JP2012160807A - Imaging apparatus, electronic apparatus, and imaging method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the image quality etc. of a captured image.SOLUTION: In order to obtain a first image RD1, first imaging is performed at a first position PJ1. Second imaging is performed such that a second image RD2 of the subject is obtained at a second position PJ2 where defective pixels KP included in plural pixels P in an imaging surface PS are different from those at the first position PJ1. While the first image RD1 and the second image RD2 are so aligned as to be at the same position with respect to the subject, signals of the first image RD1 and the second image RD2 are added to each other by each pixel P.

Description

本発明は、撮像装置、電子機器、撮像方法に関する。特に、本発明は、欠陥画素に起因して撮像画像の画像品質が低下することを防止可能な、撮像装置、電子機器、撮像方法に関する。   The present invention relates to an imaging apparatus, an electronic apparatus, and an imaging method. In particular, the present invention relates to an imaging apparatus, an electronic apparatus, and an imaging method that can prevent the image quality of a captured image from being deteriorated due to defective pixels.

デジタルカメラなどの電子機器は、固体撮像素子を含む。たとえば、固体撮像素子として、CMOS(Complementary Metal Oxicide Semiconductor)型イメージセンサ、CCD(Charge Coupled Device)型イメージセンサを含む。   Electronic equipment such as a digital camera includes a solid-state image sensor. For example, the solid-state imaging device includes a CMOS (Complementary Metal Oxide Semiconductor) type image sensor and a CCD (Charge Coupled Device) type image sensor.

固体撮像素子では、複数の画素がマトリクス状に配列された画素領域が、半導体基板の面に設けられている。複数の画素のそれぞれにおいては、光電変換部が設けられている。光電変換部は、たとえば、フォトダイオードであり、入射光を受光面で受光し光電変換することによって信号電荷を生成する。   In a solid-state imaging device, a pixel region in which a plurality of pixels are arranged in a matrix is provided on the surface of a semiconductor substrate. A photoelectric conversion unit is provided in each of the plurality of pixels. The photoelectric conversion unit is, for example, a photodiode, and generates signal charges by receiving incident light on a light receiving surface and performing photoelectric conversion.

複数の画素中においては、半導体の局所的な結晶欠陥などによる欠陥画素が存在する場合があり、この欠陥画素では他の欠陥がない画素に比べて感度が低下して、信号強度が低い信号が出力される場合がある。このため、撮像画像に白キズなどの不具合が発生するために、画像品質が低下する場合がある。   In a plurality of pixels, there may be a defective pixel due to a local crystal defect of a semiconductor, etc., and this defective pixel has a lower sensitivity than a pixel having no other defect and a signal with low signal intensity. May be output. For this reason, since defects such as white scratches occur in the captured image, the image quality may deteriorate.

このような欠陥画素による不具合を解消するために、欠陥補正を実施することが提案されている(たとえば、特許文献1参照)。   In order to eliminate such defects caused by defective pixels, it has been proposed to perform defect correction (see, for example, Patent Document 1).

特許3186230号公報Japanese Patent No. 3186230

図24は、欠陥補正の一例を示す図である。図24においては、画素Pの配列を示している。   FIG. 24 is a diagram illustrating an example of defect correction. In FIG. 24, the arrangement of the pixels P is shown.

図24に示すように、画素Pは、水平方向xと垂直方向yとのそれぞれに複数が配列されている。画素Pは、赤色の波長帯域の光を受光する赤色画素Rと、緑色の波長帯域の光を受光する緑色画素Gと、青色の波長帯域の光を受光する青色画素Bとを含む。   As shown in FIG. 24, a plurality of pixels P are arranged in each of the horizontal direction x and the vertical direction y. The pixel P includes a red pixel R that receives light in the red wavelength band, a green pixel G that receives light in the green wavelength band, and a blue pixel B that receives light in the blue wavelength band.

赤色画素Rと緑色画素Gと青色画素Bとのそれぞれは、図24に示すように、ベイヤー配列BHで配列されている。すなわち、緑色画素Gが市松状になるように、対角方向へ並んで配置されている。そして、赤色画素Rと青色画素Bとが、複数の緑色画素Gにおいて、対角方向に並ぶように配置されている。   Each of the red pixel R, the green pixel G, and the blue pixel B is arranged in a Bayer array BH as shown in FIG. That is, the green pixels G are arranged in a diagonal direction so as to have a checkered pattern. The red pixel R and the blue pixel B are arranged in a plurality of green pixels G so as to be aligned in a diagonal direction.

このとき、図24(a)において太線で囲って示しているように、複数の画素Pのうち、たとえば、一つの青色画素Bが欠陥画素KPとして形成される場合がある。   At this time, as indicated by a bold line in FIG. 24A, for example, one blue pixel B among the plurality of pixels P may be formed as the defective pixel KP.

このような場合に欠陥補正を実施する際には、図24(a)に示すように、欠陥画素KPの隣りに位置する他の隣接画素RP(破線で示したもの)から出力された画素データに基づいて得られるデータを、その欠陥画素KPから出力された画素データとする。つまり、欠陥画素KPの周辺に位置する隣接画素RPから得られる画素データを用いて、その欠陥画素KPの画素データを補間により得る。たとえば、複数の青色画素Bのうち、欠陥画素KPとして存在するものに対して水平方向xおよび垂直方向yに隣接する隣接画素RPから出力された画素データを加算平均したデータを生成する。そして、そのデータを欠陥画素KPから出力された画素データとして置換することで、欠陥補正を実施する。   When performing defect correction in such a case, as shown in FIG. 24A, pixel data output from another adjacent pixel RP (shown by a broken line) located adjacent to the defective pixel KP. The data obtained on the basis of is used as pixel data output from the defective pixel KP. That is, pixel data of the defective pixel KP is obtained by interpolation using pixel data obtained from the adjacent pixel RP located around the defective pixel KP. For example, data obtained by averaging the pixel data output from the adjacent pixels RP adjacent in the horizontal direction x and the vertical direction y to a pixel existing as the defective pixel KP among the plurality of blue pixels B is generated. Then, defect correction is performed by replacing the data with pixel data output from the defective pixel KP.

しかしながら、この場合には、その補正後の欠陥画素KPの画素データは、別の位置の画素Pから得た画素データを用いて形成されており、実際には、その欠陥画素KPの部分の情報が不足していることになる。このため、撮像画像においては、解像度が低下し、画像品質の向上が十分でない場合がある。   However, in this case, the pixel data of the defective pixel KP after the correction is formed by using pixel data obtained from the pixel P at another position, and in fact, information on the portion of the defective pixel KP. Will be lacking. For this reason, in the captured image, the resolution is lowered, and the image quality may not be sufficiently improved.

特に、暗時における撮影のように露光時間が長く、長時間の電荷蓄積を行うときには、このような不具合の発生が顕在化する場合がある。たとえば、夜空の星を撮影する場合には、上記の補正によって、星による高輝度部分が低輝度になって、画像内に表示されなくなる場合があり、画像品質が低下する。   In particular, the occurrence of such a problem may become apparent when the exposure time is long and charge accumulation is performed for a long time, such as when shooting in the dark. For example, when shooting a star in the night sky, the above-described correction may cause a high-luminance portion of the star to become low-luminance and not be displayed in the image, resulting in a reduction in image quality.

また、図24(b)に示すように、欠陥画素KPが連続的に複数並ぶように存在しており、(a)において隣接画素RPとした画素Pが欠陥画素KPである場合には、上記の欠陥補正をしたとしても十分な補正が行われず、画像品質の向上が容易でない場合がある。   Also, as shown in FIG. 24B, when there are a plurality of defective pixels KP arranged continuously, and the pixel P that is the adjacent pixel RP in FIG. 24A is a defective pixel KP, Even if the defect correction is performed, sufficient correction is not performed, and it may be difficult to improve the image quality.

また、欠陥画素KPが存在する部分が大きい場合を不良チップとして廃棄すると、製品歩留まりが悪化する場合がある。   Further, when the portion where the defective pixel KP is large is discarded as a defective chip, the product yield may be deteriorated.

このように、撮像装置においては、欠陥画素に起因して、撮像画像の画像品質や製品歩留まり等を向上させることが困難な場合がある。   As described above, in the imaging apparatus, it may be difficult to improve the image quality of the captured image, the product yield, and the like due to defective pixels.

したがって、本発明は、撮像画像の画像品質等を向上可能な、撮像装置、電子機器、撮像方法を提供する。   Therefore, the present invention provides an imaging device, an electronic device, and an imaging method that can improve the image quality and the like of a captured image.

本発明の撮像装置は、被写体を撮像する画素が撮像面に複数設けられた固体撮像素子と、前記固体撮像素子から出力された信号について信号処理を実施する信号処理部とを有し、前記固体撮像素子は、前記被写体について第1画像を取得するように、第1の位置で第1の撮像を実施すると共に、前記撮像面において前記複数の画素に含まれる欠陥画素が前記第1の位置とは異なる第2の位置で前記被写体について第2画像を取得するように、第2の撮像を実施し、前記信号処理部は、前記第1画像と前記第2画像とについて前記被写体に対して互いに同じ位置になるように位置合わせをした状態で、前記第1画像と前記第2画像とについて画素ごとに信号を加算することによって、前記欠陥画素による欠陥データを補正する欠陥補正処理を実施して撮像画像を生成する。   The imaging apparatus of the present invention includes a solid-state imaging device in which a plurality of pixels for imaging a subject are provided on an imaging surface, and a signal processing unit that performs signal processing on a signal output from the solid-state imaging device. The imaging device performs a first imaging at a first position so as to obtain a first image of the subject, and defective pixels included in the plurality of pixels on the imaging surface are defined as the first position. The second imaging is performed so that the second image is acquired for the subject at a different second position, and the signal processing unit is configured to mutually apply the subject to the subject with respect to the first image and the second image. A defect correction process for correcting defect data due to the defective pixel is performed by adding a signal for each pixel with respect to the first image and the second image in a state where the positions are aligned. It generates a captured image by.

本発明の電子機器は、被写体を撮像する画素が撮像面に複数設けられた固体撮像素子と、前記固体撮像素子から出力された信号について信号処理を実施する信号処理部とを有し、前記固体撮像素子は、前記被写体について第1画像を取得するように、第1の位置で第1の撮像を実施すると共に、前記撮像面において前記複数の画素に含まれる欠陥画素が前記第1の位置とは異なる第2の位置で前記被写体について第2画像を取得するように、第2の撮像を実施し、前記信号処理部は、前記第1画像と前記第2画像とについて前記被写体に対して互いに同じ位置になるように位置合わせをした状態で、前記第1画像と前記第2画像とについて画素ごとに信号を加算することによって、前記欠陥画素による欠陥データを補正する欠陥補正処理を実施して撮像画像を生成する。   The electronic apparatus according to the present invention includes a solid-state imaging device in which a plurality of pixels for imaging a subject are provided on an imaging surface, and a signal processing unit that performs signal processing on a signal output from the solid-state imaging device, The imaging device performs a first imaging at a first position so as to obtain a first image of the subject, and defective pixels included in the plurality of pixels on the imaging surface are defined as the first position. The second imaging is performed so that the second image is acquired for the subject at a different second position, and the signal processing unit is configured to mutually apply the subject to the subject with respect to the first image and the second image. A defect correction process for correcting defect data due to the defective pixel is performed by adding a signal for each pixel with respect to the first image and the second image in a state where the positions are aligned. It generates a captured image by.

本発明の撮像方法は、複数の画素が撮像面に設けられた固体撮像素子が、第1の位置にある状態で、被写体について第1の撮像を実施することで第1画像を取得する工程と、前記固体撮像素子が、前記第1の位置とは異なる第2の位置にある状態で、前記被写体について第2の撮像を実施することで第2画像を取得する工程と、前記第1画像と前記第2画像とについて前記被写体に対して互いに同じ位置になるように位置合わせをした状態で、前記第1画像と前記第2画像とについて画素ごとに信号を加算することによって、前記欠陥画素による欠陥データを補正する欠陥補正処理を実施して撮像画像を生成する工程と
を含む。
The imaging method of the present invention includes a step of acquiring a first image by performing a first imaging on a subject in a state where a solid-state imaging device having a plurality of pixels provided on an imaging surface is at a first position; Obtaining a second image by performing second imaging on the subject in a state where the solid-state imaging device is in a second position different from the first position; and By adding signals for each pixel of the first image and the second image in a state where the second image and the subject are aligned with each other at the same position, And performing a defect correction process for correcting defect data to generate a captured image.

本発明においては、複数の画素が撮像面に設けられた固体撮像素子が、第1の位置にある状態で、被写体について第1の撮像を実施して第1画像を取得する。そして、その固体撮像素子が第1の位置とは異なる第2の位置にある状態で、その被写体について第2の撮像を実施することで第2画像を取得する。そして、第1画像と第2画像とについて、その被写体に対して互いに同じ位置になるように位置合わせをした状態で、第1画像と第2画像とについて画素ごとに信号を加算する。これによって、欠陥画素による欠陥データを補正する欠陥補正処理を実施して撮像画像を生成する。   In the present invention, with the solid-state imaging device having a plurality of pixels provided on the imaging surface in the first position, the first imaging is performed on the subject to acquire the first image. Then, in a state where the solid-state imaging device is at a second position different from the first position, the second image is acquired for the subject to acquire a second image. Then, signals are added pixel by pixel for the first image and the second image in a state where the first image and the second image are aligned so as to be in the same position with respect to the subject. As a result, a defect correction process for correcting defect data by defective pixels is performed to generate a captured image.

本発明によれば、撮像画像の画像品質等を向上可能な、撮像装置、電子機器、撮像方法を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide an imaging device, an electronic apparatus, and an imaging method that can improve the image quality of a captured image.

図1は、本発明の実施形態1において、デジタルカメラ400の要部構成を模式的に示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram schematically showing the main configuration of a digital camera 400 in Embodiment 1 of the present invention. 図2は、本発明の実施形態1において、固体撮像素子1の全体構成を示す上面図である。FIG. 2 is a top view showing the overall configuration of the solid-state imaging device 1 in Embodiment 1 of the present invention. 図3は、本発明の実施形態1において、画素Pの要部を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a main part of the pixel P in the first embodiment of the present invention. 図4は、本発明の実施形態1において、画素Pの要部を示す図である。FIG. 4 is a diagram illustrating a main part of the pixel P in the first embodiment of the present invention. 図5は、本発明の実施形態1において、画素Pの要部を示す図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a main part of the pixel P in the first embodiment of the present invention. 図6は、本発明の実施形態1において、カラーフィルタCFを示す上面図である。FIG. 6 is a top view showing the color filter CF in Embodiment 1 of the present invention. 図7は、本発明の実施形態1において、デジタルカメラ400の動作の概要を示すフロー図である。FIG. 7 is a flowchart showing an outline of the operation of the digital camera 400 in the first embodiment of the present invention. 図8は、本発明の実施形態1において、デジタルカメラ400において撮像を実施する際に、画素Pの画素トランジスタTrへ送信する制御信号を示すタイミングチャートである。FIG. 8 is a timing chart illustrating a control signal transmitted to the pixel transistor Tr of the pixel P when the digital camera 400 performs imaging in the first embodiment of the present invention. 図9は、本発明の実施形態1において、撮像時における固体撮像素子1を示す上面図である。FIG. 9 is a top view showing the solid-state imaging device 1 during imaging in Embodiment 1 of the present invention. 図10は、本発明の実施形態1において、撮像時における固体撮像素子1を示す上面図である。FIG. 10 is a top view showing the solid-state imaging device 1 during imaging in Embodiment 1 of the present invention. 図11は、本発明の実施形態1において、欠陥補正演算処理を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing defect correction calculation processing in the first embodiment of the present invention. 図12は、本発明の実施形態1において、欠陥補正演算処理を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a defect correction calculation process in the first embodiment of the present invention. 図13は、本発明の実施形態1において、撮像時における固体撮像素子1を示す上面図である。FIG. 13 is a top view showing the solid-state imaging device 1 during imaging in Embodiment 1 of the present invention. 図14は、本発明の実施形態1において、撮像時における固体撮像素子1を示す上面図である。FIG. 14 is a top view showing the solid-state imaging device 1 during imaging in Embodiment 1 of the present invention. 図15は、本発明の実施形態1において、欠陥補正演算処理を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing defect correction calculation processing in the first embodiment of the present invention. 図16は、本発明の実施形態1において、欠陥補正演算処理を示す図である。FIG. 16 is a diagram showing a defect correction calculation process in the first embodiment of the present invention. 図17は、本発明の実施形態2において、欠陥補正演算処理を示す図である。FIG. 17 is a diagram showing defect correction calculation processing in the second embodiment of the present invention. 図18は、本発明の実施形態3において、デジタルカメラ400の動作の概要を示すフロー図である。FIG. 18 is a flowchart showing an outline of the operation of the digital camera 400 in the third embodiment of the present invention. 図19は、本発明の実施形態3において、ゲインアップ処理を示す図である。FIG. 19 is a diagram showing gain-up processing in the third embodiment of the present invention. 図20は、本発明の実施形態3において、欠陥補正演算処理を示す図である。FIG. 20 is a diagram showing defect correction calculation processing in Embodiment 3 of the present invention. 図21は、本発明の実施形態4において、デジタルカメラ400の動作の概要を示すフロー図である。FIG. 21 is a flowchart showing an outline of the operation of the digital camera 400 in the fourth embodiment of the present invention. 図22は、本発明の実施形態4において、固体撮像素子の移動情報の取得動作を示す図である。FIG. 22 is a diagram illustrating the movement information acquisition operation of the solid-state imaging device in the fourth embodiment of the present invention. 図23は、本発明の実施形態4において、欠陥補正演算処理を示す図である。FIG. 23 is a diagram showing defect correction calculation processing in Embodiment 4 of the present invention. 図24は、欠陥補正の一例を示す図である。FIG. 24 is a diagram illustrating an example of defect correction.

本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

なお、説明は、下記の順序で行う。
1.実施形態1(固体撮像素子を素子移動部が移動させる場合)
2.実施形態2(周辺の隣接画素のデータを用いて欠陥画素データを補正する場合)
3.実施形態3(欠陥画素の位置のある画素データをゲインアップ後、欠陥補正する場合)
4.実施形態4(固体撮像素子を素子移動部が移動させず、手ブレで移動する場合)
5.その他
The description will be given in the following order.
1. Embodiment 1 (When an element moving part moves a solid-state image sensor)
2. Embodiment 2 (when correcting defective pixel data using data of neighboring neighboring pixels)
3. Embodiment 3 (When defect data is corrected after gain-up of pixel data with a defective pixel position)
4). Embodiment 4 (in the case where the element moving unit does not move the solid-state imaging device, but moves due to camera shake)
5. Other

<1.実施形態1>
(1)装置構成
(1−1)撮像装置の全体構成
図1は、本発明の実施形態1において、デジタルカメラ400の要部構成を模式的に示す構成図である。
<1. Embodiment 1>
(1) Device Configuration (1-1) Overall Configuration of Imaging Device FIG. 1 is a configuration diagram schematically showing the main configuration of a digital camera 400 in Embodiment 1 of the present invention.

図1に示すように、デジタルカメラ400は、カメラ本体部410と、撮影レンズ部420とを含む。   As shown in FIG. 1, the digital camera 400 includes a camera body 410 and a photographing lens unit 420.

カメラ本体部410は、図1に示すように、固体撮像素子1と、制御部43と、信号処理部44と、素子移動部45とを有し、これらの各部を筐体の内部に収容している。   As shown in FIG. 1, the camera body 410 has a solid-state imaging device 1, a control unit 43, a signal processing unit 44, and an element moving unit 45, and each of these units is housed inside the casing. ing.

