JP2013010152A - Working fluid nozzle for wire saw - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a machining liquid nozzle of simple structure capable of reducing manufacturing costs.SOLUTION: The working fluid nozzle 14 is disposed over a machining part of a wire saw, extending along a direction in which a wire is disposed. A working fluid is supplied to the wire from the working fluid nozzle 14. A working fluid supply part is connected to the working fluid nozzle 14. The working fluid supply part includes: a supply tube 20 having supply openings 20a in a lower part thereof along the extending direction thereof; and a partitioning plate 22 provided in the supply tube 20 so as to divide the inside of the supply tube 20 into an upper chamber 20A and a lower chamber 20B and including a plurality of through-holes 22a along the extending direction thereof.

Description

この発明は、例えば半導体材料、磁性材料、セラミックス等の脆性材料よりなるワークをワイヤにより切断加工するワイヤソーにおいて、ワイヤ上に加工液を供給するための加工液ノズルに関するものである。   The present invention relates to a machining fluid nozzle for supplying a machining fluid onto a wire in a wire saw that cuts a workpiece made of a brittle material such as a semiconductor material, a magnetic material, and ceramics with a wire.

一般に、ワイヤソーにおいては、複数の加工用ローラ間にワイヤが複数回周回されるとともに、そのワイヤ上に加工液ノズルがワイヤの配列方向に沿って延長配置されている。そして、加工用ローラの回転により、ワイヤが加工用ローラ間で延長方向に周回走行されながら、加工液ノズルの下部に設けられた供給口からワイヤ上にクーラントや砥粒を含むスラリ等よりなるスラリ加工液が供給される。この状態で、ワイヤに対してワークが押し付けられることにより、ワークに切断加工が施される。   In general, in a wire saw, a wire is circulated a plurality of times between a plurality of processing rollers, and a processing liquid nozzle is extended on the wire along the arrangement direction of the wires. Then, while the wire is circulated in the extending direction between the processing rollers by the rotation of the processing roller, a slurry made of slurry containing coolant or abrasive grains on the wire from the supply port provided at the lower portion of the processing liquid nozzle. Processing fluid is supplied. In this state, the workpiece is pressed against the wire, whereby the workpiece is cut.

この種のワイヤソーでは、ワークの切断加工時に、加工液が加工液ノズルの下部の供給口からワイヤの配列方向の全域にわたって均一に供給されることが望まれている。このような要望に対処するために、例えば特許文献１及び特許文献２に開示されるような構成の加工液ノズルが従来から提案されている。   In this type of wire saw, it is desired that the machining liquid is uniformly supplied from the supply port below the machining liquid nozzle over the entire area in the wire arrangement direction when the workpiece is cut. In order to cope with such a demand, for example, machining liquid nozzles having configurations as disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2 have been proposed.

この従来構成においては、加工液ノズルが、加工液供給部に連結された小径の内側管と、その内側管の外側に間隔をおいて同心状に配置された大径の外側管とより構成されている。内側管の上部には、複数の透孔が自身の延長方向に沿って配列形成されている。外側管の下部には、スリット状の供給口が自身の延長方向に沿って配列形成されている。そして、加工液供給部から内側管内に導入される加工液が、内側管上の透孔から外側管内に流出された後、外側管の供給口からワイヤに向けて供給されるようになっている。   In this conventional configuration, the machining liquid nozzle is composed of a small-diameter inner pipe connected to the machining liquid supply unit, and a large-diameter outer pipe arranged concentrically at intervals outside the inner pipe. ing. In the upper part of the inner tube, a plurality of through-holes are arranged along the extension direction of the inner tube. In the lower part of the outer tube, slit-shaped supply ports are arranged along the extending direction of the slit. Then, the machining liquid introduced into the inner pipe from the machining liquid supply section flows out from the through hole on the inner pipe into the outer pipe, and is then supplied from the supply port of the outer pipe toward the wire. .

特開平７−１９５３５８号公報JP 7-195358 A 特開２００５-１６９６０５号公報JP 2005-169605 A

ところが、この従来構成においては、加工液ノズルが小径の内側管と大径の外側管との二重構造になっている。このため、内側管と外側管が互いに両端部で位置決め支持される構造となり、加工液ノズルの構造が複雑で、加工や組み付け、清掃時の取外しなどに手間がかかるという問題があった。   However, in this conventional configuration, the machining liquid nozzle has a double structure of a small-diameter inner tube and a large-diameter outer tube. For this reason, the inner tube and the outer tube are positioned and supported at both ends, and the structure of the machining liquid nozzle is complicated, and there is a problem that it takes time to process, assemble, and remove during cleaning.

