JP2013217727A - Gyro sensor and electronic apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、複数の構成要素を有し、その構成要素を、構成要素の材料となる材料基板を型抜きして形成するジャイロセンサーにおいて、材料基板の肥大化を低減したジャイロセンサー、及びこれを包含する電子機器に関する。 The present invention relates to a gyro sensor that has a plurality of components and is formed by punching a material substrate that is a material of the components, and a gyro sensor that reduces the enlargement of the material substrate, and The present invention relates to an electronic device.
近年、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ：微小電気機械システム）技術を使用して、小型で高感度のジャイロセンサーを実現する技術が注目されている。 2. Description of the Related Art In recent years, a technique for realizing a small and highly sensitive gyro sensor using a MEMS (Micro Electro Mechanical System) technique has attracted attention.
図１１に従来技術のジャイロセンサーを示す。図１１に示すように従来技術のジャイロセンサー１００は、ベース基板１０２上に枠形状の駆動質量部１０４と、駆動質量部１０４の内側に配置された可動質量部１０６を備えた構成を有している。駆動質量部１０４には駆動部１０８が取り付けられ、駆動質量部１０４の振幅方向がＸ軸方向となるように振動させている。また駆動質量部１０４にはＸ軸方向から挟み込むように駆動バネ１１０が取り付けられ、駆動バネ１１０はベース基板１０２に固定されたアンカー部１１２により支持されている。駆動バネ１１０は、Ｙ軸方向の力に対して一定の剛性を有し、Ｘ軸方向の力に対して可撓性を有している。
FIG. 11 shows a conventional gyro sensor. As shown in FIG. 11, the
可動質量部１０６は、検出バネ１１４によって駆動質量部１０４に接続されている。検出バネ１１４は、Ｘ軸方向の力に対して一定の剛性を有しＹ軸方向の力に対して可撓性を有している。またベース基板１０２において、可動質量部１０６にＹ軸方向から対向する位置に固定電極１１６が配置されている。
The
上記構成において、駆動部１０８により駆動質量部１０４を振動させると可動質量部１０６は、駆動質量部１０４に連動してＸ軸方向に振動するが、可動質量部１０６と固定電極１１６との間の距離は一定に保たれ、可動質量部１０６と固定電極１１６との間の静電容量が一定に保たれる。
In the above configuration, when the
この状態でＺ軸（ベース基板１０２の法線方向）回りの角速度を受けると可動質量部１０６はコリオリ力を受けてＹ軸方向に変位する。これにより可動質量部１０６と固定電極１１６との間の距離が変化する。よって、この距離の変化に伴う、可動質量部１０６と固定電極１１６との間の静電容量の変化をモニターすることによりＺ軸回りの角速度を検知することができる。
In this state, when an angular velocity about the Z axis (normal direction of the base substrate 102) is received, the
ところで、ジャイロセンサー１００の駆動質量部１０４を効率よく振動させるためには、駆動質量部１０４を、駆動質量部１０４、可動質量部１０６、駆動バネ１１０等からなる振動系の固有周期で振動させる必要がある。このため、ジャイロセンサー１００には、駆動質量部１０４の振動を帰還信号として検出するためのモニター電極（特許文献１参照）と、モニター電極に接続され、帰還信号を増幅して駆動部１０８に出力する自励振回路と、が設けられる。この自励振回路は、帰還信号の振幅強度に基づいて駆動部に出力する交流電圧の大きさを制御して、適正な振幅で駆動質量部１０４を振動させることができる。
By the way, in order to efficiently vibrate the
一方、上記ジャイロセンサー１００を低コストで製造するためには、少ない工程で形成する必要がある。特に、ベース基板１０２上の構成要素は、その材料となる導電性のシリコン基板等の材料基板をベース基板１０２に接合し、材料基板を各構成要素の外形に倣って型抜きして形成する必要がある。このとき、モニター電極も形成するとなると、その分、用意すべきシリコン基板の面積が肥大化し、低コスト化の阻害要因となる問題があった。
On the other hand, in order to manufacture the
そこで、本発明は、上記問題点に着目し、複数の構成要素を有し、その構成要素を、構成要素の材料となる材料基板を型抜きして形成するジャイロセンサーにおいて、材料基板の肥大化を低減したジャイロセンサー及び電子機器を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention pays attention to the above-mentioned problems, and in the gyro sensor having a plurality of components, and the components are formed by punching out the material substrate that is the material of the components, the material substrate is enlarged. It is an object of the present invention to provide a gyro sensor and an electronic device with reduced noise.
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
［適用例１］検出部を備え、内側に開口を有した駆動質量部と、前記駆動質量部を第１方向に振動させる駆動部と、前記駆動質量部の変位量をモニターするモニター電極と、を備え、前記モニター電極は、前記駆動質量部の前記開口内に設けられ複数の固定電極指を有する第１の固定櫛歯電極と、前記駆動質量部から前記複数の固定電極指の間隙に向けて延び前記固定電極指と交互に並ぶ複数の可動電極指を備えた第１の可動櫛歯電極と、を備えたことを特徴とするジャイロセンサー。
SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following application examples.
Application Example 1 A drive mass unit including a detection unit and having an opening on the inside, a drive unit that vibrates the drive mass unit in a first direction, a monitor electrode that monitors a displacement amount of the drive mass unit, The monitor electrode is provided in the opening of the drive mass unit, the first fixed comb electrode having a plurality of fixed electrode fingers, and from the drive mass unit toward the gap between the plurality of fixed electrode fingers And a first movable comb electrode having a plurality of movable electrode fingers extending and alternately arranged with the fixed electrode fingers.
上記構成により、第１の固定櫛歯電極と、駆動質量部の一部である第１の可動櫛歯電極と、によりモニター電極を構成することができる。そして、ベース基板上に配置される構成要素を全て一枚の材料基板の型抜きにより形成する場合、モニター電極を、材料基板において駆動質量部の形成領域の内側となる領域に形成することになるので、材料基板の肥大化を抑制し、コストを抑制可能なジャイロセンサーとなる。 With the above configuration, the monitor electrode can be configured by the first fixed comb electrode and the first movable comb electrode that is a part of the drive mass unit. When all the components arranged on the base substrate are formed by punching out one material substrate, the monitor electrode is formed in a region that is inside the drive mass portion formation region in the material substrate. Therefore, it becomes a gyro sensor capable of suppressing the enlargement of the material substrate and suppressing the cost.
