JP2013178154A - Absolute pressure measuring device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、絶対圧測定装置に関するものである。
更に詳述すれば、ゼロドリフトの数値を予測して、その数値をもとに連続的に補正することで、測定誤差を小さく出来、測定精度が向上出来る絶対圧測定装置に関するものである。
The present invention relates to an absolute pressure measuring device.
More specifically, the present invention relates to an absolute pressure measuring apparatus that can predict a zero drift value and continuously correct the value based on the value, thereby reducing measurement errors and improving measurement accuracy.
図３は従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図、図４〜図６は図３の動作説明図である。
図において、１は本体ボディで、円柱状の首部１Ａと、首部１Ａの端部外周縁部１Ｃにおいて溶接接続されたブロック状の受圧部１Ｂとよりなる。首部１Ａと受圧部１Ｂとは、この場合は、ステンレス材よりなる。
本体ボディ１の両側に、高圧側フランジ２、低圧側フランジ３が溶接等によって固定されており、両フランジ２，３には測定せんとする高圧側圧力ＰＨの高圧流体の導入口４、低圧側圧力ＰＬの低圧流体の導入口５が設けられている。
FIG. 3 is a diagram for explaining the structure of the main part of a conventional example that is generally used, and FIGS. 4 to 6 are diagrams for explaining the operation of FIG.
In the figure, reference numeral 1 denotes a main body, which includes a columnar neck portion 1A and a block-shaped pressure receiving portion 1B welded and connected at an outer peripheral edge portion 1C of the neck portion 1A. In this case, the neck portion 1A and the pressure receiving portion 1B are made of stainless steel.
A high pressure side flange 2 and a low pressure side flange 3 are fixed to both sides of the main body 1 by welding or the like, and both flanges 2 and 3 have a high pressure fluid inlet port 4 having a high pressure side pressure PH to be measured, a low pressure side An inlet 5 for a low-pressure fluid having a pressure PL is provided.
本体ボディ１内に圧力測定室６が形成されており、この圧力測定室６内にセンタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８が設けられている。
センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８は、それぞれ別個に圧力測定室６の壁に固定されており、センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８の両者でもって圧力測定室６を２分している。
A pressure measurement chamber 6 is formed in the main body 1, and a center diaphragm 7 and a silicon diaphragm 8 are provided in the pressure measurement chamber 6.
The center diaphragm 7 and the silicon diaphragm 8 are separately fixed to the wall of the pressure measurement chamber 6. The center diaphragm 7 and the silicon diaphragm 8 divide the pressure measurement chamber 6 into two.
センタダイアフラム７と対向する圧力測定室６の壁には、バックプレ―ト６Ａ，６Ｂが形成されている。センタダイアフラム７は周縁部を本体ボディ１に溶接されている。
シリコンダイアフラム８は全体が単結晶のシリコン基板から形成されている。
シリコン基板の一方の面にボロン等の不純物を選択拡散して４個のストレインゲ―ジ８０を形成し、他方の面を機械加工、エッチングし、全体が凹形のダイアフラム８を形成する。
Back plates 6A and 6B are formed on the wall of the pressure measurement chamber 6 facing the center diaphragm 7. The center diaphragm 7 is welded to the main body 1 at the periphery.
The entire silicon diaphragm 8 is formed from a single crystal silicon substrate.
Impurities such as boron are selectively diffused on one surface of the silicon substrate to form four strain gauges 80, and the other surface is machined and etched to form a concave diaphragm 8 as a whole.
４個のストレインゲ―ジ８０は、シリコンダイアフラム８が差圧ΔＰを受けてたわむ時、２個が引張り、２個が圧縮を受けるようになっており、これらがホイ―トストン・ブリッジ回路に接続され、抵抗変化が差圧ΔＰの変化として検出される。
シリコンダイアフラム８は、首部１Ａを２個のセンサ室８１，８２に分ける。
支持体９の圧力測定室６側端面に、低融点ガラス接続等の方法でシリコンダイアフラム８が接着固定されている。
The four strain gauges 80 are designed such that when the silicon diaphragm 8 is bent under the differential pressure ΔP, two are tensioned and two are compressed, and these are connected to the Wheatstone bridge circuit. Then, a resistance change is detected as a change in the differential pressure ΔP.
