JP2013255978A - 熱変位補正装置 - Google Patents
熱変位補正装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013255978A JP2013255978A JP2012134630A JP2012134630A JP2013255978A JP 2013255978 A JP2013255978 A JP 2013255978A JP 2012134630 A JP2012134630 A JP 2012134630A JP 2012134630 A JP2012134630 A JP 2012134630A JP 2013255978 A JP2013255978 A JP 2013255978A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermal displacement
- sensor
- displacement amount
- measurement
- main shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Numerical Control (AREA)
Abstract
【課題】センサによる温度に応じた計測誤差の影響を受けることなく補正できる熱変位補正装置を提供する。
【解決手段】主軸5は、軸方向一方を向く第一面53および軸方向他方を向く第二面54を備える。第一計測部101が、温度に応じて計測値に誤差e1を含む第一面53の軸方向熱変位量δDaを計測する。第二計測部102が、温度に応じて計測値に誤差e1を含む第二面54の軸方向熱変位量δDbを計測する。熱変位量算出部103が、第一,第二計測部101,102の計測値δDa,δDbに基づいて、誤差e1を含まない主軸5の軸方向熱変位量δCを算出し、補正部104が、熱変位量δCに基づいて工作機械の動作を補正する。
【選択図】図2
【解決手段】主軸5は、軸方向一方を向く第一面53および軸方向他方を向く第二面54を備える。第一計測部101が、温度に応じて計測値に誤差e1を含む第一面53の軸方向熱変位量δDaを計測する。第二計測部102が、温度に応じて計測値に誤差e1を含む第二面54の軸方向熱変位量δDbを計測する。熱変位量算出部103が、第一,第二計測部101,102の計測値δDa,δDbに基づいて、誤差e1を含まない主軸5の軸方向熱変位量δCを算出し、補正部104が、熱変位量δCに基づいて工作機械の動作を補正する。
【選択図】図2
Description
本発明は、工作機械の主軸の熱変位を補正する熱変位補正装置に関するものである。
例えば、特開平6−143092号公報、特開2008−264883号公報および特開2011−93068号公報には、主軸の熱変位を補正することが記載されている。
ところで、熱変位量を計測するセンサは、温度に応じた誤差を含んでいることがある。そのため、当該計測値に基づいて補正した場合、温度に応じた誤差の分、高精度に補正することができない。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、センサによる温度に応じた計測誤差の影響を受けることなく補正できる熱変位補正装置を提供することを目的とする。
(請求項1)本手段に係る熱変位補正装置は、工作機械の主軸の熱変位を補正する熱変位補正装置であって、前記主軸は、軸方向一方を向く第一面および軸方向他方を向く第二面を備え、前記熱変位補正装置は、温度に応じて計測値に誤差を含む前記第一面の軸方向熱変位量を計測する第一計測部と、温度に応じて計測値に前記誤差を含む前記第二面の軸方向熱変位量を計測する第二計測部と、前記第一,第二計測部の計測値に基づいて、前記誤差を含まない前記主軸の軸方向熱変位量を算出する熱変位量算出部と、前記熱変位量算出部により算出された前記熱変位量に基づいて前記工作機械の動作を補正する補正部と、を備える。
(請求項2)また、前記熱変位量算出部は、前記第一計測部による計測値と前記第二計測部の計測値との差分に基づいて、前記熱変位量を算出するようにしてもよい。
(請求項3)また、前記第一面と前記第二面とは、軸方向に対向し、前記熱変位補正装置は、前記第一面と前記第二面との軸方向間に配置され、前記主軸の径方向の軸を中心に旋回するセンサ装置を備え、前記センサ装置は、旋回軸回りの外周面に設けられ対向部材との距離を計測するセンサを備え、前記第一計測部は、前記センサ装置を旋回させて前記センサを前記第一面に対向する位相に位置させた状態における前記センサであり、前記第二計測部は、前記センサ装置を旋回させて前記センサを前記第二面に対向する位相に位置させた状態における前記センサとしてもよい。
(請求項4)また、前記第一計測部と前記第二計測部は、それぞれ異なるセンサとしてもよい。
(請求項5)また、前記熱変位補正装置は、主軸の回転数を検出する主軸回転数検出部を備え、前記熱変位量算出部は、前記第一,第二計測部の計測値および前記回転数に基づいて、前記誤差を含まない前記主軸の軸方向熱変位量を算出してもよい。
(請求項1)本手段によれば、主軸の第一面と第二面のそれぞれの熱変位量を計測し、これらの計測値を用いて主軸の軸方向熱変位量を算出している。ここで、第一面と第二面とが軸方向において反対方向を向いているため、主軸が熱変位した場合において、第一計測部による計測値と第二計測部による計測値とは正負反対となる。そして、第一面と第二面のそれぞれの熱変位量には温度に応じた誤差を含んでいる。この誤差は、第一計測部による計測値においても、第二計測部による計測値においても、正負が同一となる。このような関係を有する二つの計測値を用いて演算することで、誤差を打ち消すことができる。従って、熱変位量算出部にて算出される主軸の熱変位量は、温度に応じた誤差を含まないようにできる。その結果、温度が変化したとしても、高精度に熱変位補正を行うことができる。
(請求項2)上述したように、誤差は、第一計測部による計測値においても、第二計測部による計測値においても、正負が同一となる。そこで、第一計測部による計測値と第二計測部の計測値との差分に基づいて熱変位量を算出することで、確実に誤差を打ち消すことができる。
(請求項3)1つのセンサ装置を用いて、当該センサ装置を旋回可能とすることで、当該センサ装置を第一計測部としても第二計測部としても機能させることができる。これにより、低コスト化を図ることができると共に、小型化を図ることができる。さらに、第一面と第二面とを対向させて形成することで、両面間距離を短くすることが可能となる。その結果、第一面における熱変位量と第二面における熱変位量とが異なるとしても、その差を微小にすることができる。従って、高精度に熱変位補正を行うことができる。
(請求項4)第一計測部と第二計測部をそれぞれ異なるセンサとする場合には、それぞれを簡易な構成とすることができる。従って、高精度な計測が可能となる。
(請求項5)ここで、第一面と第二面との軸方向位置が異なるため、各面の熱変位量が僅かに相違する。つまり、当該部位の温度変化に比例する分だけ、各面の熱変位量が異なる。そして、当該温度変化は主軸の回転数に相関がある。そこで、第一,第二計測部の計測値に加えて、主軸の回転数を用いて、主軸の熱変位量を算出することで、高精度に主軸の熱変位量を算出できる。
<第一実施形態>
(1.工作機械の機械構成)
本発明の熱変位補正装置を適用した工作機械の一例として、横型マシニングセンタを例に挙げ、図1を参照して説明する。なお、本発明は、当該横型マシニングセンタに限定されるものではなく、他の構成のマシニングセンタ、さらには、旋盤や研削盤などの主軸を有する工作機械であれば適用できる。
(1.工作機械の機械構成)
本発明の熱変位補正装置を適用した工作機械の一例として、横型マシニングセンタを例に挙げ、図1を参照して説明する。なお、本発明は、当該横型マシニングセンタに限定されるものではなく、他の構成のマシニングセンタ、さらには、旋盤や研削盤などの主軸を有する工作機械であれば適用できる。
当該工作機械は駆動軸として、相互に直交する3つの直進軸(X,Y,Z軸)を有する工作機械である。図1に示すように、工作機械は、ベッド1と、ベッド1上にてX軸方向に移動可能なコラム2と、コラム2の前面(図1の左面)にてY軸方向に移動可能なサドル3と、サドル3に固定された主軸ハウジング4と、主軸ハウジング4に回転可能に支持され工具6を保持する主軸5と、ベッド1上にてZ軸方向に移動可能でありワークWを載置するテーブル7と、主軸5の軸方向の熱変位量を計測するためのセンサ装置8を備える。また、工作機械は、各駆動軸を制御するための制御装置(図示せず)を備える。
(2.主軸ハウジング4内の詳細構成)
次に、主軸ハウジング4内の詳細構成について、図2を参照して説明する。主軸5は、前側軸受41と後側軸受42を介して、主軸ハウジング4に対して回転可能に支持される。主軸ハウジング4において前側軸受41と後側軸受42との間にはコイル43が設けられており、コイル43への通電により主軸5が回転する。
次に、主軸ハウジング4内の詳細構成について、図2を参照して説明する。主軸5は、前側軸受41と後側軸受42を介して、主軸ハウジング4に対して回転可能に支持される。主軸ハウジング4において前側軸受41と後側軸受42との間にはコイル43が設けられており、コイル43への通電により主軸5が回転する。
この主軸5は、軸受41,42に支持される主軸本体51と、主軸ハウジング4の開口側(図2の左側)との間に形成される僅かな隙間によりシールするフランジ52とを備える。さらに、主軸5の外周面には、主軸5の熱変位量、特に主軸5における工具6側の部位の熱変位量を計測するために、前側軸受41とフランジ52との間に、第一面53および第二面54が形成されている。
第一面53は、その法線が軸方向後方(反工具側)を向くように軸直交平面状に形成されており、第二面54は、その法線が軸方向前方(工具側)を向くように軸直交平面状に形成されている。ここで、本実施形態においては、第一面53と第二面54とは、軸方向に対向するように設けられている。つまり、第一面53と第二面54との間には、環状溝が形成されている。
そして、センサ装置8は、アーム81と、センサ支持体82と、センサ83とを備える。アーム81は、サドル3から主軸ハウジング4の外周面に沿って軸方向に延びるように、主軸ハウジング4とは別体に設けられる。このアーム81は、主軸ハウジング4に比べて線膨張係数が小さな材料により形成される。つまり、同一温度において、主軸ハウジング4の熱変位量よりアーム81の熱変位量の方が小さくなる。
センサ支持体82は、アーム81の先端側に、主軸5の径方向の軸Rを中心に旋回可能に設けられる。センサ支持体82の先端側は、主軸ハウジング4内に配置される。さらに、センサ支持体82の先端側は基端側に対して小径に形成されており、当該先端側が、第一面53と第二面54との軸方向間に配置される。
センサ83は、センサ支持体82の先端側の旋回軸R回りの外周面に設けられる。このセンサ83は、対向部材との距離を計測し、例えば、渦電流センサなどである。本実施形態においては、センサ83は、対向部材が予め設定されている位置から変化した変位量を計測することとする。
具体的には、センサ83が第一面53に対向する位相に位置している場合には、センサ83は、当該センサ83と第一面53との軸方向距離の変位量を計測できる。一方、センサ83が第二面54に対向する位相に位置している場合には、センサ83は、当該センサ83と第二面54との軸方向距離の変位量を計測できる。
(3.熱変位補正装置の機能構成)
次に、熱変位補正装置の機能構成について、図3〜図7を参照して説明する。熱変位補正装置100は、センサ装置8と、数値制御装置(図示せず)の一部を含む。概要は以下のとおりである。熱変位補正装置100は、センサ装置8のセンサ83により第一面53および第二面54の軸方向の熱変位量δDa,δDbを計測し、これらの計測結果を用いて主軸5の軸方向の熱変位量δCを算出する。算出された熱変位量δCにより、NCデータに基づいて制御する位置指令に対して補正して、駆動装置を駆動する。以下に、熱変位補正装置100の詳細を説明する。
次に、熱変位補正装置の機能構成について、図3〜図7を参照して説明する。熱変位補正装置100は、センサ装置8と、数値制御装置(図示せず)の一部を含む。概要は以下のとおりである。熱変位補正装置100は、センサ装置8のセンサ83により第一面53および第二面54の軸方向の熱変位量δDa,δDbを計測し、これらの計測結果を用いて主軸5の軸方向の熱変位量δCを算出する。算出された熱変位量δCにより、NCデータに基づいて制御する位置指令に対して補正して、駆動装置を駆動する。以下に、熱変位補正装置100の詳細を説明する。
すなわち、熱変位補正装置100は、図3に示すように、第一計測部101および第二計測部102として機能するセンサ装置8と、第一,第二計測部101,102の計測結果を用いて主軸5の熱変位量δCを算出する熱変位量算出部103と、熱変位量δCを用いて補正する補正部104とを備える。
図3に示す熱変位補正装置100の各機能の詳細について、図4に示す当該装置100による補正処理と合わせて説明する。まず、図5Aに示すように、センサ装置8のR軸回りに旋回させて、センサ83を第一面53に対向する位相に位置させる(図4のS1)。ここで、図5Aにおいて、二点鎖線は、主軸5が熱変位する前の形状を示し、実線は、主軸5が熱変位した現在の形状を示す。
この状態において、センサ83により第一面53の軸方向の熱変位量δDaを計測する(図4のS2)。この計測は、図3における第一計測部101による計測となる。ここで、センサ83による計測値には、温度に応じた誤差e1(一般に、温度ドリフトとも称する)を含む。そのため、計測された第一面53の熱変位量δDaには、当該誤差e1を含んでいる。このことについて図6および図7を参照して説明する。
