JP2013029399A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013029399A JP2013029399A JP2011165218A JP2011165218A JP2013029399A JP 2013029399 A JP2013029399 A JP 2013029399A JP 2011165218 A JP2011165218 A JP 2011165218A JP 2011165218 A JP2011165218 A JP 2011165218A JP 2013029399 A JP2013029399 A JP 2013029399A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection
- laser
- inspection object
- irradiated
- lasers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
【解決手段】検査対象物Mの表面に衝撃波を生じさせる加熱用レーザー1と、前記衝撃波を検出する検出用レーザー2を備える。この検出用レーザー2は、第一検出用レーザー2aと第二検出用レーザー2bに分岐され、両検出用レーザー2a、2bは、検査対象物Mの異なる位置にそれぞれ照射される。また、第一検出用レーザー2a照射位置に加熱用レーザー1が照射される。検査対象物Mと測定装置が相対的に振動しても、両検出用レーザー2a、2bがともに検査対象物Mに照射されるため、前記振動が相殺されて、両検出用レーザー2a、2bによって形成された干渉縞が変位することなく安定する。このため、前記衝撃波に伴う干渉縞の変位を精度良く測定することができ、検査対象物M中の内部欠陥Vを高感度に検出することができる。
【選択図】図1
Description
2 検出用レーザー
2a 第一検出用レーザー
2b 第二検出用レーザー
3、4 偏光ビームスプリッタ
5、9 1/4波長板
6、10 ミラー
7 レンズ
8、11 ハーフミラー
12 干渉光路
13 1/2波長板
14 スペイシャルフィルタ(ノイズ低減素子)
15 レンズ
16 ピンホール
17 光検出器
18 干渉縞
ch1、ch2、ch3 検出チャンネル
U1、U2、U3 (各検出チャンネルにおける干渉縞の)強度
V 内部欠陥
M 検査対象物
Claims (4)
- 検査対象物(M)の表面に衝撃波を生じさせる加熱用レーザー(1)と、この加熱用レーザー(1)によって前記検査対象物(M)に生じた衝撃波を検出する検出用レーザー(2)と、前記表面によって反射された検出用レーザー(2)を検出する光検出器(17)とを備え、
前記検出用レーザー(2)を、第一検出用レーザー(2a)と第二検出用レーザー(2b)の二つに分岐して、前記表面の異なる位置にそれぞれ照射し、前記表面によって反射された前記第一及び第二検出用レーザー(2a、2b)を干渉光路(12)に導いて干渉させた干渉縞(18)の変位を前記光検出器(17)で検出して前記検査対象物(M)内の欠陥の有無を判定する欠陥検査装置。 - 前記加熱用レーザー(1)を、前記第一検出用レーザー(2a)と同一の箇所に照射するようにした請求項1に記載の欠陥検査装置。
- 前記光検出器(17)が、前記干渉縞(18)の明暗変化方向に並ぶ複数の検出チャンネルを有し、そのうちの二つの検出チャンネル(ch1、ch3)が、前記明暗変化方向への明暗変化の周期の1/2の間隔をもって配置されており、前記間隔で配置された両検出チャンネル(ch1、ch3)で検出した受光強度(U1、U3)の差が所定の閾値以下となったタイミングで、前記加熱用レーザー(1)を照射するようにした請求項1又は2に記載の欠陥検査装置。
- 前記干渉光路(12)に、前記表面によって反射された第一及び第二検出用レーザー(2a、2b)中のスペックルノイズを低減するノイズ低減素子(14)を設けた請求項1から3のいずれか一つに記載の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011165218A JP5847476B2 (ja) | 2011-07-28 | 2011-07-28 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011165218A JP5847476B2 (ja) | 2011-07-28 | 2011-07-28 | 欠陥検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013029399A true JP2013029399A (ja) | 2013-02-07 |
JP5847476B2 JP5847476B2 (ja) | 2016-01-20 |
Family
ID=47786572
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011165218A Expired - Fee Related JP5847476B2 (ja) | 2011-07-28 | 2011-07-28 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5847476B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019189429A1 (ja) | 2018-03-27 | 2019-10-03 | 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 | 計測装置、計測システム、移動体、および計測方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58131557A (ja) * | 1982-01-12 | 1983-08-05 | Nippon Steel Corp | 超音波の非接触測定法 |
JPS622153A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レ−ザ照射による欠陥検査法 |
JPH0235351A (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-05 | Ngk Insulators Ltd | 不良碍子の検出装置 |
JP2009030996A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-12 | Laser Gijutsu Sogo Kenkyusho | 干渉縞安定化装置およびそれを用いた非破壊検査装置 |
-
2011
- 2011-07-28 JP JP2011165218A patent/JP5847476B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58131557A (ja) * | 1982-01-12 | 1983-08-05 | Nippon Steel Corp | 超音波の非接触測定法 |
JPS622153A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-01-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | レ−ザ照射による欠陥検査法 |
JPH0235351A (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-05 | Ngk Insulators Ltd | 不良碍子の検出装置 |
JP2009030996A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-12 | Laser Gijutsu Sogo Kenkyusho | 干渉縞安定化装置およびそれを用いた非破壊検査装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019189429A1 (ja) | 2018-03-27 | 2019-10-03 | 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 | 計測装置、計測システム、移動体、および計測方法 |
US11674933B2 (en) | 2018-03-27 | 2023-06-13 | National Institutes For Quantum And Radiological Science And Technology | Measuring device, measuring system, moving body, and measuring method |
US11913910B2 (en) | 2018-03-27 | 2024-02-27 | National Institutes For Quantum And Radiological Science And Technology | Measuring device, measuring system, moving body, and measuring method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5847476B2 (ja) | 2016-01-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7397596B2 (en) | Surface and subsurface detection sensor | |
JP5095289B2 (ja) | 干渉縞安定化装置およびそれを用いた非破壊検査装置 | |
US7888620B2 (en) | Reducing coherent crosstalk in dual-beam laser processing system | |
TW201441578A (zh) | 用於檢測物件的三維結構的設備 | |
US5814730A (en) | Material characteristic testing method and apparatus using interferometry to detect ultrasonic signals in a web | |
JP2005147813A (ja) | レーザ超音波による材料非破壊検査方法及び装置 | |
KR101447392B1 (ko) | 금속 조직 및 재질의 계측 장치 및 계측 방법 | |
JP2017215225A5 (ja) | ||
JP5847476B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP4439363B2 (ja) | レーザ超音波を利用したオンライン結晶粒径測定装置及び測定方法 | |
JP5451267B2 (ja) | 偏光変調を用いる干渉計 | |
JP2016528495A (ja) | 回転検出装置 | |
US8134715B2 (en) | Adjustable interferometer for laser ultrasonic measurement | |
JP2009008421A (ja) | 形状測定装置 | |
JP2006064451A (ja) | 干渉計 | |
JP3920218B2 (ja) | 表面検査装置 | |
JP2019095419A (ja) | レーザ励起超音波発生装置、レーザ超音波検査装置、及びレーザ超音波検査方法 | |
JPH11337321A (ja) | 位相シフト干渉縞の同時計測方法及び装置 | |
JP2006078494A (ja) | トカマク装置の電子密度測定用偏光計 | |
US9417050B2 (en) | Tracking type laser interferometer for objects with rotational degrees of freedom | |
JP2010266315A (ja) | 光熱変換測定装置及び光熱変換測定方法 | |
JPH0742087Y2 (ja) | 光学式表面粗さ測定装置 | |
KR100588532B1 (ko) | 반사형 광검지기를 이용한 초음파 측정장치 | |
CN113984894A (zh) | 一种基于双波混频的激光超声无损检测装置及其方法 | |
JP2003329422A (ja) | 形状測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140630 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20140630 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150324 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150325 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151027 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5847476 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |