JP2012163366A - Circularity measuring apparatus and center shift amount correction method therefor - Google Patents
Circularity measuring apparatus and center shift amount correction method therefor Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012163366A JP2012163366A JP2011021973A JP2011021973A JP2012163366A JP 2012163366 A JP2012163366 A JP 2012163366A JP 2011021973 A JP2011021973 A JP 2011021973A JP 2011021973 A JP2011021973 A JP 2011021973A JP 2012163366 A JP2012163366 A JP 2012163366A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement object
- amount
- detector
- misalignment
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 18
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 186
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 71
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 27
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
Description
本発明は、真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法に係り、特に、真円度測定装置の検出器の測定子を測定物に当接させる検出点と測定物の母線とのずれを示す心ずれ量を算出して心ずれ量の補正をする機能を備えた真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法に関するものである。 The present invention relates to a roundness measuring apparatus and a method for correcting the amount of misalignment thereof, and in particular, a deviation between a detection point at which a measuring element of a detector of a roundness measuring apparatus abuts a measuring object and a bus bar of the measuring object The present invention relates to a roundness measuring device having a function of calculating the amount of misalignment shown and correcting the amount of misalignment, and a method of correcting the amount of misalignment.
従来より、円筒物などの円形の物体の真円度を測定する真円度測定装置(真円度測定機)が知られている。この真円度測定装置は、例えば、円筒物などの円形の断面を有する測定物(ワーク)を回転可能な載置台の上に載置して、ワークの表面に先端子(測定子)を接触させ、ワークの回転に伴う先端子の変位を測定して検出することにより円形断面の外形形状を測定する。 Conventionally, a roundness measuring device (roundness measuring machine) that measures the roundness of a circular object such as a cylindrical object is known. This roundness measuring device, for example, places a measurement object (workpiece) having a circular cross section such as a cylindrical object on a rotatable mounting table, and contacts a tip (measurement element) on the surface of the work The outer shape of the circular cross section is measured by measuring and detecting the displacement of the tip terminal accompanying the rotation of the workpiece.
例えば、特許文献1には、真円度測定機において、円柱状ワークに対して第1の検出器の接触子を水平に、かつ直径方向に案内する水平腕と、この腕の先端に設けられて第1の検出器の接触子を直径の位置の2点に向かって接触可能とした第1の検出器の支持枠と、水平腕の水平移動量を検出する径読取りの第2の検出器とから構成される真円度測定機の直径測定装置が記載されている。この装置は、まずマスターピースを回転台の上にセットし、第1の検出器の接触子をマスターピースの右側面に当て、第2の検出器の読みを求め、次いで接触子をマスターピースの左側面に当てて、第2の検出器の読みを求め、これら第2の検出器の2つの読みからマスターの既知寸法によりこの装置の誤差値を算出しておく。そして、マスターの代わりにワークをセットし、同様にして直径寸法を測定して、誤差補正を行っている。 For example, in Patent Document 1, in a roundness measuring machine, a horizontal arm that guides a contact of a first detector horizontally and diametrically with respect to a cylindrical workpiece, and a tip of the arm are provided. A first detector support frame that enables the contact of the first detector to contact two points in the diameter position, and a second detector of diameter reading that detects the horizontal movement amount of the horizontal arm. A diameter measuring device of a roundness measuring machine composed of: This device first sets the master piece on the turntable, places the contact of the first detector on the right side of the master piece, obtains the reading of the second detector, and then places the contact on the left side of the master piece. Then, the reading of the second detector is obtained, and the error value of this apparatus is calculated from the two readings of the second detector according to the known dimensions of the master. Then, a workpiece is set instead of the master, and the diameter dimension is measured in the same manner to perform error correction.
また、特許文献2には、真円度測定機の原点情報取得及び測定物の表面形状を測定する検出器の校正を行う真円度測定機用基準治具であって、この基準治具は、回転テーブル上のXYテーブルの上面に取り外し可能に載置され、段付きの円板状に形成されたた台座と、台座の上段部にプローブ(検出器)の感度校正を可能とする校正マスターが設けられ、校正マスターの上方に、その最下面、最上面のX軸方向及び右側面、左側面のZ軸方向の測定可が可能なように配置された原点ボール(基準球)を備え、プローブの各姿勢におけるプローブに設けられたスタイラス(センサー)の位置ずれを求めて補正値とするものが記載されている。これは、真円度測定機用基準治具を測定物回転機構の上に載せ、真円度測定機の検出器のセンサーを基準球に接触させることで真円度測定機の原点情報を得るとともに、検出器のセンサーを校正マスターに関与させることで検出器の感度校正を行うようにしたものである。
しかしながら、真円度測定装置のテーブル上に測定物を載置して検出器の測定子を測定物に当接させて検出を行う際、測定物の母線と測定子を測定物に当接させる検出点とを一致させることが非常に難しく、従来基準となる測定物の直径値と異なる直径値の測定物については、正確な直径値を測定することができないという問題があった。 However, when the object to be measured is placed on the table of the roundness measuring apparatus and the detector probe is brought into contact with the object to be detected, the bus bar of the object to be measured and the probe are brought into contact with the object to be measured It is very difficult to match the detection point, and there has been a problem that an accurate diameter value cannot be measured for a measurement object having a diameter value different from the diameter value of the measurement object that has been a reference in the past.
