JP2014026133A - 光配向装置及び光配向方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複雑な光学モデルを用いずに、光源を取り換えた際に光線の照射角度に誤差が発生しても、調整することなく光線の入射角を特定の角度以内に抑えることができる。
【解決手段】配向膜に処理を施すための光配向装置であって、光源部は、該基板に略平行に、搬送方向に直角な方向に延びる棒状ランプと、棒状ランプの長手方向に沿って棒状ランプを覆うように設けられ、棒状ランプからの光を導光部側に反射する反射鏡とを有しており、導光部は、基板と略垂直に、棒状ランプの長手方向に、略一定間隔で設けられ、表面に無反射膜を有する略長方形の板を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、光配向装置及び光配向方法に関するものであり、特に配向膜を有する基板に光線を照射して配向させる光配向装置及び光配向方法に関するものである。

液晶ディスプレイ等に用いられる液晶表示用の基板には、配向膜と呼ばれる高分子膜が塗布されている。配向膜とは液晶の分子を一定方向に並べるための膜である。この液晶の分子が規則正しく配列した状態になることで、コントラストが生じ、映像を表示させることができる。そのため、液晶ディスプレイの製造には、配向膜に配向機能を付与するための配向処理が必要である。

従来、液晶表示用の基板を配向処理する際には、ラビング方式と呼ばれる手法が用いられてきた。これは、ナイロンなどの布を巻いたローラを一定圧力で基板に押し込みながら回転させることによって、配向膜の表面を一定方向に擦るというものである。この圧力によって、基板上の配向素子の方向がそろえられる。

しかし、ラビング方式では、基板の摩擦によって微細な粉塵や静電気が生じてしまう。このことは、クリーンな環境を要求される液晶ディスプレイ製造の歩留まりを左右する要因となっていた。

そこで、近年、ラビングをせずに液晶の配向をそろえる技術として光配向方式に関する技術が、特許文献１及び特許文献２に提案されている。

特許文献１には、液晶表示素子の配向膜の光配向を効率よく行う光配向装置に関する技術が開示されている。特許文献１では、複数枚のガラス板を、間隔をあけて平行配置し、これらのガラス板を主光線に対してブリュースタ角傾けて構成した偏光素子をコリメータレンズもしくはコリメータミラーの出射側に設けている光配向装置について開示されている。

特許文献２には、大型で高価な光学部品や波長選択フィルタを使用することなく、消光比の大きな偏光光を、効率良く広い面積に照射することが可能な光配向装置についての技術が提案されている。

特開平１０−９０６８４号公報 特開２００４−１４４８８４号公報

そもそも光（自然光）は、全方向に振動しているものである。しかし、光配向にはある方向だけに振動する光が必要である。

そこで、例えば、特許文献２では、振動方向を選択するものとして、ワイヤーグリッド（ＷＧ：Ｗｉｒｅ Ｇｒｉｄ）や偏光ビームスプリッター（ＰＢＳ：Ｐｏｌａｒｉｚｅｄ Ｂｅａｍ Ｓｐｌｉｔｔｅｒ）のような偏光板を利用している。

しかし、昨今の光配向には、棒状ランプがよく用いられる。安価で利用しやすいためである。ところが、棒状ランプは、光を放射状に発散している。一方で、ワイヤーグリッドや偏光ビームスプリッターのような偏光板には、光を垂直に当てなければ正確かつ再現性のある特性を示さないものがある。しかし、通常、偏光板には様々な角度の光が照射される。そのため、照射角度が大きい光はワイヤーグリッド等の偏光子から出射される偏光軸がずれる。

そのため、棒状ランプが発する光をワイヤーグリッドや偏光ビームスプリッターに照射する前に、光の入射角をある一定角度以内に照射することが望ましい。

特許文献１及び特許文献２の光配向装置では、複雑な光学モデルを用いて上記光配向装置を実現している。例えば、特許文献１では、コリメータレンズへの入射角を高い精度で調整せねばならず、入射角やその誤差の計算が煩雑であるという問題があった。また、光源をその寿命により取替える際に、わずかな位置のずれから生じる誤差を許容できず、光源の交換の度に、再度の調整が必要であった。