この発明は、このような従来の技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的は、構造が簡単な加工液ノズルを提供することにある。   The present invention has been made paying attention to such problems existing in the prior art. The object is to provide a machining liquid nozzle having a simple structure.

上記の目的を達成するために、この発明は、ワイヤソーの加工部の上方にワイヤの配列方向に沿って延長され、ワイヤ上に加工液を供給するための加工液ノズルにおいて、加工液供給部に連結され、下部に自身の延長方向に沿って供給口を有する供給管と、その供給管内を上下に区画するように供給管内に設けられ、自身の延長方向に沿って複数の透孔を配列した区画板とを備えたことを特徴としている。   In order to achieve the above object, the present invention provides a machining liquid nozzle that extends along a wire arrangement direction above a machining section of a wire saw and supplies the machining liquid onto the wire. A supply pipe that is connected and has a supply port along its extension direction at the bottom, and is provided in the supply pipe so as to divide the supply pipe vertically, and a plurality of through holes are arranged along its extension direction It is characterized by having a partition plate.

従って、この発明の加工液ノズルにおいては、加工液供給部から供給管の上部室に導入される加工液がその上部室で一旦貯留され、さらに、その貯留室から区画板の透孔を通して供給管の下部室に流入された後、供給管の下部の供給口からワイヤに向けて供給される。よって、加工液をワイヤの配列方向の全域にわたって均一に供給することができる。また、加工液ノズルが供給管と板状の区画板とにより構成されているため、内側管と外側管との二重構造よりなる従来構成の加工液ノズルに比較して、構造を簡略化することができて、加工を簡略化することができ、ノズルの組み付けや清掃時の取外しなどを容易にできる。   Therefore, in the machining liquid nozzle of the present invention, the machining liquid introduced into the upper chamber of the supply pipe from the machining liquid supply unit is temporarily stored in the upper chamber, and further, the supply pipe is passed through the through hole of the partition plate from the storage chamber. Then, it is supplied toward the wire from the supply port at the lower part of the supply pipe. Therefore, the machining liquid can be supplied uniformly over the entire region in the wire arrangement direction. Further, since the machining liquid nozzle is constituted by a supply pipe and a plate-like partition plate, the structure is simplified compared to a conventional machining liquid nozzle having a double structure of an inner pipe and an outer pipe. Therefore, processing can be simplified, and nozzle assembly and removal during cleaning can be easily performed.

前記の構成において、前記供給管を角パイプによって構成するとともに、前記供給口を下角部に形成し、前記区画板を対向する横角部間に設けるとよい。
前記の構成において、前記区画板を供給管の端部から出し入れ可能に構成するとよい。 In the above-described configuration, the supply pipe may be formed of a square pipe, the supply port may be formed in a lower corner portion, and the partition plate may be provided between opposing lateral corner portions.
The said structure WHEREIN: It is good to comprise the said partition plate so that withdrawing / inserting from the edge part of a supply pipe | tube is possible.

前記の構成において、前記供給管を多角形パイプによって構成するとともに、前記区画板を対向する横角部間に設けるとよい。
前記の構成において、前記供給口を下角部に形成するとよい。 In the above-described configuration, the supply pipe may be formed of a polygonal pipe, and the partition plate may be provided between opposing lateral corners.
The said structure WHEREIN: It is good to form the said supply port in a lower corner | angular part.

前記の構成において、前記区画板を供給管の端部から出し入れ可能にするとよい。
前記の構成において、前記供給口を保持するための遮へい板を供給管の外側に設けるとよい。 The said structure WHEREIN: It is good to enable the said partition plate to be taken in or out from the edge part of a supply pipe | tube.
The said structure WHEREIN: It is good to provide the shielding board for hold | maintaining the said supply port in the outer side of a supply pipe | tube.

前記の構成において、前記区画板をその幅方向の中央部で屈曲するとよい。   The said structure WHEREIN: It is good to bend the said partition plate in the center part of the width direction.

以上のように、この発明によれば、加工液ノズルの構造が簡単で加工や組み付け、清掃時の取外しなどが容易になるという効果を発揮する。   As described above, according to the present invention, there is an effect that the structure of the machining liquid nozzle is simple, and machining, assembly, removal at the time of cleaning, and the like are facilitated.

