JP2014006364A

JP2014006364A - 露光装置及び露光方法

Info

Publication number: JP2014006364A
Application number: JP2012141449A
Authority: JP
Inventors: Ryosuke Yasui; 亮輔安井; Tatsuya Sato; 達弥佐藤; Kazuhiro Ura; 和宏浦; Koji Imayoshi; 孝二今吉
Original assignee: Arisawa Mfg Co Ltd; Toppan Printing Co Ltd
Current assignee: Arisawa Mfg Co Ltd; Toppan Inc
Priority date: 2012-06-22
Filing date: 2012-06-22
Publication date: 2014-01-16
Also published as: KR20140000144A; CN103513517A; TW201400995A

Abstract

【課題】フィルムが、２個のパターンとは異なるパターンで露光される。
【解決手段】露光装置は、フィルムを保持するフィルム保持部と、第１パターン、および、前記第１パターンから離間した第２パターンが形成されたマスクと、前記マスクに光束を照射して、前記第１パターンまたは前記第２パターンを通過した光束により前記フィルムを露光する露光部とを備え、前記露光部は、前記第１パターンを照射する第１光束を出力する第１光出力部と、前記第１光出力部から出力される前記第１光束の主光線と交差する主光線を有し、前記第２パターンを照射する第２光束を出力する第２光出力部とを有し、前記フィルム保持部は、前記第１光束と前記第２光束とが交差する位置よりも前記マスクに近い位置で前記フィルムを保持する。
【選択図】図５

Description

本発明は、露光装置及び露光方法に関する。

２個の異なるパターンによって、フィルムを露光する露光装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
［特許文献１］米国特許出願公開第２０１１／０２１７６３８号明細書

上述の露光装置では、一方のパターンの一端と他方のパターンの一端とが略同じ位置に形成されているので、一方のパターンを透過した光と他方のパターンを透過した光とが、フィルムの前で交差するクロストークが生じていた。この結果、フィルムが、２個のパターンとは異なるパターンで露光されるという課題がある。

本発明の第１の態様においては、フィルムを保持するフィルム保持部と、第１パターン、および、前記第１パターンから離間した第２パターンが形成されたマスクと、前記マスクに光束を照射して、前記第１パターンまたは前記第２パターンを通過した光束により前記フィルムを露光する露光部とを備え、前記露光部は、前記第１パターンを照射する第１光束を出力する第１光出力部と、前記第１光出力部から出力される前記第１光束の主光線と交差する主光線を有し、前記第２パターンを照射する第２光束を出力する第２光出力部とを有し、前記フィルム保持部は、前記第１光束と前記第２光束とが交差する位置よりも前記マスクに近い位置で前記フィルムを保持する露光装置を提供する。

本発明の第２の態様においては、フィルムを保持するフィルム保持段階と、第１パターン、および、前記第１パターンから離間した第２パターンが形成されたマスクに光束を照射して、前記第１パターンまたは前記第２パターンを通過した光束により前記フィルムを露光する露光段階とを備え、前記露光段階では、前記第１パターンを照射する第１光束を出力するとともに、前記第１光束の主光線と交差する主光線を有し、前記第２パターンを照射する第２光束を出力して、前記フィルム保持段階では、前記第１光束と前記第２光束とが交差する位置よりも前記マスクに近い位置に前記フィルムを配置する露光方法を提供する。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

本実施形態により製造される光学フィルム１００の全体平面図である。図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図である。光学フィルム１００が設けられた立体画像表示装置の分解斜視図である。本実施形態による露光装置１０の全体構成図である。露光部１８の拡大図である。マスク３８の底面図である。図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿ったマスク３８の縦断面図である。変更したマスク２３８を説明する図である。変更したマスク３３８を説明する図である。変更した偏光光源４３４を説明する図である。変更した偏光光源５３４を説明する図である。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、本実施形態により製造される光学フィルム１００の全体平面図である。光学フィルム１００は、後述する露光装置によって製造される。光学フィルム１００は、立体画像表示装置の画像生成部の画像の出力側に設けられ、右目用画像及び左目用画像を出力する。

光学フィルム１００は、一辺が数ｃｍ〜数ｍの長方形状に形成されている。図１に示すように、光学フィルム１００は、樹脂基材１０２と、第１偏光変調部１０４と、第２偏光変調部１０６とを有する。

樹脂基材１０２は、後述する樹脂製の長尺状のフィルムが一定の長さに切断されて形成される。樹脂基材１０２は、光を透過する。樹脂基材１０２の厚みの一例は、５０μｍ〜１００μｍである。樹脂基材１０２は、第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６を支持する。樹脂基材１０２は、シクロオレフィン系のフィルムによって構成することができる。シクロオレフィン系フィルムとして、熱膨張率が７０×１０^−６／℃のシクロオレフィンポリマー（＝ＣＯＰ）、より好ましくは、シクロオレフィンポリマーの共重合体であるシクロオレフィンコポリマー（＝ＣＯＣ）を使用することができる。ＣＯＰフィルムとして、日本ゼオン社製のゼオノアフィルムＺＦ１４を挙げることができる。また、樹脂基材１０２は、熱膨張率が５４×１０^−６／℃のトリアセチルセルロース（＝ＴＡＣ）を含む材料によって構成してもよい。ＴＡＣフィルムは、富士写真フィルム社製のフジタックＴ８０ＳＺ及びＴＤ８０ＵＬ等を挙げることができる。尚、シクロオレフィン系フィルムを使用する場合は、脆弱性の観点から高靭性タイプのフィルムを使用することが好ましい。

第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、平面視において、同じ形状に形成されている。第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、樹脂基材１０２の長辺方向に沿って延びる長方形状である。ここでいう樹脂基材１０２の長辺方向は、立体画像表示に組み込まれた光学フィルム１００においては、水平方向となる。従って、樹脂基材１０２の短辺方向は、立体画像表示に組み込まれた光学フィルム１００においては、鉛直方向となる。第１偏光変調部１０４と第２偏光変調部１０６は、互いに一辺を接触させた状態で、鉛直方向に沿って交互に配置されている。尚、第１偏光変調部１０４と第２偏光変調部１０６は、水平方向に沿って交互に配置してもよい。

