JP2013123892A - Mask cleaning apparatus and screen printing machine - Google Patents

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広紀 小林
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a mask cleaning apparatus which dispenses with replacement of a nozzle each time a mask is changed, and is less expensive and can improve workability, and a screen printing machine.SOLUTION: The mask cleaner 18 which moves relative to the mask 15 while performing vacuum suction with a paper member 32 being pressed to the lower surface of the mask 15 through a vacuum suction opening 31a at the upper end of a nozzle 31 to wipe off the paste Pt adhered on the lower surface of the mask 15, allows the air flowing within the nozzle 31 at the vacuum suction to pass there-through, and one or a plurality of straightening plates 34 having a plurality of straightening holes 34a for arranging the air flow are detachably provided within the nozzle 31.

Description

本発明は、基板の上面に接触させて用いられるスクリーン印刷用のマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置及びこのマスククリーニング装置を備えたスクリーン印刷機に関するものである。   The present invention relates to a mask cleaning device that wipes and removes paste adhered to the lower surface of a mask for screen printing used in contact with the upper surface of a substrate, and a screen printer provided with the mask cleaning device.

スクリーン印刷機は基板上の電極に半田等のペーストを印刷する装置であり、基板の電極の配置に応じたパターン孔が形成されたマスクを電極とパターン孔が合致するよう基板に接触させた後、ペーストが供給されたマスク上でスキージを摺動させてペーストを掻き寄せ、マスクのパターン孔を介して基板の電極にペーストを転写させるようになっている。   A screen printer is a device that prints a paste such as solder on the electrodes on the board. After contacting the mask with the pattern holes according to the placement of the electrodes on the board so that the electrodes and the pattern holes match, The squeegee is slid on the mask supplied with the paste to scrape the paste, and the paste is transferred to the electrode of the substrate through the pattern hole of the mask.

このようなスクリーン印刷機では、基板に対するスクリーン印刷作業が進むと、マスクの下面に付着したペーストの影響によって印刷状態が不良になってくるおそれがあるため、スクリーン印刷機にはマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置を備えている。このマスククリーニング装置は、ノズルの上端の真空吸引口によりペーパー部材をマスクの下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスクに対して相対移動してマスクの下面に付着したペーストを拭き取る構成となっている。   In such a screen printing machine, when the screen printing operation on the substrate proceeds, the printing state may be deteriorated due to the effect of the paste attached to the lower surface of the mask. A mask cleaning device is provided for wiping and removing the paste. This mask cleaning device is configured to wipe the paste adhering to the lower surface of the mask by moving relative to the mask while performing vacuum suction with the paper member pressed against the lower surface of the mask by the vacuum suction port at the upper end of the nozzle. ing.

また、このようなマスククリーニング装置の中には、真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した板状の整流部がノズル内に固定して設けられたものが知られている（例えば、特許文献１）。このような整流部を有したノズル内の空気の流れ（流速等）は、整流部に設けられた整流孔の大きさや隣接する整流孔同士のピッチ間隔等に応じたものとなる。   In addition, in such a mask cleaning device, a plate-like rectifying unit having a plurality of rectifying holes for adjusting the air flow by passing the air flowing through the nozzle during vacuum suction is fixedly provided in the nozzle. Is known (for example, Patent Document 1). The flow of air (flow velocity, etc.) in the nozzle having such a rectifying unit depends on the size of the rectifying holes provided in the rectifying unit, the pitch interval between adjacent rectifying holes, and the like.

特開平１０−１９３５７７号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-193577

しかしながら、上記のように整流部を有したノズルを用いてマスククリーニングを行う場合、ノズル内の空気の流れをマスクの種類に応じた最適なものとするためには、整流部の整流孔の大きさや隣接する整流孔同士のピッチ間隔が異なる複数種類のノズルを予め用意したうえで、マスクを変えるごとにノズルを交換する必要があったため、コストが高くなり、作業性もよくないという問題点があった。   However, when performing mask cleaning using a nozzle having a rectifying portion as described above, the size of the rectifying hole in the rectifying portion is the optimum in order to optimize the air flow in the nozzle according to the type of mask. In addition, it was necessary to replace the nozzles every time the mask was changed after preparing multiple types of nozzles with different pitch intervals between adjacent rectifying holes, resulting in high costs and poor workability. there were.

そこで本発明は、マスクを替えるごとにノズルを交換する必要がなく、安価であるとともに作業性を向上させることができるマスククリーニング装置及びスクリーン印刷機を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a mask cleaning device and a screen printing machine that do not require replacement of the nozzle every time the mask is changed, are inexpensive and can improve workability.

請求項１に記載のマスククリーニング装置は、基板の上面に接触されたマスク上でスキージを摺動させて基板上にペーストを転写させるスクリーン印刷機に備えられ、ノズルの上端の真空吸引口によりペーパー部材をマスクの下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスクに対して相対移動してマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置であって、真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した一又は複数の整流板がノズル内に着脱自在に設けられている。   The mask cleaning apparatus according to claim 1 is provided in a screen printing machine that transfers a paste onto a substrate by sliding a squeegee on a mask that is in contact with the upper surface of the substrate, and a paper is drawn by a vacuum suction port at the upper end of the nozzle. A mask cleaning device that wipes and removes the paste adhering to the lower surface of the mask by moving relative to the mask while performing vacuum suction with the member pressed against the lower surface of the mask, and air flowing through the nozzle during vacuum suction One or a plurality of rectifying plates having a plurality of rectifying holes for adjusting the air flow by passing the air is detachably provided in the nozzle.

請求項２に記載のスクリーン印刷機は、基板の上面に接触されるマスクと、基板の上面に接触されたマスク上で摺動されて基板上にペーストを転写させるスキージと、ノズルの上端の真空吸引口によりペーパー部材をマスクの下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスクに対して相対移動してマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置とを備え、真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した一又は複数の整流板がノズル内に着脱自在に設けられている。   The screen printing machine according to claim 2, a mask that is in contact with the upper surface of the substrate, a squeegee that is slid on the mask that is in contact with the upper surface of the substrate to transfer the paste onto the substrate, and a vacuum at the upper end of the nozzle. A mask cleaning device that wipes and removes the paste adhered to the lower surface of the mask by moving relative to the mask while performing vacuum suction with the paper member pressed against the lower surface of the mask by the suction port, and nozzles during vacuum suction One or a plurality of rectifying plates having a plurality of rectifying holes for adjusting the air flow by passing the air flowing therethrough are detachably provided in the nozzle.

