JP2012223934A - Liquid ejection head and image forming apparatus - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress the thermal decomposition of a water repellent layer, and to suppress the lowering of water repellency.SOLUTION: A thermosetting adhesive 14 cured at a temperature equal to or higher than that when the water repellency of the water repellent which is applied to a nozzle surface of a nozzle plate decreases is used for jointing a flow path plate 1, a nozzle plate 2, and a vibration plate 4. A thermosetting adhesive 15 cured at a temperature lower than a temperature at which the thermosetting adhesive 14 us cured is used for jointing a second unit 11 that is formed of a manifold 8 and a filter 9 to a first unit 10 that is formed by jointing the flow path plate 1, the nozzle plate 2 and the vibration plate 4.

Description

本発明は、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置に関するものである。   The present invention relates to a droplet discharge head and an image forming apparatus.

画像形成装置としては、主に、プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機などの製品として知られ、複数の画像形成方式が存在する。例えばインク液滴を吐出する記録ヘッドを用いた液滴吐出記録方式の画像形成装置が知られている。この液滴吐出記録方式の画像形成装置は、記録ヘッドから画像記録媒体に対してインク滴を吐出して、画像形成(記録、印字、印写、印刷も同義語で使用される場合がある。)を行う。画像記録媒体とは、紙に限定するものではなく、OHPなどを含み、画像を構成するインク滴等の液体あるいはトナー等の固体が付着可能なものを意味し、被記録媒体あるいは記録媒体、記録紙、記録用紙などとも称されることがある。液滴吐出記録方式の画像形成装置には、記録ヘッドが主走査方向に移動しながら液滴を吐出して画像を形成するシリアル型ヘッドの画像形成装置と、記録ヘッドが移動しない状態で液滴を吐出して画像を形成するライン型ヘッドを用いるライン型の画像形成装置とがある。   The image forming apparatus is mainly known as a product such as a printer, a facsimile, a copying apparatus, a plotter, and a complex machine of these, and there are a plurality of image forming methods. For example, an image forming apparatus of a droplet discharge recording method using a recording head that discharges ink droplets is known. This droplet discharge recording type image forming apparatus ejects ink droplets from a recording head to an image recording medium, and image formation (recording, printing, printing, printing) may be used synonymously. )I do. The image recording medium is not limited to paper, but includes OHP and the like, and means a medium to which a liquid such as ink droplets or a solid such as toner constituting an image can be attached. Sometimes referred to as paper, recording paper, and the like. The image forming apparatus of the droplet discharge recording method includes an image forming apparatus of a serial type head that forms an image by discharging droplets while the recording head moves in the main scanning direction, and a liquid droplet without moving the recording head. There is a line-type image forming apparatus using a line-type head that forms an image by ejecting a liquid.

液滴吐出方式の画像形成装置とは、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の画像記録媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味する。ここでいう「画像形成」には、文字や図形等の意味を持つ画像を画像記録媒体に付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を画像記録媒体に付与すること(単に液滴を画像記録媒体に着弾させること)も含まれる。また、インクとは、所謂インクに限るものではなく、吐出されるときに液体となるものであれば特に限定されるものではなく、例えばDNA試料、レジスト、パターン材料なども含まれる液体の総称として用いる。更に、画像とは、平面に付与されるものに限らず、立体物に付与されるもの、あるいは、立体物自体を造形して形成される像も含まれる。   The droplet discharge type image forming apparatus means an apparatus for forming an image by discharging a liquid onto an image recording medium such as paper, thread, fiber, fabric, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics or the like. In this “image formation”, not only an image having a meaning such as a character or a figure is imparted to the image recording medium, but also an image having no meaning such as a pattern is imparted to the image recording medium (simply liquid). Landing droplets on the image recording medium). The ink is not limited to so-called ink, and is not particularly limited as long as it becomes liquid when ejected. For example, the ink is a generic term for liquids including DNA samples, resists, pattern materials, and the like. Use. Furthermore, the image is not limited to an image provided on a plane, but includes an image provided on a three-dimensional object or an image formed by modeling the three-dimensional object itself.

液滴吐出方式の画像形成装置の一例として、ノズルからインクを吐出するインクジェット記録ヘッドを有するインクジェット記録装置がある。上記インクジェット記録ヘッドは、ノズル板、流路板及び振動板を互いに接合させてノズル板のノズルに対応する複数の個別液室及び該個別液室に連通する共通液室を形成する液滴吐出部材と、上記共通液室にインクを供給するインク供給路を形成するインク供給路部材とを主に含んで構成されている。上記液滴吐出部材におけるノズル板にはインク液滴を吐出するノズルが設けられ、そのノズル板のノズル面には異物の付着防止のために撥水剤を塗布して撥水層が形成されている。また、流路板には、ノズル板と振動板とで挟持されて接合されることで各個別液室及び共通液室を形成する空洞部が設けられている。更に、振動板には、各個別液室内のインクに圧力変動を加える圧電素子が設けられている。上記液滴吐出部材を形成する方法、つまりノズル板、流路板及び振動板を接合する方法が、特許文献1に提案されている。この特許文献1には、ノズル板、流路板及び振動板の各部材を互いに位置決めする方法として各部材の基準ピン穴にピンを通すピンアライメント方式が提案されている。この特許文献1では、ノズル板、流路板及び振動板の各接着箇所に熱硬化性接着剤を塗布した後基準ピン穴を基準にして位置決めしている。そして、位置決めされたノズル板、流路板及び振動板の各部材は一度に加熱され、かつ加圧されながら熱硬化性接着剤を硬化させることで接合される。   As an example of a droplet discharge type image forming apparatus, there is an ink jet recording apparatus having an ink jet recording head for discharging ink from nozzles. The inkjet recording head includes a plurality of individual liquid chambers corresponding to the nozzles of the nozzle plate by joining the nozzle plate, the flow path plate, and the vibration plate to each other, and a liquid droplet ejection member that communicates with the individual liquid chambers And an ink supply path member that forms an ink supply path for supplying ink to the common liquid chamber. The nozzle plate in the droplet discharge member is provided with a nozzle for discharging ink droplets, and a water repellent layer is formed on the nozzle surface of the nozzle plate by applying a water repellent agent to prevent adhesion of foreign matter. Yes. Further, the flow path plate is provided with a cavity portion that forms the individual liquid chamber and the common liquid chamber by being sandwiched and joined by the nozzle plate and the vibration plate. Furthermore, the vibration plate is provided with a piezoelectric element that applies pressure fluctuation to the ink in each individual liquid chamber. Patent Document 1 proposes a method of forming the droplet discharge member, that is, a method of joining a nozzle plate, a channel plate and a diaphragm. This Patent Document 1 proposes a pin alignment method in which pins are passed through reference pin holes of each member as a method of positioning each member of the nozzle plate, flow channel plate, and diaphragm. In Patent Document 1, a thermosetting adhesive is applied to each bonding location of a nozzle plate, a flow path plate, and a vibration plate, and then positioning is performed with reference to a reference pin hole. And each member of the positioned nozzle plate, flow path plate, and diaphragm is heated at once and bonded by curing the thermosetting adhesive while being pressurized.

インクジェット記録ヘッドの上記液滴吐出部材において、各個別液室間の隔壁部分は細く加工による部品で構成されており、この部品の微小な変形や部材の厚みのバラツキは正常な液滴吐出を行うための個別液室の封止性に影響を与える。個別液室の封止性を確保するために接合時では、ノズル板、流路板及び振動板の各部材に均一に加圧して部材の歪みを抑える必要がある。ノズル板、流路板及び振動板の各部材はそれぞれほぼ板状を成している。そして、これらの部材を熱硬化性接着剤で接合する場合位置決めされ組み付けられた上記液滴吐出部材の両面のほぼ全体に加圧装置の加圧面を押し当てて加圧できる。このため、ノズル板、流路板及び振動板の各部材をほぼ均一に加圧することができる。   In the above-described droplet discharge member of the ink jet recording head, the partition between the individual liquid chambers is composed of thinly processed parts, and the minute deformation of the parts and the variation in the thickness of the members perform normal droplet discharge. This affects the sealing performance of the individual liquid chamber. In order to ensure the sealability of the individual liquid chambers, it is necessary to uniformly pressurize each member of the nozzle plate, the flow path plate, and the vibration plate at the time of joining to suppress the member distortion. Each member of the nozzle plate, the flow channel plate, and the vibration plate has a substantially plate shape. Then, when these members are joined with a thermosetting adhesive, the pressurizing surface of the pressurizing device can be pressed against almost the entire both surfaces of the droplet discharge member positioned and assembled. For this reason, each member of a nozzle plate, a flow-path plate, and a diaphragm can be pressurized almost uniformly.

ところが、上記液滴吐出部材の別体の接合部材としての上記インク供給路部材を上記液滴吐出部材のノズル面に直交する方向で接合する場合、上記液滴吐出部材に上記インク供給路部材を接合した接合部分の厚さは上記液滴吐出部材だけの厚さより、上記インク供給路部材の厚み分厚くなる。このため、上記液滴吐出部材の各部材の接合及び上記液滴吐出部材への上記インク供給路部材の接合を、上記平坦な加圧面を有する圧力装置を移動させて加圧面を変えながら加圧を行うと、上記液滴吐出部材に上記インク供給路部材を接合する接合部分では当該接合部分以外の部分に比べて高い圧力が加わる。そして、上記インク供給路部材と共に加圧されない上記液滴吐出部材における各個別液室間の隔壁部分を構成する部品は上記インク供給路部材と共に加圧される上記液滴吐出部材側に偏るように変形し、上記液滴吐出部材の各部材に歪みが生じる。この歪みを生じさせないようにするために、上記液滴吐出部材の各部材をほぼ均一に所定の圧力で加熱加圧して上記液滴吐出部材を形成する接合工程を行った後に、形成した上記液滴吐出部材に上記インク供給路部材を上記所定の圧力より低い圧力で加熱加圧して接合する接合工程を行い上記歪みの発生を抑制する。   However, when the ink supply path member as a separate joining member of the droplet discharge member is bonded in a direction orthogonal to the nozzle surface of the droplet discharge member, the ink supply path member is attached to the droplet discharge member. The thickness of the joined portion becomes larger by the thickness of the ink supply path member than the thickness of only the droplet discharge member. For this reason, the bonding of each member of the droplet discharge member and the bonding of the ink supply path member to the droplet discharge member are performed by moving the pressure device having the flat pressure surface and changing the pressure surface. As a result, a higher pressure is applied at the joint portion where the ink supply path member is joined to the droplet discharge member than at the portion other than the joint portion. The components constituting the partition between the individual liquid chambers in the liquid droplet ejection member that is not pressurized with the ink supply path member are biased toward the liquid droplet ejection member that is pressurized with the ink supply path member. Deformation causes distortion in each member of the droplet discharge member. In order to prevent this distortion from occurring, the liquid discharge member formed after the bonding step of forming the droplet discharge member by heating and pressurizing each member of the droplet discharge member almost uniformly at a predetermined pressure is performed. A joining step of joining the ink supply path member to the droplet discharge member by heating and pressing at a pressure lower than the predetermined pressure is performed to suppress the occurrence of the distortion.