第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、透過する偏光の偏光状態を変調させる。第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、例えば、１／４波長板の位相差機能を有する。尚、第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、１／２波長板の位相差機能を有してもよい。第１偏光変調部１０４は、例えば、図１の第１偏光変調部１０４の右端に記載の矢印１１０と平行な方向に配向された光学軸を有する。これにより、第１偏光変調部１０４は、例えば、矢印１１０から４５°回転した偏光方向を有する直線偏光が入力すると、その偏光を隣の矢印１１２に示す右回りの偏光方向を有する円偏光に変調して出力する。第２偏光変調部１０６は、例えば、図１の第２偏光変調部１０６の右端に記載の矢印１１４と平行な方向に配向された光学軸であって、第１偏光変調部１０４の光学軸と直交する光学軸を有する。これにより、第２偏光変調部１０６は、例えば、矢印１１０から４５°回転した偏光方向を有する直線偏光が入力すると、その偏光を隣の矢印１１６に示す左回りの偏光方向を有する円偏光に変調して出力する。尚、光学軸の一例は、進相軸または遅相軸である。ここで、第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６の光学軸の配向角のバラツキは、±０．５°以下、より好ましくは±０．２°以下である。配向角のバラツキとは、設定値を０°として、そこからのバラツキである。

この結果、同じ偏光方向を有する直線偏光が、第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６に入力しても、第２偏光変調部１０６が出力する偏光の偏光方向と、第１偏光変調部１０４が出力する偏光の偏光方向とは、異なる。例えば、第２偏光変調部１０６が出力する偏光の偏光方向は、第１偏光変調部１０４が出力する偏光の偏光方向の逆回りの円偏光である。

図２は、図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図である。図２に示すように、各第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、配向膜１２０と、液晶膜１２２とを有する。

配向膜１２０は、樹脂基材１０２の面上に形成されている。配向膜１２０は、公知の光配向性化合物を適用できる。光配向性化合物は、紫外線等の直線偏光が照射されると、その直線偏光の偏光方向に分子が規則的に配向される材料である。更に、光配向性化合物は、自己の上に形成された液晶膜１２２の分子を自己の配向に沿って並ばせる機能を有する。光配向性化合物の例として、光分解型、光二量化型、光異性化型等の化合物をあげることができる。配向膜１２０は、複数の第１配向領域１２４と、複数の第２配向領域１２６とを有する。複数の第１配向領域１２４と複数の第２配向領域１２６は、配列方向に沿って交互に配列されている。ここでいう配列方向は、鉛直方向と平行である。第１配向領域１２４と隣接する全ての第２配向領域１２６は、互いに接している。第１配向領域１２４は、第１偏光変調部１０４の一部を構成する。第１配向領域１２４は、第１偏光変調部１０４の光学軸に対応した方向に配向している。第２配向領域１２６は、第２偏光変調部１０６の一部を構成する。第２配向領域１２６は、第１配向領域１２４の配向方向と直交する方向であって、第２偏光変調部１０６の光学軸に対応した方向に配向している。

液晶膜１２２は、配向膜１２０上に形成される。液晶膜１２２は、紫外線または加熱等によって硬化可能な液晶ポリマーによって構成することができる。液晶膜１２２は、第１液晶領域１２８と、第２液晶領域１３０とを有する。第１液晶領域１２８は、第１偏光変調部１０４の一部を構成する。第１液晶領域１２８は、第１配向領域１２４上に形成される。第１液晶領域１２８の分子は、第１配向領域１２４の配向に沿って、配向される。第２液晶領域１３０は、第２偏光変調部１０６の一部を構成する。第２液晶領域１３０は、第２配向領域１２６上に形成される。第２液晶領域１３０の分子は、第２配向領域１２６の配向に沿って、配向される。

図３は、光学フィルム１００が設けられた立体画像表示装置の分解斜視図である。図３の矢印で示すように、ユーザが位置する方向であって、画像を出力する方向を立体画像表示装置の前方とする。図３に示すように、立体画像表示装置１５０は、光源１５２と、画像出力部１５４と、光学フィルム１００と、光学機能膜１５８とを備えている。

光源１５２は、面内において略均一な強度で、白色の無偏光を照射する。光源１５２は、ユーザから見て、立体画像表示装置１５０の最後方に配置される。光源１５２には、拡散板と冷陰極管（CCFL：Cold Cathode Fluorescent Lamp）とを組み合わせた光源、プリズムレンズと発光ダイオード（LED：Light Emitting Diode）とを組み合わせた光源、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）を含む面光源等を適用できる。

画像出力部１５４は、光源１５２の前方に配置されている。画像出力部１５４は、光源１５２からの光によって、画像を出力する。画像出力部１５４は、偏光板１６４と、保持基板１６６と、画像生成部１６８と、保持基板１７０と、偏光板１７４とを備える。

偏光板１６４は、光源１５２と、保持基板１６６との間に配置される。偏光板１６４を構成する材料の一例は、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）を含む樹脂である。偏光板１６４は、水平方向から４５°傾斜した透過軸と、透過軸と直交する吸収軸とを有する。これにより、光源１５２から出力されて、偏光板１６４に入射した無偏光のうち、振動方向が偏光板１６４の透過軸と平行な成分は透過するとともに、吸収軸と平行な成分は吸収されて遮断される。このため偏光板１６４から出力される光は、偏光板１６４の透過軸を偏光方向とする直線偏光となる。

保持基板１６６は、偏光板１６４と画像生成部１６８との間に配置されている。保持基板１６６は、透明なガラス板を適用できる。尚、保持基板１６６は、ガラス板以外に透明な樹脂とガラスクロスとを含む透明な複合材料を用いた透明複合シートを適用することができる。これにより、立体画像表示装置１５０の軽量化かつ柔軟性を達成することができる。保持基板１６６の後面は、接着剤を介して、偏光板１６４を保持する。

画像生成部１６８は、保持基板１６６と保持基板１７０との間に配置されて保持されている。画像生成部１６８は、画像を生成する複数の画素（＝ピクセル）を有する。複数の画素は、鉛直方向及び水平方向に一定のピッチで二次元に配列されている。画素は画像を扱うときの単位をいい、色調及び階調の色情報を出力する。各画素は、３個の副画素（＝サブピクセル）を有する。各副画素は、液晶部と、液晶部の前後面に形成された透明電極とを有する。透明電極は液晶部に電圧を印加する。電圧が印加された副画素の液晶部は直線偏光の偏光方向を９０°回転させる。各画素に含まれる３個の副画素は、それぞれ赤色のカラーフィルターと、緑色のカラーフィルターと、青色のカラーフィルターとを有する。副画素の透明電極の電圧印加を制御することにより、副画素から出力される赤色、緑色、青色の光を強めてまたは弱めて、画像を形成する。

画像生成部１６８は、図３に「Ｒ」及び「Ｌ」で示すように、右目用の画像を生成する右目用画像生成部１７８と、左目用の画像を生成する左目用画像生成部１８０とを有する。右目用画像生成部１７８及び左目用画像生成部１８０は、水平方向に延びる矩形状に形成されている。右目用画像生成部１７８及び左目用画像生成部１８０は、鉛直方向に沿って交互に配置されている。

