JP2014049603A - 半導体発光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】生産性が高く、光の取出効率が高い半導体発光装置を提供する。
【解決手段】実施形態に係る半導体発光装置は、支持基板と、前記支持基板上に設けられた第1金属層と、前記第1金属層上に設けられた透明導電層と、前記透明導電層内に埋め込まれた第2金属層と、前記透明導電層上に設けられた半導体発光層と、を備える。前記半導体発光層が出射する光に対する前記第2金属層の反射率は、前記半導体発光層が出射する光に対する前記第1金属層の反射率よりも高い。
【選択図】図1
【解決手段】実施形態に係る半導体発光装置は、支持基板と、前記支持基板上に設けられた第1金属層と、前記第1金属層上に設けられた透明導電層と、前記透明導電層内に埋め込まれた第2金属層と、前記透明導電層上に設けられた半導体発光層と、を備える。前記半導体発光層が出射する光に対する前記第2金属層の反射率は、前記半導体発光層が出射する光に対する前記第1金属層の反射率よりも高い。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体発光装置に関する。
近年、結晶成長用基板上に半導体発光層を成長させ、この半導体発光層を接合金属層を介して支持基板と貼り合わせた後、結晶成長用基板を除去することにより、ThinFilm(薄膜)型LED(Light Emitting Diode:発光ダイオード)を製造する技術が開発されている。このようなThinFilm型LEDにおいては、接合金属層が、半導体発光層から支持基板側に出射された光を反射する光反射層としても機能する。また、接合金属層と半導体発光層との間には、両層間の合金化を抑制するために、透明導電層が設けられる。
生産性が高く、光の取出効率が高い半導体発光装置を提供する。
実施形態に係る半導体発光装置は、支持基板と、前記支持基板上に設けられた第1金属層と、前記第1金属層上に設けられた透明導電層と、前記透明導電層内に埋め込まれた第2金属層と、前記透明導電層上に設けられた半導体発光層と、を備える。前記半導体発光層が出射する光に対する前記第2金属層の反射率は、前記半導体発光層が出射する光に対する前記第1金属層の反射率よりも高い。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態について説明する。
先ず、第1の実施形態について説明する。
図1(a)は本実施形態に係る半導体発光装置を例示する平面図であり、(b)は(a)に示すA−A’線による断面図である。
本実施形態に係る半導体発光装置は、ThinFilm型LEDである。
先ず、第1の実施形態について説明する。
図1(a)は本実施形態に係る半導体発光装置を例示する平面図であり、(b)は(a)に示すA−A’線による断面図である。
本実施形態に係る半導体発光装置は、ThinFilm型LEDである。
図1(a)及び(b)に示すように、本実施形態に係る半導体発光装置1においては、下部電極11、支持基板12、接合金属層13、透明導電層14、透明絶縁層16、半導体発光層17及び上部電極18がこの順に積層されている。そして、透明導電層14の内部には、反射金属層15が埋め込まれている。各層の積層方向から見て、半導体発光装置1の形状は、例えば、一辺が350μmの正方形である。
下部電極11は例えば金属からなり、各層の積層方向から見て、半導体発光装置1の全体に設けられている。支持基板12は導電性材料、例えば、単結晶のシリコン(Si)によって形成されている。接合金属層13は、例えば、金(Au)によって形成されている。接合金属層13においては、下層13a上に上層13bが積層されており、下層13aと上層13bとの界面13cには、ボイド(図示せず)が存在する場合がある。下層13a及び上層13bの厚さは、例えば、それぞれ500nmである。
透明導電層14は、透明な導電性材料、例えば、ITO(Indium-Tin-Oxide:スズドープ酸化インジウム)によって形成されている。透明導電層14の厚さは、例えば200nmである。なお、本明細書において、「透明」には半透明も含まれる。
反射金属層15は、例えば、銀(Ag)又は銀合金によって形成されている。反射金属層15の厚さは、バルクと同等の反射率を得られる程度に厚く、透明導電層14内に埋め込める程度に薄い。反射金属層15の厚さは例えば50nm以上である。半導体発光装置1においては、反射金属層15は1枚のみ設けられており、透明導電層14の端部14aを除く領域に連続的に配置されている。このため、反射金属層15の端縁15aは、全体が透明導電層14によって覆われており、半導体発光装置1の側面には露出していない。端部14の幅は、例えば10〜20μmである。
