JP2013200288A - Extraneous matter detection method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、被検査物の表面に残留した付着物を検出する付着物検出方法に関する。 The present invention relates to a deposit detection method for detecting deposits remaining on the surface of an object to be inspected.
例えば塗装やシール材等を機器（被検査物）の表面に密着施工する際、当該機器の表面に切削油等の油分やテープ粘着剤等の樹脂が残留していると、施工した塗装やシール材等が機器の表面から剥離し易くなる場合がある。
このような油分や樹脂等の付着物は、微量が残留しても剥離の原因となり得るが、当該残留を目視で確認することは困難である。
For example, when coating or sealing material is applied to the surface of the device (inspected object), if the oil such as cutting oil or resin such as tape adhesive remains on the surface of the device, the applied coating or seal In some cases, the material or the like is easily peeled off from the surface of the device.
Such deposits such as oil and resin can cause peeling even if a minute amount remains, but it is difficult to visually confirm the residue.
ここで、例えば特許文献１には、金属材料表面の塗油量測定方法が開示されている。この方法によれば、金属材行表面に塗油された油が特定の励起光の波長により蛍光を発することを利用して、塗油量を測定している。即ち、蛍光の強度と塗油量との間には比例関係が存在するため、蛍光の強度を検出することで塗油量の値を取得することができる。 Here, for example, Patent Document 1 discloses a method for measuring the amount of oil applied to the surface of a metal material. According to this method, the amount of oil applied is measured by utilizing the fact that the oil applied to the surface of the metal material row emits fluorescence due to the wavelength of the specific excitation light. That is, since there is a proportional relationship between the fluorescence intensity and the oil coating amount, the value of the oil coating amount can be acquired by detecting the fluorescence intensity.
またこの他、特許文献２には、蒸気化された特定の化学物質中に指紋が付着した検体を曝すことで、指紋像を形成する方法が開示されている。即ち、この方法によれば、検体中の指紋に化学物質が付着することで指紋像を検出することとしている。 In addition, Patent Document 2 discloses a method for forming a fingerprint image by exposing a specimen to which a fingerprint is attached in a specific vaporized chemical substance. That is, according to this method, a fingerprint image is detected by attaching a chemical substance to a fingerprint in a specimen.
ところで、機器の表面に残留する油分や樹脂の全てが、特定の励起光を受光することにより蛍光を発するとは限らない。したがって、特許文献１に記載の塗油量測定方法を応用して機器表面の残留物を検出しようとしても汎用性がなく、即ち、油分や樹脂の種類によってはこれらを検出することができないという欠点がある。 By the way, not all the oil and resin remaining on the surface of the device emit fluorescence by receiving specific excitation light. Therefore, the application of the method for measuring the amount of oil described in Patent Document 1 is not versatile even if it tries to detect residues on the surface of the equipment, that is, it cannot be detected depending on the type of oil or resin. There is.
一方、特許文献２に記載の技術のように、化学物質を油分や樹脂に付着させることでこれら油分や樹脂を視覚化することも考えられる。ところが、機器の表面に余分な化学物質が残存してしまえば、その後の塗装等の工程の妨げとなり好ましくない。即ち、当該化学物質の存在により、機器表面からの塗料の剥離が生じてしまうおそれがある。 On the other hand, it is also conceivable to visualize the oil and resin by attaching a chemical substance to the oil and resin as in the technique described in Patent Document 2. However, if an excess chemical substance remains on the surface of the device, it is not preferable because it hinders subsequent processes such as painting. That is, the presence of the chemical substance may cause the paint to peel off from the device surface.
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであって、後工程に影響を与えることなく油分や樹脂等の残留した付着物を確実に検出することができる付着物検出方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a deposit detection method capable of reliably detecting remaining deposits such as oil and resin without affecting a subsequent process. And
上記課題を解決するため、本発明は以下の手段を提供している。
即ち、本発明に係る付着物検出方法は、被検査物の表面に付着した付着物を検出する付着物検出方法であって、前記被検査物の表面に、昇華性を有する粉粒物を供給する供給工程と、該供給工程の後に、前記被検査物の表面から前記粉粒物を除去する除去工程と、該除去工程の後に、前記付着物に付着することにより残留した前記粉粒物の残留領域を検出する検出工程と、該検出工程の後に、前記残留領域の前記粉粒物を昇華させる昇華工程とを備えることを特徴とする。
In order to solve the above problems, the present invention provides the following means.
