JP2014035310A - Radiant energy measurement device - Google Patents

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Takahiro Tanaka
貴博 田中
Yuki Iwaki
裕樹 岩城
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a radiant energy measurement device capable of heating a heated surface of a sample efficiently even if the sample is a molten material, powder or a liquid, and of reliably measuring only an electromagnetic wave radiated by the sample.SOLUTION: The radiant energy measurement device includes: a support section 212 for supporting a heated object (sample S) vertically from below; a heating section (sample heating section 232) which is disposed vertically above the support section 212, has through holes 232a, 232b penetrating vertically, and applies heat to the heated object; and an energy amount measurement section for measuring an energy amount of an electromagnetic wave which is radiated by the heated object as a result of the heating by the heating section and passes through the through holes 232a, 232b.

Description

本発明は、被加熱物を加熱することによって、当該被加熱物から放射された電磁波のエネルギー量を測定する放射エネルギー測定装置に関する。   The present invention relates to a radiant energy measuring apparatus that measures an energy amount of electromagnetic waves radiated from an object to be heated by heating the object to be heated.

サンプルを加熱することで当該サンプルから放射される電磁波(ふく射)の放射率を測定する技術として、黒体比較法という技術が知られている。黒体比較法は、放射される電磁波のエネルギー量が既知である黒体と、サンプルとを等温に加熱して、黒体の電磁波のエネルギー量とサンプルの電磁波のエネルギー量とを比較することによって、サンプルに関する電磁波の放射率を測定する技術である。   As a technique for measuring the emissivity of electromagnetic waves (radiation) radiated from a sample by heating the sample, a technique called a black body comparison method is known. The black body comparison method is to heat a black body with a known amount of energy of the radiated electromagnetic wave and the sample isothermally and compare the energy amount of the electromagnetic wave of the black body with the energy amount of the electromagnetic wave of the sample. This is a technique for measuring the emissivity of electromagnetic waves related to a sample.

このような、黒体比較法を遂行するための放射エネルギー測定装置においてサンプルを加熱する加熱部として、サンプルを載置したサンプル皿の鉛直下方に設置され、当該サンプル皿を介してサンプルを鉛直下方から加熱する加熱部が開示されている(例えば、特許文献1、非特許文献1)。すべての物体は加熱されると、直進性を有する電磁波を全方向に放射するので、上述した鉛直下方に加熱部を設置した放射エネルギー測定装置では、サンプルの鉛直上方を大気開放することで室温に冷却して、サンプルの上面付近から、電磁波を放射する物体、すなわち、高温の物体がないようにし、サンプル上面から鉛直上方に向かって放射された電磁波を測定することで、サンプルの電磁波のエネルギー量のみを測定している。   In such a radiant energy measuring apparatus for performing the black body comparison method, the heating unit that heats the sample is installed vertically below the sample dish on which the sample is placed, and the sample is vertically lowered through the sample dish. A heating unit for heating from the above is disclosed (for example, Patent Document 1, Non-Patent Document 1). When all objects are heated, they emit electromagnetic waves with straightness in all directions. Therefore, in the radiant energy measurement device with the heating unit installed vertically above, the sample is brought to room temperature by opening the sample vertically above the atmosphere. The amount of energy of the electromagnetic wave of the sample is measured by cooling and measuring the electromagnetic wave radiated vertically upward from the upper surface of the sample so that there is no object that radiates electromagnetic waves from the vicinity of the upper surface of the sample, that is, a high-temperature object. Only measuring.

しかし、鉛直下方からサンプルを加熱する上記技術では、測定対象となる電磁波を放射する鉛直上面を直接加熱するわけではないため、当該サンプルの鉛直上面を効率よく加熱することが困難である。例えば、熱伝導率が相対的に低いサンプルの鉛直上面の温度を1500℃にするためには、加熱部の温度を2000℃以上にしなければならなかった。   However, in the above technique of heating the sample from below vertically, the vertical top surface that emits the electromagnetic wave to be measured is not directly heated, so it is difficult to efficiently heat the vertical top surface of the sample. For example, in order to set the temperature of the vertical upper surface of a sample having a relatively low thermal conductivity to 1500 ° C., the temperature of the heating section had to be 2000 ° C. or higher.

そこで、内周面に加熱部が配された断熱室にサンプルを設置しておき、サンプル全体を直接加熱する技術が開発されている(例えば、非特許文献2)。非特許文献2の技術では、加熱部が放射する電磁波を除外するために、鉛直方向に延伸した冷却管をサンプルの上面近傍に配し、冷却管を通過した電磁波のみを測定している。この場合、サンプル以外が放射した電磁波を冷却管の外周面で物理的に遮断するとともに、冷却管に、サンプルの上面から鉛直上方に放射された電磁波のみを通過させることができる。したがって、サンプルが放射した電磁波のエネルギー量のみを測定することが可能となる。   In view of this, a technique has been developed in which a sample is placed in a heat-insulating chamber in which a heating unit is arranged on the inner peripheral surface, and the entire sample is directly heated (for example, Non-Patent Document 2). In the technique of Non-Patent Document 2, in order to exclude the electromagnetic wave radiated from the heating unit, a cooling pipe extending in the vertical direction is arranged near the upper surface of the sample, and only the electromagnetic wave passing through the cooling pipe is measured. In this case, the electromagnetic waves emitted from other than the sample can be physically blocked by the outer peripheral surface of the cooling pipe, and only the electromagnetic waves emitted vertically upward from the upper surface of the sample can be passed through the cooling pipe. Therefore, it is possible to measure only the energy amount of the electromagnetic wave emitted from the sample.

また、サンプルを加熱する加熱工程においてサンプルの側面に加熱部を配しておき、サンプルの側面から水平方向に向かって放射される電磁波を測定する測定工程においては、加熱部をサンプルの側面から退避させて、代わりに測定部を配して、電磁波のエネルギー量を測定する技術も開示されている(例えば、非特許文献3)。   In addition, a heating unit is arranged on the side surface of the sample in the heating step for heating the sample, and the heating unit is retracted from the side surface of the sample in the measurement step for measuring electromagnetic waves radiated from the side surface of the sample in the horizontal direction. Instead, a technique is also disclosed in which a measurement unit is arranged to measure the energy amount of electromagnetic waves (for example, Non-Patent Document 3).

特開2012−21955号公報JP 2012-21955 A

Mulcahy, M. F. R. et al., "Fireside Deposits and Their Effect on Heat Transfer in a Pulverized Fuel-Fired Boiler (Part1)“, J. Institute of Fuel, vol.39, No.308, (1966)Mulcahy, M. F. R. et al., "Fireside Deposits and Their Effect on Heat Transfer in a Pulverized Fuel-Fired Boiler (Part1)“, J. Institute of Fuel, vol.39, No.308, (1966) Kjelby, A. S., Emittance Measurement Capability for Temperatures up to 3000°F, Measurement of Thermal Radiation Properties of Solids, NASA SP-31, pp.505-514 (1963)Kjelby, A. S., Emittance Measurement Capability for Temperatures up to 3000 ° F, Measurement of Thermal Radiation Properties of Solids, NASA SP-31, pp.505-514 (1963) Redgrove J. S, A new method for accurate measurement of spectral emissivity, High Temperatures - High Pressures, vol.17, pp.145-151 (1985)Redgrove J. S, A new method for accurate measurement of spectral emissivity, High Temperatures-High Pressures, vol.17, pp.145-151 (1985)

上述した非特許文献2の技術では、冷却管をサンプルの鉛直上面近傍に常に配しておくと、サンプルの鉛直上面における冷却管と相対する領域が冷却管によって冷却されたり、加熱部によって加熱されなくなったりして、冷却管と相対する領域の温度が低下する。したがって、加熱時には断熱室外に冷却管を退避させておき、測定時にのみ冷却管をサンプルの鉛直上面近傍に配するようにしている。このため、冷却管を駆動させるための複雑な駆動機構を要し、装置自体のコストが増大していた。また、冷却管を鉛直方向に移動させているため、断熱室の上方に冷却管を退避させるためのスペースが必要となり、装置自体の占有体積が大きくなってしまっていた。   In the technique of Non-Patent Document 2 described above, if the cooling pipe is always arranged in the vicinity of the vertical upper surface of the sample, an area facing the cooling pipe on the vertical upper surface of the sample is cooled by the cooling pipe or heated by the heating unit. As a result, the temperature in the region facing the cooling pipe decreases. Therefore, the cooling pipe is retracted outside the heat insulation chamber during heating, and the cooling pipe is arranged near the vertical upper surface of the sample only during measurement. For this reason, a complicated drive mechanism for driving the cooling pipe is required, and the cost of the apparatus itself is increased. Further, since the cooling pipe is moved in the vertical direction, a space for retracting the cooling pipe is required above the heat insulation chamber, and the occupied volume of the apparatus itself has been increased.

また、非特許文献3の技術では、サンプルの側面を加熱するため、側面を形成することができないサンプル、例えば、溶融物や粉体、液体が放射する電磁波を測定することができない。   Further, in the technique of Non-Patent Document 3, since the side surface of the sample is heated, it is impossible to measure an electromagnetic wave emitted from a sample that cannot form the side surface, such as a melt, powder, or liquid.

そこで本発明は、このような課題に鑑み、溶融物や粉体、液体といったサンプルであっても効率よく被加熱面を加熱でき、サンプルから放射された電磁波のみを確実に測定することが可能な放射エネルギー測定装置を提供することを目的としている。   Therefore, in view of such problems, the present invention can efficiently heat the surface to be heated even in the case of a sample such as a melt, powder, or liquid, and can reliably measure only the electromagnetic waves radiated from the sample. It aims at providing a radiant energy measuring device.

上記課題を解決するために、本発明の放射エネルギー測定装置は、被加熱物を鉛直下方から支持する支持部と、支持部の鉛直上方に設けられ、鉛直方向に貫通した貫通孔を有し、被加熱物を加熱する加熱部と、加熱部に加熱されることによって被加熱物から放射され、貫通孔を通過した電磁波のエネルギー量を測定するエネルギー量測定部と、を備えたことを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problem, the radiant energy measurement device of the present invention has a support part that supports the object to be heated from vertically below, and a through hole that is provided vertically above the support part and penetrates in the vertical direction. A heating unit that heats the object to be heated, and an energy amount measuring unit that measures the energy amount of the electromagnetic wave radiated from the object to be heated and heated through the through-hole by being heated by the heating unit. To do.

