JP2012163397A - Probe device and manufacturing method thereof - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent displacement of a contact electrode of a probe device from an electrode of a body to be inspected.SOLUTION: The probe device includes a flexible wiring sheet, a support body supporting the wiring sheet, and a gap maintaining member attached to the wiring sheet. The wiring sheet includes a plurality of wires provided on one surface thereof and a plurality of contact electrodes provided on the wires. The gap maintaining member has a thermal expansion coefficient lower than that of the wiring sheet and rigidity higher than that of the wiring sheet and is attached to the wiring sheet to maintain gaps between the plurality of wires in a state where the wiring sheet is expanded.

Description

本発明は、液晶表示パネルのような平板状被検査体の電気的試験に用いるプローブ装置に関する。   The present invention relates to a probe device used for an electrical test of a flat test object such as a liquid crystal display panel.

液晶が封入された液晶表示パネルのような平板状の被検査体は、一般に、プローブユニットのような、プローブ装置を用いる検査装置すなわち試験装置により検査すなわち試験をされる。そのようなプローブ装置の１つとして、特許文献１に記載されたものがある。   In general, a flat inspection object such as a liquid crystal display panel in which liquid crystal is sealed is inspected or tested by an inspection apparatus using a probe apparatus, such as a probe unit, that is, a test apparatus. One such probe device is described in Patent Document 1.

特許文献１に記載されたプローブ装置は、複数の配線を一方の面に有する可撓性の配線シートと、該配線シートが結合部材を介して支持された支持体とを含む。配線シートは結合部材に接着されており、結合部材が支持体に結合されることにより、配線シートは支持体に支持される。   The probe device described in Patent Literature 1 includes a flexible wiring sheet having a plurality of wirings on one surface, and a support body on which the wiring sheet is supported via a coupling member. The wiring sheet is bonded to the coupling member, and the wiring sheet is supported by the support body when the coupling member is coupled to the support body.

配線シートの配線は、相互に間隔をおいて配線シートの一方の面内を延びている。各配線は、被検査体の電極に接触する接触電極をその先端に備える。それらの配線は、被検査体の電極の相互の間隔に対応して、所定の間隔をおいて配置されている。したがって、配線シートの先端に設けられた接触電極の相互の間隔も、被検査体の複数の電極の相互の間隔に対応した所定の間隔となっている。これにより、試験時に各接触電極が、被検査体の対応する電極に接触できる。   The wiring of the wiring sheet extends in one surface of the wiring sheet at intervals. Each wiring is provided with a contact electrode in contact with the electrode of the device under test at its tip. These wirings are arranged at a predetermined interval corresponding to the interval between the electrodes of the device under test. Therefore, the distance between the contact electrodes provided at the tip of the wiring sheet is also a predetermined distance corresponding to the distance between the plurality of electrodes of the object to be inspected. Thereby, at the time of a test, each contact electrode can contact the corresponding electrode of a to-be-inspected object.

ところで、従来のプローブ装置において、配線シートは、熱硬化性の接着材により支持体及び結合部材（以下、「支持体等」という。）に接着されている。したがって、配線シートを接着する際に、熱硬化性の接着材を硬化させるべく配線シート及び支持体等が加熱される。しかし、配線シートは、ポリイミドのような熱膨張率の高い材料を基材として製作されているから、配線シートは加熱により膨張してしまう。   By the way, in the conventional probe device, the wiring sheet is bonded to a support and a coupling member (hereinafter referred to as “support or the like”) with a thermosetting adhesive. Therefore, when bonding the wiring sheet, the wiring sheet, the support, and the like are heated to cure the thermosetting adhesive. However, since the wiring sheet is manufactured using a material having a high thermal expansion coefficient such as polyimide as a base material, the wiring sheet expands due to heating.

配線シートが熱膨張すると、該配線シートに設けられた配線の相互の間隔が広がる。これにより、配線に設けられた接触電極の間隔も広がるから、接触電極が被検査体の電極に対して位置ずれする。したがって、配線シートは、接触電極が位置ずれした状態で、支持体等に取り付けられることになる。   When the wiring sheet is thermally expanded, the distance between the wirings provided on the wiring sheet is increased. As a result, the distance between the contact electrodes provided on the wiring also increases, so that the contact electrodes are displaced from the electrodes of the object to be inspected. Therefore, the wiring sheet is attached to the support or the like with the contact electrode being displaced.

配線シートを支持体へ取り付けた後、配線シートは常温まで冷却されるが、該配線シートが支持体等に接着されているから、配線の相互の間隔は配線シートが膨張したときの状態に維持され、接触電極は被検査体の電極に対して位置ずれした状態に維持される。したがって、そのようなプローブ装置では、接触電極を被検査体の電極に正確に接触させることができない。   After the wiring sheet is attached to the support, the wiring sheet is cooled to room temperature, but since the wiring sheet is bonded to the support, the distance between the wirings is maintained as it was when the wiring sheet expanded. Then, the contact electrode is maintained in a position shifted with respect to the electrode of the object to be inspected. Therefore, in such a probe device, the contact electrode cannot be brought into precise contact with the electrode of the device under test.

上記のような接触電極の位置ずれを防止すべく、配線シートが熱膨張することを前提として、配線シートの接触電極の間隔が被検査体の電極間隔より狭い状態で製作された配線シートがある。そのような配線シートを用いれば、支持体等に接着される際に配線シートが加熱され、該配線シートが熱膨張して配線シートの複数の配線の相互の間隔が広がることにより、配線に取り付けられた複数の接触電極の間隔を被検査体の電極の間隔に一致させることができる。   In order to prevent the displacement of the contact electrodes as described above, there is a wiring sheet manufactured in a state where the distance between the contact electrodes of the wiring sheet is narrower than the electrode distance of the object to be inspected on the assumption that the wiring sheet is thermally expanded. . If such a wiring sheet is used, the wiring sheet is heated when bonded to a support or the like, and the wiring sheet is thermally expanded to increase the interval between a plurality of wirings on the wiring sheet, thereby attaching to the wiring. The interval between the plurality of contact electrodes thus formed can be made to coincide with the interval between the electrodes of the object to be inspected.

しかし、配線シートの配線の間隔を所定の間隔となるように加熱量を調整しようとすると、吸熱量の大きい支持体等の吸熱をも考慮して配線シートを加熱する必要がある。このため、接触電極の間隔調整が困難となり、加熱不足により接触電極の間隔が充分に広がらない場合、又は加熱過剰により接触電極の間隔が広がりすぎる場合がある。   However, if the heating amount is adjusted so that the wiring interval of the wiring sheet becomes a predetermined interval, it is necessary to heat the wiring sheet in consideration of heat absorption of a support body having a large heat absorption amount. For this reason, it is difficult to adjust the distance between the contact electrodes, and the distance between the contact electrodes may not be sufficiently widened due to insufficient heating, or the distance between the contact electrodes may be too large due to excessive heating.

そのような場合は、接触電極が被検査体の電極に対して位置ずれしてしまうことになる。接触電極が位置ずれしたプローブ装置では、被検査体の電極に接触電極が正確に接触しないから、被検査体の試験を行うことができない。   In such a case, the contact electrode is displaced with respect to the electrode of the device under test. In the probe device in which the contact electrode is displaced, the contact electrode does not accurately contact the electrode of the object to be inspected, so that the test of the object to be inspected cannot be performed.

また、プローブ装置の製造後にプローブ装置が加熱されることがある。例えば、被検査体の点灯検査において、被検査体を高温環境下で試験する場合である。そのような場合は、プローブ装置も被検査体と同じ高温環境下に置かれることになる。   In addition, the probe device may be heated after the probe device is manufactured. For example, in the lighting inspection of the inspection object, the inspection object is tested in a high temperature environment. In such a case, the probe device is also placed in the same high temperature environment as the object to be inspected.

このとき、配線シートが支持体に接着されないで取り付けられていると（例えば、ねじ部材により支持部材に取り付けられていると）、配線シートは熱膨張可能となる。したがって、配線シートを含むプローブ装置が高温環境下におかれると、配線シートが熱膨張することにより、配線シートの配線の間隔が広がってしまう。   At this time, if the wiring sheet is attached without being bonded to the support (for example, attached to the supporting member with a screw member), the wiring sheet can be thermally expanded. Therefore, when the probe device including the wiring sheet is placed in a high-temperature environment, the wiring sheet is thermally expanded, so that the wiring interval of the wiring sheet is widened.

配線の間隔が広がることにより、配線に設けられた接触電極の間隔も所定の間隔（被検査体の電極の間隔）に対して広がるから、接触電極が被検査体の電極に対して位置ずれしてしまう。接触電極が位置ずれしたプローブ装置では、被検査体の電極に接触電極が正確に接触しないから、被検査体の試験を行うことができない。   Since the distance between the wirings increases, the distance between the contact electrodes provided on the wiring also increases with respect to a predetermined distance (the distance between the electrodes of the object to be inspected). End up. In the probe device in which the contact electrode is displaced, the contact electrode does not accurately contact the electrode of the object to be inspected, so that the test of the object to be inspected cannot be performed.

韓国登録特許第１０−０７２０３７８号公報Korean Registered Patent No. 10-0720378

本発明は、プローブ装置の接触電極が被検査体の電極に対して位置ずれすることを防止することにある。   It is an object of the present invention to prevent the contact electrode of the probe device from being displaced with respect to the electrode of the device under test.

本発明に係るプローブ装置は、可撓性を有する配線シートと、該配線シートを支持する支持体と、配線シートに取り付けられた間隔維持部材とを含む。前記配線シートは、該配線シートの一方の面に設けられ、かつ第１の方向に間隔をおいて該第１の方向に交差する第２の方向に延びる複数の配線と、該配線に設けられた複数の接触電極とを備える。前記間隔維持部材は、前記配線シートより低い熱膨張係数及び高い剛性を有し、前記配意線シートに取り付けられて、前記配線シートが膨張した状態で前記複数の配線相互の間隔を維持する。   The probe device according to the present invention includes a flexible wiring sheet, a support body that supports the wiring sheet, and a spacing maintaining member attached to the wiring sheet. The wiring sheet is provided on one surface of the wiring sheet and a plurality of wirings extending in a second direction intersecting the first direction at intervals in the first direction, and the wiring sheet. A plurality of contact electrodes. The spacing maintaining member has a lower coefficient of thermal expansion and higher rigidity than the wiring sheet, and is attached to the service line sheet to maintain the spacing between the plurality of wirings in a state where the wiring sheet is expanded.

前記間隔維持部材は、前記配線シートに対向して前記配線を覆う平面を備え、かつ該平面において接着材により前記配線シートに接着されていてもよい。また、前記間隔維持部材はガラス製の板状部材を備えることができ、前記接着材は熱硬化性とすることができる。   The spacing maintaining member may include a flat surface that faces the wiring sheet and covers the wiring, and may be bonded to the wiring sheet with an adhesive on the flat surface. Moreover, the said space | interval maintenance member can be provided with the plate-shaped member made from glass, and the said adhesive material can be made into thermosetting.

前記間隔維持部材は、前記接触電極が設けられた領域に対応する前記配線シートの他方の面に取り付けられていてもよく、前記配線シートの一方の面に取り付けられていてもよい。前記配線シートは前記支持体から延びる延在部を備えていてもよく、前記接触電極は前記延在部に設けられていてもよい。   The spacing maintaining member may be attached to the other surface of the wiring sheet corresponding to the region where the contact electrode is provided, or may be attached to one surface of the wiring sheet. The wiring sheet may include an extending part extending from the support, and the contact electrode may be provided on the extending part.

前記プローブ装置は、さらに、前記支持体に取り付けられたストッパを含むことができる。該ストッパは、前記配線シートの前記接触電極が被検査体の電極に押されたとき、前記配線シートの前記延在部の前記接触電極と反対側の部位が当接することを許す。   The probe device may further include a stopper attached to the support. When the contact electrode of the wiring sheet is pushed by the electrode of the object to be inspected, the stopper allows a portion of the extension portion of the wiring sheet opposite to the contact electrode to abut.

前記ストッパは、弾性を有する弾性部材と、前記配線シートが接触可能に前記弾性部材に設けられた表面層であって、該表面層と前記配線シートとの間の摩擦を低減する表面層とを備えていてもよい。前記配線シートは、さらに、前記配線に電気的に接続された集積回路チップを備えることができる。   The stopper includes an elastic member having elasticity, and a surface layer provided on the elastic member so that the wiring sheet can come into contact therewith, and a surface layer that reduces friction between the surface layer and the wiring sheet. You may have. The wiring sheet may further include an integrated circuit chip electrically connected to the wiring.

本発明に係るプローブ装置の製造方法は、可撓性を有する配線シートを加熱膨張させて、間隔維持部材を前記配線シートに取り付ける第１の工程と、前記配線シートを支持体に取り付ける第２の工程とを含む。前記配線シートは、該配線シートの一方の面に設けられ、かつ第１の方向に間隔をおいて該第１の方向に交差する第２の方向に延びる複数の配線と、該配線に設けられた複数の接触電極とを備える。前記間隔維持部材は、前記配線シートより低い熱膨張係数及び高い剛性を有し、前記配線の間隔を維持する。   The method for manufacturing a probe device according to the present invention includes a first step of heating and expanding a flexible wiring sheet and attaching a spacing maintaining member to the wiring sheet, and a second step of attaching the wiring sheet to a support. Process. The wiring sheet is provided on one surface of the wiring sheet and a plurality of wirings extending in a second direction intersecting the first direction at intervals in the first direction, and the wiring sheet. A plurality of contact electrodes. The spacing maintaining member has a lower coefficient of thermal expansion and higher rigidity than the wiring sheet, and maintains the spacing between the wirings.

前記第１の工程は、前記間隔維持部材を熱硬化性の接着材により前記配線シートに取り付けるべく、前記配線シートを加熱膨張させる熱により前記熱硬化性の接着材を硬化させることで前記間隔維持部材を前記配線シートに接着することを含むことができる。前記第１の工程は、さらに、前記配線シートを加熱膨張させると同時に、前記配線シートを前記間隔維持部材に押圧することを含むことができる。   In the first step, in order to attach the spacing maintaining member to the wiring sheet with a thermosetting adhesive, the spacing is maintained by curing the thermosetting adhesive with heat that heats and expands the wiring sheet. Adhering a member to the wiring sheet can be included. The first step may further include pressing the wiring sheet against the gap maintaining member at the same time as the wiring sheet is heated and expanded.

前記第１の工程は、前記間隔維持部材を貼り付け治具に配置する第３の工程と、前記間隔維持部材の上に前記熱硬化性の接着材を配置する第４の工程と、前記間隔維持部材及び前記熱硬化性の接着材の上に前記配線シートを配置する第５の工程と、前記配線シートの上方から貼り付け装置により前記配線シート、前記熱硬化性の接着材及び前記間隔維持部材を加熱及び押圧する第６の工程とを含むことができる。   The first step includes a third step of disposing the spacing maintaining member on a sticking jig, a fourth step of disposing the thermosetting adhesive on the spacing maintaining member, and the spacing. A fifth step of disposing the wiring sheet on the maintenance member and the thermosetting adhesive; and the wiring sheet, the thermosetting adhesive, and the spacing maintenance by a pasting device from above the wiring sheet. And a sixth step of heating and pressing the member.

本発明においては、配線シートの複数の配線及びこれに設けられた複数の接触電極の間隔が所定の間隔（すなわち、被検査体の電極間隔に対応した間隔）となるように配線シートが熱膨張された状態で、間隔維持部材が配線シートに取り付けられる。しかし、間隔維持部材の吸熱量が支持体のそれより小さいから、間隔維持部材の吸熱を考慮して配線及び接触電極の間隔を所定の間隔に調整するように加熱する作業は容易である。   In the present invention, the wiring sheet is thermally expanded so that a plurality of wirings of the wiring sheet and a plurality of contact electrodes provided on the wiring sheet have a predetermined interval (that is, an interval corresponding to the electrode interval of the object to be inspected). In this state, the interval maintaining member is attached to the wiring sheet. However, since the heat absorption amount of the gap maintaining member is smaller than that of the support, it is easy to perform heating so that the gap between the wiring and the contact electrode is adjusted to a predetermined distance in consideration of the heat absorption of the gap maintaining member.

配線シートより高い剛性及び低い熱膨張係数を有する間隔維持部材が配線シートに取り付けられることにより、配線シートの温度が常温に低下した後においても、配線シートの配線の相互の間隔及び接触電極の相互の間隔は配線シートが加熱膨張された時の値に維持される。このため、間隔維持部材を取り付けた後の配線シートにおいて、配線シートの加熱により接触電極の間隔が所定の間隔から変化することはない。   By attaching an interval maintaining member having a higher rigidity and a lower thermal expansion coefficient than the wiring sheet to the wiring sheet, even after the temperature of the wiring sheet is lowered to room temperature, the mutual spacing of the wirings of the wiring sheet and the mutual contact electrodes are reduced. The interval is maintained at the value when the wiring sheet is heated and expanded. For this reason, in the wiring sheet after attaching the spacing maintaining member, the spacing between the contact electrodes does not change from the predetermined spacing due to heating of the wiring sheet.

これにより、熱効硬化性接着材を硬化すべく配線シートが支持体に取り付けられるときに、又はプローブ装置が高温環境下におかれるときに配線シートが加熱されても、接触電極の間隔は所定の間隔に維持されている。したがって、本発明に係るプローブ装置においては、配線シートが加熱されることにより、被検査体の電極に対する接触電極の位置ずれが生ずることはない。   Thus, even when the wiring sheet is heated when the wiring sheet is attached to the support to cure the thermosetting adhesive or when the probe device is placed in a high temperature environment, the distance between the contact electrodes is predetermined. Is maintained at intervals. Therefore, in the probe device according to the present invention, the wiring sheet is heated, so that the displacement of the contact electrode with respect to the electrode of the object to be inspected does not occur.

本発明に係るプローブ装置を用いた試験装置の第１の実施例を示す斜視図である。1 is a perspective view showing a first embodiment of a test apparatus using a probe apparatus according to the present invention. 図１に示すプローブ装置の正面図である。It is a front view of the probe apparatus shown in FIG. 図１に示すプローブ装置の平面図である。It is a top view of the probe apparatus shown in FIG. 図２における４−４線に沿って得た断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line 4-4 in FIG. 図２に示すプローブ装置のプローブブロックを示す図であり、（Ａ）は図２における５（Ａ）−５（Ａ）に沿って得た断面図であり、（Ｂ）はプローブブロックの底面図である。It is a figure which shows the probe block of the probe apparatus shown in FIG. 2, (A) is sectional drawing obtained along 5 (A) -5 (A) in FIG. 2, (B) is a bottom view of a probe block. It is. 図５に示すプローブブロックの先端部分の拡大断面図である。FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a tip portion of the probe block shown in FIG. 5. 図１に示すプローブ装置の製造方法を説明するための工程図である。It is process drawing for demonstrating the manufacturing method of the probe apparatus shown in FIG. 図５に示す配線シートの概略図であり、（Ａ）は間隔維持部材を貼り付ける前の配線シートの底面図、（Ｂ）は間隔維持部材を貼り付けた後の配線シートを示す底面図である。6A is a schematic diagram of the wiring sheet shown in FIG. 5, and FIG. 5A is a bottom view of the wiring sheet before the interval maintaining member is pasted, and FIG. 5B is a bottom view showing the wiring sheet after the interval maintaining member is pasted. is there. 本発明に係るプローブ装置の第２の実施例を示す、図５（Ａ）に対応する断面図である。It is sectional drawing corresponding to FIG. 5 (A) which shows the 2nd Example of the probe apparatus which concerns on this invention. 本発明に係るプローブ装置の第３の実施例を示す、図６に対応する断面図である。It is sectional drawing corresponding to FIG. 6 which shows the 3rd Example of the probe apparatus based on this invention.

[用語の説明]   [Explanation of terms]

本発明においては、図４において、上下方向を上下方向又はＺ方向といい、左右方向をプローブ装置の被検査体側を前方とする前後方向又はＹ方向といい、紙背方向を左右方向又はＸ方向という。しかし、それらの方向は、ワークテーブルのようなパネル受けに受けられた被検査体の姿勢に応じて異なる。   In the present invention, in FIG. 4, the up and down direction is referred to as the up and down direction or the Z direction, the left and right direction is referred to as the front and back direction or the Y direction with the inspected object side of the probe device as the front, and the paper back direction is referred to as the left and right direction or X direction. . However, these directions differ depending on the posture of the object to be inspected received by a panel receiver such as a work table.

したがって、プローブ装置及びプローブブロックは、本発明でいう上下方向（Ｚ方向）が、実際に、上下方向となる状態、上下逆となる状態、斜めの方向となる状態等、いずれかの方向となる状態に試験装置に取り付けられて、使用される。   Therefore, in the probe device and the probe block, the vertical direction (Z direction) in the present invention is actually in any direction, such as a state in which it is in the vertical direction, a state in which it is upside down, or a state in which it is oblique. Attached to the test equipment in the state and used.

［第１の実施例］   [First embodiment]

図１を参照するに、試験装置１０は、液晶表示パネルのような平板状の被検査体１２の点灯検査に用いられる。被検査体１２は、その一部のみを示されているが、実際は、長方形の形状を有しており、また長方形の少なくとも２つの辺に対応する縁部のそれぞれに複数の電極１４（図８参照）を所定の間隔で形成している。各電極１４は、これが配置された縁部と直交するＸ方向又はＹ方向へ延びる帯状の形状を有している。   Referring to FIG. 1, a test apparatus 10 is used for lighting inspection of a flat object 12 such as a liquid crystal display panel. Although only a part of the inspected object 12 is shown, the inspected object 12 actually has a rectangular shape, and a plurality of electrodes 14 (FIG. 8) are provided on each of the edge portions corresponding to at least two sides of the rectangular shape. Are formed at predetermined intervals. Each electrode 14 has a belt-like shape extending in the X direction or the Y direction orthogonal to the edge where the electrode 14 is disposed.

試験装置１０は、本体フレーム（図示せず）に左右方向に延びる状態に取り付けられる長い板状のプローブベース１６と、プローブベース１６に左右方向に間隔をおいて載置された複数のプローブ装置１８（図１においては、３つを示す。）と、プローブベース１６の上に配置された複数の中継ベース２０と、各中継ベース２０の上に配置された中継基板２２とを含む。   The test apparatus 10 includes a long plate-like probe base 16 attached to a main body frame (not shown) so as to extend in the left-right direction, and a plurality of probe apparatuses 18 mounted on the probe base 16 at intervals in the left-right direction. (In FIG. 1, three are shown.), A plurality of relay bases 20 disposed on the probe base 16, and a relay substrate 22 disposed on each relay base 20.

図１においては、被検査体１２の電極１４が配置された１つの辺に対応するプローブ装置１８を示しているにすぎないが、実際には被検査体１２の電極１４が配置された各辺に対応して少なくとも1つのプローブ装置１８が配置されている。   In FIG. 1, only the probe device 18 corresponding to one side where the electrode 14 of the device under test 12 is arranged is shown, but each side where the electrode 14 of the device under test 12 is actually arranged is shown. Corresponding to this, at least one probe device 18 is arranged.

中継ベース２０及び中継基板２２の組は、プローブ装置１８に対応されてプローブ装置１８と同数設けられている。各中継ベース２０は、プローブベース１６の幅方向（前後方向）に間隔をおいて左右方向に平行に延びる状態にプローブベース１６の上面に取り付けられた一対の棒状部材を備える。   The number of sets of the relay base 20 and the relay substrate 22 is provided in the same number as the probe device 18 corresponding to the probe device 18. Each relay base 20 includes a pair of rod-like members attached to the upper surface of the probe base 16 so as to extend in parallel to the left-right direction with an interval in the width direction (front-rear direction) of the probe base 16.

中継基板２２は、それら棒状部材の上に載置されている。中継基板２２は、試験信号を発生する電気回路（図示せず）に接続される。試験信号は、そのような電気回路からプローブ装置１８を介して被検査体１２に供給されて、被検査体１２を駆動（点灯）させる。   The relay substrate 22 is placed on these rod-shaped members. The relay board 22 is connected to an electric circuit (not shown) that generates a test signal. The test signal is supplied from such an electric circuit to the device under test 12 via the probe device 18 to drive (light up) the device under test 12.

図２〜４を参照するに、各プローブ装置１８は、プローブベース１６に載置されかつ連結された連結ブロック２４と、連結ブロック２４に支持された支持ブロック２６と、支持ブロックに結合された結合ブロック２８と、結合ブロック２８に支持されたプローブブロック３０と、プローブブロック３０を中継基板２２に電気的に接続する接続回路３２とを含む。接続回路３２は、フレキシブル印刷配線回路（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuits）のような可撓性を有するシート状配線回路である。   2 to 4, each probe device 18 includes a connection block 24 mounted on and connected to the probe base 16, a support block 26 supported by the connection block 24, and a connection coupled to the support block. A block 28, a probe block 30 supported by the coupling block 28, and a connection circuit 32 that electrically connects the probe block 30 to the relay substrate 22 are included. The connection circuit 32 is a flexible sheet-like wiring circuit such as a flexible printed circuit (FPC).

連結ブロック２４は、プローブベース１６から立ち上がるようにプローブベース１６に連結された主体部２４ａと、主体部２４ａの上部から前方に延びる延長部２４ｂとにより、逆Ｌ字状の断面形状を有する。連結ブロック２４は、主体部２４ａを上方から下方に貫通してプローブベース１６に螺合された複数のボルト３４（図３参照）によりプローブベース１６に取り外し可能に結合されている。   The connection block 24 has an inverted L-shaped cross-section with a main body 24a connected to the probe base 16 so as to rise from the probe base 16, and an extension 24b extending forward from the upper portion of the main body 24a. The connecting block 24 is detachably coupled to the probe base 16 by a plurality of bolts 34 (see FIG. 3) that pass through the main body portion 24a downward from above and are screwed to the probe base 16.

支持ブロック２６は、直方体状の主体部２６ａと、主体部２６ａの下部から前方に延びる延長部２６ｂとによりＬ字状の断面形状を有する。支持ブロック２６は、一組のガイド３６及びガイドレール３８により上下方向に移動可能に連結ブロック２４の主体部２４ａの前面に主体部２６ａの後面において連結されていると共に、ボルト４０（図３及び４参照）により上下方向の位置を調整可能に連結ブロック２４の延長部２４ｂの下側に支持されている。   The support block 26 has an L-shaped cross-section with a rectangular parallelepiped main body portion 26a and an extension portion 26b extending forward from the lower portion of the main body portion 26a. The support block 26 is connected to the front surface of the main body portion 24a of the connection block 24 on the rear surface of the main body portion 26a so as to be movable in the vertical direction by a pair of guides 36 and guide rails 38, and the bolt 40 (FIGS. 3 and 4). ), The position in the vertical direction is adjustable and supported below the extension portion 24b of the connecting block 24.

ボルト４０は、連結ブロック２４の延長部２４ｂを上方から下方へ貫通しており、また支持ブロック２６に形成されたねじ穴（図示しない）に螺合されている。支持ブロック２６は、左右方向に間隔をおいて連結ブロック２４の延長部２４ｂと支持ブロック２６との間に配置された一対の圧縮コイルバネ４１（図２参照）により下方に付勢されている。これにより、支持ブロック２６へのボルト４０のねじ込み量を調整することにより、支持ブロック２６、ひいては支持ブロック２６に結合ブロック２８を介して支持されたプローブブロック３０の高さ位置を調整することができる。   The bolt 40 penetrates the extension portion 24b of the connecting block 24 from above to below, and is screwed into a screw hole (not shown) formed in the support block 26. The support block 26 is urged downward by a pair of compression coil springs 41 (see FIG. 2) disposed between the extension portion 24b of the connection block 24 and the support block 26 with an interval in the left-right direction. Thus, by adjusting the screwing amount of the bolt 40 into the support block 26, the height position of the support block 26, and hence the probe block 30 supported by the support block 26 via the coupling block 28 can be adjusted. .

