JP2013056787A - Method for manufacturing optical fiber preform - Google Patents

Method for manufacturing optical fiber preform Download PDF

Info

Publication number
JP2013056787A
JP2013056787A JP2011194996A JP2011194996A JP2013056787A JP 2013056787 A JP2013056787 A JP 2013056787A JP 2011194996 A JP2011194996 A JP 2011194996A JP 2011194996 A JP2011194996 A JP 2011194996A JP 2013056787 A JP2013056787 A JP 2013056787A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass
core
optical fiber
manufacturing
fiber preform
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2011194996A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masayuki Sakurai
雅之 櫻井
Yusuke Kubo
祐介 久保
Yuji Kaketa
裕二 掛田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP2011194996A priority Critical patent/JP2013056787A/en
Publication of JP2013056787A publication Critical patent/JP2013056787A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413—Reactant delivery systems
    • C03B37/0142—Reactant deposition burners
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00—Type of glass produced
    • C03B2201/06—Doped silica-based glasses
    • C03B2201/08—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
    • C03B2201/12—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant doped with fluorine
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2203/00—Fibre product details, e.g. structure, shape
    • C03B2203/10—Internal structure or shape details
    • C03B2203/22—Radial profile of refractive index, composition or softening point

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an optical fiber preform by which a high quality preform for a multimode optical fiber can be manufactured at a low cost.SOLUTION: There is provided the method for manufacturing the optical fiber preform G including a trench layer 13 having a refractive index lower than that of pure quartz and a thickness not exceeding the radius of a core 11 at the outside of the core 11 having a refractive index distribution of a graded index. Glass fine particles being the core 11 are deposited by a VAD method and then dehydrated and sintered to form a transparent core glass body G2. The core glass body G2 is drawn into a core glass rod G3, and at the outside of the core glass rod G3, glass fine particles are deposited by an OVD method using a fluorine-containing gas and then dehydrated and sintered, or at the outside of the core glass rod G3, glass fine particles are deposited by the OVD method and then dehydrated and sintered by a fluorine-containing gas to form a transparent glass body G4 including the trench layer 13. A cladding layer 14 is formed on the outer peripheral part of the transparent glass body G4.

Description

本発明は、光ファイバの母材となる光ファイバ母材の製造方法に関する。   The present invention relates to a method of manufacturing an optical fiber preform that is a preform of an optical fiber.

データセンター内の接続、ＬＡＮ接続あるいは車載ケーブル等に使用される光ファイバとして、曲げに強いマルチモード光ファイバ（ＭＭＦ）が用いられている。
このようなマルチモード光ファイバには、第１の半径およびプロファイル・アルファを有するコア領域と、第１の半径から第２の半径まで半径方向に延在する内側クラッドと、第２の半径から第３の半径まで半径方向に延在するトレンチと、第４の半径まで延在する外側クラッドとを備え、コア領域の最大屈折率、内側クラッドの屈折率、トレンチの屈折率、外側クラッドの屈折率が特定の値を有するものがある（例えば、特許文献１参照）。 As an optical fiber used for connection in a data center, LAN connection, in-vehicle cable, etc., a multi-mode optical fiber (MMF) resistant to bending is used.
Such a multimode optical fiber includes a core region having a first radius and a profile alpha, an inner cladding extending radially from the first radius to the second radius, and from the second radius to the second radius. A trench extending radially to a radius of 3 and an outer cladding extending to a fourth radius, the maximum refractive index of the core region, the refractive index of the inner cladding, the refractive index of the trench, the refractive index of the outer cladding Has a specific value (for example, see Patent Document 1).

また、外側光学クラッドで取り巻かれた光学コアを含むマルチモード光ファイバであって、光学コアが、アルファインデックス形屈折率分布を呈する中心コアと、中心コアの周縁にあって、外側光学クラッドに対する屈折率差を持つディプレスト・トレンチと、を含み、中心コアの直径が５０±３μｍの値を持ち、また、ディプレスト・トレンチの幅が０．５μｍ〜２μｍであり、さらに、外側光学クラッドに対するディプレスト・トレンチの屈折率差が−４×１０−３〜−１×１０−３であるようなマルチモード光ファイバも知られている（例えば、特許文献２参照）。 Also, a multimode optical fiber including an optical core surrounded by an outer optical cladding, the optical core being at the periphery of the central core exhibiting an alpha index type refractive index profile, and being refracted with respect to the outer optical cladding. A depressed core with a central core diameter of 50 ± 3 μm, a depressed trench width of 0.5 μm to 2 μm, and a depth with respect to the outer optical cladding. There is also known a multimode optical fiber in which the refractive index difference of the prestress trench is −4 × 10 −3 to −1 × 10 −3 (for example, see Patent Document 2).

さらに、クラッド部より高屈折率のコア部と、その周囲のクラッド部と、コア部を囲むように設けられクラッド部より低屈折率のトレンチ層とを有し、コア部は、クラッド部より高屈折率の材料からなる中央の第１コアと、第１コアの周りに、屈折率が第１コアと異なり、かつクラッド部より高屈折率の材料からなる第２コアとからなるマルチモード光ファイバも知られている（例えば、特許文献３参照）。   Furthermore, it has a core part having a higher refractive index than the cladding part, a surrounding cladding part, and a trench layer provided so as to surround the core part and having a lower refractive index than the cladding part, and the core part is higher than the cladding part. A multi-mode optical fiber comprising a central first core made of a material having a refractive index and a second core having a refractive index different from that of the first core and made of a material having a higher refractive index than that of the cladding portion around the first core. Is also known (see, for example, Patent Document 3).

また、勾配屈折率ガラスコア、およびコアを取り囲み、コアと接触したクラッドであって、クラッドが、コアを取り囲む屈折率の減少した環状部分を有し、屈折率の減少した環状部分が、複数の孔を有するガラスを含むものであるクラッド、を備えたマルチモード光ファイバも知られている（例えば、特許文献４参照）。   And a gradient refractive index glass core, and a clad surrounding the core and in contact with the core, wherein the clad has an annular portion with a reduced refractive index surrounding the core, and the annular portion with the reduced refractive index has a plurality of annular portions. A multimode optical fiber including a clad including glass having holes is also known (see, for example, Patent Document 4).

特開２０１０−７２６４７号公報JP 2010-72647 A 特開２０１１−８２４８号公報JP 2011-8248 A 特開２００６−７８５４３号公報JP 2006-78543 A 特表２０１０−５１５９４９号公報Special table 2010-515949

上記のようなマルチモード光ファイバ用の光ファイバ母材を製造する方法としては、中心のグレーデッドコアからトレンチ層までをＰＣＶＤ法またはＭＣＶＤ法（内付け法）で合成する方法がある。この方法は、例えば、トレンチ層となる屈折率を有するガラス管の内側に、徐々に屈折率が高くなるように、ゲルマニウム等の添加量を増やしてガラスを内付けしていくことにより、ガラス管の内側に、屈折率分布が放物線形状となるグレーデッドインデックス（ＧＩ）形のコアとなる部分を形成する。この方法では、内付けしても最後には中心孔が残るので、外側から加熱して中心孔を収縮させることにより、中心孔を埋めて中実化（コラプス）する。   As a method of manufacturing the optical fiber preform for the multimode optical fiber as described above, there is a method of synthesizing the center graded core to the trench layer by the PCVD method or the MCVD method (internal method). In this method, for example, the glass tube is internally added by increasing the addition amount of germanium or the like so that the refractive index gradually increases inside the glass tube having a refractive index to become a trench layer. A portion serving as a graded index (GI) core in which the refractive index distribution has a parabolic shape is formed. In this method, since the center hole remains at the end even if it is attached inside, the center hole is contracted by heating from the outside, so that the center hole is filled and solidified (collapsed).

ところが、このような内付け法による製造方法では、内付けするガラス管の径をあまり大きくできないため、光ファイバ母材のサイズを大きくすることができない。そのため、一つの光ファイバ母材を線引きして光ファイバを製造すると、通常の光ファイバ母材から線引きした場合よりも短い１００ｋｍ〜２００ｋｍ程度の換算長の光ファイバしか製造できず、製造コストが嵩んでしまう。   However, in such a manufacturing method using the internal method, the diameter of the glass tube to be attached cannot be increased so much that the size of the optical fiber preform cannot be increased. Therefore, when an optical fiber is manufactured by drawing one optical fiber preform, only an optical fiber having a conversion length of about 100 km to 200 km, which is shorter than the case of drawing from an ordinary optical fiber preform, can be manufactured. I'll be stuck.

また、マルチモード光ファイバ用の光ファイバ母材の他の製造方法として、ＯＶＤ法でグレーデッドインデックス形のコア部からトレンチ層までを合成する方法がある。この方法では、まず、バーナにガラス原料ガスとともにＧｅＣｌ４を供給してガラス微粒子を堆積させ、グレーデッドインデックス形のコア部のガラス微粒子堆積体を作製し、その周囲にトレンチ部となるガラス微粒子を堆積させる。 In addition, as another manufacturing method of the optical fiber preform for the multimode optical fiber, there is a method of synthesizing the graded index type core portion to the trench layer by the OVD method. In this method, first, glass fine particles are deposited by supplying GeCl 4 together with a glass raw material gas to a burner to prepare a glass fine particle deposit of a graded index core portion, and glass fine particles that become a trench portion are formed around it. Deposit.

ところで、トレンチ層を形成するためには、高濃度でフッ素を添加する必要があるが、ガラス微粒子堆積時にトレンチ層に局所的にフッ素を添加することは極めて困難であった。また、コア部とトレンチ層のガラス微粒子を堆積した後、脱水焼結時にフッ素を含むガス雰囲気にしてフッ素を添加しようとすると、グレーデッドインデックス形としたコア部で、屈折率を上げるＧｅＯ２と屈折率を下げるフッ素の共添加となって互いに相殺し、レイリー散乱損失が上がって伝送損失が増加してしまうとともに、フッ素とゲルマニウムの拡散により、コア部とトレンチ層との界面の屈折率プロファイルがぼやけてしまい、意図した屈折率分布からずれてしまう。また、グレーデッドインデックス形のコア部からトレンチ層の全域にフッ素を添加しなければならず、製造コストが嵩んでしまう。 By the way, in order to form the trench layer, it is necessary to add fluorine at a high concentration, but it is extremely difficult to locally add fluorine to the trench layer at the time of depositing the glass fine particles. Further, after depositing the glass particles of the core and the trench layer, when trying to add fluorine in a gas atmosphere containing fluorine at the time of dehydration sintering, GeO 2 that increases the refractive index in the graded index core Co-addition of fluorine that lowers the refractive index offsets each other, increasing Rayleigh scattering loss and increasing transmission loss, and diffusion of fluorine and germanium results in a refractive index profile at the interface between the core and the trench layer. It becomes blurred and deviates from the intended refractive index distribution. In addition, fluorine must be added from the graded index core to the entire trench layer, which increases the manufacturing cost.

本発明の目的は、低コストで高品質のマルチモード光ファイバ用の母材を製造することができる光ファイバ母材の製造方法を提供することにある。   The objective of this invention is providing the manufacturing method of the optical fiber preform which can manufacture the preform | base_material for high quality multimode optical fibers at low cost.

上記課題を解決することのできる本発明の光ファイバ母材の製造方法は、放物線状の屈折率分布を有するコア部の外側に、屈折率が純石英よりも低く、かつ前記コア部の半径を超えない厚さのトレンチ層を備える光ファイバ母材の製造方法であって、
前記コア部となるガラス微粒子をＶＡＤ法で堆積させた後に脱水及び焼結して透明なコアガラス体を製造するコアガラス体製造工程と、
前記コアガラス体を延伸してコアガラスロッドとする延伸工程と、
前記コアガラスロッドの外側にフッ素を含むガスを用いてＯＶＤ法でガラス微粒子を堆積させた後に脱水及び焼結する、または、前記コアガラスロッドの外側にＯＶＤ法でガラス微粒子を堆積させた後にフッ素を含むガスで脱水及び焼結することにより、トレンチ層を含む透明ガラス体とするトレンチ層形成工程と、
前記透明ガラス体の外周部にクラッド層を形成するクラッド層形成工程と、
を含むことを特徴とする。 The method of manufacturing an optical fiber preform of the present invention that can solve the above-described problem is that the refractive index is lower than that of pure quartz and the radius of the core portion is outside the core portion having a parabolic refractive index distribution. A method of manufacturing an optical fiber preform comprising a trench layer having a thickness not exceeding,
A core glass body manufacturing step of manufacturing a transparent core glass body by dehydrating and sintering after depositing glass fine particles to be the core portion by a VAD method;
A stretching step of stretching the core glass body to form a core glass rod;
The glass particles are deposited on the outside of the core glass rod by the OVD method and then dehydrated and sintered, or the glass particles are deposited on the outside of the core glass rod by the OVD method. A trench layer forming step to form a transparent glass body including a trench layer by dehydrating and sintering with a gas containing
A cladding layer forming step of forming a cladding layer on the outer periphery of the transparent glass body;
It is characterized by including.

本発明の光ファイバ母材の製造方法において、前記トレンチ層形成工程における前記ガラス微粒子の堆積時に前記コアガラスロッドの重量を測定し、前記測定された重量が所定重量となった際に前記ガラス微粒子の堆積を終了することが好ましい。   In the method of manufacturing an optical fiber preform according to the present invention, the weight of the core glass rod is measured when the glass particles are deposited in the trench layer forming step, and the glass particles are measured when the measured weight reaches a predetermined weight. It is preferable to finish the deposition.

本発明の光ファイバ母材の製造方法において、前記トレンチ層形成工程における前記ガラス微粒子の堆積時に、前記コアガラスロッドの長手方向各位置での外径を常時測定し、その測定結果に基づいて、長手方向にわたってガラス微粒子が均一に堆積するように、ガラス微粒子を生成するバーナへのガラス原料ガス供給量を制御することが好ましい。   In the manufacturing method of the optical fiber preform of the present invention, during the deposition of the glass fine particles in the trench layer forming step, always measure the outer diameter at each position in the longitudinal direction of the core glass rod, based on the measurement results, It is preferable to control the supply amount of the glass raw material gas to the burner that generates the glass fine particles so that the glass fine particles are uniformly deposited in the longitudinal direction.

本発明の光ファイバ母材の製造方法において、前記コアガラス体製造工程で、放物線状の屈折率分布を有する部分の外周に、実効的に添加剤を含まない所定厚の純石英の薄層を形成しておくことが好ましい。   In the method for manufacturing an optical fiber preform of the present invention, a pure silica thin layer having a predetermined thickness that effectively contains no additive is formed on the outer periphery of a portion having a parabolic refractive index distribution in the core glass body manufacturing step. It is preferable to form it.

本発明の光ファイバ母材の製造方法において、前記トレンチ層形成工程における堆積させたガラス微粒子の嵩密度を０．２ｇ／ｃｍ３以上０．５ｇ／ｃｍ３以下とすることが好ましい。 In the method for producing an optical fiber preform of the present invention, it is preferable that the bulk density of the glass fine particles deposited in the trench layer forming step is 0.2 g / cm 3 or more and 0.5 g / cm 3 or less.

本発明によれば、コア部となるガラス微粒子をＶＡＤ法で堆積した後に脱水及び焼結して、透明なコアガラス体を製造し、このコアガラス体を延伸させてコアガラスロッドとし、その後、ＯＶＤ法によってトレンチ層を容易に形成することができる。つまり、本発明によれば、光ファイバとした際にレイリー散乱損失が上がって伝送損失が増加することなく、意図した屈折率分布となる高品質な光ファイバ母材を、製造コストを極力抑えつつ容易に製造することができる。   According to the present invention, glass fine particles that become the core portion are deposited by the VAD method, and then dehydrated and sintered to produce a transparent core glass body, and the core glass body is stretched to form a core glass rod. The trench layer can be easily formed by the OVD method. In other words, according to the present invention, when an optical fiber is used, a high-quality optical fiber preform having an intended refractive index distribution can be suppressed as much as possible without increasing the Rayleigh scattering loss and increasing the transmission loss. It can be manufactured easily.

本実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法で製造する光ファイバ母材の構造及び屈折率分布を説明する図である。It is a figure explaining the structure and refractive index distribution of the optical fiber preform manufactured with the manufacturing method of the optical fiber preform concerning this embodiment. ＶＡＤ法によってガラス微粒子を堆積させる装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the apparatus which deposits glass particulates by VAD method. ＯＶＤ法によってガラス微粒子を堆積させる装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the apparatus which deposits glass particulates by OVD method.

以下、本発明に係る光ファイバ母材の製造方法の実施の形態の例を、図面を参照して説明する。
通信用の光ファイバとして、複数のモードを伝搬させるマルチモード光ファイバ（ＭＭＦ）が用いられている。マルチモード光ファイバの主な屈折率分布の種別は、ステップインデックス（ＳＩ）形と、グレーデッドインデックス（ＧＩ）形との２種類がある。
本実施形態の光ファイバ母材の製造方法では、上記のグレーデッドインデックスタイプのマルチモード光ファイバとなる光ファイバ母材を製造する。 Hereinafter, an example of an embodiment of a method for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention will be described with reference to the drawings.
A multimode optical fiber (MMF) that propagates a plurality of modes is used as an optical fiber for communication. There are two main types of refractive index distribution of the multimode optical fiber: a step index (SI) type and a graded index (GI) type.
In the method for manufacturing an optical fiber preform according to the present embodiment, an optical fiber preform that is the graded index type multimode optical fiber is manufactured.

図１に示すように、光ファイバ母材Ｇは、コア部１１を有している。このコア部１１は、その中心部が最も高い屈折率を有し、半径方向の外側に向かって次第に低屈折率になるグレーデッドインデックス形（放物線状）の屈折率分布を持っており、伝送する光信号の広がり（モード分散）を抑える構造となっている。また、このコア部１１には、その外周部分に薄層１２が設けられている。この薄層１２は、実効的に添加剤を含まない純石英からなるものであり、所定厚に形成されている。   As shown in FIG. 1, the optical fiber preform G has a core portion 11. The core portion 11 has a refractive index distribution of a graded index type (parabolic shape) in which the central portion has the highest refractive index, and gradually decreases toward the outer side in the radial direction. The optical signal spread (mode dispersion) is suppressed. Further, the core portion 11 is provided with a thin layer 12 on the outer peripheral portion thereof. The thin layer 12 is made of pure quartz that effectively contains no additive, and is formed to have a predetermined thickness.

