JP2013015031A - Positive-displacement pump - Google Patents

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Shinsuke Takahashi
紳祐 高橋
Takeshi Ozawa
健 小澤
Kenji Muramatsu
健次 村松
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a positive-displacement pump that efficiently suppresses power consumption of an electromagnetic linear actuator without reducing the propulsive force to be transmitted to a movable body.SOLUTION: In the positive-displacement pump 1, an electromagnetic linear actuator 3 includes a drive coil 38 wound around a shaft 371 extending parallel to a linear-motion direction (a vertical direction) of a moving body 33 in a yoke 37, and meanwhile, the moving body 33 has a magnet 331 having magnetic pole faces 331a, 331b and the magnet 331 that is parallel to a moving direction of the moving body. Further, first/second projections 372, 373 are respectively provided at both ends of the yoke 37 which extends in the moving direction of the moving body 33. The thrust of the moving body 33 is transmitted to a diaphragm 12 via a booster mechanism 7.

Description

本発明は、ポンプ室の容量を変化させるための可動体を電磁式直動アクチュエータによって駆動する容積型ポンプに関するものである。   The present invention relates to a positive displacement pump in which a movable body for changing the capacity of a pump chamber is driven by an electromagnetic linear actuator.

ポンプ室の容積を拡大してポンプ室内に流体を吸引し、ポンプ室の容積を縮小することにより、吸引した流体をポンプ室から吐出する容積型ポンプが知られている。このような容積型ポンプは、ポンプ室の容積を変化させるためのダイヤフラム等の可動体と、可動体を往復動させる電磁式直動アクチュエータを有している(特許文献1参照)。   A positive displacement pump that discharges the sucked fluid from the pump chamber by expanding the volume of the pump chamber to suck the fluid into the pump chamber and reducing the volume of the pump chamber is known. Such a positive displacement pump has a movable body such as a diaphragm for changing the volume of the pump chamber, and an electromagnetic linear actuator that reciprocates the movable body (see Patent Document 1).

かかる特許文献1に記載の容積型ポンプにおいて、電磁式直動アクチュエータは、筒状の駆動コイルと、駆動コイルの内側に挿入された磁性材料からなる移動体と、駆動コイルの軸線方向の両側に配置されたマグネットとを備えている。従って、駆動コイルへの給電が行なわれると、駆動コイルおよび移動体が電磁コイルとして機能して、電磁コイルとマグネットの吸引力または反発力によって移動体が軸線方向へ移動する。可動体は移動体に連結されており、移動体の移動によって変位しポンプ室の容積を変化させる。そして、駆動コイルへの給電が停止すると、移動体は、駆動コイルの軸線方向の両側に配置されたマグネットとの磁気的な吸引力によって、第1位置または第1位置から移動体の直動方向で離間している第2位置に保持される。   In the positive displacement pump described in Patent Document 1, the electromagnetic linear actuator includes a cylindrical drive coil, a moving body made of a magnetic material inserted inside the drive coil, and both sides of the drive coil in the axial direction. And an arranged magnet. Therefore, when power is supplied to the drive coil, the drive coil and the moving body function as an electromagnetic coil, and the moving body moves in the axial direction by the attractive force or repulsive force of the electromagnetic coil and the magnet. The movable body is connected to the moving body and is displaced by the movement of the moving body to change the volume of the pump chamber. When power supply to the drive coil is stopped, the moving body is moved from the first position or the first position to the linear movement direction of the moving body by a magnetic attractive force with the magnets arranged on both sides in the axial direction of the drive coil. Is held at the second position separated from each other.

特開2005−163547号公報JP 2005-163547 A

容積型ポンプには、電磁式直動アクチュエータでの消費電力を低く抑えることが求められているが、特許文献1に記載の構成では、可動体に伝達する推進力を低下させずに電磁式直動アクチュエータの消費電力を抑えることが困難である。   The positive displacement pump is required to reduce the power consumption of the electromagnetic linear actuator, but in the configuration described in Patent Document 1, the electromagnetic linear actuator is not reduced without reducing the propulsive force transmitted to the movable body. It is difficult to suppress the power consumption of the dynamic actuator.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、可動体に伝達する推進力を低下させずに効率よく電磁式直動アクチュエータの消費電力を抑えることができる容積型ポンプを提供することにある。   In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a positive displacement pump that can efficiently suppress the power consumption of an electromagnetic linear actuator without reducing the propulsive force transmitted to the movable body. .

上記の課題を解決するために、本発明は、ポンプ室と、該ポンプ室の容積を規定する可動体と、該可動体を前記ポンプ室の容積が変化する方向に駆動する電磁式直動アクチュエータと、を有する容積型ポンプであって、前記電磁式直動アクチュエータは、アクチュエータケースと、該アクチュエータケースによって直動可能に支持されている移動体と、磁極面が前記移動体の移動方向に平行になるように前記移動体に取り付けられたマグネットと、前記移動体の移動方向に沿って延在するように前記アクチュエータケースに固定されたヨークと、前記ヨークに巻回された駆動コイルと、を有し、前記ヨークは、前記移動体が直動方向における第1位置に位置するときに前記マグネットとのギャップが最小になる第1突部と、前記直動方向において前記第1位置と異なる第2位置に前記移動体が位置するときに前記マグネットとのギャップが最小になる第2突部とを備え、前記移動体と前記可動体との間には、前記移動体の推力を倍力して前記可動体に伝達する倍力機構が設けられていることを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, the present invention provides a pump chamber, a movable body that defines the volume of the pump chamber, and an electromagnetic linear actuator that drives the movable body in a direction in which the volume of the pump chamber changes. The electromagnetic linear actuator includes an actuator case, a movable body supported by the actuator case so as to be linearly movable, and a magnetic pole surface parallel to the moving direction of the movable body. A magnet attached to the moving body so as to become, a yoke fixed to the actuator case so as to extend along a moving direction of the moving body, and a drive coil wound around the yoke, And the yoke includes a first protrusion that minimizes a gap with the magnet when the movable body is positioned at a first position in the linear motion direction, and a yoke in the linear motion direction. And a second protrusion that minimizes a gap with the magnet when the moving body is located at a second position different from the first position, and between the moving body and the movable body, A booster mechanism that boosts the thrust of the moving body and transmits the boosted force to the movable body is provided.

本発明では、電磁式直動アクチュエータを励磁すると、駆動コイルを流れる励磁電流の向きとマグネットの磁界の方向とが直交してローレンツ力が発生する。ここで、ローレンツ力を利用すれば、駆動コイルおよびヨークを電磁コイル(電磁石)として機能させて移動体および可動体の推力を得る場合と比較して小さな励磁電流で所望の推力を得ることができる。また、駆動コイルはヨークに巻回されているので、電磁式直動アクチュエータを励磁すると、駆動コイルおよびヨークは電磁コイル(電磁石)として機能する。ここで、ヨークは、第1位置に位置するときにマグネットとのギャップが最小になる第1突部と、第2位置に移動体が位置するときにマグネットとのギャップが最小になる第2突部とを備えている。このため、電磁コイルとマグネットとの間に電磁的な吸引力や電磁的な反発力が発生する。この結果、ローレンツ力と、電磁的な吸引力または電磁的な反発力とを可動体の推力として利用することができるので、駆動コイルに供給する励磁電流を小さくできる。また、移動体の推力は、倍力機構を介して可動体に伝達され、ポンプ室の容積を変化させる。このため、移動体に付与する推力が比較的小さくても、可動体を変位させることができるので、効率よく電磁式直動アクチュエータでの消費電力を低く抑えることができるとともに、電磁式直動アクチュエータの小型化を図ることができる。   In the present invention, when the electromagnetic linear actuator is excited, the direction of the excitation current flowing through the drive coil and the direction of the magnetic field of the magnet are orthogonal to generate a Lorentz force. Here, if the Lorentz force is used, a desired thrust can be obtained with a small excitation current compared to the case where the driving coil and the yoke function as electromagnetic coils (electromagnets) to obtain the thrust of the moving body and the movable body. . Moreover, since the drive coil is wound around the yoke, when the electromagnetic linear actuator is excited, the drive coil and the yoke function as an electromagnetic coil (electromagnet). Here, the yoke has a first protrusion that minimizes the gap with the magnet when positioned at the first position, and a second protrusion that minimizes the gap with the magnet when the moving body is positioned at the second position. Department. For this reason, an electromagnetic attractive force or an electromagnetic repulsive force is generated between the electromagnetic coil and the magnet. As a result, the Lorentz force and the electromagnetic attractive force or the electromagnetic repulsive force can be used as the thrust of the movable body, so that the excitation current supplied to the drive coil can be reduced. Further, the thrust of the moving body is transmitted to the movable body via the booster mechanism, and the volume of the pump chamber is changed. For this reason, since the movable body can be displaced even if the thrust applied to the moving body is relatively small, it is possible to efficiently reduce the power consumption of the electromagnetic linear actuator and to reduce the power consumption of the electromagnetic linear actuator. Can be miniaturized.

本発明において、前記倍力機構は、支点を中心に揺動可能な揺動部材を備えたてこである構成を採用することができる。かかる構成によれば、倍力機構を構成する要素が少なく済むので、容積型ポンプの小型化や低コスト化に適している。   In the present invention, the booster mechanism may employ a lever that includes a swinging member that can swing around a fulcrum. According to such a configuration, since there are few elements constituting the booster mechanism, it is suitable for downsizing and cost reduction of the positive displacement pump.

本発明において、前記第1位置では、前記ポンプ室の容積が最小となり、前記第2位置では、前記ポンプ室の容積が最大となる。かかる構成によれば、容積型ポンプを効率良く駆動することができる。   In the present invention, at the first position, the volume of the pump chamber is minimized, and at the second position, the volume of the pump chamber is maximized. According to such a configuration, the positive displacement pump can be driven efficiently.

本発明において、流体入口および前記ポンプ室に連通する流入側流路に設けられたアクティブバルブと、前記ポンプ室および流体出口に連通する流出側流路に設けられたパッシブバルブと、を有している構成を採用することができる。かかる構成によれば、ポンプ室からの流体の供給および停止をアクティブバルブおよびパッシブバルブによって制御することができる。   In the present invention, an active valve provided in the inflow side flow path communicating with the fluid inlet and the pump chamber, and a passive valve provided in the outflow side flow path communicating with the pump chamber and the fluid outlet are provided. A configuration can be adopted. According to such a configuration, the supply and stop of the fluid from the pump chamber can be controlled by the active valve and the passive valve.

本発明では、電磁式直動アクチュエータを励磁した際のローレンツ力と、電磁石としての機能、および倍力機構を利用して可動体を駆動し、ポンプ室の容積を変化させる。このため、電磁式直動アクチュエータでの消費電力を低く抑えることができるとともに、電磁式直動アクチュエータの小型化を図ることができる。   In the present invention, the movable body is driven using the Lorentz force when the electromagnetic linear actuator is excited, the function as an electromagnet, and the boost mechanism, and the volume of the pump chamber is changed. For this reason, the power consumption of the electromagnetic linear actuator can be kept low, and the electromagnetic linear actuator can be miniaturized.

本発明を適用した容積型ポンプの外観斜視図である。1 is an external perspective view of a positive displacement pump to which the present invention is applied. 図1に示す容積型ポンプの縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the positive displacement pump shown in FIG. 図1に示す容積型ポンプの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the positive displacement pump shown in FIG. 本発明を適用した容積型ポンプの倍力機構の説明図である。It is explanatory drawing of the booster mechanism of the positive displacement pump to which this invention is applied. 図4に示す倍力機構の縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view of the booster mechanism shown in FIG. 図1に示す容積型ポンプにおいて逆止弁(パッシブバルブ)を設けた弁室周の弁室周辺の断面図である。It is sectional drawing of the valve chamber periphery of the valve chamber periphery which provided the check valve (passive valve) in the positive displacement pump shown in FIG. 図2に示すアクティブバルブ周辺の断面図である。FIG. 3 is a sectional view around an active valve shown in FIG. 2. 本発明を適用した容積型ポンプの倍力機構の変形例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the modification of the booster mechanism of the positive displacement pump to which this invention is applied.

図面を参照しながら、本発明を適用した容積型ポンプを説明する。   A positive displacement pump to which the present invention is applied will be described with reference to the drawings.

(全体構成)
図1は、本発明を適用した容積型ポンプの外観斜視図である。図2は、図1に示す容積型ポンプの縦断面図である。なお、図2では、倍力機構周辺の構成を模式的に表してある。
(overall structure)
FIG. 1 is an external perspective view of a positive displacement pump to which the present invention is applied. FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the positive displacement pump shown in FIG. In FIG. 2, the configuration around the booster mechanism is schematically shown.

