JP2013066826A - Cleaning tool and cleaning device - Google Patents

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Hiroyuki Kodera
広之 小寺
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cleaning tool and a cleaning device, which can further improve ability to clean a slit part of a slit coater.SOLUTION: The cleaning tool 7 for cleaning the slit part 24 of the slit coater 1 for applying a coating liquid on a surface Ka to be coated includes: cleaning members 73 inserted into the slit part 24 to clean the coating liquid adhered on a pair of wall parts 241, 241 comprising the slit part 24; and an energizing part 74 for energizing the cleaning members 73 toward at least one of the pair of wall parts 241, 241.

Description

本発明は、スリットコータのスリット部を清掃する清掃具及び清掃装置に関するものである。   The present invention relates to a cleaning tool and a cleaning device for cleaning a slit portion of a slit coater.

従来、スリットコータのスリット部の清掃装置として、１枚のフィルムをスリット部に挿入することにより、スリット部を清掃することができる清掃装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の清掃装置は、スリット部にフィルムを挿入することにより、挿入したフィルムの厚み分の塗工液をスリット部から除去できるとされている。 2. Description of the Related Art Conventionally, as a cleaning device for a slit portion of a slit coater, a cleaning device that can clean a slit portion by inserting a single film into the slit portion is known (for example, see Patent Document 1).
The cleaning device described in Patent Document 1 is said to be able to remove from the slit part a coating liquid corresponding to the thickness of the inserted film by inserting the film into the slit part.

特開平８−２４７７２号公報Japanese Patent Laid-Open No. 8-24772

しかし、特許文献１に記載の清掃装置においては、スリット部へのフィルムの挿入し易さの観点から、フィルムは、スリット部よりも薄く形成されている。そのため、フィルムとスリット部を構成する壁面との間には、隙間が形成される。よって、スリット部にフィルムを挿入してスリット部を清掃すると、スリット部を構成する壁面に付着した塗工液を掻き落とす効果が低いという問題がある。従って、スリットコータのスリット部を清掃する能力を一層向上することができる清掃装置が望まれている。   However, in the cleaning device described in Patent Document 1, the film is formed thinner than the slit portion from the viewpoint of easy insertion of the film into the slit portion. Therefore, a gap is formed between the film and the wall surface constituting the slit portion. Therefore, when a film is inserted into the slit portion and the slit portion is cleaned, there is a problem that the effect of scraping off the coating liquid adhering to the wall surface constituting the slit portion is low. Therefore, a cleaning device that can further improve the ability to clean the slit portion of the slit coater is desired.

本発明の課題は、スリットコータのスリット部を清掃する能力を一層向上することができる清掃具及び清掃装置を提供することである。   The subject of this invention is providing the cleaning tool and the cleaning apparatus which can improve further the capability to clean the slit part of a slit coater.

本発明は、以下のような解決手段により、課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。また、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。   The present invention solves the problems by the following means. In addition, in order to make an understanding easy, although the code | symbol corresponding to embodiment of this invention is attached | subjected and demonstrated, it is not limited to this. In addition, the configuration described with reference numerals may be improved as appropriate, or at least a part thereof may be replaced with another configuration.

第１の発明は、被塗布面（Ｋａ）上に塗工液を塗布するスリットコータ（１）のスリット部（２４）を清掃する清掃具（７）であって、前記スリット部（２４）に挿入され、前記スリット部（２４）を構成する一対の壁部（２４１，２４１）に付着した塗工液を清掃する清掃部材（７３）と、前記一対の壁部（２４１，２４１）の少なくとも一方に向けて前記清掃部材（７３）を付勢する付勢部（７４）と、を備える清掃具（７）である。
第２の発明は、第１の発明の清掃具（７）において、前記清掃部材（７３）は、前記付勢部（７４）により前記一対の壁部（２４１，２４１）の少なくとも一方に向けて付勢される少なくとも１つの掻き落とし部材（７３）を有する清掃具（７）である。
第３の発明は、第２の発明の清掃具（７）において、前記清掃部材（７３）は、前記付勢部（７４）により前記一対の壁部（２４１，２４１）それぞれに向けて付勢される２つの掻き落とし部材（７３，７３）を有する清掃具（７）である。
第４の発明は、第２の発明又は第３の発明の清掃具（７）において、前記掻き落とし部材（７３）は、板状に形成される清掃具（７）である。
第５の発明は、第１の発明の清掃具（７）において、前記清掃部材及び前記付勢部は、無端ベルト状に一体的に形成され、前記清掃具（７Ａ）は、前記スリット部（２４）に挿入する前において前記スリット部（２４）の幅よりも大きく、前記スリット部（２４）に挿入した後において前記一対の壁部（２４１，２４１）に付勢される清掃具（７Ａ）である。
第６の発明は、第１の発明から第５の発明のいずれかの清掃具（７）と、前記スリット部（２４）が延びる方向であるスリット方向（Ｓ）に前記清掃具（７）を移動させる移動部（８３）と、を備える清掃装置（６）である。
第７の発明は、第６の発明の清掃装置（６）において、前記スリット方向（Ｓ）に交差する方向に延びる軸（Ｊ）を中心に前記清掃具（７）を回転させる回転部（８２）を備える清掃装置（６）である。 1st invention is a cleaning tool (7) which cleans the slit part (24) of the slit coater (1) which apply | coats a coating liquid on a to-be-coated surface (Ka), Comprising: In the said slit part (24), At least one of the cleaning member (73) that cleans the coating liquid that is inserted and adheres to the pair of wall portions (241, 241) constituting the slit portion (24), and the pair of wall portions (241, 241) And a biasing part (74) for biasing the cleaning member (73) toward the cleaning tool (7).
According to a second aspect of the present invention, in the cleaning tool (7) of the first aspect, the cleaning member (73) is directed toward at least one of the pair of wall portions (241, 241) by the biasing portion (74). A cleaning tool (7) having at least one scraping member (73) to be biased.
According to a third aspect of the present invention, in the cleaning tool (7) of the second aspect, the cleaning member (73) is biased toward the pair of wall portions (241, 241) by the biasing portion (74). It is the cleaning tool (7) which has two scraping-off members (73, 73).
4th invention is the cleaning tool (7) in which the said scraping member (73) is formed in plate shape in the cleaning tool (7) of 2nd invention or 3rd invention.
According to a fifth aspect of the present invention, in the cleaning tool (7) of the first aspect, the cleaning member and the urging portion are integrally formed in an endless belt shape, and the cleaning tool (7A) includes the slit portion ( The cleaning tool (7A) which is larger than the width of the slit portion (24) before being inserted into the slit portion (24) and is urged against the pair of wall portions (241, 241) after being inserted into the slit portion (24). It is.
A sixth invention is the cleaning tool (7) according to any one of the first to fifth inventions, and the cleaning tool (7) in a slit direction (S) in which the slit portion (24) extends. And a moving device (83) for moving the cleaning device (6).
According to a seventh aspect, in the cleaning device (6) according to the sixth aspect, the rotating part (82) rotates the cleaning tool (7) about an axis (J) extending in a direction intersecting the slit direction (S). Is a cleaning device (6).