本発明では、真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した一又は複数の整流板がノズル内に着脱自在に設けられており、マスクの種類を変えるときにはそのマスクの種類に応じた大きさ及びピッチ間隔の整流孔を有した整流板のみをノズルに対して着脱（交換）すればよいので、マスクごとにノズルを交換する必要がなく、安価であるとともに作業性の向上を図ることができる。   In the present invention, one or a plurality of rectifying plates having a plurality of rectifying holes for adjusting the air flow by passing the air flowing through the nozzle during vacuum suction are detachably provided in the nozzle. When changing, it is only necessary to attach / detach (replace) the rectifying plate having the rectifying holes of the size and pitch interval according to the type of the mask to / from the nozzle, so there is no need to replace the nozzle for each mask, and it is inexpensive. In addition, the workability can be improved.

本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の斜視図The perspective view of the principal part of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機の要部の側面図The side view of the principal part of the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスクホルダ及びマスクホルダに保持されたマスクの平面図The top view of the mask hold | maintained at the mask holder with which the screen printing machine in one embodiment of this invention is equipped, and a mask holder （ａ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機が備えるマスククリーナの斜視図（ｂ）側断面図(A) Perspective view of a mask cleaner provided in a screen printing machine according to an embodiment of the present invention (b) Side sectional view （ａ）本発明の一実施の形態におけるマスククリーナが備えるノズルの拡大斜視図（ｂ）平面図(A) Enlarged perspective view of nozzle provided in mask cleaner in one embodiment of the present invention (b) Plan view （ａ）本発明の一実施の形態におけるマスククリーナの斜視図（ｂ）側断面図(A) Perspective view of mask cleaner according to one embodiment of the present invention (b) Side sectional view 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を示すフローチャートThe flowchart which shows the execution procedure of the screen printing operation by the screen printer in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する図(A) (b) The figure explaining the execution procedure of the screen printing operation by the screen printer in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する図(A) (b) The figure explaining the execution procedure of the screen printing operation by the screen printer in one embodiment of this invention （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機によるスクリーン印刷作業の実行手順を説明する図(A) (b) The figure explaining the execution procedure of the screen printing operation by the screen printer in one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態におけるスクリーン印刷機におけるマスククリーニング作業の実行手順を説明する図The figure explaining the execution procedure of the mask cleaning operation | work in the screen printer in one embodiment of this invention

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２において、スクリーン印刷機１は、基板２上に設けられた多数の電極３のそれぞれに半田等のペーストＰｔをスクリーン印刷するスクリーン印刷作業を実行する装置であり、基台１０上に設けられた基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット１２及び基板搬出コンベア１３、基板保持ユニット１２の上方に設けられたマスクホルダ１４、マスクホルダ１４によって水平姿勢に保持されたマスク１５、マスク１５の上方に設けられたスキージヘッド１６、マスク１５の下方に設けられたカメラユニット１７及びマスククリーナ１８並びに基台１０内に設けられて各部の作動制御を行う制御装置１９を備えている。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 and 2, a screen printing machine 1 is a device that performs a screen printing operation in which a paste Pt such as solder is screen printed on each of a large number of electrodes 3 provided on a substrate 2. The substrate carry-in conveyor 11, the substrate holding unit 12 and the substrate carry-out conveyor 13, the mask holder 14 provided above the substrate holding unit 12, the mask 15 held in a horizontal posture by the mask holder 14, and above the mask 15 A squeegee head 16 provided on the camera 15, a camera unit 17 and a mask cleaner 18 provided below the mask 15, and a control device 19 provided in the base 10 for controlling the operation of each part.

基板搬入コンベア１１はスクリーン印刷機１の外部から投入された基板２を搬入し（図１中に示す矢印Ｒ１）、基板保持ユニット１２に受け渡す。基板搬出コンベア１３は基板保持ユニット１２から受け取った基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図１中に示す矢印Ｒ２）。すなわち、基板２は基板搬入コンベア１１、基板保持ユニット１２、基板搬出コンベア１３の順で搬送され、この基板２の移動方向をＸ軸方向（オペレータＯＰから見た左右方向）とする。また、このＸ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向（オペレータＯＰから見た前後方向）とし、上下方向をＺ軸方向とする。   The substrate carry-in conveyor 11 carries the substrate 2 loaded from the outside of the screen printing machine 1 (arrow R1 shown in FIG. 1) and delivers it to the substrate holding unit 12. The substrate carry-out conveyor 13 carries the substrate 2 received from the substrate holding unit 12 out of the screen printer 1 (arrow R2 shown in FIG. 1). That is, the board | substrate 2 is conveyed in order of the board | substrate carrying-in conveyor 11, the board | substrate holding unit 12, and the board | substrate carrying-out conveyor 13, and let the moving direction of this board | substrate 2 be the X-axis direction (left-right direction seeing from operator OP). Further, the horizontal plane direction orthogonal to the X-axis direction is defined as the Y-axis direction (front-rear direction as viewed from the operator OP), and the vertical direction is defined as the Z-axis direction.

基板保持ユニット１２は、ＸＹＺロボットから成るユニット移動機構１２ＡによってＸＹ平面内での移動（回転も含む）及びＺ軸方向への移動が自在なユニットベース２１、ユニットベース２１に取り付けられて基板２のＸ軸方向への搬送及び所定の作業位置（図１に示す位置）への位置決めを行う一対のコンベア２２、ユニットベース２１に設けられた下受け部昇降シリンダ２３、下受け部昇降シリンダ２３によって昇降され、コンベア２２によって作業位置に位置決めされた基板２の両端がコンベア２２から上方に離間するように基板２を下方から持ち上げ支持する下受け部２４及びＹ軸方向に開閉自在に設けられ、下受け部２４により持ち上げ支持された基板２の両側部をＹ軸方向から挟んで（クランプして）保持する一対のクランプ部材２５を備えている。   The substrate holding unit 12 is attached to the unit base 21 and the unit base 21 which can be moved (including rotation) in the XY plane and moved in the Z-axis direction by a unit moving mechanism 12A composed of an XYZ robot. A pair of conveyors 22 for carrying in the X-axis direction and positioning to a predetermined work position (the position shown in FIG. 1), a lower part lift cylinder 23 provided on the unit base 21, and a lower receiver lift cylinder 23. The substrate 2 positioned at the working position by the conveyor 22 is lifted and supported from below so that both ends of the substrate 2 are spaced upward from the conveyor 22 and provided so as to be openable and closable in the Y-axis direction. A pair of clamps for holding (clamping) both sides of the substrate 2 lifted and supported by the portion 24 from the Y-axis direction It is equipped with a wood 25.

