JP2012206020A - Method and device for applying application liquid - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and device for applying an application liquid that can precisely control an application amount of an application liquid.SOLUTION: The method for applying an application liquid includes: a first relational expression preparing step of figuring out a first relational expression expressing a flow amount indicated by a reference flow meter disposed on a main tube when an application liquid is supplied through the main tube to one branch tube among a plurality of branch tubes, and a flow rate indicated by a branch tube flow meter disposed on the branch tube; a second relational expression preparing step of figuring out a first relational expression expressing a flow rate set value of a flow rate control valve disposed on a branch tube when an application liquid is supplied through the main tube to one branch tube among a plurality of branch tubes, and a flow rate indicated by a branch tube flow meter disposed on the branch tube; a branch tube changing step of executing the first relational expression preparing step and the second relational expression preparing step sequentially for other branch tubes among the plurality of branch tubes; and an applying step of supplying the application liquid to the substrate by regulating each flow control valve of each branch tube based on the first relational expression and the second relational expression prepared for each of the branch tubes.

Description

この発明は、有機ＥＬ表示装置用ガラス基板、液晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ用ガラス基板、太陽電池用基板、電子ペーパー用基板あるいは半導体製造装置用マスク基板等の基板に塗布液を塗布する塗布液塗布方法および塗布装置に関する。   The present invention is a coating that applies a coating solution to a substrate such as a glass substrate for an organic EL display device, a glass substrate for a liquid crystal display device, a glass substrate for a PDP, a substrate for a solar cell, a substrate for electronic paper, or a mask substrate for a semiconductor manufacturing apparatus. The present invention relates to a liquid coating method and a coating apparatus.

例えば、高分子有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）材料を用いたアクティブマトリックス駆動方式の有機ＥＬ表示装置を製造するときには、ガラス基板に対して、ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）回路の形成工程、陽極となるＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）電極の形成工程、隔壁の形成工程、正孔輸送材料を含む流動性材料の塗布工程、加熱処理による正孔輸送層の形成工程、有機ＥＬ材料を含む流動性材料の塗布工程、加熱処理による有機ＥＬ層の形成工程、陰極の形成工程、および、絶縁膜の形成による封止工程が順次実行される。   For example, when manufacturing an active matrix driving type organic EL display device using a polymer organic EL (Electro Luminescence) material, a TFT (Thin Film Transistor) circuit is formed on a glass substrate, and an ITO (anode) is used as an anode. Indium Tin Oxide) electrode forming step, partition wall forming step, flowable material coating step including hole transport material, hole transport layer forming step by heat treatment, flowable material including organic EL material coating step, An organic EL layer forming step by heat treatment, a cathode forming step, and a sealing step by forming an insulating film are sequentially performed.

このような有機ＥＬ表示装置の製造時に、正孔輸送材料を含む流動性材料や有機ＥＬ材料を含む流動性材料等の塗布液を基板に塗布する塗布装置として、塗布液を連続的に吐出する複数のノズルを、基板に対して主走査方向および副走査方向に相対移動させることにより、基板上の塗布領域に塗布液をストライプ状に塗布する装置が知られている。   When manufacturing such an organic EL display device, the coating liquid is continuously discharged as a coating apparatus that applies a coating liquid such as a fluid material containing a hole transport material or a fluid material containing an organic EL material to a substrate. An apparatus is known in which a plurality of nozzles are moved relative to a substrate in a main scanning direction and a sub-scanning direction to apply a coating solution onto a coating region on the substrate in a stripe shape.

ところで、このような塗布装置においては、塗布液の塗布量にムラがあった場合においては、これに伴って表示装置の表示ムラ等が発生することから、塗布液の塗布量を極めて正確に制御する必要がある。   By the way, in such a coating device, if there is unevenness in the coating amount of the coating liquid, display unevenness of the display device or the like is caused accordingly, so the coating amount of the coating liquid is controlled very accurately. There is a need to.

このため、特許文献１には、塗布液を供給する供給部と、塗布液を吐出する複数のノズルと、処理液供給部から本管を介して供給される塗布液をノズルに接続される複数の支管に分流する分岐部と、本管に配設されこの本管を流動する塗布液の流量を計測する基準流量計と、支管に各々配設されこれら各支管を流動する塗布液の流量を計測する複数の支管流量計と、支管に各々配設されこれらの各支管を流動する塗布液の流量を調節する複数の流量制御バルブと、を備えた塗布装置において、実吐出流量と基準流量計の流量計測値との関係を示す関係式と、基準流量計の流量計測値と支管流量計の流量計測値との関係を示す関係式とを求め、これらの関係式を利用して流量制御バルブを制御するようにした塗布装置が開示されている。   For this reason, in Patent Document 1, a supply unit that supplies the coating liquid, a plurality of nozzles that discharge the coating liquid, and a plurality of coating liquids that are supplied from the processing liquid supply unit via the main pipe are connected to the nozzles. A branch part that divides into the branch pipe, a reference flow meter that measures the flow rate of the coating liquid that flows through the main pipe, and a flow rate of the coating liquid that flows through the branch pipes. An actual discharge flow rate and a reference flow meter in a coating apparatus comprising a plurality of branch pipe flow meters for measurement and a plurality of flow rate control valves that are arranged in the branch pipes and adjust the flow rate of the coating liquid flowing through the branch pipes. The relational expression indicating the relationship between the measured flow rate value and the relational expression indicating the relationship between the measured flow rate value of the reference flow meter and the measured flow rate value of the branch flow meter, and using these relational expressions, the flow control valve A coating apparatus is disclosed which controls the above.

特開２００９−４５５７４号公報JP 2009-45574 A

上述した特許文献１に記載の塗布装置は、各ノズルから吐出される塗布液の流量を容易に管理できる優れたものではあるが、以下の点で、未だ改良の余地がある。すなわち、上述した流量制御バルブは、製造時の個々の特性の誤差により、その流量設定値と実流量値には差異があり、この流量制御バルブの個体差により、流量制御時の流量設定値と実流量値との間に誤差が生ずることになる。このような誤差の発生は、塗布液の膜厚ムラの原因となり、これにより、表示装置の輝度ムラが生じ、その表示品質を低下させるという問題が生じている。   Although the coating apparatus described in Patent Document 1 described above is excellent in that the flow rate of the coating liquid discharged from each nozzle can be easily managed, there is still room for improvement in the following points. That is, the flow rate control valve described above has a difference between the flow rate setting value and the actual flow rate value due to an error in individual characteristics at the time of manufacture. An error will occur between the actual flow rate value. The occurrence of such an error causes uneven film thickness of the coating liquid, thereby causing uneven brightness of the display device, resulting in a problem that the display quality is deteriorated.

この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、塗布液の塗布量を正確に制御することが可能な塗布液塗布方法および塗布装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a coating liquid coating method and a coating apparatus capable of accurately controlling the coating amount of a coating liquid.

請求項１に記載の発明は、塗布液を貯留する塗布液貯留部と、前記塗布液を吐出する複数のノズルと、前記塗布液貯留部から本管を介して供給される塗布液を前記ノズルに接続される複数の支管に分流する分岐部と、前記本管に配設され当該本管を流動する塗布液の流量を計測する基準流量計と、前記支管に各々配設され当該各支管を流動する塗布液の流量を計測する複数の支管流量計と、前記支管に各々配設され当該各支管を流動する塗布液の流量を調節する複数の流量制御バルブと、前記各支管流量計が計測した流量値に基づいて、前記各流量制御バルブの動作を制御する制御部と、を備え、基板に塗布液を塗布する塗布装置における塗布液塗布方法であって、前記塗布液貯留部に貯留された塗布液を、前記本管を介して前記複数の支管のうちの一つの支管にのみ供給したときの前記本管に配設された基準流量計が示す流量値と、塗布液が供給されている支管に配設された支管流量計が示す流量値との間の関係を示す第１関係式を求める第１関係式作成工程と、前記塗布液貯留部に貯留された塗布液を、前記本管を介して前記複数の支管のうちの一つの支管にのみ供給したときの、塗布液が供給されている支管に設けられた流量制御バルブの流量設定値と、当該支管を流れるに配設された支管流量計が示す流量値との関係を示す第２関係式を求める第２関係式作成工程と、前記第１関係式作成工程と前記第２関係式作成工程とを、複数の支管のうちの他の支管について順次実行する支管変更工程と、前記各支管に対して作成された前記第１関係式と前記第２関係式とに基づいて、前記各支管の流量制御バルブを制御して基板に塗布液を供給する塗布工程とを備えることを特徴とする。   According to the first aspect of the present invention, there is provided a coating liquid reservoir that stores a coating liquid, a plurality of nozzles that discharge the coating liquid, and a coating liquid that is supplied from the coating liquid reservoir through a main pipe. A branch portion that branches to a plurality of branch pipes connected to the main pipe, a reference flow meter that is arranged in the main pipe and measures the flow rate of the coating liquid flowing through the main pipe, and each branch pipe that is arranged in the branch pipe. A plurality of branch flow meters that measure the flow rate of the flowing coating liquid, a plurality of flow control valves that are arranged in the branch pipes and that adjust the flow rate of the coating liquid that flows through the branch pipes, and the branch flow meters measure A control unit that controls the operation of each of the flow rate control valves based on the flow rate value, and a coating liquid application method in a coating apparatus that applies the coating liquid to the substrate, and is stored in the coating liquid storage unit. The plurality of branch pipes through the main pipe The flow rate value indicated by the reference flow meter arranged in the main pipe when supplied to only one of the branch pipes, and the flow rate value shown by the branch flowmeter arranged in the branch pipe supplied with the coating liquid A first relational expression creating step for obtaining a first relational expression showing a relation between the coating liquid stored in the coating liquid storage section and only one branch pipe of the plurality of branch pipes through the main pipe The second relationship showing the relationship between the flow rate setting value of the flow control valve provided in the branch pipe to which the coating liquid is supplied and the flow rate value indicated by the branch flow meter arranged to flow through the branch pipe when supplied A second relational expression creating step for obtaining a formula, the first relational formula creating step, and the second relational formula creating step for the other branch pipes among a plurality of branch pipes; Based on the first relational expression and the second relational expression created for Wherein characterized in that it comprises a coating step of supplying a coating solution to the substrate by controlling the flow control valve of each branch pipe.