一実施形態のワイヤソーを示す概略正面図。The schematic front view which shows the wire saw of one Embodiment. 図１のワイヤソーの平面図。The top view of the wire saw of FIG. 同ワイヤソーの加工液供給部及び加工液ノズルを拡大して示す側面図。The side view which expands and shows the process liquid supply part and process liquid nozzle of the wire saw. 加工液ノズルの接続構成を示す断面図。Sectional drawing which shows the connection structure of a process liquid nozzle. 図３の加工液ノズルの一部を拡大して示す部分断面図。FIG. 4 is a partial cross-sectional view showing a part of the machining liquid nozzle of FIG. 3 in an enlarged manner. 図３の５−５線における拡大断面図。FIG. 5 is an enlarged sectional view taken along line 5-5 in FIG. 加工液ノズルの端部の構成を分解して示す斜視図。The perspective view which decomposes | disassembles and shows the structure of the edge part of a process liquid nozzle.

以下に、この発明の一実施形態を図面に従って説明する。
図１及び図２に示すように、この実施形態のワイヤソーにおいては、図示しないフレーム上の加工部に複数（実施形態では一対）の加工用ローラ１１が一対の支持ブラケット１２を介して、横方向へ平行に延びる軸線を中心に回転可能に支持されている。各加工用ローラ１１の外周面には複数の環状溝１１ａが所定のピッチで形成され、両加工用ローラ１１の環状溝１１ａ間にはワイヤ１３が複数回周回されている。各加工用ローラ１１の上方位置においてワイヤ１３の配列方向に沿って延長配置されるように、支持ブラケット１２間には一対の加工液ノズル１４が架設されている。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
As shown in FIGS. 1 and 2, in the wire saw of this embodiment, a plurality of (in the embodiment, a pair) processing rollers 11 are arranged in a lateral direction via a pair of support brackets 12 on a processing portion on a frame (not shown). Is supported so as to be rotatable about an axis extending in parallel with the axis. A plurality of annular grooves 11 a are formed at a predetermined pitch on the outer peripheral surface of each processing roller 11, and a wire 13 is circulated a plurality of times between the annular grooves 11 a of both processing rollers 11. A pair of machining liquid nozzles 14 are installed between the support brackets 12 so as to extend along the arrangement direction of the wires 13 above the respective machining rollers 11.

そして、図１に示すように、加工用ローラ１１の回転により、ワイヤ１３が加工用ローラ１１間で延長方向に周回走行されながら、各加工液ノズル１４からワイヤ１３に対して砥粒を含む加工液が供給される。この状態で、ワイヤ１３にワークＷが押し付けられることによって、ワークＷに切断加工が施される。   Then, as shown in FIG. 1, the machining 13 includes abrasive grains from the machining liquid nozzles 14 to the wires 13 while the wires 13 are rotated in the extending direction between the machining rollers 11 by the rotation of the machining rollers 11. Liquid is supplied. In this state, the workpiece W is pressed against the wire 13, thereby cutting the workpiece W.

図３に示すように、前記両加工液ノズル１４に対応して一方の支持ブラケット１２には、供給管路等よりなる一対の加工液供給部１５が配置されている。図４に示すように、各加工液供給部１５の下端には一次側口金１６が固定され、その一次側口金１６の端面には接続口１６ａが開口されている。各加工液ノズル１４の一端部には、加工液供給部１５の一次側口金１６に着脱可能に接続される二次側口金１７が固定されている。二次側口金１７の端面には、一次側口金１６の接続口１６ａに接続可能な接続口１７ａが開口されている。図３及び図４に示すように、前記一次側口金１６の端面には上下方向に延びる凹溝３０が形成されている。ノズル１４側の二次側口金１７の端面には、凹溝３０に係合可能な係合部３１が設けられている。前記一次側口金１６と二次側口金１７との間には、ノズル１４の装着にともなって二次側口金１７を一次側口金１６に対する接続方向(図３の右方向)へ引き込むように移動させるための一対のカム溝３４とカム片３５とよりなるカム構造３３が設けられている。各加工液ノズル１４の他端部には、他方の支持ブラケット１２上の長孔よりなる係止部１８に係脱可能なピン１９が突設されている。この他端部を決めた状態でノズル１４の一端部を上方からゆるやかに曲線を描くように加工液供給部に装着する。この時、まず、凹溝３０と係合部３１との係合によって口径方向の横位置が決まり、次に一対のカム溝３４とカム片３５とにより、二次側口金１７が一次側口金１６に対して接続方向及び上下方向に位置決めされて両口金１６，１７の接続口１６ａ，１７ａが密着状態に接続される。   As shown in FIG. 3, a pair of machining liquid supply portions 15 including supply pipes and the like are arranged on one support bracket 12 corresponding to both the machining liquid nozzles 14. As shown in FIG. 4, a primary side cap 16 is fixed to the lower end of each machining fluid supply unit 15, and a connection port 16 a is opened at the end surface of the primary side cap 16. A secondary side cap 17 that is detachably connected to the primary side cap 16 of the processing fluid supply unit 15 is fixed to one end of each processing fluid nozzle 14. A connection port 17 a that can be connected to the connection port 16 a of the primary side base 16 is opened at the end face of the secondary side base 17. As shown in FIGS. 3 and 4, a concave groove 30 extending in the vertical direction is formed on the end face of the primary side base 16. An engagement portion 31 that can be engaged with the concave groove 30 is provided on the end face of the secondary base 17 on the nozzle 14 side. Between the primary side base 16 and the secondary side base 17, the secondary side base 17 is moved so as to be pulled in the connecting direction with respect to the primary side base 16 (right direction in FIG. 3) as the nozzle 14 is mounted. A cam structure 33 including a pair of cam grooves 34 and a cam piece 35 is provided. At the other end portion of each machining liquid nozzle 14, a pin 19 that can be engaged with and disengaged from a locking portion 18 formed of a long hole on the other support bracket 12 is projected. With this other end determined, one end of the nozzle 14 is attached to the machining fluid supply unit so as to gently draw a curve from above. At this time, first, the lateral position in the caliber direction is determined by the engagement of the concave groove 30 and the engaging portion 31, and then the secondary side base 17 is made into the primary side base 16 by the pair of cam grooves 34 and the cam piece 35. The connection ports 16a and 17a of both the caps 16 and 17 are connected to each other in a close contact state.

図５及び図６に示すように、前記加工液ノズル１４には、供給管２０と、その供給管２０の上面に沿って一端部から中間部にかけて接合固定された導入管２１と、供給管２０内を上部室２０Ａと下部室２０Ｂとに区画するように供給管２０内に配置された区画板２２とが備えられている。供給管２０は断面四角形状の角パイプによって構成され、各角部を上下及び両側に位置させた状態で配置されている。供給管２０の下角部には、ワイヤ１３上に加工液を供給するためのスリット状の供給口２０ａが自身の延長方向に沿って延びるように形成されている。   As shown in FIGS. 5 and 6, the machining liquid nozzle 14 includes a supply pipe 20, an introduction pipe 21 joined and fixed from one end portion to an intermediate portion along the upper surface of the supply pipe 20, and a supply pipe 20. A partition plate 22 arranged in the supply pipe 20 so as to partition the inside into an upper chamber 20A and a lower chamber 20B is provided. The supply pipe 20 is constituted by a square pipe having a quadrangular cross section, and is arranged in a state where each corner is positioned on the top and bottom and both sides. A slit-like supply port 20a for supplying the processing liquid onto the wire 13 is formed at the lower corner of the supply pipe 20 so as to extend along the extension direction of the supply pipe 20 itself.

図３及び図５に示すように、前記導入管２１は断面円形状の丸パイプにより構成され、その導入管２１の一端部が二次側口金１７の接続口１７ａに連通されるとともに、他端部が供給管２０の上面中間部に接続されている。図５〜図７に示すように、前記区画板２２はその幅方向の中央において屈曲されて断面ほぼ山形状に形成され、供給管２０の他端側の開口端部２０ｂから供給管２０内の対向する横角部間に出し入れ可能に挿入されて、横角部の内側面によって保持されている。区画板２２の両翼の側板部には、複数の透孔２２ａが自身の延長方向に沿って所定間隔おきに配列形成されている。供給管２０の開口端部２０ｂにはキャップ２３が着脱可能に嵌着され、そのキャップ２３の外面に前記ピン１９が突設されている。   As shown in FIGS. 3 and 5, the introduction pipe 21 is constituted by a circular pipe having a circular cross section, and one end portion of the introduction pipe 21 communicates with the connection port 17 a of the secondary side cap 17 and the other end. The portion is connected to the upper surface middle portion of the supply pipe 20. As shown in FIGS. 5 to 7, the partition plate 22 is bent at the center in the width direction and is formed in a substantially mountain shape in cross section, and the inside of the supply pipe 20 from the opening end 20 b on the other end side of the supply pipe 20. It is inserted so as to be able to be taken in and out between the opposing lateral corners, and is held by the inner surface of the lateral corner. A plurality of through holes 22 a are arranged in the side plate portions of both wings of the partition plate 22 at predetermined intervals along the extending direction of the partition plate 22. A cap 23 is detachably fitted to the open end 20 b of the supply pipe 20, and the pin 19 projects from the outer surface of the cap 23.