図３において、マスク１５は基板２上の電極３の配置に対応して設けられた多数のパターン孔１５ｈを有した矩形の金属板から成るマスク本体１５ａ、マスク本体１５ａの周囲に設けられた樹脂（例えばポリエステル）製のメッシュ状の膜部材１５ｂ及び膜部材１５ｂの外周部を支持する矩形枠状のマスク枠１５ｗから成る。   In FIG. 3, a mask 15 is a mask body 15a made of a rectangular metal plate having a large number of pattern holes 15h provided corresponding to the arrangement of the electrodes 3 on the substrate 2, and a resin provided around the mask body 15a. It consists of a mesh-shaped film member 15b made of (for example, polyester) and a rectangular frame-shaped mask frame 15w that supports the outer periphery of the film member 15b.

図３において、マスクホルダ１４は、基台１０の上方をＹ軸方向に延びた断面Ｌ字状の左右一対のレール部材１４ａから成り、マスク１５はこれら左右一対のレール部材１４ａによってＸ軸方向に対向する左右両辺が下方から支持される。   In FIG. 3, the mask holder 14 is composed of a pair of left and right rail members 14a having an L-shaped cross section extending above the base 10 in the Y-axis direction, and the mask 15 is moved in the X-axis direction by the pair of left and right rail members 14a. Opposite left and right sides are supported from below.

図１及び図２において、スキージヘッド１６は、マスクホルダ１４に保持されたマスク１５の上方領域をＹ軸方向に移動自在に設けられたプレート状のベース部材４１、ベース部材４１に取り付けられてピストンロッド４２ａをベース部材４１の下方に突出させた２つのスキージ昇降シリンダ４２、各スキージ昇降シリンダ４２のピストンロッド４２ａの下端に取り付けられてＸ軸方向に延びたスキージ保持具４３及び各スキージ保持具４３に上端部が保持されて斜め下方に延びた薄板部材から成る２つのスキージ４４を備えている。   1 and 2, a squeegee head 16 is attached to a plate-like base member 41 and a base member 41 which are provided so as to be movable in the Y-axis direction in an upper region of a mask 15 held by a mask holder 14. Two squeegee lifting cylinders 42 with rods 42a projecting below the base member 41, squeegee holders 43 attached to the lower ends of the piston rods 42a of the squeegee lifting cylinders 42 and extending in the X-axis direction, and squeegee holders 43 Are provided with two squeegees 44 each made of a thin plate member having an upper end held and extending obliquely downward.

図１及び図２において、カメラユニット１７は撮像視野を下方に向けた下方撮像カメラ１７ａと撮像視野を上方に向けた上方撮像カメラ１７ｂを備えて成る。カメラユニット１７は、図示しないアクチュエータ等から成るカメラユニット移動機構１７Ａによってマスク１５の下方領域を水平面内方向に移動される。   1 and 2, the camera unit 17 includes a lower imaging camera 17a having an imaging field of view directed downward and an upper imaging camera 17b having an imaging field of view directed upward. The camera unit 17 is moved in the horizontal plane in the area below the mask 15 by a camera unit moving mechanism 17A including an actuator (not shown).

図４（ａ），（ｂ）において、マスククリーナ１８は、Ｘ軸方向に延びて上端に矩形の真空吸引口３１ａを有したノズル３１及びノズル３１の真空吸引口３１ａに上方から接し、真空吸引口３１ａの開口部を含む幅を有してＹ軸方向に横断して延びたペーパー部材３２を有して成る。ペーパー部材３２のノズル３１の真空吸引口３１ａの上面に接してＹ軸方向に延びた部分はマスククリーナ１８におけるクリーニング面１８ａとなっており、このクリーニング面１８ａは、ノズル３１を挟んでＹ軸方向に対向配置された一対のローラ部材３３（図２も参照）の回転によるペーパー部材３２のＹ軸方向への送り動作によって更新される。   4 (a) and 4 (b), the mask cleaner 18 extends from the upper side to the nozzle 31 having a rectangular vacuum suction port 31a extending in the X-axis direction and having a rectangular vacuum suction port 31a at the upper end, and vacuum suction. The paper member 32 has a width including the opening of the opening 31a and extends transversely in the Y-axis direction. A portion of the paper member 32 that is in contact with the upper surface of the vacuum suction port 31 a of the nozzle 31 and extends in the Y-axis direction is a cleaning surface 18 a of the mask cleaner 18, and the cleaning surface 18 a sandwiches the nozzle 31 in the Y-axis direction. The paper member 32 is updated by a feed operation in the Y-axis direction by the rotation of a pair of roller members 33 (see also FIG. 2) disposed opposite to each other.

ノズル３１は一対のローラ部材３３とともにＹ軸方向及びＺ軸方向に移動自在に設けられており、マスククリーナ１８は、ノズル３１の上端の真空吸引口３１ａによりペーパー部材３２（クリーニング面１８ａ）をマスク１５の下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスク１５に対してＹ軸方向に相対移動することで、マスク１５の下面に付着したペーストＰｔを拭き取って除去する。   The nozzle 31 is provided so as to be movable in the Y-axis direction and the Z-axis direction together with a pair of roller members 33. The mask cleaner 18 masks the paper member 32 (cleaning surface 18a) by the vacuum suction port 31a at the upper end of the nozzle 31. The paste Pt adhering to the lower surface of the mask 15 is wiped off by moving relative to the mask 15 in the Y-axis direction while performing vacuum suction while being pressed against the lower surface of the mask 15.

図４（ａ），（ｂ）及び図５（ａ），（ｂ）において、マスククリーナ１８のノズル３１内には、真空吸引時にノズル３１内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔３４ａを有した長尺の板部材から成る整流板３４が設けられている。この整流板３４は、ノズル３１の長手方向（Ｘ軸方向）の一端部側の壁面に開口して形成された整流板挿入口３１ｂからノズル３１内に挿入され、ノズル３１の内壁面を水平面内方向に延びて設けられた整流板挿入溝３１ｃによって長手方向の両側辺を支持されてノズル３１内に着脱自在に取り付けられる。整流板３４の長手方向（Ｘ軸方向）の一方側の端部に直角に折り曲げられて成る折り曲げ部３４ｂは、整流板３４を整流板挿入溝３１ｃから引き抜くときのつまみ部として利用される。   4 (a), 4 (b), 5 (a), and 5 (b), a plurality of air flows through the nozzle 31 of the mask cleaner 18 to adjust the air flow by passing the air flowing through the nozzle 31 during vacuum suction. A straightening plate 34 made of a long plate member having a straightening hole 34a is provided. The rectifying plate 34 is inserted into the nozzle 31 from a rectifying plate insertion port 31b formed in an opening on the wall surface on the one end portion side in the longitudinal direction (X-axis direction) of the nozzle 31, and the inner wall surface of the nozzle 31 is placed in a horizontal plane. The both sides of a longitudinal direction are supported by the baffle plate insertion groove 31c provided extending in the direction, and are detachably attached in the nozzle 31. A bent portion 34b formed by bending at right angles to one end portion in the longitudinal direction (X-axis direction) of the rectifying plate 34 is used as a knob portion when the rectifying plate 34 is pulled out from the rectifying plate insertion groove 31c.