The silicon diaphragm 8 divides the neck portion 1 </ b> A into two sensor chambers 81 and 82.
A silicon diaphragm 8 is bonded and fixed to the end surface of the support 9 on the pressure measurement chamber 6 side by a method such as low melting point glass connection.
本体ボディ１と高圧側フランジ２、および低圧側フランジ３との間に、圧力導入室１０，１１が形成されている。
この圧力導入室１０，１１内に高圧側，低圧側シールダイアフラム１２，１３を設け、このシールダイアフラム１２，１３と対向する本体ボディ１の壁にシールダイアフラム１２，１３と類似の形状のバックプレ―ト１０Ａ，１１Ａが形成されている。
シールダイアフラム１２，１３と高圧側，低圧側バックプレ―ト１０Ａ，１１Ａとにより、高圧側，低圧側シールダイアフラム室１２Ａ，１３Ａが構成される。
Pressure introduction chambers 10 and 11 are formed between the main body 1 and the high-pressure side flange 2 and the low-pressure side flange 3.
High pressure side and low pressure side seal diaphragms 12 and 13 are provided in the pressure introducing chambers 10 and 11, and a back plate having a shape similar to that of the seal diaphragms 12 and 13 is formed on the wall of the main body 1 facing the seal diaphragms 12 and 13. 10A, 11A are formed.
The seal diaphragms 12 and 13 and the high pressure side and low pressure side backplates 10A and 11A constitute high pressure side and low pressure side seal diaphragm chambers 12A and 13A.
シールダイアフラム１２，１３は、受圧部１Ｂに、シールリング１２１，１３１により周縁部が溶接されている。
この場合は、シールダイアフラム１２，１３と、シールリング１２１，１３１とは、ステンレス材よりなる。
シールダイアフラム室１２Ａ，１３Ａと圧力測定室６とは、連通孔１４，１５を介して導通されている。
The seal diaphragms 12 and 13 are welded to the pressure receiving portion 1B at the periphery by seal rings 121 and 131.
In this case, the seal diaphragms 12 and 13 and the seal rings 121 and 131 are made of stainless steel.
The seal diaphragm chambers 12 </ b> A and 13 </ b> A and the pressure measurement chamber 6 are electrically connected through the communication holes 14 and 15.
そして、シールダイアフラム室１２Ａ，１３Ａにシリコンオイル等の封入液１０１，１０２が満たされ、この封入液１０１，１０２が高圧側，低圧側伝導穴１６，１７を介してシリコンダイアフラム８の上下面にまで至っている。
封入液１０１，１０２は、センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８とによって２分されているが、その量が、ほぼ均等になるように配慮されている。
The sealing diaphragm chambers 12A and 13A are filled with filled liquids 101 and 102 such as silicon oil, and the filled liquids 101 and 102 reach the upper and lower surfaces of the silicon diaphragm 8 through the high-pressure side and low-pressure side conduction holes 16 and 17, respectively. Has reached.
The encapsulated liquids 101 and 102 are divided into two by the center diaphragm 7 and the silicon diaphragm 8, and consideration is given so that the amounts thereof are substantially equal.
ここで、絶対圧測定装置２０においては、圧力導入室１０，１１のいずれか一方に真空が封入されて絶対圧測定装置２０として使用される。
この場合は、圧力導入室１１に真空が封入され、圧力導入室１０に測定圧が導入される。
Here, in the absolute pressure measuring device 20, a vacuum is sealed in one of the pressure introducing chambers 10 and 11 and used as the absolute pressure measuring device 20.
In this case, a vacuum is sealed in the pressure introduction chamber 11 and a measurement pressure is introduced into the pressure introduction chamber 10.
以上の構成において、圧力導入室１０に測定圧が導入されると、高圧側シールダイアフラム１２に作用する圧力が封入液１０１によってシリコンダイアフラム８に伝達される。
一方、圧力導入室１１の真空の圧力は、低圧側シールダイアフラム１３に作用し封入液１０２によってシリコンダイアフラム８に伝達される。
この結果、真空の圧力と測定圧との圧力差に応じてシリコンダイアフラム８が歪み、この歪み量がストレインゲ―ジ８０によって電気的に取出され、絶対圧の測定が行なわれる。
In the above configuration, when the measurement pressure is introduced into the pressure introduction chamber 10, the pressure acting on the high-pressure side seal diaphragm 12 is transmitted to the silicon diaphragm 8 by the sealing liquid 101.