That is, the deposit detection method according to the present invention is a deposit detection method for detecting deposits attached to the surface of an object to be inspected, and supplies the particles having sublimation properties to the surface of the object to be inspected. A supply step, a removal step of removing the particulate matter from the surface of the object to be inspected after the supply step, and a step of removing the particulate matter remaining after adhering to the attachment after the removal step. It is characterized by comprising a detection step of detecting a residual region, and a sublimation step of sublimating the powder particles in the residual region after the detection step.
このような特徴の付着物検出方法によれば、粉粒物を被検査物の表面に供給した後、
粉粒物を被検査物の表面から除去すると、該表面のうち付着物が付着した部分にのみ粉粒物が残留する。次いで、被検査物の表面における粉粒物の残留領域を検出することで、当初からの付着物の付着領域を検出することができる。また、その後、付着物に付着した粉粒物は昇華させられるため、被検査物の表面に粉粒物が残存してしまうことはない。
According to the deposit detection method of such characteristics, after supplying the granular material to the surface of the inspection object,
When the particulate matter is removed from the surface of the object to be inspected, the particulate matter remains only in the portion of the surface where the attached matter is attached. Subsequently, the adhesion area | region of the deposit | attachment from the beginning can be detected by detecting the residual area | region of the granular material in the surface of a to-be-inspected object. Further, after that, the particulate matter adhering to the deposit is sublimated, so that the particulate matter does not remain on the surface of the inspection object.
また、本発明に係る付着物検出方法において、前記粉粒物は、励起光の照射に応じて蛍光を発生する蛍光物質を含み、前記検出工程は、前記励起光の前記粉粒物への照射により該粉粒物から発生する蛍光を検出することで、前記粉粒物の残留領域を検出することが好ましい。 In the attached matter detection method according to the present invention, the particulate matter includes a fluorescent material that generates fluorescence in response to excitation light irradiation, and the detection step includes irradiating the particulate matter with the excitation light. It is preferable to detect the residual region of the particulate matter by detecting fluorescence generated from the particulate matter.
これにより、被検査物の表面における粉粒物の残留領域を確実に検出することができる。よって、目視で残留領域を確認する場合に比べて付着物の検出感度の向上を図ることができる。さらに、被検査物の表面における付着物の位置情報をデータとして取得することができるため、例えば付着物を除去するための自動洗浄システムとの連携性を確保することができる。 Thereby, the residual area | region of the granular material in the surface of a to-be-inspected object can be detected reliably. Therefore, it is possible to improve the detection sensitivity of the adhered matter as compared with the case where the residual region is visually confirmed. Furthermore, since the position information of the deposit on the surface of the object to be inspected can be acquired as data, for example, cooperation with an automatic cleaning system for removing the deposit can be ensured.
さらに、本発明に係る付着物検出方法においては、前記被検査物の表面が、樹脂から形成されていることが好ましい。 Furthermore, in the deposit | attachment detection method which concerns on this invention, it is preferable that the surface of the said to-be-inspected object is formed from resin.
ここで、例えば被検査物の表面が金属から形成されている場合、光電効果等の電気的作用を応用した装置によって被検査物の表面に付着した付着物を容易に検出することができる。これに対して被検査物が樹脂から形成されている場合には、該被検査物の表面において光電効果等の電気的作用が起こりえないため、上記装置を用いることはできない。この点、本発明の付着物検出方法では、上記電気的作用を用いることなく、被検査物の表面の付着物を検出することができるため、該被検査物が樹脂から形成されている場合であっても、付着物を確実に検出することができる。 Here, for example, when the surface of the object to be inspected is made of a metal, it is possible to easily detect the adhered matter adhering to the surface of the object to be inspected by a device that applies an electrical action such as a photoelectric effect. On the other hand, when the object to be inspected is formed of a resin, an electric action such as a photoelectric effect cannot occur on the surface of the object to be inspected, and thus the above apparatus cannot be used. In this regard, in the deposit detection method of the present invention, the deposit on the surface of the inspection object can be detected without using the above-described electrical action, and therefore the inspection object is formed from a resin. Even if it exists, a deposit | attachment can be detected reliably.