本発明はこのような問題に鑑みて成されたものであり、測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出することのできる真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such problems, and calculates and corrects the amount of misalignment, which is the amount of deviation between the bus of the measurement object and the detection point, thereby correcting the diameter value of the measurement object serving as a reference. An object of the present invention is to provide a roundness measuring apparatus capable of calculating an accurate diameter value even for a measured object having a diameter value different from that of the object and a method for correcting the amount of misalignment thereof.
前記目的を達成するために、本発明の真円度測定装置は、測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させ、測定物の真円度を測定する真円度測定装置において、基準測定物に対する前記検出器の検出方向と直交する方向に前記基準測定物を移動させる手段と、前記基準測定物を基準位置から前記検出器の検出方向と直交する方向に移動させたときの各位置における検出値の変化量に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出器の前記基準測定物に対する検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する手段と、前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段と、を備えたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the roundness measuring apparatus of the present invention matches the center of the measurement object with the center of rotation, rotates the measurement object relative to the detector, In the roundness measuring device for measuring the degree, means for moving the reference measurement object in a direction orthogonal to the detection direction of the detector with respect to the reference measurement object, and the detection direction of the detector from the reference position Based on the amount of change in the detected value at each position when moved in a direction orthogonal to the direction, the amount of misalignment, which is the amount of deviation between the bus of the reference measurement object and the detection point of the detector with respect to the reference measurement object, is calculated. It is characterized by comprising means for calculating and means for correcting the measured value of an arbitrary measurement object based on the calculated amount of misalignment.
これにより、測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出することが可能となる。 As a result, by calculating and correcting the amount of misalignment, which is the amount of deviation between the bus of the measurement object and the detection point, even a measurement object having a diameter value different from the diameter value of the reference measurement object can be accurately obtained. It is possible to calculate a correct diameter value.
また、一つの実施態様として、前記心ずれ量を算出する手段は、前記検出値の変化量が最大となるときの、前記基準測定物の基準位置からの移動量を前記心ずれ量として算出することを特徴とすることが好ましい。 In one embodiment, the means for calculating the amount of misalignment calculates, as the amount of misalignment, the amount of movement of the reference measurement object from the reference position when the amount of change in the detected value is maximized. It is preferable to be characterized by this.
また、同様に前記目的を達成するために、本発明の真円度測定装置は、測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させ、測定物の真円度を測定する真円度測定装置において、前記検出器を基準位置に置かれた基準測定物に対して接触させながら、検出方向と直交する方向に前記検出器を移動させたときの各位置における検出値に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出器が現在接触している検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する手段と、前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段と、を備えたことを特徴とする。 Similarly, in order to achieve the above object, the roundness measuring device of the present invention makes the measurement object and the rotation center coincide with each other, rotates the measurement object relative to the detector, and performs measurement. In a roundness measuring apparatus for measuring the roundness of an object, when the detector is moved in a direction perpendicular to the detection direction while the detector is in contact with a reference measurement object placed at a reference position On the basis of the detected value at each position, a means for calculating the amount of misalignment, which is the amount of deviation between the bus of the reference measurement object and the detection point where the detector is currently in contact, and the calculated amount of misalignment. And a means for correcting the measurement value of an arbitrary measurement object.
これにより、測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出することが可能となる。 As a result, by calculating and correcting the amount of misalignment, which is the amount of deviation between the bus of the measurement object and the detection point, even a measurement object having a diameter value different from the diameter value of the reference measurement object can be accurately obtained. It is possible to calculate a correct diameter value.
また、一つの実施態様として、前記心ずれ量を算出する手段は、前記検出値が最大となるときの前記検出器の位置と、前記検出器が現在接触している位置との差分を前記心ずれ量として算出することを特徴とすることが好ましい。 In one embodiment, the means for calculating the amount of misalignment includes calculating a difference between a position of the detector when the detected value is maximum and a position where the detector is currently in contact with the heart. It is preferable to calculate the amount of deviation.
また、一つの実施態様として、前記測定物の中心とは、測定の際、前記検出器が接触する前記測定物の外周の点が形成する図形の最小二乗円の中心であることが好ましい。 In one embodiment, the center of the measurement object is preferably the center of a least square circle of a figure formed by a point on the outer periphery of the measurement object that contacts the detector during measurement.
また、同様に前記目的を達成するために、本発明の真円度測定装置における心ずれ量補正方法は、測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させるようにして、基準測定物に対する前記検出器の検出方向と直交する方向に前記基準測定物を移動させて、前記基準測定物の各位置における検出値を検出する検出工程と、前記検出した検出値の変化量を算出する工程と、前記算出した変化量に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出器の前記基準測定物に対する検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する工程と、前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する工程と、を備えたことを特徴とする。 Similarly, in order to achieve the above object, the method of correcting the amount of misalignment in the roundness measuring device of the present invention is configured such that the center of the measurement object and the center of rotation coincide with each other and the measurement object is relative to the detector. Detecting the detection value at each position of the reference measurement object by moving the reference measurement object in a direction orthogonal to the detection direction of the detector with respect to the reference measurement object, A step of calculating a detected change amount of the detected value, and based on the calculated change amount, a misalignment amount that is a shift amount between a bus of the reference measurement object and a detection point of the detector with respect to the reference measurement object is calculated. And a step of correcting a measured value of an arbitrary measurement object based on the calculated amount of misalignment.
これにより、測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出することが可能となる。 As a result, by calculating and correcting the amount of misalignment, which is the amount of deviation between the bus of the measurement object and the detection point, even a measurement object having a diameter value different from the diameter value of the reference measurement object can be accurately obtained. It is possible to calculate a correct diameter value.
また、一つの実施態様として、前記心ずれ量を算出する工程は、前記検出値の変化量が最大となるときの、前記基準測定物の基準位置からの移動量を前記心ずれ量として算出することが好ましい。 In one embodiment, the step of calculating the amount of misalignment calculates the amount of movement of the reference measurement object from the reference position as the amount of misalignment when the amount of change in the detected value is maximized. It is preferable.
また、同様に前記目的を達成するために、本発明の真円度測定装置における心ずれ量補正方法は、測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させるようにして、前記検出器を基準位置に置かれた基準測定物に対して接触させながら、検出方向と直交する方向に前記検出器を移動させたときの各位置における検出値を検出する検出工程と、前記検出した検出値に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出器が現在接触している検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する工程と、前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する工程とを備えたことを特徴とする。 Similarly, in order to achieve the above object, the method of correcting the amount of misalignment in the roundness measuring device of the present invention is configured such that the center of the measurement object and the center of rotation coincide with each other and the measurement object is relative to the detector. The detection value at each position when the detector is moved in the direction orthogonal to the detection direction while the detector is in contact with the reference measurement object placed at the reference position. A detection step of detecting, a step of calculating a misalignment amount, which is a shift amount between a bus of the reference measurement object and a detection point where the detector is currently in contact, based on the detected detection value; and the calculation And a step of correcting a measurement value of an arbitrary measurement object based on the amount of misalignment.
これにより、測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出することが可能となる。 As a result, by calculating and correcting the amount of misalignment, which is the amount of deviation between the bus of the measurement object and the detection point, even a measurement object having a diameter value different from the diameter value of the reference measurement object can be accurately obtained. It is possible to calculate a correct diameter value.
また、一つの実施態様として、前記心ずれ量を算出する工程は、前記検出値が最大となるときの前記検出器の位置と、前記検出器が現在接触している位置との差分を前記心ずれ量として算出することが好ましい。 In one embodiment, the step of calculating the amount of misalignment includes calculating a difference between a position of the detector when the detected value is maximum and a position where the detector is currently in contact with the heart. It is preferable to calculate the amount of deviation.
また、一つの実施態様として、前記測定物の中心とは、測定の際、前記検出器が接触する前記測定物の外周の点が形成する図形の最小二乗円の中心であることが好ましい。 In one embodiment, the center of the measurement object is preferably the center of a least square circle of a figure formed by a point on the outer periphery of the measurement object that contacts the detector during measurement.
以上説明したように、本発明によれば、測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出することが可能となる。 As described above, according to the present invention, a diameter value different from the diameter value of the reference measurement object is obtained by calculating and correcting the amount of misalignment, which is the deviation amount between the bus of the measurement object and the detection point. It is possible to calculate an accurate diameter value even in the case of a measurement object having a diameter.
以下、添付図面を参照して、本発明に係る真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法について詳細に説明する。 Hereinafter, with reference to the attached drawings, a roundness measuring device and a method of correcting misalignment thereof according to the present invention will be described in detail.
図1は、本発明の一実施形態に係る真円度測定装置の外観を示す斜視図である。 FIG. 1 is a perspective view showing an appearance of a roundness measuring apparatus according to an embodiment of the present invention.
この真円度測定装置は、測定機本体と演算処理装置とから構成されており、図1には、真円度測定装置10の測定機本体11を示す。