On the other hand, the vacuum pressure in the pressure introducing chamber 11 acts on the low-pressure side seal diaphragm 13 and is transmitted to the silicon diaphragm 8 by the sealing liquid 102.
As a result, the silicon diaphragm 8 is distorted in accordance with the pressure difference between the vacuum pressure and the measurement pressure, and the strain amount is electrically taken out by the strain gauge 80, and the absolute pressure is measured.
このような装置においては、以下の問題点がある。
真空基準室である圧力導入室１１の真空の圧力は、真空状態で維持できるよう設計されているが、使用している間に、真空度が低下し、図４に示す如く、圧力導入室１１の真空度の低下によるゼロ点がドリフトする。
図４に示す如き、このドリフトを補正するために、定期的あるいは測定毎にゼロ点の調整を行う必要がある。
Such an apparatus has the following problems.
The pressure of the vacuum in the pressure introduction chamber 11 that is a vacuum reference chamber is designed to be maintained in a vacuum state, but the degree of vacuum decreases during use, and as shown in FIG. The zero point drifts due to a decrease in the degree of vacuum.
As shown in FIG. 4, in order to correct this drift, it is necessary to adjust the zero point periodically or every measurement.
なお、図４は、絶対圧測定装置２０の圧力導入室１１の真空度の低下によるゼロ点のドリフトを示すグラフである。
ゼロ点の調整は、真空ポンプと真空計等の大掛かりな装置が必要となり、調整に時間がかかる。
また、ゼロ調整直後と次のゼロ調整までの間においては、真空基準室１１内の真空劣化から、測定誤差がどうしても発生する。
FIG. 4 is a graph showing a zero point drift due to a decrease in the degree of vacuum in the pressure introducing chamber 11 of the absolute pressure measuring device 20.
Adjustment of the zero point requires a large-scale device such as a vacuum pump and a vacuum gauge, and adjustment takes time.
In addition, a measurement error inevitably occurs due to vacuum deterioration in the vacuum reference chamber 11 immediately after the zero adjustment and until the next zero adjustment.
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、ゼロドリフトの数値を予測して、その数値をもとに連続的に補正することで、測定誤差を小さく出来、測定精度が向上出来る絶対圧測定装置を提供することにある。 The object of the present invention is to solve the above-mentioned problem. By predicting a numerical value of zero drift and correcting continuously based on the numerical value, the measurement error can be reduced and the measurement accuracy can be improved. The object is to provide a pressure measuring device.
所で、封入液１０１，１０２が封入された絶対圧測定装置２０においては、封入液１０１，１０２の影響により、図５に示す矢印Ｂ１の如く、絶対圧測定装置２０を傾けると、図６に示すＢ２の範囲に示す如く、ゼロ点が変化する。
図５に示す矢印Ｃ１の如く、絶対圧測定装置２０を傾けると、図６に示すＣ２の範囲に示す如く、ゼロ点が変化する。
なお、図６は、絶対圧測定装置２０の姿勢角度の影響によるゼロ点のドリフトを示すグラフである。
By the way, in the absolute pressure measuring device 20 in which the sealed liquids 101 and 102 are sealed, when the absolute pressure measuring device 20 is tilted as shown by an arrow B1 in FIG. As shown in the range of B2 shown, the zero point changes.
When the absolute pressure measuring device 20 is tilted as indicated by an arrow C1 shown in FIG. 5, the zero point changes as shown in the range of C2 shown in FIG.
FIG. 6 is a graph showing the zero point drift due to the influence of the attitude angle of the absolute pressure measuring device 20.
本発明は、この絶対圧測定装置２０の姿勢の影響を利用して、真空度の低下によるゼロ点がドリフトする方向と逆に、絶対圧測定装置の姿勢を変化させることでゼロ点の補正をかけるようにしたものである。 The present invention makes use of the influence of the attitude of the absolute pressure measuring device 20 to correct the zero point by changing the attitude of the absolute pressure measuring device, contrary to the direction in which the zero point drifts due to the decrease in the degree of vacuum. It's something that you want to call.
