JP2013169677A - メタルマスク及びメタルマスクの認識マーク形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクが無光沢面又は半光沢面の場合であっても、認識マークの読み取りエラーが発生しない認識マークを備えたメタルマスク及びその認識マーク形成方法を得る。
【解決手段】印刷開口パターンと、被印刷板への位置合わせ用のために印刷開口パターンに近接して形成された複数の認識マークとを備えた電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクであって、アディティブ版のメタルマスクの無光沢面又は半光沢面に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により粗くされており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を形成し、更に、該凹部の表面に黒色めっき液を含ませた含浸体を押し当てることにより、凹部の表面に黒めっき処理を施した黒色の認識マークを形成する。
【選択図】図9
【解決手段】印刷開口パターンと、被印刷板への位置合わせ用のために印刷開口パターンに近接して形成された複数の認識マークとを備えた電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクであって、アディティブ版のメタルマスクの無光沢面又は半光沢面に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により粗くされており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を形成し、更に、該凹部の表面に黒色めっき液を含ませた含浸体を押し当てることにより、凹部の表面に黒めっき処理を施した黒色の認識マークを形成する。
【選択図】図9
Description
この発明は、認識マークを備えたメタルマスク及びメタルマスクの認識マーク形成方法に関するものである。
従来、メタルマスクに認識マークを形成するに際し、半田ペースト等をプリント配線板に塗布するための開口部(開口パターン)をメタルマスクに形成した後、メタルマスクの所定位置にエッチング液を用いて凹部を形成(ハーフエッチング)し、この凹部にトナー(カーボンの微粉末と接着剤との混合物)を詰めて乾燥させる方法が採用されていた。
また、メタルマスクに認識マークを形成するための従来技術として、電鋳法によって製
造されるメタルマスクにおいて、開口部の形成と同時に認識マークの凹部を形成するもの
が提案されている(例えば、特許文献1参照)。なお、特許文献1記載の方法は開口部と
認識マークとの相対位置精度を向上させるためのものであるが、上記方法によってメタル
マスクの所定位置に凹部を形成した場合であっても、認識マークを完成させるためには、
この凹部にトナーを充填して乾燥させる工程が更に必要であった。
造されるメタルマスクにおいて、開口部の形成と同時に認識マークの凹部を形成するもの
が提案されている(例えば、特許文献1参照)。なお、特許文献1記載の方法は開口部と
認識マークとの相対位置精度を向上させるためのものであるが、上記方法によってメタル
マスクの所定位置に凹部を形成した場合であっても、認識マークを完成させるためには、
この凹部にトナーを充填して乾燥させる工程が更に必要であった。
また、メタルマスクに認識マークを形成するための他の従来技術として、電鋳法やレーザー加工により製造されたメタルマスクの所定位置(認識マーク形成部)に、認識マークを電解処理によって刻印(電解マーキング)するものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
従来のメタルマスクの所定位置にエッチング液を用いて凹部を形成(ハーフエッチング)し、この凹部にトナー(カーボンの微粉末と接着剤との混合物)を詰めて乾燥させる方法では、板厚が50μm以下、又は100μm以下の箔物のメタルマスクの場合においては、エッチング液により孔が開いてしまうことがある。
また、特許文献1記載のトナーを用いて認識マークを形成する従来のメタルマスクでは、認識マークの凹部からトナーが取れてしまう場合があり、かかる場合に、プリント配線板への位置合わせができなくなるといった問題が生じていた。
なお、上記トナーの凹部からの脱落は、メタルマスクの洗浄時に発生することが多い。
特に近年では、メタルマスクの開口部が密集しているため、半田ペースト等の除去に超音
波洗浄が多く用いられている。このため、キャビテーション効果等によってトナーが凹部
から脱落し易くなり、上記問題が多発する要因となっていた。
特に近年では、メタルマスクの開口部が密集しているため、半田ペースト等の除去に超音
波洗浄が多く用いられている。このため、キャビテーション効果等によってトナーが凹部
から脱落し易くなり、上記問題が多発する要因となっていた。
また、メタルマスクが製造ラインに組み込まれた後に、認識マークのトナーが脱落して
しまうと、製造ラインを停止させて、トナーを再度凹部に充填する作業が必要となってし
まう。更に、メタルマスクの使用者が上記充填作業を行うことができない場合には、例え
ば、メタルマスクの製造元の技術者を呼び寄せて上記充填作業を行ってもらう必要がある
。このため、一旦トナーの脱落が発生すると、メタルマスクをその一部に含む製造ライン
の生産性が著しく低下するといった問題もあった。
しまうと、製造ラインを停止させて、トナーを再度凹部に充填する作業が必要となってし
