JP2013156222A - 形状測定装置、及び形状測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被測定物の特定面のエッジ部分をより明確に撮像することが可能であり、高い精度で被測定物の外形形状を測定することのできる形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１は、ワークＷを載置する載置部３と、ワークＷを照らす照明部としてのリング照明８及び載置部３の反射面３ａと、撮像部としてのＣＣＤカメラ５を備えている。そして、ＣＣＤカメラ５の先端には、載置部３側に開口６ａを有する筒状をなす光遮蔽部６を設けるとともに、照明部としてのリング照明８及び載置部３の反射面３ａは、載置部３側から光遮蔽部６の開口６ａ向かって拡散光を照射するように構成されている。さらに、ＣＣＤカメラ５は、光遮蔽部６の開口６ａと載置部３との間の距離を調節可能である。
【選択図】図１

Description

本発明は、撮像された被測定物の特定面の画像に基づいて、被測定物の外形形状を測定する形状測定装置、及び形状測定方法に関する。

従来、機械部品等の被測定物の形状を測定する形状測定装置として、被測定物の特定面をＣＣＤカメラ等により撮像するとともに、撮像された画像を画像処理して被測定物の寸法を算出する形状測定装置が知られている。また、こうした形状測定装置においては、被測定物の特定面に対して直接、光を照射して特定面の撮像を行う装置や、被測定物に対してバックライト（特定面とは反対側の面から光）を照射して特定面の投影像の撮像を行う装置が知られている。例えば、特許文献１には、被測定物を載置する照明透過板と、照明透過板を介して被測定物に光を照射する光源と、光源の照射光により形成される被測定物の特定面の投影像を撮像する撮像部とを備える形状測定装置が開示されている。

特開２００５−１８８９５５号公報

ところで、上記形状測定装置は、精密な加工を行う工作機械に組み合わせて使用される場合がある。つまり、加工途中のワークを被測定物とし、形状測定装置によってワークの外形形状を測定するとともに、得られたワークの外形形状のデータに基づいて更にワークを加工することが行われている。近年、ワークの加工にはμｍオーダー以下の高い工作精度が要求されるようになってきている。そして、こうした工作機械に対する要求に伴って、形状測定装置に対してもμｍオーダー以下の高い測定精度が要求されるようになっている。

上記形状測定装置において、被測定物の特定面の外形形状を高い精度で測定するためには、エッジ部分が明確となるように被測定物の特定面の撮像を行うことが重要になる。しかしながら、従来の形状測定装置では、μｍオーダー以下の高い精度で測定することができる程に、被測定物のエッジ部分を明確に撮像することが困難であった。

例えば、被測定物の特定面に対して直接、光を照射して特定面の撮像を行う形状測定装置の場合、図３（ｂ）に示すように、特定面に存在する加工筋等の凹凸が映りやすくなる。また、被測定物に対してバックライトを照射して特定面の投影像の撮像を行う形状測定装置の場合、図３（ｃ）に示すように、撮像された被測定物の特定面の像に干渉縞が生じやすくなる。撮像された被測定物の特定面の画像における上記凹凸の映りや上記干渉縞の発生は、正確なエッジ部分の決定を困難にするとともに、測定精度の向上の妨げとなる。

この発明は、こうした従来の実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、被測定物の特定面のエッジ部分をより明確に撮像することが可能であり、高い精度で被測定物の外形形状を測定することのできる形状測定装置、及び形状測定方法を提供することにある。

上記の目的を達成するために請求項１に記載の形状測定装置は、被測定物を載置する載置部と、被測定物を照らす照明部と、被測定物の特定面を撮像する撮像部とを備え、前記撮像部により撮像された前記特定面の像に基づいて被測定物の外形形状を測定する形状測定装置であって、前記撮像部の先端には、前記載置部側に開口を有する筒状をなす光遮蔽部が設けられるとともに、前記照明部は前記載置部側から前記光遮蔽部の開口に向かって拡散光を照射するように構成され、前記光遮蔽部の開口と前記載置部との間の距離を調節可能に構成されていることを特徴とする。

請求項２に記載の形状測定装置は、請求項１に記載の発明において、前記光遮蔽部は、前記撮像部の先端から特定面を含む被測定物の一部を包囲して遮光状態とすることを特徴とする。

請求項３に記載の形状測定装置は、請求項１又は２に記載の発明において、前記照明部は、前記載置部に向かって光を照射する光源と、前記載置部に設けられ、前記光源から照射された光を拡散光として反射する反射面とから構成されることを特徴とする。

請求項４に記載の形状測定装置は、請求項１〜３のいずれか一項に記載の発明において、撮像方向に直交する断面形状の大きさが撮像される特定面よりも大きい部分を有する形状の被測定物を測定対象とすることを特徴とする。

請求項５に記載の形状測定方法は、載置部に載置された被測定物の特定面を撮像部により撮像し、撮像された特定面の像に基づいて被測定物の外形形状を測定する形状測定方法であって、前記載置部側に開口を有する筒状の光遮蔽部によって、前記撮像部の先端から特定面を含む被測定物の一部を包囲して遮光状態とするとともに、前記載置部側から前記光遮蔽部の開口に向かって拡散光を照射した状態として、被測定物の特定面を撮像することを特徴とする。

本発明の構成によれば、被測定物の特定面を撮像する際に、光遮蔽部の開口と載置部（上の被測定物）との間の距離を調節して、撮像部の先端から特定面を含む被測定物の一部までを光遮蔽部により遮光状態とすることによって、光遮蔽部の開口と被測定物との間の隙間から入り込む拡散光以外の光（外乱光）による影響を排除することができる。具体的には、被測定物の特定面の測定に不要な光が照射されることを抑制して、撮像された投影像に加工筋等の凹凸が映ることを抑制することができる。

さらに、光遮蔽部の開口と被測定物との間の隙間から入り込む光を拡散光とすることにより、撮像された投影像に干渉縞が生じることを抑制することができる。そして、上記凹凸の映りや上記干渉縞が抑制されることによって、撮像される投影像は、特定面部分（影）と他の部分（光）とのコントラストが強く、エッジ部分が明確なものとなる。これにより、被測定物の特定面のエッジ部分の決定をより正確に行うことが可能となって、被測定物の外形形状を高い精度で測定することができるようになる。

また、本発明の構成によれば、被測定物の形状が、撮像方向に直交する断面形状の大きさが撮像される特定面よりも大きい部分を有する形状（例えば、特定面側に向かって形状が小さくなる段付き形状やテーパ形状）であっても、特定面の投影像を好適に撮像することができる。

さらに、照明部を、載置部に向かって光を照射する光源と、載置部に設けられ、光源から照射された光を拡散光として反射する反射面とから構成した場合には、従来、載置部側に配置されていたバックライト等の光源を省略することも可能となり、載置部の構成をより簡略化することができる。そして、形状測定装置を工作機械等の他の装置に組み合わせて使用する場合において、他の装置が備えるワークの固定部に対して反射面を設けるとともに、固定部を加工位置と測定位置との間で移動可能に構成すれば、他の装置の固定部を形状測定装置の載置部として利用することもできる。この場合には、他の装置におけるワークの加工等と、形状測定装置におけるワークの形状測定との間においてワークの移し変えを行う必要がなくなる。そのため、ワークの移し変えに起因する位置ずれ誤差の発生を抑制することができるとともに、形状測定装置による測定結果に基づいた加工等をより精密に行うことができる。

本発明の形状測定装置、及び形状測定方法によれば、被測定物の特定面のエッジ部分を明確に撮像することができるとともに、高い精度で被測定物の外形形状を測定することができる。

実施形態の形状測定装置の斜視図。 実施形態の形状測定装置の断面図。 （ａ）は実施形態の形状測定装置にて撮像した画像、（ｂ）及び（ｃ）は従来の形状測定装置にて撮像した画像。

以下、本発明を、ワークを加工する工作機械に組み合わせて使用され、加工途中や加工後のワークの形状を測定する形状測定装置に具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

図１及び２に示すように、本実施形態の形状測定装置１の移動台２上には、載置部３が配置されている。載置部３は円板形状をなし、その上面中央部にはワークＷを固定するための固定溝４が設けられている。また、載置部３の上面には、照射された光を拡散光として反射する反射面３ａが形成されている。本実施形態においては、載置部３の上面を梨地状に加工することによって反射面３ａを形成している。

載置部３の上方位置には、載置部３の反射面３ａに対向するようにして、撮像部としてのＣＣＤカメラ５が配置されている。撮像部としては、載置部３上に固定されたワークＷの上端面Ｗ１（特定面）を高解像度で撮像できるものであれば特に限定されるものではないが、例えば工業用のＣＣＤカメラを好適に使用することができる。