上述したように、ノズル板のノズル面には、吐出不良を防ぐためにインク等の付着を防ぐために撥水層が形成されている。この撥水層は、所定の温度以上になると熱分解を起こす撥水剤で形成されている。上記液滴吐出部材の接合に用いられる熱硬化性接着剤は、液室の耐久性や液室内積の寸法精度の関係から、インクに対する高い耐液性、塗布後のはみ出しが少ない低い粘性の接着剤を用いている。このように上記液滴吐出部材に用いられる熱硬化性接着剤は、一般に撥水剤が熱分解を起こす虞のある温度以上の硬化温度となる接着剤が多い。ところが、この熱硬化性接着剤を用いても上記特許文献1のように一度の接合工程で上記液滴吐出部材を形成した場合のように短い加熱時間であれば撥水性に影響を及ぼすほどの撥水層の熱分解は起きないことがわかっている。しかし、上述したように、上記液滴吐出部材の接合工程後に、上記インク供給路部材のような別体の接合部材を上記液滴吐出部材に接合する接合工程を追加した場合、各接合工程で上記熱硬化性接着剤をそれぞれで加熱硬化させることになる。このため、ノズル板の撥水層も繰り返し加熱されることになり、撥水層が熱分解する温度以上での各加熱時間の累積時間が増加してしまう。これにより、撥水層の熱分解が進み、撥水性の低下が起こるという問題があった。   As described above, a water repellent layer is formed on the nozzle surface of the nozzle plate in order to prevent ink from adhering to prevent ejection failure. This water-repellent layer is formed of a water-repellent agent that causes thermal decomposition when a predetermined temperature or higher is reached. The thermosetting adhesive used for joining the droplet ejection member is a low-viscosity adhesive that has high liquid resistance to ink and little protrusion after application due to the durability of the liquid chamber and the dimensional accuracy of the liquid chamber product. The agent is used. As described above, many thermosetting adhesives used for the droplet discharge member generally have a curing temperature equal to or higher than a temperature at which the water repellent may cause thermal decomposition. However, even if this thermosetting adhesive is used, if the heating time is short as in the case of forming the droplet discharge member in a single joining step as in Patent Document 1, the water repellency is affected. It has been found that thermal decomposition of the water repellent layer does not occur. However, as described above, when a joining step for joining a separate joining member such as the ink supply path member to the droplet discharging member is added after the joining step of the droplet discharging member, Each of the thermosetting adhesives is cured by heating. For this reason, the water repellent layer of the nozzle plate is also repeatedly heated, and the accumulated time of each heating time at a temperature higher than the temperature at which the water repellent layer is thermally decomposed increases. As a result, the thermal decomposition of the water-repellent layer proceeds and there is a problem that the water repellency is lowered.

本発明は以上の問題点に鑑みなされたものであり、その目的は、ノズル面における撥水層の熱分解を抑え、撥水性の低下を抑制できる液滴吐出ヘッド及び画像形成装置を提供することである。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a liquid droplet ejection head and an image forming apparatus capable of suppressing thermal decomposition of a water repellent layer on a nozzle surface and suppressing a decrease in water repellency. It is.

上記目的を達成するために、請求項1の発明は、液滴を吐出するノズルが設けられ、ノズル面に撥水剤を塗布して撥水層が形成されているノズル板と、前記ノズル面の他方の面に接合されて前記ノズルに対応して設けられ前記ノズルに連通する個別液室及び共通液室を少なくとも構成する流路板と、前記ノズル板と接合する前記流路板における他方の面に接合されて前記個別液室の一部を構成する振動板とを、前記撥水層を形成する撥水剤の撥水性が損なわれる温度以上の硬化温度の熱硬化性接着剤で接合して形成される液滴吐出部材に、該液滴吐出部材と別体の接合部材を接合して構成する液滴吐出ヘッドにおいて、所定の時間加熱して前記撥水層を形成する撥水剤の撥水性が損なわれる温度より低い硬化温度の熱硬化性接着剤を用いて、前記接合部材を前記液滴吐出部材に接合することを特徴とするものである。
また、請求項2の発明は、請求項1記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記接合部材は、前記ノズル面に対して直交する方向で前記液滴吐出部材に接合される部材であることを特徴とするものである。
更に、請求項3の発明は、請求項1又は2に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記接合部材は、前記液滴吐出部材の共通液室に連通する液体流路を形成する液体供給路部材であることを特徴とするものである。
また、請求項4の発明は、請求項1〜3のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、基準穴を設けた少なくとも2個以上の部材を、前記基準穴を合わせてピンで位置決めして接合し前記個別液室及び前記共通液室を形成する第一のユニットと、前記基準穴を設けた少なくとも2個以上の部材を、前記基準穴を合わせてピンで位置決めして接合し上記第一のユニット以外の少なくとも1つ以上の第二のユニット、または少なくとも1個以上の部材を、各ユニットの接合で用いた前記第一のユニットの前記基準穴と、前記第一のユニット以外の少なくとも1つ以上のユニットの前記基準穴、または少なくとも1つ以上の個別部品の前記基準穴を用いてピン位置決めして接合することを特徴とするものである。
更に、請求項5の発明は、請求項1〜4のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドから液体を媒体に吐出して画像形成を行うことを特徴とするものである。
In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 provides a nozzle plate provided with a nozzle for discharging droplets, wherein a water repellent layer is formed by applying a water repellent to the nozzle surface, and the nozzle surface. A flow path plate which is provided corresponding to the nozzle and is connected to the other surface and communicates with the nozzle and which constitutes at least a common liquid chamber; and the other flow path plate in the flow path plate which is bonded to the nozzle plate. The diaphragm which is bonded to the surface and forms a part of the individual liquid chamber is bonded with a thermosetting adhesive having a curing temperature equal to or higher than a temperature at which water repellency of the water repellent forming the water repellent layer is impaired. In a droplet discharge head formed by bonding a droplet discharge member formed separately to a bonding member separate from the droplet discharge member, a water repellent agent that forms the water-repellent layer by heating for a predetermined time. Using a thermosetting adhesive with a curing temperature lower than the temperature at which water repellency is impaired, It is characterized in that bonding the serial bonding member to the liquid droplet ejection member.
According to a second aspect of the present invention, in the liquid droplet ejection head according to the first aspect,
The joining member is a member joined to the droplet discharge member in a direction orthogonal to the nozzle surface.
Furthermore, the invention according to claim 3 is the liquid supply path member according to claim 1 or 2, wherein the joining member forms a liquid flow path communicating with a common liquid chamber of the droplet discharge member. It is characterized by being.
According to a fourth aspect of the present invention, in the liquid droplet ejection head according to any one of the first to third aspects, at least two members provided with a reference hole are positioned with a pin by aligning the reference hole. And joining the first unit forming the individual liquid chamber and the common liquid chamber with at least two members provided with the reference hole by aligning the reference hole with a pin and joining them. At least one second unit other than the first unit, or at least one member, the reference hole of the first unit used for joining each unit, and other than the first unit Pin positioning is performed using the reference holes of at least one unit or the reference holes of at least one or more individual parts.
Furthermore, the invention of claim 5 is characterized in that an image is formed by discharging a liquid from a droplet discharge head according to any one of claims 1 to 4 onto a medium.

本発明においては、上記液滴吐出部材を形成するノズル板、流路板及び振動板の各部材の接合界面から接着剤がはみ出すと、液室内にはみ出した接着剤によって液室内の寸法精度が変わり液室内に所定の加圧が加えられても液滴吐出の圧力とならず液滴吐出の不良が発生する。また、液室内にはみ出した接着剤が液室内の液体で腐食して接合箇所の接着性能が低下して上記液滴吐出部材の耐久性が悪化する。このような液滴吐出の不良や耐久性の悪化を防ぐために、ノズル板、流路板及び振動板の各部材の接合での接着剤には、接着剤のはみ出しが少ない、粘性の低い接着剤である高い硬化温度の熱硬化性接着剤を用いている。この熱硬化性接着剤の硬化温度は撥水層を形成する撥水剤の撥水性を損なう温度以上であるが、所定の累積加熱時間に至らない加熱時間での加熱であれば撥水剤の撥水性を損なうことはない。一方、上記液滴吐出部材に別体の接合部材を接合するときは、撥水層を形成する撥水剤の撥水性が損なわれる温度より低い硬化温度の熱硬化性接着剤を用いる。ノズル板、流路板及び振動板の各部材を接合して上記液滴吐出部材を形成し、上記液滴吐出部材に接合部材を接合する工程を行ったとしても、これらの接合工程における撥水層を形成する撥水剤の撥水性を損なう温度以上による加熱時間の累積時間は上記所定の累積加熱時間を超えない。よって、撥水層の熱分解を抑え、撥水性の低下を抑制することができる。   In the present invention, when the adhesive protrudes from the bonding interface between the nozzle plate, the flow path plate, and the vibration plate forming the droplet discharge member, the dimensional accuracy in the liquid chamber changes due to the adhesive protruding into the liquid chamber. Even if a predetermined pressure is applied to the liquid chamber, the droplet discharge pressure does not occur and a droplet discharge failure occurs. In addition, the adhesive that protrudes into the liquid chamber corrodes with the liquid in the liquid chamber, and the bonding performance at the joint is lowered, so that the durability of the droplet discharge member deteriorates. In order to prevent such droplet discharge failure and deterioration of durability, the adhesive for joining the nozzle plate, flow path plate, and vibration plate members has a low adhesive stickiness and low viscosity. A thermosetting adhesive having a high curing temperature is used. The curing temperature of this thermosetting adhesive is not less than the temperature that impairs the water repellency of the water repellent that forms the water repellent layer, but if it is heated for a heating time that does not reach the predetermined cumulative heating time, Water repellency is not impaired. On the other hand, when a separate joining member is joined to the droplet discharge member, a thermosetting adhesive having a curing temperature lower than the temperature at which the water repellency of the water repellent forming the water repellent layer is impaired is used. Even if the process of joining each member of a nozzle plate, a flow path plate, and a diaphragm to form the above-mentioned droplet discharge member, and joining a joint member to the above-mentioned droplet discharge member, water repellent in these joining steps The accumulated time of the heating time at a temperature higher than the temperature that impairs the water repellency of the water repellent that forms the layer does not exceed the predetermined accumulated heating time. Therefore, thermal decomposition of the water repellent layer can be suppressed, and a decrease in water repellency can be suppressed.

以上、本発明によれば、ノズル面における撥水層の熱分解を抑え、撥水性の低下を抑制できるという効果を得られる。   As described above, according to the present invention, it is possible to obtain an effect that the thermal decomposition of the water-repellent layer on the nozzle surface can be suppressed and the decrease in water repellency can be suppressed.