また、コア部１１の外側には、屈折率が純石英よりも低く、かつコア部１１の半径を超えない厚さのトレンチ層１３を備えている。このトレンチ層１３を設けることにより、光ファイバとした際に、コア部１１から外部への光の漏れが防がれ、曲げによる伝送損失も抑えられる。このトレンチ層１３の外周側は、純石英からなるクラッド層１４とされている。   A trench layer 13 having a refractive index lower than that of pure quartz and having a thickness not exceeding the radius of the core portion 11 is provided outside the core portion 11. By providing the trench layer 13, when an optical fiber is used, leakage of light from the core portion 11 to the outside is prevented, and transmission loss due to bending is also suppressed. The outer peripheral side of the trench layer 13 is a clad layer 14 made of pure quartz.

上記の光ファイバ母材Ｇの一例を示すと、薄層１２及びクラッド層１４を構成する純石英の屈折率を基準とする比屈折率ΔＮが、コア部１１は＋０．９７％以上＋１．３０％以下であり、トレンチ層１３は−０．６０％以上−０．２５％以下である。また、光ファイバ母材Ｇの直径をＲとしたときに、コア部１１の直径は０．４０Ｒ以上０．６４Ｒ以下、薄層１２の厚さは０．００８Ｒ以上０．０２４Ｒ以下、トレンチ層１３の厚さは０．０２Ｒ以上０．１０Ｒ以下とされている。   As an example of the optical fiber preform G described above, the relative refractive index ΔN based on the refractive index of pure quartz constituting the thin layer 12 and the cladding layer 14 is + 0.97% or more and 1.30 in the core portion 11. %, And the trench layer 13 is −0.60% or more and −0.25% or less. Further, when the diameter of the optical fiber preform G is R, the diameter of the core portion 11 is 0.40R or more and 0.64R or less, the thickness of the thin layer 12 is 0.008R or more and 0.024R or less, and the trench layer 13 Is set to 0.02R or more and 0.10R or less.

上記のトレンチ層１３の厚さは、コア部１１の半径の１０％から３０％程度の範囲に相当する。このトレンチ層１３の厚さがコア部１１の半径の１０％に満たないと、光の漏れ防止や曲げ時における伝送損失の抑制効果が十分に得られなくなり、また、トレンチ層１３の厚さがコア部１１の半径の４０％を超えると、開口数（ＮＡ）が大きくなりすぎてしまう。
なお、薄層１２の厚さは０．００８Ｒ以上０．０２４Ｒ以下とされているが、これは、光ファイバ母材Ｇを線引きして光ファイバとしたときに、厚さが１μｍ以上３μｍ以下となるように設定されている。 The thickness of the trench layer 13 corresponds to a range of about 10% to 30% of the radius of the core portion 11. If the thickness of the trench layer 13 is less than 10% of the radius of the core portion 11, the effect of preventing light leakage and suppressing transmission loss during bending cannot be obtained sufficiently, and the thickness of the trench layer 13 is not sufficient. When it exceeds 40% of the radius of the core part 11, a numerical aperture (NA) will become large too much.
The thickness of the thin layer 12 is set to be 0.008R or more and 0.024R or less, but when the optical fiber preform G is drawn into an optical fiber, the thickness is 1 μm or more and 3 μm or less. It is set to be.

次に、上記構成の光ファイバ母材Ｇを製造する場合について説明する。
（コアガラス体製造工程）
まず、コアガラス体となるガラス微粒子堆積体Ｇ１をＶＡＤ法で形成する。具体的には、図２に示すように、支持装置２１に支持されて軸回りに回転する出発材２２に対して、反応容器２３内で斜め下方からバーナ２４の火炎を吹き付ける。このバーナ２４には、ガラス原料ガス（ＳｉＣｌ４，ＧｅＣｌ４）、燃焼ガス（Ｈ２）及び助燃ガス（Ｏ２）が供給される。そして、このバーナ２４から酸水素火炎による加水分解反応によって合成されるガラス微粒子を出発材２２に吹き付けながら軸方向へ移動させる。これにより、出発材２２に、ガラス微粒子を堆積させ、ガラス微粒子堆積体Ｇ１を製造する。このとき、バーナ２４の中心部の温度を高くすることにより、ＧｅＯ２の濃度分布を制御し、グレーデッドインデックス形の屈折率分布とする。 Next, the case where the optical fiber preform G having the above configuration is manufactured will be described.
(Core glass body manufacturing process)
First, a glass fine particle deposit G1 to be a core glass body is formed by the VAD method. Specifically, as shown in FIG. 2, the flame of the burner 24 is blown from below in the reaction vessel 23 against the starting material 22 supported by the support device 21 and rotating around the axis. The burner 24 is supplied with glass source gas (SiCl 4 , GeCl 4 ), combustion gas (H 2 ), and auxiliary combustion gas (O 2 ). Then, the glass fine particles synthesized by the hydrolysis reaction by the oxyhydrogen flame are blown from the burner 24 to the starting material 22 and moved in the axial direction. Thereby, glass particulates are deposited on the starting material 22, and the glass particulate deposit G1 is manufactured. At this time, the concentration distribution of GeO 2 is controlled by increasing the temperature at the center of the burner 24 to obtain a graded index type refractive index distribution.

また、このガラス微粒子堆積体Ｇ１におけるグレーデッドインデックス形の屈折率分布を有する部分の外周に、薄層１２となる実効的にゲルマニウムやフッ素等の添加剤を含まない所定厚の純石英の層を形成しておく。なお、この薄層１２となる純石英層は、ＶＡＤ法またはＯＶＤ法によって形成する。
その後、このガラス微粒子堆積体Ｇ１を、約１６時間程度の時間をかけて脱水及び焼結して透明化し、直径５０ｍｍ〜６０ｍｍ程度のコアガラス体Ｇ２とする。 Further, a pure quartz layer having a predetermined thickness that does not contain an additive such as germanium or fluorine, which effectively becomes a thin layer 12, is provided on the outer periphery of a portion having a graded index type refractive index distribution in the glass particulate deposit G1. Form it. Note that the pure quartz layer to be the thin layer 12 is formed by the VAD method or the OVD method.
Thereafter, the glass fine particle deposit G1 is dehydrated and sintered over a period of about 16 hours to be transparent, thereby obtaining a core glass body G2 having a diameter of about 50 mm to 60 mm.

（延伸工程）
コアガラス体Ｇ２を加熱して軟化させながら張力をかけることで軸方向に延伸し、直径２０ｍｍ〜４０ｍｍ程度のコアガラスロッドＧ３とする。 (Stretching process)
The core glass body G2 is stretched in the axial direction by applying tension while being softened by heating to obtain a core glass rod G3 having a diameter of about 20 mm to 40 mm.

