JP2013088345A - Eddy current flaw inspection device - Google Patents

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明喜夫 上野
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an eddy current flaw inspection device for appropriately detecting a position or length of a flaw in a circumferential direction of a conductor.SOLUTION: The eddy current flaw inspection device is provided with: a pair of detection coils (L1A and L2A to L1D and L2D) placed along a carrier path (250) of a conductor (200) to be inspected coaxially and away from it; and a detection part in which two lines of a bridge comprise respective detection coils of the pair of detection coils (L1A and L2A to L1D and L2D) and which includes an AC bridge circuit for outputting a detection signal showing whether or not balance of the bridge is lost. The pair of detection coils (L1A and L2A to L1D and L2D) have electromagnetic shielding bodies (51 to 54) placed at a part in the circumferential direction on a surface facing the carrier path (250) side of the pair of detection coils.

Description

本発明は、渦流探傷装置に関する。   The present invention relates to an eddy current flaw detector.

従来、導体表面の欠陥を検査するために渦流探傷装置が用いられている。この渦流探傷装置は、例えば、一対の検出コイルをブリッジ接続した交流ブリッジ回路に交流信号を供給し、検出コイルと検査対象とを相対的に移動させて検査するものである。そして、渦流探傷装置は、検査対象である導体表面の傷等の欠陥が検出コイルを通過した場合、導体内に生じる渦電流が変化して一対の検出コイルの各検出コイルのインダクタンスに差が生じることにより欠陥を検出する。（例えば、特許文献１参照）。   Conventionally, an eddy current flaw detector is used to inspect a defect on a conductor surface. In this eddy current flaw detector, for example, an AC signal is supplied to an AC bridge circuit in which a pair of detection coils are bridge-connected, and an inspection is performed by relatively moving the detection coil and the inspection object. In the eddy current flaw detector, when a defect such as a flaw on the surface of the conductor to be inspected passes through the detection coil, the eddy current generated in the conductor changes and a difference occurs in the inductance of each detection coil of the pair of detection coils. To detect defects. (For example, refer to Patent Document 1).

特許第２８８２８５６号公報Japanese Patent No. 28882856

ところで、導体の周方向における欠陥の位置または長さを検出することが望まれている。
しかしながら、従来の渦流探傷装置においては、検出コイルと検査対象である導体とを相対的に移動させる搬送方向における欠陥の位置または長さについては検出できたが、導体の周方向における欠陥の位置または長さについては検出できなかった。 Incidentally, it is desired to detect the position or length of the defect in the circumferential direction of the conductor.
However, in the conventional eddy current flaw detector, although the position or length of the defect in the transport direction in which the detection coil and the conductor to be inspected are relatively moved can be detected, the position of the defect in the circumferential direction of the conductor or The length could not be detected.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、導体の周方向における欠陥の位置または長さを適切に検出することができる渦流探傷装置を提供することにある。   This invention is made | formed in view of such a situation, The objective is to provide the eddy current flaw detection apparatus which can detect appropriately the position or length of the defect in the circumferential direction of a conductor.

この発明は上述した課題を解決するためになされたもので、本発明は、検査対象である導体の搬送路に沿って同軸に且つ離間して配置された一対の検出コイルと、前記一対の検出コイルの各検出コイルによりブリッジの二辺が構成され、前記ブリッジの平衡が崩れたか否かを示す検出信号を出力する交流ブリッジ回路を含む検出部と、を備え、前記一対の検出コイルは、当該一対の検出コイルの前記搬送路側を向く面における周方向の一部に配置される電磁遮蔽体を有することを特徴とする渦流探傷装置である。   The present invention has been made to solve the above-described problems. The present invention is directed to a pair of detection coils arranged coaxially and apart from each other along the transport path of a conductor to be inspected, and the pair of detection coils. A detection unit including an AC bridge circuit configured to output a detection signal indicating whether or not the bridge is broken by each of the detection coils of the coil, and the pair of detection coils, It is an eddy current flaw detector characterized by having an electromagnetic shielding body arranged in a part of the circumferential direction on the surface of the pair of detection coils facing the conveyance path.

また、本発明の渦流探傷装置は、前記検出部において、複数の前記交流ブリッジ回路、を備え、複数の前記交流ブリッジ回路は、搬送路方向の異なる位置に配置され、複数の前記交流ブリッジ回路それぞれの一対の検出コイルが有する前記電磁遮蔽体は、互いに周方向の異なる位置に配置されることを特徴とする。   Moreover, the eddy current flaw detector of the present invention includes a plurality of the AC bridge circuits in the detection unit, and the plurality of AC bridge circuits are arranged at different positions in the conveyance path direction, and each of the plurality of AC bridge circuits. The electromagnetic shielding bodies included in the pair of detection coils are arranged at different positions in the circumferential direction.

また、本発明の渦流探傷装置は、前記検出部において、複数の前記交流ブリッジ回路それぞれの一対の検出コイルが有する前記電磁遮蔽体は、前記搬送路側を向く面の全周にわたって互いに周方向の異なる位置に配置されることを特徴とする。   In the eddy current flaw detector according to the present invention, in the detection unit, the electromagnetic shields included in the pair of detection coils of each of the plurality of AC bridge circuits have different circumferential directions over the entire circumference of the surface facing the conveyance path side. It is arranged at a position.

また、本発明の渦流探傷装置は、前記検出部において、前記交流ブリッジ回路から出力された前記検出信号と、前記電磁遮蔽体が配置されている周方向の位置とに基づいて、前記検査対象の周方向における前記欠陥の位置を検出することを特徴とする。   In the eddy current flaw detector according to the present invention, in the detection unit, based on the detection signal output from the AC bridge circuit and a circumferential position where the electromagnetic shield is disposed, The position of the defect in the circumferential direction is detected.

また、本発明の渦流探傷装置は、前記検出部において、前記交流ブリッジ回路から出力された前記検出信号と、前記電磁遮蔽体が配置されている周方向の位置とに基づいて、前記検査対象の周方向における前記欠陥の長さを検出することを特徴とする。   In the eddy current flaw detector according to the present invention, in the detection unit, based on the detection signal output from the AC bridge circuit and a circumferential position where the electromagnetic shield is disposed, The length of the defect in the circumferential direction is detected.

また、本発明の渦流探傷装置において、前記一対の検出コイルの各検出コイルには、互いに異なる位相の交流電流が供給されることを特徴とする。   In the eddy current flaw detector according to the present invention, AC currents having different phases are supplied to the detection coils of the pair of detection coils.

また、本発明の渦流探傷装置は、前記検出部において、前記一対の検出コイルである第１の検出コイルと第２の検出コイルとにより前記ブリッジの二辺が構成される前記交流ブリッジ回路に対して所定の周波数の交流電流を供給する電源部と、前記電源部から前記交流ブリッジ回路に供給された交流電流に対して、前記第２の検出コイルに供給する交流電流の位相を変更する第１の位相器と、前記交流ブリッジ回路の前記検出信号として出力される、前記第１の検出コイルのインダクタンスの変化に応じて出力される第１の出力信号と前記第２の検出コイルのインダクタンスの変化に応じて出力される第２の出力信号との内、前記第１の出力信号の位相を変更する第２の位相器と、を備え、前記第１の位相器の位相の変更量と前記第２の位相器の位相の変更量とが同じ変更量であることを特徴とする。   In the eddy current flaw detector according to the present invention, in the detection unit, the AC bridge circuit in which two sides of the bridge are configured by the first detection coil and the second detection coil that are the pair of detection coils. A first power source that supplies an alternating current having a predetermined frequency and a phase of the alternating current supplied to the second detection coil with respect to the alternating current supplied from the power source to the alternating current bridge circuit. The first output signal output as the detection signal of the first detection coil and the change of the inductance of the second detection coil, which are output as the detection signal of the AC bridge circuit A second phase shifter that changes the phase of the first output signal out of the second output signal output in response to the first phase shifter, and the phase change amount of the first phase shifter and the first phase shifter Phase of 2 Wherein the phase change amount of the same change amount.

この発明によれば、検査対象である導体の周方向における欠陥の位置または長さを適切に検出することができる。   According to this invention, the position or length of the defect in the circumferential direction of the conductor to be inspected can be appropriately detected.

渦流探傷装置の構成の一例を示す概略ブロック図である。It is a schematic block diagram which shows an example of a structure of an eddy current flaw detector. 本発明の一実施形態による渦流探傷装置の構成を示す概略ブロック図である。It is a schematic block diagram which shows the structure of the eddy current flaw detector by one Embodiment of this invention. 検出コイルに配置される電磁遮蔽体の構成の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of a structure of the electromagnetic shielding body arrange | positioned at a detection coil. 交流ブリッジ回路により検出された出力の位相を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the phase of the output detected by the alternating current bridge circuit. 本実施形態の交流ブリッジ回路の構成の一例を示す概略ブロック図である。It is a schematic block diagram which shows an example of a structure of the alternating current bridge circuit of this embodiment. インナープローブ型の渦流探傷装置のプローブ１０Ａの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the probe 10A of an inner probe type eddy current flaw detector.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本発明に用いられる渦流探傷装置の構成の一例を示す概略ブロック図である。
まず、図１を用いて、渦流探傷装置が検査対象である導体２００の傷、異物等による欠陥を検出する方法についての概要を説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic block diagram showing an example of the configuration of an eddy current flaw detector used in the present invention.
First, an outline of a method for detecting a defect due to a flaw, a foreign object, or the like of the conductor 200 to be inspected by the eddy current flaw detector will be described with reference to FIG.

