JP2014044384A - Light deflector - Google Patents

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JP2014044384A JP2012188281A JP2012188281A JP2014044384A JP 2014044384 A JP2014044384 A JP 2014044384A JP 2012188281 A JP2012188281 A JP 2012188281A JP 2012188281 A JP2012188281 A JP 2012188281A JP 2014044384 A JP2014044384 A JP 2014044384A
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Toshihiko Nishihata
俊彦 西端
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light deflector which has a small number of components and can be manufactured in a short manufacturing process.SOLUTION: The light deflector 100 includes a first rotary part 10 and a second rotary part 20. The first rotary part 10 includes a frame part 11, a mirror part 12 and torsion bars 13a, 13b. The second rotary part 20 includes a frame part 21, a central frame part 22 and torsion bars 23a, 23b. The mirror part 12 rotates around a first axis. The central frame part 22 rotates around a second axis which is different from the first axis. A coil 14 and magnets 15a, 15b which are drive parts for rotating the mirror part 12, and a coil 24 and magnets 25a, 25b which are drive parts for rotating the central frame part 22 are all disposed outside the mirror part 12.

Description

本発明は、MEMS（Micro Electro Mechanical System）技術を用いた光偏向器に関する。   The present invention relates to an optical deflector using MEMS (Micro Electro Mechanical System) technology.

近年、MEMS技術を用いた光偏向器が種々開発されている。光偏向器は、一例として、画像を表示させるための表示デバイスとして用いられる。光偏向器のミラーにレーザ光を照射し、ミラーを２次元的に偏向させる。これによって、光偏向器は、レーザ光を水平方向及び垂直方向に走査させて、スクリーン上に画像を表示させることができる。この種の光偏向器は、例えば特許文献１に記載されている。   In recent years, various optical deflectors using MEMS technology have been developed. An optical deflector is used as a display device for displaying an image as an example. The mirror of the optical deflector is irradiated with laser light to deflect the mirror two-dimensionally. Thereby, the optical deflector can scan the laser beam in the horizontal direction and the vertical direction to display an image on the screen. This type of optical deflector is described in Patent Document 1, for example.

特開２００４−１９８６４８号公報JP 2004-198648 A

部品点数が少なく、短い製造工程で製造することができる光偏向器が求められている。本発明はこのような要望に対応するため、部品点数が少なく、短い製造工程で製造することができる光偏向器を提供することを目的とする。   There is a need for an optical deflector that has a small number of parts and can be manufactured in a short manufacturing process. In order to meet such a demand, an object of the present invention is to provide an optical deflector that has a small number of parts and can be manufactured in a short manufacturing process.

本発明は、上述した従来の技術の課題を解決するため、第１の開口（１１ｏ）を有する第１のフレーム部（１１）と、前記第１の開口内に配置されたミラー部（１２）と、前記第１のフレーム部及び前記ミラー部に直接的または間接的に接続され、前記ミラー部を第１の軸の周りに回動自在に保持する第１のトーションバー（１３ａ，１３ｂ）とを有する第１の回動部（１０）と、第２の開口（２１ｏ）を有する第２のフレーム部（２１）と、前記第２の開口内に配置され、前記第１のフレーム部が固定される中央フレーム部（２２）と、前記第２のフレーム部及び前記中央フレーム部に接続され、前記中央フレーム部を前記第１の軸とは異なる第２の軸の周りに回動自在に保持する第２のトーションバー（２３ａ，２３ｂ）とを有する第２の回動部（２０）と、前記ミラー部の外部に設けられ、前記ミラー部を前記第１の軸の周りに回動させる第１の駆動部（１４，１５ａ，１５ｂ）と、前記ミラー部の外部に設けられ、前記中央フレーム部を前記第２の軸の周りに回動させる第２の駆動部（２４，２５ａ，２５ｂ）とを備えることを特徴とする光偏向器（１００）提供する。   In order to solve the above-described problems of the prior art, the present invention provides a first frame portion (11) having a first opening (11o) and a mirror portion (12) disposed in the first opening. And a first torsion bar (13a, 13b) connected directly or indirectly to the first frame part and the mirror part and holding the mirror part so as to be rotatable around a first axis. A first rotating part (10) having a second frame part (21) having a second opening (21o), and the first frame part being fixed in the second opening. A central frame portion (22) that is connected to the second frame portion and the central frame portion, and the central frame portion is rotatably held around a second axis different from the first axis. A second torsion bar (23a, 23b) A rotation unit (20), a first drive unit (14, 15a, 15b) provided outside the mirror unit and configured to rotate the mirror unit around the first axis; and Provided is an optical deflector (100) provided with a second drive unit (24, 25a, 25b) which is provided outside and rotates the central frame unit around the second axis.