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記第１関係式作成工程においては、前記塗布液貯留部に貯留された塗布液を、前記本管を介して前記複数の支管のうちの一つの支管にのみ供給する動作を、前記流量制御バルブの開度を変更して複数回繰り返す。   According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention according to the first aspect, in the first relational expression creating step, the coating liquid stored in the coating liquid storage section is allowed to pass through the plurality of pipes via the main pipe. The operation of supplying only one of the branch pipes is repeated a plurality of times by changing the opening of the flow control valve.

請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載の発明において、前記第２関係式作成工程においては、前記塗布液貯留部に貯留された塗布液を、前記本管を介して前記複数の支管のうちの一つの支管にのみ供給する動作を、前記流量制御バルブの開度を変更して複数回繰り返す。   The invention according to claim 3 is the invention according to claim 1 or 2, wherein in the second relational expression creating step, the coating liquid stored in the coating liquid storage section is passed through the main pipe. The operation of supplying only one of the plurality of branch pipes is repeated a plurality of times by changing the opening of the flow control valve.

請求項４に記載の発明は、請求項１から請求項３のいずれか記載の発明において、前記第２関係式作成工程の前に、前記本管を通過した塗布液の重量とそのときの前記基準流量計が計測した流量値とに基づいて、前記基準流量計の校正を実行する校正工程を備える。   According to a fourth aspect of the present invention, in the invention according to any one of the first to third aspects, the weight of the coating liquid that has passed through the main pipe and the current at the time before the second relational expression creating step A calibration step of performing calibration of the reference flow meter based on the flow value measured by the reference flow meter;

請求項５に記載の発明は、基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、前記塗布液を貯留する塗布液貯留部と、前記塗布液を吐出する複数のノズルと、前記塗布液貯留部から本管を介して供給される塗布液を、前記ノズルに接続される複数の支管に分流する分岐部と、前記本管に配設され、当該本管を流動する塗布液の流量を計測する基準流量計と、前記支管に各々配設され、当該各支管を流動する塗布液の流量を計測する複数の支管流量計と、前記支管に各々配設され、当該各支管を流動する塗布液の流量を調節する複数の流量制御バルブと、前記各支管流量計が計測した流量値に基づいて、前記各流量制御バルブの動作を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記本管へ供給された塗布液が、前記複数の支管から選択された単一の支管にのみに供給され他の支管への塗布液の供給が閉止された状態で計測された前記基準流量計が示す流量値と、前記塗布液が供給されている支管に設けられた支管流量計が示す流量値との関係を示す第１関係式と、前記塗布液が供給されている支管に設けられた流量制御バルブの流量設定値と、当該支管を流れるに配設された支管流量計が示す流量値との関係を示す第２関係式と、に基づいて前記流量制御バルブを制御する。   The invention according to claim 5 is a coating apparatus that coats a substrate with a coating liquid, the coating liquid storing section storing the coating liquid, a plurality of nozzles discharging the coating liquid, and the coating liquid storing section. From the main pipe through the main pipe and branching parts for dividing the coating liquid to a plurality of branch pipes connected to the nozzle, and the flow rate of the coating liquid disposed in the main pipe and flowing through the main pipe A reference flow meter, a plurality of branch flow meters each of which is arranged in the branch pipe and measures the flow rate of the coating liquid flowing through the branch pipes, and a coating liquid which is arranged in the branch pipe and flows through the branch pipes. A plurality of flow control valves for adjusting the flow rate, and a control unit for controlling the operation of each flow rate control valve based on the flow rate value measured by each branch flow meter, wherein the control unit is the main pipe The coating solution supplied to the single branch selected from the plurality of branch pipes The flow rate value indicated by the reference flow meter measured in a state where the supply of the coating liquid to the other branch pipe is closed and the branch flow meter provided in the branch pipe to which the coating liquid is supplied A first relational expression indicating a relationship with a flow value indicated by the flow rate, a flow rate setting value of a flow control valve provided in the branch pipe to which the coating liquid is supplied, and a branch flow meter disposed to flow through the branch pipe. The flow rate control valve is controlled based on a second relational expression indicating a relationship with the flow rate value shown.

請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の発明において、前記分岐部から分岐する校正用支管と、前記校正用支管に配設された開閉弁と、前記本管に供給された塗布液が、前記校正用支管にのみに供給され他の支管への塗布液の供給が閉止された状態で、前記校正用支管から排出された塗布液を受ける容器と、前記容器およびそこに貯留された塗布液の重量を計測する電子天秤と、を備え、前記基準流量計の校正を実行する基準流量校正機構を備える。   The invention according to claim 6 is the invention according to claim 5, wherein the calibration branch pipe branched from the branch portion, the on-off valve disposed in the calibration branch pipe, and the coating supplied to the main pipe The liquid is supplied only to the calibration branch and the supply of the coating liquid to the other branch is closed, and the container that receives the coating liquid discharged from the calibration branch, the container and the container are stored therein. An electronic balance for measuring the weight of the coating solution, and a reference flow rate calibration mechanism for calibrating the reference flow meter.

請求項１および請求項５に記載の発明によれば、支管流量計に個体差があった場合においても、塗布液の塗布量を極めて正確に制御することが可能となる。   According to the first and fifth aspects of the present invention, it is possible to control the coating amount of the coating liquid very accurately even when there are individual differences in the branch flowmeters.

請求項２に記載の発明によれば、第１関係式をより正確なものとすることが可能となる。   According to the invention described in claim 2, it is possible to make the first relational expression more accurate.

請求項３に記載の発明によれば、第２関係式をより正確なものとすることが可能となる。   According to the third aspect of the invention, the second relational expression can be made more accurate.

請求項４および請求項６に記載の発明によれば、基準流量計の校正を行うことにより、各支管から塗布される塗布液の流量を正確に制御することが可能となる。   According to the fourth and sixth aspects of the invention, the flow rate of the coating liquid applied from each branch can be accurately controlled by calibrating the reference flow meter.

この発明に係る塗布装置の平面図である。It is a top view of the coating device concerning this invention. この発明に係る塗布装置の正面図である。It is a front view of the coating device concerning this invention. ヘッド移動機構２１におけるスライダ３１付近の断面図である。4 is a cross-sectional view of the vicinity of a slider 31 in the head moving mechanism 21. FIG. この発明に係る塗布装置の主要な制御系を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the main control systems of the coating device which concerns on this invention. 塗布液供給部２４の構成、および、塗布液供給部２４と塗布ヘッド２０における複数のノズル２３との接続関係を示す模式図である。3 is a schematic diagram showing a configuration of a coating liquid supply unit 24 and a connection relationship between the coating liquid supply unit 24 and a plurality of nozzles 23 in the coating head 20. FIG. 校正部５２の概要図である。3 is a schematic diagram of a calibration unit 52. FIG. この発明に係る塗布液塗布方法の各工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows each process of the coating liquid coating method which concerns on this invention. 基準流量計４２の校正行程を示すフローチャートである。3 is a flowchart showing a calibration process of a reference flow meter 42. 塗布液の重量測定動作を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the weight measurement operation | movement of a coating liquid. 第１関係式作成行程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows a 1st relational expression preparation process. 基準流量計４２が示す流量値Ｆと支管流量計４５が示す流量値ｆとの関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the flow value F which the reference | standard flow meter 42 shows, and the flow value f which the branch pipe flow meter 45 shows. 第２関係式作成行程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the 2nd relational expression preparation process. 流量制御バルブ４４の流量設定値ｘと支管流量計４５が示す流量値ｆとの関係を示すグラフである。4 is a graph showing a relationship between a flow rate setting value x of a flow rate control valve 44 and a flow rate value f indicated by a branch flow meter 45.

以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１はこの発明に係る塗布装置の平面図であり、図２はその正面図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a plan view of a coating apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a front view thereof.

この塗布装置は、矩形状のガラス基板１００に対して塗布液を塗布するためのものである。より詳細には、この塗布装置は、アクティブマトリックス駆動方式の有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置用のガラス基板１００に、揮発性の溶媒（本実施の形態では、芳香族の有機溶媒）、および、発光材料としての有機ＥＬ材料を含む塗布液を塗布するためのものである。   This coating apparatus is for coating a coating solution on a rectangular glass substrate 100. More specifically, the coating apparatus includes a glass substrate 100 for an active matrix driving type organic EL (Electro Luminescence) display device, a volatile solvent (in this embodiment, an aromatic organic solvent), and This is for applying a coating liquid containing an organic EL material as a light emitting material.

この塗布装置は、ガラス基板１００を移動させるための基板移動機構１１を備える。この基板移動機構１１は、図２に示すように、ガラス基板１００をその裏面から保持する基板保持部１０を有する。この基板保持部１０は、一対のレール１２に沿って移動する基台１３と、この基台１３上に配設された回転台１４とにより支持されている。このため、この基板保持部１０は、図１に示すＹ方向に、ガラス基板１００の表面と平行に移動可能となっている。このＹ方向は、塗布ヘッド２０の往復移動方向である主走査方向（図１におけるＸ方向）と直交する方向である。以下、このＹ方向を「副走査方向」とも呼称する。また、この基板保持部１０は、鉛直方向（図１におけるＺ方向）を向く軸を中心に、回転可能となっている。   This coating apparatus includes a substrate moving mechanism 11 for moving the glass substrate 100. As shown in FIG. 2, the substrate moving mechanism 11 includes a substrate holding unit 10 that holds the glass substrate 100 from its back surface. The substrate holding unit 10 is supported by a base 13 that moves along a pair of rails 12 and a turntable 14 disposed on the base 13. For this reason, this board | substrate holding | maintenance part 10 can move in parallel with the surface of the glass substrate 100 in the Y direction shown in FIG. This Y direction is a direction orthogonal to the main scanning direction (X direction in FIG. 1) which is the reciprocating direction of the coating head 20. Hereinafter, this Y direction is also referred to as “sub-scanning direction”. The substrate holding unit 10 is rotatable about an axis that faces in the vertical direction (Z direction in FIG. 1).

この基板保持部１０は、ガラス基板１００を下側から加熱するヒータをその内部に備える。このガラス基板１００の表面には、それぞれがＸ方向に伸びる複数の塗布領域が、Ｙ方向に、例えば１００〜１５０μｍのピッチにて配列形成されている。この塗布領域は、例えば、Ｘ方向に配置された隔壁などによって形成されている。   The substrate holding unit 10 includes a heater for heating the glass substrate 100 from below. On the surface of the glass substrate 100, a plurality of application regions each extending in the X direction are arranged and formed in the Y direction at a pitch of, for example, 100 to 150 μm. This application region is formed by, for example, partition walls arranged in the X direction.