図1に示すように、容積型ポンプ1は、ポンプユニット2と、ポンプユニット2の下方に並列に配置された電磁式直動アクチュエータ3と、電磁式直動アクチュエータ3に並列するように設けられたアクティブバルブ4とを有している。なお、以下の説明では、位置関係が分かりやすいように、電磁式直動アクチュエータ3およびアクティブバルブ4が並んでいる方向を装置幅方向(図1では左右方向として示す)とし、この装置幅方向および上下方向と直交する方向を装置前後方向とする。従って、電磁式直動アクチュエータ3は装置幅方向の左側に配置されており、アクティブバルブ4は装置幅方向の右側に配置されていることになる。   As shown in FIG. 1, the positive displacement pump 1 is provided so as to be in parallel with a pump unit 2, an electromagnetic linear actuator 3 arranged in parallel below the pump unit 2, and the electromagnetic linear actuator 3. And an active valve 4. In the following description, the direction in which the electromagnetic linear actuator 3 and the active valve 4 are arranged is referred to as the device width direction (shown as the left-right direction in FIG. 1) so that the positional relationship can be easily understood. The direction orthogonal to the vertical direction is defined as the apparatus front-rear direction. Therefore, the electromagnetic linear actuator 3 is arranged on the left side in the apparatus width direction, and the active valve 4 is arranged on the right side in the apparatus width direction.

ポンプユニット2の左側部分には上方に突出する流出管5が設けられており、流出管5の上端開口は流体出口5aとなっている。アクティブバルブ4の下方には、流入管6が設けられており、流入管6の下端開口は流体入口6aとなっている。電磁式直動アクチュエータ3およびアクティブバルブ4は駆動制御部(図示せず)によって駆動制御される。   An outlet pipe 5 protruding upward is provided on the left side portion of the pump unit 2, and the upper end opening of the outlet pipe 5 is a fluid outlet 5a. An inflow pipe 6 is provided below the active valve 4, and a lower end opening of the inflow pipe 6 serves as a fluid inlet 6a. The electromagnetic linear actuator 3 and the active valve 4 are driven and controlled by a drive control unit (not shown).

図2に示すように、ポンプユニット2の内部にはポンプ室8が形成されている。流体入口6aとポンプ室8の間には流入側流路9が形成されており、流入側流路9には、この流入側流路9を開閉するアクティブバルブ4が配置されている。ポンプ室8と流体出口5aの間には流出側流路10が形成されている。流出側流路10には流体の逆流を防止するための逆止弁11が配置されている。   As shown in FIG. 2, a pump chamber 8 is formed inside the pump unit 2. An inflow side channel 9 is formed between the fluid inlet 6 a and the pump chamber 8, and an active valve 4 that opens and closes the inflow side channel 9 is disposed in the inflow side channel 9. An outflow channel 10 is formed between the pump chamber 8 and the fluid outlet 5a. A check valve 11 for preventing a back flow of fluid is disposed in the outflow side channel 10.

ポンプ室8の底面はダイヤフラム(可動体)12によって規定されており、電磁式直動アクチュエータ3によってダイヤフラム12を往復動させることによりポンプ室8の容積が変化する。すなわち、容積型ポンプ1は、アクティブバルブ4を開けた状態でポンプ室8の容積を拡大することによって流体入口6aからポンプ室8に流体を吸引し、アクティブバルブ4を閉めた状態でポンプ室8の容積を縮小することによってポンプ室8に吸引した流体を流体出口5aから吐出する。   The bottom surface of the pump chamber 8 is defined by a diaphragm (movable body) 12, and the volume of the pump chamber 8 is changed by reciprocating the diaphragm 12 by the electromagnetic linear actuator 3. That is, the positive displacement pump 1 draws fluid from the fluid inlet 6a to the pump chamber 8 by expanding the volume of the pump chamber 8 with the active valve 4 opened, and the pump chamber 8 with the active valve 4 closed. The fluid sucked into the pump chamber 8 is discharged from the fluid outlet 5a.

(ポンプユニット2の構成)
図3は、図1に示す容積型ポンプの分解斜視図である。図2および図3を参照して、ポンプユニット2を説明する。ポンプユニット2は、上側ハウジング21と、上側ハウジング21の下方に配置された下側ハウジング22を有している。
(Configuration of pump unit 2)
FIG. 3 is an exploded perspective view of the positive displacement pump shown in FIG. The pump unit 2 will be described with reference to FIGS. 2 and 3. The pump unit 2 includes an upper housing 21 and a lower housing 22 disposed below the upper housing 21.

上側ハウジング21は、PPS(ポリフェニレンサルファイド)樹脂などから形成されている。流出管5は、上側ハウジング21の上端面の左側部分から上方に突出している。上側ハウジング21の下端面の左側部分には、上方に窪む円形の第1凹部211が設けられている(図2参照)。第1凹部211の天井面の中央部分には流出管5に連通する第1流路212の下端開口212aが露出している。   The upper housing 21 is made of PPS (polyphenylene sulfide) resin or the like. The outflow pipe 5 protrudes upward from the left side portion of the upper end surface of the upper housing 21. A circular first recess 211 that is recessed upward is provided on the left side of the lower end surface of the upper housing 21 (see FIG. 2). A lower end opening 212 a of the first flow path 212 communicating with the outflow pipe 5 is exposed at the central portion of the ceiling surface of the first recess 211.

下側ハウジング22は、PPS(ポリフェニレンサルファイド)樹脂などから形成されている。上端面の左側部分には上側ハウジング21の第1凹部211と嵌合する円形の上側突出部221が形成されている。上側突出部221の中央部分には、下方に窪む円形の第2凹部222が形成されている。上側突出部221は第1凹部211に嵌め込まれており、上側ハウジング21の第1凹部211と下側ハウジング22の第2凹部222によって流出管5と同軸に弁室13が形成されている。上側突出部221の外周面と第1凹部211の内周面との間にはOリング14が配置されている。弁室13内には逆止弁11(パッシブバルブ)が構成されている。   The lower housing 22 is made of PPS (polyphenylene sulfide) resin or the like. A circular upper protrusion 221 that fits into the first recess 211 of the upper housing 21 is formed on the left side of the upper end surface. A circular second recess 222 that is recessed downward is formed in the central portion of the upper protrusion 221. The upper protrusion 221 is fitted in the first recess 211, and the valve chamber 13 is formed coaxially with the outflow pipe 5 by the first recess 211 of the upper housing 21 and the second recess 222 of the lower housing 22. An O-ring 14 is disposed between the outer peripheral surface of the upper protrusion 221 and the inner peripheral surface of the first recess 211. A check valve 11 (passive valve) is configured in the valve chamber 13.

下側ハウジング22の左側部分の下面には、円形の下側突出部223が形成されている。下側突出部223の中心には、上方に窪む円形の第3凹部224が設けられている。第3凹部224の天井面224aは中心部分に向かって上方に傾斜するテーパー面となっており、中心部分には、弁室13に連通している第2流路225の下端開口225aが露出している。第2流路225の上端開口225bは弁室13の円形底面13aの中央部分に露出している。第3凹部224の天井面224aおよび内周側面は、ポンプ室8の天井面および内周面を規定している。ポンプ室8、第2流路225、弁室13、第1流路212、および流出管5は同軸上に形成されており、第2流路225、弁室13、第1流路212、流出管5によって流出側流路10が構成されている。   A circular lower protrusion 223 is formed on the lower surface of the left portion of the lower housing 22. A circular third recess 224 that is recessed upward is provided at the center of the lower protrusion 223. The ceiling surface 224a of the third recess 224 is a tapered surface inclined upward toward the central portion, and the lower end opening 225a of the second flow path 225 communicating with the valve chamber 13 is exposed at the central portion. ing. The upper end opening 225 b of the second flow path 225 is exposed at the central portion of the circular bottom surface 13 a of the valve chamber 13. The ceiling surface 224 a and the inner peripheral surface of the third recess 224 define the ceiling surface and the inner peripheral surface of the pump chamber 8. The pump chamber 8, the second flow path 225, the valve chamber 13, the first flow path 212, and the outflow pipe 5 are formed on the same axis, and the second flow path 225, the valve chamber 13, the first flow path 212, the outflow The pipe 5 constitutes the outflow side channel 10.

下側突出部223の下方にはポンプ室8の底面を規定するダイヤフラム12が配置されている。ダイヤフラム12は、EPDM(エチレンプロピレンジエンゴム)等からなるゴム製の弾性体であり、上方から見たときに円形の平面形状を備えている。ダイヤフラム12は、中央部分と外周縁部分が厚肉に形成されており、中央部分と外周縁部分との間には、上方に膨らむように湾曲する一定厚さの連結膜部分を備えている。ダイヤフラム12の中央部分の下側部分には、電磁式直動アクチュエータ3を接続する接続部12aが設けられている。   A diaphragm 12 that defines the bottom surface of the pump chamber 8 is disposed below the lower protrusion 223. The diaphragm 12 is a rubber elastic body made of EPDM (ethylene propylene diene rubber) or the like, and has a circular planar shape when viewed from above. The diaphragm 12 has a central portion and an outer peripheral edge portion formed thick, and a connecting film portion having a constant thickness that curves so as to bulge upward is provided between the central portion and the outer peripheral edge portion. A connection portion 12 a for connecting the electromagnetic linear actuator 3 is provided at a lower portion of the central portion of the diaphragm 12.

電磁式直動アクチュエータ3は、下側突出部223の外周側を下側ハウジング22に取り付けられている。すなわち、電磁式直動アクチュエータ3が取り付けられると、ダイヤフラム12は、その外周縁部分が、下側突出部223の円環状下端面と、電磁式直動アクチュエータ3の側との間に挟まれた状態となる。なお、本実施形態では、電磁式直動アクチュエータ3は、下側突出部223の外周側を、同軸度を確保して下側ハウジング22に取り付けられている。   In the electromagnetic linear actuator 3, the outer peripheral side of the lower protrusion 223 is attached to the lower housing 22. That is, when the electromagnetic linear actuator 3 is attached, the outer peripheral edge of the diaphragm 12 is sandwiched between the annular lower end surface of the lower protrusion 223 and the electromagnetic linear actuator 3 side. It becomes a state. In the present embodiment, the electromagnetic linear actuator 3 is attached to the lower housing 22 while ensuring the coaxiality of the outer peripheral side of the lower protrusion 223.

下側ハウジング22の右側部分の下面には、上方に窪む円形の第4凹部226が形成されている。第4凹部226は下側から、扁平な大径部226aと、大径部分よりも小径の小径部226bを備えている。第4凹部226にはアクティブバルブ4の上端側部分がOリング15を介して挿入されている。   A circular fourth recess 226 that is recessed upward is formed on the lower surface of the right side portion of the lower housing 22. The fourth recess 226 includes, from below, a flat large-diameter portion 226a and a small-diameter portion 226b having a smaller diameter than the large-diameter portion. The upper end portion of the active valve 4 is inserted into the fourth recess 226 via the O-ring 15.

アクティブバルブ4を第4凹部226に挿入した状態では小径部226bの上端部分226cには空間が形成されるようになっており、この上端部分226cとポンプ室8の間には、これらの間を連通させる第3流路227が形成されている。第3流路227の右端開口は小径部226bの上端部分226cの内周側面に露出しており、第3流路227の左端開口は、ポンプ室8の天井面および第2流路225の下端部分に露出している。   In a state where the active valve 4 is inserted into the fourth recess 226, a space is formed in the upper end portion 226c of the small diameter portion 226b, and there is a space between the upper end portion 226c and the pump chamber 8. A third flow path 227 for communication is formed. The right end opening of the third channel 227 is exposed on the inner peripheral side surface of the upper end portion 226c of the small diameter portion 226b, and the left end opening of the third channel 227 is the ceiling surface of the pump chamber 8 and the lower end of the second channel 225. The part is exposed.