本発明によれば、以下の効果を奏することができる。
第１の発明によれば、スリット部に挿入され、スリット部を構成する一対の壁部に付着した塗工液を清掃する清掃部材と、一対の壁部の少なくとも一方に向けて清掃部材を付勢する付勢部と、を備えるので、清掃部材は、付勢部材によりスリット部を構成する一対の壁部の少なくとも一方に向けて付勢される。そのため、清掃具は、スリット部の壁部に付着した塗工液を清掃する能力を一層向上することができる。
第２の発明によれば、清掃部材が少なくとも１つの掻き落とし部材を有するため、簡易な構成により、スリット部の壁部に付着した塗工液を、効果的に掻き落とすことができる。
第３の発明によれば、清掃部材が２つの掻き落とし部材を有するため、簡易な構成により、スリット部を構成する一対の壁部それぞれに付着した塗工液を、一層効果的に掻き落とすことができる。
第４の発明によれば、掻き落とし部材が板状に形成されるため、壁部に付着した塗工液と壁部との間に入り込んで、壁部に付着した塗工液を、すくうようにして掻き落とすことができる。これにより、壁部に付着した塗工液を一層効果的に掻き落とすことができる。
第５の発明によれば、清掃部材及び付勢部が無端ベルト状に一体的に形成されるため、簡易な構成で、壁部に付着した塗工液を、効果的に掻き落とすことができる。
第６の発明によれば、移動部により清掃具をスリット方向に移動させることができるため、スリット部をスリット方向に沿って清掃することができる。これにより、スリット部をスリット方向の全域にわたって清掃することができる。従って、スリット部の清掃後において、スリットコータにより塗工液を被塗布面上に塗布する際のスリット方向における塗工液の塗布のムラを低減することができる。
第７の発明によれば、回転部により清掃具をスリット方向に交差する方向に延びる軸を中心に回転することができるため、清掃具を、回転させながら、スリット方向に移動させることができる。これにより、壁部に付着した塗工液を、一層効果的に掻き落とすことができる。 According to the present invention, the following effects can be obtained.
According to the first invention, the cleaning member that is inserted into the slit portion and cleans the coating liquid that adheres to the pair of wall portions constituting the slit portion, and the cleaning member is attached toward at least one of the pair of wall portions. The cleaning member is biased toward at least one of the pair of wall portions constituting the slit portion by the biasing member. Therefore, the cleaning tool can further improve the ability to clean the coating liquid adhering to the wall portion of the slit portion.
According to the second invention, since the cleaning member has at least one scraping member, the coating liquid adhering to the wall portion of the slit portion can be scraped off effectively with a simple configuration.
According to the third invention, since the cleaning member has two scraping members, the coating liquid adhering to each of the pair of wall portions constituting the slit portion is scraped off more effectively with a simple configuration. Can do.
According to the fourth invention, the scraping member is formed in a plate shape, so that it penetrates between the coating liquid adhering to the wall portion and the wall portion and scoops the coating liquid adhering to the wall portion. Can be scraped off. Thereby, the coating liquid adhering to a wall part can be scraped off more effectively.
According to the fifth invention, since the cleaning member and the urging portion are integrally formed in an endless belt shape, the coating liquid adhering to the wall portion can be effectively scraped off with a simple configuration. .
According to the sixth aspect, since the cleaning tool can be moved in the slit direction by the moving part, the slit part can be cleaned along the slit direction. Thereby, a slit part can be cleaned over the whole region of a slit direction. Therefore, after cleaning the slit portion, it is possible to reduce uneven application of the coating liquid in the slit direction when the coating liquid is applied onto the surface to be coated by the slit coater.
According to the seventh aspect, since the cleaning tool can be rotated around the axis extending in the direction intersecting the slit direction by the rotating portion, the cleaning tool can be moved in the slit direction while rotating. Thereby, the coating liquid adhering to a wall part can be scraped off more effectively.

第１実施形態の清掃装置６をスリット方向Ｓに見た場合を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the case where the cleaning apparatus 6 of 1st Embodiment is seen in the slit direction S. FIG. 第１実施形態の清掃装置６を塗工方向Ｔ１に見た場合を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the case where the cleaning apparatus 6 of 1st Embodiment is seen in the coating direction T1. 第１実施形態の清掃装置６をスリットコータ１に装着する前の構成を説明する図であって、（ａ）は清掃部本体７を第２方向Ｄ２に見た図であり、（ｂ）は清掃部本体７を第１方向Ｄ１に見た図である。It is a figure explaining the structure before mounting | wearing the slit coater 1 with the cleaning apparatus 6 of 1st Embodiment, (a) is the figure which looked at the cleaning part main body 7 in the 2nd direction D2, (b) is. It is the figure which looked at the cleaning part main body 7 in the 1st direction D1. 第１実施形態の清掃部本体７をスリットコータ１のスリット部２４に装着する過程を説明する図であって、（ａ）は清掃部本体７をスリット部２４に挿入する状態を示す図であり、（ｂ）は清掃部本体７を回転させてスリット部２４に装着した状態を示す図である。It is a figure explaining the process which mounts the cleaning part main body 7 of 1st Embodiment in the slit part 24 of the slit coater 1, Comprising: (a) is a figure which shows the state which inserts the cleaning part main body 7 in the slit part 24. (B) is a figure which shows the state which rotated the cleaning part main body 7, and was mounted | worn with the slit part 24. FIG. 第２実施形態の清掃部本体７Ａを示す斜視図である。It is a perspective view which shows 7 A of cleaning part main bodies of 2nd Embodiment. 第２実施形態の清掃部本体７Ａをスリットコータ１のスリット部２４に装着する過程を説明する図であって、（ａ）は清掃部本体７Ａを挿入する状態を示す図であり、（ｂ）は清掃部本体７Ａを回転させてスリット部２４に装着した状態を示す図である。It is a figure explaining the process of mounting the cleaning part main body 7A of 2nd Embodiment to the slit part 24 of the slit coater 1, Comprising: (a) is a figure which shows the state which inserts the cleaning part main body 7A, (b) These are figures which show the state which rotated the cleaning part main body 7A, and was mounted | worn with the slit part 24. FIG.

（第１実施形態）
以下、図面等を参照して、本発明の実施形態について説明する。
図１は、第１実施形態の清掃装置６をスリット方向Ｓに見た場合を示す断面図である。図２は、第１実施形態の清掃装置６を塗工方向Ｔ１に見た場合を示す断面図である。図３は、第１実施形態の清掃装置６をスリットコータ１に装着する前の構成を説明する図であって、（ａ）は清掃部本体７を第２方向Ｄ２に見た図であり、（ｂ）は清掃部本体７を第１方向Ｄ１に見た図である。図４は、第１実施形態の清掃部本体７をスリットコータ１のスリット部２４に装着する過程を説明する図であって、（ａ）は清掃部本体７をスリット部２４に挿入する状態を示す図であり、（ｂ）は清掃部本体７を回転させてスリット部２４に装着した状態を示す図である。 (First embodiment)
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating the cleaning device 6 according to the first embodiment when viewed in the slit direction S. FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the cleaning device 6 according to the first embodiment when viewed in the coating direction T1. FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration before the cleaning device 6 according to the first embodiment is mounted on the slit coater 1, and (a) is a diagram of the cleaning unit body 7 as viewed in the second direction D <b> 2. (B) is the figure which looked at the cleaning part main body 7 in the 1st direction D1. FIG. 4 is a diagram illustrating a process of mounting the cleaning unit body 7 of the first embodiment on the slit unit 24 of the slit coater 1, and (a) shows a state in which the cleaning unit body 7 is inserted into the slit unit 24. (B) is a figure which shows the state which rotated the cleaning part main body 7, and was mounted | worn with the slit part 24. FIG.

なお、以下の説明及び図面において、図１に示すように、塗工ステージ５に基体Ｋを載置した状態において、基体Ｋの法線が上側を向くように配置した状態での鉛直方向を鉛直方向Ｚとし、また、ダイヘッド２が塗工時に移動する方向を塗工方向Ｔ１とし、塗工方向Ｔ１及び鉛直方向Ｚに直交する方向を基体幅方向Ｔ２とする。また、基体幅方向Ｔ２と一致する方向であって、ダイヘッド２のスリット部２４が延びる方向を「スリット方向Ｓ」という。   In the following description and drawings, as shown in FIG. 1, in the state where the substrate K is placed on the coating stage 5, the vertical direction in the state where the normal line of the substrate K is arranged to face upwards is vertical. The direction Z is the direction in which the die head 2 moves during coating, the coating direction T1, and the direction perpendicular to the coating direction T1 and the vertical direction Z is the substrate width direction T2. In addition, the direction that coincides with the substrate width direction T2 and that the slit portion 24 of the die head 2 extends is referred to as “slit direction S”.

清掃装置６は、スリットコータ１のスリット部２４を清掃するための装置である。
まず、スリットコータ１について説明する。
スリットコータ１は、塗工ステージ５上に載置される平板状の基体Ｋの表面（被塗布面）Ｋａ上に、非接触で塗工液を塗布する装置である。スリットコータ１は、ダイヘッド２のリップ部２６の先端からスリット部２４を介して塗工液をカーテン状に吐出する。これにより、例えば、スリットコータ１は、基体Ｋとしての液晶表示装置用のガラス基板の表面Ｋａに、反射防止膜を形成する。スリットコータ１は、ダイコータ、カーテンコータ等と呼ばれる場合もある。また、ダイヘッド２は、ダイ、Ｔダイ、スリットダイ等と呼ばれる場合もある。 The cleaning device 6 is a device for cleaning the slit portion 24 of the slit coater 1.
First, the slit coater 1 will be described.
The slit coater 1 is a device that applies a coating liquid in a non-contact manner on the surface (surface to be coated) Ka of a flat substrate K placed on the coating stage 5. The slit coater 1 discharges the coating liquid in a curtain shape from the tip of the lip part 26 of the die head 2 through the slit part 24. Thereby, for example, the slit coater 1 forms an antireflection film on the surface Ka of the glass substrate for a liquid crystal display device as the substrate K. The slit coater 1 may be called a die coater or a curtain coater. The die head 2 may be called a die, a T die, a slit die, or the like.

スリットコータ１は、ダイヘッド２と、塗工液供給部３とを備える。
ダイヘッド２は、塗工液を塗工ステージ５上に載置される基体Ｋの表面Ｋａに向けて吐出する。ダイヘッド２は、図２に示すように、塗工方向Ｔ１に見た場合に、基体幅方向Ｔ２に長く形成される。 The slit coater 1 includes a die head 2 and a coating liquid supply unit 3.
The die head 2 discharges the coating liquid toward the surface Ka of the substrate K placed on the coating stage 5. As shown in FIG. 2, the die head 2 is formed long in the substrate width direction T2 when viewed in the coating direction T1.

