JP2012183745A - Liquid jetting head, liquid jetting head unit, and liquid jetting device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関する。 The present invention relates to a liquid ejecting head, a liquid ejecting head unit, and a liquid ejecting apparatus.
従来から、圧電素子、あるいは発熱素子等の圧力発生手段によって液体に圧力を付与す
ることで、ノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッドが知られており、その代表例として
は、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。
Conventionally, there has been known a liquid ejecting head that ejects liquid droplets from a nozzle by applying pressure to a liquid by a pressure generating means such as a piezoelectric element or a heat generating element. As a typical example, an ink droplet is ejected. An ink jet recording head.
インクジェット式記録ヘッド（ユニット）としては、例えば、インク滴を噴射するノズ
ル開口が穿設されたノズルプレートと、ノズル開口に連通する圧力発生室や複数の圧力発
生室が連通するリザーバー（連通部）等の流路が形成された流路形成基板と、を有するヘ
ッド本体を複数備え、これら複数のヘッド本体のノズルプレートをそれぞれ固定板に位置
決めした後に、ヘッド本体を固定板に接着剤で固定されたものがある（例えば、特許文献
１参照）。
As an ink jet recording head (unit), for example, a nozzle plate having nozzle openings for ejecting ink droplets, a pressure generating chamber communicating with the nozzle openings, and a reservoir (communication portion) communicating with a plurality of pressure generating chambers A plurality of head main bodies having a flow path forming substrate on which the flow paths are formed, and after positioning the nozzle plates of the plurality of head main bodies on the fixing plates, the head main bodies are fixed to the fixing plates with an adhesive. (See, for example, Patent Document 1).
しかしながら、このように固定板にヘッド本体を固定した場合に、ヘッド本体に設けら
れたノズルプレートが剥離してしまうことがある。これは、ヘッド本体が、流路形成基板
等の複数の基板を接着剤を用いて固定したものであるが、これらの基板がそれぞれ異なる
材料で構成されているためである。つまり、それぞれの基板が異なる線膨張係数を有して
いるため、環境温度が変化した場合に、ヘッド本体に反りが発生するため、接着剤で積層
された基板間で剥離が生じることがある。
However, when the head main body is fixed to the fixing plate in this way, the nozzle plate provided on the head main body may be peeled off. This is because the head body is obtained by fixing a plurality of substrates such as a flow path forming substrate using an adhesive, and these substrates are made of different materials. That is, since each substrate has a different linear expansion coefficient, the head main body is warped when the environmental temperature changes, so that separation may occur between the substrates laminated with the adhesive.
そこで、本発明の課題は、上記した従来技術の問題点を解決することにあり、ヘッド本
体を構成する基板間の剥離を抑制した液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体
噴射装置を提供しようとするものである。
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-described problems of the prior art, and an attempt is made to provide a liquid ejecting head, a liquid ejecting head unit, and a liquid ejecting apparatus in which peeling between substrates constituting the head body is suppressed. To do.
本発明の液体噴射ヘッドは、液体を噴射するノズル開口が設けられたノズルプレートと
、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、前記ノズルプレー
トと前記流路形成基板との間に設けられ、該圧力発生室と前記ノズル開口に連通する連通
路が設けられた連通板と、前記圧力発生室に圧力を付与して前記ノズル開口から液体を噴
射させる圧力発生手段とを含むヘッド本体、及び前記連通板と該連通板の外周部で接合さ
れて該ヘッド本体が固定される固定部材を備え、該固定板には、前記ノズル開口が露出さ
れる露出部開口と、該露出部開口の周囲の少なくとも一部に形成された貫通孔とが設けら
れていることを特徴とする。
本発明によれば、固定板に露出部以外に貫通孔が設けられていることで、ノズルプレー
ト、連通板、流路形成基板などの積層基板での線膨張係数の違いによる液体噴射ヘッドの
反りが発生したとしても、その応力を緩和して基板間の剥離を抑制することが可能である
。
The liquid ejecting head according to the present invention includes a nozzle plate provided with a nozzle opening for ejecting liquid, a flow path forming substrate in which a pressure generation chamber communicating with the nozzle opening is formed, the nozzle plate, and the flow path forming substrate. A communication plate provided between the pressure generating chamber and the nozzle opening, and pressure generating means for applying pressure to the pressure generating chamber and ejecting liquid from the nozzle opening. Including a head main body, and a fixing member that is joined to the communication plate and an outer peripheral portion of the communication plate to fix the head main body, and the fixing plate has an exposed portion opening through which the nozzle opening is exposed, And a through hole formed in at least a part of the periphery of the opening of the exposed portion.
According to the present invention, since the fixed plate is provided with the through hole in addition to the exposed portion, the warp of the liquid ejecting head due to the difference in the linear expansion coefficient in the laminated substrate such as the nozzle plate, the communication plate, and the flow path forming substrate. Even if this occurs, it is possible to relieve the stress and suppress separation between the substrates.
本発明の好ましい実施形態としては、前記貫通孔が、前記露出部開口の周縁部の少なく
とも一部に設けられている第１貫通孔であることや、前記貫通孔が、前記露出部開口の外
周側の少なくとも一部に前記露出部開口とは不連続となるように設けられている第２貫通
孔であることが挙げられる。
As a preferred embodiment of the present invention, the through hole is a first through hole provided in at least a part of a peripheral edge of the exposed portion opening, or the through hole is an outer periphery of the exposed portion opening. It is mentioned that it is the 2nd through-hole provided in the at least one part of the side so that the said exposure part opening may become discontinuous.
前記ヘッド本体は、圧力発生室に液体流路を介して連通し、複数の圧力発生室にとって
共通の液体流路となるマニホールドと、該マニホールドに液体を導入するための液体導入
口が設けられた導入口形成基板とを備え、前記貫通孔は、少なくともその一部が該液体導
入口に対向して設けられていることが好ましい。液体導入口に対向して貫通孔が設けられ
ていることで、液体導入時の衝撃がノズルプレートに伝わることを抑制している。
The head body is provided with a manifold that serves as a common liquid flow path for a plurality of pressure generation chambers, and a liquid introduction port for introducing liquid into the manifold. It is preferable that the through hole is provided so that at least a part of the through hole faces the liquid inlet. By providing the through hole so as to face the liquid inlet, it is possible to prevent the impact at the time of introducing the liquid from being transmitted to the nozzle plate.
本発明の液体噴射ヘッドユニットは、上記いずれかの前記液体噴射ヘッドを複数有する
ことを特徴とする。本発明の液体噴射ヘッドユニットは、線膨張係数の違いから発生した
反りによる応力による液体噴射ヘッドの積層基板の剥離を抑制できる液体噴射ヘッドを有
することで、液体噴射特性が優れている。
The liquid ejecting head unit according to the invention includes a plurality of the liquid ejecting heads described above. The liquid ejecting head unit of the present invention has excellent liquid ejecting characteristics by including the liquid ejecting head that can suppress the peeling of the laminated substrate of the liquid ejecting head due to the stress caused by the warp caused by the difference in linear expansion coefficient.
また、本発明の液体噴射装置は、上記いずれかの前記液体噴射ヘッドを有することを特
徴とする。本発明の液体噴射装置は、線膨張係数の違いから発生した反りによる応力によ
る液体噴射ヘッドの積層基板の剥離を抑制できる液体噴射ヘッドを有することで、液体噴
射特性が優れている。
According to another aspect of the invention, a liquid ejecting apparatus includes any one of the liquid ejecting heads described above. The liquid ejecting apparatus according to the aspect of the invention has excellent liquid ejecting characteristics by including the liquid ejecting head that can suppress the peeling of the laminated substrate of the liquid ejecting head due to the stress caused by the warp generated due to the difference in the linear expansion coefficient.
（実施形態１）
まず、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット
式記録ヘッドユニット（以下、単にヘッドユニットとも言う）について説明する。なお、
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドユニットの分解斜視図で
ある。
(Embodiment 1)
First, an ink jet recording head unit (hereinafter also simply referred to as a head unit), which is an example of a liquid ejecting head unit according to Embodiment 1 of the invention, will be described. In addition,
FIG. 1 is an exploded perspective view of an ink jet recording head unit according to Embodiment 1 of the present invention.
図１に示すように、インクジェット式記録ヘッドユニット１は、液体噴射ヘッドの一例
である複数（本実施例では、例として４個）のインクジェット式記録ヘッド１０（以下、
単に「記録ヘッド」という）と、保持部材６０とを備える。記録ヘッド１０は、インクジ
ェット式記録ヘッド本体２０（以下、単に「記録ヘッド本体」という）と、各記録ヘッド
本体２０がそれぞれ位置決めされた後で、接着剤で固定される固定板７０とで構成されて
いる。
As shown in FIG. 1, the ink jet recording head unit 1 includes a plurality of ink jet recording heads 10 (hereinafter, four as an example in the present embodiment) that are examples of liquid ejecting heads (hereinafter referred to as “ink jet recording heads”).
And a holding member 60. The recording head 10 includes an ink jet recording head main body 20 (hereinafter simply referred to as “recording head main body”) and a fixing plate 70 that is fixed with an adhesive after each recording head main body 20 is positioned. ing.