反射金属層15は、例えば、銀(Ag)又は銀合金によって形成されている。反射金属層15の厚さは、バルクと同等の反射率を得られる程度に厚く、透明導電層14内に埋め込める程度に薄い。反射金属層15の厚さは例えば50nm以上である。半導体発光装置1においては、反射金属層15は1枚のみ設けられており、透明導電層14の端部14aを除く領域に連続的に配置されている。このため、反射金属層15の端縁15aは、全体が透明導電層14によって覆われており、半導体発光装置1の側面には露出していない。端部14の幅は、例えば10〜20μmである。
透明絶縁層16は、透明な絶縁性材料、例えば、不純物が添加されていないシリコン酸化物(UDO:Undoped Oxide)によって形成されている。透明絶縁層16の厚さは、絶縁性を実現できる程度に厚く、透明性を実現できる程度に薄く、例えば、50nmである。また、透明絶縁層16には開口部16aが形成されている。すなわち、透明絶縁層16は、透明導電層14と半導体発光層17との間に選択的に設けられている。そして、透明導電層14は開口部16a内に進入しており、開口部16a内において半導体発光層17に接続されている。また、開口部16aの直下域及びその周辺には、反射金属層15が配置されている。透明導電層14及び透明絶縁層16は、接合金属層13と半導体発光層17との間で合金化反応が生じることを防止する。
半導体発光層17においては、ガリウムリン(GaP)からなるGaP層17a上に、インジウムガリウムアルミニウムリン(InGaAlP)からなるInGaAlP層17bが積層されている。半導体発光層17は、例えば、赤色の光を出射するLED層である。
上部電極18は、半導体発光層17上の一部のみに配置されている。従って、半導体発光層17の上面の一部は上部電極18に覆われているものの、残部は上部電極18に覆われていない。
上部電極18は、半導体発光層17上の一部のみに配置されている。従って、半導体発光層17の上面の一部は上部電極18に覆われているものの、残部は上部電極18に覆われていない。
次に、本実施形態に係る半導体発光装置の製造方法について説明する。
図2(a)〜(c)、図3(a)〜(c)、図4(a)〜(c)は、本実施形態に係る半導体発光装置の製造方法を例示する工程断面図である。
なお、図2(a)〜(c)、図3(a)〜(c)、図4(a)〜(c)並びにそれらの説明においては、図1及びその説明に対して、上下の方向を逆としている。
図2(a)〜(c)、図3(a)〜(c)、図4(a)〜(c)は、本実施形態に係る半導体発光装置の製造方法を例示する工程断面図である。
なお、図2(a)〜(c)、図3(a)〜(c)、図4(a)〜(c)並びにそれらの説明においては、図1及びその説明に対して、上下の方向を逆としている。
図2(a)に示すように、結晶成長用基板31を用意する。結晶成長用基板31は、例えば、ガリウムヒ素(GaAs)ウェーハの一部である。以後の工程においては、ガリウムヒ素ウェーハ上に複数の半導体発光装置を同時に形成していくが、1つの半導体発光装置を例にとって説明する。
先ず、結晶成長用基板31上に、InGaAlP層17bをエピタキシャル成長させ、次いで、GaP層17aをエピタキシャル成長させる。これにより、半導体発光層17を形成する。次に、シリコン酸化物を堆積させて、透明絶縁層16を形成する。
次に、図2(b)に示すように、エッチングにより、透明絶縁層16に開口部16aを形成する。
次に、図2(c)に示すように、例えばスパッタ法によりITOを堆積させて、透明導電層の下層14bを形成する。下層14bの厚さは、例えば100nmとする。このとき、下層14bは開口部16a内にも埋め込まれ、半導体発光層17に接触する。
次に、図2(c)に示すように、例えばスパッタ法によりITOを堆積させて、透明導電層の下層14bを形成する。下層14bの厚さは、例えば100nmとする。このとき、下層14bは開口部16a内にも埋め込まれ、半導体発光層17に接触する。
次に、図3(a)に示すように、例えばスパッタ法により銀(Ag)を堆積させて、透明導電層の下層14b上の全面に、反射金属層15を形成する。
次に、図3(b)に示すように、エッチングを行い、反射金属層15の端部を除去する。このエッチングはウェットエッチングでもドライエッチングでもよい。但し、下層14bの膜質によっては、ウェットエッチングのエッチャントが下層14b内に染み込む可能性がある。この場合は、ドライエッチングによって反射金属層15を加工することが好ましい。