本実施形態のインクジェット記録装置を前方から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the ink-jet recording device of this embodiment from the front. 本実施形態のインクジェット記録装置の機構部の概要を示す側面図である。It is a side view which shows the outline | summary of the mechanism part of the inkjet recording device of this embodiment. 本実施形態のインクジェット記録装置の機構部の要部平面図である。It is a principal part top view of the mechanism part of the inkjet recording device of this embodiment. 実施形態で用いた液滴吐出ヘッドの液室長軸方向に沿う断面説明図である。It is a cross-sectional explanatory drawing along the liquid chamber long axis direction of the droplet discharge head used in the embodiment. 実施形態で用いた液滴吐出ヘッドの液室短軸方向に沿う断面説明図である。It is sectional explanatory drawing in alignment with the liquid chamber short-axis direction of the droplet discharge head used in embodiment. 振動板の凸部と厚肉部を2層にした場合の液滴吐出ヘッドの液室短軸方向に沿う断面説明図である。FIG. 6 is a cross-sectional explanatory diagram along the liquid chamber short axis direction of the droplet discharge head when the convex portion and the thick portion of the diaphragm are formed in two layers. 圧電素子の駆動部をノズルピッチと同じ間隔として、支持部材を形成しない構造での液滴吐出ヘッドの液室短軸方向に沿う断面説明図である。FIG. 4 is a cross-sectional explanatory view along the minor axis direction of a liquid chamber of a droplet discharge head having a structure in which a driving portion of a piezoelectric element is set at the same interval as a nozzle pitch and a support member is not formed. Ni電鋳2層振動板の電鋳工程を説明する図である。It is a figure explaining the electroforming process of Ni electroforming 2 layer diaphragm. 第一のユニットと第二のユニットの接合を説明する図である。It is a figure explaining joining of the 1st unit and the 2nd unit. マニホールドを積層部品にした実施形態での第一のユニットと第二のユニットの接合を説明する図である。It is a figure explaining joining of the 1st unit and the 2nd unit in the embodiment which made the manifold the lamination parts. マニホールドでフィルタを挟む構成にした実施形態での第一のユニットと第二のユニットの接合を説明する図である。It is a figure explaining joining of the 1st unit and the 2nd unit in the embodiment made into the composition which sandwiched the filter with the manifold. 第一のユニットと、マニホールドとフィルタを一体で形成したプレートの接合を説明する図である。It is a figure explaining joining of the plate which formed the 1st unit, the manifold, and the filter integrally. 実施形態で用いた硬化温度がa[℃]以上の接着剤の組成を説明する図である。It is a figure explaining the composition of the adhesive agent whose hardening temperature used by embodiment is a [degreeC] or more. 実施形態での第一のユニットと第二のユニットとの形成でそれぞれ接着剤を塗布する幅が最も狭くなる箇所を比較した図である。It is the figure which compared the location where the width | variety which apply | coats an adhesive agent becomes narrowest by formation of the 1st unit and 2nd unit in embodiment. 流路板の加工に伴う厚みバラつきの発生を説明する図である。It is a figure explaining generation | occurrence | production of the thickness variation accompanying the process of a flow-path board. 液室ユニットの構成部品を一度に接合する場合個別液室の加圧に段差が形成されることと、第一のユニットを形成してから第二のユニットと接合する方式の説明図である。When joining the component parts of a liquid chamber unit at once, it is explanatory drawing of the system which joins with a 2nd unit after forming a level | step difference in the pressurization of an individual liquid chamber, and forming a 1st unit. 第一のユニットを、撥水層の熱分解が始まる温度a[℃]以上の温度で硬化する接着剤で形成して第一のユニットと第二のユニットとの接合には硬化温度がa[℃]より低いの接着剤を用いることを説明する図である。The first unit is formed of an adhesive that cures at a temperature a [° C.] or higher at which thermal decomposition of the water repellent layer begins, and the curing temperature is a [ It is a figure explaining using a lower adhesive agent. 第一のユニットを基準穴で位置決め接合し、第二のユニットを基準穴で位置決め接合する接合方式の説明図である。It is explanatory drawing of the joining system which positions and joins a 1st unit with a reference hole, and positions and joins a 2nd unit with a reference hole. 第一のユニットと第二のユニットを、それぞれの接合で用いた基準穴を用いて位置決め接合する接合方式の説明図である。It is explanatory drawing of the joining system which positions and joins a 1st unit and a 2nd unit using the reference | standard hole used by each joining.

以下、本発明を適用した画像形成装置として、インクジェット記録装置の実施形態について説明する。
図1は本実施形態のインクジェット記録装置を前方から見た斜視図である。同図に示す本実施形態のインクジェット記録装置100は、装置本体101と、装置本体101に装着された用紙を装填するための給紙トレイ102と、装置本体101に着脱自在に装着されて画像が記録(形成)された用紙をストックするための排紙トレイ103とを備えている。また、装置本体101の前面の一端部側(給排紙トレイ部の側方)には、前面から装置本体101の前方側に突き出し、上面よりも低くなったインクカートリッジを装填するためのカートリッジ装填部104を有し、このカートリッジ装填部104の上面には操作ボタンや表示器などの操作/表示部105が設けられている。
Hereinafter, an embodiment of an ink jet recording apparatus will be described as an image forming apparatus to which the present invention is applied.
FIG. 1 is a perspective view of the ink jet recording apparatus according to the present embodiment as viewed from the front. An inkjet recording apparatus 100 according to this embodiment shown in the figure includes an apparatus main body 101, a paper feed tray 102 for loading paper mounted on the apparatus main body 101, and a detachably mounted on the apparatus main body 101 to display an image. And a paper discharge tray 103 for stocking the recorded (formed) paper. Further, a cartridge loading for loading an ink cartridge that protrudes from the front surface to the front side of the apparatus main body 101 and is lower than the upper surface is provided at one end of the front surface of the apparatus main body 101 (side of the paper supply / discharge tray section). The cartridge loading unit 104 is provided with an operation / display unit 105 such as operation buttons and a display.

このカートリッジ装填部104には、色の異なる色材である記録液(インク)、例えばブラック(K)インク、シアン(C)インク、マゼンタ(M)インク、イエロー(Y)インクをそれぞれ収容した複数の記録液収容手段としての記録液カートリッジであるインクカートリッジ110k、110c、110m、110y(色を区別しないときは「インクカートリッジ110」という。)を、装置本体101の前面側から後方側に向って挿入して装填可能とし、このカートリッジ装填部104の前面側には、インクカートリッジ110を着脱するときに開く前カバー(カートリッジカバー)106が開閉可能に設けられている。また、インクカートリッジ110k、110c、110m、110yは縦置き状態で横方向に並べて装填する構成となっている。   The cartridge loading unit 104 contains a plurality of recording liquids (inks) that are different color materials, such as black (K) ink, cyan (C) ink, magenta (M) ink, and yellow (Y) ink. Ink cartridges 110k, 110c, 110m, and 110y (referred to as “ink cartridge 110” when the colors are not distinguished) are recording liquid cartridges serving as recording liquid storage units from the front side to the rear side of the apparatus main body 101. A front cover (cartridge cover) 106 that is opened when the ink cartridge 110 is attached or detached is provided on the front side of the cartridge loading unit 104 so as to be openable and closable. Further, the ink cartridges 110k, 110c, 110m, and 110y are configured to be loaded side by side in the horizontal direction in a vertically placed state.

また、操作/表示部105には、各色のインクカートリッジ110k、110c、110m、110yの装着位置(配置位置)に対応する配置位置で、各色のインクカートリッジ110k、110c、110m、110yの残量がニアーエンド及びエンドになったことを表示するための各色の残量表示部111k、111c、111m、111yを配置している。更に、この操作/表示部105には、電源ボタン112、用紙送り/印刷再開ボタン113、キャンセルボタン114も配置されている。   Further, the operation / display unit 105 has the remaining amounts of the ink cartridges 110k, 110c, 110m, and 110y for each color at an arrangement position corresponding to the installation position (arrangement position) of the ink cartridges 110k, 110c, 110m, and 110y for each color. The remaining amount display sections 111k, 111c, 111m, and 111y for each color for displaying the near end and the end are arranged. Further, the operation / display unit 105 is also provided with a power button 112, a paper feed / print resume button 113, and a cancel button 114.

次に、このインクジェット記録装置の機構部について図2及び図3を参照して説明する。なお、図2は同機構部の概要を示す側面図、図3は同じく要部平面図である。   Next, the mechanism part of the ink jet recording apparatus will be described with reference to FIGS. 2 is a side view showing the outline of the mechanism, and FIG. 3 is a plan view of the main part.

インクジェット記録装置の機構部において、フレーム121を構成する左右の側板121A、121Bに横架したガイド部材であるガイドロッド131とステー132とでキャリッジ133を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して図3で矢示方向である双方向のキャリッジ主走査方向に移動走査する。   In the mechanism of the ink jet recording apparatus, the carriage 133 is slidably held in the main scanning direction by a guide rod 131 and a stay 132 which are guide members horizontally mounted on the left and right side plates 121A and 121B constituting the frame 121. The main scanning motor that is not moved moves and scans in the bidirectional carriage main scanning direction indicated by the arrow in FIG. 3 via the timing belt.

キャリッジ133には、前述したように、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の各色のインク滴を吐出する4個の液滴吐出ヘッド134a〜134dとからなる液滴吐出ヘッド134が、主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着されている。なお、各色のインク液滴を吐出するノズル列を有する1又は複数のヘッド構成などを採用することもできる。   As described above, the carriage 133 includes four droplet discharge heads 134a to 134d that discharge ink droplets of yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and black (K). The droplet discharge heads 134 are arranged in a direction crossing the main scanning direction, and are mounted with the ink droplet discharge direction facing downward. It is also possible to employ one or a plurality of head configurations having nozzle rows that eject ink droplets of each color.

ここで、液滴吐出ヘッド134を構成するインクジェットヘッドとしては、圧電素子などの圧電アクチュエータ、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いて液体の膜沸騰による相変化を利用するサーマルアクチュエータ、温度変化による金属相変化を用いる形状記憶合金アクチュエータ、静電力を用いる静電アクチュエータなどを、液滴を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段として備えたものなどを使用できる。   Here, the inkjet head constituting the droplet discharge head 134 includes a piezoelectric actuator such as a piezoelectric element, a thermal actuator that uses a phase change caused by liquid film boiling using an electrothermal transducer such as a heating resistor, and a temperature change. It is possible to use a shape memory alloy actuator that uses a metal phase change due to the above, an electrostatic actuator that uses an electrostatic force, and the like as pressure generating means for generating pressure for discharging droplets.

また、キャリッジ133には、各液滴吐出ヘッド134a〜134dに各色のインクを供給するためのヘッドタンク135a〜135dを搭載している。各ヘッドタンク135a〜135dには各色のインクを送液する可撓性のインク供給チューブ136を介してカートリッジ装填部104に装着された各色のインクカートリッジ110y,110m,110c,110kから各色のインクが充填供給される。なお、このカートリッジ装填104にはインクカートリッジ110内のインクを送液するための供給ポンプユニット124が設けられ、またインク供給チューブ136は這い回しの途中でフレーム121を構成する後板121Cに係止部材125にて保持されている。供給ポンプユニット124は逆方向に送液(逆転送液)することもできる。   Further, the carriage 133 is equipped with head tanks 135a to 135d for supplying ink of each color to the respective droplet discharge heads 134a to 134d. Each head tank 135a to 135d receives ink of each color from each color ink cartridge 110y, 110m, 110c, 110k mounted on the cartridge loading unit 104 via a flexible ink supply tube 136 for feeding each color ink. Filled and supplied. The cartridge loading 104 is provided with a supply pump unit 124 for feeding ink in the ink cartridge 110, and the ink supply tube 136 is locked to the rear plate 121C constituting the frame 121 in the middle of turning. It is held by the member 125. The supply pump unit 124 can also send liquid in the reverse direction (reverse transfer liquid).

一方、図2の給紙トレイ102の用紙積載部(圧板)141上に積載した用紙142を給紙するための給紙部として、用紙積載部141から用紙142を1枚ずつ分離給送する半月コロ(給紙コロ)143及び給紙コロ143に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド144を備え、この分離パッド144は給紙コロ143側に付勢されている。   On the other hand, as a paper feeding unit for feeding the paper 142 stacked on the paper stacking unit (pressure plate) 141 of the paper feed tray 102 in FIG. 2, half a month in which the paper 142 is separated and fed one by one from the paper stacking unit 141. A separation pad 144 made of a material having a large coefficient of friction is provided opposite to the roller (sheet feeding roller) 143 and the sheet feeding roller 143, and the separation pad 144 is urged toward the sheet feeding roller 143 side.