This roundness measuring apparatus is composed of a measuring machine main body and an arithmetic processing unit. FIG. 1 shows a measuring machine
測定機本体11は、ベース(基台)14上に測定物(ここでは図示省略)を載置する載物台(XY/傾斜テーブル)12が設けられている。載物台(XY/傾斜テーブル)12は、X方向微動つまみ22及びY方向微動つまみ24を備えている。X方向微動つまみ22及びY方向微動つまみ24はそれぞれ載物台移動軸に連結しており、これらの微動つまみ22、24によって載物台12をX方向及びY方向に微動送りすることができ、載物台12の水平位置を微調整することができるようになっている。
The measuring machine
また、載物台12には、X方向傾斜つまみ25及びY方向傾斜つまみ23が設けられておりX方向及びY方向に傾斜調整がされるようになっている。
Further, the
また、載物台12の下部には回転機構15が設けられている。回転機構15は、載物台12を回転駆動することにより載物台12の上に載置された測定物を回転させるものである。
A
またベース14上には上方に略垂直に延びるコラム(支柱)27が立設されており、コラム27にはスライダ28が上下動可能に装着されている。スライダ28には水平アーム(径方向移動軸)29が水平方向に駆動可能に装着されている。
Further, a column (support) 27 extending vertically upward is provided on the
水平アーム29の先端には、検出器30が設けられ、検出器30は測定子31を備えている。真円度測定装置10は、この測定子31を載物台12上に載置された測定物に接触させて測定物を測定し、測定で得られる検出信号を検出器30を介して演算処理装置に送り演算処理装置で処理するようになっている。なお、水平アーム29の先端には心ずれ調整機構32が設置されている。
A
図2は、真円度測定装置10の構成を示すブロック図である。
FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of the
図2に示すように、真円度測定装置10は、測定機本体11と演算処理装置13で構成される。測定機本体11については、図1の説明と重複する点もあるが再度説明することとする。
As shown in FIG. 2, the
測定機本体11は、ベース14上に回転機構15によって回転する載物台12が設けられている。載物台12には、水平方向の微調整及び垂直方向に対する傾斜調整を行うための、X方向微動つまみ22、Y方向微動つまみ24及びX方向傾斜つまみ25、Y方向傾斜つまみ23が設けられている。
The measuring machine
載物台12は、軸受16、エンコーダ18、モータ20等を備えた回転機構15によって回転される。載物台12は、軸受16を介してモータ20によって回転可能に支持されている。モータ20の回転軸にはエンコーダ18が取り付けられ、回転角が高精度に読み込まれるようになっている。軸受16は、例えば、超高精度の静圧エアーベアリングが用いられ、載物台12は非常に高い回転精度(例えば、0.005μm)で回転される。
The
また図2には表示されていないが図1に示すようにベース14上に立設されたコラム(支柱)27にはスライダ28が上下動可能に装着され、スライダ28には水平アーム(径方向移動軸)29が水平方向に駆動可能に装着されている。そして、水平アーム29の先端には、検出器30が設けられ、検出器30には測定子31が設置されている。また、検出器30には差動変圧器を用いた電気マイクロメータが使用されており、測定物26に接触する測定子31の変位量を検出するようになっている。
Although not shown in FIG. 2, a
測定時には、図2に示すように、測定物26を載物台12上に載せ、測定子31を測定物に接触させて測定を行う。測定で得られる検出信号は、検出器30を介して演算処理装置13に送られる。
At the time of measurement, as shown in FIG. 2, the
演算処理装置13は、増幅器33、A/D変換器34、演算/処理手段36及びこれらの制御を行うためにメモリに記憶されたプログラム38からなり、さらに処理結果を表示する表示手段を備えている。
The
測定子31を測定物26に接触させて得られた検出信号は検出器30を介して演算処理装置13に送られる。演算処理装置13では、まず増幅器33で増幅された後、A/D変換器34によってデジタル信号に変換されて、演算/処理手段36に入力される。
A detection signal obtained by bringing the
この真円度測定装置10で測定物26の真円度等を測定する場合には、測定物26を載物台12上に載置した後、最初に載物台12の回転中心と測定物26の中心との偏心補正と、載物台12の回転軸に対する測定物26の傾斜補正を行う。これにより、載物台12の回転中心と測定物26の中心とは一致しているものとする。
When the roundness of the measuring
次に、検出器30の測定子31を測定物26の側面に接触させた状態で、載物台12がモータ20によって1回転され、測定物26の側面1周分のデータがアナログ電圧値として採取される。アナログ電圧値として得られた検出信号は、上述したように増幅器33で増幅され、A/D変換器34でデジタル信号に変換されて、演算/処理手段36に入力される。演算/処理手段36は、エンコーダ18から入力される回転角度データと、検出器30で検出された変位データとから測定物26の真円度を演算し、演算結果を表示手段40に表示する。
Next, in a state where the
なお、以上説明してきた真円度測定装置10は、測定物26を載せた載物台12が回転し、測定子31は前後方向(水平アーム29の移動方向)及び上下方向(スライダ28の移動方向)に移動するだけで、測定子31は回転しない載物台回転形の真円度測定装置であったが、本発明は、このような載物台回転形真円度測定装置だけに限定されるものではない。載物台は回転せず、測定子が前後方向及び上下方向に移動するとともに、測定子が測定物の回りを回転して測定する、検出器回転形の真円度測定装置にも適用可能である。
In the
図3は、検出器回転形真円度測定装置の測定機本体の外観を示す斜視図である。 FIG. 3 is a perspective view showing an appearance of a measuring machine main body of the detector rotation type roundness measuring apparatus.
図3に示すように、この真円度測定装置100の測定機本体111は、ベース114上に測定物を載せる載物台112が設けられている。載物台112は、X方向微動つまみ122及びY方向微動つまみ124を有している。なお、ここでは省略したが、前の例と同様にX方向傾斜つまみ及びY方向傾斜つまみを備えていてもよい。
As shown in FIG. 3, the measuring machine
またベース114上には上方に略垂直に延びるコラム(支柱)127が立設されており、コラム127にはスライダ128が上下動可能に装着されている。スライダ128は、コラム127に設けられた送り装置150によって上下に移動されるようになっている。またスライダ128の下側には水平アーム(径方向移動軸)129が取り付けられており、水平アーム129には検出器130及び測定子131が設置されている。
On the
真円度測定装置100は、測定子131を載物台112上に載置された測定物に接触させながら、測定子131を測定物の回りに回転させて測定物を測定する。測定で得られる検出信号は、検出器130を介して図示を省略した演算処理装置に送られ、演算処理装置で処理されるようになっている。なお、水平アーム129と検出器130との間には心ずれ調整機構132が設置されている。
The
以下、本実施形態の真円度測定装置10(あるいは100)による心ずれ量の算出と、これを用いた心ずれ量補正方法について説明する。 Hereinafter, calculation of the amount of misalignment by the roundness measuring apparatus 10 (or 100) of this embodiment and a method of correcting the amount of misalignment using this will be described.