まう。更に、メタルマスクの使用者が上記充填作業を行うことができない場合には、例え
ば、メタルマスクの製造元の技術者を呼び寄せて上記充填作業を行ってもらう必要がある
。このため、一旦トナーの脱落が発生すると、メタルマスクをその一部に含む製造ライン
の生産性が著しく低下するといった問題もあった。
また、特許文献2記載の認識マークを電解処理によって刻印(電解マーキング)するものでは、メタルマスクがレーザー加工により製造されたレーザー版の場合は問題ないが、電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクの認識マークの寄与面が無光沢面又は半光沢面の場合は、コントラストが取りづらく、読み取りエラーが発生する恐れがあり、認識マークの色をもっと濃く(黒く)したいとの改善要望がある。また、スキージングにより認識マークが、かすれることを防止したいとの改善要望がある。
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクの認識マークの寄与面が無光沢面又は半光沢面の場合であっても、認識マークの読み取りエラーが発生しない認識マークを備えたメタルマスク及びメタルマスクの認識マーク形成方法を提供するものである。また、電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクが光沢面の場合は、簡単かつ安価に形成できる認識マークを備えたメタルマスク及びメタルマスクの認識マーク形成方法を提供するものである。
この発明に係るメタルマスクにおいては、印刷材料を被印刷板に印刷するために形成された印刷開口パターンと、被印刷板への位置合わせ用のために印刷開口パターンに近接して形成された複数の認識マークとを備えた電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクであって、アディティブ版のメタルマスクの認識マークの寄与面の光沢面に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により無光沢化(粗く)されており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を形成し、該凹部を認識マークとするものである。
また、アディティブ版のメタルマスクの無光沢面又は半光沢面に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により無光沢化(粗く)されており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を形成し、更に、該凹部の表面に筆めっきの原理を応用した方法で黒色めっき液を含ませた含浸体(陽極)を押し当てることにより、凹部の表面(陰極)に黒めっき処理を施した黒色の認識マークを形成するものである。
また、アディティブ版のメタルマスクの光沢面に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により無光沢化(粗く)されており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を形成し、該凹部を認識マークとし、一方、アディティブ版のメタルマスクの無光沢面又は半光沢面に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により無光沢化(粗く)されており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を形成し、更に、該凹部の表面に黒色めっき液を含ませた含浸体を押し当てることにより、凹部の表面に黒めっき処理を施した黒色の認識マークを形成するものである。
また、アディティブ版のメタルマスクの両面に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により無光沢化(粗く)されており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を形成し、更に、該凹部の表面に黒色めっき液を含ませた含浸体を押し当てることにより、凹部の表面に黒めっき処理を施した黒色の認識マークを形成するものである。
また、ニッケル電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクであって、板厚が100μm以下の箔物である。
また、この発明に係るメタルマスクの認識マーク形成方法においては、印刷材料を被印刷板に印刷するための開口パターンが形成された電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクの光沢面上に、薄膜状のレジストを形成する第1の工程と、メタルマスクの光沢面上から、認識マークを形成する部分のレジストを除去する第2の工程と、メタルマスクの光沢面の認識マークを形成する部分に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により粗くされており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する認識マークとなる凹部を形成する第3の工程と、凹部を形成した後、メタルマスクの光沢面上からレジストを除去する第4の工程とを備えたものである。
