JP2013147006A - Inkjet head - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inkjet head from which a flexible printed wiring board is not dropped out from the head even if bent with a small bending R and connectivity is never released.SOLUTION: An inkjet head includes: a head substrate 2 that has a plurality of nozzles 231, a pressure chamber, and a pressure generating means 214; a holding substrate 3 that is connected to the head substrate 2, and holds and fixes the head substrate 2; a flexible printed wiring board of which one end is connected to the holding substrate 3, and performs power supply to a pressure generating means 214; and a housing 6 that houses the flexible print wiring board on the holding substrate 3. The flexible print wiring board is bent at the other end side to the direction to intersect the connecting surface to the holding substrate 3, and opposes to the surface of the flexible printed wiring board through the void on a folding direction side surface at a joint part to the holding substrate 3 at one end of the flexible printed wiring board. A dropout preventing member 7 that prevents dropout is arranged to inhibit the progress of release from a holding substrate 3 of the flexible printed wiring board.

Description

本発明はノズルからインク滴を吐出するインクジェットヘッドに関し、詳しくは、圧力発生手段への給電のためのフレキシブルプリント配線板の剥離を簡単な構造で防止できるようにしたインクジェットヘッドに関する。   The present invention relates to an ink jet head that discharges ink droplets from nozzles, and more particularly to an ink jet head that can prevent peeling of a flexible printed wiring board for supplying power to a pressure generating means with a simple structure.

記録紙等の被記録媒体上に微小なインク滴を吐出して画像等を記録するインクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドでは、ＰＺＴ等の圧電素子からなる圧力発生手段の駆動によって圧力室内のインクに圧力変化を発生させ、該圧力室内のインクをノズルから吐出させる。近年、インクジェット記録装置による高精度、高精細な画像形成を実現するため、インクジェットヘッドにおけるノズルの高精細化が求められている。   In an ink jet head used in an ink jet printer that records an image or the like by ejecting minute ink droplets onto a recording medium such as recording paper, pressure is applied to the ink in the pressure chamber by driving a pressure generating means composed of a piezoelectric element such as PZT. A change is generated and ink in the pressure chamber is ejected from the nozzle. In recent years, in order to realize high-precision and high-definition image formation by an ink jet recording apparatus, high definition of nozzles in an ink jet head has been demanded.

インクジェットヘッドの各圧力発生手段への給電のための配線は、通常、フレキシブルプリント配線板（以下、ＦＰＣという場合がある。）の一端をヘッドに接合することで行われる。特許文献１には、一端がヘッドに接合されたＦＰＣの他端側をそのフレキシブルな特性を利用して折り曲げ、筐体ホルダの外側面に沿うように添着させることで、該ＦＰＣを保持するようにしている。   Wiring for supplying power to each pressure generating means of the inkjet head is usually performed by joining one end of a flexible printed wiring board (hereinafter sometimes referred to as FPC) to the head. In Patent Document 1, the other end side of the FPC whose one end is joined to the head is bent using its flexible characteristics and attached along the outer surface of the housing holder so as to hold the FPC. I have to.

特開２００３−３１１９５３号公報JP 2003-311953 A

一般にインクジェットヘッドは、これを搭載した描画装置の設計の際に装置本体が大きくなったりして描画精度が落ちないようにするため、外形形状をできるだけコンパクトにした設計が望まれている。また、インクジェットヘッドの筐体は、ヘッド全体の取付け位置を規定するための基準位置ともなる部品であるため、特許文献１のように筐体ホルダの外側面でＦＰＣを保持することは、基準位置となる筐体の外側面がＦＰＣで覆われてしまうため、筐体ホルダの外側面において基準位置をとれる面積に制約が出てしまったり、フレキシブルなＦＰＣを基準位置とせざるを得なくなったりして、ヘッドの取付け位置精度を低下させてしまう問題がある。   In general, an ink jet head is desired to have a compact outer shape as much as possible in order to prevent drawing accuracy from being reduced due to an increase in the size of the apparatus body when designing a drawing apparatus equipped with the ink jet head. Further, since the casing of the inkjet head is a component that also serves as a reference position for defining the mounting position of the entire head, holding the FPC on the outer surface of the casing holder as in Patent Document 1 Since the outer surface of the casing becomes covered with the FPC, there is a restriction on the area where the reference position can be taken on the outer surface of the casing holder, or a flexible FPC must be set as the reference position. There is a problem that the accuracy of the mounting position of the head is lowered.

このため、ＦＰＣは筐体内に収容することが望ましい。ＦＰＣを筐体内に収容してヘッド全体をコンパクトにするには、ＦＰＣをできるだけ小さな曲げＲで折り曲げて筐体内部に収容しなくてはならない。しかし、ＦＰＣの折り曲げ部の曲げＲを小さくすると、ＦＰＣの接着面に剥離させようとする力が働く。この剥離力はＦＰＣに永続的に作用するため、長期使用によって剥離に至って脱落してしまい、ＦＰＣの接続性が解除されてしまうおそれがある。   For this reason, it is desirable to accommodate the FPC in a housing. In order to accommodate the FPC in the casing and make the entire head compact, the FPC must be bent with the smallest possible bending radius R and accommodated in the casing. However, when the bending R of the bent portion of the FPC is reduced, a force for peeling the FPC on the bonding surface acts. Since this peeling force acts on the FPC permanently, it may be peeled off due to long-term use, and the connectivity of the FPC may be released.

そこで、本発明は、ヘッド全体をコンパクトにするためにフレキシブルプリント配線板を小さな曲げＲで折り曲げても、ヘッドから脱落して接続性が解除されてしまうことがないインクジェットヘッドを提供することを課題とする。   Therefore, the present invention has an object to provide an ink jet head that does not fall off from the head and release connectivity even if the flexible printed wiring board is bent with a small bend R in order to make the entire head compact. And

本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。   Other problems of the present invention will become apparent from the following description.

上記課題は、以下の各発明によって解決される。   The above problems are solved by the following inventions.

１．インクを吐出させる複数のノズルと、前記ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧力発生手段とを有するヘッド基板と、
前記ヘッド基板における前記ノズルの形成面の反対面に接合されて該ヘッド基板を保持固定する保持基板と、
一端が前記保持基板の前記ヘッド基板との接合面の反対面に接合され、前記圧力発生手段に対して給電を行うためのフレキシブルプリント配線板と、
前記保持基板上でフレキシブルプリント配線板を収容する筐体と、を備えてなるインクジェットヘッドであって、
前記フレキシブルプリント配線板は、他端側が前記保持基板との接合面に対して交差する方向に折り曲げられており、且つ、前記フレキシブルプリント配線板の一端の前記保持基板との接合部における折り曲げ方向側の面に、該フレキシブルプリント配線板の表面に対して空隙を介して対向し、該フレキシブルプリント配線板の前記保持基板からの剥離の進行を阻止して脱落を防止するための脱落防止部材が配置されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 1. A head substrate having a plurality of nozzles for ejecting ink, a plurality of pressure chambers communicating with the nozzles, and a plurality of pressure generating means respectively provided corresponding to the pressure chambers;
A holding substrate that is bonded to a surface opposite to the nozzle forming surface of the head substrate and holds and fixes the head substrate;
One end is bonded to the opposite surface of the holding substrate to the head substrate and a flexible printed wiring board for supplying power to the pressure generating unit;
A housing for accommodating a flexible printed wiring board on the holding substrate, and an inkjet head comprising:
The flexible printed wiring board is bent in a direction in which the other end side intersects the bonding surface with the holding substrate, and a bending direction side at a bonding portion between the one end of the flexible printed wiring board and the holding substrate The surface of the flexible printed wiring board is opposed to the surface of the flexible printed wiring board through a gap, and a drop-off prevention member is disposed to prevent the flexible printed wiring board from peeling off from the holding substrate to prevent the falling-off. An inkjet head characterized by being made.