ダイヘッド２は、図１に示すように、基体幅方向Ｔ２に見た場合に、塗工液が供給される側に形成される供給側部２５と、塗工液が吐出される側に形成されるリップ部２６と、ダイヘッド２を鉛直方向Ｚに貫通する貫通部２１とを有する。   As shown in FIG. 1, the die head 2 is formed on the supply side portion 25 formed on the side to which the coating liquid is supplied and on the side on which the coating liquid is discharged, when viewed in the substrate width direction T2. A lip portion 26 and a penetrating portion 21 penetrating the die head 2 in the vertical direction Z.

供給側部２５は、図１に示すように、基体幅方向Ｔ２に見た場合に、略方形状に形成される。リップ部２６は、供給側部２５の鉛直方向Ｚの下方側に連続して形成され、塗工液を吐出する側に向かうにしたがって塗工方向Ｔ１の長さが短くなるように形成される。リップ部２６の先端は、基体Ｋの表面Ｋａに対して平行な面状に形成される。   As shown in FIG. 1, the supply side portion 25 is formed in a substantially rectangular shape when viewed in the substrate width direction T2. The lip portion 26 is continuously formed on the lower side in the vertical direction Z of the supply side portion 25, and is formed so that the length in the coating direction T1 becomes shorter toward the side for discharging the coating liquid. The tip of the lip portion 26 is formed in a plane shape parallel to the surface Ka of the base K.

貫通部２１は、ダイヘッド２に供給された塗工液をリップ部２６側へ導く。貫通部２１は、図１に示すように、基体幅方向Ｔ２に見た場合に、ダイヘッド２における塗工方向Ｔ１の略中央部において、鉛直方向Ｚに延びるように、ダイヘッド２を貫通している。貫通部２１は、導入部２２と、マニホールド部２３と、スリット部２４とを有する。導入部２２、マニホールド部２３及びスリット部２４は、塗工液が供給される供給側部２５側から塗工液が吐出されるリップ部２６側に向けて、導入部２２、マニホールド部２３、スリット部２４の順に形成され、互いに接続される。   The penetration part 21 guides the coating liquid supplied to the die head 2 to the lip part 26 side. As shown in FIG. 1, the penetrating portion 21 penetrates the die head 2 so as to extend in the vertical direction Z at a substantially central portion of the coating direction T1 in the die head 2 when viewed in the substrate width direction T2. . The penetrating part 21 has an introduction part 22, a manifold part 23, and a slit part 24. The introduction part 22, the manifold part 23, and the slit part 24 are arranged from the supply side part 25 side to which the coating liquid is supplied toward the lip part 26 side to which the coating liquid is discharged, to the introduction part 22, the manifold part 23, and the slit. The parts 24 are formed in this order and are connected to each other.

導入部２２は、図１に示すように、基体幅方向Ｔ２に見た場合に、ダイヘッド２の鉛直方向Ｚの上端に形成される。導入部２２は、鉛直方向Ｚに延びる円柱状の空間により形成されている。導入部２２は、図２に示すように、塗工方向Ｔ１に見た場合に、ダイヘッド２の基体幅方向Ｔ２の略中央部に配置される。   As shown in FIG. 1, the introduction portion 22 is formed at the upper end of the die head 2 in the vertical direction Z when viewed in the substrate width direction T2. The introduction part 22 is formed by a cylindrical space extending in the vertical direction Z. As shown in FIG. 2, the introduction portion 22 is disposed at a substantially central portion of the die head 2 in the substrate width direction T2 when viewed in the coating direction T1.

マニホールド部２３は、図１に示すように、基体幅方向Ｔ２に見た場合に、ダイヘッド２の鉛直方向Ｚの中央部よりもダイヘッド２の供給側部２５側に形成される。マニホールド部２３は、塗工液タンク４ａから供給された塗工液を一時的に溜める液溜まり部として機能する。   As shown in FIG. 1, the manifold portion 23 is formed closer to the supply side portion 25 of the die head 2 than the central portion of the die head 2 in the vertical direction Z when viewed in the substrate width direction T2. The manifold unit 23 functions as a liquid reservoir that temporarily stores the coating liquid supplied from the coating liquid tank 4a.

マニホールド部２３は、基体幅方向Ｔ２に延びる略円柱状の空間により形成されている。マニホールド部２３は、塗工方向Ｔ１に見た場合に、略円形状に形成される。マニホールド部２３は、図２に示すように、塗工方向Ｔ１に見た場合に、基体幅方向Ｔ２の全域にわたって延びている。マニホールド部２３は、基体幅方向Ｔ２の中央部において、導入部２２が接続される。マニホールド部２３は、導入部２２により導入された塗工液を一時的に溜めることにより、塗工液を基体幅方向Ｔ２の全域に行きわたらせる。   The manifold portion 23 is formed by a substantially columnar space extending in the base body width direction T2. The manifold portion 23 is formed in a substantially circular shape when viewed in the coating direction T1. As shown in FIG. 2, the manifold portion 23 extends over the entire area of the substrate width direction T2 when viewed in the coating direction T1. The introduction part 22 is connected to the manifold part 23 at the center part in the substrate width direction T2. The manifold portion 23 temporarily accumulates the coating liquid introduced by the introducing portion 22 to spread the coating liquid over the entire area in the substrate width direction T2.

スリット部２４は、基体Ｋ側に向けて塗工液を吐出する。スリット部２４は、リップ部２６の内部において、マニホールド部２３の下方側に接続される。スリット部２４は、ダイヘッド２が延びる基体幅方向Ｔ２に延びている。ここで、本実施形態においては、基体幅方向Ｔ２とスリット部２４が延びる方向であるスリット方向Ｓとは、一致する。   The slit portion 24 discharges the coating liquid toward the base K side. The slit portion 24 is connected to the lower side of the manifold portion 23 inside the lip portion 26. The slit portion 24 extends in the substrate width direction T2 in which the die head 2 extends. Here, in the present embodiment, the substrate width direction T2 and the slit direction S that is the direction in which the slit portion 24 extends coincide with each other.

スリット部２４は、一対の対向する壁面（壁部）２４１，２４１により構成される。一対の対向する壁面２４１，２４１は、平面状に形成され、鉛直方向Ｚに所定長さで、かつ、スリット方向Ｓ（基体幅方向Ｔ２）に延びている。一対の対向する壁面２４１，２４１は、互いに平行に形成される。スリット部２４における対向する一対の壁面２４１，２４１の間の塗工方向Ｔ１の距離をスリット幅ともいう。本実施形態においては、例えば、スリット部２４のスリット幅は、４０μｍから５０μｍ程度に設定されている。   The slit portion 24 includes a pair of opposed wall surfaces (wall portions) 241 and 241. The pair of opposing wall surfaces 241 and 241 are formed in a planar shape, have a predetermined length in the vertical direction Z, and extend in the slit direction S (base width direction T2). The pair of opposing wall surfaces 241 and 241 are formed in parallel to each other. The distance in the coating direction T1 between the pair of opposing wall surfaces 241 and 241 in the slit portion 24 is also referred to as a slit width. In the present embodiment, for example, the slit width of the slit portion 24 is set to about 40 μm to 50 μm.

また、スリットコータ１は、ダイヘッド２を塗工方向Ｔ１に移動させる不図示のダイヘッド移動部を有する。ダイヘッド２は、ダイヘッド移動部（不図示）により塗工方向Ｔ１に移動される。   The slit coater 1 has a die head moving unit (not shown) that moves the die head 2 in the coating direction T1. The die head 2 is moved in the coating direction T1 by a die head moving unit (not shown).

塗工液供給部３は、図１に示すように、ダイヘッド２の導入部２２に接続される接続パイプＬａと、塗工液を貯留する塗工液タンク３１と、塗工液タンク３１と接続パイプＬａとを接続する第１流路Ｌ１と、塗工液をダイヘッド２へ供給する塗工液ポンプ３２とを備える。
第１流路Ｌ１の一端部は、塗工液タンク３１の内部に配置される。第１流路Ｌ１の他端部は、接続パイプＬａに接続される。塗工液ポンプ３２は、第１流路Ｌ１の分岐部Ｐよりも塗工液タンク３１側に設けられる。第１流路Ｌ１及び後述する第２流路Ｌ２は、接続パイプＬａから分岐部Ｐまでの流路において共通する。 As shown in FIG. 1, the coating liquid supply unit 3 is connected to the connection pipe La connected to the introduction unit 22 of the die head 2, the coating liquid tank 31 that stores the coating liquid, and the coating liquid tank 31. A first flow path L1 that connects the pipe La and a coating liquid pump 32 that supplies the coating liquid to the die head 2 are provided.
One end of the first flow path L <b> 1 is disposed inside the coating liquid tank 31. The other end of the first flow path L1 is connected to the connection pipe La. The coating liquid pump 32 is provided closer to the coating liquid tank 31 than the branch portion P of the first flow path L1. The first flow path L1 and the second flow path L2 to be described later are common in the flow path from the connection pipe La to the branch portion P.

このようにスリットコータ１が構成されることにより、ダイヘッド２のスリット部２４から塗工液を吐出させながら、スリット方向Ｓ（基体幅方向Ｔ２）の全域にわたって形成されるスリット部２４の長さで、ダイヘッド２を塗工方向Ｔ１に移動させるとことにより、基体Ｋの表面Ｋａ上には、塗工液が塗布される。ここで、スリット部２４の壁面２４１には、塗工液が付着して残存し、時間経過した後に固着することがある。   By configuring the slit coater 1 in this way, the length of the slit portion 24 formed over the entire area in the slit direction S (base width direction T2) while discharging the coating liquid from the slit portion 24 of the die head 2 is achieved. When the die head 2 is moved in the coating direction T1, the coating liquid is applied onto the surface Ka of the substrate K. Here, the coating liquid may remain attached to the wall surface 241 of the slit portion 24, and may adhere after a lapse of time.

次に、清掃装置６について説明する。
なお、以下の清掃装置６の清掃部本体（清掃具）７の説明において、図３に示すように、掻き落とし部材７３が延びる上下方向を鉛直方向Ｚとし、一対の掻き落とし部材７３，７３が離間する方向を第１方向Ｄ１とし、鉛直方向Ｚ及び第１方向Ｄ１に直交する方向を第２方向Ｄ２とする。 Next, the cleaning device 6 will be described.
In the following description of the cleaning unit main body (cleaning tool) 7 of the cleaning device 6, as shown in FIG. 3, the vertical direction in which the scraping member 73 extends is defined as the vertical direction Z, and the pair of scraping members 73, 73 are The separating direction is defined as a first direction D1, and the direction perpendicular to the vertical direction Z and the first direction D1 is defined as a second direction D2.

清掃装置６は、図１に示すように、清掃部本体（清掃具）７と、洗浄液供給部４と、駆動機構部８とを備える。
清掃部本体７は、図３に示すように、一対の掻き落とし部材７３，７３と、軸部材７１と、一対の支持棒７２１、７２２と、複数のバネ部材７４とを備える。 As shown in FIG. 1, the cleaning device 6 includes a cleaning unit body (cleaning tool) 7, a cleaning liquid supply unit 4, and a drive mechanism unit 8.
As shown in FIG. 3, the cleaning unit main body 7 includes a pair of scraping members 73 and 73, a shaft member 71, a pair of support bars 721 and 722, and a plurality of spring members 74.

一対の掻き落とし部材７３，７３は、図３（ａ）に示すように、第１方向Ｄ１に離間して配置される。一対の掻き落とし部材７３，７３は、平面形状で板状に形成される。詳細には、掻き落とし部材７３は、第２方向Ｄ２に見た場合（図３（ａ）参照）の第１方向Ｄ１の長さが、第１方向Ｄ１に見た場合（図３（ｂ）参照）の第２方向Ｄ２の長さよりも小さく形成される。つまり、掻き落とし部材７３は、第１方向Ｄ１に所定の厚さを有し、かつ、第２方向Ｄ２に所定の長さを有する薄板状に形成される。   As shown in FIG. 3A, the pair of scraping members 73 and 73 are disposed apart from each other in the first direction D1. The pair of scraping members 73, 73 are formed in a plate shape with a planar shape. Specifically, when the scraping member 73 is viewed in the second direction D2 (see FIG. 3A), the length in the first direction D1 is viewed in the first direction D1 (FIG. 3B). (See) in the second direction D2. That is, the scraping member 73 is formed in a thin plate shape having a predetermined thickness in the first direction D1 and a predetermined length in the second direction D2.

一対の掻き落とし部材７３，７３は、互いに対向しており、平行に配置される。掻き落とし部材７３は、鉛直方向Ｚに延びている。掻き落とし部材７３の鉛直方向Ｚの長さは、図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、スリット部２４の鉛直方向Ｚの長さよりも長く形成される。   The pair of scraping members 73 and 73 face each other and are arranged in parallel. The scraping member 73 extends in the vertical direction Z. The length of the scraping member 73 in the vertical direction Z is longer than the length of the slit portion 24 in the vertical direction Z, as shown in FIGS.

掻き落とし部材７３は、図４（ａ）に示すように、第１方向Ｄ１に見た場合の幅が、スリット部２４のスリット幅よりも小さく形成される。   As shown in FIG. 4A, the scraping member 73 is formed so that the width when viewed in the first direction D <b> 1 is smaller than the slit width of the slit portion 24.

一対の掻き落とし部材７３，７３は、図３（ａ）に示すように、第２方向Ｄ２に見た場合に、清掃部本体７の外側に向く押圧面７３１，７３１を有する。押圧面７３１，７３１は、一対の掻き落とし部材７３，７３における一対の掻き落とし部材７３，７３同士が対向する面と反対側の面である。一対の掻き落とし部材７３，７３は、一方の掻き落とし部材７３の押圧面７３１から他方の掻き落とし部材７３の押圧面７３１までの第１方向Ｄ１の距離が、一対の掻き落とし部材７３，７３がスリット部２４に挿入される前において、スリット部２４のスリット幅よりも長くなるように配置される。押圧面７３１，７３１は、図４（ｂ）に示すように、一対の掻き落とし部材７３，７３が離間する第１方向Ｄ１が塗工方向Ｔ１に沿った状態でスリット部２４に装着された場合に、後述するバネ部材７４に付勢されて、少なくとも一部がスリット部２４の壁面２４１に押圧される。   As shown in FIG. 3A, the pair of scraping members 73 and 73 have pressing surfaces 731 and 731 that face the outside of the cleaning unit body 7 when viewed in the second direction D2. The pressing surfaces 731 and 731 are surfaces on the opposite side to the surfaces of the pair of scraping members 73 and 73 that face each other. The pair of scraping members 73, 73 has a distance in the first direction D1 from the pressing surface 731 of one scraping member 73 to the pressing surface 731 of the other scraping member 73. Before being inserted into the slit portion 24, the slit portion 24 is arranged to be longer than the slit width. As shown in FIG. 4B, the pressing surfaces 731 and 731 are mounted on the slit portion 24 in a state where the first direction D1 in which the pair of scraping members 73 and 73 are separated from each other is along the coating direction T1. Further, the spring member 74, which will be described later, is biased and at least a part thereof is pressed against the wall surface 241 of the slit portion 24.

掻き落とし部材７３は、可撓性を有する材料により形成される。掻き落とし部材７３の材質としては、スリット部２４の壁面２４１に傷をつけることを防止するため、スリット部２４の壁面２４１よりも硬度の低いものが好ましい。掻き落とし部材７３は、例えば、可撓性を有する金属材料、樹脂材料等により形成される。   The scraping member 73 is formed of a flexible material. As a material of the scraping member 73, a material having a lower hardness than the wall surface 241 of the slit portion 24 is preferable in order to prevent the wall surface 241 of the slit portion 24 from being damaged. The scraping member 73 is formed of, for example, a flexible metal material, resin material, or the like.

軸部材７１は、図３（ａ）及び（ｂ）に示すように、一対の掻き落とし部材７３，７３の間に配置される。軸部材７１は、スリット部２４のスリット幅よりも小さい径の円柱状に形成される。軸部材７１は、鉛直方向Ｚに直線状に延びている。軸部材７１は、回転軸Ｊを中心に、回転可能に構成される。回転軸Ｊは、鉛直方向Ｚに延びる軸であり、スリット方向Ｓに交差する方向に延びる軸でもある。   As shown in FIGS. 3A and 3B, the shaft member 71 is disposed between the pair of scraping members 73 and 73. The shaft member 71 is formed in a cylindrical shape having a diameter smaller than the slit width of the slit portion 24. The shaft member 71 extends linearly in the vertical direction Z. The shaft member 71 is configured to be rotatable about the rotation axis J. The rotation axis J is an axis extending in the vertical direction Z, and is also an axis extending in a direction intersecting the slit direction S.

一対の支持棒７２１、７２２は、軸部材７１の鉛直方向Ｚの上端部側及び下方側に、離間して配置される。一対の支持棒７２１，７２２は、互いに平行に第１方向Ｄ１に延びている。一対の支持棒７２１、７２２は、第１方向Ｄ１の略中央部において、軸部材の上端部及び下方側に取り付けられる。支持棒７２は、スリット部２４のスリット幅よりも小さい径の円柱状に形成される。   The pair of support rods 721 and 722 are spaced apart from each other on the upper end side and the lower side in the vertical direction Z of the shaft member 71. The pair of support bars 721 and 722 extend in the first direction D1 in parallel with each other. The pair of support bars 721 and 722 are attached to the upper end portion and the lower side of the shaft member at a substantially central portion in the first direction D1. The support rod 72 is formed in a cylindrical shape having a diameter smaller than the slit width of the slit portion 24.