［適用例２］前記モニター電極は、前記駆動質量部の外側で且つ前記駆動質量部を挟んで前記第１の固定櫛歯電極に対向する位置に設けられた複数の固定電極指を有する第２の固定櫛歯電極と、前記駆動質量部から前記第２の固定櫛歯電極の前記複数の固定電極指の間隙に向けて延び前記固定電極指と交互に並ぶ複数の可動電極指を備えた第２の可動櫛歯電極を備えたことを特徴とする適用例１に記載のジャイロセンサー。
上記構成により、第１の固定櫛歯電極と第１の可動櫛歯電極との間の静電容量の変化の信号と、第２の固定櫛歯電極と第２の可動櫛歯電極との間の静電容量の変化の信号の差分により帰還信号を生成することができる。このとき静電容量の変化の信号には主振動以外の不要振動成分が含まれ、これが帰還信号の歪成分となるが、上述の差分により歪成分同士を相殺することができる。したがって、帰還信号の歪成分を低減し、効率よく駆動質量部を振動させることができる。
Application Example 2 The monitor electrode includes a plurality of fixed electrode fingers provided outside the drive mass unit and at positions opposed to the first fixed comb electrode across the drive mass unit. A fixed comb electrode, and a plurality of movable electrode fingers extending from the drive mass portion toward the gap between the plurality of fixed electrode fingers of the second fixed comb electrode and alternately arranged with the fixed electrode fingers The gyro sensor according to Application Example 1, which includes two movable comb electrodes.
With the above configuration, the capacitance change signal between the first fixed comb electrode and the first movable comb electrode, and between the second fixed comb electrode and the second movable comb electrode. The feedback signal can be generated by the difference in the signal of the change in the electrostatic capacity. At this time, the capacitance change signal includes an unnecessary vibration component other than the main vibration, which becomes a distortion component of the feedback signal. However, the distortion components can be offset by the above-described difference. Therefore, the distortion component of the feedback signal can be reduced and the drive mass unit can be vibrated efficiently.
［適用例３］前記駆動質量部は、前記第１方向に延びる第１梁部と、前記第１方向に交差する方向に延びる第２梁部と、を含み、前記第１梁部と前記第２梁部に囲まれる前記開口内に前記検出部が配置され、前記モニター電極の前記第１の可動櫛歯電極は前記第２梁部に設けられていることを特徴とする適用例１または２に記載のジャイロセンサー。
上記構成により、適用例１または２のジャイロセンサーを簡易な構成で構築することができる。
Application Example 3 The drive mass unit includes a first beam portion that extends in the first direction and a second beam portion that extends in a direction intersecting the first direction, and the first beam portion and the first beam portion. Application Example 1 or 2, wherein the detection unit is disposed in the opening surrounded by two beam portions, and the first movable comb electrode of the monitor electrode is provided in the second beam portion. The gyro sensor described in 1.
With the above configuration, the gyro sensor of Application Example 1 or 2 can be constructed with a simple configuration.
［適用例４］前記駆動質量部の前記第１梁部は、前記固定櫛歯電極の外形に倣って前記駆動質量部の外側に突出した突出部を備えていることを特徴とする適用例３に記載のジャイロセンサー。
上記構成により、可動櫛歯電極及び固定櫛歯電極の対数を増やすことができるので、可動櫛歯電極と固定櫛歯電極との間の対向面積を増やして帰還信号の歪を低減することができる。
Application Example 4 The application example 3 is characterized in that the first beam portion of the driving mass portion includes a protruding portion that protrudes outside the driving mass portion according to the outer shape of the fixed comb electrode. The gyro sensor described in 1.
With the above configuration, the number of pairs of the movable comb electrode and the fixed comb electrode can be increased, so that the opposing area between the movable comb electrode and the fixed comb electrode can be increased and distortion of the feedback signal can be reduced. .
［適用例５］前記突出部の前記第１方向の両側に接近して配置されたストッパを備え、前記ストッパは、前記駆動質量部と電気的に接続されていることを特徴とする適用例４に記載のジャイロセンサー。
上記構成により、ストッパが、可動櫛歯電極と固定櫛歯電極との衝突を回避することができる。またストッパが、駆動質量部と同電位となるので、駆動質量部とストッパとの間の短絡を回避し、また静電反発力によりストッパに駆動質量部が張り付くことを防止することができる。
Application Example 5 Application Example 4 including a stopper disposed close to both sides of the protruding portion in the first direction, and the stopper is electrically connected to the driving mass unit. The gyro sensor described in 1.
With the above configuration, the stopper can avoid a collision between the movable comb electrode and the fixed comb electrode. Further, since the stopper has the same potential as the driving mass unit, it is possible to avoid a short circuit between the driving mass unit and the stopper, and to prevent the driving mass unit from sticking to the stopper due to electrostatic repulsion.
［適用例６］前記駆動質量部は、前記第１方向に伸縮する駆動バネを介してアンカー部に接続され、前記ストッパは、前記アンカー部と電気的に接続されていることを特徴とする適用例５に記載のジャイロセンサー。
上記構成により、ストッパと突出部が同電位となるので両者の間に電気的な反発力が発生する。これにより、突出部のストッパへの貼り付きを低減することができる。
[Application Example 6] The drive mass portion is connected to the anchor portion via a drive spring extending and contracting in the first direction, and the stopper is electrically connected to the anchor portion. The gyro sensor described in Example 5.
With the above configuration, since the stopper and the protrusion have the same potential, an electric repulsive force is generated between them. Thereby, sticking to the stopper of a protrusion part can be reduced.
［適用例７］前記ストッパ及び前記突出部の互いに対向する側壁同士のうちの少なくともいずれか一方には、突起が設けられていることを特徴とする適用例５または６に記載のジャイロセンサー。
上記構成により、ストッパと突出部の接触面積を低減して、突出部のストッパへの張り付きを低減することができる。
Application Example 7 The gyro sensor according to Application Example 5 or 6, wherein a protrusion is provided on at least one of the opposing side walls of the stopper and the protrusion.
With the above configuration, the contact area between the stopper and the protrusion can be reduced, and sticking of the protrusion to the stopper can be reduced.