本発明の付着物検出方法によれば、付着物に粉粒物を付着させることにより該付着物を検出することができるとともに、検出後は粉粒物を昇華させるため、該粉粒物が残留してしまうことはない。したがって、後工程に影響を与えることなく油分や樹脂等の残留した付着物を確実に検出すること可能となる。 According to the attached matter detection method of the present invention, the attached matter can be detected by attaching the attached particulate matter to the attached matter, and after the detection, the particulate matter is sublimated. There is no end to it. Therefore, it is possible to reliably detect the remaining deposits such as oil and resin without affecting the subsequent process.
以下、本発明の第一実施形態について、図１及び図２を参照して詳細に説明する。
本実施形態の付着物検出方法は、例えば航空機、宇宙機器、原子力機器等の被検査物１０の表面１１に付着することにより残留した切削油等の油分やテープ粘着剤等の樹脂（以下、付着物２０と称する）を検出するために用いられる。図１に示すように、この付着物検出方法は、供給工程Ｓ１、除去工程Ｓ２、検出工程Ｓ３、昇華工程Ｓ４とから構成されている。
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2.
The attached matter detection method of the present embodiment uses, for example, oil such as cutting oil remaining after adhering to the surface 11 of the inspected object 10 such as an aircraft, space equipment, or nuclear equipment, or resin such as tape adhesive (hereinafter referred to as appendix). Used to detect the kimono 20). As shown in FIG. 1, this adhering matter detection method includes a supply step S1, a removal step S2, a detection step S3, and a sublimation step S4.
供給工程Ｓ１では、図２（ａ）に示すように、被検査物１０の表面１１に粉粒物３０を供給する。この粉粒物３０としては、例えばドライアイスやナフタレン等の常温で消化性を有する粉状又は粒状の材料が用いられる。 In supply process S1, as shown to Fig.2 (a), the granular material 30 is supplied to the surface 11 of the to-be-inspected object 10. FIG. As this granular material 30, for example, a powdery or granular material having digestibility at room temperature such as dry ice or naphthalene is used.
このような粉粒物３０は、例えば圧縮空気とともに被検査物１０の表面１１に全域に噴射されることで該被検査物１０の表面１１に供給される。この粉粒物３０の供給によって、被検査物１０の表面１１及び付着物２０に粉粒物３０が付着し、即ち、被検査物１０の表面１１及び付着物２０の全域が粉粒物３０によって覆われる。
なお、粉粒物３０の供給方法としては、例えば作業者が粉粒物３０を自らの手で振り撒いてもよいし、貯留された粉粒物３０に被検査物１０を接触させる方法であってもよい。
Such a granular material 30 is supplied to the surface 11 of the inspection object 10 by being sprayed on the entire surface 11 of the inspection object 10 together with, for example, compressed air. By supplying the granular material 30, the granular material 30 adheres to the surface 11 and the deposit 20 of the inspection object 10, that is, the entire area of the surface 11 and the adhesion 20 of the inspection object 10 is covered by the granular material 30. Covered.
In addition, as a supply method of the granular material 30, for example, an operator may sprinkle the granular material 30 with his / her hand, or the inspection object 10 is brought into contact with the stored granular material 30. May be.
除去工程Ｓ２では、図２（ｂ）に示すように、被検査物１０の表面１１から粉粒物３０を除去する。即ち、この除去工程Ｓ２では、例えば被検査物１０の表面１１及び付着物２０の全域にエアーを吹きかけることによって、被検査物１０の表面１１から粉粒物３０を除去する。 In the removal step S2, as shown in FIG. 2 (b), the particulate matter 30 is removed from the surface 11 of the inspection object 10. That is, in this removal step S2, the particulate matter 30 is removed from the surface 11 of the inspection object 10, for example, by blowing air over the entire surface 11 of the inspection object 10 and the deposit 20.
