JP2013114328A - Processing device group controller, production processing system, processing device group control method, and program - Google Patents

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藤 孝 浩 伊
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To appropriately switch ready state/idle states of facilities attached to a plurality of processing devices for processing a body to be processed, and to reduce energy consumption in the equipment.SOLUTION: A processing device group controller 1 includes: a storage part 12 for storing an operation schedule including information on a maintenance time period of the plurality of processing devices to which the facilities are attached respectively for processing the body to be processed, and a conveyance plan including information on the timing of carrying the body to be processed in and out of the plurality of processing devices; a detection part 102 for comparing the conveyance plan with the operation schedule of the respective processing devices, specifying the last processing before maintenance for the respective processing devices, and detecting end timing of the specified processing; and an instruction part 103 for instructing the respective processing devices to switch to the idle state together with the attached facilities at the end timing.

Description

本発明は、被処理体を処理する処理装置に付随する設備のエネルギー消費量を削減する処理装置群コントローラ、生産処理システム、処理装置群制御方法、及びプログラムに関する。   The present invention relates to a processing device group controller, a production processing system, a processing device group control method, and a program for reducing the energy consumption of equipment associated with a processing device that processes an object.

ジョブショップ型の生産システムを有する製造工場（例えば、半導体デバイス製造工場や有機ＥＬデバイス製造工場）では、生産実行制御装置（MES: Manufacturing Execution System）により生産の実行が制御されている。このような製造工場では、被処理体を処理する複数の処理装置と、各処理装置へ被処理体を搬送する搬送装置と、搬送装置の動作を制御する搬送制御装置と、被処理体が処理されるべき処理装置を決定し、被処理体の搬送先を搬送制御装置へ指示すると共に、被処理体に対する処理内容を処理装置に指示する生産実行制御装置とを備える生産処理システムが実用化されている。   In a manufacturing factory (for example, a semiconductor device manufacturing factory or an organic EL device manufacturing factory) having a job shop type production system, production execution is controlled by a production execution control device (MES). In such a manufacturing factory, a plurality of processing apparatuses that process the object to be processed, a conveying apparatus that conveys the object to be processed to each processing apparatus, a conveyance control device that controls the operation of the conveying apparatus, and the object to be processed are processed. A production processing system including a production execution control device that determines a processing device to be processed, instructs a transfer destination of a workpiece to the transfer control device, and instructs a processing content of the workpiece to the processing device has been put into practical use. ing.

特許文献１には、被処理体を処理する複数の処理装置と通信する手順と、任意の処理装置間で被処理体を搬送する搬送装置と通信する手順と、被処理体に対する処理を処理装置に指示する生産指示装置と通信する手順とを有するソフトウェアが開示されている。   Patent Document 1 discloses a procedure for communicating with a plurality of processing devices that process a target object, a procedure for communicating with a transfer device that transports a target object between arbitrary processing devices, and a process for processing the target object. A software having a procedure for communicating with a production instruction device for instructing a device is disclosed.

非特許文献１には、工場の生産管理システム（ＭＥＳ）と、ＭＥＳからの各種指示を受け、搬送装置（OHT: Overhead Hoist Transport）を制御する搬送制御装置（MCS: Material Control System）とが、工場レイアウト等の情報を共有することで、搬送の効率化を図ることができる旨が開示されている。   Non-Patent Document 1 includes a factory production management system (MES) and a transport control device (MCS: Material Control System) that receives various instructions from the MES and controls a transport device (OHT: Overhead Hoist Transport). It is disclosed that sharing of information such as a factory layout can improve transportation efficiency.

特許文献２には、優先的に処理すべき被処理体が処理装置に到着するまでの時間が十分に長い場合、処理装置が他の被処理体を処理することを許可し、優先的に処理すべき被処理体が処理装置に到着するまでの時間が短い場合、優先的に処理すべき被処理体の到着を待つように指示するプロセス管理システムが開示されている。
特許文献３には、被処理体の到着に要する到着時間と、省電力状態にある処理装置の立ち上げ時間とを比較し、到着時間が立ち上げ時間より長い場合、処理装置を省電力状態にする電力供給システムが開示されている。 In Patent Document 2, when the time until a workpiece to be preferentially processed arrives at the processing device is sufficiently long, the processing device is allowed to process another target to be processed preferentially. There is disclosed a process management system that instructs to wait for the arrival of an object to be processed preferentially when the time until the object to be processed arrives at the processing apparatus is short.
In Patent Document 3, the arrival time required for the arrival of the object to be processed is compared with the startup time of the processing device in the power saving state. If the arrival time is longer than the startup time, the processing device is put into the power saving state. A power supply system is disclosed.

また、レディ状態（準備状態）の処理装置が、一定時間ホストコンピュータから具体的な処理指示を受け取らない場合に、処理装置側で、レディ状態からアイドル状態（休止状態）への切り替えを判断することで、エネルギー消費量を削減する生産システムが知られている。   In addition, when the processing device in the ready state (preparation state) does not receive a specific processing instruction from the host computer for a certain period of time, the processing device side determines to switch from the ready state to the idle state (hibernation state). Production systems that reduce energy consumption are known.

特開２００９−１３５２７５号公報JP 2009-135275 A 特開２００８−２５０８２６号公報JP 2008-250826 A 特開２００７−８８４２９号公報JP 2007-88429 A

ＳＥＭＩ Ｎｅｗｓ ２００６ Ｖｏｌ．２２ Ｎｏ．６SEMI News 2006 Vol. No. 22 6

上述した従来のシステムでは、処理装置がレディ状態からアイドル状態へ切り替わるまでに時間がかかっていた。また、処理装置に付随する設備は、処理装置がアイドル状態になった後に、レディ状態からアイドル状態に切り替わるため、アイドル状態への切り替えにさらに時間がかかり、設備におけるエネルギー消費量の削減が困難であるという問題があった。   In the conventional system described above, it takes time for the processing device to switch from the ready state to the idle state. In addition, since the equipment attached to the processing apparatus is switched from the ready state to the idle state after the processing apparatus is in the idle state, it takes more time to switch to the idle state, and it is difficult to reduce energy consumption in the equipment. There was a problem that there was.

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、被処理体を処理する複数の処理装置に付随する設備のレディ状態／アイドル状態の切り替えを適切に行い、設備におけるエネルギー消費量を削減する処理装置群コントローラ、生産処理システム、処理装置群制御方法、及びプログラムを提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of the above points, and appropriately switches the ready state / idle state of equipment associated with a plurality of processing apparatuses for processing an object to be processed, and energy consumption in the equipment. An object of the present invention is to provide a processing device group controller, a production processing system, a processing device group control method, and a program.