上記の光偏向器において、前記第１の駆動部は、前記中央フレーム部に形成された第１のコイル（１４）と、前記中央フレーム部の外部に配置された第１の磁石（１５ａ，１５ｂ）とを有することが好ましい。   In the optical deflector, the first driving unit includes a first coil (14) formed in the central frame unit and first magnets (15a, 15b) arranged outside the central frame unit. ).

上記の光偏向器において、前記第２の駆動部は、前記中央フレーム部に形成された第２のコイル（２４）と、前記中央フレーム部の外部に配置された第２の磁石（２５ａ，２５ｂ）とを有することが好ましい。   In the above optical deflector, the second driving unit includes a second coil (24) formed in the central frame unit and second magnets (25a, 25b) arranged outside the central frame unit. ).

上記の光偏向器において、前記第１の回動部はシリコンによって形成され、前記第２の回動部はポリイミドによって形成されていることが好ましい。   In the above optical deflector, it is preferable that the first rotating portion is made of silicon and the second rotating portion is made of polyimide.

本発明の光偏向器によれば、部品点数が少なく、短い製造工程で製造することができる。   According to the optical deflector of the present invention, the number of parts is small and the optical deflector can be manufactured in a short manufacturing process.

（ａ）は一実施形態の光偏向器を示す上面図、（ｂ）は（ａ）の１Ａ−１Ａ断面図である。(A) is a top view which shows the optical deflector of one Embodiment, (b) is 1A-1A sectional drawing of (a). 一実施形態の光偏向器を用いた画像表示装置の概略的な構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the schematic structure of the image display apparatus using the optical deflector of one Embodiment. 一実施形態の光偏向器を用いた画像表示装置の概略的な構成を示す斜視図である。It is a perspective view showing a schematic structure of an image display device using an optical deflector of one embodiment.

以下、一実施形態の光偏向器について、添付図面を参照して説明する。図１の（ａ）に示すように、一実施形態の光偏向器１００は、第１の回動部１０と第２の回動部２０とを備える。   Hereinafter, an optical deflector according to an embodiment will be described with reference to the accompanying drawings. As shown to (a) of FIG. 1, the optical deflector 100 of one Embodiment is provided with the 1st rotation part 10 and the 2nd rotation part 20. As shown in FIG.

第１の回動部１０は次のように構成される。フレーム部１１は、開口１１ｏを有する。開口１１ｏ内には、フレーム部１１と一対のトーションバー１３ａ，１３ｂによって接続されたミラー部１２が配置されている。ここでは、トーションバー１３ａ，１３ｂはフレーム部１１とミラー部１２とに直接的に接続されているが、他の部材を介して間接的に接続されていてもよい。   The 1st rotation part 10 is comprised as follows. The frame part 11 has an opening 11o. A mirror portion 12 connected to the frame portion 11 by a pair of torsion bars 13a and 13b is disposed in the opening 11o. Here, the torsion bars 13a and 13b are directly connected to the frame portion 11 and the mirror portion 12, but may be indirectly connected via other members.

ミラー部１２は、後述する駆動部によって、図１の（ａ）における左右方向の第１の軸の周りに第１の共振周波数で回動される。第１の回動部１０内には、ミラー部１２を駆動するための駆動部を設けていない。   The mirror unit 12 is rotated at a first resonance frequency around a first axis in the left-right direction in FIG. A driving unit for driving the mirror unit 12 is not provided in the first rotating unit 10.

フレーム部１１、ミラー部１２、トーションバー１３ａ，１３ｂは同一材料によって、略同一の厚みに形成されている。フレーム部１１、ミラー部１２、トーションバー１３ａ，１３ｂを形成する材料としては、シリコンが好適である。フレーム部１１、ミラー部１２、トーションバー１３ａ，１３ｂを有する第１の回動部１０は、所定厚さのシリコン層をエッチングすることによって容易に製造することができる。   The frame part 11, the mirror part 12, and the torsion bars 13a and 13b are made of the same material and have substantially the same thickness. Silicon is suitable as a material for forming the frame part 11, the mirror part 12, and the torsion bars 13a and 13b. The first rotating part 10 having the frame part 11, the mirror part 12, and the torsion bars 13a and 13b can be easily manufactured by etching a silicon layer having a predetermined thickness.

第２の回動部２０は次のように構成される。フレーム部２１は、開口２１ｏを有する。開口２１ｏ内には、フレーム部２１と一対のトーションバー２３ａ，２３ｂによって接続された中央フレーム部２２が配置されている。図１の（ｂ）に示すように、中央フレーム部２２はフレーム部１１の外形寸法よりも小さい開口２２ｏを有する。フレーム部１１は中央フレーム部２２上に載置され、フレーム部１１と中央フレーム部２２とは接着剤等によって接着されて一体化されている。   The second rotating unit 20 is configured as follows. The frame portion 21 has an opening 21o. A center frame portion 22 connected to the frame portion 21 by a pair of torsion bars 23a and 23b is disposed in the opening 21o. As shown in FIG. 1B, the central frame portion 22 has an opening 22 o that is smaller than the outer dimensions of the frame portion 11. The frame part 11 is placed on the central frame part 22, and the frame part 11 and the central frame part 22 are bonded and integrated by an adhesive or the like.

中央フレーム部２２は、後述する駆動部によって、図１の（ａ）における上下方向の第２の軸の周りに第１の共振周波数とは異なる周波数（第１の共振周波数より低い周波数）で回動される。   The center frame portion 22 is rotated at a frequency different from the first resonance frequency (a frequency lower than the first resonance frequency) around the second axis in the vertical direction in FIG. Moved.

フレーム部２１、中央フレーム部２２、トーションバー２３ａ，２３ｂは同一材料によって、略同一の厚みに形成されている。フレーム部２１、中央フレーム部２２、トーションバー２３ａ，２３ｂを形成する材料としては、ポリイミドが好適である。   The frame portion 21, the central frame portion 22, and the torsion bars 23a and 23b are formed of the same material and have substantially the same thickness. As a material for forming the frame portion 21, the central frame portion 22, and the torsion bars 23a and 23b, polyimide is suitable.

中央フレーム部２２の上面には、ミラー部１２を駆動するための駆動部の一部を構成する複数ターンのコイル１４が配置されている。中央フレーム部２２の外側（図１ではフレーム部２１の外側に示している）には、ミラー部１２を駆動するための駆動部の一部を構成する磁石１５ａ，１５ｂが配置されている。コイル１４と磁石１５ａ，１５ｂとで、ミラー部１２を駆動するための駆動部を構成している。図１では簡略化のためコイル１４を２ターンとしているが、実際にはさらに多いターン数である。   On the upper surface of the central frame portion 22, a multi-turn coil 14 that constitutes a part of a drive portion for driving the mirror portion 12 is disposed. Magnets 15 a and 15 b that constitute a part of a drive unit for driving the mirror unit 12 are arranged outside the central frame unit 22 (shown outside the frame unit 21 in FIG. 1). The coil 14 and the magnets 15a and 15b constitute a drive unit for driving the mirror unit 12. In FIG. 1, the coil 14 has two turns for simplification, but the number of turns is actually larger.

フレーム部２１の上面には、コイル１４に電気信号を供給するための端子１６ａ，１６ｂが設けられている。コイル１４を構成する配線パターンの両端部は、端子１６ａ，１６ｂに接続されている。   Terminals 16 a and 16 b for supplying electrical signals to the coil 14 are provided on the upper surface of the frame portion 21. Both ends of the wiring pattern constituting the coil 14 are connected to the terminals 16a and 16b.

さらに、中央フレーム部２２の上面には、中央フレーム部２２を駆動するための駆動部の一部を構成する複数ターンのコイル２４が配置されている。図１の（ａ）では、コイル１４との区別を容易にするため、コイル２４を破線にて示している。   Further, a multi-turn coil 24 that constitutes a part of a drive unit for driving the central frame part 22 is disposed on the upper surface of the central frame part 22. In FIG. 1A, the coil 24 is indicated by a broken line in order to easily distinguish it from the coil 14.

中央フレーム部２２の上面におけるコイル１４及びコイル２４の配置方法として、コイル１４とコイル２４とを互いに異なる位置に配置する方法がある。図１では、中央フレーム部２２の上面においてコイル１４よりも外側の領域にコイル２４を配置して示しているが、これに限定されるものではなく、中央フレーム部２２の上面においてコイル２４よりも外側の領域にコイル１４を配置するようにしてもよい。   As a method of arranging the coil 14 and the coil 24 on the upper surface of the central frame portion 22, there is a method of arranging the coil 14 and the coil 24 at different positions. In FIG. 1, the coil 24 is shown in a region outside the coil 14 on the upper surface of the central frame portion 22. However, the present invention is not limited to this, and the upper surface of the central frame portion 22 is more than the coil 24. The coil 14 may be disposed in the outer region.

また、他の配置方法として、中央フレーム部２２の上面にコイル１４とコイル２４とを重ねる、いわゆる、多層配線構造としてもよい。その場合は、コイル１４とコイル２４との絶縁性を確保するためにコイル１４とコイル２４との間に絶縁層を介在させる。
上述したコイル１４，２４の配置方法は、ポリイミド配線基板で用いられている配線技術を用いることができる。 As another arrangement method, a so-called multilayer wiring structure in which the coil 14 and the coil 24 are stacked on the upper surface of the central frame portion 22 may be employed. In that case, an insulating layer is interposed between the coil 14 and the coil 24 in order to ensure insulation between the coil 14 and the coil 24.
The arrangement method of the coils 14 and 24 described above can use the wiring technique used in the polyimide wiring board.

中央フレーム部２２の外側（図１ではフレーム部２１の外側に示している）には、中央フレーム部２２を駆動するための駆動部の一部を構成する磁石２５ａ，２５ｂが配置されている。コイル２４と磁石２５ａ，２５ｂとで、中央フレーム部２２を駆動するための駆動部を構成している。図１では簡略化のためコイル２４を２ターンとしているが、実際にはさらに多いターン数である。   Magnets 25a and 25b that constitute a part of the drive unit for driving the central frame part 22 are arranged outside the central frame part 22 (shown outside the frame part 21 in FIG. 1). The coil 24 and the magnets 25a and 25b constitute a drive unit for driving the central frame portion 22. In FIG. 1, the coil 24 has two turns for simplification, but the number of turns is actually larger.

フレーム部２１の上面には、コイル２４に電気信号を供給するための端子２６ａ，２６ｂが設けられている。コイル２４を構成する配線パターンの両端部は、端子２６ａ，２６ｂに接続されている。   Terminals 26 a and 26 b for supplying electrical signals to the coil 24 are provided on the upper surface of the frame portion 21. Both ends of the wiring pattern constituting the coil 24 are connected to the terminals 26a and 26b.

コイル１４，２４をフレーム部２１の下面（裏面）に形成してもよい。端子１６ａ，１６ｂ，２６ａ，２６ｂもフレーム部２１の下面に形成してもよい。   The coils 14 and 24 may be formed on the lower surface (back surface) of the frame portion 21. The terminals 16a, 16b, 26a, and 26b may also be formed on the lower surface of the frame portion 21.

なお、ミラー部１２は、コイル１４と磁石１５ａ，１５ｂとで第１の軸の周りに回動され、コイル２４と磁石２５ａ，２５ｂとで第２の軸の周りに回動されると説明してきたが、実際には、ミラー部１２は、第１の軸の周りに回動される場合も、第２の軸の周りに回動される場合もいずれも４つの磁石１５ａ，１５ｂ，２５ａ，２５ｂが発生する磁界の影響を受ける。そのため、ミラー部１２が、コイル１４と磁石１５ａ，１５ｂとで第１の軸の周りに回動され、コイル２４と磁石２５ａ，２５ｂとで第２の軸の周りに回動されるように、４つの磁石１５ａ，１５ｂ，２５ａ，２５ｂを配置する。   It has been described that the mirror unit 12 is rotated around the first axis by the coil 14 and the magnets 15a and 15b, and is rotated around the second axis by the coil 24 and the magnets 25a and 25b. However, in actuality, the mirror unit 12 has four magnets 15a, 15b, 25a, both when rotated around the first axis and when rotated around the second axis. 25b is affected by the magnetic field generated. Therefore, the mirror unit 12 is rotated around the first axis by the coil 14 and the magnets 15a and 15b, and is rotated around the second axis by the coil 24 and the magnets 25a and 25b. Four magnets 15a, 15b, 25a, 25b are arranged.