図３及び図６に示すように、前記供給管２０の下部両側の外面には、供給口２０ａを外気流やゴミ等から保護するための一対の遮へい板２４が、供給管２０の外面に固着された複数のスペーサブロック２５と、両側からの複数のボルト２６とにより取り付けられている。そして、この遮へい板２４の取り付けによって、供給管２０の下部の供給口２０ａ付近の供給空間に対し、外気流やゴミ等の侵入を防止している。   As shown in FIG. 3 and FIG. 6, a pair of shielding plates 24 for protecting the supply port 20 a from external airflow and dust are fixed to the outer surface of the supply pipe 20 on the outer surfaces on both sides of the lower part of the supply pipe 20. A plurality of spacer blocks 25 and a plurality of bolts 26 from both sides are attached. The shielding plate 24 is attached to prevent the external airflow and dust from entering the supply space near the supply port 20a below the supply pipe 20.

次に、前記のように構成されたワイヤソーの加工液ノズルについて作用を説明する。
このワイヤソーにおいて、ワイヤ１３によりワークＷの切断加工が行われる際には、加工液が加工液供給部１５から加工液ノズル１４の導入管２１を介して供給管２０の上部室２０Ａ内に導入される。この場合、区画板２２が邪魔板になり、加工液は上部室２０Ａ内の全体に行き渡る。そして、この加工液が上部室２０Ａ内から区画板２２の各透孔２２ａをほぼ均等量ずつ通って供給管２０の下部室２０Ｂに流入される。このため、加工液が供給管２０の下部の供給口２０ａからワイヤ１３に向けて供給口２０ａの長さ方向においてほぼ均一な厚さのカーテン状をなすように、かつほぼ均一な落下速度で供給される。 Next, the operation of the wire saw machining liquid nozzle configured as described above will be described.
In this wire saw, when the workpiece W is cut by the wire 13, the machining liquid is introduced from the machining liquid supply unit 15 into the upper chamber 20 </ b> A of the supply pipe 20 through the introduction pipe 21 of the machining liquid nozzle 14. The In this case, the partition plate 22 serves as a baffle plate, and the processing liquid spreads throughout the upper chamber 20A. Then, the machining liquid flows from the upper chamber 20A through the through holes 22a of the partition plate 22 into the lower chamber 20B of the supply pipe 20 through almost equal amounts. Therefore, the machining liquid is supplied from the lower supply port 20a of the supply pipe 20 toward the wire 13 so as to form a curtain shape having a substantially uniform thickness in the length direction of the supply port 20a and at a substantially uniform drop speed. Is done.

すなわち、供給管２０内が区画板２２により上部室２０Ａと下部室２０Ｂとに区画されている。このため、供給管２０内に導入される加工液が供給口２０ａに向かって一気に流れることなく、上部室２０Ａ内に一時的に貯留される。次いで、加工液は区画板２２の各透孔２２ａを介して下部室２０Ｂ内に流入されて、加工液供給管２０の供給口２０ａからワイヤ１３に対して、その配列方向の全域にわたって均一に供給される。また、供給口２０ａが角パイプよりなる供給管２０の下角部に設けられているため、加工液が供給管２０の下部室２０Ｂ内において滞留することなく、供給管２０の両側内面に沿って供給口２０ａに向かって円滑に導かれる。   That is, the inside of the supply pipe 20 is partitioned into an upper chamber 20A and a lower chamber 20B by the partition plate 22. For this reason, the processing liquid introduced into the supply pipe 20 is temporarily stored in the upper chamber 20A without flowing all at once toward the supply port 20a. Next, the machining liquid is introduced into the lower chamber 20B through each through hole 22a of the partition plate 22, and is uniformly supplied from the supply port 20a of the machining liquid supply pipe 20 to the wire 13 in the entire arrangement direction. Is done. Further, since the supply port 20a is provided in the lower corner portion of the supply pipe 20 made of a square pipe, the machining liquid is supplied along the inner surfaces on both sides of the supply pipe 20 without staying in the lower chamber 20B of the supply pipe 20. It is smoothly guided toward the mouth 20a.

加工液ノズル１４の清掃を行う場合には、図３に示す状態から加工液供給部１５の一次側口金１６に対する加工液ノズル１４の二次側口金１７の接続を解き離すとともに、加工液ノズル１４の端部のピン１９をワイヤソーフレームの係止部１８から外して、加工液ノズル１４を加工液供給部１５から取り外す。その後、図７に示すように、供給管２０の開口端部２０ｂからキャップ２３を取り外して、その開口端部２０ｂから供給管２０内の区画板２２を引き出せば、供給管２０の内部及び区画板２２を容易に清掃することができる。   When the machining liquid nozzle 14 is cleaned, the secondary side base 17 of the machining liquid nozzle 14 is disconnected from the primary side base 16 of the machining liquid supply unit 15 from the state shown in FIG. The pin 19 at the end of the wire is removed from the locking part 18 of the wire saw frame, and the machining liquid nozzle 14 is removed from the machining liquid supply part 15. Then, as shown in FIG. 7, if the cap 23 is removed from the opening end 20b of the supply pipe 20, and the partition plate 22 in the supply pipe 20 is pulled out from the opening end 20b, the inside of the supply pipe 20 and the partition plate 22 can be easily cleaned.

そして、供給管２０及び区画板２２の清掃後には、供給管２０の開口端部２０ｂから供給管２０の内部に区画板２２を挿入した後、開口端部２０ｂにキャップ２３を嵌着する。この場合、供給管２０が角パイプより構成されているため、区画板２２を供給管２０内に挿入した状態で、供給管２０内の対向する横角部間に支持することができる。その後、図２及び図３に示すように、加工液ノズル１４の二次側口金１７を加工液供給部１５の一次側口金１６に接続すればよい。このようにすれば、加工液ノズル１４が各加工用ローラ１１の上方位置においてワイヤ１３の配列方向に沿って延長配置させることができる。   After the supply pipe 20 and the partition plate 22 are cleaned, the partition plate 22 is inserted into the supply pipe 20 from the opening end 20b of the supply pipe 20, and then the cap 23 is fitted to the opening end 20b. In this case, since the supply pipe 20 is composed of a square pipe, the partition plate 22 can be supported between the opposing lateral corners in the supply pipe 20 with the partition plate 22 inserted into the supply pipe 20. Thereafter, as shown in FIGS. 2 and 3, the secondary side base 17 of the machining liquid nozzle 14 may be connected to the primary side base 16 of the machining liquid supply unit 15. If it does in this way, the process liquid nozzle 14 can be extendedly arranged along the arrangement direction of the wire 13 in the upper position of each processing roller 11.

従って、この実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
（１） この加工液ノズルにおいては、供給管２０内を上下に区画するように区画板２２を設け、その区画板２２には、自身の延長方向に沿って複数の透孔２２ａを配列している。このため、加工液供給部１５から供給管２０の上部室２０Ａに導入された加工液が、一旦上部室２０Ａ内に貯留された後に、区画板２２の透孔２２ａを通して供給管２０の下部室２０Ｂに流入され、供給管２０の下部の供給口２０ａからワイヤ１３に向けて均一に供給される。そして、加工液ノズル１４が供給管２０内に板状の区画板２２を設けて構成されているだけであるため、内側管と外側管との二重構造よりなる従来構成の加工液ノズルに比較して、構造を簡略化することができて、加工液ノズル１４の加工の手間の低減を図ることができる。 Therefore, according to this embodiment, the following effects can be obtained.
(1) In this machining liquid nozzle, a partition plate 22 is provided so as to partition the inside of the supply pipe 20 up and down, and a plurality of through holes 22a are arranged in the partition plate 22 along its own extending direction. Yes. For this reason, the processing liquid introduced into the upper chamber 20A of the supply pipe 20 from the processing liquid supply unit 15 is once stored in the upper chamber 20A, and then the lower chamber 20B of the supply pipe 20 through the through hole 22a of the partition plate 22. And is uniformly supplied toward the wire 13 from the supply port 20 a below the supply pipe 20. Since the machining liquid nozzle 14 is simply configured by providing a plate-like partition plate 22 in the supply pipe 20, it is compared with a machining liquid nozzle having a conventional structure having a double structure of an inner pipe and an outer pipe. As a result, the structure can be simplified and the processing time of the machining liquid nozzle 14 can be reduced.