本発明の一態様による処理装置群コントローラは、被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定と、前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画とを記憶する記憶部と、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出する検出部と、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する指示部とを備えるものである。   A processing apparatus group controller according to an aspect of the present invention includes an operation schedule including information on maintenance timings of a plurality of processing apparatuses each associated with a facility for processing an object to be processed, and carrying the processing objects into the plurality of processing apparatuses And a storage unit for storing a transfer plan including information on the timing of unloading, the transfer plan, and the operation schedule of each processing device, and for each processing device, identify the last process before maintenance, A detection unit that detects the end timing of the specified process, and an instruction unit that instructs each processing apparatus to switch to an idle state together with the associated equipment at the end timing.

本発明の一態様による処理装置群コントローラにおいては、前記指示部は、前記終了タイミングで、前記処理装置に付随した設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することが好ましい。   In the processing device group controller according to one aspect of the present invention, it is preferable that the instruction unit instructs the equipment attached to the processing device to switch to an idle state at the end timing.

本発明の一態様による生産処理システムは、被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の処理装置と、前記複数の処理装置へ被処理体を搬送する搬送装置と、前記搬送装置による被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を作成し、前記複数の処理装置から、メンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するホストコンピュータと、前記ホストコンピュータから前記搬送計画及び前記稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する処理装置群コントローラと、を備えるものである。   A production processing system according to an aspect of the present invention includes a plurality of processing apparatuses each having an associated facility for processing a target object, a transport apparatus that transports the target object to the plurality of processing apparatuses, and a target object by the transport apparatus. A host computer that creates a transportation plan including information on the timing of loading and unloading the processing body, and obtains an operation schedule including information on maintenance timing from the plurality of processing apparatuses, and the transportation plan and the operation from the host computer. Obtain a schedule, compare the transfer plan with the operation schedule of each processing apparatus, identify the last process before maintenance for each processing apparatus, detect the end timing of the identified process, and each processing apparatus A processing unit group controller that instructs to switch to an idle state together with the accompanying equipment at the end timing, It is obtain things.

本発明の一態様による生産処理システムにおいては、前記処理装置群コントローラは、前記終了タイミングで、前記処理装置に付随した設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することが好ましい。   In the production processing system according to an aspect of the present invention, it is preferable that the processing device group controller instructs the equipment attached to the processing device to switch to an idle state at the end timing.

本発明の一態様による生産処理システムは、被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の第１処理装置と、被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の第２処理装置と、前記複数の第１及び第２処理装置へ被処理体を搬送する搬送装置と、前記搬送装置による被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を作成し、前記複数の第１及び第２処理装置から、メンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するホストコンピュータと、前記搬送計画及び前記複数の第１処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各第１処理装置の稼働予定とを比較し、各第１処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各第１処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する第１処理装置群コントローラと、前記搬送計画及び前記複数の第２処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各第２処理装置の稼働予定とを比較し、各第２処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各第２処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する第２処理装置群コントローラと、前記ホストコンピュータから前記搬送計画及び前記複数の第１及び第２処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画及び前記複数の第１処理装置の稼働予定を前記第１処理装置群コントローラへ送信し、前記搬送計画及び前記複数の第２処理装置の稼働予定を前記第２処理装置群コントローラへ送信する上位コントローラと、を備えるものである。   A production processing system according to an aspect of the present invention includes a plurality of first processing devices each having an associated facility for processing an object to be processed, and a plurality of second processing devices each having an associated facility for processing an object to be processed. Creating a transfer plan that includes information on the transfer device for transferring the object to be processed to the plurality of first and second processing devices and the timing of loading and unloading of the object to be processed by the transfer device; And a host computer that acquires an operation schedule including information on maintenance time from the second processing apparatus, the transfer plan and operation schedules of the plurality of first processing apparatuses are acquired, the transfer plan, and each first processing apparatus For each first processing device, the last processing before maintenance is specified, the end timing of the specified processing is detected, and the end timing is determined for each first processing device. The first processing device group controller that instructs to switch to the idle state together with the associated equipment, the transfer plan and the operation schedule of the plurality of second processing devices are acquired, the transfer plan, and each second process Compare the operation schedule of the apparatus, identify the last process before maintenance for each second processing apparatus, detect the end timing of the specified process, and for each second processing apparatus at the end timing, A second processing device group controller for instructing to switch to an idle state together with the associated equipment; and acquiring the transfer plan and operating schedules of the plurality of first and second processing devices from the host computer, and the transfer plan And the operation schedule of the plurality of first processing devices are transmitted to the first processing device group controller, and the transfer plan and the profits of the plurality of second processing devices are transmitted. A host controller to transmit the schedule to the second processing unit group controller, but with a.

本発明の一態様による生産処理システムにおいては、前記複数の第１及び第２処理装置が共用する共用設備をさらに備え、前記上位コントローラが、前記搬送計画と、前記複数の第１及び第２処理装置の稼働予定とを比較し、比較結果に基づき、前記共用設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することが好ましい。   The production processing system according to an aspect of the present invention further includes a shared facility shared by the plurality of first and second processing apparatuses, wherein the host controller includes the transfer plan and the plurality of first and second processing. It is preferable to compare the operation schedule of the apparatus and instruct the shared equipment to switch to the idle state based on the comparison result.

本発明の一態様による処理装置群制御方法は、被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するステップと、前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を取得するステップと、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出するステップと、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示するステップと、を備えるものである。   A processing apparatus group control method according to an aspect of the present invention includes a step of acquiring an operation schedule including information on maintenance timings of a plurality of processing apparatuses each associated with equipment for processing an object to be processed; The step of obtaining a transfer plan including information on the timing of loading and unloading of the object to be processed is compared with the transfer plan and the operation schedule of each processing device, and for each processing device, the last process before maintenance is performed. The step of specifying and detecting the end timing of the specified processing, and the step of instructing each processing apparatus to switch to the idle state together with the accompanying equipment at the end timing are provided.

本発明の一態様によるプログラムは、被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するステップと、前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を取得するステップと、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出するステップと、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示するステップと、をコンピュータに実行させるものである。   A program according to an aspect of the present invention includes a step of obtaining an operation schedule including information on maintenance times of a plurality of processing apparatuses each associated with a facility for processing an object to be processed; The step of acquiring a transportation plan including information on the timing of loading and unloading is compared with the transportation plan and the operation schedule of each processing apparatus, and the last process before maintenance is identified and identified for each processing apparatus. And a step of instructing each processing device to switch to an idle state together with the associated equipment at the end timing.