図１及び２に示すように、ＣＣＤカメラ５のレンズ５ａの先端部分には、ＣＣＤカメラ５から載置部３へ向かって直線状に延びる円筒形状の光遮蔽部６が嵌合固定されている。光遮蔽部６は、その内径が基端から先端まで同径となるように形成されている。そして、光遮蔽部６の基端はＣＣＤカメラ５のレンズ５ａの先端部分に嵌合固定され、先端側のみに開口６ａが形成されている。

光遮蔽部６は光を透過させない材質により形成されている。また、光遮蔽部６の内周面には、光を反射しない無反射処理が施されている。本実施形態においては、光遮蔽部６の内周面に対して、光を吸収する黒色塗料の被膜を形成することによって無反射処理を施している。

光遮蔽部６の外周面上部には、側方へ延びる円板状のフランジ７が設けられている。そして、このフランジ７の下面には、光遮蔽部６を囲むようにして、光遮蔽部６の側方位置にリング照明８が取り付けられている。このリング照明８は光源として機能する部材であり、載置部３の反射面３ａに向かって光を照射するように形成されている。

リング照明８の光の種類としては、載置部３の反射面３ａに向かって均一な光を照射することのできるものであれば特に限定されるものではなく、例えば白熱電球、ハロゲン電球、蛍光灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ、発光ダイオードのいずれも使用することができる。なお、本実施形態においては、光源としてのリング照明８と載置部３の反射面３ａとによって、被測定物を照らす照明部が構成されている。

図２に示すように、ＣＣＤカメラ５には撮像した画像データを伝送するケーブル９の一端が接続されるとともに、ケーブル９の他端には撮像した画像データを解析する画像処理部１０が接続されている。また、ＣＣＤカメラ５は上下方向に延びる上下可動軸１１の下端部に固定されるとともに、上下可動軸１１は図示しない第１アクチュエータに接続されている。そして、ＣＣＤカメラ５は、第１アクチュエータの駆動に基づいて、上下可動軸１１と共に上下方向、即ち載置部３に対する接近離間方向に移動可能に構成されている。また、ＣＣＤカメラ５の移動に伴って、ＣＣＤカメラ５に固定された光遮蔽部６及びリング照明８も載置部３に対して接近離間方向に移動する。

図１及び２に示すように、移動台２はその下面側において、水平方向に延びる平面可動軸１２の一端に固定されるとともに、平面可動軸１２は図示しない第２アクチュエータに接続されている。そして、移動台２は、第２アクチュエータの駆動に基づいて、平面可動軸１２と共に平面上を縦方向及び横方向に移動可能に構成されている。また、移動台２の移動に伴って、移動台２上の載置部３も平面上を縦方向及び横方向に移動する。

なお、形状測定装置１の移動台２及び載置部３は、形状測定装置１と組み合わせて使用される工作機械（図示略）との間で共通に用いられる部材である。そして、移動台２及び載置部３は、第２アクチュエータの駆動に基づいて、形状測定装置１におけるＣＣＤカメラ５の下方位置である測定位置（図１及び２に示す位置）と、工作機械における加工位置との間を移動可能に構成されている。

次に、本実施形態の形状測定装置１を用いて、被測定物であるワークＷの形状を測定する方法について説明する。なお、ここでは平板状のワークＷに対して、同ワークＷの一部分が特定厚さとなるように切削加工を行う場合について説明する。

工作機械におけるワークＷの加工工程においては、移動台２及び載置部３は共に工作機械における加工位置に位置している。このとき、未加工の平板状のワークＷは、上下方向に立てるようにして載置部３の固定溝４に固定されている。そして、工作機械は、載置部３に固定されたワークＷの上端面Ｗ１を含む上部の厚さを特定厚さとするとともに、ワークＷの中間部分に段が形成される段付き形状となるように切削加工を行う。

工作機械におけるワークＷの加工後には、ワークＷを形状測定装置１側へと移動させて、ワークＷの上端面Ｗ１の形状測定を行う。そして、形状測定装置１における測定結果に基づいて、ワークＷの上端面が所望の特定厚さとなっているか否かの検査を行う。具体的には、工作機械におけるワークＷの加工後、第２アクチュエータを駆動して平面可動軸１２を移動させ、ワークＷを固定した状態で移動台２及び載置部３を、工作機械における加工位置から形状測定装置１における測定位置（図１及び２に示す位置）へと移動させる。そして、ブロア等を用いてワークＷの上端面Ｗ１（特定面）及び載置部３の反射面３ａに付着した切削液や切粉等の異物を除去する。

