JP2013238526A - Sample inspection device and sample inspection method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sample inspection device and sample inspection method capable of simply reinspecting a sample.SOLUTION: A sample inspection device 1 includes a carrying part 2 for cyclically carrying a mounted sample S, inspection parts 31 to 33 for inspecting the sample S carried by the carrying part 2, a carrying-in and out part 4 for carrying in the sample S to the carrying part 2 to mount the sample S and carrying-out the sample S inspected by the inspection parts 31 to 33 from the carrying part 2, and a control part 8 for controlling the carrying-in and out part 4 on the basis of an inspection result obtained from the inspection parts 31 to 33. The control part 8 controls the carrying-in and out part 4 to make the inspection parts 31 to 33 further inspect the sample S by stopping the sample S, the inspection result obtained from the inspection parts 31 to 33 of which is defective and which satisfies a reinspection condition at the carrying part 2.

Description

本発明は、例えば半導体集積装置（例えば、パッケージ化した半導体集積回路や、半導体集積回路をモジュールとして組み立てたものなど）に代表されるサンプル（検査対象の製品）を検査するサンプル検査装置及びサンプル検査方法に関する。   The present invention relates to a sample inspection apparatus and sample inspection for inspecting a sample (product to be inspected) represented by, for example, a semiconductor integrated device (for example, a packaged semiconductor integrated circuit or a semiconductor integrated circuit assembled as a module). Regarding the method.

半導体集積装置などの製品は、電子機器への組込前や出荷前などのタイミングで、検査が行われる。この検査を効率良く行うために、サンプルの搬入、サンプルの検査、及び、サンプルの搬出のそれぞれを自動的に行うサンプル検査装置が利用されることがある。また、このようなサンプル検査装置において、検査結果の良否に応じてサンプルの搬出先を区別することにより、良好なサンプルと不良なサンプルとを自動的に分類することが行われている。   A product such as a semiconductor integrated device is inspected at a timing before incorporation into an electronic device or before shipment. In order to efficiently perform this inspection, a sample inspection apparatus that automatically performs each of sample loading, sample inspection, and sample unloading may be used. Further, in such a sample inspection apparatus, a good sample and a defective sample are automatically classified by distinguishing the sample delivery destination according to the quality of the inspection result.

しかしながら、このようなサンプル検査装置では、例えばサンプル検査装置とサンプルとの接触不良などによって、良好なサンプルであっても検査結果が不良になることがある。この場合、良好なサンプルを廃棄等することになり、歩留まりが無用に低下するため、問題となる。   However, in such a sample inspection apparatus, the result of inspection may be poor even with a good sample due to, for example, poor contact between the sample inspection apparatus and the sample. In this case, a good sample is discarded and the yield is unnecessarily lowered, which is a problem.

そこで、特許文献１では、検査結果が不良となったサンプルに対して再検査を行うサンプル検査装置が提案されている。このサンプル検査装置では、検査結果の良否に応じて異なるトレイにサンプルを搬出して収納するとともに、検査結果が不良であるサンプルが収納されているトレイを、未検査のサンプルが収納されているトレイと同じ場所に移動させることによって、サンプルの再検査を行う。   Therefore, Patent Document 1 proposes a sample inspection apparatus that performs re-inspection on a sample whose inspection result is defective. In this sample inspection apparatus, samples are taken out and stored in different trays according to the quality of the inspection results, and a tray in which a sample with a defective inspection result is stored is a tray in which an uninspected sample is stored. Re-examine the sample by moving it to the same location.

特開平８−２６２１０２号公報JP-A-8-262102

しかしながら、特許文献１で提案されているサンプル検査装置では、検査結果が不良であるサンプルが収納されているトレイを移動させる必要があり、サンプル検査装置の構造や動作が複雑化するため、問題となる。   However, in the sample inspection apparatus proposed in Patent Document 1, it is necessary to move a tray in which a sample with a defective inspection result is stored, which complicates the structure and operation of the sample inspection apparatus. Become.

そこで、本発明は、簡易的にサンプルの再検査を行うことが可能なサンプル検査装置及びサンプル検査方法を提供する。   Therefore, the present invention provides a sample inspection apparatus and a sample inspection method capable of simply re-inspecting a sample.