２．前記脱落防止部材と前記フレキシブルプリント配線板との間の前記空隙に接着剤が流入され、該接着剤が硬化していることを特徴とする前記１記載のインクジェットヘッド。 2. 2. The inkjet head according to 1, wherein an adhesive is flown into the gap between the drop-off prevention member and the flexible printed wiring board, and the adhesive is cured.

３．前記脱落防止部材は、前記フレキシブルプリント配線板の一端の前記保持基板との接合部の幅方向の両端部に、各端縁を跨ぐようにそれぞれ設けられていることを特徴とする前記１又は２記載のインクジェットヘッド。 3. The drop-off prevention member is provided at both ends in the width direction of the joint portion between the one end of the flexible printed wiring board and the holding substrate so as to straddle each edge. The inkjet head as described.

４．前記保持基板における前記フレキシブルプリント配線板との接合面において、該フレキシブルプリント配線板の幅方向の外側にそれぞれ接合され、前記保持基板を介して前記ヘッド基板の前記圧力室に対してインクを供給又は前記ヘッド基板からのインクを排出するためのインクを収容するインク室部材を備え、
前記脱落防止部材は前記インク室部材に設けられ、該インク室部材から前記フレキシブルプリント配線板の各端縁を跨ぐようにそれぞれ突設していることを特徴とする前記３記載のインクジェットヘッド。 4). In the holding surface of the holding substrate with the flexible printed wiring board, the ink is supplied to the outside of the flexible printed wiring board in the width direction, and supplies ink to the pressure chamber of the head substrate via the holding substrate. An ink chamber member for containing ink for discharging ink from the head substrate;
4. The inkjet head according to item 3, wherein the drop-off prevention member is provided in the ink chamber member and protrudes from the ink chamber member so as to straddle each edge of the flexible printed wiring board.

５．前記脱落防止部材は、前記保持基板における前記フレキシブルプリント配線板の幅方向の外側にそれぞれ設けられ、該保持基板上から前記フレキシブルプリント配線板の各端縁を跨ぐようにそれぞれ突設していることを特徴とする前記３記載のインクジェットヘッド。 5. The drop-off prevention member is provided on each outer side in the width direction of the flexible printed wiring board on the holding substrate, and protrudes from the holding substrate so as to straddle each edge of the flexible printed wiring board. 4. The inkjet head as described in 3 above.

６．前記筐体は、前記フレキシブル配線板における前記保持基板から折り曲げられて立ち上がる他端側の折り曲げ方向側の面と反対側の面に沿って延びる内壁面を有し、
前記フレキシブルプリント配線板は、前記筐体の前記内壁面に接着されていることを特徴とする前記１〜５のいずれかに記載のインクジェットヘッド。 6). The housing has an inner wall surface extending along a surface on the opposite side to the surface on the other side of the flexible wiring board that is bent and raised from the holding substrate.
The inkjet head according to any one of 1 to 5, wherein the flexible printed wiring board is bonded to the inner wall surface of the casing.

本発明によれば、ヘッド全体をコンパクトにするためにフレキシブルプリント配線板を小さな曲げＲで折り曲げても、ヘッドから脱落して接続性が解除されてしまうことがないインクジェットヘッドを提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an ink jet head that does not drop from the head and release connectivity even if the flexible printed wiring board is bent with a small bend R in order to make the entire head compact. .

本発明に係るインクジェットヘッドの分解斜視図1 is an exploded perspective view of an inkjet head according to the present invention. 本発明に係るインクジェットヘッドの正面図Front view of an inkjet head according to the present invention 本発明に係るインクジェットヘッドを図１中の(iii)-(iii)線に沿う部分で切断した断面図Sectional drawing which cut | disconnected the inkjet head which concerns on this invention in the part which follows the (iii)-(iii) line | wire in FIG. 本発明に係るインクジェットヘッドを図１中の(iv)-(iv)線に沿う部分で切断した断面図Sectional drawing which cut | disconnected the inkjet head which concerns on this invention in the part which followed the (iv)-(iv) line in FIG. 図１に示すインクジェットヘッドにおけるヘッド基板の層構成を示す部分断面図FIG. 1 is a partial cross-sectional view showing a layer structure of a head substrate in the ink jet head shown in FIG. 図１に示すインクジェットヘッドにおける部分平面図Partial plan view of the inkjet head shown in FIG. 本発明に係るインクジェットヘッドの保持基板の他の態様を示す斜視図The perspective view which shows the other aspect of the holding substrate of the inkjet head which concerns on this invention.

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、本発明に係るインクジェットヘッドの分解斜視図、図２は、その正面図、図３は、図１中の(iii)-(iii)線に沿う部分で切断した断面図、図４は、図１中の(iv)-(iv)線に沿う部分で切断した断面図、図５は、図１に示すインクジェットヘッドにおけるヘッド基板の層構成を示す部分断面図、図６は、図１に示すインクジェットヘッドにおける部分平面図である。   1 is an exploded perspective view of an inkjet head according to the present invention, FIG. 2 is a front view thereof, FIG. 3 is a cross-sectional view taken along a line (iii)-(iii) in FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line (iv)-(iv) in FIG. 1, FIG. 5 is a partial cross-sectional view showing the layer structure of the head substrate in the ink jet head shown in FIG. 1, and FIG. 2 is a partial plan view of the inkjet head shown in FIG.

図１において、１はインクジェットヘッドであり、インクジェットヘッド１は、ヘッド基板２と保持基板３とＦＰＣ（フレキシブルプリント配線板）４とインク室部材５と筐体６とを有している。   In FIG. 1, reference numeral 1 denotes an ink jet head. The ink jet head 1 includes a head substrate 2, a holding substrate 3, an FPC (flexible printed wiring board) 4, an ink chamber member 5, and a housing 6.

ヘッド基板２は、ボディプレート２１、中間プレート２２、ノズルプレート２３の３枚の基板が積層一体化されることによって構成されている。   The head substrate 2 is configured by stacking and integrating three substrates, a body plate 21, an intermediate plate 22, and a nozzle plate 23.

ボディプレート２１は、図１中のＡ方向に沿って長さが長く、厚みが１００〜３００μｍ程度のＳｉ基板からなり、一方の面（図１における下面）をエッチングすることによって、平面視で略円形状となる複数の圧力室２１１と、複数の圧力室２１１に対して共通にインクを供給するための凹溝からなる共通流路２１２と、共通流路２１２と各圧力室２１１とを個別に連通し、共通流路２１２内のインクを圧力室２１１に供給するための細溝からなるインク供給路２１３とが凹設された流路形成基板である。   The body plate 21 is made of a Si substrate having a long length along the A direction in FIG. 1 and a thickness of about 100 to 300 μm. By etching one surface (the lower surface in FIG. 1), the body plate 21 is substantially in plan view. A plurality of pressure chambers 211 having a circular shape, a common channel 212 formed of a concave groove for supplying ink to the plurality of pressure chambers 211 in common, and the common channel 212 and each pressure chamber 211 are individually provided. This is a flow path forming substrate in which an ink supply path 213 formed of a narrow groove for communicating the ink in the common flow path 212 to the pressure chamber 211 is recessed.

