JP2012211837A - Sample analyzer and sample analysis method - Google Patents
Sample analyzer and sample analysis method Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012211837A JP2012211837A JP2011077820A JP2011077820A JP2012211837A JP 2012211837 A JP2012211837 A JP 2012211837A JP 2011077820 A JP2011077820 A JP 2011077820A JP 2011077820 A JP2011077820 A JP 2011077820A JP 2012211837 A JP2012211837 A JP 2012211837A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- holder
- unit
- laser
- analysis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
Description
本発明は試料の元素分析等に用いられる試料分析装置及び試料分析方法、より具体的にはレーザーアブレーションを用いた試料分析装置及び試料分析方法に関する。 The present invention relates to a sample analysis device and a sample analysis method used for elemental analysis of a sample, and more specifically to a sample analysis device and a sample analysis method using laser ablation.
一般に、試料の元素分析等に用いられる試料分析装置は、レーザー光の照射により試料を気化又は霧化させるレーザーアブレーション部と、レーザーアブレーション部で気化又は霧化させた試料に含まれる構成元素を検出する元素検出部とを備えている。また、レーザーアブレーション部のレーザー発振源としては、例えば理化学用（最大４０ｍＪ出力で発振できるＱスイッチ周波数１〜３０Ｈｚ）のＮｄ：ＹＡＧレーザーを用いている（例えば、非特許文献１）。 In general, a sample analyzer used for elemental analysis of a sample detects a constituent element contained in a laser ablation unit that vaporizes or atomizes the sample by laser light irradiation and a sample vaporized or atomized by the laser ablation unit And an element detecting unit. As a laser oscillation source of the laser ablation unit, for example, an Nd: YAG laser for physics and chemistry (Q switch frequency 1 to 30 Hz capable of oscillation at a maximum of 40 mJ output) is used (for example, Non-Patent Document 1).
しかしながら、従来のようにレーザー発振源として理化学用（最大４０ｍＪ出力で発振できるＱスイッチ周波数１〜３０Ｈｚ）のＮｄ：ＹＡＧレーザーのような低出力のレーザー発振源を用いて試料分析装置を構築すると、長時間の連続分析に対してレーザー出力が安定せず、耐久性が劣り、安定した分析結果を得るのが困難となる。また、このような試料分析装置は、効率的に試料を分析する連続分析に用いることも困難である。そこで、本発明はレーザー出力が安定で、且つ、試料の連続分析を良好に行うことが可能な試料分析装置及び試料分析方法を提供することを課題とする。 However, when a sample analyzer is constructed using a low-power laser oscillation source such as a conventional Nd: YAG laser for physics and chemistry (Q switch frequency 1 to 30 Hz capable of oscillation at a maximum of 40 mJ output) as a conventional laser oscillation source, The laser output is not stable for long-term continuous analysis, the durability is inferior, and it is difficult to obtain a stable analysis result. In addition, such a sample analyzer is difficult to use for continuous analysis for efficiently analyzing a sample. Therefore, an object of the present invention is to provide a sample analysis apparatus and a sample analysis method that can stably perform a continuous analysis of a sample with stable laser output.
本発明者は上記課題を解決するために研究を重ねたところ、発振出力５Ｗ以上の高出力のレーザー発振源を有するレーザーアブレーション部を用いることで、レーザー出力が安定となり、試料の連続分析を良好に行うことが可能となることを見出した。 The present inventor has conducted research to solve the above problems, and by using a laser ablation unit having a high-power laser oscillation source with an oscillation output of 5 W or more, the laser output becomes stable, and continuous analysis of samples is excellent. I found out that it was possible to do.
以上の知見を基礎として完成した本発明は一側面において、試料の表面にレーザー光を照射して試料の一部を微粒子化させる、発振出力５Ｗ以上のレーザー発振源を有するレーザーアブレーション部と、微粒子化された試料を導入し、試料に含まれる構成元素を検出する元素検出部とを備えた試料分析装置である。 The present invention completed on the basis of the above knowledge, in one aspect, a laser ablation part having a laser oscillation source with an oscillation output of 5 W or more, which irradiates a part of the sample with laser light on the surface of the sample, and fine particles It is a sample analysis device provided with an element detection unit that introduces a converted sample and detects a constituent element contained in the sample.
本発明に係る試料分析装置は一実施形態において、試料の測定を２〜５分／回で行うことができる。 In one embodiment, the sample analyzer according to the present invention can measure a sample at 2 to 5 minutes / time.