検査対象である導体２００の搬送路２５０に沿って同軸に且つ離間して一対の検出コイルが配置されている。例えば、一対の検出コイルＬ１,Ｌ２は、検査対象である導体２００の搬送路２５０に沿って、この導体２００と一定の間隔を有して非接触且つ同軸に配置されている。また、一対の検出コイルＬ１,Ｌ２は、搬送路２５０に沿って同軸に且つ搬送路２５０に沿った方向に離間して配置されている。検出コイルＬ１,Ｌ２が交流ブリッジ回路３のブリッジの二辺として結線され、抗抵Ｒ１,Ｒ２がブリッジの他方の二辺として結線されている。交流電源３１から交流ブリッジ回路３に交流電流が供給され、検出コイルＬ１,Ｌ２に交流電流が流れると、電磁誘導によって導体２００に渦電流（誘導電流）が生じる。   A pair of detection coils are arranged coaxially and spaced along the transport path 250 of the conductor 200 to be inspected. For example, the pair of detection coils L <b> 1 and L <b> 2 are arranged in a non-contact and coaxial manner with a certain distance from the conductor 200 along the transport path 250 of the conductor 200 to be inspected. Further, the pair of detection coils L 1 and L 2 are arranged coaxially along the conveyance path 250 and separated in the direction along the conveyance path 250. The detection coils L1 and L2 are connected as two sides of the bridge of the AC bridge circuit 3, and the resistances R1 and R2 are connected as the other two sides of the bridge. When an alternating current is supplied from the alternating current power source 31 to the alternating current bridge circuit 3 and an alternating current flows through the detection coils L1 and L2, an eddy current (inductive current) is generated in the conductor 200 by electromagnetic induction.

そして、検出コイルＬ１,Ｌ２の中を通過している導体２００に欠陥がない場合は、検出コイルＬ１と抵抗Ｒ１との接続点に接続されている端子Ｋ１と、検出コイルＬ２と抵抗Ｒ２との接続点に接続されている端子Ｋ２間との出力信号がゼロバランスとなるように調整されている。一方、検出コイルＬ１,Ｌ２の中を導体２００の欠陥が通過した場合、導体２００に生じる渦電流が変化し、検出コイルＬ１,Ｌ２のインダクタンスが相対変化して差が生じ、交流ブリッジ回路３のブリッジの平衡が崩れて端子Ｋ１，Ｋ２間の出力信号に差が生じる。よって、渦流探傷装置は、端子Ｋ１，Ｋ２間の出力信号、すなわちブリッジの平衡が崩れたか否かを示す検出信号に基づいて導体２００の傷、異物等の欠陥を検出する。   If there is no defect in the conductor 200 passing through the detection coils L1, L2, the terminal K1 connected to the connection point between the detection coil L1 and the resistor R1, and the detection coil L2 and the resistor R2 The output signal between the terminals K2 connected to the connection point is adjusted to be zero balance. On the other hand, when the defect of the conductor 200 passes through the detection coils L1 and L2, the eddy current generated in the conductor 200 changes, the inductances of the detection coils L1 and L2 change relative to each other, and a difference occurs. The balance of the bridge is lost and a difference occurs in the output signal between the terminals K1 and K2. Therefore, the eddy current flaw detector detects a defect such as a flaw in the conductor 200 or a foreign object based on an output signal between the terminals K1 and K2, that is, a detection signal indicating whether or not the balance of the bridge is lost.

なお、検出コイルＬ１,Ｌ２は、図１に示す矢印の向きのように、生じる磁界の向きが逆相となるように差動接続されている。一般的に、磁界の向きが同相となるように和動接続されるよりも、差動接続される方が好ましいことが知られている。例えば、差動接続の場合は、検出コイルＬ１,Ｌ２の内部で導体２００が偏心する、または、導体２００の組成が変化する、等により検出コイルＬ１,Ｌ２にノイズ信号が生じたとしても、これらのノイズ信号が互いに相殺しあい、出力信号のノイズ成分を低減してＳＮ比を高めることが可能である。なお、本実施形態においては、差動接続である場合を例としているが、和動接続である場合としても同様に適応できる。なお、図１の検出コイルＬ１と検出コイルＬ２との接続点はＧＮＤ（グランド）に接続されて接地される構成としてもよい。   The detection coils L1 and L2 are differentially connected such that the direction of the generated magnetic field is in reverse phase as indicated by the arrows in FIG. In general, it is known that a differential connection is preferable to a Japanese-style connection so that the directions of magnetic fields are in phase. For example, in the case of differential connection, even if a noise signal is generated in the detection coils L1 and L2 due to the conductor 200 being eccentric in the detection coils L1 and L2 or the composition of the conductor 200 being changed, etc. Noise signals cancel each other out, and the noise component of the output signal can be reduced to increase the S / N ratio. In the present embodiment, the case of differential connection is taken as an example, but the same can be applied to the case of summing connection. The connection point between the detection coil L1 and the detection coil L2 in FIG. 1 may be connected to GND (ground) and grounded.

図２は、本発明の一実施形態による渦流探傷装置１００の構成を示す概略ブロック図である。図２に示す渦流探傷装置１００は、図１に示す一対の検出コイルＬ１,Ｌ２を有する交流ブリッジ回路３と同様な回路として符号Ａ、符号Ｂ、符号Ｃ、及び、符号Ｄに示す４つの交流ブリッジ回路３Ａ〜３Ｄを備えている例である。以下、符号Ａ、符号Ｂ、符号Ｃ、及び、符号Ｄに示す４つの交流ブリッジ回路３Ａ〜３Ｄを、それぞれ第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄとする。   FIG. 2 is a schematic block diagram showing the configuration of the eddy current flaw detector 100 according to one embodiment of the present invention. 2 is a circuit similar to the AC bridge circuit 3 having the pair of detection coils L1 and L2 shown in FIG. 1, and includes four alternating currents indicated by reference signs A, B, C, and D. It is an example provided with bridge circuits 3A-3D. Hereinafter, the four AC bridge circuits 3A to 3D indicated by reference signs A, B, C, and D are respectively referred to as a first detection circuit A, a second detection circuit B, a third detection circuit C, and The fourth detection circuit D is assumed.

渦流探傷装置１００は、検出部１０、制御部２０、及び電源部３０を備えている。
検出部１０は、第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄを備えている。第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄは、検出コイルＬ１Ａ,Ｌ２Ａ、検出コイルＬ１Ｂ,Ｌ２Ｂ、検出コイルＬ１Ｃ,Ｌ２Ｃ、及び検出コイルＬ１Ｄ,Ｌ２Ｄをそれぞれ一対の検出コイルとして有するそれぞれに対応する交流ブリッジ回路３Ａ〜３Ｄを有している。また、それぞれ対となる検出コイルＬ１Ａ,Ｌ２Ａ〜検出コイルＬ１Ｄ,Ｌ２Ｄは、検査対象である導体２００の搬送路２５０に沿って同軸に且つ離間して配置されている。なお、導体２００は、例えば銅線、鉄線、または鋼線等の円柱状の金属材である。 The eddy current flaw detector 100 includes a detection unit 10, a control unit 20, and a power supply unit 30.
The detection unit 10 includes a first detection circuit A, a second detection circuit B, a third detection circuit C, and a fourth detection circuit D. The first detection circuit A, the second detection circuit B, the third detection circuit C, and the fourth detection circuit D include detection coils L1A and L2A, detection coils L1B and L2B, detection coils L1C and L2C, and detection AC bridge circuits 3A to 3D corresponding to the coils L1D and L2D, respectively, having a pair of detection coils, respectively. The pair of detection coils L1A, L2A to detection coils L1D, L2D are coaxially and spaced apart from each other along the transport path 250 of the conductor 200 to be inspected. The conductor 200 is a cylindrical metal material such as a copper wire, an iron wire, or a steel wire.

また、検出部１０は、欠陥検出部１１を備えており、第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄから出力されるそれぞれの検出信号が入力される。そして、欠陥検出部１１は、入力された検出信号に基づいて、検査対象である導体２００の表面に欠陥があるか否かを検出する。   In addition, the detection unit 10 includes a defect detection unit 11, which is output from each of the first detection circuit A, the second detection circuit B, the third detection circuit C, and the fourth detection circuit D. A detection signal is input. And the defect detection part 11 detects whether the surface of the conductor 200 which is a test object has a defect based on the input detection signal.

また、欠陥検出部１１は、導体２００の周方向（例えば、円柱状の導体２００の円周方向）における欠陥の位置または長さを検出する。この円周方向における欠陥の位置または長さは、第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄがそれぞれ有する電磁遮蔽体の位置に基づいて欠陥検出部１１が検出するものであり、図３を用いて後述する。   In addition, the defect detection unit 11 detects the position or length of the defect in the circumferential direction of the conductor 200 (for example, the circumferential direction of the cylindrical conductor 200). The position or length of the defect in the circumferential direction is the position of the electromagnetic shielding body that each of the first detection circuit A, the second detection circuit B, the third detection circuit C, and the fourth detection circuit D has. Based on this, the defect detection unit 11 detects this, and will be described later with reference to FIG.