各圧力室２１１は、後述する中間プレート２２に形成された連通孔２２１との連通部となるための、一部が外側に膨出する形状となる膨出部２１１ａを有している。図１では、１６個の圧力室２１１をＡ方向に沿って配列したボディプレート２１を示しており、一つおきの８個ずつの圧力室２１１に対してそれぞれインクを供給するための２本の共通流路２１２が、間に圧力室２１１の列を挟むように配置されている。   Each pressure chamber 211 has a bulging portion 211a having a shape in which a portion bulges outward to be a communication portion with a communication hole 221 formed in the intermediate plate 22 described later. FIG. 1 shows the body plate 21 in which 16 pressure chambers 211 are arranged along the A direction, and two pressure chambers for supplying ink to every other eight pressure chambers 211 are shown. The common flow channel 212 is disposed so as to sandwich the row of pressure chambers 211 therebetween.

ボディプレート２１の他方の面（図１における上面）には、各圧力室２１１の位置に対応するように圧力発生手段であるＰＺＴ等からなる圧電素子２１４が積層されており、この圧電素子２１４の駆動時に、該圧電素子２１４と圧力室２１１との間の壁面を振動板２１５として振動させることで、圧力室２１１内のインクに吐出のための圧力を付与するようになっている。   On the other surface of the body plate 21 (upper surface in FIG. 1), piezoelectric elements 214 made of PZT or the like as pressure generating means are stacked so as to correspond to the positions of the pressure chambers 211. At the time of driving, the wall surface between the piezoelectric element 214 and the pressure chamber 211 is vibrated as a vibration plate 215 so as to apply pressure for ejection to the ink in the pressure chamber 211.

各共通流路２１２は、ボディプレート２１の長手方向であるＡ方向に沿って延びており、その端部は、ボディプレート２１のＡ方向の両端部近傍においてボディプレート２１を表裏に貫通するように形成されている貫通口２１６にそれぞれ連通している。貫通口２１６は、ボディプレート２１の各端部において、２つずつがＡ方向と直交するボディプレート２１の短手方向であるＢ方向に沿うように並んで配置されており、各々共通流路２１２の端部と連通している。   Each common flow channel 212 extends along the A direction which is the longitudinal direction of the body plate 21, and its end portion penetrates the body plate 21 in the vicinity of both end portions in the A direction of the body plate 21. The through holes 216 that are formed communicate with each other. The through-holes 216 are arranged side by side along the B direction, which is the short direction of the body plate 21 perpendicular to the A direction, at each end of the body plate 21. It communicates with the end of the.

中間プレート２２は、ボディプレート２１と平面視形状が同一形状で、厚みが１００〜３００μｍ程度のガラス基板からなり、ボディプレート２１と積層された際に、ボディプレート２１の圧力室２１１に形成された膨出部２１１ａに対応する位置に、それぞれ中間プレート２２を表裏に貫通し、吐出時のインク流路となる連通孔２２１が個別に形成されている。この中間プレート２２には、ほうケイ酸ガラス（例えばテンパックスガラス（商品名））が好ましく用いられる。   The intermediate plate 22 is formed of a glass substrate having the same shape as the body plate 21 in plan view and a thickness of about 100 to 300 μm, and is formed in the pressure chamber 211 of the body plate 21 when laminated with the body plate 21. Communication holes 221 are formed individually at positions corresponding to the bulging portions 211a so as to penetrate the intermediate plate 22 on the front and back sides and serve as ink flow paths at the time of ejection. Borosilicate glass (for example, Tempax glass (trade name)) is preferably used for the intermediate plate 22.

ノズルプレート２３は、厚みが１００〜３００μｍ程度のＳｉ基板からなり、中間プレート２２と積層された際に、中間プレート２２の連通孔２２１に対応する位置に、それぞれインク滴を吐出するノズル２３１が形成されている。各ノズル２３１はノズルプレート２３における中間プレート２２とは反対面に開口しており、中間プレート２２側の面からは、ノズル２３１と連通し、該ノズル２３１よりも大径な凹部からなる大径部２３２が凹設されている。   The nozzle plate 23 is made of a Si substrate having a thickness of about 100 to 300 μm. When the nozzle plate 23 is laminated with the intermediate plate 22, nozzles 231 that discharge ink droplets are formed at positions corresponding to the communication holes 221 of the intermediate plate 22. Has been. Each nozzle 231 has an opening on the opposite surface of the nozzle plate 23 to the intermediate plate 22, and communicates with the nozzle 231 from the surface on the intermediate plate 22 side, and has a large-diameter portion formed by a recess having a larger diameter than the nozzle 231. 232 is recessed.

なお、ノズルプレート２３においてノズル２３１が開口するノズルの形成面（ノズル面）２３０には、不図示の撥インク膜が形成されている。   Note that an ink repellent film (not shown) is formed on a nozzle formation surface (nozzle surface) 230 where the nozzles 231 open in the nozzle plate 23.

ヘッド基板２は、圧力室２１１の膨出部２１１ａ、連通孔２２１、大径部２３２（ノズル２３１）がそれぞれ連通するように、ボディプレート２１、中間プレート２２及びノズルプレート２３が位置合わせされて積層され、一体に接合されることによって構成される。ボディプレート２１、中間プレート２２及びノズルプレート２３の接合方法としては、一般に陽極接合が用いられる。   The head substrate 2 is laminated with the body plate 21, the intermediate plate 22 and the nozzle plate 23 aligned so that the bulging portion 211a of the pressure chamber 211, the communication hole 221, and the large diameter portion 232 (nozzle 231) communicate with each other. And are integrally joined. As a method for joining the body plate 21, the intermediate plate 22, and the nozzle plate 23, anodic bonding is generally used.

これらボディプレート２１、中間プレート２２及びノズルプレート２３の接合により、ボディプレート２１の圧力室２１１、共通流路２１２、インク供給路２１３の下面は閉塞されると共に、各共通流路２１２の両端部にそれぞれ連通する貫通口２１６は、ヘッド基板２の図１中の上面のみに開口し、各共通流路２１２へのインクの供給又は各共通流路２１２からのインクの排出のための開口部となる。   By joining the body plate 21, the intermediate plate 22, and the nozzle plate 23, the lower surfaces of the pressure chamber 211, the common flow path 212, and the ink supply path 213 of the body plate 21 are closed, and at both ends of each common flow path 212. The through-holes 216 communicating with each other open only on the upper surface of the head substrate 2 in FIG. 1 and serve as openings for supplying ink to each common flow channel 212 or discharging ink from each common flow channel 212. .

保持基板３は、ヘッド基板２の強度保持のために該ヘッド基板２に対して接着剤を用いて接合され、ヘッド基板２を保持固定する基板であり、厚みが０．５ｍｍ〜３ｍｍ程度のＳｉ基板又はガラス基板からなる。ガラス基板としては、ヘッド基板２の中間プレート２２と同様、ほうケイ酸ガラス（例えばテンパックスガラス（商品名））が好ましく用いられる。   The holding substrate 3 is a substrate that is bonded to the head substrate 2 with an adhesive to hold the head substrate 2 and retains and fixes the head substrate 2, and has a thickness of about 0.5 mm to 3 mm. It consists of a substrate or a glass substrate. As the glass substrate, borosilicate glass (for example, Tempax glass (trade name)) is preferably used similarly to the intermediate plate 22 of the head substrate 2.

保持基板３の平面視形状は、Ａ方向及びＢ方向のいずれにおいてもヘッド基板２よりも大きく形成されている。特に保持基板３のＡ方向に沿う両端部はヘッド基板２のＡ方向の両端からそれぞれ大きく張り出している。   The holding substrate 3 has a plan view shape larger than the head substrate 2 in both the A direction and the B direction. In particular, both end portions along the A direction of the holding substrate 3 are greatly projected from both ends of the head substrate 2 in the A direction.

保持基板３の中央部には、ヘッド基板２と接合された際に、該ヘッド基板２のボディプレート２１上に配列されている全ての圧電素子２１４を取り囲むことができる大きさの一つの開口部３１が貫通形成されている。開口部３１は図１中のＡ方向に沿って延びる矩形状に形成され、その内部にヘッド基板２上の全ての圧電素子２１４を取り囲み得るが、ヘッド基板２の両端部にそれぞれ開口する２つずつの貫通口２１６の位置までには至らない大きさに形成されている。   In the central portion of the holding substrate 3, one opening having a size that can surround all the piezoelectric elements 214 arranged on the body plate 21 of the head substrate 2 when bonded to the head substrate 2. 31 is formed through. The opening 31 is formed in a rectangular shape extending along the direction A in FIG. 1 and can surround all the piezoelectric elements 214 on the head substrate 2 in the opening 31, but two openings that respectively open at both ends of the head substrate 2. It is formed in a size that does not reach the position of each through-hole 216.

保持基板３のＡ方向の両端部近傍には、それぞれヘッド基板２の上面に開口する２つずつの貫通口２１６を取り囲み得る大きさのインク流路となる貫通孔３２が１つずつ形成されている。従って、１つの貫通孔３２は、ヘッド基板２上に並列する２つの貫通口２１６、２１６と連通する。   In the vicinity of both end portions in the A direction of the holding substrate 3, one through hole 32 serving as an ink flow path having a size capable of surrounding each of the two through holes 216 opening on the upper surface of the head substrate 2 is formed. Yes. Accordingly, one through hole 32 communicates with two through holes 216 and 216 arranged in parallel on the head substrate 2.

この保持基板３は、開口部３１内にヘッド基板２上の全ての圧電素子２１４が位置すると共に、各貫通口２１６が貫通孔３２内に位置して連通するようにヘッド基板２と位置合わせされ、接着剤によって一体に接合される。保持基板３はガラス基板からなるが、ヘッド基板２を構成するＳｉ基板やガラス基板と線膨張係数が近いため、接着剤として熱硬化性接着剤等の加熱を伴う接合方法を用いた場合でも、この保持基板３とヘッド基板２との間の反りは抑制される。   The holding substrate 3 is aligned with the head substrate 2 so that all the piezoelectric elements 214 on the head substrate 2 are located in the opening 31 and each through-hole 216 is located in and communicates with the through-hole 32. , And bonded together by an adhesive. Although the holding substrate 3 is made of a glass substrate, since the linear expansion coefficient is close to the Si substrate and the glass substrate constituting the head substrate 2, even when a bonding method involving heating such as a thermosetting adhesive is used as an adhesive, Warpage between the holding substrate 3 and the head substrate 2 is suppressed.

また、保持基板３がガラス基板からなる場合は、紫外線透過性を有するため、接着剤としてＵＶ硬化性接着剤又はＵＶ熱硬化性接着剤を用いて、初期硬化において加熱を伴わない接合方法を用いてもよい。   Further, when the holding substrate 3 is made of a glass substrate, since it has ultraviolet transparency, a UV curable adhesive or a UV thermosetting adhesive is used as the adhesive, and a bonding method that does not involve heating in the initial curing is used. May be.

なお、保持基板３の下面（ヘッド基板２との接合面）は、Ｂ方向が開口部３１よりも大きな領域に亘る凹部３３が形成されている。この凹部３３は、図３に示すように、保持基板３とヘッド基板２とが接合された際、ヘッド基板２の２本の共通流路２１２を含み得る大きさに形成されている。これにより、ヘッド基板２における全ての圧電素子２１４はもちろんのこと、各圧力室２１１、両端部を除く共通流路２１２、インク供給路２１３は保持基板３の凹部３３内に配置され、該保持基板３と直に接合されないようになっている。   Note that a recess 33 is formed on the lower surface of the holding substrate 3 (the bonding surface with the head substrate 2) over a region where the B direction is larger than the opening 31. As shown in FIG. 3, the recess 33 is formed in a size that can include the two common flow paths 212 of the head substrate 2 when the holding substrate 3 and the head substrate 2 are joined. As a result, not only all the piezoelectric elements 214 in the head substrate 2 but also each pressure chamber 211, the common channel 212 excluding both ends, and the ink supply channel 213 are arranged in the recess 33 of the holding substrate 3. 3 is not directly joined.

ＦＰＣ４は、不図示の駆動回路からの駆動信号を各圧電素子２１４に印加するために、ポリイミド等の絶縁性のカバーレイに駆動回路との間を電気的に接続する配線４１（図６参照）が設けられた外部配線部材である。ＦＰＣ４の一端は、保持基板３上のＡ方向に沿う開口部３１の一方側部に接着剤によって接合されていると共に、他端側は、保持基板３との接合面に対して交差する方向、好ましくは垂直方向に折り曲げられ、保持基板３の上面から側方へはみ出さないように図示上方に向けて延びている。ＦＰＣ４の各配線４１と各圧電素子２１４との間は、保持基板３の開口部３１を利用して、ボンディングワイヤ４２によってそれぞれ個別に電気的に接続されている。なお、このＦＰＣ４には、駆動ＩＣ４３が実装されている。   The FPC 4 has a wiring 41 (see FIG. 6) that electrically connects the drive circuit to an insulating coverlay such as polyimide in order to apply a drive signal from a drive circuit (not shown) to each piezoelectric element 214. Is an external wiring member provided. One end of the FPC 4 is bonded to one side portion of the opening 31 along the A direction on the holding substrate 3 by an adhesive, and the other end side intersects the bonding surface with the holding substrate 3. Preferably, it is bent in the vertical direction and extends upward in the figure so as not to protrude from the upper surface of the holding substrate 3 to the side. Each wiring 41 of the FPC 4 and each piezoelectric element 214 are individually electrically connected by bonding wires 42 using the opening 31 of the holding substrate 3. Note that a drive IC 43 is mounted on the FPC 4.

インク室部材５は、ここではインク室部材本体５１とフィルタホルダ５２との２部品に分かれており、これらインク室部材本体５１とフィルタホルダ５２とが一体となって一つのインク室部材５を構成している。本実施形態に示すインクジェットヘッド１には、保持基板３上のＡ方向の両端部にそれぞれ１つずつ合計２つのインク室部材５が配置されている。   Here, the ink chamber member 5 is divided into two parts, an ink chamber member main body 51 and a filter holder 52, and the ink chamber member main body 51 and the filter holder 52 constitute one ink chamber member 5. doing. In the inkjet head 1 shown in the present embodiment, a total of two ink chamber members 5 are arranged, one at each end of the holding substrate 3 in the A direction.

インク室部材本体５１は、例えばＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド樹脂）等の合成樹脂材料によって一面（図示下面）が開口する箱型形状に形成されており、内部がインクを収容するインク室５１１とされている。   The ink chamber member main body 51 is formed in a box shape with one surface (lower surface in the drawing) opened by a synthetic resin material such as PPS (polyphenylene sulfide resin), and the inside is an ink chamber 511 for containing ink. .

各インク室部材本体５１は、不図示のインクタンク等から供給されるインクをインク室５１１に一旦貯留し、保持基板３の貫通孔３２、ボディプレート２１の貫通口２１６、共通流路２１２及びインク供給路２１３を介して、各圧力室２１１内にインクを供給し、又は、その逆に各圧力室２１１内のインクをインク供給路２１３、共通流路２１２、ボディプレート２１の貫通口２１６及び保持基板３の貫通孔３２を介して受け入れ、不図示の廃インクタンク等に排出するためのものである。インク室部材本体５１の上面には、インク供給又はインク排出のためのインクチューブとの接続部となる流路口５１２が突設されている。   Each ink chamber member main body 51 temporarily stores ink supplied from an ink tank (not shown) or the like in the ink chamber 511, and the through hole 32 of the holding substrate 3, the through hole 216 of the body plate 21, the common flow path 212 and the ink. Ink is supplied into each pressure chamber 211 via the supply path 213, or vice versa, the ink in each pressure chamber 211 is held in the ink supply path 213, the common flow path 212, the through-hole 216 of the body plate 21 and the holding. It is for receiving through the through hole 32 of the substrate 3 and discharging it to a waste ink tank (not shown) or the like. On the upper surface of the ink chamber member main body 51, a flow path port 512 serving as a connection portion with an ink tube for supplying or discharging ink is projected.

フィルタホルダ５２は、好ましくはインク室部材本体５１と同様の合成樹脂材料によって、該インク室部材本体５１の開口の周縁５１３の形状に合致する形状に形成された枠状体からなり、このフィルタホルダ５２にはフィルタ５２１が張設されている。本実施形態では、インク室部材本体５１は平面視で四角形状をしており、その開口の周縁５１３も四角形状となっている。このため、フィルタホルダ５２も、この開口の周縁５１３の四角形状に合致した四角形状の枠状体となっている。   The filter holder 52 is preferably made of a synthetic resin material similar to that of the ink chamber member main body 51, and is made of a frame-like body formed in a shape that matches the shape of the peripheral edge 513 of the opening of the ink chamber member main body 51. A filter 521 is stretched on 52. In the present embodiment, the ink chamber member main body 51 has a quadrangular shape in plan view, and the peripheral edge 513 of the opening also has a quadrangular shape. Therefore, the filter holder 52 is also a quadrangular frame that matches the quadrangular shape of the periphery 513 of the opening.

フィルタ５２１は、通常、インク室５１１に貯留されたインクが保持基板３の貫通孔３２に向けて流出する際に、インク中のゴミや気泡等の異物を取り除く。このフィルタ５２１は、フィルタホルダ５２に接着剤を介さずに、溶着によって一体化されることが好ましい。接着剤を用いた接着では、接着剤が毛管現象によってフィルタ５２１内に浸透してフィルタ５２１の目を塞いでしまうおそれがあるためである。フィルタ５２１は例えばＳＵＳ等の金属メッシュからなる金属製フィルタであることが好ましく、合成樹脂製のフィルタホルダ５２に対して溶着によって一体化されることが好ましい。   The filter 521 normally removes foreign matters such as dust and bubbles in the ink when the ink stored in the ink chamber 511 flows out toward the through hole 32 of the holding substrate 3. The filter 521 is preferably integrated with the filter holder 52 by welding without using an adhesive. This is because, in the bonding using the adhesive, the adhesive may permeate into the filter 521 due to a capillary phenomenon and block the eyes of the filter 521. The filter 521 is preferably a metal filter made of a metal mesh such as SUS, for example, and is preferably integrated with the filter holder 52 made of synthetic resin by welding.

フィルタホルダ５２は、フィルタ５２１が予め設置された状態で、ヘッド基板２の圧力室２１１へのインク流路となる保持基板３の貫通孔３２をフィルタ５２１の部分で被覆するように該保持基板３上に接合されている。図１中の符号ａは、フィルタボルダ５２が接合される領域を示している。貫通孔３２はこの領域ａ内に配置されている。そして、インク室部材本体５１は、その開口の周縁５１３が枠状体からなるフィルタホルダ５２上に載置されるようにして接着剤によって接合されている。   The filter holder 52 is configured so that the through-hole 32 of the holding substrate 3 serving as an ink flow path to the pressure chamber 211 of the head substrate 2 is covered with the filter 521 in a state where the filter 521 is previously installed. Joined on top. A symbol a in FIG. 1 indicates a region where the filter boulder 52 is joined. The through hole 32 is disposed in the region a. The ink chamber member main body 51 is bonded by an adhesive so that the peripheral edge 513 of the opening is placed on the filter holder 52 formed of a frame-like body.

このようにインク室部材５を、内部にインク室５１１を有するインク室部材本体５１と、フィルタ５２１を有するフィルタホルダ５２とに分けたため、フィルタ５２１をインク室５１１内に配置させて固着作業を行う必要はなく、単なる薄板状の枠状体に対して固着、好ましくは溶着作業するだけでフィルタ５２１を極めて簡単に張設することができる。フィルタホルダ５２は単なる薄板状の枠状体であるため、複雑な形状をしたインク室部材本体５１と異なって上下両面が開放しており、フィルタ５２１の設置状態を保持基板３への接合前に容易に確認することができる。従って、完成後のインク室部材５に異物の捕捉漏れが生じるようなことはない。   Since the ink chamber member 5 is divided into the ink chamber member main body 51 having the ink chamber 511 and the filter holder 52 having the filter 521 in this way, the filter 521 is disposed in the ink chamber 511 and the fixing operation is performed. There is no need, and the filter 521 can be stretched very simply by simply adhering to, preferably welding, a thin plate-like frame. Since the filter holder 52 is a mere thin plate-like frame body, the upper and lower surfaces are open unlike the ink chamber member main body 51 having a complicated shape, and the installation state of the filter 521 is changed before the bonding to the holding substrate 3. It can be easily confirmed. Accordingly, there is no possibility that foreign matter is captured and leaked in the completed ink chamber member 5.

これら保持基板３上に設けられる２つのインク室部材５は、一方をインク供給用、他方をインク排出用として機能させてもよいが、両インク室部材５をインク供給用として機能させてもよい。本実施形態では、各インク室部材５の容積は比較的小型となるものの、内部にインクが収容可能なインク室部材５は保持基板３上に２つ配置されるため、両インク室部材５、５によって多量のインクを貯留でき、貯留可能なインク量については、従来の１つだけのインク室部材と比べて何ら遜色はない。各インク室部材５は同一形状（同一容積）とするものに限らず、必要に応じて形状（容積）を異ならせるようにしてもよい。   These two ink chamber members 5 provided on the holding substrate 3 may function as one for supplying ink and the other as for discharging ink. However, both ink chamber members 5 may function as supplying ink. . In the present embodiment, although the volume of each ink chamber member 5 is relatively small, since two ink chamber members 5 that can accommodate ink are arranged on the holding substrate 3, both ink chamber members 5, 5 can store a large amount of ink, and the amount of ink that can be stored is not inferior to that of a single conventional ink chamber member. The ink chamber members 5 are not limited to the same shape (same volume), but may have different shapes (volumes) as necessary.

筐体６は、保持基板３を含む該保持基板３上の部品であるＦＰＣ４、２つのインク室部材５を全て覆うことができる大きさを有し、下面が開口する箱型形状に形成されている。上面には、各インク室部材５の流路口５１２に対応する位置に、該流路口５１２の先端をそれぞれ貫通させるための貫通口６１が形成されていると共に、これら２つの貫通口６１の間に、保持基板３から折り曲げられて上方に向けて延びるＦＰＣ４を挿通させるための挿通口６２が形成されている。   The housing 6 has a size capable of covering all of the FPC 4 and the two ink chamber members 5 which are parts on the holding substrate 3 including the holding substrate 3, and is formed in a box shape having an open bottom surface. Yes. On the upper surface, a through-hole 61 is formed at a position corresponding to the flow-path opening 512 of each ink chamber member 5 so as to penetrate the tip of the flow-path opening 512. An insertion port 62 is formed through which the FPC 4 bent upward from the holding substrate 3 and extending upward is inserted.

この筐体６は、保持基板３の周囲を取り囲むと共に、各貫通口６１から流路口５１２を貫通突出させ、更にＦＰＣ４の他端側を挿通口６２から上方に引き出すようにして該保持基板３に対して取り付けられ、内部に配置される各部品を保護する。ＦＰＣ４もこの筐体６内に収容されるため、平面視で筐体６の外周囲には筐体６以外の部品が突出することはない。従って、インクジェットヘッド１の取付け位置精度は、この筐体６の外側面で規定することができるため、高精度な位置精度を確保できる。   The housing 6 surrounds the periphery of the holding substrate 3, protrudes through the channel port 512 from each through hole 61, and further pulls out the other end side of the FPC 4 from the insertion port 62 to the holding substrate 3. It is attached to and protects each component placed inside. Since the FPC 4 is also accommodated in the housing 6, components other than the housing 6 do not protrude from the outer periphery of the housing 6 in a plan view. Therefore, since the mounting position accuracy of the ink jet head 1 can be defined by the outer surface of the housing 6, high-accuracy position accuracy can be ensured.

本発明において、この筐体６内に収容される両インク室部材５のインク室部材本体５１には、それぞれ内側に対面する外壁面５１ａに、互いに向けて突出するように設けられた例えば板状、又は、円柱や角柱等の柱状の突起部からなる部材であって、ＦＰＣ４が保持基板３から完全に剥離して脱落してしまうことを防止するため脱落防止部材７が設けられている。図中の脱落防止部材７は板状のものを示している。   In the present invention, the ink chamber member main bodies 51 of the both ink chamber members 5 accommodated in the housing 6 are each provided, for example, in a plate shape so as to protrude toward each other on the outer wall surface 51a facing the inside. Alternatively, a member made of a columnar protrusion such as a cylinder or a prism, and a drop prevention member 7 is provided to prevent the FPC 4 from completely peeling off from the holding substrate 3 and falling off. The dropout prevention member 7 in the figure is a plate-like member.

脱落防止部材７は、ＦＰＣ４の一端の保持基板３との接合部における折り曲げ方向側の面４ａ（ＦＰＣ４における保持基板３と接合される面の反対面）の上方に該ＦＰＣ４の面４ａと対向するように配置されている。具体的には、脱落防止部材７は、ＦＰＣ４が保持基板３に対して接合されている領域上であって、ＦＰＣ４が上方に向けて折り曲がって保持基板３上から離れ始める曲げ開始部Ｆ（図３参照）の近傍に差し掛かるように面４ａに対向して配置されている。   The drop-off prevention member 7 faces the surface 4a of the FPC 4 above the surface 4a on the side in the bending direction at the joint with the holding substrate 3 at one end of the FPC 4 (the surface opposite to the surface bonded to the holding substrate 3 in the FPC 4). Are arranged as follows. Specifically, the drop-off prevention member 7 is on a region where the FPC 4 is bonded to the holding substrate 3, and the bending start portion F (the FPC 4 is bent upward and starts to be separated from the holding substrate 3. It is arranged to face the surface 4a so as to reach the vicinity of (see FIG. 3).

ＦＰＣ４は、保持基板３上でほぼ直角に折り曲げられているため、曲げ開始部Ｆには、復元力によって常に上方に向けて保持基板３から剥離しようとする力が作用する。ＦＰＣ４が保持基板３から剥離する場合、この曲げ開始部Ｆの部位から一端側に向けて保持基板３から離れる方向に徐々に剥離し始め、保持基板３から浮き上がることで次第に剥離が進んでいき、最終的には保持基板３から完全に剥離して脱落してしまうことになる。脱落防止部材７は、ＦＰＣ４が保持基板３から剥離し始める曲げ開始部Ｆの近傍において、その下端面７ａがＦＰＣ４を保持基板３との間で挟むように配置されているため、保持基板３上から剥離し始めて該保持基板３から浮き上がろうとするＦＰＣ４を上方から押えることで、ＦＰＣ４の剥離がそれ以上進行することを阻止することができる。その結果、ＦＰＣ４が保持基板３上から脱落して接続性が解除されてしまうことを防止する。   Since the FPC 4 is bent at a substantially right angle on the holding substrate 3, a force for peeling from the holding substrate 3 always acts upward on the bending start portion F by the restoring force. When the FPC 4 is peeled from the holding substrate 3, it begins to peel gradually from the portion of the bending start portion F toward the one end side in the direction away from the holding substrate 3, and the peeling gradually proceeds by lifting from the holding substrate 3, Eventually, it will completely peel off from the holding substrate 3 and fall off. The drop-off prevention member 7 is disposed in the vicinity of the bending start portion F at which the FPC 4 starts to peel from the holding substrate 3 so that the lower end surface 7a sandwiches the FPC 4 with the holding substrate 3. By pressing the FPC 4 that starts to peel off from the holding substrate 3 and floats up from the holding substrate 3 from above, it is possible to prevent further peeling of the FPC 4 from proceeding. As a result, the FPC 4 is prevented from dropping from the holding substrate 3 and the connectivity being released.

