JP2013246126A - 表面形状測定方法および表面形状測定装置 - Google Patents
表面形状測定方法および表面形状測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013246126A JP2013246126A JP2012121784A JP2012121784A JP2013246126A JP 2013246126 A JP2013246126 A JP 2013246126A JP 2012121784 A JP2012121784 A JP 2012121784A JP 2012121784 A JP2012121784 A JP 2012121784A JP 2013246126 A JP2013246126 A JP 2013246126A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- groove
- displacement data
- data
- corrected
- displacement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 8
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title abstract description 11
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 244
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 39
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 59
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 25
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 21
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 18
- 238000009499 grossing Methods 0.000 claims description 14
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 66
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 66
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 240000006829 Ficus sundaica Species 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の表面形状測定方法は、物体の表面を走査して取得した変位データからうねりを除去して補正変位データを取得するうねり除去ステップ(ステップSTP2)と、補正変位データから溝の溝始点および溝終点を算出する溝幅算出ステップ(ステップSTP3)と、溝始点と溝終点との中央位置から溝幅の所定割合の幅の範囲に限定した補正変位データの最小値と補正変位データの変位0との差を物体表面に加工された溝の深さとして算出する溝深さ算出ステップ(ステップSTP4)とを含むことを特徴とする。
【選択図】図5
Description
図1は、本発明の実施形態にかかる表面形状測定装置の構成例を示す概略図である。本発明の実施形態にかかる表面形状測定装置1は、製造ライン上を搬送される鋼板Sの表面に加工された溝の形状を測定する装置である。図1に示されるように、本発明の実施形態にかかる表面形状測定装置1は、変位計ヘッド2と、変位計コントローラ3と、信号処理装置4と、ローラエンコーダ5と、表示装置6とを備える。
[信号処理装置]
次に、図4から図9を参照しながら、本発明の実施形態にかかる表面形状測定方法について説明する。
B(X)=1 (|Y1(X)|≦Lmのとき)
B(X)=0 (|Y1(X)|>Lmのとき)
2 変位計ヘッド
3 変位計コントローラ
4 信号処理装置
5 ローラエンコーダ
6 表示装置
11 溝
21 レーザ光源
22 集光レンズ
23 光ポジションセンサ
24 結像レンズ
25 レーザ光
26 反射光
41 変位データ取得部
42 変位データ補正部
43 溝概略位置検出部
44 溝始点・終点検出部
45 溝幅算出部
46 溝深さ算出部
Claims (6)
- 物体表面に光線を照射して測定を行う光学式変位計により前記物体表面を走査して、前記光学式変位計に対する前記物体表面の変位データを取得する変位データ取得ステップと、
前記変位データからうねりを除去して補正変位データを取得するうねり除去ステップと、
前記補正変位データを探索して、前記補正変位データが所定の第1閾値よりも低くなる最初の位置を、前記物体表面に加工された溝の溝概略位置として検出する溝概略位置検出ステップと、
前記溝概略位置を含む前記溝の溝始点および溝終点を算出する溝幅算出ステップと、
前記溝始点と前記溝終点との中央位置から前記溝幅の所定割合の幅の範囲に限定した前記補正変位データの最小値を算出する最深位置検出ステップと、
前記最深位置検出ステップで算出された前記補正変位データの最小値と前記補正変位データの変位0との差を前記物体表面に加工された溝の深さとして算出する溝深さ算出ステップと、
を含むことを特徴とする表面形状測定方法。 - 前記溝幅算出ステップは、
前記溝概略位置から後方に前記補正変位データを探索し、前記補正変位データが所定の第2閾値より大きくなる最初の位置を前記溝の溝始点として検出する溝始点検出ステップと、
前記溝概略位置から前方に前記補正変位データを探索し、前記補正変位データが所定の第2閾値より大きくなる最初の位置を前記溝の溝終点として検出する溝終点検出ステップと、
前記溝の溝始点および溝終点の間の距離を前記物体表面に加工された溝の幅として算出する差算出ステップと、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の表面形状測定方法。 - 前記うねり除去ステップは、
