JP2012154788A - Method and apparatus for inspecting seal member composed of elastic material - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and an apparatus for inspecting a seal member composed of an elastic material, which can suitably detect a foreign substance stuck to the seal member composed of the elastic material such as an O ring.SOLUTION: A rear face 2a of an O ring 2 and a plane surface 4a of a plane member 4 are arranged in parallel with each other through a predetermined interval, the rear face 2a of the O ring 2 is photographed from a direction vertical to the rear face 2a of the O ring 2 and the photographed image is analyzed to inspect whether a foreign substance is stuck to the O ring 2 or not. Thereby, the foreign substance stuck to the rear face 2a of the O ring 2 can be suitably detected without burying the foreign substance stuck to the rear face 2a of the O ring 2 into the O ring 2. Further, a foreign substance stuck to the O ring 2 so as to be extended to a down direction is brought into contact with the plane surface 4a of the plane member 4, so that the filamentous foreign substance can be photographed by extending an area for photographing the filamentous foreign substance, and the filamentous foreign substance stuck to the O ring 2 so as to be extended to the down direction can be suitably detected.

Description

本発明は、例えばＯリング等の弾性材料からなるシール部材に異物が付着しているか否かを検査する弾性材料からなるシール部材の検査方法、及びその装置に関する。   The present invention relates to a sealing member inspection method made of an elastic material for inspecting whether or not a foreign substance is attached to a sealing member made of an elastic material such as an O-ring, and an apparatus therefor.

部材同士の接触部を気密又は水密に保持するための手段としてＯリングが多用されている。この種のＯリングにおいては、部材同士の接触部を気密又は水密に確実に保持するように、ワークに組付けられた時に異物（人毛や衣類の繊維等）が付着しないことが望ましい。このような事情から、特許文献１には、Ｏリングに透明材料からなる平面部材を接触させてＯリングを弾性変形させ、その弾性変形させたＯリングを撮影した映像を解析して当該Ｏリングに異物が付着しているか否かを検査する構成が開示されている。   An O-ring is frequently used as a means for keeping the contact portion between members airtight or watertight. In this type of O-ring, it is desirable that foreign matters (human hair, clothing fibers, etc.) do not adhere to the workpiece when it is assembled to the workpiece so as to securely hold the contact portion between the members in an airtight or watertight manner. Under such circumstances, Patent Document 1 discloses that an O-ring is elastically deformed by bringing a flat member made of a transparent material into contact with the O-ring, and an image obtained by photographing the elastically deformed O-ring is analyzed to analyze the O-ring. The structure which test | inspects whether the foreign material has adhered to is disclosed.

特開平９−７２８６０号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-72860

しかしながら、上記した特許文献１に開示されている方法では、Ｏリングに平面部材を接触させてＯリングを弾性変形させるので、Ｏリングに異物が付着している場合に、そのＯリングに付着している異物がＯリングに埋もれてしまい、本来であれば異物とＯリングとの境界に形成される段差が形成されなくなるという虞がある。その結果、Ｏリングを撮影した映像を解析する際に、異物とＯリングとの境界で段差を検出することができず、Ｏリングに付着している異物を検出することができないという問題があった。   However, in the method disclosed in Patent Document 1 described above, since the O-ring is elastically deformed by bringing a planar member into contact with the O-ring, when foreign matter adheres to the O-ring, it adheres to the O-ring. There is a possibility that the foreign matter is buried in the O-ring and the step formed at the boundary between the foreign matter and the O-ring is not formed. As a result, there is a problem in that when analyzing an image taken of the O-ring, a step cannot be detected at the boundary between the foreign matter and the O-ring, and the foreign matter attached to the O-ring cannot be detected. It was.

本発明は、上記した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、例えばＯリング等弾性材料からなるシール部材に付着している異物を適切に検出することができる弾性材料からなるシール部材の検査方法、及びその装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object thereof is, for example, a sealing member made of an elastic material that can appropriately detect foreign matter adhering to the sealing member made of an elastic material such as an O-ring. An inspection method and apparatus therefor are provided.

請求項１及び２に記載した発明によれば、弾性材料からなるシール部材（２）と透明材料からなる平面部材（４，７）とを、前記シール部材（２）のシール面（２ａ，２ｂ）と前記平面部材（４，７）の平面（４ａ，７ａ）とが所定間隔を存して平行となるように配置し、当該シール部材（２）のシール面（２ａ，２ｂ）に対して垂直な方向から当該シール部材（２）のシール面（２ａ，２ｂ）を当該平面部材（４，７）を通して撮影し、その撮影した映像を解析して当該シール部材（２）に異物が付着しているか否かを検査する。   According to the first and second aspects of the present invention, the sealing member (2) made of an elastic material and the planar member (4, 7) made of a transparent material are connected to the sealing surface (2a, 2b) of the sealing member (2). ) And the flat surfaces (4a, 7a) of the flat members (4, 7) are arranged so as to be parallel to each other at a predetermined interval, and with respect to the sealing surfaces (2a, 2b) of the sealing members (2) The sealing surfaces (2a, 2b) of the sealing member (2) are photographed from the vertical direction through the planar members (4, 7), and the photographed image is analyzed to allow foreign matter to adhere to the sealing member (2). Inspect whether or not

これにより、シール部材（２）を弾性変形させる従来の方法とは異なり、シール部材（２）を弾性変形させることなく、シール部材（２）のシール面（２ａ，２ｂ）と平面部材（４，７）の平面（４ａ，７ａ）とが所定間隔を存して平行となるように配置することで、たとえ異物がシール部材（２）のシール面（２ａ，２ｂ）に付着していたとしても、その異物がシール部材（２）に埋もれてしまうことがなく、シール部材（２）のシール面（２ａ，２ｂ）に付着している異物を適切に検出することができる。又、たとえ糸状の異物が撮影方向に対して平行にシール部材（２）に付着していたとしても、その糸状の異物が平面部材（４，７）の平面（４ａ，７ａ）に接することで、その糸状の異物が撮影される領域を広げて糸状の異物を撮影することができ、シール部材（２）に付着している糸状の異物を適切に検出することができる。又、シール面（２ａ，２ｂ）に対して垂直な方向から撮影することで、シール面（２ａ，２ｂ）に対して平行な方向から撮影することなく、撮影方向に対して平行に付着している糸状の異物を検出することができる。   Thus, unlike the conventional method of elastically deforming the seal member (2), the seal surface (2a, 2b) and the planar member (4, 4) of the seal member (2) are not elastically deformed. Even if foreign matter adheres to the sealing surfaces (2a, 2b) of the sealing member (2) by arranging them so that the planes (4a, 7a) of 7) are parallel to each other with a predetermined interval. The foreign matter is not buried in the seal member (2), and the foreign matter adhering to the seal surfaces (2a, 2b) of the seal member (2) can be detected appropriately. Even if thread-like foreign matter adheres to the seal member (2) parallel to the photographing direction, the thread-like foreign matter comes into contact with the flat surfaces (4a, 7a) of the flat members (4, 7). The region where the filamentous foreign matter is photographed can be expanded to photograph the filamentous foreign matter, and the filamentous foreign matter adhering to the seal member (2) can be detected appropriately. Further, by taking a picture from a direction perpendicular to the seal surfaces (2a, 2b), the image is taken in a direction parallel to the seal surfaces (2a, 2b), and attached in parallel to the photographing direction. It is possible to detect the thread-like foreign matter.