(電磁式直動アクチュエータの構成)
図1〜図3を参照して電磁式直動アクチュエータ3を説明する。図1に示すように、電磁式直動アクチュエータ3は、全体として直方体をしているアクチュエータケース30を有している。アクチュエータケース30は、図2および図3に示すように、下端が開口となっている箱型の上側ケース31と、上側ケース31の下端の開口を閉鎖するように取り付けられている下側ケース32を備えている。上側ケース31および下側ケース32の内部には、アクチュエータケース30によって上下方向に直動可能に支持された移動体33と、アクチュエータケース30に固定された固定体34とが配置されている。
(Configuration of electromagnetic linear actuator)
The electromagnetic linear actuator 3 will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the electromagnetic linear actuator 3 has an actuator case 30 that has a rectangular parallelepiped shape as a whole. 2 and 3, the actuator case 30 includes a box-shaped upper case 31 having an opening at the lower end, and a lower case 32 attached so as to close the opening at the lower end of the upper case 31. It has. Inside the upper case 31 and the lower case 32, a moving body 33 supported by the actuator case 30 so as to be linearly movable in the vertical direction and a fixed body 34 fixed to the actuator case 30 are arranged.

本形態において、移動体33は、図4および図5を参照して後述する倍力機構を介してダイヤフラム12の接続部12aに機構的に接続されており、移動体33が上下方向に往復移動すると、ダイヤフラム12は上下方向に往復動してポンプ室8の容積を変化させる。固定体34は、装置幅方向において移動体33の左側に配置されている第1固定体35と、右側に配置されている第2固定体36を備えている。   In this embodiment, the moving body 33 is mechanically connected to the connecting portion 12a of the diaphragm 12 through a booster mechanism which will be described later with reference to FIGS. 4 and 5, and the moving body 33 reciprocates in the vertical direction. Then, the diaphragm 12 reciprocates in the vertical direction to change the volume of the pump chamber 8. The fixed body 34 includes a first fixed body 35 disposed on the left side of the moving body 33 in the apparatus width direction and a second fixed body 36 disposed on the right side.

移動体33は、側面がこの移動体33の移動方向と平行になるように配置された直方体形状のマグネット331を備えている。マグネット331は2極着磁されており、装置幅方向を向いている左右の側面が異なる極に着磁された磁極面331a、331bとなっている。本実施形態では、磁極面331aがS極に着磁され、磁極面331bがN極に着磁されている(図3参照)。また、移動体33は、マグネット331の磁極面331a、331bを除く外周面部分を保持しているマグネットホルダ332を備えている。   The moving body 33 includes a rectangular parallelepiped magnet 331 that is disposed so that the side surface thereof is parallel to the moving direction of the moving body 33. The magnet 331 is two-pole magnetized, and magnetic pole surfaces 331a and 331b magnetized to different poles on the left and right sides facing the device width direction. In the present embodiment, the magnetic pole surface 331a is magnetized to the S pole, and the magnetic pole surface 331b is magnetized to the N pole (see FIG. 3). In addition, the moving body 33 includes a magnet holder 332 that holds an outer peripheral surface portion excluding the magnetic pole surfaces 331 a and 331 b of the magnet 331.

マグネットホルダ332は、マグネット331の上下左右前後の位置を規定し固定する。具体的には、前後の側面を装置前後方向から保持している前後の縦枠部332aと、前後の縦枠部332aの上端部を連結している上側枠部332bと、前後の縦枠部332aの下端部を連結している下側枠部332cを備えている。前後の縦枠部332aには、それぞれ、磁極面331a、331bと平行に突出するガイド突部333が設けられている。各ガイド突部333は直方体形状をしており、上下方向に所定の長さ寸法を備えている。上側枠部332bには、ダイヤフラム12に推力を出力する出力部334が上方に突出するように設けられている。下側枠部332cには、下方に突出するガイド軸335が設けられている。なお、本実施形態では、ガイド突部333は、回転防止としての機能を有している。   The magnet holder 332 defines and fixes the vertical and horizontal positions of the magnet 331. Specifically, the front and rear vertical frame portions 332a holding the front and rear side surfaces from the front and rear direction of the apparatus, the upper frame portion 332b connecting the upper ends of the front and rear vertical frame portions 332a, and the front and rear vertical frame portions The lower frame part 332c which has connected the lower end part of 332a is provided. The front and rear vertical frame portions 332a are provided with guide protrusions 333 that protrude in parallel with the magnetic pole surfaces 331a and 331b, respectively. Each guide protrusion 333 has a rectangular parallelepiped shape and has a predetermined length in the vertical direction. An output portion 334 that outputs thrust to the diaphragm 12 is provided on the upper frame portion 332b so as to protrude upward. The lower frame portion 332c is provided with a guide shaft 335 protruding downward. In the present embodiment, the guide protrusion 333 has a function of preventing rotation.

第1固定体35および第2固定体36は各々、ヨーク37、およびヨーク37に巻き回されている駆動コイル38を備えている。第1固定体35は、その駆動コイル38が移動体33の磁極面331aと一定のギャップを開けて対向するように配置されており、第2固定体36は、その駆動コイル38が磁極面331bと一定のギャップを開けて対向するように配置されている。   Each of the first fixed body 35 and the second fixed body 36 includes a yoke 37 and a drive coil 38 wound around the yoke 37. The first fixed body 35 is arranged so that the drive coil 38 faces the magnetic pole surface 331a of the moving body 33 with a certain gap therebetween, and the second fixed body 36 has the drive coil 38 that has the magnetic pole surface 331b. And are arranged so as to face each other with a certain gap.

ヨーク37はそれぞれ、移動体33の直動方向(上下方向)に平行に延在する軸部371と、軸部371の上端部分から内側に突出している第1突部372と、軸部371の下端部分から内側に突出している第2突部373とを備えている。   Each of the yokes 37 includes a shaft portion 371 that extends parallel to the linear movement direction (vertical direction) of the moving body 33, a first protrusion 372 that protrudes inward from the upper end portion of the shaft portion 371, and the shaft portion 371. And a second protrusion 373 protruding inward from the lower end portion.

駆動コイル38は、ヨーク37における第1突部372と第2突部373との間で軸部371の周りに巻回されている。このため、駆動コイル38は、移動体33の移動方向(上下方向)と直交する方向に巻き回されている。また、駆動コイル38は、移動体33の移動方向と直交する平面による断面形状が略長方形となっており、断面形状の一方の長辺となっている外周面部分38aがマグネット331の各磁極面331a、331bと対向している。   The drive coil 38 is wound around the shaft portion 371 between the first protrusion 372 and the second protrusion 373 in the yoke 37. For this reason, the drive coil 38 is wound in a direction orthogonal to the moving direction (vertical direction) of the moving body 33. Further, the drive coil 38 has a substantially rectangular cross-sectional shape in a plane orthogonal to the moving direction of the moving body 33, and the outer peripheral surface portion 38 a which is one long side of the cross-sectional shape is each magnetic pole surface of the magnet 331. It faces 331a and 331b.

ここで、移動体33のマグネット331の装置前後方向の幅寸法は、外周面部分38aの装置前後方向の幅寸法よりも短く設定されている。また、移動体33のマグネット331の上下方向の長さ寸法は、各ヨーク37における第1突部372と第2突部373との間の長さ寸法よりも短い長さ寸法とされている。マグネット331の長さ寸法は、移動体33の上下方向における移動範囲のうち、所定の範囲内で移動体33が移動する際は、マグネット331と第1突部372、第2突部373との間で磁気的な吸引力が働かない、または磁気的な吸引力の影響が小さい領域を有するようになっている。   Here, the width dimension of the moving body 33 in the front-rear direction of the magnet 331 is set to be shorter than the width dimension of the outer peripheral surface portion 38 a in the front-rear direction of the apparatus. Further, the length dimension of the moving body 33 in the vertical direction of the magnet 331 is shorter than the length dimension between the first protrusion 372 and the second protrusion 373 in each yoke 37. The length of the magnet 331 is such that when the moving body 33 moves within a predetermined range of the moving range in the vertical direction of the moving body 33, the magnet 331 and the first protrusion 372 and the second protrusion 373. There is a region where no magnetic attractive force acts between them, or the influence of the magnetic attractive force is small.

さらに、各ヨーク37の下端部分は下側ケース32によって保持されており、各ヨーク37の上端部分は、後述する倍力機構7のホルダ70を介してアクチュエータケース30に支持されている。これにより、第1固定体35の駆動コイル38と第2固定体36の駆動コイル38は、移動体33の移動方向に沿って一定の間隔で維持されている。また、ヨーク37において、第1突部372および第2突部373の移動体33側の端は、駆動コイル38の外周面部分38aよりも移動体33の側に位置しており、軸部371から移動体33の側に突出する第1突部372の突出量と第2突部373の突出量は同一になっている。   Furthermore, the lower end portion of each yoke 37 is held by the lower case 32, and the upper end portion of each yoke 37 is supported by the actuator case 30 via a holder 70 of a booster mechanism 7 described later. Accordingly, the drive coil 38 of the first fixed body 35 and the drive coil 38 of the second fixed body 36 are maintained at a constant interval along the moving direction of the moving body 33. Further, in the yoke 37, the ends of the first protrusion 372 and the second protrusion 373 on the moving body 33 side are located closer to the moving body 33 than the outer peripheral surface portion 38 a of the drive coil 38, and the shaft portion 371. The protrusion amount of the first protrusion 372 and the protrusion amount of the second protrusion 373 that protrude from the movable body 33 to the side of the moving body 33 are the same.

下側ケース32は、扁平な直方体形状をしており、上端面にヨーク37の保持部となる一対の凹部322が形成されている。装置幅方向における一対の凹部322の間には装置前後方向に延びる溝323が形成されており、溝323の中央部分には円形の貫通孔324が形成されている。貫通孔324にはマグネットホルダ332のガイド軸335が挿入されている。装置幅方向における一対の凹部322の外側には上方に突出する一対の係合突起325が形成されている。   The lower case 32 has a flat rectangular parallelepiped shape, and a pair of recesses 322 serving as a holding portion for the yoke 37 is formed on the upper end surface. A groove 323 extending in the front-rear direction of the apparatus is formed between the pair of recesses 322 in the apparatus width direction, and a circular through hole 324 is formed in the central portion of the groove 323. The guide shaft 335 of the magnet holder 332 is inserted into the through hole 324. A pair of engaging projections 325 projecting upward are formed outside the pair of recesses 322 in the apparatus width direction.

上側ケース31は、矩形の上板311と、上板311の四方の縁から下方に延びる4枚の側板312〜315を備えている。上板311には、ダイヤフラム12が内側に位置する貫通孔316が形成されている。下側ハウジング22に電磁式直動アクチュエータ3が取り付けられた状態では、後述する倍力機構7に用いたホルダ70と、下側ハウジング22の下側突出部223の円環状下端面との間にダイヤフラム12の周縁部分が挟み込まれた状態となる。   The upper case 31 includes a rectangular upper plate 311 and four side plates 312 to 315 extending downward from four edges of the upper plate 311. The upper plate 311 is formed with a through hole 316 in which the diaphragm 12 is located. In a state where the electromagnetic linear actuator 3 is attached to the lower housing 22, it is between the holder 70 used for the booster mechanism 7 described later and the annular lower end surface of the lower protrusion 223 of the lower housing 22. The peripheral edge portion of the diaphragm 12 is sandwiched.

装置幅方向で平行に延びている2枚の側板312、314には、上下方向に延びる係合凹部317が形成されている。上側ケース31が下側ケース32に被せられると、一対の係合突起325が側板312、314の係合凹部317と係合して上側ケース31を下側ケース32に固定する。   Engaging recesses 317 extending in the vertical direction are formed in the two side plates 312 and 314 extending in parallel in the apparatus width direction. When the upper case 31 is put on the lower case 32, the pair of engaging protrusions 325 engage with the engaging recesses 317 of the side plates 312 and 314 to fix the upper case 31 to the lower case 32.

装置前後方向で平行に延びている2枚の側板313、315には、装置幅方向の中央部分の下端縁から一定の幅で上方に延びるガイド溝318が形成されている。ガイド溝318は、装置幅方向において第1固定体35と第2固定体36の中央に位置している。上側ケース31が下側ケース32に被せられる際には、上側ケース31の前後のガイド溝318に、移動体33の前後のガイド突部333が挿入される。ここで、ガイド突部333およびガイド溝318は、移動体33を、各磁極面331a、331bと各駆動コイル38の間のギャップを一定に維持した状態で上下方向に案内するガイド機構40を構成しており、移動体33は、ガイド機構40によって、ポンプ室8、第2流路225、弁室13、第1流路212および流出管5の軸線上を案内される。   A guide groove 318 is formed on the two side plates 313 and 315 that extend in parallel in the front-rear direction of the apparatus, and extends upward at a constant width from the lower end edge of the central portion in the apparatus width direction. The guide groove 318 is located at the center of the first fixed body 35 and the second fixed body 36 in the apparatus width direction. When the upper case 31 is put on the lower case 32, the front and rear guide protrusions 333 of the moving body 33 are inserted into the front and rear guide grooves 318 of the upper case 31. Here, the guide protrusion 333 and the guide groove 318 constitute a guide mechanism 40 that guides the moving body 33 in the vertical direction while maintaining a constant gap between each magnetic pole surface 331a, 331b and each drive coil 38. The moving body 33 is guided on the axes of the pump chamber 8, the second flow path 225, the valve chamber 13, the first flow path 212, and the outflow pipe 5 by the guide mechanism 40.