保持基板１７０は、画像生成部１６８と偏光板１７４との間に配置されている。保持基板１６６及び保持基板１７０は、画像生成部１６８を挟持する。保持基板１７０は、保持基板１６６と同じ材料によって構成されている。保持基板１７０の前面は、接着剤を介して、偏光板１７４を保持する。

偏光板１７４は、保持基板１７０と、光学フィルム１００との間に配置されている。偏光板１７４は、保持基板１７０における画像生成部１６８が保持される側の反対側に接着剤により貼り付けられている。偏光板１７４は、ＰＶＡ（ポリビニルアルコール）を含む樹脂によって構成されている。偏光板１７４の厚みは、薄い方が好ましい。偏光板１７４の厚みは、例えば、１００μｍ〜２００μｍである。偏光板１７４は、透過軸と、透過軸と直交する吸収軸とを有する。偏光板１７４の透過軸は、偏光板１６４の透過軸と直交する。これにより、画像生成部１６８によって偏光方向が、９０°回転された直線偏光は、偏光板１７４を透過して画像光となり画像を形成する。一方、画像生成部１６８によって偏光方向が回転されなかった直線偏光は、偏光板１７４によって遮蔽される。これにより、画像出力部１５４は、偏光板１７４の透過軸と平行な偏光方向の偏光からなる画像光を出力する。

光学フィルム１００は、接着剤によって画像出力部１５４の偏光板１７４の前方に貼り付けられている。光学フィルム１００の厚みは、光学フィルム１００の寸法変化を抑制するために、薄い方が好ましい。例えば、光学フィルム１００の厚みは、５０μｍ〜２００μｍであることが好ましい。

光学フィルム１００の第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、樹脂基材１０２の後面上に配されている。第１偏光変調部１０４は、画像生成部１６８の右目用画像生成部１７８と略同形状である。第１偏光変調部１０４は、右目用画像生成部１７８の前方に配置されている。これにより、第１偏光変調部１０４には、右目用画像生成部１７８から出力されて、偏光板１７４を透過した直線偏光からなる右目用の画像光が入射する。第１偏光変調部１０４は、入射した右目用の画像光を右回りの円偏光に変調して出力する。第２偏光変調部１０６は、画像生成部１６８の左目用画像生成部１８０と略同形状である。第２偏光変調部１０６は、左目用画像生成部１８０の前方に配置されている。これにより、第２偏光変調部１０６には、左目用画像生成部１８０から出力されて、偏光板１７４を透過した直線偏光からなる左目用の画像光が入射する。第２偏光変調部１０６は、入射した左目用の画像光を左回りの円偏光に変調して出力する。従って、第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６は、右目用画像及び左目用画像を構成する同じ偏光方向の直線偏光を、偏光方向が互いに異なる円偏光へと変換して出力する。

光学機能膜１５８は、光学フィルム１００の前面に配置されている。光学機能膜１５８の一例は、外部の照明等から出力された光の反射を低減または抑制する反射低減膜または反射防止膜である。これにより、光学機能膜１５８は、外部の光の混入の少ない画像をユーザに提供する。光学機能膜１５８の他の例は、眩しさを抑制する防眩膜、表面の傷を防止するハードコート膜等である。尚、光学機能膜１５８は、省略してもよい。

ユーザが立体画像を見る場合に使用する偏光眼鏡１９０は、右目用変調部１９２と左目用変調部１９４とを有する。右目用変調部１９２は、右回りの円偏光のみを透過する。左目用変調部１９４は、左回りの円偏光のみを透過する。これにより、ユーザの右目は、第１偏光変調部１０４から出力された右目用の画像のみを視認して、ユーザの左目は、第２偏光変調部１０６から出力された左目用の画像のみを視認する。この結果、ユーザは、立体画像を見ることができる。

図４は、本実施形態による露光装置１０の全体構成図である。図５は、露光部１８の拡大図である。図４に矢印で示す上下を露光装置１０の上下方向とする。また、上流及び下流は、搬送方向における上流及び下流とする。尚、搬送方向は、長尺状のフィルム９０の長手方向と同方向であって、配列方向及び幅方向と直交する。

図４及び図５に示すように、露光装置１０は、送り出しロール１２と、洗浄部１３と、配向膜塗布部１４と、配向膜乾燥部１６と、露光部１８と、液晶膜塗布部２０と、液晶膜配向部２２と、液晶膜硬化部２４と、セパレートフィルム供給部２６と、巻き取りロール２８と、マスク３８と、保持ロール４８とを備える。

送り出しロール１２は、フィルム９０の搬送経路の最も上流側に配置されている。送り出しロール１２の外周には、供給用のフィルム９０が巻かれている。送り出しロール１２は、回転可能に支持されている。これにより、送り出しロール１２は、フィルム９０を送り出し可能に保持できる。送り出しロール１２は、モータ等の駆動機構によって回転可能に構成してもよく、巻き取りロール２８の回転に伴って、従動可能に構成してもよい。あるいは、搬送経路の途中にフィルム９０を駆動させる機構を設けてもよい。

洗浄部１３は、送り出しロール１２と、配向膜塗布部１４との間に配置されている。洗浄部１３は、送り出しロール１２から送り出されて、配向膜１２０が塗布される前のフィルム９０を洗浄する。

配向膜塗布部１４は、送り出しロール１２の下流側であって、露光部１８の上流側に配置されている。配向膜塗布部１４は、搬送されるフィルム９０の搬送経路の上方に配置されている。配向膜塗布部１４は、フィルム９０の上面に、露光材料の一例である液状の配向膜１２０を供給して塗布する。

配向膜乾燥部１６は、配向膜塗布部１４の下流側に配置されている。配向膜乾燥部１６は、加熱、光照射、または送風等によって、内部を通過するフィルム９０上に塗布された配向膜１２０を乾燥させる。

露光部１８は、マスク３８に光束を照射して、搬送されているフィルム９０を露光する。露光部１８により露光されているフィルム９０上の領域を露光領域とする。露光部１８は、配向膜乾燥部１６の下流側に配置されている。露光部１８は、偏光光源３４と、マスク３８を保持するマスク保持部４０と、一対の上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６とを有する。露光部１８は、偏光光源３４から出力された偏光を、マスク３８を介して、フィルム９０上に塗布された配向膜１２０に照射する。これにより、露光部１８は、配向膜１２０を配向させて、パターンを形成する。偏光光源３４から出力される偏光の一例は、２８０ｎｍから３４０ｎｍの波長の紫外線である。