図５（ｂ）に示すように、本実施の形態では、整流板３４に形成される各整流孔３４ａはその長手方向の中心軸Ｓが整流板３４の長手方向の中心軸Ｊと直交する水平面内の線Ｓ０に対して傾いた配置で設けられているが、整流板３４における整流孔３４ａの設け方は特に限定されない。なお、本実施の形態のように、各整流孔３４ａの長手方向の中心軸Ｓが整流板３４の長手方向の中心軸Ｊと直交する水平面内の線Ｓ０に対した傾いた方向に延びて設けられていると、各整流孔３４ａの長手方向の中心軸Ｓが整流板３４の長手方向の中心軸Ｊと直交する水平面内の線Ｓ０と平行に延びて設けられている場合よりも、マスククリーナ１８をマスク１５に対して相対移動させて（図５（ｂ）中に矢印Ｐ）行うマスククリーニングの際、より多くのマスク１５の下面領域を整流孔３４ａが通過することになるので、効率のよいマスククリーニングを行うことができる。   As shown in FIG. 5B, in this embodiment, each rectifying hole 34 a formed in the rectifying plate 34 has a horizontal plane in which the central axis S in the longitudinal direction is orthogonal to the central axis J in the longitudinal direction of the rectifying plate 34. Although it is provided in an inclined arrangement with respect to the inner line S0, the way of providing the rectifying hole 34a in the rectifying plate 34 is not particularly limited. As in the present embodiment, the longitudinal center axis S of each rectifying hole 34a extends in a direction inclined with respect to the line S0 in the horizontal plane perpendicular to the longitudinal central axis J of the rectifying plate 34. If this is the case, the mask cleaner is more effective than the case where the central axis S in the longitudinal direction of each rectifying hole 34a extends parallel to the line S0 in the horizontal plane perpendicular to the central axis J in the longitudinal direction of the rectifying plate 34. When the mask cleaning is performed by moving 18 relative to the mask 15 (arrow P in FIG. 5B), the flow straightening holes 34a pass through more lower surface regions of the mask 15, which increases the efficiency. Good mask cleaning can be performed.

図４（ｂ）及び図５（ａ）において、整流板挿入溝３１ｃはノズル３１内を上下方向に複数並んで設けられており、ノズル３１内に一又は複数の整流板３４を取り付けることができるようになっている。図４（ａ），（ｂ）はノズル３１の内部に４つの整流板挿入溝３１ｃが上下方向に並んで設けられ、そのうちの２つの整流板挿入溝３１ｃに２つの整流板３４が取り付けられている例であるが、ノズル３１の内部に設けられる整流板挿入溝３１ｃの数は任意であり、取り付けられる整流板３４の数も任意である。   4B and 5A, a plurality of rectifying plate insertion grooves 31c are provided in the nozzle 31 so as to be arranged in the vertical direction, and one or a plurality of rectifying plates 34 can be attached in the nozzle 31. It is like that. 4A and 4B, four rectifying plate insertion grooves 31c are provided in the nozzle 31 side by side in the vertical direction, and two rectifying plates 34 are attached to the two rectifying plate insertion grooves 31c. In this example, the number of rectifying plate insertion grooves 31 c provided in the nozzle 31 is arbitrary, and the number of rectifying plates 34 to be attached is also arbitrary.

また、ノズル３１は、図６（ａ），（ｂ）に示すように、ノズル３１内の中央部にノズル３１の長手方向に延びる仕切り壁３１ｄが設けられた形状を有していてもよく、この場合には、仕切り壁３１ｄの両側面にも整流板挿入溝３１ｃの一部を形成することで、仕切り壁３１ｄを挟む両位置に整流板３４を取り付けることができる。図６（ａ），（ｂ）のように、ノズル３１内の中央部に仕切り壁３１ｄが設けられている場合には、ノズル３１によるペーパー部材３２のマスク１５の下面への押し付け面積が仕切り壁３１ｄの上面の分だけ増大するので、マスク１５の下面のペーストＰｔの拭き取り効率を向上させることができる。   Further, as shown in FIGS. 6A and 6B, the nozzle 31 may have a shape in which a partition wall 31d extending in the longitudinal direction of the nozzle 31 is provided in the central portion in the nozzle 31, In this case, by forming part of the rectifying plate insertion groove 31c on both side surfaces of the partition wall 31d, the rectifying plate 34 can be attached to both positions sandwiching the partition wall 31d. As shown in FIGS. 6A and 6B, when the partition wall 31 d is provided at the center portion in the nozzle 31, the pressing area of the paper member 32 against the lower surface of the mask 15 by the nozzle 31 is determined by the partition wall. Since it increases by the upper surface of 31d, the wiping efficiency of the paste Pt on the lower surface of the mask 15 can be improved.

基板保持ユニット１２のコンベア２２による基板２の搬送及び作業位置への位置決め動作、作業位置に位置した基板２に対する下受け部２４による下受け動作及び一対のクランプ部材２５によるクランプ動作は、制御装置１９が下受け部昇降シリンダ２３を含むアクチュエータ等から成る基板保持機構１２Ｂ（図２）の作動制御を行うことによってなされ、基板２を保持した基板保持ユニット１２の水平面内方向及び上下方向の移動動作は制御装置１９が前述のユニット移動機構１２Ａの作動制御を行うことによってなされる。また、基板搬入コンベア１１による基板２の搬入動作及び基板搬出コンベア１３による基板２の搬出動作も制御装置１９によってなされる。   The substrate holding unit 12 conveys the substrate 2 by the conveyor 22 and positions the substrate 2 at the work position. The substrate receiving unit 24 is positioned at the work position by the lower receiving portion 24 and the clamp member 25 is clamped by the control device 19. 2 is performed by controlling the operation of the substrate holding mechanism 12B (FIG. 2) including an actuator including the lower receiving part raising / lowering cylinder 23, and the movement operation in the horizontal plane direction and the vertical direction of the substrate holding unit 12 holding the substrate 2 is performed. The control device 19 performs the operation control of the unit moving mechanism 12A described above. Further, the control device 19 also performs the operation of carrying in the substrate 2 by the substrate carry-in conveyor 11 and the operation of carrying out the substrate 2 by the substrate carry-out conveyor 13.