（トレンチ層形成工程）
コアガラスロッドＧ３の外側にＯＶＤ法でトレンチ層１３を形成し、このコアガラスロッドＧ３を、トレンチ層１３を有する透明ガラス体Ｇ４とする。具体的には、図３に示すように、上下の支持装置３１に支持されて軸回りに回転するコアガラスロッドＧ３に対して、反応容器３３内で複数のバーナ３４の火炎を吹き付ける。これらのバーナ３４には、ガラス原料ガス（ＳｉＣｌ４）、燃焼ガス（Ｈ２）及び助燃ガス（Ｏ２）が供給される。そして、これらのバーナ３４から加水分解反応によって合成されるガラス微粒子をコアガラスロッドＧ３に吹き付けながら、バーナ３４に対してコアガラスロッドＧ３を軸方向へ相対的に往復移動させる。これにより、コアガラスロッドＧ３の周囲に、ガラス微粒子を層状に堆積させる。そして、ガラス微粒子の堆積後、脱水及び焼結して透明化させ、コアガラスロッドＧ３の外周にトレンチ層１３が形成された透明ガラス体Ｇ４とする。 (Trench layer formation process)
The trench layer 13 is formed on the outside of the core glass rod G3 by the OVD method, and this core glass rod G3 is a transparent glass body G4 having the trench layer 13. Specifically, as shown in FIG. 3, flames of a plurality of burners 34 are blown in the reaction vessel 33 against the core glass rod G3 that is supported by the upper and lower support devices 31 and rotates around the axis. These burners 34 are supplied with glass source gas (SiCl 4 ), combustion gas (H 2 ), and auxiliary combustion gas (O 2 ). Then, the core glass rod G3 is reciprocally moved in the axial direction relative to the burner 34 while spraying glass fine particles synthesized from these burners 34 by hydrolysis reaction onto the core glass rod G3. As a result, glass particles are deposited in a layer around the core glass rod G3. Then, after the glass fine particles are deposited, the glass is dehydrated and sintered to be transparent, and a transparent glass body G4 in which the trench layer 13 is formed on the outer periphery of the core glass rod G3 is obtained.

なお、このトレンチ層形成工程において、ガラス微粒子を堆積する時、または脱水及び焼結する時に、トレンチ層１３にフッ素を添加する。
ガラス微粒子を堆積する時にフッ素を添加するには、バーナ３４へ供給するガラス原料ガスに四フッ化炭素（ＣＦ４）ガスなどを添加する。 In this trench layer forming step, fluorine is added to the trench layer 13 when depositing glass particles or dehydrating and sintering.
In order to add fluorine when depositing glass particles, carbon tetrafluoride (CF 4 ) gas or the like is added to the glass raw material gas supplied to the burner 34.

なお、フッ素を添加してガラス微粒子を堆積することは可能であるが、トレンチの機能を実現する程度に低屈折率とされたトレンチ層１３を得るには、高濃度でフッ素を添加する必要があり、高濃度でフッ素を添加するのは一般的に難しい。したがって、このトレンチ層１３を形成する方法として、コアガラスロッドＧ３の外側にＯＶＤ法により純石英からなるガラス微粒子を堆積させた後に、フッ素を含むガスで脱水及び焼結して形成する方法を用いる方が好ましい。この場合、反応容器３３内に四フッ化ケイ素（ＳｉＦ４）、六フッ化硫黄（ＳＦ６）あるいは四フッ化炭素（ＣＦ４）うち何れかのガスを導入する。例えば、添加するガスが四フッ化ケイ素（ＳｉＦ４）ガスである場合、反応容器３３内の雰囲気を５％〜１５％程度のＳｉＦ４ガス濃度とするのが好ましい。 Although it is possible to deposit glass fine particles by adding fluorine, it is necessary to add fluorine at a high concentration in order to obtain the trench layer 13 having a refractive index low enough to realize the function of the trench. It is generally difficult to add fluorine at a high concentration. Therefore, as a method for forming the trench layer 13, a method is used in which glass fine particles made of pure quartz are deposited on the outside of the core glass rod G3 by the OVD method and then dehydrated and sintered with a gas containing fluorine. Is preferred. In this case, any gas of silicon tetrafluoride (SiF 4 ), sulfur hexafluoride (SF 6 ), or carbon tetrafluoride (CF 4 ) is introduced into the reaction vessel 33. For example, when the gas to be added is silicon tetrafluoride (SiF 4 ) gas, the atmosphere in the reaction vessel 33 is preferably set to a SiF 4 gas concentration of about 5% to 15%.

このトレンチ層１３を形成して透明ガラス体Ｇ４を製造する工程では、コアガラスロッドＧ３に堆積させたガラス微粒子の嵩密度が０．２ｇ／ｃｍ３以上０．５ｇ／ｃｍ３以下となるように、ガラス微粒子を堆積させる。バーナ３４に供給する燃焼ガス等の流量を調整することで火炎の温度等を調整し、ガラス微粒子が堆積した部分の嵩密度を調整することが可能である。堆積したガラス微粒子の嵩密度を０．２ｇ／ｃｍ３以上０．５ｇ／ｃｍ３以下とすれば、嵩密度が低すぎることによる割れ等の発生を抑制して取り扱い性を向上させることができ、また、嵩密度が高すぎることによってフッ素の添加量が不足するような不具合をなくすことができる。 In the process of manufacturing the transparent glass body G4 by forming the trench layer 13, the bulk density of the glass fine particles deposited on the core glass rod G3 is 0.2 g / cm 3 or more and 0.5 g / cm 3 or less. , Deposit glass particles. By adjusting the flow rate of the combustion gas or the like supplied to the burner 34, the temperature of the flame can be adjusted, and the bulk density of the portion where the glass particles are deposited can be adjusted. If the bulk density of the deposited glass fine particles is 0.2 g / cm 3 or more and 0.5 g / cm 3 or less, it is possible to suppress the occurrence of cracks and the like due to the bulk density being too low and improve the handleability. Moreover, the problem that the addition amount of fluorine is insufficient due to the bulk density being too high can be eliminated.

また、このトレンチ層１３を形成して透明ガラス体Ｇ４を製造する工程では、ガラス微粒子の堆積時に重量を測定し、トレンチ層１３の重量がロット間で同じになるように制御する。
トレンチ層１３を形成する前のコアガラスロッドＧ３の重量や長さや直径と、ガラス微粒子の堆積時に増加した分の重量から、トレンチ層１３となるガラス微粒子の堆積量を推定できる。具体的には、コアガラスロッドＧ３を支持する支持装置３１にロードセル等の重量計を設けておき、この重量計の測定結果が、予め定めた所定重量となった際に、ガラス微粒子の堆積を終了する。
このように、コアガラスロッドＧ３の重量を監視してガラス微粒子の堆積の終了タイミングを決定することにより、ロット間でのガラス微粒子堆積量の安定性を図ることができる。 Further, in the process of manufacturing the transparent glass body G4 by forming the trench layer 13, the weight is measured when the glass fine particles are deposited, and the weight of the trench layer 13 is controlled to be the same between lots.
From the weight, length, and diameter of the core glass rod G3 before the trench layer 13 is formed, and the weight increased when the glass fine particles are deposited, the amount of the glass fine particles to be the trench layer 13 can be estimated. Specifically, a weight meter such as a load cell is provided in the support device 31 that supports the core glass rod G3, and when the measurement result of the weight meter reaches a predetermined weight, the deposition of glass particles is performed. finish.
As described above, by monitoring the weight of the core glass rod G3 and determining the end timing of the deposition of the glass particles, it is possible to achieve stability of the amount of the glass particles deposited between lots.

また、このトレンチ層１３を形成して透明ガラス体Ｇ４を製造する工程では、長手方向にわたってガラス微粒子が均一に堆積するように制御する。
具体的には、コアガラスロッドＧ３の外径を測定する外径測定装置を長手方向の複数箇所に設けておき、これらの外径測定装置の測定結果に基づいて、各バーナ３４へガスを供給する流量調整装置（ＭＦＣ）３５を制御し、バーナ３４へのガラス原料ガスの供給量を制御する。
このように、コアガラスロッドＧ３の長手方向の各位置での外径を監視してバーナ３４への原料ガスの流量をフィードバック制御することにより、コアガラスロッドＧ３の長手方向におけるトレンチ層１３となるガラス微粒子の堆積量を均一化させて品質を高めることができる。 Further, in the step of forming the trench layer 13 to manufacture the transparent glass body G4, control is performed so that the glass particles are uniformly deposited over the longitudinal direction.
Specifically, an outer diameter measuring device for measuring the outer diameter of the core glass rod G3 is provided at a plurality of locations in the longitudinal direction, and gas is supplied to each burner 34 based on the measurement results of these outer diameter measuring devices. The flow rate adjusting device (MFC) 35 to be controlled is controlled, and the supply amount of the glass raw material gas to the burner 34 is controlled.
In this way, by monitoring the outer diameter at each position in the longitudinal direction of the core glass rod G3 and performing feedback control of the flow rate of the source gas to the burner 34, the trench layer 13 in the longitudinal direction of the core glass rod G3 is obtained. It is possible to improve the quality by uniformizing the amount of deposited glass particles.

（クラッド層形成工程）
透明ガラス体Ｇ４の外側にクラッド層１４を形成し、光ファイバ母材Ｇとする。具体的には、透明ガラス体Ｇ４の外周に、ＯＶＤ法によって実質的に添加剤を含まない純石英のガラス微粒子を堆積させ、その後、脱水及び焼結して透明化させて光ファイバ母材Ｇとする。 (Clad layer forming process)
A clad layer 14 is formed outside the transparent glass body G4 to obtain an optical fiber preform G. Specifically, pure silica glass particles substantially free of additives are deposited on the outer periphery of the transparent glass body G4 by the OVD method, and then dehydrated and sintered to make it transparent to make the optical fiber preform G. And

また、クラッド層１４を形成する工程においても、予め重量の目標値を設定しておき、支持装置３１の重量計の測定結果が所定重量となった際に、ガラス微粒子の堆積を終了する。これにより、長手方向にわたるクラッド層１４の厚さを制御し、ロット間でのガラス微粒子堆積量の安定性を図ることができる。   Also in the step of forming the clad layer 14, the target value of the weight is set in advance, and when the measurement result of the weighing scale of the support device 31 reaches a predetermined weight, the deposition of the glass fine particles is finished. Thereby, the thickness of the cladding layer 14 in the longitudinal direction can be controlled, and the stability of the amount of deposited glass particles between lots can be achieved.

また、このクラッド層１４を形成する工程においても、各外径測定装置の測定結果に基づいて、バーナ３４へのガラス原料ガスの供給量を制御する。これにより、コアガラスロッドＧ３の長手方向におけるクラッド層１４となるガラス微粒子の堆積量を均一化させて品質を高めることができる。
なお、クラッド層１４の形成は、ＯＶＤ法に限らず、ＶＡＤ法で行っても良い。 Also in the step of forming the cladding layer 14, the supply amount of the glass raw material gas to the burner 34 is controlled based on the measurement result of each outer diameter measuring device. Thereby, the deposition amount of the glass fine particles to be the clad layer 14 in the longitudinal direction of the core glass rod G3 can be made uniform to improve the quality.
The formation of the cladding layer 14 is not limited to the OVD method, and may be performed by the VAD method.

そして、このようにして製造した光ファイバ母材Ｇを線引きすれば、コア部１１において半径方向の外側に向かって次第に低屈折率になるグレーデッドインデックス形の屈折率分布を持ち、伝送する光信号の広がり（モード分散）が抑えられ、しかも、トレンチ層１３部分でコア部１１から外部への光の漏れが防がれ、曲げによる伝送損失も抑えられる光ファイバを製造することができる。   If the optical fiber preform G thus manufactured is drawn, the optical signal to be transmitted has a graded index-type refractive index distribution that gradually decreases in the radial direction toward the outer side in the core 11. In addition, it is possible to manufacture an optical fiber that suppresses the spread of light (mode dispersion), prevents leakage of light from the core portion 11 to the outside at the trench layer 13 portion, and suppresses transmission loss due to bending.