次いで、第１アクチュエータを駆動して上下可動軸１１を移動させ、ＣＣＤカメラ５をワークＷに接近させて撮像位置に位置させる。ここで、上記撮像位置は、上端面Ｗ１を含むワークＷの上部側が、開口６ａから光遮蔽部６の内部に入り込んだ状態となる位置に設定される。すなわち、上端面Ｗ１を含むワークＷの上部を、ＣＣＤカメラ５及び光遮蔽部６によって包囲して遮光状態とする位置に設定される。なお、撮像位置における光遮蔽部６の内へのワークＷの入り込み量は特に限定されるものではないが、５ｍｍ以上入り込んでいることが好ましい。

その後、光源であるリング照明８を点灯させて載置部３の反射面３ａに向かって光を照射するとともに、反射面３ａによって反射された拡散光をワークＷの周囲に発生させる。このとき、光遮蔽部６内に位置するワークＷの上部は、光遮蔽部６の開口６ａとワークＷとの間の隙間を介して光遮蔽部６内に入り込んだ拡散光によって、下方側（載置部３側）から照明された状態となる。

そして、ＣＣＤカメラ５を操作して、焦点をワークＷの上端面Ｗ１に合わせるように焦点調整（ピント調節）を行った後、ワークＷの上端面Ｗ１をＣＣＤカメラ５により撮像する。このとき、ワークＷは、光遮蔽部６の開口６ａとワークＷとの間の隙間を介して光遮蔽部６内に入り込んだ拡散光のみによって照明された状態であることから、ワークＷの上端面Ｗ１に対応する部分が影（黒）となり、他の部分が光（白）となる投影像が撮像される。

図３（ａ）は、ワークＷの上端面Ｗ１を形状測定装置１により実際に撮像した画像である。図３（ａ）に示すように、従来の装置において問題となっていた加工筋等の凹凸の映りや干渉縞が生じることはなく、上端面Ｗ１部分と他の部分とのコントラストが明確な投影像を撮像することができる。その後、ＣＣＤカメラ５により取得された投影像は画像処理部１０へと伝送される。そして、画像処理部１０において、投影像のコントラストに基づいて上端面Ｗ１の各エッジ位置を検出するとともに、エッジ位置間の間隔、即ち上端面Ｗ１の厚さを測定する。

また必要に応じて、形状測定装置１は、画像処理部１０に記憶されている加工済みのワークの形状データを読み出し、測定されたワークＷの形状との比較を行う。そして、測定されたワークＷの上端面Ｗ１の厚みが目標とする特定厚みとなっているか否かを判定する。測定されたワークＷの上端面Ｗ１の厚みが目標とする特定厚みに達していない場合には、ワークＷを形状測定装置１における測定位置から工作機械における加工位置へと戻して、目標とする特定厚みとの間の差異を解消すべく再度の切削加工を行う。

次に、本実施形態における作用について記載する。
ワークＷの上端面Ｗ１を撮像する際に、ＣＣＤカメラ５の先端から上端面Ｗ１を含むワークＷの上部までを光遮蔽部６により包囲して遮光状態とすることによって、光遮蔽部６の開口６ａとワークＷとの間の隙間から入り込む拡散光以外の光（外乱光）による影響を排除することができる。これにより、図３（ａ）に示すように、撮像された投影像に、加工筋等の凹凸が映ることを抑制することができる。

また、光遮蔽部６内に位置するワークＷの上部を照明する光（光遮蔽部６の開口６ａとワークＷとの間の隙間から入り込む光）を拡散光とすることにより、撮像された投影像に干渉縞が生じることを抑制することができる。そして、上記凹凸の映りや上記干渉縞が抑制されることによって、撮像される投影像は、上端面Ｗ１部分と他の部分とのコントラストが強く、エッジ部分がより明確なものとなる。そのため、ワークＷの上端面Ｗ１のエッジ部分の決定をより正確に行うことが可能となるとともに、そのエッジ位置に基づいて、ワークＷの上端面Ｗ１の厚み（外形形状）を高い精度で測定することができる。

次に、本実施形態における効果について記載する。
（１）形状測定装置１は、ワークＷを載置する載置部３と、ワークＷを照らす照明部（リング照明８及び載置部３の反射面３ａ）と、撮像部としてのＣＣＤカメラ５を備えている。そして、ＣＣＤカメラ５の先端には、載置部３側に開口６ａを有する筒状をなす光遮蔽部６を設けるとともに、リング照明８及び載置部３の反射面３ａは、載置部３側から光遮蔽部６の開口６ａ向かって拡散光を照射するように構成されている。さらに、ＣＣＤカメラ５は、光遮蔽部６の開口６ａと載置部３との間の距離を調節可能に構成されている。

上記構成によれば、ＣＣＤカメラ５の先端から上端面Ｗ１を含むワークＷの上部までを光遮蔽部６により包囲して遮光状態として撮像を行うことにより、従来の装置において問題となっていた加工筋等の凹凸の映りや干渉縞が生じることがなく、ワークＷの上端面Ｗ１部分と他の部分とのコントラストが明確な投影像を撮像することができる。これにより、ワークＷの上端面Ｗ１のエッジ部分の決定をより正確に行うことが可能となって、ワークＷの上端面Ｗ１の厚み等の外形形状を高い精度で測定することができる。

また、上記構成によれば、ワークＷの形状が、撮像方向（本実施形態においては上下方向）に直交する断面形状の大きさが撮像される上端面Ｗ１よりも大きい部分を有する形状（例えば、上端面Ｗ１側に向かって形状が小さくなる段付き形状やテーパ形状）であっても、上端面Ｗ１の投影像を好適に撮像することができる。ワークＷの形状が上記段付き形状やテーパ形状であると、通常の照明の場合、撮像方向に直交する断面形状の最も大きい部分に対応した投影図しか撮像できない。上記構成では、拡散光を用いているため、ワークＷの上端面Ｗ１側に光が達しやすくなって、上端面Ｗ１に対応した投影図を好適に撮像することができる。

（２）載置部３に向かって光を照射するリング照明８と、載置部３の上面に設けられ、リング照明８から照射された光を拡散光として反射する反射面３ａとから照明部を構成している。

上記構成によれば、従来、載置部側に配置されていたバックライト等の光源を省略することも可能となり、載置部３側の構成を簡略化することができる。そのため、形状測定装置１を工作機械に組み合わせて使用する際に、形状測定装置１が備える載置部３と工作機械が備える固定部材との共有化を容易に図ることができる。具体的には、載置部３の上面に反射面３ａとするとともに、形状測定装置１における測定位置と工作機械における加工位置との間で載置部３を移動可能とすることによって共有化を図ることができる。

また、載置部３の共有化が図られることによって、工作機械におけるワークＷの加工と、形状測定装置１におけるワークＷの形状測定との間においてワークＷの移し変えを行う必要がなくなる。そのため、ワークＷの移し変えに起因する位置ずれ誤差の発生を抑制することができ、形状測定装置１の測定結果に基づいた加工をより精密に行うことができるようになる。

なお、本実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。また、次の変更例を互いに組み合わせ、その組み合わせの構成のように上記実施形態を変更することも可能である。

・ 上記実施形態では、ワークを切削加工する工作機械に組み合わせて使用される形状測定装置について記載したが、上記工作機械以外の装置に組み合わせて使用される形状測定装置であってもよいし、独立して設けられる形状測定装置であってもよい。

・ 撮像部及び載置部３の配置構成は上下方向に並ぶ配置構成に限定されるものではなく、筒状の光遮蔽部６を挟んで直線状に並ぶように配置されていれば、どのような配置構成であってもよい。

・ 上記実施形態では、光遮蔽部６の開口６ａと載置部３との間の距離を調節するための構成（調節手段）として、ＣＣＤカメラ５を上下方向に移動させる上下可動軸１１及び第１アクチュエータを設けていたが、上記調節手段の構成はこれに限定されるものではない。例えば、載置部３を移動させる調節手段や、ＣＣＤカメラ５及び載置部３を共に移動させる調節手段を設けて、光遮蔽部６の開口６ａと載置部３との間の距離を調節可能に構成してもよい。

・ 上記実施形態では、載置部３にワークＷを固定するための固定溝４を設けていたが、固定溝４を省略して、載置部３の反射面３ａ上に直接、ワークＷを載置する構成としてもよい。この場合には、拡散光を反射する反射加工が表面に施された反射板を撮像部の下方側に配置して載置部３とすることもできる。

