JP2013215941A - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 - Google Patents
液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013215941A JP2013215941A JP2012087123A JP2012087123A JP2013215941A JP 2013215941 A JP2013215941 A JP 2013215941A JP 2012087123 A JP2012087123 A JP 2012087123A JP 2012087123 A JP2012087123 A JP 2012087123A JP 2013215941 A JP2013215941 A JP 2013215941A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- piezoelectric elements
- liquid ejecting
- flow path
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【課題】ノズルから噴射される液体の噴射特性を各ノズル間において容易に揃えることができる液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】接着領域の圧電素子34が並んだ方向における中央部分39の断面積が小さく、中央部分39の剛性が高いため、圧電素子34の振動に対する反力が大きくなるのに対し、接着領域の圧電素子34が並んだ方向における両端部分38の断面積は大きく、剛性が低いため、圧電素子34の振動に対する反力が小さくなる。このため、両端部分38に位置する圧電素子34と比較して、中央部分39に位置する圧電素子34の駆動力を、圧力室23側にロスを抑えつつ伝えることが出来る。これにより、圧電素子34が並んだ方向の両端部分38に位置するノズル24から噴射されるインクの飛翔速度に対する、中央部分に位置するノズル24から噴射されるインクの飛翔速度の不足分が補われる。
【選択図】図3
【解決手段】接着領域の圧電素子34が並んだ方向における中央部分39の断面積が小さく、中央部分39の剛性が高いため、圧電素子34の振動に対する反力が大きくなるのに対し、接着領域の圧電素子34が並んだ方向における両端部分38の断面積は大きく、剛性が低いため、圧電素子34の振動に対する反力が小さくなる。このため、両端部分38に位置する圧電素子34と比較して、中央部分39に位置する圧電素子34の駆動力を、圧力室23側にロスを抑えつつ伝えることが出来る。これにより、圧電素子34が並んだ方向の両端部分38に位置するノズル24から噴射されるインクの飛翔速度に対する、中央部分に位置するノズル24から噴射されるインクの飛翔速度の不足分が補われる。
【選択図】図3
Description
本発明は、ノズルに連通する圧力室に圧力変動を与えて、圧力室内の液体をノズルから噴射させる液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関する。
この液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置などの画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド(以下、単に記録ヘッドという)があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。
例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイやFED(面発光ディスプレイ)等の電極を形成する電極形成装置、バイオチップ(生物化学素子)を製造するチップ製造装置に応用されている。
画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではR(Red)、G(Green)、B(Blue)の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレイやFED(面発光ディスプレイ)等の電極を形成する電極形成装置、バイオチップ(生物化学素子)を製造するチップ製造装置に応用されている。
画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを噴射し、ディスプレイ製造装置用の色材噴射ヘッドではR(Red)、G(Green)、B(Blue)の各色材の溶液を噴射する。また、電極形成装置用の電極材噴射ヘッドでは液状の電極材料を噴射し、チップ製造装置用の生体有機物噴射ヘッドでは生体有機物の溶液を噴射する。
例えば、上記記録ヘッドには、複数のノズルを列設して成るノズル列(ノズル群)を有し、圧電素子(圧力発生手段の一種)を駆動することにより圧力室内の液体に圧力変化を与え、この圧力変化を利用して圧力室に連通したノズルから液体を噴射させるように構成されたものがある。
このような従来の記録ヘッドでは、ノズル列において隣接する複数のノズルからインクを同時に噴射する際、上記圧力変動や圧電素子の駆動による振動などが隣り合う圧力室間で相互に影響し合うことにより、1つのノズルから単独でインクを噴射する場合と、隣接する複数のノズルから同時にインクを噴射する場合とで、噴射されるインクの飛翔速度や量(重量・体積)等の噴射特性が変動する所謂クロストークが発生する問題があった。特に、近年では、記録画像の画質向上の要請に対応すべく、ノズルがより高密度で形成される傾向にある。ノズルを高密度に配置した場合、隣接するノズルから同時にインクを噴射した場合にクロストークが生じやすい。
このような従来の記録ヘッドでは、ノズル列において隣接する複数のノズルからインクを同時に噴射する際、上記圧力変動や圧電素子の駆動による振動などが隣り合う圧力室間で相互に影響し合うことにより、1つのノズルから単独でインクを噴射する場合と、隣接する複数のノズルから同時にインクを噴射する場合とで、噴射されるインクの飛翔速度や量(重量・体積)等の噴射特性が変動する所謂クロストークが発生する問題があった。特に、近年では、記録画像の画質向上の要請に対応すべく、ノズルがより高密度で形成される傾向にある。ノズルを高密度に配置した場合、隣接するノズルから同時にインクを噴射した場合にクロストークが生じやすい。
このように隣接する複数のノズルから同時にインクを噴射した場合、その際に発生する振動などが隣り合う圧力室間で相互に影響し合うことにより、ノズル列の中央部に位置するノズルほどインクの飛翔速度が低下し、ノズル列の端部に位置するノズルほどインクの飛翔速度が高くなる傾向となる。このため、これらのノズル列の各ノズルから噴射されたインクを観察すると、略アーチ型を呈した状態で各インクが飛翔する。ここで、飛翔速度が高いインクほど短い時間で記録媒体に着弾し、飛翔速度が遅くなるほど記録媒体に着弾するまでの時間が長くなる。そして、記録ヘッドと記録媒体(着弾対象)とを相対移動させながら印刷を行う構成では、インクの飛翔速度に応じて記録媒体上における各インクの着弾位置が異なる。このため、記録媒体に各インクが着弾して形成されるドット群も平面で見た場合にアーチ状に曲がって並んでしまう。その結果、記録画像等の画質の低下を招く問題があった。
このような問題を防止するため、圧電素子を固定する固定板の当該圧電素子が接着される側の面の一部を削り、固定板と圧電素子との接着面積をノズル列の中央部と端部とで異なるように構成したものがある(例えば、特許文献1参照)。
具体的には、圧電素子と固定板の接着面積について、中央部側は、端部側よりも相対的に小さくされている。このようにすることで、ノズル列の中央部に位置するノズルから噴射されるインクの飛翔速度を高めて、各ノズルから噴射されるインクの飛翔速度を均一にしようと試みている。
具体的には、圧電素子と固定板の接着面積について、中央部側は、端部側よりも相対的に小さくされている。このようにすることで、ノズル列の中央部に位置するノズルから噴射されるインクの飛翔速度を高めて、各ノズルから噴射されるインクの飛翔速度を均一にしようと試みている。
しかしながら、特許文献1に記載の構成では、固定板を加工する手間がかかり、製造工程が複雑になっていた。特に固定板が一般的に金属で形成されているため、加工に長い時間を要していた。
また、固定板の圧電素子を接着する面を狭くした場合において、固定板と圧電素子との接着位置がずれると、圧電素子の駆動による振動が圧力室側に垂直に伝わらない虞があった。すなわち、固定板と圧電素子との相対位置のずれにより固定板と圧電素子との接着面積がさらに小さくなり、圧電素子が固定板に安定して支持されない虞があった。このため、固定板と圧電素子との相対位置のずれを抑制するために高い接着精度が必要となり、製造がより困難になっていた。
また、固定板の圧電素子を接着する面を狭くした場合において、固定板と圧電素子との接着位置がずれると、圧電素子の駆動による振動が圧力室側に垂直に伝わらない虞があった。すなわち、固定板と圧電素子との相対位置のずれにより固定板と圧電素子との接着面積がさらに小さくなり、圧電素子が固定板に安定して支持されない虞があった。このため、固定板と圧電素子との相対位置のずれを抑制するために高い接着精度が必要となり、製造がより困難になっていた。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ノズルから噴射される液体の噴射特性を各ノズル間において容易に揃えることができる液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供することにある。
本発明の液体噴射ヘッドは、上記目的を達成するために提案されたものであり、共通液室から圧力室を経てノズルに連通する一連の液体流路を形成した流路形成基板および当該流路形成基板の一方の表面に接合された振動板を有する流路ユニットと、前記振動板を変形させる圧電素子が並んだ圧電素子群及び当該圧電素子群が支持される固定部材を有する圧電素子ユニットと、当該圧電素子ユニットを収容可能な収容空部を有するケース部材とを備えた液体噴射ヘッドであって、前記圧電素子群が、自由端部を前記固定部材の先端面から外側に突出させた状態で前記固定部材に接合され、前記圧電素子群の前記自由端部が挿通される前記収容空部に臨む前記ケース部材は、前記流路ユニットの前記振動板側に接合され、前記固定部材の前記圧電素子群との接続面以外の一面が、前記ケース部材の表面と接着剤を介して接合され、その接着領域の前記圧電素子が並んだ方向に沿った断面積が、前記圧電素子の並びの中央部分から両端部分に行く程大きくなることを特徴とする。
本発明の液体噴射ヘッドによれば、圧電素子が並んだ方向において、ケース部材と固定部材の接着領域の中央部分の断面積が小さく中央部分の剛性が高いため、圧電素子の振動に対する反力が大きくなるのに対し、接着領域の圧電素子が並んだ方向における両端部分の断面積は大きく剛性が低いため、圧電素子の振動に対する反力が小さくなる。このため、圧電素子のうち圧電素子が並んだ方向における両端部分に位置する圧電素子と比較して、中央部分に位置する圧電素子の駆動力を、圧力室側にロスを抑えつつ伝えることが出来る。これにより、圧電素子が並んだ方向の両端部分に位置するノズルから噴射される液体の飛翔速度に対する、中央部分に位置するノズルから噴射される液体の飛翔速度の不足分が補われる。その結果、ノズル列を構成する各ノズルから噴射される液体の飛翔速度を揃えることができる。また、接着領域の断面積を、圧電素子が並んだ方向に沿って変えるだけでよいため、ノズルから噴射される液体の噴射特性を各ノズル間において容易に揃えることができる液体噴射ヘッドを得ることができる。さらに、固定基板を加工しなくてもケース部材を加工して、接着剤の厚みを変更できるため、ケース部材が一般的に樹脂で作られることから、加工が容易になる。
そして、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。
以下、本発明を実施するための形態を、図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置として、インクジェット式記録装置(以下、プリンター1)を例に挙げて説明する。
図1は、プリンター1の構成を示す概略斜視図である。このプリンター1は、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド2(以下、記録ヘッド2)が取り付けられると共に、内部に液体状のインクを貯留した液体貯留部材の一種であるインクカートリッジ3が着脱可能に取り付けられるキャリッジ4を備えている。このキャリッジ4の後部には、キャリッジ4を記録紙5(記録媒体および着弾対象の一種)の紙幅方向、即ち、主走査方向に往復移動させるキャリッジ移動機構6を備えている。また、記録動作時における記録ヘッド2の下方に、記録ヘッド2と間隔を空けてプラテン7を備えている。このプラテン7上には、プリンター1の後方に備えた搬送機構8によって、記録紙5が主走査方向に直交する副走査方向に搬送される。
キャリッジ4は、主走査方向に架設されたガイドロッド9に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構6の作動により、ガイドロッド9に沿って主走査方向に移動する。キャリッジ4の主走査方向の位置は、位置情報検出手段の一種であるリニアエンコーダー10によって検出され、その検出信号、即ち、エンコーダーパルス(位置情報の一種)をプリンター1の制御部に送信する。
また、キャリッジ4の移動範囲内における記録領域よりも外側の端部領域には、キャリッジ4の走査の基点となるホームポジションが設定されている。実施形態におけるホームポジションには、記録ヘッド2のノズル面(ノズルプレート19:図2参照)を封止するキャッピング部材11と、ノズル面を払拭するためのワイパー部材12とが配置されている。そして、プリンター1は、このホームポジションから反対側の端部へ向けてキャリッジ4が移動する往動時と、反対側の端部からホームポジション側にキャリッジ4が戻る復動時との双方向で記録紙5上に文字や画像等を記録する所謂双方向記録を行う。
図2に、記録ヘッド2の要部断面図を示した。
図2において、記録ヘッド2は、流路ユニット14、圧電素子ユニット15、および、ケース部材としてのヘッドケース16から構成されている。
図2において、記録ヘッド2は、流路ユニット14、圧電素子ユニット15、および、ケース部材としてのヘッドケース16から構成されている。
流路ユニット14は、流路形成基板18の一方の面にノズルプレート19を、流路形成基板18の他方の面に振動板20をそれぞれ接合して構成されている。
圧電素子ユニット15は、圧力室23内のインクに圧力変動を生じさせる圧電素子34をノズル列方向に沿って複数列設した圧電素子群と、該圧電素子群の先端部とは反対側の基端部が固定される固定部材35と、圧電素子34に駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル37(配線部材)と、から構成されている。ここで、圧電素子34が並んだ方向は、ノズル列方向と同じ方向である。
実施形態における圧電素子群は、基材である圧電素子板の先端部を数十μm程度の極めて細い幅に切り分けることで、櫛歯状に形成されている。櫛歯状に切り分けられた各部分が縦方向に伸縮可能な縦振動型の圧電素子34として構成されている。
圧電素子ユニット15は、圧力室23内のインクに圧力変動を生じさせる圧電素子34をノズル列方向に沿って複数列設した圧電素子群と、該圧電素子群の先端部とは反対側の基端部が固定される固定部材35と、圧電素子34に駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル37(配線部材)と、から構成されている。ここで、圧電素子34が並んだ方向は、ノズル列方向と同じ方向である。
実施形態における圧電素子群は、基材である圧電素子板の先端部を数十μm程度の極めて細い幅に切り分けることで、櫛歯状に形成されている。櫛歯状に切り分けられた各部分が縦方向に伸縮可能な縦振動型の圧電素子34として構成されている。
ノズルプレート19は、ドット形成密度に対応したピッチ(例えば180dpi)で複数のノズル24が列状に穿設されたステンレスやシリコーン結晶等の薄いプレートである。実施形態のノズル列は、例えば180個のノズル24によって構成されている。なお、ノズルプレート19の下面(流路形成基板18とは反対側)が本発明におけるノズル面に相当する。
流路ユニット14には、共通液室としてのリザーバー21、インク供給口22、および圧力室23からなる一連の液体流路としてのインク流路が設けられている。リザーバー21は、圧電素子34が並んだ方向に沿って長尺な空部であり、その上部に後述するケース流路31が連通されている。インク供給口22は、各圧力室23とリザーバー21とを連通させる流路幅の狭い狭窄部として形成されている。圧力室23は、ノズル列に直交する方向に沿って長尺な空部であり、圧電素子34が並んだ方向に複数列設されている。そして、この圧力室23には、ノズル24が連通(開口)されている。
振動板20は、支持板26の表面に弾性体膜27を積層した二重構造である。実施形態では、金属板の一種であるステンレス板を支持板26とし、この支持板26の表面に樹脂フィルムを弾性体膜27としてラミネートした複合板材を用いて振動板20が作製されている。この振動板20には、圧力室23の容積を変化させるダイヤフラム部28が設けられている。なお、ダイヤフラム部28における弾性体膜27が本発明における圧力室23の作動面に相当する。
ダイヤフラム部28は、エッチング加工等によって圧力室23に対向する領域の支持板26を部分的に除去することで作製される。即ち、このダイヤフラム部28は、圧電素子34の自由端部(固定部材35に固定される側とは反対側の端部)の先端面が接合される島部30と、この島部30を囲む薄肉弾性部とからなる。つまり、島部30を介して圧電素子34の先端部が圧力室23の作動面に接続されている。
圧電素子34は、フレキシブルケーブル37からの駆動信号により伸縮して圧力室23の容積を膨張または収縮することで、圧力室23内のインクに圧力変動を生じさせ、この圧力変動の制御によりノズル24からインクを噴射させることができる。
圧電素子34は、フレキシブルケーブル37からの駆動信号により伸縮して圧力室23の容積を膨張または収縮することで、圧力室23内のインクに圧力変動を生じさせ、この圧力変動の制御によりノズル24からインクを噴射させることができる。
また、振動板20には、リザーバー21の一部を封止するコンプライアンス部29が設けられている。このコンプライアンス部29は、リザーバー21の開口面に対向する領域の支持板26を、ダイヤフラム部28と同様にエッチング加工等によって除去することにより作製される。これにより、コンプライアンス部29が、リザーバー21に貯留されたインクの圧力変動を吸収するダンパーとして機能する。
ヘッドケース16は、例えば、エポキシ系樹脂により作製された中空箱体状部材であり、流路ユニット14のノズル面とは反対側に接合されている。また、ヘッドケース16の内部には、ケース流路31、および、圧電素子ユニット15を収容する収容空部32が、その高さ方向に貫通して形成されている。ケース流路31は、図1に示したインクカートリッジ3からのインクをリザーバー21に供給するための流路である。
ヘッドケース16が流路ユニット14に接合された状態において、圧力室23に対応して列設された島部30が、収容空部32の下端側(流路ユニット14側)の開口内に位置する。実施形態では、収容空部32は、平面視において圧電素子34が並んだ方向に長尺な長方形状に形成されている。また、収容空部32の内部の圧電素子34が並んだ方向に沿った壁面のうち一側(実施形態では、ケース流路31側)には、後述する固定部材35が接合される段差がヘッドケース16の高さ方向の途中に設けられている。すなわち、図2に示すように、収容空部32の一側面の下側(流路ユニット14側)が、上側(流路ユニット14とは反対側)よりも他側面に向けて突出して、収容空部32内の一側面の壁部の途中にノズル面に平行な部分(段差)が設けられている。この段差の上面が、固定部材35が着座される着座部33となる。
固定部材35は、剛性のあるSUS等からなる板材であり、一側(着座部33とは反対側)の側面に、圧電素子群の自由端部を下面より突出させた状態で当該圧電素子群の基端部が接続されている。すなわち、圧電素子群は、所謂片持ち梁状態で固定部材35に接合されている。また、固定部材35は、圧電素子34が並んだ方向における長さが圧電素子板(圧電素子群)と揃えられるとともに、その厚さが着座部33の幅よりも厚く形成されている。そして、この固定部材35の下面(圧電素子群先端部側の端面)の圧電素子群とは反対側が接着層36を介して着座部33に接着され接着領域を形成している。
実施形態の接着層36として、接着剤(例えば、エポキシ系接着剤やシリコーン系接着剤等)が用いられており、その長さおよび幅が、圧電素子34が並んだ方向に均一に形成されている。
図3は、図2に示すA−A線における部分断面図である。
接着層36による着座部33と固定部材35との剛性は、圧電素子34が並んだ方向における両端部分38よりも中央部分39の方が高くなるように構成されている。
具体的には、図3に示すように、ヘッドケース16における着座部33の形状を、圧電素子34が並んだ方向に対して垂直方向に凸形状とする。これにより着座部33と固定部材35との接着剤による接着層36の厚さが圧電素子34が並んだ方向に中央部分39から両端部分38にかけて厚くなるため、接着領域の圧電素子34が並んだ方向に沿った断面積が両端部分38ほど大きいので、中央部分39の剛性を両端部分38よりも高くすることが出来る。
図3は、図2に示すA−A線における部分断面図である。
接着層36による着座部33と固定部材35との剛性は、圧電素子34が並んだ方向における両端部分38よりも中央部分39の方が高くなるように構成されている。
具体的には、図3に示すように、ヘッドケース16における着座部33の形状を、圧電素子34が並んだ方向に対して垂直方向に凸形状とする。これにより着座部33と固定部材35との接着剤による接着層36の厚さが圧電素子34が並んだ方向に中央部分39から両端部分38にかけて厚くなるため、接着領域の圧電素子34が並んだ方向に沿った断面積が両端部分38ほど大きいので、中央部分39の剛性を両端部分38よりも高くすることが出来る。
このように構成すれば、圧電素子34が並んだ方向において、ヘッドケースと固定部材の接着領域の中央部分39の断面積が小さく、中央部分39の剛性が高いため、圧電素子34の振動に対する反力が大きくなるのに対し、同接着領域の圧電素子34が並んだ方向における両端部分38の断面積は大きく、剛性が低いため、圧電素子34の振動に対する反力が小さくなる。このため、圧電素子34のうち圧電素子34が並んだ方向における両端部分38に位置する圧電素子34と比較して、中央部分39に位置する圧電素子34の駆動力を、圧力室23側にロスを抑えつつ伝えることが出来る。これにより、圧電素子34が並んだ方向の両端部分38に位置するノズル24から噴射されるインクの飛翔速度に対する、中央部分39に位置するノズル24から噴射されるインクの飛翔速度の不足分が補われる。その結果、ノズル列を構成する各ノズル24から噴射されるインクの飛翔速度を揃えることができる。また、接着領域の断面積を、圧電素子34が並んだ方向に沿って変えるだけでよいため、ノズル24から噴射されるインクの噴射特性を各ノズル24間において容易に揃えることができる記録ヘッド2を得ることができる。
ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態では、ヘッドケース16の着座部33を凸形状としたが、固定部材35を凸形状としても良い。
(変形例)
実施形態では、ヘッドケース16に着座部33を設けたが、これには限られない。例えば、図4に示す変形例の記録ヘッド200では、ヘッドケース160と流路ユニット14との間にケース部材としての固定プレート41を挟み、この固定プレート41上に着座部330が形成されている。なお、変形例では、ヘッドケース160と固定プレート41が本発明におけるケース部材に相当する。
実施形態では、ヘッドケース16に着座部33を設けたが、これには限られない。例えば、図4に示す変形例の記録ヘッド200では、ヘッドケース160と流路ユニット14との間にケース部材としての固定プレート41を挟み、この固定プレート41上に着座部330が形成されている。なお、変形例では、ヘッドケース160と固定プレート41が本発明におけるケース部材に相当する。
変形例のヘッドケース160は、固定プレート41の流路ユニット14とは反対側の面に接合されている。このヘッドケース160の内部には、ケース流路310、および、圧電素子ユニット15を収容する上方収容空部42が、その高さ方向に貫通して形成されている。
固定プレート41は、例えば、剛性のあるSUS等により作製された基板であり、流路ユニット14のノズル面とは反対側に接合されている。この固定プレート41の内部には、連通流路44、および、圧電素子34の下端部を収容する下方収容空部43が、その高さ方向に貫通して形成されている。連通流路44は、上端がヘッドケース160のケース流路310と連通され、下端がリザーバー21と連通されている。
下方収容空部43は、ヘッドケース160の上方収容空部42と連通して収容空部320を構成している。この下方収容空部43のノズル列に直交する方向の幅は、ヘッドケース160の上方収容空部42の同方向の幅よりも狭く形成され、他側(圧電素子ユニット15の固定部材35とは反対側)の壁面が、上方収容空部42における同側の壁面と揃えられている。すなわち、下方収容空部43における一側(圧電素子ユニット15の固定部材35側)の壁面は、上方収容空部42における同側の壁面よりも内側に位置し、固定プレート41の上面の一部が上方収容空部42内に露出されている。そして、この露出された部分が着座部330を形成している。この着座部330には、接着層36を介して固定部材35の下面の圧電素子群とは反対側が固定される。
このように、ヘッドケース160の下方に固定プレート41を接続して、この固定プレート41上に着座部330を設けたので、ヘッドケース160に樹脂等の剛性が低い部材を用いたとしても、固定プレート41に剛性の高い部材を用いることで着座部330の剛性を高くすることができる。これにより、着座部330の圧電素子34の振動に対する反力を大きくすることができ、圧電素子34による振動を圧力室23側に効率よく伝えることができる。また、接着層36に設けた接合強度の差によるインクの飛翔速度の差を、より際立たせることができる。さらに、ヘッドケース160を製造が容易な樹脂等で作成することができるため、コストを下げることができる。
そして、本発明は、圧電素子34を用いて液体の噴射制御が可能な液体噴射ヘッドであれば、プリンターに限らず、プロッター、ファクシミリ装置、コピー機等、各種のインクジェット式記録装置や、記録装置以外の液体噴射装置、例えば、ディスプレイ製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等にも適用することができる。そして、ディスプレイ製造装置では、色材噴射ヘッドからR(Red)、G(Green)、B(Blue)の各色材の溶液を噴射する。また、電極製造装置では、電極材噴射ヘッドから液状の電極材料を噴射する。チップ製造装置では、生体有機物噴射ヘッドから生体有機物の溶液を噴射する。
1…プリンター、2…記録ヘッド、3…インクカートリッジ、4…キャリッジ、5…記録紙、6…キャリッジ移動機構、7…プラテン、8…搬送機構、9…ガイドロッド、10…リニアエンコーダー、11…キャッピング部材、12…ワイパー部材、14…流路ユニット、15…圧電素子ユニット、16…ヘッドケース、18…流路形成基板、19…ノズルプレート、20…振動板、21…リザーバー、22…インク供給口、23…圧力室、24…ノズル、26…支持板、27…弾性体膜、28…ダイヤフラム部、29…コンプライアンス部、30…島部、31…ケース流路、32…収容空部、33…着座部、34…圧電素子、35…固定部材、36…接着層、37…フレキシブルケーブル、38…両端部分、39…中央部分、41…固定プレート、42…上方収容空部、43…下方収容空部、44…連通流路、160…ヘッドケース、200…記録ヘッド、310…ケース流路、320…収容空部、330…着座部。
Claims (2)
- 共通液室から圧力室を経てノズルに連通する一連の液体流路を形成した流路形成基板および当該流路形成基板の一方の表面に接合された振動板を有する流路ユニットと、前記振動板を変形させる圧電素子が並んだ圧電素子群及び当該圧電素子群が支持される固定部材を有する圧電素子ユニットと、当該圧電素子ユニットを収容可能な収容空部を有するケース部材とを備えた液体噴射ヘッドであって、
前記圧電素子群が、自由端部を前記固定部材の先端面から外側に突出させた状態で前記固定部材に接合され、
前記圧電素子群の前記自由端部が挿通される前記収容空部に臨む前記ケース部材は、前記流路ユニットの前記振動板側に接合され、
前記固定部材の前記圧電素子群との接続面以外の一面が、前記ケース部材の表面と接着剤を介して接合され、その接着領域の前記圧電素子が並んだ方向に沿った断面積が、前記圧電素子の並びの中央部分から両端部分に行く程大きくなる
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1に記載の液体噴射ヘッドを備えた
ことを特徴とする液体噴射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012087123A JP2013215941A (ja) | 2012-04-06 | 2012-04-06 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012087123A JP2013215941A (ja) | 2012-04-06 | 2012-04-06 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013215941A true JP2013215941A (ja) | 2013-10-24 |
