JP2012151243A - Multilayer ceramic substrate - Google Patents

Multilayer ceramic substrate Download PDF

Info

Publication number
JP2012151243A
JP2012151243A JP2011008141A JP2011008141A JP2012151243A JP 2012151243 A JP2012151243 A JP 2012151243A JP 2011008141 A JP2011008141 A JP 2011008141A JP 2011008141 A JP2011008141 A JP 2011008141A JP 2012151243 A JP2012151243 A JP 2012151243A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic substrate
multilayer ceramic
groove
groove portion
external electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2011008141A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshito Otsubo
喜人 大坪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2011008141A priority Critical patent/JP2012151243A/en
Publication of JP2012151243A publication Critical patent/JP2012151243A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multilayer ceramic substrate that does not damage even if stress occurs and can prevent variation in electrical characteristics.SOLUTION: A multilayer ceramic substrate 10 comprises: a base material layer 1 composed of ceramic; a surface electrode layer 2 that is stacked on one surface of the base material layer 1 and in which surface electrodes 20 for mounting a plurality of electronic components 40 and 50 are formed; and an external electrode layer 3 that is stacked on the other surface of the base material layer 1 and in which external electrodes 30 for connecting another substrate are formed. A groove 4 is formed on the surface on which the external electrodes 30 of the external electrode layer 3 are formed. The groove 4 is formed so as to cross between two opposite sides of the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 10.

Description

本発明は、他の基板と接続するための外部電極を形成してある外部電極層を有する多層セラミック基板に関する。   The present invention relates to a multilayer ceramic substrate having an external electrode layer on which external electrodes for connecting to other substrates are formed.

特許文献1に開示してある多層セラミック基板は、フェライトセラミックからなる基材層と、基材層の少なくとも一方の面上に配置され、フェライトセラミックからなる表面層と、表面層の外方に向く一方の面上に形成される表面導体膜とを備えている。図11は、従来の多層セラミック基板の構成を示す概略図である。図11に示す多層セラミック基板100は、表面層101の外方に向く一方の面上に形成される表面導体膜102には、ハンダを介してICチップ、チップコンデンサ等の電子部品103が電気的に接続されている。また、表面層110の外方に向く一方の面上に形成される表面導体膜111は、図示していない実装基板(他の基板)に実装するための端子電極として用いられる。図12は、従来の多層セラミック基板の表面導体膜111の配置を示す平面図である。図12に示すように、表面導体膜111は、表面層110の外方に向く一方の面上に格子状に複数配置されている。   The multilayer ceramic substrate disclosed in Patent Document 1 is provided with a base material layer made of ferrite ceramic, a surface layer made of ferrite ceramic disposed on at least one surface of the base material layer, and facing outward of the surface layer. And a surface conductor film formed on one surface. FIG. 11 is a schematic view showing a configuration of a conventional multilayer ceramic substrate. In the multilayer ceramic substrate 100 shown in FIG. 11, an electronic component 103 such as an IC chip or a chip capacitor is electrically connected to a surface conductor film 102 formed on one surface of the surface layer 101 facing outward. It is connected to the. Further, the surface conductor film 111 formed on one surface of the surface layer 110 facing outward is used as a terminal electrode for mounting on a mounting substrate (another substrate) not shown. FIG. 12 is a plan view showing the arrangement of the surface conductor film 111 of the conventional multilayer ceramic substrate. As shown in FIG. 12, a plurality of surface conductor films 111 are arranged in a lattice pattern on one surface of the surface layer 110 facing outward.

国際公開第2007/148556号International Publication No. 2007/148556

多層セラミック基板は、実装基板に実装した状態で用いられる。しかし、実装基板は、多層セラミック基板より柔らかい樹脂基板等であることが多く、撓み、反り等の変形が多層セラミック基板に比べて生じやすい。実装基板に変形が生じた場合、実装基板に実装してある多層セラミック基板に応力が生じる。多層セラミック基板は、実装基板に比べて変形が小さいので、大きな応力が生じた場合、実装基板に実装する多層セラミック基板の一部が破損したり、多層セラミック基板自体が破損したりするという問題があった。   The multilayer ceramic substrate is used in a state of being mounted on a mounting substrate. However, the mounting substrate is often a softer resin substrate or the like than the multilayer ceramic substrate, and deformation such as bending and warping is likely to occur compared to the multilayer ceramic substrate. When the mounting substrate is deformed, stress is generated on the multilayer ceramic substrate mounted on the mounting substrate. Since the multilayer ceramic substrate is less deformed than the mounting substrate, there is a problem that when a large stress occurs, a part of the multilayer ceramic substrate mounted on the mounting substrate is damaged or the multilayer ceramic substrate itself is damaged. there were.

