JP2014007208A - 半導体デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発光ダイオードを2分割し、それぞれの発光ダイオード8、9、または発光ダイオードグループ6、7に交流の正負が順方向となるように配線接続を行なう。このようにすると、電圧を整流する、または直流電圧を重畳する外部回路が不要になり、発光ダイオード付属部品のコストダウンに繋がる。また、発光ダイオードを単色光発光ダイオードだけでなく、白色光発光ダイオードにも応用できる。
【選択図】図1
Description
IDコントローラまたは変圧器によって昇降圧した上で整流し、電圧を発光ダイオードの
順方向となるように印加して発光させるか、または交流電圧に直流電圧を加え、正または
負の一方の電圧となるようにした上で、順方向となるように印加するか、さらに正または
負の一方の電圧となるようにしたパルスを順方向となるように印加し、デューティを変え
て輝度を変化させているのが一般的である。このため、発光ダイオード基板の部品が多く
なり、コストが増大している。一方、交流を直接発光ダイオードに印加できれば、部品数
が少なくなり、また整流器も必要なくなるが、本発明者の調べた限りでは、そのような技
術または特許は存在しない。単に、発光ダイオードを保護するためにフリッカーのイズを
防止する特許が出願されているのみである(特許文献1)。
ある。
このためには発光ダイオードチップを2分割し、1つのグループは正の電圧で発光し、他
のグループは負の電圧で発光できるようにする。これを実現するためにはそれぞれグルー
プに電圧が逆に印加できるように配線を行なう。このようにすれば、チップが発光してい
るかどうかの発光効率は半分となるが、チップは常に発光できることになる。または発光
ダイオードの周辺に入出力用ダイオード(発光ダイオード)を同一チップ上に形成し、電
圧の正負をそれぞれ発光ダイオードの順方向となるようにして交流電圧をデバイスに直接
印加するようにする。この場合はチップはすべて常に発光できる。
圧を逆に印加できるようにして、または発光ダイオードを分割し、一部の発光ダイオード
を整流用ダイオードとして使用することにより単相交流または3相交流をそのまま発光ダ
イオードに印加できる。このため、直流電圧またはパルス印加を必要としないため、外部
回路および発光ダイオード基板が簡単になり、製造コストを低減でき、またLEDランプ
の取り付けが簡単になる効果がある。
部分には、同一の符号を付している。
図1の回路図に示すように、単相交流電圧1を直接発光ダイオードグループ6,7に印加
する。グループ6,7内の各発光ダイオード8および9は1つまたは幾つかのダイオードが
並列に連結した構造をとっている。ここで、PIDコントローラまたは変圧器2は電圧を
昇圧または降圧するものである。図2は発光ダイオードグループの平面図を示す。グルー
プ6の上部電極とグループ7の下部電極は同一の配線4で結ばれている。またグループ6の
下部電極とグループ7の上部電極は同一の配線5で結ばれている。これによりグループ6と
グループ7は相補的な電圧がかかることになり、正電圧の時にはグループ6が発光し、一方
負電圧の時にはグループ7が発光することになる。このようにして交流を発光ダイオード
グループに直接印加して発光できる。そして、チップが発光できるかどうかの発光効率は
半分になるが、チップとしては常に発光できることになり輝度の変化がなくなる。
上にAlNまたはSiC+AlNバファー膜22を膜厚10〜50nmで形成し、その上に
ノンドープGaN層23を2〜20μ形成する。さらにその上にn++n−層24を2〜10
μ形成する。その上にGaNおよびInGaNから成る多重量子井戸層25をそれぞれ1〜
20nmで3〜7層形成する。その後p−層26を100〜300nm形成し、さらにその
上にp+層27を100〜300nm形成する。