保持部材６０は、例えば、樹脂材料で形成され、その内部に回路基板やインク連通路が
形成された流路部材を備えている。保持部材６０の上面（記録ヘッド本体２０とは逆側の
面）にはインク供給針６１（本実施例では、８個）が固定されている。このインク供給針
６１は、各色のインクが貯留されたインクカートリッジ（図示なし）に接続されたチュー
ブに接合される。このインク供給針６１には、インク連通路の一端が連通している。イン
ク連通路の他端は記録ヘッド本体２０側（保持部材６０の底面側）に開口している。即ち
、インクはインクカートリッジからインク供給針６１を介してこのインク連通路に供給さ
れ、供給されたインクは、詳しくは後述するようにインク導入路を介して記録ヘッド本体
２０にそれぞれ供給される。
The holding member 60 includes, for example, a flow path member formed of a resin material and having a circuit board and an ink communication path formed therein. Ink supply needles 61 (eight in this embodiment) are fixed to the upper surface of the holding member 60 (the surface opposite to the recording head main body 20). The ink supply needle 61 is joined to a tube connected to an ink cartridge (not shown) in which each color ink is stored. One end of the ink communication path communicates with the ink supply needle 61. The other end of the ink communication path opens to the recording head main body 20 side (the bottom surface side of the holding member 60). That is, ink is supplied from the ink cartridge to the ink communication path via the ink supply needle 61, and the supplied ink is supplied to the recording head main body 20 via the ink introduction path as will be described in detail later.
保持部材６０の底面には、所定間隔で位置決めされた複数の記録ヘッド本体２０が固定
される。各記録ヘッド本体２０は各色のインクに対応してそれぞれ設けられている。
A plurality of recording head main bodies 20 positioned at predetermined intervals are fixed to the bottom surface of the holding member 60. Each recording head body 20 is provided corresponding to each color ink.
この場合に、記録ヘッド１０は、記録ヘッド１０の長手方向である第１方向に向かって
千鳥状に配置されることで、第１方向に同一ピッチで長尺化したノズル列を形成すること
ができる。なお、ここで言う記録ヘッド１０が千鳥状に配置されているとは、複数の記録
ヘッド１０が後述するノズル開口２６（図２参照）の並設方向でもある第１方向に向かっ
て並設されており、第１方向に並設された複数（２つ）の記録ヘッド１０で構成されるヘ
ッド列が、ノズル開口が並設された第１方向とは交差する方向である第２方向において２
列設けられている。ここで、一方の列を第１のヘッド列、もう一方の列を第２のヘッド列
とする。そして、第１のヘッド列を構成している記録ヘッド１０のノズル列の端部にある
ノズル開口と第２のヘッド列を構成している記録ヘッド１０のノズル列の端部にあるノズ
ル開口は、第２方向とは交差する方向において、重畳するように配置されている。このと
き、１つの記録ヘッド１０に第１方向に延びるノズル列が複数形成されている場合には、
第１のヘッド列を構成する記録ヘッド１０の少なくとも１つのノズル列の端部のノズル開
口が、第２のヘッド列の記録ヘッド１０の少なくとも１つのノズル列の端部のノズル開口
と、第２方向において重畳していれば良い。このような構成により、記録ヘッド１０単体
としては印刷面積が小さくても、インクジェット式記録ヘッドユニット１として見ると、
恰も第１方向において非常に長いノズル列を有する記録ヘッドを用いて印刷した場合のよ
うに短い時間で大面積の印刷が可能となる。
In this case, the recording heads 10 are arranged in a staggered pattern in the first direction, which is the longitudinal direction of the recording head 10, thereby forming a nozzle row that is elongated at the same pitch in the first direction. it can. Here, the recording heads 10 are arranged in a staggered manner in which a plurality of recording heads 10 are arranged in parallel in the first direction, which is also the direction in which nozzle openings 26 (see FIG. 2) described later are arranged. The head row composed of a plurality (two) of the recording heads 10 arranged in parallel in the first direction is 2 in the second direction, which is a direction intersecting the first direction in which the nozzle openings are arranged in parallel.
A column is provided. Here, one row is a first head row and the other row is a second head row. The nozzle opening at the end of the nozzle row of the recording head 10 constituting the first head row and the nozzle opening at the end of the nozzle row of the recording head 10 constituting the second head row are: In the direction intersecting with the second direction, they are arranged so as to overlap each other. At this time, when a plurality of nozzle rows extending in the first direction are formed in one recording head 10,
A nozzle opening at an end of at least one nozzle row of the recording head 10 constituting the first head row is a nozzle opening at an end of at least one nozzle row of the recording head 10 in the second head row. What is necessary is just to have overlapped in the direction. With such a configuration, even if the printing area of the recording head 10 is small, when viewed as the ink jet recording head unit 1,
As a result, a large area can be printed in a short time as in the case of printing using a recording head having a very long nozzle array in the first direction.
以下、記録ヘッド１０の構成の一例について、図２及び図３を参照して説明する。なお
、図２は、本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図であり、図３は、記録ヘッ
ドの圧力発生室の長手方向中央における断面図である。
Hereinafter, an example of the configuration of the recording head 10 will be described with reference to FIGS. 2 is an exploded perspective view of the recording head according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view at the center in the longitudinal direction of the pressure generating chamber of the recording head.
図２及び図３に示すように、記録ヘッド１０は、記録ヘッド本体２０と、固定板７０と
からなる。記録ヘッド本体２０は、流路形成基板２１を有する。流路形成基板２１の一方
側の面（図３中上方）には、弾性膜２８及び絶縁体膜２９を介して複数の圧電素子３０が
形成されている。また、流路形成基板２１の他方側の面（図３中下方）には、連通板２３
が設けられている。そして、流路形成基板２１には、圧力発生室２２が形成されている。
圧力発生室２２は、弾性膜２８と連通板２３とによりその天井面及び底面が封止されてい
る。
As shown in FIGS. 2 and 3, the recording head 10 includes a recording head body 20 and a fixed plate 70. The recording head body 20 has a flow path forming substrate 21. A plurality of piezoelectric elements 30 are formed on one surface (upper side in FIG. 3) of the flow path forming substrate 21 via an elastic film 28 and an insulator film 29. Further, a communication plate 23 is provided on the other surface (lower side in FIG. 3) of the flow path forming substrate 21.
Is provided. A pressure generating chamber 22 is formed in the flow path forming substrate 21.
The pressure generation chamber 22 is sealed at its ceiling and bottom by an elastic film 28 and a communication plate 23.
これらの複数の圧力発生室２２は、流路形成基板２１のその幅方向に並設されている。
本実施形態では、この圧力発生室列は、流路形成基板２１に２列設けられている。この圧
力発生室２２のそれぞれが並設された方向が前述した第１方向であり、圧力発生室の列が
列設された方向が前述した第２方向である。
The plurality of pressure generating chambers 22 are juxtaposed in the width direction of the flow path forming substrate 21.
In this embodiment, two rows of pressure generation chambers are provided on the flow path forming substrate 21. The direction in which the pressure generating chambers 22 are arranged in parallel is the first direction described above, and the direction in which the rows of pressure generating chambers are arranged is the second direction described above.
また、各圧力発生室２２のインク流入側にはインク供給路２４が形成されている。連通
板２３には、各圧力発生室２２のインク供給路２４の端部とは逆の端部に対向してノズル
連通孔２３ａが形成されている。インク供給路２４とノズル連通孔２３ａは、圧力発生室
２２毎に設けられる個別流路である。連通板２３の圧力発生室２２とは逆側の面には、こ
れらノズル連通孔２３ａに連通するそれぞれのノズル開口２６が穿設されたノズルプレー
ト２７が接合されている。ノズルプレート２７は、上述した第２方向における幅が連通板
２３の幅よりも小さくなるように形成されている。
An ink supply path 24 is formed on the ink inflow side of each pressure generating chamber 22. A nozzle communication hole 23 a is formed in the communication plate 23 so as to face the end opposite to the end of the ink supply path 24 of each pressure generating chamber 22. The ink supply path 24 and the nozzle communication hole 23 a are individual flow paths provided for each pressure generation chamber 22. On the surface of the communication plate 23 opposite to the pressure generating chamber 22, a nozzle plate 27 in which the respective nozzle openings 26 communicating with the nozzle communication holes 23 a are formed is joined. The nozzle plate 27 is formed so that the width in the second direction described above is smaller than the width of the communication plate 23.
このように、ノズルプレート２７の幅を連通板２３の幅よりも小さくすることにより、
高価なノズルプレート２７をより小さく形成することができるので、製造コストを低下さ
せることが可能である。特に、ノズルプレートの表面に撥液性（インクに対する撥水性）
を有する撥液膜が設けられている場合には、高価な撥液膜の面積を低減させることができ
るので、顕著なコスト低減効果が得られる。
Thus, by making the width of the nozzle plate 27 smaller than the width of the communication plate 23,
Since the expensive nozzle plate 27 can be made smaller, the manufacturing cost can be reduced. In particular, the liquid repellency (water repellency to ink) on the surface of the nozzle plate
In the case where the liquid repellent film having the thickness is provided, the area of the expensive liquid repellent film can be reduced, so that a remarkable cost reduction effect can be obtained.