そして、この給紙部から給紙された用紙142を液滴吐出ヘッド134の下方側に送り込むために、用紙142を案内するガイド部材145と、カウンタローラ146と、搬送ガイド部材147と、先端加圧コロ149を有する押さえ部材148とを備えるとともに、給送された用紙142を静電吸着して液滴吐出ヘッド134に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト151を備えている。   In order to feed the sheet 142 fed from the sheet feeding unit to the lower side of the droplet discharge head 134, a guide member 145 that guides the sheet 142, a counter roller 146, a transport guide member 147, and a tip addition member. A pressing member 148 having a pressure roller 149, and a conveying belt 151 that is a conveying means for electrostatically attracting the fed sheet 142 and conveying it at a position facing the droplet discharge head 134. .

この搬送ベルト151は、無端状ベルトであり、搬送ローラ152とテンションローラ153との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向(副走査方向)に周回するように構成している。また、この搬送ベルト151の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ156を備えている。この帯電ローラ156は、搬送ベルト151の表層に接触し、搬送ベルト151の回動に従動して回転するように配置されている。更に、搬送ベルト151の裏側には、液滴吐出ヘッド134による印写領域に対応してガイド部材157が配置されている。   The conveyor belt 151 is an endless belt, and is configured to wrap around the conveyor roller 152 and the tension roller 153 and circulate in the belt conveyance direction (sub-scanning direction). Further, a charging roller 156 that is a charging unit for charging the surface of the transport belt 151 is provided. The charging roller 156 is disposed so as to come into contact with the surface layer of the conveyor belt 151 and to rotate following the rotation of the conveyor belt 151. Further, a guide member 157 is disposed on the back side of the conveyance belt 151 so as to correspond to a printing area by the droplet discharge head 134.

この搬送ベルト151は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ152が回転駆動されることによって図2のベルト搬送方向に周回移動する。   The transport belt 151 rotates in the belt transport direction of FIG. 2 when the transport roller 152 is rotationally driven through timing by a sub-scanning motor (not shown).

更に、液滴吐出ヘッド134で記録された用紙142を排紙するための排紙部として、搬送ベルト151から用紙142を分離するための分離爪161と、排紙ローラ162及び排紙コロ163とを備え、排紙ローラ162の下方に排紙トレイ103を備えている。   Further, as a paper discharge unit for discharging the paper 142 recorded by the droplet discharge head 134, a separation claw 161 for separating the paper 142 from the transport belt 151, a paper discharge roller 162, and a paper discharge roller 163, And a paper discharge tray 103 below the paper discharge roller 162.

また、装置本体101の背面部には両面ユニット171が着脱自在に装着されている。この両面ユニット171は搬送ベルト151の逆方向回転で戻される用紙142を取り込んで反転させて再度カウンタローラ146と搬送ベルト151との間に給紙する。また、この両面ユニット171の上面は手差しトレイ172としている。   A double-sided unit 171 is detachably attached to the back surface of the apparatus main body 101. The duplex unit 171 takes in the paper 142 returned by the reverse rotation of the transport belt 151, reverses it, and feeds it again between the counter roller 146 and the transport belt 151. The upper surface of the duplex unit 171 is a manual feed tray 172.

更に、図3に示すように、キャリッジ133の走査方向一方側の非印字領域には、液滴吐出ヘッド134のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む維持回復機構181を配置している。   Further, as shown in FIG. 3, a maintenance / recovery mechanism 181 including a recovery means for maintaining and recovering the nozzle state of the droplet discharge head 134 is arranged in the non-printing area on one side of the carriage 133 in the scanning direction. is doing.

この維持回復機構181には、液滴吐出ヘッド134の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材(以下「キャップ」という。)182a〜182d(区別しないときは「キャップ182」という。)と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード183と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け184などを備えている。ここでは、キャップ182aを吸引及び保湿用キャップとし、他のキャップ182b〜182dは保湿用キャップとしている。   The maintenance / recovery mechanism 181 includes cap members (hereinafter referred to as “caps”) 182a to 182d (hereinafter referred to as “caps 182” when not distinguished) for capping each nozzle surface of the droplet discharge head 134. A wiper blade 183 that is a blade member for wiping the nozzle surface, an empty discharge receiver 184 that receives droplets when performing an empty discharge that discharges droplets that do not contribute to recording in order to discharge the thickened recording liquid, and the like It has. Here, the cap 182a is a suction and moisture retention cap, and the other caps 182b to 182d are moisture retention caps.

そして、この維持回復機構181による維持回復動作で生じる記録液の廃液、キャップ182に排出されたインク、あるいはワイパーブレード183に付着してワイパークリーナ185で除去されたインク、空吐出受け194に空吐出されたインクは図示しない廃液タンクに排出されて収容される。   Then, the waste liquid of the recording liquid generated by the maintenance / recovery operation by the maintenance / recovery mechanism 181, the ink discharged to the cap 182, the ink attached to the wiper blade 183 and removed by the wiper cleaner 185, and the idle ejection to the idle ejection receptacle 194 The discharged ink is discharged and stored in a waste liquid tank (not shown).

また、図3に示すように、キャリッジ133の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け188を配置し、この空吐出受け188には液滴吐出ヘッド134のノズル列方向に沿った開口189などを備えている。   Further, as shown in FIG. 3, in the non-printing area on the other side in the scanning direction of the carriage 133, idle discharge is performed to discharge liquid droplets that do not contribute to recording in order to discharge the recording liquid thickened during recording or the like. An empty discharge receiver 188 for receiving the droplets at the time is disposed, and the empty discharge receiver 188 is provided with an opening 189 along the nozzle row direction of the droplet discharge head 134.

このように構成した本実施形態のインクジェット記録装置においては、給紙トレイ102から用紙142が1枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙142はガイド145で案内され、搬送ベルト151とカウンタローラ146との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド137で案内されて先端加圧コロ149で搬送ベルト151に押し付けられ、略90°搬送方向を転換される。   In the ink jet recording apparatus of this embodiment configured as described above, the sheets 142 are separated and fed one by one from the sheet feed tray 102, and the sheet 142 fed substantially vertically upward is guided by the guide 145, and is conveyed by the conveying belt. 151 and the counter roller 146 are sandwiched and conveyed. Further, the leading end is guided by the conveying guide 137 and pressed against the conveying belt 151 by the leading end pressure roller 149, and the conveying direction is changed by about 90 °.

このとき、後述する制御部のACバイアス供給部から帯電ローラ156に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト151が交番する帯電電圧パターン、すなわち周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト151上に用紙142が給送されると、用紙142が搬送ベルト151に吸着され、搬送ベルト151の周回移動によって用紙142が副走査方向に搬送される。   At this time, a charging voltage pattern in which a positive output and a negative output are alternately repeated from the AC bias supply unit of the control unit, which will be described later, to the charging roller 156 alternately, that is, an alternating voltage is applied and the conveying belt 151 is alternating. That is, plus and minus are alternately charged in a band shape with a predetermined width in the sub-scanning direction which is the circumferential direction. When the sheet 142 is fed onto the conveying belt 151 that is alternately charged with plus and minus, the sheet 142 is attracted to the conveying belt 151, and the sheet 142 is conveyed in the sub-scanning direction by the circumferential movement of the conveying belt 151.

そこで、リニアエンコーダ137による主走査位置情報に基づいてキャリッジ133を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液滴吐出ヘッド134を駆動することにより、停止している用紙142にインク滴を吐出して1行分を記録し、用紙142を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙142の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙142を排紙トレイ103に排紙する。   Therefore, ink droplets are ejected onto the stopped paper 142 by driving the droplet ejection head 134 according to the image signal while moving the carriage 133 in the main scanning direction based on the main scanning position information by the linear encoder 137. Then, one line is recorded, and after the sheet 142 is conveyed by a predetermined amount, the next line is recorded. Upon receiving a recording end signal or a signal that the trailing edge of the sheet 142 has reached the recording area, the recording operation is terminated and the sheet 142 is discharged onto the discharge tray 103.

また、印字(記録)待機中にはキャリッジ133は維持回復機構181側に移動されて、キャップ182a〜182dで液滴吐出ヘッド134a〜134dがキャッピングされて、ノズルを湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、キャップ182で液滴吐出ヘッド134をキャッピングした状態で図示しない吸引ポンプによってノズルから記録液を吸引(「ノズル吸引」又は「ヘッド吸引」という。)し、増粘した記録液や気泡を排出する回復動作を行う。また、記録開始前、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出する空吐出動作を行う。これによって、液滴吐出ヘッド134の安定した吐出性能を維持する。   Further, while waiting for printing (recording), the carriage 133 is moved to the maintenance / recovery mechanism 181 side, and the droplet discharge heads 134a to 134d are capped by the caps 182a to 182d, and the ink is dried by keeping the nozzles in a wet state. Prevents ejection failure due to In addition, with the cap 182 capping the droplet discharge head 134, the recording liquid is sucked from the nozzle by a suction pump (not shown) (referred to as "nozzle suction" or "head suction"), and the thickened recording liquid and bubbles are discharged. Perform recovery action. In addition, an idle ejection operation for ejecting ink not related to recording is performed before the start of recording or during recording. Thereby, the stable ejection performance of the droplet ejection head 134 is maintained.

本発明に係る画像形成装置は、プリンタ、ファクシミリ装置、複写装置、これらの複合機などにも適用することができる。また、インク以外の液体、例えばDNA試料やレジスト、パターン材料などを吐出する液滴吐出ヘッドや液滴吐出装置、或いはこれらを備える画像形成装置にも適用することができる。画像形成装置としてインクジェットプリンタを例として説明したが、インクジェットコピー、インクジェットファックス、あるいはそれらの複合型記録装置にも適用できる。また、画像形成装置以外にも、インクジェット技術を用いたカラーフィルター製造装置、金属配線製造装置、捺染装置、DNAチップ製造装置など工業用製造装置にも適用できる。   The image forming apparatus according to the present invention can also be applied to a printer, a facsimile machine, a copying machine, a complex machine of these, and the like. Further, the present invention can also be applied to a droplet discharge head or a droplet discharge device that discharges a liquid other than ink, such as a DNA sample, a resist, or a pattern material, or an image forming apparatus that includes these. Although an ink jet printer has been described as an example of the image forming apparatus, it can also be applied to an ink jet copy, an ink jet fax, or a composite type recording apparatus thereof. In addition to image forming apparatuses, the present invention can also be applied to industrial manufacturing apparatuses such as color filter manufacturing apparatuses, metal wiring manufacturing apparatuses, textile printing apparatuses, and DNA chip manufacturing apparatuses using inkjet technology.

以下、本発明を適用した液滴吐出ヘッドの一実施形態について図面を参照して詳細に説明する。
図4は実施形態の液滴吐出ヘッドの液室長軸方向に沿う断面図である。図5は実施形態の液滴吐出ヘッドの液室短軸方向に沿う断面図である。図6は実施形態の液滴吐出ヘッドの変形例の液室短軸方向に沿う断面図である。本実施形態ではPZT型の液適吐出ヘッドを用いて説明する。接合面に関して、本実施形態に記載する説明図では、平面であることを中心に説明するが、部材表面に複数の凹凸があっても良い。図4に示す液滴吐出ヘッド10は、液室1−1、流体抵抗部1−2を形成する流路板1と、この流路板1の上面に接合した液滴を吐出するノズル2−1を形成するノズル板2と、流路板1の下面に接合してダイアフラム部4−2を有した振動板4と、この振動板4と接合され、液室1−1内の圧力を変化させる積層圧電素子5と、積層圧電素子5を固定するベース基板6を備えている。図4では接着層は他部材に比べると厚さが薄いために図示していない。振動板4には図5には3層、図6には2層の凸部4−3と厚肉部4−4を設ける構成も考えられる。
Hereinafter, an embodiment of a droplet discharge head to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 4 is a cross-sectional view of the liquid droplet ejection head according to the embodiment along the longitudinal direction of the liquid chamber. FIG. 5 is a cross-sectional view along the minor axis direction of the liquid chamber of the droplet discharge head of the embodiment. FIG. 6 is a cross-sectional view along the minor axis direction of the liquid chamber of a modified example of the droplet discharge head of the embodiment. In the present embodiment, description will be made using a PZT liquid proper discharge head. Regarding the joint surface, in the explanatory diagram described in the present embodiment, the description will be focused on being a flat surface, but there may be a plurality of irregularities on the surface of the member. A droplet discharge head 10 shown in FIG. 4 includes a flow channel plate 1 that forms a liquid chamber 1-1 and a fluid resistance portion 1-2, and a nozzle 2- that discharges a droplet bonded to the upper surface of the flow channel plate 1. 1, a nozzle plate 2 that forms a diaphragm 1, a diaphragm 4 that is bonded to the lower surface of the flow path plate 1 and has a diaphragm portion 4-2, and is bonded to the diaphragm 4 to change the pressure in the liquid chamber 1-1. The laminated piezoelectric element 5 is provided, and a base substrate 6 for fixing the laminated piezoelectric element 5 is provided. In FIG. 4, the adhesive layer is not shown because it is thinner than other members. A configuration in which the diaphragm 4 is provided with three layers in FIG. 5 and two layers in FIG. 6 and a thick portion 4-4 is also conceivable.

本実施形態では、圧電素子5は圧電材料層と内部電極とを交互に積層したもので、圧電素子5の圧電方向としてd33方向の変位を用いて液室1−1内の液体を加圧する構成としている。また、本実施形態は、図5に示したような、積層圧電素子5はハーフカットのダイシング加工により櫛歯上に分割され、1つ毎に圧電素子5−1と支持部材5−2として使用する。この構造をバイピッチ構造と呼ぶ。支持部材5−2により流路ユニットを支持しているので、液室1−1の圧力上昇によって流路板1が持ち上がることを防ぎ、いわゆる相互干渉を抑えることに非常に有効である。より液室を高密度化させた図7に示したような圧電素子5の圧電素子5−1をノズルピッチと同じ間隔として、支持部材5−2を形成しない構造(ノーマルピッチ構造)でも良い。   In the present embodiment, the piezoelectric element 5 is formed by alternately laminating piezoelectric material layers and internal electrodes, and pressurizes the liquid in the liquid chamber 1-1 using the displacement in the d33 direction as the piezoelectric direction of the piezoelectric element 5. It is said. Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 5, the laminated piezoelectric element 5 is divided on comb teeth by half-cut dicing, and each is used as the piezoelectric element 5-1 and the support member 5-2. To do. This structure is called a bi-pitch structure. Since the flow path unit is supported by the support member 5-2, it is very effective in preventing the flow path plate 1 from being lifted by the pressure increase in the liquid chamber 1-1 and suppressing so-called mutual interference. A structure (normal pitch structure) in which the support member 5-2 is not formed with the piezoelectric element 5-1 of the piezoelectric element 5 as shown in FIG.

そして、流路板1の材料はSUS304や別のSUS材、Si、Ni、42アロイであっても良い。流路板1の液体に接する面には、窒化チタン膜あるいはポリイミドなどの有機樹脂膜からなる耐液性薄膜を成膜しても良い。このような耐液性薄膜を形成することで、流路板材料が液体に対して溶出しにくく、また濡れ性も向上するため気泡の滞留が生じにくくなり、安定した滴吐出が可能になる。本発明において「層」や「膜」は、実質的な平らな全ての構造物を含む意味に用いる。   The material of the flow path plate 1 may be SUS304, another SUS material, Si, Ni, or 42 alloy. A liquid-resistant thin film made of an organic resin film such as a titanium nitride film or polyimide may be formed on the surface of the flow path plate 1 in contact with the liquid. By forming such a liquid-resistant thin film, the flow path plate material is less likely to elute with respect to the liquid, and the wettability is improved, so that bubbles are less likely to stay and stable droplet ejection is possible. In the present invention, “layer” and “film” are used to include all substantially flat structures.

図4、図5に示す本実施形態では、流路板1の厚さが40[μm]〜600[μm]である。流路板1の厚さが600[μm]となるときは流路板1を積層することにより液室を形成することも考えられるからである。液室1−1の長手方向の長さは、400[μm]〜1600[μm]、液室1−1の幅は120[μm]〜139[μm]とした。流路隔壁の幅は振動板4との接合面で約15[μm]〜50[μm](液室ピッチが150[dpi]のため)である。   In this embodiment shown in FIGS. 4 and 5, the thickness of the flow path plate 1 is 40 [μm] to 600 [μm]. This is because when the thickness of the flow path plate 1 is 600 [μm], it is possible to form a liquid chamber by stacking the flow path plates 1. The length in the longitudinal direction of the liquid chamber 1-1 was 400 [μm] to 1600 [μm], and the width of the liquid chamber 1-1 was 120 [μm] to 139 [μm]. The width of the channel partition wall is about 15 [μm] to 50 [μm] at the joint surface with the diaphragm 4 (because the liquid chamber pitch is 150 [dpi]).

また、図7に示す実施形態では、流路板1の厚さが100[μm]〜600[μm]である。流路板1の厚さが600[μm]となるときは流路板1を積層することにより液室を形成することも考えられるからである。液室1−1の長手方向の長さは、400[μm]〜1200[μm]、液室1−1の幅は50[μm]〜70[μm](液室ピッチが300[dpi]のため)とした構造であっても良い。   In the embodiment shown in FIG. 7, the thickness of the flow path plate 1 is 100 [μm] to 600 [μm]. This is because when the thickness of the flow path plate 1 is 600 [μm], it is possible to form a liquid chamber by stacking the flow path plates 1. The length of the liquid chamber 1-1 in the longitudinal direction is 400 [μm] to 1200 [μm], and the width of the liquid chamber 1-1 is 50 [μm] to 70 [μm] (the liquid chamber pitch is 300 [dpi]. For example).

更に、ノズル板2は金属材料、例えば電鋳工法によるNiメッキ膜等で形成したもので、液滴を飛翔させるための微細な吐出口であるノズル2−1を多数形成している。このノズル2−1の内部形状(内側形状)は、ホーン形状(略円柱形状又は略円錘台形状でも良い。)に形成している。また、このノズル2−1の径は液滴出口側の直径で約15[μm]〜35[μm]である。本実施形態では、ノズル2−1の直径は18[μm]〜24[μm]とした。各列のノズルピッチは、150[dpi]又は300[dpi]である。ノズル板の材料としてSUS304や他のSUS材又は樹脂材を用いることもある。   Further, the nozzle plate 2 is formed of a metal material, for example, an Ni plating film by an electroforming method, and has a number of nozzles 2-1 that are fine discharge ports for causing droplets to fly. The inner shape (inner shape) of the nozzle 2-1 is formed in a horn shape (may be a substantially cylindrical shape or a substantially frustum shape). The diameter of the nozzle 2-1 is approximately 15 [μm] to 35 [μm] on the droplet outlet side. In the present embodiment, the nozzle 2-1 has a diameter of 18 [μm] to 24 [μm]. The nozzle pitch of each row is 150 [dpi] or 300 [dpi]. SUS304 or other SUS material or resin material may be used as the material of the nozzle plate.

このノズル板2の液滴吐出面は、撥水性の表面処理を施した撥水層3を設けている。PTFE−Ni共析メッキやフッ素樹脂の電着塗装、蒸発性のあるフッ素樹脂(例えばフッ化ピッチなど)を蒸着コートしたもの、シリコン系樹脂、フッ素系樹脂の溶剤塗布後の焼き付け等、液体物性に応じて選定した撥水処理膜を設けて、液体の滴形状、飛翔特性を安定化し、高品位の画像品質を得られるようにしている。   The droplet discharge surface of the nozzle plate 2 is provided with a water-repellent layer 3 that has been subjected to a water-repellent surface treatment. Liquid physical properties such as PTFE-Ni eutectoid plating, electrodeposition coating of fluororesin, vapor-deposited fluororesin (for example, fluorinated pitch), baking after silicon resin, fluororesin solvent coating, etc. A water repellent treatment film selected according to the above is provided to stabilize the liquid droplet shape and flight characteristics so that high-quality image quality can be obtained.

図4に示すように、外部から液体を供給するための液体供給口7−1と、共通液室7−2となる彫り込みが形成するフレーム7はエポキシ系樹脂の射出成形により形成している。樹脂材料は、ポリフェニレンサルファイト等でも良い。また、フレーム7はSUS304やその他のSUS材、金属材によって形成されても良い。   As shown in FIG. 4, the liquid supply port 7-1 for supplying a liquid from the outside and the frame 7 formed by the engraving that becomes the common liquid chamber 7-2 are formed by injection molding of epoxy resin. The resin material may be polyphenylene sulfite or the like. The frame 7 may be formed of SUS304, other SUS material, or metal material.

このように構成した液滴吐出ヘッドにおいては、記録信号に応じて圧電素子5に駆動波形(10[V]〜50[V]のパルス電圧)を印加することによって、圧電素子5に積層方向の変位が生起し、振動板4を介して液室1−1が加圧されて圧力が上昇し、ノズル2−1から液滴が吐出される。その後、液滴吐出の終了に伴い、液室1−1内の液体圧力が低減し、液体の流れの慣性と駆動パルスの放電過程によって液室1−1内に負圧が発生して液体充填工程へ移行する。このとき、液体タンクから供給された液体は、共通液室7−2に流入し、共通液室7−2から液体流入口4−1を経て流体抵抗部1−2を通り、液室1−1内に充填される。   In the droplet discharge head configured as described above, a drive waveform (pulse voltage of 10 [V] to 50 [V]) is applied to the piezoelectric element 5 in accordance with the recording signal, so that the piezoelectric element 5 has a stacking direction. Displacement occurs, the liquid chamber 1-1 is pressurized through the diaphragm 4, the pressure rises, and droplets are ejected from the nozzle 2-1. Thereafter, the liquid pressure in the liquid chamber 1-1 decreases with the end of the liquid droplet discharge, and a negative pressure is generated in the liquid chamber 1-1 due to the inertia of the liquid flow and the discharge process of the driving pulse. Move to the process. At this time, the liquid supplied from the liquid tank flows into the common liquid chamber 7-2, passes from the common liquid chamber 7-2 through the liquid inflow port 4-1, and passes through the fluid resistance unit 1-2. 1 is filled.

流体抵抗部1−2は、吐出後の残留圧力振動の減衰に効果が有る反面、表面張力による再充填(リフィル)に対して抵抗になる。流体抵抗部を適宜に選択することで、残留圧力の減衰とリフィル時間のバランスが取れ、次の液滴吐出動作に移行するまでの時間(駆動周期)を短くできる。   The fluid resistance unit 1-2 has an effect on the attenuation of the residual pressure vibration after ejection, but becomes resistant to refilling (refill) due to surface tension. By appropriately selecting the fluid resistance portion, it is possible to balance the attenuation of the residual pressure and the refill time, and to shorten the time (drive period) until shifting to the next droplet discharge operation.