n++n−層またはn−層24を途中までエッチングしオーミックコンタクトを取れるよう
にする。その後SiO2層29を100〜500nm形成する。その後、ドライエッチング
によりSiO2層29をエッチングし電極窓を開け、p+GaN層27上にはNi/Au電極
30を500nm〜1μm形成し、またn+またはn−上24にはTi/Al電極31を形成す
る。多結晶Siの不純物の活性化はフラッシュアニールで行なう。そしてチップ外のスク
ライブライン(図示せず)上でAl同士を結合させる。このようにしてチップグループ6
と7に逆電圧がかかるようにできる。
それぞれが順方向の電圧で発光できるようになる。逆バイアスの場合は発光しないため、
順方向電圧にしたがって常にチップグループ6または7のどちらかが発光する。なお、発光
ダイオードは赤色、緑色、青色、紫外光だけでなく、これらの発光ダイオードの組み合わ
せによる白色発光ダイオードにも適応できる。
(実施形態2)
発光ダイオードグループ6,7のA-A´の断面を示す。先ず基板21上にAlNまたはS
iC+AlNバファー膜22を膜厚10〜50nmで形成し、その上にノンドープGaNを
2〜20μ形成する。さらにその上にp++p−層27,26を2〜10μ形成する。その上
にGaNおよびInGaNから成る多重量子井戸層25をそれぞれ1〜20nmで3〜7層
形成する。その後n−層24(1)を100〜300nm形成し、さらにその上にn+層24(2)
を100〜300nm形成する。
p+層26を途中までエッチングしオーミックコンタクトを取れるようにする。その後Si
O2層29を100〜500nm形成する。その後、ドライエッチングによりSiO2層29
をエッチングし電極窓を開け、n+またはn−層24(1),(2)上にはAsドープ多結晶Si
‐Al電極31を形成し、p+GaN層26上にはBドープ多結晶Si‐Al電極30を500
nm〜1μm形成する。多結晶Siの不純物の活性化はフラッシュアニールで行なう。そ
してチップ外のスクライブライン(図示せず)上でAl同士を結合させる。このようにし
てチップグループ6と7に逆電圧がかかるようにできる。
き、それぞれが順方向の電圧で発光できるようになる。逆バイアスの場合は発光しないた
め、順方向電圧にしたがって常にチップグループ6または7のどちらかが発光する。そして
、チップが発光できるかどうかの発光効率は半分になるが、チップとしては常に発光でき
ることになり輝度の変化がなくなる。なお、発光ダイオードは赤色、緑色、青色、紫外光
だけでなく、これらの発光ダイオードの組み合わせによる白色発光ダイオードにも適応で
きる。
(実施形態3)
方向に、またダイオード13を介して逆方向に、直接発光ダイオードグループ6に印加する
。グループ6内の各発光ダイオード8は1つまたは幾つかのダイオードが並列に連結した構
造をとっている。ここで、インバータ2は電圧を昇圧するもので、あった方が望ましいが
なくても良い。図6は発光ダイオードグループの平面図を示す。電流通路はグループ6の上
部電極から発光ダイオードを通して下部電極配線4に接続されている。上部電極はダイオ
ード(発光ダイオード)14を、下部電極はダイオード(発光ダイオード)15を介して電源
に接続されている。これにより発光ダイオードグループ6には電圧が正の場合はダイオー
ド12を介して、また電圧が負の場合はダイオード15を解して電圧が印加される。このよう
にすると交流の正負を両方ともに発光ダイオードに順方向として印加でき、効率良く発光
できる。
21上にAlNまたはSiC+AlNバファー膜22を膜厚10〜50nmで形成し、その上
にノンドープGaN層23を2〜10μ形成する。さらにその上にn++n−層24を2〜1
0μ形成する。その上にGaNおよびInGaNから成る多重量子井戸層25をそれぞれ1
〜20nmずつ3〜7層形成する。その後p−層26を100〜300nm形成し、さらに
その上にp+層27を100〜300nm形成する。