ここで、供給工程Ｓ１により被検査物１０の表面１１及び付着物２０の全域に供給された粉粒物３０は、付着物２０の接粘着性により、該付着物２０上に付着した状態にある。即ち、粉粒物３０は、被検査物１０よりも付着物２０に対してより強固に付着する。したがって、除去工程Ｓ２によって被検査物１０の表面１１及び付着物２０に対してエアーを吹きかけると、被検査物１０の表面１１上の粉粒物３０のみが該表面１１から除去され、付着物２０上の粉粒物３０は該付着物２０に残留する。 Here, the granular material 30 supplied to the entire surface 11 of the object to be inspected 10 and the deposit 20 by the supplying step S1 is in a state of being adhered on the deposit 20 due to the contact adhesiveness of the deposit 20. . That is, the granular material 30 adheres more firmly to the deposit 20 than to the inspection object 10. Therefore, when air is blown onto the surface 11 and the deposit 20 of the inspection object 10 in the removal step S2, only the powder particles 30 on the surface 11 of the inspection object 10 are removed from the surface 11, and the adhesion 20 The upper granular material 30 remains on the deposit 20.
なお、この除去工程Ｓ２は、例えば被検査物１０に振動を付与したり、被検査物１０の上下を逆さまにする等、被検査物１０に外力を作用させることによって被検査物１０の表面１１から粉粒物３０を除去する手法を採用してもよい。 In this removal step S2, for example, the surface 11 of the inspection object 10 is applied by applying an external force to the inspection object 10 such as applying vibration to the inspection object 10 or turning the inspection object 10 upside down. You may employ | adopt the method of removing the granular material 30 from.
検出工程Ｓ３では、図２（ｃ）に示すように、除去工程Ｓ２の後、付着物２０に付着することにより残留した粉粒物３０の残留領域を検出する。
この検出工程Ｓ３は、例えば付着物２０上に付着した粉粒物３０を目視にて確認することで行われる。即ち、付着物２０上に粉粒物３０が残留することにより、該付着物２０を可視化することができる。これにより、粉粒物３０の残留領域を付着物２０の付着領域として把握することができる。なお、この検出工程Ｓ３は、被検査物１０の表面１１全域を撮像し、当該撮像物に画像解析を施すことによって粉粒物３０の残留領域、即ち、付着物２０の付着領域を検出する工程であってもよい。
In the detection step S3, as shown in FIG. 2 (c), after the removal step S2, a residual region of the powdery product 30 remaining by attaching to the deposit 20 is detected.
This detection process S3 is performed by confirming the granular material 30 adhering on the deposit | attachment 20, for example visually. That is, the deposit 20 can be visualized by the powder 30 remaining on the deposit 20. Thereby, the residual area | region of the granular material 30 can be grasped | ascertained as an adhesion area | region of the deposit | attachment 20. FIG. In addition, this detection process S3 detects the residual area | region of the granular material 30, ie, the adhesion area | region of the deposit | attachment 20, by imaging the surface 11 whole region of the to-be-inspected object 10, and performing image analysis to the said captured object. It may be.
この検出工程Ｓ３の後に、昇華工程Ｓ４が行われる。この昇華工程Ｓ４は、図２（ｄ）に示すように、粉粒物３０を付着物２０上から昇華させる工程である。この昇華工程Ｓ４は、上述したように粉粒物３０が常温で昇華性を有する場合には、全ての粉粒物３０が昇華し切ってしまうまで放置すればよい。また、この他、被検査物１０とともに粉粒物３０を加熱することで該粉粒物３０の昇華を促してもよいし、粉粒物３０にエアーを吹き付けることで該昇華を促してもよい。 Sublimation process S4 is performed after this detection process S3. This sublimation step S4 is a step of sublimating the powdered material 30 from the deposit 20 as shown in FIG. This sublimation process S4 should just be left until all the granular materials 30 have sublimated when the granular material 30 has sublimation property at normal temperature as mentioned above. In addition, the sublimation of the granular material 30 may be promoted by heating the granular material 30 together with the inspection object 10, or the sublimation may be promoted by blowing air to the granular material 30. .
この昇華工程Ｓ４によって、被検査物１０の表面１１の付着物２０に付着していた粉粒物３０を、該付着物２０上から完全に除去することができる。
そして、その後、粉粒物３０により可視化することができた被検査物１０の表面１１における付着物２０を被検査物１０の表面１１から除去し、例えば塗装やシール材等を被検査物１０の表面１１に密着施工を行う。
By this sublimation step S <b> 4, the particulate matter 30 that has adhered to the deposit 20 on the surface 11 of the object to be inspected 10 can be completely removed from the deposit 20.
After that, the deposit 20 on the surface 11 of the inspection object 10 that can be visualized by the granular material 30 is removed from the surface 11 of the inspection object 10, for example, paint or sealing material is removed from the surface of the inspection object 10. Perform close contact with the surface 11.
以上のように、本実施形態の付着物検出方法によれば、粉粒物３０を被検査物１０の表面１１に供給した後、粉粒物３０を被検査物１０の表面１１から除去すると、該表面１１のうち付着物２０が付着した部分にのみ粉粒物３０が残留する。これによって、付着物２０を可視化することができる。そして、被検査物１０の表面１１における粉粒物３０の残留領域を検出することで、被検査物１０の表面１１における付着物２０の付着領域を検出することができる。 As described above, according to the attached matter detection method of the present embodiment, after supplying the granular material 30 to the surface 11 of the inspection object 10 and then removing the granular material 30 from the surface 11 of the inspection object 10, The granular material 30 remains only in a portion of the surface 11 where the deposit 20 is adhered. Thereby, the deposit 20 can be visualized. And the adhesion area | region of the deposit | attachment 20 in the surface 11 of the to-be-inspected object 10 is detectable by detecting the residual area | region of the granular material 30 in the surface 11 of the to-be-inspected object 10. FIG.
また、その後、付着物２０に付着した粉粒物３０は昇華させられるため、被検査物１０の表面１１に粉粒物３０が残存してしまうことはない。
したがって、後工程に影響を与えることなく油分や樹脂等の残留した付着物２０を確実に検出することが可能となる。
Further, after that, the particulate matter 30 attached to the attached matter 20 is sublimated, so that the particulate matter 30 does not remain on the surface 11 of the inspection object 10.
Accordingly, it is possible to reliably detect the remaining deposit 20 such as oil or resin without affecting the subsequent process.
なお、本実施形態の付着物検出方法は、被検査物１０の表面１１が樹脂から形成されている場合、例えば被検査物１０が複合材から形成されている場合に用いることが好適である。
即ち、例えば被検査物１０が金属から形成されている場合、光電効果等の電気的作用を応用した装置によって被検査物１０の表面１１に付着した付着物２０を容易に検出することができる。これに対して被検査物１０が樹脂から形成されている場合には、該被検査物１０の表面１１において光電効果等の電気的作用が起こりえないため、上記装置を用いることはできない。この点、本実施形態の付着物検出方法では、上記電気的作用を用いることなく、被検査物１０の表面１１の付着物２０を検出することができるため、該被検査物１０が樹脂から形成されている場合であっても、付着物２０を確実に検出することができる。
The attached matter detection method of the present embodiment is preferably used when the surface 11 of the inspection object 10 is formed of a resin, for example, when the inspection object 10 is formed of a composite material.
That is, for example, when the object to be inspected 10 is made of metal, the adhering matter 20 attached to the surface 11 of the object to be inspected 10 can be easily detected by a device that applies an electrical action such as a photoelectric effect. On the other hand, when the object to be inspected 10 is made of a resin, an electrical action such as a photoelectric effect cannot occur on the surface 11 of the object to be inspected 10, and thus the above apparatus cannot be used. In this regard, in the attached matter detection method of the present embodiment, the attached matter 20 on the surface 11 of the object to be inspected 10 can be detected without using the above-described electrical action, so that the inspected object 10 is formed from a resin. Even if it is carried out, the deposit | attachment 20 can be detected reliably.