［適用例９］適用例１乃至７のいずれか１例に記載のジャイロセンサーを搭載したことを特徴とする電子機器。
適用例１と同様の理由により、材料基板の肥大化を抑制し、コストを抑制可能な電子機器となる。
[Application Example 9] An electronic apparatus including the gyro sensor according to any one of Application Examples 1 to 7.
For the same reason as in Application Example 1, an electronic device that can suppress the enlargement of the material substrate and reduce the cost is obtained.
以下、本発明を図に示した実施形態を用いて詳細に説明する。但し、この実施形態に記載される構成要素、種類、組み合わせ、形状、その相対配置などは特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する主旨ではなく単なる説明例に過ぎない。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to embodiments shown in the drawings. However, the components, types, combinations, shapes, relative arrangements, and the like described in this embodiment are merely illustrative examples and not intended to limit the scope of the present invention only unless otherwise specified. .
図１に、本実施形態のジャイロセンサーの平面図を示す。また、図２に、一点鎖線で囲まれた部分の詳細図、図３に、図２のＡ−Ａ線断面図、図４に、図２のＢ−Ｂ線断面図を示す。図において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は互いに直交するものとする。 FIG. 1 shows a plan view of the gyro sensor of this embodiment. 2 is a detailed view of a portion surrounded by a one-dot chain line, FIG. 3 is a sectional view taken along line AA in FIG. 2, and FIG. 4 is a sectional view taken along line BB in FIG. In the figure, the X axis, the Y axis, and the Z axis are orthogonal to each other.
図１に示すように、本実施形態のジャイロセンサー１０は、Ｘ軸方向（振動方向）に並べられた一対の駆動質量部２６Ａ，２６Ｂと、各駆動質量部を振動させる駆動部（可動電極４４、固定電極４６Ａ，４６Ｂ）と、駆動質量部２６Ａ，２６Ｂに支持された検出部（可動質量部３６Ａ，３６Ｂ）、固定櫛歯電極４８Ａ，４８Ｂなどがベース基板１２上に一体で配置されているものである。この一体物は、材料基板（図７に示す導電性のシリコン基板５２）から型抜きすることにより形成される。
As shown in FIG. 1, the
本実施形態のジャイロセンサー１０を低コストで製造するためには、後述のシリコン基板５２の面積を小さくする必要がある。本実施形態のようなタイプのジャイロセンサー１０では、固定櫛歯電極４８Ａ，４８Ｂと可動櫛歯電極が必要となるが、これらを独立して構成すると、用意するシリコン基板５２（材料基板）の面積が肥大化する。そこで、本実施形態では、可動櫛歯電極を駆動質量部２６Ａ，２６Ｂの一部を構成する部材（第２梁部３０Ａ）として組み込み、固定櫛歯電極４８Ａ，４８Ｂを駆動質量部２６Ａ，２６Ｂの内側に配置することが特徴となっている。これにより、モニター電極（固定櫛歯電極４８Ａ，４８Ｂ）を、シリコン基板５２において駆動質量部２６Ａ，２６Ｂの形成領域の内側となる領域に形成することになるので、シリコン基板５２の肥大化を抑制し、コストを抑制可能なジャイロセンサー１０とすることができる。
In order to manufacture the
本実施形態では、Ｙ軸方向の線（図１中の導電膜２２Ｄ）を中心線としてほぼ線対称な配置となっている。そこで、まず、図１の一点鎖線で囲まれた部分（図２）を用いて、本実施形態の構成について説明する。
In the present embodiment, the Y-axis direction line (
図２等に示すように、駆動質量部２６Ａは、矩形の枠形状を有するものである。駆動質量部２６Ａは、Ｘ軸方向（第１方向）に長手方向を有し、互いに平行となる一対の第１梁部２８と、Ｙ軸方向（第２方向）に長手方向を有し、互いに平行となる第２梁部３０Ａ，３０Ｂと、を備え、第１梁部２８及び第２梁部３０Ａ，３０Ｂに囲まれた内側に開口を有している。また、駆動質量部２６Ａの第１梁部２８の長手方向の延長線上にはアンカー部３２（３２Ａ〜３２Ｄ）が配置されている。駆動質量部２６Ａは、第１梁部２８の長手方向の端部において駆動バネ３４に接続され、駆動バネ３４がアンカー部３２にそれぞれ接続されている。よって、駆動質量部２６Ａは、駆動バネ３４を介してアンカー部３２に電気的に接続されている。駆動バネ３４は、Ｘ軸方向（振動方向）には可撓性を有し（変形しやすく）、Ｙ軸方向（感応軸方向）には一定の剛性を有する（変形しにくい）ように形成されている。
As shown in FIG. 2 and the like, the
固定櫛歯電極４８Ａ（第１の固定櫛歯電極）は、駆動質量部２６Ａの内側においてベース基板１２の周縁側となる第２梁部３０Ａ（ベース基板１２の中央部側の第２梁部３０Ｂでもよい）に対向する位置に配置されており、第２梁部３０Ａの長手方向に沿った長手方向を有している。固定櫛歯電極４８Ａには、その長手方向に一定の間隔で第２梁部３０Ａに向かって延びる（−Ｘ軸方向に延びる）複数の固定電極指４９を有している。固定櫛歯電極４８Ａは、駆動質量部２６Ａや検出部からは切り離され、ベース基板１２に接合している。
The fixed
第２梁部３０Ａの固定櫛歯電極４８Ａに対向する側壁からは、固定櫛歯電極４８Ａに向かって（＋Ｘ軸方向に向かって）可動電極指３１ａが複数延出している。各可動電極指３１ａは、固定電極指４９の間隙に向けて延びて固定電極指４９の間に入り込むように配置されている。固定電極指４９と可動電極指３１ａは、第２梁部３０Ａの長手方向に沿って交互に並ぶように配置される。本実施形態では、駆動質量部２６Ａの一部である第２梁部３０Ａを可動櫛歯電極（第１の可動櫛歯電極）としており、この第２梁部３０Ａと固定櫛歯電極４８Ａによりモニター電極を構築している。
A plurality of
後述のように、駆動質量部２６Ａ（第１の可動櫛歯電極）は、自励振回路（不図示）の入力側に接続されている。駆動質量部２６Ａ（第１の可動櫛歯電極）がＸ軸方向に変位すると、固定電極指４９と可動電極指３１ａとの間のＸ軸方向の距離が変化するので、両者の間の静電容量の大きさが変化する。この静電容量の大きさは、駆動質量部２６Ａや駆動バネ３４等からなる振動系の固有周期と同一の周期で振動する。