真円度測定時には、図4に示すように、測定子31の先端球31aを載物台12(ここでは図示省略)上に載せた測定物26に接触させる。
At the time of roundness measurement, as shown in FIG. 4, the
そして、載物台回転形の真円度測定装置10の場合には、図4に矢印Aで示すように載物台12を回転することによって測定物26を回転する。また、検出器回転形の真円度測定装置100の場合には、測定子131を、図4に矢印Bで示すように、測定物26の外周に沿って回転させる。なお、測定物26の中心と載物台12の回転中心とは一致しているものと仮定する。
Then, in the case of the mounting table rotation type
また、ここで測定物26の中心とは、測定物26の外周を形成する図形(正確に言うと、先端球31aを接触させて測定する点(検出点)を含み載物台12の表面に平行な断面の外周の図形)の最小二乗円の中心であるとする。
Here, the center of the measuring
このとき、いずれの場合も測定子31(あるいは測定子131)の先端球31aが測定物26と接触しているようにする。例えば、載物台回転形の真円度測定装置10の場合には、図4に矢印Dで示す検出方向に、先端球31aを測定物26の外表面に常に押し当てながら、測定物26を矢印A方向に回転する。このとき、測定物26が真円でなく、測定物26の回転につれて半径が変化すると、先端球31aは回転中心側に寄って行ったりあるいは離れたり、矢印Dが示す検出方向内でその位置が変化する。
At this time, the
この先端球31aの位置の変化を検出器30を介して検出し、演算処理装置13で処理することにより測定物26の真円度が検出される。
The change in the position of the
図4に示すように、測定子31の先端球31aを、矢印Dが示す検出方向に移動して測定物26と接触させて測定を行う検出点Pが、測定物26の中心を通る母線Mと一致している場合には、正確に測定物26の真円度を測定することができる。
As shown in FIG. 4, a detection point P at which measurement is performed by moving the
しかし、実際の測定においては、測定子31の先端球31aの測定物26に対する検出点Pが測定物26の母線Mと一致しているとは限らない。
However, in actual measurement, the detection point P of the
装置によっては、例えば図5に示すように、測定子31の先端球31aが測定物26と接触する検出点Qが、測定物26の母線Mと一致しない場合がある。この場合には、測定物26の母線Mと一致する検出点Pと、実際の測定での検出点Qとにおける、先端球31aの検出方向Dに関する先端球31aの中心間の距離εだけ測定誤差が生じる。
Depending on the apparatus, for example, as shown in FIG. 5, the detection point Q at which the
また、検出点Pと検出点Qにおける、検出方向Dと垂直な方向に関する先端球31aの中心間の距離Yが、このときの検出点Qの母線Mからのずれを表しており、この値Yが心ずれ量である。
Further, the distance Y between the centers of the
次に、この心ずれ量Yを求める方法について説明する。 Next, a method for obtaining the misalignment amount Y will be described.
まず、図1に示した載物台回転形の真円度測定装置10を用いて、測定子31に対して測定物26を検出方向と直交する方向に移動させて心ずれ量Yを測定する方法について説明する。
First, the amount of misalignment Y is measured by moving the measuring
図6に、測定子31に対して基準となる測定物26を検出方向と直交する方向に移動させて心ずれ量Yを測定する様子を平面図で示す。
FIG. 6 is a plan view showing how the misalignment amount Y is measured by moving the
図6に示すように、まず測定物26は、その中心を載物台12の回転中心と略一致させて置かれているものとする(基準位置)。この測定物26に対して、測定子31の先端球31aを接触させる。
As shown in FIG. 6, it is assumed that the
このとき、測定物26の中心(載物台12の回転中心)を通る直線(母線)Oと、測定子31の先端球31aの中心との距離が心ずれ量Yである。
At this time, the distance between the straight line (bus line) O passing through the center of the measurement object 26 (the center of rotation of the mounting table 12) and the center of the
ここで図6に矢印Cで示すように、測定物26を検出方向と直交する方向(母線Oに垂直な方向)に移動して行く。
Here, as shown by an arrow C in FIG. 6, the
測定物26の移動に伴い、測定子31の先端球31aが測定物26に当たる位置が変化するため、測定物26に押されて先端球31aの位置が母線Oと平行な方向に変化する。この変化量をδとする。この変化量δは、測定物26の各位置における先端球31aによる検出値の差分(変化量)として得られる。
As the
図7は、このとき測定物26の移動量を横軸にとり、先端球31aの変化量δを縦軸にとって示したものである。
FIG. 7 shows the amount of movement of the measuring
上述したように、先端球31aは測定物26の移動に伴って移動するが、図6からわかるように、測定物26の中心を通り母線Oに平行な直線が先端球31aの中心を通るときに、先端球31aの変化量δが最も大きくなる。
As described above, the
従って、図7において、変化量δが最も大きくなるときの、測定物26の基準位置からの移動量が心ずれ量Yを表すこととなる。
Therefore, in FIG. 7, the amount of movement of the
このように、測定子に対して測定物を移動させることによって心ずれ量Yを求めることができる。 In this way, the amount of misalignment Y can be obtained by moving the measurement object relative to the probe.
次に、図3に示した検出器回転形の真円度測定装置100を用いて、測定物26は固定して測定子131を検出方向と直交する方向に移動させて心ずれ量Yを測定する方法を説明する。
Next, using the detector rotation type
図8に、基準となる測定物26に対して測定子131を検出方向と直交する方向に移動させて心ずれ量Yを測定する様子を平面図で示す。
FIG. 8 is a plan view showing how the misalignment amount Y is measured by moving the
図8に示すように、測定物26は、前と同様にその中心を載物台12の回転中心と略一致させて置かれているものとする。この測定物26に対して、測定子131の先端球131aを接触させる。先端球131aを測定物26に接触させたときの先端球131aの中心と母線Oとの距離Yがこのときの心ずれ量であり、これを以下のようにして求める。
As shown in FIG. 8, it is assumed that the
図8に示すように、最初に先端球131aを測定物26に接触させた現在位置から、先端球131aを測定物26に接触させながら、矢印Eに示すように先端球131aを検出方向と直交する方向(母線Oと垂直な方向)に移動させて行く。そして、先端球131aの各位置における測定値として、先端球131aの中心から、測定物26の母線Oに垂直な直径までの距離ξを得て行く。
As shown in FIG. 8, the
図9に、図8における先端球131aの矢印E方向への移動距離を横軸にとり、各位置における測定値ξを縦軸にとったグラフを示す。
FIG. 9 is a graph in which the movement distance in the arrow E direction of the
図9のグラフ上の点Sが、図8における先端球131aの現在位置に対応する。
A point S on the graph of FIG. 9 corresponds to the current position of the
先端球131aを現在位置から図8の矢印E方向に移動させて行くと、測定値ξはしだいに増加し、先端球131aの中心が母線O上に来たときに測定値ξは最大となる。そして、先端球131aが母線Oを通過してさらに移動していくと、測定値ξは今度は減少して行く。
When the
従って、図9のグラフにおいて、測定値ξが最大となる位置が母線Oの位置であり、それと現在位置に対応する点Sとの距離Yが心ずれ量となる。 Therefore, in the graph of FIG. 9, the position where the measured value ξ is maximum is the position of the bus O, and the distance Y between the position and the point S corresponding to the current position is the amount of misalignment.