結合ブロック２８は、左右方向に長い板状部材であり、その中央領域において支持ブロック２６の下側に結合されている。結合ブロック２８と支持ブロック２６とは、支持ブロック２６の主体部２６ａを上方から下方に貫通して結合ブロック２８に螺合されたボルト４２（図２及び３参照）により結合されている。   The coupling block 28 is a plate-like member that is long in the left-right direction, and is coupled to the lower side of the support block 26 in the central region. The coupling block 28 and the support block 26 are coupled to each other by a bolt 42 (see FIGS. 2 and 3) that passes through the main body 26a of the support block 26 downward from above and is screwed to the coupling block 28.

プローブブロック３０は、配線シート４４と、配線シート４４を下側に支持する支持体４６と、配線シート４４に取り付けられた間隔維持部材４８とを含む。プローブブロック３０は、左右方向に間隔をおいて結合ブロック２８を上方から下方に貫通して支持体４６に螺合された一対のボルト５０により、結合ブロック２８に結合されている。配線シート４４は、図４に示すように接続回路３２を介して中継基板２２に電気的に接続されている。   The probe block 30 includes a wiring sheet 44, a support body 46 that supports the wiring sheet 44 downward, and a gap maintaining member 48 attached to the wiring sheet 44. The probe block 30 is coupled to the coupling block 28 by a pair of bolts 50 that pass through the coupling block 28 from the upper side to the lower side with an interval in the left-right direction and screwed to the support 46. The wiring sheet 44 is electrically connected to the relay substrate 22 via the connection circuit 32 as shown in FIG.

図５及び６を参照するに、プローブブロック３０の支持体４６は、前後方向に長い矩形の断面形状を有する本体部４６ａと、本体部４６ａの前端部下面から前方及び下方に斜めに突出する三角形の断面形状を有する補助部４６ｂとを含む。配線シート４４は、本体部４６ａの下面であって前後方向及び左右方向に延びる水平の下面と、補助部４６ｂの下面であって本体部４６ａの前記水平の下面から前方及び下方に斜めに延びる傾斜した下面に熱硬化性の接着材５２により接着されている。   5 and 6, the support body 46 of the probe block 30 includes a main body portion 46a having a rectangular cross-sectional shape that is long in the front-rear direction, and a triangle projecting obliquely forward and downward from the lower surface of the front end portion of the main body portion 46a. And an auxiliary portion 46b having the following cross-sectional shape. The wiring sheet 44 is a lower surface of the main body portion 46a that extends in the front-rear direction and the left-right direction, and a lower surface of the auxiliary portion 46b that obliquely extends forward and downward from the horizontal lower surface of the main body portion 46a. It is adhered to the lower surface by a thermosetting adhesive material 52.

配線シート４４は、可撓性のシート状部材５４と、その一方の面に設けられた複数の配線５６と、各配線５６の一端部下面に設けられた接触電極５８とを備える（図５（Ｂ）参照）。図示の例では、配線シート４４は、シート状部材５４に複数の配線５６を形成した、いわゆるＦＰＣのような可撓性を有するシート状配線回路の各配線５６の前端部に接触電極５８を形成している。   The wiring sheet 44 includes a flexible sheet-like member 54, a plurality of wirings 56 provided on one surface thereof, and a contact electrode 58 provided on the lower surface of one end of each wiring 56 (FIG. 5 ( B)). In the illustrated example, the wiring sheet 44 has a contact electrode 58 formed at the front end of each wiring 56 of a flexible sheet-like wiring circuit such as a so-called FPC in which a plurality of wirings 56 are formed on a sheet-like member 54. is doing.

シート状部材５４は、ポリイミドのような高い熱膨張係数と電気絶縁性とを有する材料で製作されている。配線５６は、シート状部材５４の一方の面に設けられており、また第１の方向（すなわち、左右方向）に間隔をおいて第２の方向（すなわち、前後方向）に延びている。配線５６を備えたシート状部材５４としてＦＰＣを用いれば、配線５６の配置形状、すなわち配置パターンは、ＦＰＣの従来の設計及び製造方法で様々な形状とすることができる。   The sheet-like member 54 is made of a material having a high thermal expansion coefficient and electrical insulation, such as polyimide. The wiring 56 is provided on one surface of the sheet-like member 54 and extends in the second direction (that is, the front-rear direction) with an interval in the first direction (that is, the left-right direction). If FPC is used as the sheet-like member 54 provided with the wiring 56, the arrangement shape of the wiring 56, that is, the arrangement pattern, can be changed to various shapes by the conventional design and manufacturing method of the FPC.

接触電極５８は、図示の例では直方体の形状を有するが、円錐、角錐等の先鋭の形状を有していてもよいし、半球状の形状を有していてもよい。接触電極５８は、配線シート４４の配線５６にメッキ法、蒸着法等の体積技術により形成することができる。接触電極５８は、試験時に、被検査体１２の電極１４に押圧される。   Although the contact electrode 58 has a rectangular parallelepiped shape in the illustrated example, the contact electrode 58 may have a sharp shape such as a cone or a pyramid, or may have a hemispherical shape. The contact electrode 58 can be formed on the wiring 56 of the wiring sheet 44 by a volume technique such as plating or vapor deposition. The contact electrode 58 is pressed against the electrode 14 of the device under test 12 during the test.

配線シート４４は、さらに、被検査体１２を駆動する駆動信号を生成する集積回路チップ６０と、左右方向に間隔をおいて集積回路チップ６０から後方に延びる複数の配線６２とを備える。複数の配線５６及び複数の配線６２は、それぞれ、それらの後端部及び前端部において集積回路チップ６０の出力端子及び入力端子に電気的に接続されている。本実施例において、配線シート４４は、集積回路チップ６０が実装されたチップオンフィルム（ＣＯＦ：Chip On Film）とされている。   The wiring sheet 44 further includes an integrated circuit chip 60 that generates a drive signal for driving the device under test 12 and a plurality of wirings 62 that extend rearward from the integrated circuit chip 60 with an interval in the left-right direction. The plurality of wirings 56 and the plurality of wirings 62 are electrically connected to the output terminal and the input terminal of the integrated circuit chip 60 at the rear end portion and the front end portion thereof, respectively. In the present embodiment, the wiring sheet 44 is a chip on film (COF) on which the integrated circuit chip 60 is mounted.

間隔維持部材４８は、左右方向に延びる矩形の板状部材であり、また配線シート４４に比べ小さい熱膨張係数と高い剛性とを有する。図示の例では、間隔維持部材４８はガラスで製作されている。間隔維持部材４８は、配線シート４４の接触電極５８の近傍に配置されており、間隔維持部材４８の一方の面を配線シート４４に対向させて各配線５６の一部を覆うように、接着材６４（図６参照）により配線シート４４に接着されている。   The interval maintaining member 48 is a rectangular plate-like member extending in the left-right direction, and has a smaller thermal expansion coefficient and higher rigidity than the wiring sheet 44. In the illustrated example, the spacing member 48 is made of glass. The interval maintaining member 48 is disposed in the vicinity of the contact electrode 58 of the wiring sheet 44, and an adhesive is provided so that one surface of the interval maintaining member 48 faces the wiring sheet 44 and covers a part of each wiring 56. 64 (see FIG. 6) is bonded to the wiring sheet 44.

接着材６４は、接着材シートのようなシート状の接着材であってもよいし、ゲル状若しくは液状の接着材であってもよい。接着材６４は、熱硬化性、乾燥硬化性、２液反応硬化性等の接着材であってもよい。接着材６４として、異方性導電フィルム（ＡＣＦ：anisotropic conductive film）のような導電性フィラーを含む接着材フィルムを用いてもよい。   The adhesive material 64 may be a sheet-like adhesive material such as an adhesive sheet, or may be a gel-like or liquid adhesive material. The adhesive material 64 may be an adhesive material such as thermosetting, dry curable, and two-component reaction curable. As the adhesive 64, an adhesive film containing a conductive filler such as an anisotropic conductive film (ACF) may be used.

ＡＣＦは、これが導電性フィラーを含んでいても、その導電性を有する方向を配線５６の配列方向としない限り、隣り合う配線５６を導通させることはない。したがって、接着材６４としてＡＣＦを用いても、配線シート４４が配線５６間の短絡により所定の機能を達成しなくなることはない。   Even if the ACF contains a conductive filler, the adjacent wirings 56 are not conducted unless the direction having the conductivity is the arrangement direction of the wirings 56. Therefore, even if ACF is used as the adhesive 64, the wiring sheet 44 does not fail to achieve a predetermined function due to a short circuit between the wirings 56.

間隔維持部材４８は、後に説明するように、熱硬化性の接着材６４が加熱されることにより配線シート４４に取り付けられ、その後、配線シート４４及び接着材６４と共に常温まで冷却される。   As will be described later, the interval maintaining member 48 is attached to the wiring sheet 44 by heating the thermosetting adhesive 64, and then cooled to room temperature together with the wiring sheet 44 and the adhesive 64.

接着材６４が加熱されると、配線シート４４及び間隔維持部材４８も加熱される。しかし、間隔維持部材４８の熱膨張率が配線シート４４のそれより小さいから、配線シート４４と間隔維持部材４８とは、配線シート４４が間隔維持部材４８より大きく熱膨張して、配線５６のピッチ、すなわち間隔を広げられた状態に接着される。   When the adhesive 64 is heated, the wiring sheet 44 and the spacing member 48 are also heated. However, since the thermal expansion coefficient of the spacing member 48 is smaller than that of the wiring sheet 44, the wiring sheet 44 and the spacing member 48 are thermally expanded more than the spacing member 48, and the pitch of the wiring 56 is increased. That is, it is bonded in a state where the interval is widened.