バネ部材７４は、掻き落とし部材７３と、支持棒７２１，７２２とを接続する。バネ部材７４は、上方側バネ７４ａと、下方側バネ７４ｂとから構成される。
上方側バネ７４ａは、掻き落とし部材７３の上端と、上方側の支持棒７２１の端部７２１ａとを連結する。下方側バネ７４ｂは、掻き落とし部材７３の下端と、下方側の支持棒７２２の端部７２２ａとを連結する。
このように構成されることで、バネ部材７４は、掻き落とし部材７３が軸部材７１側に押圧された場合に、掻き落とし部材７３を軸部材７１から離れる側に向けて付勢する。 The spring member 74 connects the scraping member 73 and the support rods 721 and 722. The spring member 74 includes an upper spring 74a and a lower spring 74b.
The upper spring 74 a connects the upper end of the scraping member 73 and the end 721 a of the upper support bar 721. The lower spring 74b connects the lower end of the scraping member 73 and the end 722a of the lower support rod 722.
With this configuration, the spring member 74 biases the scraping member 73 toward the side away from the shaft member 71 when the scraping member 73 is pressed toward the shaft member 71.

洗浄液供給部４は、図１に示すように、ダイヘッド２の導入部２２に接続される接続パイプＬａと、洗浄液を貯留する洗浄液タンク４１と、洗浄液タンク４１と接続パイプＬａとを接続する第２流路Ｌ２と、洗浄液をダイヘッド２へ移動させる洗浄液ポンプ４２とを備える。
第２流路Ｌ２は、接続パイプＬａから分岐部Ｐまでの流路において、スリットコータ１の第１流路Ｌ１と共用される。第２流路Ｌ２の一端部は、洗浄液タンク４１の内部に配置される。第２流路Ｌ２の他端部は、接続パイプＬａに接続される。洗浄液ポンプ４２は、第２流路Ｌ２の分岐部Ｐよりも洗浄液タンク４１側に設けられる。 As shown in FIG. 1, the cleaning liquid supply unit 4 connects the connection pipe La connected to the introduction unit 22 of the die head 2, the cleaning liquid tank 41 that stores the cleaning liquid, and the second connecting the cleaning liquid tank 41 and the connection pipe La. A flow path L2 and a cleaning liquid pump 42 that moves the cleaning liquid to the die head 2 are provided.
The second flow path L2 is shared with the first flow path L1 of the slit coater 1 in the flow path from the connection pipe La to the branch portion P. One end of the second flow path L <b> 2 is disposed inside the cleaning liquid tank 41. The other end of the second flow path L2 is connected to the connection pipe La. The cleaning liquid pump 42 is provided closer to the cleaning liquid tank 41 than the branch portion P of the second flow path L2.

以上のように構成される清掃部本体７は、図４（ａ）に示すように、掻き落とし部材７３，７３が離間する第１方向Ｄ１がスリット方向Ｓに沿う状態で、清掃部本体７の下方側から、スリット部２４に挿入される。そして、清掃部本体７が回転軸Ｊを中心に９０度回転されることで、図４（ｂ）に示すように、掻き落とし部材７３，７３は、掻き落とし部材７３の押圧面７３１がバネ部材７４に付勢されて、スリット部２４の壁面２４１に向けて付勢される。   As shown in FIG. 4A, the cleaning unit body 7 configured as described above has a first direction D1 in which the scraping members 73 and 73 are separated from each other along the slit direction S. It is inserted into the slit portion 24 from below. Then, the cleaning unit body 7 is rotated 90 degrees around the rotation axis J, so that the scraping members 73 and 73 have the pressing surface 731 of the scraping member 73 as a spring member, as shown in FIG. It is urged by 74 and urged toward the wall surface 241 of the slit portion 24.

掻き落とし部材７３は、スリット部２４の壁面２４１に沿って撓んだ状態で、スリット部２４の壁面２４１に付勢されている。そのため、一対の掻き落とし部材７３，７３は、スリット部２４を構成する一対の壁面２４１に付着した塗工液を掻き落とす（清掃する）ことができる。これにより、清掃部本体７は、スリット部２４の壁面２４１に付着した塗工液を掻き落とす（清掃する）能力を一層向上することができる。
また、清掃部本体７は、２つの掻き落とし部材７３，７３を有する。そのため、簡易な構成により、スリット部２４を構成する壁面２４１に付着した塗工液を、一層効果的に掻き落とすことができる。 The scraping member 73 is urged against the wall surface 241 of the slit portion 24 in a state of being bent along the wall surface 241 of the slit portion 24. Therefore, the pair of scraping members 73 and 73 can scrape (clean) the coating liquid adhering to the pair of wall surfaces 241 constituting the slit portion 24. Thereby, the cleaning part main body 7 can further improve the ability to scrape off (clean) the coating liquid adhering to the wall surface 241 of the slit part 24.
The cleaning unit main body 7 has two scraping members 73 and 73. Therefore, the coating liquid adhering to the wall surface 241 constituting the slit portion 24 can be scraped off more effectively with a simple configuration.

駆動機構部８は、図２に示すように、昇降機構部８１と、回転機構部（回転部）８２と、スライド機構部（移動部）８３と、を有する。   As shown in FIG. 2, the drive mechanism unit 8 includes an elevating mechanism unit 81, a rotating mechanism unit (rotating unit) 82, and a slide mechanism unit (moving unit) 83.

スライド機構部８３は、底板８３３と、底板８３３の両端部に設けられる一対の側板８３４，８３４と、側板８３４，８３４に支持されるスリット方向Ｓに延びるレール８３２と、清掃部本体７を支持すると共にスリット方向Ｓに移動可能にレール８３２に取り付けられる支持部８３１と、支持部８３１に連結されるスライド用モータ８３５と、を備える。スライド用モータ８３５が駆動することにより、支持部８３１は、レール８３２に沿って移動する。これにより、スライド機構部８３は、支持部８３１に支持された清掃部本体７をスリット方向Ｓに移動させる。   The slide mechanism 83 supports the bottom plate 833, a pair of side plates 834 and 834 provided at both ends of the bottom plate 833, rails 832 extending in the slit direction S supported by the side plates 834 and 834, and the cleaning unit body 7. And a support portion 831 attached to the rail 832 so as to be movable in the slit direction S, and a slide motor 835 coupled to the support portion 831. When the slide motor 835 is driven, the support portion 831 moves along the rail 832. Thereby, the slide mechanism unit 83 moves the cleaning unit body 7 supported by the support unit 831 in the slit direction S.

昇降機構部８１は、スライド機構部８３を昇降させることで、清掃部本体７を昇降させる。昇降機構部８１は、スライド機構部８３の底板８３３の下方に配置された２つの偏心カム８１１と、偏心カム８１１に連結される昇降用モータ８１３とを備える。偏心カム８１１の偏心周面は、スライド機構部８３の底板８３３に下方側から当接する。   The raising / lowering mechanism part 81 raises / lowers the cleaning part main body 7 by raising / lowering the slide mechanism part 83. As shown in FIG. The lifting mechanism 81 includes two eccentric cams 811 disposed below the bottom plate 833 of the slide mechanism 83 and a lifting motor 813 connected to the eccentric cam 811. The eccentric circumferential surface of the eccentric cam 811 contacts the bottom plate 833 of the slide mechanism portion 83 from below.

各偏心カム８１１は、図２に示すように、塗工方向Ｔ１に延びる軸部８１２を備えると共に、回転軸が偏在するカムで構成される。偏心カム８１１は、昇降用モータ８１３が駆動することにより、軸部８１２を中心に回転される。偏心カム８１１が回転することにより、清掃部本体７は、鉛直方向Ｚに昇降される。これにより、清掃部本体７は、下方側から上昇されることで、スリット部２４の内部に挿入される。   As shown in FIG. 2, each eccentric cam 811 includes a shaft portion 812 extending in the coating direction T <b> 1 and a cam having a rotational shaft unevenly distributed. The eccentric cam 811 is rotated about the shaft portion 812 when the lifting motor 813 is driven. As the eccentric cam 811 rotates, the cleaning unit body 7 is raised and lowered in the vertical direction Z. Thereby, the cleaning part main body 7 is inserted into the slit part 24 by being raised from the lower side.

回転機構部（回転部）８２は、清掃部本体７を、回転軸Ｊを中心に回転させる。回転機構部８２は、清掃部本体７の軸部材７１に連結される回転用モータ８２１を備える。軸部材７１を９０度回転することにより、清掃部本体７は、回転軸Ｊを中心に９０度回転する。   The rotation mechanism unit (rotation unit) 82 rotates the cleaning unit main body 7 about the rotation axis J. The rotation mechanism unit 82 includes a rotation motor 821 coupled to the shaft member 71 of the cleaning unit body 7. By rotating the shaft member 71 by 90 degrees, the cleaning unit main body 7 rotates by 90 degrees about the rotation axis J.

これにより、掻き落とし部材７３がスリット部２４の壁面２４１を付勢しない状態で、清掃部本体７をスリット部２４に挿入した後に、清掃部本体７を回転軸Ｊを中心に回転させることで、掻き落とし部材７３をスリット部２４の壁面２４１に付勢させることができる。従って、簡易な構成で、掻き落とし部材７３をスリット部２４の壁面２４１に向けて付勢させることができる。
また、回転機構部８２により清掃部本体７を回転させることにより、掻き落とし部材７３をスリット部２４の壁面２４１に付勢する状態と、掻き落とし部材７３をスリット部２４の壁面２４１に付勢しない状態とに変化させながら、清掃部本体７をスリット方向Ｓに移動させることもできる。 Thereby, the scraping member 73 does not urge the wall surface 241 of the slit portion 24, and after the cleaning portion main body 7 is inserted into the slit portion 24, the cleaning portion main body 7 is rotated around the rotation axis J. The scraping member 73 can be urged against the wall surface 241 of the slit portion 24. Therefore, the scraping member 73 can be urged toward the wall surface 241 of the slit portion 24 with a simple configuration.
Further, by rotating the cleaning unit main body 7 by the rotation mechanism unit 82, the scraping member 73 is biased to the wall surface 241 of the slit portion 24, and the scraping member 73 is not biased to the wall surface 241 of the slit portion 24. It is also possible to move the cleaning unit body 7 in the slit direction S while changing the state.

次に、第１実施形態の清掃装置６の清掃動作について説明する。
清掃装置６は、スリットコータ１により基体Ｋに塗工液が塗布された後において、所定のタイミングにおいて、スリット部２４の清掃動作を行う。スリットコータ１による基体Ｋへの塗工液の塗布の後においては、スリット部２４の壁面２４１に塗工液が付着し、又は、計時変化によりスリット部２４の壁面２４１に付着した塗工液が固まる可能性があるためである。 Next, the cleaning operation of the cleaning device 6 according to the first embodiment will be described.
The cleaning device 6 performs the cleaning operation of the slit portion 24 at a predetermined timing after the coating liquid is applied to the substrate K by the slit coater 1. After the coating liquid is applied to the substrate K by the slit coater 1, the coating liquid adheres to the wall surface 241 of the slit portion 24, or the coating liquid that adheres to the wall surface 241 of the slit portion 24 due to a change in time measurement. This is because it may harden.

まず、図４（ａ）に示すように、一対の掻き落とし部材７３，７３が離間する第１方向Ｄ１がスリット方向Ｓに沿う状態で、清掃部本体７を、スリット部２４の下方側からスリット部２４に挿入する。
具体的には、ダイヘッド２を、基体Ｋへの塗工動作が終了した位置から、更に塗工方向Ｔ１に移動させた清掃位置（図１参照）において、一対の掻き落とし部材７３，７３が離間する第１方向Ｄ１がスリット方向Ｓに沿う状態で、昇降機構部８１の昇降用モータ８１３を駆動させて、清掃部本体７を上昇させる。これにより、図４（ａ）に示すように、一対の掻き落とし部材７３，７３が離間する第１方向Ｄ１がスリット方向Ｓに沿う状態で、清掃部本体７は、スリット部２４の下方側からスリット部２４に挿入される。 First, as shown in FIG. 4A, the cleaning unit main body 7 is slit from the lower side of the slit portion 24 in a state where the first direction D1 in which the pair of scraping members 73 and 73 are separated from each other is along the slit direction S. Insert into part 24.
Specifically, the pair of scraping members 73 and 73 are separated from each other at a cleaning position (see FIG. 1) in which the die head 2 is further moved in the coating direction T1 from the position where the coating operation on the base body K is completed. In the state where the first direction D <b> 1 is along the slit direction S, the elevating motor 813 of the elevating mechanism 81 is driven to raise the cleaning unit main body 7. As a result, as shown in FIG. 4A, the cleaning unit main body 7 is moved from the lower side of the slit part 24 in a state where the first direction D1 in which the pair of scraping members 73 and 73 are separated from each other is along the slit direction S. It is inserted into the slit part 24.

次に、清掃部本体７をスリット部２４に挿入した後に、回転機構部８２により清掃部本体７を回転軸Ｊを中心に９０度回転させる。これにより、図４（ｂ）に示すように、掻き落とし部材７３は、バネ部材７４によりスリット部２４の壁面２４１に付勢される。そして、掻き落とし部材７３の押圧面７３１は、掻き落とし部材７３がスリット部２４の壁面２４１に沿って変形した状態で、スリット部２４の壁面２４１に押し付けられる。   Next, after the cleaning unit main body 7 is inserted into the slit portion 24, the cleaning unit main body 7 is rotated 90 degrees about the rotation axis J by the rotation mechanism unit 82. Accordingly, as shown in FIG. 4B, the scraping member 73 is urged against the wall surface 241 of the slit portion 24 by the spring member 74. The pressing surface 731 of the scraping member 73 is pressed against the wall surface 241 of the slit portion 24 in a state where the scraping member 73 is deformed along the wall surface 241 of the slit portion 24.

次に、掻き落とし部材７３をスリット方向Ｓに移動させる。これにより、掻き落とし部材７３は、スリット部２４の壁面２４１に付着した塗工液を掻き落とす。本実施形態においては、掻き落とし部材７３は、スリット方向Ｓに幅を有する板状に形成される。そのため、掻き落とし部材７３は、掻き落とし部材７３の幅の分だけスリット部２４の壁面２４１に付着した塗工液と壁面２４１との間に入り込んで、壁面２４１に付着した塗工液をスリット方向Ｓに連続的にすくうようにして掻き落とすことができる。これにより、壁面２４１に付着した塗工液を一層効果的に掻き落とすことができる。   Next, the scraping member 73 is moved in the slit direction S. Thereby, the scraping member 73 scrapes off the coating liquid adhering to the wall surface 241 of the slit portion 24. In the present embodiment, the scraping member 73 is formed in a plate shape having a width in the slit direction S. Therefore, the scraping member 73 enters between the coating liquid adhering to the wall surface 241 of the slit portion 24 and the wall surface 241 by the width of the scraping member 73, and removes the coating liquid adhering to the wall surface 241 in the slit direction. It can be scraped off continuously by scrubbing with S. Thereby, the coating liquid adhering to the wall surface 241 can be scraped off more effectively.

また、スリット部２４をスリット方向Ｓの全域にわたって清掃することができる。これにより、スリットコータ１により基体Ｋの表面Ｋａに塗工液を塗布する際に、スリット方向Ｓの塗工液の塗布のムラを低減することができる。   Moreover, the slit part 24 can be cleaned over the whole area in the slit direction S. Thereby, when the coating liquid is applied to the surface Ka of the substrate K by the slit coater 1, uneven application of the coating liquid in the slit direction S can be reduced.

次に、スリット部２４を洗浄液により洗浄する。具体的には、洗浄液ポンプ３ｂを駆動することにより、第２流路Ｌ２を介してダイヘッド２に洗浄液を供給して、スリット部２４を洗浄する。これにより、スリット部２４の壁面２４１から掻き落とされた塗工液を洗い流すことができる。従って、スリット部２４を一層効果的に清掃することができる。   Next, the slit portion 24 is cleaned with a cleaning liquid. Specifically, by driving the cleaning liquid pump 3b, the cleaning liquid is supplied to the die head 2 via the second flow path L2, and the slit portion 24 is cleaned. Thereby, the coating liquid scraped off from the wall surface 241 of the slit part 24 can be washed away. Therefore, the slit part 24 can be more effectively cleaned.

なお、スリット部２４の吐出側に、不図示の廃液ポンプを接続することもできる。これにより、スリット部２４の洗浄と同時に、廃液ポンプ（不図示）を用いてスリット部２４を負圧にして、スリット部２４の壁面２４１から掻き落とされた塗工液を、洗浄液と共にスリット部２４の外部に確実に排出することができる。   A waste liquid pump (not shown) can be connected to the discharge side of the slit portion 24. Thereby, simultaneously with cleaning of the slit portion 24, the slit portion 24 is made negative pressure by using a waste liquid pump (not shown), and the coating liquid scraped off from the wall surface 241 of the slit portion 24 is combined with the cleaning liquid into the slit portion 24. Can be reliably discharged to the outside.

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
なお、以下の説明及び図面において、前述した第１実施形態と同様の機能を果たす部分には、同一の符号又は末尾に同一の符号を付して、重複する説明を適宜省略する。
図５は、第２実施形態の清掃部本体７Ａを示す斜視図である。図６は、第２実施形態の清掃部本体７Ａをスリットコータ１のスリット部２４に装着する過程を説明する図であって、（ａ）は清掃部本体７Ａを挿入する状態を示す図であり、（ｂ）は清掃部本体７Ａを回転させてスリット部２４に装着した状態を示す図である。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
Note that, in the following description and drawings, the same reference numerals or the same reference numerals are given to the portions that perform the same functions as those in the first embodiment described above, and overlapping descriptions will be omitted as appropriate.
FIG. 5 is a perspective view showing a cleaning unit main body 7A of the second embodiment. FIG. 6 is a diagram illustrating a process of mounting the cleaning unit body 7A of the second embodiment on the slit unit 24 of the slit coater 1, and FIG. 6A is a diagram illustrating a state in which the cleaning unit body 7A is inserted. (B) is a figure which shows the state which rotated the cleaning part main body 7A, and was mounted | worn with the slit part 24. FIG.