本発明に係る試料分析装置は別の一実施形態において、レーザーアブレーション部のレーザー発振源がＹＶＯ4レーザーである。 In another embodiment of the sample analyzer according to the present invention, the laser oscillation source of the laser ablation unit is a YVO 4 laser.
本発明に係る試料分析装置は更に別の一実施形態において、元素検出部における元素分析がＩＣＰ質量分析又はＩＣＰ発光分析である。 In still another embodiment of the sample analyzer according to the present invention, the elemental analysis in the element detection unit is ICP mass spectrometry or ICP emission analysis.
本発明に係る試料分析装置は更に別の一実施形態において、試料を自動で搬入して分析し、搬出する構成を備える。 In yet another embodiment, the sample analyzer according to the present invention comprises a configuration for automatically loading, analyzing, and unloading a sample.
本発明に係る試料分析装置は更に別の一実施形態において、試料を設けたホルダーを複数個配置する試料配置部と、
前記試料配置部からホルダーを順に取り出すホルダー取り出し部と、前記ホルダー取り出し部で取り出したホルダーを載せて、前記レーザーアブレーション部へホルダーを連続して搬送するホルダー搬送部と、前記レーザーアブレーション部で試料にレーザー光を照射して分析を終えた後のホルダーを前記ホルダー搬送部から試料配置部へ戻すホルダー移動部とを更に備える。
In yet another embodiment of the sample analyzer according to the present invention, a sample placement unit for placing a plurality of holders provided with samples,
A holder take-out part for taking out the holder from the sample placement part in order, a holder carrying part for continuously carrying the holder to the laser ablation part by placing the holder taken out by the holder take-out part, and a sample by the laser ablation part And a holder moving unit for returning the holder after the analysis by irradiating the laser beam to the sample placement unit from the holder transport unit.
本発明に係る試料分析装置は更に別の一実施形態において、前記ホルダー移動部が、前記ホルダー取り出し部を兼ねている。 In yet another embodiment of the sample analyzer according to the present invention, the holder moving unit also serves as the holder take-out unit.
本発明に係る試料分析装置は更に別の一実施形態において、試料配置部が試料を設けたホルダーが複数個配置されるトレーを多段で備えている。 In still another embodiment, the sample analyzer according to the present invention includes a plurality of trays in which a plurality of holders each provided with a sample are arranged in a sample arrangement unit.
本発明に係る試料分析装置は更に別の一実施形態において、前記ホルダー搬送部には前記ホルダー取り出し部によって取り出されたホルダーを載せて搬送するチャンバー下部が設けられており、前記レーザーアブレーション部には、前記チャンバー下部と組み合わせて試料を覆うチャンバーを構成するチャンバー上部が設けられている。 In still another embodiment of the sample analyzer according to the present invention, the holder transport unit is provided with a lower chamber portion for transporting the holder taken out by the holder take-out unit, and the laser ablation unit has The upper part of the chamber constituting the chamber covering the sample in combination with the lower part of the chamber is provided.
本発明に係る試料分析装置は更に別の一実施形態において、レーザーアブレーション部へ搬送する前のホルダー搬送部上のホルダーに設けられた試料にレーザー光を照射することで試料の位置測定を行う位置測定部を更に備えている。 In yet another embodiment, the sample analyzer according to the present invention is a position for measuring the position of the sample by irradiating the sample provided on the holder on the holder transport unit before transporting to the laser ablation unit with laser light. A measuring unit is further provided.
本発明は別の一側面において、本発明の試料分析装置を用いた試料分析方法である。 In another aspect, the present invention is a sample analysis method using the sample analyzer of the present invention.
本発明に係る試料分析方法は一実施形態において、試料の測定を２〜５分／回で行う。 In one embodiment, the sample analysis method according to the present invention measures a sample at 2 to 5 minutes / times.
本発明に係る試料分析装置及び試料分析方法によれば、試料の連続分析を良好に行うことが可能な試料分析装置及び試料分析方法を提供することができる。 According to the sample analysis apparatus and the sample analysis method according to the present invention, it is possible to provide a sample analysis apparatus and a sample analysis method that can perform a continuous analysis of a sample satisfactorily.