請求項３に記載した発明によれば、環状に形成されているシール部材（２）を検査対象とし、シール部材（２）のシール面（２ａ，２ｂ）に付着している異物を適切に検出することができ、又、シール部材（２）に付着している糸状の異物を適切に検出することができる。   According to the invention described in claim 3, the sealing member (2) formed in an annular shape is to be inspected, and foreign matter adhering to the sealing surfaces (2 a, 2 b) of the sealing member (2) is appropriately detected. Moreover, the thread-like foreign material adhering to the sealing member (2) can be detected appropriately.

請求項４に記載した発明によれば、断面が円形状に形成されているシール部材（２）を検査対象とし、シール部材（２）のシール面（２ａ，２ｂ）に付着している異物を適切に検出することができ、又、シール部材（２）に付着している糸状の異物を適切に検出することができる。   According to the invention described in claim 4, the seal member (2) having a circular cross section is the object to be inspected, and foreign matter adhering to the seal surfaces (2 a, 2 b) of the seal member (2) is removed. It is possible to detect properly, and it is possible to appropriately detect the thread-like foreign matter adhering to the seal member (2).

本発明の一実施形態を示すもので、Ｏリング検査装置の全体構成を概略的に示す図1 shows an embodiment of the present invention and is a diagram schematically showing an overall configuration of an O-ring inspection apparatus. Ｏリング検査装置の機能ブロック図Functional block diagram of O-ring inspection device フローチャートflowchart 異物を検出する原理を概略的に示す図Diagram showing the principle of detecting foreign matter 図４相当図4 equivalent diagram

以下、弾性材料からなるシール部材としてＯリングを適用した本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。尚、後述するＯリング、異物、Ｏリングと平面部材との間隔等は、発明の内容を明示するために実際のサイズ比と異ならせて示している。図１は、Ｏリング検査装置の全体構成を概略的に示している。Ｏリング検査装置１（弾性材料からなるシール部材の検査装置）は、Ｏリング２（弾性材料からなるシール部材）の裏面側（図１では下面側）を検査する部分（以下、裏面側検査部と称する）１ａと、Ｏリング２の表面側（図１では上面側）を検査する部分（以下、表面側検査部と称する）１ｂとを有する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention in which an O-ring is applied as a sealing member made of an elastic material will be described with reference to the drawings. It should be noted that an O-ring, a foreign material, an interval between the O-ring and the planar member, etc., which will be described later, are shown different from the actual size ratio in order to clarify the contents of the invention. FIG. 1 schematically shows the overall configuration of an O-ring inspection apparatus. An O-ring inspection device 1 (an inspection device for a sealing member made of an elastic material) is a portion for inspecting the back side (the lower surface side in FIG. 1) of an O-ring 2 (a sealing member made of an elastic material) (hereinafter referred to as a back side inspection unit). 1a, and a portion (hereinafter referred to as a surface side inspection portion) 1b for inspecting the surface side (upper surface side in FIG. 1) of the O-ring 2.

Ｏリング２は、例えばシリコンゴムを材質とする弾性変形可能な弾性材料からなり、円環状で且つ断面が円形状に形成され、圧力センサの構成部品としてのケース部材３（ワーク）に組付けられる。圧力センサを製造する工程では、Ｏリング２がケース部材３に組付けられた後に、カバー部材（図示せず）がケース部材３に組付けられ、ケース部材３とカバー部材との接合箇所でＯリング２が垂直方向（Ｏリング２の軸方向）からの圧力を受けて弾性変形することで、Ｏリング２がケース部材３とカバー部材とを気密又は水密に保持することになる。即ち、Ｏリング２の面うちケース部材３に接する側の部分（Ｏリング２の裏面２ａと称する）及びカバー部材に接する側の部分（Ｏリング２の表面２ｂと称する）がシール面である。   The O-ring 2 is made of an elastically deformable elastic material made of, for example, silicon rubber, has an annular shape and a circular cross section, and is assembled to a case member 3 (workpiece) as a component of the pressure sensor. . In the process of manufacturing the pressure sensor, after the O-ring 2 is assembled to the case member 3, a cover member (not shown) is assembled to the case member 3, and an O is joined at the joint between the case member 3 and the cover member. When the ring 2 is elastically deformed by receiving pressure from the vertical direction (the axial direction of the O-ring 2), the O-ring 2 holds the case member 3 and the cover member in an airtight or watertight manner. That is, the portion of the surface of the O-ring 2 that contacts the case member 3 (referred to as the back surface 2a of the O-ring 2) and the portion that contacts the cover member (referred to as the surface 2b of the O-ring 2) are sealing surfaces.

Ｏリング検査装置１において、裏面側検査部１ａは、例えば透明ガラスや透明樹脂等の透明材料からなる平面部材４、平面部材４の真下に設けられた裏面検査用照明ライト５、裏面検査用照明ライト５の真下に設けられた裏面検査用撮影カメラ６（撮影手段に相当）等を有する。これら平面部材４、裏面検査用照明ライト５、裏面検査用撮影カメラ６の各々は、保持部材（図示せず）により保持されることで位置が固定されている。一方、表面側検査部１ｂは、例えば透明ガラスや透明樹脂等の透明材料からなる平面部材７、平面部材７の真上に設けられた表面検査用照明ライト８、表面検査用照明ライト８の真上に設けられた表面検査用撮影カメラ９（撮影手段に相当）等を有する。これら平面部材７、表面検査用照明ライト８、表面検査用撮影カメラ９の各々も、保持部材（図示せず）により保持されることで位置が固定されている。   In the O-ring inspection apparatus 1, the back surface side inspection unit 1 a includes, for example, a planar member 4 made of a transparent material such as transparent glass or transparent resin, a back surface inspection illumination light 5 provided immediately below the planar member 4, and back surface inspection illumination. It has a back surface inspection photographing camera 6 (corresponding to photographing means) provided immediately below the light 5. Each of the flat member 4, the back-surface inspection illumination light 5, and the back-surface inspection imaging camera 6 is fixed by being held by a holding member (not shown). On the other hand, the surface-side inspection unit 1b includes, for example, a flat member 7 made of a transparent material such as transparent glass and transparent resin, a surface inspection illumination light 8 provided immediately above the flat member 7, and a true surface inspection illumination light 8. A surface inspection photographing camera 9 (corresponding to photographing means) and the like provided above are provided. Each of the flat member 7, the surface inspection illumination light 8, and the surface inspection photographing camera 9 is also held by a holding member (not shown), and the position is fixed.

図２は、上記したＯリング検査装置１の電気的な構成を機能ブロック図により示している。制御部１０（映像解析手段、検査手段に相当）は、マイクロコンピュータ主体として構成されており、検査対象であるＯリング２を吸着する吸着ヘッド１１、吸着ヘッド１１を搬送する吸着ヘッド搬送機構１２（配置手段に相当）、吸着ヘッド１１を水平方向に回転する吸着ヘッド回転機構１３、ワークであるケース部材３を搬送するワーク搬送機構１４（配置手段に相当）、ケース部材３を水平方向に回転するワーク回転機構１５、裏面検査用照明ライト５、裏面検査用撮影カメラ６、表面検査用照明ライト８、表面検査用撮影カメラ９を接続している。制御部１０は、予め記憶している制御プログラムを実行することで、これら吸着ヘッド１１、吸着ヘッド搬送機構１２、吸着ヘッド回転機構１３、ワーク搬送機構１４、ワーク回転機構１５、裏面検査用照明ライト５、裏面検査用撮影カメラ６、表面検査用照明ライト８、表面検査用撮影カメラ９の動作を制御し、Ｏリング検査装置１の動作全体を制御する。   FIG. 2 is a functional block diagram showing the electrical configuration of the O-ring inspection apparatus 1 described above. The control unit 10 (corresponding to an image analysis unit and an inspection unit) is configured mainly by a microcomputer, and includes a suction head 11 that sucks the O-ring 2 to be inspected, and a suction head transport mechanism 12 that transports the suction head 11 ( A suction head rotating mechanism 13 for rotating the suction head 11 in the horizontal direction, a work transport mechanism 14 for transporting the case member 3 as a work (corresponding to the placement means), and rotating the case member 3 in the horizontal direction. A work rotating mechanism 15, a back surface inspection illumination light 5, a back surface inspection photographing camera 6, a front surface inspection illumination light 8, and a front surface inspection photographing camera 9 are connected. The control unit 10 executes a control program stored in advance, so that the suction head 11, the suction head transport mechanism 12, the suction head rotation mechanism 13, the work transport mechanism 14, the work rotation mechanism 15, and an illumination light for back surface inspection. 5. Controls the operations of the back-surface inspection photographing camera 6, the surface inspection illumination light 8, and the surface inspection photographing camera 9, and controls the entire operation of the O-ring inspection apparatus 1.

吸着ヘッド１１は、検査対象のＯリング２を吸着する吸着面部１１ａを有し、制御部１０から吸着指令信号を入力すると、Ｏリング２を真空吸着により吸着面部１１ａに吸着し、制御部１０から吸着破壊指令信号を入力すると、吸着面部１１ａに吸着しているＯリング２を吸着面部１１ａから自然落下させる（吸着破壊する）。尚、吸着ヘッド１１がＯリング２を吸着する際の吸着力はＯリング２の重量や大きさ等に基づいて決定する。   The suction head 11 has a suction surface portion 11a that sucks the O-ring 2 to be inspected. When a suction command signal is input from the control unit 10, the O-ring 2 is sucked to the suction surface portion 11a by vacuum suction, and the control unit 10 When the adsorption destruction command signal is input, the O-ring 2 adsorbed on the adsorption surface portion 11a is naturally dropped from the adsorption surface portion 11a (adsorption destruction). The suction force when the suction head 11 sucks the O-ring 2 is determined based on the weight, size, etc. of the O-ring 2.

吸着ヘッド搬送機構１２は、制御部１０から搬送指令信号を入力すると、吸着ヘッド１１を予め設定されている所定の搬送経路にしたがって搬送する（移動させる）。吸着ヘッド回転機構１３は、制御部１０から回転指令信号を入力すると、吸着ヘッド１１を予め設定されている所定の回転方向（例えば時計回り方向）へ所定の回転角度（例えば６０度）だけ回転させる。ワーク搬送機構１４は、制御部１０から搬送指令信号を入力すると、ケース部材３を予め設定されている所定の搬送経路にしたがって搬送する（移動させる）。ワーク回転機構１５は、制御部１０から回転指令信号を入力すると、ケース部材３を予め設定されている所定の回転方向（例えば時計回り方向）へ所定の回転角度（例えば６０度）だけ回転させる。   When the suction head transport mechanism 12 receives a transport command signal from the control unit 10, the suction head transport mechanism 12 transports (moves) the suction head 11 along a predetermined transport path. When the suction head rotation mechanism 13 receives a rotation command signal from the controller 10, the suction head rotation mechanism 13 rotates the suction head 11 in a predetermined rotation direction (for example, clockwise direction) by a predetermined rotation angle (for example, 60 degrees). . When the conveyance command signal is input from the control unit 10, the workpiece conveyance mechanism 14 conveys (moves) the case member 3 along a predetermined conveyance path. When the rotation command signal is input from the control unit 10, the workpiece rotation mechanism 15 rotates the case member 3 in a predetermined rotation direction (for example, clockwise direction) set in advance by a predetermined rotation angle (for example, 60 degrees).