制御部２０は、渦流探傷装置１００が備えている各部を制御する。例えば、検出部１０の検出結果を表示部（不図示）に表示する制御、または外部に接続された表示装置やプリンター等に出力する制御をする。電源部３０は、例えば、商用交流電源から入力された電力を、渦流探傷装置１００が備えている各部を駆動するための電圧または電流に変換して供給する。   The control unit 20 controls each unit included in the eddy current flaw detection apparatus 100. For example, control is performed to display the detection result of the detection unit 10 on a display unit (not shown), or control to output to a display device or printer connected to the outside. For example, the power supply unit 30 converts power supplied from a commercial AC power source into a voltage or current for driving each unit included in the eddy current flaw detector 100 and supplies the converted voltage or current.

次に、本実施形態の渦流探傷装置１００が、導体２００の円周方向における欠陥の位置または長さを検出する処理について、図３を用いて説明する。
図３は、検出コイルに配置される電磁遮蔽体の構成の一例を示す模式図である。渦流探傷装置１００の一対の検出コイルそれぞれは、搬送路２５０側を向く面の円周方向（すなわち、一対の検出コイルの内側の円周方向）の一部に配置されている電磁遮蔽体をそれぞれ有している。また、これらの電磁遮蔽体は、それぞれの検出コイルの搬送路２５０方向の幅に対応した長さ（例えば、検出コイルＬ１Ａ,Ｌ２Ａの幅の長さと同じ長さ）を有している。 Next, processing in which the eddy current flaw detector 100 according to the present embodiment detects the position or length of a defect in the circumferential direction of the conductor 200 will be described with reference to FIG.
FIG. 3 is a schematic diagram illustrating an example of the configuration of the electromagnetic shield disposed in the detection coil. Each of the pair of detection coils of the eddy current flaw detector 100 has an electromagnetic shield disposed in a part of the circumferential direction of the surface facing the conveyance path 250 (that is, the circumferential direction inside the pair of detection coils). Have. Further, these electromagnetic shields have a length corresponding to the width of each detection coil in the direction of the conveyance path 250 (for example, the same length as the width of the detection coils L1A and L2A).

図３（ａ）は、搬送路２５０方向に沿った断面に対する透視図であって、導体２００、電磁遮蔽体５１〜５４、絶縁体６１,６２、及び検出コイルＬ１Ａ,Ｌ２Ａ〜Ｌ１Ｄ,Ｌ２Ｄの構成を示す模式図である。また、図３（ｂ）は、搬送路２５０方向に直交する断面における、導体２００、電磁遮蔽体５１〜５４、及び絶縁体６１,６２の構成を示す模式図である。ここで、図３（ｂ）においては、図３（ａ）に示す検出コイルＬ１Ａ,Ｌ２Ａ〜Ｌ１Ｄ,Ｌ２Ｄの図示を省略している。   FIG. 3A is a perspective view with respect to a cross section along the direction of the conveyance path 250, and the configuration of the conductor 200, the electromagnetic shields 51 to 54, the insulators 61 and 62, and the detection coils L1A, L2A to L1D, and L2D. It is a schematic diagram which shows. FIG. 3B is a schematic diagram showing a configuration of the conductor 200, the electromagnetic shields 51 to 54, and the insulators 61 and 62 in a cross section orthogonal to the direction of the conveyance path 250. Here, in FIG.3 (b), illustration of detection coil L1A, L2A-L1D, L2D shown to Fig.3 (a) is abbreviate | omitted.

例えば、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄの有する一対の検出コイルそれぞれは、絶縁体６１と及び絶縁体６２との間に挾持されて互いに円周方向の異なる位置に配置されている電磁遮蔽体５１〜５４を、それぞれ一対の検出コイルの内側に有している。電磁遮蔽体５１〜５４は、例えば、銅箔シートであり、電磁界を遮蔽する作用を持つ材料により構成されるものである。   For example, as shown in FIGS. 3A and 3B, a pair of first detection circuit A, second detection circuit B, third detection circuit C, and fourth detection circuit D are included. Each of the detection coils has electromagnetic shields 51 to 54 that are sandwiched between the insulator 61 and the insulator 62 and are disposed at different positions in the circumferential direction, respectively, inside the pair of detection coils. ing. The electromagnetic shields 51 to 54 are, for example, copper foil sheets and are made of a material having an action of shielding an electromagnetic field.

そして、一対の検出コイルそれぞれに配置されている電磁遮蔽体５１〜５４は、一対の検出コイルの内側の全周にわたって互いに円周方向の異なる位置に配置されている。例えば、第１の検出回路Ａには、中心角が０°〜９０°となる円周方向の区間にわたって、検出コイルＬ１Ａ,Ｌ２Ａの搬送路２５０方向の幅に対応した長さ（例えば、検出コイルＬ１Ａ,Ｌ２Ａの幅の長さと同じ長さ）の電磁遮蔽体５１が配置されている。第２の検出回路Ｂには、中心角が９０°〜１８０°となる円周方向の区間にわたって、検出コイルＬ１Ｂ,Ｌ２Ｂの搬送路２５０方向の幅に対応した長さ（例えば、検出コイルＬ１Ｂ,Ｌ２Ｂの幅の長さと同じ長さ）の電磁遮蔽体５２が配置されている。第３の検出回路Ｃには、中心角が１８０°〜２７０°となる円周方向の区間にわたって、検出コイルＬ１Ｃ,Ｌ２Ｃの搬送路２５０方向の幅に対応した長さ（例えば、検出コイルＬ１Ｃ,Ｌ２Ｃの幅の長さと同じ長さ）の電磁遮蔽体５３が配置されている。第４の検出回路Ｄには、中心角が２７０°〜３６０°（０°）となる円周方向の区間にわたって、検出コイルＬ１Ｄ,Ｌ２Ｄの搬送路２５０方向の幅に対応した長さ（例えば、検出コイルＬ１Ｄ,Ｌ２Ｄの幅の長さと同じ長さ）の電磁遮蔽体５４が配置されている。   And the electromagnetic shielding bodies 51-54 arrange | positioned at each of a pair of detection coil are arrange | positioned in the mutually different position of the circumferential direction over the perimeter inside a pair of detection coil. For example, the first detection circuit A has a length corresponding to the width of the detection coils L1A and L2A in the direction of the conveyance path 250 over the circumferential section where the central angle is 0 ° to 90 ° (for example, the detection coil). The electromagnetic shield 51 having the same length as the width of L1A and L2A) is disposed. The second detection circuit B has a length corresponding to the width of the detection coils L1B, L2B in the conveyance path 250 direction (for example, the detection coil L1B, over the circumferential section where the central angle is 90 ° to 180 °. An electromagnetic shield 52 having the same length as the width of L2B) is disposed. The third detection circuit C includes a length corresponding to the width of the detection coils L1C and L2C in the conveyance path 250 direction (for example, the detection coils L1C, The electromagnetic shielding body 53 having the same length as the width of L2C) is disposed. The fourth detection circuit D has a length corresponding to the width of the detection coils L1D and L2D in the direction of the conveyance path 250 over a circumferential section where the central angle is 270 ° to 360 ° (0 °) (for example, An electromagnetic shield 54 having the same length as the width of the detection coils L1D and L2D) is disposed.

図３（ｃ）は、円柱状である導体２００を平面に展開した図であり、導体２００の円周方向の各区間と電磁遮蔽体５１〜５４の位置との対応を示す図である。この図に示すように、第１の検出回路Ａは、導体２００の中心角が０°〜９０°となる円周方向の区間においては、電磁遮蔽体５１があることにより電磁誘導が生じないため、導体２００に欠陥があったとしても欠陥を検出しない。同様に、第２の検出回路Ｂは導体２００の中心角が９０°〜１８０°となる円周方向の区間、第３の検出回路Ｃは導体２００の中心角が１８０°〜２７０°となる円周方向の区間、第４の検出回路Ｄは導体２００の中心角が２７０°〜３６０°（０°）となる円周方向の区間においては、導体２００に欠陥があったとしても欠陥を検出しない。このように、それぞれの検出回路が、導体２００の円周方向における異なる区間において導体２００に欠陥があったとしても欠陥を検出しない区間がある。これを利用して、欠陥検出部１１は、導体２００の円周方向における欠陥の位置または長さを検出する。   FIG. 3C is a diagram in which a cylindrical conductor 200 is developed on a plane, and is a diagram illustrating correspondence between each section in the circumferential direction of the conductor 200 and the positions of the electromagnetic shields 51 to 54. As shown in this figure, in the first detection circuit A, electromagnetic induction does not occur due to the presence of the electromagnetic shield 51 in the circumferential section where the central angle of the conductor 200 is 0 ° to 90 °. Even if the conductor 200 has a defect, the defect is not detected. Similarly, the second detection circuit B is a circumferential section in which the central angle of the conductor 200 is 90 ° to 180 °, and the third detection circuit C is a circle in which the central angle of the conductor 200 is 180 ° to 270 °. In the circumferential section, the fourth detection circuit D does not detect a defect even if the conductor 200 has a defect in a circumferential section where the central angle of the conductor 200 is 270 ° to 360 ° (0 °). . As described above, there is a section in which each detection circuit does not detect a defect even if the conductor 200 has a defect in a different section in the circumferential direction of the conductor 200. Using this, the defect detection unit 11 detects the position or length of the defect in the circumferential direction of the conductor 200.

例えば、図３（ｃ）に示す傷（欠陥）２１１は、第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、及び第４の検出回路Ｄにおいては検出されるが、第３の検出回路Ｃにおいては検出されない。よって、欠陥検出部１１は、第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄから出力される検出信号それぞれに基づいて、傷（欠陥）２１１を検出するとともに、傷（欠陥）２１１が導体２００の中心角が１８０°〜２７０°となる円周方向の区間の位置にあることを検出することができる。   For example, the flaw (defect) 211 shown in FIG. 3C is detected by the first detection circuit A, the second detection circuit B, and the fourth detection circuit D, but the third detection circuit C. Is not detected. Therefore, the defect detection unit 11 can detect defects (defects) based on the detection signals output from the first detection circuit A, the second detection circuit B, the third detection circuit C, and the fourth detection circuit D, respectively. ) 211 can be detected, and it can be detected that the flaw (defect) 211 is located in a circumferential section where the central angle of the conductor 200 is 180 ° to 270 °.

また、図３（ｃ）に示す傷（欠陥）２１２は、第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄの全てにおいて検出される。よって、欠陥検出部１１は、第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄから出力される検出信号それぞれに基づいて、傷（欠陥）２１２を検出するとともに、傷（欠陥）２１２が導体２００の円周方向の４つの区間全ての位置にある、すなわち、導体２００の全周にわったて発生している長さの傷（欠陥）であることを検出することができる。   Further, the scratch (defect) 212 shown in FIG. 3C is detected in all of the first detection circuit A, the second detection circuit B, the third detection circuit C, and the fourth detection circuit D. . Therefore, the defect detection unit 11 can detect defects (defects) based on the detection signals output from the first detection circuit A, the second detection circuit B, the third detection circuit C, and the fourth detection circuit D, respectively. ) 212 is detected, and the flaw (defect) 212 is located at all four positions in the circumferential direction of the conductor 200, that is, a flaw (defect) having a length occurring over the entire circumference of the conductor 200. ) Can be detected.

以上のように、渦流探傷装置１００は、第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄから出力された検出信号に基づいて、検査対象である導体２００の表面に欠陥があるか否かを検出するとともに、当該検出信号と電磁遮蔽体５１〜５４が配置されている位置とに基づいて、導体２００の円周方向における欠陥の位置を検出することができる。また、渦流探傷装置１００は、第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄから出力された検出信号に基づいて、検査対象である導体２００の表面に欠陥があるか否かを検出するとともに、当該検出信号と電磁遮蔽体５１〜５４が配置されている位置とに基づいて、導体２００の円周方向における欠陥の長さ（例えば、欠陥が全周にわたって生じているか否か）を検出することができる。よって、渦流探傷装置１００は、検査対象である導体２００円周方向（周方向）における欠陥の位置または長さを適切に検出することができる。   As described above, the eddy current flaw detection apparatus 100 performs inspection based on the detection signals output from the first detection circuit A, the second detection circuit B, the third detection circuit C, and the fourth detection circuit D. The position of the defect in the circumferential direction of the conductor 200 is detected based on whether or not there is a defect on the surface of the target conductor 200 and based on the detection signal and the position where the electromagnetic shields 51 to 54 are disposed. Can be detected. The eddy current flaw detector 100 is an inspection object based on detection signals output from the first detection circuit A, the second detection circuit B, the third detection circuit C, and the fourth detection circuit D. Whether or not the surface of the conductor 200 has a defect is detected, and the length of the defect in the circumferential direction of the conductor 200 (for example, based on the detection signal and the position where the electromagnetic shields 51 to 54 are disposed) It is possible to detect whether or not a defect has occurred all around. Therefore, the eddy current flaw detection apparatus 100 can appropriately detect the position or length of the defect in the circumferential direction (circumferential direction) of the conductor 200 to be inspected.

なお、第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄの搬送路２５０方向の位置が互いに異なることにより、導体２００の欠陥がそれぞれの検出回路を通過する時刻が互いに異なる。そのため、それぞれの検出回路が同じ欠陥を検出する際の時刻も互いに異なることになる。よって、それぞれの検出回路において検出される時刻の差が欠陥の位置に影響しないように（同じ欠陥は同じ欠陥として検出されるように）、例えば、制御部２０は、導体２００の走行速度が所定の速度より遅い場合には、検出しないようにする。この所定の速度は、上述の検出される時刻の差に応じた欠陥の位置の差が許容誤差となるような速度であって、検出コイルの大きさ、各検出回路（検出コイル）の間隔、及び検出対象となる欠陥の大きさ等により設定される速度である。
また、制御部２０は、検出部１０において導体２００の搬送路２５０方向の相対位置が検出できるように、導体２００の走行開始タイミングや走行速度等を検出部１０に出力してもよい。これにより、検出部１０は、制御部２０から入力された導体２００の走行開始タイミングや走行速度等に基づいて、それぞれの検出回路を通過する時刻の差により生じる欠陥の位置の差を補正してもよい。 In addition, since the positions of the first detection circuit A, the second detection circuit B, the third detection circuit C, and the fourth detection circuit D in the direction of the conveyance path 250 are different from each other, the defect of the conductor 200 is caused by each. The times passing through the detection circuit are different from each other. Therefore, the time when each detection circuit detects the same defect is also different from each other. Therefore, for example, the control unit 20 has a predetermined traveling speed of the conductor 200 so that the difference in time detected by each detection circuit does not affect the position of the defect (so that the same defect is detected as the same defect). If it is slower than this speed, it will not be detected. This predetermined speed is a speed at which the difference in the position of the defect according to the difference in the detected time becomes an allowable error, and the size of the detection coil, the interval between the detection circuits (detection coils), And the speed set according to the size of the defect to be detected.
In addition, the control unit 20 may output the travel start timing, travel speed, and the like of the conductor 200 to the detection unit 10 so that the detection unit 10 can detect the relative position of the conductor 200 in the conveyance path 250 direction. Thereby, the detection unit 10 corrects the difference in the position of the defect caused by the difference in time passing through each detection circuit based on the travel start timing, travel speed, etc. of the conductor 200 input from the control unit 20. Also good.

次に、本実施形態において、一対の検出コイルの各検出コイルに供給される交流電源の位相を互いに異なる位相とする場合の構成について、図４及び図５を用いて説明する。なお、ここでは、第１の検出回路Ａ（検出コイルＬ１Ａ,Ｌ２Ａを有する交流ブリッジ回路３Ａ）を例として説明するが、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄの構成も同様である。   Next, in the present embodiment, a configuration when the phases of the AC power supplies supplied to the detection coils of the pair of detection coils are different from each other will be described with reference to FIGS. 4 and 5. Here, the first detection circuit A (AC bridge circuit 3A having detection coils L1A and L2A) will be described as an example. However, the second detection circuit B, the third detection circuit C, and the fourth detection circuit are described. The configuration of the circuit D is the same.

第１の検出回路Ａにより検出される出力には、交流電源を使用しているため電流変化と位相変化が現れる。また、検出される出力には、コイルを用いて検出しているため、コイルのインダクタンスの変化に応じた変化量の電流変化値と位相変化値が現れる。また、第１の検出回路Ａは、導体２００に欠陥があると、その欠陥に応じた電流変化値と位相変化値を検出するが、電磁遮蔽体５１のガタ等による影響に応じたノイズ信号の電流変化値と位相変化値も同様に検出する。   In the output detected by the first detection circuit A, a current change and a phase change appear because an AC power supply is used. Further, since the output is detected using a coil, a current change value and a phase change value corresponding to a change in the coil inductance appear. Further, when the conductor 200 has a defect, the first detection circuit A detects a current change value and a phase change value corresponding to the defect, but a noise signal corresponding to the influence of the backlash of the electromagnetic shield 51 or the like is detected. The current change value and the phase change value are similarly detected.

図４は、第１の検出回路Ａ（交流ブリッジ回路３Ａ）により検出された出力の位相を説明するための図である。この図は、第１の検出回路Ａにより検出されたノイズ成分Ｎと欠陥信号成分ＳとをＸ−Ｙ軸上に示すリサージュ波形である。この図に示すように、第１の検出回路Ａにおいて、電磁遮蔽体５１のガタ等による影響で生じるノイズ成分Ｎと導体２００の欠陥により生じる欠陥信号成分Ｓとは、同位相の信号となる。また、電磁遮蔽体５１のガタ等による影響で生じるノイズ成分Ｎと導体２００の欠陥により生じる欠陥信号成分Ｓとは、供給される交流電流の周波数に応じた同じ周波数の信号となる。よって、第１の検出回路Ａにより検出されたノイズ成分Ｎと欠陥信号成分Ｓとの判別が困難であり検出精度が低下する場合がある。そのため、第１の検出回路Ａは、検出コイルＬ１Ａ,Ｌ２Ａに供給される交流電流の位相を互いに異なる位相とすることにより、欠陥信号成分Ｓの位相を角度θずらした欠陥信号成分Ｓ’として検出する。これにより、第１の検出回路Ａにより検出されたノイズ成分Ｎと欠陥信号成分Ｓ’とを分離して判別できるようにする。   FIG. 4 is a diagram for explaining the phase of the output detected by the first detection circuit A (AC bridge circuit 3A). This figure is a Lissajous waveform showing the noise component N and the defect signal component S detected by the first detection circuit A on the XY axes. As shown in this figure, in the first detection circuit A, the noise component N caused by the influence of the backlash of the electromagnetic shield 51 and the defect signal component S caused by the defect of the conductor 200 are in-phase signals. Further, the noise component N caused by the influence of the backlash of the electromagnetic shield 51 and the defect signal component S caused by the defect of the conductor 200 are signals having the same frequency corresponding to the frequency of the supplied alternating current. Therefore, it is difficult to discriminate between the noise component N detected by the first detection circuit A and the defect signal component S, and the detection accuracy may be lowered. Therefore, the first detection circuit A detects the defect signal component S ′ as a defect signal component S ′ by shifting the phase of the defect signal component S by an angle θ by setting the phases of the alternating currents supplied to the detection coils L1A and L2A to different phases. To do. Thereby, the noise component N and the defect signal component S ′ detected by the first detection circuit A can be separated and discriminated.

なお、この欠陥信号成分Ｓの位相をずらすための位相の変更量である角度θは、検出された信号のノイズ成分Ｎと欠陥信号成分Ｓとを分離するためにノイズ成分Ｎの位相から欠陥信号成分Ｓの位相をずらす量として予め設定された変更量である。例えば、角度θは、−２０°に設定されている。   Note that the angle θ, which is a phase change amount for shifting the phase of the defect signal component S, is determined from the phase of the noise component N in order to separate the noise component N and the defect signal component S of the detected signal. This is a change amount set in advance as an amount to shift the phase of the component S. For example, the angle θ is set to −20 °.

図５は、本実施形態の交流ブリッジ回路の構成の一例を示す概略ブロック図である。この図を用いて、第１の検出回路Ａにおいて位相をずらして欠陥を検出する回路の構成について説明する。ここで、図５の検出コイルＬ１Ａ,Ｌ２Ａは、図１の検出コイルＬ１,Ｌ２と対応しており、図５の抵抗Ｒ１Ａ,Ｒ２Ａは、図１の抵抗Ｒ１,Ｒ２と対応している。また、図１において、交流電源３１から交流ブリッジ回路３に交流電流を供給する構成としているが、図５においては、交流電源３１に代えて発振器３１Ａを用いる構成としている。   FIG. 5 is a schematic block diagram showing an example of the configuration of the AC bridge circuit of the present embodiment. The configuration of a circuit that detects a defect by shifting the phase in the first detection circuit A will be described with reference to FIG. Here, the detection coils L1A and L2A in FIG. 5 correspond to the detection coils L1 and L2 in FIG. 1, and the resistors R1A and R2A in FIG. 5 correspond to the resistors R1 and R2 in FIG. In FIG. 1, an alternating current is supplied from the alternating current power supply 31 to the alternating current bridge circuit 3, but in FIG. 5, an oscillator 31 </ b> A is used instead of the alternating current power supply 31.

第１の検出回路Ａ（交流ブリッジ回路３Ａ）は、一対の検出コイルＬ１Ａ（第１の検出コイル）と検出コイルＬ２Ａ（第２の検出コイル）とがブリッジの二辺として結線され、抗抵Ｒ１Ａ,Ｒ２Ａがブリッジの他方の二辺として結線されている平衡回路（ブリッジ回路）を有している。そして、検出コイルＬ１Ａ, Ｌ２Ａは、生じる磁界が互いに逆相となるように差動接続されている。発振器３１Ａは、一定の周波数のｓｉｎ波の発振信号（交流電流）を発生して、増幅器３２と位相器３３とに交流電流として供給する。増幅器３２の出力端子は抵抗Ｒ１Ａの一端に接続されており、抵抗Ｒ１Ａの他端は検出コイルＬ１Ａの一端に接続されている。増幅器３２は、発振器３１Ａから供給された交流電流を増幅して、抵抗Ｒ１Ａを介して検出コイルＬ１Ａに供給する。   In the first detection circuit A (AC bridge circuit 3A), a pair of detection coils L1A (first detection coils) and a detection coil L2A (second detection coils) are connected as two sides of the bridge, and resistance R1A , R2A has a balanced circuit (bridge circuit) connected as the other two sides of the bridge. The detection coils L1A and L2A are differentially connected so that the generated magnetic fields are in opposite phases. The oscillator 31 </ b> A generates a sine wave oscillation signal (alternating current) having a constant frequency and supplies it to the amplifier 32 and the phase shifter 33 as an alternating current. The output terminal of the amplifier 32 is connected to one end of the resistor R1A, and the other end of the resistor R1A is connected to one end of the detection coil L1A. The amplifier 32 amplifies the alternating current supplied from the oscillator 31A and supplies it to the detection coil L1A via the resistor R1A.

位相器３３（第１の位相器）は、発振器３１Ａから供給された交流電流に対して、検出コイルＬ２Ａに供給する交流電流の位相を変更する。例えば、位相器３３は、発振器３１Ａから供給された交流電流の位相の角度を変更可能であるとともに、増幅器の機能も有している。位相器３３の出力端子は抵抗Ｒ２Ａの一端に接続されており、抵抗Ｒ２Ａの他端は検出コイルＬ２Ａの一端に接続されている。位相器３３は、供給された交流電流の位相を変更し且つ増幅した交流電流を、抵抗Ｒ２Ａを介して検出コイルＬ２Ａに供給する。   The phase shifter 33 (first phase shifter) changes the phase of the alternating current supplied to the detection coil L2A with respect to the alternating current supplied from the oscillator 31A. For example, the phase shifter 33 can change the phase angle of the alternating current supplied from the oscillator 31A and also has an amplifier function. The output terminal of the phase shifter 33 is connected to one end of the resistor R2A, and the other end of the resistor R2A is connected to one end of the detection coil L2A. The phase shifter 33 changes the phase of the supplied alternating current and supplies the amplified alternating current to the detection coil L2A via the resistor R2A.

また、抵抗Ｒ１Ａと検出コイルＬ１Ａとの接続点は、位相器３４（第２の位相器）を介して差動増幅器３８の一方の入力端子に接続されている。抵抗Ｒ２Ａと検出コイルＬ２Ａとの接続点は、差動増幅器３８の他方の入力端子に接続されている。
なお、検出コイルＬ１Ａと検出コイルＬ２Ａとの接続点は、発振器３１ＡのＧＮＤ（グランド）に接続されている。 The connection point between the resistor R1A and the detection coil L1A is connected to one input terminal of the differential amplifier 38 via the phase shifter 34 (second phase shifter). A connection point between the resistor R2A and the detection coil L2A is connected to the other input terminal of the differential amplifier 38.
The connection point between the detection coil L1A and the detection coil L2A is connected to the GND (ground) of the oscillator 31A.

位相器３４は、位相器３３と同様に、入力された信号の位相の角度を変更可能であり、検出コイルＬ１Ａのインダクタンスの変化に応じて出力される第１の出力信号３５（抵抗Ｒ１Ａと検出コイルＬ１Ａとの接続点の出力信号）と検出コイルＬ２Ａのインダクタンスの変化に応じて出力される第２の出力信号３６（抵抗Ｒ２Ａと検出コイルＬ２Ａとの接続点の出力信号）との内、第１の出力信号３５の位相を変更する。ここで、第１の出力信号３５は図１の端子Ｋ１の出力信号に対応しており、第２の出力信号３６は図１の端子Ｋ２の出力信号に対応している。   Similarly to the phase shifter 33, the phase shifter 34 can change the phase angle of the input signal, and the first output signal 35 (detected with the resistor R1A and the detection signal) output according to the change in the inductance of the detection coil L1A. Output signal at the connection point with the coil L1A) and the second output signal 36 (output signal at the connection point between the resistor R2A and the detection coil L2A) output in response to a change in the inductance of the detection coil L2A. 1 of the output signal 35 is changed. Here, the first output signal 35 corresponds to the output signal of the terminal K1 in FIG. 1, and the second output signal 36 corresponds to the output signal of the terminal K2 in FIG.

なお、位相器３３の位相の変更量と位相器３４の位相の変更量とが同じ変更量になるように設定されている。位相器３３及び位相器３４の位相の変更量は、図４に示す角度θに対応するものであり、ノイズ成分Ｎと欠陥信号成分Ｓ’とを分離して判別できるようにするための位相の変更量（例えば、「角度θ＝−２０°」の位相の変更量）である。   The phase change amount of the phase shifter 33 and the phase change amount of the phase shifter 34 are set to be the same change amount. The amount of phase change of the phase shifter 33 and the phase shifter 34 corresponds to the angle θ shown in FIG. 4, and the phase change for enabling the noise component N and the defect signal component S ′ to be separated and discriminated. The amount of change (for example, the amount of change in the phase of “angle θ = −20 °”).