また、印刷材料を被印刷板に印刷するための開口パターンが形成された電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクの無光沢面又は半光沢面上に、薄膜状のレジストを形成する第1の工程と、メタルマスクの無光沢面又は半光沢面上から、認識マークを形成する部分のレジストを除去する第2の工程と、メタルマスクの無光沢面又は半光沢面の認識マークを形成する部分に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により粗くされており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を形成する第3の工程と、凹部の表面に黒色めっき液を含ませた含浸体を押し当てることにより、凹部の表面に黒めっき処理を施した黒色の認識マークを形成する第4の工程と、黒色の認識マークを形成した後、メタルマスクの無光沢面又は半光沢面上からレジストを除去する第5の工程とを備えたものである。
また、印刷材料を被印刷板に印刷するための開口パターンが形成された電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面上に、薄膜状のレジストを形成する第1の工程と、メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面上から、認識マークを形成する部分のレジストを除去する第2の工程と、メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面の認識マークを形成する部分に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により粗くされており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部をメタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面にそれぞれ形成する第3の工程と、メタルマスクの無光沢面又は半光沢面に形成された凹部の表面にのみ、黒色めっき液を含ませた含浸体を押し当てることにより、凹部の表面に黒めっき処理を施した黒色の認識マークを形成する第4の工程と、黒色の認識マークを形成した後、メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面上からレジストを除去する第5の工程とを備えたものである。
また、印刷材料を被印刷板に印刷するための開口パターンが形成された電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面上に、薄膜状のレジストを形成する第1の工程と、メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面上から、認識マークを形成する部分のレジストを除去する第2の工程と、メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面の認識マークを形成する部分に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により粗くされており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部をメタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面にそれぞれ形成する第3の工程と、メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面に形成された凹部の表面に、黒色めっき液を含ませた含浸体を押し当てることにより、凹部の表面に黒めっき処理を施した黒色の認識マークを形成する第4の工程と、黒色の認識マークを形成した後、メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面上からレジストを除去する第5の工程とを備えたものである。
この発明によれば、電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクが無光沢面又は半光沢面の場合であっても、認識マークの読み取りエラーが発生しない認識マークを備えたメタルマスクを得ることができる。また、電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクが光沢面の場合は、簡単かつ安価に形成できる認識マークを備えたメタルマスクを得ることができる。更に、箔物に対しても容易に認識マークを形成することができる。
また、認識マーク部が凹形状の為、スキージングによる擦れの発生も防げる効果もある。
また、認識マーク部が凹形状の為、スキージングによる擦れの発生も防げる効果もある。
この発明をより詳細に説明するため、添付の図面に従ってこれを説明する。なお、各図
中、同一又は相当する部分には同一の符号を付しており、その重複説明は適宜に簡略化な
いし省略する。
中、同一又は相当する部分には同一の符号を付しており、その重複説明は適宜に簡略化な
いし省略する。
図1乃至図10は本発明の実施例1におけるメタルマスクの製造工程を示す図である。図1乃至図10に基づいて、メタルマスクの両面に認識マークを形成する工程について詳細に説明する。
先ず、ニッケル電鋳法により、メタルマスク1の所定位置に、半田ペースト等をプリント配線板等の被印刷板に塗布形成するための印刷開口部(印刷開口パターン)(図1乃至図10においては図示せず)を形成する。そして、印刷開口部の加工が終了したニッケル電鋳法で製造したアディティブ版のメタルマスク1を準備する(図1参照)。このアディティブ版のメタルマスク1は、板厚が50μm以下又は100μm以下の比較的薄い箔物のメタルマスクであり、無光沢面又は半光沢面の場合は、コントラストが取りづらくなり、電解マーキングにて認識マークを形成した場合、読み取りエラーが発生することが心配されるものである。また、光沢面では、コントラストが取りづらくなるようなことはないことがある。次に、メタルマスク1の両面(認識マークを形成する面)上に、レジスト液を塗布或いはドライフィルムをラミネートして、それぞれ薄膜状のレジスト2(感光膜)を形成する(図2参照)。
次に、アディティブ版のメタルマスク1の両面に形成された各レジスト2上に、ポジタイプ用の円形の認識マーク部3aが設けられたフィルム3を乗せて焼き付ける(図3参照)。なお、上記工程においては、当然のことながら、フィルム3に設けられた認識マーク部3aをメタルマスク1の認識マークを形成する位置に合わせてフィルム3を配置し、その後、露光する。ここで、認識マーク部3aの黒い部分は露光の際に光が透過しないため、認識マーク部3aの下方に位置する部分のレジスト2は硬化しない。一方、フィルム3のうち認識マーク部3a以外の部分では露光の際に光が透過するため、上記認識マーク部3a以外の部分の下方に位置するレジスト2は硬化する。
なお、図3はネガタイプのレジスト2を用いた場合の露光工程を示したものである。一
方、ポジタイプのレジスト2を用いた場合には、ネガタイプ用の認識マーク部3aが設け
られたフィルム3を使用すれば良い。かかる場合、上記の場合とは逆に、認識マーク部3
aのみ光が透過し、認識マーク部3aの下方に位置する部分のレジスト2が溶解すること
になる。
方、ポジタイプのレジスト2を用いた場合には、ネガタイプ用の認識マーク部3aが設け
られたフィルム3を使用すれば良い。かかる場合、上記の場合とは逆に、認識マーク部3
aのみ光が透過し、認識マーク部3aの下方に位置する部分のレジスト2が溶解すること
になる。
上記露光工程が終了した後、フィルム3を各レジスト2上から剥離し、レジスト2のう
ち、上記露光工程において硬化しなかった部分(未硬化レジスト部2a)のみを現像液に
よってメタルマスク1の両面上から除去する(図4参照)。以上の工程により、アディティブ版のメタルマスク1の両面上から、認識マークを形成する部分(認識マーク形成部1a)のレジスト2を除去することができ、アディティブ版のメタルマスク1の両面上に、円形の認識マーク形成部1aの部分のみ開口したレジスト2が完成する。この開口した認識マーク形成部1aは、直径が約1mm程度であり、レジストが覆われておらずニッケルが露出した部分となっており、また認識マーキング形成部1a以外の個所(後述のエッチングや黒ニッケルめっきをしない個所)は、レジスト2でマスキングされていることになる(図5参照)。
ち、上記露光工程において硬化しなかった部分(未硬化レジスト部2a)のみを現像液に
よってメタルマスク1の両面上から除去する(図4参照)。以上の工程により、アディティブ版のメタルマスク1の両面上から、認識マークを形成する部分(認識マーク形成部1a)のレジスト2を除去することができ、アディティブ版のメタルマスク1の両面上に、円形の認識マーク形成部1aの部分のみ開口したレジスト2が完成する。この開口した認識マーク形成部1aは、直径が約1mm程度であり、レジストが覆われておらずニッケルが露出した部分となっており、また認識マーキング形成部1a以外の個所(後述のエッチングや黒ニッケルめっきをしない個所)は、レジスト2でマスキングされていることになる(図5参照)。
次に、75%硝酸400cc、リン酸50ccからなるエッチング液を用意する。そして、例えば、綿棒等から成るエッチング用含浸体4に用意した上記エッチング液を含ませ、アディティブ版のメタルマスク1の円形の認識マーク形成部1aに、エッチング液を含ませた含浸体4を押し当てる(図6参照)。そして、エッチング液を含ませた含浸体4を動かして、新しいエッチング液がメタルマスク1の円形の認識マーク形成部1aの全体に行き渡るようにする。このエッチングに要する時間は約7〜10秒前後程度である。次に、約7〜10秒経過したら、直ちにエッチング液を紙等で拭き取り、水洗いする。これにより、アディティブ版のメタルマスク1の円形の認識マーク形成部1aに、表面がエッチング液により粗くされており、かつ若干の深さ約1〜2μm程度の深さを持って陥没する円形凹部5が形成される(図7参照)。この円形凹部5は、精々数μm程度の深さで十分であり、表面がエッチング液により粗くされているので、電鋳法により製造されたアディティブ版が光沢面の場合は、コントラストが取りづらくなるようなことはないので、このままでも簡単かつ安価に形成できる認識マーク6として用いることができる(図8参照)。一方、電鋳法により製造されたアディティブ版が無光沢面又は半光沢面の場合は、コントラストが取りづらくなるので、読み取りエラーが発生することが考えられる。したがって、アディティブ版の無光沢面又は半光沢面の円形凹部5の表面には、後述の黒ニッケルめっきを形成する。この際、円形凹部5は陥没されており、かつ表面がエッチング液により粗くされているので、めっきの喰い付きが良くなり、黒ニッケルめっきとの密着性が良好になる。