脱落防止部材７はＦＰＣ４とは直に接しておらず、下端面７ａが該ＦＰＣ４の表面に対して空隙Ｓ（図２参照）を有している。この脱落防止部材７を有するインク室部材本体５１は、ＦＰＣ４を保持基板３上に接合した後に設置されるため、空隙Ｓを有することで、インク室部材本体５１を保持基板３上（フィルタホルダ５２上）に接合する際に、脱落防止部材７とＦＰＣ４とが干渉し合うことによるインク室部材本体５１と保持基板３（フィルタホルダ５２）との間の密着不良を防止することができる。   The drop-off prevention member 7 is not in direct contact with the FPC 4, and the lower end surface 7 a has a gap S (see FIG. 2) with respect to the surface of the FPC 4. Since the ink chamber member main body 51 having the drop-off preventing member 7 is installed after the FPC 4 is bonded onto the holding substrate 3, the ink chamber member main body 51 is placed on the holding substrate 3 (filter holder 52) by having a gap S. When joining to the upper side, it is possible to prevent a close contact failure between the ink chamber member main body 51 and the holding substrate 3 (filter holder 52) due to interference between the drop-off prevention member 7 and the FPC 4.

この空隙Ｓは、０．１〜２ｍｍとすることが好ましく、１〜１．５ｍｍとすることがより好ましい。   The gap S is preferably 0.1 to 2 mm, and more preferably 1 to 1.5 mm.

また、脱落防止部材７は、図２、図６に示すように、ＦＰＣ４の幅方向（Ａ方向）の両端部の端縁４ｂを跨ぐようにインク室部材本体５１の外壁面５１ａから突出することで、ＦＰＣ４に対して所定のオーバーラップＬを有している。通常、ＦＰＣ４の剥離は、幅方向の両端部の端縁４ｂが浮き上がることで生じるため、この端縁４ｂの上方をそれぞれ跨ぐように各脱落防止部材７を配置することで、小さな突出部形状の極く簡単な構造体でありながらも、ＦＰＣ４の剥離の進行を阻止して脱落を確実に防止することができる。   Further, as shown in FIGS. 2 and 6, the drop-off prevention member 7 protrudes from the outer wall surface 51 a of the ink chamber member main body 51 so as to straddle the edges 4 b at both ends in the width direction (A direction) of the FPC 4. Thus, the FPC 4 has a predetermined overlap L. Usually, peeling of the FPC 4 occurs when the end edges 4b at both ends in the width direction are lifted. Therefore, by arranging each dropout prevention member 7 so as to straddle the top of each end edge 4b, a small projecting portion shape is formed. Although it is a very simple structure, it is possible to prevent the separation of the FPC 4 by preventing the peeling of the FPC 4 from proceeding.

このオーバーラップＬは、１〜５ｍｍとすることが好ましく、２〜３ｍｍがより好ましい。   The overlap L is preferably 1 to 5 mm, and more preferably 2 to 3 mm.

脱落防止部材７の下端面７ａとＦＰＣ４との間の空隙Ｓは、空間部のままとすることもできるが、図３に示すように、この空隙Ｓに、例えばエポキシ系接着剤等からなる接着剤Ｇ１を流入して硬化させるようにしてもよい。接着剤Ｇ１を流入、硬化させることで、ＦＰＣ４の剥離の進行をより確実に防止することができる。接着剤Ｇ１はインク室部材本体５１を保持基板３上に設けた後に流入させるため、インク室部材本体５１の接合状態に影響を及ぼすことはない。   The gap S between the lower end surface 7a of the drop-off prevention member 7 and the FPC 4 can be left as it is, but as shown in FIG. 3, the gap S is bonded to, for example, an epoxy adhesive. The agent G1 may be introduced and cured. By causing the adhesive G1 to flow in and cure, the progress of the peeling of the FPC 4 can be more reliably prevented. Since the adhesive G1 flows after the ink chamber member main body 51 is provided on the holding substrate 3, the bonding state of the ink chamber member main body 51 is not affected.

ＦＰＣ４が剥離し始める際、保持基板３に対して垂直方向に折り曲げられた他端側が保持基板３から離れる方向に移動するため、この他端側の移動を抑えることでも剥離の進行を抑制できる。このため、図３、図４に示すように、ＦＰＣ４における保持基板３から上方に折り曲げられて立ち上がる他端側の折り曲げ方向側の面４ａと反対側の面４ｃ（ＦＰＣ４における保持基板３と接合される側の面）に沿って延びるように配置されている筐体６の内壁面６３と、この内壁面６３に対向しているＦＰＣ４の部分とを、例えばエポキシ系接着剤等の接着剤Ｇ２によって接着することも好ましい。これによってＦＰＣ４の剥離の進行を抑制して脱落防止部材７による脱落防止を更に確実にすることができる。   When the FPC 4 starts to peel off, the other end side bent in the direction perpendicular to the holding substrate 3 moves in a direction away from the holding substrate 3, so that the progress of peeling can also be suppressed by suppressing the movement of the other end side. Therefore, as shown in FIGS. 3 and 4, the surface 4 c opposite to the surface 4 a on the other side of the FPC 4 that is bent upward from the holding substrate 3 and rises up (joined with the holding substrate 3 in the FPC 4). The inner wall surface 63 of the housing 6 arranged so as to extend along the surface of the FPC 4 and the portion of the FPC 4 facing the inner wall surface 63 are bonded with an adhesive G2 such as an epoxy-based adhesive. Adhesion is also preferable. As a result, the progress of peeling of the FPC 4 can be suppressed, and the fall prevention by the fall prevention member 7 can be further ensured.

以上説明した脱落防止部材７は、インク室部材本体５１に設けるようにしたが、ＦＰＣ４の剥離の進行を防止可能となるように配置されるものであれば、インク室部材本体５１に設けるものに限らない。例えば図７に示す脱落防止部材８のように保持基板３の上面に一体に設けるようにしてもよい。   The drop-off prevention member 7 described above is provided in the ink chamber member main body 51. However, if it is arranged so as to prevent the FPC 4 from being peeled off, it is provided in the ink chamber member main body 51. Not exclusively. For example, it may be provided integrally on the upper surface of the holding substrate 3 like a dropout prevention member 8 shown in FIG.

図７に示す脱落防止部材８は、曲げ開始部Ｆの近傍において、保持基板３におけるＦＰＣ４の幅方向（Ａ方向）の外側にそれぞれ突設された突起部からなり、その先端８ａ側が、ＦＰＣ４における保持基板３上に接合されている部位の各端縁４ｂ上を跨いで互いに対向するようにそれぞれ内側に向けてＬ形に屈曲している。このため、脱落防止部材８は、図３、図６に示した脱落防止部材７と同様に、互いに対向する先端８ａ側の下端面８ｂが、ＦＰＣ４が保持基板３に対して接合されている領域上であって、ＦＰＣ４が上方に向けて折り曲がって保持基板３上から離れ始める曲げ開始部Ｆの近傍に差し掛かるように配置され、脱落防止部材７と同様の剥離防止効果を発揮することができる。   The drop-off prevention member 8 shown in FIG. 7 is formed of protrusions that protrude from the outside of the holding substrate 3 in the width direction (A direction) of the FPC 4 in the vicinity of the bending start portion F. Each of the portions bonded on the holding substrate 3 is bent in an L shape toward the inside so as to face each other across the end edges 4b. For this reason, the drop-off prevention member 8 has a lower end surface 8b on the side of the front end 8a facing each other in the same manner as the drop-off prevention member 7 shown in FIGS. The FPC 4 is arranged so as to reach the vicinity of the bending start portion F that starts to be bent away from the upper side of the holding substrate 3 and exhibits the same peeling prevention effect as that of the drop-off prevention member 7. it can.