また、この塗布装置は、ガラス基板１００上に形成された、図示しないアライメントマークを撮像して検出するとともに、塗布ヘッド２０による塗布軌跡を撮像するための左右一対の撮像部１５を備える。この一対の撮像部１５には、各々、ＣＣＤカメラが配設されている。また、この塗布装置は、塗布軌跡の試験的な塗布に使用される左右一対の試験塗布ステージ部１６を備える。この塗布装置においては、試験塗布ステージ部１６に試験的に塗布された塗布軌跡を利用して、塗布ヘッド２０の送り制御を調整する構成が採用されている。   In addition, the coating apparatus includes a pair of left and right imaging units 15 for imaging and detecting an alignment mark (not shown) formed on the glass substrate 100 and imaging a coating locus by the coating head 20. Each of the pair of imaging units 15 is provided with a CCD camera. In addition, the coating apparatus includes a pair of left and right test coating stage units 16 used for the trial coating of the coating locus. In this coating apparatus, a configuration is adopted in which the feed control of the coating head 20 is adjusted using a coating locus applied on the test coating stage unit 16 on a trial basis.

基板保持部１０に保持されたガラス基板１００の表面に向けて塗布液を吐出する塗布ヘッド２０は、ヘッド移動機構２１により、ガイド部２２に沿って、ガラス基板１００表面に平行な主走査方向（図１におけるＸ方向）に往復移動される。この塗布ヘッド２０には、同一種類の塗布液を連続的に吐出するための複数のノズル２３が副走査方向に関して等間隔に配設されている。図１および図２では図示の都合上、５個のノズル２３のみを図示しているが、ノズル２３の個数はさらに多数となっている。   The coating head 20 that discharges the coating liquid toward the surface of the glass substrate 100 held by the substrate holding unit 10 is moved in the main scanning direction (parallel to the surface of the glass substrate 100) along the guide unit 22 by the head moving mechanism 21. It is reciprocated in the X direction in FIG. In the coating head 20, a plurality of nozzles 23 for continuously discharging the same type of coating liquid are disposed at equal intervals in the sub-scanning direction. In FIG. 1 and FIG. 2, only five nozzles 23 are illustrated for convenience of illustration, but the number of nozzles 23 is further increased.

塗布ヘッド２０は、エア供給管および後述する複数の支管をひとまとめにした供給管群２６を介して、塗布液供給部２４およびエア供給源２５と接続されている。塗布ヘッド２０の往復移動方向（Ｘ方向）に関して基板保持部１０の両側には、塗布ヘッド２０におけるノズル２３からの塗布液を受ける２つの受液部１７、１８が配設されている。また、塗布ヘッド２０の往復移動方向（Ｘ方向）に関して一方の受液部１８の側方には、上述した複数のノズル２３の副走査方向のピッチを調整するためのノズルピッチ調整機構１９が配設されている。   The coating head 20 is connected to a coating liquid supply unit 24 and an air supply source 25 via a supply pipe group 26 that includes an air supply pipe and a plurality of branch pipes described later. On both sides of the substrate holding unit 10 with respect to the reciprocating movement direction (X direction) of the coating head 20, two liquid receiving portions 17 and 18 that receive the coating liquid from the nozzles 23 in the coating head 20 are disposed. Further, a nozzle pitch adjusting mechanism 19 for adjusting the pitch of the plurality of nozzles 23 in the sub-scanning direction is arranged on the side of one liquid receiving unit 18 in the reciprocating movement direction (X direction) of the coating head 20. It is installed.

図３は、ヘッド移動機構２１におけるスライダ３１付近の断面図である。   FIG. 3 is a sectional view of the vicinity of the slider 31 in the head moving mechanism 21.

図１に示すヘッド移動機構２１におけるガイド部材２２には、スライダ３１が摺動可能に配設されている。このスライダ３１には、ガイド部材２２が貫通する貫通孔３２が形成されている。このスライダ３１には、図１に示すように、供給管群２６に含まれるエア供給管を介して、エア供給源２５から一定圧力のエアが供給される。このため、図３に示すように、貫通孔３２の内周面とガイド部２２の外周面との間にエアが噴出される。図３では、エアの噴出方向を符号Ａ１を付す矢印にて示している。これにより、スライダ３１がガイド部２２に非接触状態にて係合しつつ、主走査方向に移動可能に支持される。   A slider 31 is slidably disposed on the guide member 22 in the head moving mechanism 21 shown in FIG. A through hole 32 through which the guide member 22 passes is formed in the slider 31. As shown in FIG. 1, air of a constant pressure is supplied to the slider 31 from an air supply source 25 through an air supply pipe included in the supply pipe group 26. For this reason, as shown in FIG. 3, air is jetted between the inner peripheral surface of the through hole 32 and the outer peripheral surface of the guide portion 22. In FIG. 3, the air ejection direction is indicated by an arrow denoted by reference numeral A <b> 1. Thereby, the slider 31 is supported so as to be movable in the main scanning direction while being engaged with the guide portion 22 in a non-contact state.

図１を参照して、ガイド部２２の両端部付近には、Ｚ軸方向を向く軸を中心に回転可能な一対のプーリ３３が配設されている。この一対のプーリ３３には、無端状の同期ベルト３４が巻回されている。スライダ３１の一端は、この同期ベルト３４に固定されている。一方、スライダ３１の他端には、上述した塗布ヘッド２０が固定されている。このため、図示しないモータの駆動により同期ベルト３４を時計回りあるいは反時計回りに回転させることにより、塗布ヘッド２０を（−Ｘ）方向または（＋Ｘ）方向に往復移動させることができる。このとき、上述した気体の作用により、スライダ３１をガイド部２２に対して非接触状態で支持することができるので、塗布ヘッド２０の往復移動を、高速かつ滑らかなものとすることが可能となる。   Referring to FIG. 1, a pair of pulleys 33 that are rotatable around an axis that faces the Z-axis direction are disposed near both ends of the guide portion 22. An endless synchronous belt 34 is wound around the pair of pulleys 33. One end of the slider 31 is fixed to the synchronization belt 34. On the other hand, the application head 20 described above is fixed to the other end of the slider 31. Therefore, the application head 20 can be reciprocated in the (−X) direction or the (+ X) direction by rotating the synchronous belt 34 clockwise or counterclockwise by driving a motor (not shown). At this time, since the slider 31 can be supported in a non-contact state with respect to the guide portion 22 by the action of the gas described above, the reciprocating movement of the coating head 20 can be made fast and smooth. .

この塗布装置においては、このヘッド移動機構２１が、塗布ヘッド２０を主走査方向に移動させる主走査方向移動機構となり、基板移動機構１１が、基板保持部を副走査方向に移動させる副走査方向移動機構となる。この塗布装置においては、塗布ヘッド２０の主走査方向への移動が完了する毎に、ガラス基板１００を副走査方向に移動させることにより、ガラス基板１００の表面の塗布領域に対して塗布液の塗布を実行する。なお、塗布ヘッド２０の主走査時には、受液部１７、１８の近傍にて加速または減速が完了し、ガラス基板１００の上方においては、塗布ヘッド２０は、例えば、毎秒３〜５ｍ程度の一定速度で移動する。   In this coating apparatus, the head moving mechanism 21 becomes a main scanning direction moving mechanism for moving the coating head 20 in the main scanning direction, and the substrate moving mechanism 11 moves in the sub scanning direction for moving the substrate holding portion in the sub scanning direction. It becomes a mechanism. In this coating apparatus, each time the movement of the coating head 20 in the main scanning direction is completed, the glass substrate 100 is moved in the sub-scanning direction, whereby the coating liquid is applied to the coating region on the surface of the glass substrate 100. Execute. During main scanning of the coating head 20, acceleration or deceleration is completed in the vicinity of the liquid receiving portions 17 and 18, and the coating head 20 is, for example, at a constant speed of about 3 to 5 m per second above the glass substrate 100. Move with.

以上のような構成を有する塗布装置において、塗布液の塗布を開始する場合においては、最初に、ガラス基板１００が基板保持部１０に保持される。そして、撮像部１５によりガラス基板１００に形成されたアライメントマークを検出し、その検出結果に基づいて基板保持部１０が移動および回転し、ガラス基板１００が図１において実線にて示す塗布開始位置に配置される。この状態において、塗布ヘッド２０における複数のノズル２３から塗布液の吐出が開始されるとともに、ヘッド移動機構２１により塗布ヘッド２０が主走査方向に移動される。   In the coating apparatus having the above-described configuration, when the application of the coating liquid is started, the glass substrate 100 is first held by the substrate holding unit 10. And the alignment mark formed in the glass substrate 100 by the imaging part 15 is detected, the substrate holding | maintenance part 10 moves and rotates based on the detection result, and the glass substrate 100 is in the application | coating start position shown as a continuous line in FIG. Be placed. In this state, discharge of the coating liquid is started from the plurality of nozzles 23 in the coating head 20 and the coating head 20 is moved in the main scanning direction by the head moving mechanism 21.

そして、複数のノズル２３のそれぞれからガラス基板１００の表面に向けて塗布液が一定の流量にて連続的に吐出されるとともに、塗布ヘッド２０が主走査方向に連続的に一定の速度にて移動し、ガラス基板１００の塗布領域の複数の線状領域に塗布液がストライプ状に塗布される。   Then, the coating liquid is continuously discharged from each of the plurality of nozzles 23 toward the surface of the glass substrate 100 at a constant flow rate, and the coating head 20 continuously moves at a constant speed in the main scanning direction. Then, the coating liquid is applied in stripes to a plurality of linear regions in the coating region of the glass substrate 100.

このようにして、塗布ヘッド２０が図１および図２中に二点鎖線にて示す受液部１８と対向する待機位置まで移動することにより、塗布液によるストライプ状のパターンが形成される。塗布ヘッド２０が待機位置まで移動すると、基板移動機構１１が駆動され、ガラス基板１００が基板保持部１０と共に副走査方向に移動する。このとき、塗布ヘッド２０では、複数のノズル２３から受液部１８に向けて塗布液が連続的に吐出されている。   In this manner, the coating head 20 moves to the standby position facing the liquid receiving unit 18 indicated by a two-dot chain line in FIGS. 1 and 2, thereby forming a stripe pattern by the coating liquid. When the coating head 20 moves to the standby position, the substrate moving mechanism 11 is driven, and the glass substrate 100 moves in the sub-scanning direction together with the substrate holding unit 10. At this time, in the coating head 20, the coating liquid is continuously discharged from the plurality of nozzles 23 toward the liquid receiving unit 18.

以上のような動作を必要な塗布動作が完了するまで継続する。そして、ガラス基板１００が塗布終了位置まで移動すると、複数のノズル２３からの塗布液の吐出が停止され、塗布装置によるガラス基板１００に対する塗布液の塗布動作が終了する。塗布が終了したガラス基板１００は、他の塗布装置等に搬送され、この塗布装置により塗布された塗布液以外の他の２色の塗布液が塗布される。そして、ガラス基板１００に対して所定の塗布工程が行われた後、他の部品と組み合わされて有機ＥＬ表示装置が製造される。   The above operation is continued until the necessary application operation is completed. When the glass substrate 100 moves to the application end position, the discharge of the application liquid from the plurality of nozzles 23 is stopped, and the application operation of the application liquid to the glass substrate 100 by the application apparatus is completed. The glass substrate 100 that has been coated is transported to another coating apparatus or the like, and coating liquids of two colors other than the coating liquid coated by the coating apparatus are coated. And after a predetermined application | coating process is performed with respect to the glass substrate 100, it combines with another component and an organic electroluminescent display apparatus is manufactured.

図４は、この発明に係る塗布装置の主要な制御系を示すブロック図である。   FIG. 4 is a block diagram showing a main control system of the coating apparatus according to the present invention.

この塗布装置は、装置全体を制御する制御部６０を備える。この制御部６０は、上述した基板移動機構１１、回転台１４およびヘッド移動機構２１と接続されている。また、この制御部６０は、塗布液供給部２４における流量制御バルブ４０、基準流量計４２、流量制御バルブ４４、支管流量計４５、開閉バルブ４６、開閉バルブ５１および校正部５２と接続されている。また、図示は省略しているが、この制御部６０は、後述する各種の動作を実行するためのＲＡＭやＲＯＭ等から構成される記憶部や、ＣＰＵ等から構成される演算部を備える。この制御部６０としては、一般的なパーソナルコンピュータを利用してもよく、また、プリント基板等によりこの制御部を構成してもよい。なお、基準流量計４２、流量制御バルブ４４、支管流量計４５、開閉バルブ４６、開閉バルブ５１および校正部５２等の構成については、後程説明する。   The coating apparatus includes a control unit 60 that controls the entire apparatus. The controller 60 is connected to the substrate moving mechanism 11, the turntable 14, and the head moving mechanism 21 described above. The control unit 60 is connected to the flow rate control valve 40, the reference flow meter 42, the flow rate control valve 44, the branch flow meter 45, the open / close valve 46, the open / close valve 51, and the calibration unit 52 in the coating liquid supply unit 24. . Although not shown, the control unit 60 includes a storage unit including a RAM and a ROM for executing various operations described later, and a calculation unit including a CPU. As the control unit 60, a general personal computer may be used, or the control unit may be configured by a printed circuit board or the like. The configurations of the reference flow meter 42, the flow control valve 44, the branch flow meter 45, the open / close valve 46, the open / close valve 51, the calibration unit 52, and the like will be described later.

次に、この発明の特徴部分である塗布液の供給機構の構成について説明する。図５は、塗布液供給部２４の構成、および、塗布液供給部２４と塗布ヘッド２０における複数のノズル２３との接続関係を示す模式図である。   Next, the configuration of the coating liquid supply mechanism, which is a characteristic part of the present invention, will be described. FIG. 5 is a schematic diagram illustrating the configuration of the coating liquid supply unit 24 and the connection relationship between the coating liquid supply unit 24 and the plurality of nozzles 23 in the coating head 20.

この発明に係る塗布装置における塗布液供給部２４は、流量制御バルブ４０と、塗布液貯留部４１と、基準流量計４２と、分岐部としてのマニホールド４３と、複数個の流量制御バルブ４４ａ、４４ｂ、４４ｃ・・・４４ｎと、複数の支管流量計４５ａ、４５ｂ、４５ｃ・・・４５ｎと、複数の開閉バルブ４６ａ、４６ｂ、４６ｃ・・・４６ｎと、開閉バルブ５１と、後述する校正部５２とを備える。各開閉バルブ４６ａ、４６ｂ、４６ｃ・・・４６ｎは、塗布ヘッド２０における複数のノズル２３ａ、２３ｂ、２３ｃ・・・２３ｎと、各々接続されている。   The coating liquid supply section 24 in the coating apparatus according to the present invention includes a flow control valve 40, a coating liquid storage section 41, a reference flow meter 42, a manifold 43 as a branch section, and a plurality of flow control valves 44a and 44b. 44n, a plurality of branch flow meters 45a, 45b, 45c,... 45n, a plurality of on-off valves 46a, 46b, 46c,... 46n, an on-off valve 51, and a calibration unit 52, which will be described later. Is provided. Each of the open / close valves 46a, 46b, 46c,... 46n is connected to a plurality of nozzles 23a, 23b, 23c,.

なお、この明細書においては、必要に応じ、複数個の流量制御バルブ４４ａ、４４ｂ、４４ｃ・・・４４ｎを総称して流量制御バルブ４４と、複数の支管流量計４５ａ、４５ｂ、４５ｃ・・・４５ｎを総称して支管流量計４５と、複数の開閉バルブ４６ａ、４６ｂ、４６ｃ・・・４６ｎを総称して開閉バルブ４６と、複数のノズル２３ａ、２３ｂ、２３ｃ・・・２３ｎを総称してノズル２３と表現する。   In this specification, a plurality of flow control valves 44a, 44b, 44c... 44n are collectively referred to as a flow control valve 44 and a plurality of branch flow meters 45a, 45b, 45c. 45n is a collective term for the branch pipe flow meter 45, a plurality of on-off valves 46a, 46b, 46c... 46n is a collective term for the on-off valve 46, and a plurality of nozzles 23a, 23b, 23c. 23.

また、この明細書においては、塗布液貯留部４１から流量制御バルブ４０および基準流量計４２を介してマニホールド４３に至る、分岐前の管路を、本管と呼称する。また、この明細書においては、マニホールド４３から各流量制御バルブ４４ａ、４４ｂ、４４ｃ・・・４４ｎ、各支管流量計４５ａ、４５ｂ、４５ｃ・・・４５ｎ、各開閉バルブ４６ａ、４６ｂ、４６ｃ・・・４６ｎを介して各ノズル２３ａ、２３ｂ、２３ｃ・・・２３ｎに至る、分岐後の管路を、支管と呼称する。この塗布装置には、ａ〜ｎに相当する複数の支管が存在することになる。さらに、この明細書においては、マニホールド４３から開閉バルブ５１を介して校正部５２に至る管路を、校正用支管と呼称する。   Further, in this specification, a pipe line before branching from the coating liquid reservoir 41 to the manifold 43 via the flow rate control valve 40 and the reference flow meter 42 is referred to as a main pipe. In this specification, each flow control valve 44a, 44b, 44c ... 44n, each branch flow meter 45a, 45b, 45c ... 45n, each opening / closing valve 46a, 46b, 46c ... A branched pipe line that reaches each nozzle 23a, 23b, 23c,..., 23n through 46n is called a branch pipe. In this coating apparatus, there are a plurality of branch pipes corresponding to a to n. Furthermore, in this specification, a pipe line extending from the manifold 43 to the calibration unit 52 via the opening / closing valve 51 is referred to as a calibration branch pipe.

塗布液貯留部４１は、塗布液を貯留した可撓性の袋状容器を気密チャンバー内に収納した構成を有し、気密チャンバー内に加圧空気を供給することにより塗布液を流量制御バルブ４０、基準流量計４２およびマニホールド４３等に向けて圧送する構成を有する。また、基準流量計４２は、塗布液貯留部４１から吐出されマニホールド４３に流入する塗布液の流量を計測する構成を有する。この基準流量計４２は、塗布液の流路に設けられた、ヒータと温度センサを利用して塗布液の流量を測定する熱式の流量計が使用される。この基準流量計４２による流量の測定値は、図４に示す制御部６０に送信される。   The coating liquid storage unit 41 has a configuration in which a flexible bag-like container storing the coating liquid is stored in an airtight chamber, and the flow rate control valve 40 controls the coating liquid by supplying pressurized air into the airtight chamber. In addition, it has a configuration in which it is pumped toward the reference flow meter 42, the manifold 43 and the like. The reference flow meter 42 has a configuration for measuring the flow rate of the coating liquid discharged from the coating liquid storage unit 41 and flowing into the manifold 43. The reference flow meter 42 is a thermal flow meter that measures the flow rate of the coating liquid using a heater and a temperature sensor provided in the flow path of the coating liquid. The measurement value of the flow rate by the reference flow meter 42 is transmitted to the control unit 60 shown in FIG.

各流量制御バルブ４４は、図４に示す制御部６０からの指令を受け、各支管を流動する塗布液の流量を調節する。また、各支管流量計４５は、各支管を流動する塗布液の流量を計測する。この支管流量計４５としては、基準流量計４２と同様、ヒータと温度センサを利用して塗布液の流量を測定する熱式の流量計が使用される。この支管流量計４５による流量の測定値は、図４に示す制御部６０に送信される。これらの流量制御バルブ４４および支管流量計４５は、マスフローコントローラを構成する。さらに、各開閉バルブ４６は、図４に示す制御部６０からの指令を受け、各支管の流路を開放あるいは閉鎖する。同様に、開閉バルブ５１は、図４に示す制御部６０からの指令を受け、マニホールド４３から校正部５２に至る校正用支管の流路を開放あるいは閉鎖する。   Each flow control valve 44 receives a command from the control unit 60 shown in FIG. 4 and adjusts the flow rate of the coating liquid flowing through each branch pipe. Each branch flow meter 45 measures the flow rate of the coating liquid flowing through each branch pipe. As the branch flow meter 45, a thermal flow meter that measures the flow rate of the coating liquid using a heater and a temperature sensor is used as in the reference flow meter 42. The measured value of the flow rate by this branch flow meter 45 is transmitted to the control unit 60 shown in FIG. The flow control valve 44 and the branch pipe flow meter 45 constitute a mass flow controller. Furthermore, each open / close valve 46 receives a command from the control unit 60 shown in FIG. 4 and opens or closes the flow path of each branch pipe. Similarly, the open / close valve 51 receives a command from the control unit 60 shown in FIG. 4 and opens or closes the flow path of the calibration branch pipe from the manifold 43 to the calibration unit 52.

図６は、上述した校正部５２の概要図である。   FIG. 6 is a schematic diagram of the calibration unit 52 described above.

この校正部５２は、塗布液が予め貯留された容器５３を備える。この容器５３は、塗布装置の支持部５９上に配置された電子天秤５４上に載置されている。この電子天秤５４および容器５３は、チャンバー５５内に収納されている。容器５３の上部には、蓋体５６が配置されている。この蓋体５６は、連結部材５８を介してチャンバー５５と連結されており、容器５３の上端からわずかな距離だけ離隔した位置に配置される。図５に示す開閉バルブ５１から校正部５２に至る校正用支管の先端部は、金属製の細管５７と連結されている。この金属製の細管５７は、図６に示すように、チャンバー５５および蓋体５６を貫通して、容器５３内に浸入している。そして、この細管５７の先端部は、容器５３に貯留された塗布液中に浸漬している。なお、この図において符号Ｌは、後述する校正動作を行う前の容器５３に貯留された塗布液の液面を示し、符号Ｈは、容器５３内に限界まで塗布液が貯留されたときの塗布液の液面を示している。電子天秤５４は、容器５３およびそこに貯留された塗布液の重量を計測する。   The calibration unit 52 includes a container 53 in which a coating solution is stored in advance. The container 53 is placed on an electronic balance 54 disposed on a support portion 59 of the coating apparatus. The electronic balance 54 and the container 53 are accommodated in a chamber 55. A lid 56 is disposed on the top of the container 53. The lid 56 is connected to the chamber 55 via a connecting member 58 and is disposed at a position separated from the upper end of the container 53 by a slight distance. The tip of the calibration branch pipe from the on-off valve 51 shown in FIG. 5 to the calibration section 52 is connected to a metal thin tube 57. As shown in FIG. 6, the metal thin tube 57 penetrates into the container 53 through the chamber 55 and the lid 56. The tip of the thin tube 57 is immersed in the coating solution stored in the container 53. In this figure, symbol L indicates the liquid level of the coating liquid stored in the container 53 before performing a calibration operation described later, and symbol H indicates the coating when the coating liquid is stored in the container 53 to the limit. The liquid level of the liquid is shown. The electronic balance 54 measures the weight of the container 53 and the coating liquid stored therein.

次に、以上のような構成を有する塗布装置による塗布液の塗布動作について説明する。図７は、この発明に係る塗布液塗布方法の各工程を示すフローチャートである。   Next, the application | coating operation | movement of the coating liquid by the coating device which has the above structures is demonstrated. FIG. 7 is a flowchart showing each step of the coating liquid coating method according to the present invention.

最初に、基準流量計４２の校正を行う（ステップＳ１）。   First, the reference flow meter 42 is calibrated (step S1).

図８は、基準流量計４２の校正行程を示すフローチャートである。基準流量計４２の校正は、この図８に示す工程で実行される。   FIG. 8 is a flowchart showing the calibration process of the reference flow meter 42. Calibration of the reference flow meter 42 is executed in the process shown in FIG.

すなわち、最初に、図４に示す開閉バルブ５１を開放する。このときには、塗布液貯留部４１には所定圧力の加圧空気が供給されており、塗布液は流量制御バルブ４０および基準流量計４２を介してマニホールド４３に向けて送液可能な状態となっている。また、各支管における開閉バルブ４６は予め閉止されている。これにより、塗布液が塗布液貯留部４１から、流量制御バルブ４０基準流量計４２、マニホールド４３、開閉バルブ５１を介して校正部５２に向けて圧送される。そして、図６に示す校正部５２において、圧送された塗布液が金属製の細管５７から容器５３内の塗布液中に吐出される（ステップＳ１１）。   That is, first, the opening / closing valve 51 shown in FIG. 4 is opened. At this time, pressurized air having a predetermined pressure is supplied to the coating liquid storage section 41, and the coating liquid can be fed toward the manifold 43 via the flow control valve 40 and the reference flow meter 42. Yes. The open / close valve 46 in each branch pipe is closed in advance. As a result, the coating liquid is pumped from the coating liquid storage unit 41 toward the calibration unit 52 via the flow rate control valve 40, the reference flow meter 42, the manifold 43, and the opening / closing valve 51. Then, in the calibration unit 52 shown in FIG. 6, the pumped coating solution is discharged from the metal thin tube 57 into the coating solution in the container 53 (step S11).

そして、塗布液が容器５３に吐出されるときの基準流量計４２が示す流量値が取得される（ステップＳ１２）。この流量値は、図４に示す制御部６０に送信される。また、容器５３内に吐出された塗布液の重量が、電子天秤５４により測定される（ステップＳ１３)。この吐出された塗布液の重量は、塗布液を吐出する前に電子天秤５４により測定された容器５３とそこに予め貯留された塗布液の重量の合計値と、塗布液を吐出した後に電子天秤５４により測定された容器５３とそこに貯留された塗布液の重量の合計値との差により測定される。測定された吐出された塗布液の重量は、校正部５２から、図４に示す制御部６０に送信される。   Then, the flow value indicated by the reference flow meter 42 when the coating liquid is discharged into the container 53 is acquired (step S12). This flow value is transmitted to the control unit 60 shown in FIG. Further, the weight of the coating solution discharged into the container 53 is measured by the electronic balance 54 (step S13). The weight of the discharged coating liquid includes the total value of the weight of the container 53 measured by the electronic balance 54 before discharging the coating liquid and the coating liquid previously stored therein, and the electronic balance after discharging the coating liquid. It is measured by the difference between the container 53 measured by 54 and the total weight of the coating liquid stored therein. The measured weight of the discharged coating liquid is transmitted from the calibration unit 52 to the control unit 60 shown in FIG.

図９は、このときの塗布液の重量測定動作を示す説明図である。   FIG. 9 is an explanatory view showing the operation of measuring the weight of the coating liquid at this time.

この場合においては、吐出を開始してから吐出量が安定するまでの５秒程度の待機時間ｔ０が経過した後、例えば１秒程度の単位時間ｄｔ毎の重量の変化量ｄｗを測定することにより、単位時間当たりに流れた塗布液の重量（ｄｗ／ｄｔ）を測定する。これを、例えば１０回繰り返し、１０秒の間に得られた１０個のデータを平均することにより、単位時間当たりに流れた塗布液の重量のデータを得る。そして、このような動作を、流量制御バルブ４０を調整することにより流量値を代えて、例えば３回〜５回程度の必要な回数だけ実行する（ステップＳ１４）。ここで、図９におけるｗ０は、容器５３とそこに最初に貯留された塗布液との重量の合計値である初期重量を示している。   In this case, after waiting time t0 of about 5 seconds from the start of discharge until the discharge amount becomes stable, for example, by measuring the change in weight dw per unit time dt of about 1 second. Then, the weight (dw / dt) of the coating solution that flows per unit time is measured. This is repeated 10 times, for example, and 10 pieces of data obtained in 10 seconds are averaged to obtain data on the weight of the coating liquid that has flowed per unit time. Then, such an operation is performed a necessary number of times, for example, about 3 to 5 times by changing the flow rate control valve 40 to change the flow rate value (step S14). Here, w0 in FIG. 9 indicates an initial weight that is a total value of the weights of the container 53 and the coating liquid first stored therein.

なお、単位時間ｄｔを上述したように１秒程度とするかわりに、５秒程度とし、５０秒間に１０個のデータを得るようにしてもよい。この場合には、電子天秤５４の応答性を加味してより正確な重量を測定することが可能となる。但し、重量測定に長い時間を要するとともに、消費する塗布液の量が増大する。また、上記の動作を塗布液の流量を変えて、３回〜５回よりもさらに多くの回数実行してもよい。この場合においても、測定精度は向上するが、測定時間と塗布液の消費量が増大する。   Note that the unit time dt may be about 5 seconds instead of about 1 second as described above, and 10 data may be obtained in 50 seconds. In this case, more accurate weight can be measured in consideration of the responsiveness of the electronic balance 54. However, it takes a long time to measure the weight, and the amount of the coating solution to be consumed increases. Further, the above operation may be executed more times than 3 to 5 times by changing the flow rate of the coating liquid. Even in this case, the measurement accuracy is improved, but the measurement time and the consumption of the coating liquid are increased.

次に、校正を実行する（ステップＳ１５）。すなわち、図４に示す制御部６０により、電子天秤５４を利用して測定した単位時間当たりに流れた塗布液の重量と塗布液の比重とに基づいて、基準流量計４２を通過した塗布液の実流量を演算する。そして、この実流量と基準流量計４２が示す流量値とを比較する。しかる後、基準流量計４２の示す流量値と実流量値とが一致するように、基準流量計４２の調節を行う。これにより、基準流量計４２が示す流量値を塗布液の実流量値に一致させることが可能となる。   Next, calibration is executed (step S15). That is, based on the weight of the coating liquid flowing per unit time and the specific gravity of the coating liquid measured using the electronic balance 54 by the control unit 60 shown in FIG. Calculate the actual flow rate. Then, the actual flow rate is compared with the flow rate value indicated by the reference flow meter 42. Thereafter, the reference flow meter 42 is adjusted so that the flow value indicated by the reference flow meter 42 matches the actual flow value. Thereby, the flow value indicated by the reference flow meter 42 can be matched with the actual flow value of the coating liquid.

再度、図７を参照して、次に、複数の支管のうちの一つの支管が選択された上で（ステップＳ２）、塗布液をその一つの支管にのみ供給したときに基準流量計４２が示す流量値と塗布液が供給されている支管の支管流量計４５が示す流量値との間の関係を示す第１関係式を求める第１関係式作成工程（ステップＳ３）と、塗布液をその一つの支管にのみ供給したときに塗布液が供給されている支管の流量制御バルブ４４の流量設定値とその支管に配設された支管流量計４５が示す流量値との関係を示す第２関係式を求める第２関係式作成工程（ステップＳ４）とが実行される。   Referring to FIG. 7 again, next, after one branch pipe is selected from the plurality of branch pipes (step S2), the reference flow meter 42 is set when the coating liquid is supplied only to the one branch pipe. A first relational expression creating step (step S3) for obtaining a first relational expression showing a relationship between the flow rate value shown and the flow rate value shown by the branch flowmeter 45 of the branch pipe supplied with the coating liquid; A second relationship showing the relationship between the flow rate setting value of the flow rate control valve 44 of the branch pipe to which the coating liquid is supplied when supplied to only one branch pipe and the flow rate value indicated by the branch flow meter 45 disposed in the branch pipe. A second relational expression creating step (step S4) for obtaining an expression is executed.