このように、検出器回転形の真円度測定装置100を用いても心ずれ量Yを求めることができる。
As described above, the amount of misalignment Y can also be obtained using the detector rotation type
次に、測定した半径の値等を、算出した心ずれ量Yを用いて補正する方法について説明する。 Next, a method for correcting the measured radius value and the like using the calculated misalignment amount Y will be described.
まず、半径を測定して補正する場合について、図10を参照して説明する。 First, a case where the radius is measured and corrected will be described with reference to FIG.
図10において、基準測定物26−0の既知のマスター直径をD0とし、これを直径dの先端球31a(あるいは131a)を用いて測定する場合を考える。
10, a known master the diameter of the reference workpiece 26-0 and D 0, consider a case where measured using the diameter d end
図10において、測定半径をR’、上記のようにして既に求められている心ずれ量をYとする。 In FIG. 10, the measurement radius is R ′, and the misalignment amount already obtained as described above is Y.
この測定によって得られた測定半径R’を心ずれ量Yを用いて補正した校正半径をRとすると、校正半径Rは次の式(1)のようにして求めることができる。 If the calibration radius R obtained by correcting the measurement radius R ′ obtained by this measurement using the amount of misalignment Y is R, the calibration radius R can be obtained by the following equation (1).
R=√[{(D0+d)/2}2 − Y2] …(1)
次に、図11を参照して、測定物の外径あるいは内径を測定する場合について説明する。
R = √ [{(D 0 + d) / 2} 2 −Y 2 ] (1)
Next, a case where the outer diameter or inner diameter of the measurement object is measured will be described with reference to FIG.
まず、測定物26−3の外径を測定する場合を考えると、図11において、測定物26−3の中心から先端球31a(131a)の中心までの距離は、三平方の定理によって、√[R2+Y2]と求めることができる。従って、外径は、これの2倍から先端球31aの直径dを引けばよいので、外径Dは、次の式(2)のようにして求められる。
First, considering the case where the outer diameter of the measurement object 26-3 is measured, the distance from the center of the measurement object 26-3 to the center of the
D=2×√[R2+Y2]−d …(2)
次に、測定物26−4の内径を測定する場合は、先端球31aを測定物26−4に対して内接させるので、√[R2+Y2]で表される測定物26−4の中心から先端球31aの中心までの距離に対して先端球31aの直径dを足せばよいので、次の式(3)のようにして求められる。
D = 2 × √ [R 2 + Y 2 ] −d (2)
Next, when measuring the inner diameter of the measurement object 26-4, the
D=2×√[R2+Y2]+d …(3)
以上のように、本実施形態によれば、測定子の先端球が測定物と接触する検出点が測定物の中心を通る母線と一致しておらず、母線からずれている場合であっても、この心ずれ量を算出することにより、半径の測定値を心ずれ量を用いて補正することができる。
D = 2 × √ [R 2 + Y 2 ] + d (3)
As described above, according to the present embodiment, even if the detection point where the tip sphere of the probe contacts the measurement object does not coincide with the bus line passing through the center of the measurement object, By calculating this misalignment amount, the measured value of the radius can be corrected using the misalignment amount.
このように、測定物の母線と検出点のずれ(心ずれ量)を算出して補正することにより、基準測定物の直径値と異なる直径値を有する測定物であっても、その正確な直径値を算出することが可能となる。 In this way, by calculating and correcting the deviation (center misalignment) between the bus of the measurement object and the detection point, even if the measurement object has a diameter value different from the diameter value of the reference measurement object, its exact diameter The value can be calculated.
また、このように算出した心ずれ量を用いて測定値の補正を行う他、算出した心ずれ量に基づいて、心ずれ調整機構32(132)によって測定子31(131)及び先端球31a(131a)の位置(基準位置)を調整するようにしても良い。
In addition to correcting the measured value using the calculated amount of misalignment, based on the calculated amount of misalignment, the measure 31 (131) and the
以上、本発明の真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。 As described above, the roundness measuring apparatus and the misalignment correction method of the present invention have been described in detail. However, the present invention is not limited to the above examples, and various improvements can be made without departing from the gist of the present invention. It goes without saying that or may be modified.