As will be described later, the
駆動部は、駆動質量部２６ＡからＹ軸方向に延出した櫛歯状の可動電極４４と、ベース基板１２に接合され、可動電極４４をＸ軸方向から挟み込む櫛歯状の固定電極４６Ａ，４６Ｂと、を有する。可動電極４４からは電極指４４ａが固定電極４６Ａ，４６Ｂに向かってＸ軸方向に延出している。また固定電極４６Ａ，４６Ｂからも電極指４６Ａａ，４６Ｂａが可動電極４４に向かってＸ軸方向に延出している。そして、可動電極４４から延出した電極指４４ａと固定電極４６Ａから延出した電極指４６Ａａ，４６ＢａがＹ軸方向に交互に並ぶように配置されている。また固定電極４６Ａ，４６Ｂは、自励振回路（不図示）の出力側に接続されている。
The drive unit is a comb-like
自励振回路（不図示）は、前述の静電容量の変化を帰還信号として入力し、入力された帰還信号と同一周期の交流電圧を生成して駆動部に出力して、駆動質量部２６Ａを、駆動質量部２６Ａや駆動バネ３４を包含する振動系の固有周期で振動させるものである。また自励振回路（不図示）は、入力された帰還信号の振幅に基づいて交流電圧の大きさを制御して、駆動質量部２６Ａの振動の振幅が適正な範囲となるように制御するものである。なお、自励振回路（不図示）は、交流電圧とともに直流電圧を駆動部に出力して、静電引力により可動電極４４を固定電極４６Ａ，４６Ｂの高さ位置に引きつける。
A self-excited circuit (not shown) inputs the change in capacitance described above as a feedback signal, generates an alternating voltage having the same cycle as the input feedback signal, and outputs the AC voltage to the drive unit. The vibration is performed in the natural period of the vibration system including the
検出部は、可動質量部３６Ａと島状電極４０Ａを有する。可動質量部３６Ａは、駆動質量部２６Ａの内側に配置され、検出バネ４２を介して駆動質量部２６Ａに機械的且つ電気的に接続されている。検出バネ４２は、Ｙ軸方向（感応軸方向）には可撓性を有し、Ｘ軸方向（振動方向）には一定の剛性を有するように形成されている。よって、可動質量部３６Ａは、ベース基板１２上で駆動質量部２６Ａの振動方向に交差（直交）する方向に変位可能となっている。
The detection unit includes a
可動質量部３６Ａは、矩形の枠形状を有し、Ｘ軸方向を長手方向とするスリット３８が、Ｙ軸方向に一定の間隔で並んで複数空けられている。島状電極４０Ａは、可動質量部３６Ａから空間的に分離した部材であり、各スリット３８の内部に配置され、ベース基板１２に接合している。これにより、島状電極４０Ａは、可動質量部３６Ａに対してＹ軸方向から対向した状態で配置される。また検出部は、可動質量部３６Ａと島状電極４０Ａに電気的に接続され、可動質量部３６Ａと島状電極４０Ａとの間の静電容量を検出する検出回路（不図示）を有している。
The
アンカー部３２、固定電極４６Ａ，４６Ｂ、固定櫛歯電極４８Ａは、ベース基板１２に接合されている。一方、駆動バネ３４、駆動質量部２６Ａ、可動電極４４、検出バネ４２、可動質量部３６Ａは、ベース基板１２上に形成された凹部１６上で浮いた状態でアンカー部３２に支持されている。
固定電極４６Ａ，４６Ｂには、自励振回路（不図示）から一定の直流電圧が印加されるとともに、互いに逆位相となる交流電圧が印加される。よって、可動電極４４は、固定電極４６Ａ，４６Ｂの直流電圧の成分によって生じる静電引力により固定電極４６Ａ，４６Ｂの高さ位置に引きつけられ、交流電圧の成分によりＸ軸方向を振幅方向として振動する。
A fixed DC voltage is applied to the fixed
これにより、駆動質量部２６Ａ、可動電極４４、検出バネ４２、可動質量部３６Ａは、Ｘ軸方向を振幅方向として駆動質量部２６Ａや駆動バネ３４を包含する振動系の固有周期で振動し、駆動バネ３４は、Ｘ軸方向にその固有周期で伸縮振動をする。この振動に対して、可動質量部３６Ａと島状電極４０Ａとの間のＹ軸方向の距離は不変であるため、その間の静電容量に変化はない。
As a result, the
上記振動状態において、Ｚ軸回りの角速度が印加されると、可動質量部３６ＡがＹ軸方向に変位するコリオリ力を受け、この力を受けて検出バネ４２がＹ軸方向に伸縮し、可動質量部３６ＡがＹ軸方向に変位する。これにより島状電極４０Ａと可動質量部３６Ａ（スリット３８の＋Ｙ軸側の内壁）との間の距離が変化し、島状電極４０Ａと可動質量部３６Ａとの間の静電容量が変化する。よって、この静電容量の変化を検出回路（不図示）においてモニターすることにより、Ｚ軸回りの角速度の大きさ及び方向を検出することができる。
In the vibration state, when an angular velocity around the Z-axis is applied, the
図１に示すように、図１の右側にある、駆動バネ３４、駆動質量部２６Ｂ、可動電極４４、検出バネ４２、固定櫛歯電極４８Ｂは、それぞれ図１左側のものと同様である。また駆動質量部２６Ｂの第２梁部３０Ａの固定櫛歯電極４８Ｂに対向する側壁からは可動電極指３１ａが延出している。
As shown in FIG. 1, the
可動質量部３６Ｂは、可動質量部３６Ａと同様であり、島状電極４０Ｂは、島状電極４０Ａと同様である。アンカー部３２Ｂ，３２Ｄは、それぞれＸ軸方向から駆動バネ３４に挟まれ、駆動バネ３４を支持している。また図１右側の駆動質量部２６Ｂに隣接する固定電極４６Ａ，４６Ｂは、図１左側の駆動質量部２６Ａに隣接する固定電極４６Ａ，４６Ｂと可動電極４４を中心として左右逆向きに配置されている。
The
ベース基板１２は、ガラス等の絶縁材料により形成されている。ベース基板１２上の、駆動バネ３４、駆動質量部２６Ａ，２６Ｂ、可動電極４４、検出バネ４２、可動質量部３６Ａ，３６Ｂ等に対向する位置には、凹部１６（図５、図６参照）が設けられている。よって、これらの構成要素は、アンカー部３２に支持されるものの、ベース基板１２に干渉せずに、ベース基板１２上でＸ軸方向、Ｙ軸方向に変位することができる。
The
一方、固定電極４６Ａ，４６Ｂ、固定櫛歯電極４８Ａ，４８Ｂは、ベース基板１２上に接合される。凹部１６の島状電極４０Ａ，４０Ｂ、固定櫛歯電極４８Ａ，４８Ｂに対向する位置には、それぞれの平面視の外形に倣った形状の島部２０（図２、図３、図５参照）が配置され、島状電極４０Ａ，４０Ｂ及び固定櫛歯電極４８Ａ，４８Ｂは、それぞれ島部２０上に接合される。
On the other hand, the fixed
また、ベース基板１２上には、互いに異なる駆動部に属する固定電極４６Ａ同士を電気的に接続する接合配線５０Ａ、互いに異なる駆動部に属する固定電極４６Ｂ同士を電気的に接続する接合配線５０Ｂ、アンカー３２Ａ〜３２Ｄを電気的に接続する接合配線５０Ｃ、アンカー３２Ｅ，３２Ｆ同士を電気的に接続する接合配線５０Ｄが配置されている。
Further, on the
ベース基板１２には溝１４（図３、図５参照）が配置され、溝１４は、導電膜２２の接続先となる各種電極・接合配線の下面に対向する位置にまで延出している。溝１４において、導電膜２２の接続先となる各種電極・接合配線に対向する位置には凸部１８が配置されている。また溝１４にはＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）等で形成された導電膜２２（２２Ａ〜２２Ｇ）が配置され、導電膜２２は、溝１４の底部、凸部１８の表面を覆うように配置されている（図３、図６参照）。凸部１８の上面はベース基板１２の表面とほぼ同じ高さとなっている。
A groove 14 (see FIGS. 3 and 5) is disposed in the
よって図３に示すように、導電膜２２は、凸部１８の上面では、ベース基板１２の表面より露出して各種電極・接合配線と接続するが、それ以外の部分はベース基板１２表面より低い位置に配置され、導電膜２２が凸部１８の上面以外で他の構成要素と短絡することはない。
Therefore, as shown in FIG. 3, the
また導電膜２２は、端部において端子２４（２４Ａ〜２４Ｇ）を形成している。端子２４Ａは、導電膜２２Ａを介して固定櫛歯電極４８Ａに電気的に接続されている。端子２４Ｂは、導電膜２２Ｂを介して接合配線５０Ａに電気的に接続されている。また接合配線５０Ａは、固定電極４６Ａを並列に接続している。これにより、端子２４Ｂは、接合配線５０Ａを介して固定電極４６Ａと電気的に接続される。
The
端子２４Ｃは、導電膜２２Ｃを介して島状電極４０Ａと電気的に接続されている。端子２４Ｄは、導電膜２２Ｄを介して接合配線５０Ｃ、アンカー部３２Ｂ、アンカー部３２Ｄと電気的に接続されている。接合配線５０Ｃは、アンカー部３２Ａ及びアンカー部３２Ｃに接続されるとともに、導電膜２２Ｍを介してアンカー部３２Ｅに電気的に接続されている。またアンカー部３２Ｆは、接合配線５０Ｄを介してアンカー部３２Ｅに電気的に接続している。これにより端子２４Ｄは、アンカー部３２Ａ〜３２Ｆと電気的に接続される。
The terminal 24C is electrically connected to the island-shaped
端子２４Ｅは、導電膜２２Ｅを介して島状電極４０Ｂと電気的に接続されている。端子２４Ｆは、導電膜２２Ｆを介して接合配線５０Ｂに電気的に接続されている。接合配線５０Ｂは、導電膜２２Ｌを介して固定電極４６Ｂを並列に接続している。これにより、端子２４Ｆは、固定電極４６Ｂに電気的に接続される。端子２４Ｇは、導電膜２２Ｇを介して固定櫛歯電極４８Ｂに電気的に接続される。
The terminal 24E is electrically connected to the island electrode 40B through the
端子２４Ａ，端子２４Ｇは、自励振回路（不図示）の入力側に接続され、端子２４Ｂ、端子２４Ｆは、自励振回路（不図示）の出力側に接続される。また、端子２４Ｃ、端子２４Ｅは、検出回路（不図示）に接続される。そして、端子２４Ｄは、自励振回路（不図示）の入力側及び検出回路（不図示）に接続される。
The
自励振回路（不図示）により、端子２４Ｂと端子２４Ｄとの間、及び端子２４Ｆと端子２４Ｄとの間に交流電圧を印加する。これにより、可動電極４４が固定電極４６Ａ，４６Ｂから交互に静電引力を受ける。そして、駆動質量部２６Ａ，２６Ｂにおいて、固定電極４６Ａ，４６Ｂの配置が互いに左右逆となっているので、駆動質量部２６Ａ，２６Ｂは、Ｘ軸方向を振幅方向として互いに逆位相で振動する。これにより、駆動質量部２６Ａ，２６Ｂは、ベース基板１２上で左右対称に振動する。このとき、振動に伴う重心の移動はないので、振動もれを抑制することができる。
An alternating voltage is applied between the terminal 24B and the terminal 24D and between the terminal 24F and the terminal 24D by a self-excited circuit (not shown). Thereby, the
上記振動状態において、Ｚ軸回りの角速度を受けると、可動質量部３６Ａ，３６Ｂは、振幅方向（Ｘ軸方向）が互いに反対方向であるので、Ｙ軸方向に互いに反対方向にコリオリ力を受けることになる。またＹ軸に平行な方向の加速度を受けると、可動質量部３６Ａ，３６Ｂは、共にＹ軸方向で同一方向に慣性力（加速度）を受ける。
In the vibration state, when the angular velocity about the Z axis is received, the
よって、可動質量部３６Ａと島状電極４０Ａとの間の静電容量と、可動質量部３６Ｂと島状電極４０Ｂとの間の静電容量との差分を取ると、Ｙ軸に平行な方向の加速度の成分は相殺され、Ｚ軸回りの角速度の成分を足し合わせたものを検出することができる。したがって、Ｚ軸回りの角速度の検出を高感度に行なうことができる。
Therefore, if the difference between the capacitance between the
次に、本実施形態のジャイロセンサー１０の製造工程について説明する。図５乃至図７に、本実施形態のジャイロセンサーの製造工程を示す。図５に示すように、ベース基板１２に、溝１４、凹部１６、凸部１８、島部２０をエッチングにより形成する。凹部１６は、駆動バネ３４、駆動質量部２６Ａ，２６Ｂ、可動電極４４等の外形に倣って形成される。凸部１８は、ベース基板１２の溝１４及び凹部１６を形成する領域において、凸部１８となる部分を残してエッチングを行なうことにより形成される。島部２０もベース基板１２の凹部１６を形成する領域において、島部２０となる部分を残してエッチングすることにより形成される。
Next, the manufacturing process of the
図６に示すように、スパッタ等を用いて、導電膜２２、端子２４を形成する。このとき、ベース基板１２の導電膜２２を形成する位置以外の部分を覆うマスクをベース基板１２上に形成し、導電膜２２を形成後にマスクを除去する。この導電膜２２は、溝１４及び凹部１６の底面のみならず、凸部１８の上面にも形成される。
As shown in FIG. 6, the
図７に示すように、構成要素（アンカー部３２、駆動バネ３４、駆動質量部２６Ａ，２６Ｂ、可動電極４４、固定電極４６Ａ，４６Ｂ、検出バネ４２、可動質量部３６Ａ，３６Ｂ、島状電極４０Ａ，４０Ｂ、固定櫛歯電極４８Ａ，４８Ｂ、接合配線５０Ａ〜５０Ｄ）の材料となる導電性のシリコン基板５２をベース基板１２に配置して、シリコン基板５２をベース基板１２（ガラス基板）に陽極接合により接合する。この接合により、導電膜２２の凸部１８の上面に配置された部分とシリコン基板５２とが接続し、島部２０とシリコン基板５２とが接合する。そして、シリコン基板５２の上述の構成要素となる領域以外の領域をエッチングして型抜きすることにより、本実施形態のジャイロセンサー１０が構築される。
As shown in FIG. 7, the constituent elements (