裏面検査用照明ライト５は、中空部５ａを有する円環状に形成されており、Ｏリング２が吸着ヘッド１１に吸着された状態で平面部材４の真上に位置している状態で、制御部１０から照明指令信号を入力すると、光を上方向へ照射し、Ｏリング２の裏面２ａの一部を平面部材４を通して照明する。裏面検査用撮影カメラ６は、Ｏリング２の裏面２ａの一部が裏面検査用照明ライト５からの光が照射されている状態で、制御部１０から撮影指令信号を入力すると、そのＯリング２の裏面２ａのうち裏面検査用照明ライト５からの光が照射されている領域を検査対象領域として撮影し、その撮影した映像を含む映像信号を制御部１０へ出力する。この場合、裏面検査用照明ライト５が中空部５ａを有する円環状に形成されていることで、裏面検査用撮影カメラ６の撮影視野が確保される。   The illumination light 5 for back surface inspection is formed in the annular | circular shape which has the hollow part 5a, and the control part is in the state located in the state directly above the plane member 4 in the state by which the O-ring 2 was adsorbed by the adsorption head 11. When an illumination command signal is input from 10, light is emitted upward, and a part of the back surface 2 a of the O-ring 2 is illuminated through the flat member 4. When an imaging command signal is input from the control unit 10 in a state where a part of the back surface 2a of the O-ring 2 is irradiated with light from the back-surface inspection illumination light 5, the O-ring 2 An area irradiated with light from the back surface inspection illumination light 5 is imaged as an inspection object area, and a video signal including the captured image is output to the control unit 10. In this case, the back view inspection illumination light 5 is formed in an annular shape having a hollow portion 5a, so that the photographing field of view of the back inspection photographing camera 6 is secured.

表面検査用照明ライト８は、裏面検査用照明ライト５と同様に、中空部８ａを有する円環状に形成されており、Ｏリング２が吸着ヘッド１１に吸着された状態で平面部材７の真下に位置している状態で、制御部１０から照明指令信号を入力すると、光を下方向へ照射し、Ｏリング２の表面２ｂの一部を平面部材７を通して照明する。表面検査用撮影カメラ９は、Ｏリング２の表面２ｂの一部が表面検査用照明ライト８からの光が照射されている状態で、制御部１０から撮影指令信号を入力すると、そのＯリング２の表面２ｂのうち表面検査用照明ライト８からの光が照射されている領域を検査対象領域として撮影し、その撮影した映像を含む映像信号を制御部１０へ出力する。この場合も、表面検査用照明ライト８が中空部８ａを有する円環状に形成されていることで、表面検査用撮影カメラ９の撮影視野が確保される。   Like the back surface inspection illumination light 5, the surface inspection illumination light 8 is formed in an annular shape having a hollow portion 8 a, and is directly below the planar member 7 with the O-ring 2 being adsorbed by the adsorption head 11. When an illumination command signal is input from the control unit 10 in the positioned state, light is emitted downward, and a part of the surface 2b of the O-ring 2 is illuminated through the planar member 7. When a photographing command signal is input from the control unit 10 in a state where a part of the surface 2b of the O-ring 2 is irradiated with light from the surface-inspecting illumination light 8, the surface inspection photographing camera 9 receives the O-ring 2 An area of the surface 2b irradiated with light from the surface inspection illumination light 8 is imaged as an inspection object area, and a video signal including the captured image is output to the control unit 10. Also in this case, since the surface inspection illumination light 8 is formed in an annular shape having the hollow portion 8a, the field of view of the surface inspection photographing camera 9 is secured.

次に、上記した構成の作用について、図３乃至図５を参照して説明する。本実施形態では、例えばエアガンにより高圧エアを噴付けること等でＯリング２を洗浄する洗浄工程を終えた後に、洗浄工程が終えられたＯリング２をケース部材３に組付ける組付工程を行う前後で、Ｏリング２に異物が付着しているか否かを検査する検査工程を行う。この場合、作業者が例えばパーソナルコンピュータを操作して制御部１０に検査プログラムを実行させることで検査工程を行う。制御部１０は、検査プログラムを開始すると、図３にフローチャートとして示す処理を実行する。   Next, the operation of the above configuration will be described with reference to FIGS. In the present embodiment, for example, after the cleaning process of cleaning the O-ring 2 by spraying high-pressure air with an air gun or the like, an assembly process of assembling the O-ring 2 that has been cleaned to the case member 3 is performed. Before and after, an inspection process for inspecting whether or not foreign matter is attached to the O-ring 2 is performed. In this case, the inspection process is performed by the operator operating the personal computer, for example, and causing the control unit 10 to execute the inspection program. When the control unit 10 starts the inspection program, the control unit 10 executes processing shown as a flowchart in FIG.

制御部１０は、検査プログラムを開始すると、搬送指令信号を吸着ヘッド搬送機構１２へ出力し、洗浄工程が終えられたＯリング２を吸着した吸着ヘッド１１を吸着ヘッド搬送機構１２により裏面検査位置（図１では「Ｐ１」にて示す位置）へ移動させ、Ｏリング２の裏面２ａと平面部材４の平面４ａ（図１では上面）とが所定間隔（図１では「ｄ１」にて示す）を存して平行となるように配置する（ステップＳ１）。ここでいう所定間隔は以下のようにして決定する。例えばケース部材３とカバー部材との気密又は水密を破壊し得ると想定される最小の異物が３００［μｍ］程度の異物である、即ち、３００［μｍ］未満の異物であればＯリング２に付着していてもケース部材３とカバー部材との気密又は水密を保持し得るが、３００［μｍ］以上の異物がＯリング２に付着しているとケース部材３とカバー部材との気密又は水密を保持し得なくなるような場合であれば、その最小の異物を検出し得るように、所定間隔を３００［μｍ］よりも小さい１０［μｍ］〜１００［μｍ］程度の範囲で決定する。   When the inspection program is started, the control unit 10 outputs a conveyance command signal to the adsorption head conveyance mechanism 12, and the adsorption head conveyance mechanism 12 causes the adsorption head 11 that has adsorbed the O-ring 2 that has undergone the cleaning process to be in the back surface inspection position ( 1 is moved to a position indicated by “P1”), and the back surface 2a of the O-ring 2 and the flat surface 4a (upper surface in FIG. 1) of the planar member 4 have a predetermined distance (indicated by “d1” in FIG. 1). And arranged so as to be parallel (step S1). The predetermined interval here is determined as follows. For example, the smallest foreign substance that can be assumed to break the airtightness or watertightness between the case member 3 and the cover member is a foreign substance of about 300 [μm], that is, if it is less than 300 [μm], the O-ring 2 Even if it adheres, the case member 3 and the cover member can be kept airtight or watertight. However, if foreign matter of 300 [μm] or more adheres to the O-ring 2, the case member 3 and the cover member are airtight or watertight. In such a case, the predetermined interval is determined in a range of about 10 [μm] to 100 [μm] smaller than 300 [μm] so that the smallest foreign matter can be detected.