図２において、スキージヘッド１６（ベース部材４１）のＹ軸方向への往復移動動作は制御装置１９が図示しないアクチュエータ等から成るスキージヘッド移動機構１６Ｍ（図２）の作動制御を行うことによってなされ、各スキージ４４のベース部材４１に対する昇降動作は、制御装置１９がそのスキージ４４に対応するスキージ昇降シリンダ４２の作動制御を行ってスキージ保持具４３を上下させることによってなされる。   In FIG. 2, the reciprocating movement of the squeegee head 16 (base member 41) in the Y-axis direction is performed when the control device 19 controls the operation of a squeegee head moving mechanism 16M (FIG. 2) including an actuator (not shown). The raising / lowering operation of each squeegee 44 with respect to the base member 41 is performed by the control device 19 performing the operation control of the squeegee raising / lowering cylinder 42 corresponding to the squeegee 44 to move the squeegee holder 43 up and down.

図２において、カメラユニット１７の水平面内での移動動作は、制御装置１９が前述のカメラユニット移動機構１７Ａの作動制御を行うことによってなされる。下方撮像カメラ１７ａによる撮像動作の制御と上方撮像カメラ１７ｂによる撮像動作の制御はそれぞれ制御装置１９によってなされ、下方撮像カメラ１７ａの撮像動作によって得られた画像データと上方撮像カメラ１７ｂの撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御装置１９に送信されて制御装置１９の画像認識部１９ａにおいて画像認識処理される。   In FIG. 2, the movement operation of the camera unit 17 in the horizontal plane is performed by the control device 19 performing the operation control of the camera unit movement mechanism 17A. Control of the imaging operation by the lower imaging camera 17a and the imaging operation by the upper imaging camera 17b are respectively performed by the control device 19, and obtained by the image data obtained by the imaging operation of the lower imaging camera 17a and the imaging operation of the upper imaging camera 17b. The received image data is transmitted to the control device 19 and subjected to image recognition processing in the image recognition unit 19a of the control device 19.

マスククリーナ１８の水平面内での移動と昇降移動は、制御装置１９が図示しないアクチュエータ等から成るクリーナ移動機構１８Ａの作動制御を行うことによってなされる。また、マスククリーナ１８が備えるペーパー部材３２の送り動作は、制御装置１９が前述の一対のローラ部材３３を作動させることによってなされる。   The mask cleaner 18 is moved in the horizontal plane and moved up and down by the control device 19 by controlling the operation of a cleaner moving mechanism 18A including an actuator (not shown). The feeding operation of the paper member 32 included in the mask cleaner 18 is performed by the control device 19 operating the pair of roller members 33 described above.

マスククリーナ１８のノズル３１による真空吸引動作は、制御装置１９が図示しないアクチュエータ等から成るクリーナ作動機構１８Ｂ（図２）の作動制御を行うことによってなされる。ノズル３１による真空吸引動作が行われると、ノズル３１の真空吸引口３１ａから吸い込まれた空気は整流板３４に設けられた整流孔３４ａを通過してノズル３１内を下方に流れるが（図４（ｂ）及び図６（ｂ）中に示す矢印Ｑ）、このとき空気の流れ（流速等）は整流孔３４ａの大きさや隣接する整流孔３４ａ同士のピッチ間隔等に応じたものとなる。このため、整流孔３４ａの大きさや隣接する整流孔３４ａ同士のピッチ間隔が異なる複数種類の整流板３４を予め用意しておき、マスク１５を変えるごとに整流板３４を交換するようにすれば、ノズル３１内の空気の流れをマスク１５の種類に応じた最適な状態にして効率のよいマスククリーニングを行うことができる。   The vacuum suction operation by the nozzle 31 of the mask cleaner 18 is performed when the control device 19 controls the operation of a cleaner operating mechanism 18B (FIG. 2) including an actuator (not shown). When the vacuum suction operation is performed by the nozzle 31, the air sucked from the vacuum suction port 31a of the nozzle 31 passes through the rectifying hole 34a provided in the rectifying plate 34 and flows downward in the nozzle 31 (FIG. 4 ( b) and the arrow Q) shown in FIG. 6B, the air flow (flow velocity, etc.) at this time depends on the size of the rectifying holes 34a and the pitch interval between the adjacent rectifying holes 34a. For this reason, if a plurality of types of rectifying plates 34 having different sizes of the rectifying holes 34a and different pitch intervals between adjacent rectifying holes 34a are prepared in advance and the rectifying plates 34 are replaced each time the mask 15 is changed, Efficient mask cleaning can be performed by setting the air flow in the nozzle 31 to an optimum state according to the type of the mask 15.

このような構成のスクリーン印刷機１が行うスクリーン印刷作業では、制御装置１９は先ず、上流工程側の他の装置から基板２が送られてきたことを検知したところで基板搬入コンベア１１と基板保持ユニット１２のコンベア２２を作動させ、スクリーン印刷機１内に基板２を搬入したうえで（図７に示すステップＳＴ１。図８（ａ））、基板保持機構１２Ｂの作動制御を行って基板２を保持する（図７に示すステップＳＴ２。図８（ｂ））。基板２の保持は、具体的には、下受け部昇降シリンダ２３で下受け部２４を押し上げて基板２をコンベア２２から浮いた状態に持ち上げる一方（図８（ｂ）中に示す矢印Ａ１）、一対のクランプ部材２５を閉じる方向に駆動して基板２の両端を挟み込む（図８（ｂ）中に示す矢印Ｂ１）ことによって行う。   In the screen printing operation performed by the screen printer 1 having such a configuration, the control device 19 first detects that the substrate 2 has been sent from another device on the upstream process side, and then the substrate carry-in conveyor 11 and the substrate holding unit. 12, the substrate 2 is carried into the screen printing machine 1 (step ST1 shown in FIG. 7; FIG. 8A), and the substrate holding mechanism 12B is controlled to hold the substrate 2. (Step ST2 shown in FIG. 7; FIG. 8B). Specifically, the holding of the substrate 2 is performed by pushing up the lower receiving portion 24 by the lower receiving portion lifting cylinder 23 to lift the substrate 2 from the conveyor 22 (arrow A1 shown in FIG. 8B), This is done by driving the pair of clamp members 25 in the closing direction and sandwiching both ends of the substrate 2 (arrow B1 shown in FIG. 8B).