図6に示すように、第一面53の実際の熱変位量δAと第二面54の実際の熱変位量δBは、ほぼ同一となる。実際には、第一面53と第二面54との軸方向位置が異なることに起因して、第一面53の熱変位量と第二面54の熱変位量とは僅かに相違する。つまり、実際の熱変位量δA,δBは、式(1)のような関係を有する。なお、αは、主軸5の線膨張係数であり、Δtは、主軸5の温度変化であり、Lは、図6に示すように第一面53と第二面54との軸方向距離(対向距離)である。
しかしながら、センサ83による計測値は、図7に示すような温度ドリフトの特性を有する場合があり、温度測定などによりドリフト量を精度良く算出することは困難である。図7において、温度上昇時と温度下降時とで計測誤差が異なる関係を有する。例えば、図7において、温度上昇時であって温度T1においては、センサ83の計測誤差がe1となる。つまり、センサ83の計測値は、実際の変位量に対して計測誤差e1を加算した値となる。
従って、図5Aに示すように、センサ83により計測された第一面53の熱変位量δDaと、実際の熱変位量δAとの関係は、式(2)のようになる。なお、センサ83による計測値は、センサ83から遠ざかる方を正値とし、センサ83に近づく方を負値とする。
次に、図5Bに示すように、センサ装置8のR軸回りに旋回させて、センサ83を第二面54に対向する位相に位置させる(図4のS3)。この状態において、センサ83により第二面54の軸方向の熱変位量δDbを計測する(図4のS4)。この計測は、図3における第二計測部102による計測となる。
この場合にも、センサ83の計測値には、温度に応じた誤差e1を含む。従って、図5Bに示すように、センサ83により計測された第二面54の熱変位量δDbと、実際の熱変位量δBとの関係は、式(3)のようになる。
ここで、第一面53と第二面54とが軸方向において反対方向を向いているため、主軸5が熱変位した場合において、第一計測部101による計測値δDaに含まれる実際の熱変位量δAと、第二計測部102による計測値δDbに含まれる実際の熱変位量δBとは、正負反対となる(式(2)(3)参照)。
そして、第一面53と第二面54のそれぞれの計測される熱変位量δDa,δDbには温度に応じた誤差e1を含んでいる。この誤差e1は、第一計測部101による計測値δDaにおいても、第二計測部102による計測値δDbにおいても、正負が同一となる(式(2)(3)参照)。
続いて、図3の熱変位量算出部103において、計測された第一,第二面53,54の熱変位量δDa,δDbに基づいて、主軸5の熱変位量δCを算出する(図4のS5)。主軸5の熱変位量δCは、式(4)のようにして算出される。
つまり、主軸5の熱変位量δCは、第一面53の計測された熱変位量δDaと第二面54の計測された熱変位量δDbとの差分を2で除した値となる。この関係式を、上記式(1)〜(3)を用いて展開すると、式(4)の第三行目にて表されるようになる。つまり、算出される熱変位量δCは、計測誤差e1を打ち消すことができて、実際の第一面53の熱変位量δAに、対向面53,54間の熱変位の半分を含んだ値となる。
ただし、第一面53と第二面54との対向距離は、センサ支持体82の小径である先端側は入り込む程度の短い距離とすることができる。従って、対向面53,54間の熱変位分は無視することができ、算出される熱変位量δCは、ほぼ実際の第一面53の熱変位量δAに一致する。つまり、算出される熱変位量δCには、センサ83の計測誤差e1を含まない値となる。
続いて、図3の熱変位量算出部103にて算出された主軸5の熱変位量δCに基づいて、補正部104が、NCデータから得られる指令値に対して補正する(図4のS6)。そして、補正部104が、駆動装置を駆動する。熱変位量算出部103にて算出される主軸5の熱変位量δCは、温度に応じた計測誤差e1を含まない。その結果、温度が変化したとしても、高精度に熱変位補正を行うことができる。
また、本実施形態においては、1つのセンサ装置8を用いて、当該センサ装置8のセンサ支持体82をR軸回りに旋回可能とすることで、当該センサ装置8のセンサ83を第一計測部101としても第二計測部102としても機能させることができる。これにより、低コスト化を図ることができると共に、小型化を図ることができる。
さらに、主軸5における第一面53と第二面54とを対向させて形成することで、両面間の対向距離L(図2に示す)を短くすることが可能となる。その結果、第一面53における実際の熱変位量δAと第二面54における実際の熱変位量δBとが異なるとしても、その差を微小にすることができる。従って、高精度に熱変位補正を行うことができる。
<第二実施形態>