そこで、本発明は、上記事情に鑑み、複雑な光学モデルを用いずに、光線の入射角を特定の角度以内に抑えることができ、光源を取り換えた際に光線の照射角度に誤差が発生しても、調整する必要がない光配向装置を提供することを目的とするものである。

本発明は、配向膜を有する液晶表示用の基板を載置し、該基板を所定の方向に搬送する搬送部と、配向膜に光を照射するための光源部と、該光源部と基板との間に設けられ、光源部からの光を基板側に導くための導光部と、該導光部と基板の間に設けられ、導光部からの光を偏光して配向膜に照射するための偏光板とを有する、配向膜に処理を施すための光配向装置であって、光源部は、該基板に略平行に、搬送方向に直角な方向に延びる棒状ランプと、棒状ランプの長手方向に沿って棒状ランプを覆うように設けられ、棒状ランプからの光を導光部側に反射する反射鏡とを有しており、導光部は、基板と略垂直に、棒状ランプの長手方向に、略一定間隔で設けられ、表面に無反射膜を有する略長方形の板を備えるものである。

「液晶表示用の基板」は、例えば液晶を挟む２枚のガラスの表面に配向膜を塗布したものであってもよい。

「配向膜」は、液晶分子群を一定方向に配列させるための膜をいう。例えばポリイミド膜等が挙げられる。

「光源部」は、棒状ランプと反射鏡から構成され、液晶表示用の基板に光線を照射するものをいう。棒状ランプは、具体的には、高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等が挙げられる。また、発光ダイオードまたは発光ダイオードを直線状に並べて配置し線状光源としたもの等であってもよい。

「反射鏡」は、棒状ランプの一部を覆い、該棒状ランプから所定の方向へ照射された光線を反射するものをいう。例えば、桶状の凹面反射鏡等のことをいう。また、本発明に係る光配向装置は、反射鏡から放射される光（反射鏡の短手方向）の発散角度が、４５°以内になるように反射鏡を設置されるものであってもよい。

「偏光板」は、偏光子の一種で、薄い板状のものをいう。具体的には、Ｐ偏光を透過しＳ偏光を反射する薄膜をつけたプリズムである偏光ビームスプリッター（ＰＢＳ：Ｐｏｌａｒｉｚｅｄ Ｂｅａｍ Ｓｐｌｉｔｔｅｒ）や、ガラス若しくは石英ガラスよりなる矩形の透明基板の一面に、例えばアルミニウムや銀などの金属材料よりなる多数の金属細線が当該透明基板の一つの平面上に平行に一定の間隔で設けられたワイヤーグリッド（ＷＧ：Ｗｉｒｅ Ｇｒｉｄ）等が挙げられる。偏光板は、ワイヤーグリッドの場合、光源部から入射する光のうち、ワイヤーグリッドの並び方向に直角な方向の直線偏光を透過させる。

「搬送部」は、基板を光源部の照射範囲に搬送するものである。例えばベルトコンベアや非接触式の搬送用ステージ等のことをいう。

「導光部」は、複数の略長方形の板から構成され、偏光板に照射される光の入射角度を規制するものをいう。導光部の構造によって、抽出する光の入射角が調整できるものである。

また、導光部は、断面が多角形または円形である複数の筒部から構成され、該筒の中心軸が該基板と略垂直であって、筒を構成する面に無反射膜を有する構成としてもよい。導光部は、例えば、光源部に対して略垂直方向に並べられた板及び光源部に対して略平行方向に並べられた板とを組み合わせた格子状の形状とすることで、複数の筒部を構成するものとしてもよい。また、筒部の断面がハニカム状構造の正六角形や正八角形を含む多角形であってもよい。