以上のように、一実施形態の光偏向器１００は、第１の回動部１０内には、ミラー部１２を駆動するための駆動部を設けていない。第１の回動部１０内には、中央フレーム部２２を駆動するための駆動部も設けていない。光偏向器１００は、ミラー部１２を駆動するための駆動部及び中央フレーム部２２を駆動するための駆動部を第１の回動部１０の外部に設けている。   As described above, the optical deflector 100 according to the embodiment does not include a driving unit for driving the mirror unit 12 in the first rotating unit 10. A driving unit for driving the central frame unit 22 is not provided in the first rotating unit 10. In the optical deflector 100, a driving unit for driving the mirror unit 12 and a driving unit for driving the central frame unit 22 are provided outside the first rotating unit 10.

具体的には、光偏向器１００は、ミラー部１２を駆動するための駆動部の一部（コイル１４）及び中央フレーム部２２を駆動するための駆動部の一部（コイル２４）を、第２の回動部２０を構成する中央フレーム部２２上に設けている。また、光偏向器１００は、ミラー部１２を駆動するための駆動部の他の一部（磁石１５ａ，１５ｂ）及び中央フレーム部２２を駆動するための駆動部の他の一部磁石２５ａ，２５ｂ）を、第１の回動部１０の外側に設けている。   Specifically, the optical deflector 100 includes a part of the driving unit (coil 14) for driving the mirror unit 12 and a part of the driving unit (coil 24) for driving the central frame unit 22. It is provided on the central frame portion 22 constituting the two rotating portions 20. Further, the optical deflector 100 includes another part of the drive part (magnets 15a and 15b) for driving the mirror part 12 and other part of the drive part magnets 25a and 25b for driving the central frame part 22. ) Is provided outside the first rotating unit 10.

光偏向器１００を用いてレーザ光を水平方向及び垂直方向に走査させて画像表示する画像表示装置を構成する場合、第１の回動部１０のミラー部１２が第１の軸の周りに回動することによってレーザ光は水平方向に走査され、第２の回動部２０の中央フレーム部２２が第２の軸の周りに回動することによってレーザ光は垂直方向に走査される。   When configuring an image display device that displays an image by scanning the laser beam in the horizontal direction and the vertical direction using the optical deflector 100, the mirror unit 12 of the first rotating unit 10 rotates around the first axis. The laser beam is scanned in the horizontal direction by moving, and the laser beam is scanned in the vertical direction by rotating the central frame portion 22 of the second rotating unit 20 around the second axis.

一実施形態の光偏向器１００においては、第１の回動部１０は駆動部を構成するコイル等の構成部品を有さないため、簡単な振動構造のみで第１の回動部１０を構成することができる。コイル等の構成部品を第２の回動部２０側に集約しているので、第１の回動部１０の駆動部の構成部品と第２の回動部２０の駆動部の構成部品との接続が容易となる。よって、光偏向器１００は部品点数が少なく、短い製造工程で製造することができる。また、一実施形態の光偏向器１００によれば、小型化や低コスト化も可能となる。   In the optical deflector 100 according to the embodiment, the first rotating unit 10 does not include components such as a coil constituting the driving unit, and therefore the first rotating unit 10 is configured with only a simple vibration structure. can do. Since the components such as the coils are concentrated on the second rotating unit 20 side, the components of the driving unit of the first rotating unit 10 and the components of the driving unit of the second rotating unit 20 Connection becomes easy. Therefore, the optical deflector 100 has a small number of parts and can be manufactured in a short manufacturing process. In addition, according to the optical deflector 100 of one embodiment, it is possible to reduce the size and the cost.

図２，図３を用いて、光偏向器１００を用いた画像表示装置の概略的な構成について説明する。光偏向器１００は、概略的に、ミラー１２，中央フレーム部２２，水平駆動部１０hd，垂直駆動部２０vdを有する。コイル１４と磁石１５ａ，１５ｂとは、ミラー部１２を駆動するための水平駆動部１０hdを構成している。コイル２４と磁石２５ａ，２５ｂとは、中央フレーム部２２を駆動するための垂直駆動部２０vdを構成している。   A schematic configuration of an image display apparatus using the optical deflector 100 will be described with reference to FIGS. The optical deflector 100 generally includes a mirror 12, a central frame portion 22, a horizontal drive portion 10hd, and a vertical drive portion 20vd. The coil 14 and the magnets 15a and 15b constitute a horizontal drive unit 10hd for driving the mirror unit 12. The coil 24 and the magnets 25a and 25b constitute a vertical drive unit 20vd for driving the central frame unit 22.

制御部１０１には、画像表示装置で表示する画像信号が入力される。制御部１０１は、入力された画像信号の水平同期信号に基づいて、光偏向器１００を水平方向に揺動させるための水平駆動信号を生成して水平駆動部１０hdに供給する。制御部１０１は、入力された画像信号の垂直同期信号に基づいて、光偏向器１００を垂直方向に揺動させるための垂直駆動信号を生成して垂直駆動部２０vdに供給する。   An image signal to be displayed on the image display device is input to the control unit 101. The control unit 101 generates a horizontal drive signal for swinging the optical deflector 100 in the horizontal direction based on the horizontal synchronization signal of the input image signal, and supplies the horizontal drive signal to the horizontal drive unit 10hd. The control unit 101 generates a vertical drive signal for swinging the optical deflector 100 in the vertical direction based on the vertical synchronization signal of the input image signal, and supplies the vertical drive signal to the vertical drive unit 20vd.

Ｒ光源駆動部１０２ｒ，Ｇ光源駆動部１０２ｇ，Ｂ光源駆動部１０２ｂは、制御部１０１による制御によって、Ｒ光源１０３ｒ，Ｇ光源１０３ｇ，Ｂ光源１０３ｂをそれぞれ駆動する。Ｒ光源１０３ｒ，Ｇ光源１０３ｇ，Ｂ光源１０３ｂは、３原色のレーザ光であるＲ，Ｇ，Ｂ光を発生する。プリズム１０４は、Ｒ光源１０３ｒより発せられたＲ光の光路を９０度折り曲げる。プリズム１０５はＲ光とＧ光とを合成し、プリズム１０６は、Ｒ光とＧ光との合成光とＢ光とを合成する。   The R light source driving unit 102r, the G light source driving unit 102g, and the B light source driving unit 102b drive the R light source 103r, the G light source 103g, and the B light source 103b, respectively, under the control of the control unit 101. The R light source 103r, the G light source 103g, and the B light source 103b generate R, G, and B light that are laser beams of three primary colors. The prism 104 bends the optical path of the R light emitted from the R light source 103r by 90 degrees. The prism 105 combines the R light and the G light, and the prism 106 combines the combined light of the R light and the G light and the B light.

制御部１０１は、入力された画像信号に応じた合成光がプリズム１０６より出力されるよう、Ｒ光源駆動部１０２ｒ，Ｇ光源駆動部１０２ｇ，Ｂ光源駆動部１０２ｂを制御する。ミラー１０７は、プリズム１０６より出力されたＲ，Ｇ，Ｂ光の合成光を反射する。レンズ１０８は、ミラー１０７からの合成光を集光してミラー１２へと入射させる。   The control unit 101 controls the R light source driving unit 102r, the G light source driving unit 102g, and the B light source driving unit 102b so that the combined light corresponding to the input image signal is output from the prism 106. The mirror 107 reflects the combined light of R, G, B light output from the prism 106. The lens 108 collects the combined light from the mirror 107 and makes it incident on the mirror 12.

破線で囲んだＲ光源１０３ｒ，Ｇ光源１０３ｇ，Ｂ光源１０３ｂと、プリズム１０４〜１０６と、ミラー１０７と、レンズ１０８の部分は、図３におけるレーザ光源５０に相当する。図３において、レーザ光源５０より発せられた画像信号に応じたレーザ光は、光偏向器１００のミラー１２に入射される。ミラー１２は、上述したように、第１の回動部１０によってレーザ光をスクリーン６０の水平方向に走査させるよう揺動され、第２の回動部２０によってレーザ光をスクリーン６０の垂直方向に走査させるよう揺動される。   The R light source 103r, the G light source 103g, the B light source 103b, the prisms 104 to 106, the mirror 107, and the lens 108 surrounded by broken lines correspond to the laser light source 50 in FIG. In FIG. 3, the laser light corresponding to the image signal emitted from the laser light source 50 is incident on the mirror 12 of the optical deflector 100. As described above, the mirror 12 is swung so that the laser beam is scanned in the horizontal direction of the screen 60 by the first rotating unit 10, and the laser beam is moved in the vertical direction of the screen 60 by the second rotating unit 20. It is swung to scan.

光偏向器１００によるレーザ光の水平方向及び垂直方向の走査によって、スクリーン６０上には画像信号に基づく画像が表示される。   An image based on the image signal is displayed on the screen 60 by scanning the laser beam in the horizontal direction and the vertical direction by the optical deflector 100.

本発明は以上説明した本実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。   The present invention is not limited to the embodiment described above, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

１０ 第１の回動部
１１，２１ フレーム部
１１ｏ，２１ｏ 開口
１２ ミラー部
１３ａ，１３ｂ，２３ａ，２３ｂ トーションバー
２０ 第２の回動部
２２ 中央フレーム部
１４ コイル（第１の駆動部）
１５ａ，１５ｂ 磁石（第１の駆動部）
２４ コイル（第２の駆動部）
２５ａ，２５ｂ 磁石（第２の駆動部）
１００ 光偏向器 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 1st rotation part 11,21 Frame part 11o, 21o Opening 12 Mirror part 13a, 13b, 23a, 23b Torsion bar 20 2nd rotation part 22 Central frame part 14 Coil (1st drive part)
15a, 15b Magnet (first drive unit)
24 coil (second drive unit)
25a, 25b Magnet (second drive unit)
100 Optical deflector

Claims (4)

第１の開口を有する第１のフレーム部と、
前記第１の開口内に配置されたミラー部と、
前記第１のフレーム部及び前記ミラー部に直接的または間接的に接続され、前記ミラー部を第１の軸の周りに回動自在に保持する第１のトーションバーと、
を有する第１の回動部と、
第２の開口を有する第２のフレーム部と、
前記第２の開口内に配置され、前記第１のフレーム部が固定される中央フレーム部と、
前記第２のフレーム部及び前記中央フレーム部に接続され、前記中央フレーム部を前記第１の軸とは異なる第２の軸の周りに回動自在に保持する第２のトーションバーと、
を有する第２の回動部と、
前記ミラー部の外部に設けられ、前記ミラー部を前記第１の軸の周りに回動させる第１の駆動部と、
前記ミラー部の外部に設けられ、前記中央フレーム部を前記第２の軸の周りに回動させる第２の駆動部と、
を備えることを特徴とする光偏向器。 A first frame portion having a first opening;
A mirror portion disposed in the first opening;
A first torsion bar connected directly or indirectly to the first frame part and the mirror part, and holding the mirror part rotatably about a first axis;
A first rotating part having
A second frame portion having a second opening;
A central frame portion disposed in the second opening to which the first frame portion is fixed;
A second torsion bar connected to the second frame portion and the central frame portion and rotatably holding the central frame portion around a second axis different from the first axis;
A second rotating part having
A first drive unit provided outside the mirror unit and configured to rotate the mirror unit around the first axis;
A second drive unit provided outside the mirror unit and configured to rotate the central frame unit around the second axis;
An optical deflector comprising: 前記第１の駆動部は、前記中央フレーム部に形成された第１のコイルと、前記中央フレーム部の外部に配置された第１の磁石とを有することを特徴とする請求項１記載の光偏向器。   2. The light according to claim 1, wherein the first driving unit includes a first coil formed in the central frame unit, and a first magnet disposed outside the central frame unit. Deflector. 前記第２の駆動部は、前記中央フレーム部に形成された第２のコイルと、前記中央フレーム部の外部に配置された第２の磁石とを有することを特徴とする請求項１または２に記載の光偏向器。   The said 2nd drive part has the 2nd coil formed in the said center frame part, and the 2nd magnet arrange | positioned outside the said center frame part, The Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. The optical deflector as described. 前記第１の回動部はシリコンによって形成され、前記第２の回動部はポリイミドによって形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の光偏向器。   4. The optical deflector according to claim 1, wherein the first rotating part is formed of silicon, and the second rotating part is formed of polyimide. 5.
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