次に、図3(b)に示すように、エッチングを行い、反射金属層15の端部を除去する。このエッチングはウェットエッチングでもドライエッチングでもよい。但し、下層14bの膜質によっては、ウェットエッチングのエッチャントが下層14b内に染み込む可能性がある。この場合は、ドライエッチングによって反射金属層15を加工することが好ましい。
本実施形態においては、1つの半導体発光装置が形成される予定の領域内に、1枚の反射金属層15を配置する。そして、積層方向から見て、反射金属層15の端縁15aは、各半導体発光装置が形成される予定の領域の端縁の内側に位置させる。但し、結晶成長用基板31の集合体であるGaAsウェーハ上には、複数の半導体発光装置が形成されるため、1枚のGaAsウェーハ上には複数枚の反射金属層15が相互に離隔して配置されることになる。
次に、図3(c)に示すように、例えばスパッタ法によりITOを堆積させて、透明導電層の上層14cを形成する。上層14cの厚さは、例えば100nmとする。これにより、透明導電層14が形成される。このとき、上層14cは反射金属層15の上面及び側面を覆い、反射金属層15の側方においては、上層14cが下層14bに接触して一体化し、透明導電層14の端部14aとなる。これにより、反射金属層15が透明導電層14内に埋め込まれ、反射金属層15の端縁15aの全体が透明導電層14によって覆われる。
次に、図4(a)に示すように、透明導電層14上に金(Au)を堆積させて、接合金属層の上層13bを形成する。これにより、結晶成長用基板31上に、半導体発光層17、透明絶縁層16、透明導電層14及び上層13bがこの順に積層され、透明導電層14内に反射金属層15が埋め込まれた構造体32が作製される。
一方、図4(b)に示すように、支持基板12を用意する。支持基板12は、例えば、シリコンウェーハの一部である。次に、支持基板12上に金を堆積させて、接合金属層13の下層13aを形成する。これにより、支持基板12上に下層13aが形成された構造体33が作製される。
そして、構造体32と構造体33とを、上層13bと下層13aとが当接するように重ね合わせる。この状態で加熱処理を行い、上層13bと下層13aとを接合させる。これにより、上層13a及び下層13bが一体化して、接合金属層13となる。この結果、結晶成長用基板31上に、半導体発光層17、透明絶縁層16、透明導電層14、接合金属層13及び支持基板12がこの順に積層された構造体34が作製される。このとき、接合金属層13の下層13aと上層13bとの界面13cには、ボイド(図示せず)が形成される場合がある。
次に、図4(c)に示すように、ウェットエッチング等により、構造体34から結晶成長用基板31を除去する。これにより、半導体発光層17が露出する。
次に、図1(a)及び(b)に示すように、支持基板12の下面上に下部電極11を形成し、半導体発光層17の上面上に上部電極18を選択的に形成する。
次に、ブレード(図示せず)によってダイシングを行い、積層体を個片化する。このとき、ブレードは透明導電層14における反射金属層15を内包していない部分を通過する。このようにして、半導体発光装置1が製造される。
次に、図1(a)及び(b)に示すように、支持基板12の下面上に下部電極11を形成し、半導体発光層17の上面上に上部電極18を選択的に形成する。
次に、ブレード(図示せず)によってダイシングを行い、積層体を個片化する。このとき、ブレードは透明導電層14における反射金属層15を内包していない部分を通過する。このようにして、半導体発光装置1が製造される。
次に、本実施形態に係る半導体発光装置の動作について説明する。
図1(a)及び(b)に示すように、半導体発光装置1において、下部電極11と上部電極18との間に電圧を印加すると、半導体発光層17に電力が供給されて、半導体発光層17が例えば赤色の光を出射する。このとき、下部電極11から半導体発光層17に流れる電流は、透明絶縁層16の開口部16aを通過する。すなわち、透明絶縁層16は、下部電極11から半導体発光層17に流れる電流の経路を制限する電流狭窄層として機能する。
図1(a)及び(b)に示すように、半導体発光装置1において、下部電極11と上部電極18との間に電圧を印加すると、半導体発光層17に電力が供給されて、半導体発光層17が例えば赤色の光を出射する。このとき、下部電極11から半導体発光層17に流れる電流は、透明絶縁層16の開口部16aを通過する。すなわち、透明絶縁層16は、下部電極11から半導体発光層17に流れる電流の経路を制限する電流狭窄層として機能する。
