JP2014027048A - Semiconductor wafer and semiconductor device manufacturing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は半導体ウェハ及び半導体装置の製造方法に関し、例えば、縦型トランジスタ構造を有する半導体装置を製造するための半導体ウェハ及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a semiconductor wafer and a method for manufacturing a semiconductor device, for example, a semiconductor wafer for manufacturing a semiconductor device having a vertical transistor structure and a method for manufacturing the same.
特許文献1には、半導体装置の耐湿性を向上させるために、パッシベーション膜の開口部において露出するパッド金属膜及び当該開口部におけるパッシベーション膜の側壁面を金属膜により覆う技術が記載されている。 Patent Document 1 describes a technique for covering a pad metal film exposed at an opening portion of a passivation film and a side wall surface of the passivation film at the opening portion with a metal film in order to improve moisture resistance of a semiconductor device.
パワーMOSFET製品では、銅クリップを用いてボンディングを行う場合、半導体チップとクリップの密着性を向上させるために、特許文献1のようにパッド金属上に金属膜を形成することがある。近年、パワーMOSFETでは、オン抵抗を低減するために、ウェハをより薄く研削している。 In a power MOSFET product, when bonding is performed using a copper clip, a metal film may be formed on the pad metal as in Patent Document 1 in order to improve the adhesion between the semiconductor chip and the clip. In recent years, in power MOSFETs, the wafer is ground thinner in order to reduce the on-resistance.
しかしながら、ウェハを薄くするほど、ウェハ反り量は大きくなる。また、パッド金属上に金属膜を形成すると、ウェハ反り量がさらに大きくなる場合がある。ウェハ反り量の増加により、ウェハの搬送や、組立工程でのダイシングテープの貼り付け、ダイシング加工に支障をきたす場合がある。そのため、ウェハの反りを出来るだけ低減する施策が求められている。 However, the thinner the wafer, the greater the amount of wafer warpage. Further, when a metal film is formed on the pad metal, the amount of warpage of the wafer may be further increased. Due to an increase in the amount of warpage of the wafer, there may be cases where the wafer is transported, a dicing tape is affixed in the assembly process, and dicing processing is hindered. Therefore, a measure for reducing the warpage of the wafer as much as possible is required.
特許文献2には、ボンディングパッドの周縁部が中央部よりも突出した凹構造となっている半導体装置が記載されている。ボンディングパッドに接続される金属細線の先端部をボンディングパッドの周縁部の側壁面に沿うようにすることで接続面積を増やし、金属細線とボンディングパッドとの接続強度を増加させている。特許文献2に記載のボンディングパッドは、チップの周辺に形成されるサイズが小さい電極であり、チップに占める割合は小さい。 Patent Document 2 describes a semiconductor device having a concave structure in which a peripheral portion of a bonding pad protrudes from a central portion. By connecting the tip of the fine metal wire connected to the bonding pad along the side wall surface of the peripheral edge of the bonding pad, the connection area is increased, and the connection strength between the fine metal wire and the bonding pad is increased. The bonding pad described in Patent Document 2 is an electrode having a small size formed around the chip, and the proportion of the bonding pad in the chip is small.
上述のように、半導体ウェハの反りを低減することが求められている。 As described above, it is required to reduce the warpage of the semiconductor wafer.
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。 Other problems and novel features will become apparent from the description of the specification and the accompanying drawings.
一実施の形態によれば、半導体ウェハは、半導体基板上に複数のチップが形成されており、複数のチップそれぞれの70%以上の面積にはパッド金属が形成されている。パッド金属の一部は絶縁膜で覆われており、パッド金属の絶縁膜で覆われていない第1部分は、絶縁膜で覆われている第2部分よりも薄い。 According to one embodiment, a semiconductor wafer has a plurality of chips formed on a semiconductor substrate, and a pad metal is formed in an area of 70% or more of each of the plurality of chips. A part of the pad metal is covered with an insulating film, and the first part not covered with the insulating film of the pad metal is thinner than the second part covered with the insulating film.