上記目的を達成するため、本発明は、載置されたサンプルを循環的に搬送する搬送部と、前記搬送部によって搬送される前記サンプルを検査する検査部と、前記サンプルを前記搬送部に搬入して載置するとともに、前記検査部によって検査された前記サンプルを前記搬送部から搬出する搬入出部と、前記検査部から得られる検査結果に基づいて前記搬入出部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記搬入出部を制御して、前記検査部から得られる検査結果が不良でありかつ再検査条件を満たす前記サンプルを前記搬送部に留めることで、前記検査部に当該サンプルをさらに検査させることを特徴とするサンプル検査装置を提供する。   In order to achieve the above object, the present invention provides a transport unit that cyclically transports a placed sample, an inspection unit that inspects the sample transported by the transport unit, and the sample is transported to the transport unit. And a loading / unloading section for unloading the sample inspected by the inspection section from the transport section, and a control section for controlling the loading / unloading section based on an inspection result obtained from the inspection section, The control unit controls the carry-in / out unit, and the inspection result obtained from the inspection unit is defective and the sample satisfying the re-inspection condition is retained in the conveyance unit, There is provided a sample inspection apparatus characterized by further inspecting the sample.

このサンプル検査装置によれば、検査結果が不良でありかつ再検査条件を満たすサンプルが、循環的な搬送を行う搬送部から搬出されずに留められる。そのため、当該サンプルは、搬送部によって再搬送され、検査部によって再検査される。したがって、サンプルの搬出及び搬入を要せずに、サンプルの再検査を行うことが可能になる。   According to this sample inspection apparatus, a sample having a defective inspection result and satisfying the re-inspection condition is retained without being unloaded from the conveyance unit that performs cyclic conveyance. Therefore, the sample is transported again by the transport unit and re-inspected by the inspection unit. Therefore, the sample can be re-inspected without having to carry out and carry in the sample.

さらに、上記特徴のサンプル検査装置において、前記検査部による前記サンプルの検査回数が所定回数よりも少ないこと、であると、好ましい。   Furthermore, in the sample inspection apparatus having the above characteristics, it is preferable that the number of inspections of the sample by the inspection unit is less than a predetermined number.

このサンプル検査装置によれば、所定回数の検査を行っても検査結果が不良となる場合、即ち、サンプルが真に不良である可能性が高い場合、それ以上の再検査は行われずサンプルが搬送部から搬出される。そのため、無用に再検査が行われることを防止して、効率良くサンプルを検査することが可能になる。   According to this sample inspection apparatus, if the inspection result is defective even after a predetermined number of inspections, that is, if the possibility that the sample is truly defective is high, the sample is transported without further reinspection. It is carried out from the department. Therefore, it is possible to efficiently inspect the sample by preventing unnecessary re-inspection.

さらに、上記特徴のサンプル検査装置において、前記検査部は、前記サンプルに対して複数の項目の検査を行うものであり、前記再検査条件が、前記検査部から得られる検査結果において所定の項目が不良であること、であると、好ましい。   Furthermore, in the sample inspection apparatus having the above characteristics, the inspection unit performs inspection of a plurality of items on the sample, and the re-inspection condition is that a predetermined item is present in the inspection result obtained from the inspection unit. It is preferable that it is defective.

このサンプル検査装置によれば、検査結果における複数の項目の中でサンプルの良否にかかわらず（例えば、接触不良などに起因して）不良を示す可能性がある項目が不良である場合、即ち、検査結果は不良であってもサンプルが良好である可能性がある場合に、サンプルの再検査が行われる。そのため、無用に再検査が行われることを防止して、効率良くサンプルを検査することが可能になる。   According to this sample inspection apparatus, when an item that may indicate a defect is defective (for example, due to a contact failure) regardless of whether the sample is good or bad among a plurality of items in the inspection result, The sample is re-inspected when there is a possibility that the sample is good even if the inspection result is bad. Therefore, it is possible to efficiently inspect the sample by preventing unnecessary re-inspection.

さらに、上記特徴のサンプル検査装置において、前記制御部は、前記搬入出部を制御して、前記搬送部に留める前記サンプルを載置し直すと、好ましい。   Furthermore, in the sample inspection apparatus having the above characteristics, it is preferable that the control unit controls the carry-in / out unit to remount the sample to be retained in the transport unit.

このサンプル検査装置によれば、サンプルの載置に起因する問題（例えば、接触不良など）の解消を試みた上で、再検査を行うことが可能になる。そのため、無用に再検査が行われることを防止して、効率良くサンプルを検査することが可能になる。   According to this sample inspection apparatus, it is possible to perform re-inspection after attempting to solve a problem (for example, contact failure) caused by placement of the sample. Therefore, it is possible to efficiently inspect the sample by preventing unnecessary re-inspection.

さらに、上記特徴のサンプル検査装置において、前記搬送部は、回転するステージを備え、前記搬入出部は、前記ステージ上に前記サンプルを載置すると、好ましい。   Furthermore, in the sample inspection apparatus having the above characteristics, it is preferable that the transport unit includes a rotating stage, and the carry-in / out unit places the sample on the stage.

このサンプル検査装置によれば、簡易な方法で、サンプルを循環的に搬送することが可能になる。   According to this sample inspection apparatus, it becomes possible to convey a sample cyclically by a simple method.

また、本発明は、載置されたサンプルを循環的に搬送する搬送部に対して、前記サンプルを搬入して載置する搬入工程と、前記搬送部によって搬送される前記サンプルを検査する検査工程と、前記検査工程で検査されたサンプルを前記搬送部から搬出する搬出工程と、を備え、前記搬出工程で、前記検査工程で得られる検査結果が不良でありかつ再検査条件を満たす前記サンプルについては、前記搬送部に留め、さらに前記検査工程を行うことを特徴とするサンプル検査方法を提供することを目的とする。   In addition, the present invention provides a carrying-in process for carrying in and placing the sample on a carrying unit that cyclically carries the placed sample, and an inspection process for inspecting the sample carried by the carrying unit. And an unloading step for unloading the sample inspected in the inspection step from the transport unit, wherein the inspection result obtained in the inspection step is defective and satisfies the reinspection condition in the unloading step. An object of the present invention is to provide a sample inspection method characterized in that the inspection step is carried out in addition to the transport unit.

このサンプル検査方法によれば、搬出工程において、検査結果が不良でありかつ再検査条件を満たすサンプルが、循環的な搬送を行う搬送部から搬出されずに留められる。そのため、次の検査工程において、当該サンプルが搬送部によって再搬送され、再検査される。したがって、サンプルの搬出及び搬入を要せずに、再検査を行うことが可能になる。   According to this sample inspection method, in the carry-out process, a sample having a defective inspection result and satisfying the re-inspection condition is retained without being carried out from the carrying unit that performs cyclic conveyance. Therefore, in the next inspection process, the sample is transported again by the transport unit and retested. Therefore, it is possible to perform reexamination without requiring the sample to be carried out and carried in.

上記特徴のサンプル検査装置及びサンプル検査方法では、サンプルの搬出及び搬入を要せずに、再検査を行うことが可能になる。したがって、簡易的にサンプルの再検査を行うことが可能になる。   In the sample inspection apparatus and the sample inspection method having the above characteristics, it is possible to perform re-inspection without needing to carry out and carry in the sample. Therefore, the sample can be re-inspected easily.

本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の構成例について示すブロック図。The block diagram shown about the structural example of the sample inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の動作例について示すフローチャート。The flowchart shown about the operation example of the sample inspection apparatus which concerns on embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置について、図面を参照して説明する。最初に、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の構成例について、図１を参照して説明する。図１は、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の構成例について示すブロック図である。   Hereinafter, a sample inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. First, a configuration example of a sample inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a block diagram showing a configuration example of a sample inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.