また、半導体発光層17から上方、すなわち、支持基板12の反対側に向かって出射された光の大部分は、そのまま半導体発光装置1から出射される。一方、半導体発光層17から下方、すなわち、支持基板12側に向かって出射した光の大部分は、透明絶縁層16を通過し、透明導電層14における端部14aを除く領域の上部を通過して反射金属層15に到達し、反射金属層15によって反射されて、上方に向かう。また、半導体発光層17から下方に向かって出射した光のうち、透明導電層14の端部14aに入射した光の一部は、接合金属層13によって反射されて、上方に向かう。
次に、本実施形態の効果について説明する。
本実施形態においては、接合金属層13を金によって形成しているため、図4(b)に示す接合工程において、構造体32と構造体33との接合性が良好である。
本実施形態においては、接合金属層13を金によって形成しているため、図4(b)に示す接合工程において、構造体32と構造体33との接合性が良好である。
また、本実施形態においては、反射金属層15は透明導電層14内に埋め込まれているため、銀からなる反射金属層15とITOからなる透明導電層14との密着性が低い場合でも、反射金属層15は透明導電層14から剥離しにくい。従って、半導体発光装置1は、機械的な安定性が高い。
特に、反射金属層15が透明導電層14の端部14aに配置されていないため、ダイシングの際に、ブレードが透明導電層14と反射金属層15との界面を通過することがない。これにより、ダイシングの際に、透明導電層14と反射金属層15との界面と、ブレードによる加工面との交線を起点として、この界面に剥離が生じることを防止できる。このため、本実施形態に係る半導体発光装置1は、生産性が高い。
なお、反射金属層15が配置されない端部14aの幅は、光の反射効率の観点からは、透明導電層14の下層14bと上層14cとの間の密着性が確保できる範囲で狭い方が好ましいが、反射金属層15をパターニングする際の加工精度と、ダイシングの精度によって制限される。
一方、本実施形態においては、反射金属層15を銀によって形成している。上述の如く、半導体発光層17から下方に向けて出射した光の大部分は、反射金属層15によって反射される。そして、銀の可視光に対する反射率は95%程度であり、金の可視光に対する反射率は90%程度である。従って、半導体発光層17が出射する光に対する反射金属層15の反射率は、半導体発光層17が出射する光に対する接合金属層13の反射率よりも高い。このため、本実施形態に係る半導体発光装置1は、光の取出効率が高い。
また、本実施形態においては、反射金属層15が透明導電層14の端部14aを除く領域の全体に配置されているため、半導体発光層17から出射された光を、効率的に反射することができる。
更に、下部電極11から半導体発光層17に流れる電流は透明絶縁層16の開口部16aを通過するため、半導体発光層17は、開口部16aの直上域及びその周辺において集中的に発光する。反射金属層15は、開口部16aの直下域及びその周辺に配置されているため、半導体発光層17から出射された光を効率的に反射することができる。
このように、本実施形態に係る半導体発光装置は、接合金属層13を金により形成しているため、良好な接合性を実現し、反射金属層15を銀によって形成しているため、良好な光反射特性を実現し、反射金属層15を透明導電層14内に埋め込んでいるため、製造過程及び製造後において高い機械的強度を実現することができる。この結果、高い生産性と光の取出効率を両立させることができる。
これに対して、仮に、反射金属層15を設けないと、半導体発光層17から下方に出射された光の大部分は、金からなる接合金属層13によって反射される。しかしながら、可視光に対する金の反射率は90%程度であり、銀の反射率である95%よりも低いため、この場合は、光の取出効率が低い。本実施形態に係る半導体発光装置1は、反射金属層15が設けられていない半導体発光装置と比較して、輝度が12〜13%向上した。
また、仮に、反射金属層15を設けず、接合金属層13を銀によって形成すると、銀は金と比較して酸化されやすいため、図4(b)に示す工程において、良好な接合性を得ることが困難である。このため、半導体発光装置の生産性が低下する。
更に、金からなる接合金属層13上の全面に銀からなる反射金属層15を積層し、その上の全面にITOからなる透明導電層14を形成することも考えられる。しかしながら、この場合は、銀とITOとの間の密着性が低いため、反射金属層15と透明導電層14との界面が脆弱になる。このため、ダイシング工程において、反射金属層15と透明導電層14との界面が剥離しやすくなり、生産性が低下する。また、製造後の製品の信頼性が低下する。
次に、第2の実施形態について説明する。
図5(a)は本実施形態に係る半導体発光装置を例示する平面図であり、(b)は(a)に示すA−A’線による断面図である。
なお、図5(a)においては、図示の便宜上、上部電極18は省略している。
図5(a)は本実施形態に係る半導体発光装置を例示する平面図であり、(b)は(a)に示すA−A’線による断面図である。
なお、図5(a)においては、図示の便宜上、上部電極18は省略している。
図5(a)及び(b)に示すように、本実施形態に係る半導体発光装置2は、前述の第1の実施形態に係る半導体発光装置1(図1(a)及び(b)参照)と比較して、反射金属層15が複数の部分に分割されている点が異なっている。反射金属層15の各部分は、透明絶縁層16の開口部16a毎に設けられており、開口部16aの直下域及びその周辺の領域に配置されている。また、積層方向から見て、反射金属層15の各部分の形状は矩形である。
本実施形態によれば、前述の第1の実施形態と比較して、透明導電層14の上層14cと下層14bとの接触面積が大きいため、上層14cと下層14bとの密着性が高い。これにより、透明導電層14と反射金属層15とをより強固に固定することができるため、ダイシング工程において、透明導電層14と反射金属層15との界面の剥離がより生じにくくなり、生産性がより向上する。一方、前述の第1の実施形態は、本実施形態と比較して、反射金属層15が連続的に配置されているため、光の取出効率が高い。
また、本実施形態においても、電流が流れる開口部16aの直下域には反射金属層15が配置されているため、反射金属層15を分割することによる光の取出効率の低下を抑えることができる。
本実施形態における上記以外の構成、製造方法、動作及び効果は、前述の第1の実施形態と同様である。
本実施形態における上記以外の構成、製造方法、動作及び効果は、前述の第1の実施形態と同様である。
次に、第3の実施形態について説明する。
図6(a)は本実施形態に係る半導体発光装置を例示する平面図であり、(b)は(a)に示すA−A’線による断面図である。
なお、図6(a)においては、図示の便宜上、上部電極18は省略している。
図6(a)は本実施形態に係る半導体発光装置を例示する平面図であり、(b)は(a)に示すA−A’線による断面図である。
なお、図6(a)においては、図示の便宜上、上部電極18は省略している。
図6(a)及び(b)に示すように、本実施形態に係る半導体発光装置3は、前述の第2の実施形態に係る半導体発光装置2(図5(a)及び(b)参照)と比較して、反射金属層15がより細かく分割されており、分割された反射金属層15の部分の数が、透明絶縁層16の開口部16aの数よりも多い点が異なっている。これにより、透明導電層14と反射金属層15とをより強固に固定することができる。
本実施形態における上記以外の構成、製造方法、動作及び効果は、前述の第2の実施形態と同様である。
本実施形態における上記以外の構成、製造方法、動作及び効果は、前述の第2の実施形態と同様である。
次に、第4の実施形態について説明する。
図7(a)は本実施形態に係る半導体発光装置を例示する平面図であり、(b)は(a)に示すA−A’線による断面図である。
なお、図7(a)においては、図示の便宜上、上部電極18は省略している。
図7(a)は本実施形態に係る半導体発光装置を例示する平面図であり、(b)は(a)に示すA−A’線による断面図である。
なお、図7(a)においては、図示の便宜上、上部電極18は省略している。
図7(a)及び(b)に示すように、本実施形態に係る半導体発光装置4は、前述の第3の実施形態に係る半導体発光装置3(図6(a)及び(b)参照)と比較して、積層方向から見た反射金属層15の各部分の形状が楕円形である点が異なっている。なお、楕円形には真円形も含まれる。
本実施形態における上記以外の構成、製造方法、動作及び効果は、前述の第3の実施形態と同様である。
本実施形態における上記以外の構成、製造方法、動作及び効果は、前述の第3の実施形態と同様である。
前述の各実施形態において示したように、反射金属層15の面積は、機械的強度と光の取出効率とのトレードオフを考慮して任意に決定することができる。また、反射金属層15の各部分の形状も任意であり、矩形及び楕円形には限定されない。
なお、半導体発光装置の各部の材料は、前述の各実施形態において示された例には限定されない。
例えば、前述の各実施形態においては、支持基板12をシリコンによって形成する例を示したが、これには限定されず、例えば銅(Cu)によって形成してもよい。
例えば、前述の各実施形態においては、支持基板12をシリコンによって形成する例を示したが、これには限定されず、例えば銅(Cu)によって形成してもよい。
