JP2013211286A - 配線基板、太陽電池モジュール、及び配線基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】低コストで、且つ容易にアルミニウム箔と被接合部材とを接合させることができる配線基板、太陽電池モジュール、及び配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】配線パターンを形成するアルミニウム箔３と、絶縁性接着剤層２、及び絶縁性樹脂層４との間に、これらアルミニウム箔３、絶縁性接着剤層２、及び絶縁性樹脂層４に差し込み可能な複数の微粒子６１を散布した。
【選択図】図３

Description

この発明は、配線基板、太陽電池モジュール、及び配線基板の製造方法に関するものである。

従来から、例えば、基板上に形成される電気回路の配線パターンに、銅、金、銀等の金属が用いられることが知られている。そして近年、これらの金属に代えて、より安価なアルミニウム、又はアルミニウム合金（以下、単に、アルミニウム）の薄膜を代替することが検討されている。
アルミニウム箔は、空気中に放置されると表面が酸化膜で覆われる。この酸化膜が存在すると、アルミニウム箔と、このアルミニウム箔に接合される被接合部材である接着剤や絶縁材料との密着性が悪化してしまう。このため、アルミニウム箔と接着剤や絶縁材料との密着性を向上させるための種々の技術が検討されている。例えば、アルミニウム箔の表面を薬液処理することにより、酸化膜を除去する技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００２−５９２９３号公報

しかしながら、上述の従来技術にあっては、アルミニウム箔の表面を薬液処理した後、水洗、水切り、乾燥等の作業を行う必要があり、酸化膜の除去作業が煩わしく、コストもかかるという課題がある。

そこで、この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、低コストで、且つ容易にアルミニウム箔と被接合部材とを接合させることができる配線基板、太陽電池モジュール、及び配線基板の製造方法を提供するものである。

上記の課題を解決するために、本発明に係る配線基板は、シート状の基材と、この基材の一面上に配線パターンを形成するアルミニウム箔と、このアルミニウム箔に、被接合部材が接合されている配線基板であって、これらアルミニウム箔と被接合部材との間に、両者に差し込み可能な複数の微粒子を散布したことを特徴とする。

本発明に係る配線基板は、前記被接合部材は、絶縁性接着剤、及び絶縁性樹脂の少なくとも何れか一方であることを特徴とする。

本発明に係る配線基板は、前記微粒子は、ニッケル、及び亜鉛の少なくとも何れか一方を主成分とする金属粒子であることを特徴とする。

本発明に係る配線基板は、前記微粒子は、この外接円の直径が前記アルミニウム箔の表面粗さの値、及び被接合部材の表面粗さの値よりも大きくなるように形成されていることを特徴とする。

本発明に係る配線基板は、前記微粒子の硬度を、前記アルミニウム箔の硬度よりも高くなるように設定したことを特徴とする。

本発明に係る太陽電池モジュールは、配線基板と、配線用の接続電極を有し、この接続電極が前記アルミニウム箔に対し、はんだ、及び銀ペーストの少なくとも何れか一方を介して接続されている太陽電池セルとを備えたことを特徴とする。

本発明に係る配線基板の製造方法は、シート状の基材と、この基材の一面上に配線パターンを形成するアルミニウム箔と、このアルミニウム箔に、被接合部材が接合されている配線基板の製造方法であって、前記アルミニウム箔の表面に、このアルミニウム箔に差し込み可能な複数の微粒子を散布する微粒子散布工程と、前記微粒子散布工程後に、前記複数の微粒子を押圧して前記アルミニウム箔に差し込み、このアルミニウム箔に前記微粒子の一部を埋め込む押圧工程と、前記押圧工程後に前記アルミニウム箔の表面に被接合部材を配置し、この被接合部材と前記アルミニウム箔とを接合する接合工程とを有することを特徴とする。

本発明によれば、複数の微粒子がアルミニウム箔と被接合部材とに喰い込み、これらアルミニウム箔と被接合部材との密着性を高めることができる。このため、低コストで、且つ容易にアルミニウム箔と被接合部材とを接合させることができる。

本発明の実施形態における太陽電池モジュールの概略構成を示す模式的な分解断面図である。 本発明の実施形態における配線基板の概略構成を示す模式的な平面図である。 図１のＡ部拡大図である。

（太陽電池モジュール）
次に、この発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明に係る配線基板、及び半導体装置としての太陽電池モジュールの概略構成を示す模式的な分解断面図、図２は、配線基板の概略構成を示す模式的な平面図、図３は、図１のＡ部拡大図である。
図１、図２に示すように、太陽電池モジュール５０は、発電のための光を受光する受光面２０ｂと反対側の裏面２０ｃ側に配線用の接続電極２０ａが複数設けられた太陽電池セル２０と、太陽電池セル２０を配線する配線基板１０と、この配線基板１０、及び太陽電池セル２０上に積層されて太陽電池セル２０を封止する封止材３０と、封止材３０上に積層された透光性基板４０とを備えている。

（太陽電池セル）
太陽電池セル２０は、受光面２０ｂから入射した光を光電変換して発電を行うもので、裏面２０ｃに接続電極２０ａが設けられた、所謂バックコンタクト方式の太陽電池セルであれば、適宜の方式のものを採用することができる。尚、図１は模式図のため、図示を簡略化しているが、接続電極２０ａの個数は、２以上の適宜個数を必要に応じて設けることができる。
また、太陽電池セル２０の平面視形状は、図２に２点鎖線で示すように、例えば平面視矩形状などの適宜形状を採用することができる。また、図１、図２では図示を省略しているが、太陽電池モジュール５０における太陽電池セル２０は、配線基板１０の面方向に沿って複数のものが隙間をあけて隣り合わせに配置されている。

（配線基板）
配線基板１０は、バックシート６、基材１、及び絶縁性接着剤層２が、この順に積層され、絶縁性接着剤層２上にアルミニウム箔３と、アルミニウム箔３を保護する絶縁性樹脂層（ソルダーレジスト層）４が積層されたものである。

バックシート６は、配線基板１０の積層方向における一方の外表面を構成して、配線基板１０の内部、及び太陽電池モジュール５０との内部に、水分や酸素等が侵入することを抑制するためのシート状部材である。このため、バックシート６は、シールド材としてのバリア機能を有している。
バックシート６の材質としては、水分や酸素に対する遮断性に優れた適宜の樹脂材料、アルミニウム箔、又はアルミニウム箔と適宜の樹脂との複合積層フィルムを使用することができる。

基材１は、絶縁性接着剤層２を介してアルミニウム箔３を支持する部材であり、例えば、可撓性を有するシート状部材で構成される。また、基材１は、電気絶縁性に優れる材料からなることが好ましい。例えば、基材１は、樹脂材料を、シート状もしくはフィルム状に形成したものを採用することができる。

基材１の材料としては、例えば、アクリル、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリイミド、ウレタン、エポキシ、メラミン、スチレンなどの樹脂材料、またはこれらを共重合した樹脂材料を用いることが可能である。
また、基材１の材料は、断熱性や弾力性や光学特性の制御のため、必要に応じて、有機フィラー、又は無機フィラー等を混入した材料を用いることも可能である。

さらに、基材１は、上記の樹脂材料を複数積層させた積層フィルムや、上記の樹脂材料の層と、例えばアルミニウム箔等の金属箔とを積層させた複合積層フィルムを採用することも可能である。また、例えば、上記の複合積層フィルムを用いる場合など、基材１が太陽電池モジュール５０の外表面として必要な強度や水分や酸素の遮断性を有している場合には、バックシート６を削除し、基材１がバックシート６の機能を兼ねる構成としてもよい。

絶縁性接着剤層２は、基材１の表面に、アルミニウム箔３を固定するための層状部であり、例えば、硬化性樹脂であるウレタン、アクリル、エポキシ、ポリイミド、オレフィン、又はこれらを共重合した硬化型接着剤を硬化させることで形成されている。硬化型接着剤の種類は特に限定されず、例えば、熱硬化型接着剤、ＵＶ硬化型接着剤などを好適に採用できる。また、絶縁性接着剤層２として段階硬化型でない接着剤層を用いても良い。

アルミニウム箔３は、太陽電池セル２０を配線する配線パターンを形成するもので、太陽電池セル２０の接続電極２０ａの配置に応じて、適宜の平面視形状を備え、絶縁性接着剤層２を介して、基材１に積層され、基材１と一体に接合されている。アルミニウム箔３の材質としては、なるべく良好な電気導電性を確保するために、例えば、１Ｎ３０材などの高純度アルミニウムを使用することが望ましい。

アルミニウム箔３の配線パターンとしては、例えば、図２に示すように、略一定の線幅を有する４つの線状部３ａ_１、３ａ_２、３ａ_３、３ａ_４（以下、線状部３ａ_１〜３ａ_４と記載する場合がある）が櫛歯状をなして配置された櫛歯状部３Ａと、略一定の線幅を有する４つの線状部３ｂ_１、３ｂ_２、３ｂ_３、３ｂ_４（以下、線状部３ｂ_１〜３ｂ_４と記載する場合がある）が櫛歯状をなして配置された櫛歯状部３Ｂとを有し、これら櫛歯状部３Ａ、３Ｂが、互いの線状部間の隙間に貫入するとともに互いに離間して近接配置されたパターンの例を挙げることができる。

この例の場合、櫛歯状部３Ａ、３Ｂはそれぞれ発電出力のプラス電極配線、マイナス電極配線に対応している。また、櫛歯状部３Ａ、３Ｂの上方（太陽電池セル２０側）には、図２の二点鎖線で示すように、櫛歯状部３Ａ、３Ｂを上方から覆う位置に太陽電池セル２０が配置される。このような接続位置において、太陽電池セル２０には、各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４の上方に、それぞれ３個ずつ、合計２４個の接続電極２０ａ（図２の二点鎖線参照）が設けられている。
尚、図２に示すアルミニウム箔３のパターンの形状、及び太陽電池セル２０の接続電極２０ａの個数、配置は、一例であってこれに限定されるものではない。

また、絶縁性樹脂層４は、絶縁性接着剤層２上のアルミニウム箔３が形成されている箇所を除く全体、及びアルミニウム箔３の各パターンにおける各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４の側縁を被覆するように形成されている。これにより、アルミニウム箔３が保護される。絶縁性樹脂層４は、例えば、スクリーン印刷法、フォトリソグラフィー法等の公知の方法で絶縁性樹脂を塗布することで形成される。

ここで、図３に示すように、絶縁性接着剤層２とアルミニウム箔３の各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４との間、及び各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４と絶縁性樹脂層４との間には、それぞれ複数の微粒子６１が散布されている。そして、複数の微粒子６１は、絶縁性接着剤層２、アルミニウム箔３、及び絶縁性樹脂層４に喰い込んだ状態でそれぞれに埋め込まれている。

微粒子６１は、ニッケル（Ｎｉ）、及び亜鉛（Ｚｎ）の少なくとも何れか一方を主成分とする金属粒子であって、絶縁性接着剤層２、アルミニウム箔３、及び絶縁性樹脂層４に差し込み可能なように複数の突起を有する形状になっている。尚、ニッケル、及び亜鉛は、アルミニウムとの電気陰性度が近く、物理的にアルミニウム箔３に喰い込ませたとしても比較的長期信頼性が良好である。

また、微粒子６１の硬度は、絶縁性接着剤層２、アルミニウム箔３、及び絶縁性樹脂層４の何れの硬度よりも高く設定されている。尚、アルミニウム（Ａｌ）の硬度は接着剤や樹脂の硬度よりも高いので、絶縁性接着剤層２、アルミニウム箔３、及び絶縁性樹脂層４の何れの硬度よりも高いとは、すなわち、アルミニウム箔３の硬度よりも高いということであることはいうまでもない。

さらに、微粒子６１は、この外接円Ｓ１（図３における二点鎖線参照）の直径Ｅ１がアルミニウム箔３の表面粗さの値よりも大きくなるように形成されている。より望ましくは、直径Ｅ１がアルミニウム箔３の表面粗さの値よりも大きくなるように、且つ絶縁性接着剤層２や絶縁性樹脂層４の膜厚よりも小さくなるように微粒子６１を形成するとよい。例えば、微粒子６１の外接円Ｓ１の直径Ｅ１は、１〜２０μｍ程度に設定される。

図１、図２に戻り、アルミニウム箔３の各パターンの各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４上には、接続電極２０ａに対向可能な位置に導電接続材７が配置され、この導電接続材７を介してアルミニウム箔３と太陽電池セル２０の接続電極２０ａとが接続されるようになっている。
導電接続材７としては、アルミニウム箔３と接続電極２０ａとの電気的な接続が可能であれば、特に限定されない。導電接続材７の好ましい例としては、はんだや銀ペーストを挙げることができる。はんだとしては、錫、銀、銅、ビスマス、鉛、フラックス成分等を含有したはんだ、また、アルミ用のはんだを使用する事ができる。

銀ペーストとしては、シリコーン系硬化樹脂、エポキシ系硬化樹脂、ウレタン系硬化樹脂、アクリル系硬化樹脂などに、銀粒子を含有したペーストを使用する事ができる
はんだの溶解方法、および銀ペーストの硬化方法は、それぞれの材料に応じて、周知の手法を用いることができる。例えば、熱風リフロー、ＩＲリフロー、オーブン加熱、ホットプレート加熱、および真空加圧ラミネートなどの手法を用いる事ができる。

封止材３０は、太陽電池セル２０を封止して絶縁できれば、適宜の材質から構成することができる。封止材３０に好適な材質としては、例えば、エチレン・酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）フィルムを挙げることができる。
透光性基板４０は、入射光を太陽電池セル２０の受光面２０ｂに導くと共に、太陽電池モジュール５０において、バックシート６と反対側の外表面を形成する部材である。本実施形態では、ガラスパネルを封止材３０の表面に接着した構成を採用している。

（製造方法）
次に、図１〜図３に基づいて、配線基板１０、及び太陽電池モジュール５０の製造方法について説明する。
図１〜図３に示すように、まず、基材１上に絶縁性接着剤層２を形成し、この絶縁性接着剤層２であって、後に形成されるアルミニウム箔３の各パターンの各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４に対応する位置に、複数の微粒子６１を散布する（微粒子散布工程）。

そして、ラミネート等により複数の微粒子６１を押圧する（押圧工程）。すると、各微粒子６１が絶縁性接着剤層２に差し込まれて喰い込む。このとき、各微粒子６１の一部が喰い込むように押圧し、絶縁性接着剤層２の表面から複数の微粒子６１が突出している状態にする。尚、ラミネート等による押圧力は、例えば約１×１０^５[Ｎ／ｍ^２]以上、望ましくは約１×１０^６[Ｎ／ｍ^２]以上程度に設定されている。約１×１０^５[Ｎ／ｍ^２]は太陽電池モジュールのラミネート最適圧であり、さらに約１×１０^６[Ｎ／ｍ^２]以上に設定することにより微粒子６１を強固に喰い込ませる事ができる。

続いて、絶縁性接着剤層２の上に配線パターンが未形成のアルミニウム箔３をラミネート接着する。このとき、アルミニウム箔３の表面には、大気に触れることにより酸化膜層７１が形成されている。しかしながら、ラミネートの押圧力により、アルミニウム箔３に複数の微粒子６１が喰い込む。これにより、絶縁性接着剤層２とアルミニウム箔３とが密着される。

ここで、微粒子６１の硬度は、アルミニウム箔３の硬度よりも高く設定され、且つ微粒子６１は、この外接円Ｓ１（図３における二点鎖線参照）の直径Ｅ１がアルミニウム箔３の表面粗さの値よりも大きくなるように形成されている。このため、各微粒子６１が酸化膜層７１を確実に突き破り、確実にアルミニウム箔３に微粒子６１が喰い込む。

次に、アルミニウム箔３の表面に、配線パターンに対応するレジストをパターニング形成し、薬液エッチングにより、レジストに被覆されていないアルミニウム箔３をエッチングすることで除去して、アルミニウム箔３の配線パターンを形成する。アルミニウム箔３の膜厚Ｔ１は、例えば、約５０μｍ程度に設定される。その後、配線パターン上のレジストを除去して各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４を形成する。
ここで、薬液エッチングの際、アルミニウムのエッチング液残渣が絶縁性接着剤層２上に残存していた場合、電気マイグレーションの原因となるため、残渣除去の工程を入れることが望ましい。

続いて、形成された配線パターン、つまり、アルミニウム箔３の各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４に、再び複数の微粒子６１を散布する（微粒子散布工程）。
そして、ラミネート等により複数の微粒子６１を押圧する（押圧工程）。すると、各微粒子６１が酸化膜層７１を突き破り、アルミニウム箔３に微粒子６１が喰い込む。このとき、上述の絶縁性接着剤層２の表面に複数の微粒子６１を散布したときと同様に、各微粒子６１の一部が喰い込むように押圧する。そして、アルミニウム箔３の表面から複数の微粒子６１が突出している状態にする。尚、ここでのラミネート等により押圧力も、上述と同様に、例えば約１×１０^５[Ｎ／ｍ^２]以上、望ましくは約１×１０^６[Ｎ／ｍ^２]以上に設定される。

この後、絶縁性接着剤層２上のアルミニウム箔３が形成されている箇所を除く全体、及びアルミニウム箔３の各パターンにおける各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４の側縁を被覆するように絶縁性樹脂層４を形成する。すると、絶縁性樹脂層４に複数の微粒子６１の一部が埋め込まれる（接合工程）。これにより、アルミニウム箔３と絶縁性樹脂層４とが密着される。
このようにして、絶縁性接着剤層２上に、配線パターンを形成するアルミニウム箔３が積層された状態となり、配線基板１０が製造される。

次に、配線基板１０上に導電接続材７を配置する。例えば、導電接続材７がはんだの場合には、アルミニウム箔３上で加熱溶融させるか、又は加熱溶融したはんだを、アルミニウム箔３上に滴下する。
ここで、配線基板１０には、アルミニウム箔３を保護する絶縁性樹脂層４が設けられているが、この絶縁性樹脂層４は、アルミニウム箔３を保護するだけでなく、アルミニウム箔３から導電接続材７が漏れ出てしまうのを防止する防護壁としても機能する。
通常、アルミニウム箔３とはんだは接続困難であるが、アルミニウム箔３上に、ニッケルや亜鉛を主成分とした微粒子６１が存在するため、通常のはんだや銀ペーストでの接続が可能となる。

続いて、導電接続材７が溶解している状態のまま、この導電接続材７上に太陽電池セル２０の裏面の接続電極２０ａを載置し、この後、導電接続材７を冷却する。これにより、アルミニウム箔３の配線パターンと太陽電池セル２０の接続電極２０ａとが導電接続材７を介して導通状態で固定される。
次に、フィルム状の封止材３０、及び透光性基板４０を積層させて、積層ラミネート工程を行うことにより、太陽電池セル２０を封止するとともに、透光性基板４０を接着する。これにより、太陽電池モジュール５０が製造される。

したがって、上述の実施形態では、絶縁性接着剤層２とアルミニウム箔３の各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４との間、及び各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４と絶縁性樹脂層４との間に、それぞれ複数の微粒子６１が散布され、絶縁性接着剤層２、アルミニウム箔３、及び絶縁性樹脂層４に複数の微粒子６１が喰い込んだ状態で埋め込まれているので、絶縁性接着剤層２とアルミニウム箔３、及びアルミニウム箔３と絶縁性樹脂層４との密着性を高めることができる。このため、低コストで、且つ容易にアルミニウム箔３と、絶縁性接着剤層２や絶縁性樹脂層４とを接合させることができる。

また、微粒子６１を、ニッケル、及び亜鉛の少なくとも何れか一方を主成分とする金属粒子とし、その硬度を、アルミニウム箔３の硬度よりも高く設定している。これに加え、微粒子６１は、この外接円Ｓ１（図３における二点鎖線参照）の直径Ｅ１がアルミニウム箔３の表面粗さの値よりも大きくなるように形成されている。このため、各微粒子６１が酸化膜層７１を確実に突き破り、確実にアルミニウム箔３に微粒子６１を喰い込ませることができる。よって、絶縁性接着剤層２とアルミニウム箔３、及びアルミニウム箔３と絶縁性樹脂層４との密着性を確実に高めることができる。

さらに、絶縁性接着剤層２とアルミニウム箔３、及びアルミニウム箔３と絶縁性樹脂層４との密着性を高めるために、アルミニウム箔３を薬液処理する必要がないので、太陽電池モジュール５０の製造コストをさらに低減することができる。

尚、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、上述の実施形態に種々の変更を加えたものを含む。
例えば、上述の実施形態では、予め配線基板１０を製造してから、太陽電池モジュール５０を形成する場合の例で説明したが、配線基板１０単体を製造する必要がない場合には、配線基板１０の製造工程の一部を、太陽電池モジュール５０の他の製造工程と同時に行うようにしてもよい。

また、上述の実施形態では、絶縁性接着剤層２とアルミニウム箔３の各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４との間、及び各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４と絶縁性樹脂層４との間に、それぞれ複数の微粒子６１が散布されている場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４との間、及び各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４と絶縁性樹脂層４との間の少なくとも何れか一方にのみ複数の微粒子６１が散布されていてもよい。さらに、アルミニウム箔３の各線状部３ａ_１〜３ａ_４、３ｂ_１〜３ｂ_４の全体に複数の微粒子６１が散布されている必要はなく、所定箇所に断続的に微粒子６１を散布してもよい。

また、上述の実施形態では、微粒子６１を、ニッケル、及び亜鉛の少なくとも何れか一方を主成分とする金属により形成した場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、微粒子６１は、絶縁性接着剤層２、アルミニウム箔３、及び絶縁性樹脂層４に差し込み可能な形状であれば、さまざまな材料を適用することが可能である。
例えば、微粒子６１をアルミニウムにより形成した場合であっても、アルミニウム箔３上に複数の微粒子６１を散布することにより、アルミニウム箔３の表面が粗くなるので、このアルミニウム箔３と、絶縁性接着剤層２や絶縁性樹脂層４との密着性を高めることが可能である。

１ 基材
２ 絶縁性接着剤層（絶縁性接着剤）
３ アルミニウム箔
４ 絶縁性樹脂層（絶縁性樹脂）
７ 導電接続材
１０ 配線基板
２０ 太陽電池セル
２０ａ 接続電極
５０ 太陽電池モジュール
６１ 微粒子

Claims (7)

1. シート状の基材と、
   この基材の一面上に配線パターンを形成するアルミニウム箔と、
   このアルミニウム箔に、被接合部材が接合されている配線基板であって、
   これらアルミニウム箔と被接合部材との間に、両者に差し込み可能な複数の微粒子を散布したことを特徴とする配線基板。
2. 前記被接合部材は、絶縁性接着剤、及び絶縁性樹脂の少なくとも何れか一方であることを特徴とする請求項１に記載の配線基板。
3. 前記微粒子は、ニッケル、及び亜鉛の少なくとも何れか一方を主成分とする金属粒子であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の配線基板。
4. 前記微粒子は、この外接円の直径が前記アルミニウム箔の表面粗さの値、及び被接合部材の表面粗さの値よりも大きくなるように形成されていることを特徴とする請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の配線基板。
5. 前記微粒子の硬度を、前記アルミニウム箔の硬度よりも高くなるように設定したことを特徴とする請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の配線基板。
6. 請求項１〜請求項５の何れか１項に記載の配線基板と、
   配線用の接続電極を有し、この接続電極が前記アルミニウム箔に対し、はんだ、及び銀ペーストの少なくとも何れか一方を介して接続されている太陽電池セルとを備えたことを特徴とする太陽電池モジュール。
7. シート状の基材と、
   この基材の一面上に配線パターンを形成するアルミニウム箔と、
   このアルミニウム箔に、被接合部材が接合されている配線基板の製造方法であって、
   前記アルミニウム箔の表面に、このアルミニウム箔に差し込み可能な複数の微粒子を散布する微粒子散布工程と、
   前記微粒子散布工程後に、前記複数の微粒子を押圧して前記アルミニウム箔に差し込み、このアルミニウム箔に前記微粒子の一部を埋め込む押圧工程と、
   前記押圧工程後に前記アルミニウム箔の表面に被接合部材を配置し、この被接合部材と前記アルミニウム箔とを接合する接合工程とを有することを特徴とする配線基板の製造方法。

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