前記位置実施の形態によれば、半導体ウェハの反りを低減することが可能となる。 According to the position embodiment, the warpage of the semiconductor wafer can be reduced.
本実施の形態は、半導体ウェハ及び半導体装置の製造方法に関し、例えば、パワーMOSFET等の縦型トランジスタ構造を有する半導体装置を製造する半導体ウェハ及びその製造方法に関する。オン抵抗低減のために、半導体ウェハを薄くすることにより発生する反りを低減するものである。 The present embodiment relates to a semiconductor wafer and a method for manufacturing a semiconductor device, for example, a semiconductor wafer for manufacturing a semiconductor device having a vertical transistor structure such as a power MOSFET and a method for manufacturing the same. In order to reduce the on-resistance, the warpage generated by thinning the semiconductor wafer is reduced.
実施の形態では、金属の中で比較的線膨張係数が大きいアルミニウムが、パッド金属を含む配線材料として用いられる。このため、半導体ウェハの表面に引っ張り応力が生じ、これが半導体ウェハの反りの原因の一つとして考えられる。 In the embodiment, aluminum having a relatively large linear expansion coefficient among metals is used as a wiring material including a pad metal. For this reason, tensile stress is generated on the surface of the semiconductor wafer, which is considered as one of the causes of the warp of the semiconductor wafer.
実施の形態では、パッド金属上のパッシベーション膜をエッチングにより開口した後に、開口部に露出したパッド金属をさらに追加エッチングして、パッド金属を掘り下げる。すなわち、パッド金属のパッシベーション膜から露出した部分は露出していない部分よりも薄い。これにより、半導体ウェハの反りを低減するものである。 In the embodiment, after opening the passivation film on the pad metal by etching, the pad metal exposed in the opening is further etched to dig up the pad metal. That is, the exposed portion of the pad metal passivation film is thinner than the unexposed portion. Thereby, the curvature of a semiconductor wafer is reduced.
実施の形態1.
図1は、実施の形態に係る半導体ウェハの構成を示す。図1では、半導体ウェハ10の点線の四角で囲まれた一部を拡大して示している。図1に示すように、半導体ウェハ10には、複数のチップ11がマトリクス状に配列して形成されている。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 shows a configuration of a semiconductor wafer according to an embodiment. In FIG. 1, a part of the
図2は、半導体ウェハ10におけるチップ11の構成を示す。図2に示すように、チップ11の最表面にはパッシベーション膜16が形成されている。パッシベーション膜16には、ソースパッド開口部12、ゲートパッド開口部13が形成される。ソースパッド開口部12は下層に形成されたパッド金属を露出する。
FIG. 2 shows the configuration of the
ここでは、ソースパッド開口部12がソースパッド金属14を露出し、ゲートパッド開口部13がゲートパッド金属15を露出するものとする。ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15がパッド金属である。ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15の材料としてはアルミニウム、アルミニウム合金膜(例えば、AlCu系合金)等が用いられる。
Here, it is assumed that the
なお、後述するように、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15上に夫々金属膜18が形成されている場合は、金属膜18が露出される。金属膜18は、ソースパッド金属14に後述する銅クリップ22を接続する際に用いられるAgペーストやはんだの濡れ性を向上させ、銅クリップ22の密着性を向上させるために形成される。
As will be described later, when the
なお、ここでは図示していないが、チップ11には、ソースパッド金属14を囲むように、ゲートパッド金属15に接続されたゲート配線が設けられている。また、ゲート配線を囲むように、EQR(EQui-potential Ring:等電位ポテンシャルリング)配線が設けられる。EQR配線をドレイン電位に保つことによって、チップのエッジに空乏層が到達しないように、空乏層の拡がりが抑制され、チップエッジの耐圧を維持することができる。
Although not shown here, the
ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15の下層には、ソース領域、チャネル領域、ドレイン領域として働く積層された半導体層、ゲートトレンチ内に形成されたゲート電極、裏面に形成されたドレイン電極等からなる縦型トランジスタ構造が形成される。本構成を有する半導体装置は、ウェハの縦方向に電流が流れる。
Under the
図2に示す例では、チップ11に対するソースパッド金属14、ゲートパッド金属15からなるパッド金属の割合は、約90%である。また、パッシベーション膜16の開口率は約80%である。以降、この開口率をPad開口率と呼ぶ場合がある。
In the example shown in FIG. 2, the ratio of the pad metal composed of the
本実施の形態では、パッド金属のパッシベーション膜16から露出される部分の膜厚は、露出されていない部分の膜厚よりも薄い。これにより、パッド金属に生じる引っ張り応力を緩和することができ、半導体ウェハ10の反りを低減することが可能となる。この構成については、後に詳述する。
In the present embodiment, the thickness of the portion exposed from the pad
図3は、実施の形態に係る半導体ウェハ10から製造されたチップ11をリードフレーム20にボンディングした状態を示す。本実施の形態では、チップ11を銅クリップ22によりボンディングする例について説明する。パッシベーション膜16のソースパッド開口部12から露出されるソースパッド金属14には、銅クリップ22の一端がAgペースト又ははんだを介して接続される。また、銅クリップ22の他端は、リードフレーム20上に形成されたソース端子21に接続されている。
FIG. 3 shows a state in which the
パッシベーション膜16のゲートパッド開口部13から露出されるゲートパッド金属15には、ワイヤ24の一端が接続される。また、ワイヤ24の他端はリードフレーム20上に形成されたゲート端子23に接続されている。図4、5は、ソースパッド開口部12の大きさを変更した例を示す。図4、5において、図3を同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。
One end of a
図4、5に示すように、ソースパッド開口部12を大きくしてもよい。すなわち、パッシベーション膜16の開口率を増加させてもよい。ソースパッド開口部12が大きくなるにつれて、追加エッチングにより除去されるソースパッド金属14が多くなる。これにより、ウェハの反り低減効果がさらに高まる。
As shown in FIGS. 4 and 5, the
ここで、上述した半導体装置の製造方法について、図6A〜6E、図7A〜7E、図8A〜8Dを参照して説明する。これらの図面では、同一の構成要素には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。 Here, a method for manufacturing the semiconductor device described above will be described with reference to FIGS. 6A to 6E, FIGS. 7A to 7E, and FIGS. 8A to 8D. In these drawings, the same components are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted as appropriate.
第1製造方法.
最初に、図6A〜6Eを参照して、半導体装置の第1製造方法について説明する。図6A〜6Eは、実施の形態に係る半導体装置の第1製造方法を説明する製造工程断面図である。
First manufacturing method.
First, a first method for manufacturing a semiconductor device will be described with reference to FIGS. 6A to 6E are manufacturing process cross-sectional views illustrating a first method for manufacturing a semiconductor device according to the embodiment.
まず、既知の方法で、半導体基板19上に所定のパターンのソースパッド金属14、ゲートパッド金属15を形成する。ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15としては、例えば、膜厚4.5μmのアルミニウム膜が形成される。その後、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15上にパッシベーション膜16を積層する。その上に、レジスト膜17を形成し、所定の形状にパターニングを行う。これにより、図6Aに示す構成となる。
First, the
その後、レジスト膜17を用いてパッシベーション膜16をエッチングして、下層のソースパッド金属14、ゲートパッド金属15を露出させる(図6B)。その後、さらにソースパッド金属14、ゲートパッド金属15をエッチングして掘り下げ、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15に凹部を形成する(図6B)。そして、レジスト膜17を除去する。
Thereafter, the
これにより、図6Cに示すように、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15のパッシベーション膜16で覆われていない部分の厚みが、パッシベーション膜16で覆われている部分の厚みよりも薄くなる。例えば、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15の追加エッチング量Dを3μmとすることができる。すなわち、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15のパッシベーション膜16に覆われていない部分の膜厚を1.5μmとすることができる。
As a result, as shown in FIG. 6C, the thicknesses of the portions of the
そして、めっき液に浸して、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15のパッシベーション膜16から露出している部分上に金属膜18を形成する。すなわち、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15の凹部を金属膜18で埋める。なお、金属膜18を形成する方法としては、電界めっき法、無電界めっき法のいずれの方法でも用いることができる。
Then, a
金属膜18の線膨張係数は、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15の線膨張係数よりも小さいことが好ましい。これにより、金属膜18の形成による半導体ウェハ10の反りの悪化を抑制することが可能となる。
The linear expansion coefficient of the
また、金属膜18の体積抵抗率は、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15の体積抵抗率よりも小さいことが好ましい。金属膜18の材料としては、Au、AuNi系合金膜、Ag等を用いることができる。金属膜18の体積抵抗率がソースパッド金属14、ゲートパッド金属15の体積抵抗率よりも低い材料を用いることによって、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15を薄くすることによるウェハの反り量低減と同時に配線抵抗が低減でき、チップのオン抵抗を低減させることが可能となる。
The volume resistivity of the
また、パッド金属のパッシベーション膜16で覆われた部分と覆われていない部分の膜厚差よりも、金属膜18の膜厚が大きくなっていても良い。但し、金属膜18の膜厚は、厚い方が配線抵抗を小さくすることができるので好ましいが、その応力により、パッド金属膜を掘り下げることで改善した応力が損なわれるほど厚くしてはいけない。第1製造方法では、金属膜18が、銅クリップ22又はワイヤ24と接続される。
The film thickness of the
図17A〜17Dに第1比較例の半導体装置の製造方法が示される。第1比較例では、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15に凹部は形成されず、それぞれのパッド金属の上にめっき法により金属膜18が形成されている。この第1比較例では、パッド金属の応力に加えて、金属膜18による応力が追加されて、半導体ウェハ10の反りが大きくなる。
17A to 17D show a method for manufacturing the semiconductor device of the first comparative example. In the first comparative example, no recess is formed in the
第1比較例と比較すると、第1製造方法では、製造工程を増加させることなく、パッシベーション膜16の開口部におけるソースパッド金属14、ゲートパッド金属15の膜厚を薄くして、パッド金属の平均膜厚を薄くするができる。これにより、半導体ウェハ10表面のパッド金属による応力を緩和して、半導体ウェハ10の反りを低減することが可能となる。また、上述のように、体積抵抗率が小さい金属膜18材料を用いることにより、配線の拡がり抵抗を低減することも可能である。
Compared to the first comparative example, in the first manufacturing method, the thickness of the
第2製造方法.
次に、図7A〜7Eを参照して半導体装置の第2製造方法について説明する。図7A〜7Eは、実施の形態に係る半導体装置の第2製造方法を説明する製造工程断面図である。
Second manufacturing method.
Next, a second manufacturing method of the semiconductor device will be described with reference to FIGS. 7A to 7E are manufacturing process cross-sectional views illustrating a second manufacturing method of the semiconductor device according to the embodiment.
図7A〜7Cは、図6A〜6Cと夫々同一であるため説明は省略する。第2製造方法において、第1製造方法と異なる点は、金属膜18の形成方法である。ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15に凹部を形成した後に、図7Dに示すように、レジスト膜17が残った状態で全面に金属膜18を蒸着法により形成する。このように、金属膜18によりソースパッド金属14、ゲートパッド金属15の凹部を埋める。
7A to 7C are the same as FIGS. 6A to 6C, respectively, and thus the description thereof is omitted. The second manufacturing method is different from the first manufacturing method in the formation method of the
その後、レジストを剥離することにより、余分な金属をリフトオフする。これにより、図7Eに示すように、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15の凹部のみに金属膜18が残る。第2の実施の形態においても、金属膜18が銅クリップ22又はワイヤ24と接続される。
Thereafter, the resist is removed to lift off excess metal. As a result, as shown in FIG. 7E, the
図18A〜18Dに第2比較例の半導体装置の製造方法が示される。第2比較例では、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15に凹部は形成されず、それぞれのパッド金属の上に蒸着法により金属膜18が形成されている。この第2比較例では、パッド金属の応力に加えて、蒸着により形成された金属膜18による応力が追加されて、半導体ウェハ10の反りが大きくなる。
18A to 18D show a method for manufacturing the semiconductor device of the second comparative example. In the second comparative example, no recess is formed in the
しかしながら、第1製造方法と同様に、パッシベーション膜16の開口部におけるソースパッド金属14、ゲートパッド金属15の膜厚を薄くすることにより、半導体ウェハ10表面のパッド金属による応力を緩和することが可能となる。また、上述のように、配線抵抗を低減することも可能である。なお、金属膜18の形成方法は、上述の例に限られず、スパッタ法等も用いることができる。
However, as with the first manufacturing method, it is possible to reduce the stress caused by the pad metal on the surface of the
第3製造方法.
最後に、図8A〜8Dを参照して半導体装置の第3製造方法について説明する。図8A〜8Dは、実施の形態に係る半導体装置の第3製造方法を説明する製造工程断面図である。
Third manufacturing method.
Finally, a third method for manufacturing a semiconductor device will be described with reference to FIGS. 8A to 8D are manufacturing process cross-sectional views illustrating a third manufacturing method of the semiconductor device according to the embodiment.
図8A〜8Dは、図6A〜6Dと夫々同一である。第3製造方法においては、第1製造方法、第2製造方法と異なり、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15上に金属膜18が形成されない。従って、第3製造方法では、ソースパッド金属14は銅クリップ22と直接接続され、ゲートパッド金属15がワイヤ24と直接接続される。
8A to 8D are the same as FIGS. 6A to 6D, respectively. In the third manufacturing method, unlike the first manufacturing method and the second manufacturing method, the
図19A〜19Cに第3比較例の半導体装置の製造方法が示される。第3比較例では、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15に凹部は形成されない。第3製造方法では、第3比較例と比較して、パッド金属を追加エッチングして膜厚を薄くすることにより、ウェハ反り量を低減することが可能である。
19A to 19C show a method for manufacturing a semiconductor device of a third comparative example. In the third comparative example, no recess is formed in the
なお、図8Dに示すように、ソースパッド金属14のパッシベーション膜16により覆われている厚膜部が存在するため、単にパッド金属の膜厚を薄くする場合と比較すると拡がり抵抗を低くすることが可能となる。
As shown in FIG. 8D, since there is a thick film portion covered with the
ここで、図9を参照して、パッド金属上に金属膜が形成されていない場合の、パッド金属の追加エッチング量とウェハ反り量の関係について説明する。なお、ウェハ反り量は、図16に示すように、平坦な台の上に半導体ウェハ10を載置したときの、半導体ウェハ10の端部と台との距離であるものとする。
Here, with reference to FIG. 9, the relationship between the amount of additional etching of the pad metal and the amount of warpage of the wafer when the metal film is not formed on the pad metal will be described. Note that, as shown in FIG. 16, the wafer warpage amount is the distance between the end of the
図9では、横軸がパッド金属追加エッチング量(μm)、縦軸がウェハ反り低減量(mm)を示している。図9において、丸はPad開口率が10%の場合を示しており、三角はPad開口率が30%の場合を示しており、四角はPad開口率が50%の場合を示しており、ひし形はPad開口率が70%の場合を示している。 In FIG. 9, the horizontal axis represents the pad metal additional etching amount (μm), and the vertical axis represents the wafer warpage reduction amount (mm). In FIG. 9, a circle indicates a case where the Pad opening ratio is 10%, a triangle indicates a case where the Pad opening ratio is 30%, a square indicates a case where the Pad opening ratio is 50%, and a rhombus Indicates a case where the Pad aperture ratio is 70%.
なお、図9では、8インチのウェハが4.5mm反っている状態を0.00mmとしている。例えば、ウェハ反り低減量が−0.20mmの場合、ウェハ反り量は4.3mmである。 In FIG. 9, a state where an 8-inch wafer is warped by 4.5 mm is 0.00 mm. For example, when the wafer warpage reduction amount is −0.20 mm, the wafer warpage amount is 4.3 mm.
図9に示すように、Pad開口率がいずれの場合においても、パッド金属の追加エッチング量が多くなるに従い、ウェハ反り低減量が大きくなっている。すなわち、ソースパッド金属14、ゲートパッド金属15に形成される凹部の深さが大きくなるに従い、ウェハの反りが改善される。また、Pad開口率が大きくなるに従い、ウェハの反りが改善される。つまり、エッチング除去されるパッド金属の量が多くなるに従って、ウェハの反りがより低減される。
As shown in FIG. 9, regardless of the Pad aperture ratio, the amount of wafer warpage reduction increases as the amount of additional pad metal etching increases. That is, the warpage of the wafer is improved as the depths of the recesses formed in the
図10は、実施の形態に係る半導体装置の製造方法を示すフローチャートである。上述のような方法で凹部を有するパッド金属が形成された半導体ウェハ10は、図10に示す工程を経て個片のチップに加工される。この製造方法は、例えば、特開平7−22385号公報に記載されている。
FIG. 10 is a flowchart showing a method for manufacturing a semiconductor device according to the embodiment. The
図10に示すように、まず、半導体ウェハ10の表面に保護用テープが貼り付けられる(ステップS1)。その後、半導体ウェハ10裏面が研磨され、半導体ウェハ10が薄く下降される(ステップS2)。例えば、ウェハ厚が50μmとなるように研削加工が行われる。そして、保護用テープが剥離され(ステップS3)、半導体ウェハ10が洗浄される(ステップS4)。
As shown in FIG. 10, first, a protective tape is attached to the surface of the semiconductor wafer 10 (step S1). Thereafter, the back surface of the
そして、半導体ウェハ10のテストが実行された後(ステップS5)、半導体ウェハ10の裏面側にダイシング用テープが貼り付けられる(ステップS6)。図11に、実施の形態に係る半導体ウェハにダイシングテープを貼り付ける貼付装置30の構成を示す。図11に示すように、貼付装置30には吸着口31、ローラー32が設けられている。
Then, after the test of the
吸着口31上には、吸着口31に半導体ウェハ10の表面が接触し、半導体ウェハ10の裏面が上側となるように、半導体ウェハ10が載置される。吸着口31で半導体ウェハ10の端部が吸着され、貼付装置30上に半導体ウェハ10が保持される。半導体ウェハ10が撓まないように、貼付装置30の内部は加圧されている。半導体ウェハ10の裏面には、ダイシングテープ33がローラー32により貼り付けられる。
On the
その後、スクライブ装置により、半導体ウェハ10のダイシングが行われ(ステップS7)、個片のチップ11に切断される。図12に、半導体ウェハ10のスクライブ線が示される。図12に示すように、隣接するチップ11間に設けられたスクライブ線に沿って半導体ウェハ10が切断される。その後、チップ11がピックアップされ、リードフレーム20上にダイボンドされる(ステップS8)。
Thereafter, the
上記の第1〜第3の比較例のように形成された半導体ウェハでは、反りが発生している。このため、ステップS6のダイシングテープ33貼付工程において気泡が発生し、ステップS7においてダイシングを行う際にダイシングずれが発生し、スクライブ線からずれて切断される場合がある。
Warpage occurs in the semiconductor wafer formed as in the first to third comparative examples. For this reason, air bubbles are generated in the dicing
実施の形態に係る製造方法によって形成された半導体ウェハ10では、反りが低減されているため、ダイシングテープ33貼付工程における気泡の発生を抑制することができる。これにより、製造歩留まりを改善することができ、製造コストの増加を抑制することが可能となる。
In the
なお、半導体ウェハ10のボンディングは、銅クリップ22によるものに限定されるものではない。図13は、実施の形態に係る半導体ウェハ10から製造された図3の例とは異なる構成のチップ11Aをワイヤ24によりボンディングした例を示す。図13に示す例では、チップ11に3つのソースパッド開口部12、1つのゲートパッド開口部13が設けられているが、これに限定されない。
The bonding of the
例えば、図14、15に、実施の形態に係る半導体ウェハから製造された他の構成のチップ11B、11Cを示す。図14に示すチップ11Bは、IPD(Intelligent Power Device)に本実施の形態を適用したものである。チップ11Bは、1つのチップにパワーMOSFETとロジック回路とを備える。図14に示す例では、チップ11Bに対するパッド金属の割合は、約70%である。また、パッシベーション膜16に形成されたパッド開口部34の総開口率は約10%である。
For example, FIGS. 14 and 15
図15に示すチップ11Cは、双方向スイッチを構成する2個のパワートランジスタを備える。図15に示す例では、チップ11Bに対するパッド金属の割合は、約90%である。また、パッシベーション膜16の開口率は約20%である。本実施の形態に係るチップのパッド金属のサイズは、特許文献2に記載のチップの周辺に形成されるボンディングパッドよりもはるかに大きい。チップに対するパッド金属の割合は、略70%以上である。
A
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は既に述べた実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることはいうまでもない。 As mentioned above, the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments. However, the present invention is not limited to the embodiments already described, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. It goes without saying that it is possible.
10 半導体ウェハ
11 チップ
12 ソースパッド開口部
13 ゲートパッド開口部
14 ソースパッド金属
15 ゲートパッド金属
16 パッシベーション膜
17 レジスト膜
18 金属膜
19 半導体基板
20 リードフレーム
21 ソース端子
22 銅クリップ
23 ゲート端子
24 ワイヤ
30 貼付装置
31 吸着口
32 ローラー
33 ダイシングテープ
34 パッド開口部
DESCRIPTION OF
Claims (12)
前記複数のチップそれぞれの70%以上の面積に形成されたパッド金属と、
前記パッド金属の一部を覆う絶縁膜とを備え、
前記パッド金属の前記絶縁膜で覆われていない第1部分は、前記絶縁膜で覆われている第2部分よりも薄い半導体ウェハ。 A semiconductor wafer having a plurality of chips formed on a semiconductor substrate,
Pad metal formed in an area of 70% or more of each of the plurality of chips;
An insulating film covering a part of the pad metal,
The first portion of the pad metal not covered with the insulating film is a semiconductor wafer thinner than the second portion covered with the insulating film.
前記ソース電極に接続された縦型MOSFETをさらに備える請求項1に記載の半導体ウェハ。 The pad metal includes a source electrode;
The semiconductor wafer according to claim 1, further comprising a vertical MOSFET connected to the source electrode.
前記複数のチップのそれぞれの70%以上の面積にパッド金属を形成し、
前記パッド金属上に絶縁膜を形成し、
前記絶縁膜上にレジストパターンを形成し、
前記レジストパターンを用いて、前記パッド金属上の前記絶縁膜の一部を除去するとともに、前記絶縁膜が除去された前記パッド金属の第1部分を、前記絶縁膜により覆われている前記パッド金属の第2部分よりも薄くする半導体装置の製造方法。 Forming a plurality of chips on a semiconductor substrate;
Forming a pad metal in an area of 70% or more of each of the plurality of chips;
Forming an insulating film on the pad metal;
Forming a resist pattern on the insulating film;
A part of the insulating film on the pad metal is removed using the resist pattern, and the pad metal from which the first part of the pad metal from which the insulating film has been removed is covered with the insulating film is used. A method of manufacturing a semiconductor device that is thinner than the second portion of the method.
前記ソース電極に接続された縦型MOSFETを形成する請求項8に記載の半導体装置の製造方法。 The pad metal includes a source electrode;
The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 8, wherein a vertical MOSFET connected to the source electrode is formed.
各チップの前記ソース電極にクリップ状金属板を接続する請求項11に記載の半導体装置の製造方法。 Cutting each of the plurality of chips;
The method of manufacturing a semiconductor device according to claim 11, wherein a clip-shaped metal plate is connected to the source electrode of each chip.
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JP2012164720A JP2014027048A (en) | 2012-07-25 | 2012-07-25 | Semiconductor wafer and semiconductor device manufacturing method |
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WO2021240748A1 (en) * | 2020-05-28 | 2021-12-02 | 三菱電機株式会社 | Semiconductor device, method for producing same, and electric power converter |
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2012
- 2012-07-25 JP JP2012164720A patent/JP2014027048A/en active Pending
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