ここで、図6に示すように、凸部4−3と厚肉部分4−4の形状として、凸部4−3の周りは薄肉部4−2で囲まれ、その周りを厚肉部分4−4で囲んでいる構成がある。本実施形態では、振動板4は電鋳工法によって薄肉部を設けたNiを用いている。   Here, as shown in FIG. 6, as the shape of the convex portion 4-3 and the thick portion 4-4, the periphery of the convex portion 4-3 is surrounded by the thin portion 4-2, and the surrounding portion is surrounded by the thick portion 4. There is a configuration surrounded by -4. In this embodiment, the diaphragm 4 uses Ni provided with a thin portion by an electroforming method.

次に、Ni電鋳の2層振動板の電鋳工程について図5を参照して説明する。図8の(a)に示すように電鋳支持基板211に薄肉部を形成する第一層212を形成し、同図の(b)に示すように厚肉部間に相当する部分が窓となるレジストパターン213を形成する。そして、例えばニッケル電鋳を行うことで、同図の(c)に示すように、第一層212上にニッケルが析出され堆積してニッケル層214が形成され、更に電鋳を継続することで、同図の(d)に示すように、窓から突出するまでニッケル層214が成長すると、エッジ効果によりレジストパターン213、そしてレジストパターン213の表面方向にも肥大してオーバハング部215が生じる。このプロセスを継続していくと、同図の(e)に示すようにニッケル層214は厚み方向と平面方向にさらに伸長し、所定の成長の段階で電鋳を終了した後、レジストパターン213を除去することで、同図の(f)に示すように、凹部215により囲まれた断面鋲型のアイランド状厚肉部216を備えた振動板が得られる。振動板4の部材にはNiのほか、金属層や樹脂層、Siを用いた構成も考えられる。金属部材として、本実施形態では、Ni、42アロイ、SUS304が考えられる。また、SiO2やTi等の金属膜を表面に形成することにより液体の透湿を懸念することがなくなる。また、振動板4の部材を樹脂層にすると、金属層に比べダイアフラム部4−2の剛性が低くなることで積層圧電素子5の変位効率を阻害することもなくなる。また、流路板1が金属である場合、樹脂層と金属との接合は金属同士の接合より接合強度が増す。また、樹脂層が、圧延フィルムであっても良い。これにより厚みが薄くなってもピンホールなどの欠陥がほとんど皆無で、信頼性が高い製品を提供することができる。 Next, the electroforming process of the Ni electroformed two-layer diaphragm will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 8A, a first layer 212 for forming a thin portion is formed on the electroformed support substrate 211. As shown in FIG. A resist pattern 213 is formed. For example, by performing nickel electroforming, nickel is deposited and deposited on the first layer 212 to form a nickel layer 214 as shown in FIG. As shown in FIG. 5D, when the nickel layer 214 grows until it protrudes from the window, the resist pattern 213 and the surface direction of the resist pattern 213 are enlarged due to the edge effect, and an overhang portion 215 is generated. If this process is continued, the nickel layer 214 further extends in the thickness direction and the planar direction as shown in FIG. 5E, and after the electroforming is completed at a predetermined growth stage, the resist pattern 213 is formed. By removing, as shown in FIG. 5F, a diaphragm including an island-shaped thick portion 216 having a bowl-shaped cross section surrounded by the recess 215 is obtained. In addition to Ni as the member of the diaphragm 4, a configuration using a metal layer, a resin layer, or Si is also conceivable. In this embodiment, Ni, 42 alloy, and SUS304 can be considered as the metal member. Further, by forming a metal film such as SiO 2 or Ti on the surface, there is no concern about moisture permeation of the liquid. Moreover, when the member of the diaphragm 4 is a resin layer, the rigidity of the diaphragm portion 4-2 is lower than that of the metal layer, so that the displacement efficiency of the laminated piezoelectric element 5 is not hindered. Further, when the flow path plate 1 is a metal, the bonding strength between the resin layer and the metal is higher than the bonding between the metals. The resin layer may be a rolled film. As a result, even if the thickness is reduced, it is possible to provide a highly reliable product with almost no defects such as pinholes.

本実施形態において、振動板4と積層圧電素子5の接合領域に接着剤に対して親和性を示す処理を行うことも考えられる。親和性を示す処理として水酸基やSiO2薄膜層を形成することが考えられる。SiO2薄膜層の形成には、比較的熱のかからない、すなわち振動板4の部材に熱的影響の発生しない範囲の温度で成膜可能な方法で形成する。具体的には、スパッタリング、イオンビーム蒸着、イオンプレーティング、CVD(化学蒸着法)、P-CVD(プラズマ蒸着法)などが適しているといえる。本実施形態ではSiのスパッタリング後スパッタ膜にO2処理をしてSiO2膜を生成している。SiO2薄膜層の膜厚は密着力が確保できる範囲で必要最小限の厚さとするのが工程時間、材料費から見て有利である。本実施形態ではSiO2膜の厚さを10〜2000[オングストローム]の範囲で使用している。本実施形態の撥水処理に関して、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。撥水処理方法としてスピンコータ、ロールコータ、スクリーン印刷、スプレーコータなどの方法が使用可能であり、それ以外にも真空蒸着で成膜する方法も使用されている。この方法を使用すると撥水膜の密着性が向上する。本実施形態では、薄肉部の厚さは、2[μm]〜10[μm]である。また、液室短手方向の薄肉部領域の長さを10[μm]〜50[μm]としている。 In the present embodiment, it is also conceivable to perform a process that shows an affinity for the adhesive on the bonding region between the diaphragm 4 and the laminated piezoelectric element 5. It is conceivable to form a hydroxyl group or a SiO 2 thin film layer as a treatment showing affinity. The SiO 2 thin film layer is formed by a method that allows film formation at a temperature that is relatively not heated, that is, in a range that does not cause thermal influence on the members of the diaphragm 4. Specifically, sputtering, ion beam vapor deposition, ion plating, CVD (chemical vapor deposition), P-CVD (plasma vapor deposition) and the like are suitable. In this embodiment, after sputtering of Si, the sputtered film is subjected to O 2 treatment to generate a SiO 2 film. From the viewpoint of process time and material cost, it is advantageous to set the thickness of the SiO 2 thin film layer to the minimum necessary thickness within a range in which adhesion can be secured. In this embodiment, the thickness of the SiO 2 film is used in the range of 10 to 2000 [angstrom]. Regarding the water repellent treatment of this embodiment, the water repellent film is formed by a known method such as a plating film or a water repellent coating. As a water repellent treatment method, a spin coater, a roll coater, a screen printing, a spray coater, or the like can be used. In addition, a method of forming a film by vacuum deposition is also used. When this method is used, the adhesion of the water-repellent film is improved. In the present embodiment, the thickness of the thin portion is 2 [μm] to 10 [μm]. In addition, the length of the thin portion region in the short direction of the liquid chamber is set to 10 [μm] to 50 [μm].

また、本実施形態では、樹脂層としてポリフェニレンサルフアイド(PPS)樹脂を用いているが、延伸可能な他の高分子材料、例えば、ポリイミド(PI)樹脂、ポリエーテルイミド(PEI)樹脂、ボリアミドイミド(PAI)樹脂、ポリバラバン酸(PPA)樹脂、ボリサルホン(PSF)樹脂、ポリエーテルサルホン(PES)樹脂樹脂、ポリエーテルケトン(PEK)樹脂、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂、ポリオレフィン(APO)樹脂、ポリエチレンナフタレート(PEN)樹脂、アラミド樹脂、ポリプロピレン樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリカーネート樹脂等を用いることもできる。   In this embodiment, polyphenylene sulfide (PPS) resin is used as the resin layer. However, other polymer materials that can be stretched, such as polyimide (PI) resin, polyetherimide (PEI) resin, polyamidoimide ( PAI) resin, polybalavanic acid (PPA) resin, borisulphone (PSF) resin, polyethersulfone (PES) resin, polyetherketone (PEK) resin, polyetheretherketone (PEEK) resin, polyolefin (APO) resin, Polyethylene naphthalate (PEN) resin, aramid resin, polypropylene resin, vinylidene chloride resin, polycarbonate resin and the like can also be used.

また、図示していないが、液室基板とノズル基板、振動板、駆動手段やフレームとは接着剤で接合されている。その接着剤の塗布厚さは0.4[μm]〜10[μm]程度である。本実施形態の構成では個別液室の構成部材としてノズル板2、流路板1、振動板4の3点の部品で構成しているが、ノズル板と流路板、もしくは流路板と振動板が一体となった2点の部品での構成も考えられ、流路板や振動板を積層部品で形成する場合も考えられる。また、本発明はサーマル方式のように、振動板を備えていない個別液室を形成する液滴吐出ヘッドでも適用可能である。   Although not shown, the liquid chamber substrate, the nozzle substrate, the vibration plate, the driving means, and the frame are joined with an adhesive. The coating thickness of the adhesive is about 0.4 [μm] to 10 [μm]. In the configuration of the present embodiment, the components of the individual liquid chamber are composed of the three components of the nozzle plate 2, the flow channel plate 1, and the vibration plate 4, but the nozzle plate and the flow channel plate, or the flow channel plate and the vibration plate. A configuration with two parts in which the plates are integrated is also conceivable, and a case in which the flow path plate and the diaphragm are formed of laminated components is also conceivable. The present invention can also be applied to a droplet discharge head that forms an individual liquid chamber that does not include a diaphragm, such as a thermal method.

図4のマニホールド8は個別液室に連通する共通液室8−1の一部を形成している。本実施形態ではマニホールド8の材料としてSUS304を使用し、プレス加工によって形成されている。マニホールド8の材料としてはSUS304以外のSUS材料もしくはその他の金属、樹脂材を用いることも可能である。本実施形態では図4のフィルタ9で、液室ユニット組立後の液室内への異物の侵入を防いでいる。本実施形態ではNiの電鋳部品を用いているが、例えばSUS材やその他の金属のエッチング、または樹脂材によって形成することも考えられる。   The manifold 8 in FIG. 4 forms a part of the common liquid chamber 8-1 that communicates with the individual liquid chambers. In this embodiment, SUS304 is used as the material of the manifold 8 and is formed by pressing. As the material of the manifold 8, SUS material other than SUS304, other metal, or resin material can be used. In this embodiment, the filter 9 in FIG. 4 prevents foreign matter from entering the liquid chamber after the liquid chamber unit is assembled. In the present embodiment, Ni electroformed parts are used, but it is also possible to form them by, for example, etching of a SUS material or other metals, or a resin material.

実施形態では、図9に示すように、個別液室を構成する部品で形成した第一のユニット10に、マニホールド8とフィルタ9で形成した第二のユニット11を接合して液室ユニット12を形成している。図10に示すように、積層部品で形成したマニホールド8の使用も可能である。また、フィルタ9を液室ユニット12の底面に接合する以外にも、図11に示すように底面にマニホールド8を接合して、マニホールド8でフィルタ9を挟む構成にすることも可能である。また、上記のマニホールド8とフィルタ9は例えば図12に示すように金属材料のエッチングなどによって一体で形成したプレート13を使用することも考えられる。また、液室ユニットを構成する部品のうち、個別液室を構成する第一のユニット以外の部品は、例えば液室の剛性を補強する部材や配線基盤またはそれを封止する天板など、実施形態のようなマニホールドや内部フィルタ以外の機能を持った部品でも本実施形態を適応できる。   In the embodiment, as shown in FIG. 9, a liquid chamber unit 12 is formed by joining a second unit 11 formed of a manifold 8 and a filter 9 to a first unit 10 formed of parts constituting an individual liquid chamber. Forming. As shown in FIG. 10, it is possible to use a manifold 8 formed of laminated parts. In addition to joining the filter 9 to the bottom surface of the liquid chamber unit 12, a manifold 8 may be joined to the bottom surface and the filter 9 may be sandwiched between the manifolds 8 as shown in FIG. 11. It is also conceivable to use a plate 13 integrally formed by etching of a metal material, for example, as shown in FIG. In addition, among the parts constituting the liquid chamber unit, parts other than the first unit constituting the individual liquid chamber are implemented, for example, a member that reinforces the rigidity of the liquid chamber, a wiring board, or a top plate that seals it. This embodiment can be applied to parts having functions other than the manifold and the internal filter as in the embodiment.

硬化温度がa[℃]以上の熱硬化性接着剤の実施形態として、図13にエポキシ、硬化剤、シランカップリング剤の種類と比率を2種類挙げている。実施形態の熱硬化性接着剤はどちらも、常温で固体のエポキシ樹脂とアミン系の硬化剤を用いた2液性のエポキシ接着剤である。図13の接着剤A、接着剤Bのように常温で固体のエポキシ樹脂を用いた熱硬化性接着剤は、接合面に塗布後、乾燥させることで表面の粘着性を抑えることができるので、接着剤塗布面が他の部品と接触することによる、接合面以外への接着剤の付着や引きずりを防ぐことができる。このため、付着した熱硬化性接着剤による吐出液の充填性低下などが抑えられる。エポキシ樹脂は、実施形態で用いられたjER1010やHP7200HH以外にも、常温で固体の物なら同様に使用可能である。   As an embodiment of the thermosetting adhesive having a curing temperature of a [° C.] or higher, FIG. 13 lists two types and ratios of epoxy, curing agent, and silane coupling agent. Each of the thermosetting adhesives of the embodiment is a two-component epoxy adhesive using an epoxy resin that is solid at room temperature and an amine-based curing agent. Since the thermosetting adhesive using an epoxy resin that is solid at room temperature like the adhesive A and adhesive B in FIG. 13 can be applied to the joint surface and then dried, the adhesiveness of the surface can be suppressed. It is possible to prevent adhesion and dragging of the adhesive to other than the joining surface due to the adhesive application surface coming into contact with other components. For this reason, the fall of the filling property of the discharge liquid by the adhering thermosetting adhesive etc. is suppressed. The epoxy resin can be used in the same manner as long as it is solid at room temperature other than jER1010 and HP7200HH used in the embodiment.

実施形態では硬化剤としてジシアンジアミドを用いている。ジシアンジアミドは160[℃]〜180[℃]でエポキシ樹脂と反応するが、常温ではエポキシ樹脂との反応がほとんど進まないため、エポキシ樹脂中にジシアンジアミドを分散した状態でも、常温で長期間安定して保存ができる。このため、熱硬化性接着剤の保管と管理が容易となる。また、ジシアンジアミドとを、他の硬化剤または硬化促進剤を併用することで硬化温度を下げることも可能である。   In the embodiment, dicyandiamide is used as a curing agent. Dicyandiamide reacts with the epoxy resin at 160 [° C] to 180 [° C], but the reaction with the epoxy resin hardly progresses at room temperature. Therefore, even if dicyandiamide is dispersed in the epoxy resin, it is stable at room temperature for a long time. Can be saved. This facilitates storage and management of the thermosetting adhesive. It is also possible to lower the curing temperature by using dicyandiamide in combination with another curing agent or curing accelerator.

また、特開2006−312312号公報のように、熱硬化性接着剤にシランカップリング剤を導入し、接合力の改善を図ることもできる。シランカップリング剤は反応性が高く、ポットライフが低下するなど作業性の面で問題が起きることが考えられるが、この対処として、例えば熱硬化性接着剤とシランカップリング剤を別々に塗布する。塗布の直前に熱硬化性接着剤にシランカップリング剤を導入するなどの方法で熱硬化性接着剤のポットライフ低下を抑えることが可能である。本実施形態ではシランカップリング剤としてZ-6040を用いているが、Z-6040以外のシランカップリング剤を用いることも可能である。   Further, as disclosed in JP-A-2006-321212, a silane coupling agent can be introduced into the thermosetting adhesive to improve the bonding force. Silane coupling agents are highly reactive and may cause problems in terms of workability, such as reduced pot life. As a countermeasure, for example, a thermosetting adhesive and a silane coupling agent are applied separately. . It is possible to suppress the pot life reduction of the thermosetting adhesive by a method such as introducing a silane coupling agent into the thermosetting adhesive immediately before application. In this embodiment, Z-6040 is used as the silane coupling agent, but a silane coupling agent other than Z-6040 can also be used.

個別液室を形成する第一のユニットと、例えば共通液室を構成する部材との接合面では、熱硬化性接着剤のはみ出し量や引きずりが個々の吐出チャンネル間の吐出性能に差異を及ぼすような影響は、個別液室の接合に比べて小さい。また、図14に示すように、個別液室の隔壁と比較して封止部分の幅が広くできるため、個別液室の接合に比べて強度が低い熱硬化性接着剤でも、封止性を確保することができる。このため、加熱により撥水性が低下する温度a[℃]よりも低く、かつ吐出液によって接液性の良い熱硬化性接着剤であれば使用可能であり、例えば常温で硬化する2液性のエポキシ系接着剤も使用可能である。   At the joint surface between the first unit forming the individual liquid chamber and, for example, a member constituting the common liquid chamber, the amount of protrusion and dragging of the thermosetting adhesive may affect the discharge performance between the individual discharge channels. The effect is small compared to the joining of individual liquid chambers. Further, as shown in FIG. 14, since the width of the sealing portion can be made wider than the partition of the individual liquid chamber, even a thermosetting adhesive having a lower strength than the bonding of the individual liquid chamber has a sealing property. Can be secured. For this reason, any thermosetting adhesive that is lower than the temperature a [° C.] at which water repellency is lowered by heating and has good wettability with the discharge liquid can be used. Epoxy adhesives can also be used.

図15は流路板の厚みバラつきの発生に関する説明図である。プレス等の機械加工によって流路板に液室を形成した場合、バリや変形が形成されてしまう。そのバリや変形が接合時に問題となるので研磨を行い、接合面を平坦にすることが必要となっている。図15の(a)に示すように、流路板1は枠部1−aと格子部1−bに分けられる。図15の(b)に示すA−A’線断面図である図15の(c)に示すように格子部1−bは厚み方向に変形しやすい。研磨時に変形しやすく研磨紙に接触しやすい格子部と変形しにくい枠部とで研磨量に差異が生じ、部品の厚みバラツキとなってしまう。そして、流路板の厚みバラツキに着目して説明を行っているが、ノズル板や振動板の厚みバラツキでも同様な問題が生じてしまう。また、本実施形態では、プレスといった機械加工による厚みバラツキを説明しているが、機械加工以外、例えば電鋳による液室部品を形成する場合にも、レジストパターンが密集領域、密集していないその間の領域で電流密度に差異が生じて、同様な厚みバラツキが生じてしまう。   FIG. 15 is an explanatory diagram relating to the occurrence of variation in the thickness of the flow path plate. When the liquid chamber is formed in the flow path plate by machining such as pressing, burrs and deformations are formed. Since the burr and deformation become a problem at the time of joining, it is necessary to polish and flatten the joining surface. As shown in FIG. 15A, the flow path plate 1 is divided into a frame portion 1-a and a lattice portion 1-b. As shown in FIG. 15C, which is a cross-sectional view taken along line A-A 'shown in FIG. 15B, the lattice portion 1-b is easily deformed in the thickness direction. A difference occurs in the amount of polishing between the lattice portion which is easily deformed during polishing and easily contacts the polishing paper, and the frame portion which is difficult to deform, resulting in variations in the thickness of parts. The description is made with attention paid to the thickness variation of the flow path plate, but the same problem occurs even if the thickness of the nozzle plate or the vibration plate varies. Further, in the present embodiment, the thickness variation due to machining such as pressing is described. However, other than machining, for example, when forming a liquid chamber part by electroforming, the resist pattern is a dense area, while the density is not dense. A difference in the current density occurs in the region, and the same thickness variation occurs.

上記のような部品ごとの変形や厚みばらつきによる接合不良を防ぐため、液室近傍を均一に加圧して接合を行う方法が考えられるが、図16に示すように、撥水層3を有するノズル板2、流路板1及び振動板4を含む第一のユニット10と、マニホールド8及びフィルタ9を含む第二のユニット11を一度に接合しようとした場合、第一のユニット10だけの厚さと、第一のユニット10及び第二のユニット11の厚さとの間に差ができ、第一のユニット10及び第二のユニット11の接合箇所の部材には高い圧力が加わって第一のユニットの全体を均一に加圧することが困難となる。そこで、個別液室の封止性を確保するため、図17の(a)に示すように、個別液室等の液室を形成する部品による第一のユニット10を加熱加圧して形成し、図17の(b)に示すように、第一のユニット10と第二のユニット11とを接合して液室ユニットを形成している。このとき、第一のユニット10を構成するノズル板2に形成された撥水層3は、一定の温度a[℃]以上での加熱で撥水性が損なわれる撥水剤で形成されている。実施形態ではオプツールをノズル板の吐出面に蒸着させて撥水層3を形成しているが、このオプツール蒸着の撥水層は100[℃]以上の加熱では撥水性が損なわれる。一方、実施形態で使用している熱硬化性接着剤は、160[℃]〜180[℃]で加熱硬化が行われる。よって、第一のユニット10の接合では熱硬化性接着剤の硬化温度が撥水層3の熱分解が起きる温度よりも高いため、加熱硬化時に撥水性が低下する。このため、概液室ユニット12の接合を全て概ね第一のユニット10と同じ、硬化温度がa[℃]以上の概接着剤で接合する場合、第一のユニット10の形成とそれ以外のユニットとの接合工程を分けると、撥水層3が繰り返し加熱される。よって、撥水層3の撥水性が損なわれる温度での加熱時間が増加してしまう。   In order to prevent bonding failure due to deformation and thickness variation for each component as described above, a method of bonding by pressurizing the vicinity of the liquid chamber uniformly can be considered. As shown in FIG. 16, a nozzle having a water-repellent layer 3 is used. When the first unit 10 including the plate 2, the flow path plate 1 and the diaphragm 4 and the second unit 11 including the manifold 8 and the filter 9 are to be joined at one time, the thickness of the first unit 10 is , There is a difference between the thickness of the first unit 10 and the second unit 11, and high pressure is applied to the member at the joint portion of the first unit 10 and the second unit 11, and It becomes difficult to pressurize the whole uniformly. Therefore, in order to ensure the sealing property of the individual liquid chamber, as shown in FIG. 17A, the first unit 10 is formed by heating and pressurizing the parts forming the liquid chamber such as the individual liquid chamber, As shown in FIG. 17B, the first unit 10 and the second unit 11 are joined to form a liquid chamber unit. At this time, the water-repellent layer 3 formed on the nozzle plate 2 constituting the first unit 10 is formed of a water-repellent agent whose water repellency is impaired by heating at a certain temperature a [° C.] or higher. In the embodiment, the water repellent layer 3 is formed by vapor-depositing the optool on the discharge surface of the nozzle plate. However, the water repellent layer of this optool vapor-deposited layer loses its water repellency when heated at 100 [° C.] or higher. On the other hand, the thermosetting adhesive used in the embodiment is heat-cured at 160 [° C.] to 180 [° C.]. Therefore, since the curing temperature of the thermosetting adhesive is higher than the temperature at which thermal decomposition of the water repellent layer 3 occurs in the joining of the first unit 10, the water repellency is lowered during heat curing. For this reason, in the case where the bonding of the almost liquid chamber unit 12 is almost the same as that of the first unit 10 and the bonding temperature is equal to or higher than a [° C.], the formation of the first unit 10 and other units are performed. When the joining process is divided, the water repellent layer 3 is repeatedly heated. Therefore, the heating time at a temperature at which the water repellency of the water repellent layer 3 is impaired is increased.