図１に示すように、サンプル検査装置１は、載置されたサンプルＳを循環的に搬送する搬送部２と、搬送部２によって搬送されるサンプルＳを検査する検査部３１〜３３と、サンプルＳを搬送部２に搬入して載置するとともに検査部３１〜３３によって検査されたサンプルＳを搬送部から搬出する搬入出部４と、搬入出部４によって搬送部２に載置される前のサンプルＳが収納されている未検査サンプル収納部５と、搬入出部４によって搬送部２から搬出されるサンプルＳのうち検査部３１〜３３から得られる検査結果が良好であったサンプルが収納される良好サンプル収納部６と、搬入出部４によって搬送部２から搬出されるサンプルＳのうち検査部３１〜３３から得られる検査結果が不良であったサンプルＳが収納される不良サンプル収納部７と、サンプル検査装置１の動作を制御する制御部８と、を備える。   As shown in FIG. 1, the sample inspection apparatus 1 includes a conveyance unit 2 that cyclically conveys the placed sample S, inspection units 31 to 33 that inspect the sample S conveyed by the conveyance unit 2, and a sample The S is carried into and placed in the transport unit 2 and the sample S inspected by the inspection units 31 to 33 is unloaded from the transport unit, and before the sample S is placed on the transport unit 2 by the carry-in / out unit 4 Of the uninspected sample storage unit 5 in which the sample S is stored and the sample S that has been obtained from the inspection units 31 to 33 out of the sample S carried out of the transport unit 2 by the loading / unloading unit 4 is stored. The sample collection unit 6 and the sample sample S carried out from the transport unit 2 by the loading / unloading unit 4 are stored with the sample S in which the inspection results obtained from the inspection units 31 to 33 are defective. It comprises a part 7, a controller 8 for controlling the operation of the sample inspection apparatus 1, a.

搬送部２は、円形状のステージ２１と、ステージ２１の回転軸２２と、サンプルＳを載置するための載置部２３と、を備える。ステージ２１は、制御部８の制御により、回転軸２２を中心として回転する。載置部２３は、電極などのサンプルの一部が挿入されるソケットやサンプルの一部が接触する接触子などを備え、ステージ２１の円周に沿って設けられている。特に、載置部２３は、回転軸２２から等距離の位置（好ましくは、回転対称の位置）に設けられている。そのため、載置部２３に載置されたサンプルＳは、ステージ２１が回転することによって、ステージ２１の円周方向に沿って搬送されることになる。なお、図１では、ステージ２１に対して載置部２３を４つ設けた場合（４回対称の位置に設けた場合）について例示しているが、載置部２３は何個設けてもよい。   The transport unit 2 includes a circular stage 21, a rotating shaft 22 of the stage 21, and a placement unit 23 on which the sample S is placed. The stage 21 rotates around the rotation shaft 22 under the control of the control unit 8. The placement unit 23 includes a socket into which a part of the sample such as an electrode is inserted, a contact that contacts a part of the sample, and the like, and is provided along the circumference of the stage 21. In particular, the placement unit 23 is provided at a position equidistant from the rotation shaft 22 (preferably a rotationally symmetric position). Therefore, the sample S placed on the placement unit 23 is transported along the circumferential direction of the stage 21 as the stage 21 rotates. 1 illustrates the case where four placement portions 23 are provided with respect to the stage 21 (when provided at a four-fold symmetrical position), but any number of placement portions 23 may be provided. .

検査部３１〜３３は、例えばテスタなどから成り、載置部２３に載置されたサンプルＳに対して複数の項目の検査を行う。具体的に例えば、検査部３１〜３３は、サンプルＳと接触している電極や接触子などと電気的に接続して、サンプルＳの電気特性の検査を行う。なお、図１では、ステージ２１に対して検査部３１〜３３を３つ設けた場合について例示しているが、検査部３１〜３３は何個設けてもよい。また、検査部３１〜３３のそれぞれが１項目ずつ検査を行ってもよいし、検査部３１〜３３の少なくとも１つが２項目以上の検査を行ってもよい。   The inspection units 31 to 33 include, for example, a tester and the like, and inspect a plurality of items for the sample S placed on the placement unit 23. Specifically, for example, the inspection units 31 to 33 are electrically connected to electrodes or contacts that are in contact with the sample S and inspect the electrical characteristics of the sample S. Although FIG. 1 illustrates the case where three inspection units 31 to 33 are provided on the stage 21, any number of inspection units 31 to 33 may be provided. In addition, each of the inspection units 31 to 33 may inspect one item at a time, or at least one of the inspection units 31 to 33 may inspect two or more items.

搬入出部４は、例えばマニピュレータなどから成り、未検査サンプル収納部５に収納されているサンプルＳを取得して搬送部２の載置部２３に載置したり、搬送部２の載置部２３に載置されているサンプルを取得して良好サンプル収納部６または不良サンプル７に収納したりする。なお、搬入出部４において、搬送部２へサンプルＳを搬入するための装置と、搬送部２からサンプルＳを搬出するための装置と、は異なっていてもよいし、同一であってもよい。また、未検査サンプル収納部５、良好サンプル収納部６、及び、不良サンプル７は、例えばトレイやマガジンなどから成る。   The carry-in / out unit 4 includes, for example, a manipulator and acquires the sample S stored in the uninspected sample storage unit 5 and places it on the mounting unit 23 of the transport unit 2 or the mounting unit of the transport unit 2. The sample placed on 23 is acquired and stored in the good sample storage unit 6 or the defective sample 7. In the loading / unloading section 4, the apparatus for loading the sample S into the transport section 2 and the apparatus for unloading the sample S from the transport section 2 may be different or the same. . Further, the untested sample storage unit 5, the good sample storage unit 6, and the defective sample 7 are made of, for example, a tray or a magazine.

制御部８は、搬送部２が備えるステージ２１の回転を制御するなど、サンプル検査装置１の動作を制御する。特に、制御部８は、後述のように、検査部３１〜３３から得られるサンプルＳの検査結果に基づいて、搬入出部４の動作を制御する。   The control unit 8 controls the operation of the sample inspection apparatus 1 such as controlling the rotation of the stage 21 provided in the transport unit 2. In particular, the control unit 8 controls the operation of the loading / unloading unit 4 based on the inspection result of the sample S obtained from the inspection units 31 to 33, as will be described later.

次に、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の動作例について、図２を参照して説明する。図２は、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置の動作例について示すフローチャートである。なお、図２は、着目したある１つのサンプルＳの検査を行う際における、サンプル検査装置１の動作例について示したものである。   Next, an operation example of the sample inspection apparatus according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a flowchart showing an operation example of the sample inspection apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 2 shows an operation example of the sample inspection apparatus 1 when inspecting one sample S of interest.

図２に示すように、まず、制御部８が、搬入出部４を制御して、未検査サンプル収納部５に収納されているサンプルＳを搬送部２に搬入させ（ステップ＃１）、載置部２３に載置させる（ステップ＃２）。   As shown in FIG. 2, first, the control unit 8 controls the loading / unloading unit 4 to load the sample S stored in the untested sample storage unit 5 into the transfer unit 2 (Step # 1). It is made to mount on the mounting part 23 (step # 2).

次に、制御部８は、搬送部２を制御してサンプルＳを搬送させ、検査部３１〜３３に検査させる（ステップ＃３）。この検査部３１〜３３によるサンプルＳの検査結果は、制御部８に入力される。   Next, the control unit 8 controls the transport unit 2 to transport the sample S, and causes the inspection units 31 to 33 to inspect (step # 3). The inspection result of the sample S by the inspection units 31 to 33 is input to the control unit 8.

制御部８は、検査部３１〜３３から得られるサンプルＳの検査結果が良好である場合（ステップ＃４、ＮＯ）、搬入出部４を制御して、サンプルＳを良好サンプル収納部５に収納させる（ステップ＃５）。これにより、このサンプルＳの検査が終了する。なお、検査部３１〜３３によるサンプルＳの検査結果が良好である場合とは、例えば、検査部３１〜３３から得られる検査結果における全ての項目が、サンプルＳが良好である場合の特性を示している場合である。   When the test result of the sample S obtained from the test units 31 to 33 is good (step # 4, NO), the control unit 8 controls the carry-in / out unit 4 to store the sample S in the good sample storage unit 5. (Step # 5). Thereby, the inspection of the sample S is completed. In addition, the case where the test result of the sample S by the test | inspection parts 31-33 is favorable means the characteristic in case all the items in the test result obtained from the test | inspection parts 31-33 are good, for example. It is a case.

一方、制御部８は、検査部３１〜３３によるサンプルＳの検査結果が不良である場合（ステップ＃４、ＹＥＳ）、検査部３１〜３３から得られる検査結果における所定の項目（以下、再検査対象項目とする）が不良であるか否かを確認する（ステップ＃６）。なお、検査部３１〜３３によるサンプルＳの検査結果が不良である場合とは、例えば、検査部３１〜３３から得られる検査結果における少なくとも１つの項目が、サンプルＳが不良である場合の特性を示している場合である。   On the other hand, when the inspection result of the sample S by the inspection units 31 to 33 is defective (step # 4, YES), the control unit 8 determines a predetermined item (hereinafter, re-inspection) in the inspection results obtained from the inspection units 31 to 33. It is checked whether or not the item is a target item (step # 6). The case where the inspection result of the sample S by the inspection units 31 to 33 is defective means that, for example, at least one item in the inspection result obtained from the inspection units 31 to 33 is a characteristic when the sample S is defective. This is the case.

制御部８は、検査部３１〜３３から得られる検査結果において、再検査対象項目に該当しない項目が不良であることを確認すると（ステップ＃６、ＮＯ）、搬入出部４を制御して、サンプルＳを不良サンプル収納部５に収納させる（ステップ＃７）。これにより、このサンプルＳの検査が終了する。   When the control unit 8 confirms that an item that does not correspond to the re-inspection target item is defective in the inspection results obtained from the inspection units 31 to 33 (step # 6, NO), the control unit 8 controls the carry-in / out unit 4. The sample S is stored in the defective sample storage unit 5 (step # 7). Thereby, the inspection of the sample S is completed.

一方、制御部８は、検査部３１〜３３から得られる検査結果において、再検査対象項目に該当する項目が不良であることを確認すると（ステップ＃６、ＹＥＳ）、検査部３１〜３３によるサンプルＳの検査回数がＮ回（Ｎは２以上の整数）よりも少ないか否かを確認する（ステップ＃８）。なお、再検査を一度も行っていない場合、この時点におけるサンプルＳの検査回数は１回である。   On the other hand, when the control unit 8 confirms that the item corresponding to the re-inspection item is defective in the inspection result obtained from the inspection units 31 to 33 (step # 6, YES), the sample by the inspection units 31 to 33 is obtained. It is confirmed whether or not the number of inspections of S is smaller than N (N is an integer of 2 or more) (step # 8). In addition, when re-inspection has not been performed, the number of inspections of the sample S at this time is one.

制御部８は、サンプルＳの検査回数がＮ回よりも少ないことを確認すると（ステップ＃８、ＮＯ）、搬入出部４を制御して、サンプルＳを載置部２３に載置し直す（ステップ＃９）。このとき、搬入出部４は、例えばサンプルＳを、載置部２３に対して挿し直したり、置き直したりする。そして、制御部８は、搬送部２を制御してサンプルＳを再搬送させ、検査部３１〜３３にサンプルＳを再検査させる（ステップ＃３）。   When the control unit 8 confirms that the number of inspections of the sample S is less than N (step # 8, NO), the control unit 8 controls the loading / unloading unit 4 to remount the sample S on the mounting unit 23 ( Step # 9). At this time, the loading / unloading unit 4 reinserts or repositions the sample S with respect to the placement unit 23, for example. Then, the control unit 8 controls the transport unit 2 to re-transport the sample S, and causes the inspection units 31 to 33 to re-inspect the sample S (step # 3).

一方、制御部８は、上記の再検査を行った結果、サンプルＳの検査回数がＮ回に達したことを確認すると（ステップ＃８、ＹＥＳ）、搬入出部４を制御して、サンプルＳを不良サンプル収納部５に収納させる（ステップ＃７）。これにより、このサンプルＳの検査が終了する。   On the other hand, when the control unit 8 confirms that the number of inspections of the sample S has reached N times as a result of the re-inspection (step # 8, YES), the control unit 8 controls the loading / unloading unit 4 to control the sample S. Is stored in the defective sample storage unit 5 (step # 7). Thereby, the inspection of the sample S is completed.

以上のように、サンプル検査装置１では、検査結果が不良でありかつ所定の条件を満たすサンプルＳが、循環的な搬送を行う搬送部２から搬出されずに留められる。そのため、サンプルＳは、搬送部２によって再搬送され、検査部３１〜３３によって再検査される。したがって、サンプルＳの搬出及び搬入を要せずに、サンプルＳの再検査を行うことが可能になる。即ち、簡易的にサンプルＳの再検査を行うことが可能になる。   As described above, in the sample inspection apparatus 1, the sample S having a defective inspection result and satisfying a predetermined condition is stopped without being unloaded from the transfer unit 2 that performs the cyclic transfer. Therefore, the sample S is re-transported by the transport unit 2 and re-inspected by the inspection units 31 to 33. Therefore, the sample S can be re-inspected without the need to carry out and carry in the sample S. That is, the sample S can be easily re-inspected.

また、サンプル検査装置１では、Ｎ回の検査を行っても検査結果が不良となる場合、即ち、サンプルＳが真に不良である可能性が高い場合、それ以上の再検査を行わずに当該サンプルＳを搬送部２から排出する（ステップ＃８参照）。そのため、無用に再検査が行われることを防止して、効率良くサンプルＳを検査することが可能になる。   Further, in the sample inspection apparatus 1, when the inspection result is defective even after performing N inspections, that is, when the possibility that the sample S is truly defective is high, the sample inspection apparatus 1 does not perform further reinspection. The sample S is discharged from the transport unit 2 (see step # 8). Therefore, it is possible to efficiently inspect the sample S by preventing unnecessary re-inspection.

また、サンプル検査装置１では、検査結果における複数の項目の中でサンプルＳの良否にかかわらず（例えば、接触不良などに起因して）不良を示す可能性がある再検査対象項目が不良である場合、即ち、検査結果は不良であってもサンプルＳが良好である可能性がある場合に、サンプルＳの再検査を行う（ステップ＃６参照）。そのため、無用に再検査が行われることを防止して、効率良くサンプルＳを検査することが可能になる。   Moreover, in the sample inspection apparatus 1, the re-inspection target item that may indicate a defect (for example, due to contact failure) is defective regardless of the quality of the sample S among a plurality of items in the inspection result. If there is a possibility that the sample S is good even if the inspection result is bad, the sample S is re-inspected (see step # 6). Therefore, it is possible to efficiently inspect the sample S by preventing unnecessary re-inspection.

また、サンプル検査装置１では、サンプルＳの再検査を行う前に、サンプルＳを載置し直す（ステップ＃９参照）。即ち、サンプルＳの載置に起因する問題（例えば、接触不良など）の解消を試みた上で、再検査を行うことが可能になる。そのため、無用に再検査が行われることを防止して、効率良くサンプルＳを検査することが可能になる。   Further, in the sample inspection apparatus 1, the sample S is placed again before reinspecting the sample S (see step # 9). That is, it is possible to perform re-inspection after trying to solve a problem (for example, contact failure) caused by the placement of the sample S. Therefore, it is possible to efficiently inspect the sample S by preventing unnecessary re-inspection.

なお、本発明の実施形態に係るサンプル検査装置１として、ステージ２１の回転によってサンプルＳを循環的に搬送する搬送部２を備えるものについて例示したが、本発明のサンプル検査装置１は、他の方式でサンプルＳを搬送する搬送部を備えるものであってもよい。具体的に例えば、水平面内において直線的にサンプルＳを搬送する搬送部（水平搬送式ハンドラ）を備えるものであってもよいし、サンプルＳの鉛直方向の搬送（例えば、シュート内の滑落）を伴う搬送部（落下式ハンドラ）を備えるものであってもよい。   In addition, although the sample inspection apparatus 1 according to the embodiment of the present invention is exemplified as the one provided with the transport unit 2 that transports the sample S cyclically by the rotation of the stage 21, You may provide the conveyance part which conveys the sample S by a system. Specifically, for example, a transport unit (horizontal transport handler) that transports the sample S linearly in a horizontal plane may be provided, or the transport of the sample S in the vertical direction (for example, sliding in the chute) may be performed. You may provide the accompanying conveyance part (falling type handler).