(第1位置)
各ガイド溝318の上端縁318aは、移動体33の移動範囲の上限を規定している。すなわち、移動体33が上昇位置よりも上方に移動しようとすると、各ガイド溝318の上端縁318aに各ガイド突部333が当接して、その移動を阻止する。かかる上昇位置(第1位置)では、移動体33のマグネット331の上端面331cは、各ヨーク37の第1突部372の上端面よりも下方に位置している。また、移動体33が上昇位置に位置した状態では、ダイヤフラム12は、ポンプ室8の容積を最小の第1容積としている。なお、移動体33の各ガイド突部333が上側ケース31のガイド溝318の上端縁318aに当接することにより、移動体33の上昇位置を規定するように構成することもできる。すなわち、上端縁318aを、移動体33の移動範囲の上限を規定する移動***置決め部としての機能を備えるようにしてもよい。
(First position)
The upper edge 318 a of each guide groove 318 defines the upper limit of the moving range of the moving body 33. That is, when the moving body 33 attempts to move upward from the raised position, each guide protrusion 333 comes into contact with the upper end edge 318a of each guide groove 318 to prevent the movement. At the raised position (first position), the upper end surface 331 c of the magnet 331 of the moving body 33 is located below the upper end surface of the first protrusion 372 of each yoke 37. In the state where the moving body 33 is located at the ascending position, the diaphragm 12 sets the volume of the pump chamber 8 to the minimum first volume. The guide protrusion 333 of the moving body 33 may be configured to define the rising position of the moving body 33 by contacting the upper end edge 318a of the guide groove 318 of the upper case 31. That is, the upper edge 318a may be provided with a function as a moving body positioning unit that defines the upper limit of the moving range of the moving body 33.

(第2位置)
また、下側ケース32の上端面32aは、移動体33の移動範囲の下限を規定している。すなわち、移動体33は下降位置(第2位置)よりも下方に移動しようとすると、各ガイド突部333が下側ケース32の上端面32aに当接して、その移動を阻止する。下降位置では、移動体33のマグネット331の下端面331dは、各ヨーク37の第2突部373の下端面よりも上方に位置している。また、移動体33が下降位置に位置した状態では、ダイヤフラム12は、ポンプ室8の容積を最大の第2容積に拡大させている。なお、移動体33の各ガイド突部333が下側ケース32の上端面32aに当接することにより、移動体33の下降位置を規定するように構成することもできる。すなわち、上端面32aは、上述した上端縁318aと対をなし、移動体33の移動範囲の下限を規定する移動***置決め部としての機能を備えるようにしてもよい。
(Second position)
Further, the upper end surface 32 a of the lower case 32 defines a lower limit of the moving range of the moving body 33. That is, when the moving body 33 attempts to move downward from the lowered position (second position), each guide protrusion 333 comes into contact with the upper end surface 32a of the lower case 32 and prevents the movement. In the lowered position, the lower end surface 331 d of the magnet 331 of the moving body 33 is located above the lower end surface of the second protrusion 373 of each yoke 37. In the state where the moving body 33 is located at the lowered position, the diaphragm 12 expands the volume of the pump chamber 8 to the maximum second volume. The guide protrusion 333 of the moving body 33 may be configured to define the lowered position of the moving body 33 by contacting the upper end surface 32 a of the lower case 32. That is, the upper end surface 32a may be paired with the above-described upper end edge 318a and may have a function as a moving body positioning unit that defines the lower limit of the moving range of the moving body 33.

また、移動体33が上昇位置と下降位置との間を移動する間、マグネットホルダ332から下方に延びているガイド軸335が貫通孔324に挿入された状態が維持される。これにより、移動体33は移動方向に対して傾斜することなく、その姿勢が維持された状態で直動する。   Further, while the moving body 33 moves between the raised position and the lowered position, the state where the guide shaft 335 extending downward from the magnet holder 332 is inserted into the through hole 324 is maintained. Thereby, the moving body 33 moves linearly in a state in which the posture is maintained without being inclined with respect to the moving direction.

(電磁式直動アクチュエータの動作)
かかる構成の電磁式直動アクチュエータ3において、駆動コイル38への給電が行なわれていない状態で、マグネット331と第1突部372との磁気的な吸引力、またはマグネット331と第2突部373との磁気的な吸引力によって移動体33は上昇位置または下降位置に選択的に保持される。この状態から、移動体33を移動させる際には、駆動コイル38への給電を行なう。この結果、フレミングの左手の法則により、駆動コイル38とマグネット331の磁界との間に働くローレンツ力が、移動体33を移動させる力として働く。ここで、ヨークは、移動体33が直動方向における上昇位置(第1位置)に位置するときにマグネットとのギャップが最小になる第1突部372と、直動方向において下降位置(第2位置)に移動体33が位置するときにマグネットとのギャップが最小になる第2突部373とを備えている。また、アンペールの右ネジの法則により、駆動コイル38への給電によって、駆動コイル38およびヨーク37は電磁コイル(電磁石)として機能する。すなわち、移動体33の左側に配置されている第1固定体35は、上側をS極とし、下側をN極とする電磁コイルとして機能する。移動体33の右側に配置されている第2固定体36は、上側をN極とし、下側をS極とする電磁コイルとして機能する。この結果、移動体33のマグネット331と、第1固定体35および第2固定体36の間には、上側において電磁的な反発力が発生し、下側において、電磁的な吸引力が発生する。かかる力は、移動体33を下に向かって移動させるための推力となる。かかる動作の際、ヨーク37の第1突部372は、マグネット331の移動範囲より上側に位置し、ヨーク37の第2突部373は、マグネット331の移動範囲より下側に位置する。従って、ヨーク37の第1突部372は、移動体33が直動方向における第1位置に位置するときにマグネット331とのギャップが最小となる。また、ヨーク37の第2突部373は、移動体33が直動方向における第2位置に位置するときにマグネット331とのギャップが最小となる。
(Operation of electromagnetic linear actuator)
In the electromagnetic linear actuator 3 having such a configuration, the magnetic attractive force between the magnet 331 and the first protrusion 372 or the magnet 331 and the second protrusion 373 in a state where power is not supplied to the drive coil 38. The moving body 33 is selectively held in the raised position or the lowered position by the magnetic attraction force. When moving the moving body 33 from this state, power is supplied to the drive coil 38. As a result, according to Fleming's left-hand rule, the Lorentz force acting between the drive coil 38 and the magnetic field of the magnet 331 acts as a force for moving the moving body 33. Here, the yoke has a first protrusion 372 that minimizes the gap with the magnet when the movable body 33 is positioned at the rising position (first position) in the linear motion direction, and the lower position (second position) in the linear motion direction. And a second protrusion 373 that minimizes the gap with the magnet when the moving body 33 is located at the position). Further, the drive coil 38 and the yoke 37 function as electromagnetic coils (electromagnets) by supplying power to the drive coil 38 according to Ampere's right-handed screw law. That is, the first fixed body 35 disposed on the left side of the moving body 33 functions as an electromagnetic coil having the S pole on the upper side and the N pole on the lower side. The second fixed body 36 disposed on the right side of the moving body 33 functions as an electromagnetic coil having an N pole on the upper side and an S pole on the lower side. As a result, an electromagnetic repulsive force is generated on the upper side and an electromagnetic attractive force is generated on the lower side between the magnet 331 of the moving body 33 and the first fixed body 35 and the second fixed body 36. . Such force becomes a thrust for moving the moving body 33 downward. During this operation, the first protrusion 372 of the yoke 37 is positioned above the movement range of the magnet 331, and the second protrusion 373 of the yoke 37 is positioned below the movement range of the magnet 331. Therefore, the gap between the first protrusion 372 of the yoke 37 and the magnet 331 is minimized when the movable body 33 is located at the first position in the linear movement direction. Further, the gap between the second protrusion 373 of the yoke 37 and the magnet 331 is minimized when the movable body 33 is located at the second position in the linear movement direction.

(倍力機構7の構成)
図4は、本発明を適用した容積型ポンプ1の倍力機構の説明図であり、図4(a)、(b)、(c)は、倍力機構の斜視図、倍力機構の分解斜視図、および倍力機構をさらに細かく分解したときの分解斜視図である。図5は、図4に示す倍力機構の縦断面図である。
(Configuration of booster mechanism 7)
FIG. 4 is an explanatory view of a booster mechanism of the positive displacement pump 1 to which the present invention is applied. FIGS. 4A, 4B, and 4C are perspective views of the booster mechanism and an exploded view of the booster mechanism. It is a perspective view and an exploded perspective view when the booster mechanism is further finely disassembled. FIG. 5 is a longitudinal sectional view of the booster mechanism shown in FIG.

図3に示すアクチュエータケース30の上板311と、電磁式直動アクチュエータ3との間には、図4に示す倍力機構7が設けられており、かかる倍力機構7は、移動体33の推力を増幅させてダイヤフラム12に伝達する。   A booster mechanism 7 shown in FIG. 4 is provided between the upper plate 311 of the actuator case 30 shown in FIG. 3 and the electromagnetic linear actuator 3, and the booster mechanism 7 is connected to the moving body 33. The thrust is amplified and transmitted to the diaphragm 12.

より具体的には、図4に示すように、アクチュエータケース30の上板311と、電磁式直動アクチュエータ3との間にはホルダ70が固定されており、ホルダ70は、ダイヤフラム12が設けられる開口部703が形成された上板部701と、上板部701の対向する端部から下方に延在する左右一対の側板部702と、側板部702同士を連結する連結板部704とを備えている。連結板部704の下端側は矩形の開口部709になっている。   More specifically, as shown in FIG. 4, a holder 70 is fixed between the upper plate 311 of the actuator case 30 and the electromagnetic linear actuator 3, and the diaphragm 70 is provided on the holder 70. An upper plate portion 701 in which an opening 703 is formed, a pair of left and right side plate portions 702 extending downward from opposing ends of the upper plate portion 701, and a connecting plate portion 704 that connects the side plate portions 702 to each other. ing. A lower end side of the connecting plate portion 704 is a rectangular opening 709.

一対の側板部702では、各々の下端部から内側に向けて屈曲した底板部705が設けられている。かかる一対の底板部705は、先端縁同士が離間しており、底板部705の間に移動体33の出力部334が位置する。底板部705には開口部705aが形成されており、かかる開口部709に重なる位置にヨーク37の第1突部372が位置することになる。   The pair of side plate portions 702 are provided with bottom plate portions 705 that are bent inward from the respective lower end portions. The pair of bottom plate portions 705 are separated from each other at the leading edges, and the output portion 334 of the moving body 33 is located between the bottom plate portions 705. An opening 705 a is formed in the bottom plate portion 705, and the first protrusion 372 of the yoke 37 is located at a position overlapping the opening 709.

側板部702には、前後方向の中間位置に、側板部702の上下方向の略中央付近から下方に延在する溝707が形成されており、溝707は、底板部705まで連続して形成されている。また、側板部702には、溝707より後方に、左右方向に延在する支軸71の端部を保持する穴706が形成されており、支軸71は、穴706によって水平に保持されている。   In the side plate portion 702, a groove 707 extending downward from a substantially central position in the vertical direction of the side plate portion 702 is formed at an intermediate position in the front-rear direction. The groove 707 is continuously formed up to the bottom plate portion 705. ing. Further, a hole 706 is formed in the side plate portion 702 to hold the end of the support shaft 71 extending in the left-right direction behind the groove 707. The support shaft 71 is held horizontally by the hole 706. Yes.

移動体33の上端部(出力部334)には、前方が開放端になっている穴337が左右方向に貫通しており、かかる穴337には、支軸71より短い寸法で支軸71と平行に延在する駆動側の連結軸73が十分なクリアランスをもって貫通している。   A hole 337 whose front end is an open end passes through the upper end portion (output portion 334) of the moving body 33 in the left-right direction. The hole 337 has a shorter dimension than the support shaft 71 and the support shaft 71. The connecting shaft 73 on the drive side extending in parallel passes through with sufficient clearance.