また、生じた応力が、実装基板に実装する多層セラミック基板の一部が破損しない程度の応力であっても、多層セラミック基板は変形が小さいので、多層セラミック基板の内部に応力が生じやすく、多層セラミック基板の電気特性が大きく変動するという問題があった。特に、基材層がフェライトセラミックからなる多層セラミック基板の場合、内部に応力が生じた場合には多層セラミック基板の電気特性が大きく変動する。   Even if the generated stress is such that a part of the multilayer ceramic substrate mounted on the mounting substrate is not damaged, the multilayer ceramic substrate is less deformed, so that stress is easily generated inside the multilayer ceramic substrate. There was a problem that the electrical characteristics of the ceramic substrate fluctuated greatly. In particular, when the base material layer is a multilayer ceramic substrate made of a ferrite ceramic, the electrical characteristics of the multilayer ceramic substrate greatly fluctuate when stress is generated inside.

本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、応力が生じた場合であっても破損することがなく、電気特性の変動を抑えることができる多層セラミック基板を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a multilayer ceramic substrate that is not damaged even when stress is generated and that can suppress fluctuations in electrical characteristics. .

上記目的を達成するために第1発明に係る多層セラミック基板は、セラミックからなる基材層と、該基材層の一方の面に積層され、複数の電子部品を実装するための表面電極が形成してある表面電極層と、前記基材層の他方の面に積層され、他の基板と接続するための外部電極が形成してある外部電極層とを備える多層セラミック基板において、前記表面電極層の前記表面電極が形成してある面と、前記外部電極層の前記外部電極が形成してある面との少なくとも一方に、溝部が形成され、該溝部は、前記多層セラミック基板の外周辺の対向する二辺間を渡るように形成されている。   In order to achieve the above object, a multilayer ceramic substrate according to the first invention comprises a base material layer made of ceramic and a surface electrode for mounting a plurality of electronic components formed on one surface of the base material layer. A multi-layer ceramic substrate comprising: a surface electrode layer; and an external electrode layer laminated on the other surface of the base material layer and having an external electrode connected to another substrate. A groove is formed on at least one of the surface of the external electrode layer and the surface of the external electrode layer on which the external electrode is formed, and the groove is opposed to the outer periphery of the multilayer ceramic substrate. It is formed so as to cross between two sides.

第1発明では、表面電極層の表面電極が形成してある面と、外部電極層の外部電極が形成してある面との少なくとも一方に、溝部が形成され、溝部は、多層セラミック基板の外周辺の対向する二辺間を渡るように形成されているので、溝部の長手方向に対して直交する方向に多層セラミック基板を変形しやすくすることができる。多層セラミック基板を変形しやすくすることで、多層セラミック基板に応力が生じた場合の破損を防ぎ、多層セラミック基板の内部に生じる応力を緩和して、多層セラミック基板の電気特性の変動を抑えることができる。   In the first invention, a groove is formed on at least one of the surface of the surface electrode layer on which the surface electrode is formed and the surface of the external electrode layer on which the external electrode is formed. The multilayer ceramic substrate can be easily deformed in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the groove portion because it is formed so as to cross between two opposing sides on the periphery. By making the multi-layer ceramic substrate easier to deform, it is possible to prevent damage when stress occurs in the multi-layer ceramic substrate, relieve stress generated inside the multi-layer ceramic substrate, and suppress fluctuations in the electrical characteristics of the multi-layer ceramic substrate. it can.

また、第2発明に係る多層セラミック基板は、第1発明において、前記表面電極層の前記表面電極が形成してある面と、前記外部電極層の前記外部電極が形成してある面との少なくとも一方に、前記溝部として、第1溝部と、該第1溝部と直交する第2溝部とが形成されている。   The multilayer ceramic substrate according to a second invention is the multilayer ceramic substrate according to the first invention, wherein at least a surface of the surface electrode layer on which the surface electrode is formed and a surface of the external electrode layer on which the external electrode is formed. On the other hand, as the groove portion, a first groove portion and a second groove portion orthogonal to the first groove portion are formed.