第２実施形態における清掃部本体７Ａは、図５に示すように、掻き落とし環状シート７５と、軸部材７６とを備える。掻き落とし環状シート７５は、清掃部材及び付勢部材が、無端ベルト状に一体的に形成される。掻き落とし環状シート７５は、スリット部２４に挿入する前においてスリット部２４の幅よりも大きく、スリット部２４に挿入した後に、スリット部２４の一対の壁面２４１に付勢される。   As shown in FIG. 5, the cleaning unit body 7 </ b> A according to the second embodiment includes a scraping annular sheet 75 and a shaft member 76. The scraping annular sheet 75 has a cleaning member and an urging member integrally formed in an endless belt shape. The scraped annular sheet 75 is larger than the width of the slit portion 24 before being inserted into the slit portion 24, and is urged against the pair of wall surfaces 241 of the slit portion 24 after being inserted into the slit portion 24.

具体的には、掻き落とし環状シート７５は、図５に示すように、帯状のフィルムのシートを環状に形成することにより、中空状に形成される。掻き落とし環状シート７５は、スリットコータ１のスリット部２４のスリット幅よりも小さい幅の帯状のフィルムのシートにより、フィルムの外面が外側に配置されるような環状に形成される。掻き落とし環状シート７５は、鉛直方向Ｚに長い環状に形成される。掻き落とし環状シート７５を構成するフィルムのシートは、弾力性を有する材料により形成される。   Specifically, as shown in FIG. 5, the scraped annular sheet 75 is formed in a hollow shape by forming a belt-shaped film sheet in an annular shape. The scraped annular sheet 75 is formed in an annular shape such that the outer surface of the film is disposed outside by a strip-shaped film sheet having a width smaller than the slit width of the slit portion 24 of the slit coater 1. The scraping annular sheet 75 is formed in an annular shape that is long in the vertical direction Z. The film sheet constituting the scraped annular sheet 75 is formed of a material having elasticity.

掻き落とし環状シート７５は、第１方向Ｄ１に離間して対向する一対の平面シート部７５１，７５１と、一対の平面シート部７５１，７５１同士をつなぐ上下に設けられる一対の曲面シート部７５２，７５２と、軸部材７６と、を有する。   The scraped annular sheet 75 includes a pair of flat sheet portions 751 and 751 that are spaced apart from each other in the first direction D1 and a pair of curved sheet portions 752 and 752 provided above and below that connect the pair of flat sheet portions 751 and 751. And a shaft member 76.

一対の平面シート部７５１，７５１は、軸部材７６を挟んで第１方向Ｄ１に離間して、略平行に配置された状態で対向している。一対の平面シート部７５１，７５１は、軸部材７６側に押圧された場合に、掻き落とし環状シート７５が有する弾性力（付勢力）により、軸部材７６から離れる側に向けて付勢される（清掃部本体７Ａにおける第１方向Ｄ１の外側に向けて付勢される）。   The pair of flat sheet portions 751 and 751 are spaced apart in the first direction D1 across the shaft member 76, and face each other in a state of being arranged substantially in parallel. When the pair of flat sheet portions 751 and 751 are pressed toward the shaft member 76 side, they are biased toward the side away from the shaft member 76 by the elastic force (biasing force) of the scraped annular sheet 75 ( It is biased toward the outside in the first direction D1 in the cleaning unit main body 7A).

一対の平面シート部７５１，７５１は、清掃部本体７Ａの外側に向く押圧面７５１ａ，７５１ａを有する。一方の平面シート部７５１の押圧面７５１ａから他方の平面シート部７５１の押圧面７５１ａまでの第１方向Ｄ１の距離は、掻き落とし環状シート７５がスリット部２４に挿入される前において、スリット部２４のスリット幅よりも長く形成される。
押圧面７５１ａ，７５１ａは、図６（ａ）に示すように、一対の平面シート部７５１，７５１が離間する第１方向Ｄ１が塗工方向Ｔ１に沿った状態でスリット部２４に装着された場合に、掻き落とし環状シート７５が有する付勢力（弾性力）により、少なくとも一部がスリット部２４の壁面２４１に押圧される。 The pair of flat sheet portions 751 and 751 have pressing surfaces 751a and 751a facing the outside of the cleaning portion main body 7A. The distance in the first direction D1 from the pressing surface 751a of one flat sheet portion 751 to the pressing surface 751a of the other flat sheet portion 751 is determined by the slit portion 24 before the scraped annular sheet 75 is inserted into the slit portion 24. It is formed longer than the slit width.
As shown in FIG. 6A, the pressing surfaces 751a and 751a are attached to the slit portion 24 with the first direction D1 in which the pair of flat sheet portions 751 and 751 are separated from each other along the coating direction T1. Furthermore, at least a part is pressed against the wall surface 241 of the slit portion 24 by the biasing force (elastic force) of the scraped annular sheet 75.

軸部材７６は、一対の平面シート部７５１，７５１の間に配置される。軸部材７６は、鉛直方向Ｚに直線状に延びており、一対の曲面シート部７５２，７５２を鉛直方向Ｚに貫通する。軸部材７６の上方側及び下方側において、一対の曲面シート部７５２，７５２は、軸部材７６に取り付けられる。軸部材７６及び掻き落とし環状シート７５は、鉛直方向Ｚに延びる回転軸Ｊ１を中心に一体的に回転可能に構成される。   The shaft member 76 is disposed between the pair of flat sheet portions 751 and 751. The shaft member 76 extends linearly in the vertical direction Z and penetrates the pair of curved sheet portions 752 and 752 in the vertical direction Z. The pair of curved sheet portions 752 and 752 are attached to the shaft member 76 on the upper side and the lower side of the shaft member 76. The shaft member 76 and the scraping-off annular sheet 75 are configured to be integrally rotatable around a rotation axis J1 extending in the vertical direction Z.

次に、第２実施形態の清掃部本体７Ａを用いた清掃動作について簡単に説明する。
まず、図６（ａ）に示すように、一対の平面シート部７５１，７５１が離間する第１方向Ｄ１がスリット方向Ｓに沿う状態で、清掃部本体７Ａを、スリット部２４の下方側からスリット部２４に挿入する。 Next, a cleaning operation using the cleaning unit main body 7A of the second embodiment will be briefly described.
First, as illustrated in FIG. 6A, the cleaning unit body 7 </ b> A is slit from the lower side of the slit portion 24 in a state where the first direction D <b> 1 in which the pair of flat sheet portions 751 and 751 are separated from each other is along the slit direction S. Insert into part 24.

次に、清掃部本体７Ａを、回転軸Ｊを中心に９０度回転させる。これにより、掻き落とし環状シート７５の一対の平面シート部７５１，７５１の押圧面７５１ａ，７５１ａは、スリット部２４の一対の壁面２４１，２４１に付勢される。そして、平面シート部７５１の押圧面７５１ａ，７５１ａは、平面シート部７５１がスリット部２４の壁面２４１，２４１に沿って変形した状態で、スリット部２４の壁面２４１，２４１に押し付けられる。   Next, the cleaning unit main body 7A is rotated 90 degrees about the rotation axis J. Thereby, the pressing surfaces 751 a and 751 a of the pair of flat sheet portions 751 and 751 of the scraped annular sheet 75 are urged by the pair of wall surfaces 241 and 241 of the slit portion 24. The pressing surfaces 751 a and 751 a of the flat sheet portion 751 are pressed against the wall surfaces 241 and 241 of the slit portion 24 in a state where the flat sheet portion 751 is deformed along the wall surfaces 241 and 241 of the slit portion 24.

次に、第１実施形態と同様に、スライド機構部８３により、清掃部本体７Ａをスリット方向Ｓに移動させる。これにより、清掃部本体７Ａは、スリット部２４の壁面２４１，２４１に付勢されているため、スリット方向Ｓに移動しながら、スリット部２４の壁面２４１，２４１に付着した塗工液を掻き落とすことができる。   Next, as in the first embodiment, the cleaning unit main body 7A is moved in the slit direction S by the slide mechanism 83. Accordingly, the cleaning unit main body 7A is biased by the wall surfaces 241 and 241 of the slit unit 24, and thus scrapes off the coating liquid adhering to the wall surfaces 241 and 241 of the slit unit 24 while moving in the slit direction S. be able to.