10…(載物台回転形)真円度測定装置、11…測定機本体、12…載物台(XY/傾斜テーブル)、13…演算処理装置、14…ベース(基台)、15…回転機構、16…軸受、18…エンコーダ、20…モータ、22…X方向微動つまみ、23…Y方向傾斜つまみ、24…Y方向微動つまみ、25…X方向傾斜つまみ、26…測定物、27…コラム(支柱)、28…スライダ、29…水平アーム(径方向移動軸)、30…検出器、31…測定子、31a…先端球、32…心ずれ調整機構、33…増幅器、34…A/D変換器、36…演算/処理手段、38…プログラム、40…表示手段、100…(検出器回転形)真円度測定装置
DESCRIPTION OF
Claims (10)
基準測定物に対する前記検出器の検出方向と直交する方向に前記基準測定物を移動させる手段と、
前記基準測定物を基準位置から前記検出器の検出方向と直交する方向に移動させたときの各位置における検出値の変化量に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出器の前記基準測定物に対する検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する手段と、
前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段と、
を備えたことを特徴とする真円度測定装置。 In a roundness measuring apparatus for measuring the roundness of a measurement object by rotating the measurement object relative to the detector by matching the center of the measurement object with the center of rotation,
Means for moving the reference measurement object in a direction orthogonal to a detection direction of the detector with respect to a reference measurement object;
Based on the amount of change in the detected value at each position when the reference measurement object is moved from the reference position in a direction orthogonal to the detection direction of the detector, the reference measurement bus of the reference measurement object and the reference measurement of the detector Means for calculating an amount of misalignment, which is an amount of deviation from a detection point with respect to an object;
Means for correcting a measurement value of an arbitrary measurement object based on the calculated amount of misalignment;
A roundness measuring apparatus comprising:
前記検出器を基準位置に置かれた基準測定物に対して接触させながら、検出方向と直交する方向に前記検出器を移動させたときの各位置における検出値に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出器が現在接触している検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する手段と、
前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段と、
を備えたことを特徴とする真円度測定装置。 In a roundness measuring apparatus for measuring the roundness of a measurement object by rotating the measurement object relative to the detector by matching the center of the measurement object with the center of rotation,
Based on the detection value at each position when the detector is moved in the direction orthogonal to the detection direction while the detector is in contact with the reference measurement object placed at the reference position, the reference measurement object Means for calculating the amount of misalignment, which is the amount of deviation between the bus bar and the detection point where the detector is currently in contact;
Means for correcting a measurement value of an arbitrary measurement object based on the calculated amount of misalignment;
A roundness measuring apparatus comprising:
前記検出した検出値の変化量を算出する工程と、
前記算出した変化量に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出器の前記基準測定物に対する検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する工程と、
前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する工程と、
を備えたことを特徴とする真円度測定装置における心ずれ量補正方法。 By aligning the center of the measurement object and the center of rotation and rotating the measurement object relative to the detector, the reference measurement object is placed in a direction perpendicular to the detection direction of the detector with respect to the reference measurement object. A detection step of moving and detecting a detection value at each position of the reference measurement object;
Calculating a change amount of the detected detection value;
Based on the calculated change amount, calculating a misalignment amount that is a deviation amount between a bus of the reference measurement object and a detection point of the detector with respect to the reference measurement object;
Correcting a measured value of an arbitrary measurement object based on the calculated amount of misalignment;
A method of correcting the amount of misalignment in a roundness measuring apparatus comprising:
前記検出した検出値に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出器が現在接触している検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する工程と、
前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する工程と、
を備えたことを特徴とする真円度測定装置における心ずれ量補正方法。 While aligning the center of the measurement object and the center of rotation and rotating the measurement object relative to the detector, the detector is brought into contact with the reference measurement object placed at the reference position, A detection step of detecting a detection value at each position when the detector is moved in a direction orthogonal to the detection direction;
Based on the detected detection value, calculating a misalignment amount that is a shift amount between a bus of the reference measurement object and a detection point where the detector is currently in contact;
Correcting a measured value of an arbitrary measurement object based on the calculated amount of misalignment;
A method of correcting the amount of misalignment in a roundness measuring apparatus comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011021973A JP5716427B2 (en) | 2011-02-03 | 2011-02-03 | Roundness measuring device and method of correcting misalignment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011021973A JP5716427B2 (en) | 2011-02-03 | 2011-02-03 | Roundness measuring device and method of correcting misalignment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012163366A true JP2012163366A (en) | 2012-08-30 |
JP5716427B2 JP5716427B2 (en) | 2015-05-13 |
Family
ID=46842898
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011021973A Active JP5716427B2 (en) | 2011-02-03 | 2011-02-03 | Roundness measuring device and method of correcting misalignment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5716427B2 (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103791801A (en) * | 2014-02-28 | 2014-05-14 | 三星高新电机(天津)有限公司 | Measuring tool for roundness of glass circular disk and measuring method thereof |
JP2016517957A (en) * | 2013-04-02 | 2016-06-20 | カール ザイス インダストリエル メステクニーク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Method for determining the shape contour of the measurement object |
CN109631720A (en) * | 2019-01-02 | 2019-04-16 | 武汉船用机械有限责任公司 | A kind of measurement method of circular cylinder |
CN114485343A (en) * | 2021-12-20 | 2022-05-13 | 无锡鹰贝精密液压有限公司 | Check tool for detecting sealing spherical surface of one-way valve element |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105021101B (en) * | 2015-08-10 | 2018-08-31 | 广西玉柴机器股份有限公司 | The detection method of the top dead centre of the piston of engine |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01259211A (en) * | 1988-04-08 | 1989-10-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Diameter measuring instrument for circularity measuring machine |
JPH04125401A (en) * | 1990-09-18 | 1992-04-24 | Nippon Seiko Kk | Measuring apparatus of precision of external thread |
JP2004317159A (en) * | 2003-04-11 | 2004-11-11 | Mitsutoyo Corp | Reference holder for roundness measuring machines |
JP2006194739A (en) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Toshiba Corp | Apparatus and method for measuring fluctuation of object to be measured |
JP2009115527A (en) * | 2007-11-05 | 2009-05-28 | Mitsutoyo Corp | Stylus, shape measuring instrument, and part program |
JP2010271057A (en) * | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Mitsutoyo Corp | Form measuring instrument, form measuring method, and program |
JP2012145494A (en) * | 2011-01-13 | 2012-08-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Circularity measuring apparatus and misalignment quantity correction method of the same |
JP2012145492A (en) * | 2011-01-13 | 2012-08-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Circularity measuring apparatus and misalignment quantity correction method of the same |
JP2012154942A (en) * | 2012-04-06 | 2012-08-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Core deviation amount calculation method in roundness measuring apparatus |
JP2014130154A (en) * | 2014-02-18 | 2014-07-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Misalignment amount calculation method in circularity measurement device |
-
2011
- 2011-02-03 JP JP2011021973A patent/JP5716427B2/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01259211A (en) * | 1988-04-08 | 1989-10-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Diameter measuring instrument for circularity measuring machine |
JPH04125401A (en) * | 1990-09-18 | 1992-04-24 | Nippon Seiko Kk | Measuring apparatus of precision of external thread |
JP2004317159A (en) * | 2003-04-11 | 2004-11-11 | Mitsutoyo Corp | Reference holder for roundness measuring machines |
JP2006194739A (en) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Toshiba Corp | Apparatus and method for measuring fluctuation of object to be measured |
JP2009115527A (en) * | 2007-11-05 | 2009-05-28 | Mitsutoyo Corp | Stylus, shape measuring instrument, and part program |
JP2010271057A (en) * | 2009-05-19 | 2010-12-02 | Mitsutoyo Corp | Form measuring instrument, form measuring method, and program |
JP2012145494A (en) * | 2011-01-13 | 2012-08-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Circularity measuring apparatus and misalignment quantity correction method of the same |
JP2012145492A (en) * | 2011-01-13 | 2012-08-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Circularity measuring apparatus and misalignment quantity correction method of the same |
JP2012154942A (en) * | 2012-04-06 | 2012-08-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Core deviation amount calculation method in roundness measuring apparatus |
JP2014130154A (en) * | 2014-02-18 | 2014-07-10 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Misalignment amount calculation method in circularity measurement device |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016517957A (en) * | 2013-04-02 | 2016-06-20 | カール ザイス インダストリエル メステクニーク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | Method for determining the shape contour of the measurement object |
CN103791801A (en) * | 2014-02-28 | 2014-05-14 | 三星高新电机(天津)有限公司 | Measuring tool for roundness of glass circular disk and measuring method thereof |
CN109631720A (en) * | 2019-01-02 | 2019-04-16 | 武汉船用机械有限责任公司 | A kind of measurement method of circular cylinder |
CN114485343A (en) * | 2021-12-20 | 2022-05-13 | 无锡鹰贝精密液压有限公司 | Check tool for detecting sealing spherical surface of one-way valve element |
CN114485343B (en) * | 2021-12-20 | 2023-08-18 | 无锡鹰贝精密液压有限公司 | Check tool for check valve element sealing spherical surface detection |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5716427B2 (en) | 2015-05-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4968600B1 (en) | Roundness measuring device and method of correcting misalignment | |
JP5652631B2 (en) | Method of calculating the amount of misalignment in a roundness measuring device | |
JP5277033B2 (en) | Correction ball diameter calculation method and shape measuring apparatus | |
JP6149337B1 (en) | Surface shape measuring device | |
JP6671011B2 (en) | Roundness measuring device | |
US8504316B2 (en) | Form measuring instrument, and calibration method and calibration program therefor | |
JP5337955B2 (en) | Shape measuring apparatus, shape measuring method, and program | |
JP6657552B2 (en) | Flatness measurement method | |
CN206609370U (en) | Dimension measurement device | |
JP3081174B2 (en) | Roundness measuring instrument and its detector sensitivity calibration method | |
JP6664074B2 (en) | Flatness measurement device | |
JP5716427B2 (en) | Roundness measuring device and method of correcting misalignment | |
JP5297906B2 (en) | Image probe calibration method and shape measuring machine | |
JP5489017B2 (en) | Method of calculating the amount of misalignment in a roundness measuring device | |
JP2017161252A (en) | Surface shape measuring method, and surface shape measuring device | |
JP2015064235A (en) | Roundness measuring machine | |
JP5742078B2 (en) | Roundness measuring device, misalignment correction method, and misalignment calculation method | |
JP6743351B2 (en) | Method for calculating misalignment of roundness measuring machine and roundness measuring machine | |
JP2010085360A (en) | Automatic dimension measurement device | |
JP2019035710A (en) | Rolling bearing perpendicularity measuring device and rolling bearing perpendicularity measuring method | |
JP6846673B2 (en) | Angle correction method and angle correction device for surface shape measuring device | |
JP2015068740A (en) | Roundness measurement device | |
JP5310336B2 (en) | measuring device | |
JP3083758B2 (en) | Method and apparatus for calibrating detector sensitivity of roundness measuring machine | |
JP2011117841A (en) | Method for calibrating measurement precision of roundness measuring machine |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140107 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140711 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140729 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140929 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150217 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150302 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5716427 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |