JP2012248433A - Light emitting device and electronic device - Google Patents

Light emitting device and electronic device Download PDF

Info

Publication number
JP2012248433A
JP2012248433A JP2011119674A JP2011119674A JP2012248433A JP 2012248433 A JP2012248433 A JP 2012248433A JP 2011119674 A JP2011119674 A JP 2011119674A JP 2011119674 A JP2011119674 A JP 2011119674A JP 2012248433 A JP2012248433 A JP 2012248433A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light emitting
light
emitting device
film
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011119674A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5760699B2 (en
Inventor
Yukiya Shiratori
幸也 白鳥
Koji Yasukawa
浩司 安川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2011119674A priority Critical patent/JP5760699B2/en
Publication of JP2012248433A publication Critical patent/JP2012248433A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5760699B2 publication Critical patent/JP5760699B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture a light emitting device of a top emission type combining a white organic EL element with a resonance structure, in an Si manufacturing line while improving light extraction efficiency and color purity.SOLUTION: A transparent film 14 is formed on a reflection film 13 on a first electrode side of the lower side, and a semi-transmissive electrode 15 such as TiN is formed on this transparent film 14. A hole injection film 20 is formed on the semi-transmissive electrode 15, and an OLED layer 21 is formed on the hole injection film 20. A counter electrode 22 is formed on the OLED layer 21 as a light extraction side electrode.

Description

本発明は、各種の発光素子を利用した発光装置およびこの発光装置を備えた電子機器に関する。   The present invention relates to a light emitting device using various light emitting elements and an electronic apparatus including the light emitting device.

近年、基板上に有機EL(エレクトロルミネッセンス)素子を発光素子として形成し、発光素子の発光光を基板と反対側に取り出すトップエミッション方式の発光装置が電子機器の表示装置などとして多用されている。トップエミッション方式は、発光素子を挟み、基板側に形成された一方の第1電極(例えば陽極)と基板との間に反射層を形成し、発光素子を挟む他方の第2電極(例えば陰極)側から光を取り出す方式であって、光の利用効率が高い方式である。   In recent years, a top emission type light-emitting device in which an organic EL (electroluminescence) element is formed as a light-emitting element on a substrate and light emitted from the light-emitting element is extracted on the side opposite to the substrate has been widely used as a display device for electronic devices. In the top emission method, a reflective layer is formed between one of the first electrodes (for example, an anode) formed on the substrate side and the substrate, with the light emitting element interposed therebetween, and the other second electrode (for example, a cathode) that sandwiches the light emitting element. This is a method of taking out light from the side, and is a method with high light utilization efficiency.

トップエミッション方式の発光装置は、白色の有機EL素子を用い、前記第2電極と反射層との間で所定の波長の光を共振させる構造を有しているが、赤色、緑色、および青色の各色の共振長を調整する方法としては、基板側の透明膜の膜厚または第一電極としての透明導電膜の膜厚で調整する方法が開示されている(特許文献1)。この方法によれば、光取出し効率が向上するのみならず、色純度を改善でき、高い画像品質のディスプレイを実現することができる。
また、有機EL素子の膜厚を約100nm程度にすることで、赤色、緑色、および青色の各色の波長を取り出し、カラーフィルターで色純度を高くする構造が間提案されている(例えば非特許文献1)。この技術では、画素毎に共振長を調整する必要がないため、構造が簡単になり、さらには、透明導電膜が必要ないために製造工程上のメリットが得られる。
The top emission type light emitting device uses a white organic EL element and has a structure in which light of a predetermined wavelength is resonated between the second electrode and the reflective layer. As a method of adjusting the resonance length of each color, a method of adjusting the film thickness of the transparent film on the substrate side or the film thickness of the transparent conductive film as the first electrode is disclosed (Patent Document 1). According to this method, not only the light extraction efficiency is improved, but also the color purity can be improved, and a display with high image quality can be realized.
In addition, a structure has been proposed in which the wavelength of each color of red, green, and blue is extracted by increasing the film thickness of the organic EL element to about 100 nm and the color purity is increased by a color filter (for example, non-patent literature). 1). In this technique, since it is not necessary to adjust the resonance length for each pixel, the structure is simplified, and further, since a transparent conductive film is not required, an advantage in the manufacturing process can be obtained.

特許第2797883号公報Japanese Patent No. 2797883

SID2010 P-146/S.Lee, Samsung Mobile Display Co.,LtdSID2010 P-146 / S.Lee, Samsung Mobile Display Co., Ltd

しかしながら、特許文献1の方法では、パーティクルというゴミを発生しやすいこと、材料であるITO等の透明導電膜を成膜することが必須であるため、ICなどを製造するSiの製造ラインには用いることが難しいという問題がある。
また、非特許文献1の方法では、透明導電膜が必要でないために、Siの製造ラインに導入しやすい等の利点があるが、一方で、光取り出し効率が低く、色純度が悪いために、ディスプレイの画像品質的には不利になるという問題があった。
However, since the method of Patent Document 1 is liable to generate dust particles and it is essential to form a transparent conductive film such as ITO as a material, it is used for a Si production line for producing ICs and the like. There is a problem that it is difficult.
In addition, the method of Non-Patent Document 1 does not require a transparent conductive film, and thus has an advantage of being easily introduced into a Si production line. On the other hand, because light extraction efficiency is low and color purity is poor, There was a problem that the image quality of the display was disadvantageous.

このような事情を背景として、本発明は、白色の有機EL素子と共振構造を組み合わせたトップエミッション方式の発光装置において、光取り出し効率と色純度を高めつつ、製造ラインによらない製造方法により発送装置を製造可能とする、という課題の解決を目的としている。   Against this backdrop, the present invention is a top emission type light emitting device combining a white organic EL element and a resonant structure, while improving light extraction efficiency and color purity, and shipping by a manufacturing method that does not depend on the manufacturing line. The object is to solve the problem of making the device manufacturable.

以上の課題を解決するために、本発明に係る発光装置は、基板と、前記基板上に形成された光反射膜と、前記光反射層上に形成された発光層と、前記発光層上に形成された光取り出し側電極とを備え、前記光反射膜と光取り出し側電極の間の光路長を調整した共振構造を有する発光装置であって、少なくとも一つの色の画素は、前記発光層と光反射膜との間に、前記光反射膜上に形成される透明膜と、前記透明膜上に形成される半透過電極とを備えることを特徴とする。   In order to solve the above-described problems, a light emitting device according to the present invention includes a substrate, a light reflecting film formed on the substrate, a light emitting layer formed on the light reflecting layer, and the light emitting layer. And a light emitting device having a resonance structure in which an optical path length between the light reflection film and the light extraction side electrode is adjusted, wherein at least one color pixel includes the light emission layer and A transparent film formed on the light reflecting film and a transflective electrode formed on the transparent film are provided between the light reflecting film and the light reflecting film.

本発明においては、少なくとも一つの色の画素は、前記発光層と光反射膜との間に、前記光反射膜上に形成される透明膜と、前記透明膜上に形成される半透過電極とを備えるので、ITOのような透明導電膜を使用せずに発光装置を提供することができるので、一般的なSiを用いた製造ラインの設備をそのまま使用することができ、新たな設備投資を必要とせずに低コスト化を実現することができる。   In the present invention, at least one color pixel includes a transparent film formed on the light reflecting film and a transflective electrode formed on the transparent film between the light emitting layer and the light reflecting film. Therefore, it is possible to provide a light emitting device without using a transparent conductive film such as ITO. Therefore, it is possible to use a production line facility using general Si as it is, and to make a new capital investment. Cost reduction can be realized without necessity.

本発明に係る発光装置として、前記半透過電極として、400nmから600nmの波長に対する消衰係数が3.0以下の半透過電極を用いることもできる。   In the light emitting device according to the present invention, as the semi-transmissive electrode, a semi-transmissive electrode having an extinction coefficient of 3.0 or less with respect to a wavelength of 400 nm to 600 nm can be used.

本発明に係る発光装置においては、前記半透過電極の400nmから600nmの波長に対する消衰係数が3.0以下なので、発光層との界面における反射率が低く、消衰係数の低い金属材料を用いることができ、光取り出し効率および色純度の高い発光装置を、例えば半導体製造ライン、詳しくはSiを用いた製造ラインにおいて発光装置を製造することができる。   In the light emitting device according to the present invention, since the extinction coefficient with respect to the wavelength of 400 nm to 600 nm of the transflective electrode is 3.0 or less, a metal material having a low reflectance at the interface with the light emitting layer and a low extinction coefficient is used. The light emitting device with high light extraction efficiency and color purity can be manufactured, for example, in a semiconductor manufacturing line, specifically, a manufacturing line using Si.

本発明に係る発光装置は、前記半透過電極をTiNで形成することもできる。本発明に係る発光装置においては、前記半透過電極がTiNなので、発光層との界面における反射率が低く、消衰係数の低い金属材料を用いることができ、光取り出し効率および色純度の高い発光装置を、Siを用いた製造ラインにおいて発光装置を製造することができる。   In the light emitting device according to the present invention, the transflective electrode may be formed of TiN. In the light emitting device according to the present invention, since the transflective electrode is TiN, a metal material having a low reflectance at the interface with the light emitting layer and a low extinction coefficient can be used, and light emission with high light extraction efficiency and color purity can be used. The light emitting device can be manufactured in a manufacturing line using Si.

本発明に係る発光装置は、前記半透過電極を半導体材料とすることができる。本発明に係る発光装置においては、前記半透過電極が半導体材料なので、発光層との界面における反射率が低く、消衰係数の低い金属材料を用いることができ、光取り出し効率および色純度の高い発光装置を、Siを用いた製造ラインにおいて発光装置を製造することができる。   In the light emitting device according to the present invention, the semi-transmissive electrode can be made of a semiconductor material. In the light emitting device according to the present invention, since the transflective electrode is a semiconductor material, a metal material having low reflectance at the interface with the light emitting layer and a low extinction coefficient can be used, and light extraction efficiency and color purity are high. The light emitting device can be manufactured in a production line using Si.

本発明に係る発光装置は、前記半透過電極を不純物ドープされた多結晶SiもしくはアモルファスSiとすることもできる。本発明に係る発光装置においては、前記半透過電極が不純物ドープされた多結晶SiもしくはアモルファスSiなので、発光層との界面における反射率が低く、消衰係数の低い金属材料を用いることができ、光取り出し効率および色純度の高い発光装置を、Siを用いた製造ラインにおいて発光装置を製造することができる。   In the light emitting device according to the present invention, the transflective electrode may be made of polycrystalline Si or amorphous Si doped with impurities. In the light emitting device according to the present invention, since the transflective electrode is polycrystalline Si or amorphous Si doped with impurities, the reflectance at the interface with the light emitting layer is low, and a metal material having a low extinction coefficient can be used. A light emitting device having high light extraction efficiency and high color purity can be manufactured on a production line using Si.

本発明に係る発光装置は、前記半透過電極と発光層との間に正孔注入層を形成することもできる。本発明に係る発光装置においては、発光層へ適切に正孔注入を行うことができ、高い光取り出し効率と広色域における発光を実現できる。   In the light emitting device according to the present invention, a hole injection layer may be formed between the transflective electrode and the light emitting layer. In the light emitting device according to the present invention, holes can be appropriately injected into the light emitting layer, and high light extraction efficiency and light emission in a wide color gamut can be realized.

本発明に係る発光装置は、前記正孔注入層を酸化物、特に、MoOとすることもできる。本発明に係る発光装置においては、前記正孔注入層を酸化物、特に、MoOなので、発光層へ適切に正孔注入を行うことができ、高い光取り出し効率と広色域における発光を実現できる。 In the light emitting device according to the present invention, the hole injection layer may be an oxide, particularly MoO 3 . In the light emitting device according to the present invention, since the hole injection layer is an oxide, in particular, MoO 3 , hole injection can be appropriately performed to the light emitting layer, and high light extraction efficiency and light emission in a wide color gamut are realized. it can.

本発明に係る発光装置は、前記光反射層から光取り出し側電極までの光学的距離をD、半透過電極での反射における位相シフトをφ、光取り出し側電極での反射における位相シフトをφ、定在波のピーク波長をλ、整数をmとすると、
D={(2πm+φ+φ)/4π}λ
を満たす共振構造を有し、前記透明膜以外の各膜および各層の膜厚は、各色の画素において同じ値に設定することもできる。本発明に係る発光装置においては、上述のような共振構造を有しているので、高い光取り出し効率と広色域における発光を実現できる。
In the light emitting device according to the present invention, the optical distance from the light reflecting layer to the light extraction side electrode is D, the phase shift in reflection at the semi-transmissive electrode is φ L , and the phase shift in reflection at the light extraction side electrode is φ U , where λ is the peak wavelength of the standing wave and m is the integer,
D = {(2πm + φ L + φ U ) / 4π} λ
The film thickness of each film and each layer other than the transparent film can be set to the same value for each color pixel. Since the light emitting device according to the present invention has the above-described resonance structure, high light extraction efficiency and light emission in a wide color gamut can be realized.

本発明に係る発光装置は、基板側電極は、Al、Ag、もしくはこれらの合金材料とすることもできる。本発明に係る発光装置においては、基板側電極は、Al、Ag、もしくはこれらの合金材料なので、基板側電極に反射層として機能を持たせることができ、光取り出し効率を高めることができる。   In the light emitting device according to the present invention, the substrate side electrode may be made of Al, Ag, or an alloy material thereof. In the light emitting device according to the present invention, since the substrate-side electrode is made of Al, Ag, or an alloy material thereof, the substrate-side electrode can have a function as a reflective layer, and light extraction efficiency can be increased.

本発明に係る発光装置は、前記光取り出し側電極をアルカリ金属、またはアルカリ土類金属を含んだ合金材料とすることもできる。本発明に係る発光装置においては、前記光取り出し側電極がアルカリ金属、またはアルカリ土類金属を含んだ合金材料なので、発光層を挟んで基板側電極との間で適切に共振構造を実現することができる。   In the light emitting device according to the present invention, the light extraction side electrode may be made of an alloy material containing an alkali metal or an alkaline earth metal. In the light emitting device according to the present invention, since the light extraction side electrode is an alloy material containing an alkali metal or an alkaline earth metal, a resonance structure can be appropriately realized between the light emitting layer and the substrate side electrode. Can do.

本発明に係る発光装置は、前記光取り出し側電極をMgAgとすることもできる。本発明に係る発光装置においては、前記光取り出し側電極がMgAgなので、発光層を挟んで基板側電極との間で適切に共振構造を実現することができる。   In the light emitting device according to the present invention, the light extraction side electrode may be MgAg. In the light emitting device according to the present invention, since the light extraction side electrode is MgAg, a resonant structure can be appropriately realized between the light emitting layer and the substrate side electrode.

本発明に係る発光装置は、前記光取り出し側電極の上層にカラーフィルターを設けることができる。本発明に係る発光装置においては、白色の有機EL層を用いた発光層から適切に各色の発光色を効率良く取り出すことができる。   In the light emitting device according to the present invention, a color filter can be provided on the light extraction side electrode. In the light-emitting device according to the present invention, it is possible to appropriately and efficiently extract each luminescent color from the light-emitting layer using the white organic EL layer.

本発明に係る電子機器は、上述の発光装置を備えている。本発明に係る電子機器においては、低消費電力で広色域な表示装置を有する電子機器を提供できる。   An electronic apparatus according to the present invention includes the light emitting device described above. The electronic apparatus according to the present invention can provide an electronic apparatus having a display device with low power consumption and a wide color gamut.

本発明の一実施形態に係る発光装置の概要を示す模式的な断面図である。It is typical sectional drawing which shows the outline | summary of the light-emitting device which concerns on one Embodiment of this invention. 図1におけるOLED層の正孔輸送層、発光層、および、電子輸送層に用いられた材料を示す図である。It is a figure which shows the material used for the positive hole transport layer of the OLED layer in FIG. 1, a light emitting layer, and an electron carrying layer. Al、Cu、TiN、Mo、および、Wの各波長に対する屈折率の変化を示す図である。It is a figure which shows the change of the refractive index with respect to each wavelength of Al, Cu, TiN, Mo, and W. Al、Cu、TiN、Mo、および、Wの各波長に対する消衰係数の変化を示す図である。It is a figure which shows the change of the extinction coefficient with respect to each wavelength of Al, Cu, TiN, Mo, and W. OLED層の有機EL物質と金属材料感の反射率の計算結果と、Siを用いた製造ラインで使用されている代表的な金属材料の400〜600nmの波長に対する反射率を示す図である。It is a figure which shows the reflectance with respect to the wavelength of 400-600 nm of the typical metal material used in the production line using Si, and the organic EL substance of an OLED layer, and the reflectance of a metallic material feeling. 比較例1および比較例2の発光装置の概要を示す模式的な断面図である。It is a typical sectional view showing an outline of a light emitting device of comparative example 1 and comparative example 2. 実施例1、実施例2、比較例1および比較例2に使用したカラーフィルターの特性を示す図である。It is a figure which shows the characteristic of the color filter used for Example 1, Example 2, the comparative example 1, and the comparative example 2. FIG. 実施例1および比較例2の各色発光素子の各波長に対する発光スペクトルを示す図である。It is a figure which shows the emission spectrum with respect to each wavelength of each color light emitting element of Example 1 and Comparative Example 2. 実施例2および比較例2の各色発光素子の各波長に対する発光スペクトルを示す図である。It is a figure which shows the emission spectrum with respect to each wavelength of each color light emitting element of Example 2 and Comparative Example 2. 比較例1の各色発光素子の各波長に対する発光スペクトルを示す図である。It is a figure which shows the emission spectrum with respect to each wavelength of each color light emitting element of the comparative example 1. 実施例1、実施例2、変形例、比較例1および比較例2の消費電力およびNTSC比を示す図である。It is a figure which shows the power consumption and NTSC ratio of Example 1, Example 2, a modification, the comparative example 1, and the comparative example 2. FIG. 実施例3および比較例2の各色発光素子の各波長に対する発光スペクトルを示す図である。It is a figure which shows the emission spectrum with respect to each wavelength of each color light emitting element of Example 3 and Comparative Example 2. 実施例4および比較例2の各色発光素子の各波長に対する発光スペクトルを示す図である。It is a figure which shows the emission spectrum with respect to each wavelength of each color light emitting element of Example 4 and Comparative Example 2. 実施例1、実施例2、実施例3、実施例4、比較例1および比較例2の消費電力を示す図である。It is a figure which shows the power consumption of Example 1, Example 2, Example 3, Example 4, the comparative example 1, and the comparative example 2. FIG. 実施例1、実施例2、実施例3、実施例4、比較例1および比較例2のNTSC比を示す図である。It is a figure which shows NTSC ratio of Example 1, Example 2, Example 3, Example 4, the comparative example 1, and the comparative example 2. FIG. 半透過電極をTiNおよびAlで形成し、膜厚を10nm、20nm、500nmにした場合の波長に対する反射率の変化を示す図である。It is a figure which shows the change of the reflectance with respect to a wavelength at the time of forming a semi-transmissive electrode by TiN and Al and making film thickness into 10 nm, 20 nm, and 500 nm. 半透過電極をTiNおよびAlで形成し、膜厚を10nm、20nm、500nmにした場合の波長に対する透過率の変化を示す図である。It is a figure which shows the change of the transmittance | permeability with respect to a wavelength at the time of forming a semi-transmissive electrode by TiN and Al and making film thickness into 10 nm, 20 nm, and 500 nm. 図16の反射率と図17の透過率を説明する図である。It is a figure explaining the reflectance of FIG. 16, and the transmittance | permeability of FIG. 図1の実施形態に係る発光装置を表示装置として採用したモバイル型のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the mobile personal computer which employ | adopted the light-emitting device which concerns on embodiment of FIG. 1 as a display apparatus. 図1の実施形態に係る発光装置を表示装置として採用した携帯電話機の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the mobile telephone which employ | adopted the light-emitting device which concerns on embodiment of FIG. 1 as a display apparatus. 図1の実施形態に係る発光装置を表示装置として採用した携帯情報端末の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the portable information terminal which employ | adopted the light-emitting device which concerns on embodiment of FIG. 1 as a display apparatus.

以下、添付の図面を参照しながら本発明に係る様々な実施の形態を説明する。図面においては、各部の寸法の比率は実際のものとは適宜に異ならせてある。
<A:発光装置の構造>
図1は、本発明の一実施形態に係る発光装置D1の概要を示す模式的な断面図である。発光装置E1は、複数の画素が図示しない下辺の第1基板の面上に配列された構成であるが、図1においては、説明の便宜上、一つの色の画素のみが例示されている。本実施形態の発光装置E1は、トップエミッション型であり、画素にて発生した光は図1の上方に向かって進行する。従って、ガラスなどの光透過性を有する板材のほか、セラミックスや金属のシートなど不透明な板材を図示しない下辺の第1基板として採用することができる。また、第1基板には、画素に給電して発光させるための配線が配置されているが、配線の図示についても省略する。
Hereinafter, various embodiments according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the ratio of dimensions of each part is appropriately changed from the actual one.
<A: Structure of light emitting device>
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an outline of a light emitting device D1 according to an embodiment of the present invention. The light emitting device E1 has a configuration in which a plurality of pixels are arranged on the surface of the first substrate on the lower side (not shown). In FIG. 1, only one color pixel is illustrated for convenience of explanation. The light emitting device E1 of the present embodiment is a top emission type, and light generated in the pixels travels upward in FIG. Therefore, in addition to a light-transmitting plate material such as glass, an opaque plate material such as a ceramic or metal sheet can be employed as the lower first substrate not shown. In addition, although wiring for supplying light to the pixels to emit light is arranged on the first substrate, illustration of the wiring is also omitted.

第1基板の上には、反射膜13、透明膜14、半透過電極(第1電極)15、正孔注入膜20、OLED層21、光取り出し側電極としての対向電極22(第2電極)、封止膜30およびカラーフィルター40とを備える。以下、詳細に説明する。   On the first substrate, a reflective film 13, a transparent film 14, a semi-transmissive electrode (first electrode) 15, a hole injection film 20, an OLED layer 21, and a counter electrode 22 (second electrode) as a light extraction side electrode The sealing film 30 and the color filter 40 are provided. Details will be described below.

図1に示す反射膜13は、光反射性を有する材料によって形成される。反射膜13に要求される特性は、可視光領域での反射率が高く、好ましくは導電性があることである。これは、画素回路との多層構造を考えた場合に、反射膜13を配線として利用場合があるからである。この種の材料としては、例えばAl(アルミニウム)、Ag(銀)、Au(金)、Cu(銅)などの単体金属、またはAu、CuまたはAgを主成分とする合金などが好適に採用される。本実施形態では、反射膜13をAlNd合金(アルミニウム・ネオジウム合金)で形成し、膜厚を100nmとした。   The reflective film 13 shown in FIG. 1 is formed of a material having light reflectivity. The characteristic required for the reflective film 13 is that the reflectance in the visible light region is high and preferably conductive. This is because the reflective film 13 may be used as a wiring when a multilayer structure with the pixel circuit is considered. As this type of material, for example, a single metal such as Al (aluminum), Ag (silver), Au (gold), Cu (copper), or an alloy mainly composed of Au, Cu, or Ag is preferably used. The In the present embodiment, the reflective film 13 is formed of an AlNd alloy (aluminum / neodymium alloy) and has a thickness of 100 nm.

透明膜14はSiNまたはSiOで形成され、光路調整層として機能する。透明膜14に要求される特性としては、消衰係数が小さく、光透過性を有することが必要である。
半透過電極15は、導電性があり、後述する正孔注入膜あるいはOLED層との界面での反射率が低いことが必要であり。また、消衰係数が小さく、光吸収が小さいことが必要である。したがって、膜厚としては20nm以下の薄膜が好ましい。本実施形態では、半透過電極15はTiN(窒化チタン)等で形成され、膜厚は10nmとした。半透過電極15に適した材料としては、正孔注入膜(HIL)20との界面での反射率が低いこと、および、消衰係数の低いことが好ましい。詳しくは後述する。
The transparent film 14 is made of SiN or SiO 2 and functions as an optical path adjustment layer. The properties required for the transparent film 14 are required to have a small extinction coefficient and light transmittance.
The semi-transmissive electrode 15 is electrically conductive and needs to have a low reflectance at the interface with a hole injection film or an OLED layer described later. Further, it is necessary that the extinction coefficient is small and the light absorption is small. Therefore, a film thickness of 20 nm or less is preferable. In the present embodiment, the transflective electrode 15 is made of TiN (titanium nitride) or the like and has a thickness of 10 nm. As a material suitable for the semi-transmissive electrode 15, it is preferable that the reflectance at the interface with the hole injection film (HIL) 20 is low and the extinction coefficient is low. Details will be described later.

半透過電極15上には、正孔注入膜(HIL:Hole Injection Layer)20と、OLED(Organic Light Emitting Diode)層21とからなる発光機能層16が形成される。正孔注入膜20は、導電膜からOLED層へのキャリア注入性に優れていることが必要である。正孔注入膜20には、酸化物が好ましい。本実施形態では、MoO(三酸化モリブデン)で形成し、膜厚を2nmとした。その他にも、基板側電極が陽極の場合には、MoO、LG101(LGケミカル社製)、pドープの有機材料を正孔注入膜20として用いることができる。また、基板側電極が陰極の場合には、アルカリ金属、アルカリ土類金属等の低仕事関数材料または合金、およびこれらをドープした有機材料を用いることができる。 On the semi-transmissive electrode 15, a light emitting functional layer 16 including a hole injection film (HIL) 20 and an OLED (Organic Light Emitting Diode) layer 21 is formed. The hole injection film 20 needs to have excellent carrier injection properties from the conductive film to the OLED layer. The hole injection film 20 is preferably an oxide. In this embodiment, it is made of MoO 3 (molybdenum trioxide) and has a thickness of 2 nm. In addition, when the substrate-side electrode is an anode, MoO 3 , LG101 (manufactured by LG Chemical Co.), or a p-doped organic material can be used as the hole injection film 20. When the substrate-side electrode is a cathode, a low work function material or alloy such as an alkali metal or an alkaline earth metal, and an organic material doped with these can be used.

OLED層21は、正孔と電子が結合して発光する有機EL物質から形成されている。OLED層21には白色発光可能な発光層であることが求められる。本実施形態では、図2に示すように、正孔注入膜20上に形成される正孔輸送膜(HTL:Hole transport layer)24と、正孔輸送膜24上に形成される積層発光膜26(EML:Emitting Layer)と、積層発光膜26上に形成された電子輸送膜28(ETL:Electron Transport Layer)とからなる。   The OLED layer 21 is formed of an organic EL material that emits light by combining holes and electrons. The OLED layer 21 is required to be a light emitting layer capable of emitting white light. In the present embodiment, as shown in FIG. 2, a hole transport film (HTL) 24 formed on the hole injection film 20 and a laminated light-emitting film 26 formed on the hole transport film 24 are formed. (EML: Emitting Layer) and an electron transport film 28 (ETL: Electron Transport Layer) formed on the laminated light-emitting film 26.

正孔輸送膜24は、図2に示すようにα−NPDで形成し、膜厚は40nmとした。有機EL物質は低分子材料であって、白色光を発する。赤色のホスト材料、赤色のドーパント材料、ならびに、緑色および青色のホスト材料としては図2に示すものを使用することができる。また、青色のドーパント材料としてはDPAVBi(4,4´−ビス[2−{4−(N,N−ジフェニルアミノ)フェニル}ビニル]ビフェニル)、が使用される。緑色のドーパント材料としてはキナクリドンが使用される。本実施形態では、積層発光膜26の膜厚を50nmとした。
電子輸送膜28は図2に示すように、Alq3(トリス8−キノリノラトアルミニウム錯体)で形成し、膜厚を40nmとした。以上のように、正孔輸送膜24、積層発光膜26および電子輸送膜28で形成されるOLED層21の膜厚は130nmとした。
The hole transport film 24 was formed of α-NPD as shown in FIG. 2, and the film thickness was 40 nm. The organic EL material is a low-molecular material and emits white light. As the red host material, the red dopant material, and the green and blue host materials, those shown in FIG. 2 can be used. In addition, DPAVBi (4,4′-bis [2- {4- (N, N-diphenylamino) phenyl} vinyl] biphenyl) is used as a blue dopant material. Quinacridone is used as the green dopant material. In the present embodiment, the thickness of the laminated light emitting film 26 is set to 50 nm.
As shown in FIG. 2, the electron transport film 28 was formed of Alq3 (tris 8-quinolinolato aluminum complex) and had a thickness of 40 nm. As described above, the thickness of the OLED layer 21 formed of the hole transport film 24, the laminated light-emitting film 26, and the electron transport film 28 is 130 nm.

対向電極22は陰極であり、発光機能層16を覆うように形成される。対向電極22には、OLED層21へのキャリア注入性が優れていることが求められる。対向電極22は複数の画素に渡って連続している。対向電極22は、その表面に到達した光の一部を透過するとともに他の一部を反射する性質(すなわち半透過反射性)を持った半透過反射膜として機能する。例えば、対向電極22が陽極の場合には、MoO、LG101、pドープの有機材料などと導電材料を積層したものを用いることができる。また、対向電極22が陰極の場合には、マグネシウムや銀などの単体金属、またはマグネシウムや銀を主成分とする合金、もしくは、アルカリ金属、アルカリ土類金属を含んだ合金材料から形成される。本実施形態では、対向電極22は、MgAg(マグネシウム銀合金)で形成し、膜厚は、10nmとした。 The counter electrode 22 is a cathode and is formed so as to cover the light emitting functional layer 16. The counter electrode 22 is required to have excellent carrier injection properties to the OLED layer 21. The counter electrode 22 is continuous over a plurality of pixels. The counter electrode 22 functions as a transflective film having a property of transmitting a part of the light reaching the surface and reflecting the other part (that is, transflective). For example, when the counter electrode 22 is an anode, a laminate of MoO 3 , LG101, a p-doped organic material, and the like and a conductive material can be used. When the counter electrode 22 is a cathode, the counter electrode 22 is made of a single metal such as magnesium or silver, an alloy containing magnesium or silver as a main component, or an alloy material containing an alkali metal or alkaline earth metal. In the present embodiment, the counter electrode 22 is made of MgAg (magnesium silver alloy) and has a thickness of 10 nm.

対向電極22上には、各色の画素に対する水や外気の浸入を防ぐための保護層であって、無機材料からなる封止層30が形成される。封止層30は、SiN(窒化珪素)やSiON(酸窒化珪素)などのガス透過率が低い無機材料から形成される。本実施形態では、封止層30をSiNで形成し、膜厚は400nmとした。   On the counter electrode 22, a sealing layer 30 made of an inorganic material is formed as a protective layer for preventing water and outside air from entering the pixels of each color. The sealing layer 30 is formed of an inorganic material having a low gas permeability such as SiN (silicon nitride) or SiON (silicon oxynitride). In this embodiment, the sealing layer 30 is made of SiN, and the film thickness is 400 nm.

本実施形態では、第1基板上に形成された各色の画素と対向するように、図示しない上辺の第2基板が配置される。第2基板はガラスなどの光透過性を有する材料で形成される。第2基板の厚さは0.5mmとした。第2基板のうち第1基板との対向面には、カラーフィルター40および遮光膜が形成される。遮光膜は、各色の画素に対向して開口が形成された遮光体の膜体である。開口内にはカラーフィルターが形成される。   In the present embodiment, the second substrate on the upper side (not shown) is disposed so as to face the pixels of each color formed on the first substrate. The second substrate is made of a light transmissive material such as glass. The thickness of the second substrate was 0.5 mm. A color filter 40 and a light shielding film are formed on a surface of the second substrate facing the first substrate. The light shielding film is a film body of a light shielding body in which an opening is formed to face each color pixel. A color filter is formed in the opening.

本実施形態の発光装置E1においては、反射膜13と光取り出し側電極としての対向電極22との間で発光機能層16が発する光を共振させる共振器構造が形成される。これにより、特定の波長の光を効率良く取り出すことができる。以上が本実施形態の発光装置の構造である。   In the light emitting device E1 of the present embodiment, a resonator structure that resonates light emitted from the light emitting functional layer 16 is formed between the reflective film 13 and the counter electrode 22 as the light extraction side electrode. Thereby, the light of a specific wavelength can be taken out efficiently. The above is the structure of the light-emitting device of this embodiment.

<B:発光装置の共振構造>
次に、本実施形態の発光装置E1の共振構造について説明する。本実施形態では、半透過電極15と光取り出し側電極としての対向電極22との間で発光機能層16が発する光を共振させる共振器構造が形成される。
<B: Resonant structure of light emitting device>
Next, the resonance structure of the light emitting device E1 of the present embodiment will be described. In the present embodiment, a resonator structure that resonates light emitted from the light emitting functional layer 16 is formed between the transflective electrode 15 and the counter electrode 22 as the light extraction side electrode.

具体的には、反射膜13から対向電極22までの光学的距離をD(=膜厚×屈折率)、第1電極である半透過電極15での反射における位相シフトをφ、第2電極である対向電極22での反射における位相シフトをφ、定在波のピーク波長をλ、整数をmとすると、下記の式を満たす構造となっている。
D={(2πm+φ+φ)/4π}λ・・・(1)
Specifically, the optical distance from the reflective film 13 to the counter electrode 22 is D (= film thickness × refractive index), the phase shift in reflection at the semi-transmissive electrode 15 that is the first electrode is φ L , and the second electrode When the phase shift in the reflection at the counter electrode 22 is φ U , the peak wavelength of the standing wave is λ, and the integer is m, the structure satisfies the following formula.
D = {(2πm + φ L + φ U ) / 4π} λ (1)

本実施形態においては、各色の画素で、前記(1)式においてm=1を満たした光学構造となっている。
本実施形態では、赤色領域、緑色領域および青色領域について、各色の画素で同じ膜厚のOLED層21を用いて、透明膜の膜厚により半透過電極15から対向電極22までの膜厚Dを1次共振に合うように調整した。
In the present embodiment, each color pixel has an optical structure that satisfies m = 1 in the equation (1).
In the present embodiment, for the red region, the green region, and the blue region, the OLED layer 21 having the same film thickness is used for each color pixel, and the film thickness D from the transflective electrode 15 to the counter electrode 22 is set by the film thickness of the transparent film. Adjustments were made to match the primary resonance.

<C:発光装置の半透過電極>
本実施形態の発光装置において、半透過電極15に求められる特性としては、導電性があり、正孔注入膜20またはOLED層21との界面での反射率が低く、かつ、消衰係数が小さくて光吸収が小さいことが挙げられる。
しかしも、本実施形態の発光装置においては、ICなどを製造するSiを用いた製造ラインで使用されている金属材料をこの半透過電極15に使用している。Siを用いた製造ラインで使用されている代表的な金属材料で半透過電極15を形成することにより、発光装置の各膜を同一の製造ラインで製造することができる。
<C: Transflective electrode of light emitting device>
In the light emitting device of this embodiment, the characteristics required for the semi-transmissive electrode 15 are conductivity, low reflectance at the interface with the hole injection film 20 or the OLED layer 21, and a small extinction coefficient. The light absorption is small.
However, in the light emitting device of the present embodiment, a metal material used in a production line using Si for producing an IC or the like is used for the transflective electrode 15. By forming the semi-transmissive electrode 15 with a typical metal material used in a production line using Si, each film of the light emitting device can be produced on the same production line.

図3にSiを用いた製造ラインで使用されている代表的な金属材料の屈折率と波長との関係を示し、図4にSiを用いた製造ラインで使用されている代表的な金属材料の消衰係数と波長との関係を示す。また、図5には、OLED層21の有機EL物質と金属材料感間の界面における反射率の計算結果を示す。   FIG. 3 shows the relationship between the refractive index and wavelength of a typical metal material used in a production line using Si, and FIG. 4 shows the typical metal material used in a production line using Si. The relationship between an extinction coefficient and a wavelength is shown. FIG. 5 shows the calculation result of the reflectance at the interface between the organic EL substance of the OLED layer 21 and the metallic material feeling.

反射率の計算は、有機EL物質の屈折率Nを1.8、消衰係数kを0とし、屈折率nと消衰係数kを変数として、下記(1)式
反射率R={(N−n)+k }/{(N+n)+k }・・・(2)
により計算した。
The reflectance is calculated by setting the refractive index N 0 of the organic EL material to 1.8, the extinction coefficient k to 0, the refractive index n 1 and the extinction coefficient k 1 as variables, and the following formula (1). {(N 0 −n 1 ) 2 + k 1 2 } / {(N 0 + n 1 ) 2 + k 1 2 } (2)
Calculated by

また、図5には、Siを用いた製造ラインで使用されている代表的な金属材料の400〜600nmの波長に対する反射率を示す。
光吸収を小さくするには、消衰係数kが小さく、かつ、反射率が低い領域の材料が好ましい。消衰係数kは、400nm〜600nmの波長の範囲で、3.0以下であり、反射率は40%以下であることが好ましい。したがって、図5から、Siを用いた製造ラインで使用されている代表的な金属材料の中では、Cu(銅)、W(タングステン)、TiN(窒化チタン)、不純物ドープされた多結晶Si(シリコン)およびα−Si(アモルファスシリコン)が好ましいことがわかる。一方、Mo(モリブデン)、Ag(銀)およびAl(アルミニウム)は好ましくないことがわかる。
FIG. 5 shows the reflectance of a typical metal material used in a production line using Si with respect to a wavelength of 400 to 600 nm.
In order to reduce the light absorption, a material in a region where the extinction coefficient k is small and the reflectance is low is preferable. The extinction coefficient k is 3.0 or less in the wavelength range of 400 nm to 600 nm, and the reflectance is preferably 40% or less. Therefore, from FIG. 5, among typical metal materials used in a production line using Si, Cu (copper), W (tungsten), TiN (titanium nitride), impurity-doped polycrystalline Si ( It can be seen that silicon) and α-Si (amorphous silicon) are preferred. On the other hand, it can be seen that Mo (molybdenum), Ag (silver) and Al (aluminum) are not preferred.

<D:パネルシミュレーション>
以下、このような本実施形態の発光装置E1の消費電力およびNTSC比を確認するために行ったパネルシミュレーションについて説明する。
このシミュレーションにおいては、図1に示した発光装置E1と同じ構成の実施例1および実施例2と、比較のために比較例1および比較例2の発光装置を用意した。
<D: Panel simulation>
Hereinafter, a panel simulation performed to confirm the power consumption and NTSC ratio of the light emitting device E1 of the present embodiment will be described.
In this simulation, Example 1 and Example 2 having the same configuration as the light emitting device E1 shown in FIG. 1 were prepared, and the light emitting devices of Comparative Example 1 and Comparative Example 2 were prepared for comparison.

<D−1:実施例1の構造>
実施例1は、図1に示した発光装置E1と同じ構造であり、各色画素の各膜の材料および膜厚は上述した通り、MgAgの光取り出し側電極22が10nm、OLED層21が130nm、MoOの正孔注入膜20が2nm、AlNdの反射膜13が100nmである。また、透明膜14にはSiNを用いて、赤色、緑色および青色のピーク波長が得られるように透明層14の膜厚を調節するようにした。
<D−2:実施例2の構造>
実施例2は、半透過電極15を、膜厚10nmのAlで形成した以外は実施例1と同じ構成である。
<D−3:比較例1の構造>
比較例1は、図6に示すように、図1の発光装置E1における半透過電極15の代わりに、ITOで形成された透明導電膜17で置き換え、この透明導電膜17の厚さを変えることによって光路長を変えるようにした例である。その他は図1の発光装置E1とほぼ同様であり、MgAgの光取り出し側電極22が10nm、OLED層21が130nm、SiNの透明層14が50nm、AlNdの反射層13が100nmである。また、図1の発光装置E1とは異なり、正孔注入膜20が設けられていない。
<D−4:比較例2の構造>
比較例2は、図6に示すように、反射膜13および半透過電極15の代わりに、反射膜兼画素電極12をAlNdで形成し、反射膜兼画素電極12と対向電極22との間の光学的距離Dを調整し、前記の式(1)においてm=0を満たした光学構造となっている。各色の発光色は、カラーフィルターの選択によって得るようにしたものである。MgAgの光取り出し側電極22が10nm、MoOの正孔注入層20が2nm、AlNdの反射層兼画素電極12が100nmである。なお、OLED層21の膜厚を100nmとしたところが実施例1および実施例2と異なっている。
<D-1: Structure of Example 1>
Example 1 has the same structure as the light emitting device E1 shown in FIG. 1, and the material and film thickness of each film of each color pixel are 10 nm for the MgAg light extraction side electrode 22 and 130 nm for the OLED layer 21 as described above. The hole injection film 20 of MoO 3 is 2 nm, and the reflection film 13 of AlNd is 100 nm. The transparent film 14 is made of SiN, and the film thickness of the transparent layer 14 is adjusted so that red, green, and blue peak wavelengths can be obtained.
<D-2: Structure of Example 2>
Example 2 has the same configuration as Example 1 except that the transflective electrode 15 is formed of Al having a thickness of 10 nm.
<D-3: Structure of Comparative Example 1>
In Comparative Example 1, as shown in FIG. 6, instead of the transflective electrode 15 in the light emitting device E <b> 1 of FIG. 1, the transparent conductive film 17 made of ITO is replaced, and the thickness of the transparent conductive film 17 is changed. This is an example in which the optical path length is changed. Others are almost the same as those of the light emitting device E1 of FIG. 1, the MgAg light extraction side electrode 22 is 10 nm, the OLED layer 21 is 130 nm, the SiN transparent layer 14 is 50 nm, and the AlNd reflection layer 13 is 100 nm. Further, unlike the light emitting device E1 of FIG. 1, the hole injection film 20 is not provided.
<D-4: Structure of Comparative Example 2>
In Comparative Example 2, as shown in FIG. 6, instead of the reflective film 13 and the semi-transmissive electrode 15, the reflective film / pixel electrode 12 is formed of AlNd, and the reflective film / pixel electrode 12 and the counter electrode 22 are arranged. By adjusting the optical distance D, an optical structure satisfying m = 0 in the above-mentioned formula (1) is obtained. The emission color of each color is obtained by selecting a color filter. The MgAg light extraction side electrode 22 is 10 nm, the MoO 3 hole injection layer 20 is 2 nm, and the AlNd reflection layer / pixel electrode 12 is 100 nm. In addition, the place where the film thickness of the OLED layer 21 is set to 100 nm is different from the first and second embodiments.

<D−5:カラーフィルター>
このシミュレーションにおいては、図7に示すように、赤色のカラーフィルターとして、600nm以上の光に対する透過率が80〜90%のカラーフィルターを用いた。図7に示すCF1−Rは高透過率用で、CF2−Rは広色域用のカラーフィルターである。
また、緑色のカラーフィルターとしては、520〜560nmの光に対する透過率が65〜70%のカラーフィルターを用いた。図7に示すCF1−Gは高透過率用で、CF2−Gは広色域用のカラーフィルターである。
青色のカラーフィルターとしては、430〜470nmの光に対する透過率が60〜65%のカラーフィルターを用いた。図7に示すCF1−Bは高透過率用で、CF2−Bは広色域用のカラーフィルターである。
<D-5: Color filter>
In this simulation, as shown in FIG. 7, a color filter having a transmittance of 80 to 90% with respect to light of 600 nm or more was used as a red color filter. CF1-R shown in FIG. 7 is for high transmittance, and CF2-R is a color filter for wide color gamut.
As the green color filter, a color filter having a transmittance of 65 to 70% for light of 520 to 560 nm was used. CF1-G shown in FIG. 7 is for high transmittance, and CF2-G is a color filter for wide color gamut.
As the blue color filter, a color filter having a transmittance of 60 to 65% for light of 430 to 470 nm was used. CF1-B shown in FIG. 7 is for high transmittance, and CF2-B is a color filter for wide color gamut.

<D−6:パネルシミュレーションの結果>
図8〜図10は、実施例1、実施例2、比較例1および比較例2の各色画素の発光スペクトルを示す図である。図8に示すにように、実施例1の方が比較例2によりも青色と赤色の取り出し効率が高くなっており、緑色の光取り出し効率は低くなっていることがわかる。また、図9に示すように、実施例2の方が比較例2によりも赤色の光取り出し効率が高くなっており、青色と緑色の光取り出し効率が低くなっていることがわかる。
しかし、図8と図9を比較すると、半透過電極15としてAlを用いた実施例2よりも、半透過電極15としてTiNを用いた実施例1の方が各色において光取り出し効率が高いことがわかる。また、図9からわかるように、半透過電極15としてAlを用いた実施例2は、緑色画素と青色画素において、赤色領域の波長にもピークが現れ、実施例1に比べて色純度が低いことがわかる。
さらに、図8および図9と図10とを比べると、ITOの透明電極層を用いた比較例1の方が、実施例1、実施例2および比較例2によりも各色において光取り出し効率が高いことがわかる。
<D-6: Results of panel simulation>
8-10 is a figure which shows the emission spectrum of each color pixel of Example 1, Example 2, Comparative Example 1, and Comparative Example 2. FIG. As shown in FIG. 8, it can be seen that the extraction efficiency of blue and red is higher in Example 1 than in Comparative Example 2, and the light extraction efficiency of green is lower. Further, as shown in FIG. 9, it can be seen that the light extraction efficiency of red is higher in Example 2 than in Comparative Example 2, and the light extraction efficiency of blue and green is lower.
However, comparing FIG. 8 and FIG. 9, the light extraction efficiency in each color is higher in Example 1 in which TiN is used as the semi-transmissive electrode 15 than in Example 2 in which Al is used as the semi-transmissive electrode 15. Recognize. Further, as can be seen from FIG. 9, in Example 2 using Al as the semi-transmissive electrode 15, a peak also appears in the wavelength of the red region in the green pixel and the blue pixel, and the color purity is lower than that in Example 1. I understand that.
Further, comparing FIG. 8 and FIG. 9 with FIG. 10, Comparative Example 1 using the ITO transparent electrode layer has higher light extraction efficiency in each color than Example 1, Example 2 and Comparative Example 2. I understand that.

図11に、実施例1、実施例2、比較例1および比較例2の消費電力およびNTSC比の値を示す。消費電力は、比較例1の発光装置にカラーフィルターとしてCF1を用い、全白(0.310、0.310)、200cd/mで表示させた時の値を100%として規格化したものである。また、比較例2の発光装置にカラーフィルターとしてCF21を用いた場合には、表色範囲が狭く、(0.310、0.310)の白表示が不可能なため、図11への記載を割愛した。 FIG. 11 shows the power consumption and NTSC ratio values of Example 1, Example 2, Comparative Example 1 and Comparative Example 2. The power consumption is normalized by using CF1 as a color filter in the light emitting device of Comparative Example 1 and displaying 100% as the value when displayed in all white (0.310, 0.310) and 200 cd / m 2. is there. In addition, when CF21 is used as a color filter in the light emitting device of Comparative Example 2, the color specification range is narrow and white display of (0.310, 0.310) is impossible, so the description in FIG. I omitted it.

図11に示すように、半透過電極15にTiNを用いた実施例1は、カラーフィルターとしてCF1とCF2のどちらを用いてもNTSC比が90%を超えており、比較例1と同等以上の色域が得られた。実施例1の発光装置に、カラーフィルターとしてCF1を用いた場合の消費電力は、比較例1の1.4倍であり、カラーフィルターとしてCF2を用いた場合の消費電力は、比較例1の2.1倍であった。   As shown in FIG. 11, Example 1 using TiN for the transflective electrode 15 has an NTSC ratio exceeding 90% regardless of which of CF1 and CF2 is used as the color filter, which is equal to or higher than that of Comparative Example 1. A color gamut was obtained. The power consumption when CF1 is used as the color filter in the light emitting device of Example 1 is 1.4 times that of Comparative Example 1, and the power consumption when CF2 is used as the color filter is 2 of Comparative Example 1. It was 1 time.

半透過電極15にAlを用いた実施例2は、カラーフィルターとしてCF1を用いた場合には、NTSC比が80%程度であり、カラーフィルターとしてCF2を用いた場合には、NTSC比が90%を超えている。つまり、比較例1よりも若干色域が狭くなった。実施例2の発光装置は、半透過電極15に用いたAlの消衰係数が大きいために光損失が大きく、カラーフィルターとしてCF1を用いた場合の消費電力は、比較例1の2.2倍であり、カラーフィルターとしてCF2を用いた場合の消費電力は、比較例1の3.6倍であった。   In Example 2 in which Al is used for the transflective electrode 15, the NTSC ratio is about 80% when CF1 is used as the color filter, and the NTSC ratio is 90% when CF2 is used as the color filter. Is over. That is, the color gamut was slightly narrower than that of Comparative Example 1. The light emitting device of Example 2 has a large light loss due to the large extinction coefficient of Al used for the transflective electrode 15, and the power consumption when CF1 is used as a color filter is 2.2 times that of Comparative Example 1. The power consumption when CF2 was used as the color filter was 3.6 times that of Comparative Example 1.

比較例1は、消費電力的には最も優れているが、透明導電膜としてITOを用いるため、Siを用いる製造ラインにおいて製造することが困難である。   Although Comparative Example 1 is most excellent in terms of power consumption, since ITO is used as the transparent conductive film, it is difficult to manufacture in a production line using Si.

比較例2は、透過率を重視したカラーフィルターCF1を用いた場合には、表色範囲が狭くなってしまい、白表示できない場合もある。表色範囲を広くするために高色域用のカラーフィルターCF2を用いると、NTSC比は70%程度に改善するものの、不十分である。また、消費電力も比較例1の2.3倍になった。   In Comparative Example 2, when the color filter CF1 that places importance on the transmittance is used, the color specification range becomes narrow, and white display may not be possible. When the color filter CF2 for high color gamut is used to widen the color specification range, the NTSC ratio is improved to about 70%, but it is insufficient. In addition, the power consumption was 2.3 times that of Comparative Example 1.

以上のように、本実施形態の発光装置E1においては、半透過電極に、消衰係数が低い導電性材料であるTiNを用いると、透明導電膜としてITOを用いた比較例1よりも若干消費電力は増加するものの、広色域なディスプレイを実現することができる。また、ITO等の透明導電膜を必要としないので、Siを用いる製造ラインにおいて製造することができる。   As described above, in the light emitting device E1 of the present embodiment, when TiN, which is a conductive material having a low extinction coefficient, is used for the semi-transmissive electrode, it is slightly consumed compared to Comparative Example 1 using ITO as the transparent conductive film. Although the power is increased, a wide color gamut display can be realized. Moreover, since a transparent conductive film such as ITO is not required, it can be manufactured in a production line using Si.

<E:半透過電極の膜厚>
次に、半透過電極15をTiNで形成し、膜厚を20nmとした実施例3と、半透過電極15をAlで形成し、膜厚を20nmとした実施例4について説明する。
図12に実施例3、実施例4、および比較例2の各色画素の発光スペクトルを示す。図12に示すように、半透過電極15をTiNで形成し、膜厚を20nmとした実施例3は、比較例2よりも赤色の光取り出し効率が高くなり、青色と緑色の光取り出し効率は低くなることが分かる。実施例3は、図8に示す実施例1よりも各色の光取り出し効率が若干低くなることがわかる。
<E: film thickness of transflective electrode>
Next, Example 3 in which the semi-transmissive electrode 15 is formed of TiN and has a film thickness of 20 nm and Example 4 in which the semi-transmissive electrode 15 is formed of Al and the film thickness is 20 nm will be described.
FIG. 12 shows emission spectra of the respective color pixels of Example 3, Example 4, and Comparative Example 2. As shown in FIG. 12, Example 3 in which the transflective electrode 15 is formed of TiN and has a film thickness of 20 nm has higher red light extraction efficiency than Comparative Example 2, and the blue and green light extraction efficiency is It turns out that it becomes low. It can be seen that Example 3 has a slightly lower light extraction efficiency for each color than Example 1 shown in FIG.

また、図14に示すように、実施例3においてカラーフィルターにCF1を用いた場合には、実施例1に比べて消費電力は1.6倍になり、カラーフィルターにCF2を用いた場合には、実施例1に比べて消費電力は1.7倍になることがわかる。   Further, as shown in FIG. 14, when CF1 is used for the color filter in Example 3, the power consumption is 1.6 times that of Example 1, and when CF2 is used for the color filter. It can be seen that the power consumption is 1.7 times that of Example 1.

さらに、図15に示すように、NTSC比は、実施例3においてカラーフィルターにCF1を用いた場合には81.6%、実施例3においてカラーフィルターにCF2を用いた場合には91.0%であった。   Further, as shown in FIG. 15, the NTSC ratio is 81.6% when CF1 is used as the color filter in Example 3, and 91.0% when CF2 is used as the color filter in Example 3. Met.

一方、図13に示すように、半透過電極15をAlで形成し、膜厚を20nmとした実施例4は、緑色領域および青色領域においては、比較例2よりも光取り出し効率が低くなっていることがわかる。また、実施例4は、図9に示す実施例2に比べても、また、図12に示す実施例3に比べても、青色と緑色の光取り出し効率が著しく低下していることがわかる。   On the other hand, as shown in FIG. 13, in Example 4 in which the transflective electrode 15 is formed of Al and the film thickness is 20 nm, the light extraction efficiency is lower in the green region and the blue region than in Comparative Example 2. I understand that. In addition, it can be seen that the light extraction efficiency of blue and green is remarkably lowered in Example 4 as compared with Example 2 shown in FIG. 9 and also in Example 3 shown in FIG.

また、図14に示すように、実施例4においてカラーフィルターにCF1を用いた場合には、実施例2に比べて消費電力は1.7倍で高くなっていることがわかる。しかし、実施例4にカラーフィルターにCF2を用いた場合には、実施例2に比べて消費電力は1.99倍であり、消費電力が突出して高くなっていることがわかる。   Further, as shown in FIG. 14, when CF1 is used for the color filter in Example 4, the power consumption is 1.7 times higher than that in Example 2. However, it can be seen that when CF2 is used for the color filter in Example 4, the power consumption is 1.99 times that in Example 2, and the power consumption is significantly higher.

さらに、図15に示すように、NTSC比は、実施例4においてカラーフィルターにCF1を用いた場合、および、カラーフィルターにCF2を用いた場合の双方においては、比較例2と同程度までNTSC比が低くなることがわかる。   Further, as shown in FIG. 15, the NTSC ratio is about the same as that in Comparative Example 2 when CF1 is used as the color filter in Example 4 and when CF2 is used as the color filter. It turns out that becomes low.

なお、実施例1〜4において、赤色の発光強度が他の色よりも強くなる傾向であった。これは半透明電極から半透過半反射膜までの膜厚が130nmの場合に起こる現象であり、OLED層21の膜厚を変化させた場合、赤色以外の発光強度が強くなる場合もありえる。   In Examples 1 to 4, red emission intensity tended to be stronger than other colors. This is a phenomenon that occurs when the film thickness from the semi-transparent electrode to the semi-transmissive / semi-reflective film is 130 nm. When the film thickness of the OLED layer 21 is changed, the emission intensity other than red may increase.

図16に、半透過電極15をTiNで形成し、膜厚を10nm、20nm、500nmにした場合の波長に対する反射率の変化と、半透過電極15をAlで形成し、膜厚を10nm、20nm、500nmにした場合の波長に対する反射率の変化を示す。また、図17に、半透過電極15をTiNで形成し、膜厚を10nm、20nmにした場合の波長に対する透過率の変化と、半透過電極15をAlで形成し、膜厚を10nm、20nmにした場合の波長に対する透過率の変化を示す。   In FIG. 16, the change in reflectance with respect to the wavelength when the transflective electrode 15 is formed of TiN and the film thickness is 10 nm, 20 nm, and 500 nm, and the transflective electrode 15 is formed of Al and the film thickness is 10 nm and 20 nm. The change in reflectance with respect to the wavelength when the wavelength is 500 nm is shown. FIG. 17 shows the change in transmittance with respect to the wavelength when the semi-transmissive electrode 15 is formed of TiN and the film thickness is 10 nm and 20 nm, and the semi-transmissive electrode 15 is formed of Al and the film thickness is 10 nm and 20 nm. The change of the transmittance | permeability with respect to the wavelength at the time of setting to is shown.

図16に示す反射率は、図18に示すように、半透過電極15の下層の透明膜14と、上層の発光機能層16の屈折率nを1.8として、発光機能層16内を透過して半透過電極15で反射する光の反射率を求めたものである。また、図17に示す透過率は、半透過電極15の下層の透明膜14と、上層の発光機能層16の屈折率nを1.8として、発光機能層16内を透過し、さらに半透過電極15を透過して透明膜14内に進む光の透過率を求めたものである。   The reflectance shown in FIG. 16 is transmitted through the light emitting functional layer 16 with the refractive index n of the transparent film 14 below the semi-transmissive electrode 15 and the upper light emitting functional layer 16 being 1.8, as shown in FIG. Thus, the reflectance of light reflected by the semi-transmissive electrode 15 is obtained. Further, the transmittance shown in FIG. 17 is transmitted through the light emitting functional layer 16 with the refractive index n of the transparent film 14 below the semi-transmissive electrode 15 and the light emitting functional layer 16 as the upper layer being 1.8, and further semi-transmissive. The transmittance of light passing through the electrode 15 and proceeding into the transparent film 14 is obtained.

上述したように、光吸収を少なくするには、反射率は30%以内が好ましい。また、透過率としては、40%以上が好ましい。したがって、図16および図17からわかるように、400〜600nmの波長の範囲では、半透過電極15としてTiNを採用し、その膜厚を10nm〜20nmに設定すれば良いことがわかる。   As described above, the reflectance is preferably within 30% in order to reduce light absorption. Further, the transmittance is preferably 40% or more. Therefore, as can be seen from FIGS. 16 and 17, it is understood that TiN is adopted as the semi-transmissive electrode 15 and the film thickness thereof is set to 10 nm to 20 nm in the wavelength range of 400 to 600 nm.

一方、半透過電極15としてTiNを採用した場合でも、その膜厚を500nmにしてしまうと、反射率が高くなり過ぎ、殆ど透過しないことがわかる。また、半透過電極15としてはAlはその膜厚が10nmでも問題があることがわかる。   On the other hand, even when TiN is employed as the semi-transmissive electrode 15, it can be seen that if the film thickness is 500 nm, the reflectance becomes too high and hardly transmits. Further, it can be seen that Al as the transflective electrode 15 has a problem even when its film thickness is 10 nm.

<F:応用例>
次に、本発明に係る発光装置を利用した電子機器について説明する。図19は、上述の実施形態に係る発光装置E1を表示装置として採用したモバイル型のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。パーソナルコンピュータ2000は、表示装置としての発光装置D1と本体部2010とを備える。本体部2010には、電源スイッチ2001およびキーボード2002が設けられている。この発光装置E1は有機EL素子を使用しているので、視野角が広く見易い画面を表示できる。
<F: Application example>
Next, an electronic apparatus using the light emitting device according to the present invention will be described. FIG. 19 is a perspective view showing the configuration of a mobile personal computer that employs the light emitting device E1 according to the above-described embodiment as a display device. The personal computer 2000 includes a light emitting device D1 as a display device and a main body 2010. The main body 2010 is provided with a power switch 2001 and a keyboard 2002. Since the light emitting device E1 uses an organic EL element, it is possible to display an easy-to-see screen with a wide viewing angle.

図20に、上述の実施形態に係る発光装置E1を適用した携帯電話機の構成を示す。携帯電話機3000は、複数の操作ボタン3001およびスクロールボタン3002、ならびに表示装置としての発光装置E1を備える。スクロールボタン3002を操作することによって、発光装置E1に表示される画面がスクロールされる。   FIG. 20 shows a configuration of a mobile phone to which the light emitting device E1 according to the above-described embodiment is applied. The cellular phone 3000 includes a plurality of operation buttons 3001, scroll buttons 3002, and a light emitting device E1 as a display device. By operating the scroll button 3002, the screen displayed on the light emitting device E1 is scrolled.

図21に、上述の実施形態に係る発光装置E1を適用した携帯情報端末(PDA:Personal Digital Assistant)の構成を示す。情報携帯端末4000は、複数の操作ボタン4001および電源スイッチ4002、ならびに表示装置としての発光装置E1を備える。電源スイッチ4002を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が発光装置E1に表示される。   FIG. 21 shows a configuration of a portable information terminal (PDA: Personal Digital Assistant) to which the light emitting device E1 according to the above-described embodiment is applied. The information portable terminal 4000 includes a plurality of operation buttons 4001, a power switch 4002, and a light emitting device E1 as a display device. When the power switch 4002 is operated, various kinds of information such as an address book and a schedule book are displayed on the light emitting device E1.

なお、本発明に係る発光装置が適用される電子機器としては、図19から図21に示したもののほか、デジタルスチルカメラ、テレビ、ビデオカメラ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電子ペーパー、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、プリンタ、スキャナ、複写機、ビデオプレーヤ、タッチパネルを備えた機器等などが挙げられる。   Note that electronic devices to which the light emitting device according to the present invention is applied include those shown in FIGS. 19 to 21, digital still cameras, televisions, video cameras, car navigation devices, pagers, electronic notebooks, electronic papers, calculators. , Word processors, workstations, videophones, POS terminals, printers, scanners, copiers, video players, devices equipped with touch panels, and the like.

また、上述した実施形態においては、全ての色の画素において、発光機能層16と透明膜14の間にTiN等の半透過電極15を設ける例について説明した。しかしながら、本発明はこのような場合に限定されるものではなく、例えば、緑色画素と青色画素においては発光機能層16と透明膜14の間にTiN等の半透過電極15を設け、赤色画素においては図6に示す比較例2のような0次共振構造を採用するようにしてもよい。
また、いずれか一色の画素のみにおいて、発光機能層16と透明膜14の間にTiN等の半透過電極15を設けるようにしてもよい。
In the above-described embodiment, an example in which the transflective electrode 15 such as TiN is provided between the light emitting functional layer 16 and the transparent film 14 in all the color pixels has been described. However, the present invention is not limited to such a case. For example, in a green pixel and a blue pixel, a transflective electrode 15 such as TiN is provided between the light emitting functional layer 16 and the transparent film 14, and in a red pixel. May adopt a zero-order resonance structure as in Comparative Example 2 shown in FIG.
Further, a transflective electrode 15 such as TiN may be provided between the light emitting functional layer 16 and the transparent film 14 in only one color pixel.

12……反射層兼画素電極、13……反射膜、14……透明膜、15……半透過電極、16……発光機能層、17……透明導電膜、20……正孔注入膜、21……OLED層、22…対向電極、24……正孔輸送膜、26……積層発光膜、28……電子輸送膜、30……封止膜、40……カラーフィルター、E1……発光装置。
12 ... Reflective layer and pixel electrode, 13 ... Reflective film, 14 ... Transparent film, 15 ... Transflective electrode, 16 ... Light emitting functional layer, 17 ... Transparent conductive film, 20 ... Hole injection film, 21 ... OLED layer, 22 ... Counter electrode, 24 ... Hole transport film, 26 ... Laminated light emitting film, 28 ... Electron transport film, 30 ... Sealing film, 40 ... Color filter, E1 ... Light emission apparatus.

Claims (14)

基板と、
前記基板上に形成された光反射膜と、
前記光反射層上に形成された発光層と、
前記発光層上に形成された光取り出し側電極とを備え、前記光反射膜と光取り出し側電極の間の光路長を調整した共振構造を有する発光装置であって、
少なくとも一つの色の画素は、前記発光層と光反射膜との間に、前記光反射膜上に形成される透明膜と、前記透明膜上に形成される半透過電極とを備える、
ことを特徴とする発光装置。
A substrate,
A light reflecting film formed on the substrate;
A light emitting layer formed on the light reflecting layer;
A light emitting device including a light extraction side electrode formed on the light emitting layer, and having a resonance structure in which an optical path length between the light reflection film and the light extraction side electrode is adjusted,
The at least one color pixel includes a transparent film formed on the light reflecting film and a transflective electrode formed on the transparent film between the light emitting layer and the light reflecting film.
A light emitting device characterized by that.
前記半透過電極は、400nmから600nmの波長に対する消衰係数が3.0以下であることを特徴とする請求項1記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein the transflective electrode has an extinction coefficient of 3.0 or less with respect to a wavelength of 400 nm to 600 nm. 前記半透過電極は、TiNで形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の発光装置。   3. The light emitting device according to claim 1, wherein the transflective electrode is made of TiN. 前記半透過電極は、半導体材料で形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の発光装置。   The light-emitting device according to claim 1, wherein the transflective electrode is made of a semiconductor material. 前記半透過電極は、不純物ドープされた多結晶Si、または、アモルファスSiで形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の発光装置。   3. The light emitting device according to claim 1, wherein the transflective electrode is made of impurity-doped polycrystalline Si or amorphous Si. 前記半透過電極の膜厚は、10nm〜20nmに設定されていることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか一記載の発光装置。   The light emitting device according to any one of claims 1 to 5, wherein a film thickness of the semi-transmissive electrode is set to 10 nm to 20 nm. 前記半透過電極と前記発光層との間に正孔注入膜がさらに形成されていることを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか一記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, further comprising a hole injection film formed between the semi-transmissive electrode and the light emitting layer. 前記正孔注入層は酸化物、特に、MoOであることを特徴とする請求項7記載の発光装置。 The hole injection layer is an oxide, in particular, light-emitting device according to claim 7, characterized in that the MoO 3. 前記光反射層から光取り出し側電極までの光学的距離をD、半透過電極での反射における位相シフトをφ、光取り出し側電極での反射における位相シフトをφ、定在波のピーク波長をλ、整数をmとすると、
D={(2πm+φ+φ)/4π}λ
を満たす共振構造を有し、前記透明膜以外の各膜および各層の膜厚は、各色の画素において同じ値に設定されていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一記載の発光装置。
The optical distance from the light reflecting layer to the light extraction side electrode is D, the phase shift in reflection at the semi-transmissive electrode is φ L , the phase shift in reflection at the light extraction side electrode is φ U , and the peak wavelength of the standing wave Is λ and the integer is m,
D = {(2πm + φ L + φ U ) / 4π} λ
The light emitting device according to claim 1, wherein the film thickness of each film and each layer other than the transparent film is set to the same value in each color pixel. apparatus.
光反射膜は、Al、Ag、もしくはこれらの合金材料であることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか一記載の発光装置。   10. The light emitting device according to claim 1, wherein the light reflecting film is made of Al, Ag, or an alloy material thereof. 前記光取り出し側電極はアルカリ金属、アルカリ土類金属を含んだ合金材料であることを特徴とする請求項1ないし請求項10のいずれか一記載の発光装置。   The light emitting device according to any one of claims 1 to 10, wherein the light extraction side electrode is an alloy material containing an alkali metal and an alkaline earth metal. 前記光取り出し側電極はMgAgであることを特徴とする請求項1ないし請求項10のいずれか一記載の発光装置。   The light emitting device according to any one of claims 1 to 10, wherein the light extraction side electrode is MgAg. 前記光取り出し側電極の上層にはカラーフィルターが設けられていることを特徴とする請求項1ないし請求項12のいずれか一記載の発光装置。   The light-emitting device according to claim 1, wherein a color filter is provided on an upper layer of the light extraction side electrode. 請求項1ないし請求項13のいずれか一記載の発光装置を備えたことを特徴とする電子機器。
An electronic apparatus comprising the light emitting device according to any one of claims 1 to 13.
JP2011119674A 2011-05-27 2011-05-27 LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE Active JP5760699B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011119674A JP5760699B2 (en) 2011-05-27 2011-05-27 LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011119674A JP5760699B2 (en) 2011-05-27 2011-05-27 LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012248433A true JP2012248433A (en) 2012-12-13
JP5760699B2 JP5760699B2 (en) 2015-08-12

Family

ID=47468690

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011119674A Active JP5760699B2 (en) 2011-05-27 2011-05-27 LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5760699B2 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016143630A (en) * 2015-02-05 2016-08-08 セイコーエプソン株式会社 Organic el device and electronic apparatus
WO2016125347A1 (en) * 2015-02-03 2016-08-11 ソニー株式会社 Display device and electronic instrument
US10263218B2 (en) 2016-02-10 2019-04-16 Seiko Epson Corportion Electro-optical device with a luminance adjustment layer
WO2022054604A1 (en) * 2020-09-10 2022-03-17 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 Display device and electronic apparatus

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004047411A (en) * 2001-11-09 2004-02-12 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Light emitting device and manufacturing method thereof
JP2006066908A (en) * 2004-07-30 2006-03-09 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Semiconductor device and its manufacturing method
US20060158403A1 (en) * 2004-07-22 2006-07-20 Hitoshi Kuma Color emitting device
JP2007043104A (en) * 2005-06-30 2007-02-15 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Light emitting device and electronic apparatus
JP2007115679A (en) * 2005-09-26 2007-05-10 Kyocera Corp El device
JP2007298973A (en) * 2006-04-05 2007-11-15 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Semiconductor device, display device, and electronic device
JP2009070640A (en) * 2007-09-12 2009-04-02 Sony Corp Organic electroluminescent element and manufacturing method of organic electroluminescent element, display device and manufacturing method of display device
JP2009135081A (en) * 2007-10-31 2009-06-18 Seiko Epson Corp Light emitting device
JP2009277507A (en) * 2008-05-14 2009-11-26 Seiko Epson Corp Light-emitting apparatus and electronic equipment
US20110031478A1 (en) * 2009-08-07 2011-02-10 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light emitting diode display device and method of fabricating the same
JP2011096379A (en) * 2009-10-27 2011-05-12 Seiko Epson Corp Light-emitting device and electronic equipment

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004047411A (en) * 2001-11-09 2004-02-12 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Light emitting device and manufacturing method thereof
US20060158403A1 (en) * 2004-07-22 2006-07-20 Hitoshi Kuma Color emitting device
JP2006066908A (en) * 2004-07-30 2006-03-09 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Semiconductor device and its manufacturing method
JP2007043104A (en) * 2005-06-30 2007-02-15 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Light emitting device and electronic apparatus
JP2007115679A (en) * 2005-09-26 2007-05-10 Kyocera Corp El device
JP2007298973A (en) * 2006-04-05 2007-11-15 Semiconductor Energy Lab Co Ltd Semiconductor device, display device, and electronic device
JP2009070640A (en) * 2007-09-12 2009-04-02 Sony Corp Organic electroluminescent element and manufacturing method of organic electroluminescent element, display device and manufacturing method of display device
JP2009135081A (en) * 2007-10-31 2009-06-18 Seiko Epson Corp Light emitting device
JP2009277507A (en) * 2008-05-14 2009-11-26 Seiko Epson Corp Light-emitting apparatus and electronic equipment
US20110031478A1 (en) * 2009-08-07 2011-02-10 Samsung Mobile Display Co., Ltd. Organic light emitting diode display device and method of fabricating the same
JP2011096379A (en) * 2009-10-27 2011-05-12 Seiko Epson Corp Light-emitting device and electronic equipment

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2016125347A1 (en) * 2015-02-03 2016-08-11 ソニー株式会社 Display device and electronic instrument
CN107211505A (en) * 2015-02-03 2017-09-26 索尼公司 Display device and electronic equipment
US10541275B2 (en) 2015-02-03 2020-01-21 Sony Corporation Display device and electronic apparatus
JP2016143630A (en) * 2015-02-05 2016-08-08 セイコーエプソン株式会社 Organic el device and electronic apparatus
US10263218B2 (en) 2016-02-10 2019-04-16 Seiko Epson Corportion Electro-optical device with a luminance adjustment layer
US10658620B2 (en) 2016-02-10 2020-05-19 Seiko Epson Corporation Electro-optical device and electronic equipment
US11201315B2 (en) 2016-02-10 2021-12-14 Seiko Epson Corporation Electro-optical device with a luminance adjustment layer
WO2022054604A1 (en) * 2020-09-10 2022-03-17 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 Display device and electronic apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP5760699B2 (en) 2015-08-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5741221B2 (en) LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE
JP4899929B2 (en) Display device
US8686448B2 (en) Light emitting device, electronic apparatus, and manufacturing method of light emitting device
JP5411469B2 (en) LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE
JP5453952B2 (en) ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE ELEMENT AND ITS MANUFACTURING METHOD, DISPLAY DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
JP3508741B2 (en) Display element
JP6286943B2 (en) LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE
JP5617700B2 (en) Light emitting device and method for manufacturing light emitting device
JP5418144B2 (en) LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE
US8033675B2 (en) Light emitting device and electronic device
CN110890413B (en) Light emitting device, display device, and lighting device
TWI361015B (en) System for displaying images
JP2012248432A (en) Light emitting device and electronic apparatus, and method for manufacturing light emitting device
US9343512B2 (en) Light-emitting device and electronic apparatus
JP5760699B2 (en) LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE
JP5613998B2 (en) Light emitting device and method for manufacturing light emitting device
JP4479171B2 (en) Display element
CN108389978B (en) Organic light-emitting display panel and organic light-emitting display device thereof
JP2012252863A (en) Manufacturing method for light-emitting device
JP2012256503A (en) Light-emitting device and electronic apparatus
JP2012252933A (en) Light emitting device and electronic equipment
JP5803282B2 (en) LIGHT EMITTING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE
TWI501439B (en) Image display system
JP2011086385A (en) Light-emitting device and electronic equipment
JP2012252829A (en) Manufacturing method for light-emitting device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140416

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150130

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150203

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150316

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20150403

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150512

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150525

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5760699

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250