（２） この加工液ノズルにおいては、前記供給管２０が角パイプによって構成されている。そして、供給管２０の下角部に供給口２０ａが形成されるとともに、供給管２０内の対向する横角部間に区画板２２が設けられている。このため、供給管２０内に区画板２２のための特別の支持構造を設けることなく、横角部間に区画板２２を保持することができる。また、供給口２０ａが角パイプよりなる供給管２０の下角部に設けられているため、加工液を供給管２０の両側内面に沿って供給口２０ａに円滑に導くことができる。   (2) In this machining liquid nozzle, the supply pipe 20 is constituted by a square pipe. A supply port 20 a is formed at the lower corner of the supply pipe 20, and a partition plate 22 is provided between the opposing horizontal corners in the supply pipe 20. For this reason, the partition plate 22 can be held between the lateral corners without providing a special support structure for the partition plate 22 in the supply pipe 20. Further, since the supply port 20a is provided at the lower corner portion of the supply pipe 20 made of a square pipe, the machining liquid can be smoothly guided to the supply port 20a along the inner surfaces on both sides of the supply pipe 20.

（３） この加工液ノズルにおいては、前記区画板２２が供給管２０の開口端部２０ｂから出し入れ可能に構成されている。このため、加工液ノズル１４を加工液供給部１５から取り外して清掃する際に、区画板２２を供給管２０内から抜き出して、供給管２０の内部及び区画板２２の清掃を容易に行うことができる。   (3) In this machining liquid nozzle, the partition plate 22 is configured to be able to be taken in and out from the open end 20 b of the supply pipe 20. For this reason, when the machining liquid nozzle 14 is removed from the machining liquid supply unit 15 and cleaned, the partition plate 22 can be extracted from the supply pipe 20 to easily clean the inside of the supply pipe 20 and the partition plate 22. it can.

（４） この加工液ノズルにおいては、前記供給管２０の下部両側の外面には、供給口２０ａを外気流やゴミ等から保護するための遮へい板２４が設けられている。このため、供給口２０ａから供給される加工液の流れを安定させ、穴づまり等を防止することができて、高精度加工に寄与できる。   (4) In this machining liquid nozzle, shielding plates 24 are provided on the outer surfaces of the lower side of the supply pipe 20 to protect the supply port 20a from external airflow and dust. For this reason, the flow of the machining liquid supplied from the supply port 20a can be stabilized, hole clogging and the like can be prevented, which can contribute to high-precision machining.

（５） この加工液ノズルにおいては、区画板２２がその幅方向の中央において屈曲されているため、区画板２２は厚さが薄くても変形しにくく、高剛性を有する。
（変更例）
なお、この実施形態は、次のように変更して具体化することも可能である。 (5) In this machining liquid nozzle, since the partition plate 22 is bent at the center in the width direction, the partition plate 22 is not easily deformed even if it is thin, and has high rigidity.
(Example of change)
In addition, this embodiment can also be changed and embodied as follows.

・ 供給管２０の下部の供給口２０ａをスリット状にかえて、複数の小孔により構成すること。
・ 区画板２２をその中央部の屈曲部が谷になるように、前記実施形態とは上下反転した姿勢で使用すること。 -The supply port 20a in the lower part of the supply pipe 20 is changed to a slit shape, and is constituted by a plurality of small holes.
-The partition plate 22 is used in an upside down posture with the above embodiment so that the bent portion at the center thereof is a valley.

・ 前記区画板２２を屈曲形状ではなく、断面湾曲形状に形成すること。
・ 前記区画板２２を屈曲あるいは湾曲させることなく、フラット形状にすること。
・ 前記供給管２０を四角形以外の多角形断面とすること。例えば、供給管２０を五角形断面に形成して、ひとつの角部に形成した供給口を下にするとともに、対向する横角部間に区画板２２を設けること。 The partition plate 22 is formed not in a bent shape but in a curved cross section.
-The partition plate 22 is made flat without being bent or curved.
The supply pipe 20 has a polygonal cross section other than a square. For example, the supply pipe 20 is formed in a pentagonal cross section, the supply port formed in one corner is turned down, and the partition plate 22 is provided between the opposing lateral corners.