そこで、本実施形態では、図17に示すように、a[℃]以上で硬化する熱硬化性接着剤14で図中の流路板1、ノズル板2、振動板4を接合して概ね第一のユニット10を形成してから、その第一のユニット10と、マ二ホールド8とフィルタ9で形成された第二のユニット11を、a[℃]より低い温度で硬化する熱硬化性接着剤15を用いて接合している。これによって、撥水層3の撥水性が低下する温度での加熱時間は増えず、当該加熱時間の累積時間は撥水性が低下する所定の累積加熱時間を超えない。よって、加熱による撥水層3の撥水性の低下を抑えることができる。   Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 17, the flow path plate 1, the nozzle plate 2, and the vibration plate 4 in the figure are joined by a thermosetting adhesive 14 that cures at a [° C.] or higher. After forming one unit 10, the first unit 10 and the second unit 11 formed by the manifold 8 and the filter 9 are cured at a temperature lower than a [° C.]. Bonding is performed using the agent 15. Accordingly, the heating time at a temperature at which the water repellency of the water repellent layer 3 is lowered does not increase, and the cumulative time of the heating time does not exceed a predetermined cumulative heating time at which the water repellency is lowered. Therefore, it is possible to suppress a decrease in water repellency of the water repellent layer 3 due to heating.

図18はノズル板、流路板及び振動板の位置決めを示す分解斜視図である。同図において、ノズル板2、流路板1、振動板4はそれぞれに形成された基準穴16−1を用いてピンで位置決め接合され、概ね第一のユニット10が形成される。また、マニホールド8とフィルタ9もそれぞれに形成された基準穴16−2を用いて、ピンで位置決め接合して概ね第二のユニット11が形成される。そして、概ね第一のユニット10と概ね第二のユニット11は、図19に示すように、それぞれのユニットの接合で用いた基準穴16−1、16−2を用いてピンで位置決め接合を行い、液室ユニット12を形成している。この方式では基準穴が1組で済むため、各部品の面積を小さくできるので、液滴吐出ヘッドの小型化とコストダウンが可能になる。   FIG. 18 is an exploded perspective view showing the positioning of the nozzle plate, the channel plate, and the diaphragm. In the figure, the nozzle plate 2, the flow path plate 1, and the vibration plate 4 are positioned and joined with pins using reference holes 16-1 formed in each, and the first unit 10 is generally formed. Further, the manifold 8 and the filter 9 are also positioned and joined with pins using the reference holes 16-2 formed in the respective parts, so that the second unit 11 is generally formed. As shown in FIG. 19, the first unit 10 and the second unit 11 are positioned and joined with pins using the reference holes 16-1 and 16-2 used for joining the units. The liquid chamber unit 12 is formed. In this method, since only one set of reference holes is required, the area of each component can be reduced, so that the droplet discharge head can be reduced in size and cost.

以上説明したように、実施形態によれば、図17に示すように、ノズル板のノズル面に塗布された撥水剤の撥水性が損なわれる温度以上で硬化する熱硬化性接着剤14を流路板1、ノズル板2、振動板4の接合に用いる。そして、流路板1、ノズル板2、振動板4を接合して形成した第一のユニット10に、マ二ホールド8とフィルタ9で形成された第二のユニット11を、熱硬化性接着剤14の硬化温度より低い温度で硬化する熱硬化性接着剤15を用いて接合する。このため、熱硬化性接着剤14を用いた接合における加熱時間は増えず、その加熱時間は撥水剤の撥水性が損なわれる所定の累積加算時間までには至らない。よって、撥水層の熱分解を抑え、撥水性の低下を抑制することができる。   As described above, according to the embodiment, as shown in FIG. 17, the thermosetting adhesive 14 that cures at a temperature higher than the temperature at which the water repellency of the water repellent applied to the nozzle surface of the nozzle plate is impaired is flowed. Used to join the road plate 1, nozzle plate 2, and diaphragm 4 Then, the first unit 10 formed by joining the flow path plate 1, the nozzle plate 2, and the vibration plate 4 to the second unit 11 formed of the manifold 8 and the filter 9 is replaced with a thermosetting adhesive. Bonding is performed using a thermosetting adhesive 15 that cures at a temperature lower than the curing temperature of 14. For this reason, the heating time in joining using the thermosetting adhesive 14 does not increase, and the heating time does not reach the predetermined cumulative addition time when the water repellency of the water repellent is impaired. Therefore, thermal decomposition of the water repellent layer can be suppressed, and a decrease in water repellency can be suppressed.

また、実施形態によれば、図18に示すように、基準穴16−1を用いてピンで位置決め接合して概ね第一のユニット10を形成し、マニホールド8とフィルタ9もそれぞれに形成された基準穴16−2を用いて、ピンで位置決め接合して概ね第二のユニット11を形成している。そして、図19に示すように、概ね第一のユニット10と概ね第二のユニット11は、それぞれのユニットの接合で用いた基準穴16−1、16−2を用いてピンで位置決め接合を行い、液室ユニット12を形成している。この方式では基準穴が1組で済むため、各部品の面積を小さくできるので、液滴吐出ヘッドの小型化とコストダウンが可能になる。   Further, according to the embodiment, as shown in FIG. 18, the first unit 10 is generally formed by positioning and joining with a pin using the reference hole 16-1, and the manifold 8 and the filter 9 are also formed respectively. The second unit 11 is generally formed by positioning and joining with a pin using the reference hole 16-2. As shown in FIG. 19, the first unit 10 and the second unit 11 are generally positioned and joined with pins using the reference holes 16-1 and 16-2 used for joining the units. The liquid chamber unit 12 is formed. In this method, since only one set of reference holes is required, the area of each component can be reduced, so that the droplet discharge head can be reduced in size and cost.

1 流路板
1−1 個別液室
1−2 流体抵抗部
1−3 個別液室
2 ノズル板
2−1 ノズル孔
3 撥水層
4 振動板
4−1 液体供給口
4−2 振動板薄肉部
4−3 振動板凸部
4−4 振動板厚肉部
5 積層圧電素子
5−1 圧電素子駆動部
5−2 圧電素子支持部
6 ベース基板
7 フレーム
7−1 液体供給口
7−2 共通液室
8 マニホールド
8−1 共通液室
9 フィルタ
10 第一のユニット
11 第二のユニット
12 液室ユニット
13 フィルタ・マニホールド一体プレート
14 熱硬化性接着剤
15 熱硬化性接着剤
16 基準穴
16−1 第一のユニット位置決め基準穴
16−2 第二のユニット位置決め基準穴
100 インクジェット記録装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flow path plate 1-1 Individual liquid chamber 1-2 Fluid resistance part 1-3 Individual liquid chamber 2 Nozzle plate 2-1 Nozzle hole 3 Water-repellent layer 4 Vibration plate 4-1 Liquid supply port 4-2 Vibration plate thin part 4-3 Diaphragm convex part 4-4 Diaphragm thick part 5 Multilayer piezoelectric element 5-1 Piezoelectric element driving part 5-2 Piezoelectric element support part 6 Base substrate 7 Frame 7-1 Liquid supply port 7-2 Common liquid chamber 8 Manifold 8-1 Common liquid chamber 9 Filter 10 First unit 11 Second unit 12 Liquid chamber unit 13 Filter / manifold integrated plate 14 Thermosetting adhesive 15 Thermosetting adhesive 16 Reference hole 16-1 First Unit positioning reference hole 16-2 Second unit positioning reference hole 100 Inkjet recording apparatus

特開2010−201781号公報JP 2010-201781 A

Claims (5)

液滴を吐出するノズルが設けられ、ノズル面に撥水剤を塗布して撥水層が形成されているノズル板と、前記ノズル面の他方の面に接合されて前記ノズルに対応して設けられ前記ノズルに連通する個別液室及び共通液室を少なくとも構成する流路板と、前記ノズル板と接合する前記流路板における他方の面に接合されて前記個別液室の一部を構成する振動板とを、前記撥水層を形成する撥水剤の撥水性が損なわれる温度以上の硬化温度の熱硬化性接着剤で接合して形成される液滴吐出部材に、該液滴吐出部材と別体の接合部材を接合して構成する液滴吐出ヘッドにおいて、
所定の時間加熱して前記撥水層を形成する撥水剤の撥水性が損なわれる温度より低い硬化温度の熱硬化性接着剤を用いて、前記接合部材を前記液滴吐出部材に接合することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
Nozzle for discharging droplets is provided, a nozzle plate on which a water repellent agent is applied to the nozzle surface to form a water repellent layer, and a nozzle plate bonded to the other surface of the nozzle surface and provided corresponding to the nozzle And a flow path plate constituting at least an individual liquid chamber and a common liquid chamber communicating with the nozzle, and a part of the individual liquid chamber being joined to the other surface of the flow path plate joined to the nozzle plate. A droplet discharge member formed by joining a diaphragm with a thermosetting adhesive having a curing temperature equal to or higher than a temperature at which water repellency of the water repellent agent forming the water repellent layer is impaired. In a droplet discharge head configured by joining a separate joining member with
Joining the joining member to the droplet discharge member using a thermosetting adhesive having a curing temperature lower than the temperature at which the water repellency of the water repellent that forms the water repellent layer by heating for a predetermined time is impaired. A droplet discharge head characterized by the above.
請求項1記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記接合部材は、前記ノズル面に対して直交する方向で前記液滴吐出部材に接合される部材であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
The droplet discharge head according to claim 1,
The droplet discharge head, wherein the bonding member is a member bonded to the droplet discharge member in a direction orthogonal to the nozzle surface.
請求項1又は2に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記接合部材は、前記液滴吐出部材の共通液室に連通する液体流路を形成する液体供給路部材であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
The droplet discharge head according to claim 1 or 2,
The liquid droplet ejection head, wherein the joining member is a liquid supply path member that forms a liquid flow path communicating with a common liquid chamber of the liquid droplet ejection member.
請求項1〜3のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
基準穴を設けた少なくとも2個以上の部材を、前記基準穴を合わせてピンで位置決めして接合し前記個別液室及び前記共通液室を形成する第一のユニットと、前記基準穴を設けた少なくとも2個以上の部材を、前記基準穴を合わせてピンで位置決めして接合し上記第一のユニット以外の少なくとも1つ以上の第二のユニット、または少なくとも1個以上の部材を、各ユニットの接合で用いた前記第一のユニットの前記基準穴と、前記第一のユニット以外の少なくとも1つ以上のユニットの前記基準穴、または少なくとも1つ以上の個別部品の前記基準穴を用いてピン位置決めして接合することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
The droplet discharge head according to any one of claims 1 to 3,
At least two or more members provided with a reference hole are aligned with the reference hole, positioned with a pin, joined to form the individual liquid chamber and the common liquid chamber, and the reference hole is provided. At least two or more members are joined by positioning with a pin with the reference holes aligned, and at least one second unit other than the first unit, or at least one member is attached to each unit. Pin positioning using the reference hole of the first unit used for joining, the reference hole of at least one unit other than the first unit, or the reference hole of at least one individual part And a droplet discharge head characterized by being bonded together.
請求項1〜4のいずれか1項に記載の液滴吐出ヘッドから液体を媒体に吐出して画像形成を行うことを特徴とする画像形成装置。   An image forming apparatus, wherein a liquid is ejected from a droplet ejection head according to any one of claims 1 to 4 onto a medium to form an image.
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