ード8とダイオード12,13,14,15を分離する。またn++n−層またはn−層24を途中
までエッチングしオーミックコンタクトを取れるようにする。その後SiO2層29を10
0〜500nm形成する。その後、ドライエッチングによりSiO2層29をエッチングし
電極窓を開け、p+GaN層27上にはNi/Au電極30を500nm〜1μm形成し、ま
たn+またはn−層24上にはTi/Al電極31を形成する。多結晶Siの不純物の活性化
はフラッシュアニールで行なう。そしてチップ外のスクライブライン(図示せず)上でA
l同士を結合させる。その後は図6に示すように配線を接続する。
でき、電圧の正負にかかわらず、順方向の電圧が印加できるようになる。また回路的にも
問題なく接続できる。したがって、交流電圧の正負両方で発光できる。なお、発光ダイオ
ードは赤色、緑色、青色、紫外光だけでなく、これらの発光ダイオードの組み合わせによ
る白色発光ダイオードにも適応できる。
(実施形態4)
すように、単相交流電圧1をダイオード(発光ダイオード)12を介して逆方向に、またダ
イオード13を介して順方向に、直接発光ダイオードグループ6に印加する。グループ6内の
各発光ダイオード8は1つまたは幾つかのダイオードが並列に連結した構造をとっている
。ここで、インバータ2は電圧を昇圧するもので、あった方が望ましいがなくても良い。
図6は発光ダイオードグループの平面図を示す。電流通路はグループ6の上部電極から発光
ダイオードを通して下部電極配線4に接続されている。上部電極はダイオード(発光ダイ
オード)14を、下部電極はダイオード(発光ダイオード)15を介して電源に接続されてい
る。ただし、実施例3の図5と各発光ダイオードおよびダイオードの向きが逆になっている
。これにより発光ダイオードグループ6には電圧が負の場合はダイオード13を介して、ま
た電圧が正の場合はダイオード12を解して電圧が印加される。このようにすると交流の正
負を両方ともに発光ダイオードに順方向として印加でき、効率良く発光できる。
上にAlNまたはSiC+AlNバファー膜22を膜厚10〜50nmで形成し、その上に
ノンドープGaN層23を2〜10μ形成する。さらにその上にp++p−層26,27を2〜
10μ形成する。その上にGaNおよびInGaNから成る多重量子井戸層25をそれぞれ
1〜20nmずつ3〜7層形成する。その後n−層24(1)を100〜300nm形成し、
さらにその上にn+層24(2)を100〜300nm形成する。
ード8とダイオード12,13,14,15を分離する。またp++p−層またはp−層27,26を
途中までエッチングしオーミックコンタクトを取れるようにする。その後SiO2層29を
100〜500nm形成する。その後、ドライエッチングによりSiO2層29をエッチン
グし電極窓を開け、p+GaN層26上にはBドープ多結晶Si‐Al電極30を500nm
〜1μm形成し、またn+またはn−層24(1),(2)上にはAsドープ多結晶Si‐Al電
極31を形成する。多結晶Siの不純物の活性化はフラッシュアニールで行なう。その後は
図6に示すように配線を接続する。
でき、電圧の正負にかかわらず、順方向の電圧が印加できるようになる。また回路的にも
問題なく接続できる。したがって、交流電圧の正負両方で発光できる。なお、発光ダイオ
ードは赤色、緑色、青色、紫外光だけでなく、これらの発光ダイオードの組み合わせによ
る白色発光ダイオードにも適応できる。
(実施形態5)
オードグループ106,107に印加する。グループ106,107内の各発光ダイオード108および1
09は1つまたは幾つかのダイオードが並列に連結した構造をとっている。ここで、PID
コントローラまたは変圧器102(1)、(2)は電圧を昇圧または降圧するものである。3相交
流は配線103が共通線またはアース線であり、配線104および105により発光ダイオードグ
ループ106および107に電圧を印加する。各配線104および105内のデバイス配置は図2と同