偏光光源３４は、フィルム９０の搬送経路の上方に配置されている。偏光光源３４は、第１偏光出力部５０と、第２偏光出力部５２とを有する。第１偏光出力部５０及び第２偏光出力部５２は、上流側張力ロール４４と下流側張力ロール４６との間に配置されている。第２偏光出力部５２は、第１偏光出力部５０の下流側に配置されている。

第１偏光出力部５０は、第１配向領域１２４の配向に対応した偏光方向を有する第１偏光の光束である第１光束７０を出力する。第２偏光出力部５２は、第２配向領域１２６の配向に対応した偏光方向を有する第２偏光の光束である第２光束７２を出力する。第１偏光及び第２偏光はともに直線偏光である。第２偏光出力部５２が出力する第２偏光の偏光方向は、第１偏光出力部５０が出力する第１偏光の偏光方向と直交する。尚、第２偏光出力部５２が出力する第２偏光の偏光方向と、第１偏光出力部５０が出力する第１偏光の偏光方向は、任意の角度で交差させてもよい。

第１偏光出力部５０は、第１偏光の第１光束７０を下流側且つ下方へと出力する。第２偏光出力部５２は、第２偏光の第２光束７２を上流側且つ下方へと出力する。従って、第１光束７０の第１主光線７４と、第２光束７２の第２主光線７６は、互いに近づき交差する。尚、主光線とは、光束の中心を通る光線のことである。

第１偏光出力部５０は、第１光束７０をフィルム９０が保持ロール４８と密着している領域に向けて出力する。第２偏光出力部５２は、第２光束７２をフィルム９０が保持ロール４８と密着している領域に向けて出力する。

第１偏光出力部５０は、第１光束７０がフィルム９０に対して垂直に入射するように出力する。また、第２偏光出力部５２は、第２光束７２がフィルム９０に対して垂直に入射するように出力する。尚、第１偏光出力部５０及び第２偏光出力部５２は、第１光束７０及び第２光束７２がフィルム９０に対して傾斜して入射するようにしてもよい。これにより、第１光束７０及び第２光束７２が、フィルム９０及び保持ロール４８によって反射された後、周辺設備等によって反射された場合であっても、フィルム９０に塗布された配向膜１２０に戻ることを抑制できる。この結果、反射された第１光束７０及び第２光束７２が、フィルム９０上の予定しない個所に照射されて、配向が乱れることを抑制できる。

第１偏光出力部５０から出力される第１偏光の照度と、第２偏光出力部５２から出力される第２偏光の照度は、等しい。ここでいう、照度とは、出力される偏光の単位面積当たりのエネルギーのことをいい、単位は、ｍＷ／ｃｍ^２である。出力される偏光が、２８０ｎｍから３４０ｎｍの波長の紫外線の場合、照度はＵＶ照度となる。第１偏光及び第２偏光の照度の一例は、２０ｍＷ／ｃｍ^２以上である。尚、露光の方法は適宜変更してよい。例えば、偏光光源３４の第１偏光及び第２偏光を上下方向に沿って照射してもよい。ここでいう上下方向は、図４の矢印で示す上下方向である。

第１偏光出力部５０と第２偏光出力部５２との間には、マスク３８まで鉛直方向に延びる遮光壁を設けることが好ましい。これにより、遮光壁が、互いの偏光を遮光する。この場合、遮光壁は、第１偏光及び第２偏光の反射を抑制するために黒色が好ましい。

マスク保持部４０は、マスク３８を保持する。マスク保持部４０は、フィルム９０に対して、搬送方向と直交する幅方向に相対移動可能に保持されている。これにより、マスク３８は、モータまたはアクチュエータ等によってマスク保持部４０とともに移動されて、幅方向の位置が調整される。

上流側張力ロール４４は、配向膜乾燥部１６の下流側であって、保持ロール４８、偏光光源３４及びマスク３８の上流側に配置されている。上流側張力ロール４４は、フィルム９０の搬送経路の上方に配置されている。上流側張力ロール４４は、搬送中のフィルム９０を下方へと押圧する。

下流側張力ロール４６は、液晶膜塗布部２０の上流側であって、保持ロール４８、偏光光源３４及びマスク３８の下流側に配置されている。下流側張力ロール４６は、フィルム９０の搬送経路の上方に配置されている。また、下流側張力ロール４６は、搬送中のフィルム９０を下方へと押圧する。

上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６は、回転可能に支持されている。上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６は、下方を搬送されるフィルム９０に合わせて回転する。尚、上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６は、駆動モータ等によって自転可能に構成してもよく、巻き取りロール２８等の駆動力によって従動可能に構成してもよい。

液晶膜塗布部２０は、露光部１８の下流側に配置されている。液晶膜塗布部２０は、フィルム９０の搬送経路の上方に配置されている。液晶膜塗布部２０は、フィルム９０に形成された配向膜１２０上に液晶膜１２２を供給して、塗布する。

液晶膜配向部２２は、液晶膜塗布部２０の下流側に配置されている。液晶膜配向部２２は、加熱、光照射、または、送風等によって、内部を通過する配向膜１２０上に形成された液晶膜１２２を、配向膜１２０の配向方向に沿って配向させつつ、乾燥させる。

液晶膜硬化部２４は、液晶膜配向部２２の下流側に配置されている。液晶膜硬化部２４は、紫外線を照射することにより、液晶膜１２２を硬化させる。これにより、配向膜１２０の配向に沿って配向された液晶膜１２２の分子の配向が、固定される。

セパレートフィルム供給部２６は、液晶膜硬化部２４と巻き取りロール２８との間に配置されている。セパレートフィルム供給部２６は、フィルム９０の液晶膜１２２上にセパレートフィルム９２を供給して、貼り合わせる。セパレートフィルム９２は、巻き取られたフィルム９０間の離脱を容易にする。尚、セパレートフィルム供給部２６は、省略してもよい。

巻き取りロール２８は、搬送部の一例である。巻き取りロール２８は、液晶膜硬化部２４の下流側であって、搬送経路の最も下流側に配置されている。巻き取りロール２８は、回転駆動可能に支持されている。巻き取りロール２８は、配向膜１２０及び液晶膜１２２が形成されてパターニングされたフィルム９０を巻き取る。これにより、巻き取りロール２８は、長尺状のフィルム９０を搬送方向に搬送する。

マスク３８は、マスク保持部４０によって保持されて、偏光光源３４とフィルム９０及び保持ロール４８との間に配置される。一例として、マスク３８は、フィルム９０の数百μｍ上方に配置される。マスク３８は、後述するマスク基材５６及び遮光層５８を有する。

保持ロール４８は、フィルム保持部の一例である。保持ロール４８は、ロール形状に形成されている。保持ロール４８の直径の一例は、６００ｍｍから８００ｍｍである。保持ロール４８の幅は、フィルム９０の幅よりも大きい。保持ロール４８は、回動可能に支持されている。これにより、保持ロール４８は、フィルム９０の搬送に伴って回動する。保持ロール４８の表面は、偏光光源３４からの光の反射を抑制するために、黒色に塗布されていることが好ましい。

保持ロール４８は、偏光光源３４と対向する位置に配置されている。保持ロール４８は、フィルム９０の搬送経路を挟み、偏光光源３４と反対側に配置されている。保持ロール４８は、フィルム９０の搬送経路の下方に配置されている。保持ロール４８は、上流側張力ロール４４と下流側張力ロール４６との間の上方に配置されている。これにより、保持ロール４８の上面は、上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６によって下方へと押圧されているフィルム９０に密着して保持するので、フィルム９０に生じるシワが抑制される。ここでいう、フィルム９０のシワは、概ね搬送方向に延び、幅方向に波打つ形状のことである。ここで、露光部１８は、保持ロール４８が密着している領域のフィルム９０を露光する。保持ロール４８の上面は、第１光束７０と第２光束７２とが交差する位置よりもマスク３８側に配置されている。これにより、保持ロール４８は、第１光束７０と第２光束７２とが交差する位置よりもマスク３８に近い位置でフィルム９０を保持する。

図６は、マスク３８の底面図である。図７は、図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿ったマスク３８の縦断面図である。図６及び図７に示すように、マスク３８は、マスク基材５６と、遮光層５８とを有する。

マスク基材５６は、矩形の板状に形成されている。マスク基材５６は、熱膨張係数が５．６×１０^−７／℃の石英ガラスからなる。マスク基材５６を、熱膨張係数が８５×１０^−７／℃のソーダライムガラスによって構成してもよい。マスク基材５６の搬送方向の長さは、約２００ｍｍである。マスク基材５６の幅方向の長さは、フィルム９０の幅に合わせて適宜設定される。

遮光層５８は、マスク基材５６の下面に形成されている。遮光層５８は、クロム等の光を遮蔽可能な材料からなる。遮光層５８には、第１透過領域６２として機能する複数の開口と、第２透過領域６４として機能する複数の開口とが形成されている。第１透過領域６２が形成されている領域が第１パターン領域８０であって、第２透過領域６４が形成されている領域が第２パターン領域８２である。第１パターン領域８０と第２パターン領域８２との間には、遮光領域８１が形成されている。第１透過領域６２は、搬送方向において、第２透過領域６４と異なる位置に形成されている。即ち、第１パターン領域８０及び第２パターン領域８２の両方は、同じマスク基材５６上に、互いに離間した位置に形成されている。

また、第１透過領域６２は、搬送方向と直交する幅方向において、第２透過領域６４と異なる位置に形成されている。第１透過領域６２の搬送方向に沿った一辺の延長線は、いずれかの第２透過領域６４の搬送方向に沿った一辺と一致する。

第１透過領域６２は、第１偏光出力部５０から出力される第１偏光の出力方向に配置されている。従って、第１パターン領域８０には、露光部１８の第１偏光出力部５０から出力された第１偏光の第１光束７０が照射される。これにより、第１パターン領域８０を通過した第１偏光の第１光束７０によりフィルム９０は露光される。第２透過領域６４は、第２偏光出力部５２から出力される第２偏光の出力方向に配置されている。従って、第２パターン領域８２には、露光部１８の第２偏光出力部５２から出力された第２偏光の第２光束７２が照射される。これにより、第２パターン領域８２を通過した第２偏光の第２光束７２によりフィルム９０は露光される。一方、第１透過領域６２及び第２透過領域６４以外の領域に達した偏光は、遮光領域８１を含む遮光層５８によって遮蔽される。この結果、フィルム９０の配向膜１２０は、第１偏光及び第２偏光のいずれかによって露光されて、第１透過領域６２による第１パターン領域８０及び第２透過領域６４による第２パターン領域８２を重ねたパターンに露光される。

第１透過領域６２及び第２透過領域６４の幅方向の長さの一例は、０．２ｍｍである。隣接する第１透過領域６２どうし、及び、隣接する第２透過領域６４どうしの幅方向の間隔の一例は、０．２ｍｍである。第１透過領域６２及び第２透過領域６４の搬送方向の長さの一例は、約３０ｍｍである。第１パターン領域８０と第２パターン領域８２との間の搬送方向の距離、即ち、搬送方向における遮光領域８１の長さの上限は、搬送した際の蛇行によるズレを考慮して、決定することが好ましい。ここで、光学フィルムを５００ｍｍ搬送した際に、光学フィルムの幅方向における蛇行量が２０μｍ以下であり、幅方向における第１パターン領域８０と第２パターン領域８２の重なり幅が５μｍ以下であるという条件を設定する。この条件を満たすとともに、マスク３８における第１透過領域６２と第２透過領域６４の配置スペースの効率化を考える。これらの点を考慮すると、第１パターン領域８０と第２パターン領域８２との間の搬送方向の距離、即ち、搬送方向における遮光領域８１の長さの上限は、１００ｍｍが好ましい。上限の一例は、３０ｍｍである。

一方、第１パターン領域８０と第２パターン領域８２との間の搬送方向の距離の下限Ｄには、第１偏光出力部５０及び第２偏光出力部５２から出射される第１光束７０及び第２光束７２のコリメーション角度θ、露光部１８の偏光の出力口とマスク３８との距離Ｈが効いてくるので、角度θ、距離Ｈなどからアプローチすることが好ましい。下限Ｄの一例は、以下の式によって算出される。
Ｄ＝Ｈ×ｔａｎθ
第１偏光出力部５０の偏光出力口から出射された第１偏光は、少なくとも上記数式から距離の下限Ｄだけ搬送方向にずれたところまで照射される。よって、距離の下限Ｄだけ第１パターン領域８０と第２パターン領域８２とを離す必要がある。コリメーション角度θが２度、第１偏光出力部５０及び第２偏光出力部５２からマスク３８までの距離Ｈが３０ｍｍの場合、下限Ｄの一例は、１ｍｍである。これにより、第１偏光及び第２偏光が、フィルム９０上で重ならないようにできる。これらの上限及び下限を考慮すると、第１パターン領域８０と第２パターン領域８２との間の搬送方向の距離は、１０ｍｍが好ましい。尚、第１透過領域６２、第２透過領域６４、第１パターン領域８０、遮光領域８１及び第２パターン領域８２の各数値は、適宜変更してよい。

次に、光学フィルム１００の製造方法について説明する。まず、送り出しロール１２に巻かれた長尺状のフィルム９０を準備する。ここで、フィルム９０の全長の一例は、約１０００ｍである。フィルム９０の幅の一例は、約５００ｍｍである。この後、保持段階において、フィルム９０の一端を巻き取りロール２８に固定する。この状態で、フィルム９０は、上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６の下面を通されるとともに、保持ロール４８の上面で保持された状態で配置されている。

次に、巻き取りロール２８の回転駆動が開始する。この結果、フィルム９０が送り出しロール１２から送り出されて、フィルム９０が、搬送方向に沿って搬送される搬送段階となる。フィルム９０の搬送速度の一例は、２ｍ／分〜１０ｍ／分である。フィルム９０の搬送開始に伴って、上流側張力ロール４４、下流側張力ロール４６及び保持ロール４８が回動する。

送り出されたフィルム９０は、洗浄部１３によって洗浄された後、配向膜塗布部１４の下方を通過する。これにより、フィルム９０の上面には、配向膜塗布部１４によって、幅方向の略全域にわたって配向膜１２０が塗布される。配向膜１２０の塗布は、フィルム９０の搬送中、連続して実行される。従って、フィルム９０の上面には、両端の一部を除いて、搬送方向における全長にわたって連続して配向膜１２０が塗布される。

配向膜１２０が塗布されたフィルム９０は、搬送されて、配向膜乾燥部１６の内部を通過する。これにより、フィルム９０の上面に塗布された配向膜１２０が、乾燥される。この後、フィルム９０は、上流側張力ロール４４の下面を通過する。

この後、露光段階において、配向膜１２０が塗布された領域のフィルム９０が第１透過領域６２の下方を通過することにより第１配向段階となる。第１配向段階では、フィルム９０の搬送が継続した状態で、第１透過領域６２の下方を通過する領域の配向膜１２０が、第１偏光出力部５０から出力されてマスク３８の第１透過領域６２を透過した第１偏光の第１光束７０によって、露光される。ここで、フィルム９０は、巻き取りロール２８によって連続して一定の速度で搬送が継続されつつ、露光される。従って、第１透過領域６２の下方を通過する配向膜１２０は、搬送方向に沿って、連続して、第１偏光出力部５０から出力される第１偏光によって露光される。これにより、第１透過領域６２の下方を通過した領域の配向膜１２０は、第１透過領域６２と同じ幅であって搬送方向に延びる帯状に露光される。また、当該領域の配向膜１２０は、第１偏光によって露光されるので、当該領域の配向膜１２０は、露光される第１偏光に対応して配向される。これにより、複数の第１配向領域１２４が、配向膜１２０に形成される。

この後、配向膜１２０が塗布された領域のフィルム９０は搬送されて、第２透過領域６４の下方を通過することにより第２配向段階となる。第２配向段階では、搬送段階が継続した状態で、第２偏光出力部５２から出力された第２偏光の第２光束７２が、マスク３８の第２透過領域６４を透過して、第２透過領域６４の下方を通過する領域に形成されたフィルム９０の配向膜１２０に照射される。フィルム９０の搬送は継続されているので、当該領域の配向膜１２０は第２透過領域６４と同じ幅の搬送方向に延びる帯状に露光される。また、当該領域の配向膜１２０は、第２偏光によって露光されるので、当該領域の配向膜１２０は、露光される第２偏光に対応して配向される。これにより、複数の第２配向領域１２６が、配向膜１２０に形成される。

ここで、第２透過領域６４は、幅方向において、第１透過領域６２と異なる位置に形成されている。これにより、第２偏光が、第１透過領域６２によって照射された領域と異なる領域の配向膜１２０に照射される。これにより、第１偏光によって配向された第１配向領域１２４と隣接する第１配向領域１２４との間に、第２偏光が照射されて、幅方向において、配向膜１２０の全ての領域が、第１偏光または第２偏光によって配向される。

第２偏光出力部５２から出力される第２偏光の偏光方向は、第１偏光出力部５０から出力される第１偏光の偏光方向と直交する。これにより、第１偏光によって配向される領域の配向方向と、第２偏光によって配向される領域の配向方向は、互いに直交する。この結果、第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６に対応する異なる配向を含む２つの領域が交互に配列されたパターンが配向膜１２０に形成される。

露光領域のフィルム９０は、上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６によって、下方へと押圧された状態で、保持ロール４８によって密着して保持されている。これにより、フィルム９０には、上流側張力ロール４４及び下流側張力ロール４６の間で、搬送方向の張力が保持ロール４８から付与されるので、フィルム９０のシワが低減される。第１偏光出力部５０及び第２偏光出力部５２は、保持ロール４８によって密着して、シワの少ない領域のフィルム９０に第１偏光の第１光束７０及び第２偏光の第２光束７２を出力して露光する。

第１偏光出力部５０及び第２偏光出力部５２は、互いに近づく方向に第１光束７０及び第２光束７２を出力する。しかしながら、保持ロール４８は、第１光束７０及び第２光束７２が交差する位置よりも、マスク３８側でフィルム９０を保持している。これにより、フィルム９０は、互いに重なっていない第１光束７０及び第２光束７２によって露光される。更に、第１光束７０によって露光されるフィルム９０上の領域と第２光束７２によって露光されるフィルム９０上の領域との距離は、マスク３８に第１パターン領域８０と第２パターン領域８２との間の距離より短くなる。

この後、配向膜１２０が露光されたフィルム９０は、下流側張力ロール４６の下方を通過して、液晶膜塗布部２０の下方へと達する。これにより、液晶膜１２２が、配向膜１２０の上面に塗布される。液晶膜１２２は搬送中のフィルム９０の配向膜１２０の上面に連続して塗布されるので、液晶膜１２２はフィルム９０の搬送方向の全長にわたって、塗布されることになる。この後、液晶膜１２２が塗布されたフィルム９０は、搬送されて、液晶膜配向部２２を通過する。これにより、液晶膜１２２が液晶膜配向部２２により加熱されて、液晶膜１２２の分子が、下面に形成された配向膜１２０の配向に沿って配向されつつ、乾燥される。

次に、塗布された液晶膜１２２が配向されたフィルム９０は、液晶膜硬化部２４を通過する。これにより、紫外線が液晶膜１２２に照射されて、液晶膜１２２が配向された状態で硬化する。この結果、第１配向領域１２４、及び、第２配向領域１２６のそれぞれに対応して、液晶膜１２２の分子が配向されて、第１液晶領域１２８及び第２液晶領域１３０が形成される。図１及び図２に示すように、配向膜１２０及び液晶膜１２２によって形成される第１偏光変調部１０４及び第２偏光変調部１０６が、フィルム９０の幅方向に交互に形成される。次に、液晶膜１２２の上面にセパレートフィルム９２が上面に供給されて貼りあわされる。そして、セパレートフィルム９２が上面に貼られたフィルム９０が、巻き取りロール２８によって巻き取られる。

この後、送り出しロール１２に巻かれたフィルム９０の供給が終了するまで、巻き取りロール２８によってフィルム９０が搬送されつつ、フィルム９０の露光が継続される。そして、送り出しロール１２に巻かれたフィルム９０が全て供給される露光工程が終了する。尚、終了したフィルム９０の後端に、次の新たなフィルム９０の前端を繋いで、連続してフィルム９０を露光してもよい。最後に、フィルム９０は、規定の長さに切断されて、図１及び図２に示す光学フィルム１００となって完成する。

上述したように、露光装置１０では、マスク３８の第１パターン領域８０と第２パターン領域８２とを離間させることによって、第１パターン領域８０及び第２パターン領域８２を透過した第１光束７０及び第２光束７２が、重なるクロストークを抑制できる。これにより、露光装置１０は、第１パターン領域８０及び第２パターン領域８２のパターンによって、正確に配向膜１２０を露光することができる。

露光装置１０では、第１光束７０及び第２光束７２を互いに交差する方向、即ち、互いに近づく方向に照射している。更に、保持ロール４８は、第１光束７０及び第２光束７２が交差する位置よりもマスク３８に近い位置にフィルム９０を保持している。これにより、第１光束７０及び第２光束７２によって露光されるフィルム９０上の露光領域を互いに接近させつつ、クロストークを防ぐことができる。このように露光領域を接近させることによって、第１光束７０による露光領域と、第２光束７２による露光領域との間でフィルム９０が蛇行しても、蛇行の影響を低減できるので、パターンの乱れ及び配向方向の乱れを低減できる。

露光装置１０では、第１パターン領域８０及び第２パターン領域８２が、同じマスク基材５６上に形成されている。これにより、第１パターン領域８０及び第２パターン領域８２の互いの位置合わせの工程を省略できる。

露光装置１０では、保持ロール４８が密着してフィルム９０を保持するので、フィルム９０のシワを抑制できる。更に、露光部１８が、当該密着している領域のフィルム９０を露光するので、シワによる影響を低減できる。

露光装置１０では、保持ロール４８がフィルム９０の搬送に伴って、回転するので、搬送時のフィルム９０への抵抗を低減できる。

露光装置１０では、第１パターン領域８０及び第２パターン領域８２により露光される領域が重ならない。従って、一方のパターンが幅方向に連続したベタ形状で、露光される領域の一部が重なる場合と異なり、第１光束７０及び第２光束７２の両方を最大照度にすることができるとともに、配向膜１２０を配向可能な下限の露光エネルギーによって露光することができる。これにより、フィルム９０の搬送速度を上げても、配向膜１２０を配向させることができるので、光学フィルム１００の生産効率を向上させることができる。

次に上述した実施形態の一部を変更した実施形態について説明する。

図８は、変更したマスク２３８を説明する図である。図８に示すように、マスク２３８は、マスク基材２５６と、マスク基材２５６の下面に形成された遮光層２５８とを有する。遮光層２５８には、上述した第１パターン領域８０及び第２パターン領域８２が形成されている。

マスク２３８のフィルム９０側の面である下面は、側面視において、円弧状に形成されている。また、マスク２３８のフィルム９０と反対側の面であって、第１偏光出力部５０及び第２偏光出力部５２側の上面は、側面視において、円弧状に形成されている。マスク２３８の上面及び下面の円弧状の面の中心は、ロール形状の保持ロール４８の中心２６０と同じ位置である。従って、マスク２３８の上面と保持ロール４８に保持されているフィルム９０との距離は、搬送方向において、一定である。同様に、マスク２３８の下面と保持ロール４８に保持されているフィルム９０との距離は、搬送方向において、一定である。これにより、マスク２３８の第１パターン領域８０を透過した第１光束７０は、搬送方向のいずれの位置においても、同じ距離でフィルム９０に達する。この結果、第１パターン領域８０のパターンが正確に配向膜１２０に転写される。また、第２パターン領域８２を透過した第２光束７２においても、パターンを正確に転写できる。

また、マスク２３８の上面と下面との距離、即ち、厚みは、搬送方向において、一定である。これにより、第１光束７０及び第２光束７２は、全ての領域において、同じ距離だけマスク２３８を透過するので、マスク２３８による影響を同じだけ受ける。この結果、フィルム９０に達した第１光束７０及び第２光束７２の強度のムラ等を抑制できる。

図９は、変更したマスク３３８を説明する図である。図９に示すように、マスク３３８は、マスク基材３５６と、マスク基材３５６の下面に形成された遮光層３５８とを有する。遮光層３５８には、上述した第１パターン領域８０及び第２パターン領域８２が形成されている。

マスク３３８の下面は、側面視において、円弧状に形成されている。マスク３３８の下面の円弧の中心は、保持ロール４８の中心２６０と同じ位置である。従って、マスク３３８の第１パターン領域８０及び第２パターン領域８２を透過した第１光束７０及び第２光束７２は、同じ距離でフィルム９０に達するので、上述した効果を奏することができる。

図１０は、変更した偏光光源４３４を説明する図である。偏光光源４３４は、第１偏光出力部４５０と、第２偏光出力部４５２とを有する。第１偏光出力部４５０は、第１偏光子４５１を有する。第１偏光子４５１は、第１偏光出力部４５０の出力口の近傍の内部に設けられている。第１偏光子４５１は、第１偏光子４５１の透過軸と同じ振動方向の光を透過する。これにより、第１偏光出力部４５０は、第１偏光を出力する。第２偏光出力部４５２は、第２偏光子４５３を有する。第２偏光子４５３は、第２偏光出力部４５２の出力口の近傍の内部に設けられている。第２偏光子４５３は、第２偏光子４５３の透過軸と同じ振動方向の光を透過する。これにより、第２偏光出力部４５２は、第２偏光を出力する。

図１１は、変更した偏光光源５３４を説明する図である。図１１に示すように、偏光光源５３４は、第１光源部５５０と、第２光源部５５２と、偏光部材５５５とを有する。第１光源部５５０及び第２光源部５５２は、一体化されており、無偏光の光を出力する。偏光部材５５５は、第１光源部５５０及び第２光源部５５２と、マスク３８との間に配置されている。偏光部材５５５は、第１偏光子５５１と、遮光部５５７と、第２偏光子５５３とを有する。

第１偏光子５５１、遮光部５５７及び第２偏光子５５３は、一体的に構成されている。第１偏光子５５１は、偏光部材５５５の最も上流側に配置されている。第１偏光子５５１は、マスク３８の第１パターン領域８０と、フィルム９０との間に配置されている。第１偏光子５５１は、第１偏光の偏光方向と同じ振動方向の光を透過する。

遮光部５５７は、第１偏光子５５１及び第２偏光子５５３との間に配置されている。換言すれば、平面視において、遮光部５５７は、マスク３８の第１パターン領域８０と第２パターン領域８２との間に配置されている。遮光部５５７は、第１光源部５５０及び第２光源部５５２から出力された光を反射することなく吸収して遮光する。

第２偏光子５５３は、偏光部材５５５の最も下流側に配置されている。第２偏光子５５３は、マスク３８の第２パターン領域８２と、フィルム９０との間に配置されている。第２偏光子５５３は、第２偏光の偏光方向と同じ振動方向の光を透過する。

これにより、第１光源部５５０及び第２光源部５５２から出力された無偏光のうち、上流側の光束は第１偏光子５５１によって第１偏光に変換された後、第１パターン領域８０を透過して、フィルム９０を露光する。また、当該無偏光のうち、下流側の光束は、第２偏光子５５３によって第２偏光に変換された後、第２パターン領域８２を透過して、フィルム９０を露光する。更に、当該無偏光のうち、遮光部５５７に達した光は遮光されて、フィルム９０を露光しない。本実施形態においては、第１光源部５５０及び第１偏光子５５１が第１光出力部の一例であり、第２光源部５５２及び第２偏光子５５３が第２光出力部の一例である。

上述した実施形態の各構成の配置、形状、個数等は適宜変更してよい。また、上述した各実施形態を組み合わせてもよい。

例えば、上述した実施形態では、長尺状のフィルム９０を露光する例を示したが、光学フィルム１００と同じ大きさのフィルムを露光してもよい。

また、上述した実施形態では、搬送されている状態のフィルム９０を露光したが、露光と搬送とを交互に繰り返し、露光中はフィルム９０を停止してもよい。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１０露光装置、１２送り出しロール、１３洗浄部、１４配向膜塗布部、１６配向膜乾燥部、１８露光部、２０液晶膜塗布部、２２液晶膜配向部、２４液晶膜硬化部、２６セパレートフィルム供給部、２８巻き取りロール、３４偏光光源、３８マスク、４０マスク保持部、４４上流側張力ロール、４６下流側張力ロール、４８保持ロール、５０第１偏光出力部、５２第２偏光出力部、５６マスク基材、５８遮光層、６２第１透過領域、６４第２透過領域、７０第１光束、７２第２光束、７４第１主光線、７６第２主光線、８０第１パターン領域、８１遮光領域、８２第２パターン領域、９０フィルム、９２セパレートフィルム、１００光学フィルム、１０２樹脂基材、１０４第１偏光変調部、１０６第２偏光変調部、１１０矢印、１１２矢印、１１４矢印、１１６矢印、１２０配向膜、１２２液晶膜、１２４第１配向領域、１２６第２配向領域、１２８第１液晶領域、１３０第２液晶領域、１５０立体画像表示装置、１５２光源、１５４画像出力部、１５８光学機能膜、１６４偏光板、１６６保持基板、１６８画像生成部、１７０保持基板、１７４偏光板、１７８右目用画像生成部、１８０左目用画像生成部、１９０偏光眼鏡、１９２右目用変調部、１９４左目用変調部、２３８マスク、２５６マスク基材、２５８遮光層、２６０中心、３３８マスク、３５６マスク基材、３５８遮光層、４３４偏光光源、４５０第１偏光出力部、４５１第１偏光子、４５２第２偏光出力部、４５３第２偏光子、５３４偏光光源、５５１第１偏光子、５５０第１光源部、５５３第２偏光子、５５２第２光源部、５５５偏光部材、５５７遮光部

Claims

フィルムを保持するフィルム保持部と、
第１パターン、および、前記第１パターンから離間した第２パターンが形成されたマスクと、
前記マスクに光束を照射して、前記第１パターンまたは前記第２パターンを通過した光束により前記フィルムを露光する露光部と
を備え、
前記露光部は、前記第１パターンを照射する第１光束を出力する第１光出力部と、前記第１光出力部から出力される前記第１光束の主光線と交差する主光線を有し、前記第２パターンを照射する第２光束を出力する第２光出力部とを有し、
前記フィルム保持部は、前記第１光束と前記第２光束とが交差する位置よりも前記マスクに近い位置で前記フィルムを保持する露光装置。
前記マスクは、第１パターン及び第２パターンの両方が形成されたマスク基材を有する
請求項１に記載の露光装置。
前記フィルムを搬送する搬送部を更に備え、
前記フィルムは、長尺状であって、
前記露光部は、搬送されている前記フィルムを露光する
請求項１または２に記載の露光装置。
前記フィルム保持部は、表面で前記フィルムを保持するロール形状であって、
前記露光部は、ロール形状の前記フィルム保持部に密着している領域の前記フィルムを露光する
請求項３に記載の露光装置。
前記フィルム保持部は、前記フィルムの搬送に伴って回転する
請求項４に記載の露光装置。
前記マスクの前記フィルム側の面は、円弧状に形成されている
請求項４または５に記載の露光装置。
前記マスクの前記フィルム側の円弧状の面の中心は、ロール形状の前記フィルム保持部の中心と同じ位置である請求項６に記載の露光装置。
前記マスクの前記フィルムと反対側の面は、円弧状に形成されている
請求項４から７のいずれか１項に記載の露光装置。
前記マスクの前記フィルムと反対側の円弧状の面の中心は、ロール形状の前記フィルム保持部の中心と同じ位置である請求項８に記載の露光装置。
フィルムを保持するフィルム保持段階と、
第１パターン、および、前記第１パターンから離間した第２パターンが形成されたマスクに光束を照射して、前記第１パターンまたは前記第２パターンを通過した光束により前記フィルムを露光する露光段階と
を備え、
前記露光段階では、前記第１パターンを照射する第１光束を出力するとともに、前記第１光束の主光線と交差する主光線を有し、前記第２パターンを照射する第２光束を出力して、
前記フィルム保持段階では、前記第１光束と前記第２光束とが交差する位置よりも前記マスクに近い位置に前記フィルムを配置する露光方法。