また、導光部は、板または筒部内面の表面に複数の突起物を有し、該突起物は、上面は光を反射し、底面は光を吸収するよう無反射膜で覆われている構成としてもよい。

「突起物」は上面に反射率が高い素材を、底面に反射率が低い素材を塗布されているものをいう。例えば、上面に反射鏡を、底面に無反射膜を有するものとしてもよい。

本発明において、光源部は、複数の棒状のライトを備える構成としてもよい。

「無反射膜」は、反射率が低く、膜状に照射された光線を吸収するような素材をいう。反射率が５％未満のものをいってもよい。具体的には、黒色のニッケル等を真空蒸着したり、メッキ成長したものなどが挙げられる。

また、本発明に係る光配向方法は、基板上にポリマー層を形成する工程とワイヤーグリッド偏光板をポリマー層の上方に配置し、ワイヤーグリッド偏光板の上方に導光部を設け、該導光部の上方側からポリマー層に紫外線を照射して、該ポリマー層の所定の配向方向を有する配向膜を形成する工程とからなる光配向方法であって、導光部からポリマー層に照射される紫外線が該ポリマー層の垂線に対して４５度以内の角度で照射するように、導光部が表面に備える無反射膜が、４５度より大きい角度でポリマー層に照射する紫外線を吸収する。

本発明の光配向装置において、導光部が、基板と略垂直に、棒状ランプの長手方向に、略一定間隔で設けられ、表面に無反射膜を有する略長方形の板を備えることにより、導光部の間隔と長さを調整することで、複雑な光学系を用いずに、光線の入射角を特定の角度以内に抑えることができる。

また、本発明に係る光配向装置において、導光部が、断面が多角形または円形である複数の筒部から構成され、該筒の中心軸が該基板と略垂直であって、筒を構成する面に無反射膜を備える際に、光源部の長手方向に直角な方向光の偏光板への入射角を考慮しなければならない場合においても、適切な入射角の光線で偏光板に光を照射することが可能になる。

また、本発明に係る光配向装置において、導光部が、板または筒部内面の表面に複数の突起物を有し、該突起物は、上面は光を反射し、底面は光を吸収するよう無反射膜で覆われている際においては、偏光板への入射する光線の入射角を限定しつつ、より多くの光線を導光部から出射させることが可能になる。

本発明に係る光配向方法は、導光部からポリマー層に照射される紫外線がポリマー層の垂線に対して４５度以内の角度で照射されるように、導光部が表面に備える無反射膜が、４５度より大きい角度でポリマー層に照射する紫外線を吸収する際には、棒状ランプ１０１のような光線を放射状に発散する光源を用いた場合でも、ワイヤーグリッド偏光板の偏光特性を正確に引き出すことが可能になる。

本発明の第１の実施形態に係る光配向装置を示す図 本発明の第１の実施形態に係る導光部の断面図 本発明の第１の実施形態に係る光配向装置の処理フロー 本発明の第２の実施形態に係る光配向装置を示す図 本発明の第２の実施形態に係る導光部の模式図 本発明の第３の実施形態に係る導光部の断面図 本発明の第２の実施形態に係る導光部の模式図

［第１の実施形態］
本発明に係る光配向装置１００の第１の実施形態を、図１乃至図３を用いて説明する。図１は、第１の実施形態に係る光配向装置１００を示している。

第１の実施形態における光配向装置１００は、配向膜を有する液晶表示用の基板４０１を載置し、該基板４０１を所定の方向に搬送する搬送部６０１と、配向膜に光を照射するための光源部と、該光源部と基板４０１との間に設けられ、光源部からの光を基板４０１側に導くための導光部３０１と、該導光部３０１と基板４０１の間に設けられ、導光部３０１からの光を偏光して配向膜に照射するための偏光板５０１とを有する、配向膜に処理を施すためのものである。また、光配向装置１００において、光源部は、該基板４０１に略平行に、搬送方向に直角な方向に延びる棒状ランプ１０１と、棒状ランプ１０１の長手方向に沿って棒状ランプ１０１を覆うように設けられ、棒状ランプ１０１からの光を導光部３０１側に反射する反射鏡２０１とを有しており、導光部３０１は、基板４０１と略垂直に、棒状ランプ１０１の長手方向に、略一定間隔で設けられ、表面に無反射膜３０３を有する略長方形の板３０２を備える。