前記変位データを平滑化して仮平滑化データを得る平滑化ステップと、
前記変位データから前記仮平滑化データを減算して仮補正変位データを得る第1減算ステップと、
前記仮補正変位データの絶対値が所定の第3閾値以下であるか否かで場合分けを行う重み関数を用いて、前記変位データを加重移動平均処理をして平滑化データを得る加重平滑化ステップと、
前記変位データから前記平滑化データを減算して前記補正変位データを得る第2減算ステップと、
を含むことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の表面形状測定方法。 - 物体表面に光線を照射して測定を行う光学式変位計により前記物体表面を走査して、前記光学式変位計に対する前記物体表面の変位データを取得する変位データ取得部と、
前記変位データからうねりを除去して補正変位データを取得する変位データ補正部と、
前記補正変位データを探索して、前記補正変位データが所定の第1閾値よりも低くなる最初の位置を、前記物体表面に加工された溝の溝概略位置として検出する溝概略位置検出部と、
前記溝概略位置を含む前記溝の溝始点および溝終点を算出する溝始点・終点検出部と、
前記溝始点と前記溝終点との中央位置から前記溝幅の所定割合の幅の範囲に限定した前記補正変位データの最小値を算出し、前記補正変位データの最小値と前記補正変位データの変位0との差を前記物体表面に加工された溝の深さとして算出する溝深さ算出部と、
を備えることを特徴とする表面形状測定装置。 - 溝始点・終点検出部は、
前記溝概略位置から後方に前記補正変位データを探索し、前記補正変位データが所定の第2閾値より大きくなる最初の位置を前記溝の溝始点として検出する溝始点検出手段と、
前記溝概略位置から前方に前記補正変位データを探索し、前記補正変位データが所定の第2閾値より大きくなる最初の位置を前記溝の溝終点として検出する溝終点検出手段と、
前記溝の溝始点および溝終点の間の距離を前記物体表面に加工された溝の幅として算出する差算出手段と、
を含むことを特徴とする請求項4に記載の表面形状測定装置。 - 前記変位データ補正部は、
前記変位データを平滑化して仮平滑化データを得る平滑化手段と、
前記変位データから前記仮平滑化データを減算して仮補正変位データを得る第1減算手段と、
前記仮補正データの絶対値が所定の第3閾値以下であるか否かで場合分けを行う重み関数を用いて、前記変位データを加重移動平均処理をして平滑化データを得る加重平滑化手段と、
前記変位データから前記平滑化データを減算して前記補正変位データを得る第2減算手段と、
を含むことを特徴とする請求項4または請求項5に記載の表面形状測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012121784A JP5929518B2 (ja) | 2012-05-29 | 2012-05-29 | 表面形状測定方法および表面形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012121784A JP5929518B2 (ja) | 2012-05-29 | 2012-05-29 | 表面形状測定方法および表面形状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013246126A true JP2013246126A (ja) | 2013-12-09 |
JP5929518B2 JP5929518B2 (ja) | 2016-06-08 |
Family
ID=49846002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012121784A Active JP5929518B2 (ja) | 2012-05-29 | 2012-05-29 | 表面形状測定方法および表面形状測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5929518B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016224005A (ja) * | 2015-06-03 | 2016-12-28 | トヨタ自動車株式会社 | 塗膜幅測定方法及び塗膜幅測定装置 |
JP2021032686A (ja) * | 2019-08-23 | 2021-03-01 | 横浜ゴム株式会社 | 表面凹凸度の評価方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06102107A (ja) * | 1992-08-03 | 1994-04-15 | Daido Steel Co Ltd | 金属製圧延板材の残留応力分布測定方法 |
JPH1089939A (ja) * | 1996-09-13 | 1998-04-10 | Kawasaki Steel Corp | 表面形状測定方法及び装置 |
JP2006322901A (ja) * | 2005-05-20 | 2006-11-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 建築パネルの表面形状検出方法及び建築パネルの塗装方法 |
WO2010071657A1 (en) * | 2008-12-19 | 2010-06-24 | Michelin Recherche Et Technique, S.A. | Filtering method to eliminate tread features in geometric tire measurements |
JP2011099729A (ja) * | 2009-11-05 | 2011-05-19 | Jfe Steel Corp | 表面形状測定装置および方法 |
-
2012
- 2012-05-29 JP JP2012121784A patent/JP5929518B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06102107A (ja) * | 1992-08-03 | 1994-04-15 | Daido Steel Co Ltd | 金属製圧延板材の残留応力分布測定方法 |
JPH1089939A (ja) * | 1996-09-13 | 1998-04-10 | Kawasaki Steel Corp | 表面形状測定方法及び装置 |
JP2006322901A (ja) * | 2005-05-20 | 2006-11-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 建築パネルの表面形状検出方法及び建築パネルの塗装方法 |
WO2010071657A1 (en) * | 2008-12-19 | 2010-06-24 | Michelin Recherche Et Technique, S.A. | Filtering method to eliminate tread features in geometric tire measurements |
JP2011099729A (ja) * | 2009-11-05 | 2011-05-19 | Jfe Steel Corp | 表面形状測定装置および方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016224005A (ja) * | 2015-06-03 | 2016-12-28 | トヨタ自動車株式会社 | 塗膜幅測定方法及び塗膜幅測定装置 |
JP2021032686A (ja) * | 2019-08-23 | 2021-03-01 | 横浜ゴム株式会社 | 表面凹凸度の評価方法 |
JP7311765B2 (ja) | 2019-08-23 | 2023-07-20 | 横浜ゴム株式会社 | 表面凹凸度の評価方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5929518B2 (ja) | 2016-06-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5129010A (en) | System for measuring shapes and dimensions of gaps and flushnesses on three dimensional surfaces of objects | |
JP5327003B2 (ja) | 表面形状測定装置および方法 | |
EP2891865B1 (en) | Measuring method and measuring device | |
EP3739289A1 (en) | Tread depth measurement | |
JP5365727B2 (ja) | 表面形状測定方法および表面形状測定装置 | |
US20120123699A1 (en) | Flaw-detection apparatus and flaw-detection method | |
Lim et al. | Edge detection and measurement of nose radii of cutting tool inserts from scanned 2-D images | |
US9682458B2 (en) | Method and device for controlling grinding of flexible substrate | |
JP5194529B2 (ja) | 表面欠陥検査システム、方法及びプログラム | |
EP2985566B1 (en) | Data generation method and data generation apparatus | |
JP5481862B2 (ja) | パンタグラフ高さ測定装置及びそのキャリブレーション方法 | |
JP4089798B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP5929518B2 (ja) | 表面形状測定方法および表面形状測定装置 | |
EP1972887A1 (en) | System and method for height measurement | |
JP2011033392A (ja) | 凹凸形状を抽出するための画像処理方法及び画像処理装置 | |
JP2015534086A (ja) | フレネル回折の境界プロファイルを評価する方法 | |
US12000688B2 (en) | Shape inspection device, processing device, height image processing device using characteristic points in combination with correcetion reference regions to correct height measurements | |
JP5294891B2 (ja) | 凹凸文字抽出のための画像処理方法 | |
JP2008107156A (ja) | 断面形状検出方法及び装置 | |
JP2008281493A (ja) | 表面欠陥検査システム、方法及びプログラム | |
JP2016024067A (ja) | 計測方法および計測装置 | |
JP6170714B2 (ja) | 測距装置 | |
KR20100020671A (ko) | 비젼 카메라를 이용한 강재의 두께측정 및형상판별장치와,이를 이용한 강재의 두께측정방법 및형상판별방법 | |
JP3340879B2 (ja) | 表面欠陥検出方法および装置 | |
TW201527713A (zh) | 鑄嘴平坦度之檢測方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150223 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160229 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160418 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5929518 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |