JP2013234938A - 磁気センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1素子11は、Y方向に延出しX方向に間隔を空けて配列された複数本の第1延出部11aが接続されてなるミアンダ状素子である。第2素子12は、X方向に延出しY方向に間隔を空けて配列された複数本の第2延出部12aが接続されてなるミアンダ状素子である。第1素子11及び第2素子12の少なくとも一方が、磁気抵抗効果を発揮する磁気抵抗効果素子である。導体部14が、間隔を挟んで対向する第1延出部11a間あるいは第2延出部12a間に接続されている。導体部14は、X方向に延びる第1の辺14a及び、Y方向に延びる第2の辺14bを有する正方形である。第1の辺の長さ寸法L1は、間隔T1よりも大きく、第2の辺の長さ寸法L2は、間隔T2よりも大きい。
【選択図】図1
Description
平面内の所定方向に延出し前記所定方向に対する直交方向に間隔を空けて配列された複数本の延出部が端部間で電気的に接続されてなるミアンダ状素子と、前記間隔を挟んで対向する前記延出部間を電気的に接続する抵抗調整用の導体部と、を有し、
前記ミアンダ状素子は、第1素子と第2素子とを有し、
前記第1素子を構成する前記延出部は、前記平面内の第1の方向に延出し前記第1の方向に対する直交方向に第1の間隔を空けて配列されており、
前記第2素子を構成する前記延出部は、前記第1の方向とは異なる前記平面内の第2の方向に延出し前記第2の方向に対する直交方向に第2の間隔を空けて配列されており、
前記第1素子及び前記第2素子の少なくとも一方が、磁性層と非磁性層とが積層されて成る磁気抵抗効果を発揮する磁気抵抗効果素子であり、
前記導体部は、前記第1の方向に対する直交方向に平行な第1の辺及び、前記第2の方向に対する直交方向に平行な第2の辺を有する多角形状であり、前記第1の辺の長さ寸法は、前記第1の間隔よりも大きく、前記第2の辺の長さ寸法は、前記第2の間隔よりも大きいことを特徴とするものである。これにより、延出部の延出方向が異なる第1素子及び第2素子に対して一種類の導体部により抵抗調整を行うことができる。また本発明では、導体部により、延出部間を、延出方向とは直交する方向にて短絡でき、抵抗調整を高精度に行うことができる。
また本発明では、前記第1素子、前記第2素子及び第3素子を備え、前記第3素子を構成する前記延出部は、前記第1の方向及び前記第2の方向とは異なる前記平面内の第3の方向に延出し前記第3の方向に対する直交方向に第3の間隔を空けて配列されており、
前記導体部は、前記第1の辺と、前記第2の辺と、前記第3の方向に対する直交方向に平行な第3の辺を有する多角形状であり、前記第1の辺の長さ寸法は、前記第1の間隔以上であり、前記第2の辺の長さ寸法は、前記第2の間隔以上であり、前記第3の辺の長さ寸法は、前記第3の間隔以上であることが好ましい。これにより、一種類の導体部により、第1素子、第2素子及び第3素子の各延出部間を延出方向に対する直交方向に短絡できる。
上記において、前記導体部は六角形であることが好ましい。
頂点を二つ置きにして引いた各対角線の長さ寸法は、(前記延出部の幅寸法×2+前記間隔の大きさ)以上の寸法で形成されることが好ましい。これにより、より高精度に抵抗調整を行うことができる。
前記第1の延出部、前記第2の延出部及び前記第3の延出部の幅寸法は略同一であり、前記第1の間隔、前記第2の間隔及び前記第3の間隔は略同一であり、
前記導体部は、正六角形であることがより好適である。
図4に示すように、第1の辺40aの長さ寸法L1は、第1の間隔T1よりも大きい寸法で形成される。また、導体部40の頂点を二つ置きにして引いた対角線D1の長さ寸法L4は、(第1延出部21aの幅寸法×2+第1の間隔T1)以上の寸法で形成される。対角線D1の長さ寸法L4は、(第1延出部21aの幅寸法×2+第1の間隔T1)よりも大きい寸法で形成されることが好ましい。また、対角線D1の長さ寸法L4は、(第1延出部21aの幅寸法×2+第1の間隔T1×2)よりも小さい寸法で形成される。あと二本、同じように対角線を引くことができるが、導体部40は正六角形であるため、いずれの対角線も同寸法である。一例であるが、各第1延出部21aの幅寸法を7μm、第1の間隔T1を5μmとし、第1の辺40aの長さ寸法Lを10μm、対角線D1の長さ寸法L4を20μmに設定した。
O1 素子形成面の中心
P,P1、P2 感度軸方向
S1〜S5 磁気センサ
T1 第1の間隔
T2 第2の間隔
T3 第3の間隔
1 基板
3 固定磁性層
4 非磁性材料層
5 フリー磁性層
6 保護層
11、21〜24 第1素子(ミアンダ状素子)
11a、21a 第1延出部
12、25〜28 第2素子(ミアンダ状素子)
12、25a 第2延出部
14、40 導体部
14a、40a 第1の辺
14b、40b 第2の辺
15 絶縁層
29〜31 第3素子
30a 第3延出部
33 素子形成面
40c 第3の辺
Claims (10)
- 平面内の所定方向に延出し前記所定方向に対する直交方向に間隔を空けて配列された複数本の延出部が端部間で電気的に接続されてなるミアンダ状素子と、前記間隔を挟んで対向する前記延出部間を電気的に接続する抵抗調整用の導体部と、を有し、
前記ミアンダ状素子は、第1素子と第2素子とを有し、
前記第1素子を構成する前記延出部は、前記平面内の第1の方向に延出し前記第1の方向に対する直交方向に第1の間隔を空けて配列されており、
前記第2素子を構成する前記延出部は、前記第1の方向とは異なる前記平面内の第2の方向に延出し前記第2の方向に対する直交方向に第2の間隔を空けて配列されており、
前記第1素子及び前記第2素子の少なくとも一方が、磁性層と非磁性層とが積層されて成る磁気抵抗効果を発揮する磁気抵抗効果素子であり、
前記導体部は、前記第1の方向に対する直交方向に平行な第1の辺及び、前記第2の方向に対する直交方向に平行な第2の辺を有する多角形状であり、前記第1の辺の長さ寸法は、前記第1の間隔よりも大きく、前記第2の辺の長さ寸法は、前記第2の間隔よりも大きいことを特徴とする磁気センサ。 - 前記導体部は正多角形である請求項1記載の磁気センサ。
- 前記第1素子、前記第2素子及び第3素子を備え、前記第3素子を構成する前記延出部は、前記第1の方向及び前記第2の方向とは異なる前記平面内の第3の方向に延出し前記第3の方向に対する直交方向に第3の間隔を空けて配列されており、
前記導体部は、前記第1の辺と、前記第2の辺と、前記第3の方向に対する直交方向に平行な第3の辺を有する多角形状であり、前記第1の辺の長さ寸法は、前記第1の間隔以上であり、前記第2の辺の長さ寸法は、前記第2の間隔以上であり、前記第3の辺の長さ寸法は、前記第3の間隔以上である請求項1又は2に磁気センサ。 - 前記導体部は六角形である請求項3記載の磁気センサ。
- 前記第1の延出部、前記第2の延出部及び前記第3の延出部の幅寸法は略同一であり、前記第1の間隔、前記第2の間隔及び前記第3の間隔は略同一であり、
頂点を二つ置きにして引いた各対角線の長さ寸法は、(前記延出部の幅寸法×2+前記間隔の大きさ)以上の寸法で形成される請求項4記載の磁気センサ。 - 前記第1の方向を0°としたとき、前記第2の方向は前記第1の方向に対して120°、前記第3の方向は前記第1の方向に対して240°傾いており、
前記第1の延出部、前記第2の延出部及び前記第3の延出部の幅寸法は略同一であり、前記第1の間隔、前記第2の間隔及び前記第3の間隔は略同一であり、
前記導体部は、正六角形である請求項4又は5に記載の磁気センサ。 - 前記磁気抵抗効果素子は、前記延出部の延出方向に対して直交する方向に感度軸方向を備える請求項1ないし6のいずれか1項に記載の磁気センサ。
- 前記磁気抵抗効果素子は、セルフピン止め型のGMR素子である請求項7記載の磁気センサ。
- 前記磁気抵抗効果素子は、延出方向が前記感度軸方向と直交する前記延出部を備えたミアンダ部分と、延出方向が前記感度軸方向と平行な前記延出部を備えたミアンダ部分とを有するGMR素子である請求項7又は8に記載の磁気センサ。
- ブリッジ回路にて同じ感度軸方向を備える前記ミアンダ状素子同士が素子形成面の中心を対称点とする点対称で配置されている請求項1ないし9のいずれか1項に記載の磁気センサ。
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