液晶表示用の基板４０１は、液晶を挟む２枚のガラスの一方を構成するもので、その表面に配向膜を塗布したものである。配向膜は、液晶分子群を一定方向に配列させるための膜をいう。第１の実施形態においては、配向膜としてポリイミド膜を用いている。

光源部は、棒状ランプ１０１と反射鏡２０１から構成され、液晶表示用の基板４０１に光線を照射するものをいう。棒状ランプ１０１は、具体的には、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。また、発光ダイオードまたは発光ダイオード等を直線状に並べて配置し線状光源としたものであってもよい。第１の実施形態では、棒状ランプ１０１を１本用いて光源部としているが、光源部は複数の棒状ランプ１０１を有する構成としてもよい。

反射鏡２０１は、棒状ランプ１０１の一部を覆い、該棒状ランプ１０１から所定の方向へ照射された光線を反射するものをいう。第１の実施形態においては、凹面反射鏡を反射鏡２０１として、棒状ランプ１０１の上部を覆うように配置している。これによって、棒状ランプ１０１が照射する光線のうち、鉛直方向への照射角を０度とした場合、９０度〜２７０度の照射角を持つ光線を反射させる。

偏光板５０１は、偏光子の一種で、薄い板状のものをいう。具体的には、Ｐ偏光を透過しＳ偏光を反射する薄膜をつけたプリズムである偏光ビームスプリッター（ＰＢＳ：Ｐｏｌａｒｉｚｅｄ Ｂｅａｍ Ｓｐｌｉｔｔｅｒ）や、ガラス若しくは石英ガラスよりなる矩形の透明基板の一面に、例えばアルミニウムや銀などの金属材料よりなる多数の金属ワイヤーが当該透明基板の一辺に平行な方向に沿って一定の間隔で配置されるワイヤーグリッド（ＷＧ：Ｗｉｒｅ Ｇｒｉｄ）等が挙げられる。

偏光板５０１の偏光特性を有効に活用するには、本来、入射角は０度にすることが望ましい。しかし、酸化チタンを用いたワイヤーグリッドにあっては、その製作精度にもよるが大略４５度以内であれば、同程度の効果が得られることが分かっている。また、例えばアルミを用いたワイヤーグリッドでは、入射角を１０度以内に抑えることで良好な偏光制御が可能なことが分かっている。

第１の実施形態では、偏光板５０１として、ワイヤーグリッド型偏光素子のグリッドを、酸化チタンにより形成したものを用いることとする。そのため、第１の実施形態では、偏光板５０１への入射角が４５度以内になるように光配向装置１００を構成することが望ましい。

図２は、第１の実施形態における、導光部３０１の断面を模式的に表した図である。実線は導光部３０１を透過可能な光線を、破線は導光部３０１の無反射膜３０３で吸収される光線を示している。

導光部３０１は、複数の略長方形の板３０２から構成され、特定の入射角を有する光線を透過させるものをいう。導光部３０１が透過させる光線の入射角θを４５度以内にするためには、該導光部３０１の間隔ｄに対して、導光部３０１の上端から下端までの長さｈが、１対１未満の長さ以上になるようにする必要がある。これにより、入射角θが４５度以内の光線は、導光部３０１を透過し、４５度を超える光線は、無反射膜３０３に吸収される。

ここで、無反射膜３０３は、該無反射膜３０３上に照射された、光源部からの光を吸収するものをいう。第１の実施形態において、黒色ニッケルを真空蒸着したものを用いている。が、無反射膜３０３は、反射率が低く、膜状に照射された光線を吸収するような素材であれば、反射率が５％未満のものをいってもよい。例えばメッキで形成されるものであってもよい。ただし、反射率は５％に限るものではない。用いる配向膜の性質によっては、５％以上反射しても膜の上限を超えないものであればよい。