制御装置１９は基板２を保持したら、カメラユニット移動機構１７Ａの作動制御を行い、下方撮像カメラ１７ａを基板２に設けられた基板側マーク２ｍ（図１）の直上に位置させて下方撮像カメラ１７ａに基板側マーク２ｍの撮像を行わせる一方、上方撮像カメラ１７ｂをマスク１５に設けられたマスク側マーク１５ｍ（図１及び図３）の直下に位置させて上方撮像カメラ１７ｂにマスク側マーク１５ｍの撮像を行わせる。そして、得られた基板側マーク２ｍの画像データから基板２の位置を把握するとともに、得られたマスク側マーク１５ｍの画像データからマスク１５の位置を把握し、基板保持ユニット１２を水平面内方向に移動させ、基板側マーク２ｍとマスク側マーク１５ｍとが上下に対向するようにして、マスク１５に対する基板２の水平面内方向の位置合わせを行う（図７に示すステップＳＴ３）。   When holding the substrate 2, the control device 19 controls the operation of the camera unit moving mechanism 17A, and positions the lower imaging camera 17a directly above the substrate-side mark 2m (FIG. 1) provided on the substrate 2, thereby lowering the imaging camera 17a. The upper imaging camera 17b is positioned immediately below the mask side mark 15m (FIGS. 1 and 3) provided on the mask 15, and the upper imaging camera 17b is moved to the mask side mark 15m. Make an image. And while grasping | ascertaining the position of the board | substrate 2 from the image data of the obtained board | substrate side mark 2m, the position of the mask 15 is grasped | ascertained from the image data of the obtained mask side mark 15m, and the board | substrate holding | maintenance unit 12 is made into a horizontal surface inward direction. The substrate 2 is moved so that the substrate side mark 2m and the mask side mark 15m face each other in the vertical direction, and the substrate 2 is aligned with the mask 15 in the horizontal plane (step ST3 shown in FIG. 7).

制御装置１９は、マスク１５に対する基板２の位置合わせが終わったら、ユニット移動機構１２Ａの作動制御を行って基板保持ユニット１２を基台１０に対して上昇させ（図９（ａ）中に示す矢印Ｃ１）、基板２を保持した一対のクランプ部材２５がマスク１５の下面に相対的に下方から押し当てられるようにすることにより、一対のクランプ部材２５及び基板２それぞれの上面をマスク１５の下面に接触させる（図７に示すステップＳＴ４。図９（ａ））。これにより基板２上の電極３とマスク１５のパターン孔１５ｈとが合致した状態となる。   When the alignment of the substrate 2 with respect to the mask 15 is finished, the control device 19 controls the operation of the unit moving mechanism 12A to raise the substrate holding unit 12 with respect to the base 10 (arrows shown in FIG. 9A). C1) By making the pair of clamp members 25 holding the substrate 2 relatively pressed against the lower surface of the mask 15 from below, the upper surfaces of the pair of clamp members 25 and the substrate 2 are made lower surfaces of the mask 15. Contact is made (step ST4 shown in FIG. 7; FIG. 9A). As a result, the electrode 3 on the substrate 2 and the pattern hole 15h of the mask 15 are brought into alignment.

制御装置１９は基板２をマスク１５に接触させたら、制御装置１９に繋がるディスプレイ装置ＤＰ（図２）に、オペレータＯＰにペーストＰｔの供給を促すメッセージを表示する（図７に示すステップＳＴ５）。この表示に対してオペレータＯＰは、現時点でマスク１５上に残っているペーストＰｔを目視し、そのペーストＰｔの量に基づいてペーストＰｔの供給（補充）を行うべきかどうかの判断を行う。そして、ペーストＰｔの供給を行うべきと判断したときには、別途用意したペースト供給シリンジ（図示せず）により、マスク１５上にペーストＰｔの供給を行う。そしてオペレータＯＰは、ペーストＰｔの供給が終わり、或いはペーストＰｔの供給が不要と判断したときには、制御装置１９に繋がる動作開始ボタンＢＴ（図２）の操作を行う。   When the control device 19 brings the substrate 2 into contact with the mask 15, the control device 19 displays a message for prompting the operator OP to supply the paste Pt on the display device DP (FIG. 2) connected to the control device 19 (step ST5 shown in FIG. 7). In response to this display, the operator OP looks at the paste Pt remaining on the mask 15 at the present time, and determines whether or not to supply (supplement) the paste Pt based on the amount of the paste Pt. When it is determined that the paste Pt should be supplied, the paste Pt is supplied onto the mask 15 by a separately provided paste supply syringe (not shown). When the operator OP determines that the supply of the paste Pt is finished or the supply of the paste Pt is not necessary, the operator OP operates the operation start button BT (FIG. 2) connected to the control device 19.

制御装置１９は、ディスプレイ装置ＤＰにペーストＰｔの供給を促すメッセージを表示した後、動作開始ボタンＢＴの操作がなされたか否かの判断を一定時間おきに行い（図７に示すステップＳＴ６）、動作開始ボタンＢＴからの信号出力に基づいて、オペレータＯＰによって動作開始ボタンＢＴの操作がなされたことを検知したときには、スキージ４４によるスキージングを行ってマスク１５上のペーストＰｔを基板２に転写させる（図７に示すステップＳＴ７）。   The control device 19 displays a message prompting the supply of the paste Pt on the display device DP, and then determines whether or not the operation start button BT has been operated at regular intervals (step ST6 shown in FIG. 7). When the operator OP detects that the operation start button BT has been operated based on the signal output from the start button BT, the squeegee 44 performs squeegeeing to transfer the paste Pt on the mask 15 to the substrate 2 ( Step ST7 shown in FIG.

このスキージングは、具体的には、スキージヘッド１６から２つのスキージ４４のうちの一方を下降させ、マスク１５の上面に当接させた状態を維持したままベース部材４１をＹ軸方向に移動させることによって行う（図９（ｂ）中に示す矢印Ｄ）。これによりマスク１５上でスキージ４４が摺動し、マスク１５上のペーストＰｔはスキージ４４によって掻き寄せられてマスク１５のパターン孔１５ｈ内に押し込まれ、基板２の電極３上に転写される。なお、制御装置１９は、スキージヘッド１６を前方から後方に移動させてスキージングを行うときには後側のスキージ４４をマスク１５上に当接させ、スキージヘッド１６を後方から前方に移動させてスキージングを行うときには前側のスキージ４４をマスク１５上に当接させるようにする。   Specifically, this squeezing moves one of the two squeegees 44 down from the squeegee head 16 and moves the base member 41 in the Y-axis direction while maintaining the state in contact with the upper surface of the mask 15. (Arrow D shown in FIG. 9B). As a result, the squeegee 44 slides on the mask 15, and the paste Pt on the mask 15 is scraped by the squeegee 44, pushed into the pattern holes 15 h of the mask 15, and transferred onto the electrodes 3 of the substrate 2. When squeezing by moving the squeegee head 16 from the front to the rear, the control device 19 abuts the squeegee 44 on the rear side on the mask 15 and moves the squeegee head 16 from the rear to the front. When performing, the front squeegee 44 is brought into contact with the mask 15.