また、流路形成基板２１のノズルプレート２７と逆側の面上には、上述のように複数の
圧電素子３０が設けられている。圧電素子３０は、第１方向に並設された列が、第２方向
において２列設けられている。圧電素子３０は、第１電極３１と、圧電体層３２と、第２
電極３３とで構成されている。各圧電素子３０を構成する第２電極３３には、絶縁体膜２
９上まで延設されたリード電極３４が接続されている。リード電極３４は、一端部が第２
電極３３に接続されていると共に、他端部側が、フレキシブル配線部材（ＣＯＦ基板）で
あり圧電素子３０を駆動するための駆動ＩＣ３５ａが実装された駆動配線３５（図２中は
省略した）と接続されている。このように駆動配線３５の一端側にはリード電極３４が接
続され、駆動配線３５の他端側はカートリッジケース内に設けられた図示しない回路基板
に固定されている。尚、ここでは、フレキシブル配線部材としてＣＯＦ基板を用いたが、
これに代わって、ＦＰＣ基板やＴＣＰ基板のような回路基板を用いることもできる。
In addition, a plurality of piezoelectric elements 30 are provided on the surface of the flow path forming substrate 21 opposite to the nozzle plate 27 as described above. The piezoelectric element 30 has two rows arranged in the first direction in the second direction. The piezoelectric element 30 includes a first electrode 31, a piezoelectric layer 32, and a second
It is comprised with the electrode 33. FIG. The second electrode 33 constituting each piezoelectric element 30 has an insulator film 2
A lead electrode 34 extending up to 9 is connected. One end of the lead electrode 34 is second.
Connected to the electrode 33, the other end is a flexible wiring member (COF substrate) and is connected to a driving wiring 35 (not shown in FIG. 2) on which a driving IC 35a for driving the piezoelectric element 30 is mounted. Has been. Thus, the lead electrode 34 is connected to one end side of the drive wiring 35, and the other end side of the drive wiring 35 is fixed to a circuit board (not shown) provided in the cartridge case. In this example, a COF substrate is used as the flexible wiring member.
Alternatively, a circuit board such as an FPC board or a TCP board can be used.
このような圧電素子３０が形成された流路形成基板２１上には、圧電素子３０に対向す
る領域に、圧電素子３０を内包するための空間である圧電素子保持部３６を備えた接合基
板３７が接合されている。これらの接合基板３７及び流路形成基板２１の周囲を囲むよう
に、枠体である第１ケース部材３８が連通板２３の外縁部上に接合されている。即ち、第
１ケース部材３８の枠体内部に接合基板３７及び流路形成基板２１が収容されていること
になる。
On the flow path forming substrate 21 on which such a piezoelectric element 30 is formed, a bonding substrate 37 provided with a piezoelectric element holding portion 36 that is a space for containing the piezoelectric element 30 in a region facing the piezoelectric element 30. Are joined. A first case member 38, which is a frame body, is bonded onto the outer edge portion of the communication plate 23 so as to surround the periphery of the bonding substrate 37 and the flow path forming substrate 21. That is, the bonding substrate 37 and the flow path forming substrate 21 are accommodated inside the frame of the first case member 38.
そして、これらの接合基板３７、第１ケース部材３８、及びコンプライアンス基板４６
によりマニホールド部３９が概ね画成されている。このマニホールド部３９は、連通板２
３、第１ケース部材３８、及び流路形成基板２１とで概ね画成された連通部２５に連通す
る。連通部２５は、流路形成基板２１のインク供給路２４に連通する。この連通部２５と
マニホールド部３９とにより各圧力発生室２２にとって共通の液体流路となるマニホール
ド４０が構成されている。
The bonding substrate 37, the first case member 38, and the compliance substrate 46
As a result, the manifold portion 39 is generally defined. The manifold portion 39 is connected to the communication plate 2
3, the first case member 38 and the flow path forming substrate 21 communicate with a communication portion 25 that is generally defined. The communication part 25 communicates with the ink supply path 24 of the flow path forming substrate 21. The communication portion 25 and the manifold portion 39 constitute a manifold 40 serving as a common liquid flow path for the pressure generating chambers 22.
また、接合基板３７には、接合基板３７を厚さ方向に貫通する貫通孔４１が設けられて
いる。貫通孔４１は、本実施形態では、２つの圧電素子列の間に設けられている。そして
、各圧電素子３０から引き出されたリード電極３４の端部近傍は、貫通孔４１内に露出す
るように設けられている。
The bonding substrate 37 is provided with a through hole 41 that penetrates the bonding substrate 37 in the thickness direction. In the present embodiment, the through hole 41 is provided between two piezoelectric element arrays. The vicinity of the end portion of the lead electrode 34 drawn out from each piezoelectric element 30 is provided so as to be exposed in the through hole 41.
さらに接合基板３７及び第１ケース部材３８上には、封止膜４４及び封止膜４４を補強
する補強板４５とからなるコンプライアンス基板（導入口形成基板）４６が接合されてい
る。ここで、封止膜４４は、剛性が低く可撓性を有する材料からなり、この封止膜４４に
よってマニホールド部３９の一方面が封止されている。このように封止膜４４でマニホー
ルド部３９の一方面を封止することで、例えば、マニホールド４０よりも上流側にあるイ
ンクがマニホールド４０内に流入した際に発生する圧力を封止膜４４が吸収でき、ノズル
開口２６からインクが誤って吐出されてしまうことを防止することができる。また、補強
板４５は、金属等の硬質の材料で形成されている。この補強板４５のマニホールド４０に
対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４７となっているため、マニホール
ド４０の一方面は可撓性を有する封止膜４４のみで封止されている。即ち、コンプライア
ンス基板４６は、この開口部４７が凹部となるように構成されている。
Further, a compliance substrate (introduction port forming substrate) 46 including a sealing film 44 and a reinforcing plate 45 that reinforces the sealing film 44 is bonded onto the bonding substrate 37 and the first case member 38. Here, the sealing film 44 is made of a material having low rigidity and flexibility, and one surface of the manifold portion 39 is sealed by the sealing film 44. By sealing one surface of the manifold portion 39 with the sealing film 44 in this way, for example, the sealing film 44 generates pressure generated when ink on the upstream side of the manifold 40 flows into the manifold 40. The ink can be absorbed, and ink can be prevented from being accidentally ejected from the nozzle opening 26. The reinforcing plate 45 is formed of a hard material such as metal. Since the region of the reinforcing plate 45 facing the manifold 40 is an opening 47 that is completely removed in the thickness direction, one surface of the manifold 40 is sealed only with a flexible sealing film 44. Has been. That is, the compliance substrate 46 is configured such that the opening 47 becomes a recess.
コンプライアンス基板４６には、上述してきた第１方向において、開口部４７の中央部
に開口部４７にせり出すような延設部４７ａが設けられている。延設部４７ａには、マニ
ホールド４０内にマニホールド４０よりも上流側から流れてくるインクを導入するための
インレットとなるインク導入口４８が設けられている。即ち、封止膜４４が剛性を有して
いないためにインク導入口４８を形成することができないので、補強板４５に延設部４７
ａを設け、この延設部４７ａにインク導入口４８を設けている。このように開口部４７の
幅が延設部４７ａにより狭まることでコンプライアンス基板４６の第１方向の剛性はこの
延設部４７ａが設けられた近辺で高くなる。従って、記録ヘッド本体２０の第１方向にお
いて、インク導入口４８の周囲は開口部４７の他の部分に比べて剛性が高くなっている箇
所が存在する。
The compliance substrate 46 is provided with an extending portion 47 a that protrudes from the opening 47 in the center of the opening 47 in the first direction described above. The extended portion 47 a is provided with an ink introduction port 48 serving as an inlet for introducing ink flowing from the upstream side of the manifold 40 into the manifold 40. That is, since the ink introduction port 48 cannot be formed because the sealing film 44 does not have rigidity, the extending portion 47 is provided on the reinforcing plate 45.
a, and an ink inlet 48 is provided in the extended portion 47a. As described above, the width of the opening 47 is narrowed by the extending portion 47a, whereby the rigidity of the compliance substrate 46 in the first direction is increased in the vicinity where the extending portion 47a is provided. Therefore, in the first direction of the recording head main body 20, there are places around the ink introduction port 48 that have higher rigidity than other portions of the opening 47.
コンプライアンス基板４６上には、第２ケース部材４９が固定されている。第２ケース
部材４９には、インク導入口４８に連通し、カートリッジ等の貯留手段からのインクをマ
ニホールド４０に供給するインク導入路５０が設けられている。さらに、第２ケース部材
４９には、図２に示すように、接合基板３７に設けられた貫通孔４１と連通する駆動配線
３５を挿通する挿通孔５１が設けられており、駆動配線３５は挿通孔５１内に挿通された
状態でその一端側がリード電極３４と接続されている。
A second case member 49 is fixed on the compliance substrate 46. The second case member 49 is provided with an ink introduction path 50 that communicates with the ink introduction port 48 and supplies ink from a storage unit such as a cartridge to the manifold 40. Further, as shown in FIG. 2, the second case member 49 is provided with an insertion hole 51 through which the driving wiring 35 communicating with the through hole 41 provided in the bonding substrate 37 is inserted. One end of the hole 51 is connected to the lead electrode 34 while being inserted into the hole 51.
本実施形態では、記録ヘッド本体２０を構成する連通板２３の圧力発生室２２とは逆側
の面には、図示しない接着層で接着された固定板（固定部材）７０が設けられている。こ
の固定板７０の底面は、記録ヘッド本体２０の底面となる連通板２３の外形よりも大きい
矩形状となるように構成されており、この固定板７０の上面と記録ヘッド本体２０の外周
縁部とで構成された角部には、モールド部材５２（図３参照）が設けられている。このモ
ールド部材５２は、本実施形態では連通板２３と第１ケース部材３８との接合面より上側
に亘って設けられており、これによりインクが接着層を通って連通板２３と第１ケース部
材３８との接合面から流路内部へとの間に回りこむことを防止している。
In the present embodiment, a fixing plate (fixing member) 70 bonded with an adhesive layer (not shown) is provided on the surface of the communication plate 23 constituting the recording head body 20 on the side opposite to the pressure generating chamber 22. The bottom surface of the fixed plate 70 is configured to have a rectangular shape that is larger than the outer shape of the communication plate 23 that forms the bottom surface of the recording head main body 20, and the upper surface of the fixed plate 70 and the outer peripheral edge of the recording head main body 20. The mold member 52 (refer FIG. 3) is provided in the corner | angular part comprised by these. In this embodiment, the mold member 52 is provided above the joint surface between the communication plate 23 and the first case member 38, whereby ink passes through the adhesive layer and the communication plate 23 and the first case member. It is prevented that it wraps around between the joint surface with 38 and the inside of the flow path.
固定板７０の底面には、ノズル開口２６が露出するように矩形状の露出部開口７１が形
成されている。露出部開口７１は、ノズルプレート２７の外形よりもやや大きくなるよう
に設けられている。固定板７０の縁部は、記録ヘッド本体２０側に屈曲し立ち上がって壁
状となっている。即ち、この固定板７０は、側壁部を有する箱状形状を有している。
A rectangular exposed portion opening 71 is formed on the bottom surface of the fixed plate 70 so that the nozzle opening 26 is exposed. The exposed portion opening 71 is provided to be slightly larger than the outer shape of the nozzle plate 27. The edge of the fixed plate 70 is bent and rises toward the recording head main body 20 to form a wall shape. That is, the fixing plate 70 has a box shape having a side wall portion.
この固定板７０の側壁部は、記録ヘッド本体２０の連通板２３近辺の外周側を覆ってい
る。記録ヘッド本体２０の底面を構成する連通板２３の角部がそのまま露出していると、
例えば紙送りの際に紙が引っ掛かったり、また、その流路が形成された積層部分に異物が
侵入してしまう等の問題が発生しやすいが、このように記録ヘッド本体２０の底面側の角
部を固定板７０が保護していることで、これらの問題を抑制することができる。
The side wall portion of the fixed plate 70 covers the outer peripheral side of the recording head main body 20 near the communication plate 23. When the corners of the communication plate 23 constituting the bottom surface of the recording head main body 20 are exposed as they are,
For example, problems such as paper catching during paper feeding and foreign matter intruding into the laminated portion where the flow path is formed are likely to occur. Since the fixing plate 70 protects the portion, these problems can be suppressed.
なお、本実施形態では、固定板７０の側壁部は固定板７０の底面と一体であるものを説
明しているが、必ずしも一体にする必要はない。底面部分となる平板部と、記録ヘッド本
体２０の側面を覆うように配置された側壁部とを別体としてもよい。この場合に、固定板
７０の連通板２３と接する部分が平板部となり、側壁部は、記録ヘッド本体２０の側壁に
接着剤で固定されていてもよく、又は、保持部材６０と一体的に構成されていてもよい。
In the present embodiment, the side wall portion of the fixed plate 70 is described as being integral with the bottom surface of the fixed plate 70, but it is not necessarily integral. The flat plate portion serving as the bottom surface portion and the side wall portion arranged so as to cover the side surface of the recording head main body 20 may be separated. In this case, the portion of the fixing plate 70 that contacts the communication plate 23 becomes a flat plate portion, and the side wall portion may be fixed to the side wall of the recording head main body 20 with an adhesive, or may be configured integrally with the holding member 60. May be.
固定板７０について、図４も用いて詳細に説明する。 The fixing plate 70 will be described in detail with reference to FIG.
本実施形態において、固定板７０の底面には、矩形状の露出部開口７１と、露出部開口
７１の周縁部の一部に、一対の第１スリット（第１貫通孔）７２が形成されている。
In the present embodiment, a rectangular exposed portion opening 71 and a pair of first slits (first through holes) 72 are formed in a part of the peripheral portion of the exposed portion opening 71 on the bottom surface of the fixed plate 70. Yes.
第１スリット７２は、露出部開口７１の周縁部における第１方向の中央部に、露出部開
口７１の周縁部に連続するように形成されている。この第１スリット７２は露出部開口７
１を挟んだ反対側の周縁部にも設けられている。第１スリット７２は、本実施形態では矩
形状である。この第１スリット７２及び露出部開口７１の外周側に亘って、記録ヘッド本
体２０を固定板７０に接着するために接着剤が塗布される第１の領域７４ａ（接着剤塗布
領域）が設けられている。この第１の領域７４ａは、連通板２３と固定板７０とが対向す
る領域に設けられている。
The first slit 72 is formed at the central portion in the first direction in the peripheral portion of the exposed portion opening 71 so as to be continuous with the peripheral portion of the exposed portion opening 71. The first slit 72 has an exposed portion opening 7.
1 is also provided on the peripheral edge on the opposite side of 1. The first slit 72 is rectangular in this embodiment. A first region 74 a (adhesive application region) to which an adhesive is applied to bond the recording head main body 20 to the fixing plate 70 is provided across the outer periphery of the first slit 72 and the exposed portion opening 71. ing. The first region 74a is provided in a region where the communication plate 23 and the fixed plate 70 face each other.
また、この第１の領域７４ａよりも固定板７０における外周側には、モールド部材５２
（図３参照）が塗布される第２の領域７４ｂ（モールド部材塗布領域）が形成されている
。この第２の領域７４ｂは、第１の領域７４ａよりも幅が広く、連通板２３を固定板７０
に接着する際に、第２の領域７４ｂのうち、内周側は連通板２３がその上面に接着される
。そして、第２の領域７４ｂの残部である外周側は連通板２３が内周側に接着されると、
この外周側に塗布されていたモールド部材５２が外側に押し出されながら盛り上がり（図
３参照）、連通板２３と流路形成基板２１との接合面より上側に設けることができ、これ
により上述したようにインクが連通板２３と第１ケース部材３８との間に回りこむことを
防止できる。
Further, on the outer peripheral side of the fixing plate 70 from the first region 74a, the mold member 52 is disposed.
A second region 74b (mold member application region) to which (see FIG. 3) is applied is formed. The second region 74b is wider than the first region 74a, and the communication plate 23 is fixed to the fixing plate 70.
In the second region 74b, the communication plate 23 is bonded to the upper surface of the second region 74b. And the outer peripheral side which is the remaining part of the second region 74b is bonded to the inner peripheral side of the communication plate 23,
The mold member 52 applied to the outer peripheral side swells while being pushed outward (see FIG. 3), and can be provided above the joint surface between the communication plate 23 and the flow path forming substrate 21, and as described above. Further, the ink can be prevented from flowing between the communication plate 23 and the first case member 38.
第２の領域７４ｂよりも固定板７０における外周側に、第１スリット７２と対向して第
２スリット（第２貫通孔）７３が設けられている。即ち、第２スリット７３は、第１スリ
ット７２及び露出部開口７１とは独立して設けられている。
A second slit (second through hole) 73 is provided opposite to the first slit 72 on the outer peripheral side of the fixed plate 70 with respect to the second region 74b. That is, the second slit 73 is provided independently of the first slit 72 and the exposed portion opening 71.
第２スリット７３は、本実施形態では矩形状の開口である。この第２スリット７３は、
記録ヘッド本体２０によって塞がれることが無い。第２スリット７３を第１の領域７４ａ
よりも固定板７０の外周側に設けていることで、第１の領域７４ａを第１スリット７２及
び露出部開口７１の外周に亘って確保することができ、固定板７０に記録ヘッド本体２０
を所望の接着強度で固定することができる。また、第２スリット７３が第１の領域７４ａ
の固定板７０の外周側に設けられていることで、固定板７０に記録ヘッド本体２０を固定
した際の接着剤（即ち、第１の領域７４ａの接着剤）が第２スリット７３まで到達するこ
とができない。その結果、第２スリット７３から固定板７０の外部（印刷媒体側）に第１
の領域７４ａの接着剤がはみ出ることを防止することができる。
The second slit 73 is a rectangular opening in the present embodiment. The second slit 73 is
The recording head body 20 is not blocked. The second slit 73 is formed in the first region 74a.
Since the first region 74 a is provided over the outer periphery of the first slit 72 and the exposed portion opening 71, the recording head main body 20 is provided on the fixed plate 70.
Can be fixed with a desired adhesive strength. Further, the second slit 73 is formed in the first region 74a.
Since the recording head main body 20 is fixed to the fixing plate 70, the adhesive (that is, the adhesive in the first region 74a) reaches the second slit 73. I can't. As a result, the first from the second slit 73 to the outside of the fixed plate 70 (print medium side).
It is possible to prevent the adhesive in the region 74a from protruding.
これらの第１スリット７２及び第２スリット７３が固定板７０に設けられていることで
、図５（２）に示すように、記録ヘッド１０で発生する応力を抑制することができる。即
ち、仮に第１スリット及び第２スリットを設けなかったとすると、図５（１）に示すよう
に、記録ヘッド本体２０の連通板や流路形成基板等の積層基板の線膨張係数の違いにより
、例えば、環境が高温である時に、記録ヘッド本体２０にその長手方向において反りが発
生する。この反りが発生した場合に、記録ヘッド本体２０に固定された固定板７０がこの
反りに追随して湾曲する。この場合に、固定板７０が元の方向に戻ろうとして固定板７０
の湾曲方向とは逆方向に応力が発生するが、特に記録ヘッド本体２０の端部側において大
きな応力（図中矢印Ａ）が発生する。この応力により、固定板７０に接着された連通板２
３にも応力が作用し、この応力により連通板２３の記録ヘッド本体２０からの剥離や固定
板７０からの剥離が生じてしまう。
By providing the first slit 72 and the second slit 73 in the fixed plate 70, the stress generated in the recording head 10 can be suppressed as shown in FIG. That is, if the first slit and the second slit are not provided, as shown in FIG. 5 (1), due to the difference in the linear expansion coefficient of the laminated substrate such as the communication plate of the recording head body 20 and the flow path forming substrate, For example, when the environment is high temperature, the recording head main body 20 warps in the longitudinal direction. When this warpage occurs, the fixed plate 70 fixed to the recording head body 20 is curved following the warpage. In this case, the fixing plate 70 tries to return to the original direction.
The stress is generated in the direction opposite to the bending direction, but a large stress (arrow A in the figure) is generated particularly on the end side of the recording head body 20. Due to this stress, the communication plate 2 bonded to the fixed plate 70
3 also has a stress, and the stress causes peeling of the communication plate 23 from the recording head body 20 and peeling from the fixed plate 70.
しかしながら、本実施形態においては、図５（２）に示すように、高温時に記録ヘッド
１０に反りが発生した場合に、記録ヘッド本体２０に固定された固定板７０も追随して湾
曲しているが、第１スリット７２及び第２スリット７３が形成されていることで、固定板
７０の端部における固定板７０の湾曲方向とは反対側に発生した応力（図中矢印Ｂ）は図
５（１）に比較して小さなものとなる。従って、本実施形態では、このような基板間で発
生した応力による連通板２３の剥離を抑制することができる。
However, in this embodiment, as shown in FIG. 5B, when the recording head 10 is warped at a high temperature, the fixing plate 70 fixed to the recording head body 20 is also curved. However, since the first slit 72 and the second slit 73 are formed, the stress (arrow B in the figure) generated on the side opposite to the bending direction of the fixing plate 70 at the end of the fixing plate 70 is shown in FIG. Smaller than 1). Therefore, in this embodiment, peeling of the communication plate 23 due to the stress generated between the substrates can be suppressed.
なお、連通板２３自体にこのように応力を緩和するための凹部を設けることも考えられ
るが、連通板２３にスリットを設ける余裕がないことや、連通板２３自体の剛性を低下さ
せてしまい、耐久性が低くなってしまうことが考えられるため、本実施形態のように固定
板７０に第１スリット７２及び第２スリット７３を設けることが好ましい。
Although it is conceivable to provide the communication plate 23 with a recess for relieving stress in this way, there is no room for providing a slit in the communication plate 23, and the rigidity of the communication plate 23 itself is reduced. Since the durability may be lowered, it is preferable to provide the first slit 72 and the second slit 73 in the fixing plate 70 as in the present embodiment.
このように本実施形態においては、第１スリット７２及び第２スリット７３を設けるこ
とで、記録ヘッド１０の反りによる応力を軽減し、連通板２３の剥離を抑制することがで
きる。
As described above, in the present embodiment, by providing the first slit 72 and the second slit 73, it is possible to reduce the stress due to the warp of the recording head 10 and to suppress the separation of the communication plate 23.
また、図６に示すように、仮に第２スリット７３からモールド部材５２がインク吐出面
側にはみでようとしても、このようにモールド部材５２が第２スリット７３から露出する
ことで、モールド部材５２と固定板７０の側壁との間に回りこんだインクが第２スリット
７３を介して、印刷媒体側に流れ出すことを防止できる。その上、モールド部材５２によ
るモールドが広範囲に亘って確実に行われていると共に第２の領域７４ｂの内周側の領域
におけるモールド部材５２による接着もより確実に行われていることを記録ヘッド１０の
吐出面側から視覚的に確認することができる。
Further, as shown in FIG. 6, even if the mold member 52 protrudes from the second slit 73 to the ink ejection surface side, the mold member 52 is exposed from the second slit 73 in this way, It is possible to prevent ink sneaking between the fixed plate 70 and the side wall of the fixing plate 70 from flowing out to the print medium side through the second slit 73. In addition, the recording head 10 confirms that the molding by the mold member 52 is reliably performed over a wide range and the bonding by the mold member 52 in the inner peripheral region of the second region 74b is more reliably performed. It can visually confirm from the discharge surface side.
ここで、モールド部材５２の粘度は、第１の領域７４ａに塗布される接着剤の粘度より
も高いことが好ましい。これは、このモールド部材５２は、上述したように、記録ヘッド
本体２０の側面に付着させた状態を固化するまで維持する必要があるためである。つまり
、仮にモールド部材５２の粘度が第１の領域７４ａに塗布される接着剤よりも低いと、モ
ールド部材５２は塗布後に固化するまでに流動しやすい。従って、記録ヘッド本体２０の
側面に一時的に付着させても、モールド部材５２の自重によりモールド部材５２が固化す
るまでの間に流れてしまい、平面化してしまう可能性がある。このため、モールド部材５
２は、粘度が高い方が好ましい。
Here, the viscosity of the mold member 52 is preferably higher than the viscosity of the adhesive applied to the first region 74a. This is because the mold member 52 needs to be maintained until the state attached to the side surface of the recording head main body 20 is solidified as described above. That is, if the viscosity of the mold member 52 is lower than the adhesive applied to the first region 74a, the mold member 52 tends to flow until it is solidified after application. Therefore, even if it is temporarily attached to the side surface of the recording head main body 20, it may flow until the mold member 52 is solidified due to its own weight, and may be flattened. For this reason, the mold member 5
2 has a higher viscosity.
また、このように第２スリット７３をモールド部材５２で埋設する場合には、記録ヘッ
ド１０の吐出面側での記録媒体（紙面）の第２スリット７３での引っかかりを抑制するこ
とができる。
Further, when the second slit 73 is embedded in the mold member 52 in this manner, the recording medium (paper surface) on the ejection surface side of the recording head 10 can be prevented from being caught by the second slit 73.
これらの第１スリット７２及び第２スリット７３の形成位置について、さらに図７を用
いて説明する。
The formation positions of the first slit 72 and the second slit 73 will be further described with reference to FIG.
図７に示すように記録ヘッド１０の上面視において、第１スリット７２は、固定板７０
の所定位置、即ちインク導入口４８に対向する位置に設けられている。この位置に設けら
れていることで、インク導入時の衝撃がそのまま固定板７０に伝わることがない。このよ
うに、本実施形態では、第１スリット７２を設けて記録ヘッド１０の反りによる応力を軽
減し、連通板２３の剥離を抑制するだけでなく、インク導入時の衝撃を抑制してインクの
吐出特性の低下を抑制することができる。
As shown in FIG. 7, in the top view of the recording head 10, the first slit 72 has a fixed plate 70.
At a predetermined position, that is, a position facing the ink inlet 48. By being provided at this position, an impact at the time of ink introduction is not transmitted to the fixing plate 70 as it is. As described above, in the present embodiment, the first slit 72 is provided to reduce the stress caused by the warping of the recording head 10 and not only the peeling of the communication plate 23 but also the impact at the time of ink introduction can be suppressed. A drop in discharge characteristics can be suppressed.
さらに、本実施形態では、第１スリット７２及び第２スリット７３は、インク導入口４
８に対向すると共に、インク導入口４８が形成された延設部４７ａに対応する位置にも重
複するように設けられている。
Further, in the present embodiment, the first slit 72 and the second slit 73 are provided on the ink inlet 4.
8 is provided so as to overlap with a position corresponding to the extended portion 47a in which the ink introduction port 48 is formed.
上述したように、インク導入口４８を形成するために設けた延設部４７ａ付近は開口部
４７の幅が狭いために記録ヘッド本体２０の長手方向における剛性が高い。このように記
録ヘッド本体２０の剛性の高い領域Ｒ、即ち延設部４７ａの幅に一致して、記録ヘッド本
体２０の幅方向に延びる領域Ｒ内に全て重なるように固定板７０に第１スリット７２及び
第２スリット７３を設けることで、記録ヘッド１０全体の剛性を均一化することができる
。即ち、固定板７０は、第１スリット７２及び第２スリット７３を設けることで上面視に
おいて領域Ｒで剛性が下がるが、記録ヘッド本体２０の剛性は上面視においてこの領域Ｒ
で剛性が上がっている。従って、記録ヘッド本体２０と固定板７０とからなる記録ヘッド
１０全体としては、おける剛性が均一化される。
As described above, the vicinity of the extended portion 47 a provided for forming the ink introduction port 48 has a high rigidity in the longitudinal direction of the recording head body 20 because the width of the opening 47 is narrow. As described above, the first slit is formed in the fixed plate 70 so as to overlap the rigid region R of the recording head body 20, that is, the region R extending in the width direction of the recording head body 20 in accordance with the width of the extending portion 47 a. By providing 72 and the second slit 73, the rigidity of the entire recording head 10 can be made uniform. That is, the fixing plate 70 is provided with the first slit 72 and the second slit 73, so that the rigidity of the fixing plate 70 is lowered in the region R when viewed from the top.
The rigidity has increased. Accordingly, the rigidity of the entire recording head 10 including the recording head main body 20 and the fixed plate 70 is made uniform.
このように、上面視においてこの延設部４７ａが形成されている領域Ｒに記録ヘッド本
体２０の幅方向において相対向する第１スリット７２及び第２スリット７３を設けること
により剛性が低下する虞もなく、むしろ第１スリット７２及び第２スリット７３を設けて
剛性を均一化することで、応力が集中することも抑制されているのである。
As described above, when the first slit 72 and the second slit 73 opposed to each other in the width direction of the recording head main body 20 are provided in the region R where the extending portion 47a is formed in the top view, there is a possibility that the rigidity may be lowered. Rather, by providing the first slit 72 and the second slit 73 to equalize the rigidity, the concentration of stress is also suppressed.
第１スリット７２のサイズは、インク導入口４８のサイズよりも過度に大きくならない
ことが好ましい。インク導入口４８よりも第１スリット７２が大きすぎると、固定板７０
の剛性を過度に下げてしまう可能性がある。このように設けることで、ノズルプレート２
７の側面と固定板７０の露出部開口７１との距離を短くし、ワイピング時のノズルプレー
ト２７側面でのワイパーの接触による欠けや、ワイパー自体の損傷を防止することができ
る。
The size of the first slit 72 is preferably not excessively larger than the size of the ink inlet 48. If the first slit 72 is too large than the ink inlet 48, the fixing plate 70
There is a possibility of excessively reducing the rigidity of the. By providing in this way, the nozzle plate 2
7 and the exposed portion opening 71 of the fixing plate 70 can be shortened to prevent chipping due to wiper contact on the side surface of the nozzle plate 27 during wiping and damage to the wiper itself.
このような記録ヘッド１０を有するヘッドユニット１は、図８に示すように、複数個が
固定部材に固定されて（本実施形態では例として４個）液体噴射ヘッドモジュールの一例
であるインクジェット式記録ヘッドモジュール２００を構成する。このようなヘッドモジ
ュール２００は、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置に搭載される。こ
こで、本実施形態のインクジェット式記録装置について説明する。なお、図８は、本発明
の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置を示す概略斜視
図である。
As shown in FIG. 8, a plurality of head units 1 having such a recording head 10 are fixed to a fixing member (four in this embodiment as an example), and an ink jet recording which is an example of a liquid ejecting head module. The head module 200 is configured. Such a head module 200 is mounted on an ink jet recording apparatus which is an example of a liquid ejecting apparatus. Here, the ink jet recording apparatus of this embodiment will be described. FIG. 8 is a schematic perspective view illustrating an ink jet recording apparatus that is an example of the liquid ejecting apparatus according to the first embodiment of the invention.
図８に示すように、本実施形態のインクジェット式記録装置は、ヘッドモジュール２０
０が固定されて、被噴射媒体である紙などの記録シートＳを搬送することで印刷を行う、
所謂ライン式記録装置である。
As shown in FIG. 8, the ink jet recording apparatus of this embodiment includes a head module 20.
Printing is performed by transporting a recording sheet S such as paper that is a medium to be ejected with 0 fixed.
This is a so-called line type recording apparatus.
具体的には、インクジェット式記録装置Ｉは、装置本体２と、装置本体２に固定された
ヘッドモジュール２００と、被記録媒体である記録シートＳを搬送する搬送手段３と、記
録シートＳのヘッドモジュール２００に相対向する印刷面とは反対の裏面側を支持するプ
ラテン４とを具備する。
Specifically, the ink jet recording apparatus I includes an apparatus main body 2, a head module 200 fixed to the apparatus main body 2, a conveying unit 3 that conveys a recording sheet S that is a recording medium, and a head of the recording sheet S. The module 200 includes a platen 4 that supports the back side opposite to the printing surface facing the module 200.
ヘッドモジュール２００は、記録ヘッド本体２０のノズル開口２６の並設方向である第
１方向が記録シートＳの搬送方向と交差する方向となるように装置本体２に固定されてい
る。
The head module 200 is fixed to the apparatus main body 2 such that the first direction, which is the juxtaposed direction of the nozzle openings 26 of the recording head main body 20, is a direction that intersects the conveyance direction of the recording sheet S.
搬送手段３は、ヘッドモジュール２００に対して記録シートＳの搬送方向の両側に設け
られた第１の搬送手段５と、第２の搬送手段６とを具備する。
The transport unit 3 includes a first transport unit 5 and a second transport unit 6 provided on both sides of the recording direction of the recording sheet S with respect to the head module 200.
第１の搬送手段５は、駆動ローラー５ａと、従動ローラー５ｂと、これら駆動ローラー
５ａ及び従動ローラー５ｂに巻回された搬送ベルト５ｃとで構成されている。また、第２
の搬送手段６は、第１の搬送手段５と同様に駆動ローラー６ａ、従動ローラー６ｂ及び搬
送ベルト６ｃで構成されている。
The first transport means 5 includes a drive roller 5a, a driven roller 5b, and a transport belt 5c wound around the drive roller 5a and the driven roller 5b. Second
Similarly to the first transport unit 5, the transport unit 6 includes a driving roller 6a, a driven roller 6b, and a transport belt 6c.
これらの第１の搬送手段５及び第２の搬送手段６のそれぞれの駆動ローラー５ａ、６ａ
には、図示しない駆動モーター等の駆動手段が接続されており、駆動手段の駆動力によっ
て搬送ベルト５ｃ、６ｃが回転駆動することで、記録シートＳをヘッドモジュール２００
の上流及び下流側で搬送する。
The driving rollers 5a and 6a of the first conveying means 5 and the second conveying means 6 respectively.
A driving means such as a driving motor (not shown) is connected to the recording medium S, and the conveying belts 5c and 6c are driven to rotate by the driving force of the driving means, whereby the recording sheet S is moved to the head module 200.
It is conveyed on the upstream and downstream sides.
なお、本実施形態では、駆動ローラー５ａ、６ａ、従動ローラー５ｂ、６ｂ及び搬送ベ
ルト５ｃ、６ｃで構成される第１の搬送手段５及び第２の搬送手段６を例示したが、記録
シートＳを搬送ベルト５ｃ、６ｃ上に保持させる保持手段をさらに設けてもよい。保持手
段としては、例えば、記録シートＳの外周面を帯電させる帯電手段を設け、この帯電手段
によって帯電した記録シートＳを誘電分極の作用により搬送ベルト５ｃ、６ｃ上に吸着さ
せるようにしてもよい。また、保持手段として、搬送ベルト５ｃ、６ｃ上に押えローラー
を設け、押えローラーと搬送ベルト５ｃ、６ｃとの間で記録シートＳを挟持させるように
してもよい。
In the present embodiment, the first conveying unit 5 and the second conveying unit 6 including the driving rollers 5a and 6a, the driven rollers 5b and 6b, and the conveying belts 5c and 6c are exemplified. You may further provide the holding means hold | maintained on the conveyance belts 5c and 6c. As the holding unit, for example, a charging unit that charges the outer peripheral surface of the recording sheet S may be provided, and the recording sheet S charged by the charging unit may be attracted onto the conveying belts 5c and 6c by the action of dielectric polarization. . Further, as a holding unit, a pressing roller may be provided on the conveying belts 5c and 6c, and the recording sheet S may be sandwiched between the pressing roller and the conveying belts 5c and 6c.
プラテン４は、第１の搬送手段５と第２の搬送手段６との間に、ヘッドモジュール２０
０に相対向して設けられた断面が矩形状を有する金属又は樹脂等からなる。プラテン４は
、第１の搬送手段５及び第２の搬送手段６によって搬送された記録シートＳを、ヘッドモ
ジュール２００に相対向する位置で支持する。
The platen 4 includes a head module 20 between the first transport unit 5 and the second transport unit 6.
The cross section provided opposite to 0 is made of a metal or resin having a rectangular shape. The platen 4 supports the recording sheet S conveyed by the first conveying unit 5 and the second conveying unit 6 at a position facing the head module 200.
なお、プラテン４には、搬送された記録シートＳをプラテン４上で吸着する吸着手段が
設けられていてもよい。吸着手段としては、例えば、記録シートＳを吸引することで吸引
吸着するものや、静電気力で記録シートＳを静電吸着するもの等が挙げられる。
The platen 4 may be provided with a suction unit that sucks the conveyed recording sheet S on the platen 4. Examples of the suction means include a device that sucks and sucks the recording sheet S and a device that electrostatically sucks the recording sheet S by electrostatic force.
また、ヘッドモジュール２００には、図示していないが、インクが貯留されたインクタ
ンクやインクカートリッジなどのインク貯留手段がインクを供給可能に接続されている。
インク貯留手段は、例えば、ヘッドモジュール２００上に保持されていても、また、装置
本体２内のヘッドモジュール２００とは異なる位置に保持されてチューブ等を介して各ヘ
ッドユニット１のインク供給針６１に接続されていてもよい。さらに、ヘッドモジュール
２００の各ヘッドユニット１には、図示しない外部配線が接続されている。
Although not shown, the head module 200 is connected to ink storage means such as an ink tank or ink cartridge in which ink is stored so as to be able to supply ink.
For example, even if the ink storage unit is held on the head module 200, the ink supply needle 61 of each head unit 1 is held at a position different from the head module 200 in the apparatus main body 2 via a tube or the like. It may be connected to. Further, external wiring (not shown) is connected to each head unit 1 of the head module 200.
このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、搬送手段３によって記録シートＳが搬送
され、ヘッドモジュール２００によってプラテン４上で支持された記録シートＳに印刷が
実行される。印刷された記録シートＳは、搬送手段３によって搬送される。
In such an ink jet recording apparatus I, the recording sheet S is transported by the transport unit 3, and printing is performed on the recording sheet S supported on the platen 4 by the head module 200. The printed recording sheet S is conveyed by the conveying means 3.
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限
定されるものではない。
(Other embodiments)
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above.
上述した実施形態では、スリットとしては第１スリット７２及び第２スリット７３をそ
れぞれ設けたが、これに限定されない。例えば、第１スリット７２のみ、第２スリット７
３のみでもよい。また、上述した実施形態では、露出部開口７１を境界として、第１のス
リット７２を左右対称となるように配置したが、第１のスリット７２を左右非対称となる
ように設けても良い。このことは、第２のスリット７３についても同様である。左右非対
称にする場合には、露出部開口７１を境界として、インク導入口４８が左右非対称に設け
られている場合に、特に有効となる。
In the embodiment described above, the first slit 72 and the second slit 73 are provided as the slits, but the present invention is not limited to this. For example, only the first slit 72 and the second slit 7
Only 3 is acceptable. Further, in the above-described embodiment, the first slit 72 is arranged so as to be bilaterally symmetric with the exposed portion opening 71 as a boundary. However, the first slit 72 may be provided so as to be asymmetrical. The same applies to the second slit 73. The left-right asymmetry is particularly effective when the ink inlet 48 is provided asymmetrically with the exposed portion opening 71 as a boundary.
上述の実施形態では、延設部４７ａの第１方向における領域Ｒ内が記録ヘッド本体２０
の剛性の高い領域であるので、この領域Ｒ内に第１スリット７２及び第２スリット７３が
収まるように設けているが、これに限定されない。図９に示すように、少なくともこの領
域Ｒ内に第１スリット７２及び第２スリット７３の一部が重なるように設けられていても
、各記録ヘッド１０の応力を軽減させると共に、各記録ヘッド１０の剛性分布を略均一に
することができる。また、本実施形態に示すように、第１スリット７２の形状と第２スリ
ット７３の形状とを異なる形状としてもよい。
In the above-described embodiment, the area R in the first direction of the extending portion 47a is the recording head main body 20.
Therefore, the first slit 72 and the second slit 73 are provided in the region R. However, the present invention is not limited to this. As shown in FIG. 9, even if at least a part of the first slit 72 and the second slit 73 are provided in this region R, the stress of each recording head 10 is reduced and each recording head 10 The rigidity distribution can be made substantially uniform. Further, as shown in the present embodiment, the shape of the first slit 72 and the shape of the second slit 73 may be different.
また、本実施形態では、インク導入路５０及びインク導入口４８が記録ヘッド本体２０
の中央部に形成されていたために、延設部４７ａも記録ヘッド本体２０の中央部に位置す
るように設けたが、これに限定されない。例えば、図１０に示すように、インク導入路５
０及びインク導入口４８が４つ、それぞれ上面視において記録ヘッド本体２０にそれぞれ
第２ケース部材４９の端部側に設けられている場合には、このインク導入口４８の形成位
置に合わせて第１スリット７２Ａ及び第２スリット７３Ａを設ければよい。このように設
けることで、吐出特性の低下を抑制することができる。なお、図１０に示す実施形態にお
いては、露出部開口７１は本実施形態におけるものよりも小さい。
In the present embodiment, the ink introduction path 50 and the ink introduction port 48 are the recording head body 20.
The extended portion 47a is also provided so as to be positioned at the central portion of the recording head body 20, but is not limited thereto. For example, as shown in FIG.
0 and four ink inlets 48 are provided on the recording head main body 20 on the end side of the second case member 49 in the top view, respectively, so that the first ink inlet 48 is aligned with the position where the ink inlet 48 is formed. The 1 slit 72A and the 2nd slit 73A should just be provided. By providing in this way, it is possible to suppress a decrease in ejection characteristics. In the embodiment shown in FIG. 10, the exposed portion opening 71 is smaller than that in the present embodiment.
また、延設部４７ｂがインク導入路５０及びインク導入口４８の形成位置に合わせて固
定板７０の端部側にそれぞれ設けられている。従って、これらの延設部４７ｂの形成位置
にも対向するように第１スリット７２Ａ及び第２スリット７３Ａを設けている。このよう
に固定板７０に複数の第１スリット７２Ａ及び第２スリット７３Ａを設けることで、より
固定板７０の応力を軽減させると共に、各記録ヘッド１０の剛性分布を略均一にすること
ができる。
Further, extended portions 47 b are provided on the end side of the fixing plate 70 in accordance with the positions where the ink introduction path 50 and the ink introduction port 48 are formed. Accordingly, the first slit 72A and the second slit 73A are provided so as to face the positions where the extending portions 47b are formed. Thus, by providing the plurality of first slits 72A and second slits 73A in the fixed plate 70, the stress of the fixed plate 70 can be further reduced, and the rigidity distribution of each recording head 10 can be made substantially uniform.
本実施形態では、各記録ヘッド本体２０に対して一つの固定板７０を設けたが、これに
限定されない。複数の記録ヘッド本体２０を一つの固定板７０に固定し、固定板７０に各
記録ヘッド本体２０に対応した複数の露出部開口７１を設けるように構成してもよい。こ
の場合においても、各記録ヘッド本体２０の反りによる応力を抑制するように第１スリッ
ト７２及び第２スリット７３が形成されていればよい。即ち、各露出部開口７１には、露
出部開口７１の周縁部の少なくとも一部に第１スリット７２が一対設けられていると共に
、第２スリット７３が、各記録ヘッド本体２０の第２の領域７４ｂよりも外側の少なくと
も一部に露出部開口７１とは不連続となるように設けられていればよい。
In the present embodiment, one fixing plate 70 is provided for each recording head main body 20, but the present invention is not limited to this. A plurality of recording head main bodies 20 may be fixed to one fixed plate 70, and a plurality of exposed portion openings 71 corresponding to each recording head main body 20 may be provided on the fixed plate 70. Even in this case, the first slit 72 and the second slit 73 may be formed so as to suppress the stress due to the warp of each recording head body 20. That is, each exposed portion opening 71 is provided with a pair of first slits 72 at least at a part of the peripheral edge of the exposed portion opening 71, and the second slit 73 is a second region of each recording head body 20. What is necessary is just to be provided in at least one part outside 74b so that the exposed part opening 71 may become discontinuous.
また、本実施形態では第１スリット７２及び第２スリット７３の形状はそれぞれ矩形状
であるとしたが、これに限定されない。第１スリット７２及び第２スリット７３の角部が
Ｒ形状となっていてもよい。このように角部を鋭角とせずにＲ形状とすることで、固定板
７０の表面を拭き取るワイピング時にワイピング手段の引っ掛かりを防止することができ
る。
Moreover, although the shape of the 1st slit 72 and the 2nd slit 73 was each rectangular shape in this embodiment, it is not limited to this. The corners of the first slit 72 and the second slit 73 may be R-shaped. By making the corners into an R shape without making the corners acute, the wiping means can be prevented from being caught during wiping to wipe the surface of the fixed plate 70.