Family
ID=49588681
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012087123A Pending JP2013215941A (ja) | 2012-04-06 | 2012-04-06 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013215941A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020030914A (ja) * | 2018-08-21 | 2020-02-27 | 住友化学株式会社 | 電子デバイスの製造方法 |
-
2012
- 2012-04-06 JP JP2012087123A patent/JP2013215941A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020030914A (ja) * | 2018-08-21 | 2020-02-27 | 住友化学株式会社 | 電子デバイスの製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8632161B2 (en) | Liquid ejection head and image forming apparatus including the liquid ejection head | |
JP5938898B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置 | |
US8425013B2 (en) | Piezoelectric actuator, liquid ejection head, and image forming apparatus | |
JP5948775B2 (ja) | 液体噴射ヘッド | |
JP5923963B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置 | |
EP3339035B1 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
US8388087B2 (en) | Liquid ejecting apparatus and method of controlling same | |
US20120176447A1 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP2007098866A (ja) | マルチヘッドユニット及び液体噴射装置 | |
JP2013169700A (ja) | 液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置 | |
JP2013215941A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP4935994B2 (ja) | 液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 | |
JP5935259B2 (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
US8398313B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP5668479B2 (ja) | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 | |
US8622529B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP2014162083A (ja) | 液体吐出ヘッド、画像形成装置 | |
JP2013129061A (ja) | 液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置 | |
JP6213605B2 (ja) | 液体噴射ヘッド | |
JP2012071498A (ja) | 液体噴射ヘッドユニット | |
JP2010143130A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2013116564A (ja) | 液体噴射ヘッド | |
JP5994234B2 (ja) | 液体噴射装置 | |
JP2012148536A (ja) | 液体噴射ヘッド、および、液体噴射装置 | |
JP2017144645A (ja) | 液体噴射装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150107 |