上記実施形態においては、1つのセンサ装置8を用いて、センサ支持体82をR軸回りに旋回させることで、センサ83を第一面53および第二面54のそれぞれに対向させることとした。本実施形態においては、2つのセンサ装置9a,9bを備えることとする。センサ装置9aは、サドル3に固定されたL字型のセンサ支持体91a,91bと、それらの先端に設けられたセンサ92a,92bとを備える。
上記実施形態においては、1つのセンサ装置8を用いて、センサ支持体82をR軸回りに旋回させることで、センサ83を第一面53および第二面54のそれぞれに対向させることとした。本実施形態においては、2つのセンサ装置9a,9bを備えることとする。センサ装置9aは、サドル3に固定されたL字型のセンサ支持体91a,91bと、それらの先端に設けられたセンサ92a,92bとを備える。
センサ装置9aのセンサ92aを第一面53に対向させ、センサ装置9bのセンサ92bを第二面54に対向させる。つまり、センサ92aが、図3における第一計測部101となり、センサ92bが、第二計測部102となる。このようにすることで、センサ92a,92bが移動することがないため、簡易な構成とすることができるため、高精度な計測が可能となる。
<第三実施形態>
上記実施形態においては、式(4)に示すように、第一面53と第二面54との対向距離Lの熱変位分を無視して考えた。この熱変位分をより高精度に打ち消すために、以下のようにする。
上記実施形態においては、式(4)に示すように、第一面53と第二面54との対向距離Lの熱変位分を無視して考えた。この熱変位分をより高精度に打ち消すために、以下のようにする。
つまり、本実施形態における熱変位補正装置200は、図9に示すように、主軸5の回転数Vを検出する検出部205を備え、熱変位量算出部203において、この回転数Vおよび第一,第二計測部101,102の計測値を用いて主軸5の熱変位量δCを算出する。
ここで、式(4)における熱変位分に含まれる温度変化Δtは、主軸5の回転数Vに相関がある。つまり、式(5)の関係を有する。
そこで、熱変位量算出部203は、式(6)として表される主軸5の熱変位量δCを算出する。従って、算出される熱変位量δCは、実際の主軸5の熱変位量δAに一致させることができる。その結果、高精度な熱変位補正が可能となる。
<その他>
上記実施形態においては、主軸5の第一面53と第二面54とを軸方向に対向する面とした。この他に、第一面53と第二面54とは、軸方向に反対側を向くように形成することもできる。ただし、この場合には、それぞれの面の熱変位量を計測するために、2つのセンサを配置することになる。
上記実施形態においては、主軸5の第一面53と第二面54とを軸方向に対向する面とした。この他に、第一面53と第二面54とは、軸方向に反対側を向くように形成することもできる。ただし、この場合には、それぞれの面の熱変位量を計測するために、2つのセンサを配置することになる。
5:主軸、 53:第一面、 54:第二面、 8,9a,9b:センサ装置、 83,92a,92b:センサ、 100,200:熱変位補正装置、 101:第一計測部、 102:第二計測部、 103,203:熱変位量算出部、 104:補正部、 205:主軸回転数検出部
Claims (5)
- 工作機械の主軸の熱変位を補正する熱変位補正装置であって、
前記主軸は、軸方向一方を向く第一面および軸方向他方を向く第二面を備え、
前記熱変位補正装置は、
温度に応じて計測値に誤差を含む前記第一面の軸方向熱変位量を計測する第一計測部と、
温度に応じて計測値に前記誤差を含む前記第二面の軸方向熱変位量を計測する第二計測部と、
前記第一,第二計測部の計測値に基づいて、前記誤差を含まない前記主軸の軸方向熱変位量を算出する熱変位量算出部と、
前記熱変位量算出部により算出された前記熱変位量に基づいて前記工作機械の動作を補正する補正部と、
を備える、熱変位補正装置。 - 前記熱変位量算出部は、前記第一計測部による計測値と前記第二計測部の計測値との差分に基づいて、前記熱変位量を算出する、請求項1の熱変位補正装置。
- 前記第一面と前記第二面とは、軸方向に対向し、
前記熱変位補正装置は、前記第一面と前記第二面との軸方向間に配置され、前記主軸の径方向の軸を中心に旋回するセンサ装置を備え、
前記センサ装置は、旋回軸回りの外周面に設けられ対向部材との距離を計測するセンサを備え、
前記第一計測部は、前記センサ装置を旋回させて前記センサを前記第一面に対向する位相に位置させた状態における前記センサであり、
前記第二計測部は、前記センサ装置を旋回させて前記センサを前記第二面に対向する位相に位置させた状態における前記センサである、請求項1または2の熱変位補正装置。 - 前記第一計測部と前記第二計測部は、それぞれ異なるセンサである、請求項1または2の熱変位補正装置。
- 前記熱変位補正装置は、主軸の回転数を検出する主軸回転数検出部を備え、
前記熱変位量算出部は、前記第一,第二計測部の計測値および前記回転数に基づいて、前記誤差を含まない前記主軸の軸方向熱変位量を算出する、請求項1〜4の何れか一項の熱変位補正装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012134630A JP2013255978A (ja) | 2012-06-14 | 2012-06-14 | 熱変位補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012134630A JP2013255978A (ja) | 2012-06-14 | 2012-06-14 | 熱変位補正装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013255978A true JP2013255978A (ja) | 2013-12-26 |
Family
ID=49952862
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012134630A Pending JP2013255978A (ja) | 2012-06-14 | 2012-06-14 | 熱変位補正装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013255978A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017065054A1 (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | マツダ株式会社 | 工作機械の制御装置 |
CN107598719A (zh) * | 2017-10-18 | 2018-01-19 | 中国水利水电第十工程局有限公司 | 具有补偿***的五轴联动精密磨床 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58118903A (ja) * | 1982-01-06 | 1983-07-15 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 平面研削装置用計測装置 |
JPS61187647U (ja) * | 1985-05-13 | 1986-11-22 | ||
JPH01153249A (ja) * | 1987-12-09 | 1989-06-15 | Toshiba Corp | はめ合せ加工装置 |
JP2003334729A (ja) * | 2002-05-14 | 2003-11-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 工作機械の主軸装置、該装置に用いる荷重検出器とその測定方法及び予圧調整方法 |
JP2008155339A (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 主軸倒れ検出装置及びこれを備えた工作機械 |
JP2008264883A (ja) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Jtekt Corp | 加工装置 |
JP2009297840A (ja) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Sodick Co Ltd | 工作機械および工作機械における変位補正方法 |
-
2012
- 2012-06-14 JP JP2012134630A patent/JP2013255978A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58118903A (ja) * | 1982-01-06 | 1983-07-15 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 平面研削装置用計測装置 |
JPS61187647U (ja) * | 1985-05-13 | 1986-11-22 | ||
JPH01153249A (ja) * | 1987-12-09 | 1989-06-15 | Toshiba Corp | はめ合せ加工装置 |
JP2003334729A (ja) * | 2002-05-14 | 2003-11-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 工作機械の主軸装置、該装置に用いる荷重検出器とその測定方法及び予圧調整方法 |
JP2008155339A (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 主軸倒れ検出装置及びこれを備えた工作機械 |
JP2008264883A (ja) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Jtekt Corp | 加工装置 |
JP2009297840A (ja) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Sodick Co Ltd | 工作機械および工作機械における変位補正方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017065054A1 (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | マツダ株式会社 | 工作機械の制御装置 |
JP2017074659A (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | マツダ株式会社 | 工作機械の制御装置 |
CN107598719A (zh) * | 2017-10-18 | 2018-01-19 | 中国水利水电第十工程局有限公司 | 具有补偿***的五轴联动精密磨床 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4229698B2 (ja) | 工具の刃先位置の測定方法及び装置、ワークの加工方法、並びに工作機械 | |
JP6295070B2 (ja) | 多軸工作機械の幾何誤差同定方法及び多軸工作機械 | |
JP4840144B2 (ja) | 位置決め装置及び位置決め方法 | |
JP5670504B2 (ja) | 数値制御工作機械および数値制御工作機械の主軸誤差補正方法 | |
JP5113086B2 (ja) | 工作機械の変位を補正する方法及び装置 | |
WO2011099599A1 (ja) | 工作機械の熱変位補正方法および熱変位補正装置 | |
JP7390117B2 (ja) | 工作機械対象物の位置計測方法及び位置計測システム | |
WO2011052442A1 (ja) | 工作機械 | |
JP5720876B2 (ja) | 加工ロボット及びその重力補償方法 | |
JP2006212765A (ja) | 工作機械の熱変位補正方法 | |
JP2015203567A (ja) | 計測システム | |
JP6299184B2 (ja) | 工作機械および工作機械における加工制御方法 | |
JP5851436B2 (ja) | 加工装置及び加工方法 | |
JP2018069391A5 (ja) | 研削装置およびこれを用いる転がり軸受の製造方法 | |
JP2019000945A (ja) | 工作機械のワーク加工方法 | |
JP2013059839A (ja) | 工作機械の加工制御方法 | |
JP2012053033A (ja) | 産業機械 | |
WO2011052441A1 (ja) | 工作機械および変位計測器 | |
JP6155946B2 (ja) | 工作機械の各部材の線膨張係数の決定方法および工作機械の熱変位補正装置 | |
JP6803043B2 (ja) | 工作機械の幾何誤差測定方法 | |
JPH10244440A (ja) | 工作機械の主軸端変位補正装置 | |
JP2013255978A (ja) | 熱変位補正装置 | |
JP2017087405A (ja) | 工作機械の熱変位補正装置 | |
JP5748488B2 (ja) | 主軸装置 | |
KR20140086046A (ko) | 원통형 캐패시터 변위 센서를 이용한 공작 기계 볼 스크류의 열 변위 보정 장치 및 그 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150521 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160216 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160830 |