JP2013248551A - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板103上に供給されたコート液104をバー109で引伸ばす際に、基板103を押圧する手段116を設け、引伸ばす領域の基板103の形状を制御することにより、反りや凹凸のある大型基板103上に、コート液104を容易に且つ精度よく均一塗布することができる。
【選択図】図1
Description
また、基板を載置するステージと、前記基板上にコート液を供給する供給部と、前記基板上を一定方向に移動して前記コート液を引伸ばすバーと、前記基板の前記移動方向の一方の端部を前記ステージに押圧する第1の押圧バーと、前記基板の他方の端部を前記ステージに押圧する第2の押圧バーと、前記ステージ上で前記基板の下部に配置される前記第1の押圧バーと平行な棒状の固定受圧部とから構成されることを特徴とする。
また、前記始端受圧部が前記基板の一方の端部から前記基板の移動方向の長さの15%以上25%以内の位置に設けられ、前記終端受圧部が前記基板の他方の端部から前記基板の移動方向の長さの15%以上25%以内の位置に設けられることが好ましい。
また、前記固定受圧部として、前記始端受圧部と前記終端受圧部との間に、前記始端受圧部および前記終端受圧部より前記ステージからの最大高さが高い1または複数の中央受圧部をさらに有しても良い。
(実施の形態1)
まず、実施の形態1における塗布装置について、図1〜図3を用いて説明する。
図1,図2において、102は基板103を保持,搬送するステージである。101はテージ102に設置された基板103上にコート液104を基板103の幅方向に必要な量だけ供給する供給部である。本実施の形態1では、供給部101としてシリンジ105の先端に供給針106を取付けたディスペンサーを用いる例を示す。
次に、実施の形態2における塗布装置について、図4〜図6を用いて説明する。
図4は実施の形態2における塗布装置を示す斜視図、図5は実施の形態2における塗布装置を示す断面図である。また、図6は実施の形態2における受圧部の構成例を示す図である。
102 ステージ
103 基板
104 コート液
105 シリンジ
106 供給針
107 指示部材
108 ボールネジ
109 バー
110 始端
111 終端
112 チャック
113 バーヘッド
114 エアシリンダ
115 外側
116 ローラ
117 ブラケット
118 中央部
119 塗布膜
120 受圧部
201 供給部
202 ステージ
203 基板
204 コート液
205 シリンジ
206 供給針
207 指示部材
208 ボールネジ
209 バー
210 始端
211 終端
212 チャック
213 バーヘッド
214 エアシリンダ
215 コート液
216 始端押圧バー
217 始端押圧ブラケット
218 終端押圧バー
219 終端押圧ブラケット
220 始端受圧部
221 終端受圧部
222 受圧部
Claims (8)
- 基板を載置するステージと、
前記基板上にコート液を供給する供給部と、
前記基板の外縁両部を前記ステージに押圧する一対のローラと、
前記基板上を一定方向に移動すると共に、前記一定方向に相前後して設けられる前記一対のローラの間に設けられて前記コート液を引伸ばすバーと
を有することを特徴とする塗布装置。 - 前記ステージと前記基板との間で前記バーの下部を前記バーの相対移動に応じて移動する受圧部をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の塗布装置。
- 基板を載置するステージと、
前記基板上にコート液を供給する供給部と、
前記基板上を一定方向に移動して前記コート液を引伸ばすバーと、
前記基板の前記移動方向の一方の端部を前記ステージに押圧する第1の押圧バーと、
前記基板の他方の端部を前記ステージに押圧する第2の押圧バーと、
前記ステージ上で前記基板の下部に配置される前記第1の押圧バーと平行な棒状の固定受圧部と
から構成されることを特徴とする塗布装置。 - 前記固定受圧部が始端受圧部と終端受圧部とからなることを特徴とする請求項3記載の塗布装置。
- 前記始端受圧部が前記基板の一方の端部から前記基板の移動方向の長さの15%以上25%以内の位置に設けられ、前記終端受圧部が前記基板の他方の端部から前記基板の移動方向の長さの15%以上25%以内の位置に設けられることを特徴とする請求項4記載の塗布装置。
- 前記始端受圧部および前記終端受圧部の前記ステージからの最大高さが前記基板の移動方向の長さの0.8%以上1.2%以内であることを特徴とする請求項5記載の塗布装置。
- 前記固定受圧部として、前記始端受圧部と前記終端受圧部との間に、前記始端受圧部および前記終端受圧部より前記ステージからの最大高さが高い1または複数の中央受圧部をさらに有することを特徴とする請求項6記載の塗布装置。
- 前記固定受圧部が、前記第1の押圧バーおよび前記第2の押圧バーの間で前記ステージ上に設けられる1つの中央受圧部であることを特徴とする請求項3記載の塗布装置。
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