じ構造であり、デバイス構造も図3(または図4)と同じである。これによりグループ106
とグループ107は位相の異なる電圧がかかることになり、正電圧の時にはグループ106の発
光ダイオード8が発光し、一方負電圧の時にはグループ106の発光ダイオード9が発光する
ことになる。位相の異なる電圧が印加されるグループ107も全く同様に発行する。このよ
うにして3相交流を発光ダイオードグループに直接印加して発光できる。なお3相交流が
4配線(一つはアース配線)で供給された場合にも発光ダイオードグループを一つ増やすこ
とによって容易に対応できる。
(実施形態6)
イオードグループ106,107に印加する。グループ106,107内の各発光ダイオード108は1
つまたは幾つかのダイオードが並列に連結した構造をとっている。ここで、PIDコント
ローラまたは変圧器102(1)、(2)は電圧を昇圧または降圧するものである。3相交流は配
線103が共通線またはアース線であり、配線104および105により発光ダイオードグループ1
06および107に電圧を印加する。各配線104および105内のデバイス配置は図6と同じ構造で
あり、デバイス構造も図7(または図8)と同じである。これによりグループ106とグルー
プ107は常に順方向の電圧がかかることになり、常時発光ダイオードグループ106と107が
発光することになる。このようにして3相交流を発光ダイオードグループに直接印加して
発光できる。なお3相交流が4配線(一つはアース配線)で供給された場合にも発光ダイオ
ードグループを一つ増やすことによって容易に対応できる。
図3は図2に示す青色発光ダイオードグループ6,7のA-A´の断面を示す。先ず基
板21上にAlNまたはSiC+AlNバファー膜22を膜厚30nmで形成し、その上にノ
ンドープGaN層23を3μ形成した。さらにその上にn++n−層24を3μ形成した。そ
の上にGaNおよびInGaNから成る多重量子井戸層25を5nmずつ6層および5層形
成した。その後p−層26を200nm形成し、さらにその上にp+層27を200nm形成
した。
n+層24を途中までエッチングしオーミックコンタクトを取れるようにした。その後Si
O2層29を300nm形成した。その後、ドライエッチングによりSiO2層29をエッチ
ングし電極窓を開け、p+GaN層27上にはNi/Au電極30を700n形成し、またn
+層24上にはTi/Al電極31を形成した。多結晶Siの不純物の活性化はフラッシュア
ニールで行なった。そしてチップ外のスクライブライン(図示せず)上でAl同士を結合
させた。このようにしてチップグループ6と7に逆電圧がかかるようにできた。
が順方向の電圧で発光できるようになった。逆バイアスの場合は発光しないため、順方向
電圧にしたがって常にチップ内発光ダイオードグループ6または7のどちらかが青色が発光
した。なお、発光ダイオードは青色だけでなく、赤色,緑色,青色,紫外光、さらにこれ
らの発光ダイオードの組み合わせによる白色発光ダイオードにも適応できる。
(実施例2)
図4は図2に示す青色発光ダイオードグループ6,7のA-A´の断面を示す。先ず基板21上
にAlNまたはSiC+AlNバファー膜22を膜厚30nmで形成し、その上にノンドー
プGaN層23を3μ形成した。さらにその上にp++p−層27,26を3μ形成した。その
上にGaNおよびInGaNから成る多重量子井戸層25を5nmずつ6層および5層形成
した。その後n−層24(1)を200nm形成し、さらにその上にn+層24(2)を200nm
形成した。
p+層27を途中までエッチングしオーミックコンタクトを取れるようにした。その後Si
O2層29を300nm形成した。その後、ドライエッチングによりSiO2層29をエッチ
ングし電極窓を開け、n+層24(2)上にはAsドープ多結晶Si‐Al電極31を形成した