搬送部６０１は、基板４０１を光源部の照射範囲に搬送するものである。例えばベルトコンベアや非接触式の搬送用ステージ等のことをいう。

次に図３を用いて、第１の実施形態における光配向装置１００の処理フローについて説明する。

まず、基材上にポリマー層が形成される（ＳＴＥＰ１００）と、光源部から棒状ランプ１０１が、光を照射する（ＳＴＥＰ２００）。棒状ランプ１０１から放射状に照射された光線は、一部は光源から直接下方に照射され、一部は棒状ランプ１０１を覆う反射鏡２０１によって、一定方向に反射される。このとき、反射光は、光源部の下方かつ平行に照射されるように反射されることが望ましい。そのため、反射鏡２０１は、反射光が光源部の下方かつ平行に照射されるように形状・位置を考慮する必要がある。

反射鏡２０１によって反射された光線は、導光部３０１を透過する（ＳＴＥＰ３００）。このとき、入射角が４５度以内の光線は、導光部３０１を透過する。一方、入射角が４５度を超える光線は無反射膜３０３で吸収される。

導光部３０１を透過した光線は、偏光板５０１に照射される。該偏光板５０１において、特定の偏光光のみが透過し、基板４０１に照射され、配向処理が行われる。

次の基板４０１が所定の位置に搬送される（ＳＴＥＰ４００）。

［第２の実施形態］
本発明に係る第２の実施形態を、図４及び図５を用いて説明する。

第２の実施形態は、光配向装置１００において、配向膜を有する液晶表示用の基板４０１を載置し、該基板４０１を所定の方向に搬送する搬送部６０１と、配向膜に光を照射するための光源部と、該光源部と基板４０１との間に設けられ、光源部からの光を基板４０１側に導くための導光部３０１と、該導光部３０１と基板４０１の間に設けられ、導光部３０１からの光を偏光して配向膜に照射するための偏光板５０１とを有する、配向膜に処理を施すためのものである。また、光配向装置１００は、光源部は、該基板４０１に略平行に、搬送方向に直角な方向に延びる棒状ランプ１０１と、棒状ランプ１０１の長手方向に沿って棒状ランプ１０１を覆うように設けられ、棒状ランプ１０１からの光を導光部３０１側に反射する反射鏡２０１とを有しており、導光部３０１は、基板４０１と略垂直に、棒状ランプ１０１の長手方向に、略一定間隔で設けられ、表面に無反射膜３０３を有する略長方形の板３０２を備える。

更に、第２の実施形態においては、導光部３０１は、断面が多角形または円形である複数の筒部から構成され、該筒の中心軸が該基板４０１と略垂直であって、筒を構成する面に無反射膜３０３を有する。

図４は、本発明の第２の実施形態における光配向装置１００を模式的に示した図である。図４に示すように、第２の実施形態において、導光部３０１は、光源部に対して略垂直方向に並べられた板３０２ａ及び光源部に対して略平行方向に並べられた板３０２ｂを組み合わせた格子状の形状とすることで、複数の筒部を構成している。複数の筒部を構成することによって、光源部の長手方向に対して垂直方向の光線を考慮しなければならない場合においても、適切な入射角の光線を取り出すことが可能になる。尚、本実施形態では、導光部３０１の各格子の断面が四角形の場合について説明しているが、導光部３０１の断面形状は四角形に限らず、ハニカム状構造の正六角形や正八角形を含む多角形であってもよい。

図５は、第２の実施形態における光源部と導光部３０１を模式的に示した図である。図５に示すように、格子の内部を通過する光線以外の光線は、板３０２ａ及び板３０２ｂの内壁に塗布された無反射膜３０３（図５では図示を省略）に吸収され、偏光板５０１（図５では図示を省略）までは到達しない。

