JP2013022676A - レーザ光振れ量検出装置、変位測定装置、光学素子成形用金型の製造方法及び光学素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の偏光ビームスプリッタ4は、レーザ光源1から出射されたレーザ光2aを、第1の直線偏光成分2bと第2の直線偏光成分2cとに分割する。光学系3は、第1の直線偏光成分2bの振れ方向と第2の直線偏光成分2cの振れ方向とが互いに直交するように第1の直線偏光成分2b及び第2の直線偏光成分2cのうち少なくとも一方の直線偏光成分を光軸まわりに回転させて合成光とする。遮光部材8は、先端8aを合成光に突出させて合成光の一部を遮光する。第2の偏光ビームスプリッタ9は、遮光部材8で遮光されずに通過した通過光を、第1の直線偏光成分2bと第2の直線偏光成分2cとに分割する。各受光素子10a,10bは、偏光ビームスプリッタ9で分割されたそれぞれの直線偏光成分の光量を測定する。演算部12は、測定結果に基づきレーザ光2aの振れ量を求める。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係るレーザ光振れ量検出装置の概略構成を示す説明図である。図1に示すレーザ光振れ量検出装置100は、レーザ光源1から出射されたレーザ光2aの光軸(図1ではY軸)に直交し且つ互いに直交する2方向(図1ではX軸方向及びZ軸方向)の、レーザ光2aの振れ量を検出するものである。
次に、本発明の第2実施形態に係る変位測定装置について説明する。図4は、本発明の第2実施形態に係る変位測定装置の概略構成を示す説明図である。なお、図4に示す本第2実施形態の変位測定装置200において、上記第1実施形態と同様の構成については、同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
Claims (7)
- レーザ光源から出射されたレーザ光の光軸に直交し且つ互いに直交する2方向の、レーザ光の振れ量を検出するレーザ光振れ量検出装置において、
前記レーザ光源から出射されたレーザ光を、第1の直線偏光成分と、偏光方向が前記第1の直線偏光成分に直交する第2の直線偏光成分とに分割する第1の偏光ビームスプリッタと、
前記第1の直線偏光成分の振れ方向と前記第2の直線偏光成分の振れ方向とが互いに直交するように前記第1の直線偏光成分及び前記第2の直線偏光成分のうち少なくとも一方の直線偏光成分を光軸まわりに回転させ、前記第1の直線偏光成分の偏光方向と前記第2の直線偏光成分の偏光方向とを直交させた状態で前記第1の直線偏光成分と前記第2の直線偏光成分とを重ね合わせる光学系と、
前記光学系により得られた合成光に含まれる互いに直交する振れ方向の2つの光成分のうち一方の光成分の振れ方向と平行な方向に延びるように形成された先端を有し、前記先端を前記合成光に突出させて前記合成光の一部を遮光するように配置された遮光部材と、
前記遮光部材で遮光されずに通過した通過光を、前記第1の直線偏光成分と、前記第2の直線偏光成分とに分割する第2の偏光ビームスプリッタと、
前記第2の偏光ビームスプリッタにより分割された前記第1の直線偏光成分の光量を測定する第1の受光素子と、
前記第2の偏光ビームスプリッタにより分割された前記第2の直線偏光成分の光量を測定する第2の受光素子と、
前記第1の受光素子により測定された光量から前記2方向のうちの一方向の振れ量を求めると共に、前記第2の受光素子により測定された光量から前記2方向のうちの他方向の振れ量を求める演算手段と、を備えたことを特徴とするレーザ光振れ量検出装置。 - 前記遮光部材の位置に前記合成光を集光させる集光レンズを備えたことを特徴とする請求項1に記載のレーザ光振れ量検出装置。
- 前記遮光部材は、前記レーザ光源から出射されたレーザ光に振れがない状態で前記合成光の半分を遮光する位置に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ光振れ量検出装置。
- レーザ光源と、
前記レーザ光源と被測定物との間に配置され、前記レーザ光源から出射されたレーザ光の振れを補正するための反射部材と、
前記反射部材を駆動する駆動源と、
前記反射部材で反射され、前記被測定物で遮光されずに通過したレーザ光を受光する第3の受光素子と、
前記第3の受光素子の出力変化により前記被測定物の変位を測定する測定手段と、
請求項1乃至3のいずれか1項に記載のレーザ光振れ量検出装置と、
前記レーザ光振れ量検出装置の演算手段の演算により得られた前記2方向の振れ量を補償するように前記駆動源を動作させる補正手段と、を備えたことを特徴とする変位測定装置。 - 前記被測定物は切削工具の刃先であることを特徴とする請求項4記載の変位測定装置。
- 加工プログラムにより切削工具の刃先と金型とを相対移動させて前記金型を切削加工する光学素子成形用金型の製造方法であって、
請求項5に記載の変位測定装置により測定した切削工具の刃先の形状から前記加工プログラムを作成し、作成した前記加工プログラムにより前記切削工具と前記金型とを相対移動させて前記金型を切削加工することを特徴とする光学素子成形用金型の製造方法。 - 請求項6に記載の金型の製造方法により製造された金型を用いて成形されたことを特徴とする光学素子。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011159246A JP5858670B2 (ja) | 2011-07-20 | 2011-07-20 | レーザ光振れ量検出装置、変位測定装置及び光学素子成形用金型の製造方法 |
US13/543,002 US8867036B2 (en) | 2011-07-20 | 2012-07-06 | Laser light deflection amount detecting apparatus, displacement measuring apparatus, method for manufacturing mold for molding optical element, and optical element |
EP12176061A EP2549223A1 (en) | 2011-07-20 | 2012-07-12 | Laser light deflection amount detecting apparatus, displacement measuring apparatus, method for manufacturing mold for molding optical element, and optical element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011159246A JP5858670B2 (ja) | 2011-07-20 | 2011-07-20 | レーザ光振れ量検出装置、変位測定装置及び光学素子成形用金型の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013022676A true JP2013022676A (ja) | 2013-02-04 |
JP5858670B2 JP5858670B2 (ja) | 2016-02-10 |
Family
ID=46650362
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011159246A Expired - Fee Related JP5858670B2 (ja) | 2011-07-20 | 2011-07-20 | レーザ光振れ量検出装置、変位測定装置及び光学素子成形用金型の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8867036B2 (ja) |
EP (1) | EP2549223A1 (ja) |
JP (1) | JP5858670B2 (ja) |
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US9606234B2 (en) * | 2013-10-18 | 2017-03-28 | Tramontane Technologies, Inc. | Amplified optical circuit |
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CN101261139B (zh) | 2008-03-26 | 2010-07-21 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种阵列微梁单元偏角测量*** |
-
2011
- 2011-07-20 JP JP2011159246A patent/JP5858670B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-07-06 US US13/543,002 patent/US8867036B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5858670B2 (ja) | 2016-02-10 |
US8867036B2 (en) | 2014-10-21 |
EP2549223A1 (en) | 2013-01-23 |
US20130023399A1 (en) | 2013-01-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20130228 |
|
A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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