（試料分析装置の構成）
図１に、本発明の実施形態に係る試料分析装置の模式図を示す。試料分析装置は、試料配置部、ホルダー搬送部、位置測定部、レーザーアブレーション部、元素検出部及びホルダー移動部を備えている。
(Configuration of sample analyzer)
FIG. 1 shows a schematic diagram of a sample analyzer according to an embodiment of the present invention. The sample analyzer includes a sample placement unit, a holder transport unit, a position measurement unit, a laser ablation unit, an element detection unit, and a holder moving unit.
本実施形態において、試料の種類に限定されるものではないが、例えば、金属中に微量に含まれる貴金属の定量分析において、分析対象となるサンプル物質と酸化鉛をアルカリ系の融解剤と混合したものと共にルツボ等で融解させて生ずる鉛ボタンに成形された試料が用いる。また、試料分析装置内において、試料はアルミニウム製等のホルダー内に設けられており、当該ホルダー単位で装置内を搬送され、また、分析される。 In the present embodiment, the type of the sample is not limited. For example, in the quantitative analysis of the noble metal contained in a trace amount in the metal, the sample material to be analyzed and lead oxide are mixed with an alkaline melting agent. A sample molded into a lead button that is produced by melting with a crucible or the like is used. Further, in the sample analyzer, the sample is provided in a holder made of aluminum or the like, and is transported through the apparatus and analyzed in units of the holder.
図２に、本発明の実施形態に係る搬送部及び試料配置部の模式図を示す。試料配置部は、試料を設けたホルダーが複数個配置されるトレーを多段で備えている。本実施形態では、図２に示すように、１つのトレーに試料を設けたホルダーが縦４個×横５個で合計２０個配置され、さらにこのトレーが５段構成となっているため、２０個×５段で合計１００個設けられている。このような構成により、多数の試料を設けたホルダーを小さなスペースで配置することができる。 In FIG. 2, the schematic diagram of the conveyance part and sample arrangement | positioning part which concern on embodiment of this invention is shown. The sample placement unit includes a plurality of trays on which a plurality of holders provided with samples are placed. In this embodiment, as shown in FIG. 2, a total of 20 holders each provided with a sample on one tray are arranged in 4 × 5 in total, and this tray has a 5-stage configuration. A total of 100 pieces are provided in 5 pieces per piece. With such a configuration, a holder provided with a large number of samples can be arranged in a small space.
ホルダー搬送部には、ホルダー取り出し部（本実施形態では後述のようにホルダー移動部が兼ねている）によって試料配置部から順に取り出されたホルダーが載せられる。本実施形態では、ホルダー搬送部は回転テーブルを構成しており、回転することによって順に載せられた分析前の試料が設けられたホルダーを後述の位置測定部、レーザーアブレーション部へと搬送し、さらに分析後の試料が設けられたホルダーを元の位置（ホルダー取り出し部によって取り出されたホルダーを初めに載せる位置）へ戻すことができる。このような構成により、搬送経路を短くすることができ、スペースを効率的に使用することができる。ホルダー搬送部の構成は特に限定されず、ホルダーの搬送経路が直線上に伸びるようにライン状に形成されていてもよい。 A holder taken out in order from the sample placement portion by a holder take-out portion (also serving as a holder moving portion as will be described later in this embodiment) is placed on the holder transport portion. In this embodiment, the holder transport unit constitutes a rotary table, and transports a holder provided with a sample before analysis placed in order by rotating to a position measurement unit and a laser ablation unit described below, and The holder provided with the sample after the analysis can be returned to the original position (position where the holder taken out by the holder taking-out portion is first placed). With such a configuration, the conveyance path can be shortened and the space can be used efficiently. The configuration of the holder transport unit is not particularly limited, and the holder transport unit may be formed in a line shape so that the transport path of the holder extends linearly.
ホルダー搬送部は、ホルダー取り出し部によって試料配置部から順に取り出されたホルダーが直接載せられてもよいが、本実施形態では、チャンバー下部を複数設けて、チャンバー下部に各ホルダーを載せており、ホルダー搬送部が回転することで、チャンバー下部ごとホルダーが搬送される構成となっている。 The holder transport unit may be directly placed with the holders taken out from the sample placement unit in order by the holder take-out unit. However, in this embodiment, a plurality of lower chambers are provided, and each holder is placed under the chamber. The holder is transported together with the lower part of the chamber by rotating the transport unit.
位置測定部は、ホルダー搬送部で搬送されたホルダーに設けられた試料にレーザー光を照射して、試料の高さを測定する。このように、位置測定部であらかじめ試料の高さを測定して当該測定結果を利用することで、後段のレーザーアブレーション部によるレーザー光の照射の精度が良好となる。 The position measurement unit irradiates the sample provided on the holder conveyed by the holder conveyance unit with laser light to measure the height of the sample. In this way, by measuring the height of the sample in advance using the position measurement unit and using the measurement result, the accuracy of laser light irradiation by the laser ablation unit at the subsequent stage becomes good.
レーザーアブレーション部は、レーザー光を照射する発振出力５Ｗ以上のレーザー発振源を有する。レーザーアブレーション部は、位置測定部で高さが測定された試料の表面に、当該測定結果を利用してレーザー発振源から精度良くレーザー光照射を行い、試料の一部を微粒子化させる。レーザーアブレーション部は、このように発振出力５Ｗ以上の高出力のレーザー発振源を用いるため、レーザー出力が安定となり、試料の連続分析を良好に行うことが可能となる。レーザー発振源としては、例えば、５〜１３Ｗの出力で発振できるＱスイッチ周波数１〜４００ｋＨｚのＮｄ：ＹＶＯ4レーザー等のＹＶＯ4レーザーを用いることができる。 The laser ablation unit has a laser oscillation source that emits laser light and has an oscillation output of 5 W or more. The laser ablation unit irradiates the surface of the sample whose height has been measured by the position measurement unit with high accuracy from the laser oscillation source using the measurement result, and makes a part of the sample fine particles. Since the laser ablation unit uses a high-power laser oscillation source having an oscillation output of 5 W or more in this way, the laser output becomes stable and continuous analysis of the sample can be performed satisfactorily. As the laser oscillating source, for example, Nd Q-switch frequency 1~400kHz which can oscillate at the output of 5～13W: can be used YVO 4 YVO 4 laser such as a laser.
レーザーアブレーション部には、チャンバー上部が設けられている。チャンバー上部は、ホルダー搬送部で搬送されたホルダーを載せたチャンバー下部と組み合わせて試料を覆うチャンバーを構成する。図３に、試料を設けたチャンバー（チャンバー上部及びチャンバー下部）の模式図を示す。図３に示すように、チャンバー下部はホルダー搬送部にチャンバー下部固定具で固定されている。また、レーザーアブレーション部から下降するチャンバー上部と組み合わされて密閉空間を作り、これによって試料を設けたホルダーを覆うチャンバーを構成している。レーザーアブレーション部では、このようにチャンバーで試料を設けたホルダーを覆った状態でレーザー光の照射を行っている。 The upper part of the chamber is provided in the laser ablation part. The upper part of the chamber constitutes a chamber that covers the sample in combination with the lower part of the chamber on which the holder transported by the holder transport unit is placed. FIG. 3 shows a schematic diagram of a chamber (chamber upper portion and chamber lower portion) provided with a sample. As shown in FIG. 3, the lower part of the chamber is fixed to the holder transport unit with a lower chamber fixture. Moreover, it forms a sealed space in combination with the upper part of the chamber descending from the laser ablation part, thereby constituting a chamber covering the holder on which the sample is provided. In the laser ablation part, the laser beam is irradiated in such a state that the holder provided with the sample is covered in the chamber.
元素検出部は、レーザーアブレーション部のレーザー光照射によって微粒子化された試料を導入し、試料に含まれる構成元素を検出する。元素検出部における元素分析は、例えば、ＩＣＰ質量分析又はＩＣＰ発光分析とすることができる。 The element detection unit introduces a sample that has been microparticulated by laser light irradiation of the laser ablation unit, and detects constituent elements contained in the sample. Elemental analysis in the element detection unit can be, for example, ICP mass spectrometry or ICP emission analysis.
ホルダー移動部は、レーザーアブレーション部で試料にレーザー光を照射して分析を終えた後のホルダーをホルダー搬送部から試料配置部へ戻す。ホルダー移動部の形態は特に限定されず、例えばアーム状に形成されていてもよい。また、本実施形態では、ホルダー移動部は、試料配置部から順にホルダーを取り出してホルダー搬送部へ載せるホルダー取り出し部を兼ねている。このような構成により、搬送効率が良好となる。 The holder moving unit returns the holder after the analysis by irradiating the sample with the laser beam in the laser ablation unit from the holder transport unit to the sample placement unit. The form of the holder moving part is not particularly limited, and may be formed in an arm shape, for example. In the present embodiment, the holder moving unit also serves as a holder taking-out unit for taking out the holder in order from the sample placement unit and placing it on the holder transporting unit. With such a configuration, the conveyance efficiency is improved.