・ 光遮蔽部６は、ワークＷに照射される外乱光を、ある程度低減可能な構成であればよく、外乱光を完全に遮光する構成のみに限定されるものではない。
・ 光遮蔽部６の形状は、載置部３側に開口する筒形状であれば特に限定されるものではない。例えば、角筒形状であってもよいし、円筒形状であってもよい。さらに、その軸線方向において径が変化するような形状であってもよい。また、形状の異なる複数の光遮蔽部６を備え、撮像されるワークＷの形状等に応じて、光遮蔽部６を適宜交換可能な構成であってもよい。

・ 上記実施形態では、載置部３に向かって光を照射する光源としてリング照明８を採用していたが、載置部３の反射面３ａに向かって均一な光を照射することのできるものであれば、光源の構成は特に限定されるものではない。例えば、環状以外の形状をなす光源であってもよい。また、光源の配置位置に関しても、光遮蔽部６の側方位置に配置する構成に代えて、光遮蔽部６よりも上方位置又は下方位置に配置する構成としてもよい。

・ 上記実施形態では、光源としてのリング照明８と、載置部３の反射面３ａとから照明部を構成していたが、載置部３側から光遮蔽部６の開口６ａに向かって拡散光を照射可能な構成であれば、照明部の構成は特に限定されるものではない。例えば、載置部３を光透過性の部材により構成し、載置部３の下方側（反撮像部側）に拡散光を照射する光源を配置する構成、即ち拡散光を照射するバックライトを照明部として採用してもよい。

・ 形状測定装置１が測定対象とする被測定物は特に限定されるものではなく、外形形状の測定が求められるものであればワークＷ以外のものであってもよい。また、上記実施形態では、被測定物であるワークＷの形状が、撮像方向に直交する断面形状の大きさが撮像される上端面Ｗ１よりも大きい部分を有する形状であったが、被測定物の形状はこれに限定されるものではない。例えば、撮像方向において一定の断面形状を有するものであってもよい。

次に、上記実施形態及び別例から把握できる技術的思想について記載する。
（イ） 前記撮像部及び前記載置部のうちの少なくとも一方を移動させて、前記光遮蔽部の開口と前記載置部との間の距離を調節する調節手段を備える前記形状測定装置。

（ロ） 前記形状測定装置を備え、前記形状測定装置の測定結果に基づいてワークを加工する工作機械であって、加工時においてワークを固定する固定部材と前記形状測定装置における載置部とを共通の部材とするとともに、同部材を加工位置と測定位置との間において移動可能に構成した工作機械。

Ｗ…ワーク（被測定物）、Ｗ１…上端面（特定面）、１…形状測定装置、３…載置部、３ａ…反射面、４…固定溝、５…ＣＣＤカメラ（撮像部）、６…光遮蔽部、６ａ…開口、８…リング照明（光源）、１０…画像処理部、１１…上下可動軸、１２…平面可動軸。

Claims (5)

1. 被測定物を載置する載置部と、被測定物を照らす照明部と、被測定物の特定面を撮像する撮像部とを備え、前記撮像部により撮像された前記特定面の像に基づいて被測定物の外形形状を測定する形状測定装置であって、
   前記撮像部の先端には、前記載置部側に開口を有する筒状をなす光遮蔽部が設けられるとともに、前記照明部は前記載置部側から前記光遮蔽部の開口に向かって拡散光を照射するように構成され、
   前記光遮蔽部の開口と前記載置部との間の距離を調節可能に構成されていることを特徴とする形状測定装置。
2. 前記光遮蔽部は、前記撮像部の先端から特定面を含む被測定物の一部を包囲して遮光状態とすることを特徴とする請求項１に記載の形状測定装置。
3. 前記照明部は、前記載置部に向かって光を照射する光源と、前記載置部に設けられ、前記光源から照射された光を拡散光として反射する反射面とから構成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の形状測定装置。
4. 撮像方向に直交する断面形状の大きさが撮像される特定面よりも大きい部分を有する形状の被測定物を測定対象とすることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の形状測定装置。
5. 載置部に載置された被測定物の特定面を撮像部により撮像し、撮像された特定面の像に基づいて被測定物の外形形状を測定する形状測定方法であって、
   前記載置部側に開口を有する筒状の光遮蔽部によって、前記撮像部の先端から特定面を含む被測定物の一部を包囲して遮光状態とするとともに、前記載置部側から前記光遮蔽部の開口に向かって拡散光を照射した状態として、被測定物の特定面を撮像することを特徴とする形状測定方法。