本発明によれば、被処理体の搬送計画及び複数の処理装置の稼動予定に基づいて、各処理装置における処理にあわせたレディ状態／アイドル状態の切り替えタイミングを検出し、各処理装置及びこれに付随する設備のレディ状態／アイドル状態を適切なタイミングで切り替えることによって、設備におけるエネルギー消費量を削減することができる。   According to the present invention, the ready timing / idle state switching timing in accordance with the processing in each processing device is detected based on the transfer plan of the object to be processed and the operation schedule of the plurality of processing devices. By switching the ready state / idle state of the associated equipment at an appropriate timing, the energy consumption in the equipment can be reduced.

本発明の実施形態に係る生産処理システムの概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of a production processing system according to an embodiment of the present invention. 同実施形態に係る処理装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the processing apparatus which concerns on the same embodiment. 同実施形態に係る処理装置群コントローラのハードウェア構成図である。It is a hardware block diagram of the processing apparatus group controller which concerns on the same embodiment. 同実施形態に係る処理装置群コントローラの機能ブロック図である。It is a functional block diagram of a processing unit group controller according to the embodiment. 同実施形態に係る処理装置に対するアイドル状態への切り替え指示処理を説明するフローチャートである。It is a flowchart explaining the switch instruction | indication process to the idle state with respect to the processing apparatus which concerns on the embodiment. 搬送計画及び稼働予定の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of a conveyance plan and an operation plan. 変形例による生産処理システムの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the production processing system by a modification. 変形例による生産処理システムの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the production processing system by a modification. 変形例による生産処理システムの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the production processing system by a modification.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、本発明の実施形態に係る処理装置群コントローラ１を有する生産処理システムの構成の一例を示したブロック図である。生産処理システムは、複数の処理装置２１を有する処理装置群２と、搬送装置３２及び搬送装置３２の動作を制御する搬送制御装置３１を有する搬送システム３と、処理装置群２及び搬送システム３へ制御指示を与える生産管理用ホストコンピュータ４（以下単に「ホスト４」という）と、各処理装置２１に対してレディ状態／アイドル状態の切り替えを指示する処理装置群コントローラ１とを備えている。ここで、処理装置２１のレディ状態とは、被処理体を受け入れた際に速やかに処理を開始できるよう準備している状態をいい、アイドル状態は休止状態をいう。   FIG. 1 is a block diagram showing an example of the configuration of a production processing system having a processing device group controller 1 according to an embodiment of the present invention. The production processing system includes a processing device group 2 having a plurality of processing devices 21, a transport device 32 having a transport device 32 that controls operations of the transport device 32, and a processing device group 2 and a transport system 3. A production management host computer 4 (hereinafter simply referred to as “host 4”) for giving a control instruction, and a processor group controller 1 for instructing each processor 21 to switch between a ready state and an idle state are provided. Here, the ready state of the processing device 21 refers to a state in which preparations are made so that processing can be started promptly when an object to be processed is received, and the idle state refers to a dormant state.

ホスト４は、いわゆるＭＥＳ（Manufacturing Execution System）を構成しており、製造されるべき製品の種類、仕様等に応じて生産計画を作成するスケジューラモジュールや、作成した生産計画にしたがって被処理体が処理されるべき処理装置２１を特定し、被処理体に対する処理条件（レシピ）を処理装置２１へ指示すると共に、搬送計画を搬送システム３へ指示するディスパッチャモジュール等を有する。ここで、搬送計画とは、被処理体を処理装置２１へ搬入するタイミングや、処理装置２１で処理された被処理体を搬出するタイミングを規定したものである。また、ホスト４は、各処理装置２１から後述する稼働予定を受信し、搬送計画及び各処理装置２１の稼働予定を処理装置群コントローラ１へ送信する。   The host 4 constitutes a so-called MES (Manufacturing Execution System), a scheduler module that creates a production plan according to the type, specification, etc. of the product to be manufactured, and the object to be processed according to the created production plan. A processing device 21 to be processed is specified, a processing condition (recipe) for the object to be processed is instructed to the processing device 21, and a dispatcher module for instructing the transportation system 3 to have a transportation plan is provided. Here, the conveyance plan defines the timing for carrying the object to be processed into the processing device 21 and the timing for carrying out the object to be processed processed by the processing device 21. In addition, the host 4 receives an operation schedule, which will be described later, from each processing device 21, and transmits the transfer plan and the operation schedule of each processing device 21 to the processing device group controller 1.

処理装置２１は、例えば、有機ＥＬデバイス製造用のガラス基板、半導体デバイス等製造用のシリコンウェーハ等の被処理体を処理するプラズマＣＶＤ装置、プラズマエッチング装置、スパッタリング装置、ＰＶＤ装置等の基板処理装置である。   The processing apparatus 21 is a substrate processing apparatus such as a plasma CVD apparatus, a plasma etching apparatus, a sputtering apparatus, or a PVD apparatus that processes a target object such as a glass substrate for manufacturing an organic EL device, a silicon wafer for manufacturing a semiconductor device, or the like. It is.

１つの処理装置群２を構成する複数の処理装置２１は同じ種類の装置であってもよいし、一連の処理シーケンスに対応したものであってもよい。   The plurality of processing devices 21 constituting one processing device group 2 may be the same type of device, or may correspond to a series of processing sequences.

また、各処理装置２１には、部品の交換、クリーニング、定期点検等のメンテナンスが行われる時期が稼働予定として設定されている。各処理装置２１は、この稼働予定をホスト４に通知する。   Each processing device 21 is set as a scheduled operation time when maintenance such as replacement of parts, cleaning, and periodic inspection is performed. Each processing device 21 notifies the host 4 of this operation schedule.

図１に示すように、生産処理システムには、各処理装置２１に付随した設備２７が設けられている。設備２７は、例えば、処理装置２１のチャンバ内を所望の真空度にする真空ポンプや、処理装置２１から排出されたガスを除害する除害装置である。   As shown in FIG. 1, the production processing system is provided with equipment 27 associated with each processing device 21. The equipment 27 is, for example, a vacuum pump that makes the inside of the chamber of the processing apparatus 21 have a desired degree of vacuum, or a detoxifying apparatus that detoxifies the gas discharged from the processing apparatus 21.

処理装置２１は、設備２７と通信可能に接続されており、設備２７に対してレディ状態／アイドル状態の切り替えを指示することができる。処理装置２１は、処理装置群コントローラ１によりアイドル状態への切り替えが指示されると、自装置をアイドル状態にすると共に、自装置に付随する設備２７をアイドル状態に切り替える。   The processing device 21 is communicably connected to the facility 27 and can instruct the facility 27 to switch between the ready state / idle state. When the processing device group controller 1 instructs the processing device 21 to switch to the idle state, the processing device 21 sets the own device in the idle state and switches the equipment 27 associated with the own device to the idle state.

設備２７はアイドル状態になると、エネルギー消費量が低減する。例えば、設備２７が真空ポンプである場合、アイドル状態になると、真空度を下げることで消費電力を低減し、かつ窒素ガス等の希釈ガスの供給量を減らす。また、設備２７が除害装置である場合、アイドル状態になると、燃焼に用いる燃料の供給量を減らす。   When the facility 27 enters an idle state, energy consumption is reduced. For example, when the equipment 27 is a vacuum pump, when in an idle state, the power consumption is reduced by lowering the degree of vacuum, and the supply amount of dilution gas such as nitrogen gas is reduced. Further, when the facility 27 is an abatement device, the supply amount of fuel used for combustion is reduced when the facility 27 is in an idle state.

図２は、処理装置２１の構成の一例を示したブロック図である。処理装置２１は、例えば、マルチチャンバ式の基板処理システムである。処理装置２１は、被処理体Ｗを収容するＦＯＵＰ（Front Open Unified Pod）を受け渡しするためにＦＯＵＰが載置される第１及び第２ロードポート（LP: Load Port）２２ａ、２２ｂが設けられたロードモジュール（LM: Load Module）２３を備える。ロードモジュール２３には、ロードロックモジュール（LLM: Load Lock Module）２４ａ、２４ｂを介してトランスファーモジュール（TM: Transfer Module）２５が接続されている。トランスファーモジュール２５が有する真空ロボット（図示せず）は、ロードロックモジュール２４ａ、２４ｂを通じて搬入された被処理体Ｗをプロセスモジュール（PM: Process Module）２６ａ〜２６ｄへ搬送する。プロセスモジュール２６ａ〜２６ｄは、レシピに基づいて、被処理体Ｗに所定の処理を施す。処理された被処理体Ｗは、搬入とは逆の経路を辿って第１ロードポート２２ａ又は第２ロードポート２２ｂに載置されたＦＯＵＰに回収され、ＦＯＵＰ単位で搬出される。   FIG. 2 is a block diagram illustrating an example of the configuration of the processing device 21. The processing apparatus 21 is, for example, a multi-chamber type substrate processing system. The processing device 21 is provided with first and second load ports (LP: Load Port) 22a and 22b on which the FOUP is placed in order to deliver a FOUP (Front Open Unified Pod) that accommodates the workpiece W. A load module (LM) 23 is provided. A transfer module (TM: Transfer Module) 25 is connected to the load module 23 via load lock modules (LLM) 24a, 24b. A vacuum robot (not shown) included in the transfer module 25 transports the workpiece W loaded through the load lock modules 24a and 24b to process modules (PM) 26a to 26d. The process modules 26a to 26d perform a predetermined process on the workpiece W based on the recipe. The processed object W is collected in a FOUP placed on the first load port 22a or the second load port 22b along a path opposite to the carry-in, and is carried out in units of FOUPs.

図２に示すマルチチャンバ式の基板処理システムでは、プロセスモジュール２６ａ〜２６ｄ及びトランスファーモジュール２５が常に真空状態に保持されており、ロードロックモジュール２４ａ、２４ｂとトランスファーモジュール２５とはゲートバルブ（図示せず）で仕切られる。ロードロックモジュール２４ａ、２４ｂが真空になった状態でゲートバルブが開かれて、被処理体Ｗが、プロセスモジュール２６ａ〜２６ｄとロードロックモジュール２４ａ、２４ｂとの間で搬送される。設備２７である真空ポンプが、ロードロックモジュール２４ａ、２４ｂの真空引きを行う。   In the multi-chamber type substrate processing system shown in FIG. 2, the process modules 26a to 26d and the transfer module 25 are always kept in a vacuum state, and the load lock modules 24a and 24b and the transfer module 25 are gate valves (not shown). ). The gate valve is opened in a state where the load lock modules 24a and 24b are in a vacuum, and the workpiece W is transported between the process modules 26a to 26d and the load lock modules 24a and 24b. The vacuum pump which is the equipment 27 performs evacuation of the load lock modules 24a and 24b.

搬送システム３は、搬送制御装置３１と搬送装置３２を有する。搬送装置３２は、例えば、天井又は床上に設置された軌道を走行する搬送シャトル、所定のルートを走行する無人搬送車等であり、ＦＯＵＰを搬送する。搬送装置３２は、搬送制御装置３１から与えられた指示に基づいて、複数の処理装置２１と、ＦＯＵＰを保管しているストッカとの間を移動し、ＦＯＵＰに収容された被処理体を搬送する。   The transport system 3 includes a transport control device 31 and a transport device 32. The transport device 32 is, for example, a transport shuttle that travels on a track installed on a ceiling or a floor, an automatic guided vehicle that travels on a predetermined route, and transports FOUPs. The transport device 32 moves between the plurality of processing devices 21 and the stocker storing the FOUP based on an instruction given from the transport control device 31, and transports the object to be processed accommodated in the FOUP. .

搬送制御装置３１は、いわゆるＭＣＳ（Material Control System）を構成しており、ホスト４から与えられた搬送計画に基づいて、搬送装置３２の動作を制御する。   The conveyance control device 31 constitutes a so-called MCS (Material Control System), and controls the operation of the conveyance device 32 based on the conveyance plan given from the host 4.

図３は、処理装置群コントローラ１のハードウェア構成の一例を示したブロック図である。処理装置群コントローラ１は、ＣＰＵ（中央演算処理装置）１１、ディスク装置１２、メインメモリ１３、及びネットワークインタフェース１４を備える。処理装置群コントローラ１の各部はバス１５を介して接続されている。   FIG. 3 is a block diagram illustrating an example of a hardware configuration of the processing device group controller 1. The processing device group controller 1 includes a CPU (Central Processing Unit) 11, a disk device 12, a main memory 13, and a network interface 14. Each unit of the processing device group controller 1 is connected via a bus 15.

ディスク装置１２は、ＣＰＵ１１により実行される処理装置群制御プログラム１２ａを格納する。さらにディスク装置１２は、ネットワークインタフェース（受信部）１４を介してホスト４から搬送計画及び各処理装置２１の稼働予定を受け取り、格納する。ディスク装置１２は例えばハードディスクである。なお、処理装置群制御プログラム１２ａは、ディスク装置１２でなく、ＲＯＭや磁気テープ（共に図示せず）に格納されていてもよい。   The disk device 12 stores a processing device group control program 12a executed by the CPU 11. Further, the disk device 12 receives and stores the transfer plan and the operation schedule of each processing device 21 from the host 4 via the network interface (reception unit) 14. The disk device 12 is, for example, a hard disk. The processing device group control program 12a may be stored not in the disk device 12 but in a ROM or magnetic tape (both not shown).

ＣＰＵ１１は、ディスク装置１２内の処理装置群制御プログラム１２ａをメインメモリ１３にロードして、処理装置群制御プログラム１２ａを実行する。図４に、ＣＰＵ１１が処理装置群制御プログラム１２ａを実行することで実現される機能ブロック図を示す。処理装置群制御プログラム１２ａの実行により、取得部１０１、検出部１０２、及び切替指示部１０３が実現される。   The CPU 11 loads the processing device group control program 12a in the disk device 12 to the main memory 13 and executes the processing device group control program 12a. FIG. 4 shows a functional block diagram realized by the CPU 11 executing the processing unit group control program 12a. The acquisition unit 101, the detection unit 102, and the switching instruction unit 103 are realized by executing the processing device group control program 12a.

図５に示すフローチャートを用いて、取得部１０１、検出部１０２、及び切替指示部１０３において実行される、処理装置２１に対するアイドル状態への切り替え指示処理を説明する。   With reference to the flowchart shown in FIG. 5, the switching instruction process to the idle state for the processing device 21 executed in the acquisition unit 101, the detection unit 102, and the switching instruction unit 103 will be described.

（ステップＳ１０１）取得部１０１が、ディスク装置１２に格納されている搬送計画、及び各処理装置２１の稼働予定を取得する。   (Step S <b> 101) The acquisition unit 101 acquires the conveyance plan stored in the disk device 12 and the operation schedule of each processing device 21.

（ステップＳ１０２）検出部１０２が、搬送計画と各処理装置２１の稼働予定とを比較し、メンテナンス前の最後の処理（メンテナンス直前の処理）を特定し、処理装置２１をアイドル状態に切り替えるタイミングを検出する。   (Step S102) The detection unit 102 compares the transfer plan with the operation schedule of each processing device 21, identifies the last processing before the maintenance (processing immediately before the maintenance), and sets the timing for switching the processing device 21 to the idle state. To detect.

例えば、検出部１０２は、図６（ａ）に示すような、被処理体の搬入時期Ｔ１、Ｔ３、搬出時期Ｔ２、Ｔ４が規定された搬送計画と、図６（ｂ）に示すようなメンテナンスの時期Ｔ５が規定された稼働予定とを比較する。検出部１０２は、時期Ｔ３に搬入され、時期Ｔ４に搬出される被処理体の処理がメンテナンス直前の処理であると特定し、この処理の終了タイミング、例えば被処理体の搬出時期Ｔ４をアイドル状態への切り替えタイミングとして検出する。時期Ｔ４と時期Ｔ５の間は、被処理体が処理装置２１に搬入されないのでレディ状態である必要がないためである。   For example, the detection unit 102 includes a transport plan in which the workpiece loading timings T1 and T3 and the unloading timings T2 and T4 are defined as illustrated in FIG. 6A, and maintenance as illustrated in FIG. 6B. Compared with the operation schedule in which the time T5 is defined. The detection unit 102 specifies that the process of the object to be carried in at time T3 and the object to be carried out at time T4 is the process immediately before the maintenance, and sets the end timing of this process, for example, the unloading time T4 of the object to be processed in the idle state It is detected as the switching timing. This is because the object to be processed does not need to be in the ready state since the object to be processed is not carried into the processing device 21 between the time T4 and the time T5.

メンテナンス直前の処理の終了に伴い処理装置２１をアイドル状態にすることで、処理装置２１がアイドル状態となっている時間を長くとることができる。   By putting the processing device 21 in the idle state at the end of the processing immediately before the maintenance, it is possible to extend the time during which the processing device 21 is in the idle state.

（ステップＳ１０３）切替指示部１０３が、処理装置２１に対して、ステップＳ１０２で検出されたタイミングで付随する設備２７と共にアイドル状態に切り替わるよう、ネットワークインタフェース１４を介して指示を出す。切替指示部１０３が、ステップＳ１０２で検出されたタイミングで処理装置２１に対して切り替え指示を行ってもよいし、ステップＳ１０２で検出されたタイミングよりも前に、処理装置２１に対して切り替え指示及び切り替えのタイミングを通知するようにしてもよい。   (Step S103) The switching instruction unit 103 issues an instruction to the processing device 21 via the network interface 14 so as to switch to the idle state together with the accompanying equipment 27 at the timing detected in Step S102. The switching instruction unit 103 may issue a switching instruction to the processing device 21 at the timing detected in step S102, or before the timing detected in step S102, You may make it notify the timing of switching.

これにより、処理装置２１及び処理装置２１に付随する設備２７は、メンテナンス直前の処理が終了すると速やかにアイドル状態になる。   As a result, the processing device 21 and the equipment 27 associated with the processing device 21 immediately enter an idle state when the processing immediately before maintenance is completed.

このように、本実施形態によれば、メンテナンス直前の処理を特定し、この処理の終了に伴い設備２７をアイドル状態にする。従って、一定時間ホスト４から具体的な処理指示を受け取らないときに処理装置２１側でレディ状態からアイドル状態への切り替えを判断するような場合と比較して、設備２７を速やかにアイドル状態とし、設備２７がアイドル状態になっている時間を長くとることができるため、設備２７におけるエネルギー消費量を削減することができる。   As described above, according to the present embodiment, the process immediately before the maintenance is specified, and the equipment 27 is set in an idle state when the process is completed. Therefore, compared to the case where the processing device 21 determines to switch from the ready state to the idle state when a specific processing instruction is not received from the host 4 for a certain period of time, the equipment 27 is quickly put into the idle state, Since the time during which the facility 27 is in the idle state can be increased, the energy consumption in the facility 27 can be reduced.

上記実施形態では、処理装置群コントローラ１が処理装置２１に対してアイドル状態への切り替えを指示し、この指示を受け付けた処理装置２１が、付随する設備２７をアイドル状態に切り替えていたが、処理装置群コントローラ１が設備２７に対して直接アイドル状態への切り替えを指示してもよい。   In the above embodiment, the processing device group controller 1 instructs the processing device 21 to switch to the idle state, and the processing device 21 that has received this instruction has switched the associated equipment 27 to the idle state. The device group controller 1 may directly instruct the equipment 27 to switch to the idle state.

上記実施形態において、処理装置群コントローラ１は、ホスト４から搬送計画が所定時間送信されてこない場合、すなわちネットワークインタフェース１４が所定時間搬送計画を受信しない場合、処理装置群２の処理装置２１の使用予定がないものと判定し、各処理装置２１に対してアイドル状態への切り替えを指示するようにしてもよい。   In the above embodiment, the processing device group controller 1 uses the processing device 21 of the processing device group 2 when the transfer plan is not transmitted from the host 4 for a predetermined time, that is, when the network interface 14 does not receive the transfer plan for the predetermined time. It may be determined that there is no plan, and each processing device 21 may be instructed to switch to the idle state.

処理装置２１は、稼働状況の変更に伴い、現在の稼働状況をホスト４に通知する機能を有している。処理装置２１の稼働状況として、例えば、ラン状態（被処理体の処理を行っている状態）、レディ状態、アイドル状態がある。処理装置群コントローラ１は、ホスト４から各処理装置２１の稼働状況を取得し、ホスト４から搬送計画が所定時間送信されてこない場合に、各処理装置２１の稼働履歴（過去の稼働状況）に基づいて、各処理装置２１に対してアイドル状態への切り替えを指示するようにしてもよい。例えば、処理装置群コントローラ１は、処理装置２１の稼働履歴からこの処理装置２１で当分の間は処理が行われないと予測される場合、この処理装置２１に対してアイドル状態への切り替えを指示する。   The processing device 21 has a function of notifying the host 4 of the current operating status as the operating status is changed. The operating status of the processing device 21 includes, for example, a run state (a state in which an object is being processed), a ready state, and an idle state. The processing device group controller 1 acquires the operating status of each processing device 21 from the host 4, and in the operating history (past operating status) of each processing device 21 when a transfer plan is not transmitted from the host 4 for a predetermined time. Based on this, the processing device 21 may be instructed to switch to the idle state. For example, when it is predicted from the operation history of the processing device 21 that the processing device 21 will not perform processing for the time being, the processing device group controller 1 instructs the processing device 21 to switch to the idle state. To do.

また、上記実施形態では、１つの処理装置群コントローラ１が１つの処理装置群２に含まれる複数の処理装置２１の運転状態の切り替えを行っていたが、図７に示すように、複数の処理装置群コントローラ１Ａ〜１Ｃ及び処理装置群２Ａ〜２Ｃを設け、処理装置群コントローラ１Ａ〜１Ｃとホスト４との間で情報の送受信を行う上位コントローラ５０を設けてもよい。なお、図７では、搬送システム３の図示を省略している。   Further, in the above embodiment, one processing device group controller 1 switches the operating state of the plurality of processing devices 21 included in one processing device group 2, but as shown in FIG. The device group controllers 1 </ b> A to 1 </ b> C and the processing device groups 2 </ b> A to 2 </ b> C may be provided, and the host controller 50 that transmits and receives information between the processing device group controllers 1 </ b> A to 1 </ b> C and the host 4 may be provided. In addition, illustration of the conveyance system 3 is abbreviate | omitted in FIG.

例えば、上位コントローラ５０は、ホスト４から処理装置群２Ａ〜２Ｃに含まれる複数の処理装置２１の稼働予定を受信すると、処理装置群２Ａに含まれる複数の処理装置２１の稼働予定を処理装置群コントローラ１Ａへ送信する。同様に、上位コントローラ５０は、処理装置群２Ｂに含まれる複数の処理装置２１の稼働予定を処理装置群コントローラ１Ｂへ送信し、処理装置群２Ｂに含まれる複数の処理装置２１の稼働予定を処理装置群コントローラ１Ｂへ送信する。   For example, when the host controller 50 receives an operation schedule of the plurality of processing devices 21 included in the processing device groups 2 </ b> A to 2 </ b> C from the host 4, the upper controller 50 determines the operation schedule of the plurality of processing devices 21 included in the processing device group 2 </ b> A. Transmit to the controller 1A. Similarly, the host controller 50 transmits the operation schedules of the plurality of processing devices 21 included in the processing device group 2B to the processing device group controller 1B, and processes the operation schedules of the plurality of processing devices 21 included in the processing device group 2B. Transmit to the device group controller 1B.

また、図８に示すように、処理装置群２Ａ〜２Ｃに含まれる複数の処理装置２１が共用する共用設備５２が設けられている場合、上位コントローラ５０が、共用設備５２の使用調停や、運転状態の切り替えを行ってもよい。   In addition, as shown in FIG. 8, when a shared facility 52 shared by a plurality of processing devices 21 included in the processing device groups 2 </ b> A to 2 </ b> C is provided, the host controller 50 uses the shared facility 52 for mediation and operation. The state may be switched.

例えば、上位コントローラ５０は、共用設備５２の運転負荷が所定値以上となった場合に、処理装置群２Ａ〜２Ｃに対して共用設備５２の使用可否を指示し、共用設備５２に過大な負荷がかからないようにする。   For example, when the operation load of the shared equipment 52 becomes equal to or higher than a predetermined value, the host controller 50 instructs the processing device groups 2A to 2C whether or not the shared equipment 52 can be used, and the shared equipment 52 is overloaded. Avoid it.

また、例えば、上位コントローラ５０は、搬送計画と、処理装置群２Ａ〜２Ｃに含まれる複数の処理装置２１の稼働予定とを比較し、すべての処理装置２１がメンテナンス直前の処理を終了し、メンテナンスを待っている状態となった時に、共用設備５２をアイドル状態に切り替える。このことにより、共用設備５２を効率良く計画的に利用することができる。   Further, for example, the host controller 50 compares the transfer plan with the operation schedules of the plurality of processing devices 21 included in the processing device groups 2A to 2C, and all the processing devices 21 finish the processing immediately before the maintenance, and perform maintenance. The common equipment 52 is switched to the idle state. As a result, the shared facility 52 can be efficiently and systematically used.

図７に示した例では、上位コントローラ５０及び処理装置群コントローラ１Ａ〜１Ｃの２階層のコントローラを設けていたが、コントローラの階層を３以上としてもよい。図９は、３階層のコントローラを設けた構成の一例を示しており、ホスト４と通信する最上位コントローラ６０、処理装置群２Ａ〜２Ｃに含まれる処理装置２１の運転状態の切り替えを行う処理装置群コントローラ１Ａ〜１Ｃ、処理装置群２Ｄ、２Ｅに含まれる処理装置２１の運転状態の切り替えを行う処理装置群コントローラ１Ｄ、１Ｅ、最上位コントローラ６０と処理装置群コントローラ１Ａ〜１Ｃとの間で情報の送受信を行う上位コントローラ５０Ａ、及び最上位コントローラ６０と処理装置群コントローラ１Ｄ、１Ｅとの間で情報の送受信を行う上位コントローラ５０Ｂが設けられている。   In the example shown in FIG. 7, the two-level controller of the host controller 50 and the processing device group controllers 1 </ b> A to 1 </ b> C is provided, but the controller may have three or more levels. FIG. 9 shows an example of a configuration in which a controller of three layers is provided, and a processing device that switches the operating state of the processing device 21 included in the uppermost controller 60 that communicates with the host 4 and the processing device groups 2A to 2C. Information between the processing device group controllers 1D and 1E, the highest controller 60 and the processing device group controllers 1A to 1C for switching the operating state of the processing devices 21 included in the group controllers 1A to 1C and the processing device groups 2D and 2E. And a host controller 50B that transmits and receives information between the highest controller 60 and the processing device group controllers 1D and 1E.

例えば、設備を共用する複数の処理装置群をグループ化し、各グループに対応して上位コントローラ５０Ａ、５０Ｂを設け、複数の上位コントローラ５０Ａ、５０Ｂとホスト４との間に最上位コントローラ６０を設けることで、共用設備の計画的利用や使用調停等を行うことができる。   For example, a plurality of processing device groups sharing the equipment are grouped, and upper controllers 50A and 50B are provided corresponding to each group, and the uppermost controller 60 is provided between the plurality of upper controllers 50A and 50B and the host 4. Therefore, planned use and mediation of shared facilities can be performed.

上述した実施形態で説明した処理装置群コントローラ１及びホスト４の少なくとも一部は、ハードウェアで構成してもよいし、ソフトウェアで構成してもよい。ソフトウェアで構成する場合には、処理装置群コントローラ１及びホスト４の少なくとも一部の機能を実現するプログラムをフレキシブルディスクやＣＤ−ＲＯＭ等の記録媒体に収納し、コンピュータに読み込ませて実行させてもよい。記録媒体は、磁気ディスクや光ディスク等の着脱可能なものに限定されず、ハードディスク装置やメモリなどの固定型の記録媒体でもよい。   At least a part of the processing device group controller 1 and the host 4 described in the above-described embodiment may be configured by hardware or software. When configured by software, a program for realizing at least a part of the functions of the processing unit group controller 1 and the host 4 may be stored in a recording medium such as a flexible disk or a CD-ROM and read and executed by a computer. Good. The recording medium is not limited to a removable medium such as a magnetic disk or an optical disk, but may be a fixed recording medium such as a hard disk device or a memory.

また、処理装置群コントローラ１及びホスト４の少なくとも一部の機能を実現するプログラムを、インターネット等の通信回線（無線通信も含む）を介して頒布してもよい。さらに、同プログラムを暗号化したり、変調をかけたり、圧縮した状態で、インターネット等の有線回線や無線回線を介して、あるいは記録媒体に収納して頒布してもよい。   Further, a program that realizes at least part of the functions of the processing device group controller 1 and the host 4 may be distributed via a communication line (including wireless communication) such as the Internet. Further, the program may be distributed in a state where the program is encrypted, modulated or compressed, and stored in a recording medium via a wired line such as the Internet or a wireless line.

なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。   Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment as it is, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the scope of the invention in the implementation stage. In addition, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of components disclosed in the embodiment. For example, some components may be deleted from all the components shown in the embodiment. Furthermore, constituent elements over different embodiments may be appropriately combined.

１ 処理装置群コントローラ
２ 処理装置群
３ 搬送システム
４ ホスト
２１ 処理装置
２７ 設備
３１ 搬送制御装置
３２ 搬送装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Processing apparatus group controller 2 Processing apparatus group 3 Transfer system 4 Host 21 Processing apparatus 27 Equipment 31 Transfer control apparatus 32 Transfer apparatus

Claims (10)

被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定と、前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画とを記憶する記憶部と、
前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出する検出部と、
各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する指示部と、
を備える処理装置群コントローラ。 An operation schedule including information on maintenance timings of a plurality of processing apparatuses associated with respective facilities for processing the objects to be processed, and a conveyance plan including information on timings of loading and unloading the objects to be processed into the plurality of processing apparatuses. A storage unit for storing;
A detection unit that compares the transfer plan with the operation schedule of each processing apparatus, specifies the last process before maintenance for each processing apparatus, and detects the end timing of the specified process;
An instruction unit that instructs each processing device to switch to an idle state together with the accompanying equipment at the end timing;
A processing device group controller. 前記指示部は、前記終了タイミングで、前記処理装置に付随した設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することを特徴とする請求項１に記載の処理装置群コントローラ。   The processing device group controller according to claim 1, wherein the instruction unit instructs the equipment attached to the processing device to switch to an idle state at the end timing. 前記複数の処理装置と通信可能に接続されているホストコンピュータから前記搬送計画を受信する受信部をさらに備え、
前記指示部は、前記受信部が前記ホストコンピュータから最新の搬送計画を受信してから所定時間以上経過した場合、各処理装置に対して、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示することを特徴とする請求項１に記載の処理装置群コントローラ。 A receiving unit that receives the transfer plan from a host computer that is communicably connected to the plurality of processing devices;
The instructing unit instructs each processing apparatus to switch to an idle state together with the associated equipment when a predetermined time or more has elapsed since the receiving unit received the latest transfer plan from the host computer. The processing device group controller according to claim 1. 前記複数の処理装置と通信可能に接続されているホストコンピュータから前記搬送計画及び各処理装置の稼働状況を受信する受信部をさらに備え、
前記指示部は、前記受信部が前記ホストコンピュータから最新の搬送計画を受信してから所定時間以上経過した場合、各処理装置の過去の稼働状況に基づいてアイドル状態に切り替える処理装置を特定し、特定した処理装置に対して、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示することを特徴とする請求項１に記載の処理装置群コントローラ。 A receiving unit that receives the transfer plan and the operating status of each processing device from a host computer that is communicably connected to the plurality of processing devices;
The instruction unit specifies a processing device to be switched to an idle state based on a past operation status of each processing device when a predetermined time or more has elapsed since the receiving unit received the latest transfer plan from the host computer, The processing device group controller according to claim 1, wherein the specified processing device is instructed to switch to an idle state together with the accompanying equipment. 被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の処理装置と、
前記複数の処理装置へ被処理体を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置による被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を作成し、前記複数の処理装置から、メンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するホストコンピュータと、
前記ホストコンピュータから前記搬送計画及び前記稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する処理装置群コントローラと、
を備える生産処理システム。 A plurality of processing devices each for which an object is attached to process an object;
A transfer device for transferring an object to be processed to the plurality of processing devices;
A host computer for creating a transfer plan including information on the timing of loading and unloading of the object to be processed by the transfer device, and obtaining an operation schedule including information on maintenance time from the plurality of processing devices;
The transfer plan and the operation schedule are acquired from the host computer, the transfer plan is compared with the operation schedule of each processing apparatus, the last process before maintenance is specified for each processing apparatus, and the specified process And a processing device group controller that instructs each processing device to switch to an idle state together with the associated equipment at the end timing;
Production processing system comprising. 前記処理装置群コントローラは、前記終了タイミングで、前記処理装置に付随した設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することを特徴とする請求項５に記載の生産処理システム。   6. The production processing system according to claim 5, wherein the processing device group controller instructs the equipment attached to the processing device to switch to an idle state at the end timing. 被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の第１処理装置と、
被処理体を処理する、それぞれ設備が付随した複数の第２処理装置と、
前記複数の第１及び第２処理装置へ被処理体を搬送する搬送装置と、
前記搬送装置による被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を作成し、前記複数の第１及び第２処理装置から、メンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するホストコンピュータと、
前記搬送計画及び前記複数の第１処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各第１処理装置の稼働予定とを比較し、各第１処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各第１処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する第１処理装置群コントローラと、
前記搬送計画及び前記複数の第２処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画と、各第２処理装置の稼働予定とを比較し、各第２処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出し、各第２処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示する第２処理装置群コントローラと、
前記ホストコンピュータから前記搬送計画及び前記複数の第１及び第２処理装置の稼働予定を取得し、前記搬送計画及び前記複数の第１処理装置の稼働予定を前記第１処理装置群コントローラへ送信し、前記搬送計画及び前記複数の第２処理装置の稼働予定を前記第２処理装置群コントローラへ送信する上位コントローラと、
を備える生産処理システム。 A plurality of first processing devices, each of which is associated with equipment, for processing an object to be processed;
A plurality of second processing devices, each of which is associated with equipment, for processing an object to be processed;
A transfer device for transferring an object to be processed to the plurality of first and second processing devices;
A host computer that creates a transfer plan including information on the timing of loading and unloading of an object to be processed by the transfer device, and obtains an operation schedule including information on maintenance time from the plurality of first and second processing devices;
The transfer plan and the operation schedule of the plurality of first processing apparatuses are acquired, the transfer plan is compared with the operation schedule of each first processing apparatus, and the last process before maintenance is performed for each first processing apparatus. A first processing device group controller that identifies and detects the end timing of the specified processing, and instructs each first processing device to switch to an idle state together with the associated equipment at the end timing;
The transfer plan and the operation schedule of the plurality of second processing apparatuses are acquired, the transfer plan is compared with the operation schedule of each second processing apparatus, and the last process before maintenance is performed for each second processing apparatus. A second processing device group controller that identifies and detects the end timing of the specified processing, and instructs each second processing device to switch to an idle state together with the associated equipment at the end timing;
The transfer plan and the operation schedules of the plurality of first and second processing apparatuses are acquired from the host computer, and the transfer plan and the operation schedules of the plurality of first processing apparatuses are transmitted to the first processing apparatus group controller. A host controller that transmits the transfer plan and the operation schedule of the plurality of second processing devices to the second processing device group controller;
Production processing system comprising. 前記複数の第１及び第２処理装置が共用する共用設備をさらに備え、
前記上位コントローラが、前記搬送計画と、前記複数の第１及び第２処理装置の稼働予定とを比較し、比較結果に基づき、前記共用設備に対してアイドル状態に切り替わるように指示することを特徴とする請求項７に記載の生産処理システム。 A common facility shared by the plurality of first and second processing apparatuses;
The host controller compares the transfer plan with the operation schedules of the plurality of first and second processing apparatuses, and instructs the shared equipment to switch to an idle state based on the comparison result. The production processing system according to claim 7. 被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するステップと、
前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を取得するステップと、
前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出するステップと、
各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示するステップと、
を備える処理装置群制御方法。 Acquiring an operation schedule including information on maintenance times of a plurality of processing apparatuses each associated with a facility for processing an object;
Obtaining a transfer plan including information on the timing of loading and unloading the object to be processed into the plurality of processing devices;
Comparing the transfer plan with the operation schedule of each processing device, identifying the last processing before maintenance for each processing device, and detecting the end timing of the specified processing;
Instructing each processing apparatus to switch to an idle state together with the accompanying equipment at the end timing;
A processing apparatus group control method comprising: 被処理体を処理するそれぞれ設備が付随した複数の処理装置のメンテナンス時期の情報を含む稼働予定を取得するステップと、
前記複数の処理装置への被処理体の搬入及び搬出のタイミングの情報を含む搬送計画を取得するステップと、
前記搬送計画と、各処理装置の前記稼働予定とを比較し、各処理装置について、メンテナンス前の最後の処理を特定し、特定した処理の終了タイミングを検出するステップと、
各処理装置に対して、前記終了タイミングで、付随している設備とともにアイドル状態に切り替わるように指示するステップと、
をコンピュータに実行させるプログラム。 Acquiring an operation schedule including information on maintenance times of a plurality of processing apparatuses each associated with a facility for processing an object;
Obtaining a transfer plan including information on the timing of loading and unloading the object to be processed into the plurality of processing devices;
Comparing the transfer plan with the operation schedule of each processing device, identifying the last processing before maintenance for each processing device, and detecting the end timing of the specified processing;
Instructing each processing apparatus to switch to an idle state together with the accompanying equipment at the end timing;
A program that causes a computer to execute.
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