図１０は、第１関係式作成行程を示すフローチャートである。第１関係式作成工程は、この図１０に示す工程で実行される。   FIG. 10 is a flowchart showing the first relational expression creation process. The first relational expression creating step is executed in the step shown in FIG.

すなわち、最初に、塗布液の流量を設定する（ステップＳ３１）。この場合には、制御部６０の制御により、選択された支管の支管流量計４５が示す流量値が、予め設定された目標値となるように、その支管の流量制御バルブ４４が調節される。そして、制御部６０の指令により、選択された支管の開閉バルブ４６が開放される。このときには、選択された支管以外の支管の開閉バルブ４６は閉止されている。   That is, first, the flow rate of the coating liquid is set (step S31). In this case, under the control of the control unit 60, the flow control valve 44 of the branch pipe is adjusted so that the flow value indicated by the branch pipe flow meter 45 of the selected branch pipe becomes a preset target value. Then, the opening / closing valve 46 of the selected branch pipe is opened by a command from the control unit 60. At this time, the open / close valve 46 of the branch pipe other than the selected branch pipe is closed.

この状態で、塗布液貯留部４１から、基準流量計４２、マニホールド４３、選択された支管の流量制御バルブ４４、支管流量計４５、開閉バルブ４６を介してノズル２３に塗布液を送り、ノズル２３より塗布液を吐出させる（ステップＳ３２）。そして、このときの基準流量計４２が計測した流量値を取得するとともに（ステップＳ３３）、選択された支管の支管流量計４５が計測した流量値を取得する（ステップＳ３４）。これらの取得された流量値は、制御部６０に送信される。   In this state, the coating liquid is sent from the coating liquid storage unit 41 to the nozzle 23 via the reference flow meter 42, the manifold 43, the flow control valve 44 of the selected branch pipe, the branch flow meter 45, and the opening / closing valve 46. Then, the coating liquid is discharged (step S32). Then, the flow value measured by the reference flow meter 42 at this time is acquired (step S33), and the flow value measured by the branch flow meter 45 of the selected branch pipe is acquired (step S34). These acquired flow rate values are transmitted to the control unit 60.

そして、必要な処理が終了するまで（ステップＳ３５）、再度、塗布液の流量を設定する（ステップＳ３１）。すなわち、制御部６０の制御により、選択された支管の支管流量計４５が示す流量値が、実際にガラス基板１００に塗布液を塗布するときの塗布液の流量値に相当する値であり、かつ、先の塗布液吐出工程（ステップＳ３２）における流量値とは異なる流量値となるように、その支管の流量制御バルブ４４が調節される。そして、上述した塗布液吐出工程（ステップＳ３２）、基準流量計の流量値取得工程（ステップＳ３３）、支管流量計の流量値取得工程（ステップＳ３４）が繰り返し実行される。   Then, the flow rate of the coating liquid is set again (step S31) until necessary processing is completed (step S35). That is, under the control of the control unit 60, the flow value indicated by the branch flow meter 45 of the selected branch pipe is a value corresponding to the flow value of the coating liquid when the coating liquid is actually applied to the glass substrate 100, and The flow rate control valve 44 of the branch pipe is adjusted so that the flow rate value is different from the flow rate value in the previous coating liquid discharge step (step S32). Then, the above-described coating liquid discharge step (step S32), the flow rate value acquisition step of the reference flow meter (step S33), and the flow rate value acquisition step of the branch flow meter (step S34) are repeatedly executed.

すなわち、基準流量計４２が示す流量値と支管流量計４５が示す流量値との間の関係は、実際にガラス基板１００に塗布液を塗布するときの塗布液の流量値に近い複数ポイント（例えば、３〜５ポイント）で求められる。例えば、流量の目標値を１００とした場合に、その８０％、９０％、１１０％、１２０％など、目標値の近傍の流量値に対して、同様の動作が実行される。このため、上述した流量設定工程（ステップＳ３１）、塗布液吐出工程（ステップＳ３２）、基準流量計の流量値取得工程（ステップＳ３３）および支管流量計の流量値取得工程（ステップＳ３４）は、複数回繰り返される。   That is, the relationship between the flow value indicated by the reference flow meter 42 and the flow value indicated by the branch flow meter 45 is a plurality of points close to the flow value of the coating liquid when the coating liquid is actually applied to the glass substrate 100 (for example, 3-5 points). For example, when the flow rate target value is set to 100, the same operation is performed on the flow rate values near the target value, such as 80%, 90%, 110%, and 120%. For this reason, the flow rate setting step (step S31), the coating liquid discharge step (step S32), the reference flow meter flow value acquisition step (step S33), and the branch flow meter flow value acquisition step (step S34) are plural. Repeated times.

なお、この場合においては、３〜５ポイントよりもさらに多数のポイントで、基準流量計４２が示す流量値と支管流量計４５が示す流量値との間の関係を求めてもよい。この場合には、上述したような８０％〜１２０％の範囲だけではなく、５０％〜２００％等、必要とされる流量レンジによって、適宜選択すればよい。   In this case, the relationship between the flow rate value indicated by the reference flow meter 42 and the flow rate value indicated by the branch flow meter 45 may be obtained at more points than 3 to 5 points. In this case, what is necessary is just to select suitably by not only the range of 80%-120% as mentioned above but the required flow range, such as 50%-200%.

必要な流量値が取得された場合には（ステップＳ３５）、基準流量計４２が示す流量値と塗布液が供給されている支管の支管流量計４５が示す流量値との間の関係を示す第１関係式を作成する（ステップＳ３６）。   When the necessary flow value is acquired (step S35), the relationship between the flow value indicated by the reference flow meter 42 and the flow value indicated by the branch flow meter 45 of the branch pipe to which the coating liquid is supplied is shown. One relational expression is created (step S36).

図１１は、基準流量計４２が示す流量値Ｆと支管流量計４５が示す流量値ｆとの関係を示すグラフである。   FIG. 11 is a graph showing the relationship between the flow value F indicated by the reference flow meter 42 and the flow value f indicated by the branch flow meter 45.

図１１に示すグラフにおいては、基準流量計４２が示す流量値Ｆと支管流量計４５が示す流量値ｆとの関係が三点プロットされ、これらの三点を通る近似曲線（この実施形態においては直線）が、基準流量計４２が示す流量値と塗布液が供給されている支管の支管流量計４５が示す流量値との間の関係を示す第１関係式として求められている。この第１関係式は、例えば、最小二乗法を利用して導かれる。この第１関係式は、ＡおよびＢを係数としたときに、下記の式（１）で示される。   In the graph shown in FIG. 11, the relationship between the flow value F indicated by the reference flow meter 42 and the flow value f indicated by the branch flow meter 45 is plotted at three points, and an approximate curve passing through these three points (in this embodiment, in this embodiment). (Straight line) is obtained as a first relational expression showing the relationship between the flow value indicated by the reference flow meter 42 and the flow value indicated by the branch flow meter 45 of the branch pipe to which the coating liquid is supplied. This first relational expression is derived using, for example, the least square method. This first relational expression is represented by the following expression (1), where A and B are coefficients.

Ｆ＝Ａ＊ｆ＋Ｂ ・・・ （１）
なお、この第１関係式は、上述したような１次式に限定されるものではない。基準流量計４２が示す流量値と塗布液が供給されている支管の支管流量計４５が示す流量値との関係を曲線で近似するようにしてもよい。また、測定ポイントを増加させることにより、複数の直線近似を行ってもよい。 F = A * f + B (1)
The first relational expression is not limited to the linear expression as described above. The relationship between the flow value indicated by the reference flow meter 42 and the flow value indicated by the branch flow meter 45 of the branch pipe to which the coating liquid is supplied may be approximated by a curve. Further, a plurality of linear approximations may be performed by increasing the measurement points.

図１２は、第２関係式作成行程を示すフローチャートである。第２関係式作成工程は、この図１２に示す工程で実行される。   FIG. 12 is a flowchart showing the second relational expression creation process. The second relational expression creating step is executed in the step shown in FIG.

すなわち、最初に、塗布液の流量を設定する（ステップＳ４１）。この場合には、制御部６０の制御により、選択された支管の支管流量計４５が示す流量値が、予め設定された目標値となるように、その支管の流量制御バルブ４４が調節される。そして、制御部６０の指令により、選択された支管の開閉バルブ４６が開放される。このときには、選択された支管以外の支管の開閉バルブ４６は閉止されている。   That is, first, the flow rate of the coating liquid is set (step S41). In this case, under the control of the control unit 60, the flow control valve 44 of the branch pipe is adjusted so that the flow value indicated by the branch pipe flow meter 45 of the selected branch pipe becomes a preset target value. Then, the opening / closing valve 46 of the selected branch pipe is opened by a command from the control unit 60. At this time, the open / close valve 46 of the branch pipe other than the selected branch pipe is closed.

この状態で、塗布液貯留部４１から、基準流量計４２、マニホールド４３、選択された支管の流量制御バルブ４４、支管流量計４５、開閉バルブ４６を介してノズル２３に塗布液を送り、ノズル２３より塗布液を吐出させる（ステップＳ４２）。そして、このときの流量制御バルブ４４の流量設定値を取得するとともに（ステップＳ４３）、そのときの支管流量計４５が示す流量値を取得する（ステップＳ４４）。これらの取得された流量制御バルブ４４の流量設定値および支管流量計４５が示す流量値は、制御部６０に送信される。   In this state, the coating liquid is sent from the coating liquid storage unit 41 to the nozzle 23 via the reference flow meter 42, the manifold 43, the flow control valve 44 of the selected branch pipe, the branch flow meter 45, and the opening / closing valve 46. The coating liquid is then discharged (step S42). The flow rate setting value of the flow rate control valve 44 at this time is acquired (step S43), and the flow rate value indicated by the branch flow meter 45 at that time is acquired (step S44). The obtained flow rate setting value of the flow rate control valve 44 and the flow rate value indicated by the branch flow meter 45 are transmitted to the control unit 60.

そして、必要な処理が終了するまで（ステップＳ４５）、再度、塗布液の流量を設定する（ステップＳ４１）。すなわち、制御部６０の制御により、選択された支管の支管流量計４５が示す流量値が、先の塗布液吐出工程（ステップＳ４２）における流量値とは異なる流量値となるように、その支管の流量制御バルブ４４が調節される。そして、上述した塗布液吐出工程（ステップＳ４２）、流量設定値取得工程（ステップＳ４３）、実流量値取得工程（ステップＳ４４）が繰り返し実行される。   Then, the flow rate of the coating solution is set again (step S41) until the necessary processing is completed (step S45). That is, under the control of the control unit 60, the flow rate value indicated by the branch flow meter 45 of the selected branch tube is set to a flow rate value different from the flow rate value in the previous coating liquid discharge step (step S42). The flow control valve 44 is adjusted. And the coating liquid discharge process (step S42) mentioned above, the flow volume setting value acquisition process (step S43), and the actual flow volume value acquisition process (step S44) are repeatedly performed.

すなわち、流量制御バルブ４４の流量設定値とそのときの支管流量計４５が示す流量値との間の関係は、実際にガラス基板１００に塗布液を塗布するときの塗布液の流量値に近い複数ポイント（例えば、３〜５ポイント）で求められる。例えば、流量の目標値を１００とした場合に、その８０％、９０％、１１０％、１２０％など、目標値の近傍の流量値に対して、同様の動作が実行される。このため、上述した流量設定工程（ステップＳ４１）、塗布液吐出工程（ステップＳ４２）、流量設定値取得工程（ステップＳ４３）および支管流量計４５の流量値取得工程（ステップＳ４４）は、複数回繰り返される。   That is, the relationship between the flow rate setting value of the flow rate control valve 44 and the flow rate value indicated by the branch flow meter 45 at that time is a plurality close to the flow rate value of the coating liquid when the coating liquid is actually applied to the glass substrate 100. It is calculated | required by a point (for example, 3-5 points). For example, when the flow rate target value is set to 100, the same operation is performed on the flow rate values near the target value, such as 80%, 90%, 110%, and 120%. For this reason, the flow rate setting step (step S41), the coating liquid discharge step (step S42), the flow rate set value acquisition step (step S43), and the flow rate value acquisition step (step S44) of the branch flow meter 45 are repeated a plurality of times. It is.

なお、この場合においても、３〜５ポイントよりもさらに多数のポイントで、流量制御バルブ４４の流量設定値とそのときの支管流量計４５が示す流量値との間の関係を求めてもよい。この場合にも、上述したような８０％〜１２０％の範囲だけではなく、５０％〜２００％等、必要とされる流量レンジによって、適宜選択すればよい。   In this case as well, the relationship between the flow rate setting value of the flow rate control valve 44 and the flow rate value indicated by the branch flow meter 45 at that time may be obtained at more points than 3 to 5 points. Also in this case, it may be appropriately selected depending on the required flow rate range such as 50% to 200% as well as 80% to 120% as described above.

必要な流量制御バルブ４４の流量設定値および支管流量計４５が示す流量値が取得された場合には（ステップＳ４５）、塗布液が供給されている支管の流量制御バルブ４４の流量設定値とその支管に配設された支管流量計４５が示す流量値との関係を示す第２関係式を作成する（ステップＳ４６）。   When the necessary flow rate setting value of the flow control valve 44 and the flow rate value indicated by the branch flow meter 45 are acquired (step S45), the flow rate setting value of the flow rate control valve 44 of the branch pipe to which the coating liquid is supplied and A second relational expression indicating the relationship with the flow rate value indicated by the branch pipe flow meter 45 disposed in the branch pipe is created (step S46).

図１３は、流量制御バルブ４４の流量設定値ｘと支管流量計４５が示す流量値ｆとの関係を示すグラフである。   FIG. 13 is a graph showing the relationship between the flow rate setting value x of the flow rate control valve 44 and the flow rate value f indicated by the branch flow meter 45.

図１３に示すグラフにおいては、流量制御バルブ４４の流量設定値ｘと支管流量計４５が示す流量値ｆとの関係が三点プロットされ、これらの三点を通る近似曲線（この実施形態においては直線）が、塗布液が供給されている支管の流量制御バルブ４４の流量設定値ｘと塗布液が供給されている支管の支管流量計４５が示す流量値ｆとの間の関係を示す第２関係式として求められている。この第２関係式も、例えば、最小二乗法を利用して導かれる。この第２関係式は、ＣおよびＤを係数としたときに、下記の式（２）で示される。   In the graph shown in FIG. 13, the relationship between the flow rate setting value x of the flow rate control valve 44 and the flow rate value f indicated by the branch flow meter 45 is plotted at three points, and an approximate curve passing through these three points (in this embodiment) A straight line) indicates the relationship between the flow rate setting value x of the flow control valve 44 of the branch pipe supplied with the coating liquid and the flow rate value f indicated by the branch pipe flow meter 45 of the branch pipe supplied with the coating liquid. It is calculated as a relational expression. This second relational expression is also derived using, for example, the least square method. This second relational expression is expressed by the following expression (2), where C and D are coefficients.

ｘ＝Ｃｆ＋Ｄ ・・・ （２）
この第２関係式も、上述したような１次式に限定されるものではない。塗布液が供給されている支管の流量設定値と塗布液が供給されている支管の支管流量計が示す流量値との関係を曲線で近似するようにしてもよい。また、測定ポイントを増加させることにより、複数の直線近似を行ってもよい。 x = Cf + D (2)
This second relational expression is not limited to the linear expression as described above. The relationship between the flow rate setting value of the branch pipe supplied with the coating liquid and the flow rate value indicated by the branch flow meter of the branch pipe supplied with the coating liquid may be approximated by a curve. Further, a plurality of linear approximations may be performed by increasing the measurement points.

なお、上述した実施形態においては、説明の便宜上、第２関係式作成工程（ステップＳ２）において、第１関係式作成工程（ステップＳ３）における流量設定工程（ステップＳ３１）および塗布液吐出工程（ステップＳ３２）と同様の流量設定工程（ステップＳ４１）および塗布液吐出工程（ステップＳ４２）を実行することとしている。しかしながら、これらの工程を一度に完了させてもよい。すなわち、第１関係式作成工程（ステップＳ３）における流量設定工程（ステップＳ３１）および塗布液吐出工程（ステップＳ３２）を実行した後に、基準流量計４２の流量値取得工程（ステップＳ３３）、支管流量計４５の流量値取得工程（ステップＳ３４）および流量制御バルブ４４の流量設定値取得工程（ステップＳ４３）を並行して実行するようにしてもよい。   In the embodiment described above, for convenience of explanation, in the second relational expression creating process (step S2), the flow rate setting process (step S31) and the coating liquid discharging process (step in the first relational expression creating process (step S3)). The same flow rate setting process (step S41) and coating liquid discharging process (step S42) as in S32) are executed. However, these steps may be completed at once. That is, after executing the flow rate setting step (step S31) and the coating liquid discharge step (step S32) in the first relational expression creation step (step S3), the flow rate value acquisition step (step S33) of the reference flow meter 42, the branch flow rate The flow rate value acquisition step (step S34) of the total 45 and the flow rate setting value acquisition step (step S43) of the flow rate control valve 44 may be executed in parallel.

再度、図７を参照して、以上の工程により第１関係式と第２関係式とが求められれば、次に異なる支管を選択して（ステップＳ２）、第１関係式作成工程（ステップＳ３）および第２関係式作成工程（ステップＳ４）を行う支管変更工程を実行する（ステップＳ５）。   Referring to FIG. 7 again, if the first relational expression and the second relational expression are obtained by the above steps, the next different branch pipe is selected (step S2), and the first relational expression creating step (step S3). ) And the second relational expression creating step (step S4) are executed (step S5).

そして、以上の工程により、全ての支管について第１関係式と第２関係式とが求められれば（ステップＳ５）、流量制御バルブ４４の調節工程を実行する（ステップＳ６）。この場合には、上述した式（１）のｆを式（２）に代入することにより、下記の式（３）を得る。   And if the 1st relational expression and the 2nd relational expression are calculated | required about all the branch pipes by the above process (step S5), the adjustment process of the flow control valve 44 will be performed (step S6). In this case, the following formula (3) is obtained by substituting f in the above formula (1) into the formula (2).

ｘ＝（Ｃ／Ａ）＊（Ｆ−Ｂ）＋Ｄ ・・・ （３）
この式（３）に基づいて流量制御バルブ４４の調節を実行した後、ガラス基板１００に対する塗布液の塗布を実行する（ステップＳ７）。このときには、先の基準流量計校正工程（ステップＳ１）において基準流量計４２の校正が完了しており、また、第２関係式作成工程（ステップＳ４）において流量制御バルブ４４の流量設定値と支管流量計４５が示す流量値との関係が補正されていることから、塗布液を正確な流量で吐出して塗布作業を実行することが可能となる。 x = (C / A) * (F−B) + D (3)
After adjusting the flow rate control valve 44 based on the equation (3), the coating liquid is applied to the glass substrate 100 (step S7). At this time, the calibration of the reference flow meter 42 has been completed in the previous reference flow meter calibration step (step S1), and the flow rate setting value of the flow control valve 44 and the branch pipe in the second relational expression creating step (step S4). Since the relationship with the flow rate value indicated by the flow meter 45 is corrected, the coating operation can be performed by discharging the coating liquid at an accurate flow rate.

なお、上述した基準流量計４２の校正工程（ステップＳ１）や、各支管毎の第１、第２関係式作成工程（ステップＳ２〜ステップＳ５）は、塗布液の塗布動作を行う毎に実行する必要はない。これらの工程は、例えば、塗布液の液種を変更した場合や、一定期間だけ塗布動作を行った場合等、必要な場合にのみ実行するようにすればよい。   The above-described calibration process (step S1) of the reference flow meter 42 and the first and second relational expression creation processes (steps S2 to S5) for each branch pipe are executed every time the coating liquid is applied. There is no need. These steps may be executed only when necessary, for example, when the type of the coating liquid is changed or when the coating operation is performed for a certain period.

また、上述した実施形態においては、各支管毎の第１、第２関係式作成工程（ステップＳ２〜ステップＳ５）を実行するときに、流量制御バルブ４０や基準流量計４２を介して塗布液を各支管に供給しているが、塗布液の塗布工程において、塗布液を各支管に供給するための専用のバイパスラインを配設してもよい。   Moreover, in embodiment mentioned above, when performing the 1st, 2nd relational expression preparation process (step S2-step S5) for every branch pipe, a coating liquid is supplied via the flow control valve 40 or the reference | standard flow meter 42. FIG. Although it supplies to each branch pipe, you may arrange | position the exclusive bypass line for supplying a coating liquid to each branch pipe in the application | coating liquid application process.