図８に、第２実施形態のジャイロセンサーの平面図を示す。以下の説明において、第１実施形態の共通の構成要素については同一番号を付し、必要な場合を除いてその説明を省略する。第２実施形態のジャイロセンサー１０Ａでは、駆動質量部２６Ａ，２６Ｂ内に、それぞれモニター電極が２つ形成されている。即ち、駆動質量部２６Ａの第２梁部３０Ｂに対向する位置にも固定櫛歯電極４８Ｃを配置し、第２梁部３０Ｂの固定櫛歯電極４８Ｃに対向する側壁から可動電極指３１ａを延出させている。同様に、駆動質量部２６Ｂの第２梁部３０Ｂに対向する位置にも固定櫛歯電極４８Ｄを配置し、第２梁部３０Ｂの固定櫛歯電極４８Ｄに対向する側壁から可動電極指３１ａを延出させている。
FIG. 8 is a plan view of the gyro sensor according to the second embodiment. In the following description, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted unless necessary. In the
ベース基板１２には、駆動質量部２６Ａ内の固定櫛歯電極４８Ｃに電気的に接続する導電膜２２Ｈ及び端子２４Ｈ（及び溝１４）が配置され、駆動質量部２６Ｂ内の固定櫛歯電極４８Ｄに電気的に接続する導電膜２２Ｉ及び端子２４Ｉ（及び溝１４）が配置されている。そして端子２４Ｈ、端子２４Ｉは、自励振回路（不図示）に接続される。
The
一般的に、モニター電極から得られる帰還信号には、上述の振動系の固有振動に起因した主振動と、固有振動以外の振動に起因した不要振動が含まれる。一方、駆動質量部２６Ａにおいて、第２梁部３０Ａ（可動櫛歯電極）と固定櫛歯電極４８Ａとの間の距離と、第２梁部３０Ｂ（可動櫛歯電極）と固定櫛歯電極４８Ｃとの間の距離は互いに逆位相で変化する。同様に、駆動質量部２６Ｂにおいて、第２梁部３０Ａ（可動櫛歯電極）と固定櫛歯電極４８Ｂとの間の距離と、第２梁部３０Ｂ（可動櫛歯電極）と固定櫛歯電極４８Ｄとの間の距離は互いに逆位相で変化する。
In general, the feedback signal obtained from the monitor electrode includes main vibration caused by the natural vibration of the vibration system and unnecessary vibration caused by vibration other than the natural vibration. On the other hand, in the driving
これにより、第２梁部３０Ａ（可動櫛歯電極）と固定櫛歯電極４８Ａ（４８Ｃ）との間で得られる第１の帰還信号と、第２梁部３０Ｂ（可動櫛歯電極）と固定櫛歯電極４８Ｃ（４８Ｄ）との間で得られる第２の帰還信号とは、主振動の成分が互いに逆相となっている。
Accordingly, the first feedback signal obtained between the
よって自励振回路（不図示）では、第１の帰還信号と、第２の帰還信号との差分を増幅して駆動部に出力している。これにより、主振動の成分が足しあわされるとともに、不要振動の成分同士、即ち歪成分同士が相殺される。したがって、自励振回路（不図示）は、歪の少ない交流電圧を駆動部に印加して効率よく駆動質量部２６Ａ，２６Ｂを振動させることができる。なお自励振回路（不図示）は、上述の差分の演算を駆動質量部２６Ａ側と駆動質量部２６Ｂ側とで独立に行なっている。
Therefore, in the self-excited circuit (not shown), the difference between the first feedback signal and the second feedback signal is amplified and output to the drive unit. As a result, the main vibration components are added together, and unnecessary vibration components, that is, distortion components are canceled out. Therefore, the self-excited circuit (not shown) can efficiently vibrate the
図９に、第３実施形態のジャイロセンサーの平面図を示す。第３実施形態に係るジャイロセンサー１０Ｂでは、第１梁部２８の固定櫛歯電極４８Ａ、４８Ｂに対向する部分が、固定櫛歯電極４８Ａ、４８Ｂの長手方向の両端側の外形に倣って駆動質量部２６Ａ，２６Ｂの外側に突出（屈曲）し、駆動質量部２６Ａ，２６Ｂから第２梁部３０Ａの長手方向に突出した突出部５６が形成されている。
FIG. 9 shows a plan view of the gyro sensor of the third embodiment. In the
第１梁部２８を上述のように突出させることにより、駆動質量部２６Ａ，２６Ｂ内のスペースが増えるので固定櫛歯電極４８Ａ及び可動櫛歯電極の対数を増やすことができる。よって、固定櫛歯電極４８Ａ，４８Ｂと可動櫛歯電極（第２梁部３０Ａ）の対向面積を増やして、両者の間から得られる帰還信号において歪成分を低減することができる。
By projecting the
また駆動質量部２６Ａ，２６Ｂの外側であって、第２梁部３０Ａに対向する位置には、第２の固定櫛歯電極５４が配置されている。一方、第２梁部３０Ａの第２の固定櫛歯電極５４に対向する側壁からは、第２の固定櫛歯電極５４に向かって複数の可動電極指３１ｂが延出している。各可動電極指３１ｂは、第２の固定櫛歯電極５４の固定電極指５４ａの間隙に向かって延びて固定電極指５４ａの間に入り込むように配置されている。可動電極指３１ｂ及び固定電極指５４ａは、第２梁部３０Ａの長手方向に沿って固定電極指５４ａと交互に並ぶように配置される。よって第３実施形態では、第２梁部３０Ａ及び可動電極指３１ａにより第１の可動櫛歯電極が構築され、第２梁部３０Ａ及び可動電極指３１ｂにより第２の可動櫛歯電極を構築されている。
A second
ベース基板１２には、駆動質量部２６Ａ側に配置された第２の固定櫛歯電極５４に接続する導電膜２２Ｊと端子２４Ｊ（及び溝１４）が配置され、駆動質量部２６Ｂ側に配置された第２の固定櫛歯電極５４に接続する導電膜２２Ｋと端子２４Ｋ（及び溝１４）が配置されている。
The
上記構成において、例えば駆動質量部２６Ａの振動により、第２枠部３０Ａ（可動櫛歯電極）と固定櫛歯電極４８Ａとの間の距離と、第２枠部３０Ａ（可動櫛歯電極）と第２の固定櫛歯電極５４との間の距離は互いに逆位相で変化する。これにより、第２枠部３０Ａ（可動櫛歯電極）と固定櫛歯電極４８Ａとの間で得られる第１の帰還信号と、第２枠部３０Ａ（可動櫛歯電極）と第２の固定櫛歯電極５４との間で得られる第２の帰還信号とは、主振動の成分が互いに逆相となっている。
よって、自励振回路（不図示）では、第２実施形態と同様に、第１の帰還信号と、第２の帰還信号との差分を増幅して駆動部に出力して、帰還信号の歪成分同士を相殺している。
In the above configuration, the distance between the
Therefore, in the self-excited circuit (not shown), similarly to the second embodiment, the difference between the first feedback signal and the second feedback signal is amplified and output to the drive unit, and the distortion component of the feedback signal is output. They are offsetting each other.
本実施形態では、第２枠部３０Ａ（可動電極指３１ａ、第１の可動櫛歯電極）と固定櫛歯電極４８Ａ（４８Ｂ）との間で第１のモニター電極を構築し、第２枠部３０Ａ（可動電極指３１ｂ、第２の可動櫛歯電極）と第２の固定櫛歯電極５４との間で第２のモニター電極を構築している。よって、第１のモニター電極と第２のモニター電極では、可動櫛歯電極（第２枠部３０Ａ）を共通に用いているので、第２枠部３０Ａ（可動櫛歯電極）と固定櫛歯電極４８Ａ（４８Ｂ）との間の距離の変化量の絶対値と、第２枠部３０Ａ（可動櫛歯電極）と第２の固定櫛歯電極５４との間の距離の変化量の絶対値がほぼ一致する。したがって、第２実施形態よりも帰還信号の歪成分をより効率よく除去することができる。
In the present embodiment, a first monitor electrode is constructed between the
ところで、固定電極４６Ａ，４６Ｂに印加する交流電圧の大きさは、可動電極４４が固定電極４６Ａ，４６Ｂに接触しない程度の大きさ、または可動櫛歯電極の可動電極指３１ａ（可動電極指３１ｂ）が、固定櫛歯電極４８Ａ，４８Ｂ（第２の固定櫛歯電極５４）に接触しない程度の大きさに調整されている。しかし、外部から衝撃等が加わった場合に、駆動質量部２６Ａ，２６Ｂが大きく変位し、可動電極４４が固定電極４６Ａ，４６Ｂに接触し、或いは可動櫛歯電極の可動電極指３１ａが固定櫛歯電極４８Ａ，４８Ｂに接触し、若しくは可動電極指３１ｂが第２の固定櫛歯電極５４に接触し、これらの電極が破損するおそれがある。
By the way, the magnitude of the AC voltage applied to the fixed
そこで、第３実施形態では、突出部５６を、それぞれＸ軸方向から挟み込むようにストッパ５８（５８Ａ〜５８Ｄ）が設けられている。ストッパ５８と突出部５６との間のＸ軸方向の隙間は、駆動質量部２６Ａ，２６Ｂの振動の振幅より広くする必要があるが、可動電極４４と固定電極４６Ａ，４６Ｂとの間のＸ軸方向の隙間よりも狭く、且つ可動櫛歯電極（第２枠部３０Ａ）と固定櫛歯電極４８Ａ，４８Ｂとの間のＸ軸方向の隙間及び可動櫛歯電極（第２枠部３０Ａ）と第２の固定櫛歯電極５４との間のＸ軸方向の隙間よりも狭くする必要がある。
Therefore, in the third embodiment, stoppers 58 (58A to 58D) are provided so as to sandwich the
また、ストッパ５８Ａ，５８Ｂは、それぞれ接合配線５０Ｃによりアンカー部３２Ａ，３２Ｃに電気的に接続され、ストッパ５８Ｃ，５８Ｄは、それぞれ接合配線５０Ｄによりアンカー部３２Ｅ，３２Ｆに電気的に接続されている。これにより、ストッパ５８は突出部５６と同電位となっている。
The
よって、ストッパ５８と突出部５６との間で短絡を防止するとともに、両者を電気的に互いに反発させて両者の接触を低減して突出部５６のストッパ５８への貼り付きを防止することができる。さらにストッパ５８と突出部５６のＸ軸方向で互い対向する壁面同士のいずれか一方に突起５８ａ（図９中の拡大図）を設けることが好ましい。図９においては、ストッパ５８の壁面に突起５８ａを設けている。これにより、突出部５６とストッパ５８との間の接触面積を低減し、突出部５６のストッパ５８への貼り付きを低減することができる。
Therefore, while preventing a short circuit between the
図１０に、本実施形態の電子部品を搭載した電子機器（携帯端末）の模式図を示す。図１０において、携帯端末６０（ＰＨＳを含む）は、複数の操作ボタン６２、受話口６４及び送話口６６を備え、操作ボタン６２と受話口６４との間には表示部６８が配置されている。最近では、このような携帯端末６０においても手ぶれ補正機能がついたカメラを備えている。そこで、携帯端末６０には、手振れ補正機能に用いる角速度検知のため、本実施形態のジャイロセンサー１０、１０Ａ，１０Ｂが内蔵されている。
In FIG. 10, the schematic diagram of the electronic device (mobile terminal) which mounts the electronic component of this embodiment is shown. In FIG. 10, the portable terminal 60 (including PHS) includes a plurality of
なお、本実施形態のジャイロセンサー１０等を備える電子機器は、上述の携帯端末６０のほかに、多機能携帯電話、デジタルスチルカメラ、パーソナルコンピュータ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、タブレット型パーソナルコンピュータ、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、インクジェット式吐出装置、電子手帳、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば、電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレータ等に適用することができる。
In addition, the electronic device including the
１０………ジャイロセンサー、１２………ベース基板、１４………溝、１６………凹部、１８………凸部、２０………島部、２２，２２Ａ〜２２Ｍ………導電膜、２４，２４Ａ〜２４Ｋ………端子、２６Ａ、２６Ｂ………駆動質量部、２８………第１梁部，３０Ａ，３０Ｂ………第２梁部、３１ａ，３１ｂ………可動電極指、３２，３２Ａ〜３２Ｆ………アンカー部、３４………駆動バネ、３６Ａ，３６Ｂ………可動質量部、３８………スリット、４０Ａ，４０Ｂ………島状電極、４２………検出バネ、４４………可動電極、４４ａ………電極指、４６Ａ，４６Ｂ………固定電極、４６Ａａ，４６Ｂａ………電極指、４８Ａ，４８Ｂ，４８Ｃ，４８Ｄ………固定櫛歯電極、４９………固定電極指、５０Ａ，５０Ｂ，５０Ｃ，５０Ｄ………接合配線、５２………シリコン基板、５４………第２の固定櫛歯電極、５４ａ………固定電極指、５６………突出部、５８，５８Ａ〜５８Ｄ………ストッパ、５８ａ………突起、６０………携帯端末、６２………操作ボタン、６４………受話口、６６………送話口、６８………表示部、１００………ジャイロセンサー、１０２………ベース基板、１０４………駆動質量部、１０６………可動質量部、１０８………駆動部、１１０………駆動バネ、１１２………アンカー部、１１４………検出バネ、１１６………固定電極。