また、掻き落とし環状シート７５がフィルムにより形成されるため、薄いフィルムが壁面２４１と壁面２４１に付着した塗工液との間に入り込んで、スリット部２４の壁面２４１に付着した塗工液を、すくうようにして掻き落とすことができる。これにより、スリット部２４の壁面２４１に付着した塗工液を一層掻き落とすことができる。   Further, since the scraped-off annular sheet 75 is formed of a film, a thin film enters between the wall surface 241 and the coating liquid attached to the wall surface 241, and the coating liquid attached to the wall surface 241 of the slit portion 24 is Can be scraped off. Thereby, the coating liquid adhering to the wall surface 241 of the slit part 24 can be further scraped off.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、後述する変形形態のように種々の変形や変更が可能であって、それらも本発明の技術的範囲内である。また、実施形態に記載した効果は、本発明から生じる最も好適な効果を列挙したに過ぎず、本発明による効果は、実施形態に記載したものに限定されない。なお、前述した実施形態及び後述する変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications and changes can be made as in the modifications described later, and these are also included in the present invention. Within the technical scope. In addition, the effects described in the embodiments are merely a list of the most preferable effects resulting from the present invention, and the effects of the present invention are not limited to those described in the embodiments. It should be noted that the above-described embodiment and modifications described later can be used in appropriate combination, but detailed description thereof is omitted.

（変形形態）
（１）前述の第１実施形態において、掻き落とし部材７３を薄板状の部材により形成したが、これに制限されない。例えば、掻き落とし部材７３を、糸状の部材により形成してもよいし、断面が正方形の部材や、断面が五角形以上の部材により形成してもよい。
（２）前述の第２実施形態において、清掃部本体７Ａの掻き落とし環状シート７５を無端ベルト状のフィルムにより形成したが、これに制限されない。例えば、清掃部本体７Ａを、スリット部２４に挿入する前においてスリット部２４のスリット幅よりも幅が広く、且つ、スリット部２４への装着時において、弾性力によりスリット部２４の壁面２４１，２４１に付勢されるスポンジ部材により形成してもよい。 (Deformation)
(1) In the first embodiment described above, the scraping member 73 is formed of a thin plate member, but is not limited thereto. For example, the scraping member 73 may be formed of a thread-like member, a member having a square cross section, or a member having a cross section of a pentagon or more.
(2) In the second embodiment described above, the scraping annular sheet 75 of the cleaning unit main body 7A is formed of an endless belt-like film, but is not limited thereto. For example, before the cleaning unit main body 7A is inserted into the slit part 24, the width of the slit part 24 is wider than that of the slit part 24. You may form by the sponge member urged | biased by.

（３）前述の第１実施形態において、掻き落とし部材７３を２つにより構成したが、これに制限されない。例えば、掻き落とし部材７３は、１つ、又は３つ以上であってもよい。 (3) In the first embodiment described above, the scraping member 73 is constituted by two, but is not limited thereto. For example, the scraping member 73 may be one, or three or more.

（４）前述の第１実施形態において、清掃装置６は、清掃部本体７をスライド機構部８３によりスライド用モータ８３５によりスリット方向Ｓに移動させるように構成しているが、これに制限されない。例えば、人の手により、清掃部本体７をスリット部２４に挿入して、清掃部本体７を９０度回転した上で、清掃部本体７をスリット方向Ｓに動かすことにより、スリット部２４を清掃してもよい。 (4) In the first embodiment described above, the cleaning device 6 is configured to move the cleaning unit body 7 in the slit direction S by the slide motor 835 by the slide mechanism unit 83, but is not limited thereto. For example, the cleaning unit body 7 is inserted into the slit unit 24 by a human hand, the cleaning unit body 7 is rotated 90 degrees, and then the cleaning unit body 7 is moved in the slit direction S to clean the slit unit 24. May be.

（５）前述の第１実施形態において、清掃部本体７を回転させずに、スリット方向Ｓに移動させているが、これに制限されない。清掃部本体７をスリット方向Ｓに移動させると同時に、清掃部本体７を回転軸Ｊを中心に回転させながらスリット方向Ｓに移動させてもよい。この場合には、清掃部本体７を回転することにより、掻き落とし部材７３をスリット部２４の壁面２４１に付勢する状態と、掻き落とし部材７３をスリット部２４の壁面２４１に付勢しない状態とに変化させながら、清掃部本体７をスリット方向Ｓに移動させることができる。従って、スリット部２４の壁部２４１に付着した塗工液を、一層効果的に掻き落とすことができる。 (5) In the first embodiment described above, the cleaning unit body 7 is moved in the slit direction S without rotating, but the present invention is not limited to this. The cleaning unit body 7 may be moved in the slit direction S, and at the same time, the cleaning unit body 7 may be moved in the slit direction S while rotating about the rotation axis J. In this case, by rotating the cleaning unit main body 7, the scraping member 73 is biased to the wall surface 241 of the slit portion 24, and the scraping member 73 is not biased to the wall surface 241 of the slit portion 24. The cleaning unit main body 7 can be moved in the slit direction S while being changed. Therefore, the coating liquid adhering to the wall part 241 of the slit part 24 can be scraped off more effectively.

（６）前述の第１実施形態において、清掃装置６をスリットコータ１とは別の装置として構成したが、これに制限されず、清掃装置６とスリットコータ１とを一体的に、例えば塗工装置として構成してもよい。 (6) Although the cleaning device 6 is configured as a device different from the slit coater 1 in the first embodiment described above, the present invention is not limited to this, and the cleaning device 6 and the slit coater 1 are integrally formed, for example, by coating. You may comprise as an apparatus.

１ スリットコータ
６ 清掃装置
７，７Ａ 清掃部本体（清掃具）
２４ スリット部
２４１ 壁面（壁部）
７４ バネ部材（付勢部）
７５ 掻き落とし環状シート（清掃部材、付勢部）
７３ 掻き落とし部材（清掃部材）
８２ 回転機構部（回転部）
８３ スリット機構部（移動部）
Ｋａ 表面（被塗布面）
Ｓ スリット方向 1 Slit coater 6 Cleaning device 7, 7A Cleaning unit body (cleaning tool)
24 slit part 241 wall surface (wall part)
74 Spring member (biasing part)
75 Scraping ring sheet (cleaning member, biasing part)
73 Scraping member (cleaning member)
82 Rotating mechanism (rotating part)
83 Slit mechanism (moving part)
Ka surface (surface to be coated)
S Slit direction

Claims (7)

被塗布面上に塗工液を塗布するスリットコータのスリット部を清掃する清掃具であって、
前記スリット部に挿入され、前記スリット部を構成する一対の壁部に付着した塗工液を清掃する清掃部材と、
前記一対の壁部の少なくとも一方に向けて前記清掃部材を付勢する付勢部と、
を備える清掃具。 A cleaning tool for cleaning a slit portion of a slit coater that applies a coating liquid onto a surface to be coated,
A cleaning member that is inserted into the slit portion and cleans the coating liquid attached to a pair of wall portions constituting the slit portion,
A biasing portion that biases the cleaning member toward at least one of the pair of wall portions;
Cleaning tool comprising. 請求項１に記載の清掃具において、
前記清掃部材は、前記付勢部により前記一対の壁部の少なくとも一方に向けて付勢される少なくとも１つの掻き落とし部材を有する
清掃具。 The cleaning tool according to claim 1,
The cleaning tool includes at least one scraping member that is biased toward at least one of the pair of wall portions by the biasing portion. 請求項２に記載の清掃具において、
前記清掃部材は、前記付勢部により前記一対の壁部それぞれに向けて付勢される２つの掻き落とし部材を有する
清掃具。 The cleaning tool according to claim 2,
The said cleaning member is a cleaning tool which has two scraping members urged | biased by the said urging | biasing part toward each of a pair of said wall part. 請求項２又は３に記載の清掃具において、
前記掻き落とし部材は、板状に形成される
清掃具。 The cleaning tool according to claim 2 or 3,
The scraping member is a cleaning tool formed in a plate shape. 請求項１に記載の清掃具において、
前記清掃部材及び前記付勢部は、無端ベルト状に一体的に形成され、
前記清掃具は、前記スリット部に挿入する前において前記スリット部の幅よりも大きく、前記スリット部に挿入した後において前記一対の壁部に付勢される
清掃具。 The cleaning tool according to claim 1,
The cleaning member and the biasing portion are integrally formed in an endless belt shape,
The cleaning tool is larger than the width of the slit portion before being inserted into the slit portion, and is urged against the pair of wall portions after being inserted into the slit portion. 前記請求項１から５のいずれか１項に記載の清掃具と、
前記スリット部が延びる方向であるスリット方向に前記清掃具を移動させる移動部と、を備える清掃装置。 The cleaning tool according to any one of claims 1 to 5,
And a moving unit that moves the cleaning tool in a slit direction in which the slit portion extends. 請求項６に記載の清掃装置において、
前記スリット方向に交差する方向に延びる軸を中心に前記清掃具を回転させる回転部
を備える清掃装置。 The cleaning device according to claim 6,
A cleaning apparatus comprising a rotating unit that rotates the cleaning tool around an axis extending in a direction intersecting the slit direction.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN114834858A (en) * 2022-07-06 2022-08-02 山西戴德测控技术有限公司 Detection device for aramid fiber conveying belt

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