JP2013187264A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】開口を備え該開口から基板13を収納できる容器本体11と、容器本体11の前記開口を閉鎖する蓋体12と、を備えてなる基板収納容器10であって、容器本体11には基板13を目視できる透明窓部20を備え、透明窓部20には該透明窓部20を被った状態で遮光カバー22を着脱自在に取り付けることができる。
【選択図】図1
Description
(1)本発明の基板収納容器は、開口を備え前記開口から基板を収納できる容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、を備えてなる基板収納容器であって、前記容器本体には前記基板を目視できる透明窓部を備え、前記透明窓部には前記透明窓部を被った状態で遮光カバーを着脱自在に取り付けることができることを特徴とする。
(2)本発明の基板収納容器は、(1)の構成において、前記透明窓部は、前記容器本体の前記開口と対向する部分に形成されていることを特徴とする。
(3)本発明の基板収納容器は、(1)の構成において、前記容器本体の前記透明窓部の外周に前記遮光カバーを取り付けるための固定部が形成されていることを特徴とする。
(4)本発明の基板収納容器は、(1)の構成において、前記遮光カバーは、その周辺に遮光性パッキンを備えていることを特徴とする。
(5)本発明の基板収納容器は、(4)の構成において、前記遮光性パッキンは、その一部に排水路が形成されていることを特徴とする。
(6)本発明の基板収納容器は、(5)の構成において、前記排水路は、容器本体の底部側に配置される前記遮光性パッキンに形成されていることを特徴とする。
(実施形態1)
図1は、本発明の基板収納容器を示した斜視図で、該基板収納容器を背面側から観た図である。
(実施形態2)
実施形態1では、基板収納容器10に対する遮光カバー22の取り付けは、図2に示したように、4個の係止部25によって行ったものである。しかし、遮光カバー22の一方の辺側において、前記係止部25に替えて、たとえば、図7に示すように、遮光カバー22の面と平行に突出する突出片22Pを形成し、この突出片22Pが容器本体11に形成した突起部11Qに設けられる孔11Hに差し込ませるように構成するようにしてもよい。このようにした場合、遮光カバー22の一辺側において、突出片部25Bを突起部11Qの孔11Hに差し込ませるだけで固定できるという効果を奏する。
(実施形態3)
実施形態1では、遮光パッキン23は、断面がほぼ矩形に近い形状のものを用いたものである。しかし、図8に示すように、遮光カバー22に取り付けられる遮光パッキン23’にいわゆるリップ部23”が備えられ、遮光カバー22を基板収納容器10に取り付けた場合に、該リップ部23”が透明窓部20の周辺の基板収納容器10に当接するように構成してもよいことはもちろんである。このような遮光パッキン23’を用いた場合、容器本体11あるいは遮光カバー22の変形を該遮光パッキン23’によって吸収し易くなるという効果を奏する。
(実施形態4)
上述した実施形態では、遮光カバー22に取り付けられる遮光パッキン23、23’は、いずれも、周方向に沿った全ての領域に容器本体11との密接が図れるように構成するようにしたものである。
(実施形態5)
上述した実施形態では、基板収納容器10に収納する基板は半導体ウェーハ13としたものである。しかし、これに限定されることはなく、たとえば、表面にフォトリソグラフィ技術によって配線パターンを形成するようなガラス基板等であってもよい。このようなガラス基板であっても、基板収納容器10に形成された透明窓部20を通して入射される光で回路パターンにダメージが生じ易くなるからである。
また、遮光カバーの取り付けは、上記のほかにも種々の方法があり、遮光カバーと容器本体の相対する面に、磁性体又は磁石をそれぞれ配置して、磁力を利用して遮光カバーをワンタッチで取り付け取り外し可能としたり、遮光カバーまたは容器本体の当接面の周囲に溝を形成し、両者が当接後この溝を真空排気して、真空吸着により遮光カバーを容器本体に取付けたりすることもできる。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。また、その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
20……透明窓部、
22……遮光カバー、22P……突出部、
22A……溝、23、23’……遮光パッキン、23”……リップ部、24……切欠き、25……係止部、25A……係止片固定部、25B……係止片部、25C……軸、
Claims (6)
- 開口を備え前記開口から基板を収納できる容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、を備えてなる基板収納容器であって、
前記容器本体には前記基板を目視できる透明窓部を備え、前記透明窓部には前記透明窓部を被った状態で遮光カバーを着脱自在に取り付けることができることを特徴とする基板収納容器。 - 前記透明窓部は、前記容器本体の前記開口と対向する部分に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。
- 前記容器本体の前記透明窓部の外周に前記遮光カバーを取り付けるための固定部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。
- 前記遮光カバーは、その周辺に遮光性パッキンを備えていることを特徴とする請求項1に記載の基板収納容器。
- 前記遮光性パッキンは、その一部に排水路が形成されていることを特徴とする請求項4に記載の基板収納容器。
- 前記排水路は、容器本体の底部側に配置される前記遮光性パッキンに形成されていることを特徴とする請求項5に記載の基板収納容器。
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