また、前述の各実施形態においては、接合金属層13を金の単層とする例を示したが、これには限定されず、例えばチタン(Ti)層、白金(Pt)層及び金層の三層構造としてもよい。この場合、チタン層はシリコンと金との拡散を防止し、白金層はチタン層と金層との密着性を改善する。また、接合前の接合金属層13の下層13a及び上層13bの露出面上に、インジウム(In)又は錫(Sn)を堆積させてもよい。これにより、界面13cにおけるボイドの発生を抑制することができる。
更に、前述の各実施形態においては、透明導電層14をITOによって形成する例を示したが、これには限定されず、例えばZnO等の亜鉛系酸化物、又は、InGaZnO等のインジウム系酸化物によって形成してもよい。
更にまた、前述の各実施形態においては、反射金属層15を銀によって形成する例を示したが、これには限定されず、反射金属層15の材料は、半導体発光層17から出射される光についての反射率が、接合金属層13の反射率よりも高い材料であればよい。反射用金属層15は、例えば、アルミニウム(Al)又は白金(Pt)によって形成してもよい。
更にまた、前述の各実施形態においては、半導体発光層17を、GaP層及びInGaAlP層の積層膜とする例を示したが、これには限定されない。半導体発光層17の材料は、例えば、GaP、GaN、InGaN、InGaAlP又はGaAlAsとすることができる。
更にまた、前述の各実施形態においては、半導体発光層17が赤色の光を出射する例を示したが、これには限定されない。半導体発光層17は、例えば、赤色以外の可視光を出射してもよく、波長が1.3〜1.58μm程度の光通信に用いる近赤外線を出射してもよく、紫外線を出射してもよい。
更にまた、前述の各実施形態においては、結晶成長用基板31をガリウムヒ素(GaAs)によって形成する例を示したが、これには限定されず、例えば、結晶成長用基板31は、サファイア、シリコン炭化物(SiC)、ガリウム窒化物(GaN)又はシリコン(Si)によって形成してもよい。
以上説明した実施形態によれば、生産性が高く、光の取出効率が高い半導体発光装置を実現することができる。
以上、いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明及びその等価物の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。
1、2、3、4:半導体発光装置、11:下部電極、12:支持基板、13:接合金属層、13a:下層、13b:上層、13c:界面、14:透明導電層、14a:端部、14b:下層、14c:上層、15:反射金属層、15a:端縁、16:透明絶縁層、16a:開口部、17:半導体発光層、17a:GaP層、17b:InGaAlP層、18:上部電極、31:結晶成長用基板、32、33、34:構造体
Claims (6)
- 支持基板と、
前記支持基板上に設けられた第1金属層と、
前記第1金属層上に設けられた透明導電層と、
前記透明導電層内に埋め込まれた第2金属層と、
前記透明導電層と前記半導体発光層との間に選択的に設けられた透明絶縁層と、
前記透明絶縁層上に設けられた半導体発光層と、
を備え、
前記半導体発光層が出射する光に対する前記第2金属層の反射率は、前記半導体発光層が出射する光に対する前記第1金属層の反射率よりも高く、
前記透明導電層は、前記透明絶縁層が設けられていない領域において前記半導体発光層に接続されており、
前記第2金属層は、前記透明絶縁層が設けられていない領域の直下域を含む領域に設けられており、
前記第2金属層の端縁の全体が前記透明導電層によって覆われている半導体発光装置。 - 支持基板と、
前記支持基板上に設けられた第1金属層と、
前記第1金属層上に設けられた透明導電層と、
前記透明導電層内に埋め込まれた第2金属層と、
前記透明導電層上に設けられた半導体発光層と、
を備え、
前記半導体発光層が出射する光に対する前記第2金属層の反射率は、前記半導体発光層が出射する光に対する前記第1金属層の反射率よりも高い半導体発光装置。 - 前記第2金属層の端縁の全体が前記透明導電層によって覆われている請求項2記載の半導体発光装置。
- 前記第2金属層は、前記透明導電層の端部を除く領域に連続的に配置されている請求項3記載の半導体発光装置。
- 前記透明導電層と前記半導体発光層との間に選択的に設けられた透明絶縁層をさらに備え、
前記透明導電層は、前記透明絶縁層が設けられていない領域において前記半導体発光層に接続されており、
前記第2金属層は、前記透明絶縁層が設けられていない領域の直下域を含む領域に設けられている請求項2〜4のいずれか1つに記載の半導体発光装置。 - 前記第2金属層は、前記透明絶縁層が設けられていない領域毎に設けられている請求項5記載の半導体発光装置。
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