（試料分析方法）
次に、本発明に係る試料分析装置を用いた試料分析方法について説明する。
まず、分析対象となるサンプル物質と酸化鉛をアルカリ系の融解剤と混合したものと共にルツボ等で融解させて生ずる鉛ボタンを成形して試料を作製する。
次に、試料をホルダー内へ設け、このホルダーを試料配置部の多段に設けられたトレー上に配置する。
次に、ホルダー取り出し部（本実施形態ではホルダー移動部が兼ねている）によって１つずつ順に試料配置部のホルダーをホルダー搬送部上に取り出していく。取り出されたホルダーは、図１及び２に便宜的に記したポジション（ｐｏｓ．１〜４）におけるｐｏｓ．１に設けられたチャンバー下部上に載置する。なお、このポジションの数は特に限定されない。
次に、ホルダー搬送部が回転することにより、ｐｏｓ．１のチャンバー下部上に載置されたホルダーがｐｏｓ．２へ搬送される。ｐｏｓ．２では、位置測定部のレーザー照射による試料高さの測定が行われる。また、このとき、ｐｏｓ．１では、試料配置部から新たなホルダーが取り出されて載置される。
次に、ホルダー搬送部が回転することにより、ｐｏｓ．２のチャンバー下部上に載置されたホルダーがｐｏｓ．３へ搬送される。ｐｏｓ．３では、レーザーアブレーション部のレーザー照射が行われる。このとき、まずｐｏｓ．３のチャンバー下部が不図示の上昇手段によって上昇し、レーザーアブレーション部に設けられたチャンバー上部と組み合わせられてチャンバーとされ、ホルダーを覆う密閉空間を構成する。続いて、このチャンバー内を例えばヘリウムガス等でパージした後、発振出力５Ｗ以上のレーザー発振源によるレーザー光照射を行い、試料の一部を微粒子化させる。このとき、前段で位置測定部により測定されて得られた結果がレーザーアブレーション部の精度の良いレーザー光照射に利用される。
次に、レーザーアブレーション部のレーザー光照射によって微粒子化された試料が元素検出部へ導入され、試料に含まれる構成元素が検出される。
レーザー光照射が完了したら、ホルダーを載置したチャンバー下部を不図示の下降手段により下降させて、ホルダー搬送部のｐｏｓ．３へ戻す。また、この間に、ｐｏｓ．１のチャンバー下部上に載置されたホルダーがｐｏｓ．２へ搬送されて位置測定部のレーザー照射による試料高さの測定が行われ、さらにｐｏｓ．１では、試料配置部から新たなホルダーが取り出されて載置される。
次に、ホルダー搬送部が回転することにより、ｐｏｓ．３のチャンバー下部上に載置されたホルダーがｐｏｓ．４へ搬送される。ｐｏｓ．４では、特に操作は行わず、ただホルダーを待機させている。この間、ｐｏｓ．３ではホルダー上の試料がレーザーアブレーション部でレーザー光照射され、ｐｏｓ．２では位置測定部のレーザー照射による試料高さの測定が行われ、ｐｏｓ．１では新たなホルダーが試料配置部から取り出されている。
次に、ホルダー搬送部が回転することにより、ｐｏｓ．４のチャンバー下部上に載置されたホルダーがｐｏｓ．１へ搬送される。ｐｏｓ．１へ搬送されたホルダーは、ホルダー移動部によって試料配置部へ戻され、続いて新たなホルダーが試料配置部からｐｏｓ．１へ取り出される。この間、上記と同様に、ｐｏｓ．４ではホルダーが待機しており、ｐｏｓ．３ではホルダー上の試料がレーザーアブレーション部でレーザー光照射され、ｐｏｓ．２では位置測定部のレーザー照射による試料高さの測定が行われている。
このようにして、安定したレーザー出力による試料の分析を行うことができ、さらに試料を設けた多数のホルダーを自動で次々に効率よく分析することができる。このような構成により、本発明に係る試料分析装置を用いた試料分析方法では、試料の測定を２〜５分／回という短時間で行うことができる。
(Sample analysis method)
Next, a sample analysis method using the sample analyzer according to the present invention will be described.
First, a lead button formed by melting a sample substance to be analyzed and lead oxide mixed with an alkaline melting agent together with a crucible or the like is formed to prepare a sample.
Next, a sample is provided in a holder, and this holder is placed on a tray provided in multiple stages of the sample placement portion.
Next, the holders of the sample placement unit are sequentially taken out onto the holder transport unit one by one by a holder taking-out unit (also serving as a holder moving unit in this embodiment). The removed holder is pos.1 at the positions (pos.1 to 4) indicated for convenience in FIGS. 1 is placed on the lower part of the chamber provided in 1. The number of positions is not particularly limited.
Next, when the holder transport section is rotated, pos. 1 is a pos. 1 holder mounted on the lower part of the chamber. 2 is conveyed. pos. In 2, the sample height is measured by laser irradiation of the position measurement unit. At this time, pos. In 1, a new holder is taken out from the sample placement section and placed.
Next, when the holder transport section is rotated, pos. 2 is a pos. 3 is conveyed. pos. In 3, the laser irradiation of the laser ablation part is performed. At this time, first, pos. The lower portion of the chamber 3 is raised by a raising means (not shown) and combined with the upper portion of the chamber provided in the laser ablation portion to form a chamber, which constitutes a sealed space that covers the holder. Subsequently, after purging the inside of the chamber with, for example, helium gas, laser light irradiation is performed by a laser oscillation source having an oscillation output of 5 W or more, and a part of the sample is atomized. At this time, the result obtained by the measurement by the position measurement unit in the previous stage is used for laser beam irradiation with high accuracy of the laser ablation unit.
Next, the sample that has been atomized by laser light irradiation in the laser ablation unit is introduced into the element detection unit, and constituent elements contained in the sample are detected.
When the laser beam irradiation is completed, the lower part of the chamber on which the holder is placed is lowered by a lowering means (not shown), and the pos. Return to 3. During this time, pos. 1 is a pos. 1 holder mounted on the lower part of the chamber. 2 and the sample height is measured by laser irradiation of the position measuring unit. In 1, a new holder is taken out from the sample placement section and placed.
Next, when the holder transport section is rotated, pos. 3 is a pos. 3 holder mounted on the lower part of the chamber. 4 is conveyed. pos. In No. 4, no particular operation is performed, and the holder is simply kept waiting. During this time, pos. 3, the sample on the holder was irradiated with laser light at the laser ablation part. 2, the sample height is measured by laser irradiation of the position measurement unit. In 1, a new holder is taken out from the sample placement section.
Next, when the holder transport section is rotated, pos. 4 is a pos. 1 is conveyed. pos. 1 is returned to the sample placement unit by the holder moving unit, and then a new holder is moved from the sample placement unit to pos. 1 is taken out. During this time, pos. 4, the holder is waiting, and pos. 3, the sample on the holder was irradiated with laser light at the laser ablation part. In 2, the sample height is measured by laser irradiation of the position measurement unit.
In this way, the sample can be analyzed with a stable laser output, and a number of holders provided with the sample can be automatically and efficiently analyzed one after another. With such a configuration, in the sample analysis method using the sample analyzer according to the present invention, the sample can be measured in a short time of 2 to 5 minutes / times.
以下に本発明を実施例でさらに詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 The present invention will be described in more detail with reference to the following examples. However, the present invention is not limited to these examples.
（実施例）
上述の図１〜３に記載した本発明に係る試料分析装置及び分析方法を用いて、合計１００個の試料（鉛ボタン）を分析した。レーザーアブレーション部のレーザー発振源としては、５〜１３Ｗの出力で発振できるＱスイッチ周波数１〜４００ｋＨｚのＮｄ：ＹＶＯ4レーザーを用いた。
実施例では、１００個の試料を分析している間のレーザー出力は安定しており、安定した分析結果を得ることができた。また、試料の搬入、分析及び搬出までが自動化されているため、従来の装置及び方法では３〜４日程度要していた分析を１日で行うことができた。
(Example)
A total of 100 samples (lead buttons) were analyzed using the sample analyzer and analysis method according to the present invention described in FIGS. As a laser oscillation source of the laser ablation unit, an Nd: YVO 4 laser having a Q switch frequency of 1 to 400 kHz that can oscillate at an output of 5 to 13 W was used.
In the example, the laser output was stable while 100 samples were analyzed, and a stable analysis result could be obtained. In addition, since the sample loading, analysis, and unloading are automated, it was possible to perform the analysis in about one day, which required about 3 to 4 days with the conventional apparatus and method.