本発明に係るサンプル検査装置及びサンプル検査方法は、例えば半導体集積装置の検査を行うサンプル検査装置やサンプル検査方法に、好適に利用され得る。   The sample inspection apparatus and the sample inspection method according to the present invention can be suitably used for, for example, a sample inspection apparatus and a sample inspection method for inspecting a semiconductor integrated device.

１ ： 固体撮像素子
２ ： 搬送部
２１ ： ステージ
２２ ： 回転軸
２３ ： 載置部
３１〜３３ ： 検査部
４ ： 搬入出部
５ ： 未検査サンプル収納部
６ ： 良好サンプル収納部
７ ： 不良サンプル収納部
８ ： 制御部
Ｓ ： サンプル 1: Solid-state imaging device 2: Transport unit 21: Stage 22: Rotating shaft 23: Placement unit 31-33: Inspection unit 4: Carry-in / out unit 5: Uninspected sample storage unit 6: Good sample storage unit 7: Defective sample storage Part 8: Control part S: Sample

Claims (6)

載置されたサンプルを循環的に搬送する搬送部と、
前記搬送部によって搬送される前記サンプルを検査する検査部と、
前記サンプルを前記搬送部に搬入して載置するとともに、前記検査部によって検査された前記サンプルを前記搬送部から搬出する搬入出部と、
前記検査部から得られる検査結果に基づいて前記搬入出部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記搬入出部を制御して、前記検査部から得られる検査結果が不良でありかつ再検査条件を満たす前記サンプルを前記搬送部に留めることで、前記検査部に当該サンプルをさらに検査させることを特徴とするサンプル検査装置。 A transport section for transporting the placed sample in a circulating manner;
An inspection unit for inspecting the sample conveyed by the conveyance unit;
Loading and unloading the sample into the transport unit, and unloading the sample inspected by the inspection unit from the transport unit; and
A control unit for controlling the carry-in / out unit based on an inspection result obtained from the inspection unit,
The control unit controls the carry-in / out unit and holds the sample in the inspection unit by holding the sample in which the inspection result obtained from the inspection unit is defective and satisfying the re-inspection condition in the transport unit. A sample inspection apparatus characterized by further inspecting. 前記再検査条件が、前記検査部による前記サンプルの検査回数が所定回数よりも少ないこと、であることを特徴とする請求項１に記載のサンプル検査装置。   The sample inspection apparatus according to claim 1, wherein the re-inspection condition is that the number of inspections of the sample by the inspection unit is less than a predetermined number. 前記検査部は、前記サンプルに対して複数の項目の検査を行うものであり、
前記再検査条件が、前記検査部から得られる検査結果において所定の項目が不良であること、であることを特徴とする請求項１または２に記載のサンプル検査装置。 The inspection unit is to inspect a plurality of items for the sample,
The sample inspection apparatus according to claim 1, wherein the re-inspection condition is that a predetermined item is defective in the inspection result obtained from the inspection unit. 前記制御部は、前記搬入出部を制御して、前記搬送部に留める前記サンプルを載置し直すことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のサンプル検査装置。   The sample inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the control unit controls the carry-in / out unit to remount the sample to be fastened to the transport unit. 前記搬送部は、回転するステージを備え、
前記搬入出部は、前記ステージ上に前記サンプルを載置することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のサンプル検査装置。 The transport unit includes a rotating stage,
The sample inspection apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the carry-in / out unit places the sample on the stage. 載置されたサンプルを循環的に搬送する搬送部に対して、前記サンプルを搬入して載置する搬入工程と、
前記搬送部によって搬送される前記サンプルを検査する検査工程と、
前記検査工程で検査されたサンプルを前記搬送部から搬出する搬出工程と、を備え、
前記搬出工程で、前記検査工程で得られる検査結果が不良でありかつ再検査条件を満たす前記サンプルについては、前記搬送部に留め、さらに前記検査工程を行うことを特徴とするサンプル検査方法。 A carrying-in step of carrying in and placing the sample on the carrying unit that carries the sample placed cyclically,
An inspection process for inspecting the sample conveyed by the conveyance unit;
An unloading step of unloading the sample inspected in the inspection step from the transport unit,
A sample inspection method characterized in that, in the unloading step, the sample obtained in the inspection step is defective and satisfies the re-inspection condition, the sample being held in the transport section and further performing the inspection step.
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