第2発明では、表面電極層の表面電極が形成してある面と、外部電極層の外部電極が形成してある面との少なくとも一方に、溝部として、第1溝部と、第1溝部と直交する第2溝部とが形成されているので、直交する二方向に多層セラミック基板を変形しやすくすることができる。   In the second aspect of the invention, the first groove and the first groove are orthogonal to at least one of the surface of the surface electrode layer on which the surface electrode is formed and the surface of the external electrode layer on which the external electrode is formed. Since the second groove portion to be formed is formed, the multilayer ceramic substrate can be easily deformed in two orthogonal directions.

また、第3発明に係る多層セラミック基板は、第1又は第2発明において、前記溝部に樹脂が充填してある。   A multilayer ceramic substrate according to a third aspect of the present invention is the first or second aspect, wherein the groove is filled with a resin.

第3発明では、溝部に樹脂が充填してあるので、溝部に樹脂を充填していない場合に比べて、多層セラミック基板の内部に生じる応力を緩和することができ、多層セラミック基板の電気特性の変動を抑えることができる。   In the third aspect of the invention, since the groove is filled with resin, the stress generated in the multilayer ceramic substrate can be relaxed compared to the case where the groove is not filled with resin, and the electrical characteristics of the multilayer ceramic substrate are reduced. Variation can be suppressed.

上記目的を達成するために第4発明に係る多層セラミック基板は、セラミックからなる基材層と、該基材層の一方の面に積層され、複数の電子部品を実装するための表面電極が形成してある表面電極層と、前記基材層の他方の面に積層され、他の基板と接続するための外部電極が形成してある外部電極層とを備える多層セラミック基板において、前記表面電極層の前記表面電極が形成してある面と、前記外部電極層の前記外部電極が形成してある面との少なくとも一方に、第3溝部と第4溝部とが形成され、前記第3溝部が、前記多層セラミック基板の外周辺から形成され、前記第4溝部が、前記第3溝部が形成された前記多層セラミック基板の外周辺と対向する前記多層セラミック基板の外周辺から形成されている。   In order to achieve the above object, a multilayer ceramic substrate according to a fourth aspect of the present invention includes a base material layer made of ceramic and a surface electrode for mounting a plurality of electronic components formed on one surface of the base material layer. A multi-layer ceramic substrate comprising: a surface electrode layer; and an external electrode layer laminated on the other surface of the base material layer and having an external electrode connected to another substrate. A third groove portion and a fourth groove portion are formed on at least one of the surface on which the surface electrode is formed and the surface on which the external electrode is formed on the external electrode layer, and the third groove portion is It is formed from the outer periphery of the multilayer ceramic substrate, and the fourth groove is formed from the outer periphery of the multilayer ceramic substrate facing the outer periphery of the multilayer ceramic substrate in which the third groove is formed.

第4発明では、表面電極層の表面電極が形成してある面と、外部電極層の外部電極が形成してある面との少なくとも一方に、第3溝部と第4溝部とが形成され、第3溝部が、多層セラミック基板の外周辺から形成され、第4溝部が、第3溝部が形成された多層セラミック基板の外周辺と対向する多層セラミック基板の外周辺から形成されているので、多層セラミック基板の外周辺の対向する二辺間を渡る直線上に、第3溝部及び第4溝部が形成され、第3溝部及び第4溝部の長手方向に対して直交する方向に多層セラミック基板を変形しやすくすることができる。多層セラミック基板を変形しやすくすることで、多層セラミック基板に応力が生じた場合の破損を防ぎ、多層セラミック基板の内部に生じる応力を緩和して、多層セラミック基板の電気特性の変動を抑えることができる。   In the fourth invention, the third groove portion and the fourth groove portion are formed on at least one of the surface of the surface electrode layer on which the surface electrode is formed and the surface of the external electrode layer on which the external electrode is formed. The three groove portions are formed from the outer periphery of the multilayer ceramic substrate, and the fourth groove portion is formed from the outer periphery of the multilayer ceramic substrate facing the outer periphery of the multilayer ceramic substrate in which the third groove portion is formed. A third groove portion and a fourth groove portion are formed on a straight line extending between two opposing sides on the outer periphery of the substrate, and the multilayer ceramic substrate is deformed in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the third groove portion and the fourth groove portion. It can be made easier. By making the multi-layer ceramic substrate easier to deform, it is possible to prevent damage when stress occurs in the multi-layer ceramic substrate, relieve stress generated inside the multi-layer ceramic substrate, and suppress fluctuations in the electrical characteristics of the multi-layer ceramic substrate. it can.