（比較例）
従来の一般的な試料分析装置として、理化学用（最大４０ｍＪ出力で発振できるＱスイッチ周波数１〜３０Ｈｚ）のＮｄ：ＹＡＧレーザーをレーザーアブレーション部のレーザー発振源に用いた試料分析装置を準備した。続いて、実施例と同様な試料（鉛ボタン）を１００個作製し、分析を行った。
比較例では、レーザー出力が安定せず、安定した分析結果が得られなかった。
(Comparative example)
As a conventional general sample analyzer, a sample analyzer using an Nd: YAG laser for physics and chemistry (Q switch frequency of 1 to 30 Hz capable of oscillation at a maximum of 40 mJ output) as a laser oscillation source of a laser ablation unit was prepared. Subsequently, 100 samples (lead buttons) similar to those in the example were produced and analyzed.
In the comparative example, the laser output was not stable, and a stable analysis result could not be obtained.
また、図４に、実施例と比較例との回帰分析結果のグラフを示す。縦軸の「イオン強度比」は金と内標準元素として用いる鉛とのイオン強度比である。図４によれば、実施例（本発明に係る分析装置・方法）と比較例（従来の分析装置・方法）との分析の相関性が十分あることを示している（Ｒ2＝０．９８６１）。すなわち、本発明に係る分析装置・方法によれば、従来と同様な分析結果を、安定的に且つ自動的に行うことができることが確認された。 Moreover, the graph of the regression analysis result of an Example and a comparative example is shown in FIG. The “ionic strength ratio” on the vertical axis is the ionic strength ratio between gold and lead used as an internal standard element. FIG. 4 shows that there is a sufficient correlation in analysis between the example (analyzer and method according to the present invention) and the comparative example (conventional analyzer and method) (R 2 = 0.9861). ). That is, according to the analysis apparatus / method according to the present invention, it was confirmed that the same analysis result as before can be stably and automatically performed.
Claims (12)
微粒子化された試料を導入し、試料に含まれる構成元素を検出する元素検出部と、
を備えた試料分析装置。 A laser ablation unit having a laser oscillation source having an oscillation output of 5 W or more, which irradiates the surface of the sample with laser light to make a part of the sample fine particles;
An element detection unit for introducing a micronized sample and detecting a constituent element contained in the sample;
Sample analyzer equipped with.
前記試料配置部からホルダーを順に取り出すホルダー取り出し部と、
前記ホルダー取り出し部で取り出したホルダーを載せて、前記レーザーアブレーション部へホルダーを連続して搬送するホルダー搬送部と、
前記レーザーアブレーション部で試料にレーザー光を照射して分析を終えた後のホルダーを前記ホルダー搬送部から前記試料配置部へ戻すホルダー移動部と、
を更に備えた請求項５に記載の試料分析装置。 A sample placement section for placing a plurality of holders provided with samples;
A holder take-out portion for taking out the holder in order from the sample placement portion;
A holder transport unit for placing the holder taken out by the holder take-out unit and continuously transporting the holder to the laser ablation unit;
A holder moving unit that returns the holder from the holder transport unit to the sample placement unit after the analysis by irradiating the sample with laser light in the laser ablation unit;
The sample analyzer according to claim 5, further comprising:
前記レーザーアブレーション部には、前記チャンバー下部と組み合わせて試料を覆うチャンバーを構成するチャンバー上部が設けられている請求項６〜８のいずれかに記載の試料分析装置。 The holder transport unit is provided with a lower chamber for transporting the holder taken out by the holder take-out unit,
The sample analyzer according to any one of claims 6 to 8, wherein the laser ablation unit is provided with a chamber upper part that constitutes a chamber that covers the sample in combination with the lower part of the chamber.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011077820A JP2012211837A (en) | 2011-03-31 | 2011-03-31 | Sample analyzer and sample analysis method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011077820A JP2012211837A (en) | 2011-03-31 | 2011-03-31 | Sample analyzer and sample analysis method |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2014023656A Division JP5944936B2 (en) | 2014-02-10 | 2014-02-10 | Continuous sample analyzer and continuous sample analysis method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012211837A true JP2012211837A (en) | 2012-11-01 |
Family
ID=47265915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2011077820A Pending JP2012211837A (en) | 2011-03-31 | 2011-03-31 | Sample analyzer and sample analysis method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2012211837A (en) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02227652A (en) * | 1989-02-28 | 1990-09-10 | Yokogawa Electric Corp | Sample feeding device |
| JPH04164257A (en) * | 1990-10-29 | 1992-06-09 | Ajinomoto Co Inc | Automatic pretreatment device |
| JPH0949799A (en) * | 1995-08-07 | 1997-02-18 | Nkk Corp | Laser vaporization analyzer |
| JPH10288572A (en) * | 1997-04-15 | 1998-10-27 | Nkk Corp | Fine particle collecting cell for laser evaporation analysis |
| JP2001174370A (en) * | 1999-12-15 | 2001-06-29 | Yokogawa Electric Corp | Sample supplying device |
| JP2006153660A (en) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Tdk Corp | Laser ablation apparatus, laser ablation method, sample analyzer and sample analyzing method |
| US20090073586A1 (en) * | 2007-09-14 | 2009-03-19 | Fry Robert C | Analytical laser ablation of solid samples for ICP, ICP-MS, and FAG-MS analysis |
-
2011
- 2011-03-31 JP JP2011077820A patent/JP2012211837A/en active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02227652A (en) * | 1989-02-28 | 1990-09-10 | Yokogawa Electric Corp | Sample feeding device |
| JPH04164257A (en) * | 1990-10-29 | 1992-06-09 | Ajinomoto Co Inc | Automatic pretreatment device |
| JPH0949799A (en) * | 1995-08-07 | 1997-02-18 | Nkk Corp | Laser vaporization analyzer |
| JPH10288572A (en) * | 1997-04-15 | 1998-10-27 | Nkk Corp | Fine particle collecting cell for laser evaporation analysis |
| JP2001174370A (en) * | 1999-12-15 | 2001-06-29 | Yokogawa Electric Corp | Sample supplying device |
| JP2006153660A (en) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Tdk Corp | Laser ablation apparatus, laser ablation method, sample analyzer and sample analyzing method |
| US20090073586A1 (en) * | 2007-09-14 | 2009-03-19 | Fry Robert C | Analytical laser ablation of solid samples for ICP, ICP-MS, and FAG-MS analysis |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| JPN6013020550; 石田 智治 他: '"誘導結合プラズマ質量分析法による固体試料直接定量分析のための新しいレーザーアブレーションシステムの' 分析化学 Ｖｏｌｕｍｅ ５５， Ｎｕｍｂｅｒ ４, 20060526, Ｐａｇｅｓ ２２９-２３６ * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6009303B2 (en) | Sample analysis method using laser ablation ICP analysis method | |
| EP2118643B1 (en) | Instrument having x-ray fluorescence and spark emission spectroscopy analysis capabilities | |
| JP6946153B2 (en) | Wafer generation method and wafer generator | |
| JP2003075374A (en) | Fluorescent x-ray analysis system, and program used therefor | |
| US20040104643A1 (en) | Piezoelectric device and cover sealing method and apparatus therefor, cellular phone apparatus using piezoelectric device and electronic apparatus using piezoelectric device | |
| US20140070085A1 (en) | Spinning Cell Device for Fast Standardization in Laser Ablation Inductively Coupled Plasma Spectrometry | |
| KR20200121727A (en) | Inspection apparatus, and machining apparatus | |
| JP5944936B2 (en) | Continuous sample analyzer and continuous sample analysis method | |
| TW201400219A (en) | Laser processing method and apparatus thereof | |
| JP2012211837A (en) | Sample analyzer and sample analysis method | |
| TW201533787A (en) | Dividing device | |
| JP6527733B2 (en) | Heat treatment equipment | |
| JP2013029418A (en) | Processing device of lead button and processing method of lead button | |
| JPH09304253A (en) | Method and apparatus for concentrating and analyzing impurities | |
| JP6400475B2 (en) | Component analysis apparatus and component analysis method | |
| JP2009168455A (en) | Sample stage for spectroscopic analysis, solid sample cooling device, gas sample synchronous pressure device, laser light convergence irradiation device for analysis, and analysis chamber | |
| Müller et al. | Fast steel-cleanness characterization by means of laser-assisted plasma spectrometric methods | |
| US11022572B2 (en) | Substrate contamination analysis system | |
| JP3130834U (en) | Optical emission spectrometer | |
| JPH1082737A (en) | Method for evaluating surface oxidation of soldering material | |
| KR20090129955A (en) | Transfer mechanism and processing system for object to be processed | |
| JP2007198924A (en) | Substrate treatment method and device | |
| JP2006013479A (en) | Bonding equipment and method | |
| JP4407912B2 (en) | Sample analyzer | |
| Cai et al. | Desorption of polyatomic molecules from the Pt (111) surface by femtosecond laser radiation |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130422 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130430 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130628 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131210 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140408 |