また、第１スリット７２を毛細管力が働く程度の大きさにしてもよい。このような大き
さにすれば、第１の領域７４ａに塗布した接着剤が第１スリット７２に回り込む。固定板
７０の露出部開口７１を画成している縁部とノズルプレート２７との間には、間隙（クリ
アランス）が存在するが、このクリアランスにインクが回り込んで溜まるとこの溜まった
インクが印刷対象に垂れるおそれがある。しかしながら、第１スリット７２を毛細管力が
働く程度の大きさにすれば、第１スリット７２が露出部開口７１に接続しているため、第
１の領域７４ａの接着剤が第１スリット７２を介してこのクリアランスに流れ込み、その
クリアランスの毛細管力でクリアランス全体に接着時が充填される。この結果、インクが
このクリアランスに溜まることを抑制することができる。また、クリアランスを接着剤で
埋めることができるので、ワイピング時のワイパーのスリットへの引っ掛かりを抑制でき
る。
Further, the first slit 72 may be sized so that the capillary force works. With such a size, the adhesive applied to the first region 74 a goes around the first slit 72. There is a gap (clearance) between the edge portion defining the exposed portion opening 71 of the fixing plate 70 and the nozzle plate 27. When the ink wraps around and accumulates in this clearance, There is a risk of dripping on the print target. However, if the first slit 72 is sized so that the capillary force acts, the first slit 72 is connected to the exposed portion opening 71, so that the adhesive in the first region 74 a passes through the first slit 72. The clearance flows into the lever clearance, and the entire clearance is filled with the capillary force of the clearance. As a result, it is possible to suppress ink from accumulating in this clearance. In addition, since the clearance can be filled with an adhesive, it is possible to suppress the wiper from being caught on the slit during wiping.
本実施形態では、圧電素子３０は各列の圧電素子同士が流路形成基板２１上で互いに対
向するように形成されているが、これに限定されない。各列の圧電素子３０同士が互いに
対向せず、互い違いとなるように形成されていてもよい。この場合、圧力発生室２２等も
併せて互い違いとなるように形成される。
In the present embodiment, the piezoelectric elements 30 are formed so that the piezoelectric elements in each row face each other on the flow path forming substrate 21, but are not limited thereto. The piezoelectric elements 30 in each row may be formed so as not to face each other and to be staggered. In this case, the pressure generation chambers 22 and the like are also formed alternately.
本実施形態では、露出部開口７１をノズルプレート２７よりやや大きくなるように構成
しているが、これに限定されない。製造コストを低下させるために、露出部開口７１より
もノズルプレート２７をより小さくしてもよい。
In the present embodiment, the exposed portion opening 71 is configured to be slightly larger than the nozzle plate 27, but is not limited thereto. In order to reduce the manufacturing cost, the nozzle plate 27 may be made smaller than the exposed portion opening 71.
本実施形態では、インクカートリッジがヘッドモジュールに搭載されないいわゆるオフ
キャリアー型のインクジェット式記録装置を例示したが、これに限定されない。例えば、
インクカートリッジがヘッドモジュールに搭載されたいわゆるオンキャリアー型のインク
ジェット式記録装置としてもよい。
In the present embodiment, the so-called off-carrier type ink jet recording apparatus in which the ink cartridge is not mounted on the head module is exemplified, but the present invention is not limited to this. For example,
A so-called on-carrier type ink jet recording apparatus in which an ink cartridge is mounted on a head module may be used.
また、例えば、上述した実施形態では、圧力発生素子として、薄膜型の圧電素子を例示
したが、圧力発生素子の構成は特に限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の
方法により形成される厚膜型の圧電素子や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させ
て軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子などであってもよい。また、圧力発生素子とし
て、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズ
ルから液滴を噴射するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて静電気力によっ
て振動板を変形させてノズルから液滴を噴射させるいわゆる静電式アクチュエーターなど
を使用することができる。
Further, for example, in the above-described embodiment, a thin film type piezoelectric element is exemplified as the pressure generating element, but the configuration of the pressure generating element is not particularly limited, and is formed by, for example, a method of attaching a green sheet or the like. It may be a thick film type piezoelectric element or a longitudinal vibration type piezoelectric element in which piezoelectric materials and electrode forming materials are alternately stacked to expand and contract in the axial direction. In addition, as a pressure generating element, a heating element is arranged in the pressure generating chamber, and droplets are ejected from the nozzle by bubbles generated by the heat generated by the heating element, or static electricity is generated between the diaphragm and the electrode. A so-called electrostatic actuator that ejects liquid droplets from the nozzle by deforming the diaphragm by electrostatic force can be used.
また、上述した実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッ
ドを説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドモジュール全
般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記
録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、
有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極
材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を有する液体
噴射ヘッドモジュールにも適用することができる。
In the above-described embodiment, the ink jet recording head has been described as an example of the liquid ejecting head. However, the present invention is intended for all liquid ejecting head modules that widely include the liquid ejecting head. Various recording heads used in image recording apparatuses such as, color material ejection heads used in the manufacture of color filters such as liquid crystal displays,
The present invention can also be applied to a liquid ejecting head module having an electrode material ejecting head used for electrode formation such as an organic EL display and FED (field emission display), a bio-organic matter ejecting head used for biochip production, and the like.
Ｉ インクジェット式記録装置、 １ ヘッドユニット、 １０ インクジェット式記
録ヘッド、 ２０ 記録ヘッド本体、 ２１ 流路形成基板、 ２２ 圧力発生室、 ２
３ 連通板、 ２６ ノズル開口、 ２７ ノズルプレート、 ３０ 圧電素子、 ３８
第１ケース部材、 ３９ マニホールド部、 ４０ マニホールド、 ４１ 貫通孔、
４４ 封止膜、 ４５ 補強板、 ４６ コンプライアンス基板、 ４７ 開口部、
４７ａ，４７ｂ 延設部、 ４８ インク導入口、 ４９ 第２ケース部材、 ５０ イ
ンク導入路、 ６０ 保持部材、 ７０ 固定板、 ７１ 露出部開口、 ７２，７２Ａ
第１スリット、 ７３，７３Ａ 第２スリット、 ７４ａ 第１の領域、 ７４ｂ 第
２の領域
I ink jet recording apparatus, 1 head unit, 10 ink jet recording head, 20 recording head main body, 21 flow path forming substrate, 22 pressure generating chamber, 2
3 communication plate, 26 nozzle opening, 27 nozzle plate, 30 piezoelectric element, 38
1st case member, 39 Manifold part, 40 Manifold, 41 Through-hole,
44 sealing film, 45 reinforcing plate, 46 compliance substrate, 47 opening,
47a, 47b extended portion, 48 ink introduction port, 49 second case member, 50 ink introduction path, 60 holding member, 70 fixing plate, 71 exposed portion opening, 72, 72A
1st slit, 73, 73A 2nd slit, 74a 1st area | region, 74b 2nd area | region
Claims (6)
前記ノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、
前記ノズルプレートと前記流路形成基板との間に設けられ、該圧力発生室と前記ノズル
開口に連通する連通路が設けられた連通板と、
前記圧力発生室に圧力を付与して前記ノズル開口から液体を噴射させる圧力発生手段と
を含むヘッド本体、
及び前記連通板と該連通板の外周部で接合されて該ヘッド本体が固定される固定部材を
備え、
該固定板には、前記ノズル開口が露出される露出部開口と、該露出部開口の周囲の少な
くとも一部に形成された貫通孔とが設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 A nozzle plate provided with nozzle openings for ejecting liquid;
A flow path forming substrate in which a pressure generating chamber communicating with the nozzle opening is formed;
A communication plate provided between the nozzle plate and the flow path forming substrate and provided with a communication passage communicating with the pressure generating chamber and the nozzle opening;
A head body including pressure generating means for applying pressure to the pressure generating chamber and ejecting liquid from the nozzle opening;
And a fixing member to which the head body is fixed by being joined at the outer peripheral portion of the communication plate and the communication plate,
The liquid ejecting head, wherein the fixing plate is provided with an exposed portion opening from which the nozzle opening is exposed and a through hole formed in at least a part of the periphery of the exposed portion opening.
であることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the through hole is a first through hole provided in at least a part of a peripheral edge portion of the exposed portion opening.
となるように設けられている第２貫通孔であることを特徴とする請求項１又は２記載の液
体噴射ヘッド。 The said through-hole is a 2nd through-hole provided in the at least one part of the outer peripheral side of the said exposed part opening so that it may become discontinuous with the said exposed part opening. Liquid jet head.
圧力発生室に液体流路を介して連通し、複数の圧力発生室にとって共通の液体流路とな
るマニホールドと、
該マニホールドに液体を導入するための液体導入口が設けられた導入口形成基板とを備
え、
前記貫通孔は、少なくともその一部が該液体導入口に対向して設けられていることを特
徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。 The head body is
A manifold that communicates with the pressure generation chamber via a liquid flow path and serves as a common liquid flow path for the plurality of pressure generation chambers;
An inlet forming substrate provided with a liquid inlet for introducing liquid into the manifold,
The liquid ejecting head according to claim 1, wherein at least a part of the through hole is provided to face the liquid introduction port.
る液体噴射ヘッドユニット。 A liquid ejecting head unit comprising a plurality of the liquid ejecting heads according to claim 1.
体噴射装置。 A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011048720A JP2012183745A (en) | 2011-03-07 | 2011-03-07 | Liquid jetting head, liquid jetting head unit, and liquid jetting device |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP2011048720A JP2012183745A (en) | 2011-03-07 | 2011-03-07 | Liquid jetting head, liquid jetting head unit, and liquid jetting device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012183745A true JP2012183745A (en) | 2012-09-27 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014188887A (en) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Seiko Epson Corp | Liquid jet head and liquid jet device |
-
2011
- 2011-03-07 JP JP2011048720A patent/JP2012183745A/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2014188887A (en) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Seiko Epson Corp | Liquid jet head and liquid jet device |
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