JP2013218761A - 磁気記録媒体用ガラス基板の保持治具、磁気記録媒体用ガラス基板の加工装置、及び、磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体用ガラス基板の保持治具、磁気記録媒体用ガラス基板の加工装置、及び、磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】磁気記録媒体用ガラス基板に接触する保持面が樹脂のコーティング層により形成されており、前記樹脂は圧縮弾性率が2500MPa以上であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の保持治具、磁気記録媒体用ガラス基板の加工装置および、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供する。
【選択図】図1
Description
本実施の形態では、本発明の磁気記録媒体用ガラス基板の保持治具について説明を行う。
[第2の実施形態]
本実施形態では、第1の実施形態で説明した磁気記録媒体用ガラス基板の保持治具で、磁気記録媒体用ガラス基板を保持し、前記磁気記録媒体用ガラス基板の加工を行う磁気記録媒体用ガラス基板の加工装置について説明する。
なお、ガラス基板については保持治具41が回転することにより回転する。また、外周端面または内周端面のいずれかのみを研削する場合には、外周端面研削砥石43、内周端面研削用砥石44の対応するいずれか一方のみを設けた構成とすることもできる。
[第3の実施形態]
本実施の形態では、第2の実施形態で説明した磁気記録媒体用ガラス基板の加工装置を用いた加工工程を有する磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法について説明する。
(工程1)ガラス素基板から、中央部に中央開口部(円孔)を有する円盤形状のガラス基板に加工する工程
(工程2)内周端面と外周端面を面取り加工する工程。
(工程3)ガラス基板の端面(内周端面及び外周端面)を研磨する端面研磨工程。
(工程4)前記ガラス基板の主表面を研磨する主表面研磨工程。
(工程5)前記ガラス基板を精密洗浄して乾燥する洗浄工程。
(1)磁気記録媒体用ガラス基板保持治具
本実施例では、図1に示した形状の磁気記録媒体用ガラス基板保持治具を用い、保持面に設けたコーティング層111、121の条件を実験例ごとに変化させた以外は同様にしてガラス基板の端面研削を行い、評価を行った。
(例1)
コーティング層の樹脂としては圧縮弾性率が2500MPaのポリエーテルスルフォン樹脂(PES)を用いており、スプレーコート法により、図1(B)、(C)に示す形状を有するステンレス製のベース材上に、コーティング層の膜厚が22μmになるように成膜した。
(例2)
コーティング層の膜厚を23μmとした以外は例1と同様にしてベース材上にコーティング層を成膜した。
(例3)
コーティング層の膜厚を30μmとした以外は例1と同様にしてベース材上にコーティング層を成膜した。
(例4)
コーティング層の膜厚を45μmとした以外は例1と同様にしてベース材上にコーティング層を成膜した。
(例5)
コーティング層の膜厚を4μmとした以外は例1と同様にしてベース材上にコーティング層を成膜した。
(例6)
コーティング層の樹脂として、圧縮弾性率が350MPaのテトラフルオロエチレン(PFA)を用い、その膜厚を30μmとした以外は例1と同様にベース材上にコーティング層を形成した。
(例7)
コーティング層を設けず、ベース材のまま保持治具とした。
(2)評価方法
端面研削工程後の磁気記録媒体用ガラス基板の端面部、主表面の評価方法、及び、砥石の寿命の評価方法について説明する。
(磁気記録媒体用ガラス基板の端面部の欠陥発生率の評価方法)
端面研削加工(面取り加工)を行った磁気記録媒体用ガラス基板500枚について、洗浄後、端面部分(内周及び外周の端面部分)について目視で、欠陥(欠け)が発生しているガラス基板の枚数を調べた。
(磁気記録媒体用ガラス基板の主表面部のキズ発生率の評価方法)
端面研削加工(面取り加工)を行った磁気記録媒体用ガラス基板4000枚について洗浄後、主表面部分について目視で、5μm以上の深さの傷が発生したガラス基板の枚数を調べ、4000枚中のキズの発生率を算出した。
(砥石の寿命の評価)
同じ砥石を用いて研削できるガラス基板の枚数をカウントした。本実験例では外周端面研削砥石について評価を行った。
同じ砥石で4000枚以上のガラス基板について研削加工できたものについてはA、4000枚未満のものについてはBとして判定した。
(3)実験手順
磁気記録媒体用ガラス基板の端面部の欠陥発生率の評価は、ガラス素基板から、外径66mm、内径19mm、厚さ1.28mmの中央部に円孔を有する円盤形状のガラス基板に加工したものを、図4に示す加工装置により、その内外周端面部について研削加工して実施した。
111、121 樹脂のコーティング層
Claims (7)
- 磁気記録媒体用ガラス基板に接触する保持面が樹脂のコーティング層により形成されており、
前記樹脂は圧縮弾性率が2500MPa以上であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の保持治具。 - 前記樹脂のコーティング層は、厚みが5μm以上30μm以下である、請求項1に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の保持治具。
- 前記樹脂のコーティング層が形成された保持面は平坦度が40μm以下である、請求項1または2に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の保持治具。
- 前記樹脂はポリエーテルスルフォン樹脂、ポリフェニレンスルファイド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂の中から選択される一種以上の樹脂である請求項1乃至3いずれか一項に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の保持治具。
- 請求項1〜4いずれか一項に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の保持治具で、磁気記録媒体用ガラス基板を保持し、前記磁気記録媒体用ガラス基板の加工を行う磁気記録媒体用ガラス基板の加工装置。
- 前記磁気記録媒体用ガラス基板の加工装置は、前記磁気記録媒体用ガラス基板の保持治具の保持面を洗浄する洗浄手段を有する請求項5に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の加工装置。
- 請求項5または6に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の加工装置を用いた加工工程を有する磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法。
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