次に、塩化ニッケル(工業用薬品)75g/L、塩化アンモニウム(試薬一級)30g/L、塩化亜鉛(試薬一級)30g/L及びチオシアン酸ナトリウム(試薬一級)15g/Lと、蒸留水約750ccとからなる黒ニッケルめっき液を用意する。そして、例えば、金属製のピンセット型把持体から成るめっき専用電極7の先端部間に綿棒等から成るめっき用含浸体8を把持するようにセットし、このめっき用含浸体8に用意した上記黒ニッケルめっき液を含ませ、めっき専用電極7を直流電源の+側に、またメタルマスク1を−側にそれぞれ接続する。そして、アディティブ版のメタルマスク1の無光沢面又は半光沢面に形成された円形凹部5の表面に、黒ニッケルめっき液を含ませためっき用含浸体8を2〜3秒間程度強く押し当てる(図9参照)。これにより、黒ニッケルめっき液が円形凹部5の表面に滲み出る。そして、黒ニッケルめっき液を含ませためっき用含浸体8を動かして、新しい黒ニッケルめっき液がメタルマスク1の無光沢面又は半光沢面の円形凹部5の全体に行き渡るようにする。この黒ニッケルめっき処理に要する時間は約20秒前後程度である。次に、約20秒経過したら、ピンセット型把持体から成るめっき専用電極7を無光沢面又は半光沢面の円形凹部5から引き上げ、黒ニッケルめっき液を紙等で拭き取り、水洗いする。これにより、アディティブ版のメタルマスク1の無光沢面又は半光沢面の円形凹部5の表面に、黒色又は色を濃く(黒く)した認識マーク9が形成される(図10参照)。この黒色又は色を濃く(黒く)した認識マーク9は、電鋳法により製造されたアディティブ版が無光沢面又は半光沢面であっても、認識マークの読み取りエラーが発生しない認識マークを備えたメタルマスクを得ることができる。また、凹部5は陥没されており、かつ表面がエッチング液により粗くされているので、喰い付きが良くなり、黒ニッケルめっきとの密着性が良好になる。また、凹部5の表面に、黒色又は色を濃く(黒く)した認識マーク9が形成されているので、スキージングにより、認識マーク9が擦れることがない。
上記工程によって、電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクが光沢面の場合は、コントラストが取りづらくなるようなことはないので、表面がエッチング液により粗くされており、かつ若干の深さ1〜2μm程度の深さを持って陥没する円形凹部5を、そのまま認識マーク6として使用することができる。そして、アディティブ版のメタルマスクが無光沢面又は半光沢面の場合は、円形凹部5の表面に、更に黒色又は色を濃く(黒く)した認識マーク9を形成した後、剥離液によってメタルマスク1の両面上から全てのレジスト2を除去することにより、メタルマスク1を完成させる(図示しない)。
なお、上記実施例1では、円形凹部5として説明したが、円形に限られない。また、ニッケル電鋳法により作製したメタルマスクを用いて説明したが、ニッケルに限らず、ステンレスであっても構わない。
図11乃至図18は本発明の実施例2におけるメタルマスクの製造工程を示す図である。図1、図2の製造工程は実施例1と同様であるため、説明を省略する。
アディティブ版のメタルマスク1の両面に形成された各レジスト2上に、ポジタイプ用のリング状の認識マーク部3aが設けられたフィルム3を乗せて焼き付ける(図11参照)。
上記露光工程が終了した後、フィルム3を各レジスト2上から剥離し、レジスト2のう
ち、上記露光工程において硬化しなかった部分(未硬化レジスト部2a)のみを現像液に
よってメタルマスク1の両面上から除去する(図12参照)。以上の工程により、アディティブ版のメタルマスク1の両面上から、リング状の認識マークを形成する部分(認識マーク形成部1a)のレジスト2を除去することができ、アディティブ版のメタルマスク1の両面上に、リング状の認識マーク形成部1aの部分のみ開口したレジスト2が完成する。この開口したリング状の認識マーク形成部1aは、直径が約1mm程度であり、レジストが覆われておらずニッケルが露出した部分となっており、また認識マーキング形成部1a以外の個所(後述のエッチングや黒ニッケルめっきをしない個所、及びリング状の認識マーキング形成部1aの中央凸部)は、レジスト2でマスキングされていることになる(図13参照)。
ち、上記露光工程において硬化しなかった部分(未硬化レジスト部2a)のみを現像液に
よってメタルマスク1の両面上から除去する(図12参照)。以上の工程により、アディティブ版のメタルマスク1の両面上から、リング状の認識マークを形成する部分(認識マーク形成部1a)のレジスト2を除去することができ、アディティブ版のメタルマスク1の両面上に、リング状の認識マーク形成部1aの部分のみ開口したレジスト2が完成する。この開口したリング状の認識マーク形成部1aは、直径が約1mm程度であり、レジストが覆われておらずニッケルが露出した部分となっており、また認識マーキング形成部1a以外の個所(後述のエッチングや黒ニッケルめっきをしない個所、及びリング状の認識マーキング形成部1aの中央凸部)は、レジスト2でマスキングされていることになる(図13参照)。
次に、75%硝酸400cc、リン酸50ccからなるエッチング液を用意する。そして、例えば、綿棒等から成るエッチング用含浸体4に用意した上記エッチング液を含ませ、アディティブ版のメタルマスク1のリング状の認識マーク形成部1aの中央凸部のレジスト2に、エッチング液を含ませた含浸体4を押し当てる(図14参照)。すると、含浸体4からエッチング液が周囲に広がって流下する。そして、エッチング液を含ませた含浸体4を動かして、新しいエッチング液がメタルマスク1のリング状の認識マーク形成部1aの全体に行き渡るようにする。このエッチングに要する時間は約7〜10秒前後程度である。次に、約7〜10秒経過したら、直ちにエッチング液を紙等で拭き取り、水洗いする。これにより、アディティブ版のメタルマスク1のリング状の認識マーク形成部1aに、表面がエッチング液により粗くされており、かつ若干の深さ約1〜2μm程度の深さを持って陥没するリング状の凹部5が形成される(図15参照)。このリング状の凹部5は、精々数μm程度の深さで十分であり、表面がエッチング液により粗くされているので、電鋳法により製造されたアディティブ版が光沢面の場合は、コントラストが取りづらくなるようなことはないので、このままでも簡単かつ安価に形成できる認識マーク6として用いることができる(図16参照)。一方、電鋳法により製造されたアディティブ版が無光沢面又は半光沢面の場合は、コントラストが取りづらくなるので、読み取りエラーが発生することが考えられる。したがって、アディティブ版の無光沢面又は半光沢面のリング状の凹部5の表面には、後述の黒ニッケルめっきを形成する。この際、リング状の凹部5は陥没されており、かつ表面がエッチング液により粗くされているので、めっきの喰い付きが良くなり、黒ニッケルめっきとの密着性が良好になる。
次に、塩化ニッケル(工業用薬品)75g/L、塩化アンモニウム(試薬一級)30g/L、塩化亜鉛(試薬一級)30g/L及びチオシアン酸ナトリウム(試薬一級)15g/Lと、蒸留水約750ccとからなる黒ニッケルめっき液を用意する。そして、例えば、金属製のピンセット型把持体から成るめっき専用電極7の先端部間に綿棒等から成るめっき用含浸体8を把持するようにセットし、このめっき用含浸体8に用意した上記黒ニッケルめっき液を含ませ、めっき専用電極7を直流電源の+側に、またメタルマスク1を−側にそれぞれ接続する。そして、アディティブ版のメタルマスク1の無光沢面又は半光沢面のリング状の認識マーク形成部1aの中央凸部のレジスト2に、黒ニッケルめっき液を含ませためっき用含浸体8を2〜3秒間程度強く押し当てる(図17参照)。これにより、含浸体8から黒ニッケルめっき液が滲み出て、周囲に広がってリング状の凹部5に流下する。そして、黒ニッケルめっき液を含ませためっき用含浸体8を動かして、新しい黒ニッケルめっき液がメタルマスク1の無光沢面又は半光沢面のリング状の凹部5の全体に行き渡るようにする。この黒ニッケルめっき処理に要する時間は約20秒前後程度である。次に、約20秒経過したら、ピンセット型把持体のめっき専用電極7を無光沢面又は半光沢面のリング状の凹部5から引き上げ、黒ニッケルめっき液を紙等で拭き取り、水洗いする。これにより、アディティブ版のメタルマスク1の無光沢面又は半光沢面のリング状の凹部5の表面に、黒色又は色を濃く(黒く)したリング状の認識マーク9が形成される(図18参照)。この黒色又は色を濃く(黒く)したリング状の認識マーク9は、電鋳法により製造されたアディティブ版が無光沢面又は半光沢面であっても、認識マークの読み取りエラーが発生しない認識マークを備えたメタルマスクを得ることができる。また、リング状の凹部5は陥没されており、かつ表面がエッチング液により粗くされているので、喰い付きが良くなり、黒ニッケルめっきとの密着性が良好になる。また、リング状の凹部5の中央部が突出しているので、スキージングにより、認識マーク9が擦れることがない。
上記工程によって、電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクが光沢面の場合は、コントラストが取りづらくなるようなことはないので、表面がエッチング液により粗くされており、かつ若干の深さ1〜2μm程度の深さを持って陥没するリング状の凹部5を、そのまま認識マーク6として使用する。そして、アディティブ版のメタルマスクが無光沢面又は半光沢面の場合は、リング状の凹部5の表面に、更に黒色又は色を濃く(黒く)した認識マーク9を形成した後、剥離液によってメタルマスク1の両面上から全てのレジスト2を除去することにより、メタルマスク1を完成させるものである(図示しない)。
1 メタルマスク
1a 認識マーク形成部
2 レジスト
2a 未硬化レジスト部
3 フィルム
3a 認識マーク部
4 エッチング液を含ませた綿棒等から成るエッチング用含浸体
5 凹部
6 認識マーク
7 金属製ピンセット型把持体から成るめっき専用電極
8 綿棒等からなるめっき用含浸体
9 色を濃く(黒く)した黒色の認識マーク
1a 認識マーク形成部
2 レジスト
2a 未硬化レジスト部
3 フィルム
3a 認識マーク部
4 エッチング液を含ませた綿棒等から成るエッチング用含浸体
5 凹部
6 認識マーク
7 金属製ピンセット型把持体から成るめっき専用電極
8 綿棒等からなるめっき用含浸体
9 色を濃く(黒く)した黒色の認識マーク
Claims (9)
- 印刷材料を被印刷板に印刷するために形成された印刷開口パターンと、前記被印刷板への位置合わせ用のために前記印刷開口パターンに近接して形成された複数の認識マークとを備えた電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクであって、
前記アディティブ版のメタルマスクの光沢面に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により粗くされており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を形成し、該凹部を認識マークとすることを特徴とするメタルマスク。 - 印刷材料を被印刷板に印刷するために形成された印刷開口パターンと、前記被印刷板への位置合わせ用のために前記印刷開口パターンに近接して形成された複数の認識マークとを備えた電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクであって、
前記アディティブ版のメタルマスクの無光沢面又は半光沢面に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により粗くされており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を形成し、更に、該凹部の表面に黒色めっき液を含ませた含浸体を押し当てることにより、前記凹部の表面に黒めっき処理を施した黒色の認識マークを形成することを特徴とするメタルマスク。 - 印刷材料を被印刷板に印刷するために形成された印刷開口パターンと、前記被印刷板への位置合わせ用のために前記印刷開口パターンに近接して形成された複数の認識マークとを備えた電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクであって、
前記アディティブ版のメタルマスクの光沢面に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により粗くされており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を形成し、該凹部を認識マークとし、一方、前記アディティブ版のメタルマスクの無光沢面又は半光沢面に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により粗くされており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を形成し、更に、該凹部の表面に黒色めっき液を含ませた含浸体を押し当てることにより、前記凹部の表面に黒めっき処理を施した黒色の認識マークを形成することを特徴とするメタルマスク。 - 印刷材料を被印刷板に印刷するために形成された印刷開口パターンと、前記被印刷板への位置合わせ用のために前記印刷開口パターンに近接して形成された複数の認識マークとを備えた電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクであって、
前記アディティブ版のメタルマスクの両面に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により粗くされており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を形成し、更に、該凹部の表面に黒色めっき液を含ませた含浸体を押し当てることにより、前記凹部の表面に黒めっき処理を施した黒色の認識マークを形成することを特徴とするメタルマスク。 - ニッケル電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクであって、板厚が100μm以下の箔物であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載のメタルマスク。
- 印刷材料を被印刷板に印刷するための開口パターンが形成された電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクの光沢面上に、薄膜状のレジストを形成する第1の工程と、
前記メタルマスクの光沢面上から、認識マークを形成する部分の前記レジストを除去する第2の工程と、
前記メタルマスクの光沢面の前記認識マークを形成する部分に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により粗くされており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する認識マークとなる凹部を形成する第3の工程と、
前記凹部を形成した後、前記メタルマスクの光沢面上から前記レジストを除去する第4の工程と、
を備えたことを特徴とするメタルマスクの認識マーク形成方法。 - 印刷材料を被印刷板に印刷するための開口パターンが形成された電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクの無光沢面又は半光沢面上に、薄膜状のレジストを形成する第1の工程と、
前記メタルマスクの無光沢面又は半光沢面上から、認識マークを形成する部分の前記レジストを除去する第2の工程と、
前記メタルマスクの無光沢面又は半光沢面の前記認識マークを形成する部分に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により粗くされており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を形成する第3の工程と、
前記凹部の表面に黒色めっき液を含ませた含浸体を押し当てることにより、前記凹部の表面に黒めっき処理を施した黒色の認識マークを形成する第4の工程と、
前記黒色の認識マークを形成した後、前記メタルマスクの無光沢面又は半光沢面上から前記レジストを除去する第5の工程と、
を備えたことを特徴とするメタルマスクの認識マーク形成方法。 - 印刷材料を被印刷板に印刷するための開口パターンが形成された電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面上に、薄膜状のレジストを形成する第1の工程と、
前記メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面上から、認識マークを形成する部分の前記レジストを除去する第2の工程と、
前記メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面の前記認識マークを形成する部分に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により粗くされており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を前記メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面にそれぞれ形成する第3の工程と、
前記メタルマスクの無光沢面又は半光沢面に形成された前記凹部の表面にのみ、黒色めっき液を含ませた含浸体を押し当てることにより、前記凹部の表面に黒めっき処理を施した黒色の認識マークを形成する第4の工程と、
前記黒色の認識マークを形成した後、前記メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面上から前記レジストを除去する第5の工程と、
を備えたことを特徴とするメタルマスクの認識マーク形成方法。 - 印刷材料を被印刷板に印刷するための開口パターンが形成された電鋳法により製造されたアディティブ版のメタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面上に、薄膜状のレジストを形成する第1の工程と、
前記メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面上から、認識マークを形成する部分の前記レジストを除去する第2の工程と、
前記メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面の前記認識マークを形成する部分に、エッチング液を含ませた含浸体を押し当てることにより、表面がエッチング液により粗くされており、かつ1〜数μm程度の深さを持って陥没する凹部を前記メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面にそれぞれ形成する第3の工程と、
前記メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面に形成された前記凹部の表面に、黒色めっき液を含ませた含浸体を押し当てることにより、前記凹部の表面に黒めっき処理を施した黒色の認識マークを形成する第4の工程と、
前記黒色の認識マークを形成した後、前記メタルマスクの光沢面及び無光沢面又は半光沢面上から前記レジストを除去する第5の工程と、
を備えたことを特徴とするメタルマスクの認識マーク形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012034042A JP2013169677A (ja) | 2012-02-20 | 2012-02-20 | メタルマスク及びメタルマスクの認識マーク形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012034042A JP2013169677A (ja) | 2012-02-20 | 2012-02-20 | メタルマスク及びメタルマスクの認識マーク形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013169677A true JP2013169677A (ja) | 2013-09-02 |
Family
ID=49263966
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012034042A Pending JP2013169677A (ja) | 2012-02-20 | 2012-02-20 | メタルマスク及びメタルマスクの認識マーク形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013169677A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110337193A (zh) * | 2019-05-05 | 2019-10-15 | 天津光韵达光电科技有限公司 | 一种smt激光模板的mark点及其加工方法 |
CN112445061A (zh) * | 2020-09-15 | 2021-03-05 | 阿德文泰克全球有限公司 | 掩模板的定位点制作方法和掩模板 |
-
2012
- 2012-02-20 JP JP2012034042A patent/JP2013169677A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110337193A (zh) * | 2019-05-05 | 2019-10-15 | 天津光韵达光电科技有限公司 | 一种smt激光模板的mark点及其加工方法 |
CN112445061A (zh) * | 2020-09-15 | 2021-03-05 | 阿德文泰克全球有限公司 | 掩模板的定位点制作方法和掩模板 |
CN112445061B (zh) * | 2020-09-15 | 2024-06-07 | 常州友机光显电子科技有限公司 | 掩模板的定位点制作方法和掩模板 |
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