次に第二実施形態の付着物検出方法について図３を参照して説明する。第三実施形態では第二実施形態と同様の工程についてはその説明を省略する。この第二実施形態の付着物検出方法は、粉粒物３０の材料及び検出工程Ｓ３において第一実施形態と相違する。 Next, the attached matter detection method of the second embodiment will be described with reference to FIG. In the third embodiment, description of steps similar to those in the second embodiment is omitted. The adhering matter detection method of the second embodiment differs from the first embodiment in the material of the granular material 30 and the detection step S3.
本実施形態の付着物検出方法に用いられる粉粒物３０は、励起光Ｈ１の照射に応じて蛍光Ｈ２を発生する蛍光物質を含んでいる。この蛍光物質としては、粉粒状をなす例えばナフタレン、ジメチルアミノベンズアルデヒド（ＤＭＡＢ：Ｄｉｍｅｔｈｙｌａｍｉｎｏｂｅｎｚａｌｄｅｈｙｄｅ）、ジメチルアミノシンナムアルデヒド（ＤＭＡＣ：Ｄｉｍｅｔｈｙｌａｍｉｎｏｃｉｎｎａｍａｌｄｅｈｙｄｅ）等が挙げられる。本実施形態では、ナフタレン、ジメチルアミノベンズアルデヒド及びジメチルアミノシンナムアルデヒドのいずれかのみから粉粒物３０を構成してもよいし、例えば粉粒状をなすドライアイス等にこれらナフタレン、ジメチルアミノベンズアルデヒド及びジメチルアミノシンナムアルデヒドを混合させて粉粒物３０を構成してもよい。
なお、ジメチルアミノベンズアルデヒド及びジメチルアミノシンナムアルデヒドも、ドライアイスやナフタレン同様、常温での昇華性を有している。
The granular material 30 used for the adhering matter detection method of this embodiment contains the fluorescent substance which generate | occur | produces fluorescence H2 according to irradiation of the excitation light H1. Examples of the fluorescent substance include powdery naphthalene, dimethylaminobenzaldehyde (DMAB), dimethylaminocinnamaldehyde (DMAC), and the like. In the present embodiment, the granular material 30 may be composed of only one of naphthalene, dimethylaminobenzaldehyde, and dimethylaminocinnamaldehyde. The cinnamaldehyde may be mixed to form the granular material 30.
Note that dimethylaminobenzaldehyde and dimethylaminocinnamaldehyde also have sublimability at room temperature, like dry ice and naphthalene.
このような粉粒物３０は第一実施形態同様、供給工程Ｓ１により被検査物１０の表面１１に供給される。これにより、被検査物１０の表面１１及び付着物２０上に粉粒物３０が付着する。そして、次いで除去工程Ｓ２が行われることで、被検査物１０の表面１１から粉粒物３０が除去され、即ち、被検査物１０の表面１１における付着物２０上に粉粒物３０が残留する。 Such a granular material 30 is supplied to the surface 11 of the inspection object 10 by supply process S1 like 1st embodiment. Thereby, the granular material 30 adheres on the surface 11 and the adhered material 20 of the inspection object 10. Then, the removal step S <b> 2 is then performed, so that the granular material 30 is removed from the surface 11 of the inspection object 10, that is, the granular material 30 remains on the deposit 20 on the surface 11 of the inspection object 10. .
次いで、検出工程Ｓ３を実施する。本実施形態の検出工程Ｓ３では、図３に示すように、励起光Ｈ１を発生する励起用光源４０と、粉粒物３０からの蛍光Ｈ２を検出する蛍光受光部５０とを用いる。
励起用光源４０は、特定の波長の光を含む励起光Ｈ１を照射可能とされており、例えば粉粒物３０がナフタレンを含む場合には、２７０ｎｍの波長の光を含む励起光Ｈ１を照射する。一方、励起用光源４０は、例えば粉粒物３０がジメチルアミノベンズアルデヒドの場合には、３４０ｎｍの光を含む励起光Ｈ１を照射可能とされており、また、粉粒物３０がジメチルアミノシンナムアルデヒドを含む場合は、４００ｎｍの光を含む励起光Ｈ１を照射する。
Next, the detection step S3 is performed. In the detection step S3 of the present embodiment, as shown in FIG. 3, an excitation light source 40 that generates excitation light H1 and a fluorescence light receiving unit 50 that detects fluorescence H2 from the particulate matter 30 are used.
The excitation light source 40 can irradiate the excitation light H1 including light of a specific wavelength. For example, when the granular material 30 includes naphthalene, the excitation light source H1 includes the excitation light H1 including light having a wavelength of 270 nm. . On the other hand, the excitation light source 40 can irradiate the excitation light H1 including light of 340 nm, for example, when the particulate 30 is dimethylaminobenzaldehyde, and the particulate 30 irradiates dimethylaminocinnamaldehyde. If included, the excitation light H1 including 400 nm light is irradiated.
このような励起用光源４０によって被検査物１０の表面１１を照射する場合には、該表面１１及び付着物２０全体を一度に照明する方法であってもよいし、被検査物１０の表面１１及び付着物２０の表面１１に沿って励起用光源４０を順次走査することで該表面１１及び付着物２０全体を順次照明する方法であってもよい。 When irradiating the surface 11 of the inspection object 10 with such an excitation light source 40, a method of illuminating the surface 11 and the entire deposit 20 at a time may be used, or the surface 11 of the inspection object 10 may be used. Alternatively, a method of sequentially illuminating the surface 11 and the entire deposit 20 by sequentially scanning the excitation light source 40 along the surface 11 of the deposit 20 may be used.
付着物２０上に付着した粉粒物３０中の蛍光物質は、励起用光源４０からの励起光Ｈ１を受光することで蛍光Ｈ２を発生する。蛍光受光部５０はこの蛍光Ｈ２を検出する役割を有している。本実施形態の蛍光受光部５０は、分光器５１及び光検出器５２から構成されている。分光器５１は粉粒物３０としての蛍光物質から発生する蛍光Ｈ２を含む光を、波長毎に分光する機能を有している。また、光検出器５２は、分光器５１によって波長毎に分光された光のうちの特定の波長の光、即ち、蛍光物質から発生した蛍光Ｈ２を検出する機能を有している。なお、光検出器５２としては、例えば光電子倍増管、フォトダイオードアレイ、ＣＣＤ等を用いることができる。
このように蛍光受光部５０が粉粒物３０としての蛍光物質からの蛍光Ｈ２を検出することで、当該蛍光物質の残留領域、即ち、付着物２０の付着領域を検出することができる。
The fluorescent substance in the granular material 30 attached on the attached matter 20 generates the fluorescence H2 by receiving the excitation light H1 from the excitation light source 40. The fluorescence light receiving unit 50 has a role of detecting the fluorescence H2. The fluorescence light receiving unit 50 according to this embodiment includes a spectroscope 51 and a photodetector 52. The spectroscope 51 has a function of splitting light containing fluorescence H2 generated from a fluorescent material as the powdered material 30 for each wavelength. Further, the photodetector 52 has a function of detecting light having a specific wavelength among the light dispersed for each wavelength by the spectroscope 51, that is, fluorescence H2 generated from the fluorescent material. As the photodetector 52, for example, a photomultiplier tube, a photodiode array, a CCD, or the like can be used.
Thus, when the fluorescence light receiving unit 50 detects the fluorescence H2 from the fluorescent material as the particulate matter 30, the residual region of the fluorescent material, that is, the attached region of the deposit 20 can be detected.
その後、昇華工程Ｓ４によって、被検査物１０の表面１１の付着物２０に付着していた粉粒物３０を、該付着物２０上から完全に除去する。そして、粉粒物３０により可視化することができた被検査物１０の表面１１における付着物２０を被検査物１０の表面１１から除去し、例えば塗装やシール材等を被検査物１０の表面１１に密着施工を行う。 Thereafter, the particulate matter 30 attached to the attached matter 20 on the surface 11 of the inspection object 10 is completely removed from the attached matter 20 by the sublimation step S4. And the deposit | attachment 20 in the surface 11 of the to-be-inspected object 10 which was able to be visualized by the granular material 30 is removed from the surface 11 of the to-be-inspected object 10, for example, the surface 11 of the to-be-inspected object 10 is painted, a sealing material, etc. Perform close-contact construction.
以上のように、本実施形態の付着物検出方法は、粉粒物３０が励起光Ｈ１の照射に応じて蛍光Ｈ２を発生する蛍光物質を含んでおり、さらに検出工程Ｓ３が、励起光Ｈ１の粉粒物３０への照射により該粉粒物３０から発生する蛍光Ｈ２を検出することで該粉粒物３０の残留領域を検出する構成とされている。 As described above, in the adhering matter detection method of the present embodiment, the granular material 30 includes the fluorescent substance that generates the fluorescence H2 in response to the irradiation of the excitation light H1, and the detection step S3 further includes the excitation light H1. It is configured to detect a residual region of the powdery particle 30 by detecting fluorescence H2 generated from the powdery particle 30 by irradiation of the powdery particle 30.
これにより、被検査物１０の表面１１における粉粒物３０の残留領域を確実に検出することができる。即ち、励起用光源４０と蛍光受光部５０とによって付着物２０の付着領域を自動的に検出することができるため、目視で残留領域を確認する場合に比べて付着物２０の検出感度の向上を図ることができる。 Thereby, the residual area | region of the granular material 30 in the surface 11 of the to-be-inspected object 10 is reliably detectable. In other words, since the excitation light source 40 and the fluorescence light receiving unit 50 can automatically detect the adhesion region of the deposit 20, the detection sensitivity of the deposit 20 can be improved as compared with the case where the residual region is visually confirmed. Can be planned.
さらに、本実施形態においては、蛍光受光部５０による蛍光Ｈ２の検出により被検査物１０の表面１１における付着物２０の位置情報をデータとして取得することができるため、例えば付着物２０を除去するための自動洗浄システムとの連携性を確保することができる。また、事後的に検証可能なデータを保存することができる。 Further, in the present embodiment, the position information of the deposit 20 on the surface 11 of the inspection object 10 can be acquired as data by detecting the fluorescence H2 by the fluorescence light receiving unit 50. For example, the deposit 20 is removed. Can be linked with the automatic cleaning system. In addition, data that can be verified later can be stored.
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明はこれに限定されることなく、その発明の技術的思想を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。 The embodiment of the present invention has been described above, but the present invention is not limited to this, and can be appropriately changed without departing from the technical idea of the present invention.
１０ 被検査物
１１ 表面
２０ 付着物
３０ 粉粒物
４０ 励起用光源
５０ 蛍光受光部
５１ 分光器
５２ 光検出器
Ｈ１ 励起光
Ｈ２ 蛍光
Ｓ１ 供給工程
Ｓ２ 除去工程
Ｓ３ 検出工程
Ｓ４ 昇華工程
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 To-be-inspected object 11 Surface 20 Adherent 30 Powder particle 40 Excitation light source 50 Fluorescence light-receiving part 51 Spectroscope 52 Photodetector H1 Excitation light H2 Fluorescence S1 Supply process S2 Removal process S3 Detection process S4 Sublimation process
Claims (3)
前記被検査物の表面に、昇華性を有する粉粒物を供給する供給工程と、
該供給工程の後に、前記被検査物の表面から前記粉粒物を除去する除去工程と、
該除去工程の後に、前記付着物に付着することにより残留した前記粉粒物の残留領域を検出する検出工程と、
該検出工程の後に、前記残留領域の前記粉粒物を昇華させる昇華工程とを備えることを特徴とする付着物検出方法。 A deposit detection method for detecting deposits attached to the surface of an inspection object,
A supplying step of supplying a sublimable powder to the surface of the inspection object;
After the supplying step, a removing step of removing the particulate matter from the surface of the inspection object;
After the removing step, a detecting step for detecting a residual region of the powder and particulate matter remaining by adhering to the attached matter;
And a sublimation step of sublimating the powder particles in the residual region after the detection step.
前記検出工程は、前記励起光の前記粉粒物への照射により該粉粒物から発生する蛍光を検出することで、前記粉粒物の残留領域を検出することを特徴とする請求項１に記載の付着物検出方法。 The particulate matter includes a fluorescent material that generates fluorescence in response to irradiation with excitation light,
The said detection process detects the residual area | region of the said granular material by detecting the fluorescence which generate | occur | produces from this granular material by irradiation of the said excitation light to the said granular material. The deposit | attachment detection method of description.
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