制御装置１９は、スキージングを行って基板２にペーストＰｔを転写させたら、ユニット移動機構１２Ａを作動させて基板保持ユニット１２を下降させ（図１０（ａ）中に示す矢印Ｃ２）、マスク１５から基板２及び一対のクランプ部材２５を離間させて版離れを行う（図７に示すステップＳＴ８。図１０（ａ））。これにより基板２の電極３上にペーストＰｔが残留し、基板２にペーストＰｔが印刷される。   After squeezing and transferring the paste Pt to the substrate 2, the control device 19 operates the unit moving mechanism 12A to lower the substrate holding unit 12 (arrow C2 shown in FIG. 10A), and the mask 15 The board 2 and the pair of clamp members 25 are separated from each other to release the plate (step ST8 shown in FIG. 7; FIG. 10A). As a result, the paste Pt remains on the electrode 3 of the substrate 2, and the paste Pt is printed on the substrate 2.

制御装置１９は版離れが終わったら、基板保持ユニット１２による基板２の保持を解除する（図７に示すステップＳＴ９。図１０（ｂ））。この基板２の保持の解除は、具体的には、制御装置１９が基板保持機構１２Ｂを作動させて一対のクランプ部材２５を開かせたうえで（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｂ２）、下受け部２４を下降させ（図１０（ｂ）中に示す矢印Ａ２）、基板２の両端を一対のコンベア２２上に降ろすことによって行う。   When the plate separation is finished, the control device 19 releases the holding of the substrate 2 by the substrate holding unit 12 (step ST9 shown in FIG. 7, FIG. 10B). Specifically, the holding of the substrate 2 is released after the control device 19 operates the substrate holding mechanism 12B to open the pair of clamp members 25 (arrow B2 shown in FIG. 10B). The lower receiving portion 24 is lowered (arrow A2 shown in FIG. 10B), and both ends of the substrate 2 are lowered onto the pair of conveyors 22.

制御装置１９は基板２の保持を解除したら、ユニット移動機構１２Ａを作動させて基板保持ユニット１２を水平面内で移動させ、コンベア２２の向きを整えたうえでコンベア２２及び基板搬出コンベア１３を作動させ、基板２をスクリーン印刷機１の外部に搬出する（図７に示すステップＳＴ１０）。   After releasing the holding of the substrate 2, the control device 19 operates the unit moving mechanism 12 </ b> A to move the substrate holding unit 12 in the horizontal plane, aligns the direction of the conveyor 22, and operates the conveyor 22 and the substrate carry-out conveyor 13. Then, the substrate 2 is carried out of the screen printer 1 (step ST10 shown in FIG. 7).

制御装置１９は基板２を搬出したら、他にスクリーン印刷を施す基板２があるかどうかの判断を行う（図７に示すステップＳＴ１１）。その結果、他にスクリーン印刷を施す基板２があった場合にはステップＳＴ１に戻って新たな基板２の搬入を行い、他にスクリーン印刷を施す基板２がなかった場合には一連のスクリーン印刷作業を終了する。   After carrying out the substrate 2, the control device 19 determines whether there is another substrate 2 to be screen-printed (step ST11 shown in FIG. 7). As a result, if there is another substrate 2 to be screen-printed, the process returns to step ST1 to carry in a new substrate 2, and if there is no other substrate 2 to be screen-printed, a series of screen printing operations. Exit.

スクリーン印刷機１は上記手順によって基板２の１枚当たりのスクリーン印刷作業を行うが、このようなスクリーン印刷作業を数枚〜十数枚（或いは数十枚）の基板２に対して行うと、マスク１５の下面に付着したペーストＰｔ（ペーストＰｔの残り滓）によって印刷状態が不良になってくるおそれがある。このため本実施の形態におけるスクリーン印刷機１では、定期的にマスククリーナ１８を用いたマスククリーニング作業を実行する。   The screen printing machine 1 performs a screen printing operation for each substrate 2 according to the above procedure. When such a screen printing operation is performed on several to a dozen (or several tens) substrates 2, There is a possibility that the printing state becomes poor due to the paste Pt (the remaining residue of the paste Pt) adhering to the lower surface of the mask 15. For this reason, in the screen printer 1 in the present embodiment, a mask cleaning operation using the mask cleaner 18 is periodically performed.

マスククリーニング作業では、先ず、オペレータＯＰは、これからマスククリーニングを行おうとするマスク１５の種類に応じ、ノズル３１内の空気の流れが最適なものとなる整流板３４を予め用意された複数種の整流板３４の中から選択し、その選択した整流板３４を前述の要領でノズル３１に取り付ける。オペレータＯＰは、マスク１５の種類に応じた最適の整流板３４をマスククリーナ１８のノズル３１に取り付けたら、前述の動作開始ボタンＢＴの操作を行う。   In the mask cleaning operation, the operator OP first prepares a plurality of types of rectification prepared in advance with a rectifying plate 34 that optimizes the air flow in the nozzle 31 in accordance with the type of the mask 15 to be cleaned. The plate 34 is selected, and the selected current plate 34 is attached to the nozzle 31 as described above. The operator OP operates the operation start button BT described above after attaching the optimum flow straightening plate 34 corresponding to the type of the mask 15 to the nozzle 31 of the mask cleaner 18.

制御装置１９は、オペレータＯＰにより動作開始ボタンＢＴが操作されたことを検知したら、クリーナ移動機構１８Ａの作動制御を行って、マスククリーナ１８をマスク実行領域であるマスク本体１５ａの下方に位置させ、そこからマスククリーナ１８を上昇させて（図１１中に示す矢印Ｗ１）、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａをマスク１５の下面に接触させる。   When the control device 19 detects that the operation start button BT has been operated by the operator OP, the control device 19 controls the operation of the cleaner moving mechanism 18A to position the mask cleaner 18 below the mask body 15a that is the mask execution area, Then, the mask cleaner 18 is raised (arrow W1 shown in FIG. 11), and the cleaning surface 18a of the mask cleaner 18 is brought into contact with the lower surface of the mask 15.