次いで、制御部１０は、照明指令信号を裏面検査用照明ライト５へ出力し、裏面検査用照明ライト５からの上方向への光の照射を開始し（ステップＳ２）、撮影指令信号を裏面検査用撮影カメラ６へ出力し、Ｏリング２の裏面２ａのうち裏面検査用照明ライト５からの光が照射されている検査対象領域の撮影を開始する（ステップＳ３）。次いで、制御部１０は、検査対象領域の撮影を開始したことに応じて、裏面検査用撮影カメラ６から映像信号を入力すると、その入力した映像信号から映像を抽出して解析し（ステップＳ４）、Ｏリング２に異物が付着しているか否かを判定する（ステップＳ５）。   Next, the control unit 10 outputs an illumination command signal to the back surface inspection illumination light 5, starts upward light irradiation from the back surface inspection illumination light 5 (step S <b> 2), and captures the imaging command signal from the back surface inspection. The image is output to the photographing camera 6 and photographing of the inspection target area irradiated with the light from the back surface inspection illumination light 5 in the back surface 2a of the O-ring 2 is started (step S3). Next, when the video signal is input from the back side inspection camera 6 in response to the start of imaging of the inspection target region, the control unit 10 extracts and analyzes the video from the input video signal (step S4). Then, it is determined whether or not foreign matter is attached to the O-ring 2 (step S5).

即ち、制御部１０は、Ｏリング２の裏面２ａのエッジを背景色との相違により抽出し、Ｏリング２の裏面２ａの輪郭を検出した後に、Ｏリング２に異物が付着しているか否かを判定する。ここで、図４に示すように、Ｏリング２の裏面２ａに異物Ａが付着していれば、Ｏリング２の裏面２ａと平面部材４の平面４ａとが接することなく、Ｏリング２の裏面２ａと平面部材４の平面４ａとが所定間隔を存して近付くだけで、異物ＡがＯリング２に埋もれることがなく、Ｏリング２と異物Ａとの間に段差が形成されるので、制御部１０は、その段差を検出することで、Ｏリング２の裏面２ａに異物Ａが付着していると判定可能となる。又、図５に示すように、Ｏリング２の側面２ｃに糸状の異物Ｂが下方へ延びるように（立下がるように、垂れるように）付着しており、その糸状の異物Ｂの長さがＯリング２の裏面２ａと平面部材４の平面４ａとの間の所定間隔よりも長ければ、その糸状の異物Ｂが平面部材４の平面４ａに接することで、その糸状の異物Ｂが撮影される領域が広げられるので、制御部１０は、その広げられた領域を検出することで、Ｏリング２に異物Ｂが下方へ延びるように付着していると判定可能となる。   That is, the control unit 10 extracts the edge of the back surface 2a of the O-ring 2 based on the difference from the background color, and detects whether or not foreign matter has adhered to the O-ring 2 after detecting the contour of the back surface 2a of the O-ring 2. Determine. Here, as shown in FIG. 4, if foreign matter A adheres to the back surface 2 a of the O-ring 2, the back surface 2 a of the O-ring 2 and the flat surface 4 a of the planar member 4 do not come into contact with each other. Since the foreign matter A is not buried in the O-ring 2 and the step is formed between the O-ring 2 and the foreign matter A only by moving the 2a and the flat surface 4a of the flat member 4 close to each other with a predetermined distance. The part 10 can determine that the foreign matter A is attached to the back surface 2a of the O-ring 2 by detecting the step. Further, as shown in FIG. 5, the thread-like foreign matter B is attached to the side surface 2c of the O-ring 2 so as to extend downward (so as to fall down or hang down), and the length of the thread-like foreign matter B is If the predetermined distance between the back surface 2a of the O-ring 2 and the flat surface 4a of the flat member 4 is longer than that, the thread-like foreign material B comes into contact with the flat surface 4a of the flat member 4 so that the thread-like foreign material B is photographed. Since the region is widened, the control unit 10 can determine that the foreign matter B is attached to the O-ring 2 so as to extend downward by detecting the widened region.

制御部１０は、このようにしてＯリング２に異物が付着していると判定すると（ステップＳ５にて「ＹＥＳ」）、検査結果を否（検査対象のＯリング２に異物が付着している）と特定し（ステップＳ６）、一連の処理を終了する。一方、制御部１０は、Ｏリング２に異物が付着していないと判定すると（ステップＳ５にて「ＮＯ」）、Ｏリング２の裏面２ａの全周について検査したか否かを判定し（ステップＳ７）、Ｏリング２の裏面２ａの全周について検査していないと判定すると（ステップＳ７にて「ＮＯ」）、回転指令信号を吸着ヘッド回転機構１３へ出力し、吸着ヘッド１１を予め設定されている所定の回転方向へ所定の回転角度だけ吸着ヘッド回転機構１３により回転させることで（ステップＳ８）、Ｏリング２の裏面２ａにおける検査対象領域を回転させ、上記したステップＳ４に戻り、Ｓ４以降の処理を繰返して行う。即ち、制御部１０は、１回あたりの回転角度が「６０度」であれば、Ｓ４以降の処理を最大で６回行う。   If the control unit 10 determines in this way that foreign matter is attached to the O-ring 2 (“YES” in step S5), the inspection result is rejected (foreign matter is attached to the O-ring 2 to be inspected). ) (Step S6), and a series of processing ends. On the other hand, when determining that no foreign matter has adhered to the O-ring 2 (“NO” in step S5), the control unit 10 determines whether or not the entire circumference of the back surface 2a of the O-ring 2 has been inspected (step S5). S7) If it is determined that the entire circumference of the back surface 2a of the O-ring 2 has not been inspected ("NO" in step S7), a rotation command signal is output to the suction head rotating mechanism 13, and the suction head 11 is set in advance. By rotating the suction head rotating mechanism 13 in a predetermined rotation direction by a predetermined rotation angle (step S8), the inspection target area on the back surface 2a of the O-ring 2 is rotated, and the process returns to the above-described step S4. Repeat the above process. In other words, if the rotation angle per rotation is “60 degrees”, the control unit 10 performs the processing after S4 up to six times.