１０ 基板保持部
１１ 基板移動機構
１２ レール
１３ 基台
１４ 回転台
１５ 撮像部
１６ 試験塗布ステージ部
１７ 受液部
１８ 受液部
１９ ノズルピッチ調整機構
２０ 塗布ヘッド
２１ ヘッド移動機構
２２ ガイド部
２３ ノズル
２４ 塗布液供給部
２５ エア供給源
３１ スライダ
３２ 貫通孔
３３ プーリ
３４ 同期ベルト
４０ 流量制御バルブ
４１ 塗布液貯留部
４２ 基準流量計
４３ マニホールド
４４ 流量制御バルブ
４５ 支管流量計
４６ 開閉バルブ
５１ 開閉バルブ
５２ 校正部
５３ 容器
５４ 電子天秤
５５ チャンバー
５６ 蓋体
５７ 金属製の細管
６０ 制御部
１００ ガラス基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Substrate holding part 11 Substrate moving mechanism 12 Rail 13 Base 14 Rotating table 15 Imaging part 16 Test application stage part 17 Liquid receiving part 18 Liquid receiving part 19 Nozzle pitch adjusting mechanism 20 Coating head 21 Head moving mechanism 22 Guide part 23 Nozzle 24 Coating liquid supply section 25 Air supply source 31 Slider 32 Through hole 33 Pulley 34 Synchronous belt 40 Flow control valve 41 Coating liquid storage section 42 Reference flow meter 43 Manifold 44 Flow control valve 45 Branch flow meter 46 Open / close valve 51 Open / close valve 52 Calibration section 53 Container 54 Electronic Balance 55 Chamber 56 Lid 57 Metal Thin Tube 60 Control Unit 100 Glass Substrate

Claims (6)

塗布液を貯留する塗布液貯留部と、前記塗布液を吐出する複数のノズルと、前記塗布液貯留部から本管を介して供給される塗布液を前記ノズルに接続される複数の支管に分流する分岐部と、前記本管に配設され当該本管を流動する塗布液の流量を計測する基準流量計と、前記支管に各々配設され当該各支管を流動する塗布液の流量を計測する複数の支管流量計と、前記支管に各々配設され当該各支管を流動する塗布液の流量を調節する複数の流量制御バルブと、前記各支管流量計が計測した流量値に基づいて、前記各流量制御バルブの動作を制御する制御部と、を備え、基板に塗布液を塗布する塗布装置における塗布液塗布方法であって、
前記塗布液貯留部に貯留された塗布液を、前記本管を介して前記複数の支管のうちの一つの支管にのみ供給したときの前記本管に配設された基準流量計が示す流量値と、塗布液が供給されている支管に配設された支管流量計が示す流量値との間の関係を示す第１関係式を求める第１関係式作成工程と、
前記塗布液貯留部に貯留された塗布液を、前記本管を介して前記複数の支管のうちの一つの支管にのみ供給したときの、塗布液が供給されている支管に設けられた流量制御バルブの流量設定値と、当該支管に配設された支管流量計が示す流量値との関係を示す第２関係式を求める第２関係式作成工程と、
前記第１関係式作成工程と前記第２関係式作成工程とを、複数の支管のうちの他の支管について順次実行する支管変更工程と、
前記各支管に対して作成された前記第１関係式と前記第２関係式とに基づいて、前記各支管の流量制御バルブを制御して基板に塗布液を供給する塗布工程と、
を備えることを特徴とする塗布液塗布方法。 A coating liquid storage section that stores the coating liquid, a plurality of nozzles that discharge the coating liquid, and a coating liquid that is supplied from the coating liquid storage section via the main pipe is divided into a plurality of branch pipes connected to the nozzle A branching section, a reference flow meter that measures the flow rate of the coating liquid that flows in the main pipe and that flows in the main pipe, and measures the flow rate of the coating liquid that flows in each of the branch pipes that is arranged in the branch pipe. Based on a plurality of branch flow meters, a plurality of flow control valves that are respectively disposed on the branch pipes and adjust flow rates of the coating liquid that flows through the branch pipes, and flow rates measured by the branch pipe flow meters, A control unit for controlling the operation of the flow rate control valve, and a coating liquid coating method in a coating apparatus for coating the substrate with the coating liquid,
A flow rate value indicated by a reference flow meter disposed in the main pipe when the coating liquid stored in the coating liquid storage section is supplied to only one branch pipe of the plurality of branch pipes through the main pipe. And a first relational expression creating step for obtaining a first relational expression showing a relation between a flow rate value indicated by a branch flowmeter disposed in the branch pipe supplied with the coating liquid,
Flow rate control provided in the branch pipe to which the coating liquid is supplied when the coating liquid stored in the coating liquid storage section is supplied to only one branch pipe of the plurality of branch pipes through the main pipe. A second relational expression creating step for obtaining a second relational expression indicating a relation between a flow rate setting value of the valve and a flow rate value indicated by a branch flow meter disposed in the branch;
A branch change step for sequentially executing the first relational expression creating step and the second relational expression creating step for other branch pipes among a plurality of branch pipes;
Based on the first relational expression and the second relational expression created for each branch pipe, an application step of controlling the flow rate control valve of each branch pipe and supplying a coating liquid to the substrate;
A coating liquid coating method comprising: 請求項１に記載の塗布液塗布方法において、
前記第１関係式作成工程においては、
前記塗布液貯留部に貯留された塗布液を、前記本管を介して前記複数の支管のうちの一つの支管にのみ供給する動作を、前記流量制御バルブの開度を変更して複数回繰り返す塗布液塗布方法。 In the coating liquid coating method according to claim 1,
In the first relational expression creating step,
The operation of supplying the coating liquid stored in the coating liquid reservoir to only one of the plurality of branch pipes through the main pipe is repeated a plurality of times by changing the opening of the flow control valve. Coating liquid coating method. 請求項１または請求項２に記載の塗布液塗布方法において、
前記第２関係式作成工程においては、
前記塗布液貯留部に貯留された塗布液を、前記本管を介して前記複数の支管のうちの一つの支管にのみ供給する動作を、前記流量制御バルブの開度を変更して複数回繰り返す塗布液塗布方法。 In the coating liquid coating method according to claim 1 or 2,
In the second relational expression creating step,
The operation of supplying the coating liquid stored in the coating liquid reservoir to only one of the plurality of branch pipes through the main pipe is repeated a plurality of times by changing the opening of the flow control valve. Coating liquid coating method. 請求項１から請求項３のいずれか記載の塗布液塗布方法において、
前記第２関係式作成工程の前に、前記本管を通過した塗布液の重量とそのときの前記基準流量計が計測した流量値とに基づいて、前記基準流量計の校正を実行する校正工程を備える塗布液塗布方法。 In the coating liquid coating method according to any one of claims 1 to 3,
Calibration step of performing calibration of the reference flow meter based on the weight of the coating liquid that has passed through the main pipe and the flow rate value measured by the reference flow meter at that time before the second relational expression creating step A coating liquid coating method comprising: 基板に塗布液を塗布する塗布装置であって、
前記塗布液を貯留する塗布液貯留部と、
前記塗布液を吐出する複数のノズルと、
前記塗布液貯留部から本管を介して供給される塗布液を、前記ノズルに接続される複数の支管に分流する分岐部と、
前記本管に配設され、当該本管を流動する塗布液の流量を計測する基準流量計と、
前記支管に各々配設され、当該各支管を流動する塗布液の流量を計測する複数の支管流量計と、
前記支管に各々配設され、当該各支管を流動する塗布液の流量を調節する複数の流量制御バルブと、
前記各支管流量計が計測した流量値に基づいて、前記各流量制御バルブの動作を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記本管へ供給された塗布液が、前記複数の支管から選択された単一の支管にのみに供給され他の支管への塗布液の供給が閉止された状態で計測された前記基準流量計が示す流量値と、前記塗布液が供給されている支管に設けられた支管流量計が示す流量値との関係を示す第１関係式と、前記塗布液が供給されている支管に設けられた流量制御バルブの流量設定値と、当該支管に配設された支管流量計が示す流量値との関係を示す第２関係式と、に基づいて前記流量制御バルブを制御する塗布装置。 A coating apparatus for applying a coating liquid to a substrate,
A coating solution reservoir for storing the coating solution;
A plurality of nozzles for discharging the coating liquid;
A branching portion for diverting the coating liquid supplied from the coating liquid reservoir through the main pipe to a plurality of branch pipes connected to the nozzle;
A reference flow meter which is disposed in the main pipe and measures the flow rate of the coating liquid flowing through the main pipe;
A plurality of branch flow meters each disposed in the branch pipe and measuring the flow rate of the coating liquid flowing through the branch pipes;
A plurality of flow rate control valves that are respectively disposed on the branch pipes and adjust the flow rate of the coating liquid flowing through the branch pipes;
A controller that controls the operation of each flow control valve based on the flow value measured by each branch flow meter, and
The control unit measures the coating liquid supplied to the main pipe in a state where the supply liquid is supplied only to a single branch pipe selected from the plurality of branch pipes and the supply of the coating liquid to the other branch pipes is closed. A first relational expression indicating a relationship between a flow value indicated by the reference flow meter and a flow value indicated by a branch flow meter provided in the branch pipe to which the coating liquid is supplied; and the coating liquid is supplied. Application for controlling the flow rate control valve based on a second relational expression showing a relationship between a flow rate setting value of the flow rate control valve provided in the branch pipe and a flow rate value indicated by the branch flow meter arranged in the branch pipe apparatus. 請求項５に記載の塗布装置において、
前記分岐部から分岐する校正用支管と、
前記校正用支管に配設された開閉弁と、
前記本管に供給された塗布液が、前記校正用支管にのみに供給され他の支管への塗布液の供給が閉止された状態で、前記校正用支管から排出された塗布液を受ける容器と、
前記容器およびそこに貯留された塗布液の重量を計測する電子天秤と、
を備え、
前記基準流量計の校正を実行する基準流量校正機構を備える塗布装置。
The coating apparatus according to claim 5, wherein
A calibration branch branched from the branch,
An on-off valve disposed in the calibration branch;
A container for receiving the coating liquid discharged from the calibration branch pipe while the coating liquid supplied to the main pipe is supplied only to the calibration branch pipe and the supply of the coating liquid to the other branch pipes is closed; ,
An electronic balance for measuring the weight of the container and the coating liquid stored therein; and
With
A coating apparatus comprising a reference flow rate calibration mechanism for calibrating the reference flow meter.
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