このような課題を達成するために、本発明では、請求項１の絶対圧測定装置においては、
封入液が封入された本体カプセルと、この本体カプセルの一方の側面に設けられ真空圧が封入された真空室と、前記本体カプセルの他方の側面に設けられ測定圧が受圧される測定室と、を具備する絶対圧測定装置において、前記絶対圧測定装置が時間の経過と共に真空度が低下してゼロドリフトを生ずる真空度ゼロドリフト予測曲線と、前記絶対圧測定装置を傾けたことにより前記封入液に基づき生ずる傾斜角度ゼロドリフト曲線とから、時間の経過と共に連続的に前記真空度ゼロドリフト値を前記傾斜角度ゼロドリフト値により補正出来る前記絶対圧測定装置の傾斜角度値を演算する補正演算回路と、この補正演算回路からの信号に基づき前記絶対圧測定装置を時間の経過と共に連続的に傾ける絶対圧測定装置回動手段と、を具備したことを特徴とする。
In order to achieve such a subject, in the present invention, in the absolute pressure measuring device of claim 1,
A main body capsule in which an encapsulating liquid is sealed, a vacuum chamber provided on one side surface of the main body capsule and sealed with a vacuum pressure, a measurement chamber provided on the other side surface of the main body capsule and receiving a measurement pressure; The absolute pressure measuring device comprises: a vacuum degree zero drift prediction curve in which the absolute pressure measuring device lowers the degree of vacuum as time elapses and causes zero drift; and the sealed liquid is obtained by tilting the absolute pressure measuring device. A correction calculation circuit for calculating a tilt angle value of the absolute pressure measuring device capable of continuously correcting the zero degree of vacuum drift value by the tilt angle zero drift value with the lapse of time from a tilt angle zero drift curve generated based on And an absolute pressure measuring device rotating means for continuously tilting the absolute pressure measuring device with the passage of time based on a signal from the correction calculation circuit. And features.
本発明の請求項２の絶対圧測定装置においては、請求項１記載の絶対圧測定装置において、
絶対圧測定装置回動手段は、絶対圧測定装置を載置する載置ステージと、この載置ステージの傾斜を検知する傾斜センサと、前記載置ステージの傾斜を駆動するモータと、前記傾斜センサの信号に基づき前記モータを制御する制御回路と、を具備したことを特徴とする。
In the absolute pressure measuring device according to claim 2 of the present invention, in the absolute pressure measuring device according to claim 1,
The absolute pressure measuring device rotating means includes a mounting stage for mounting the absolute pressure measuring device, a tilt sensor for detecting the tilt of the mounting stage, a motor for driving the tilt of the mounting stage, and the tilt sensor. And a control circuit for controlling the motor based on the above signal.
本発明の請求項１によれば、次のような効果がある。
ゼロ調整直後から次のゼロ調整までの間において、ゼロドリフトの変化を予測し、補正を連続的にかけることで、真空劣化によるドリフト要因がキャンセルされ、より正確な測定が実現できる絶対圧測定装置が得られる。
ゼロ調整を繰り返す中で、変化予測の精度が高まる中で、調整期間を長く設定できる絶対圧測定装置が得られる。
調整期間を長く設定した場合でも、測定結果の信頼性が維持できる絶対圧測定装置が得られる。
ゼロ調整に伴う、作業負担が軽減できる絶対圧測定装置が得られる。
According to claim 1 of the present invention, there are the following effects.
Absolute pressure measuring device that can predict the change of zero drift between immediately after zero adjustment and continuously apply correction, cancel drift factor due to vacuum deterioration, and realize more accurate measurement Is obtained.
While repeating zero adjustment, the accuracy of change prediction is increased, and an absolute pressure measuring device capable of setting the adjustment period longer is obtained.
Even when the adjustment period is set to be long, an absolute pressure measuring device capable of maintaining the reliability of the measurement result can be obtained.
An absolute pressure measuring device that can reduce the work burden associated with zero adjustment is obtained.
本発明の請求項２によれば、次のような効果がある。
絶対圧測定装置回動手段は、絶対圧測定装置を載置する載置ステージと、載置ステージの傾斜を検知する傾斜センサと、載置ステージの傾斜を駆動するモータと、傾斜センサの信号に基づきモータを制御する制御回路とが設けられたので、精度が高いゼロドリフト補正が出来る絶対圧測定装置が得られる。
According to claim 2 of the present invention, there are the following effects.