その他の構成、機能は第１の実施形態と同様である。

［第３の実施形態］
本発明に係る第３の実施形態を、図６及び図７を用いて説明する。

第３の実施形態は、光配向装置１００配向膜を有する液晶表示用の基板４０１を載置し、該基板４０１を所定の方向に搬送する搬送部６０１と、配向膜に光を照射するための光源部と、該光源部と基板４０１との間に設けられ、光源部からの光を基板側に導くための導光部３０１と、該導光部３０１と基板４０１の間に設けられ、導光部３０１からの光を偏光して配向膜に照射するための偏光板５０１とを有する、配向膜に処理を施すためのものである。光源部は、該基板４０１に略平行に、搬送方向に直角な方向に延びる棒状ランプ１０１と、棒状ランプ１０１の長手方向に沿って棒状ランプ１０１を覆うように設けられ、棒状ランプ１０１からの光を導光部３０１側に反射する反射鏡２０１とを有しており、導光部３０１は、基板４０１と略垂直に、棒状ランプ１０１の長手方向に、略一定間隔で設けられ、表面に無反射膜３０３を有する略長方形の板３０２を備える。

また、第３の実施形態において、導光部３０１は、板３０２または筒部内面の表面に複数の突起物３１１を有し、該突起物３１１は、上面は光を反射し、底面は光を吸収するよう無反射膜３１３で覆われている構成となっている。

図６は、第３の実施形態における導光部３０１の板３０２の断面図である。突起物３１１は上面に反射率が高い物質を、底面に反射率が低い素材を塗布されているものをいう。第３の実施形態においては、突起物３１１は上面に反射鏡３１２を、底面に無反射膜３１３を有している。

このため、光源部から照射され、導光部３０１に入ってきた光線のうち、図６において実線で表される突起物３１１の上面に衝突した光線は、壁３１２によって反射され、光源部側に戻される。光源部側に戻された反射光は、反射鏡２０１によって反射され、再度導光部３０１に入射する。また、反射光のうち、図６において破線で表される突起物３１１の底面に衝突した光線は、該突起物３１１が底面に有する無反射膜３１３で吸収される。

このように導光部３０１の板３０２の内壁が突起物３１１を有することにより、偏光板５０１への入射する光線の入射角を限定しつつ、より多くの光線を導光部３０１から透過させることが可能になる。

図７（Ａ）は、第３の実施形態における、導光部３０１の板３０２の内壁の突起物３１１の作成方法を模式的に示したものである。また、図７（Ｂ）は突起物３１１を有する板３０２ａ及び板３０２ｂの接着の態様を模式的に示している。

板３０２は、第３の実施形態においてはＳＵＳ（ステンレス鋼：Ｓｔｅｅｌ Ｕｓｅ Ｓｔａｉｎｌｅｓｓ）からなるものであり、図７（Ａ）に示すようにギザギザを有したプレス機３９９に押圧されることで突起物３１１を有する。板３０２はプレスされる側の表面に無反射膜３１３を有している。無反射膜３１３は、例えばメッキにより形成させてもよい。また、反対側の表面には反射率の高い壁３１２を有している。壁３１２は研磨したＳＵＳ表面のままとしてもよい。板３０２はプレス機３９９に押圧されると、該プレス機３９９のギザギザに沿って折り曲げられる。

押圧された後、突起物３１１を有する板３０２は、押圧された側は表面を無反射膜３１３で覆われ、光が上から照射する面はＳＵＳ表面のままとされる。
上記のように作成された板３０２ａ及び板３０２ｂは、図７（Ｂ）に示すように、突起物を有さない面同士を合わせた状態で使用される。

また、本発明に係る光配向装置１００は更に光源部の棒状ランプ１０１と導光部３０１の間に棒状ランプ１０１の照射する波長を決めるためのフィルタを設けてもよい。この場合には、ある一定の中の波長を持った光がある方向の偏光軸をもって基板４０１に照射される。

その他の構成、機能については第１の実施形態と同様である。

本発明の光配向装置１００において、導光部３０１が、基板４０１と略垂直に、棒状ランプ１０１の長手方向に、略一定間隔で設けられ、表面に無反射膜３０３を有する略長方形の板３０２を備えることにより、導光部３０１の間隔と長さを調整することで、複雑な光学系を用いずに、光線の入射角を特定の角度以内に抑えることができる。

また、本発明に係る光配向装置１００において、導光部３０１が、断面が多角形または円形である複数の筒部から構成され、該筒の中心軸が該基板４０１と略垂直であって、筒を構成する面に無反射膜３０３を備える際に、光源部の長手方向に直角な方向光の偏光子への入射角を考慮しなければならない場合においても、適切な入射角の光線で偏光板５０１に光を照射することが可能になる。

また、本発明に係る光配向装置１００において、導光部３０１が、板３０２または筒部内面の表面に複数の突起物３１１を有し、該突起物３１１は、上面は光を反射し、底面は光を吸収するよう無反射膜３０３で覆われている際においては、偏光板５０１への入射する光線の入射角を限定しつつ、より多くの光線を導光部３０１から出射させることが可能になる。

本発明に係る光配向方法１００は、導光部３０１からポリマー層に照射される紫外線がポリマー層の垂線に対して４５度以内の角度で照射されるように、導光部３０１が表面に備える無反射膜３０３が、４５度より大きい角度でポリマー層に照射する紫外線を吸収する際には、光線を放射状に発散する光源を用いた場合でも、ワイヤーグリッド偏光板の偏光特性を正確に引き出すことが可能になる。

１００ 光配向装置
１０１ 棒状ランプ
２０１ 反射鏡
３０１ 導光部
３０２ 板
３０２ａ 板
３０２ｂ 板
３０３ 無反射膜
３１１ 突起物
３１２ 壁
３１３ 無反射膜
３９９ プレス機
４０１ 基板
５０１ 偏光板
６０１ 搬送部
θ 入射角
ｄ 導光部の間隔
ｈ 光源から導光部の下端までの距離

Claims (5)

1. 配向膜を有する液晶表示用の基板を載置し、該基板を所定の方向に搬送する搬送部と、
   前記配向膜に光を照射するための光源部と、
   該光源部と前記基板との間に設けられ、前記光源部からの光を基板側に導くための導光部と、
   該導光部と前記基板の間に設けられ、前記導光部からの光を偏光して前記配向膜に照射するための偏光板とを有する、配向膜に処理を施すための光配向装置であって、
   前記光源部は、該基板に略平行に、前記搬送方向に直角な方向に延びる棒状ランプと、
   棒状ランプの長手方向に沿って前記棒状ランプを覆うように設けられ、前記棒状ランプからの光を前記導光部側に反射する反射鏡とを有しており、
   前記導光部は、前記基板と略垂直に、前記棒状ランプの長手方向に、略一定間隔で設けられ、表面に無反射膜を有する略長方形の板を有していることを特徴とする光配向装置。
2. 前記導光部が、断面が多角形または円形である複数の筒部から構成され、前記筒の中心軸が該基板と略垂直であって、前記筒を構成する面に無反射膜を有することを特徴とする請求項１記載の光配向装置。
3. 前記導光部は、
   前記板または筒部内面の表面に複数の突起物を有し、該突起物は、上面は光を反射し、底面は光を吸収するよう無反射膜で覆われていることを特徴とする請求項１または２記載の光配向装置。
4. 前記光源部は、
   複数の棒状のライトをそれぞれ並列に配置することを特徴とする請求項１から３いずれか１項記載の光配向装置。
5. 基板上にポリマー層を形成する工程と、
   ワイヤーグリッド偏光板をポリマー層の上方に配置し、
   前記ワイヤーグリッド偏光板の上方に導光部を設け、該導光部の上方側から前記ポリマー層に紫外線を照射して、前記ポリマー層の所定の配向方向を有する配向層を形成する工程とからなる光配向方法であって、
   前記導光部から前記ポリマー層に照射される紫外線が前記ポリマー層の垂線に対して４５度以内の角度で照射するように、前記導光部が表面に備える無反射膜が、４５度より大きい角度で前記ポリマー層に照射する紫外線を吸収することを特徴とする光配向方法。

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