。p+GaN層27上にはBドープ多結晶Si‐Al電極30を700nm形成した。多結晶
Siの不純物の活性化はフラッシュアニールで行なった。そしてチップ外のスクライブラ
イン(図示せず)上でAl同士、を結合させた。このようにしてチップグループ6と7に逆
電圧がかかるようにできた。
加でき、それぞれが順方向の電圧で発光できるようになった。逆バイアスの場合は発光し
ないため、順方向電圧にしたがって常にチップ内発光グループ6または7のどちらかが青色
発光した。なお、発光ダイオードは青色だけでなく、赤色,緑色,青色,紫外光、さらに
これらの発光ダイオードの組み合わせによる白色発光ダイオードにも適応できる。
(実施例3)
順方向に、またダイオード13を介して逆方向に、直接青色発光ダイオードグループ6に印
加した。グループ6内の各発光ダイオード8は1つまたは幾つかのダイオードが並列に連結
した構造をとっている。ここで、インバータ2は電圧を昇圧するもので、あった方が望ま
しいがなくても良い。図6は発光ダイオードグループの平面図を示す。電流通路はグルー
プ6の上部電極30(図7に示す)から発光ダイオードを通して下部電極配線4に接続されて
いる。上部電極30はダイオード(発光ダイオード)14を、下部電極31(図7に示す)はダ
イオード(発光ダイオード)15を介して電源に接続されている。これにより発光ダイオー
ドグループ6には電圧が正の場合はダイオード12を介して、また電圧が負の場合はダイオ
ード15を解して電圧が印加された。このようにすると交流の正負を両方ともに発光ダイオ
ードに順方向として印加でき、効率的に発光できた。
21上にAlNまたはSiC+AlNバファー膜22を膜厚30nmで形成し、その上にノン
ドープGaN層23を3μ形成した。さらにその上にn++n−層24を3μ形成した。その
上にGaNおよびInGaNから成る多重量子井戸層25を5nmずつ6層および5層形成
した。その後p−層26を200nm形成し、さらにその上にp+層27を200nm形成し
た。
ード8とダイオード(発光ダイオード)12,13,14,15を分離した。またn+層を途中ま
でエッチングしオーミックコンタクトを取れるようにした。その後SiO2層29を300
nm形成した。その後、ドライエッチングによりSiO2層29をエッチングし電極窓を開
け、p+GaN層27上にはNi/Au電極30を700nm形成し、またn+層24上にはT
i/Al電極31を700nm形成した。多結晶Siの不純物の活性化はフラッシュアニー
ルで行なった。その後は図6に示すように配線を接続した。
負にかかわらず、順方向の電圧が印加できるようになった。また回路的にも問題なく接続
できた。したがって、交流電圧の正負両方で青色発光できた。なお、発光ダイオードは青
色だけでなく、赤色,緑色,青色,紫外光、さらにこれらの発光ダイオードの組み合わせ
による白色発光ダイオードにも適応できる。
(実施例4)
図5の回路図に示すように、単相交流電圧1をダイオード(発光ダイオード)12を介して
逆方向に、またダイオード13を介して順方向に、直接青色発光ダイオードグループ6に印
加した。グループ6内の各発光ダイオード8は1つまたは幾つかのダイオードが並列に連結
した構造をとっている。ここで、インバータ2は電圧を昇圧するもので、あった方が望ま
しいがなくても良い。図6は発光ダイオードグループの平面図を示す。電流通路はグルー
プ6の上部電極30(図8に示す)から発光ダイオードを通して下部電極配線4に接続されて
いる。上部電極30はダイオード(発光ダイオード)14を、下部電極31(図8に示す)はダ
イオード(発光ダイオード)15を介して電源に接続されている。ただし、実施例3の図5と
各発光ダイオードおよびダイオードの向きが逆になっている。これにより発光ダイオード
グループ6には電圧が負の場合はダイオード12を介して、また電圧が正の場合はダイオー
ド13を介して電圧が印加された。このようにすると交流の正負を両方ともに発光ダイオー