The absolute pressure measuring device rotating means includes a mounting stage for mounting the absolute pressure measuring device, a tilt sensor for detecting the tilt of the mounting stage, a motor for driving the tilt of the mounting stage, and a signal of the tilt sensor. Since the control circuit for controlling the motor is provided based on this, an absolute pressure measuring device capable of highly accurate zero drift correction can be obtained.
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、図２は図１の動作説明図である。
図において、図３と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図３との相違部分のみ説明する。
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a diagram illustrating the configuration of the main part of one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram illustrating the operation of FIG.
In the figure, configurations with the same symbols as in FIG. 3 represent the same functions.
Only the difference from FIG. 3 will be described below.
図１において、補正演算回路２１は、絶対圧測定装置２０が時間の経過と共に真空度が低下してゼロドリフトを生ずる真空度ゼロドリフト予測曲線と、絶対圧測定装置２０を傾けたことにより、封入液１０１，１０２に基づき生ずる傾斜角度ゼロドリフト曲線とから、時間の経過と共に連続的に、真空度ゼロドリフト値を傾斜角度ゼロドリフト値により補正する絶対圧測定装置２０の傾斜角度値を演算する。 In FIG. 1, the correction arithmetic circuit 21 is sealed by tilting the absolute pressure measuring device 20 and the vacuum degree zero drift prediction curve in which the absolute pressure measuring device 20 decreases in vacuum with time and causes zero drift. The inclination angle value of the absolute pressure measuring device 20 that corrects the zero degree of vacuum drift value with the zero inclination angle drift value is calculated continuously from the inclination angle zero drift curve generated based on the liquids 101 and 102 with the passage of time.
絶対圧測定装置回動手段２２は、この補正演算回路２１からの信号に基づき、絶対圧測定装置２０を時間の経過と共に連続的に傾ける。
この場合は、絶対圧測定装置回動手段２２は、絶対圧測定装置２０を載置する載置ステージ２２１と、この載置ステージの傾斜を検知する傾斜センサ２２２と、載置ステージの傾斜を駆動するモータ２２３と、傾斜センサ２２２の信号に基づき、モータ２２３を制御する制御回路２２４と、を有する。
The absolute pressure measuring device rotating means 22 continuously tilts the absolute pressure measuring device 20 over time based on the signal from the correction calculation circuit 21.
In this case, the absolute pressure measuring device rotating means 22 drives the mounting stage 221 on which the absolute pressure measuring device 20 is mounted, the tilt sensor 222 that detects the tilt of the mounting stage, and the tilt of the mounting stage. And a control circuit 224 for controlling the motor 223 based on a signal from the tilt sensor 222.
以上の構成において、
経過時間を含めた場合、以下のようにして計算できる。
いま、
Ｐ１：Ｔ１の日時におけるゼロ点のオフセット
Ｐ２：Ｔ２の日時におけるゼロ点のオフセット
この変化は、リニアであると仮定できるので、
傾きの変化率αは、α＝（Ｐ２−Ｐ１）／（Ｔ２−Ｔ１）となる。
In the above configuration,
When the elapsed time is included, it can be calculated as follows.
Now
P1: Zero point offset at T1 date and time P2: Zero point offset at T2 date and time Since this change can be assumed to be linear,
The change rate α of the inclination is α = (P2−P1) / (T2−T1).
この式は、直線近似に拘っているわけではなく、ゼロ点の変化を予測するための近似式である。
ゼロ点の調整を繰り返すことにより、最良の近似式で、補正することが、可能となり、予測精度も高まると考えられる。
Ｔ１の日時での初期オフセット値をＰ０とすると、あるＴ３の日時でのゼロ点オフセット値Ｐｚは、
以下のように推測できる。
Ｐｚ＝Ｐ０＋α・（Ｔ３−Ｔ１）
This equation is not concerned with linear approximation, but is an approximation equation for predicting a change in the zero point.
By repeating the adjustment of the zero point, it is possible to correct with the best approximation formula, and it is considered that the prediction accuracy is improved.
When the initial offset value at the date and time of T1 is P0, the zero point offset value Pz at the date and time of T3 is
It can be guessed as follows.
Pz = P0 + α. (T3-T1)
一方、ゼロ点における姿勢変化は、傾斜であるので、ｓｉｎ近似として仮定し、姿勢傾斜における、ゼロ点の変化量を求める。
傾斜角θ度傾斜したときのゼロ点のオフセット値をＰｃとすると、ゼロ点のオフセット値Ｐｃは、以下のように変化する。
Ｐｃ＝Ｐ０＋Ｐｍ・ｓｉｎθ
Ｐ０:初期状態でのオフセット値、
Ｐｍ:９０度傾けたとき、姿勢誤差が最大となり、そのときのゼロ点のオフセット値
θ：傾斜角度
On the other hand, since the posture change at the zero point is an inclination, it is assumed as sin approximation, and the change amount of the zero point in the posture inclination is obtained.
Assuming that the offset value of the zero point when the tilt angle is inclined by θ degrees is Pc, the offset value Pc of the zero point changes as follows.
Pc = P0 + Pm · sin θ
P0: offset value in the initial state,
Pm: When tilted 90 degrees, the posture error becomes the maximum, and the zero point offset value at that time θ: Tilt angle
センサの姿勢を、真空劣化によるゼロ点変化に対し、逆相に変化させ補正する。
その時の傾斜角θは、以下のようになる。
Ｐｚ−Ｐｃ＝０
α・（Ｔ３−Ｔ１）−Ｐｍ・ｓｉｎθ＝０
θ＝ｓｉｎ-1（α・（Ｔ３−Ｔ１）／Ｐｍ）
The sensor posture is corrected by changing it in the opposite phase to the zero point change due to vacuum deterioration.
The inclination angle θ at that time is as follows.
Pz-Pc = 0
α · (T3−T1) −Pm · sin θ = 0
θ = sin −1 (α · (T3−T1) / Pm)
より具体的には、図２に示す如く、例えば、
姿勢特性１０Ｐａ／１．５ｄｅｇ、ゼロドリフトが約１２Ｐａの場合。
リニア変化として想定すると、絶対圧測定装置２０を１．８ｄｅｇ回動傾斜させるとゼロ点のドリフトがキャンセル出来る。
図１に、矢印Ｄに示す如く、回動方向を示す。なお、
図２は、絶対圧測定装置２０の圧力導入室１１の真空度の低下によるゼロ点のドリフトを示すグラフである。
More specifically, as shown in FIG.
When the posture characteristic is 10 Pa / 1.5 deg and the zero drift is about 12 Pa.
Assuming a linear change, the zero point drift can be canceled by tilting the absolute pressure measuring device 20 by 1.8 deg.
FIG. 1 shows the direction of rotation as indicated by arrow D. In addition,
FIG. 2 is a graph showing a zero point drift due to a decrease in the degree of vacuum in the pressure introducing chamber 11 of the absolute pressure measuring device 20.
この結果、
ゼロ調整直後から次のゼロ調整までの間において、ゼロドリフトの変化を予測し、補正を連続的にかけることで、真空劣化によるドリフト要因がキャンセルされ、より正確な測定が実現できる絶対圧測定装置が得られる。
ゼロ調整を繰り返す中で、変化予測の精度が高まる中で、調整期間を長く設定できる絶対圧測定装置が得られる。
調整期間を長く設定した場合でも、測定結果の信頼性が維持できる絶対圧測定装置が得られる。
ゼロ調整に伴う、作業負担が軽減できる絶対圧測定装置が得られる。
As a result,
Absolute pressure measuring device that can predict the change of zero drift between immediately after zero adjustment and continuously apply correction, cancel drift factor due to vacuum deterioration, and realize more accurate measurement Is obtained.
While repeating zero adjustment, the accuracy of change prediction is increased, and an absolute pressure measuring device capable of setting the adjustment period longer is obtained.
Even when the adjustment period is set to be long, an absolute pressure measuring device capable of maintaining the reliability of the measurement result can be obtained.
An absolute pressure measuring device that can reduce the work burden associated with zero adjustment is obtained.
絶対圧測定装置回動手段２２は、絶対圧測定装置２０を載置する載置ステージ２２１と、載置ステージ２２１の傾斜を検知する傾斜センサ２２２と、載置ステージ２２１の傾斜を駆動するモータ２２３と、傾斜センサ２２２の信号に基づきモータ２２３を制御する制御回路２２４とが設けられたので、精度が高いゼロドリフト補正が出来る絶対圧測定装置が得られる。 The absolute pressure measuring device rotating means 22 includes a mounting stage 221 on which the absolute pressure measuring device 20 is mounted, a tilt sensor 222 that detects the tilt of the mounting stage 221, and a motor 223 that drives the tilt of the mounting stage 221. And a control circuit 224 for controlling the motor 223 based on the signal from the tilt sensor 222, an absolute pressure measuring device capable of highly accurate zero drift correction can be obtained.
なお、本発明は、高精度気圧計に使用されて、特に有効である。
また、本発明は、図３従来例に示す絶対圧測定装置に付いて説明したが、封入液が封入された絶対圧測定装置であれば、適用できることは勿論である。
また、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
The present invention is particularly effective when used in a high-precision barometer.
Further, the present invention has been described with reference to the absolute pressure measuring device shown in the conventional example of FIG. 3, but it is needless to say that the present invention can be applied to any absolute pressure measuring device in which a sealing liquid is sealed.
Further, the above description merely shows a specific preferred embodiment for the purpose of explanation and illustration of the present invention.
Therefore, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and includes many changes and modifications without departing from the essence thereof.
１ 本体ボディ
２ 高圧側フランジ
３ 低圧側フランジ
１０ 圧力導入室
１１ 圧力導入室
２０ 絶対圧測定装置
２１ 補正演算回路
２２ 絶対圧測定装置回動手段
２２１ 載置ステージ
２２２ 傾斜センサ
２２３ モータ
２２４ 制御回路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Main body body 2 High pressure side flange 3 Low pressure side flange 10 Pressure introducing chamber 11 Pressure introducing chamber 20 Absolute pressure measuring device 21 Correction arithmetic circuit 22 Absolute pressure measuring device rotating means 221 Mounting stage 222 Inclination sensor 223 Motor 224 Control circuit
Claims (2)
この本体カプセルの一方の側面に設けられ真空圧が封入された真空室と、
前記本体カプセルの他方の側面に設けられ測定圧が受圧される測定室と、
を具備する絶対圧測定装置において、
前記絶対圧測定装置が時間の経過と共に真空度が低下してゼロドリフトを生ずる真空度ゼロドリフト予測曲線と、前記絶対圧測定装置を傾けたことにより前記封入液に基づき生ずる傾斜角度ゼロドリフト曲線とから、時間の経過と共に連続的に前記真空度ゼロドリフト値を前記傾斜角度ゼロドリフト値により補正出来る前記絶対圧測定装置の傾斜角度値を演算する補正演算回路と、
この補正演算回路からの信号に基づき前記絶対圧測定装置を時間の経過と共に連続的に傾ける絶対圧測定装置回動手段と、
を具備したことを特徴とする絶対圧測定装置。 A body capsule encapsulating the encapsulating liquid;
A vacuum chamber provided on one side of the main capsule and sealed with vacuum pressure;
A measurement chamber provided on the other side surface of the main capsule and receiving a measurement pressure;
In an absolute pressure measuring device comprising:
A vacuum degree zero drift prediction curve in which the absolute pressure measuring device causes a zero drift due to a decrease in the degree of vacuum over time, and a tilt angle zero drift curve generated based on the sealed liquid by tilting the absolute pressure measuring device; From the correction arithmetic circuit that calculates the inclination angle value of the absolute pressure measuring device that can continuously correct the vacuum zero drift value with the inclination angle zero drift value over time,
An absolute pressure measuring device rotating means for continuously tilting the absolute pressure measuring device with the passage of time based on a signal from the correction arithmetic circuit;
An absolute pressure measuring device comprising:
この載置ステージの傾斜を検知する傾斜センサと、
前記載置ステージの傾斜を駆動するモータと、
前記傾斜センサの信号に基づき前記モータを制御する制御回路と、
を具備したことを特徴とする請求項１記載の絶対圧測定装置。 The absolute pressure measuring device rotating means includes a mounting stage for mounting the absolute pressure measuring device;
An inclination sensor for detecting the inclination of the mounting stage;
A motor for driving the inclination of the mounting stage as described above;
A control circuit for controlling the motor based on a signal from the tilt sensor;
The absolute pressure measuring device according to claim 1, comprising:
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Citations (5)
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-
2012
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