差動増幅器３８は、位相器３４を介して入力された第１の出力信号３５と、第２の出力信号３６との差分を抽出して増幅した検出信号を端子３９に出力する。つまり、差動増幅器３８は、検出コイルＬ１Ａのインダクタンスの変化に応じた出力と検出コイルＬ２Ａのインダクタンスの変化に応じた出力との差分を抽出する。例えば、検出コイルＬ１Ａ,Ｌ２Ａの中を通過している導体２００に欠陥がない場合、検出コイルＬ１Ａのインダクタンスの変化に応じた出力と検出コイルＬ２Ａのインダクタンスの変化に応じた出力とがゼロバランス（平衡）となり、差動増幅器３８は、差分がない平衡状態であることを示す検出信号を出力する。一方、検出コイルＬ１Ａ,Ｌ２Ａの中を導体２００の欠陥が通過した場合、検出コイルＬ１Ａのインダクタンスの変化に応じた出力と検出コイルＬ２Ａのインダクタンスの変化に応じた出力とに差が生じて、差動増幅器３８は、その差分を抽出して平衡が崩れたことを示す検出信号を出力する。
そして、差動増幅器３８から端子３９に出力された検出信号は、欠陥検出部１１に供給される。 The differential amplifier 38 extracts a difference between the first output signal 35 input via the phase shifter 34 and the second output signal 36 and outputs the detection signal amplified to the terminal 39. That is, the differential amplifier 38 extracts the difference between the output corresponding to the change in the inductance of the detection coil L1A and the output corresponding to the change in the inductance of the detection coil L2A. For example, when there is no defect in the conductor 200 passing through the detection coils L1A and L2A, the output according to the change in the inductance of the detection coil L1A and the output according to the change in the inductance of the detection coil L2A are zero balanced ( The differential amplifier 38 outputs a detection signal indicating that there is a balanced state with no difference. On the other hand, when the defect of the conductor 200 passes through the detection coils L1A and L2A, a difference occurs between the output according to the change in the inductance of the detection coil L1A and the output according to the change in the inductance of the detection coil L2A. The dynamic amplifier 38 extracts the difference and outputs a detection signal indicating that the balance has been lost.
The detection signal output from the differential amplifier 38 to the terminal 39 is supplied to the defect detection unit 11.

このように、第１の検出回路Ａは、検出コイルＬ１Ａに供給される交流電流に対して、検出コイルＬ２Ａに供給する交流電流の位相をずらすことにより、検出されたノイズ成分Ｎと欠陥信号成分Ｓ’とを分離して適切に判別することができる。よって、第１の検出回路Ａは、導体２００の欠陥を精度よく検出することができる。また、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄも第１の検出回路Ａも同様の構成とすることにより、導体２００の欠陥を精度よく検出することができる。これにより、欠陥検出部１１は、第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄそれぞれにおいて検出された結果に基づいて、導体２００の欠陥を検出するとともに、導体２００の円周方向（周方向）における欠陥の位置または長さを適切に検出することができる。   As described above, the first detection circuit A shifts the phase of the alternating current supplied to the detection coil L2A with respect to the alternating current supplied to the detection coil L1A, thereby detecting the detected noise component N and defect signal component. S ′ can be separated and appropriately discriminated. Therefore, the first detection circuit A can detect the defect of the conductor 200 with high accuracy. Further, the second detection circuit B, the third detection circuit C, the fourth detection circuit D, and the first detection circuit A have the same configuration, so that defects in the conductor 200 can be detected with high accuracy. it can. As a result, the defect detection unit 11 causes the first detection circuit A, the second detection circuit B, the third detection circuit C, and the fourth detection circuit D to detect the conductor 200 based on the detection results. While detecting a defect, the position or length of the defect in the circumferential direction (circumferential direction) of the conductor 200 can be detected appropriately.

以上のように、本実施形態の渦流探傷装置１００は、導体２００の欠陥を検出するとともに、導体２００の欠陥の位置または長さを適切に検出することができる。例えば、渦流探傷装置１００は、導体２００の円周方向（周方向）における欠陥の位置を検出することができる。また、渦流探傷装置１００は、導体２００の円周方向（周方向）における欠陥の長さ（例えば、欠陥が全周にわたって生じているか否か）を検出することができる。なお、渦流探傷装置１００は、導体２００の欠陥の搬送路２５０方向における欠陥の位置または長さを、導体２００の走行開始タイミングや走行速度等に基づいて検出することができる。   As described above, the eddy current flaw detection apparatus 100 according to the present embodiment can detect the defect of the conductor 200 and can appropriately detect the position or length of the defect of the conductor 200. For example, the eddy current flaw detector 100 can detect the position of the defect in the circumferential direction (circumferential direction) of the conductor 200. Further, the eddy current flaw detector 100 can detect the length of a defect in the circumferential direction (circumferential direction) of the conductor 200 (for example, whether or not a defect has occurred over the entire circumference). The eddy current flaw detector 100 can detect the position or length of the defect in the direction of the conveyance path 250 of the defect of the conductor 200 based on the travel start timing, the travel speed, or the like of the conductor 200.

以上、この発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計等も含まれる。
例えば、上記実施形態において、検査対象である導体２００を検出コイルの中に貫通させて導体２００の外周面の欠陥を検出する渦流探傷装置１００（貫通型の渦流探傷装置）の構成について説明したが、渦流探傷装置１００は、管状の導体の内面の欠陥を検出するインナープローブ型（挿入型）の構成であってもよい。
図６にインナープローブ型（挿入型）の渦流探傷装置のプローブ１０Ａの一例を示す。この図において図３の各部に対応する部分には同一の符号を付けている。管状の導体２００Ａの中に挿入されているプローブ１０Ａは、検出コイルＬ１Ａ,Ｌ２Ａ〜Ｌ１Ｄ,Ｌ２Ｄの搬送路２５０Ａ側を向く面、すなわち、導体２００Ａの管の内側を向く面（検出コイルの外側を向く面）に電磁遮蔽体５１〜５４が配置されて構成されることにより、上述の実施形態と同様に、導体２００Ａの内面の周方向における欠陥の位置または長さを適切に検出することができる。 The embodiment of the present invention has been described in detail with reference to the drawings. However, the specific configuration is not limited to this embodiment, and includes designs and the like that do not depart from the gist of the present invention.
For example, in the above embodiment, the configuration of the eddy current flaw detector 100 (penetrating eddy current flaw detector) that detects the defect on the outer peripheral surface of the conductor 200 by passing the conductor 200 to be inspected into the detection coil has been described. The eddy current flaw detector 100 may be of an inner probe type (insertion type) that detects defects on the inner surface of the tubular conductor.
FIG. 6 shows an example of a probe 10A of an inner probe type (insertion type) eddy current flaw detector. In this figure, parts corresponding to those in FIG. 3 are given the same reference numerals. The probe 10A inserted into the tubular conductor 200A is a surface facing the conveyance path 250A side of the detection coils L1A, L2A to L1D, L2D, that is, a surface facing the inside of the tube of the conductor 200A (the outside of the detection coil). By arranging the electromagnetic shields 51 to 54 on the (facing surface), it is possible to appropriately detect the position or length of the defect in the circumferential direction of the inner surface of the conductor 200A as in the above-described embodiment. .

また、検査対象は、円柱状または管状の導体に限らず、例えば四角柱状の導体等であってもよい。渦流探傷装置１００は、検査対象の形状に応じて、検査対象と検出コイルとの間に電磁遮蔽体が配置される構成とすることにより、様々な形状の導体の周方向における欠陥の位置または長さを適切に検出することが可能である。また、検出コイルの巻き形状も円形に限られるものではなく、四角形等他の巻き形状であってもよい。   Further, the inspection target is not limited to a columnar or tubular conductor, and may be a quadrangular columnar conductor, for example. The eddy current flaw detector 100 has a configuration in which an electromagnetic shield is disposed between an inspection object and a detection coil in accordance with the shape of the inspection object, so that the positions or lengths of defects in the circumferential direction of conductors of various shapes. It is possible to detect the thickness appropriately. Further, the winding shape of the detection coil is not limited to a circular shape, and may be another winding shape such as a quadrangle.

なお、従来、分割型の検出コイルを有する渦流探傷装置があるが、これは、検査対象の全周にわたって複数の（例えば、４つの）検出コイルが並べて配置されているものである。この分割型の検出コイルの場合では、コイルが配置される位置の制約から隣り合う検出コイルの間隔が広くなるため、周方向の分割された区間の境界付近における検出精度が低下してしまう。これに対して、本実施形態の渦流探傷装置１００は、周方向の区間毎に銅箔シート等による電磁遮蔽体を配置する構成のため、分割型においてコイルが配置される際に必要な間隔が不要であり、周方向の分割された境界付近の検出精度をよくすることができる。   Conventionally, there is an eddy current flaw detection apparatus having a split type detection coil, which is a plurality of (for example, four) detection coils arranged side by side over the entire circumference of an inspection target. In the case of this division type detection coil, the interval between adjacent detection coils becomes wide due to the restriction of the position where the coil is arranged, so that the detection accuracy in the vicinity of the boundary between the divided sections in the circumferential direction is lowered. In contrast, the eddy current flaw detector 100 according to the present embodiment has a configuration in which an electromagnetic shield made of a copper foil sheet or the like is arranged for each section in the circumferential direction. This is unnecessary, and the detection accuracy near the boundary divided in the circumferential direction can be improved.

なお、上記実施形態の電磁遮蔽体５１〜５４は、周方向の互いの位置をオーバーラップさせるような大きさまたは形状により、各検出コイルに配置されてもよい。これにより、第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄは、それぞれに配置されている電磁遮蔽体５１〜５４の互いに間となる位置において、検出されないはずの欠陥が誤検出されてしまうことを低減することができる。なお、このオーバーラップ量を大きくしすぎると、電磁遮蔽体５１〜５４の互いに間となる位置において、検出されるべき欠陥が検出回路において検出されないことが生じる場合があるため、この電磁遮蔽体５１〜５４のオーバーラップ量は、検査対象の材料の種類や厚さ、または検出コイルにおいて生じる磁界の強さ等によって適切に設定されることが望ましい。具体的には、オーバーラップ量として、オーバーラップする角度が２°から１５°が望ましい。   In addition, the electromagnetic shielding bodies 51 to 54 of the above-described embodiment may be arranged in each detection coil by a size or shape that overlaps the positions in the circumferential direction. Thereby, the 1st detection circuit A, the 2nd detection circuit B, the 3rd detection circuit C, and the 4th detection circuit D are between the electromagnetic shielding bodies 51-54 each arrange | positioned. It is possible to reduce erroneous detection of a defect that should not be detected at the position. If the overlap amount is excessively increased, a defect to be detected may not be detected by the detection circuit at a position between the electromagnetic shields 51 to 54. Therefore, the electromagnetic shield 51 The overlap amount of .about.54 is desirably set appropriately depending on the type and thickness of the material to be inspected, the strength of the magnetic field generated in the detection coil, and the like. Specifically, the overlapping angle is desirably 2 ° to 15 °.

また、一対の検出コイルに配置される電磁遮蔽体は、例えば、検査対象の全周に対して５０％未満の周方向の区間の長さ（例えば、中心角が０°〜１８０°となる円周方向の区間の長さ未満の長さ）を遮蔽する大きさに制限され事が望ましい。これは、一対の検出コイルにおいて、５０％以上の周方向の区間が遮蔽された場合、検出コイルの検出感度が低下する場合があるためである。   Further, the electromagnetic shield disposed in the pair of detection coils is, for example, a length of a circumferential section of less than 50% with respect to the entire circumference of the inspection target (for example, a circle having a central angle of 0 ° to 180 °). It is desirable to be limited to a size that shields the length of the section in the circumferential direction less than the length of the section. This is because, in a pair of detection coils, when a circumferential section of 50% or more is shielded, the detection sensitivity of the detection coil may decrease.

なお、図２及び図３を用いて、渦流探傷装置１００が検査対象の全周を４分割した区間毎に電磁遮蔽体をそれぞれ有する４つの検出回路（一対の検出コイルをそれぞれ有する４つの検出回路）を備える構成について説明したが、これに限られるものではない。例えば、渦流探傷装置１００は、検査対象の全周を５分割、６分割、またはそれ以上の分割数により分割した区間毎に、電磁遮蔽体をそれぞれ有する分割数に対応した数の検出回路を備える構成としてもよい。この場合、渦流探傷装置１００は、分割数を多くすることにより欠陥の位置をより詳細に検出することができる。また、渦流探傷装置１００は、欠陥の位置をより詳細に検出する必要がない場合は、分割数を少なくして検出回路の数を減らすことにより簡略な構成としてもよい。   2 and 3, the eddy current testing apparatus 100 has four detection circuits (four detection circuits each having a pair of detection coils) each having an electromagnetic shield for each section obtained by dividing the entire circumference of the inspection target into four. However, the present invention is not limited to this. For example, the eddy current flaw detector 100 is provided with a number of detection circuits corresponding to the number of divisions each having an electromagnetic shield for each section obtained by dividing the entire circumference of the inspection target by five, six, or more divisions. It is good also as a structure. In this case, the eddy current flaw detector 100 can detect the position of the defect in more detail by increasing the number of divisions. The eddy current flaw detector 100 may have a simple configuration by reducing the number of divisions and the number of detection circuits when it is not necessary to detect the position of the defect in more detail.

また、渦流探傷装置１００は、検査対象の全周にわたって互いに周方向の異なる位置に複数の検出回路のそれぞれが有する電磁遮蔽体が配置される構成とすることに限られるものではない。例えば、渦流探傷装置１００は、検査対象の全周のうち一部の区間における欠陥の位置を検出する必要がある場合、当該一部の区間を分割した区間に複数の検出回路のそれぞれが有する電磁遮蔽体が配置される構成としてもよい。また、渦流探傷装置１００は、検査対象の全周のうち一部の区間に対して欠陥があるか否かを検出する場合、当該一部の区間に電磁遮蔽体を有する検出回路と電磁遮蔽体を有さない検出回路とを備える構成としてもよい。   Further, the eddy current flaw detection apparatus 100 is not limited to the configuration in which the electromagnetic shields included in each of the plurality of detection circuits are arranged at different positions in the circumferential direction over the entire circumference of the inspection target. For example, when it is necessary for the eddy current flaw detection apparatus 100 to detect the position of a defect in a partial section of the entire circumference of the inspection target, each of the plurality of detection circuits includes a section obtained by dividing the partial section. It is good also as a structure by which a shield is arrange | positioned. Further, when the eddy current flaw detection apparatus 100 detects whether or not there is a defect in a part of the entire circumference to be inspected, a detection circuit and an electromagnetic shield having an electromagnetic shield in the part of the part. It is good also as a structure provided with the detection circuit which does not have.

また、渦流探傷装置１００は、全周のうち一部の区間に電磁遮蔽体を有する１つの検出回路を備えている場合、検査対象と電磁遮蔽体との回転位置を相対的に回転させ、所定の回転位置毎に検出された結果に基づいて、検査対象の周方向における欠陥の位置または長さを検出してもよい。   In addition, when the eddy current flaw detector 100 includes one detection circuit having an electromagnetic shield in a part of the entire circumference, the rotational position of the inspection object and the electromagnetic shield is relatively rotated to obtain a predetermined value. The position or length of the defect in the circumferential direction of the inspection target may be detected based on the result detected for each rotation position.

なお、上記実施形態において、電磁遮蔽体５１〜５４がそれぞれ一対の検出コイルの搬送路２５０方向における幅の長さと同じ長さである場合を例として説明したが、これに限られるものではない。電磁遮蔽体５１〜５４の搬送路２５０方向における幅の長さは、それぞれ一対の検出コイルの幅の長さよりも短い構成としても長い構成としてもよい。この電磁遮蔽体５１〜５４の搬送路２５０方向における幅の長さは、検査対象の材料の種類や厚さ、それぞれ一対の検出コイルの配置間隔、または、当該検出コイルにおいて生じる磁界の強さ等によって適切に設定されることが望ましい。   In addition, in the said embodiment, although the case where the electromagnetic shielding bodies 51-54 were respectively the same length as the length of the width in the conveyance path 250 direction of a pair of detection coil was demonstrated as an example, it is not restricted to this. The length of the width of the electromagnetic shields 51 to 54 in the direction of the conveyance path 250 may be shorter or longer than the width of the pair of detection coils. The width of the electromagnetic shields 51 to 54 in the direction of the conveyance path 250 is the type and thickness of the material to be inspected, the spacing between the pair of detection coils, or the strength of the magnetic field generated in the detection coils. It is desirable to set appropriately.

また、電磁遮蔽体５１〜５４は、搬送路２５０方向における幅の長さがそれぞれ一対の検出コイルの各検出コイルの幅に対応した長さに分割された形状であってもよい。例えば、電磁遮蔽体５１は、搬送路２５０方向の幅の長さが２つに分割された形状であり、分割されたそれぞれの電磁遮蔽体が検出コイルＬ１Ａ,Ｌ２Ａのそれぞれに対応した位置に配置されている構成であってもよい。   Further, the electromagnetic shields 51 to 54 may have a shape in which the width in the direction of the conveyance path 250 is divided into lengths corresponding to the widths of the detection coils of the pair of detection coils. For example, the electromagnetic shield 51 has a shape in which the width in the direction of the conveyance path 250 is divided into two, and each of the divided electromagnetic shields is disposed at a position corresponding to each of the detection coils L1A and L2A. It may be configured.

なお、交流ブリッジ回路３Ａ〜３Ｄにおけるブリッジ回路に交流電流を供給する交流電源として、交流電源３１、または、発振器３１Ａ、増幅器３２、若しくは位相器３３が、第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄそれぞれに備えられていてもよいし、第１の検出回路Ａ、第２の検出回路Ｂ、第３の検出回路Ｃ、及び第４の検出回路Ｄそれぞれに交流電流を供給する１つまたは１組の交流電源が、検出部１０に備えられていてもよい。   Note that, as an AC power supply for supplying an AC current to the bridge circuits in the AC bridge circuits 3A to 3D, the AC power supply 31, or the oscillator 31A, the amplifier 32, or the phase shifter 33 includes the first detection circuit A and the second detection circuit. The circuit B, the third detection circuit C, and the fourth detection circuit D may be provided, respectively, or the first detection circuit A, the second detection circuit B, the third detection circuit C, and the The detection unit 10 may be provided with one or a set of AC power supplies that supply an AC current to each of the four detection circuits D.

なお、上記実施形態において、渦流探傷装置１００が一対の検出コイルの各検出コイルに供給される交流電源の位相を互いに異なる位相とすることにより、ノイズ成分と欠陥信号成分とを分離して判別できるようにする例について説明したが、これに限られるものではない。例えば、渦流探傷装置１００は、回転移相型の渦流探傷装置であってもよく、欠陥信号成分の位相を変更して検出することによりノイズ成分と欠陥信号成分とを分離して判別してもよい。なお、回転移相型の渦流探傷装置は、例えば、引用文献１に記載されている構成のものである。   In the above embodiment, the eddy current flaw detector 100 can determine the noise component and the defect signal component separately by setting the phases of the AC power supplies supplied to the detection coils of the pair of detection coils to be different from each other. Although the example which makes it demonstrated was demonstrated, it is not restricted to this. For example, the eddy current flaw detection apparatus 100 may be a rotary phase shift type eddy current flaw detection apparatus, and may detect and distinguish a noise component and a defect signal component by changing the phase of the defect signal component and detecting it. Good. Note that the rotational phase-shifting eddy current flaw detection apparatus has a configuration described in, for example, cited document 1.

なお、図２における欠陥検出部１１は専用のハードウェアにより実現されるものであってもよく、また、メモリおよびＣＰＵ（中央演算装置）により構成され、上述の欠陥検出部１１の機能を実現するためのプログラムをメモリにロードして実行することによりその機能を実現させるものであってもよい。   The defect detection unit 11 in FIG. 2 may be realized by dedicated hardware, and is configured by a memory and a CPU (central processing unit) to realize the function of the above-described defect detection unit 11. The function may be realized by loading the program for loading into the memory and executing the program.

また、図２における欠陥検出部１１の機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータシステムに読み込ませ、実行することにより上述の欠陥検出部１１の処理を行ってもよい。なお、ここでいう「コンピュータシステム」とは、ＯＳや周辺機器等のハードウェアを含むものとする。   Further, the program for realizing the function of the defect detection unit 11 in FIG. 2 is recorded on a computer-readable recording medium, and the program recorded on the recording medium is read into the computer system and executed, thereby executing the above-described process. You may perform the process of the defect detection part 11. FIG. Here, the “computer system” includes an OS and hardware such as peripheral devices.

また、「コンピュータシステム」は、ＷＷＷシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）も含むものとする。
また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ等の可搬媒体、コンピュータシステムに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムを送信する場合の通信線のように、短時間の間、動的にプログラムを保持するもの、その場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリのように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。また上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良く、さらに前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるものであっても良い。 Further, the “computer system” includes a homepage providing environment (or display environment) if a WWW system is used.
The “computer-readable recording medium” refers to a storage device such as a flexible medium, a magneto-optical disk, a portable medium such as a ROM and a CD-ROM, and a hard disk incorporated in a computer system. Furthermore, the “computer-readable recording medium” dynamically holds a program for a short time like a communication line when transmitting a program via a network such as the Internet or a communication line such as a telephone line. In this case, a volatile memory in a computer system serving as a server or a client in that case, and a program that holds a program for a certain period of time are also included. The program may be a program for realizing a part of the functions described above, and may be a program capable of realizing the functions described above in combination with a program already recorded in a computer system.

３（３Ａ〜３Ｄ）・・・交流ブリッジ回路、１０・・・検出部、３１・・・交流電源、３１Ａ・・・発振器、３３・・・位相期（第１の位相器）、３４・・・位相器（第２の位相器）、５１〜５４・・・電磁遮蔽体、１００・・・渦流探傷装置、２００・・・導体、２５０・・・搬送路、Ｌ１（Ｌ１Ａ〜Ｌ１Ｄ）,Ｌ２（Ｌ２Ａ〜Ｌ２Ｄ）・・・検出コイル   3 (3A to 3D) ... AC bridge circuit, 10 ... detection unit, 31 ... AC power supply, 31A ... oscillator, 33 ... phase phase (first phase shifter), 34 ... -Phaser (second phaser), 51-54 ... Electromagnetic shield, 100 ... Eddy current flaw detector, 200 ... Conductor, 250 ... Transport path, L1 (L1A-L1D), L2 (L2A to L2D) ... Detection coil

Claims (7)

検査対象である導体の搬送路に沿って同軸に且つ離間して配置された一対の検出コイルと、
前記一対の検出コイルの各検出コイルによりブリッジの二辺が構成され、前記ブリッジの平衡が崩れたか否かを示す検出信号を出力する交流ブリッジ回路を含む検出部と、
を備え、
前記一対の検出コイルは、当該一対の検出コイルの前記搬送路側を向く面における周方向の一部に配置される電磁遮蔽体を有する
ことを特徴とする渦流探傷装置。 A pair of detection coils arranged coaxially and spaced apart along the transport path of the conductor to be inspected;
A detection unit including an AC bridge circuit that outputs a detection signal indicating whether or not the two sides of the bridge are constituted by each detection coil of the pair of detection coils and the balance of the bridge is broken;
With
The pair of detection coils includes an electromagnetic shield disposed on a part of a circumferential direction of a surface of the pair of detection coils facing the conveyance path. The eddy current flaw detector. 前記検出部は、
複数の前記交流ブリッジ回路、
を備え、
複数の前記交流ブリッジ回路は、搬送路方向の異なる位置に配置され、
複数の前記交流ブリッジ回路それぞれの一対の検出コイルが有する前記電磁遮蔽体は、
互いに周方向の異なる位置に配置される
ことを特徴とする請求項１に記載の渦流探傷装置。 The detector is
A plurality of said AC bridge circuits,
With
The plurality of AC bridge circuits are arranged at different positions in the conveyance path direction,
The electromagnetic shield included in a pair of detection coils of each of the plurality of AC bridge circuits,
The eddy current flaw detector according to claim 1, wherein the eddy current flaw detectors are arranged at different positions in the circumferential direction. 複数の前記交流ブリッジ回路それぞれの一対の検出コイルが有する前記電磁遮蔽体は、
前記搬送路側を向く面の全周にわたって互いに周方向の異なる位置に配置される
ことを特徴とする請求項２に記載の渦流探傷装置。 The electromagnetic shield included in a pair of detection coils of each of the plurality of AC bridge circuits,
The eddy current flaw detector according to claim 2, wherein the eddy current flaw detector is disposed at different positions in the circumferential direction over the entire circumference of the surface facing the conveyance path side. 前記検出部は、
前記交流ブリッジ回路から出力された前記検出信号と、前記電磁遮蔽体が配置されている周方向の位置とに基づいて、前記検査対象の周方向における前記欠陥の位置を検出する
ことを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の渦流探傷装置。 The detector is
The position of the defect in the circumferential direction of the inspection target is detected based on the detection signal output from the AC bridge circuit and the circumferential position where the electromagnetic shield is disposed. The eddy current flaw detector according to any one of claims 1 to 3. 前記検出部は、
前記交流ブリッジ回路から出力された前記検出信号と、前記電磁遮蔽体が配置されている周方向の位置とに基づいて、前記検査対象の周方向における前記欠陥の長さを検出する
ことを特徴とする請求項１から請求項４の何れか１項に記載の渦流探傷装置。 The detector is
The length of the defect in the circumferential direction of the inspection object is detected based on the detection signal output from the AC bridge circuit and a circumferential position where the electromagnetic shield is disposed. The eddy current flaw detector according to any one of claims 1 to 4. 前記一対の検出コイルの各検出コイルには、互いに異なる位相の交流電流が供給される
ことを特徴とする請求項１から請求項５の何れか１項に記載の渦流探傷装置。 6. The eddy current flaw detector according to claim 1, wherein alternating currents having different phases are supplied to the detection coils of the pair of detection coils. 前記一対の検出コイルである第１の検出コイルと第２の検出コイルとにより前記ブリッジの二辺が構成される前記交流ブリッジ回路に対して所定の周波数の交流電流を供給する電源部と、
前記電源部から前記交流ブリッジ回路に供給された交流電流に対して、前記第２の検出コイルに供給する交流電流の位相を変更する第１の位相器と、
前記交流ブリッジ回路の前記検出信号として出力される、前記第１の検出コイルのインダクタンスの変化に応じて出力される第１の出力信号と前記第２の検出コイルのインダクタンスの変化に応じて出力される第２の出力信号との内、前記第１の出力信号の位相を変更する第２の位相器と、
を備え、
前記第１の位相器の位相の変更量と前記第２の位相器の位相の変更量とが同じ変更量である
ことを特徴とする請求項１から請求項６の何れか１項に記載の渦流探傷装置。 A power supply unit that supplies an alternating current of a predetermined frequency to the alternating-current bridge circuit in which two sides of the bridge are configured by the first detection coil and the second detection coil that are the pair of detection coils;
A first phase shifter for changing a phase of an alternating current supplied to the second detection coil with respect to an alternating current supplied from the power supply unit to the alternating current bridge circuit;
A first output signal that is output as a change in the inductance of the first detection coil and a change in the inductance of the second detection coil that is output as the detection signal of the AC bridge circuit. A second phase shifter that changes the phase of the first output signal among the second output signals.
With
7. The change amount of the phase of the first phase shifter and the change amount of the phase of the second phase shifter are the same change amount. 7. Eddy current flaw detector.
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