制御部１０は、Ｏリング２の裏面２ａの全周について検査したと判定すると（ステップＳ７にて「ＹＥＳ」）、撮影指令信号の裏面検査用撮影カメラ６への出力を停止し、Ｏリング２の裏面２ａの撮影を終了し（ステップＳ９）、照明指令信号の裏面検査用照明ライト５への出力を停止し、裏面検査用照明ライト５からの上方向への光の照射を終了する（ステップＳ１０）。制御部１０は、このようにしてＯリング２の裏面２ａについて異物が付着しているか否かを検査する。   When the control unit 10 determines that the entire circumference of the back surface 2a of the O-ring 2 has been inspected (“YES” in step S7), the control unit 10 stops the output of the imaging command signal to the back-side inspection imaging camera 6, and the O-ring 2 Is finished (step S9), the output of the illumination command signal to the back inspection light 5 is stopped, and the upward light irradiation from the back inspection illumination light 5 is ended (step S9). S10). In this way, the control unit 10 inspects whether or not foreign matter is attached to the back surface 2a of the O-ring 2.

次いで、制御部１０は、搬送指令信号を吸着ヘッド搬送機構１２へ出力し、裏面２ａの検査が終えられたＯリング２を吸着した吸着ヘッド１１を吸着ヘッド搬送機構１２により組付位置（図１では「Ｐ２」にて示す位置）へ移動させ、吸着破壊指令信号を吸着ヘッド１１へ出力し、吸着面部１１ａに吸着しているＯリング２を吸着面部１１ａからケース部材３の凹部３ａへ自然落下させる（吸着破壊する）。   Next, the control unit 10 outputs a transport command signal to the suction head transport mechanism 12, and the suction head transport mechanism 12 attaches the suction head 11 that sucks the O-ring 2 whose back surface 2a has been inspected (see FIG. 1). Then, the suction failure command signal is output to the suction head 11, and the O-ring 2 sucked on the suction surface portion 11 a is naturally dropped from the suction surface portion 11 a onto the recess 3 a of the case member 3. (Adsorption destruction)

次いで、制御部１０は、搬送指令信号をワーク搬送機構１４へ出力し、裏面２ａについて異物が付着しているか否かの検査が終えられたＯリング２が組付けられたケー部材３をワーク搬送機構１４により表面検査位置（図１では「Ｐ３」にて示す位置）へ移動させ、Ｏリング２の表面２ｂと平面部材７の平面７ａ（図１では下面）とが所定間隔（図１では「ｄ２」にて示す）を存して平行となるように配置する（ステップＳ１１）。ここでいう所定間隔も、上記した理由により、最小の異物を検出し得るように３００［μｍ］よりも小さい１０［μｍ］〜１００［μｍ］程度の範囲で決定する。   Next, the control unit 10 outputs a conveyance command signal to the workpiece conveyance mechanism 14, and conveys the case member 3 assembled with the O-ring 2 that has been inspected to determine whether or not foreign matter has adhered to the back surface 2 a. The mechanism 14 is moved to the surface inspection position (the position indicated by “P3” in FIG. 1), and the surface 2b of the O-ring 2 and the plane 7a (the lower surface in FIG. 1) of the flat member 7 are separated by a predetermined distance (in FIG. (shown by d2)) and arranged so as to be parallel (step S11). The predetermined interval here is also determined within a range of about 10 [μm] to 100 [μm] smaller than 300 [μm] so that the smallest foreign matter can be detected for the reason described above.

次いで、制御部１０は、照明指令信号を表面検査用照明ライト８へ出力し、表面検査用照明ライト８からの下方向への光の照射を開始し（ステップＳ１２）、撮影指令信号を表面検査用撮影カメラ９へ出力し、Ｏリング２の表面２ｂのうち表面検査用照明ライト８からの光が照射されている検査対象領域の撮影を開始する（ステップＳ１３）。次いで、制御部１０は、検査対象領域の撮影を開始したことに応じて、表面検査用撮影カメラ９から映像信号を入力すると、その入力した映像信号から映像を抽出して解析し（ステップＳ１４）、Ｏリング２に異物が付着しているか否かを判定する（ステップＳ１５）。   Next, the control unit 10 outputs an illumination command signal to the surface inspection illumination light 8, starts to irradiate light downward from the surface inspection illumination light 8 (step S12), and performs an imaging instruction signal on the surface inspection. Is output to the imaging camera 9, and imaging of the inspection target area irradiated with light from the surface inspection illumination light 8 in the surface 2b of the O-ring 2 is started (step S13). Next, when the video signal is input from the surface inspection imaging camera 9 in response to the start of imaging of the inspection target area, the control unit 10 extracts and analyzes the video from the input video signal (step S14). Then, it is determined whether foreign matter is attached to the O-ring 2 (step S15).

この場合も、制御部１０は、Ｏリング２の表面２ｂのエッジを背景色との相違により抽出し、Ｏリング２の表面２ｂの輪郭を検出した後に、Ｏリング２に異物が付着しているか否かを判定する。ここで、Ｏリング２の表面２ｂに異物が付着していれば、Ｏリング２と異物との間に段差が形成されるので、制御部１０は、その段差を検出することで、Ｏリング２の表面２ｂに異物が付着していると判定可能となる。又、Ｏリング２の側面２ｃに糸状の異物が上方へ延びるように（立上がるように）付着しており、その糸状の異物の長さがＯリング２の表面２ｂと平面部材７の平面７ａとの間の所定間隔よりも長ければ、その糸状の異物が平面部材７の平面７ａに接することで、その糸状の異物Ｂが撮影される領域が広げられるので、制御部１０は、その広げられた領域を検出することで、Ｏリング２に異物が上方へ延びるように付着していると判定可能となる。   Also in this case, the control unit 10 extracts the edge of the surface 2b of the O-ring 2 based on the difference from the background color, and detects foreign matter on the O-ring 2 after detecting the contour of the surface 2b of the O-ring 2. Determine whether or not. Here, if a foreign matter adheres to the surface 2b of the O-ring 2, a step is formed between the O-ring 2 and the foreign matter. Therefore, the control unit 10 detects the step to thereby detect the O-ring 2. It can be determined that foreign matter is attached to the surface 2b of the film. Further, thread-like foreign matter is attached to the side surface 2c of the O-ring 2 so as to extend upward (rise), and the length of the thread-like foreign matter is the surface 2b of the O-ring 2 and the flat surface 7a of the flat member 7. If this is longer than the predetermined interval, the region where the filamentous foreign matter B is photographed is expanded by the filamentous foreign matter coming into contact with the flat surface 7a of the flat member 7, so that the control unit 10 is expanded. By detecting this area, it can be determined that foreign matter is attached to the O-ring 2 so as to extend upward.