ダイヤフラム12の下面側では、軸状の従動部材120の上端部が連結されており、従動部材120の下端部は、支軸71と連結軸73との間に位置している。従動部材120の下端部には穴120aが左右方向に貫通しており、穴120aには、支軸71および連結軸73と平行に延在する従動側の連結軸72が嵌っている。ここで、連結軸72の両端部は、溝707内に嵌っている。このため、従動部材120および連結軸72は上下方向に移動可能である。   On the lower surface side of the diaphragm 12, the upper end portion of the shaft-like driven member 120 is connected, and the lower end portion of the driven member 120 is located between the support shaft 71 and the connecting shaft 73. A hole 120a penetrates the lower end of the driven member 120 in the left-right direction, and a driven-side connecting shaft 72 extending in parallel with the support shaft 71 and the connecting shaft 73 is fitted into the hole 120a. Here, both end portions of the connecting shaft 72 are fitted in the groove 707. For this reason, the driven member 120 and the connecting shaft 72 are movable in the vertical direction.

このように構成した状態で、支軸71、従動側の連結軸72、および駆動側の連結軸73は、従動部材120および移動体33から左右両側に突出しており、支軸71、連結軸72、および連結軸73は、揺動板75によって機構的に連結されている。より具体的には、揺動板75には、左右方向の中央部分に従動部材120および移動体33が位置する切り欠き状の開口部750が形成されている。また、揺動板75において、開口部750を左右両側で挟む支持板部755には、支軸71が嵌る穴751、連結軸72が嵌まる穴752、および連結軸73が嵌まる穴753が形成されている。これらの穴751、752、753のうち、穴752は、前後方向に延びた長穴752になっている。ここで、支軸71は、両端が揺動板75から左右両側に突出してホルダ70の穴706に嵌っており、連結軸72は、両端が揺動板75から左右両側に突出してホルダ70の溝707に嵌っている。なお、連結軸73は、両端が揺動板75から左右両側へは突出していない。   In such a state, the support shaft 71, the driven side connection shaft 72, and the drive side connection shaft 73 protrude from the driven member 120 and the moving body 33 to the left and right sides, and the support shaft 71 and the connection shaft 72. The connecting shaft 73 is mechanically connected by a swing plate 75. More specifically, the swing plate 75 is formed with a notch-shaped opening 750 in which the driven member 120 and the moving body 33 are located in the center portion in the left-right direction. Further, in the swing plate 75, the support plate portion 755 that sandwiches the opening 750 between the left and right sides has a hole 751 into which the support shaft 71 fits, a hole 752 into which the connection shaft 72 fits, and a hole 753 into which the connection shaft 73 fits. Is formed. Of these holes 751, 752, and 753, the hole 752 is a long hole 752 extending in the front-rear direction. Here, both ends of the support shaft 71 protrude from the swing plate 75 to the left and right sides and fit into the holes 706 of the holder 70, and both ends of the connection shaft 72 protrude from the swing plate 75 to the left and right sides. It fits into the groove 707. Note that both ends of the connecting shaft 73 do not protrude from the swing plate 75 to the left and right sides.

このように構成した倍力機構7は、図5に示すように、支軸71、連結軸72および連結軸73によって支点、作用点および力点が構成された「てこ」として機能する。より具体的には、移動体33が上下方向に直動すると、連結軸73も上下方向に直動するので、揺動板75は支軸71の軸線周りに揺動する。その結果、連結軸72も上下方向に移動するので、従動部材130が上下方向に直動し、ダイヤフラム12が上下方向に移動する。   As shown in FIG. 5, the booster mechanism 7 configured as described above functions as a “lever” in which a fulcrum, an action point, and a force point are configured by a support shaft 71, a connection shaft 72, and a connection shaft 73. More specifically, when the moving body 33 moves linearly in the vertical direction, the connecting shaft 73 also moves linearly in the vertical direction, so that the swing plate 75 swings around the axis of the support shaft 71. As a result, the connecting shaft 72 also moves in the vertical direction, so that the driven member 130 moves in the vertical direction, and the diaphragm 12 moves in the vertical direction.

その際、電磁式直動アクチュエータ3の推力をF1、ダイヤフラム12に加わる力をF2とすると、以下の式
F2=(F1・R・(cosθ)3)/r
R=支点(支軸71)から作用点(連結軸72)までの距離
r′=支点(支軸71)から力点(連結軸73)までの距離
r=支点(支軸71)から従動部材120までの距離
θ=支点と力点とを結ぶ線と、支点から従動部材120に延びる
垂線とが成す角度 θ=0のとき、r=r′
が成り立ち、電磁式直動アクチュエータ3の推力を増幅してダイヤフラム12に加わることになる。
In this case, if the thrust of the electromagnetic linear actuator 3 is F1, and the force applied to the diaphragm 12 is F2, the following formula F2 = (F1 · R · (cos θ) 3 ) / r
R = distance from the fulcrum (support shaft 71) to the action point (connecting shaft 72)
r ′ = distance from the fulcrum (support shaft 71) to the force point (connection shaft 73)
r = distance from the fulcrum (support shaft 71) to the driven member 120
θ = a line connecting the fulcrum and the force point, and extends from the fulcrum to the driven member 120.
When the angle between the perpendicular and θ = 0, r = r ′
Thus, the thrust of the electromagnetic linear actuator 3 is amplified and applied to the diaphragm 12.

(逆止弁11の構成)
図6は、図1に示す容積型ポンプ1において逆止弁(パッシブバルブ)を設けた弁室周辺の断面図である。図6に示すように、逆止弁11は、第2流路225の上端開口225bが形成されている弁座111と、この弁座111に流体の流通方向の下流側から当接して上端開口225bを塞いでいる弁体112と、弁体112と弁室13の円形天井面13bとの間に挿入され、弁体112を所定の付勢力で弁座111に付勢している付勢部材を備えている。本実施形態では、付勢部材は圧縮コイルバネ113であり、弁座111は弁室13の円形底面13aである。
(Configuration of check valve 11)
FIG. 6 is a cross-sectional view of the periphery of a valve chamber provided with a check valve (passive valve) in the positive displacement pump 1 shown in FIG. As shown in FIG. 6, the check valve 11 includes a valve seat 111 in which an upper end opening 225 b of the second flow path 225 is formed, and an upper end opening by contacting the valve seat 111 from the downstream side in the fluid flow direction. The valve body 112 blocking the 225b, and a biasing member that is inserted between the valve body 112 and the circular ceiling surface 13b of the valve chamber 13 and biases the valve body 112 to the valve seat 111 with a predetermined biasing force. It has. In this embodiment, the urging member is a compression coil spring 113, and the valve seat 111 is a circular bottom surface 13 a of the valve chamber 13.

弁体112は、EPDM(エチレンプロピレンジエンゴム)等のゴム製の弾性材料からなり、弁座111に対向している円形の平板形状の閉鎖部112aと、この閉鎖部112aの下面から下方に向けて突出する円環状突部112bとを備えている。円環状突部112bは閉鎖部112aと同軸上に形成されており、弁座111において、第2流路225の上端開口225bの周りに当接している。円環状突部112bは、閉鎖部112aの下面の外周縁から外側に向かって下方に傾斜するように形成されており、閉鎖部112aから離れるに従って厚さ寸法が減少するように先細りになっている。   The valve body 112 is made of an elastic material made of rubber such as EPDM (ethylene propylene diene rubber), and has a circular flat plate-shaped closing portion 112a facing the valve seat 111, and downward from the lower surface of the closing portion 112a. And an annular protrusion 112b that protrudes. The annular protrusion 112 b is formed coaxially with the closing portion 112 a and abuts around the upper end opening 225 b of the second flow path 225 in the valve seat 111. The annular protrusion 112b is formed so as to incline downward from the outer peripheral edge of the lower surface of the closing portion 112a toward the outside, and is tapered so that the thickness dimension decreases as the distance from the closing portion 112a increases. .

また、弁体112は、閉鎖部112aの弁座111とは反対側に位置する上面に、圧縮コイルバネ113の当接位置を位置決めするための位置決め部112cを備えている。位置決め部112cは圧縮コイルバネ113の下端開口113aの内径に対応する外径を備える円柱形状の突部であり、円環状突部112bと同軸上に形成されている。   Further, the valve body 112 includes a positioning portion 112c for positioning the contact position of the compression coil spring 113 on the upper surface of the closing portion 112a located on the side opposite to the valve seat 111. The positioning portion 112c is a cylindrical protrusion having an outer diameter corresponding to the inner diameter of the lower end opening 113a of the compression coil spring 113, and is formed coaxially with the annular protrusion 112b.

圧縮コイルバネ113は、上方に向かって内径の寸法が増加している。下端開口113aの内径は、第2流路225の上端開口225bの開口径よりも大きく、位置決め部112cを挿入可能な大きさに設定されている。位置決め部112cに圧縮コイルバネ113の下端開口113aを挿入した状態で逆止弁11を弁室13内に配置すると、圧縮コイルバネ113は、上端の円形端部が弁室13の円形天井面13bの第1流路212の下端開口212aの周りに当接し、下端の円形端部が閉鎖部112aの上面に当接し、圧縮された状態となる。これにより、圧縮コイルバネ113は、弁体112を弁座111に向けて付勢する。なお、圧縮コイルバネ113は、下端の円形端部が、閉鎖部112aの上面において円環状突部112bと対応する位置またはその近傍に当接するように配置することが好ましい。   The compression coil spring 113 has an inner diameter that increases upward. The inner diameter of the lower end opening 113a is larger than the opening diameter of the upper end opening 225b of the second flow path 225, and is set to a size that allows the positioning portion 112c to be inserted. When the check valve 11 is disposed in the valve chamber 13 with the lower end opening 113a of the compression coil spring 113 inserted into the positioning portion 112c, the upper end of the compression coil spring 113 has the second end of the circular ceiling surface 13b of the valve chamber 13. Abutting around the lower end opening 212a of one channel 212, the circular end of the lower end abuts on the upper surface of the closing portion 112a, and is compressed. As a result, the compression coil spring 113 biases the valve body 112 toward the valve seat 111. Note that the compression coil spring 113 is preferably disposed so that the circular end at the lower end is in contact with or near the position corresponding to the annular protrusion 112b on the upper surface of the closing portion 112a.

逆止弁11は、ポンプ室8の容積がダイヤフラム12によって縮小されることによりポンプ室8が高圧になった場合等に、流出側流路10において圧縮コイルバネ113による所定の付勢力以上の所定圧力が流出方向にかかると、第2流路225の上端開口225bを開き、流出側流路10を開状態とする。また、流出側流路10に流出方向とは反対方向に圧力がかかると、第2流路225の上端開口225bを閉じ、流出側流路10を閉状態とする。   The check valve 11 has a predetermined pressure equal to or higher than a predetermined urging force of the compression coil spring 113 in the outflow side passage 10 when the volume of the pump chamber 8 is reduced by the diaphragm 12 and the pump chamber 8 becomes high pressure. Is applied in the outflow direction, the upper end opening 225b of the second channel 225 is opened, and the outflow channel 10 is opened. When pressure is applied to the outflow side channel 10 in the direction opposite to the outflow direction, the upper end opening 225b of the second channel 225 is closed and the outflow side channel 10 is closed.

(アクティブバルブ4の構成)
次に、図2、図3および図7を参照してアクティブバルブ4を詳細に説明する。図7は、図1に示すアクティブバルブ周辺の断面図である。図3に示すように、アクティブバルブ4は、円筒形状の胴部41と、胴部41から上方に同軸で延びているオリフィス構成部42と、胴部41から下方に同軸で延びている流入管6を備えている。
(Configuration of active valve 4)
Next, the active valve 4 will be described in detail with reference to FIG. 2, FIG. 3, and FIG. FIG. 7 is a sectional view around the active valve shown in FIG. As shown in FIG. 3, the active valve 4 includes a cylindrical body 41, an orifice component 42 extending coaxially upward from the body 41, and an inflow pipe extending coaxially downward from the body 41. 6 is provided.

オリフィス構成部42は胴部41よりも小径であり、流入管6はオリフィス構成部42よりも小径である。流入管6は容積型ポンプ1の流入管6を兼ねるものであり、下流端が流体入口6aとなっている。図2に示すように、アクティブバルブ4は、オリフィス構成部42が下側ハウジング22の第4凹部226の小径部226bに挿入され、胴部41の上端部分が大径部226aに挿入された状態で下側ハウジング22に取り付けられている。   The orifice constituting part 42 has a smaller diameter than the body part 41, and the inflow pipe 6 has a smaller diameter than the orifice constituting part 42. The inflow pipe 6 also serves as the inflow pipe 6 of the positive displacement pump 1, and the downstream end is a fluid inlet 6a. As shown in FIG. 2, in the active valve 4, the orifice component 42 is inserted into the small diameter portion 226b of the fourth recess 226 of the lower housing 22, and the upper end portion of the body portion 41 is inserted into the large diameter portion 226a. And attached to the lower housing 22.