・ キャップ２３と区画板２２とを固定すること。このようにすれば、キャップ２３を外すことによってそのキャップ２３の取り外しとともに区画板２２を供給管２０内から抜き出すことができる。   -Fix the cap 23 and the partition plate 22. In this way, by removing the cap 23, the partition plate 22 can be extracted from the supply pipe 20 along with the removal of the cap 23.

・ 複数の加工液ノズル１４を平行に設置して、複数連構成とすること。
・ 図７に２点鎖線で示すように、区画板２２の透孔２２ａに代えて、区画板２２の側縁に加工液を通すための複数の凹部４２を所定間隔で形成すること。このようにすれば、各凹部４２を同時に形成することができて、区画板２２の加工効率が向上する。 -A plurality of machining fluid nozzles 14 are installed in parallel to form a plurality of continuous configurations.
As shown by a two-dot chain line in FIG. 7, instead of the through holes 22 a of the partition plate 22, a plurality of recesses 42 for passing the processing liquid to the side edges of the partition plate 22 are formed at predetermined intervals. If it does in this way, each recessed part 42 can be formed simultaneously, and the processing efficiency of the division board 22 will improve.

１１…加工用ローラ、１３…ワイヤ、１４…加工液ノズル、１５…加工液供給部、２０…供給管、２０Ａ…上部室、２０Ｂ…下部室、２０ａ…供給口、２０ｂ…開口端部、２２…区画板、２２ａ…透孔、２３…キャップ、２４…遮へい板。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Processing roller, 13 ... Wire, 14 ... Processing liquid nozzle, 15 ... Processing liquid supply part, 20 ... Supply pipe, 20A ... Upper chamber, 20B ... Lower chamber, 20a ... Supply port, 20b ... Open end part, 22 ... partition plate, 22a ... through hole, 23 ... cap, 24 ... shielding plate.

Claims (6)

ワイヤソーの加工部の上方にワイヤの配列方向に沿って延長され、ワイヤ上に加工液を供給するための加工液ノズルにおいて、
加工液供給部に連結され、下部に自身の延長方向に沿って供給口を有する供給管と、
その供給管内を上下に区画するように供給管内に設けられ、自身の延長方向に沿って複数の透孔を配列した区画板と
を備えたことを特徴とするワイヤソーの加工液ノズル。 In a processing liquid nozzle that extends along the wire arrangement direction above the processing portion of the wire saw and supplies the processing liquid onto the wire,
A supply pipe connected to the processing liquid supply unit and having a supply port along its extension direction at the bottom;
A wire saw machining liquid nozzle, comprising: a partition plate provided in the supply pipe so as to partition the supply pipe in the vertical direction and having a plurality of through holes arranged along an extending direction of the supply pipe. 前記供給管を多角形パイプによって構成するとともに、前記区画板を対向する横角部間に設けたことを特徴とする請求項１に記載のワイヤソーの加工液ノズル。 2. The wire saw machining liquid nozzle according to claim 1, wherein the supply pipe is formed of a polygonal pipe, and the partition plate is provided between opposing lateral corner portions. 前記供給口を下角部に形成したことを特徴とする請求項２に記載のワイヤソーの加工液ノズル。 The wire saw machining liquid nozzle according to claim 2, wherein the supply port is formed in a lower corner portion. 前記区画板を供給管の端部から出し入れ可能にしたことを特徴とする請求項１〜３のうちのいずれか一項に記載のワイヤソーの加工液ノズル。 The wire saw machining liquid nozzle according to any one of claims 1 to 3, wherein the partition plate can be taken in and out from an end of a supply pipe. 前記供給口を外気流やゴミ等から保護するための遮へい板を供給管の外側に設けたことを特徴とする請求項３または４に記載のワイヤソーの加工液ノズル。 5. The wire saw machining liquid nozzle according to claim 3, wherein a shielding plate for protecting the supply port from an external airflow and dust is provided outside the supply pipe. 6. 前記区画板をその幅方向の中央部で屈曲したことを特徴とする請求項１〜５のうちのいずれか一項に記載のワイヤソーの加工液ノズル。 The wire saw machining liquid nozzle according to any one of claims 1 to 5, wherein the partition plate is bent at a central portion in a width direction thereof.
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