ドに順方向として印加でき、効率的に発光できた。
上にAlNまたはSiC+AlNバファー膜21を膜厚30nmで形成し、その上にノンド
ープGaN層23を3μ形成した。さらにその上にp++p−層27,26を3μ形成した。そ
の上にGaNおよびInGaNから成る多重量子井戸層をそれぞれ5nmずつ6層および
5層形成した。その後n−層24(1)を200nm形成し、さらにその上にn+層24(2)を2
00nm形成した。
ード8とダイオード12,13,14,15を分離した。またp++p−層27,26またはp+層27を
途中までエッチングしオーミックコンタクトを取れるようにした。その後SiO2層29を
300nm形成した。その後、ドライエッチングによりSiO2層29をエッチングし電極
窓を開け、p+GaN層27上にはBドープ多結晶シリコン‐Al電極30を700nm形成
し、またn+層24(2)上にはAsドープ多結晶Si‐Al電極30を700nmを形成した
。多結晶Siの不純物の活性化はフラッシュアニールで行なった。その後は図6に示すよ
うに配線を接続した。
加でき、電圧の正負にかかわらず、順方向の電圧が印加できるようになった。また回路的
にも問題なく接続できた。したがって、交流電圧の正負両方で青色発光できた。なお、発
光ダイオードは青色だけでなく、赤色,緑色,青色,紫外光、さらにこれらの発光ダイオ
ードの組み合わせによる白色発光ダイオードにも適応できる。
(実施例5)
ループ106,107に印加した。グループ106,107内の各発光ダイオード108および109は1つ
または幾つかのダイオードが並列に連結した構造をとっている。ここで、PIDコントロ
ーラまたは変圧器102(1)、(2)は電圧を昇圧または降圧するものである。3相交流電圧を
配線103が共通線またはアース線であり、配線104および105により青色発光ダイオードグ
ループ106および107に位相の異なる電圧を印加した。各配線104および105内のデバイス配
置は図2と同じ構造であり、デバイス構造も図3(または図4)と同じである。これにより
グループ106とグループ107は位相の異なる電圧がかかることになり、正電圧の時にはグル
ープ106内の発光ダイオード8が発光し、一方負電圧の時にはグループ106内の発光ダイオ
ード9が発光した。このようにして3相交流を青色発光ダイオードグループに直接印加し
て発光できた。なお3相交流が4配線(一つはアース配線)で供給された場合にも青色発光
ダイオードグループを一つ増やすことによって容易に対応できる。なお、発光ダイオード
は青色だけでなく、赤色,緑色,青色,紫外光、さらにこれらの発光ダイオードの組み合
わせによる白色発光ダイオードにも適応できる。
(実施例6)
グループ106,107に印加した。グループ106,107内の各発光ダイオード8は1つまたは幾
つかのダイオードが並列に連結した構造をとっている。ここで、PIDコントローラまた
は変圧器102(1)、(2)は電圧を昇圧または降圧するものである。3相交流電圧を配線103が
共通線またはアース線であり、配線104および105により発光ダイオードグループ106およ
び107に位相の異なる電圧を印加した。各配線104および105内のデバイス配置は図6と同じ
構造であり、デバイス構造も図7(または図8)と同じである。これによりグループ106と
グループ107は常に順方向の電圧がかかることになり、常時青色発光ダイオードグループ1
06と107が発光した。このようにして3相交流を青色発光ダイオードグループに直接印加
して発光できた。なお3相交流が4配線(一つはアース配線)で供給された場合にも青色発
光ダイオードグループを一つ増やすことによって容易に対応できる。なお、発光ダイオー
ドは青色だけでなく、赤色,緑色,青色,紫外光、さらにこれらの発光ダイオードの組み
合わせによる白色発光ダイオードにも適応できる。
2.PID コントローラまたは変圧器
3. 電源側配線