図7に示すように、オリフィス構成部42は、円柱形状部分421と、この円柱形状部分421の下端の外周側に形成された円環状のフランジ部分422を備えている。円柱形状部分421には、その中心軸に沿って上下方向に貫通するオリフィス423が形成されている。オリフィス423の下端開口423aは円柱形状部分421の下端面に露出している。また、円柱形状部分421の下端面には、オリフィス423の下端開口423aの周りに円環状凹部424が形成されており、これにより、オリフィス423の下端開口423aの周縁は環状突部となっている。環状突部はオリフィス423の下端開口423aを開閉する弁体43の弁座44となる。   As shown in FIG. 7, the orifice constituting portion 42 includes a columnar portion 421 and an annular flange portion 422 formed on the outer peripheral side of the lower end of the columnar portion 421. The cylindrical portion 421 is formed with an orifice 423 penetrating in the vertical direction along the central axis. A lower end opening 423 a of the orifice 423 is exposed at the lower end surface of the cylindrical portion 421. In addition, an annular recess 424 is formed around the lower end opening 423a of the orifice 423 on the lower end surface of the columnar portion 421, whereby the peripheral edge of the lower end opening 423a of the orifice 423 is an annular protrusion. . The annular protrusion serves as a valve seat 44 of the valve body 43 that opens and closes the lower end opening 423a of the orifice 423.

胴部41は、内側に、流入管6とオリフィス423とを連通させる流路45を備えている。流路45は、オリフィス423および流入管6と同軸上に設けられている。アクティブバルブ4が下側ハウジング22に固定されると、第3流路227、第4凹部226の上端部分226cおよびアクティブバルブ4によって、ポンプ室8から流体入口6aに至る流入側流路9が構成される。流路45内には軸線方向に往復移動可能な状態で弁体43が挿入されている。弁体43はオリフィス423の流路45の側の下端開口423aを開閉することによって流入側流路9を開閉する。   The body portion 41 includes a flow path 45 that allows the inflow pipe 6 and the orifice 423 to communicate with each other. The channel 45 is provided coaxially with the orifice 423 and the inflow pipe 6. When the active valve 4 is fixed to the lower housing 22, the inflow side flow path 9 from the pump chamber 8 to the fluid inlet 6a is constituted by the third flow path 227, the upper end portion 226c of the fourth recess 226 and the active valve 4. Is done. A valve element 43 is inserted into the flow path 45 so as to be reciprocally movable in the axial direction. The valve body 43 opens and closes the inflow side flow path 9 by opening and closing a lower end opening 423a on the flow path 45 side of the orifice 423.

弁体43は、円柱形状をしている。弁体43はステンレス製のパイプ431と、パイプ431の内側に上下方向に配列された円柱状の4つのマグネット432、隣り合うマグネット432との間に各々配置された3枚の円板状の磁性板433、上端および下端にそれぞれ配置された2枚の円盤状の磁性板434、上端の磁性板434の上に配置されたステンレス製の蓋板435、下端の磁性板434の下に配置されたステンレス製の底板436を備えている。なお、パイプ431、蓋板435、底板436として樹脂製のものを用いることもできる。蓋板435の上面には、円形のゴムシート437が接着等の方法で取り付けられている。ここで、隣り合うマグネット432は、互いに同一の極を相手方のマグネットの方に向けている。より詳細には、上端のマグネット432は上がS極、下がN極となるように配置されており、その下方に隣接配置されているマグネット432は上がN極、下がS極となるように配置されており、さらにその下方に配置されているマグネット432は上がS極、下がN極となるように配置されており、下端のマグネット432は上がN極、下がS極となるように配置されている。この結果、弁体43では、磁性板433が位置する個所に磁力線が集中している。   The valve body 43 has a cylindrical shape. The valve element 43 includes a stainless steel pipe 431, three circular magnets 432 arranged in the vertical direction inside the pipe 431, and three disc-shaped magnets arranged between adjacent magnets 432, respectively. The plate 433, two disk-shaped magnetic plates 434 arranged at the upper end and the lower end, a stainless steel lid plate 435 arranged on the upper magnetic plate 434, and the lower magnetic plate 434, respectively. A stainless steel bottom plate 436 is provided. In addition, the thing made from resin can also be used for the pipe 431, the cover plate 435, and the bottom plate 436. A circular rubber sheet 437 is attached to the upper surface of the cover plate 435 by a method such as adhesion. Here, the adjacent magnets 432 have the same poles facing the other magnet. More specifically, the upper end magnet 432 is arranged so that the upper side is the S pole and the lower side is the N pole, and the magnet 432 adjacently arranged below the upper side is the N pole and the lower side is the S pole. Further, the magnet 432 arranged below is arranged so that the upper part is an S pole and the lower part is an N pole, and the lower end magnet 432 is an N pole on the upper side and an S pole on the lower side. It is arranged to become. As a result, in the valve body 43, the magnetic lines of force are concentrated at the location where the magnetic plate 433 is located.

流路45は、弁体43を駆動するための駆動コイル46を巻き回しているコイルボビン47の内側に形成されている。コイルボビン47の外周側には円筒形のヨーク48が配置されている。   The flow path 45 is formed inside a coil bobbin 47 around which a drive coil 46 for driving the valve body 43 is wound. A cylindrical yoke 48 is disposed on the outer peripheral side of the coil bobbin 47.

コイルボビン47は樹脂製であり、コイルボビン47の上端部分にはオリフィス構成部42を取り付けるための円環状の係合凹部471が形成されている。係合凹部471には、ゴムパッキン49を介してオリフィス構成部42のフランジ部分422が挿入されて固定される。オリフィス構成部42の円柱形状部分421の外周側には円環状の押さえ板50が上方から嵌め込まれており、この押さえ板50がコイルボビン47の上端面およびヨーク48の上端面に固定されることにより、オリフィス構成部42はコイルボビン47およびヨーク48に固定されている。押さえ板50は磁性材料から形成されている。なお、押さえ板50が磁性材料から形成されることで、押さえ板50は、弁体43に搭載されているマグネット432との間で磁気的な吸引力を発生することができるようになっている。   The coil bobbin 47 is made of resin, and an annular engagement recess 471 for attaching the orifice component 42 is formed at the upper end portion of the coil bobbin 47. The flange portion 422 of the orifice constituting portion 42 is inserted into and fixed to the engaging recess 471 through the rubber packing 49. An annular holding plate 50 is fitted from above on the outer peripheral side of the columnar portion 421 of the orifice component 42, and the holding plate 50 is fixed to the upper end surface of the coil bobbin 47 and the upper end surface of the yoke 48. The orifice component 42 is fixed to the coil bobbin 47 and the yoke 48. The holding plate 50 is made of a magnetic material. The presser plate 50 is formed of a magnetic material, so that the presser plate 50 can generate a magnetic attractive force with the magnet 432 mounted on the valve body 43. .

また、コイルボビン47は、上下方向に延びる筒状胴部472と、筒状胴部472の外周面で拡径する6つのフランジ部473を備えている。コイルボビン47の筒状胴部472および6つのフランジ部473によって囲まれた5つの空間は、駆動コイル46が巻回される5つの巻線部となっている。   In addition, the coil bobbin 47 includes a cylindrical body part 472 extending in the vertical direction and six flange parts 473 that increase in diameter on the outer peripheral surface of the cylindrical body part 472. The five spaces surrounded by the cylindrical body portion 472 and the six flange portions 473 of the coil bobbin 47 are five winding portions around which the drive coil 46 is wound.

コイルボビン47に巻回された5つの駆動コイル46は、励磁電流の向きを逆にするために、隣り合う駆動コイル46同士の巻回方向が逆である。また、5つの駆動コイル46は、例えば、直列に電気的に接続される。或いは、軸線方向の内側に位置する3つの駆動コイル46を並列に電気的に接続し、それらの接続部分に対して、軸線方向の両側の駆動コイル46を直列に電気的に接続した構成を採用することもできる。また、本例では、上端および下端の駆動コイル46の上下方向の寸法は、その間に位置している3つの駆動コイル46の上下方向の寸法の1/2としてある。弁体43において、上端および下端のマグネット432の上下方向の寸法は、その間の2つのマグネット432の上下方向の寸法の1/2としてある。この結果、弁体43が弁座44に当接して、オリフィス423の下端開口423aを閉鎖している状態では、磁性板433および磁性板434は、いずれも上下方向において駆動コイル46の中央位置に位置している。   The five drive coils 46 wound around the coil bobbin 47 have the winding directions of adjacent drive coils 46 reversed in order to reverse the direction of the excitation current. Further, the five drive coils 46 are electrically connected in series, for example. Alternatively, a configuration is adopted in which three drive coils 46 located on the inner side in the axial direction are electrically connected in parallel, and the drive coils 46 on both sides in the axial direction are electrically connected in series to those connected portions. You can also In this example, the vertical dimension of the upper and lower drive coils 46 is ½ of the vertical dimension of the three drive coils 46 positioned therebetween. In the valve body 43, the vertical dimension of the upper and lower magnets 432 is ½ of the vertical dimension of the two magnets 432 therebetween. As a result, when the valve body 43 is in contact with the valve seat 44 and the lower end opening 423a of the orifice 423 is closed, the magnetic plate 433 and the magnetic plate 434 are both positioned at the center of the drive coil 46 in the vertical direction. positioned.

ここで、弁体43の外径寸法は、コイルボビン47の筒状胴部472の内径寸法よりもわずかだけ小さく、弁体43がコイルボビン47の筒状胴部472の内側の空間内に挿入された状態では、弁体43の外周側面とコイルボビン47の筒状胴部472の内周面との間を流体が流れる。   Here, the outer diameter dimension of the valve body 43 is slightly smaller than the inner diameter dimension of the cylindrical body portion 472 of the coil bobbin 47, and the valve body 43 is inserted into the space inside the cylindrical body portion 472 of the coil bobbin 47. In the state, the fluid flows between the outer peripheral side surface of the valve body 43 and the inner peripheral surface of the cylindrical body portion 472 of the coil bobbin 47.

かかるアクティブバルブ4の動作を説明する。アクティブバルブ4は駆動制御部によって駆動コイル46への給電が制御されることにより、駆動制御される。   The operation of the active valve 4 will be described. The active valve 4 is driven and controlled by the power supply to the drive coil 46 being controlled by the drive control unit.

より具体的には、駆動コイル46への給電が行なわれていない状態では、弁体43は、弁体43のマグネット432と押さえ板50との磁気的な吸引力によって閉鎖位置に保持されている。閉鎖位置では、弁体43はコイルボビン47の内側の流路45を上端まで移動しており、弁体43の上端面にあるゴムシート437が弁座44に当接し、オリフィス423の下端開口423aを塞いでいる。これにより流入側流路9は閉状態となる。また、弁体43の磁性板433および磁性板434は、いずれも上下方向において駆動コイル46の中央位置に位置している。   More specifically, the valve body 43 is held in the closed position by the magnetic attractive force between the magnet 432 of the valve body 43 and the presser plate 50 in a state where power is not supplied to the drive coil 46. . In the closed position, the valve body 43 moves to the upper end of the flow path 45 inside the coil bobbin 47, the rubber sheet 437 on the upper end surface of the valve body 43 abuts on the valve seat 44, and opens the lower end opening 423 a of the orifice 423. It is blocking. Thereby, the inflow side flow path 9 will be in a closed state. Further, the magnetic plate 433 and the magnetic plate 434 of the valve body 43 are both positioned at the center position of the drive coil 46 in the vertical direction.

ここで、弁体43は、オリフィス423の下端開口423aが設けられている弁座44よりも流体の流通方向の上流側に位置しており、オリフィス423と同軸に形成されている流路45の中を流体の流通方向に移動するように構成されている。このため、流体入口6aからアクティブバルブ4の中へ流れ込む流体の流体圧(背圧)が弁体43を閉鎖位置に向かって移動させる方向に力を働かせている。   Here, the valve body 43 is located upstream of the valve seat 44 in which the lower end opening 423a of the orifice 423 is provided in the fluid flow direction, and the flow path 45 is formed coaxially with the orifice 423. It is configured to move in the fluid flow direction. For this reason, the fluid pressure (back pressure) of the fluid flowing into the active valve 4 from the fluid inlet 6a exerts a force in the direction of moving the valve body 43 toward the closed position.