制御装置１９は、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａをマスク１５の下面に接触させたら、クリーナ移動機構１８Ａの作動制御を行い、ノズル３１に真空吸引を行わせながら、マスククリーナ１８をマスク１５の下面沿ってＹ軸方向に移動させて、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａ（ペーパー部材３２）により、マスク１５の下面に付着しているペーストＰｔの残り滓を拭き取る（図１１中に示す矢印Ｗ２及び矢印Ｗ３）。そして、マスククリーナ１８のクリーニング面１８ａがマスク本体１５ａの端部に達したことを検知したら、マスククリーナ１８を下降させて、クリーニング面１８ａをマスク１５の下面から離間させる（図１１中に示す矢印Ｗ４）。これによりマスク１５の１枚当たりのマスククリーニングが終了する。制御装置１９は、マスク１５の１枚当たりのマスククリーニングが終了したら、一対のローラ部材３３を作動させてペーパー部材３２の巻き取りを行い、クリーニング面１８ａを更新させる。   When the cleaning device 18a of the mask cleaner 18 is brought into contact with the lower surface of the mask 15, the control device 19 controls the operation of the cleaner moving mechanism 18A and causes the nozzle 31 to perform vacuum suction while moving the mask cleaner 18 to the lower surface of the mask 15. And the remaining surface of the paste Pt adhering to the lower surface of the mask 15 is wiped off by the cleaning surface 18a (paper member 32) of the mask cleaner 18 (the arrow W2 and the arrow shown in FIG. 11). W3). When it is detected that the cleaning surface 18a of the mask cleaner 18 has reached the end of the mask body 15a, the mask cleaner 18 is lowered to separate the cleaning surface 18a from the lower surface of the mask 15 (arrows shown in FIG. 11). W4). Thereby, the mask cleaning for one mask 15 is completed. When the mask cleaning for one mask 15 is completed, the control device 19 operates the pair of roller members 33 to wind up the paper member 32 and update the cleaning surface 18a.

以上説明したように、本実施の形態におけるマスククリーナ１８（マスククリーニング装置）は、真空吸引時にノズル３１内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔３４ａを有した一又は複数の整流板３４がノズル３１内に着脱自在に設けられており、マスク１５の種類を変えるときにはそのマスク１５の種類に応じた大きさ及びピッチ間隔の整流孔３４ａを有した整流板３４のみをノズル３１に対して着脱（交換）すればよいので、マスク１５ごとにノズル３１を交換する必要がなく、安価であるとともに作業性の向上を図ることができる。また、このマスククリーナ１８を備えたスクリーン印刷機１は、マスククリーニングに要する作業時間を短縮することができるので、基板２の生産効率の向上を図ることができる。   As described above, the mask cleaner 18 (mask cleaning device) in the present embodiment has one or a plurality of rectifying holes 34a that allow the air flowing through the nozzle 31 to pass therethrough during vacuum suction to regulate the air flow. The rectifying plate 34 is detachably provided in the nozzle 31. When the type of the mask 15 is changed, only the rectifying plate 34 having the rectifying holes 34a having a size and a pitch interval corresponding to the type of the mask 15 is used as the nozzle. Since it is only necessary to attach or detach (replace) with respect to 31, it is not necessary to replace the nozzle 31 for each mask 15, so that it is inexpensive and can improve workability. In addition, the screen printing machine 1 provided with the mask cleaner 18 can reduce the work time required for mask cleaning, so that the production efficiency of the substrate 2 can be improved.

マスクを替えるごとにノズルを交換する必要がなく、安価であるとともに作業性を向上させることができるマスククリーニング装置及びスクリーン印刷機を提供する。   Provided are a mask cleaning device and a screen printing machine that are inexpensive and can improve workability without having to replace nozzles every time the mask is changed.

１ スクリーン印刷機
２ 基板
１５ マスク
１８ マスククリーナ（マスククリーニング装置）
３１ ノズル
３１ａ 真空吸引口
３２ ペーパー部材
３４ 整流板
３４ａ 整流孔
４４ スキージ
Ｐｔ ペースト 1 Screen Printer 2 Substrate 15 Mask 18 Mask Cleaner (Mask Cleaning Device)
31 Nozzle 31a Vacuum suction port 32 Paper member 34 Current plate 34a Current flow hole 44 Squeegee Pt Paste

Claims (2)

基板の上面に接触されたマスク上でスキージを摺動させて基板上にペーストを転写させるスクリーン印刷機に備えられ、ノズルの上端の真空吸引口によりペーパー部材をマスクの下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスクに対して相対移動してマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置であって、
真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した一又は複数の整流板がノズル内に着脱自在に設けられていることを特徴とするスクリーン印刷機のマスククリーニング装置。 A screen printer that slides the squeegee on the mask that is in contact with the upper surface of the substrate to transfer the paste onto the substrate is equipped with a vacuum with the paper member pressed against the lower surface of the mask by the vacuum suction port at the upper end of the nozzle. A mask cleaning device that removes the paste adhered to the lower surface of the mask by moving relative to the mask while performing suction,
A screen printing machine characterized in that one or a plurality of rectifying plates having a plurality of rectifying holes for adjusting the air flow by passing the air flowing through the nozzles during vacuum suction are detachably provided in the nozzles. Mask cleaning device. 基板の上面に接触されるマスクと、基板の上面に接触されたマスク上で摺動されて基板上にペーストを転写させるスキージと、ノズルの上端の真空吸引口によりペーパー部材をマスクの下面に押し付けた状態で真空吸引を行いつつマスクに対して相対移動してマスクの下面に付着したペーストを拭き取って除去するマスククリーニング装置とを備え、
真空吸引時にノズル内を流れる空気を通過させて空気の流れを整える複数の整流孔を有した一又は複数の整流板がノズル内に着脱自在に設けられていることを特徴とするスクリーン印刷機。 The paper member is pressed against the lower surface of the mask by the mask that is in contact with the upper surface of the substrate, the squeegee that is slid on the mask that is in contact with the upper surface of the substrate, and the vacuum suction port at the upper end of the nozzle. A mask cleaning device for wiping off and removing the paste attached to the lower surface of the mask by moving relative to the mask while performing vacuum suction in a state where
A screen printing machine, wherein one or a plurality of rectifying plates having a plurality of rectifying holes for adjusting the air flow by passing the air flowing through the nozzles during vacuum suction are detachably provided in the nozzles.
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