3(1).電極パッド
4.発光ダイオードグループ1配線
5.発光ダイオードグループ2配線
6. 発光ダイオードグループ1
7.発光ダイオードグループ2
8.グループ1の発光ダイオード
9.グループ2の発光ダイオード
10.接地側配線
11. 発光ダイオードチップ
12.ダイオード1
13.ダイオード2
14.ダイオード3
15.ダイオード4
21. Si基板
22. バッファー層(AlNまたはSiC+AlN)
23. ノンドープGaNエピタキシャル層
24. n++n−GaNエピタキシャル層
24(1).n+GaNエピタキシャル層
24(2).n−GaNエピタキシャル層
25. 多重量子井戸層
26. p−GaN層
27. p+GaN層
28. スクライブライン溝
29. 絶縁層
30. Bドープ多結晶Si‐Al電極またはNi/Au,Pd/Pt/Au,
Pd/Pt/Au/Al
31. Asドープ多結晶Si‐Al電極またはTi/Al,Ti/Au,Ti/Al/
Mo/Au
101.3相交流電源
102(1).3相交流の第1相目のPID コントローラまたは変圧器
102(2).3相交流の第2相目のPID コントローラまたは変圧器
103.3相交流の共通またはアース配線
104.3相交流の第1相目入力側配線
105.3相交流の共通またはアース配線
111.3相交流の第1相目出力側配線
112.3相交流の第2相目出力側配線
Claims (11)
- 基板側からn型GaNエピタキシャル層、多重量子井戸層、p型GaNエピタキシャル
層の積層構造を有するチップ構造を備えた2つ発光ダイオードグループを有し、それぞれ
の発光ダイオードグループが交流の正負電圧がそれぞれ順方向バイアスとなる配線構造を
備えた発光ダイオード。 - 請求項1と逆のp型GaNエピタキシャル層、多重量子井戸層、n型GaNエピタキシャ
ル層の積層構造を有するチップ構造を備え、それぞれの発光ダイオードグループが交流の
正負電圧がそれぞれの順方向バイアスとなる配線構造を備えた発光ダイオード。 - 基板側からn型GaNエピタキシャル層、多重量子井戸層、p型GaNエピタキシャル
層の積層構造を有するチップ構造を備えた発光ダイオードグループと入力側ダイオードお
よび出力側ダイオードを備え、交流の正負の電圧がそれぞれの発光ダイオードの順方向と
なる配線構造を有する発光ダイオード。 - 請求項3と逆のp型GaNエピタキシャル層、多重量子井戸層、n型GaNエピタキシ
ャル層の積層構造を有するチップ構造を備え、発光ダイオードグループと入力側ダイオー
ドおよび出力側ダイオードを備えた交流の正負の電圧がそれぞれの発光ダイオードの順方
向となる配線構造を有する発光ダイオード。 - 請求項3と4において発光ダイオードグループの周辺の入力側ダイオードおよび出力側
ダイオードが発光ダイオードである発光ダイオード。 - 請求項1〜5において発光ダイオードは赤色発光ダイオード、緑色発光ダイオード、青
色発光ダイオードの組み合わせである白色発光ダイオード。 - 請求項1〜5において発光ダイオードは黄色発光ダイオード、青色発光ダイオードの組
み合わせである白色発光ダイオード。 - 請求項1〜8において印加する交流電圧は単相交流電圧であること。
- 請求項1〜8において印加する交流電圧は3相交流電圧であること。
- 請求項1の構造を形成するために発光ダイオードを形成した後、エッチングおよび配線に
より2つの発光ダイオードグループに交流電圧の正負どちらかが順方向となるようにした
発光ダイオード形成方法。 - 請求項5の構造を形成するために発光ダイオードを形成した後、エッチングおよび配線に
より発光ダイオードグループと周辺の入力用発光ダイオードおよび出力用発光ダイオード
を分離し、正負の交流電圧がそれぞれ発光ダイオードの順方向となるようにした発光ダイ
オードの形成方法。
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