制御部１０は、このようにしてＯリング２に異物が付着していると判定すると（ステップＳ１５にて「ＹＥＳ」）、この場合も、検査結果を否と特定し（ステップＳ６）、一連の処理を終了する。一方、制御部１０は、Ｏリング２に異物が付着していないと判定すると（ステップＳ１５にて「ＮＯ」）、Ｏリング２の表面２ｂの全周について検査したか否かを判定し（ステップＳ１６）、Ｏリング２の表面２ｂの全周について検査していないと判定すると（ステップＳ１６にて「ＮＯ」）、回転指令信号をワーク回転機構１５へ出力し、ケース部材３を予め設定されている所定の回転方向へ所定の回転角度だけワーク回転機構１５により回転させ（ステップ１７）、上記したステップＳ１４に戻り、Ｓ１４以降の処理を繰返して行う。即ち、制御部１０は、１回あたりの回転角度が「６０度」であれば、Ｓ１４以降の処理を最大で６回行う。   When the control unit 10 determines that the foreign matter has adhered to the O-ring 2 in this way (“YES” in step S15), the control unit 10 also specifies the inspection result as “no” (step S6), and a series of steps. The process ends. On the other hand, when determining that no foreign matter is attached to the O-ring 2 (“NO” in step S15), the control unit 10 determines whether or not the entire circumference of the surface 2b of the O-ring 2 has been inspected (step S15). S16) If it is determined that the entire circumference of the surface 2b of the O-ring 2 has not been inspected ("NO" in step S16), a rotation command signal is output to the work rotation mechanism 15, and the case member 3 is set in advance. The workpiece rotation mechanism 15 rotates the workpiece in the predetermined rotation direction by a predetermined rotation angle (step 17), returns to the above step S14, and repeats the processing after S14. That is, if the rotation angle per rotation is “60 degrees”, the control unit 10 performs the processing from S14 onward six times at the maximum.

制御部１０は、Ｏリング２の表面２ｂの全周について検査したと判定すると（ステップＳ１６にて「ＹＥＳ」）、撮影指令信号の表面検査用撮影カメラ９への出力を停止し、Ｏリング２の表面２ｂの撮影を終了し（ステップＳ１８）、照明指令信号の表面検査用照明ライト８への出力を停止し、表面検査用照明ライト８からの下方向への光の照射を終了する（ステップＳ１９）。制御部１０は、このようにしてＯリング２の表面２ｂについて異物が付着しているか否かを検査する。そして、制御部１０は、Ｏリング２の裏面２ａ及び表面２ｂの双方について異物が付着していないと判定すると、検査結果を正（検査対象のＯリング２に異物が付着していない）と特定し（ステップＳ２０）、一連の処理を終了する。尚、検査結果が正と特定されたＯリング２は次の工程へと進められる。   If the control unit 10 determines that the entire circumference of the surface 2b of the O-ring 2 has been inspected (“YES” in step S16), the control unit 10 stops outputting the imaging command signal to the imaging camera 9 for surface inspection, and the O-ring 2 Is finished (step S18), the output of the illumination command signal to the surface inspection illumination light 8 is stopped, and the downward light irradiation from the surface inspection illumination light 8 is terminated (step S18). S19). In this way, the control unit 10 inspects whether or not foreign matter is attached to the surface 2b of the O-ring 2. When the control unit 10 determines that no foreign matter is attached to both the back surface 2a and the front surface 2b of the O-ring 2, the inspection result is identified as positive (no foreign matter is attached to the O-ring 2 to be inspected). (Step S20), and a series of processing is terminated. The O-ring 2 whose inspection result is specified as positive is advanced to the next process.

以上に説明したように本実施形態によれば、Ｏリング２の裏面２ａを検査する際に、Ｏリング２の裏面２ａと平面部材４の平面４ａとが所定間隔を存して平行となるように配置し、Ｏリング２の裏面２ａに対して垂直な方向からＯリング２の裏面２ａを撮影し、その撮影した映像を解析してＯリング２に異物が付着しているか否かを検査するようにしたので、たとえ異物がＯリング２の裏面２ａに付着していたとしても、その異物がＯリング２に埋もれてしまうことがなく、Ｏリング２の裏面２ａに付着している異物を適切に検出することができる。又、たとえ糸状の異物が下方向へ延びるように付着していたとしても、その糸状の異物が平面部材４の平面４ａに接することで、その糸状の異物が撮影される領域を広げて糸状の異物を撮影することができ、Ｏリング２に下方向へ延びるように付着している糸状の異物を適切に検出することができる。Ｏリング２の表面２ｂを検査する際も、同様にして、Ｏリング２の表面２ｂに付着している異物を適切に検出することができ、Ｏリング２に上方向へ延びるように付着している糸状の異物を適切に検出することができる。又、Ｏリング２の裏面２ａ及び表面２ｂに対して垂直な方向（Ｏリング２の軸方向）から撮影することで、Ｏリング２の裏面２ａ及び表面２ｂに対して平行な方向（Ｏリング２の径方向）から撮影することなく、下方向又は上方向へ延びるように付着している糸状の異物を検出することができる。   As described above, according to the present embodiment, when the back surface 2a of the O-ring 2 is inspected, the back surface 2a of the O-ring 2 and the flat surface 4a of the planar member 4 are parallel to each other with a predetermined interval. The back surface 2a of the O-ring 2 is photographed from a direction perpendicular to the back surface 2a of the O-ring 2, and the photographed image is analyzed to inspect whether foreign matter is attached to the O-ring 2 or not. As a result, even if foreign matter is attached to the back surface 2a of the O-ring 2, the foreign matter is not buried in the O-ring 2, and the foreign matter attached to the back surface 2a of the O-ring 2 is appropriately Can be detected. Further, even if the thread-like foreign matter adheres so as to extend downward, the thread-like foreign matter contacts the flat surface 4a of the flat member 4 to widen the area where the thread-like foreign matter is photographed and The foreign object can be photographed, and the thread-shaped foreign object attached to the O-ring 2 so as to extend downward can be detected appropriately. Similarly, when inspecting the surface 2b of the O-ring 2, foreign matter adhering to the surface 2b of the O-ring 2 can be properly detected and attached to the O-ring 2 so as to extend upward. It is possible to appropriately detect the thread-like foreign matter. Further, by photographing from the direction perpendicular to the back surface 2a and the front surface 2b of the O-ring 2 (the axial direction of the O-ring 2), the direction parallel to the back surface 2a and the front surface 2b of the O-ring 2 (O-ring 2). The thread-like foreign matter attached so as to extend downward or upward can be detected without photographing from the radial direction).

本発明は、上記した実施形態にのみ限定されるものではなく、以下のように変形又は拡張することができる。
Ｏリング２を部分的に撮影して映像を解析することに限らず、Ｏリング２の全周を一度に撮影して映像を解析するようにしても良い。
検査対象である弾性材料からなるシール部材としては、円環状で且つ断面が円形状に形成されているＯリング２に限らず、どのような形状の部材であっても良い。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be modified or expanded as follows.
The video is not limited to analyzing the video by partially shooting the O-ring 2, but the video may be analyzed by shooting the entire circumference of the O-ring 2 at once.
The sealing member made of an elastic material to be inspected is not limited to the O-ring 2 having an annular shape and a circular cross section, and may be any shape member.

図面中、１はＯリング検査装置（弾性材料からなるシール部材の検査装置）、２はＯリング（弾性材料からなるシール部材）、２ａは裏面（シール面）、２ｂは表面（シール面）、４は平面部材、４ａは平面、６は裏面検査用撮影カメラ（撮影手段）、７は平面部材、７ａは平面、９は裏面検査用撮影カメラ（撮影手段）、１０は制御部（映像解析手段、検査手段）、１２は吸着ヘッド搬送機構（配置手段）、１４はワーク搬送機構（配置手段）である。   In the drawings, 1 is an O-ring inspection device (an inspection device for a sealing member made of an elastic material), 2 is an O-ring (a sealing member made of an elastic material), 2a is a back surface (seal surface), 2b is a surface (seal surface), 4 is a plane member, 4a is a plane, 6 is a back surface inspection camera (photographing means), 7 is a plane member, 7a is flat, 9 is a back surface inspection camera (photographing means), and 10 is a control unit (image analysis means). , Inspection means), 12 is a suction head conveying mechanism (arranging means), and 14 is a workpiece conveying mechanism (arranging means).

Claims (4)

弾性材料からなるシール部材（２）と透明材料からなる平面部材（４，７）とを、前記シール部材（２）のシール面（２ａ，２ｂ）と前記平面部材（４，７）の平面（４ａ，７ａ）とが所定間隔を存して平行となるように配置し、当該シール部材（２）のシール面（２ａ，２ｂ）に対して垂直な方向から当該シール部材（２）のシール面（２ａ，２ｂ）を当該平面部材（４，７）を通して撮影し、その撮影した映像を解析して当該シール部材（２）に異物が付着しているか否かを検査することを特徴とする弾性材料からなるシール部材の検査方法。   A sealing member (2) made of an elastic material and a planar member (4, 7) made of a transparent material are connected to a sealing surface (2a, 2b) of the sealing member (2) and a flat surface of the planar member (4, 7) ( 4a, 7a) are arranged so as to be parallel to each other at a predetermined interval, and the sealing surface of the sealing member (2) from a direction perpendicular to the sealing surface (2a, 2b) of the sealing member (2) The elasticity characterized in that (2a, 2b) is photographed through the planar member (4, 7), and the photographed image is analyzed to inspect whether or not foreign matter is attached to the seal member (2). Inspection method for seal member made of material. 透明材料からなる平面部材（４，７）と、
弾性材料からなるシール部材（２）と前記平面部材（４，７）とを、前記シール部材（２）のシール面（２ａ，２ｂ）と前記平面部材（４，７）の平面（４ａ，７ａ）とが所定間隔を存して平行に配置する配置手段（１２，１４）と、
前記シール部材（２）のシール面（２ａ，２ｂ）に対して垂直な方向から当該シール部材（２）のシール面（２ａ，２ｂ）を前記平面部材（４，７）を通して撮影する撮影手段（６，９）と、
前記撮影手段（６，９）により撮影された映像を解析する映像解析手段（１０）と、
前記映像解析手段（１０）の解析結果に基づいて前記シール部材（２）に異物が付着しているか否かを検査する検査手段（１０）と、を備えたことを特徴とする弾性材料からなるシール部材の検査装置。 A planar member (4, 7) made of a transparent material;
The sealing member (2) made of an elastic material and the planar member (4, 7) are connected to the sealing surface (2a, 2b) of the sealing member (2) and the planar surface (4a, 7a) of the planar member (4, 7). ) Are arranged in parallel at a predetermined interval, and (12, 14),
Imaging means for photographing the seal surface (2a, 2b) of the seal member (2) through the planar member (4, 7) from a direction perpendicular to the seal surface (2a, 2b) of the seal member (2). 6, 9)
Video analysis means (10) for analyzing the video imaged by the imaging means (6, 9);
And an inspection means (10) for inspecting whether or not a foreign substance is attached to the seal member (2) based on an analysis result of the image analysis means (10). Inspection device for seal members. 前記シール部材（２）は、環状に形成されており、
前記検査手段（１０）は、環状に形成されている前記シール部材（２）に異物が付着しているか否かを検査することを特徴とする請求項２に記載した弾性材料からなるシール部材の検査装置。 The sealing member (2) is formed in an annular shape,
The said inspection means (10) test | inspects whether the foreign material has adhered to the said sealing member (2) currently formed cyclically | annularly, The sealing member of the elastic material of Claim 2 characterized by the above-mentioned. Inspection device. 前記シール部材（２）は、断面が円形状に形成されており、
前記検査手段（１０）は、断面が円形状に形成されている前記シール部材（２）に異物が付着しているか否かを検査することを特徴とする請求項３に記載した弾性材料からなるシール部材の検査装置。 The sealing member (2) has a circular cross section,
The said test | inspection means (10) test | inspects whether the foreign material has adhered to the said sealing member (2) by which the cross section is formed circularly, It consists of the elastic material described in Claim 3 characterized by the above-mentioned. Inspection device for seal members.
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