次に、流入側流路9を開状態とする際には、駆動コイル46への給電を行なう。アクティブバルブ4では、マグネット432の外周側に筒状に巻き回された駆動コイル46が配置されているので、給電によって駆動コイル46を流れる励磁電流の向きとマグネット432による磁界の向きが直交する。この結果、駆動コイル46への給電が行なわれると、マグネット432の磁束と駆動コイル46との間に働くローレンツ力が弁体43を閉鎖位置から下方に移動させる力として働く。ここで、駆動コイル46への給電の開始時点では、弁体43の磁性板433および磁性板434は、いずれも上下方向において駆動コイル46の中央位置に位置しており、駆動コイルと鎖交する磁界を効率よく形成しているので、大きな推力が発生する。従って、弁体43は、押さえ板50との間の磁気的な吸引力および流体入口6aからアクティブバルブ4内へ流れ込む流体の流体圧に起因する力に抗して下方の開放位置に移動する。   Next, when the inflow channel 9 is opened, power is supplied to the drive coil 46. In the active valve 4, the drive coil 46 wound in a cylindrical shape is disposed on the outer peripheral side of the magnet 432, so that the direction of the excitation current flowing through the drive coil 46 by feeding is orthogonal to the direction of the magnetic field by the magnet 432. As a result, when power is supplied to the drive coil 46, the Lorentz force acting between the magnetic flux of the magnet 432 and the drive coil 46 acts as a force for moving the valve body 43 downward from the closed position. Here, at the start of power supply to the drive coil 46, the magnetic plate 433 and the magnetic plate 434 of the valve body 43 are both positioned at the center position of the drive coil 46 in the vertical direction and are linked to the drive coil. A large thrust is generated because the magnetic field is efficiently formed. Therefore, the valve body 43 moves to the lower open position against the magnetic attraction force between the pressure plate 50 and the force resulting from the fluid pressure of the fluid flowing into the active valve 4 from the fluid inlet 6a.

弁体43が開放位置に移動すると、弁体43が弁座44から流体の流通方向の上流側に離れ、ゴムシート437がオリフィス423の下端開口423aから離間する。これにより、流入側流路9は開状態となる。開放位置では、弁体43は、その下端部がコイルボビン47の内部に当接し、或いは当接せずにバランスして停止した開き位置に至る。かかる開放位置では、流体入口6aから流入管6(流路45)を介して流入した流体は、弁体43の外周面とコイルボビン47の筒状胴部472との間に流れ込み、下端開口423aを介して、オリフィス423を通過し、ポンプ室8へ向かう。   When the valve body 43 moves to the open position, the valve body 43 is separated from the valve seat 44 to the upstream side in the fluid flow direction, and the rubber sheet 437 is separated from the lower end opening 423a of the orifice 423. Thereby, the inflow side flow path 9 will be in an open state. In the open position, the valve body 43 reaches the open position where the lower end of the valve body 43 abuts on the inside of the coil bobbin 47 or balances and stops without abutting. In such an open position, the fluid that has flowed from the fluid inlet 6a through the inflow pipe 6 (flow path 45) flows between the outer peripheral surface of the valve body 43 and the cylindrical body 472 of the coil bobbin 47, and passes through the lower end opening 423a. Through the orifice 423 and toward the pump chamber 8.

また、流入側流路9を閉状態とする際には、駆動コイル46への給電を停止する。駆動コイル46への給電を停止すると、押さえ板50との間の磁気的な吸引力および流体入口6aからアクティブバルブ4内へ流れ込む流体の流体圧に起因する力により、弁体43は閉鎖位置に移動し、弁体43は弁座44に当接し、上端のゴムシート437でオリフィス423の下端開口423aを塞いだ状態に戻る。従って、流入側流路9は閉状態となる。   Further, when the inflow side channel 9 is closed, the power supply to the drive coil 46 is stopped. When the power supply to the drive coil 46 is stopped, the valve element 43 is brought into the closed position by the magnetic attraction force between the holding plate 50 and the force caused by the fluid pressure of the fluid flowing into the active valve 4 from the fluid inlet 6a. The valve body 43 comes into contact with the valve seat 44 and returns to the state where the upper end rubber sheet 437 closes the lower end opening 423a of the orifice 423. Accordingly, the inflow side channel 9 is closed.

なお、流入側流路9を閉状態とする際には、弁体43を閉じ位置から開き位置へ移動させる場合と反対方向の励磁電流を駆動コイル46へ供給するようにしてもよい。このようにすれば、弁体43は、弁体43のマグネット432と駆動コイル46との間に発生するローレンツ力、弁体43と押さえ板50との間の磁気的な吸引力および流体入口6aからアクティブバルブ4内へ流れ込む流体の流体圧に起因する力によって上方に移動する。弁体43が閉じ位置に至った後には、駆動コイル46への給電を停止すれば、弁体43は閉鎖位置に保持される。   When the inflow side flow path 9 is closed, an excitation current in the opposite direction to the case where the valve body 43 is moved from the closed position to the open position may be supplied to the drive coil 46. In this way, the valve body 43 has the Lorentz force generated between the magnet 432 of the valve body 43 and the drive coil 46, the magnetic attractive force between the valve body 43 and the holding plate 50, and the fluid inlet 6a. It moves upward by the force resulting from the fluid pressure of the fluid flowing into the active valve 4 from the top. After the valve body 43 reaches the closed position, if the power supply to the drive coil 46 is stopped, the valve body 43 is held in the closed position.

(容積型ポンプの動作)
次に、容積型ポンプ1の動作を説明する。容積型ポンプ1の電磁式直動アクチュエータ3とアクティブバルブ4とは、駆動制御部によって同期して駆動制御される。
(Operation of positive displacement pump)
Next, the operation of the positive displacement pump 1 will be described. The electromagnetic linear actuator 3 and the active valve 4 of the positive displacement pump 1 are driven and controlled in synchronization by the drive control unit.

より具体的には、電磁式直動アクチュエータ3の駆動コイル38およびアクティブバルブ4の駆動コイル46に給電されていない状態では、アクティブバルブ4の弁体43は閉鎖位置に保持されており、アクティブバルブ4は流入側流路9を閉状態としている。また、電磁式直動アクチュエータ3の移動体33は、上昇位置に保持されており、ダイヤフラム12はポンプ室8の容積を最小の第1容積としている。逆止弁11は、圧縮コイルバネ113の付勢力によって第2流路225の上端開口225bを塞ぎ、流出側流路10を閉状態としている。   More specifically, in a state where power is not supplied to the drive coil 38 of the electromagnetic linear actuator 3 and the drive coil 46 of the active valve 4, the valve body 43 of the active valve 4 is held in the closed position. 4 closes the inflow side flow path 9. In addition, the moving body 33 of the electromagnetic linear actuator 3 is held in the raised position, and the diaphragm 12 sets the volume of the pump chamber 8 to the minimum first volume. The check valve 11 closes the upper end opening 225 b of the second flow path 225 by the urging force of the compression coil spring 113 and closes the outflow side flow path 10.

ポンプ室8内への流体の吸引が行なわれる際には、アクティブバルブ4の駆動コイル46への給電によって弁体43が閉鎖位置から開放位置へ駆動され、流入側流路9が開状態とされる。これと並行して、電磁式直動アクチュエータ3の駆動コイル38へ第1方向の給電が行なわれる。すなわち、第1方向の励磁電流が駆動コイル38に供給され、移動体33が上昇位置から下降位置へ駆動される。この結果、ポンプ室8の容積は最大の第2容積に拡大する。   When the fluid is sucked into the pump chamber 8, the valve element 43 is driven from the closed position to the open position by supplying power to the drive coil 46 of the active valve 4, and the inflow side flow path 9 is opened. The In parallel with this, power is fed in the first direction to the drive coil 38 of the electromagnetic linear actuator 3. That is, the exciting current in the first direction is supplied to the drive coil 38, and the moving body 33 is driven from the raised position to the lowered position. As a result, the volume of the pump chamber 8 is expanded to the maximum second volume.

移動体33が下降してダイヤフラム12が下方に変位すると、ポンプ室8には負圧が発生するので、流体はポンプ室8内に吸い込まれる。ポンプ室8内に負圧が発生した状態では、逆止弁11は第2流路225の上端開口225bを閉鎖し、流出側流路10を閉状態としている。   When the moving body 33 is lowered and the diaphragm 12 is displaced downward, a negative pressure is generated in the pump chamber 8, so that the fluid is sucked into the pump chamber 8. In a state where negative pressure is generated in the pump chamber 8, the check valve 11 closes the upper end opening 225 b of the second flow path 225 and closes the outflow side flow path 10.

次に、ポンプ室8からの流体の吐出が行なわれる際には、アクティブバルブ4の駆動コイル46への給電が停止される。この結果、弁体43は開放位置から閉鎖位置に上昇して、流入側流路9が閉状態となる。これと並行して、電磁式直動アクチュエータ3の駆動コイル38への給電が行なわれる。すなわち、流体の吸引時とは逆の第2方向の励磁電流が駆動コイル38に供給され、移動体33が下降位置から上昇位置へ駆動される。この結果、ポンプ室8の容積は最小の第1容積に縮小する。   Next, when the fluid is discharged from the pump chamber 8, the power supply to the drive coil 46 of the active valve 4 is stopped. As a result, the valve body 43 rises from the open position to the closed position, and the inflow side flow path 9 is closed. In parallel with this, power is supplied to the drive coil 38 of the electromagnetic linear actuator 3. That is, the excitation current in the second direction opposite to that during the suction of the fluid is supplied to the drive coil 38, and the moving body 33 is driven from the lowered position to the raised position. As a result, the volume of the pump chamber 8 is reduced to the minimum first volume.

ここで、ポンプ室8の容積が縮小されるとポンプ室8は高圧となるので、流出側流路10では、圧縮コイルバネ113による弁体112の付勢力と対応する所定圧力以上の力が流出方向にかかる。この結果、流体は、弁体112を流出方向に移動させて、第2流路225の上端開口225bから流出し、流体出口5aから吐出される。   Here, when the volume of the pump chamber 8 is reduced, the pressure in the pump chamber 8 becomes high. Therefore, in the outflow side channel 10, a force equal to or greater than a predetermined pressure corresponding to the urging force of the valve body 112 by the compression coil spring 113 flows out. It takes. As a result, the fluid moves the valve body 112 in the outflow direction, flows out from the upper end opening 225b of the second flow path 225, and is discharged from the fluid outlet 5a.

その後、容積型ポンプ1が待機状態となると、アクティブバルブ4の弁体43は閉鎖位置に保持され、アクティブバルブ4は流入側流路9を閉状態とする。また、電磁式直動アクチュエータ3の移動体33は上昇位置に保持され、ダイヤフラム12は、ポンプ室8の容積を第1容積とする。逆止弁11は、圧縮コイルバネ113の付勢力によって第2流路225の上端開口225bを塞ぎ、流出側流路10を閉状態とする。   Thereafter, when the positive displacement pump 1 enters a standby state, the valve body 43 of the active valve 4 is held in the closed position, and the active valve 4 closes the inflow side flow path 9. Further, the moving body 33 of the electromagnetic linear actuator 3 is held at the raised position, and the diaphragm 12 sets the volume of the pump chamber 8 as the first volume. The check valve 11 closes the outflow side flow path 10 by closing the upper end opening 225 b of the second flow path 225 by the urging force of the compression coil spring 113.