カメラ本体部410において、固体撮像素子1は、撮影レンズ部420の光軸に対して撮像面PSが垂直になるように配置されている。固体撮像素子1は、撮影レンズ部420を介して被写体像として入射する入射光Hを、撮像面PSで受光し光電変換することによって、信号電荷を生成する。固体撮像素子1は、制御部43から出力される制御信号に基づいて駆動し、各画素から信号電荷を読み出して画素データとして出力する。固体撮像素子1の詳細な構成については後述する。   In the camera main body 410, the solid-state imaging device 1 is arranged so that the imaging surface PS is perpendicular to the optical axis of the photographing lens unit 420. The solid-state image sensor 1 generates signal charges by receiving incident light H incident as a subject image via the photographing lens unit 420 on the imaging surface PS and performing photoelectric conversion. The solid-state imaging device 1 is driven based on a control signal output from the control unit 43, reads signal charges from each pixel, and outputs them as pixel data. A detailed configuration of the solid-state imaging device 1 will be described later.

カメラ本体部410において、制御部43は、たとえば、操作部(図示なし)に入力された操作データに基づいて、各種の制御信号を固体撮像素子1と信号処理部44と素子移動部45とに出力し、各部を駆動させる。制御部43は、CPUなどの演算処理装置(図示なし)と、RAM,ROMなどの記憶装置(図示なし)とを含み、記録装置で記憶されたプログラムを演算処理装置が用いて、各部の制御を実施する。   In the camera body 410, the control unit 43 sends various control signals to the solid-state imaging device 1, the signal processing unit 44, and the element moving unit 45 based on operation data input to an operation unit (not shown), for example. Output and drive each part. The control unit 43 includes an arithmetic processing device (not shown) such as a CPU and a storage device (not shown) such as a RAM and a ROM. The arithmetic processing device uses a program stored in the recording device to control each unit. To implement.

カメラ本体部410において、信号処理部44は、制御部43から出力された制御信号に基づいて、固体撮像素子1から出力された画素データについて信号処理を実施する。信号処理部44は、記録装置(図示なし)で記憶されたプログラムを演算処理装置(図示なし)が用いて、信号処理を実施する。信号処理部44は、記録装置(図示なし)が記憶した画素データによるRAW画像について、演算処理装置(図示なし)がデモザイク処理などの現像処理を実施する。これにより、被写体像についてデジタルカラー画像を撮像画像として生成し、そのカラー画像データを記録装置(図示なし)が記憶する。   In the camera main body 410, the signal processing unit 44 performs signal processing on the pixel data output from the solid-state imaging device 1 based on the control signal output from the control unit 43. The signal processing unit 44 performs signal processing using an arithmetic processing device (not shown) using a program stored in a recording device (not shown). In the signal processing unit 44, an arithmetic processing unit (not shown) performs development processing such as demosaic processing on a RAW image based on pixel data stored in a recording device (not shown). Thus, a digital color image is generated as a captured image for the subject image, and the recording device (not shown) stores the color image data.

カメラ本体部410において、素子移動部45は、制御部43から出力された制御信号に基づいて、固体撮像素子1を移動させる。ここでは、素子移動部45は、固体撮像素子1の撮像面PS(xy面)に沿った方向に固体撮像素子1を移動させる。たとえば、素子移動部45は、圧電素子やコイルを用いた素子などのアクチュエータを含み、水平方向xと垂直方向yとのそれぞれに、固体撮像素子1を移動させる。たとえば、素子移動部45は、固体撮像素子1の撮像面PSに設置されたローパスフィルタ(図示なし)の表面に付着するダストを落とすために、カメラの電源がオフされるときに固体撮像素子1を振動させる。つまり、アンチダスト機能を発揮させるために、素子移動部45が設けられている。   In the camera main body 410, the element moving unit 45 moves the solid-state imaging device 1 based on the control signal output from the control unit 43. Here, the element moving unit 45 moves the solid-state imaging element 1 in a direction along the imaging plane PS (xy plane) of the solid-state imaging element 1. For example, the element moving unit 45 includes an actuator such as a piezoelectric element or an element using a coil, and moves the solid-state imaging element 1 in each of the horizontal direction x and the vertical direction y. For example, the element moving unit 45 removes dust adhering to the surface of a low-pass filter (not shown) installed on the imaging surface PS of the solid-state image sensor 1 so that the solid-state image sensor 1 is turned off when the camera is turned off. Vibrate. That is, the element moving part 45 is provided in order to exhibit the anti-dust function.

撮影レンズ部420は、結像レンズや絞り(図示なし)などの光学部材を含み、入射する被写体像による光を、固体撮像素子1の撮像面PSへ集光するように設けられている。   The photographing lens unit 420 includes optical members such as an imaging lens and a diaphragm (not shown), and is provided so as to collect light from an incident subject image onto the imaging surface PS of the solid-state imaging device 1.

詳細については後述するが、本実施形態において撮像画像を生成する際には、デジタルカメラ400は、まず、制御部43が固体撮像素子1を制御することによって、被写体について1回目の撮像を実施する。そして、その1回目の撮像の実施で得た第1画像のデータを信号処理部44の記録装置(図示なし)が記憶する。
つぎに、制御部43が素子移動部45を制御することによって、固体撮像素子1を移動する。つまり、本実施形態では、アンチダスト機能を発揮させるために素子移動部45を用いる以外に、第2の撮像前に固体撮像素子1を移動させる手段として素子移動部45を用いる。
つぎに、制御部43が固体撮像素子1を制御することによって、1回目の撮像が実施した位置と異なる位置で、その被写体について2回目の撮像を実施する。そして、その2回目の撮像を実施で得た第2画像のデータを信号処理部44の記録装置(図示なし)が記憶する。
このように、2回、シャッターを切って、同一の被写体について連続的に撮影し、2枚の画像を得る。
つぎに、制御部43が信号処理部44を制御することによって、1回目の撮像による第1画像と、2回目の撮像による第2画像とを、信号処理部44が加算する処理を実施する。これにより、固体撮像素子1において欠陥画素として存在する画素Pから得られた画素データが補正され、最終画像が生成される。
Although details will be described later, when generating a captured image in the present embodiment, the digital camera 400 first performs imaging of the subject for the first time by the control unit 43 controlling the solid-state imaging device 1. . Then, the recording device (not shown) of the signal processing unit 44 stores the data of the first image obtained by the first imaging.
Next, the control unit 43 controls the element moving unit 45 to move the solid-state imaging device 1. That is, in this embodiment, in addition to using the element moving unit 45 to exhibit the anti-dust function, the element moving unit 45 is used as means for moving the solid-state imaging device 1 before the second imaging.
Next, when the control unit 43 controls the solid-state imaging device 1, the second imaging is performed on the subject at a position different from the position where the first imaging is performed. Then, the recording device (not shown) of the signal processing unit 44 stores the data of the second image obtained by performing the second imaging.
In this way, the shutter is released twice and the same subject is continuously photographed to obtain two images.
Next, when the control unit 43 controls the signal processing unit 44, the signal processing unit 44 adds the first image obtained by the first imaging and the second image obtained by the second imaging. Thereby, pixel data obtained from the pixel P existing as a defective pixel in the solid-state imaging device 1 is corrected, and a final image is generated.

(1−2)固体撮像素子の構成
デジタルカメラ400を構成する各部の詳細について説明する。
(1-2) Configuration of Solid-State Image Sensor Details of each unit constituting the digital camera 400 will be described.

図2は、本発明の実施形態1において、固体撮像素子1の全体構成を示す上面図である。   FIG. 2 is a top view showing the overall configuration of the solid-state imaging device 1 in Embodiment 1 of the present invention.

本実施形態の固体撮像素子1は、たとえば、CMOS型イメージセンサであり、図2に示すように、半導体基板101を含む。この半導体基板101は、たとえば、単結晶シリコンで形成されており、図2に示すように、半導体基板101においては、画素領域PAと、周辺領域SAとが設けられている。   The solid-state imaging device 1 of this embodiment is, for example, a CMOS image sensor, and includes a semiconductor substrate 101 as shown in FIG. The semiconductor substrate 101 is made of, for example, single crystal silicon. As shown in FIG. 2, the semiconductor substrate 101 is provided with a pixel region PA and a peripheral region SA.

(a)画素領域PA
画素領域PAは、図2に示すように、矩形形状であり、複数の画素Pが水平方向xと垂直方向yとのそれぞれに、配置されている。つまり、画素領域PAには、画素Pがマトリクス状に並んでいる。
(A) Pixel area PA
As shown in FIG. 2, the pixel area PA has a rectangular shape, and a plurality of pixels P are arranged in each of the horizontal direction x and the vertical direction y. That is, the pixels P are arranged in a matrix in the pixel area PA.

画素領域PAにおいて、画素Pは、入射光Hを受光して信号電荷を生成するように構成されている。そして、その生成した信号電荷が、画素トランジスタ(図示なし)によって読み出されて出力される。画素Pの詳細な構成については、後述する。   In the pixel area PA, the pixel P is configured to receive the incident light H and generate a signal charge. Then, the generated signal charge is read and output by a pixel transistor (not shown). A detailed configuration of the pixel P will be described later.

本実施形態では、画素領域PAは、有効画素領域PA1と、オプティカル・ブラック領域PA2とを含む。   In the present embodiment, the pixel area PA includes an effective pixel area PA1 and an optical black area PA2.

画素領域PAにおいて、有効画素領域PA1は、画素Pが、いわゆる有効画素として配置されている。つまり、有効画素領域PA1では、画素Pの上方が開口しており、上方から入射した入射光Hを画素Pが受光する。   In the pixel area PA, in the effective pixel area PA1, the pixel P is arranged as a so-called effective pixel. That is, in the effective pixel area PA1, the upper side of the pixel P is opened, and the pixel P receives incident light H incident from above.

この有効画素領域PA1では、実効画素領域PA11が設定されており、その実効画素領域PA11に配置された有効画素から出力される信号を画素データとして用いて、撮像画像が生成される。具体的には、有効画素領域PA1の周辺部分以外が、実効画素領域PA11として設定される。つまり、有効画素領域PA1において実効画素領域PA11以外の有効画素は、入射光の受光によって映像信号を出力可能ではあるが、通常、撮像画像の生成に用いられない。   In this effective pixel area PA1, an effective pixel area PA11 is set, and a captured image is generated using a signal output from the effective pixel arranged in the effective pixel area PA11 as pixel data. Specifically, the area other than the peripheral part of the effective pixel area PA1 is set as the effective pixel area PA11. That is, in the effective pixel area PA1, effective pixels other than the effective pixel area PA11 can output a video signal by receiving incident light, but are not normally used for generating a captured image.

画素領域PAにおいて、オプティカル・ブラック領域PA2は、図2に示すように、たとえば、有効画素領域PA1の周囲に設けられている。   In the pixel area PA, the optical black area PA2 is provided, for example, around the effective pixel area PA1, as shown in FIG.

オプティカル・ブラック領域PA2では、画素Pが、いわゆるオプティカル・ブラック(OB)画素として配列されている。つまり、オプティカル・ブラック領域PA2では、画素Pの上方に遮光膜(図示なし)が設けられており、画素Pに入射光が直接的に入射しないように構成されている。そして、オプティカル・ブラック領域PA2は、画素Pから黒レベルの基準信号が出力される。この画素Pから出力される黒レベルの基準信号は、暗電流などのノイズ成分を除去するように、有効画素から出力された信号について補正処理をする際に用いられる。   In the optical black area PA2, the pixels P are arranged as so-called optical black (OB) pixels. That is, in the optical black area PA2, a light-shielding film (not shown) is provided above the pixel P so that incident light does not directly enter the pixel P. In the optical black area PA2, a black level reference signal is output from the pixel P. The black level reference signal output from the pixel P is used when correcting the signal output from the effective pixel so as to remove noise components such as dark current.

(b)周辺領域SA
周辺領域SAは、図2に示すように、画素領域PAの周囲に位置している。そして、この周辺領域SAにおいては、周辺回路が設けられている。
(B) Surrounding area SA
As shown in FIG. 2, the peripheral area SA is located around the pixel area PA. In the peripheral area SA, peripheral circuits are provided.

具体的には、図2に示すように、垂直駆動回路13と、カラム回路14と、水平駆動回路15と、外部出力回路17と、タイミングジェネレータ(TG)18と、シャッター駆動回路19とが、周辺回路として設けられている。各部は、制御部43(図1参照)から入力される制御信号に基づいて駆動し、撮像動作が実行される。   Specifically, as shown in FIG. 2, a vertical drive circuit 13, a column circuit 14, a horizontal drive circuit 15, an external output circuit 17, a timing generator (TG) 18, and a shutter drive circuit 19 are It is provided as a peripheral circuit. Each unit is driven based on a control signal input from the control unit 43 (see FIG. 1), and an imaging operation is executed.

垂直駆動回路13は、図2に示すように、周辺領域SAにおいて、画素領域PAの側部に設けられており、画素領域PAの画素Pを行単位で選択して駆動させるように構成されている。   As shown in FIG. 2, the vertical drive circuit 13 is provided on the side of the pixel area PA in the peripheral area SA, and is configured to select and drive the pixels P in the pixel area PA in units of rows. Yes.

カラム回路14は、図2に示すように、周辺領域SAにおいて、画素領域PAの下端部に設けられており、列単位で画素Pから出力される信号について信号処理を実施する。ここでは、カラム回路14は、CDS(Correlated Double Sampling;相関二重サンプリング)回路(図示なし)を含み、固定パターンノイズを除去する信号処理を実施する。   As shown in FIG. 2, the column circuit 14 is provided at the lower end of the pixel area PA in the peripheral area SA, and performs signal processing on signals output from the pixels P in units of columns. Here, the column circuit 14 includes a CDS (Correlated Double Sampling) circuit (not shown), and performs signal processing to remove fixed pattern noise.

水平駆動回路15は、図2に示すように、カラム回路14に電気的に接続されている。水平駆動回路15は、たとえば、シフトレジスタを含み、カラム回路14において画素Pの列ごとに保持されている信号を、順次、外部出力回路17へ出力させる。   The horizontal drive circuit 15 is electrically connected to the column circuit 14 as shown in FIG. The horizontal drive circuit 15 includes, for example, a shift register, and sequentially outputs a signal held for each column of pixels P in the column circuit 14 to the external output circuit 17.

外部出力回路17は、図2に示すように、カラム回路14に電気的に接続されており、カラム回路14から出力された信号について信号処理を実施後、外部へ出力する。外部出力回路17は、AGC(Automatic Gain Control)回路17aとADC回路17bとを含む。外部出力回路17においては、AGC回路17aが信号にゲインをかけた後に、ADC回路17bがアナログ信号からデジタル信号へ変換して、外部へ出力する。   As shown in FIG. 2, the external output circuit 17 is electrically connected to the column circuit 14, performs signal processing on the signal output from the column circuit 14, and then outputs the signal to the outside. The external output circuit 17 includes an AGC (Automatic Gain Control) circuit 17a and an ADC circuit 17b. In the external output circuit 17, after the AGC circuit 17a applies a gain to the signal, the ADC circuit 17b converts the analog signal into a digital signal and outputs it to the outside.

タイミングジェネレータ18は、図2に示すように、垂直駆動回路13、カラム回路14、水平駆動回路15,外部出力回路17,シャッター駆動回路19のそれぞれに電気的に接続されている。タイミングジェネレータ18は、各種のタイミング信号を生成し、垂直駆動回路13、カラム回路14、水平駆動回路15,外部出力回路17,シャッター駆動回路19に出力することで、各部について駆動制御を行う。   As shown in FIG. 2, the timing generator 18 is electrically connected to each of the vertical drive circuit 13, the column circuit 14, the horizontal drive circuit 15, the external output circuit 17, and the shutter drive circuit 19. The timing generator 18 generates various timing signals and outputs them to the vertical drive circuit 13, the column circuit 14, the horizontal drive circuit 15, the external output circuit 17, and the shutter drive circuit 19, thereby performing drive control for each part.

シャッター駆動回路19は、画素Pを行単位で選択して、画素Pにおける露光時間を調整するように構成されている。   The shutter drive circuit 19 is configured to select the pixels P in units of rows and adjust the exposure time in the pixels P.

(1−3)画素の構成
画素Pの詳細な構成について説明する。
(1-3) Pixel Configuration A detailed configuration of the pixel P will be described.

図3〜図5は、本発明の実施形態1において、画素Pの要部を示す図である。   3 to 5 are diagrams showing the main part of the pixel P in Embodiment 1 of the present invention.

ここで、図3は、画素領域PAの有効画素領域PA1に設けられた画素Pの断面を示している。つまり、図3では、有効画素として設けられた画素Pの断面を示している。   Here, FIG. 3 shows a cross section of the pixel P provided in the effective pixel area PA1 of the pixel area PA. That is, FIG. 3 shows a cross section of the pixel P provided as an effective pixel.

そして、図4は、画素Pの回路図を示している。   FIG. 4 shows a circuit diagram of the pixel P.

そして、図5は、画素Pの上面を示している。図3では、図5に示すY1−Y2部分およびX1−X2部分の断面について示している。   FIG. 5 shows the upper surface of the pixel P. FIG. 3 shows a cross section of the Y1-Y2 portion and the X1-X2 portion shown in FIG.

画素領域PAのオプティカル・ブラック領域PA2の詳細については、図示を省略しているが、オプティカル・ブラック領域PA2では、図3,図4で示す有効画素領域PA1の画素Pに対して、カラーフィルタCF,オンチップレンズMLが設けられていない。オプティカル・ブラック領域PA2では、上述したように、画素Pに入射する入射光Hを遮光する遮光膜(図示なし)が設けられている。この点を除いて、オプティカル・ブラック領域PA2では、有効画素領域PA1と同様に、各部が構成されている。   Although details of the optical black area PA2 of the pixel area PA are not shown, in the optical black area PA2, the color filter CF is applied to the pixel P of the effective pixel area PA1 shown in FIGS. , The on-chip lens ML is not provided. In the optical black area PA2, as described above, a light shielding film (not shown) that shields the incident light H incident on the pixel P is provided. Except for this point, each part of the optical black area PA2 is configured in the same manner as the effective pixel area PA1.

各図に示すように、画素Pは、フォトダイオード21と、画素トランジスタTrとを含む。ここで、画素トランジスタTrは、転送トランジスタ22と、増幅トランジスタ23と、選択トランジスタ24と、リセットトランジスタ25とを含み、フォトダイオード21から信号電荷を読み出すように構成されている。   As shown in each figure, the pixel P includes a photodiode 21 and a pixel transistor Tr. Here, the pixel transistor Tr includes a transfer transistor 22, an amplification transistor 23, a selection transistor 24, and a reset transistor 25, and is configured to read signal charges from the photodiode 21.

本実施形態においては、図3に示すように、半導体基板101の表面側(図では上面側)に、転送トランジスタ22などの画素トランジスタTrが設けられている。そして、その半導体基板101の表面側には、配線層111が設けられている。そして、その表面側とは反対側の裏面側(図では下面側)から入射する入射光Hを、フォトダイオード21が受光面JSで受光するように設けられている。つまり、本実施形態の固体撮像素子1は、「裏面照射型」のCMOSイメージセンサである。   In the present embodiment, as shown in FIG. 3, a pixel transistor Tr such as a transfer transistor 22 is provided on the front surface side (upper surface side in the drawing) of the semiconductor substrate 101. A wiring layer 111 is provided on the surface side of the semiconductor substrate 101. The photodiode 21 is provided so that the incident light H incident from the back surface side (the lower surface side in the figure) opposite to the front surface side is received by the light receiving surface JS. That is, the solid-state imaging device 1 of the present embodiment is a “backside illumination type” CMOS image sensor.

画素Pを構成する各部について下記に示す。   Each part constituting the pixel P will be described below.

(a)フォトダイオード21
画素Pにおいて、フォトダイオード21は、図3に示すように、入射光Hを受光面JSで受光し、光電変換することによって、信号電荷を生成して蓄積するように構成されている。
(A) Photodiode 21
In the pixel P, as shown in FIG. 3, the photodiode 21 is configured to generate and accumulate signal charges by receiving incident light H on the light receiving surface JS and performing photoelectric conversion.

ここでは、フォトダイオード21は、単結晶シリコン半導体である半導体基板101内に設けられている。フォトダイオード21は、n型電荷蓄積領域101na,101nbを含み、n型電荷蓄積領域101na,101nbが、半導体基板101のp型半導体領域101pa,101pb内に設けられている。つまり、p型半導体領域101paとn型電荷蓄積領域101na,101nbとが、半導体基板101において裏面側(図3では、下面)から表面側(図3では、上面)へ向かって、順次、形成されている。また、n型電荷蓄積領域101na,101nbにおいては、半導体基板101の裏面側から表面側へ向かって、不純物濃度が高くなるように形成されている。そして、n型電荷蓄積領域101na,101nbにおいて、半導体基板101の表面側には、p型半導体領域101pa,101pbよりも不純物濃度が高いp型半導体領域101pcが、正孔蓄積層として設けられている。このように、フォトダイオード21は、いわゆるHAD(Hall Acumulated Diode)構造で形成されている。   Here, the photodiode 21 is provided in a semiconductor substrate 101 which is a single crystal silicon semiconductor. The photodiode 21 includes n-type charge storage regions 101na and 101nb, and the n-type charge storage regions 101na and 101nb are provided in the p-type semiconductor regions 101pa and 101pb of the semiconductor substrate 101. That is, the p-type semiconductor region 101pa and the n-type charge storage regions 101na and 101nb are sequentially formed from the back surface side (lower surface in FIG. 3) to the front surface side (upper surface in FIG. 3) in the semiconductor substrate 101. ing. The n-type charge storage regions 101na and 101nb are formed so that the impurity concentration increases from the back surface side to the front surface side of the semiconductor substrate 101. In the n-type charge accumulation regions 101na and 101nb, a p-type semiconductor region 101pc having a higher impurity concentration than the p-type semiconductor regions 101pa and 101pb is provided as a hole accumulation layer on the surface side of the semiconductor substrate 101. . In this manner, the photodiode 21 is formed with a so-called HAD (Hall Accumulated Diode) structure.

(b)画素トランジスタTr
画素Pにおいて、画素トランジスタTrは、図3〜図5に示すように、転送トランジスタ22と、増幅トランジスタ23と、選択トランジスタ24と、リセットトランジスタ25とを含み、信号電荷を読み出して信号として出力する。
(B) Pixel transistor Tr
In the pixel P, as shown in FIGS. 3 to 5, the pixel transistor Tr includes a transfer transistor 22, an amplification transistor 23, a selection transistor 24, and a reset transistor 25, and reads out signal charges and outputs them as signals. .

ここでは、画素トランジスタTrを構成する各トランジスタ22〜25は、図3に示すように、半導体基板101の表面側に設けられている。各トランジスタ22〜25は、たとえば、NチャネルのMOSトランジスタとして構成されている。たとえば、各トランジスタ22〜25は、半導体基板101において画素Pの間を分離する領域に、活性化領域(図示なし)が形成されており、ゲート電極が、たとえば、ポリシリコンを用いて形成されている。   Here, the transistors 22 to 25 constituting the pixel transistor Tr are provided on the surface side of the semiconductor substrate 101 as shown in FIG. Each of the transistors 22 to 25 is configured as, for example, an N-channel MOS transistor. For example, each of the transistors 22 to 25 has an activation region (not shown) formed in a region separating the pixels P in the semiconductor substrate 101, and a gate electrode is formed using, for example, polysilicon. Yes.

画素トランジスタTrにおいて、転送トランジスタ22は、図4に示すように、フォトダイオード21で生成された信号電荷を、増幅トランジスタ23のゲートへ電気信号として出力するように構成されている。具体的には、転送トランジスタ22は、転送線26からゲートに転送信号TGが与えられることによって、フォトダイオード21において蓄積された信号電荷を、フローティング・ディフュージョンFDに転送する。フローティング・ディフュージョンFDにおいては、電荷から電圧に変換されて、増幅トランジスタ23のゲートへ電気信号として入力される。   In the pixel transistor Tr, the transfer transistor 22 is configured to output the signal charge generated by the photodiode 21 to the gate of the amplification transistor 23 as an electric signal, as shown in FIG. Specifically, the transfer transistor 22 transfers the signal charge accumulated in the photodiode 21 to the floating diffusion FD when a transfer signal TG is given from the transfer line 26 to the gate. In the floating diffusion FD, the electric charge is converted into a voltage and input to the gate of the amplification transistor 23 as an electric signal.

画素トランジスタTrにおいて、増幅トランジスタ23は、図4に示すように、フローティング・ディフュージョンFDにおいて、電荷から電圧へ変換された電気信号を増幅して出力するように構成されている。具体的には、増幅トランジスタ23では、ゲートが、フローティング・ディフュージョンFDと配線によって電気的に接続されている。また、増幅トランジスタ23では、ドレインに電源電位Vddが印加されている。また、ソースが選択トランジスタ24のドレインに電気的に接続されている。増幅トランジスタ23は、選択トランジスタ24が選択信号によってオン状態になったときには、定電流が供給されソースフォロアとして動作する。このため、増幅トランジスタ23では、フローティング・ディフュージョンFDにおいて、電荷から電圧へ変換された電気信号が増幅される。   In the pixel transistor Tr, as shown in FIG. 4, the amplification transistor 23 is configured to amplify and output an electric signal converted from a charge to a voltage in the floating diffusion FD. Specifically, in the amplification transistor 23, the gate is electrically connected to the floating diffusion FD by wiring. In the amplification transistor 23, the power supply potential Vdd is applied to the drain. Further, the source is electrically connected to the drain of the selection transistor 24. When the selection transistor 24 is turned on by the selection signal, the amplification transistor 23 is supplied with a constant current and operates as a source follower. Therefore, in the amplification transistor 23, the electric signal converted from the electric charge to the voltage is amplified in the floating diffusion FD.

画素トランジスタTrにおいて、選択トランジスタ24は、図4に示すように、選択トランジスタ24は、選択信号が入力された際に、増幅トランジスタ23から出力された電気信号を、垂直信号線(図示なし)へ出力するように構成されている。具体的には、選択トランジスタ24は、選択信号SELが供給されるアドレス線28にゲートが電気的に接続されている。そして、選択トランジスタ24は、選択信号SELが供給されてオン状態になった際に、上記のように増幅トランジスタ23によって増幅された出力信号を、垂直信号線27に出力する。   In the pixel transistor Tr, as shown in FIG. 4, the selection transistor 24 sends the electrical signal output from the amplification transistor 23 to the vertical signal line (not shown) when the selection signal is input. It is configured to output. Specifically, the gate of the selection transistor 24 is electrically connected to the address line 28 to which the selection signal SEL is supplied. The selection transistor 24 outputs the output signal amplified by the amplification transistor 23 as described above to the vertical signal line 27 when the selection signal SEL is supplied and turned on.

画素トランジスタTrにおいて、リセットトランジスタ25は、図4に示すように、リセットトランジスタ25は、増幅トランジスタ23のゲート電位をリセットするように構成されている。具体的には、リセットトランジスタ25は、リセット信号RSTが供給されるリセット線29にゲートが接続されている。また、リセットトランジスタ25は、ドレインに電源電位Vddが印加されている。また、ソースがフローティング・ディフュージョンFDに電気的に接続されている。そして、リセットトランジスタ25は、リセット線29からリセット信号RSTがゲートに供給されオン状態になった際に、フローティング・ディフュージョンFDを介して、増幅トランジスタ23のゲート電位を、電源電圧VDDにリセットする。   In the pixel transistor Tr, the reset transistor 25 is configured to reset the gate potential of the amplification transistor 23 as shown in FIG. Specifically, the gate of the reset transistor 25 is connected to the reset line 29 to which the reset signal RST is supplied. The reset transistor 25 has a power supply potential Vdd applied to its drain. The source is electrically connected to the floating diffusion FD. The reset transistor 25 resets the gate potential of the amplification transistor 23 to the power supply voltage VDD via the floating diffusion FD when the reset signal RST is supplied from the reset line 29 to the gate and is turned on.

(c)その他の部材
上記の他に、図3に示すように、画素Pにおいては、半導体基板101の裏面側(図3では下面側)に、カラーフィルタCFとオンチップレンズMLとが設けられている。
(C) Other Members In addition to the above, as shown in FIG. 3, in the pixel P, the color filter CF and the on-chip lens ML are provided on the back surface side (the lower surface side in FIG. 3) of the semiconductor substrate 101. ing.

図6は、本発明の実施形態1において、カラーフィルタCFを示す上面図である。   FIG. 6 is a top view showing the color filter CF in Embodiment 1 of the present invention.

カラーフィルタCFは、図6に示すように、レッドフィルタ層CFRと、グリーンフィルタ層CFGと、ブルーフィルタ層CFBとを含む。レッドフィルタ層CFRと、グリーンフィルタ層CFGと、ブルーフィルタ層CFBとのそれぞれは、隣接して配置されており、いずれかが、複数の画素Pのそれぞれに対応して設けられている。   As shown in FIG. 6, the color filter CF includes a red filter layer CFR, a green filter layer CFG, and a blue filter layer CFB. Each of the red filter layer CFR, the green filter layer CFG, and the blue filter layer CFB is disposed adjacent to each other, and one of them is provided corresponding to each of the plurality of pixels P.

ここでは、図6に示すように、レッドフィルタ層CFRと、グリーンフィルタ層CFGと、ブルーフィルタ層CFBとのそれぞれが、ベイヤー配列で並ぶように配置されている。すなわち、複数のグリーンフィルタ層CFGが市松状になるように、対角方向へ並んで配置されている。そして、レッドフィルタ層CFRとブルーフィルタ層CFBとが、複数のグリーンフィルタ層CFGにおいて、対角方向に並ぶように配置されている。たとえば、カラーフィルタCFは、着色顔料とフォトレジスト樹脂とを含む塗布液を、スピンコート法などのコーティング方法によって塗布して塗膜を形成後、リソグラフィ技術によって、その塗膜をパターン加工して形成される。   Here, as shown in FIG. 6, the red filter layer CFR, the green filter layer CFG, and the blue filter layer CFB are arranged so as to be arranged in a Bayer array. That is, the plurality of green filter layers CFG are arranged in a diagonal direction so as to have a checkered pattern. The red filter layer CFR and the blue filter layer CFB are arranged so as to be aligned diagonally in the plurality of green filter layers CFG. For example, the color filter CF is formed by applying a coating liquid containing a color pigment and a photoresist resin by a coating method such as a spin coating method to form a coating film, and then patterning the coating film by a lithography technique. Is done.

オンチップレンズMLは、図3に示すように、中心が縁よりも厚く形成された凸型レンズであり、カラーフィルタCFを介して、入射光Hをフォトダイオード21の受光面JSへ集光するように構成されている。たとえば、オンチップレンズMLは、スチレン樹脂、アクリル樹脂、ノボラック樹脂などの透明な有機材料を用いて形成されている。この他に、SiO,SiN,SiON,SiCNなどのように透明な無機材料を用いて形成しても良い。 As shown in FIG. 3, the on-chip lens ML is a convex lens whose center is formed thicker than the edge, and condenses incident light H onto the light receiving surface JS of the photodiode 21 through the color filter CF. It is configured as follows. For example, the on-chip lens ML is formed using a transparent organic material such as styrene resin, acrylic resin, or novolac resin. In addition, a transparent inorganic material such as SiO 2 , SiN, SiON, or SiCN may be used.

また、図3に示すように、半導体基板101の表面においては、画素トランジスタTrを被覆するように、配線層111が設けられている。この配線層111においては、各素子に電気的に接続された複数の配線111hが、絶縁層111z内を構成する複数の層間絶縁膜(図示なし)の間に設けられている。つまり、層間絶縁膜(図示なし)と配線111hとを交互に積み重ねることで、配線層111が形成されている。各配線111hは、画素トランジスタTrに電気的に接続する転送線,アドレス線,垂直信号線,リセット線などの配線として機能するように積層して形成されている。また、配線層111において半導体基板101が設けられた面とは反対側の面には、支持基板(図示なし)が貼り合わされており、補強されている。   Further, as shown in FIG. 3, a wiring layer 111 is provided on the surface of the semiconductor substrate 101 so as to cover the pixel transistor Tr. In the wiring layer 111, a plurality of wirings 111h electrically connected to each element are provided between a plurality of interlayer insulating films (not shown) constituting the inside of the insulating layer 111z. That is, the wiring layer 111 is formed by alternately stacking interlayer insulating films (not shown) and the wiring 111h. Each wiring 111h is formed so as to function as a wiring such as a transfer line, an address line, a vertical signal line, and a reset line that are electrically connected to the pixel transistor Tr. Further, a support substrate (not shown) is bonded to the surface of the wiring layer 111 opposite to the surface on which the semiconductor substrate 101 is provided, and is reinforced.

(2)動作
上記のデジタルカメラ400の動作について説明する。
(2) Operation The operation of the digital camera 400 will be described.

図7は、本発明の実施形態1において、デジタルカメラ400の動作の概要を示すフロー図である。   FIG. 7 is a flowchart showing an outline of the operation of the digital camera 400 in the first embodiment of the present invention.

(a)1回目の撮像(ST11)
撮像画像を生成する際には、まず、図7に示すように、1回目の撮像を実施する。
(A) First imaging (ST11)
When generating a captured image, first, as shown in FIG. 7, the first imaging is performed.

ここでは、デジタルカメラ400においては、制御部43が固体撮像素子1に制御信号を送信し、固体撮像素子1の動作を制御して、被写体について1回目の撮像を実施する。そして、その1回目の撮像を実施で得た第1画像のデータを信号処理部44の記録装置(図示なし)が記憶する(図1参照)。   Here, in the digital camera 400, the control unit 43 transmits a control signal to the solid-state imaging device 1, controls the operation of the solid-state imaging device 1, and performs the first imaging on the subject. Then, the recording device (not shown) of the signal processing unit 44 stores the data of the first image obtained by the first imaging (see FIG. 1).

つまり、固体撮像素子1が第1の位置にある状態で、被写体について、この第1の撮像を実施することで、第1画像を取得する。   That is, the first image is acquired by performing the first imaging on the subject in a state where the solid-state imaging device 1 is at the first position.

図8は、本発明の実施形態1において、デジタルカメラ400において撮像を実施する際に、画素Pの画素トランジスタTrへ送信する制御信号を示すタイミングチャートである。   FIG. 8 is a timing chart illustrating a control signal transmitted to the pixel transistor Tr of the pixel P when the digital camera 400 performs imaging in the first embodiment of the present invention.

図8において、(a)は、選択トランジスタ24のゲートへ入力する選択信号SELを示している。そして、(b)は、転送トランジスタ22のゲートへ入力する転送信号TGを示している。そして、(c)は、リセットトランジスタ25のゲートへ入力するリセット信号RSTを示している(図4参照)。   8A shows a selection signal SEL input to the gate of the selection transistor 24. FIG. (B) shows a transfer signal TG input to the gate of the transfer transistor 22. FIG. 4C shows the reset signal RST input to the gate of the reset transistor 25 (see FIG. 4).

図8に示すように、撮像を実施する際には、第1の時点T1において、ハイレベルの選択信号SELおよびリセット信号RSTを送信し、選択トランジスタ24およびリセットトランジスタ25をオン状態にする。これにより、増幅トランジスタ23のゲート電位をリセットする(図4参照)。   As shown in FIG. 8, when imaging is performed, at a first time point T1, a high-level selection signal SEL and a reset signal RST are transmitted, and the selection transistor 24 and the reset transistor 25 are turned on. This resets the gate potential of the amplification transistor 23 (see FIG. 4).

そして、図8に示すように、第2の時点T2においては、リセット信号RSTをローレベルとして、リセットトランジスタ25をオフ状態にする。そして、この後、リセットレベルに対応した電圧を、出力信号として、カラム回路14へ読み出す(図2,図4参照)。   Then, as shown in FIG. 8, at the second time point T2, the reset signal RST is set to the low level, and the reset transistor 25 is turned off. Thereafter, a voltage corresponding to the reset level is read out to the column circuit 14 as an output signal (see FIGS. 2 and 4).

そして、図8に示すように、第3の時点T3においては、ハイレベルの転送信号TGを送信し、転送トランジスタ22をオン状態にする。これにより、フォトダイオード21で蓄積された信号電荷を、フローティング・ディフュージョンFDへ転送する(図4参照)。   Then, as shown in FIG. 8, at the third time point T3, a high-level transfer signal TG is transmitted, and the transfer transistor 22 is turned on. Thereby, the signal charges accumulated in the photodiode 21 are transferred to the floating diffusion FD (see FIG. 4).

そして、図8に示すように、第4の時点T4においては、転送信号TGをローレベルとし、転送トランジスタ22をオフ状態にする。そして、この後、その転送された信号電荷の量に応じた信号レベルの電圧を、出力信号として、カラム回路14へ読み出す(図2,図4参照)。   As shown in FIG. 8, at the fourth time point T4, the transfer signal TG is set to the low level, and the transfer transistor 22 is turned off. Thereafter, a voltage having a signal level corresponding to the amount of the transferred signal charge is read out to the column circuit 14 as an output signal (see FIGS. 2 and 4).

そして、図8に示すように、第5の時点T5においては、転送信号TGおよびリセット信号RSTをハイレベルとして、転送トランジスタ22およびリセットトランジスタ25をオン状態にする(図4参照)。   Then, as shown in FIG. 8, at the fifth time point T5, the transfer signal TG and the reset signal RST are set to the high level, and the transfer transistor 22 and the reset transistor 25 are turned on (see FIG. 4).

その後、図8に示すように、第6の時点T6においては、選択信号SEL、転送信号TG、および、リセット信号RSTをローレベルとして、選択トランジスタ24、転送トランジスタ22、および、リセットトランジスタ25をオフ状態にする(図4参照)。   Thereafter, as shown in FIG. 8, at the sixth time point T6, the selection signal SEL, the transfer signal TG, and the reset signal RST are set to the low level, and the selection transistor 24, the transfer transistor 22, and the reset transistor 25 are turned off. (See FIG. 4).

カラム回路14においては、先に読み出したリセットレベルの信号と、後に読み出した信号レベルの信号とを差分処理して信号を蓄積する(図2,図4参照)。これにより、画素Pごとに設けられた各トランジスタのVthのバラツキ等によって発生する固定的なパターンノイズが、キャンセルされる。   In the column circuit 14, the signal of the reset level read out first and the signal of the signal level read out later are processed by difference processing (see FIGS. 2 and 4). As a result, fixed pattern noise generated due to variations in Vth of each transistor provided for each pixel P is cancelled.

上記のように画素Pを駆動する動作は、各トランジスタ22,24,25の各ゲートが、水平方向xに並ぶ複数の画素Pからなる行単位で接続されていることから、その行単位に並ぶ複数の画素Pについて同時に行われる。   In the operation of driving the pixels P as described above, the gates of the transistors 22, 24, and 25 are connected in units of rows including a plurality of pixels P arranged in the horizontal direction x. A plurality of pixels P are simultaneously performed.

具体的には、上述した垂直駆動回路13によって供給される選択信号によって、水平ライン(画素行)単位で垂直な方向に順次選択される。そして、タイミングジェネレータ18から出力される各種タイミング信号によって各画素Pのトランジスタが制御される。これにより、各画素における信号が垂直信号線27を通して画素Pの列毎にカラム回路14に読み出される(図2,図4参照)。   Specifically, the selection is sequentially performed in the vertical direction in units of horizontal lines (pixel rows) by the selection signal supplied by the vertical drive circuit 13 described above. The transistors of each pixel P are controlled by various timing signals output from the timing generator 18. As a result, the signal in each pixel is read out to the column circuit 14 for each column of the pixels P through the vertical signal line 27 (see FIGS. 2 and 4).

そして、カラム回路14で蓄積された信号が、水平駆動回路15によって選択されて、外部出力回路17へ順次出力される。そして、この撮像で得た信号を第1画像のデータとして信号処理部44の記録装置(図示なし)が記憶する(図2参照)。   The signals accumulated in the column circuit 14 are selected by the horizontal drive circuit 15 and sequentially output to the external output circuit 17. Then, the recording device (not shown) of the signal processing unit 44 stores the signal obtained by this imaging as data of the first image (see FIG. 2).

(b)固体撮像素子の移動(ST21)
つぎに、図7に示すように、固体撮像素子1を移動する。
(B) Movement of solid-state imaging device (ST21)
Next, as shown in FIG. 7, the solid-state imaging device 1 is moved.

ここでは、制御部43が素子移動部45に制御信号を送信して制御することで、素子移動部45が固体撮像素子1を移動する。   Here, the element moving unit 45 moves the solid-state imaging device 1 by transmitting a control signal to the element moving unit 45 and controlling it.

図9,図10は、本発明の実施形態1において、撮像時における固体撮像素子1を示す上面図である。   9 and 10 are top views showing the solid-state imaging device 1 during imaging in Embodiment 1 of the present invention.

図9,図10においては、図2の上面図において有効画素領域PA1の部分を示しており、説明の都合で、水平方向xと垂直方向yとのそれぞれに6つの画素Pが実効画素領域PA11に含まれると仮定した場合を示している。   9 and 10 show the effective pixel area PA1 in the top view of FIG. 2. For convenience of description, six pixels P are provided in each of the horizontal direction x and the vertical direction y in the effective pixel area PA11. It is assumed that it is included in.

ここで、図9は、1回目の撮像が実施された際の固体撮像素子1を示しており、図10は、2回目の撮像が実施された際の固体撮像素子1を示している。また、図10では、1回目の撮像が実施された際の固体撮像素子1について、破線で示している。   Here, FIG. 9 shows the solid-state imaging device 1 when the first imaging is performed, and FIG. 10 shows the solid-state imaging device 1 when the second imaging is performed. In FIG. 10, the solid-state imaging device 1 when the first imaging is performed is indicated by a broken line.

図9,図10に示すように、画素Pは、水平方向xと垂直方向yとのそれぞれに複数が配列されている。画素Pは、赤色画素Rと緑色画素Gと青色画素Bとを含む。赤色画素Rは、レッドフィルタ層CFR(図6参照)を介して入射する赤色の波長帯域の光を受光して、赤色画素信号を出力する。緑色画素Gは、グリーンフィルタ層CFG(図6参照)を介して入射する緑色の波長帯域の光を受光して、緑色画素信号を出力する。青色画素Bは、ブルーフィルタ層CFB(図6参照)を介して入射する青色の波長帯域の光を受光して青色画素信号を出力する。   As shown in FIGS. 9 and 10, a plurality of pixels P are arranged in each of the horizontal direction x and the vertical direction y. The pixel P includes a red pixel R, a green pixel G, and a blue pixel B. The red pixel R receives light in the red wavelength band incident through the red filter layer CFR (see FIG. 6) and outputs a red pixel signal. The green pixel G receives light in the green wavelength band incident through the green filter layer CFG (see FIG. 6), and outputs a green pixel signal. The blue pixel B receives blue wavelength band light incident through the blue filter layer CFB (see FIG. 6) and outputs a blue pixel signal.

赤色画素Rと緑色画素Gと青色画素Bとのそれぞれは、図9,図10に示すように、ベイヤー配列で配列されている。すなわち、緑色画素Gが市松状になるように、対角方向へ並んで配置されている。そして、赤色画素Rと青色画素Bとが、複数の緑色画素Gにおいて、対角方向に並ぶように配置されている。   Each of the red pixel R, the green pixel G, and the blue pixel B is arranged in a Bayer array, as shown in FIGS. That is, the green pixels G are arranged in a diagonal direction so as to have a checkered pattern. The red pixel R and the blue pixel B are arranged in a plurality of green pixels G so as to be aligned in a diagonal direction.

このとき、図9,図10において太線で囲って示しているように、複数の画素Pのうち、たとえば、一つの青色画素Bが欠陥画素KPとして形成される場合がある。   At this time, as indicated by a thick line in FIGS. 9 and 10, for example, one blue pixel B among the plurality of pixels P may be formed as the defective pixel KP.

このような固体撮像素子1を用いて撮像を実施する際には、まず、図9に示すように、固体撮像素子1が、第1の位置PJ1に配置された状態で、1回目の撮像を実施する。   When performing imaging using such a solid-state imaging device 1, first, as shown in FIG. 9, the first imaging is performed in a state where the solid-state imaging device 1 is disposed at the first position PJ1. carry out.

具体的には、図9に示すように、水平方向xにおける座標番号が[1]〜[6]の間であって、垂直方向yにおける座標番号が[1]〜[6]に位置するように、実効画素領域PA11内の画素Pが配置された状態で、1回目の撮像を実施する。たとえば、実効画素領域PA11において左上端部に位置する緑色画素Gが、水平方向xにおける座標番号が[1]であって、垂直方向yにおける座標番号が[1]に位置するように配置された状態で、1回目の撮像を実施する。   Specifically, as shown in FIG. 9, the coordinate number in the horizontal direction x is between [1] to [6], and the coordinate number in the vertical direction y is located in [1] to [6]. In addition, the first imaging is performed in a state where the pixels P in the effective pixel area PA11 are arranged. For example, the green pixel G located at the upper left corner in the effective pixel area PA11 is arranged so that the coordinate number in the horizontal direction x is [1] and the coordinate number in the vertical direction y is located at [1]. In the state, the first imaging is performed.

このとき、欠陥画素KPは、図9に示すように、水平方向xにおける座標番号が[4]であって、垂直方向yにおける座標番号が[3]に位置するように配置された状態になる(つまり、[x,y]=[4,3])。   At this time, as shown in FIG. 9, the defective pixel KP is arranged such that the coordinate number in the horizontal direction x is [4] and the coordinate number in the vertical direction y is located at [3]. (That is, [x, y] = [4, 3]).

1回目の撮像の実施後には、図10に示すように、固体撮像素子1を第1の位置PJ1(破線部分)から第2の位置PJ2へ移動する。   After the first imaging, as shown in FIG. 10, the solid-state imaging device 1 is moved from the first position PJ1 (broken line portion) to the second position PJ2.

ここでは、図10に示すように、1回目の撮像において欠陥画素KPが配置された座標位置([x,y]=[4,3])に、欠陥画素KPが配置されておらず、欠陥がない画素Pが配置された状態になるように、固体撮像素子1を移動する。   Here, as shown in FIG. 10, the defective pixel KP is not arranged at the coordinate position ([x, y] = [4, 3]) where the defective pixel KP is arranged in the first imaging, and the defect is detected. The solid-state imaging device 1 is moved so that the pixel P having no pixel is arranged.

このとき、図10に示すように、1回目の撮像において欠陥画素KPが配置された座標位置([x,y]=[4,3])において、その欠陥画素KPが受光する光と同一の波長帯域の光を受光する画素Pが配置された状態になるように、固体撮像素子1を移動する。つまり、第2の撮像において固体撮像素子1を第2の位置に移動したときの赤色画素Rの位置が、第1の撮像において固体撮像素子1が第1の位置にあるときに赤色画素Rが配置された位置にあるように、固体撮像素子を移動する。また、第2の撮像において固体撮像素子1を第2の位置に移動したときの緑色画素Gの位置が、第1の撮像において固体撮像素子1が第1の位置にあるときに緑色画素Gが配置された位置にあるように、固体撮像素子を移動する。また、第2の撮像において固体撮像素子1を第2の位置に移動したときの青色画素Bの位置が、第1の撮像において固体撮像素子1が第1の位置にあるときに青色画素Bが配置された位置にあるように、固体撮像素子を移動する。   At this time, as shown in FIG. 10, at the coordinate position ([x, y] = [4, 3]) where the defective pixel KP is arranged in the first imaging, it is the same as the light received by the defective pixel KP. The solid-state imaging device 1 is moved so that the pixels P that receive light in the wavelength band are arranged. That is, the position of the red pixel R when the solid-state imaging device 1 is moved to the second position in the second imaging is the red pixel R when the solid-state imaging device 1 is in the first position in the first imaging. The solid-state imaging device is moved so that it is at the position where it is placed. Further, the position of the green pixel G when the solid-state imaging device 1 is moved to the second position in the second imaging is the green pixel G when the solid-state imaging device 1 is in the first position in the first imaging. The solid-state imaging device is moved so that it is at the position where it is placed. In addition, the position of the blue pixel B when the solid-state imaging device 1 is moved to the second position in the second imaging is the blue pixel B when the solid-state imaging device 1 is in the first position in the first imaging. The solid-state imaging device is moved so that it is at the position where it is placed.

さらに、図10に示すように、1回目の撮像において有効画素領域PA1が配置された座標範囲内に、2回目の撮像の実効画素領域PA11が配置されるように、固体撮像素子1を移動する。つまり、固体撮像素子1が第1の位置にあるときに有効画素領域PA1が配置された座標範囲内に、固体撮像素子1が第2の位置にあるときの実効画素領域PA11が配置されるように、素子移動部45が固体撮像素子1を移動する。   Further, as shown in FIG. 10, the solid-state imaging device 1 is moved so that the effective pixel area PA11 of the second imaging is arranged within the coordinate range where the effective pixel area PA1 is arranged in the first imaging. . That is, the effective pixel area PA11 when the solid-state image sensor 1 is at the second position is arranged within the coordinate range where the effective pixel area PA1 is arranged when the solid-state image sensor 1 is at the first position. Further, the element moving unit 45 moves the solid-state imaging element 1.

具体的には、有効画素領域PA1(図2参照)において欠陥画素KPが存在する座標位置を記憶装置(図示なし)に座標データとして記憶させておき、その座標データに基づいて、上記の状態になるように、固体撮像素子1を移動させる。たとえば、固体撮像素子1の製造において各画素Pについて検査を実施して検出した欠陥画素KPの位置情報を用いて、固体撮像素子1を移動させる。   Specifically, the coordinate position where the defective pixel KP exists in the effective pixel area PA1 (see FIG. 2) is stored as coordinate data in a storage device (not shown), and the above state is obtained based on the coordinate data. The solid-state image sensor 1 is moved so that it becomes. For example, the solid-state image sensor 1 is moved using position information of the defective pixel KP detected by performing inspection on each pixel P in the manufacture of the solid-state image sensor 1.

たとえば、図10に示すように、水平方向xと垂直方向yとのそれぞれへ2つの画素P分、移動するように、固体撮像素子1の配置を変更する。   For example, as shown in FIG. 10, the arrangement of the solid-state imaging device 1 is changed so as to move by two pixels P in each of the horizontal direction x and the vertical direction y.

すなわち、図10に示すように、水平方向xにおける座標番号が[3]〜[8]の間であって、垂直方向yにおける座標番号が[3]〜[8]に位置するように、実効画素領域PA11内の画素Pが配置された状態にする。たとえば、実効画素領域PA11において左上端部に位置する緑色画素Gが、水平方向xにおける座標番号が[3]であって、垂直方向yにおける座標番号が[3]に位置するように配置された状態にする。   That is, as shown in FIG. 10, the effective coordinate number in the horizontal direction x is between [3] to [8] and the coordinate number in the vertical direction y is located in [3] to [8]. The pixel P in the pixel area PA11 is placed. For example, the green pixel G located at the upper left end in the effective pixel area PA11 is arranged so that the coordinate number in the horizontal direction x is [3] and the coordinate number in the vertical direction y is located at [3]. Put it in a state.

このとき、欠陥画素KPは、図10に示すように、水平方向xにおける座標番号が[6]であって、垂直方向yにおける座標番号が[5]に位置するように配置された状態になる。   At this time, as shown in FIG. 10, the defective pixel KP is arranged such that the coordinate number in the horizontal direction x is [6] and the coordinate number in the vertical direction y is located at [5]. .

一方で、1回目の撮像において欠陥画素KPが配置された座標位置([x,y]=[4,3])(破線部分)には、欠陥画素KPが配置されておらず、欠陥がない青色画素Bが配置された状態になる。   On the other hand, the defective pixel KP is not arranged at the coordinate position ([x, y] = [4, 3]) (dashed line portion) where the defective pixel KP is arranged in the first imaging, and there is no defect. The blue pixel B is arranged.

(c)2回目の撮像(ST31)
つぎに、図7に示すように、2回目の撮像を実施する。
(C) Second imaging (ST31)
Next, as shown in FIG. 7, the second imaging is performed.

ここでは、制御部43が固体撮像素子1に制御信号を送信して制御することによって、1回目の撮像が実施した位置と異なる位置で、その被写体像について2回目の撮像を実施する。そして、この2回目の撮像を実施で得た第2画像のデータを信号処理部44の記録装置(図示なし)が記憶する(図1参照)。   Here, the control unit 43 transmits a control signal to the solid-state imaging device 1 to control, and the second imaging is performed on the subject image at a position different from the position where the first imaging is performed. Then, the recording device (not shown) of the signal processing unit 44 stores the data of the second image obtained by the second imaging (see FIG. 1).

すなわち、図10に示すように、固体撮像素子1が第1の位置PJ1とは異なる第2の位置PJ2にある状態で、第1の撮像と同じ被写体について第2の撮像を実施することで第2画像を取得する。   That is, as shown in FIG. 10, the second imaging is performed on the same subject as the first imaging in a state where the solid-state imaging device 1 is at the second position PJ2 different from the first position PJ1. 2 images are acquired.

2回目の撮像についても、1回目の撮像と同様に、図8に示したように、画素Pの画素トランジスタTrへ制御信号を送信することで、第2画像のデータが生成される。そして、そのデータが信号処理部44の記録装置(図示なし)で記憶される。   In the second imaging, as in the first imaging, the second image data is generated by transmitting a control signal to the pixel transistor Tr of the pixel P as shown in FIG. The data is stored in a recording device (not shown) of the signal processing unit 44.

たとえば、1/1000s〜30minの露光時間で、1回目の撮像と2回目の撮像とが連続的に実施される。なお、この露光時間は、これに限定されず、適宜設定可能である。   For example, the first imaging and the second imaging are continuously performed with an exposure time of 1/1000 s to 30 min. In addition, this exposure time is not limited to this, It can set suitably.

(d)欠陥補正演算処理の実施(ST41)
つぎに、図7に示すように、欠陥補正演算処理について実施する。
(D) Implementation of defect correction calculation processing (ST41)
Next, as shown in FIG. 7, a defect correction calculation process is performed.

ここでは、制御部43が信号処理部44に制御信号を送信して制御することによって、欠陥補正演算処理について実施する。   Here, the defect correction calculation process is performed by the control unit 43 transmitting and controlling the control signal to the signal processing unit 44.

具体的には、1回目の撮像による第1画像と、2回目の撮像による第2画像とについて被写体に対して互いに同じ位置になるように位置合わせをした状態にする。そして、その位置合わせをした状態で、その第1画像と第2画像とについて画素ごとにデータ(信号)を加算する。これにより、固体撮像素子1において欠陥画素として存在する画素Pから出力された欠陥データを補正する欠陥補正処理を実施し、撮像画像を生成する。   Specifically, the first image obtained by the first imaging and the second image obtained by the second imaging are aligned with respect to the subject so as to be in the same position. Then, data (signal) is added for each pixel with respect to the first image and the second image in the aligned state. Thereby, the defect correction process which correct | amends the defect data output from the pixel P which exists as a defective pixel in the solid-state image sensor 1 is implemented, and a captured image is produced | generated.

図11,図12は、本発明の実施形態1において、欠陥補正演算処理を示す図である。   11 and 12 are diagrams showing defect correction calculation processing in the first embodiment of the present invention.

図11において、(a)は、1回目の撮像による第1画像RD1を示しており、(b)は、2回目の撮像による第2画像RD2を示している。図12において、(c)は、1回目の撮像による第1画像RD1と、2回目の撮像による第2画像RD2とを加算する加算処理を示しており、(d)は、その加算処理によって得られた第3画像RD3を示している。図11,図12では、画素Pの配列で各画像を示すと共に、説明の都合で、被写体である三角形状の物体500の位置を重ねて示している。   In FIG. 11, (a) shows the first image RD1 by the first imaging, and (b) shows the second image RD2 by the second imaging. In FIG. 12, (c) shows an addition process of adding the first image RD1 obtained by the first imaging and the second image RD2 obtained by the second imaging, and (d) is obtained by the addition process. The obtained third image RD3 is shown. In FIG. 11 and FIG. 12, each image is shown by an array of pixels P, and for the convenience of explanation, the position of a triangular object 500 that is a subject is shown in an overlapping manner.

1回目の撮像は、図9に示したように実効画素領域PA11が配置された状態で実施される。このため、図11(a)に示すように、1回目の撮像では、この実効画素領域PA11に含まれる赤色画素Rと緑色画素Gと青色画素Bとのそれぞれから、赤色画素信号と緑色画素信号と青色画素信号とが出力されて、第1画像RD1が得られる。つまり、水平方向xにおける座標番号が[1]〜[6]であって、垂直方向yにおける座標番号が[1]〜[6]に位置する各画素Pから画素データが出力されて、第1画像RD1がロー(RAW)画像データとして得られる。   The first imaging is performed in a state where the effective pixel area PA11 is arranged as shown in FIG. For this reason, as shown in FIG. 11A, in the first imaging, the red pixel signal and the green pixel signal are respectively obtained from the red pixel R, the green pixel G, and the blue pixel B included in the effective pixel area PA11. And a blue pixel signal are output to obtain a first image RD1. That is, pixel data is output from each pixel P whose coordinate numbers in the horizontal direction x are [1] to [6] and whose coordinate numbers in the vertical direction y are [1] to [6], and the first An image RD1 is obtained as raw (RAW) image data.

このとき、図11(a)に示すように、欠陥画素KPは、水平方向xの座標番号が[4]であって、垂直方向yの座標番号が[3]に位置しているので、この欠陥画素KPからは、欠陥画素データKD1が得られる。たとえば、欠陥画素KPからは、信号強度が低い信号が、欠陥画素データKD1として出力される。   At this time, as shown in FIG. 11A, the defective pixel KP has a coordinate number in the horizontal direction x of [4] and a coordinate number in the vertical direction y of [3]. Defective pixel data KD1 is obtained from the defective pixel KP. For example, a signal with low signal intensity is output from the defective pixel KP as defective pixel data KD1.

上記の1回目の撮像は、図11(a)に示すように、たとえば、被写体である三角形状の物体500が、固体撮像素子1において欠陥画素KPの下方に位置した状態で実施される。   As shown in FIG. 11A, the first imaging is performed in a state where, for example, a triangular object 500 that is a subject is positioned below the defective pixel KP in the solid-state imaging device 1.

これに対して、2回目の撮像は、図10に示したように実効画素領域PA11が1回目の撮像とは異なった位置に配置された状態で実施される。そして、この状態で、図11(b)に示すように、この実効画素領域PA11に含まれる赤色画素Rと緑色画素Gと青色画素Bとのそれぞれから、赤色画素信号と緑色画素信号と青色画素信号とが出力され、第2画像RD2が得られる。つまり、水平方向xにおける座標番号が[3]〜[8]であって、垂直方向yにおける座標番号が[3]〜[8]に位置する各画素Pから画素データが出力されて、第2画像RD2がロー(RAW)画像データとして得られる。   On the other hand, the second imaging is performed in a state where the effective pixel area PA11 is arranged at a different position from the first imaging as shown in FIG. In this state, as shown in FIG. 11B, the red pixel signal, the green pixel signal, and the blue pixel from the red pixel R, the green pixel G, and the blue pixel B included in the effective pixel area PA11. And the second image RD2 is obtained. That is, pixel data is output from each pixel P whose coordinate numbers in the horizontal direction x are [3] to [8] and whose coordinate numbers in the vertical direction y are [3] to [8], and the second An image RD2 is obtained as raw (RAW) image data.

このとき、図11(b)に示すように、欠陥画素KPは、水平方向xの座標番号が[6]であって、垂直方向yの座標番号が[5]に位置しているので、この欠陥画素KPからは、欠陥画素データKD2が得られる。たとえば、欠陥画素KPからは、信号強度が低い信号が、欠陥画素データKD2として出力される。   At this time, as shown in FIG. 11B, the defective pixel KP has a coordinate number in the horizontal direction x of [6] and a coordinate number in the vertical direction y of [5]. Defective pixel data KD2 is obtained from the defective pixel KP. For example, a signal with low signal intensity is output from the defective pixel KP as defective pixel data KD2.

一方で、2回目の撮像では、1回目の撮像において欠陥画素データKD1を出力する座標位置([x,y]=[4,3])(破線部分)には、欠陥画素KPが配置されていないので、この座標位置の画素Pからは、欠陥画素データが出力されない。   On the other hand, in the second imaging, the defective pixel KP is arranged at the coordinate position ([x, y] = [4, 3]) (dashed line portion) where the defective pixel data KD1 is output in the first imaging. Therefore, defective pixel data is not output from the pixel P at this coordinate position.

上記の2回目の撮像は、図11(b)に示すように、1回目の撮像と同じ位置にある三角形状の物体500を被写体として実施される。しかし、上記したように、2回目の撮像は、固体撮像素子1が、その三角形状の物体500に対して移動されているので、固体撮像素子1を基準にすると、欠陥画素KPの左側に三角形状の物体500が位置した状態で実施される。   As shown in FIG. 11B, the second imaging is performed using a triangular object 500 at the same position as the first imaging as a subject. However, as described above, in the second imaging, since the solid-state imaging device 1 is moved with respect to the triangular object 500, a triangle is formed on the left side of the defective pixel KP when the solid-state imaging device 1 is used as a reference. This is performed with the object 500 having a shape positioned.

そして、図12(c)に示すように、1回目の撮像による第1画像RD1と2回目の撮像による第2画像RD2とを加算する加算処理を実施する。   Then, as shown in FIG. 12C, an addition process is performed in which the first image RD1 obtained by the first imaging and the second image RD2 obtained by the second imaging are added.

ここでは、1回目の撮像による第1画像RD1と2回目の撮像による第2画像RD2とについて、撮像の際の座標位置が各画素Pにおいて同じになるように位置合わせをする。つまり、第1画像RD1と第2画像RD2とが、被写体である三角形状の物体500に対して互いに同じ位置になるように、位置合わせされた状態にする。この位置合わせをした状態では、第1画像RD1における三角形状の物体500の部分と、第2画像RD2における三角形状の物体500の部分とがオーバーラップされた状態になる。そして、その位置合わせをした状態において、第1画像RD1のデータと第2画像RD2のデータとを、画素Pごとに加算する。   Here, the first image RD1 obtained by the first imaging and the second image RD2 obtained by the second imaging are aligned so that the coordinate positions at the time of imaging are the same in each pixel P. That is, the first image RD1 and the second image RD2 are aligned so that they are at the same position with respect to the triangular object 500 that is the subject. In this aligned state, the portion of the triangular object 500 in the first image RD1 and the portion of the triangular object 500 in the second image RD2 are overlapped. Then, in the aligned state, the data of the first image RD1 and the data of the second image RD2 are added for each pixel P.

たとえば、2回目の撮像の際の実効画素領域PA11において左上端部に位置する緑色画素Gは、水平方向xの座標番号が[3]であって、垂直方向yの座標番号が[3]に位置しており、緑色画素信号を出力する。この緑色画素信号については、1回目の撮像において、これと同じ座標位置に配置された緑色画素Gから出力された緑色画素信号と加算する。   For example, in the effective pixel area PA11 at the time of the second imaging, the green pixel G positioned at the upper left end has the horizontal x coordinate number [3] and the vertical y coordinate number [3]. And outputs a green pixel signal. The green pixel signal is added to the green pixel signal output from the green pixel G arranged at the same coordinate position in the first imaging.

また、1回目の撮像では、図12(a)に示すように、欠陥画素データKD1は、水平方向xの座標番号が[4]であって、垂直方向yの座標番号が[3]に位置する欠陥画素KPから青色信号として出力されている。この欠陥画素データKD1については、2回目の撮像において、これと同じ座標位置に配置された青色画素Bから出力された青色画素信号と加算する。このため、欠陥画素データKD1については、実際に撮像された画素データによって補正される。   In the first imaging, as shown in FIG. 12A, in the defective pixel data KD1, the coordinate number in the horizontal direction x is [4] and the coordinate number in the vertical direction y is located at [3]. Is output as a blue signal from the defective pixel KP. The defective pixel data KD1 is added to the blue pixel signal output from the blue pixel B arranged at the same coordinate position in the second imaging. For this reason, the defective pixel data KD1 is corrected by the actually captured pixel data.

また、2回目の撮像では、図12(a)に示すように、欠陥画素データKD2は、水平方向xの座標番号が[6]であって、垂直方向yの座標番号が[5]に位置する欠陥画素KPから青色信号として出力されている。この欠陥画素データKD2については、1回目の撮像において、これと同じ座標位置に配置された青色画素Bから出力された青色画素信号と加算する。このため、欠陥画素データKD2については、実際に撮像された画素データによって補正される。   In the second imaging, as shown in FIG. 12A, in the defective pixel data KD2, the coordinate number in the horizontal direction x is [6], and the coordinate number in the vertical direction y is located at [5]. Is output as a blue signal from the defective pixel KP. The defective pixel data KD2 is added to the blue pixel signal output from the blue pixel B arranged at the same coordinate position in the first imaging. For this reason, the defective pixel data KD2 is corrected by the actually captured pixel data.

上記のように加算処理を実施することによって、図11(d)に示すように、欠陥補正がされた第3画像RD3が得られる。   By performing the addition process as described above, a third image RD3 subjected to defect correction is obtained as shown in FIG.

たとえば、図11(d)に示すように、1回目の撮像において実効画素領域PA11として設定された座標範囲について、第3画像RD3を得る。   For example, as shown in FIG. 11D, a third image RD3 is obtained for the coordinate range set as the effective pixel area PA11 in the first imaging.

この第3画像RD3では、図11(d)に示すように、1回目の撮像による第1画像RD1と2回目の撮像による第2画像RD2とがオーバーラップした領域OLについては、第1画像RD1と第2画像RD2との両者が加算された値になる。   In the third image RD3, as shown in FIG. 11D, the first image RD1 in the region OL where the first image RD1 obtained by the first imaging and the second image RD2 obtained by the second imaging overlap. And the second image RD2 are added to each other.

このため、図11(d)に示すように、第3画像RD3において1回目の撮像で欠陥画素データKD1が出力された座標位置については、上記の加算処理によって補正された補正画素データKH1が得られる。同様に、第3画像RD3において2回目の撮像で欠陥画素データKD2が出力された座標位置については、上記の加算処理によって補正された補正画素データKH2が得られる。   Therefore, as shown in FIG. 11D, the corrected pixel data KH1 corrected by the above addition processing is obtained for the coordinate position where the defective pixel data KD1 is output in the first imaging in the third image RD3. It is done. Similarly, the corrected pixel data KH2 corrected by the above addition processing is obtained for the coordinate position where the defective pixel data KD2 is output in the second imaging in the third image RD3.

なお、1回目の撮像による第1画像RD1と2回目の撮像による第2画像RD2とがオーバーラップした領域OLに関しては、加算処理と共に、画素Pごとに平均化処理さしても良い。つまり、オーバーラップした領域OLについては、第1画像RD1と第2画像RD2の画素Pごとの平均値を求めて、第3画像RD3を得ても良い。   In addition, regarding the area OL in which the first image RD1 obtained by the first imaging and the second image RD2 obtained by the second imaging overlap each other, the averaging process may be performed for each pixel P together with the addition process. That is, for the overlap region OL, an average value for each pixel P of the first image RD1 and the second image RD2 may be obtained to obtain the third image RD3.

(e)画像(最終画像)の生成(ST51)
つぎに、図7に示すように、画像(最終画像)を生成する。
(E) Generation of image (final image) (ST51)
Next, as shown in FIG. 7, an image (final image) is generated.

ここでは、制御部43が信号処理部44に制御信号を送信して制御することによって、信号処理部44が、上記のように補正されたロー(RAW)画像データとして得た第3画像RD3から、デジタルカラー画像を最終画像として生成する。   Here, the control unit 43 transmits a control signal to the signal processing unit 44 to control the signal processing unit 44 from the third image RD3 obtained as the raw (RAW) image data corrected as described above. A digital color image is generated as a final image.

たとえば、上記のように得た第3画像RD3についてデモザイク処理などの現像処理を実施することで、デジタルカラー画像を撮像画像として生成する。そして、その最終画像のデータを記録装置(図示なし)で記憶する。   For example, a digital color image is generated as a captured image by performing development processing such as demosaic processing on the third image RD3 obtained as described above. Then, the final image data is stored in a recording device (not shown).

(f)欠陥画素KPが複数連続的に存在する場合
上記のデジタルカメラ400において、複数の欠陥画素KPが連続的に存在する場合について説明する。
(F) Case where a plurality of defective pixels KP exist continuously A case where a plurality of defective pixels KP exist continuously in the digital camera 400 will be described.

図13,図14は、本発明の実施形態1において、撮像時における固体撮像素子1を示す上面図である。   13 and 14 are top views showing the solid-state imaging device 1 during imaging in Embodiment 1 of the present invention.

図13,図14は、図9,図10と同様に、図2の上面図において有効画素領域PA1の部分を示しており、説明の都合で、水平方向xと垂直方向yとのそれぞれに6つの画素Pが実効画素領域PA11に含まれると仮定した場合を示している。   FIGS. 13 and 14 show the effective pixel area PA1 in the top view of FIG. 2 in the same manner as FIGS. 9 and 10, and for convenience of explanation, each of the horizontal direction x and the vertical direction y is 6. This shows a case where one pixel P is assumed to be included in the effective pixel area PA11.

ここで、図13は、図9と同様に、1回目の撮像が実施された際の固体撮像素子1を示しており、図14は、2回目の撮像が実施された際の固体撮像素子1を示している。また、図14では、1回目の撮像が実施された際の固体撮像素子1について、破線で示している。   Here, FIG. 13 shows the solid-state imaging device 1 when the first imaging is performed, as in FIG. 9, and FIG. 14 shows the solid-state imaging device 1 when the second imaging is performed. Is shown. In FIG. 14, the solid-state imaging device 1 when the first imaging is performed is indicated by a broken line.

図13,図14において太線で囲って示しているように、複数の画素Pにおいては、複数の欠陥画素KPが連続的に存在する場合がある。たとえば、水平方向xに連続して並ぶ赤色画素R,緑色画素G,赤色画素Rが、欠陥画素KPとして存在すると共に、垂直方向yに連続して並ぶ青色画素B,緑色画素G,青色画素Bが、欠陥画素KPとして存在する場合がある。   As shown by the bold lines in FIGS. 13 and 14, a plurality of defective pixels KP may exist continuously in the plurality of pixels P. For example, a red pixel R, a green pixel G, and a red pixel R that are continuously arranged in the horizontal direction x exist as defective pixels KP, and a blue pixel B, a green pixel G, and a blue pixel B that are continuously arranged in the vertical direction y. May exist as defective pixels KP.

この固体撮像素子1を用いて撮像を実施する際には、まず、図13に示すように、図9の場合と同様に、固体撮像素子1が、第1の位置PJ1に配置された状態で、1回目の撮像を実施する(図7のST11)。   When imaging is performed using the solid-state imaging device 1, first, as shown in FIG. 13, the solid-state imaging device 1 is disposed at the first position PJ1 as in the case of FIG. First imaging is performed (ST11 in FIG. 7).

このとき、複数の欠陥画素KPは、図13において太線で示した座標位置に配置された状態になる。   At this time, the plurality of defective pixels KP are arranged at the coordinate positions indicated by bold lines in FIG.

1回目の撮像の実施後には、図14に示すように、固体撮像素子1を第1の位置PJ1(破線部分)から第2の位置PJ2へ移動する(図7のST21)。   After the first imaging, as shown in FIG. 14, the solid-state imaging device 1 is moved from the first position PJ1 (broken line portion) to the second position PJ2 (ST21 in FIG. 7).

ここでは、上記の場合と同様に、1回目の撮像において欠陥画素KPが配置された座標位置に、欠陥画素KPが配置されておらず、欠陥がない画素Pが配置された状態になるように、固体撮像素子1を移動する。また、1回目の撮像において欠陥画素KPが配置された座標位置において、その欠陥画素KPが受光する光と同一の波長帯域の光を受光する画素Pが配置された状態になるように、固体撮像素子1を移動する。さらに、1回目の撮像において有効画素領域PA1が配置された座標範囲内に、2回目の撮像の実効画素領域PA11が配置されるように、固体撮像素子1を移動する。   Here, as in the above case, the defective pixel KP is not arranged at the coordinate position where the defective pixel KP is arranged in the first imaging so that the pixel P having no defect is arranged. The solid-state imaging device 1 is moved. Further, in the first imaging, the solid-state imaging is performed such that the pixel P that receives light in the same wavelength band as the light received by the defective pixel KP is arranged at the coordinate position where the defective pixel KP is arranged. The element 1 is moved. Further, the solid-state imaging device 1 is moved so that the effective pixel area PA11 of the second imaging is arranged within the coordinate range in which the effective pixel area PA1 is arranged in the first imaging.

たとえば、図14に示すように、右方向と下方向とのそれぞれにおいて、2つの画素P分、実効画素領域PA11が移動するように、固体撮像素子1の配置を変更する。   For example, as shown in FIG. 14, the arrangement of the solid-state imaging device 1 is changed so that the effective pixel area PA11 moves by two pixels P in each of the right direction and the downward direction.

これにより、1回目の撮像において欠陥画素KPが配置された座標位置(破線部分)には、欠陥画素KPが配置されておらず、欠陥がない画素Pが配置された状態になる。   As a result, the defective pixel KP is not arranged at the coordinate position (dashed line portion) where the defective pixel KP is arranged in the first imaging, and the pixel P having no defect is arranged.

そして、この位置で、上記の場合と同様にして、2回目の撮像を実施する(図7のST31)。   Then, at this position, the second imaging is performed in the same manner as described above (ST31 in FIG. 7).

つぎに、上記の場合と同様に、欠陥補正演算処理について実施する(図7のST41)。   Next, similarly to the above case, the defect correction calculation process is performed (ST41 in FIG. 7).

図15,図16は、本発明の実施形態1において、欠陥補正演算処理を示す図である。   15 and 16 are diagrams showing defect correction calculation processing in the first embodiment of the present invention.

図15において、(a)は、1回目の撮像による第1画像RD1を示しており、(b)は、2回目の撮像による第2画像RD2を示している。図16において、(c)は、1回目の撮像による第1画像RD1と、2回目の撮像による第2画像RD2とを加算する加算処理を示しており、(d)は、その加算処理によって補正された第3画像RD3を示している。   In FIG. 15, (a) shows the first image RD1 obtained by the first imaging, and (b) shows the second image RD2 obtained by the second imaging. In FIG. 16, (c) shows an addition process for adding the first image RD1 by the first imaging and the second image RD2 by the second imaging, and (d) is corrected by the addition process. A third image RD3 is shown.

1回目の撮像は、図13に示したように実効画素領域PA11が配置された状態で実施される。このため、欠陥画素KPは、図15(a)において太線で示した座標位置に存在しており、その欠陥画素KPからは、欠陥画素データKD1が得られる。   The first imaging is performed in a state where the effective pixel area PA11 is arranged as shown in FIG. For this reason, the defective pixel KP exists at the coordinate position indicated by the bold line in FIG. 15A, and defective pixel data KD1 is obtained from the defective pixel KP.

これに対して、2回目の撮像は、図14に示したように実効画素領域PA11が1回目の撮像とは異なった位置に配置された状態で実施される。このため、欠陥画素KPは、図15(b)において太線で示した座標位置に存在しており、その欠陥画素KPからは、欠陥画素データKD2が得られる。   On the other hand, the second imaging is performed in a state where the effective pixel area PA11 is arranged at a position different from the first imaging as shown in FIG. For this reason, the defective pixel KP exists at the coordinate position indicated by the bold line in FIG. 15B, and defective pixel data KD2 is obtained from the defective pixel KP.

2回目の撮像では、1回目の撮像において欠陥画素データKD1を出力する座標位置(破線部分)には、欠陥画素KPが配置されていないので、この座標位置の画素Pからは、欠陥画素データが出力されない。   In the second imaging, since the defective pixel KP is not arranged at the coordinate position (broken line portion) where the defective pixel data KD1 is output in the first imaging, the defective pixel data is generated from the pixel P at this coordinate position. Not output.

そして、図16(c)に示すように、1回目の撮像による第1画像RD1と2回目の撮像による第2画像RD2とを加算する加算処理を実施する。   Then, as shown in FIG. 16C, an addition process of adding the first image RD1 obtained by the first imaging and the second image RD2 obtained by the second imaging is performed.

ここでは、上記と同様に、1回目の撮像による第1画像RD1と2回目の撮像による第2画像RD2とについて、撮像の際の座標位置が同じになるように位置合わせをして加算する。   Here, as described above, the first image RD1 obtained by the first imaging and the second image RD2 obtained by the second imaging are aligned and added so that the coordinate positions at the time of imaging are the same.

そして、この加算処理を実施することによって、図16(d)に示すように、第3画像RD3が得られる。たとえば、1回目の撮像において実効画素領域PA11として設定された座標範囲について、第3画像RD3を得る。   Then, by performing this addition process, a third image RD3 is obtained as shown in FIG. For example, the third image RD3 is obtained for the coordinate range set as the effective pixel area PA11 in the first imaging.

ここでは、図16(d)に示すように、第1画像RD1と第2画像RD2とがオーバーラップした領域OLについては、第1画像RD1と第2画像RD2との各画素のデータが加算された値になる。   Here, as shown in FIG. 16D, for the area OL in which the first image RD1 and the second image RD2 overlap, the data of each pixel of the first image RD1 and the second image RD2 is added. Value.

このため、図16(d)に示すように、第3画像RD3において1回目の撮像で欠陥画素データKD1が出力された座標位置については、上記の加算処理によって補正された補正画素データKH1が得られる。同様に、第3画像RD3において2回目の撮像で欠陥画素データKD2が出力された座標位置については、上記の加算処理によって補正された補正画素データKH2が得られる。   Therefore, as shown in FIG. 16D, the corrected pixel data KH1 corrected by the above addition processing is obtained for the coordinate position where the defective pixel data KD1 is output in the first imaging in the third image RD3. It is done. Similarly, the corrected pixel data KH2 corrected by the above addition processing is obtained for the coordinate position where the defective pixel data KD2 is output in the second imaging in the third image RD3.

その後、上記のようにロー(RAW)画像として得た第3画像RD3についてデモザイク処理などの現像処理を実施することで、デジタルカラー画像を撮像画像として生成する(図7のST51)。そして、その最終画像のデータを記録装置(図示なし)で記憶する。   Thereafter, the third image RD3 obtained as a raw (RAW) image as described above is subjected to development processing such as demosaic processing to generate a digital color image as a captured image (ST51 in FIG. 7). Then, the final image data is stored in a recording device (not shown).

(3)まとめ
以上のように、本実施形態では、固体撮像素子1は、被写体を撮像する画素Pが撮像面PSに複数設けられている(図1,図2,図9などを参照)。信号処理部44は、この固体撮像素子1から出力された信号について信号処理を実施する(図1参照)。この他に、固体撮像素子1を移動する素子移動部45を有する(図1参照)。
(3) Summary As described above, in the present embodiment, the solid-state imaging device 1 is provided with a plurality of pixels P for imaging a subject on the imaging surface PS (see FIGS. 1, 2, and 9). The signal processing unit 44 performs signal processing on the signal output from the solid-state imaging device 1 (see FIG. 1). In addition, an element moving unit 45 that moves the solid-state imaging device 1 is provided (see FIG. 1).

ここでは、固体撮像素子1は、その被写体について第1画像RD1を取得するように、第1の位置PJ1で第1の撮像を実施する(図7,図9,図11などを参照)。これと共に、固体撮像素子1は、撮像面PSにおいて複数の画素Pに含まれる欠陥画素KPが第1の位置PJ1とは異なる第2の位置PJ2で、その被写体について第2画像RD2を取得するように、第2の撮像を実施する(図7,図10,図11などを参照)。本実施形態では、第1の撮像の実施後であって第2の撮像の実施前に、固体撮像素子1において欠陥画素KPが位置する位置情報に基づいて、素子移動部45が固体撮像素子1を第1の位置から第2の位置へ移動する(図1参照)。この後、信号処理部44は、その第1画像RD1と第2画像RD2とについて、被写体に対して互いに同じ位置になるように位置合わせをした状態で、第1画像RD1と第2画像RD2とについて画素Pごとに信号を加算する。これにより、欠陥画素KPによる欠陥画素データKD1,KD2を補正する欠陥補正処理を実施して、第3画像RD3を生成する(図7,図12などを参照)。そして、補正された第3画像RD3から最終画像を生成する。   Here, the solid-state imaging device 1 performs the first imaging at the first position PJ1 so as to acquire the first image RD1 for the subject (see FIGS. 7, 9, 11, etc.). At the same time, the solid-state imaging element 1 acquires the second image RD2 for the subject at the second position PJ2 where the defective pixel KP included in the plurality of pixels P on the imaging surface PS is different from the first position PJ1. In addition, the second imaging is performed (see FIGS. 7, 10, 11, etc.). In the present embodiment, after the first imaging is performed and before the second imaging is performed, the element moving unit 45 is based on the position information where the defective pixel KP is located in the solid-state imaging device 1. Is moved from the first position to the second position (see FIG. 1). Thereafter, the signal processing unit 44 aligns the first image RD1 and the second image RD2 with each other so that the first image RD1 and the second image RD2 are in the same position with respect to the subject. For each pixel P, a signal is added. As a result, a defect correction process for correcting the defective pixel data KD1 and KD2 by the defective pixel KP is performed to generate a third image RD3 (see FIGS. 7 and 12). Then, a final image is generated from the corrected third image RD3.

このように、本実施形態は、固体撮像素子で被写体を撮像した後に、その被写体に対して固体撮像素子を移動させた状態で、更に、その被写体について撮像する。そして、一方の画像における欠陥画素の画素値を、他方の画像において欠陥画素以外の正常な画素の画素値を用いて補正する。   As described above, in the present embodiment, after the subject is imaged by the solid-state imaging device, the subject is further imaged in a state where the solid-state imaging device is moved with respect to the subject. Then, the pixel value of the defective pixel in one image is corrected using the pixel value of a normal pixel other than the defective pixel in the other image.

よって、撮像画像において解像度が低下する等の不具合の発生を抑制できる。特に、夜空の星を撮影する場合において、星による高輝度部分が低輝度になることを防止できるので、画像品質を向上できる。その他、複数の画像を加算しているので、ランダムノイズについても低減が可能である。   Therefore, it is possible to suppress the occurrence of problems such as a decrease in resolution in the captured image. In particular, when shooting a star in the night sky, it is possible to prevent the high luminance part due to the stars from becoming low luminance, so that the image quality can be improved. In addition, since a plurality of images are added, random noise can be reduced.

したがって、本実施形態では、撮像画像の画像品質が低下することを防止できる。また、欠陥画素に起因して、撮像素子を不良チップとして廃棄することを抑制可能であるので、製品歩留まりの低下を防止できる。   Therefore, in this embodiment, it can prevent that the image quality of a captured image falls. In addition, it is possible to prevent the image sensor from being discarded as a defective chip due to a defective pixel, and thus a reduction in product yield can be prevented.

なお、上記においては、デモザイク処理などの現像処理を実施する前に、欠陥画素による欠陥画素データを補正する場合について示したが、これに限定されない。たとえば、デモザイク処理などの現像処理を実施した後に、上記と同様にして、欠陥画素による欠陥画素データを補正してもよい。   In the above description, the case where the defective pixel data by the defective pixel is corrected before the development process such as the demosaic process is performed has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, after performing development processing such as demosaic processing, defective pixel data based on defective pixels may be corrected in the same manner as described above.

また、上記においては、2回の撮像で得た2枚の画像のデータを用いて、1枚の最終画像を生成する場合について説明したが、これに限定されない。3回以上の撮像で得た3枚以上の画像のデータを用いて、上記のように、1枚の最終画像を生成してもよい。   In the above description, the case where one final image is generated using data of two images obtained by two imaging operations is not limited to this. As described above, one final image may be generated using data of three or more images obtained by three or more imaging operations.

また、固体撮像素子1の製造において各画素Pについて検査を実施して予め検出した欠陥画素KPの位置情報を用いて、固体撮像素子1を移動させる場合について説明したが、これに限定されない。たとえば、撮像時にリアルタイムで欠陥画素KPの位置情報を取得し、その位置情報を用いて、固体撮像素子1を移動させてもよい。   Moreover, although the case where the solid-state image sensor 1 is moved using the position information of the defective pixel KP detected in advance by performing inspection on each pixel P in the manufacture of the solid-state image sensor 1 has been described, the present invention is not limited to this. For example, the position information of the defective pixel KP may be acquired in real time at the time of imaging, and the solid-state imaging device 1 may be moved using the position information.

<2.実施形態2>
(1)動作
図17は、本発明の実施形態2において、欠陥補正演算処理を示す図である。
<2. Second Embodiment>
(1) Operation FIG. 17 is a diagram showing defect correction calculation processing in the second embodiment of the present invention.

図17において、(a)は、第3画像RD3について、さらに補正する補正処理を示しており、(b)は、その補正処理によって補正された第4画像RD4を示している。   In FIG. 17, (a) shows a correction process for further correcting the third image RD3, and (b) shows a fourth image RD4 corrected by the correction process.

本実施形態においては、図17に示すように、図11,図12に示した欠陥補正演算処理(図7のST41)の他に、さらに欠陥補正演算処理を実施する。この点、および、これに関連する点を除き、本実施形態は、実施形態1と同様である。このため、重複する部分については、記載を省略する。   In this embodiment, as shown in FIG. 17, in addition to the defect correction calculation process (ST41 in FIG. 7) shown in FIGS. 11 and 12, a defect correction calculation process is further performed. Except for this point and points related thereto, the present embodiment is the same as the first embodiment. For this reason, description is abbreviate | omitted about the overlapping part.

本実施形態においては、図17(a)に示すように、第3画像RD3において、1回目の撮像で欠陥画素KPから出力され、上記のように補正された補正画素データKH1を更に補正する。また、これと共に、第3画像RD3において、2回目の撮像で欠陥画素KPから出力され、上記のように補正された補正画素データKH2を更に補正する。   In the present embodiment, as shown in FIG. 17A, in the third image RD3, the corrected pixel data KH1 output from the defective pixel KP in the first imaging and corrected as described above is further corrected. At the same time, in the third image RD3, the corrected pixel data KH2 output from the defective pixel KP in the second imaging and corrected as described above is further corrected.

ここでは、欠陥画素KPが受光する光と同一の波長帯域の光を受光する画素Pのうち、その欠陥画素KPの隣りに位置する画素Pから得られた隣接画素データAPを用いて、上記において得られた補正画素データKH1,KH2を更に補正する。   Here, among the pixels P that receive light in the same wavelength band as the light received by the defective pixel KP, the adjacent pixel data AP obtained from the pixel P located adjacent to the defective pixel KP is used as described above. The obtained corrected pixel data KH1, KH2 are further corrected.

具体的には、複数の撮像において欠陥画素KPから出力されて補正された補正画素データKH1,KH2と、その欠陥画素KPに対して水平方向xと垂直方向yに隣接する隣接画素RPから得た各隣接画素データAPとを加算平均処理する。   Specifically, obtained from corrected pixel data KH1 and KH2 output from the defective pixel KP and corrected in a plurality of imaging, and adjacent pixels RP adjacent to the defective pixel KP in the horizontal direction x and the vertical direction y. Each adjacent pixel data AP is added and averaged.

たとえば、第1回目の撮像で欠陥画素KPから出力されて補正された補正画素データKH1については、その欠陥画素KPに対して上下方向と左右方向で隣接する他の青色画素Bが位置する部分のデータを用いる。   For example, with respect to the corrected pixel data KH1 output from the defective pixel KP and corrected in the first imaging, the other blue pixel B adjacent to the defective pixel KP in the vertical and horizontal directions is located. Use data.

第2回目の撮像で欠陥画素KPから出力されて補正された補正画素データKH2については、たとえば、その欠陥画素KPに対して上方向と左方向で隣接する他の青色画素Bが位置する部分のデータを用いる。   With respect to the corrected pixel data KH2 output from the defective pixel KP and corrected in the second imaging, for example, the portion where the other blue pixel B adjacent to the defective pixel KP in the upward direction and the left direction is located. Use data.

これにより、図17(b)に示すように、欠陥画素KPの部分のデータが、補正画素データKH11,KH21として更に補正されたものが、第4画像RD4として得られる。   As a result, as shown in FIG. 17B, the fourth image RD4 is obtained by further correcting the data of the defective pixel KP as corrected pixel data KH11 and KH21.

そして、この第4画像RD4についてデモザイク処理などの現像処理を実施することで、デジタルカラー画像を撮像画像として生成する(図7のST51)。そして、そのカラー画像データを記録装置(図示なし)で記憶する。   Then, a development process such as a demosaic process is performed on the fourth image RD4 to generate a digital color image as a captured image (ST51 in FIG. 7). Then, the color image data is stored in a recording device (not shown).

(2)まとめ
以上のように、本実施形態では、実施形態1と同様に、欠陥画素KPによる欠陥画素データKD1,KD2を補正する欠陥補正処理を実施して、第3画像RD3を生成する。その後、その補正された補正画素データKH2を更に補正する。
(2) Summary As described above, in the present embodiment, similarly to the first embodiment, the defect correction processing for correcting the defective pixel data KD1 and KD2 by the defective pixel KP is performed to generate the third image RD3. Thereafter, the corrected pixel data KH2 is further corrected.

ここでは、信号処理部44が、第3画像RD3において欠陥画素に隣接する他の画素による画素データを用いて、その補正画素データKH11,KH21について補正する。   Here, the signal processing unit 44 corrects the corrected pixel data KH11 and KH21 using pixel data of other pixels adjacent to the defective pixel in the third image RD3.

したがって、本実施形態では、欠陥画素に起因して、撮像画像の画像品質が低下することを防止できる。また、欠陥画素に起因して、撮像素子を不良チップとして廃棄することを抑制可能であるので、製品歩留まりの低下を防止できる。   Therefore, in the present embodiment, it is possible to prevent the image quality of the captured image from being deteriorated due to the defective pixel. In addition, it is possible to prevent the image sensor from being discarded as a defective chip due to a defective pixel, and thus a reduction in product yield can be prevented.

<3.実施形態3>
(1)動作
図18は、本発明の実施形態3において、デジタルカメラ400の動作の概要を示すフロー図である。
<3. Embodiment 3>
(1) Operation FIG. 18 is a flowchart showing an outline of the operation of the digital camera 400 in the third embodiment of the present invention.

本実施形態においては、図18に示すように、さらに、ゲインアップ処理を実施する(ST32)。この点、および、これに関連する点を除き、本実施形態は、実施形態1と同様である。このため、重複する部分については、記載を省略する。   In the present embodiment, as shown in FIG. 18, gain increase processing is further performed (ST32). Except for this point and points related thereto, the present embodiment is the same as the first embodiment. For this reason, description is abbreviate | omitted about the overlapping part.

本実施形態では、図18に示すように、1回目の撮像(ST11),固体撮像素子の移動(ST21),2回目の撮像(ST31)を、順次、実施する。ここでは、実施形態1の場合と同様にして、1回目の撮像(ST11),固体撮像素子の移動(ST21),2回目の撮像(ST31)のそれぞれを実施する。   In the present embodiment, as shown in FIG. 18, the first imaging (ST11), the movement of the solid-state imaging device (ST21), and the second imaging (ST31) are sequentially performed. Here, similarly to the first embodiment, each of the first imaging (ST11), the movement of the solid-state imaging device (ST21), and the second imaging (ST31) is performed.

その後、図18に示すように、ゲインアップ処理を実施する(ST32)。   Thereafter, as shown in FIG. 18, a gain-up process is performed (ST32).

図19は、本発明の実施形態3において、ゲインアップ処理を示す図である。   FIG. 19 is a diagram showing gain-up processing in the third embodiment of the present invention.

図19は、図11と同様であり、(a)は、1回目の撮像による第1画像RD1を示しており、(b)は、2回目の撮像による第2画像RD2を示している。   FIG. 19 is the same as FIG. 11, (a) shows the first image RD1 by the first imaging, and (b) shows the second image RD2 by the second imaging.

ここでは、図19(a)において破線で示すように、1回目の撮像による第1画像RD1のうち、2回目の撮像で欠陥画素KPが配置される座標位置([x,y]=[5,6])(図10参照)の画素データKD1aについて、ゲインアップ処理を実施する。   Here, as indicated by a broken line in FIG. 19A, the coordinate position ([x, y] = [5] where the defective pixel KP is arranged in the second imaging of the first image RD1 obtained in the first imaging. , 6]) (see FIG. 10), the pixel data KD1a is subjected to gain-up processing.

具体的には、2回目の撮像において欠陥画素KPが配置される座標位置([x,y]=[5,6])の画素データKD1aに対してゲインアップをするように、その画素値と、予め定めた係数Cとを積算する処理を実施する。これにより、この座標位置の画素データKD1aの画素値が、本処理の実施前よりも高い値になる。   Specifically, the pixel value and the pixel value KD1a at the coordinate position ([x, y] = [5, 6]) where the defective pixel KP is arranged in the second imaging are increased. Then, a process of integrating the predetermined coefficient C is performed. As a result, the pixel value of the pixel data KD1a at this coordinate position becomes a higher value than before the execution of this process.

これと共に、図19(b)において破線で示すように、2回目の撮像による第2画像RD2のうち、1回目の撮像で欠陥画素KPが配置される座標位置([x,y]=[3,4])(図9参照)の画素データKD2aについて、ゲインアップ処理を実施する。   At the same time, as indicated by a broken line in FIG. 19B, in the second image RD2 obtained by the second imaging, the coordinate position ([x, y] = [3 , 4]) (see FIG. 9), the pixel data KD2a is subjected to gain-up processing.

具体的には、1回目の撮像において欠陥画素KPが配置される座標位置([x,y]=[3,4])の画素データKD2aに対してゲインアップをするように、その画素値と、予め定めた係数と積算する処理を実施する。これにより、この座標位置の画素データKD2aの画素値が、本処理の実施前よりも高い値になる。
ここでは、たとえば、元の画素値に対して、1.001〜2倍の画素値がなるように、上記のゲインアップ処理を実施する(2枚の足しあわせの場合)。
Specifically, the pixel value and the pixel value KD2a at the coordinate position ([x, y] = [3,4)] where the defective pixel KP is arranged in the first imaging are increased. Then, a process of integrating with a predetermined coefficient is performed. Thereby, the pixel value of the pixel data KD2a at this coordinate position becomes a higher value than before the execution of this process.
Here, for example, the above gain increase processing is performed so that the pixel value is 1.001 to 2 times the original pixel value (in the case of adding two images).

そして、図18に示すように、ゲインアップ処理の実施(ST32)後には、実施形態1の場合と同様に、欠陥補正演算処理が実施される(ST41)。   Then, as shown in FIG. 18, after the gain-up process is performed (ST32), the defect correction calculation process is performed as in the case of the first embodiment (ST41).

図20は、本発明の実施形態3において、欠陥補正演算処理を示す図である。   FIG. 20 is a diagram showing defect correction calculation processing in Embodiment 3 of the present invention.

図20は、図12と同様であり、(a)は、1回目の撮像による第1画像RD1と、2回目の撮像による第2画像RD2とを加算する加算処理を示しており、(b)は、その加算処理によって得られた第3画像RD3を示している。   FIG. 20 is the same as FIG. 12, and (a) shows an addition process for adding the first image RD1 by the first imaging and the second image RD2 by the second imaging, (b) Indicates a third image RD3 obtained by the addition processing.

欠陥補正演算処理の実施においては、まず、図20(a)に示すように、1回目の撮像による第1画像RD1と2回目の撮像による第2画像RD2とを加算する加算処理を実施する。   In the execution of the defect correction calculation process, first, as shown in FIG. 20A, an addition process is performed in which the first image RD1 obtained by the first imaging and the second image RD2 obtained by the second imaging are added.

ここでは、実施形態1の場合と同様に、第1画像RD1と第2画像RD2とについて、撮像の際の座標位置が同じになるように位置合わせをして加算する。   Here, as in the case of the first embodiment, the first image RD1 and the second image RD2 are aligned and added so that the coordinate positions at the time of imaging are the same.

1回目の撮像では、図20(a)に示すように、欠陥画素データKD1は、水平方向xの座標番号が[4]であって、垂直方向yの座標番号が[3]に位置する欠陥画素KPから青色信号として出力されている。この欠陥画素データKD1については、2回目の撮像において、これと同じ座標位置の青色画素Bから出力された画素データKD2a(図19(b)参照)についてゲインアップ処理がされた後の画素データGD2aと加算する。このように、欠陥画素データKD1は、同じ座標位置で実際に撮像された画素データを用いて補正される。   In the first imaging, as shown in FIG. 20A, the defective pixel data KD1 has a defect in which the coordinate number in the horizontal direction x is [4] and the coordinate number in the vertical direction y is at [3]. A blue signal is output from the pixel KP. For this defective pixel data KD1, pixel data GD2a after gain-up processing is performed on pixel data KD2a (see FIG. 19B) output from the blue pixel B at the same coordinate position in the second imaging. And add. As described above, the defective pixel data KD1 is corrected using the pixel data actually captured at the same coordinate position.

また、2回目の撮像では、図20(a)に示すように、欠陥画素データKD2は、水平方向xの座標番号が[6]であって、垂直方向yの座標番号が[5]に位置する欠陥画素KPから青色信号として出力されている。この欠陥画素データKD2については、1回目の撮像において、これと同じ座標位置の青色画素Bから出力された画素データKD1a(図19(a)参照)についてゲインアップ処理がされた後の画素データGD1aと加算する。このため、欠陥画素データKD2については、同じ座標位置で実際に撮像された画素データを用いて補正される。   In the second imaging, as shown in FIG. 20A, the defective pixel data KD2 has a coordinate number in the horizontal direction x of [6] and a coordinate number in the vertical direction y at [5]. Is output as a blue signal from the defective pixel KP. With respect to the defective pixel data KD2, pixel data GD1a after gain-up processing is performed on the pixel data KD1a (see FIG. 19A) output from the blue pixel B at the same coordinate position in the first imaging. And add. For this reason, the defective pixel data KD2 is corrected using pixel data actually captured at the same coordinate position.

上記のように加算処理を実施することによって、図20(b)に示すように、第3画像RD3が得られる。   By performing the addition process as described above, a third image RD3 is obtained as shown in FIG.

たとえば、図20(d)に示すように、実施形態1の場合と同様に、1回目の撮像において実効画素領域PA11として設定された座標範囲について、第3画像RD3を得る。   For example, as shown in FIG. 20D, the third image RD3 is obtained for the coordinate range set as the effective pixel area PA11 in the first imaging as in the case of the first embodiment.

なお、1回目の撮像による第1画像RD1と2回目の撮像による第2画像RD2とがオーバーラップした領域OLについては、加算処理と共に、画素Pごとに平均化処理さしても良い。つまり、オーバーラップした領域OLについては、2つの画像RD1,RD2の画素Pごとの平均値を画素データとして、第3画像RD3を得ても良い。   In addition, about the area | region OL where 1st image RD1 by the 1st imaging and 2nd image RD2 by the 2nd imaging overlap, you may carry out an averaging process for every pixel P with an addition process. That is, for the overlap region OL, the third image RD3 may be obtained using the average value for each pixel P of the two images RD1 and RD2 as pixel data.

この後、図19に示すように、実施形態1の場合と同様に、第3画像RD3を用いて最終画像を生成する。   Thereafter, as shown in FIG. 19, as in the case of the first embodiment, a final image is generated using the third image RD3.

(2)まとめ
以上のように、本実施形態では、実施形態1と同様に、欠陥画素KPによる欠陥画素データKD1,KD2を補正する欠陥補正処理を実施して、第3画像RD3を生成する。その後、その補正された補正画素データKH2を更に補正する。
(2) Summary As described above, in the present embodiment, similarly to the first embodiment, the defect correction processing for correcting the defective pixel data KD1 and KD2 by the defective pixel KP is performed to generate the third image RD3. Thereafter, the corrected pixel data KH2 is further corrected.

ここでは、上記の欠陥補正処理の実施前に、第1画像RD1の複数の画素のうち、第2画像RD2において欠陥画素が位置する部分の画素の信号を信号処理部44がゲインアップする。これと共に、第2画像RD2の複数の画素のうち、第1画像RD1において欠陥画素が位置する部分の画素の信号をゲインアップする。そして、このゲインアップ処理の実施後に、上記の欠陥補正処理を実施する。   Here, before the above-described defect correction process is performed, the signal processing unit 44 increases the gain of the signal of the pixel where the defective pixel is located in the second image RD2 among the plurality of pixels of the first image RD1. At the same time, among the plurality of pixels of the second image RD2, the signal of the pixel of the portion where the defective pixel is located in the first image RD1 is increased. Then, after performing the gain-up process, the defect correction process is performed.

したがって、本実施形態では、欠陥画素に起因して、撮像画像の画像品質が低下することを防止できる。また、欠陥画素に起因して、撮像素子を不良チップとして廃棄することを抑制可能であるので、製品歩留まりの低下を防止できる。   Therefore, in the present embodiment, it is possible to prevent the image quality of the captured image from being deteriorated due to the defective pixel. In addition, it is possible to prevent the image sensor from being discarded as a defective chip due to a defective pixel, and thus a reduction in product yield can be prevented.

なお、実施形態2で示した欠陥補正演算処理を、本実施形態において、さらに実施しても良い。   Note that the defect correction calculation process shown in the second embodiment may be further performed in the present embodiment.

<4.実施形態4>
(1)動作
図21は、本発明の実施形態4において、デジタルカメラ400の動作の概要を示すフロー図である。
<4. Embodiment 4>
(1) Operation FIG. 21 is a flowchart showing an outline of the operation of the digital camera 400 in Embodiment 4 of the present invention.

本実施形態においては、図21に示すように、固体撮像素子の移動動作(ST21)(図7参照)を実施しない。本実施形態では、図21に示すように、固体撮像素子の移動情報の取得(ST33)を実施する(ST33)。このように、本実施形態では、デジタルカメラ400の動作が、実施形態1と異なる。この点、および、これに関連する点を除き、本実施形態は、実施形態1と同様である。このため、重複する部分については、記載を省略する。   In the present embodiment, as shown in FIG. 21, the moving operation (ST21) of the solid-state imaging device (see FIG. 7) is not performed. In the present embodiment, as shown in FIG. 21, acquisition of movement information (ST33) of the solid-state imaging device is performed (ST33). As described above, in this embodiment, the operation of the digital camera 400 is different from that in the first embodiment. Except for this point and points related thereto, the present embodiment is the same as the first embodiment. For this reason, description is abbreviate | omitted about the overlapping part.

(a)1回目の撮像(ST11)
撮像画像を生成する際には、まず、図21に示すように、1回目の撮像を実施する。
(A) First imaging (ST11)
When generating a captured image, first, as shown in FIG. 21, the first imaging is performed.

ここでは、実施形態1の場合と同様に、この1回目の撮像を実施する。   Here, as in the case of the first embodiment, the first imaging is performed.

(b)2回目の撮像(ST31)
つぎに、図21に示すように、2回目の撮像を実施する。
(B) Second imaging (ST31)
Next, as shown in FIG. 21, the second imaging is performed.

ここでは、実施形態1では実施した固体撮像素子の移動動作(ST21)(図7参照)について実施しない。すなわち、制御部43は、固体撮像素子1を移動させるための制御信号を、素子移動部45に送信しない。   Here, the movement operation (ST21) (see FIG. 7) of the solid-state imaging device performed in the first embodiment is not performed. That is, the control unit 43 does not transmit a control signal for moving the solid-state imaging device 1 to the element moving unit 45.

しかし、デジタルカメラ400を操作する操作者の手ブレによって、1回目の撮像が実施された位置と異なる位置で、その被写体像について2回目の撮像が実施される。たとえば、操作者の手ブレによって、固体撮像素子1が1回目の撮像の位置に対して、数μm〜数百μmの距離が離れた位置で2回目の撮像が実施される。   However, due to the camera shake of the operator who operates the digital camera 400, the second imaging is performed on the subject image at a position different from the position where the first imaging was performed. For example, the second imaging is performed at a position where the solid-state imaging device 1 is separated by a distance of several μm to several hundred μm from the position of the first imaging by the camera shake of the operator.

(c)固体撮像素子の移動情報の取得(ST41)
つぎに、図21に示すように、固体撮像素子の移動情報の取得を実施する。
(C) Acquisition of movement information of solid-state image sensor (ST41)
Next, as shown in FIG. 21, the movement information of the solid-state imaging device is acquired.

ここでは、制御部43が信号処理部44に制御信号を送信して制御することによって、1回目の撮像による第1画像と、2回目の撮像による第2画像とから、固体撮像素子1の移動情報の取得を実施する。   Here, the control unit 43 transmits a control signal to the signal processing unit 44 to control the movement of the solid-state imaging device 1 from the first image by the first imaging and the second image by the second imaging. Obtain information.

具体的には、1回目の撮像で得られる第1画像中の特定部分が位置する座標情報と、2回目の撮像で得られる第2画像中において上記と同じ特定部分が位置する座標情報との間の変位データを信号処理部44が算出する。この変位データが、固体撮像素子の移動情報として取得される。つまり、複数の画像について画像認識処理を実施し、その認識された部分の変位を、固体撮像素子の移動情報として取得する。   Specifically, the coordinate information where the specific part in the first image obtained by the first imaging is located and the coordinate information where the same specific part as described above is located in the second image obtained by the second imaging. The signal processing unit 44 calculates the displacement data between them. This displacement data is acquired as movement information of the solid-state image sensor. That is, image recognition processing is performed on a plurality of images, and the recognized displacement of the part is acquired as movement information of the solid-state imaging device.

図22は、本発明の実施形態4において、固体撮像素子の移動情報の取得動作を示す図である。   FIG. 22 is a diagram illustrating the movement information acquisition operation of the solid-state imaging device in the fourth embodiment of the present invention.

図22において、(a)は、1回目の撮像によって得られた第1画像IM1を示している。(b)は、2回目の撮像によって得られた第2画像IM2を実線で示しており、破線を用いて、第1画像IM1を示している。なお、本実施形態では、第1画像IM1,第2画像IM2は、各撮像で得たロー(RAW)画像データについて現像処理を実施することで、デジタルカラー画像として生成されている。   In FIG. 22, (a) shows a first image IM1 obtained by the first imaging. (B) has shown the 2nd image IM2 obtained by the 2nd imaging with the continuous line, and has shown the 1st image IM1 using the broken line. In the present embodiment, the first image IM1 and the second image IM2 are generated as digital color images by performing development processing on raw (RAW) image data obtained by each imaging.

図22(a)に示すように、1回目の撮像では、たとえば、三角形状の物体500の像を含むように、第1画像IM1が得られる。このとき、固体撮像素子において欠陥画素が存在する部分に欠陥画素データKD1を含むように、第1画像IM1が生成される。たとえば、三角形状の物体500の上部に位置する角の上方に、欠陥画素データKD1が存在するように、第1画像IM1が生成される。   As shown in FIG. 22A, in the first imaging, for example, a first image IM1 is obtained so as to include an image of a triangular object 500. At this time, the first image IM1 is generated so that the defective pixel data KD1 is included in the portion where the defective pixel exists in the solid-state imaging device. For example, the first image IM1 is generated so that the defective pixel data KD1 exists above the corner located at the top of the triangular object 500.

2回目の撮像においても、1回目の撮像と同一の被写体を撮影しているので、たとえば、図22(b)に示すように、三角形状の物体500の像を含むように、第2画像IM2が得られる。また、固体撮像素子において欠陥画素が存在する部分に欠陥画素データKD2を含むように、第2画像IM2が生成される。   Even in the second imaging, since the same subject as the first imaging is captured, for example, as shown in FIG. 22B, the second image IM2 includes an image of a triangular object 500. Is obtained. Further, the second image IM2 is generated so that the defective pixel data KD2 is included in the portion where the defective pixel exists in the solid-state imaging device.

2回目の撮像は、上記したように、たとえば、操作者の手ブレによって、1回目の撮像が実施した位置と異なる位置で実施される。このため、第2画像IM2において三角形状の物体500の像が存在する位置は、第1画像IM1において、その三角形状の物体500の像が存在する位置と異なる。しかし、第2画像IM2において欠陥画素データKD2が存在する位置は、第1画像IM1において欠陥画素データKD1が存在する位置と同じ位置になる。したがって、第2画像IM2では、三角形状の物体500の上部に位置する角の右側に、欠陥画素データKD2が存在するように、第2画像IM2が生成される。   As described above, the second imaging is performed at a position different from the position where the first imaging is performed, for example, due to the hand shake of the operator. For this reason, the position where the image of the triangular object 500 exists in the second image IM2 is different from the position where the image of the triangular object 500 exists in the first image IM1. However, the position where the defective pixel data KD2 exists in the second image IM2 is the same position as the position where the defective pixel data KD1 exists in the first image IM1. Therefore, in the second image IM2, the second image IM2 is generated so that the defective pixel data KD2 exists on the right side of the corner located at the top of the triangular object 500.

固体撮像素子の移動情報の取得動作では、上記のような第1画像IM1と第2画像IM2とを用いて、第1の撮像と第2の撮像との間において固体撮像素子が変位したデータを信号処理部44が算出する。   In the movement information acquisition operation of the solid-state imaging device, the first image IM1 and the second image IM2 as described above are used to obtain data obtained by displacing the solid-state imaging device between the first imaging and the second imaging. The signal processing unit 44 calculates.

まず、第1画像IM1において三角形状の物体500が位置する座標情報を求める。そして、第2画像IM2において、その三角形状の物体500が位置する座標情報を求める。たとえば、第1画像IM1と第2画像IM2とのそれぞれについて、エッジ検出処理を実施することで、三角形状の物体500が位置する座標情報を求める。   First, coordinate information where the triangular object 500 is located in the first image IM1 is obtained. Then, coordinate information where the triangular object 500 is located is obtained in the second image IM2. For example, by performing edge detection processing for each of the first image IM1 and the second image IM2, coordinate information where the triangular object 500 is located is obtained.

つぎに、第1画像IM1において三角形状の物体500が位置する座標情報と、第2画像IM2において、その三角形状の物体500が位置する座標情報とから、固体撮像素子が変位した情報を求める。   Next, information about the displacement of the solid-state imaging device is obtained from the coordinate information where the triangular object 500 is located in the first image IM1 and the coordinate information where the triangular object 500 is located in the second image IM2.

たとえば、三角形状の物体500の上部に位置する角に着目すると、第1画像IM1では、左端部と下端部を基準位置とした場合、水平方向xの座標位置が[X1]であって、垂直方向yの座標位置が[Y1]である。これに対して、第2画像IM2では、その角は、水平方向xの座標位置が[X2]であって、垂直方向yの座標位置が[Y2]であり、第1画像IM1における座標位置と異なる。   For example, focusing on the corner located at the top of the triangular object 500, in the first image IM1, the coordinate position in the horizontal direction x is [X1] when the left end and the lower end are used as the reference position, and the vertical position is vertical. The coordinate position in the direction y is [Y1]. On the other hand, in the second image IM2, the coordinate position in the horizontal direction x is [X2], the coordinate position in the vertical direction y is [Y2], and the corner of the corner is the coordinate position in the first image IM1. Different.

このため、第1の撮像と第2の撮像とにおいて、固体撮像素子は、水平方向xについては、右方向へ[X1−X2]分、移動したことが求められる。また、第1の撮像と第2の撮像とにおいて、固体撮像素子は、垂直方向yについては、下方向へ[Y2−Y1]分、移動したことが求められる。   For this reason, in the first imaging and the second imaging, the solid-state imaging device is required to have moved [X1-X2] to the right in the horizontal direction x. Further, in the first imaging and the second imaging, the solid-state imaging device is required to move downward by [Y2-Y1] in the vertical direction y.

(d)欠陥補正演算処理の実施(ST41),画像(最終画像)の生成(ST51)
つぎに、図21に示すように、欠陥補正演算処理について実施する。
(D) Implementation of defect correction calculation processing (ST41), generation of image (final image) (ST51)
Next, as shown in FIG. 21, a defect correction calculation process is performed.

ここでは、制御部43が信号処理部44に制御信号を送信して制御することによって、1回目の撮像で得た第1画像IM1と、2回目の撮像で得た第2画像IM2とを、信号処理部44が加算する処理を実施する。これにより、固体撮像素子1において欠陥画素として存在する画素Pから出力された画素データが補正され、最終画像が生成される。   Here, the control unit 43 transmits a control signal to the signal processing unit 44 to control the first image IM1 obtained by the first imaging and the second image IM2 obtained by the second imaging. The signal processing unit 44 performs the addition process. Thereby, the pixel data output from the pixel P existing as a defective pixel in the solid-state imaging device 1 is corrected, and a final image is generated.

図23は、本発明の実施形態4において、欠陥補正演算処理を示す図である。   FIG. 23 is a diagram showing defect correction calculation processing in Embodiment 4 of the present invention.

図23において、(a)は、1回目の撮像で得た第1画像IM1(破線部分)と、2回目の撮像で得た第2画像IM2(実線部分)とを加算する加算処理を示しており、(b)は、その加算処理によって補正された最終画像IM3を示している。   In FIG. 23, (a) shows an addition process for adding the first image IM1 (broken line portion) obtained by the first imaging and the second image IM2 (solid line portion) obtained by the second imaging. (B) shows the final image IM3 corrected by the addition process.

図23(a)に示すように、1回目の撮像で得た第1画像IM1と、2回目の撮像で得た第2画像IM2とを加算する加算処理を実施する。   As shown in FIG. 23A, an addition process of adding the first image IM1 obtained by the first imaging and the second image IM2 obtained by the second imaging is performed.

ここでは、1回目の撮像で得た第1画像IM1と、2回目の撮像で得た第2画像IM2とについて、撮像の際の被写体に対する座標位置が同じになるように、位置合わせをして加算する。   Here, the first image IM1 obtained by the first imaging and the second image IM2 obtained by the second imaging are aligned so that the coordinate positions with respect to the subject at the time of imaging are the same. to add.

具体的には、上記において求めた固体撮像素子の移動情報に基づいて、1回目の撮像で得た第1画像IM1と、2回目の撮像で得た第2画像IM2とを互いにシフトさせることによって、撮像の際の被写体に対する座標位置を同じにする。   Specifically, by shifting the first image IM1 obtained by the first imaging and the second image IM2 obtained by the second imaging based on the movement information of the solid-state imaging element obtained above, The coordinate position with respect to the subject at the time of imaging is made the same.

つまり、第1画像IM1に対して、第2画像IM2が、右側へ[X1−X2]分、移動し、下方へ[Y2−Y1]分、移動するように、両者を位置合わせする。これにより、第1画像IM1の欠陥画素データKD1と第2画像IM2の欠陥画素データKD2とは、画像内において、互いに異なる部分に位置することになる。そして、第1画像IM1と第2画像IM2とが位置合わせされた状態で、同一の波長帯域の画素データが、画素ごとに加算される。   That is, the two images IM2 are aligned with respect to the first image IM1 so that the second image IM2 moves to the right by [X1-X2] and moves downward by [Y2-Y1]. Thereby, the defective pixel data KD1 of the first image IM1 and the defective pixel data KD2 of the second image IM2 are located in different portions in the image. Then, in a state where the first image IM1 and the second image IM2 are aligned, pixel data in the same wavelength band is added for each pixel.

よって、第1画像IM1に含まれる欠陥画素データKD1は、第2画像IM2において欠陥画素以外の画素による画素データと加算される。このため、欠陥画素データKD1については、実際に撮像された画素データによって補正される。   Therefore, the defective pixel data KD1 included in the first image IM1 is added to pixel data by pixels other than the defective pixels in the second image IM2. For this reason, the defective pixel data KD1 is corrected by the actually captured pixel data.

また、第2画像IM2に含まれる欠陥画素データKD2は、第1画像IM1において欠陥画素以外の画素による画素データと加算される。このため、欠陥画素データKD2についても、実際に撮像された画素データによって補正される。   Further, the defective pixel data KD2 included in the second image IM2 is added to pixel data by pixels other than the defective pixels in the first image IM1. For this reason, the defective pixel data KD2 is also corrected by the actually captured pixel data.

上記のように加算処理を実施することによって、図23(b)に示すように、補正された最終画像IM3が得られる。   By performing the addition process as described above, a corrected final image IM3 is obtained as shown in FIG.

たとえば、図23(b)に示すように、第1画像IM1と同様に、1回目の撮像において実効画素領域PA11として設定された座標範囲について、最終画像IM3が得られる。   For example, as shown in FIG. 23B, the final image IM3 is obtained for the coordinate range set as the effective pixel area PA11 in the first imaging, as with the first image IM1.

図23(b)に示すように、最終画像IM3において、1回目の撮像で欠陥画素データKD1が出力された座標位置については、上記の加算処理によって補正された補正画素データKH1が得られる。同様に、2回目の撮像で欠陥画素データKD2が出力された座標位置については、上記の加算処理によって補正された補正画素データKH2が得られる。   As shown in FIG. 23B, the corrected pixel data KH1 corrected by the above addition processing is obtained for the coordinate position where the defective pixel data KD1 is output in the first imaging in the final image IM3. Similarly, the corrected pixel data KH2 corrected by the above addition process is obtained for the coordinate position where the defective pixel data KD2 is output in the second imaging.

(2)まとめ
以上のように、本実施形態においては、欠陥画素KPによる欠陥画素データKD1,KD2を補正する欠陥補正処理を実施して、最終画像IM3を生成する。
(2) Summary As described above, in the present embodiment, the defect correction processing for correcting the defective pixel data KD1 and KD2 by the defective pixel KP is performed to generate the final image IM3.

本実施形態では、固体撮像素子1が第1の位置から第2の位置へ移動したときの変位データを、第1画像IM1と第2画像IM2とから検出する移動情報取得処理を、信号処理部44が実施する。そして、その変位データに基づいて、第1画像IM1と第2画像IM2とについて被写体に対して互いに同じ位置になるように位置合わせをした状態で、上記のように欠陥補正処理を実施する。   In the present embodiment, the movement information acquisition process for detecting the displacement data when the solid-state imaging device 1 moves from the first position to the second position from the first image IM1 and the second image IM2 is performed as a signal processing unit. 44 implements. Then, based on the displacement data, the defect correction process is performed as described above in a state where the first image IM1 and the second image IM2 are aligned with each other so as to be in the same position with respect to the subject.

したがって、本実施形態では、欠陥画素に起因して、撮像画像の画像品質が低下することを防止できる。また、欠陥画素に起因して、撮像素子を不良チップとして廃棄することを抑制可能であるので、製品歩留まりの低下を防止できる。   Therefore, in the present embodiment, it is possible to prevent the image quality of the captured image from being deteriorated due to the defective pixel. In addition, it is possible to prevent the image sensor from being discarded as a defective chip due to a defective pixel, and thus a reduction in product yield can be prevented.

なお、本実施形態では、撮像によって得たロー画像データについて現像処理を実施した後に、それにより得た画像において欠陥画素に起因して含まれる欠陥画素データを補正する場合について示したが、これに限定されない。たとえば、実施形態1と同様に、デモザイク処理などの現像処理を実施する前に、欠陥画素による欠陥画素データを補正してもよい。   In the present embodiment, after the development processing is performed on the raw image data obtained by imaging, the defective pixel data included due to the defective pixel is corrected in the obtained image. It is not limited. For example, as in the first embodiment, defective pixel data based on defective pixels may be corrected before performing development processing such as demosaic processing.

また、実施形態2で示した欠陥補正演算処理を、本実施形態において実施しても良い。   Further, the defect correction calculation process shown in the second embodiment may be performed in the present embodiment.

さらに、実施形態3で示したゲインアップ処理を、本実施形態において実施しても良い。   Furthermore, the gain increase processing shown in the third embodiment may be performed in the present embodiment.

また、上記においては、2回の撮像で得た2枚の画像を用いて、1枚の最終画像を生成する場合について説明したが、これに限定されない。3回以上の撮像で得た複数の画像を用いて、上記のように、1枚の最終画像を生成してもよい。また、複数の画像から欠陥画素データの位置が異なる画像を少なくとも2枚選択する処理を実施し、その選択した画像間を上記のように加算することで、最終画像を生成しても良い。   In the above description, the case where one final image is generated using two images obtained by two imaging operations is not limited to this. A single final image may be generated as described above using a plurality of images obtained by three or more imaging operations. Further, a final image may be generated by performing a process of selecting at least two images having different positions of defective pixel data from a plurality of images and adding the selected images as described above.

<5.その他>
本発明の実施に際しては、上記した実施形態に限定されるものではなく、種々の変形例を採用することができる。
<5. Other>
In carrying out the present invention, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be employed.

上記の実施形態においては、裏面照射型のCMOSイメージセンサを固体撮像素子として用いる場合について説明したが、これに限定されない。表面照射型のイメージセンサの場合に本発明を適用しても良い。また、CCDイメージセンサの場合に本発明を適用しても良い。   In the above embodiment, the case where the backside illumination type CMOS image sensor is used as the solid-state imaging device has been described. However, the present invention is not limited to this. The present invention may be applied to a surface irradiation type image sensor. The present invention may be applied to a CCD image sensor.

上記の実施形態では、CMOSイメージセンサにおいて、転送トランジスタと増幅トランジスタと選択トランジスタとリセットトランジスタとの4種を、画素トランジスタとして設ける場合について説明したが、これに限定されない。たとえば、転送トランジスタと増幅トランジスタとリセットトランジスタとの3種を、画素トランジスタとして設ける場合に適用しても良い。   In the above-described embodiment, the case where four types of transfer transistors, amplification transistors, selection transistors, and reset transistors are provided as pixel transistors in the CMOS image sensor has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, the present invention may be applied to a case where three types of transfer transistors, amplification transistors, and reset transistors are provided as pixel transistors.

上記の実施形態では、CMOSイメージセンサにおいて、1つのフォトダイオードに対して、転送トランジスタと増幅トランジスタと選択トランジスタとリセットトランジスタとのそれぞれを1つずつ設ける場合について説明したが、これに限定されない。たとえば、複数のフォトダイオードに対して、増幅トランジスタと選択トランジスタとリセットトランジスタのそれぞれを1つずつ設ける場合に適用しても良い。   In the above-described embodiment, the case where one transfer transistor, one amplification transistor, one selection transistor, and one reset transistor are provided for each photodiode in the CMOS image sensor has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, the present invention may be applied to a case where one amplification transistor, one selection transistor, and one reset transistor are provided for a plurality of photodiodes.

上記の実施形態では、3原色のフィルタがベイヤー配列で配列されたカラーイメージセンサの場合について説明したが、これに限定されない。イエロ−,マゼンダ,シアンの補色系のフィルタを用いた場合に適用しても良い。カラー画像を撮像する場合以外に、グレースケール画像を撮像する場合に適用しても良い。可視光像を撮像する以外に、赤外線画像など、他の波長帯域の像を撮像する場合に適用しても良い。   In the above-described embodiment, the case of a color image sensor in which filters of three primary colors are arranged in a Bayer array has been described. However, the present invention is not limited to this. The present invention may be applied when a yellow, magenta, and cyan complementary color filter is used. In addition to capturing a color image, the present invention may be applied to capturing a grayscale image. In addition to capturing a visible light image, the present invention may be applied to capturing an image of another wavelength band such as an infrared image.

上記の実施形態においては、デジタルカメラに本発明を適用する場合について説明したが、これに限定されない。スキャナーやコピー機などのように、撮像装置を備える他の電子機器に、本発明を適用しても良い。   In the above embodiment, the case where the present invention is applied to a digital camera has been described. However, the present invention is not limited to this. The present invention may be applied to other electronic devices including an imaging device such as a scanner or a copier.

また、上記の実施形態では、素子移動部45がアンチダスト機能を発揮させるために設けられている場合について説明したが、これに限定されない。素子移動部45としては、アンチダスト機能を発揮しなくとも、固体撮像素子1を上記したように移動させるものであれば好適に使用可能である。   Moreover, although said embodiment demonstrated the case where the element moving part 45 was provided in order to exhibit an anti-dust function, it is not limited to this. The element moving unit 45 can be suitably used as long as it moves the solid-state imaging device 1 as described above without exhibiting the anti-dust function.

また、上記の実施形態において、固体撮像素子を移動する際には、固体撮像素子が第1の位置にあるときに有効画素領域が配置された座標範囲内に、固体撮像素子が第2の位置にあるときの実効画素領域を配置させる。しかしながら、これに限定されない。第1の位置にあるときに有効画素領域が配置された座標範囲以外の部分に、第2の位置における実効画素領域を配置させるように、固体撮像素子を移動させてもよい。   In the above embodiment, when the solid-state image sensor is moved, the solid-state image sensor is located at the second position within the coordinate range in which the effective pixel region is arranged when the solid-state image sensor is at the first position. The effective pixel area when it is in the position is arranged. However, it is not limited to this. You may move a solid-state image sensor so that the effective pixel area | region in a 2nd position may be arrange | positioned in parts other than the coordinate range in which the effective pixel area | region was arrange | positioned when it exists in a 1st position.

また、上記の実施形態においては、固体撮像素子と、外付けの撮像レンズとが一体に設けられていない場合について説明したが、これに限定されない(図1参照)。固体撮像素子に外付けの撮像レンズが固定されており、素子移動部が固体撮像素子を移動する際には、撮像レンズも同様に移動されるように構成されていても良い。   In the above-described embodiment, the case where the solid-state imaging device and the external imaging lens are not integrally provided has been described, but the present invention is not limited to this (see FIG. 1). An external imaging lens may be fixed to the solid-state imaging device, and the imaging lens may be similarly moved when the element moving unit moves the solid-state imaging device.

その他、各実施形態の構成を、適宜、組み合わせても良い。   In addition, you may combine the structure of each embodiment suitably.

なお、上記の実施形態において、固体撮像素子1は、本発明の固体撮像素子に相当する。また、上記の実施形態において、信号処理部44は、本発明の信号処理部に相当する。また、上記の実施形態において、素子移動部45は、本発明の素子移動部に相当する。また、上記の実施形態において、デジタルカメラ400は、本発明の電子機器に相当する。また、上記の実施形態において、カメラ本体部410は、本発明の撮像装置に相当する。また、上記の実施形態において、第1画像RD1,IM1は、本発明の第1画像に相当する。また、上記の実施形態において、第2画像RD2,IM2は、本発明の第2画像に相当する。また、上記の実施形態において、欠陥画素KPは、本発明の欠陥画素に相当する。また、上記の実施形態において、画素Pは、本発明の画素に相当する。また、上記の実施形態において、有効画素領域PA1は、本発明の有効画素領域に相当する。また、上記の実施形態において、実効画素領域PA11は、本発明の実効画素領域に相当する。また、上記の実施形態において、第1の位置PJ1は、本発明の第1の位置に相当する。また、上記の実施形態において、第2の位置PJ2は、本発明の第2の位置に相当する。また、上記の実施形態において、画素領域PA,撮像面PSは、本発明の撮像面に相当する。   In the above embodiment, the solid-state image sensor 1 corresponds to the solid-state image sensor of the present invention. In the above embodiment, the signal processing unit 44 corresponds to the signal processing unit of the present invention. In the above-described embodiment, the element moving unit 45 corresponds to the element moving unit of the present invention. In the above embodiment, the digital camera 400 corresponds to the electronic apparatus of the present invention. In the above embodiment, the camera body 410 corresponds to the imaging apparatus of the present invention. In the above embodiment, the first images RD1 and IM1 correspond to the first image of the present invention. In the above embodiment, the second images RD2 and IM2 correspond to the second image of the present invention. In the above embodiment, the defective pixel KP corresponds to the defective pixel of the present invention. In the above embodiment, the pixel P corresponds to the pixel of the present invention. In the above embodiment, the effective pixel area PA1 corresponds to the effective pixel area of the present invention. In the above embodiment, the effective pixel area PA11 corresponds to the effective pixel area of the present invention. In the above embodiment, the first position PJ1 corresponds to the first position of the present invention. In the above embodiment, the second position PJ2 corresponds to the second position of the present invention. In the above embodiment, the pixel area PA and the imaging surface PS correspond to the imaging surface of the present invention.

1…固体撮像素子、13…垂直駆動回路、14…カラム回路、15…水平駆動回路、17…外部出力回路、17a…AGC回路、17b…ADC回路、18…タイミングジェネレータ、19…シャッター駆動回路、21…フォトダイオード、22…転送トランジスタ、23…増幅トランジスタ、24…選択トランジスタ、25…リセットトランジスタ、26…転送線、27…垂直信号線、28…アドレス線、29…リセット線、43…制御部、44…信号処理部、45…素子移動部、101…半導体基板、101na…n型電荷蓄積領域、101pa…p型半導体領域、101pc…p型半導体領域、111…配線層、111h…配線、111z…絶縁層、400…撮像装置、410…カメラ本体部、420…撮影レンズ部、CF…カラーフィルタ、FD…フローティング・ディフュージョン、H…入射光、IM1…第1画像、IM2…第2画像、IM3…最終画像、JS…受光面、KP…欠陥画素、ML…オンチップレンズP…画素、PA…画素領域、PA1…有効画素領域、PA2…オプティカル・ブラック領域、PA11…実効画素領域、PJ1…第1の位置、PJ2…第2の位置、PS…撮像面、RD1…第1画像、RD2…第2画像、RD3…第3画像、RD4…第4画像、RP…隣接画素、SA…周辺領域、x…水平方向、y…垂直方向 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Solid-state image sensor, 13 ... Vertical drive circuit, 14 ... Column circuit, 15 ... Horizontal drive circuit, 17 ... External output circuit, 17a ... AGC circuit, 17b ... ADC circuit, 18 ... Timing generator, 19 ... Shutter drive circuit, DESCRIPTION OF SYMBOLS 21 ... Photodiode, 22 ... Transfer transistor, 23 ... Amplification transistor, 24 ... Selection transistor, 25 ... Reset transistor, 26 ... Transfer line, 27 ... Vertical signal line, 28 ... Address line, 29 ... Reset line, 43 ... Control part , 44 ... signal processing unit, 45 ... element moving unit, 101 ... semiconductor substrate, 101 na ... n-type charge storage region, 101 pa ... p-type semiconductor region, 101 pc ... p-type semiconductor region, 111 ... wiring layer, 111h ... wiring, 111z DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Insulating layer, 400 ... Imaging device, 410 ... Camera body part, 420 ... Shooting lens part, CF ... Color frame Luther, FD ... floating diffusion, H ... incident light, IM1 ... first image, IM2 ... second image, IM3 ... final image, JS ... light-receiving surface, KP ... defective pixel, ML ... on-chip lens P ... pixel, PA ... pixel area, PA1 ... effective pixel area, PA2 ... optical black area, PA11 ... effective pixel area, PJ1 ... first position, PJ2 ... second position, PS ... imaging surface, RD1 ... first image, RD2 ... Second image, RD3 ... third image, RD4 ... fourth image, RP ... adjacent pixel, SA ... peripheral region, x ... horizontal direction, y ... vertical direction

Claims (9)

被写体を撮像する画素が撮像面に複数設けられた固体撮像素子と、
前記固体撮像素子から出力された信号について信号処理を実施する信号処理部と
を有し、
前記固体撮像素子は、前記被写体について第1画像を取得するように、第1の位置で第1の撮像を実施すると共に、前記撮像面において前記複数の画素に含まれる欠陥画素が前記第1の位置とは異なる第2の位置で前記被写体について第2画像を取得するように、第2の撮像を実施し、
前記信号処理部は、前記第1画像と前記第2画像とについて前記被写体に対して互いに同じ位置になるように位置合わせをした状態で、前記第1画像と前記第2画像とについて画素ごとに信号を加算することによって、前記欠陥画素による欠陥データを補正する欠陥補正処理を実施して撮像画像を生成する、
撮像装置。
A solid-state imaging device in which a plurality of pixels for imaging a subject are provided on an imaging surface;
A signal processing unit that performs signal processing on the signal output from the solid-state imaging device,
The solid-state imaging device performs first imaging at a first position so as to acquire a first image of the subject, and defective pixels included in the plurality of pixels on the imaging surface are the first pixels. Performing a second imaging so as to obtain a second image of the subject at a second position different from the position;
The signal processing unit aligns the first image and the second image for each pixel with respect to the first image and the second image in a state where the first image and the second image are aligned with respect to the subject. By adding a signal, a defect correction process for correcting defect data by the defective pixel is performed to generate a captured image.
Imaging device.
前記固体撮像素子を移動する素子移動部
をさらに有し、
前記素子移動部は、前記第1の撮像の実施後であって前記第2の撮像の実施前に、前記固体撮像素子において前記欠陥画素が位置する位置情報に基づいて、前記固体撮像素子を前記第1の位置から前記第2の位置へ移動する、
請求項1に記載の撮像装置。
An element moving unit that moves the solid-state image sensor;
The element moving unit is configured to move the solid-state imaging element after the first imaging and before the second imaging based on position information where the defective pixel is located in the solid-state imaging element. Moving from a first position to the second position;
The imaging device according to claim 1.
前記固体撮像素子は、少なくとも、第1の波長帯域の光を受光する第1画素と、前記第1の波長帯域と異なる第2の波長帯域の光を受光する第2画素とのそれぞれが、前記画素として複数配列されており、
前記素子移動部は、前記固体撮像素子を前記第2の位置に移動したときの前記第1画素の位置が、前記固体撮像素子が前記第1の位置にあるときに前記第1画素が配置された位置にあると共に、前記固体撮像素子を前記第2の位置に移動したときの前記第2画素の位置が、前記固体撮像素子が前記第1の位置にあるときに前記第2画素が配置された位置にあるように、前記固体撮像素子を移動する、
請求項2に記載の撮像装置。
The solid-state imaging device includes at least a first pixel that receives light in a first wavelength band and a second pixel that receives light in a second wavelength band different from the first wavelength band. Multiple pixels are arranged,
The element moving unit is arranged such that the position of the first pixel when the solid-state image sensor is moved to the second position is the first pixel when the solid-state image sensor is at the first position. The second pixel is located when the solid-state image sensor is at the first position, and the second pixel is located when the solid-state image sensor is at the first position. Moving the solid-state imaging device so that the
The imaging device according to claim 2.
前記固体撮像素子は、被写体像を受光する有効画素として前記画素が複数配置されている有効画素領域が、前記撮像面に設けられており、前記複数の有効画素において前記撮像画像を生成するための実効画素が複数配置される実効画素領域が、前記有効画素領域内に設定され、
前記素子移動部は、前記固体撮像素子が前記第1の位置にあるときに前記有効画素領域が配置された座標範囲内に、前記固体撮像素子が前記第2の位置にあるときの前記実効画素領域が配置されるように、前記固体撮像素子を移動する、
請求項3に記載の撮像装置。
In the solid-state imaging device, an effective pixel region in which a plurality of the pixels are arranged as effective pixels that receive a subject image is provided on the imaging surface, and the solid-state imaging element is configured to generate the captured image in the plurality of effective pixels. An effective pixel area in which a plurality of effective pixels are arranged is set in the effective pixel area,
The element moving unit includes the effective pixel when the solid-state image sensor is in the second position within a coordinate range in which the effective pixel region is disposed when the solid-state image sensor is in the first position. Moving the solid-state imaging device so that the region is arranged;
The imaging device according to claim 3.
前記信号処理部は、前記撮像画像において前記欠陥画素に隣接する他の画素による画素データを用いて、前記撮像画像において前記欠陥画素による画素データについて補正する、
請求項1に記載の撮像装置。
The signal processing unit corrects pixel data of the defective pixel in the captured image using pixel data of another pixel adjacent to the defective pixel in the captured image.
The imaging device according to claim 1.
前記信号処理部は、前記第1画像の複数の画素のうち、前記第2画像において欠陥画素が位置する部分の画素の信号をゲインアップすると共に、前記第2画像の複数の画素のうち、前記第1画像において欠陥画素が位置する部分の画素の信号をゲインアップするゲインアップ処理を実施し、
当該ゲインアップ処理の実施後に、前記欠陥補正処理を実施する、
請求項1に記載の撮像装置。
The signal processing unit gains up a signal of a pixel in a portion where a defective pixel is located in the second image among the plurality of pixels of the first image, and among the plurality of pixels of the second image, Performing a gain-up process for gaining up the signal of the pixel of the portion where the defective pixel is located in the first image;
After the gain-up process is performed, the defect correction process is performed.
The imaging device according to claim 1.
前記信号処理部は、前記固体撮像素子が前記第1の位置から前記第2の位置へ移動したときの変位データを、前記第1画像と前記第2画像とから検出する移動情報取得処理を実施し、
前記変位データに基づいて、前記第1画像と前記第2画像とについて前記被写体に対して互いに同じ位置になるように位置合わせをした状態で、前記欠陥補正処理を実施する、
請求項1に記載の撮像装置。
The signal processing unit performs a movement information acquisition process for detecting displacement data when the solid-state imaging device moves from the first position to the second position from the first image and the second image. And
Based on the displacement data, the defect correction process is performed in a state where the first image and the second image are aligned with each other so as to be in the same position with respect to the subject.
The imaging device according to claim 1.
被写体を撮像する画素が撮像面に複数設けられた固体撮像素子と、
前記固体撮像素子から出力された信号について信号処理を実施する信号処理部と
を有し、
前記固体撮像素子は、前記被写体について第1画像を取得するように、第1の位置で第1の撮像を実施すると共に、前記撮像面において前記複数の画素に含まれる欠陥画素が前記第1の位置とは異なる第2の位置で前記被写体について第2画像を取得するように、第2の撮像を実施し、
前記信号処理部は、前記第1画像と前記第2画像とについて前記被写体に対して互いに同じ位置になるように位置合わせをした状態で、前記第1画像と前記第2画像とについて画素ごとに信号を加算することによって、前記欠陥画素による欠陥データを補正する欠陥補正処理を実施して撮像画像を生成する、
電子機器。
A solid-state imaging device in which a plurality of pixels for imaging a subject are provided on an imaging surface;
A signal processing unit that performs signal processing on the signal output from the solid-state imaging device,
The solid-state imaging device performs first imaging at a first position so as to acquire a first image of the subject, and defective pixels included in the plurality of pixels on the imaging surface are the first pixels. Performing a second imaging so as to obtain a second image of the subject at a second position different from the position;
The signal processing unit aligns the first image and the second image for each pixel with respect to the first image and the second image in a state where the first image and the second image are aligned with respect to the subject. By adding a signal, a defect correction process for correcting defect data by the defective pixel is performed to generate a captured image.
Electronics.
複数の画素が撮像面に設けられた固体撮像素子が、第1の位置にある状態で、被写体について第1の撮像を実施することで第1画像を取得する工程と、
前記固体撮像素子が、前記第1の位置とは異なる第2の位置にある状態で、前記被写体について第2の撮像を実施することで第2画像を取得する工程と、
前記第1画像と前記第2画像とについて前記被写体に対して互いに同じ位置になるように位置合わせをした状態で、前記第1画像と前記第2画像とについて画素ごとに信号を加算することによって、前記欠陥画素による欠陥データを補正する欠陥補正処理を実施して撮像画像を生成する工程と
を含む、
撮像方法。
Obtaining a first image by performing a first imaging on a subject in a state where a solid-state imaging device having a plurality of pixels provided on an imaging surface is in a first position;
Obtaining a second image by performing a second imaging on the subject in a state where the solid-state imaging device is in a second position different from the first position;
By adding a signal for each pixel of the first image and the second image in a state where the first image and the second image are aligned with each other with respect to the subject. Performing a defect correction process for correcting defect data by the defective pixel to generate a captured image,
Imaging method.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000069352A (en) * 1998-08-26 2000-03-03 Konica Corp Method and device for image input
JP2008118570A (en) * 2006-11-07 2008-05-22 Canon Inc Shake correcting device and method
JP2009124661A (en) * 2007-11-19 2009-06-04 Sony Corp Imaging apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000069352A (en) * 1998-08-26 2000-03-03 Konica Corp Method and device for image input
JP2008118570A (en) * 2006-11-07 2008-05-22 Canon Inc Shake correcting device and method
JP2009124661A (en) * 2007-11-19 2009-06-04 Sony Corp Imaging apparatus

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