また、間隔維持部材４８の熱収縮量が配線シート４４のそれより少なく、しかも間隔維持部材４８が配線シート４４より高い剛性を有するから、配線シート４４、間隔維持部材４８及び接着材５４が冷却されると、配線５６の間隔は、間隔維持部材４８が配線シート４４及び接着材６４と共に加熱される前の状態、すなわち配線シート４４及び間隔維持部材４８が接着される前の状態よりも広い状態に維持される。   Further, since the heat shrinkage amount of the spacing member 48 is smaller than that of the wiring sheet 44 and the spacing member 48 has higher rigidity than the wiring sheet 44, the wiring sheet 44, the spacing member 48, and the adhesive 54 are cooled. Then, the interval between the wirings 56 is wider than the state before the interval maintaining member 48 is heated together with the wiring sheet 44 and the adhesive material 64, that is, the state before the wiring sheet 44 and the interval maintaining member 48 are bonded. Maintained.

上記の結果、間隔維持部材４８は、常温状態に冷却された後においても、配線シート４４が加熱されて配線５６の間隔が広げられた状態に、熱硬化性の接着材６４により配線シート４４に取り付けられている。したがって、間隔維持部材４８が接着される配線シート４４の配線５６の中央部分５６ａ及び中央部分５６ａより前方の前部分５６ｂは、中央部５６ａより後方の配線５６の後部分５６ｃに比較して、配線５６の間隔が広い状態とされている。   As a result, even after the interval maintaining member 48 is cooled to a normal temperature state, the wiring sheet 44 is heated and the interval between the wirings 56 is widened by the thermosetting adhesive 64 to the wiring sheet 44. It is attached. Accordingly, the central portion 56a of the wiring 56 of the wiring sheet 44 to which the gap maintaining member 48 is bonded and the front portion 56b in front of the central portion 56a are compared with the rear portion 56c of the wiring 56 behind the central portion 56a. The interval 56 is wide.

間隔維持部材４８は配線シート４４に比較して高い剛性を有するから、間隔維持部材４８が熱膨張した状態で配線シート４４に接着されることにより、その後、配線シート４４が常温まで冷却されても、中央部５６ａにおいて、複数の配線５６の間隔は、配線シート４４が熱膨張したときの状態に維持される。また、間隔維持部材４８は、配線シート４４に比較して低い熱膨張係数を有するから、間隔維持部材４８が取り付けられた配線シート４４が加熱されても、中央部５６ａにおいて、複数の配線５６の間隔は間隔維持部材４８が取り付けられたときの状態に維持される。   Since the interval maintaining member 48 has higher rigidity than the wiring sheet 44, the interval maintaining member 48 is bonded to the wiring sheet 44 in a thermally expanded state, so that the wiring sheet 44 is cooled to room temperature thereafter. In the central portion 56a, the interval between the plurality of wirings 56 is maintained in the state when the wiring sheet 44 is thermally expanded. Further, since the interval maintaining member 48 has a lower coefficient of thermal expansion than the wiring sheet 44, even if the wiring sheet 44 to which the interval maintaining member 48 is attached is heated, The interval is maintained in the state when the interval maintaining member 48 is attached.

したがって、配線シート４４と支持体４６とが熱硬化性の接着材５２により接着されるべく配線シート４４が加熱されて接着されるとき、又は配線シート４４が取り付けられたプローブ装置が高温環境下に置かれるときに、中央部５６ａにおける配線５６の間隔は、配線シート４４が熱膨張したときの状態に維持される。   Therefore, when the wiring sheet 44 is heated and bonded so that the wiring sheet 44 and the support 46 are bonded by the thermosetting adhesive material 52, or the probe device to which the wiring sheet 44 is attached is in a high temperature environment. When placed, the spacing between the wirings 56 in the central portion 56a is maintained in the state when the wiring sheet 44 is thermally expanded.

間隔維持部材４８が配線シート４４の接触電極５８の近傍に位置しているから、接触電極５８が設けられた配線５６の前部分５６ｂは、間隔維持部材４８が接着される配線５６の中央部分５６ａの近傍となる。したがって、前部分５６ｂにおける配線間隔は、中央部５６ａにおける配線間隔と概ね同一となる。   Since the interval maintaining member 48 is located in the vicinity of the contact electrode 58 of the wiring sheet 44, the front portion 56b of the wiring 56 provided with the contact electrode 58 is the central portion 56a of the wiring 56 to which the interval maintaining member 48 is bonded. It becomes near. Accordingly, the wiring interval in the front portion 56b is substantially the same as the wiring interval in the central portion 56a.

これにより、プローブ装置１８の製作において、配線シート４４が加熱されても、配線５６の前部分５６ｂに設けられた複数の接触電極５８の間隔が所定の間隔に維持される。したがって、複数の接触電極５８の間隔を被検査体１２の電極１４の間隔、すなわち所定の間隔とした状態で間隔維持部材４８を配線シート４４に取り付けることにより、接触電極５８が被検査体１２の電極１４に対して位置ずれすることがない。   Thereby, even when the wiring sheet 44 is heated in the manufacture of the probe device 18, the intervals between the plurality of contact electrodes 58 provided on the front portion 56 b of the wiring 56 are maintained at a predetermined interval. Therefore, by attaching the interval maintaining member 48 to the wiring sheet 44 in a state where the interval between the plurality of contact electrodes 58 is the interval between the electrodes 14 of the object 12 to be inspected, that is, a predetermined interval, There is no position shift with respect to the electrode 14.

本実施例において、間隔維持部材４８はガラス製としたが、配線シート４４に比較して低い熱膨張係数及び高い剛性を備えるセラミックのような他の材料で製作されていてもよい。しかし、間隔維持部材４８を透明なガラス製とすることにより、間隔維持部材４８を通して配線５６の間隔を確認することができる。   In the present embodiment, the gap maintaining member 48 is made of glass, but may be made of other materials such as ceramic having a lower thermal expansion coefficient and higher rigidity than the wiring sheet 44. However, the interval maintaining member 48 is made of transparent glass, whereby the interval between the wirings 56 can be confirmed through the interval maintaining member 48.

間隔維持部材４８は、間隔維持部材４８を貫通して支持体４６に螺合する複数のねじ部材により配線シート４４及び支持体４６に取り付けられていてもよい。しかし、間隔維持部材４８を接着材６４により配線シート４４に接着すれば、配線シート４４の配線５６の間隔を配線シート４４と間隔維持部材４８との接着面全体で均一に維持することができるし、配線シート４４が支持体４６に熱硬化性の接着材５２で接着された後においては、配線５６の間隔を広げられた状態に支持体４６と間隔維持部材４８とにより確実に維持される。   The spacing member 48 may be attached to the wiring sheet 44 and the support body 46 by a plurality of screw members that pass through the spacing member 48 and screw into the support body 46. However, if the gap maintaining member 48 is bonded to the wiring sheet 44 with the adhesive 64, the distance between the wirings 56 of the wiring sheet 44 can be maintained uniformly over the entire bonding surface between the wiring sheet 44 and the gap maintaining member 48. After the wiring sheet 44 is bonded to the support 46 with the thermosetting adhesive 52, the support 46 and the interval maintaining member 48 are reliably maintained in a state where the interval of the wiring 56 is widened.

配線シート４４は、さらに、配線５６を覆う第２のシート状部材（図示しない）、いわゆるカバーフィルムを備えていてもよい。そのような第２のシート状部材は、シート状部材５４と同様にポリイミドのような電気絶縁性の材料製とすることができ、それにより配線５６が保護されると共に、配線５６相互の電気的絶縁状態が確実に維持される。配線シート４４は、また、第２のシート状部材を備えることで剛性が増すから、間隔維持部材４８を取り付ける作業が容易になる。   The wiring sheet 44 may further include a second sheet-like member (not shown) that covers the wiring 56, a so-called cover film. Such a second sheet-like member can be made of an electrically insulating material such as polyimide similarly to the sheet-like member 54, thereby protecting the wiring 56 and electrically connecting the wirings 56 to each other. The insulation state is reliably maintained. Since the wiring sheet 44 is provided with the second sheet-like member and has increased rigidity, the work of attaching the interval maintaining member 48 is facilitated.

プローブブロック３０は、さらに、支持体４６に取り付けられたストッパ６６を含む。ストッパ６６は、楔型の断面形状を有しており、また支持体４６の前方及び下方に斜めに延びる斜め上向き面に楔の先端を下方の側とした状態に取り付けられている。   The probe block 30 further includes a stopper 66 attached to the support 46. The stopper 66 has a wedge-shaped cross-sectional shape, and is attached to a diagonally upward surface extending obliquely forward and downward of the support body 46 so that the wedge tip is on the lower side.

ストッパ６６は、弾性を有する弾性部材６７と、弾性部材６７の表面の一部を覆う表面層６８とを備える。表面層６８は、少なくとも弾性部材６７の配線シート４４の延在部４４ｂに対応する部分を覆っている。表面層６８は、配線シート４４と弾性部材６７との間に潤滑性を提供するように、フッ素コーティングされたテープのような低摩擦の材料を弾性部材６７に貼り付けること又は塗布することにより形成される。   The stopper 66 includes an elastic member 67 having elasticity and a surface layer 68 that covers a part of the surface of the elastic member 67. The surface layer 68 covers at least a portion corresponding to the extending portion 44 b of the wiring sheet 44 of the elastic member 67. The surface layer 68 is formed by applying or applying a low friction material such as a fluorine-coated tape to the elastic member 67 so as to provide lubricity between the wiring sheet 44 and the elastic member 67. Is done.

