JP2013530115A - 合成石英ガラスからなる透明な内層を有する石英ガラスルツボの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
(a)内面を備えた石英ガラス製のルツボ基体を用意するステップと、
(b)そのルツボの基体の内面の少なくとも一部分の面に、蒸着法によって多孔質のSiO2スート層を生成するステップと、
(c)水酸基含有量を低減するために多孔質のSiO2スート層を乾燥するステップと、
(d)スート層を低水素の雰囲気中で透明な石英ガラスからなる内層に焼結するステップであって、その内層の石英ガラスにおいて水酸基含有量が100重量ppm未満になるようにスート層を焼結するステップと、
を含む方法である、本発明に従って実現される。
Claims (10)
- 合成石英ガラスからなる透明な内層を有する石英ガラスルツボの製造方法であって、次のステップ、すなわち、
(a)内面を備えた石英ガラス製のルツボ基体(20)を用意するステップと、
(b)前記ルツボ基体(20)の内面の少なくとも一部分の面に、蒸着法によって多孔質のSiO2スート層(21)を生成するステップと、
(c)水酸基含有量を低減するために前記多孔質のSiO2スート層(21)を乾燥するステップと、
(d)前記スート層(21)を低水素の雰囲気中で透明な石英ガラスからなる内層に焼結するステップであって、前記内層の石英ガラスにおいて水酸基含有量が100重量ppm未満になるように前記スート層(21)を焼結するステップと、
を含む方法。 - 方法のステップ(a)による前記ルツボ基体(20)を用意するステップが、前記ルツボ基体(20)の石英ガラスを、前記内面におけるアルカリイオンの空乏化をもたらすような電界に曝露する高温電気分解を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 方法のステップ(a)による前記ルツボ基体(20)を用意するステップが、溶融材料用の型(1)の内壁面に形成されるSiO2粒体からなる粒体層(12)を、前記ルツボの基体に対するアーク(13)によってガラス化するガラス化のプロセスを含む、ことを特徴とする請求項1または2に記載の方法。
- 方法のステップ(b)による前記多孔質のSiO2スート層(21)が、石英ガラスの密度の10〜35%の範囲の密度、好ましくは石英ガラスの密度の15〜30%の範囲の密度を有するように生成される、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 方法のステップ(b)による前記SiO2スート層(21)が、60mm未満の層厚を有するように生成される、ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 方法のステップ(d)による前記SiO2スート層(21)の焼結を、前記スート層(21)に作用するレーザビームを用いて実施する、ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記SiO2スート層(21)が、底面領域と、前記底面領域に結合されると共に上部の縁部を含む周縁の側壁領域とを有し、その場合、前記レーザビームの作用によって溶融前端部が生成され、前記溶融前端部は、前記レーザビームのらせん状の動きによって、前記底面領域を始点として、前記側壁領域および前記上部の縁部の方向に押進される、ことを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 方法のステップ(d)による前記SiO2スート層(21)の焼結を、炉内における加熱によって実施する、ことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記内層の石英ガラス中の水酸基含有量が70重量ppm未満に調整される、ことを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 方法のステップ(d)による前記焼結後の内層から、0.5mm未満の層厚をエッチングによって除去する、ことを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019182691A (ja) * | 2018-04-04 | 2019-10-24 | 東ソ−・エスジ−エム株式会社 | 石英ガラスインゴット及び石英ガラス製品の製造方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012100147A1 (de) * | 2012-01-10 | 2012-12-13 | Schott Solar Ag | Verfahren zur Herstellung von mono-, quasimono- oder multikristallinen Metall- oder Halbmetallkörpern |
EP2996129B1 (de) | 2014-09-11 | 2017-07-19 | Wincor Nixdorf International GmbH | Vorrichtung zum Erkennen einer Manipulation an einem Gegenstand |
CN105239159A (zh) * | 2015-09-10 | 2016-01-13 | 上海超硅半导体有限公司 | 直拉法生长单晶硅用石英坩埚的设计及制备方法 |
CN112876044B (zh) * | 2021-02-03 | 2024-01-05 | 江苏亨通智能科技有限公司 | 高纯度低羟基高均匀性石英玻璃的化学沉积方法及装置 |
CN113772930B (zh) * | 2021-09-16 | 2022-04-15 | 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 | 石英坩埚制备装置及降低石英坩埚中脱羟的方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01239082A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-25 | Komatsu Denshi Kinzoku Kk | 石英ルツボの製法 |
JPH1111956A (ja) * | 1997-06-16 | 1999-01-19 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ルツボの製造方法および製造装置 |
JP2005145735A (ja) * | 2003-11-12 | 2005-06-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 石英ガラスの製造方法およびその方法により製造した石英ガラス |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1276855A (en) * | 1968-07-10 | 1972-06-07 | Texas Instruments Inc | Improvements in or relating to fused silica crucibles |
JPS55126542A (en) * | 1979-03-23 | 1980-09-30 | Fujitsu Ltd | Melting crucible for glass for optical transmission line |
GB8819693D0 (en) | 1988-08-18 | 1988-09-21 | Tsl Group Plc | Improved vitreous silica articles |
GB9722020D0 (en) * | 1997-10-17 | 1997-12-17 | Tsl Group Plc | Production of quartz glass articles having high surface purity |
DE19962449C2 (de) * | 1999-12-22 | 2003-09-25 | Heraeus Quarzglas | Quarzglastiegel und Verfahren für seine Herstellung |
DE10158521B4 (de) * | 2001-11-29 | 2005-06-02 | Wacker-Chemie Gmbh | In Teilbereichen oder vollständig verglaster SiO2-Formkörper und Verfahren zu seiner Herstellung |
JP4444559B2 (ja) * | 2002-10-09 | 2010-03-31 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | 石英ガラスルツボの強化方法とシリコン単結晶の引き上げ方法 |
JP4339003B2 (ja) * | 2003-04-02 | 2009-10-07 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | 石英ガラスルツボの製造方法 |
US20070084397A1 (en) * | 2005-10-19 | 2007-04-19 | General Electric Company | Quartz glass crucible and method for treating surface of quartz glass crucible |
DE102008030310B3 (de) | 2008-06-30 | 2009-06-18 | Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung eines Quarzglastiegels |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01239082A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-25 | Komatsu Denshi Kinzoku Kk | 石英ルツボの製法 |
JPH1111956A (ja) * | 1997-06-16 | 1999-01-19 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス製ルツボの製造方法および製造装置 |
JP2005145735A (ja) * | 2003-11-12 | 2005-06-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 石英ガラスの製造方法およびその方法により製造した石英ガラス |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019182691A (ja) * | 2018-04-04 | 2019-10-24 | 東ソ−・エスジ−エム株式会社 | 石英ガラスインゴット及び石英ガラス製品の製造方法 |
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