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記駆動質量部を第１方向に振動させる駆動部と、
前記駆動質量部の変位量をモニターするモニター電極と、を備え、
前記モニター電極は、前記駆動質量部の前記開口内に設けられ複数の固定電極指を有する第１の固定櫛歯電極と、前記駆動質量部から前記複数の固定電極指の間隙に向けて延び前記固定電極指と交互に並ぶ複数の可動電極指を備えた第１の可動櫛歯電極と、を備えたことを特徴とするジャイロセンサー。 A driving mass unit including a detection unit and having an opening inside;
A drive unit that vibrates the drive mass unit in a first direction;
A monitor electrode for monitoring the amount of displacement of the drive mass unit,
The monitor electrode is provided in the opening of the driving mass unit and has a first fixed comb electrode having a plurality of fixed electrode fingers, and extends from the driving mass unit toward a gap between the plurality of fixed electrode fingers. A gyro sensor comprising: a first movable comb electrode having a plurality of movable electrode fingers alternately arranged with fixed electrode fingers.
前記駆動質量部から前記第２の固定櫛歯電極の前記複数の固定電極指の間隙に向けて延び前記固定電極指と交互に並ぶ複数の可動電極指を備えた第２の可動櫛歯電極を備えたことを特徴とする請求項１に記載のジャイロセンサー。 The monitor electrode is a second fixed comb electrode having a plurality of fixed electrode fingers provided outside the drive mass unit and at a position facing the first fixed comb electrode across the drive mass unit. When,
A second movable comb electrode having a plurality of movable electrode fingers extending from the drive mass unit toward a gap between the plurality of fixed electrode fingers of the second fixed comb electrode; The gyro sensor according to claim 1, wherein the gyro sensor is provided.
前記第１梁部と前記第２梁部に囲まれる前記開口内に前記検出部が配置され、
前記モニター電極の前記第１の可動櫛歯電極は前記第２梁部に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のジャイロセンサー。 The driving mass unit includes a first beam portion extending in the first direction and a second beam portion extending in a direction intersecting the first direction,
The detection unit is disposed in the opening surrounded by the first beam unit and the second beam unit,
The gyro sensor according to claim 1 or 2, wherein the first movable comb electrode of the monitor electrode is provided on the second beam portion.
前記固定櫛歯電極の外形に倣って前記駆動質量部の外側に突出した突出部を備えていることを特徴とする請求項３に記載のジャイロセンサー。 The first beam portion of the driving mass unit is
4. The gyro sensor according to claim 3, further comprising: a protruding portion that protrudes outside the driving mass portion following the outer shape of the fixed comb electrode.
前記ストッパは、前記駆動質量部と電気的に接続されていることを特徴とする請求項４に記載のジャイロセンサー。 A stopper disposed close to both sides of the protruding portion in the first direction;
The gyro sensor according to claim 4, wherein the stopper is electrically connected to the driving mass unit.
前記第１方向に伸縮する駆動バネを介してアンカー部に接続され、
前記ストッパは、
前記アンカー部と電気的に接続されていることを特徴とする請求項５に記載のジャイロセンサー。 The driving mass unit is
Connected to the anchor portion via a drive spring extending and contracting in the first direction;
The stopper is
The gyro sensor according to claim 5, wherein the gyro sensor is electrically connected to the anchor portion.
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN105277183A (en) * | 2014-06-12 | 2016-01-27 | 精工爱普生株式会社 | Functional element, method of manufacturing functional element, electronic apparatus, and mobile object |
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