配線シート４４は、熱硬化性の接着材５２により支持体４６の下面及び該下面の前端部に続く斜め後向きの下面に貼り付けられた本体部４４ａと、支持体４６の補助部４６ｂから前方に延びる延在部４４ｂとを備える。ストッパ６６は、楔型の先端部が配線シート４４の延在部４４ｂの上方に間隔をおいて位置するように、支持体４６の補助部４６ｂの前端に取り付けられている。   The wiring sheet 44 is forwardly forwarded from a main body 44a attached to the lower surface of the support 46 and a diagonally rearward lower surface following the front end of the lower surface by a thermosetting adhesive 52, and the auxiliary portion 46b of the support 46. And an extending portion 44b extending. The stopper 66 is attached to the front end of the auxiliary portion 46 b of the support body 46 so that the wedge-shaped tip end portion is positioned above the extending portion 44 b of the wiring sheet 44 with a space.

被検査体１２の試験に先駆けて、被検査体１２とプローブ装置１８とが相寄るように相対的に移動される。これにより、配線シート４４の接触電極５８が被検査体１２の電極１４に接触する。そのような相対的移動がさらに進むと、被検査体１２の電極が配線シート４４、特に配線５６を下方から押す。これにより、配線シート４４の前端部が上方に屈曲されて配線シート４４の延在部４４ｂがストッパ６６に接触する。   Prior to the test of the device under test 12, the device under test 12 and the probe device 18 are moved relative to each other. Thereby, the contact electrode 58 of the wiring sheet 44 contacts the electrode 14 of the device under test 12. When such relative movement further proceeds, the electrode of the device under test 12 pushes the wiring sheet 44, particularly the wiring 56, from below. As a result, the front end portion of the wiring sheet 44 is bent upward, and the extending portion 44 b of the wiring sheet 44 contacts the stopper 66.

被検査体１２とプローブ装置１８とが相寄る方向へさらに移動されると、配線シート４４の延在部４４ｂがストッパ６６の先端部に当接される。このとき、弾性部材６７が適切な弾性を有するから、配線シート４４の接触電極５８は被検査体１２の電極１４に適切な力で押圧接触される。   When the object to be inspected 12 and the probe device 18 are further moved in the direction in which they approach each other, the extending portion 44 b of the wiring sheet 44 comes into contact with the tip end portion of the stopper 66. At this time, since the elastic member 67 has appropriate elasticity, the contact electrode 58 of the wiring sheet 44 is pressed and brought into contact with the electrode 14 of the device under test 12 with an appropriate force.

図示の例では、表面層６８が低摩擦の材料製であるから、ストッパ６６と配線シート４４の延在部４４ｂとが押圧されると、配線シート４４の延在部４４ｂとストッパ６６の表面層６８との接触面において相対的な滑りが生じる。これにより、ストッパ６６と配線シート４４との接触に起因して生じる配線シート４４の損傷を防止することができる。   In the illustrated example, since the surface layer 68 is made of a low friction material, when the stopper 66 and the extending portion 44b of the wiring sheet 44 are pressed, the extending portion 44b of the wiring sheet 44 and the surface layer of the stopper 66 are pressed. Relative slip occurs at the contact surface with 68. Thereby, damage to the wiring sheet 44 caused by the contact between the stopper 66 and the wiring sheet 44 can be prevented.

再び図４を参照するに、プローブブロック３０の配線シート４４は、接続回路３２を介して中継基板２２に電気的に接続されている。接続回路３２は、配線シート４４の後端から後方に延びており、プローブベース１６を上下方向に貫通する貫通穴７４を下方から上方に通って中継基板２２に接続されている。   Referring to FIG. 4 again, the wiring sheet 44 of the probe block 30 is electrically connected to the relay board 22 via the connection circuit 32. The connection circuit 32 extends rearward from the rear end of the wiring sheet 44 and is connected to the relay board 22 through a through hole 74 penetrating the probe base 16 in the vertical direction from below to above.

中継基板２２と接続回路３２とはコネクタのような接続手段７０により電気的に接続されている。同様に、接続回路３２と配線シート４４とは、コネクタのような接続手段７２により電気的に接続されている。しかし、これらの接続は、ＡＣＦにより行われてもよい。接続回路３２は、それぞれが配線シート４４の配線６２に対応された複数の配線（図示せず）を有するＦＰＣである。   The relay substrate 22 and the connection circuit 32 are electrically connected by connection means 70 such as a connector. Similarly, the connection circuit 32 and the wiring sheet 44 are electrically connected by connection means 72 such as a connector. However, these connections may be made by the ACF. The connection circuit 32 is an FPC having a plurality of wirings (not shown) each corresponding to the wiring 62 of the wiring sheet 44.

中継基板２２の配線は、試験信号を発生する電気回路（図示せず）に接続される。試験信号は、そのような電気回路から、接続回路３２及び配線シート４４を介して被検査体１２に供給される。配線シート４４は集積回路チップ６０を備えるから、試験信号は、その一部が集積回路チップで駆動信号に変換されて被検査体１２を駆動（点灯）させる。   The wiring of the relay board 22 is connected to an electric circuit (not shown) that generates a test signal. The test signal is supplied from such an electric circuit to the device under test 12 via the connection circuit 32 and the wiring sheet 44. Since the wiring sheet 44 includes the integrated circuit chip 60, a part of the test signal is converted into a drive signal by the integrated circuit chip to drive (light up) the device under test 12.

［プローブ装置の製造方法］   [Probing device manufacturing method]

次に図７に示す本発明に係るプローブ装置の製造方法の一部、すなわち配線シート４４への間隔維持部材４８の取り付け工程について説明する。   Next, a part of the manufacturing method of the probe device according to the present invention shown in FIG.

先ず、配線シート４４への間隔維持部材４８の貼り付けにおいて、図７（Ａ）に示すように、間隔維持部材４８が貼り付け治具１００に配置される。貼り付け治具１００は間隔維持部材４８が受け入れられる第１の逃げ穴１０２を備え、第１の逃げ穴１０２は間隔維持部材４８の厚さ寸法と同程度の深さ寸法を有する。貼り付け治具１００は、板状部材の表面に機械加工、化学加工等により逃げ穴を形成することにより製作される。間隔維持部材４８は第１の逃げ穴１０２に配置される。   First, in attaching the interval maintaining member 48 to the wiring sheet 44, the interval maintaining member 48 is disposed in the attaching jig 100 as shown in FIG. The affixing jig 100 includes a first clearance hole 102 in which the distance maintaining member 48 is received, and the first clearance hole 102 has a depth dimension similar to the thickness dimension of the distance maintaining member 48. The affixing jig 100 is manufactured by forming relief holes on the surface of a plate-like member by machining, chemical processing, or the like. The distance maintaining member 48 is disposed in the first clearance hole 102.

次いで、図７（Ｂ）に示すように、シート状の接着材６４が間隔維持部材４８の上に配置される。図示の例では、接着材６４は間隔維持部材４８の寸法とほぼ同じ寸法を有する。しかし、前後方向及び左右方向における接着材６４の寸法は、同方向における間隔維持部材４８より小さくてもよい。そのようにすれば、接着材６４が間隔維持部材４８からはみ出して、接着材６４が貼り付け治具１００へ付着することを防止できる。   Next, as shown in FIG. 7B, the sheet-like adhesive material 64 is disposed on the spacing member 48. In the illustrated example, the adhesive 64 has substantially the same dimensions as the spacing maintaining member 48. However, the dimension of the adhesive material 64 in the front-rear direction and the left-right direction may be smaller than the interval maintaining member 48 in the same direction. By doing so, it is possible to prevent the adhesive material 64 from protruding from the gap maintaining member 48 and the adhesive material 64 from adhering to the attaching jig 100.

次いで、図７（Ｃ）に示すように、配線シート４４が接着材６４の上に配置される。配線シート４４は集積回路チップ６０を実装されたＣＯＦであり、貼り付け治具１００は集積回路チップ６０を受け入れる第２の逃げ穴１０４を備える。   Next, as illustrated in FIG. 7C, the wiring sheet 44 is disposed on the adhesive material 64. The wiring sheet 44 is a COF on which the integrated circuit chip 60 is mounted, and the attaching jig 100 includes a second clearance hole 104 that receives the integrated circuit chip 60.

次いで、図７（Ｄ）に示すように、配線シート４４、接着材６４及び間隔維持部材４８が上方から貼り付け装置１０６により加熱及び押圧される。図示の例では、貼り付け装置１０６が、配線シート４４の間隔維持部材４８に対応する部分のみを押圧しているが、配線シート４４の全体を押圧してもよい。貼り付け治具１００が第２の逃げ穴１０４を備えるから、配線シート４４の全体が押圧されても集積回路チップ６０は圧力を受けない。したがって、集積回路チップ６０が押圧力により破壊されることがない。   Next, as shown in FIG. 7D, the wiring sheet 44, the adhesive material 64, and the gap maintaining member 48 are heated and pressed by the pasting device 106 from above. In the illustrated example, the affixing device 106 presses only the portion corresponding to the spacing maintaining member 48 of the wiring sheet 44, but the entire wiring sheet 44 may be pressed. Since the attaching jig 100 includes the second clearance hole 104, the integrated circuit chip 60 is not subjected to pressure even when the entire wiring sheet 44 is pressed. Therefore, the integrated circuit chip 60 is not destroyed by the pressing force.

図示の例では、一組の配線シート４４及び間隔維持部材４８の貼り付けを行っているが、貼り付け治具１００に複数の第1及び第２の逃げ穴１０２及び１０４を設けて、複数組みの間隔維持部材４８及び配線シート４４の貼り付けを同時に行ってもよい。   In the example shown in the figure, a set of wiring sheets 44 and a gap maintaining member 48 are pasted. However, a plurality of first and second relief holes 102 and 104 are provided in the pasting jig 100 to form a plurality of sets. The spacing maintaining member 48 and the wiring sheet 44 may be attached at the same time.

そのような場合、貼り付け装置１０６は、複数の配線シート４４の全体を同時に押圧する大型のプレス装置とすることができる。これにより、複数の配線５６の間隔が等しい複数の配線シート４４を同時に製作することができる。   In such a case, the affixing device 106 can be a large press device that simultaneously presses the entire plurality of wiring sheets 44. Thereby, a plurality of wiring sheets 44 having the same interval between the plurality of wirings 56 can be manufactured simultaneously.

図７（Ｄ）に示すように、間隔維持部材４８と配線シート４４とは同時に加熱される。したがって、接着材６４に熱硬化性の接着材を用いることにより配線シート４４を熱膨張させた状態で間隔維持部材４８を貼り付ける作業が容易になる。また、配線シート４４を加熱すると同時に押圧することで配線シート４４が、熱膨張に加えて圧力により伸張するから、配線シート４４の伸張、すなわち配線５６の間隔の調整が容易になる。   As shown in FIG. 7D, the gap maintaining member 48 and the wiring sheet 44 are heated simultaneously. Therefore, by using a thermosetting adhesive as the adhesive 64, the work of attaching the interval maintaining member 48 in a state where the wiring sheet 44 is thermally expanded is facilitated. Further, since the wiring sheet 44 expands due to pressure in addition to thermal expansion by being pressed simultaneously with heating the wiring sheet 44, the expansion of the wiring sheet 44, that is, the adjustment of the interval between the wirings 56 becomes easy.

次に、図８を参照して、配線シート４４の配線６２の間隔及び接触電極５８の間隔について説明する。   Next, with reference to FIG. 8, the space | interval of the wiring 62 of the wiring sheet 44 and the space | interval of the contact electrode 58 are demonstrated.

先ず、図８（Ａ）に示すように、間隔維持部材４８が取り付けられる以前の配線シート４４は、配線５６の前部分５６ｂの間隔及び接触電極５８の間隔が被検査体１２の電極１４の間隔よりも小さい状態に製作されている。配線５６の間隔及び接触電極５８の間隔は、ＦＰＣを用いた配線シート４４の設計により自由に調整できる。   First, as shown in FIG. 8A, in the wiring sheet 44 before the interval maintaining member 48 is attached, the interval between the front portions 56b of the wires 56 and the interval between the contact electrodes 58 are the intervals between the electrodes 14 of the device under test 12. It is manufactured in a smaller state. The distance between the wirings 56 and the distance between the contact electrodes 58 can be freely adjusted by designing the wiring sheet 44 using FPC.

次いで、図８（Ｂ）に示すように、間隔維持部材４８が取り付けられた後の配線シート４４は、中央部分５６ａ及び前部分５６ｂにおける配線５６の間隔並びに接触電極５８の間隔が被検査体１２の電極１４の間隔と同じ間隔とされている。すなわち、図７（Ｄ）に示すように、貼り付け装置１０６が配線シート４４を加熱することにより、配線５６の間隔が被検査体１２の電極１４の間隔と同じ間隔まで広げられる。   Next, as shown in FIG. 8B, the wiring sheet 44 after the spacing maintaining member 48 is attached has a spacing between the wirings 56 in the central portion 56 a and the front portion 56 b and a spacing between the contact electrodes 58. The interval is the same as the interval between the electrodes 14. That is, as shown in FIG. 7D, when the attaching device 106 heats the wiring sheet 44, the distance between the wirings 56 is expanded to the same distance as the distance between the electrodes 14 of the device under test 12.

そのような状態で、間隔維持部材４８が配線シート４４に接着されることにより、配線５６は、中央部分５６ａ及び前部分５６ｂにおける間隔（すなわち、ピッチ）が広げられた状態に維持される。接触電極５８は各配線５６の前部分５６ｂに設けられているから、接触電極５８の間隔（すなわち、ピッチ）も電極１４の間隔（すなわち、ピッチ）と同じ間隔（すなわち、ピッチ）に維持される。   In such a state, the distance maintaining member 48 is adhered to the wiring sheet 44, whereby the wiring 56 is maintained in a state where the distance (that is, the pitch) in the central portion 56a and the front portion 56b is widened. Since the contact electrode 58 is provided in the front portion 56b of each wiring 56, the interval (ie, pitch) of the contact electrode 58 is also maintained at the same interval (ie, pitch) as the interval (ie, pitch) of the electrode 14. .

間隔維持部材４８は板状であるから、間隔維持部材４８の吸熱量は支持体４６に比べ小さい。したがって、間隔維持部材４８の吸熱を考慮して配線５６及び接触電極５８の間隔を所定の間隔に調整するように加熱する作業は容易である。間隔維持部材４８は、吸熱量が大きくなければ、棒状、箱状等の他の形状であってもよい。   Since the interval maintaining member 48 is plate-shaped, the heat absorption amount of the interval maintaining member 48 is smaller than that of the support 46. Therefore, it is easy to perform heating so that the interval between the wiring 56 and the contact electrode 58 is adjusted to a predetermined interval in consideration of the heat absorption of the interval maintaining member 48. The interval maintaining member 48 may have another shape such as a rod shape or a box shape as long as the endothermic amount is not large.

また、間隔維持部材４８は、セラミックのような高い剛性を有する材料で形成されているから、間隔維持部材４８が配線シート４４に取り付けられることにより、配線シート４４の複数の配線５６及び複数の接触電極５８の間隔が所定の間隔に維持される。   Further, since the interval maintaining member 48 is formed of a material having high rigidity such as ceramic, the interval maintaining member 48 is attached to the wiring sheet 44, whereby the plurality of wirings 56 and the plurality of contacts of the wiring sheet 44 are provided. The interval between the electrodes 58 is maintained at a predetermined interval.

さらに、間隔維持部材４８が低い熱膨張率を有するから、間隔維持部材４８を取り付けた後の配線シート４４において、加熱により複数の接触電極５８の間隔が変化することがない。   Further, since the spacing member 48 has a low coefficient of thermal expansion, the spacing between the plurality of contact electrodes 58 is not changed by heating in the wiring sheet 44 after the spacing member 48 is attached.

これにより、例えば、配線シート４４が支持体４６に取り付けられるときに、熱効硬化性の接着材５２を硬化すべく配線シート４４が加熱されても、又は、プローブ装置１８が試験条件により高温下におかれて配線シート４４が加熱されても、複数の接触電極５８の間隔は維持される。したがって、配線シート４４が支持体４６に取り付けられることにより、被検査体１２の電極１４に対する接触電極５８の位置ずれが生ずることはない。   Thereby, for example, when the wiring sheet 44 is attached to the support 46, even if the wiring sheet 44 is heated to cure the thermosetting adhesive material 52, or the probe device 18 is subjected to a high temperature depending on the test conditions. Even if the wiring sheet 44 is heated by being heated, the interval between the plurality of contact electrodes 58 is maintained. Therefore, when the wiring sheet 44 is attached to the support body 46, the positional displacement of the contact electrode 58 with respect to the electrode 14 of the device under test 12 does not occur.

［第２の実施例］   [Second Embodiment]

図９を参照するに、本発明に係るプローブ装置の第２の実施例は、プローブブロック３０に代えて、プローブブロック１３０を含む。プローブブロック１３０は、配線シート１４４と、配線シート１４４を支持する支持体４６と、配線シート１４４に取り付けられた間隔維持部材４８と、配線シート１４４に電気的に接続された配線基板１８０を含む。   Referring to FIG. 9, the second embodiment of the probe device according to the present invention includes a probe block 130 instead of the probe block 30. The probe block 130 includes a wiring sheet 144, a support 46 that supports the wiring sheet 144, a spacing maintaining member 48 attached to the wiring sheet 144, and a wiring board 180 that is electrically connected to the wiring sheet 144.

配線基板１８０は、被検査体１２を駆動する集積回路チップ６０を備えるチップオンボード（ＣＯＢ：Chip On Board）のようなシート状の配線回路である。プローブブロック１３０は、集積回路チップ６０が、配線シート１４４に実装されておらず、配線基板１８０に実装されており、また配線基板１８０が配線シート１４４に電気的に接続されている。試験時に、被検査体１２は、配線基板１８０に実装された集積回路チップから配線シート１４４を介して駆動信号を受けて駆動される。   The wiring board 180 is a sheet-like wiring circuit such as a chip on board (COB) provided with an integrated circuit chip 60 that drives the device under test 12. In the probe block 130, the integrated circuit chip 60 is not mounted on the wiring sheet 144 but is mounted on the wiring board 180, and the wiring board 180 is electrically connected to the wiring sheet 144. During the test, the device under test 12 is driven by receiving a drive signal from the integrated circuit chip mounted on the wiring board 180 via the wiring sheet 144.