この脱落防止部材８も、ＦＰＣ４に対して脱落防止部材７と同様の空隙Ｓ及びオーバーラップＬを有することが好ましく、その空隙Ｓには図３と同様に接着剤Ｇ１が流入、硬化されるようにしてもよい。   The drop-off prevention member 8 also preferably has the same gap S and overlap L as the drop-off prevention member 7 with respect to the FPC 4 so that the adhesive G1 flows into the gap S and is cured as in FIG. It may be.

１：インクジェットヘッド
２：ヘッド基板
２１：ボディプレート
２１１：圧力室
２１１ａ：膨出部
２１２：共通流路
２１３：インク供給路
２１４：圧電素子（圧力発生手段）
２１５：振動板
２１６：貫通口
２２：中間プレート
２２１：連通孔
２３：ノズルプレート
２３０：ノズルの形成面（ノズル面）
２３１：ノズル
２３２：大径部
３：保持基板
３１：開口部
３２：貫通孔
３３：凹部
４：ＦＰＣ
４ａ：ＦＰＣの折り曲げ方向側の面
４ｂ：端縁
４ｃ：ＦＰＣの折り曲げ方向側の面と反対側の面
４１：配線
４２：ボンディングワイヤ
４３：駆動ＩＣ
５：インク室部材
５１：インク室部材本体
５１ａ：外壁面
５１１：インク室
５１２：流路口
５１３：開口の周縁
５２：フィルタホルダ
５２１：フィルタ
６：筐体
６１：貫通口
６２：挿通口
６３；内壁面
７：脱落防止部材
７ａ：下端面
８：脱落防止部材
８ａ：先端
８ｂ：下端面 1: inkjet head 2: head substrate 21: body plate 211: pressure chamber 211a: bulging portion 212: common flow path 213: ink supply path 214: piezoelectric element (pressure generating means)
215: Diaphragm 216: Through hole 22: Intermediate plate 221: Communication hole 23: Nozzle plate 230: Nozzle formation surface (nozzle surface)
231: Nozzle 232: Large diameter portion 3: Holding substrate 31: Opening portion 32: Through hole 33: Recessed portion 4: FPC
4a: FPC folding direction side surface 4b: edge 4c: FPC folding direction side surface opposite side 41: wiring 42: bonding wire 43: drive IC
5: Ink chamber member 51: Ink chamber member main body 51a: Outer wall surface 511: Ink chamber 512: Flow channel port 513: Opening edge 52: Filter holder 521: Filter 6: Housing 61: Through port 62: Insertion port 63; Wall surface 7: Fallout prevention member 7a: Lower end surface 8: Fallout prevention member 8a: Tip 8b: Lower end surface

Claims (6)

インクを吐出させる複数のノズルと、前記ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室と、前記圧力室に対応してそれぞれ設けられた複数の圧力発生手段とを有するヘッド基板と、
前記ヘッド基板における前記ノズルの形成面の反対面に接合されて該ヘッド基板を保持固定する保持基板と、
一端が前記保持基板の前記ヘッド基板との接合面の反対面に接合され、前記圧力発生手段に対して給電を行うためのフレキシブルプリント配線板と、
前記保持基板上でフレキシブルプリント配線板を収容する筐体と、を備えてなるインクジェットヘッドであって、
前記フレキシブルプリント配線板は、他端側が前記保持基板との接合面に対して交差する方向に折り曲げられており、且つ、前記フレキシブルプリント配線板の一端の前記保持基板との接合部における折り曲げ方向側の面に、該フレキシブルプリント配線板の表面に対して空隙を介して対向し、該フレキシブルプリント配線板の前記保持基板からの剥離の進行を阻止して脱落を防止するための脱落防止部材が配置されていることを特徴とするインクジェットヘッド。 A head substrate having a plurality of nozzles for ejecting ink, a plurality of pressure chambers communicating with the nozzles, and a plurality of pressure generating means respectively provided corresponding to the pressure chambers;
A holding substrate that is bonded to a surface opposite to the nozzle forming surface of the head substrate and holds and fixes the head substrate;
One end is bonded to the opposite surface of the holding substrate to the head substrate and a flexible printed wiring board for supplying power to the pressure generating unit;
A housing for accommodating a flexible printed wiring board on the holding substrate, and an inkjet head comprising:
The flexible printed wiring board is bent in a direction in which the other end side intersects the bonding surface with the holding substrate, and a bending direction side at a bonding portion between the one end of the flexible printed wiring board and the holding substrate The surface of the flexible printed wiring board is opposed to the surface of the flexible printed wiring board through a gap, and a drop-off prevention member is disposed to prevent the flexible printed wiring board from peeling off from the holding substrate to prevent the falling-off. An inkjet head characterized by being made. 前記脱落防止部材と前記フレキシブルプリント配線板との間の前記空隙に接着剤が流入され、該接着剤が硬化していることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。   The inkjet head according to claim 1, wherein an adhesive is flowed into the gap between the drop-off prevention member and the flexible printed wiring board, and the adhesive is cured. 前記脱落防止部材は、前記フレキシブルプリント配線板の一端の前記保持基板との接合部の幅方向の両端部に、各端縁を跨ぐようにそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。   2. The drop-off prevention member is provided at both ends in the width direction of a joint portion between the one end of the flexible printed wiring board and the holding substrate so as to straddle each edge. 2. The ink jet head according to 2. 前記保持基板における前記フレキシブルプリント配線板との接合面において、該フレキシブルプリント配線板の幅方向の外側にそれぞれ接合され、前記保持基板を介して前記ヘッド基板の前記圧力室に対してインクを供給又は前記ヘッド基板からのインクを排出するためのインクを収容するインク室部材を備え、
前記脱落防止部材は前記インク室部材に設けられ、該インク室部材から前記フレキシブルプリント配線板の各端縁を跨ぐようにそれぞれ突設していることを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッド。 In the holding surface of the holding substrate with the flexible printed wiring board, the ink is supplied to the outside of the flexible printed wiring board in the width direction, and supplies ink to the pressure chamber of the head substrate via the holding substrate. An ink chamber member for containing ink for discharging ink from the head substrate;
4. The inkjet head according to claim 3, wherein the drop-off prevention member is provided in the ink chamber member and protrudes from the ink chamber member so as to straddle each edge of the flexible printed wiring board. 前記脱落防止部材は、前記保持基板における前記フレキシブルプリント配線板の幅方向の外側にそれぞれ設けられ、該保持基板上から前記フレキシブルプリント配線板の各端縁を跨ぐようにそれぞれ突設していることを特徴とする請求項３記載のインクジェットヘッド。   The drop-off prevention member is provided on each outer side in the width direction of the flexible printed wiring board on the holding substrate, and protrudes from the holding substrate so as to straddle each edge of the flexible printed wiring board. The inkjet head according to claim 3. 前記筐体は、前記フレキシブル配線板における前記保持基板から折り曲げられて立ち上がる他端側の折り曲げ方向側の面と反対側の面に沿って延びる内壁面を有し、
前記フレキシブルプリント配線板は、前記筐体の前記内壁面に接着されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のインクジェットヘッド。



The housing has an inner wall surface extending along a surface on the opposite side to the surface on the other side of the flexible wiring board that is bent and raised from the holding substrate.
The inkjet head according to claim 1, wherein the flexible printed wiring board is bonded to the inner wall surface of the casing.



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