(本形態の主な効果)
以上説明したように、本形態の容積型ポンプ1において、電磁式直動アクチュエータ3は、ヨーク37において移動体33の直動方向(上下方向)に平行に延在する軸部371に巻回された駆動コイル38を備えている一方、移動体33は、移動方向と平行なマグネット331の磁極面331a、331bを備えたマグネット331を有している。このため、駆動コイル38への給電を行なって電磁式直動アクチュエータ3を励磁すると、駆動コイル38を流れる励磁電流の向きと、マグネット331の磁界の方向とが直交して、ローレンツ力が発生する。また、駆動コイル38はヨーク37に巻き回されているので、駆動コイル38への給電を行なうと、駆動コイル38およびヨーク37は電磁コイル(電磁石)として機能し、電磁コイルとマグネット331との間に、電磁的な吸引力および電磁的な反発力が発生する。また、移動体33の移動方向に延びているヨーク37の両端に第1突部372、第2突部373が設けられているので、直動する移動体33がこれら第1突部372、第2突部373のいずれかに接近すると、マグネット331と第1突部372、第2突部373との間に磁気的な吸引力が発生する。すなわち、容積型ポンプ1では、ローレンツ力と、電磁的な吸引力および電磁的な反発力と、磁気的な吸引力とをダイヤフラム12の推力とすることができる。この結果、これら3つの力を用いて推力を得ることができるので、容積型ポンプ1によれば、ポンプ室8の容積を変化させるための可動体を効率よく駆動できる。よって、駆動コイル38に供給する励磁電流を抑えることができる。
(Main effects of this form)
As described above, in the positive displacement pump 1 of the present embodiment, the electromagnetic linear motion actuator 3 is wound around the shaft portion 371 that extends in parallel with the linear motion direction (vertical direction) of the moving body 33 in the yoke 37. On the other hand, the moving body 33 includes the magnet 331 including the magnetic pole surfaces 331a and 331b of the magnet 331 parallel to the moving direction. For this reason, when the electromagnetic direct acting actuator 3 is excited by supplying power to the drive coil 38, the direction of the excitation current flowing through the drive coil 38 and the direction of the magnetic field of the magnet 331 are orthogonal to generate a Lorentz force. . Further, since the drive coil 38 is wound around the yoke 37, when power is supplied to the drive coil 38, the drive coil 38 and the yoke 37 function as an electromagnetic coil (electromagnet), and between the electromagnetic coil and the magnet 331. In addition, an electromagnetic attractive force and an electromagnetic repulsive force are generated. Further, since the first protrusion 372 and the second protrusion 373 are provided at both ends of the yoke 37 extending in the moving direction of the moving body 33, the moving body 33 that moves linearly has the first protrusion 372 and the first protrusion 372. When approaching one of the two protrusions 373, a magnetic attractive force is generated between the magnet 331, the first protrusion 372, and the second protrusion 373. That is, in the positive displacement pump 1, the Lorentz force, the electromagnetic attractive force, the electromagnetic repulsive force, and the magnetic attractive force can be used as the thrust of the diaphragm 12. As a result, a thrust can be obtained by using these three forces. Therefore, according to the positive displacement pump 1, the movable body for changing the volume of the pump chamber 8 can be driven efficiently. Therefore, the excitation current supplied to the drive coil 38 can be suppressed.

また、駆動コイル38への給電を停止して、電磁式直動アクチュエータ3を消磁状態とすると、マグネット331と第1突部372または第2突部373との磁気的な吸引力によって移動体33は上昇位置または下降位置に選択的に保持される。従って、駆動コイル38への給電を行なわなくても、外部から加わる振動等により移動体33が移動してしまうことを防止できる。この結果、待機状態における電磁式直動アクチュエータ3の消費電力を抑えることができるので、容積型ポンプ1の消費電力を抑えることができる。   When the power supply to the drive coil 38 is stopped and the electromagnetic linear actuator 3 is demagnetized, the moving body 33 is caused by the magnetic attractive force between the magnet 331 and the first protrusion 372 or the second protrusion 373. Is selectively held in the raised or lowered position. Therefore, it is possible to prevent the moving body 33 from moving due to vibrations applied from the outside without supplying power to the drive coil 38. As a result, since the power consumption of the electromagnetic linear actuator 3 in the standby state can be suppressed, the power consumption of the positive displacement pump 1 can be suppressed.

また、本形態では、移動体33の推力は、倍力機構7を介してダイヤフラム12(可動体)に伝達され、ポンプ室8の容積を変化させる。このため、移動体33に付与する推力が比較的小さくても、ダイヤフラム12を変位させることができるので、電磁式直動アクチュエータ3での消費電力を低く抑えることができるとともに、電磁式直動アクチュエータ3の小型化を図ることができる。   In this embodiment, the thrust of the moving body 33 is transmitted to the diaphragm 12 (movable body) via the booster mechanism 7 to change the volume of the pump chamber 8. For this reason, since the diaphragm 12 can be displaced even if the thrust applied to the moving body 33 is relatively small, the power consumption of the electromagnetic linear actuator 3 can be kept low, and the electromagnetic linear actuator 3 can be miniaturized.

また、本形態において、ポンプ室8と流体入口6aの間に配置されたアクティブバルブ4は、弁体43が弁座44よりも流体の流通方向の上流側に位置している。また、弁体43は、流体の流通方向の上流側から弁座44に当接して下端開口423aを閉鎖する閉鎖位置と、閉鎖位置よりも流通方向の上流側に離れて下端開口423aを開放する開放位置の間を移動する。この結果、流体入口6aからアクティブバルブ4内へ流れ込む流体の流体圧に起因する力は、弁体43を閉鎖位置に向かって移動させる方向に働くので、流体入口6aの側の圧力が上昇すると、流体の流体圧に起因する力によって弁体43は閉鎖位置に付勢される。よって、流入側流路9は開かない。従って、アクティブバルブ4を駆動していないにもかかわらず、流体が流体入口6aからポンプ室8を経由して流体出口5aへ流通してしまうことを回避できる。   Further, in this embodiment, the active valve 4 disposed between the pump chamber 8 and the fluid inlet 6 a has the valve body 43 positioned upstream of the valve seat 44 in the fluid flow direction. In addition, the valve body 43 comes into contact with the valve seat 44 from the upstream side in the fluid flow direction to close the lower end opening 423a, and opens away from the closed position to the upstream side in the flow direction to open the lower end opening 423a. Move between open positions. As a result, the force resulting from the fluid pressure of the fluid flowing into the active valve 4 from the fluid inlet 6a acts in a direction to move the valve body 43 toward the closed position. Therefore, when the pressure on the fluid inlet 6a side increases, The valve element 43 is biased to the closed position by a force resulting from the fluid pressure of the fluid. Therefore, the inflow side channel 9 is not opened. Therefore, it is possible to avoid the fluid from flowing from the fluid inlet 6a to the fluid outlet 5a via the pump chamber 8 even though the active valve 4 is not driven.

(倍率機構7の変形例)
図8は、本発明を適用した容積型ポンプ1の倍力機構7の変形例を示す説明図である。上記実施の形態では、支軸71、従動側の連結軸72および駆動側の連結軸73を機構的に連結するにあたって、揺動板75の厚さを利用して穴751、752、753を形成した。但し、図8(a)に示すように、コの字形状の平面形状を有する薄い板材からなる揺動板75を用い、揺動板75の端部を筒状に曲げて支軸71および連結軸73の端部を機構的に連結してもよい。また、連結軸72の端部を保持するにあたっては、揺動板75のコの字形状の本体部分759と、揺動板75を折り曲げた部分758との間に連結軸72の端部を緩く挿入した構造を採用してもよい。また、支軸71および連結軸72を支持するにあたって、揺動板75を折り曲げて筒部756、757が構成されている。
(Modification of magnification mechanism 7)
FIG. 8 is an explanatory view showing a modification of the booster mechanism 7 of the positive displacement pump 1 to which the present invention is applied. In the above embodiment, the holes 751, 752, and 753 are formed by utilizing the thickness of the swing plate 75 when mechanically connecting the support shaft 71, the driven-side connecting shaft 72, and the driving-side connecting shaft 73. did. However, as shown in FIG. 8A, a swing plate 75 made of a thin plate material having a U-shaped planar shape is used, and the end of the swing plate 75 is bent into a cylindrical shape to connect the support shaft 71 and the connection. The ends of the shaft 73 may be mechanically connected. Further, when holding the end portion of the connecting shaft 72, the end portion of the connecting shaft 72 is loosened between the U-shaped main body portion 759 of the swing plate 75 and the portion 758 where the swing plate 75 is bent. An inserted structure may be adopted. Further, when the support shaft 71 and the connecting shaft 72 are supported, the rocking plate 75 is bent to form the cylindrical portions 756 and 757.

また、倍力機構としては、てこを利用した倍力機構7に代えて、図8(b)に示すように、支点770を中心に揺動可能な揺動板77に小径扇形歯車771と大径扇形歯車772とを設け、小径扇形歯車771と従動部材120との間でラック−ピニオン機構を構成し、大径扇形歯車772と移動体33との間でラック−ピニオン機構を構成してもよい。   Further, as the booster mechanism, instead of the booster mechanism 7 using a lever, as shown in FIG. 8B, a swinging plate 77 that can swing around a fulcrum 770 and a large-diameter sector gear 771 are used. A radial fan gear 772 is provided, a rack-pinion mechanism is configured between the small-diameter sector gear 771 and the driven member 120, and a rack-pinion mechanism is configured between the large-diameter sector gear 772 and the moving body 33. Good.

(容積型ポンプの他の構成例)
ポンプ室8の容積を変化させるための可動体としては、ダイヤフラム12以外のものを用いることができる。例えば、シリンダのように、ポンプ室8の底面を移動体33の移動に伴って昇降させるように構成してもよい。
(Other configuration examples of positive displacement pumps)
As a movable body for changing the volume of the pump chamber 8, a thing other than the diaphragm 12 can be used. For example, like a cylinder, you may comprise so that the bottom face of the pump chamber 8 may be raised / lowered with the movement of the mobile body 33. FIG.

3・・電磁式直動アクチュエータ
4・・アクティブバルブ
5a・・流体出口
6a・・流体入口
7・・倍力機構
8・・ポンプ室
9・・流入側流路
10・・流出側流路
11・・逆止弁(パッシブバルブ)
12・・ダイヤフラム(ポンプ用の可動体)
3 .. Electromagnetic linear actuator 4. Active valve 5 a. Fluid outlet 6 a. Fluid inlet 7. Booster mechanism 8. Pump chamber 9 Inflow side channel 10 Outflow side channel 11・ Check valve (passive valve)
12. Diaphragm (movable body for pump)

Claims (4)

ポンプ室と、該ポンプ室の容積を規定する可動体と、該可動体を前記ポンプ室の容積が変化する方向に駆動する電磁式直動アクチュエータと、を有する容積型ポンプであって、
前記電磁式直動アクチュエータは、
アクチュエータケースと、
該アクチュエータケースによって直動可能に支持されている移動体と、
磁極面が前記移動体の移動方向に平行になるように前記移動体に取り付けられたマグネットと、
前記移動体の移動方向に沿って延在するように前記アクチュエータケースに固定されたヨークと、
前記ヨークに巻回された駆動コイルと、
を有し、
前記ヨークは、前記移動体が直動方向における第1位置に位置するときに前記マグネットとのギャップが最小になる第1突部と、前記直動方向において前記第1位置と異なる第2位置に前記移動体が位置するときに前記マグネットとのギャップが最小になる第2突部とを備え、
前記移動体と前記可動体との間には、前記移動体の推力を倍力して前記可動体に伝達する倍力機構が設けられていることを特徴とする容積型ポンプ。
A positive displacement pump having a pump chamber, a movable body that defines the volume of the pump chamber, and an electromagnetic linear actuator that drives the movable body in a direction in which the volume of the pump chamber changes,
The electromagnetic linear actuator is
An actuator case,
A moving body supported by the actuator case so as to be linearly movable;
A magnet attached to the moving body such that the magnetic pole surface is parallel to the moving direction of the moving body;
A yoke fixed to the actuator case so as to extend along the moving direction of the moving body;
A drive coil wound around the yoke;
Have
The yoke has a first protrusion that minimizes a gap with the magnet when the movable body is located at a first position in the linear motion direction, and a second position that is different from the first position in the linear motion direction. A second protrusion that minimizes the gap with the magnet when the moving body is located;
A positive displacement pump characterized in that a booster mechanism is provided between the movable body and the movable body to boost and transmit the thrust of the movable body to the movable body.
前記倍力機構は、支点を中心に揺動可能な揺動部材を備えたてこであることを特徴とする請求項1に記載の容積型ポンプ。   2. The positive displacement pump according to claim 1, wherein the booster mechanism is a lever provided with a swinging member swingable about a fulcrum. 前記第1位置では、前記ポンプ室の容積が最小となり、
前記第2位置では、前記ポンプ室の容積が最大となることを特徴とする請求項1または2に記載の容積型ポンプ。
In the first position, the volume of the pump chamber is minimized,
The positive displacement pump according to claim 1 or 2, wherein the pump chamber has a maximum volume at the second position.
流体入口および前記ポンプ室に連通する流入側流路に設けられたアクティブバルブと、
前記ポンプ室および流体出口に連通する流出側流路に設けられたパッシブバルブと、
を有していることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の容積型ポンプ。
An active valve provided in a fluid inlet and an inflow side passage communicating with the pump chamber;
A passive valve provided in the outflow side passage communicating with the pump chamber and the fluid outlet;
The positive displacement pump according to claim 1, wherein the positive displacement pump is provided.
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