［第３の実施例］   [Third embodiment]

図１０を参照するに、本発明に係るプローブ装置の第３の実施例において、プローブブロック２３０は、配線シート４４の接触電極５８の設けられた面と反対の面に接着材２６４により接着された間隔維持部材２４８を含む。間隔維持部材２４８は、接触電極５８が設けられた領域に対応する位置に配置されている。   Referring to FIG. 10, in the third embodiment of the probe device according to the present invention, the probe block 230 is bonded to the surface of the wiring sheet 44 opposite to the surface on which the contact electrode 58 is provided by the adhesive 264. A spacing maintaining member 248 is included. The interval maintaining member 248 is disposed at a position corresponding to the region where the contact electrode 58 is provided.

間隔維持部材２４８の置かれる位置を除いて、本実施例に係るプローブ装置は、第１の実施例に係るプローブ装置と同様である。本実施例においては、試験時に、ストッパ６６が間隔維持部材４８を介して配線シート４４を下方に押圧する。これにより、間隔維持部材４８が高い剛性を有するから、間隔維持部材４８が配線シート４４をストッパ６６の圧力から保護して、配線シート４４が損傷することを防止することができる。   Except for the position where the interval maintaining member 248 is placed, the probe apparatus according to this embodiment is the same as the probe apparatus according to the first embodiment. In the present embodiment, the stopper 66 presses the wiring sheet 44 downward via the interval maintaining member 48 during the test. Thereby, since the space | interval maintenance member 48 has high rigidity, the space | interval maintenance member 48 can protect the wiring sheet 44 from the pressure of the stopper 66, and can prevent that the wiring sheet 44 is damaged.

また、間隔維持部材４８を介して配線シート４４を押圧すれば、配線シート４４に作用する圧力を均一にすることができる。これにより、被検査体１２の電極１４に接触電極５８を正確な圧力で接触させることができる。   Further, if the wiring sheet 44 is pressed through the interval maintaining member 48, the pressure acting on the wiring sheet 44 can be made uniform. Thereby, the contact electrode 58 can be brought into contact with the electrode 14 of the device under test 12 with an accurate pressure.

本発明は、上記実施例に限定されず、特許請求の範囲に記載された趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit described in the claims.

１８ プローブ装置
４４，１４４ 配線シート
４４ｂ 延在部
４６ 支持体
４８，２４８ 間隔維持部材
５６ 配線
５８ 接触電極
６０ 集積回路チップ
６４，２６４ 接着材
６６ ストッパ
６７ 弾性部材
６８ 表面層
１００ 貼り付け治具 18 Probe device 44, 144 Wiring sheet 44b Extension part 46 Support body 48, 248 Space maintenance member 56 Wiring 58 Contact electrode 60 Integrated circuit chip 64, 264 Adhesive 66 Stopper 67 Elastic member 68 Surface layer 100 Jig

Claims (14)

可撓性を有する配線シートであって、該配線シートの一方の面に設けられ、かつ第１の方向に間隔をおいて該第１の方向に交差する第２の方向に延びる複数の配線と、該配線に設けられた複数の接触電極とを備える配線シートと、
前記配線シートを支持する支持体と、
前記配線シートより低い熱膨張係数及び高い剛性を有する間隔維持部材であって、前記配線シートに取り付けられて、前記配線シートが膨張した状態に前記複数の配線相互の間隔を維持する間隔維持部材とを含む、プローブ装置。 A flexible wiring sheet, a plurality of wirings provided on one surface of the wiring sheet and extending in a second direction intersecting the first direction with an interval in the first direction; A wiring sheet comprising a plurality of contact electrodes provided on the wiring;
A support for supporting the wiring sheet;
An interval maintaining member having a lower thermal expansion coefficient and higher rigidity than the wiring sheet, the interval maintaining member being attached to the wiring sheet and maintaining the interval between the plurality of wirings in a state where the wiring sheet is expanded. Including a probe device. 前記間隔維持部材は、前記配線シートに対向して前記配線を覆う平面を備え、かつ該平面において接着材により前記配線シートに接着されている、請求項１に記載のプローブ装置。   2. The probe device according to claim 1, wherein the gap maintaining member has a flat surface that covers the wiring so as to face the wiring sheet, and is bonded to the wiring sheet with an adhesive on the flat surface. 前記間隔維持部材はガラス製の板状部材を備え、前記接着材は熱硬化性を有する、請求項２に記載のプローブ装置。   The probe apparatus according to claim 2, wherein the gap maintaining member includes a plate-shaped member made of glass, and the adhesive has thermosetting properties. 前記間隔維持部材は、前記接触電極が設けられた領域に対応する前記配線シートの他方の面に取り付けられている、請求項１から３のいずれか１項に記載のプローブ装置。   4. The probe device according to claim 1, wherein the gap maintaining member is attached to the other surface of the wiring sheet corresponding to a region where the contact electrode is provided. 5. 前記間隔維持部材は前記配線シートの一方の面に取り付けられている、請求項１から３のいずれか１項に記載のプローブ装置。   The probe apparatus according to claim 1, wherein the gap maintaining member is attached to one surface of the wiring sheet. 前記配線シートは前記支持体から延びる延在部を備え、前記接触電極は前記延在部に設けられている、請求項１から５のいずれか１項に記載のプローブ装置。   The probe device according to claim 1, wherein the wiring sheet includes an extending portion extending from the support, and the contact electrode is provided in the extending portion. さらに、前記支持体に取り付けられたストッパであって、前記配線シートの前記接触電極が被検査体の電極に押されたとき、前記配線シートの前記延在部の前記接触電極と反対側の部位が当接することを許すストッパを含む、請求項６に記載のプローブ装置。   Further, the stopper is attached to the support body, and when the contact electrode of the wiring sheet is pushed by the electrode of the object to be inspected, the portion of the extending portion of the wiring sheet opposite to the contact electrode The probe apparatus according to claim 6, comprising a stopper that allows the abutment to abut. 前記間隔維持部材は前記延在部に取り付けられている、請求項７に記載のプローブ装置。   The probe apparatus according to claim 7, wherein the distance maintaining member is attached to the extending portion. 前記ストッパは、弾性を有する弾性部材と、前記配線シートが接触可能に前記弾性部材に設けられた表面層であって、前記表面層と前記配線シートとの間の摩擦を低減する表面層を備える、請求項８に記載のプローブ装置。   The stopper includes an elastic member having elasticity and a surface layer provided on the elastic member so that the wiring sheet can come into contact therewith, and a surface layer that reduces friction between the surface layer and the wiring sheet. The probe device according to claim 8. 前記配線シートは、さらに、前記配線に電気的に接続された集積回路チップを備える、請求項１から９のいずれか１項に記載のプローブ装置。   The probe device according to claim 1, wherein the wiring sheet further includes an integrated circuit chip electrically connected to the wiring. 可撓性を有する配線シートであって、該配線シートの一方の面に設けられ、かつ第１の方向に間隔をおいて該第１の方向に交差する第２の方向に延びる複数の配線と、該配線に設けられた複数の接触電極とを備える配線シートを加熱膨張させて、前記配線シートより低い熱膨張係数及び高い剛性を有する間隔維持部材であって、前記配線の間隔を維持する間隔維持部材を前記配線シートに取り付ける第１の工程と、
前記配線シートを支持体に取り付ける第２の工程とを含む、プローブ装置の製造方法。 A flexible wiring sheet, a plurality of wirings provided on one surface of the wiring sheet and extending in a second direction intersecting the first direction with an interval in the first direction; An interval maintaining member that heats and expands a wiring sheet comprising a plurality of contact electrodes provided on the wiring and has a lower coefficient of thermal expansion and higher rigidity than the wiring sheet, and maintains the interval between the wirings A first step of attaching a maintenance member to the wiring sheet;
And a second step of attaching the wiring sheet to a support. 前記第１の工程は、前記間隔維持部材を熱硬化性の接着材により前記配線シートに取り付けるべく、前記配線シートを加熱膨張させる熱により前記熱硬化性の接着材を硬化させることで前記間隔維持部材を前記配線シートに接着することを含む、請求項１１に記載のプローブ装置の製造方法。   In the first step, in order to attach the spacing maintaining member to the wiring sheet with a thermosetting adhesive, the spacing is maintained by curing the thermosetting adhesive with heat that heats and expands the wiring sheet. The method for manufacturing a probe device according to claim 11, comprising bonding a member to the wiring sheet. 前記第１の工程は、前記配線シートを加熱膨張させると同時に、前記配線シートを前記間隔維持部材に押圧することを含む、請求項１１又は１２に記載のプローブ装置の製造方法。   The method for manufacturing a probe device according to claim 11, wherein the first step includes heating and expanding the wiring sheet and simultaneously pressing the wiring sheet against the gap maintaining member. 前記第１の工程は、前記間隔維持部材を貼り付け治具に配置する第３の工程と、前記間隔維持部材の上に前記熱硬化性の接着材を配置する第４の工程と、前記間隔維持部材及び前記熱硬化性の接着材の上に前記配線シートを配置する第５の工程と、前記配線シートの上方から貼り付け装置により前記配線シート、前記熱硬化性の接着材及び前記間隔維持部材を加熱及び押圧する第６の工程とを含む、請求項１２に記載のプローブ装置の製造方法。   The first step includes a third step of disposing the spacing maintaining member on a sticking jig, a fourth step of disposing the thermosetting adhesive on the spacing maintaining member, and the spacing. A fifth step of disposing the wiring sheet on the maintenance member and the thermosetting adhesive; and the wiring sheet, the thermosetting adhesive, and the spacing maintenance by a pasting device from above the wiring sheet. The manufacturing method of the probe apparatus of Claim 12 including the 6th process of heating and pressing a member.
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