least one of the press unit and the heating unit is configured to be rearrangeable.
[2]
A cooling unit including a cooling unit that cools the mold unit after the molding process and cools the molded product that has been molded by the molding material; and a peripheral wall that surrounds the cooling unit;
The transport unit transports the mold unit along a predetermined transport path passing through the heating unit, the press unit, and the cooling unit,
The molding apparatus according to [1], wherein the host control unit integrally controls the press unit, the heating unit, the cooling unit, and the transport unit.
[3]
The molding apparatus according to [1], wherein the inside of the isolation chamber can be maintained in a reduced pressure state or an inert gas state.
[4]
The press unit and the heating unit each include independent control means that can be controlled independently for each unit, and the independent control means is controlled by the host control means. apparatus.
[5]
The heating unit and the press unit are arranged in parallel along the transport path at least one by one,
The forming apparatus according to [1], wherein the peripheral wall portion of the heating unit, the peripheral wall portion of the press unit, and the peripheral wall portion of the cooling unit are detachably connected to each other to form the isolation chamber.
[6]
The heating unit is configured to be able to contact and separate from each other, and has a heater mechanism, and a plurality of heating plates that heat the mold unit by approaching each other with the mold unit disposed therebetween. Prepared,
The press section is configured to be able to contact and separate from each other, and press-molds the press-molded material sandwiched between the mold units by being close to each other in a state where the mold unit is disposed therebetween, and a plurality of presses With plates,
The cooling unit includes a plurality of cooling plates configured to be close to each other and having a cooling mechanism, and cooling the mold unit by approaching each other with the mold unit disposed therebetween. ,
The molding apparatus according to [5], wherein the transport unit transports the mold unit in an open state in which the press plates, the heating plates, and the cooling plates are separated from each other.
[7]
The cooling unit is
[2] The molding apparatus according to [2], wherein the cooling plate is provided with a heater mechanism, and the molding material is cooled by temperature setting of the heater mechanism.
[8]
The cooling unit is
The molding apparatus according to [2], wherein a coolant channel is provided in the cooling plate, and the molding material is cooled by the coolant.
[9]
As the cooling unit,
A heater mechanism is provided on the cooling plate, and a first cooling unit that cools the molding material by setting a temperature of the heater mechanism;
[2] The molding apparatus according to [2], further comprising: a second cooling unit in which a cooling medium flow path is provided in the cooling plate, and the molding material is cooled by the cooling medium.
[10]
The transport unit is provided in each of a plurality of mold units and extends along the transport path; and
An extrusion mechanism for extruding the connecting portion along the transport path from one end side to the other end side of the transport path;
The length of the connecting portion corresponds to the pitch between the units, and the end portions of the adjacent connecting portions are configured to be able to engage with each other.
[11]
The molding according to [2], wherein the plurality of peripheral wall portions have the same detachable structure, and are configured such that at least one of the heating unit, the press unit, and the cooling unit can be increased or decreased. apparatus.
[12]
The mold unit includes an upper mold formed corresponding to the upper shape of the molded product, and a lower mold that is disposed to face the upper mold and is formed corresponding to the lower shape of the molded product. A mold part, and a support part on which the mold part is placed,
At least one of the lower surface of the stage unit or the opposing surface of the heating plate, the press plate, and the cooling plate on which the support unit is placed is inclined in the vertical direction and the direction perpendicular to the transport direction. The forming apparatus according to [1], wherein a guide portion having a tapered surface is formed.
[13]
[1] The molding apparatus according to [1], further comprising a load lock chamber that allows the inside and the outside of the isolation chamber to communicate with each other and that the inside of the isolation chamber can be maintained in a decompressed state or an inert gas state.

Claims (13)

被成形材を保持する型ユニットと、
前記型ユニットを加圧して前記被成形材を成形処理する成形部と、該成形部を囲繞する周壁部とを有するプレスユニットと、
前記成形処理の前に前記型ユニットを加熱して前記被成形材を加熱処理する加熱部と、該加熱部を囲繞する周壁部とを有する加熱ユニットと、
前記型ユニットを、前記加熱ユニット、及び前記プレスユニットを通る所定の搬送経路に沿って搬送する搬送ユニットと、
前記プレスユニット、及び前記加熱ユニット、及び前記搬送ユニットを統括制御するホスト制御手段と、
複数の前記周壁部同士が、互いに気密に連結されるとともに前記搬送経路における両端側を塞ぐ閉塞部を備えて構成された隔離チャンバと、を備え、
前記プレスユニット及び前記加熱ユニットのうち少なくともいずれかは組み替え可能に構成されたことを特徴とする成形装置。 A mold unit for holding a molding material;
A press unit having a molding unit that pressurizes the mold unit to mold the molding material, and a peripheral wall that surrounds the molding unit;
A heating unit that heats the mold unit before the molding process and heats the material to be molded; and a peripheral wall that surrounds the heating part;
A transport unit for transporting the mold unit along a predetermined transport path passing through the heating unit and the press unit;
Host control means for controlling the press unit, the heating unit, and the transport unit;
A plurality of the peripheral wall portions are connected to each other in an airtight manner and include an isolation chamber configured to include a closing portion that closes both end sides of the transfer path,
At least one of the press unit and the heating unit is configured to be rearrangeable. 前記成形処理の後に前記型ユニットを冷却して前記被成形材が前記成形処理された成形品を冷却処理する冷却部と、該冷却部を囲繞する周壁部と、を有する冷却ユニットをさらに備え、
前記搬送ユニットは、前記型ユニットを、前記加熱ユニット、前記プレスユニット及び前記冷却ユニットを通る所定の搬送経路に沿って搬送し、
前記ホスト制御手段は、前記プレスユニット、前記加熱ユニット、冷却ユニット及び前記搬送ユニットを統括制御することを特徴とする請求項１記載の成形装置。 A cooling unit including a cooling unit that cools the mold unit after the molding process and cools the molded product that has been molded by the molding material; and a peripheral wall that surrounds the cooling unit;
The transport unit transports the mold unit along a predetermined transport path passing through the heating unit, the press unit, and the cooling unit,
The molding apparatus according to claim 1, wherein the host control unit integrally controls the press unit, the heating unit, the cooling unit, and the transport unit. 前記隔離チャンバの内部が減圧状態または不活性ガス状態に保持可能であることを特徴とする請求項１記載の成形装置。 The molding apparatus according to claim 1, wherein the inside of the isolation chamber can be maintained in a reduced pressure state or an inert gas state. 前記プレスユニット及び前記加熱ユニットは、それぞれユニット毎に独立して制御可能な独立制御手段を備えるとともに、前記独立制御手段は前記ホスト制御手段により制御されることを特徴とする請求項１記載の成形装置。   2. The molding according to claim 1, wherein each of the press unit and the heating unit includes independent control means that can be controlled independently for each unit, and the independent control means is controlled by the host control means. apparatus. 前記加熱ユニット及び前記プレスユニットが少なくとも１つずつ前記搬送経路に沿って並列して配置され、
前記加熱ユニットの前記周壁部、前記プレスユニットの前記周壁部、及び前記冷却ユニットの前記周壁部が互いに着脱可能に連結されて前記隔離チャンバを成すことを特徴とする請求項１記載の成形装置。 The heating unit and the press unit are arranged in parallel along the transport path at least one by one,
The molding apparatus according to claim 1, wherein the peripheral wall portion of the heating unit, the peripheral wall portion of the press unit, and the peripheral wall portion of the cooling unit are detachably connected to each other to form the isolation chamber. 前記加熱部は、互いに接離可能に構成されるとともに、ヒータ機構を有し、その間に前記型ユニットが配された状態で、互いに近接することにより前記型ユニットを加熱する、複数の加熱プレートを備え、
前記プレス部は、互いに接離可能に構成され、その間に前記型ユニットが配された状態で互いに近接することにより前記型ユニットに挟持された被成形材を加圧してプレス成形する、複数のプレスプレートを備え、
前記冷却部は、互いに接離可能に構成されるとともに冷却機構を有し、その間に前記型ユニットが配された状態で、互いに近接することにより前記型ユニットを冷却する、複数の冷却プレートを備え、
前記搬送ユニットは、前記プレスプレート同士、前記加熱プレート同士、及び前記冷却プレート同士が互いに離間する開状態において、前記型ユニットを搬送することを特徴とする請求項５記載の成形装置。 The heating unit is configured to be able to contact and separate from each other, and has a heater mechanism, and a plurality of heating plates that heat the mold unit by approaching each other with the mold unit disposed therebetween. Prepared,
The press section is configured to be able to contact and separate from each other, and press-molds the press-molded material sandwiched between the mold units by being close to each other in a state where the mold unit is disposed therebetween, and a plurality of presses With plates,
The cooling unit includes a plurality of cooling plates configured to be close to each other and having a cooling mechanism, and cooling the mold unit by approaching each other with the mold unit disposed therebetween. ,
The molding apparatus according to claim 5, wherein the transport unit transports the mold unit in an open state in which the press plates, the heating plates, and the cooling plates are separated from each other. 前記冷却ユニットは、
前記冷却プレートにヒータ機構が設けられ、前記ヒータ機構の温度設定により前記被成形材を冷却することを特徴とする請求項２記載の成形装置。 The cooling unit is
The molding apparatus according to claim 2, wherein a heater mechanism is provided on the cooling plate, and the molding material is cooled by setting a temperature of the heater mechanism. 前記冷却ユニットは、
前記冷却プレートに冷媒流路が設けられ、前記冷媒により前記被成形材を冷却することを特徴とする請求項２記載の成形装置。 The cooling unit is
The molding apparatus according to claim 2, wherein a coolant channel is provided in the cooling plate, and the molding material is cooled by the coolant. 前記冷却ユニットとして、
前記冷却プレートにヒータ機構が設けられ、前記ヒータ機構の温度設定により前記被成形材を冷却する第１の冷却ユニットと、
前記冷却プレートに冷媒流路が設けられ、前記冷媒により前記被成形材を冷却する第２の冷却ユニットと、を備えたことを特徴とする請求項２記載の成形装置。 As the cooling unit,
A heater mechanism is provided on the cooling plate, and a first cooling unit that cools the molding material by setting a temperature of the heater mechanism;
The molding apparatus according to claim 2, further comprising: a cooling channel provided in the cooling plate, and a second cooling unit that cools the molding material with the coolant. 前記搬送ユニットは、複数の金型ユニットにそれぞれ設けられるとともに前記搬送経路に沿って延びる連結部と、
前記搬送経路の一端側から他端側に向かって前記連結部を前記搬送経路に沿って押し出す押し出し機構と、を備え、
前記連結部の長さは前記ユニット間のピッチに対応し、隣り合う前記連結部の端部同士が互いに係合可能に構成されたことを特徴とする請求項５記載の成形装置。 The transport unit is provided in each of a plurality of mold units and extends along the transport path; and
An extrusion mechanism for extruding the connecting portion along the transport path from one end side to the other end side of the transport path;
The length of the said connection part respond | corresponds to the pitch between the said units, and the edge part of the said adjacent connection part is comprised so that engagement is mutually possible, The shaping | molding apparatus of Claim 5 characterized by the above-mentioned. 複数の前記周壁部は同様の着脱構造を有し、前記加熱ユニット、前記プレスユニット及び前記冷却ユニットの少なくともいずれかを増減することが可能に構成されたことを特徴とする請求項２記載の成形装置。   3. The molding according to claim 2, wherein the plurality of peripheral wall portions have a similar detachable structure, and are configured such that at least one of the heating unit, the press unit, and the cooling unit can be increased or decreased. apparatus. 前記型ユニットは、成形品の上側の形状に対応して形成される上型と、前記上型に対向して配置されるとともに成形品の下側の形状に対応して形成される下型と、を備える型部と、前記型部が載置される支持部と、を備え、
前記ステージ部の下面、または前記支持部が載置される前記加熱プレート、前記プレスプレート、及び前記冷却プレートの対向面の少なくともいずれかに、上下方向及び前記搬送方向に対して垂直方向に傾斜するテーパ面を有する案内部が形成されたことを特徴とする請求項１記載の成形装置。 The mold unit includes an upper mold formed corresponding to the upper shape of the molded product, and a lower mold that is disposed to face the upper mold and is formed corresponding to the lower shape of the molded product. A mold part, and a support part on which the mold part is placed,
At least one of the lower surface of the stage unit or the opposing surface of the heating plate, the press plate, and the cooling plate on which the support unit is placed is inclined in the vertical direction and the direction perpendicular to the transport direction. The molding apparatus according to claim 1, wherein a guide portion having a tapered surface is formed. 前記隔離チャンバの内部と外部とを連通するとともに、その内部を減圧状態または不活性ガス状態に保持可能なロードロック室をさらに備えたことを特徴とする請求項１記載の成形装置。   The molding apparatus according to claim 1, further comprising a load lock chamber that allows the inside and the outside of the isolation chamber to communicate with each other and that the inside of the isolation chamber can be maintained in a decompressed state or an inert gas state.
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