JP2012529590A - 真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- ポンプ室(12)を形成するポンプハウジング(10)と、
前記ポンプ室(12)に配置された少なくとも1つのポンプ要素(14)と、
該少なくとも1つのポンプ要素(14)を駆動するための電動機(24)と、
該電動機(24)に接続されており、該電動機の回転速度を変更するための周波数インバータ(30)と
を備えており、
前記周波数インバータ(30)は、前記ポンプハウジング(10)に隣接した周波数インバータハウジング(32)内に配置されており、
空気冷却器(34)及び液体冷却器(36,50) が、前記周波数インバータ(30)を冷却するために前記周波数インバータハウジング(32)内に配置されていることを特徴とする真空ポンプ。 - 前記周波数インバータハウジング(32)及び前記ポンプハウジング(10)は一体的に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記空気冷却器(34)は、前記周波数インバータ(30)を冷却する気流を発生させる送風器(38)を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の真空ポンプ。
- 前記液体冷却器(36,50) は、前記周波数インバータハウジング(32)に配置された冷却要素(40,42,44;52,54) を備えており、前記気流は、冷却すべく前記冷却要素に沿って流れることを特徴とする請求項3に記載の真空ポンプ。
- 前記冷却要素(40,42,44; 52,54) は、表面を増大させるべく冷却リブ(40,52)を有しており、該冷却リブは、好ましくは前記周波数インバータ(30)の方に向いていることを特徴とする請求項4に記載の真空ポンプ。
- 前記液体冷却器(36)は、好ましくは冷却媒体が流れる冷却コイル(44)に接続された冷却板(42)を備えていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記冷却リブ(40)は、前記冷却板(42)に直接接続されていることを特徴とする請求項6に記載の真空ポンプ。
- 前記冷却板(42)は、前記周波数インバータハウジング(32)の側壁の少なくとも一部を形成していることを特徴とする請求項6又は7に記載の真空ポンプ。
- 前記電動機(24)は、前記周波数インバータハウジング(32)内に配置されており、前記電動機(24)は、好ましくは冷却すべく液体冷却器(50)を備えていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記液体冷却器(50)は、前記電動機(24)を少なくとも部分的に、特には完全に囲んでいることを特徴とする請求項9に記載の真空ポンプ。
- 冷却コイル(54)が、前記液体冷却器(50)に配置されており、特には前記電動機(24)を囲んで螺旋状に配置されていることを特徴とする請求項10に記載の真空ポンプ。
- 前記液体冷却器(50)は冷却リブ(52)を有しており、該冷却リブ(52)は、特には外側に向いていることを特徴とする請求項9乃至11のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記液体冷却器(36)は、前記真空ポンプの冷却回路に一体化されていることを特徴とする請求項1乃至12のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記周波数インバータ(30)及び/又は前記周波数インバータハウジング(32)は振動減衰要素(48)に支持されていることを特徴とする請求項1乃至13のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記液体冷却器(50)は、前記電動機(24)を少なくとも部分的に囲んでいることを特徴とする請求項1乃至5及び請求項9乃至14のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記電動機(24)は、前記周波数インバータハウジング(32)内に配置されていることを特徴とする請求項1乃至5及び請求項9乃至15のいずれかに記載の真空ポンプ。
- 前記周波数インバータハウジング(32)は、前記電動機の液冷ハウジングに熱的に結合されるように接していることを特徴とする請求項1乃至16のいずれかに記載の真空ポンプ。
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