また、貫通孔内に設けられ、被加熱物以外から放射された電磁波を遮断する遮断部をさらに備えるとしてもよい。   Moreover, it is good also as providing the interruption | blocking part provided in a through-hole, and interrupting | blocking the electromagnetic waves radiated | emitted from other than a to-be-heated material.

また、加熱部は、被加熱物の表面に沿った形状で構成されるとしてもよい。   Moreover, a heating part is good also as a shape along the surface of a to-be-heated material.

また、加熱部を含む上部ユニットと、支持部を含む下部ユニットとが互いに分離可能に設けられているとしてもよい。   Moreover, the upper unit including the heating unit and the lower unit including the support unit may be provided so as to be separable from each other.

本発明によれば、溶融物や粉体、液体といったサンプルであっても効率よく被加熱面を加熱でき、サンプルから放射された電磁波のみを確実に測定することが可能となる。   According to the present invention, even a sample such as a melt, powder, or liquid can efficiently heat the surface to be heated, and only the electromagnetic waves radiated from the sample can be reliably measured.

放射エネルギー測定装置の構成を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the structure of a radiant energy measuring device. サンプル加熱炉の斜視図である。It is a perspective view of a sample heating furnace. 図2のIII−III線におけるYZ断面図である。It is YZ sectional drawing in the III-III line of FIG. 遮断部の具体的な構成の一例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating an example of the specific structure of a interruption | blocking part. 実施例と比較例とのサンプルの温度差を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the temperature difference of the sample of an Example and a comparative example.

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The dimensions, materials, and other specific numerical values shown in the embodiments are merely examples for facilitating the understanding of the invention, and do not limit the present invention unless otherwise specified. In the present specification and drawings, elements having substantially the same function and configuration are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted, and elements not directly related to the present invention are not illustrated. To do.

(放射エネルギー測定装置100)
図1は、放射エネルギー測定装置100の構成を説明するための図である。図1中、電磁波の流れを実線の矢印で示し、信号の流れを破線の矢印で示す。図1に示すように、放射エネルギー測定装置100は、黒体加熱炉110と、黒体温度測定部120と、サンプル加熱炉150と、サンプル温度測定部160と、温度制御部170と、複数のミラー180(180a、180b、180c、180d)と、エネルギー量測定部190とを含んで構成される。
(Radiation energy measuring device 100)
FIG. 1 is a diagram for explaining the configuration of the radiant energy measuring apparatus 100. In FIG. 1, the flow of electromagnetic waves is indicated by solid arrows, and the flow of signals is indicated by broken arrows. As shown in FIG. 1, the radiant energy measuring apparatus 100 includes a black body heating furnace 110, a black body temperature measuring unit 120, a sample heating furnace 150, a sample temperature measuring unit 160, a temperature control unit 170, and a plurality of A mirror 180 (180a, 180b, 180c, 180d) and an energy amount measuring unit 190 are included.

黒体加熱炉110は、黒体112と、黒体加熱部114とを含んで構成される。黒体112は、実質的に黒体とみなせる物質であればよく、例えば、放射率が0.9以上の物質を採用できる。黒体加熱部114は、後述する温度制御部170の制御指令に応じて黒体112を加熱する。黒体温度測定部120は、例えば、熱電対で構成されており、黒体112における、測定対象となる電磁波を放射する面の温度(以下、単に「黒体112の温度」と称する)を測定する。   The black body heating furnace 110 includes a black body 112 and a black body heating unit 114. The black body 112 may be any material that can be substantially regarded as a black body. For example, a material having an emissivity of 0.9 or more can be employed. The black body heating unit 114 heats the black body 112 in accordance with a control command from a temperature control unit 170 described later. The black body temperature measurement unit 120 is constituted by, for example, a thermocouple, and measures the temperature of the surface of the black body 112 that emits the electromagnetic wave to be measured (hereinafter simply referred to as “temperature of the black body 112”). To do.

詳しくは後述するが、サンプル加熱炉150は、少なくとも、サンプルSと、サンプル加熱部232とを含んで構成される。サンプル加熱部232は、温度制御部170の制御指令に応じてサンプルSを加熱する。サンプル温度測定部160は、例えば、熱電対で構成されており、サンプルSにおける、測定対象となる電磁波を放射する面(本実施形態では、鉛直上面)の温度(以下、単に「サンプルSの温度」と称する)を測定する。   As will be described in detail later, the sample heating furnace 150 includes at least a sample S and a sample heating unit 232. The sample heating unit 232 heats the sample S in accordance with a control command from the temperature control unit 170. The sample temperature measurement unit 160 is constituted by, for example, a thermocouple, and the temperature (hereinafter referred to simply as “the temperature of the sample S”) of the surface (in the present embodiment, the vertical upper surface) that emits the electromagnetic wave to be measured in the sample S. Is measured).

温度制御部170は、黒体温度測定部120が測定した黒体112の温度に基づいて黒体加熱部114を制御し、サンプル温度測定部160が測定したサンプルSの温度に基づいて、サンプル加熱部232を制御して、黒体112の温度とサンプルSの温度とが実質的に等温になるように制御する。   The temperature control unit 170 controls the black body heating unit 114 based on the temperature of the black body 112 measured by the black body temperature measurement unit 120, and heats the sample based on the temperature of the sample S measured by the sample temperature measurement unit 160. The unit 232 is controlled so that the temperature of the black body 112 and the temperature of the sample S are substantially isothermal.

そして、黒体加熱部114によって加熱されることで、黒体112から放射された電磁波は、ミラー180a、180bで反射されてエネルギー量測定部190に導入される。一方、サンプル加熱部232によって加熱されることで、サンプルSから放射された電磁波は、ミラー180c、180dで反射されてエネルギー量測定部190に導入される。   Then, the electromagnetic wave radiated from the black body 112 by being heated by the black body heating unit 114 is reflected by the mirrors 180 a and 180 b and introduced into the energy amount measuring unit 190. On the other hand, the electromagnetic wave radiated from the sample S by being heated by the sample heating unit 232 is reflected by the mirrors 180 c and 180 d and introduced into the energy amount measuring unit 190.

エネルギー量測定部190は、例えば、FTIR(フーリエ変換赤外分光光度計)で構成され、黒体112から放射された電磁波のエネルギー量(以下、単に「黒体112の放射エネルギー量」と称する)と、サンプルから放射された電磁波のエネルギー量(以下、単に「サンプルSの放射エネルギー量」と称する)を測定する。そして、エネルギー量測定部190は、測定した黒体112の放射エネルギー量を基準として、サンプルSの電磁波の放射率を導出する。   The energy amount measuring unit 190 is composed of, for example, an FTIR (Fourier transform infrared spectrophotometer), and the energy amount of electromagnetic waves radiated from the black body 112 (hereinafter, simply referred to as “radiant energy amount of the black body 112”). Then, the amount of energy of electromagnetic waves radiated from the sample (hereinafter simply referred to as “the amount of radiant energy of sample S”) is measured. The energy amount measuring unit 190 derives the emissivity of the electromagnetic wave of the sample S based on the measured radiant energy amount of the black body 112.

このように、放射エネルギー測定装置100において、サンプル加熱炉150はサンプルSを効率よく加熱するとともに、サンプルS以外の物質から放射される電磁波がエネルギー量測定部190に導入されるのを回避する必要がある。そこで、本実施形態では、サンプルSの加熱効率を向上させるとともに、外乱となるサンプルS以外の物質が放射した電磁波のエネルギー量測定部190への混入を防止することが可能なサンプル加熱炉150について説明する。   As described above, in the radiant energy measuring apparatus 100, the sample heating furnace 150 needs to efficiently heat the sample S and avoid introduction of electromagnetic waves radiated from substances other than the sample S into the energy amount measuring unit 190. There is. Therefore, in the present embodiment, the sample heating furnace 150 capable of improving the heating efficiency of the sample S and preventing the electromagnetic wave radiated by a substance other than the sample S that is a disturbance from entering the energy amount measuring unit 190. explain.

(サンプル加熱炉150)
図2は、サンプル加熱炉150の斜視図であり、図3は、図2のIII−III線におけるYZ断面図である。本実施形態の図2では、垂直に交わるX軸(水平方向)、Y軸(水平方向)、Z軸(鉛直方向)を図示の通り定義している。
(Sample heating furnace 150)
FIG. 2 is a perspective view of the sample heating furnace 150, and FIG. 3 is a YZ sectional view taken along line III-III in FIG. In FIG. 2 of the present embodiment, an X axis (horizontal direction), a Y axis (horizontal direction), and a Z axis (vertical direction) that intersect perpendicularly are defined as illustrated.

これらの図に示すように、サンプル加熱炉150は、下部ユニット210と、上部ユニット230とで構成されており、下部ユニット210は、支持部212と、回転部214と、断熱材216とを含んで構成され、上部ユニット230は、サンプル加熱部(加熱部)232と、遮断部240(図中、240a、240bで示す)と、断熱材250とを含んで構成される。ここでは、まず、支持部212、サンプル加熱部232、遮断部240の構成を説明し、続いて、回転部214、断熱材216、250について説明する。   As shown in these drawings, the sample heating furnace 150 includes a lower unit 210 and an upper unit 230. The lower unit 210 includes a support part 212, a rotating part 214, and a heat insulating material 216. The upper unit 230 includes a sample heating unit (heating unit) 232, a blocking unit 240 (indicated by 240a and 240b in the figure), and a heat insulating material 250. Here, the structure of the support part 212, the sample heating part 232, and the interruption | blocking part 240 is demonstrated first, and the rotation part 214 and the heat insulating materials 216 and 250 are demonstrated continuously.

支持部212は、例えば、セラミック製の皿(トレー)で構成され、サンプルS(被加熱物)を鉛直下方から支持する。かかる構成により、固形物のみならず、溶融物や粉体、液体といったサンプルSであっても確実に支持することができる。   The support unit 212 is formed of, for example, a ceramic dish (tray), and supports the sample S (object to be heated) from below. With this configuration, not only the solid material but also the sample S such as a melt, powder, or liquid can be reliably supported.

サンプル加熱部232は、支持部212の鉛直上方に設けられており、上述した温度制御部170の制御指令に応じて、サンプルSを直接加熱する。サンプル加熱部232は、例えば、サンプルSを室温程度から1500℃〜2000℃程度まで加熱する。詳細に説明すると、サンプル加熱部232は、サンプルSの表面に沿った形状で構成されており、サンプルSの鉛直上面を加熱する。サンプル加熱部232とサンプルSとの距離は、できる限り短い方が好ましく、例えば、10mm以下がよく、5mm以下がより好ましい。つまり、サンプル加熱部232は、サンプルSの鉛直上面を覆うように配されることとなる。   The sample heating unit 232 is provided vertically above the support unit 212 and directly heats the sample S in accordance with the control command of the temperature control unit 170 described above. For example, the sample heating unit 232 heats the sample S from about room temperature to about 1500 ° C. to 2000 ° C. If it demonstrates in detail, the sample heating part 232 will be comprised by the shape along the surface of the sample S, and will heat the vertical upper surface of the sample S. FIG. The distance between the sample heating unit 232 and the sample S is preferably as short as possible. For example, the distance is preferably 10 mm or less, and more preferably 5 mm or less. That is, the sample heating unit 232 is arranged so as to cover the vertical upper surface of the sample S.

このように、サンプルSの鉛直上方にサンプル加熱部232を配することで、サンプル加熱部232から見たサンプルSの形態係数(視野に入る割合)を向上させることができ、サンプルSの熱伝導率にかかわらず、サンプルSの鉛直上面、すなわち、電磁波の放射面を効率よく加熱することができる。そして、サンプル加熱部232によってサンプルSが加熱されると、サンプルSの鉛直上面から全方向に電磁波が放射されることになる。   As described above, by disposing the sample heating unit 232 vertically above the sample S, it is possible to improve the form factor (the ratio of entering the visual field) of the sample S viewed from the sample heating unit 232, and the heat conduction of the sample S. Regardless of the rate, the vertical upper surface of the sample S, that is, the radiation surface of the electromagnetic wave can be efficiently heated. Then, when the sample S is heated by the sample heating unit 232, electromagnetic waves are radiated from the vertical upper surface of the sample S in all directions.

また、サンプル加熱部232には、鉛直方向(図3中、Z軸方向)に貫通した貫通孔232a、232bが設けられており、かかる貫通孔232a、232bに遮断部240a、240bが設けられている。   In addition, the sample heating unit 232 is provided with through holes 232a and 232b penetrating in the vertical direction (Z-axis direction in FIG. 3), and the through holes 232a and 232b are provided with blocking portions 240a and 240b. Yes.

図4は、遮断部240aの具体的な構成の一例を説明するための図であり、遮断部240aにおけるサンプルS近傍の部分拡大図を示す。なお、遮断部240bは、遮断部240aと実質的に構成が等しいため、ここでは、遮断部240aについて説明し、遮断部240bについての説明を省略する。   FIG. 4 is a diagram for explaining an example of a specific configuration of the blocking unit 240a, and shows a partially enlarged view of the vicinity of the sample S in the blocking unit 240a. In addition, since the interruption | blocking part 240b is substantially the same structure as the interruption | blocking part 240a, here, the interruption | blocking part 240a is demonstrated and description about the interruption | blocking part 240b is abbreviate | omitted.

図4に示すように、遮断部240aは、2重管(外周部242、内周部244)と仕切板246とで構成されており、遮断部240a内を冷媒(例えば、水、空気、図4中、破線の矢印で示す)が流通可能である。したがって、遮断部240aに冷媒を流通させることにより、サンプルSと比較して、遮断部240aを十分に冷却することができ、遮断部240から放射される電磁波を実質的にゼロとすることができる。   As shown in FIG. 4, the blocking part 240a is composed of a double pipe (an outer peripheral part 242 and an inner peripheral part 244) and a partition plate 246, and a refrigerant (for example, water, air, FIG. 4 (indicated by broken arrows) can be distributed. Therefore, by circulating the refrigerant through the blocking unit 240a, the blocking unit 240a can be sufficiently cooled compared to the sample S, and the electromagnetic wave radiated from the blocking unit 240 can be made substantially zero. .

また、上述したように、すべての物体は加熱されると電磁波を放射するが、サンプルSから鉛直上方に向かって放射される電磁波(図4中、白抜き矢印で示す)を囲繞するように遮断部240aを配することにより、遮断部240aは、サンプルSから鉛直上方に向かって放射される電磁波以外の電磁波(図4中、実線の矢印で示す)のエネルギー量測定部190への導入を物理的に遮断することが可能となる。   In addition, as described above, all objects emit electromagnetic waves when heated, but are blocked so as to surround the electromagnetic waves radiated vertically upward from the sample S (indicated by white arrows in FIG. 4). By providing the unit 240a, the blocking unit 240a physically introduces the electromagnetic wave (indicated by a solid line arrow in FIG. 4) other than the electromagnetic wave radiated vertically upward from the sample S into the energy amount measuring unit 190. Can be blocked.

ここで、サンプルSから鉛直上方に向かって放射される電磁波以外の電磁波は、例えば、サンプルSから鉛直上方向以外の方向に放射される電磁波R1、サンプル加熱部232自体から放射される電磁波R2、サンプル加熱部232によって加熱されることで断熱材216、250から放射される電磁波R3、支持部212から放射される電磁波R4である。   Here, the electromagnetic waves other than the electromagnetic waves radiated vertically upward from the sample S include, for example, an electromagnetic wave R1 radiated from the sample S in a direction other than the vertical upward direction, an electromagnetic wave R2 radiated from the sample heating unit 232 itself, The electromagnetic wave R3 radiated from the heat insulating materials 216 and 250 and the electromagnetic wave R4 radiated from the support part 212 by being heated by the sample heating part 232.

また、本実施形態にかかる遮断部240の内周面244aには、黒体が保持(塗布)されている。これにより、サンプルSから鉛直上方に向かって放射される電磁波以外の電磁波であって、サンプルSの鉛直上面で反射した電磁波を黒体に吸収させることができる。したがって、サンプルSから鉛直上方に向かって放射される電磁波以外の電磁波であって、サンプルSの鉛直上面で反射した電磁波がエネルギー量測定部190へ導入されるのを回避することが可能となる。ここで、遮断部240の内周面244aに保持させる黒体の放射率は、例えば、0.9以上であり、耐熱温度は、冷媒の冷却限界温度以上(冷媒が水である場合、100℃)であるとよい。   Further, a black body is held (applied) on the inner peripheral surface 244a of the blocking portion 240 according to the present embodiment. Thereby, the electromagnetic waves other than the electromagnetic waves radiated vertically upward from the sample S and reflected by the vertical upper surface of the sample S can be absorbed by the black body. Therefore, it is possible to avoid the introduction of the electromagnetic wave other than the electromagnetic wave radiated vertically upward from the sample S and reflected by the vertical upper surface of the sample S into the energy amount measuring unit 190. Here, the emissivity of the black body held on the inner peripheral surface 244a of the blocking portion 240 is, for example, 0.9 or more, and the heat resistant temperature is equal to or higher than the cooling limit temperature of the refrigerant (when the refrigerant is water, 100 ° C. ).

こうして、サンプルSから鉛直上方に放射された電磁波のみが、遮断部240を通過することができ、エネルギー量測定部190は、サンプルSから鉛直上方に放射された電磁波のエネルギー量のみを測定することが可能となる。   Thus, only the electromagnetic wave radiated vertically upward from the sample S can pass through the blocking unit 240, and the energy amount measuring unit 190 measures only the energy amount of the electromagnetic wave radiated vertically upward from the sample S. Is possible.

なお、エネルギー量測定部190においてサンプルSの電磁波を測定している間は、外乱(サンプルSから鉛直上方に向かって放射される電磁波以外の電磁波)の混入を抑制するために、遮断部240に常時冷媒を流通させている。したがって、冷却された遮断部240によって、サンプルSの鉛直上面の一部(サンプルSにおける遮断部240と相対する領域)から熱が奪われてしまうことがある。また、サンプルSにおける遮断部240と相対する領域は、サンプル加熱部232と相対しなくなることから、温度が低下してしまうことがある。そこで、本実施形態にかかるサンプル加熱炉150では、回転部214を設けている。   In addition, while measuring the electromagnetic wave of the sample S in the energy amount measuring unit 190, in order to suppress the mixing of disturbances (electromagnetic waves other than the electromagnetic wave radiated vertically from the sample S), the blocking unit 240 is used. The refrigerant is circulated constantly. Therefore, heat may be taken from a part of the vertical upper surface of the sample S (a region facing the blocking unit 240 in the sample S) by the cooled blocking unit 240. Moreover, since the area | region facing the interruption | blocking part 240 in the sample S does not oppose the sample heating part 232, temperature may fall. Therefore, in the sample heating furnace 150 according to the present embodiment, the rotating unit 214 is provided.

図3に戻って説明すると、回転部214は、支持部212に連結されたシャフト214aと、シャフト214aを回転駆動する不図示のモータとを含んで構成され、鉛直方向(図3中、Z軸方向)を回転軸として支持部212を回転させる。なお、回転部214は、エネルギー量測定部190によるサンプルSの電磁波を測定している間、支持部212を回転させる。   Referring back to FIG. 3, the rotation unit 214 includes a shaft 214 a connected to the support unit 212 and a motor (not shown) that rotationally drives the shaft 214 a, and is configured in the vertical direction (Z axis in FIG. 3). The support portion 212 is rotated with the direction) as the rotation axis. The rotating unit 214 rotates the support unit 212 while measuring the electromagnetic wave of the sample S by the energy amount measuring unit 190.

回転部214が支持部212を回転させることにより、サンプルSにおける遮断部240と相対する領域を周方向に分散することができ、サンプルSにおける任意の領域が遮断部240と常に相対することがなくなり、また、サンプルSにおける任意の領域が常にサンプル加熱部232に相対しないことがなくなり、サンプルSにおける特定の領域が冷却されてしまう事態を回避することが可能となる。つまり、サンプルSにおける、測定対象となる電磁波を放射する面とサンプル加熱部232とを断続的に相対することができ、測定対象となる電磁波を放射する面の温度が著しく低下してしまうことがなくなる。したがって、エネルギー量測定部190は、サンプル加熱部232によって加熱されたサンプルSの鉛直上面における、遮断部240と相対する周方向の領域の平均の電磁波を測定することとなる。   When the rotating unit 214 rotates the support unit 212, the region of the sample S facing the blocking unit 240 can be dispersed in the circumferential direction, and any region in the sample S does not always face the blocking unit 240. In addition, an arbitrary region in the sample S is not always opposed to the sample heating unit 232, and a situation in which a specific region in the sample S is cooled can be avoided. That is, the surface of the sample S that emits the electromagnetic wave to be measured can be intermittently opposed to the sample heating unit 232, and the temperature of the surface that emits the electromagnetic wave to be measured can be significantly reduced. Disappear. Therefore, the energy amount measuring unit 190 measures an average electromagnetic wave in a circumferential region facing the blocking unit 240 on the vertical upper surface of the sample S heated by the sample heating unit 232.

断熱材216は、支持部212およびシャフト214aを囲繞し、サンプル加熱部232によってサンプルSに与えられた熱の外部への放熱を抑制する。断熱材250は、サンプル加熱部232、遮断部240を囲繞し、サンプル加熱部232が放出する熱の外部への放熱を抑制する。   The heat insulating material 216 surrounds the support portion 212 and the shaft 214a, and suppresses heat radiation to the outside of the heat given to the sample S by the sample heating portion 232. The heat insulating material 250 surrounds the sample heating unit 232 and the blocking unit 240, and suppresses the heat released from the sample heating unit 232 to the outside.

また、本実施形態において、下部ユニット210と上部ユニット230とは、互いに分離可能に設けられている。かかる構成により、サンプルSを容易に支持部212に設置することができる。また、支持部212、回転部214、サンプル加熱部232、遮断部240等の構成部材のメンテナンス性を向上することが可能となる。   In the present embodiment, the lower unit 210 and the upper unit 230 are provided so as to be separable from each other. With this configuration, the sample S can be easily installed on the support portion 212. In addition, it is possible to improve the maintainability of components such as the support unit 212, the rotation unit 214, the sample heating unit 232, the blocking unit 240, and the like.

(実施例)
図5は、実施例と比較例とのサンプルの温度差を説明するための図であり、図5(a)は、比較例のサンプル加熱炉10を説明するための図を示し、図5(b)は、実施例のサンプル加熱部232によって加熱した場合のサンプルの温度と、比較例の加熱部14によって加熱した場合のサンプルの温度との差を説明するための図である。
(Example)
FIG. 5 is a diagram for explaining a temperature difference between samples in the example and the comparative example. FIG. 5A shows a diagram for explaining the sample heating furnace 10 in the comparative example, and FIG. (b) is a figure for demonstrating the difference of the temperature of the sample at the time of heating by the sample heating part 232 of an Example, and the temperature of the sample at the time of heating by the heating part 14 of a comparative example.

図5(a)に示すように、比較例のサンプル加熱炉10は、支持部212と、加熱部14とを含んで構成される。なお、サンプル加熱炉10の支持部212は、サンプル加熱炉150の支持部212と同様に、セラミック製の皿(トレー)で構成され、サンプルSを鉛直下方から支持する。一方、サンプル加熱炉10の加熱部14は、支持部212の鉛直下方に配され、鉛直下方からサンプルSを加熱する。   As shown in FIG. 5A, the sample heating furnace 10 of the comparative example includes a support part 212 and a heating part 14. The support part 212 of the sample heating furnace 10 is formed of a ceramic dish (tray), like the support part 212 of the sample heating furnace 150, and supports the sample S from below vertically. On the other hand, the heating part 14 of the sample heating furnace 10 is arranged vertically below the support part 212 and heats the sample S from below vertically.

まず、比較例におけるサンプルSの鉛直上面の温度と、加熱部10の温度について説明すると、図5(b)中、黒四角で示すように、比較例では、加熱部10の温度よりも400℃〜600℃程度低い温度までしかサンプルSの鉛直上面を加熱することができない。一方、図5(b)中、白四角で示すように、実施例では、サンプル加熱部232の温度と実質的に等しい温度にサンプルSの鉛直上面を加熱することができることが分かった。   First, the temperature of the vertical upper surface of the sample S in the comparative example and the temperature of the heating unit 10 will be described. As shown by the black square in FIG. 5B, in the comparative example, the temperature is 400 ° C. higher than the temperature of the heating unit 10. The vertical upper surface of the sample S can be heated only to a temperature as low as ˜600 ° C. On the other hand, as shown by a white square in FIG. 5B, it was found that in the example, the vertical upper surface of the sample S can be heated to a temperature substantially equal to the temperature of the sample heating unit 232.

以上の結果から、本実施形態にかかるサンプル加熱部232を用いることで、サンプルSの鉛直上面(測定対象となる電磁波を放射する面)を効率よく加熱することができることを確認できた。   From the above results, it was confirmed that by using the sample heating unit 232 according to the present embodiment, the vertical upper surface of the sample S (surface that radiates electromagnetic waves to be measured) can be efficiently heated.

以上説明したように、本実施形態にかかる放射エネルギー測定装置100によれば、サンプルS(被加熱物)を鉛直下方から支持した状態で、鉛直上方から加熱することにより、溶融物や粉体、液体といったサンプルSであっても効率よく被加熱面を加熱でき、サンプルSから放射された電磁波のみを確実に測定することが可能となる。   As described above, according to the radiant energy measuring apparatus 100 according to the present embodiment, the sample S (object to be heated) is supported from the vertically lower side, and heated from the vertical upper side, Even the sample S such as a liquid can efficiently heat the surface to be heated, and only the electromagnetic wave radiated from the sample S can be reliably measured.

また、従来の、測定時のみ遮断部(冷却管)をサンプル近傍に位置させる構成と比較して、遮断部240を移動させる必要がないため、遮断部240を駆動させるための複雑な駆動機構が不要となり、装置自体のコストの増大を抑えることができる。また、遮断部240を鉛直方向に移動させる必要がないため、サンプル加熱炉150の上方に遮断部240を退避させるためのスペースも不要となり、装置自体の占有体積の増大を回避することが可能となる。   Further, compared to the conventional configuration in which the blocking part (cooling pipe) is positioned near the sample only at the time of measurement, there is no need to move the blocking part 240, so a complicated drive mechanism for driving the blocking part 240 is provided. It becomes unnecessary and the increase in the cost of the device itself can be suppressed. Further, since it is not necessary to move the blocking unit 240 in the vertical direction, a space for retracting the blocking unit 240 above the sample heating furnace 150 is not necessary, and an increase in the occupied volume of the apparatus itself can be avoided. Become.

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described referring an accompanying drawing, it cannot be overemphasized that this invention is not limited to this embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the claims, and these are naturally within the technical scope of the present invention. Is done.

例えば、上述した実施形態において、加熱部として、サンプル加熱炉150のサンプル加熱部232を例に挙げて説明したが、黒体加熱炉110の黒体加熱部114に、本発明の加熱部を適用することもできる。   For example, in the above-described embodiment, the sample heating unit 232 of the sample heating furnace 150 has been described as an example of the heating unit, but the heating unit of the present invention is applied to the black body heating unit 114 of the black body heating furnace 110. You can also

本発明は、被加熱物を加熱することによって、当該被加熱物から放射された電磁波のエネルギー量を測定する放射エネルギー測定装置に利用することができる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used in a radiant energy measuring device that measures the energy amount of electromagnetic waves radiated from a heated object by heating the heated object.

100 …放射エネルギー測定装置
190 …エネルギー量測定部
210 …下部ユニット
212 …支持部
230 …上部ユニット
232 …サンプル加熱部(加熱部)
232a、232b …貫通孔
240 …遮断部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Radiant energy measuring device 190 ... Energy amount measuring part 210 ... Lower unit 212 ... Supporting part 230 ... Upper unit 232 ... Sample heating part (heating part)
232a, 232b ... through hole 240 ... blocking part

Claims (4)

被加熱物を鉛直下方から支持する支持部と、
前記支持部の鉛直上方に設けられ、鉛直方向に貫通した貫通孔を有し、前記被加熱物を加熱する加熱部と、
前記加熱部に加熱されることによって前記被加熱物から放射され、前記貫通孔を通過した電磁波のエネルギー量を測定するエネルギー量測定部と、
を備えたことを特徴とする放射エネルギー測定装置。
A support part for supporting the object to be heated from vertically below;
A heating part that is provided vertically above the support part, has a through-hole penetrating in the vertical direction, and heats the object to be heated;
An energy amount measuring unit that measures the energy amount of electromagnetic waves that are radiated from the object to be heated by passing through the through hole by being heated by the heating unit;
A radiant energy measuring device comprising:
前記貫通孔内に設けられ、前記被加熱物以外から放射された電磁波を遮断する遮断部をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の放射エネルギー測定装置。   The radiant energy measurement device according to claim 1, further comprising a blocking unit that is provided in the through hole and blocks electromagnetic waves radiated from other than the object to be heated. 前記加熱部は、前記被加熱物の表面に沿った形状で構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の放射エネルギー測定装置。   The radiant energy measuring apparatus according to claim 1, wherein the heating unit is configured in a shape along a surface of the object to be heated. 前記加熱部を含む上部ユニットと、前記支持部を含む下部ユニットとが互いに分離可能に設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の放射エネルギー測定装置。   The radiant energy measurement device according to any one of claims 1 to 3, wherein an upper unit including the heating unit and a lower unit including the support unit are provided so as to be separable from each other.
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