本実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法によれば、コア部１１となるガラス微粒子をＶＡＤ法で堆積した後に脱水及び焼結して、透明なコアガラス体Ｇ２を製造し、このコアガラス体Ｇ２を延伸してコアガラスロッドＧ３とし、その後、ＯＶＤ法によってトレンチ層１３を容易に形成することができる。つまり、本実施形態によれば、光ファイバとした際にレイリー散乱損失が上がって伝送損失が増加することなく、意図した屈折率分布となる高品質な光ファイバ母材Ｇを、製造コストを極力抑えつつ容易に製造することができる。   According to the method for manufacturing an optical fiber preform according to this embodiment, glass fine particles to be the core portion 11 are deposited by the VAD method, and then dehydrated and sintered to manufacture a transparent core glass body G2, and this core glass. The body G2 is stretched to form the core glass rod G3, and then the trench layer 13 can be easily formed by the OVD method. That is, according to this embodiment, when an optical fiber is used, a high-quality optical fiber preform G having an intended refractive index distribution without increasing the Rayleigh scattering loss and increasing the transmission loss can be produced as much as possible. It can be manufactured easily while suppressing.

しかも、ＶＡＤ法でコア部１１を作製するので、ガラス管に内付けするＭＣＶＤ法などに比べて大型の光ファイバ母材Ｇを低コストで製造でき、また、トレンチ層１３の屈折率等の構造を正確に制御することができる。しかも、中心孔を塞ぐ中実化（コラプス）を不要とすることができ、作業の簡略化とともに、中実化（コラプス）によるディップ（屈折率分布の乱れ）を抑えて高帯域の伝送特性に優れた光ファイバを製造することができる。   Moreover, since the core portion 11 is manufactured by the VAD method, a large-sized optical fiber preform G can be manufactured at a lower cost than the MCVD method attached to the glass tube, and the structure of the trench layer 13 such as the refractive index. Can be controlled accurately. Moreover, it is possible to eliminate the need for solidification (collapse) to close the center hole, simplifying the work, and suppressing dip (disturbance of refractive index distribution) due to solidification (collapsing) to achieve high-bandwidth transmission characteristics. An excellent optical fiber can be manufactured.

また、トレンチ層となるガラス管を用いる製造方法では、ガラス管を作るときの透明ガラスへの孔あけ工程や、ガラス管に内付けするときの内付け工程におけるバーナの酸水素火炎での加熱時に、ＯＨ基がガラス管に混入してしまうことがある。このようなトレンチ層となるガラス管を用いる方法と比較して、本実施形態では、ＶＡＤ法で作製したコア部１１を有するコアガラスロッドＧ３にＯＶＤ法でトレンチ層１３を形成するので、トレンチ層１３等へのＯＨ混入を抑制することができる。   Moreover, in the manufacturing method using the glass tube used as the trench layer, when heating with the oxyhydrogen flame of the burner in the drilling process to the transparent glass when making the glass tube or the internal process when attaching to the glass tube , OH groups may be mixed into the glass tube. In this embodiment, since the trench layer 13 is formed by the OVD method on the core glass rod G3 having the core part 11 manufactured by the VAD method, compared with the method using the glass tube as the trench layer, the trench layer It is possible to suppress OH mixing into 13 or the like.

また、コアガラス体製造工程で、グレーデッドインデックス形の屈折率分布を有するコア部１１の外周に、実効的に添加剤を含まない所定厚の純石英の薄層１２を形成しておくので、その後の工程でコア部１１へ影響を与えることなくトレンチ層１３を形成することができる。つまり、コアガラス体Ｇ２の外周部分を火炎によってエッチングなどを行って削ったとしても、グレーデッドインデックス形の屈折率分布を有するコア部１１への影響を極力抑えることができる。これにより、コア部１１における光の高帯域側の伝送周波数帯域が損なわれるような不具合をなくし、良好な伝送特性を得ることができる。   Further, in the core glass body manufacturing process, a thin layer 12 of pure quartz having a predetermined thickness that does not effectively contain an additive is formed on the outer periphery of the core portion 11 having a graded index type refractive index distribution. The trench layer 13 can be formed without affecting the core portion 11 in the subsequent steps. That is, even if the outer peripheral portion of the core glass body G2 is etched by a flame or the like, the influence on the core portion 11 having a graded index type refractive index distribution can be suppressed as much as possible. Thereby, the malfunction that the transmission frequency band of the high band side of the light in the core part 11 is impaired can be eliminated, and a favorable transmission characteristic can be obtained.

１１：コア部、１２：薄層、１３：トレンチ層、１４：クラッド層、３４：バーナ、Ｇ：光ファイバ母材、Ｇ２：コアガラス体、Ｇ３：コアガラスロッド、Ｇ４：透明ガラス体 11: Core part, 12: Thin layer, 13: Trench layer, 14: Clad layer, 34: Burner, G: Optical fiber preform, G2: Core glass body, G3: Core glass rod, G4: Transparent glass body

Claims (5)

放物線状の屈折率分布を有するコア部の外側に、屈折率が純石英よりも低く、かつ前記コア部の半径を超えない厚さのトレンチ層を備える光ファイバ母材の製造方法であって、
前記コア部となるガラス微粒子をＶＡＤ法で堆積させた後に脱水及び焼結して透明なコアガラス体を製造するコアガラス体製造工程と、
前記コアガラス体を延伸してコアガラスロッドとする延伸工程と、
前記コアガラスロッドの外側にフッ素を含むガスを用いてＯＶＤ法でガラス微粒子を堆積させた後に脱水及び焼結する、または、前記コアガラスロッドの外側にＯＶＤ法でガラス微粒子を堆積させた後にフッ素を含むガスで脱水及び焼結することにより、トレンチ層を含む透明ガラス体とするトレンチ層形成工程と、
前記透明ガラス体の外周部にクラッド層を形成するクラッド層形成工程と、
を含むことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 A method of manufacturing an optical fiber preform including a trench layer having a thickness lower than that of pure quartz and having a thickness not exceeding the radius of the core part outside the core part having a parabolic refractive index distribution,
A core glass body manufacturing step of manufacturing a transparent core glass body by dehydrating and sintering after depositing glass fine particles to be the core portion by a VAD method;
A stretching step of stretching the core glass body to form a core glass rod;
The glass particles are deposited on the outside of the core glass rod by the OVD method and then dehydrated and sintered, or the glass particles are deposited on the outside of the core glass rod by the OVD method. A trench layer forming step to form a transparent glass body including a trench layer by dehydrating and sintering with a gas containing
A cladding layer forming step of forming a cladding layer on the outer periphery of the transparent glass body;
An optical fiber preform manufacturing method comprising: 請求項１に記載の光ファイバ母材の製造方法であって、
前記トレンチ層形成工程における前記ガラス微粒子の堆積時に前記コアガラスロッドの重量を測定し、前記測定された重量が所定重量となった際に前記ガラス微粒子の堆積を終了することを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 It is a manufacturing method of the optical fiber preform according to claim 1,
An optical fiber characterized by measuring the weight of the core glass rod during the deposition of the glass particulates in the trench layer forming step, and terminating the deposition of the glass particulates when the measured weight reaches a predetermined weight. A manufacturing method of a base material. 請求項１または２に記載の光ファイバ母材の製造方法であって、
前記トレンチ層形成工程における前記ガラス微粒子の堆積時に、前記コアガラスロッドの長手方向各位置での外径を常時測定し、その測定結果に基づいて、長手方向にわたってガラス微粒子が均一に堆積するように、ガラス微粒子を生成するバーナへのガラス原料ガス供給量を制御することを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 It is a manufacturing method of the optical fiber preform according to claim 1 or 2,
During the deposition of the glass particulates in the trench layer forming step, the outer diameter at each position in the longitudinal direction of the core glass rod is always measured, and based on the measurement result, the glass particulates are deposited uniformly over the longitudinal direction. A method for producing an optical fiber preform, which controls the amount of glass raw material gas supplied to a burner that produces glass particles. 請求項１から３の何れか一項に記載の光ファイバ母材の製造方法であって、
前記コアガラス体製造工程で、放物線状の屈折率分布を有する部分の外周に、実効的に添加剤を含まない所定厚の純石英の薄層を形成しておくことを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 An optical fiber preform manufacturing method according to any one of claims 1 to 3,
In the core glass body manufacturing step, a thin layer of pure quartz having a predetermined thickness that does not effectively contain an additive is formed on the outer periphery of a portion having a parabolic refractive index distribution. A method of manufacturing the material. 請求項１から４の何れか一項に記載の光ファイバ母材の製造方法であって、
前記トレンチ層形成工程における堆積させたガラス微粒子の嵩密度を０．２ｇ／ｃｍ３以上０．５ｇ／ｃｍ３以下とすることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法。 A method for producing an optical fiber preform according to any one of claims 1 to 4,
The method for producing an optical fiber preform, wherein the bulk density of the glass particles deposited in the trench layer forming step is 0.2 g / cm 3 or more and 0.5 g / cm 3 or less.
JP2011194996A 2011-09-07 2011-09-07 Method for manufacturing optical fiber preform Withdrawn JP2013056787A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011194996A JP2013056787A (en) 2011-09-07 2011-09-07 Method for manufacturing optical fiber preform

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011194996A JP2013056787A (en) 2011-09-07 2011-09-07 Method for manufacturing optical fiber preform

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2013056787A true JP2013056787A (en) 2013-03-28

Family

ID=48133015

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011194996A Withdrawn JP2013056787A (en) 2011-09-07 2011-09-07 Method for manufacturing optical fiber preform

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2013056787A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016210651A (en) * 2015-05-08 2016-12-15 住友電気工業株式会社 Coated optical fiber
JP2017007896A (en) * 2015-06-23 2017-01-12 住友電気工業株式会社 Optical fiber and optical fiber tape core wire
JP2017043512A (en) * 2015-08-26 2017-03-02 株式会社フジクラ Optical fiber preform manufacturing method, optical fiber manufacturing method, and lens manufacturing method
CN114966958A (en) * 2022-04-18 2022-08-30 武汉睿芯特种光纤有限责任公司 Homogenized optical fiber and preparation method thereof

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016210651A (en) * 2015-05-08 2016-12-15 住友電気工業株式会社 Coated optical fiber
JP2017007896A (en) * 2015-06-23 2017-01-12 住友電気工業株式会社 Optical fiber and optical fiber tape core wire
JP2017043512A (en) * 2015-08-26 2017-03-02 株式会社フジクラ Optical fiber preform manufacturing method, optical fiber manufacturing method, and lens manufacturing method
CN114966958A (en) * 2022-04-18 2022-08-30 武汉睿芯特种光纤有限责任公司 Homogenized optical fiber and preparation method thereof
CN114966958B (en) * 2022-04-18 2024-03-15 武汉睿芯特种光纤有限责任公司 Homogenized optical fiber and method for making same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107850728B (en) Optical fiber with large effective area and low bending loss
JP5636151B2 (en) Multi-wavelength, multimode optical fiber
JP5695025B2 (en) Optical fiber preform manufacturing method
JP6129270B2 (en) Bending resistant multimode optical fiber
JPWO2003086997A1 (en) Optical fiber preform manufacturing method, optical fiber manufacturing method, and optical fiber
CN111320376B (en) Optical fiber preform and method for manufacturing the same
US20080260339A1 (en) Manufacture of depressed index optical fibers
JP2013109350A (en) Multimode optical fiber
CN108885303B (en) Optical fiber and method for manufacturing the same
US11577984B2 (en) Method for manufacturing optical fiber preform, optical fiber preform, method for manufacturing optical fiber, and optical fiber
JP6079114B2 (en) Multimode optical fiber
JP2013056787A (en) Method for manufacturing optical fiber preform
CN111320374B (en) Optical fiber preform and method for manufacturing the same
CN103955020B (en) Low-loss large-effective-area single-mode optical fiber and manufacturing method thereof
CN209989258U (en) Optical fiber preform
JP2012171802A (en) Method for producing optical fiber preform
US20200361809A1 (en) Method of manufacturing an optical fiber using axial tension control to reduce axial variations in optical properties
JP2003206152A (en) Optical fiber, optical fiber preform and manufacturing methods for these
JP7195703B2 (en) Burner for synthesizing porous body and method for producing porous body
CN113716861A (en) Method for preparing bending insensitive optical fiber by external gas phase deposition method
CN105334568A (en) Low-loss large-effective-area single-mode optical fiber and optical fiber preform manufacturing method thereof
CN205263346U (en) Single -mode fiber low in loss and high in effective area
JP3343079B2 (en) Optical fiber core member, optical fiber preform, and method of manufacturing the same
JP2017043512A (en) Optical fiber preform manufacturing method, optical fiber manufacturing method, and lens manufacturing method
JP3953855B2 (en) Method for producing porous base material

Legal Events

Date Code Title Description
RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20121228

A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20141202