JP2013251833A - 振動片、電子デバイス、電子機器および振動片の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の振動片44は、基部と、当該基部から突出して形成された振動腕40と、を備え、前記振動腕40に溝部42が形成された振動片44であって、前記溝部42は、前記振動腕40の長さ方向に沿って複数個並んだ溝48の列が、前記振動腕40の幅方向に沿って複数並ぶように配置されており、隣り合う前記列に属する溝48の中心位置を前記振動腕40の幅方向において互いにずらしていることを特徴とする。この場合において、前記溝部42は、前記振動腕40の平面視で円、楕円、多角形のいずれか1つの形状又は複数組み合わせた形状を用いている。
【選択図】 図1
Description
特許文献1に開示の振動片の製造方法は、まず、水晶ウェハの表面と裏面に金属マスクを形成し、この金属マスク上にフォトレジスト膜を形成し、フォトレジスト膜をパターニングする。そして、フォトレジスト膜のパターンに合わせて金属マスクをパターニングする。このパターンは、振動片の外形輪郭に合わせて設計されている。次に、金属マスクパターン上にフォトレジスト膜を成膜し、そして、フォトレジスト膜をパターニングする。このフォトレジスト膜のパターンは、振動片の溝のパターンに合わせて設計されている。次いで、金属マスクのパターンに合わせて水晶ウェハをエッチングし、振動片の外形輪郭を成形する。次いで、金属マスクを溝パターンに合わせてパターニングし、エッチングによって振動片に溝を形成している。
[適用例1]基部と、当該基部から突出して形成された振動腕と、を備え、前記振動腕に溝部が形成された振動片であって、前記溝部は、前記振動腕の長さ方向に沿って複数個並んだ溝の列が、前記振動腕の幅方向に沿って複数並ぶように配置されており、隣り合う前記列に属する溝の中心位置を前記振動腕の幅方向において互いにずらしていることを特徴とする振動片。
上記構成により、振動腕の長さ方向に沿って、平面視で円、楕円、多角形の形状の溝を千鳥状に複数個形成することができ、長時間のエッチング工程であっても、水晶の異方性により生じるXY方向のヒレ状の異形形状によって、溝部が貫通するまで加工されることがない。このため、振動腕の外形と溝部の相対位置精度を向上させることができる。よって、振動特性の優れた振動片を得ることができる。
上記構成により、周囲の温度変化の影響を受けることなく安定した共振周波数の振動片を得ることができる。
上記構成により、一方の主面及び他方の主面に、外形輪郭との相対位置を精度良く形成された溝部を備えた振動片を得ることができる。
上記構成により、上記作用を具備する振動片を搭載した電子デバイスを得ることができる。
上記構成により、上記作用を具備する振動片を搭載した電子機器を得ることができる。
図1は、本発明の一実施形態に係る振動片の斜視図である。図示のように振動片440は、X軸(第2軸)と、このX軸と平面状に直交するY軸(第1軸)からなる平面に延在され、互いに表裏関係にある第1主面52と第2主面54とを有する。なお、第1主面52及び第2主面54に垂直な軸をZ軸とする。振動片440は、基部56から+Y軸方向に第1振動腕401と第2振動腕402が延出され、−Y軸方向に第3振動腕403と第4振動腕404が延出されている。基部56と第1振動腕401と第2振動腕402で音叉型振動片を構成し、基部56と第3振動腕403と第4振動腕404で音叉型振動片を構成している。このような2つの音叉型振動片が基部56に結合され、2つの音叉型振動片の振動腕の延出方向が互いに離間する構成の振動片440は、H型の振動片と称される。
この他、本実施形態の溝部42は、振動腕40の平面視で円、楕円、多角形のいずれか1つの形状又は複数組み合わせた形状で形成することができる。
なお、本発明の振動片は、上記H型の振動片の他にも、音叉型圧電振動片、ジャイロ用の音叉型圧電振動片など、振動腕に溝部を備えた構成に適用することができる。
まず、図5(a)に示すような基板10を用意する。基板10は、所定の厚みに研磨された板状(ウェハ状)の部材であり、材質として圧電単結晶を用いることが望ましい。より具体的な基板10の材質としては、水晶、ニオブ酸リチウム単結晶、タンタル酸リチウム単結晶、ニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体単結晶、ホウ酸リチウム単結晶、ランガサイト単結晶等からなる圧電単結晶等を用いることができる。このような圧電単結晶を基板10に用いることにより、周囲の温度変化の影響を受けることなく安定した共振周波数の振動片を得ることができる。
そして、金属膜20の表面全域にフォトレジストを塗布して乾燥させて、所定の膜厚のフォトレジスト膜30を形成している。
このような本発明の振動片によれば、振動腕の溝部を振動腕の長さ方向に沿って複数個並んだ溝の列が、振動腕の幅方向に沿って複数並ぶように配置されており、隣り合う列に属する溝の中心位置を振動腕の幅方向において互いにずらして形成することができ、長時間のエッチング工程であっても、水晶の異方性により生じるXY方向のヒレ状の異形形状によって、溝部が貫通するまで加工されることがない。このため、振動腕の外形と溝部の相対位置精度を向上させることができる。よって、振動特性の優れた振動片を得ることができる。
Claims (7)
- 基部と、当該基部から突出して形成された振動腕と、を備え、前記振動腕に溝部が形成された振動片であって、
前記溝部は、前記振動腕の長さ方向に沿って複数個並んだ溝の列が、前記振動腕の幅方向に沿って複数並ぶように配置されており、隣り合う前記列に属する溝の中心位置を前記振動腕の幅方向において互いにずらしていることを特徴とする振動片。 - 前記溝部は、前記振動腕の平面視で円、楕円、多角形のいずれか1つの形状又は複数組み合わせた形状であることを特徴とする請求項1に記載の振動片。
- 前記基部及び前記振動腕は、圧電単結晶から構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の振動片。
- 前記溝部は、前記振動腕の一方の主面及び他方の主面に形成されたことを特徴とする請求項1ないし3の何れか一項に記載の振動片。
- 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の振動片を備えたことを特徴とする電子デバイス。
- 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の振動片を備えたことを特徴とする電子機器。
- 基部と、当該基部から突出して形成された振動腕と、を備え、前記振動腕に溝部が形成された振動片の製造方法において、
基板上に形成された金属膜上のフォトレジスト膜に対して、前記振動片の外形パターンと、前記振動腕の長さ方向に沿って複数個並んだ溝の列が、前記振動腕の幅方向に沿って複数並ぶように配置されており、隣り合う前記列に属する溝の中心位置を前記振動腕の幅方向において互いにずらしている前記溝部に相当するパターンを同時に形成する工程と、
前記振動片の外形に対応する領域と前記溝部の前記フォトレジスト膜及び金属膜を除去する工程と、
前記基板をエッチングして前記振動片の外形と前記溝部を同時に形成する工程と、
を有することを特徴とする振動片の製造方法。
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JP2012126764A JP2013251833A (ja) | 2012-06-04 | 2012-06-04 | 振動片、電子デバイス、電子機器および振動片の製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016118499A (ja) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | センサ素子、角速度センサ及びセンサ素子の製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004260249A (ja) * | 2003-02-24 | 2004-09-16 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型水晶振動子 |
JP2004260593A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP2006060727A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-02 | River Eletec Kk | 音叉型水晶振動子及びその製造方法 |
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2012
- 2012-06-04 JP JP2012126764A patent/JP2013251833A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004260249A (ja) * | 2003-02-24 | 2004-09-16 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型水晶振動子 |
JP2004260593A (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-16 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP2006060727A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-02 | River Eletec Kk | 音叉型水晶振動子及びその製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016118499A (ja) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | センサ素子、角速度センサ及びセンサ素子の製造方法 |
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