また、第5発明に係る多層セラミック基板は、第4発明において、前記第3溝部が前記表面電極層の前記表面電極が形成してある面に形成され、前記第4溝部が前記外部電極層の前記外部電極が形成してある面に形成されている。   The multilayer ceramic substrate according to a fifth aspect of the present invention is the multilayer ceramic substrate according to the fourth aspect, wherein the third groove portion is formed on a surface of the surface electrode layer on which the surface electrode is formed, and the fourth groove portion is formed on the external electrode layer. It is formed on the surface on which the external electrode is formed.

第5発明では、第3溝部が表面電極層の表面電極が形成してある面に形成され、第4溝部が外部電極層の外部電極が形成してある面に形成されており、同じ面には形成されていない。多層セラミック基板の同じ面に第3溝部と第4溝部とが形成されていない場合であっても、多層セラミック基板に応力が生じた場合の破損を防ぎ、多層セラミック基板の内部に生じる応力を緩和して、多層セラミック基板の電気特性の変動を抑えることができる。   In the fifth invention, the third groove is formed on the surface where the surface electrode of the surface electrode layer is formed, and the fourth groove is formed on the surface where the external electrode of the external electrode layer is formed. Is not formed. Even when the third groove and the fourth groove are not formed on the same surface of the multilayer ceramic substrate, the multilayer ceramic substrate is prevented from being damaged when stress is generated, and the stress generated in the multilayer ceramic substrate is reduced. Thus, fluctuations in the electrical characteristics of the multilayer ceramic substrate can be suppressed.

また、第6発明に係る多層セラミック基板は、第4又は第5発明において、一対の前記第3溝部及び前記第4溝部が、前記表面電極層の前記表面電極が形成してある面、又は前記外部電極層の前記外部電極が形成してある面に複数形成されている。   The multilayer ceramic substrate according to a sixth aspect of the present invention is the multilayer ceramic substrate according to the fourth or fifth aspect, wherein the pair of the third groove portion and the fourth groove portion are the surfaces on which the surface electrodes of the surface electrode layer are formed, or A plurality of external electrode layers are formed on the surface on which the external electrodes are formed.

第6発明では、一対の第3溝部及び第4溝部が、表面電極層の表面電極が形成してある面、又は外部電極層の外部電極が形成してある面に複数形成されているので、多層セラミック基板の内部に生じる応力をより緩和して、多層セラミック基板の電気特性の変動を抑えることができる。   In the sixth invention, a plurality of pairs of the third groove portion and the fourth groove portion are formed on the surface on which the surface electrode of the surface electrode layer is formed or on the surface on which the external electrode of the external electrode layer is formed. It is possible to further relax the stress generated inside the multilayer ceramic substrate and suppress the fluctuation of the electrical characteristics of the multilayer ceramic substrate.

また、第7発明に係る多層セラミック基板は、第4乃至第6発明のいずれか一つにおいて、前記第3溝部及び前記第4溝部に樹脂が充填してある。   A multilayer ceramic substrate according to a seventh aspect of the present invention is the multilayer ceramic substrate according to any one of the fourth to sixth aspects, wherein the third groove portion and the fourth groove portion are filled with resin.

第7発明では、溝部に樹脂を充填していない場合に比べて、多層セラミック基板の内部に生じる応力を緩和することができ、多層セラミック基板の電気特性の変動を抑えることができる。   In the seventh invention, compared to the case where the groove is not filled with resin, the stress generated in the multilayer ceramic substrate can be relaxed, and the fluctuation of the electrical characteristics of the multilayer ceramic substrate can be suppressed.

また、第8発明に係る多層セラミック基板は、第1乃至第7発明のいずれか一つにおいて、前記基材層は、フェライトセラミックからなる。   The multilayer ceramic substrate according to an eighth aspect of the present invention is the multilayer ceramic substrate according to any one of the first to seventh aspects, wherein the base material layer is made of a ferrite ceramic.

第8発明では、基材層にフェライトセラミックを用いる場合であっても、多層セラミック基板の内部に生じる応力を緩和することができ、多層セラミック基板の電気特性の変動を抑えることができる。   In the eighth invention, even when a ferrite ceramic is used for the base material layer, the stress generated in the multilayer ceramic substrate can be relaxed, and fluctuations in the electrical characteristics of the multilayer ceramic substrate can be suppressed.

上記構成によれば、表面電極層の表面電極が形成してある面、又は外部電極層の外部電極が形成してある面に、少なくとも一つの溝部が形成され、溝部は、多層セラミック基板の外周辺の対向する二辺間を渡るように形成されているので、溝部の長手方向に対して直交する方向に多層セラミック基板を変形しやすくすることができる。多層セラミック基板を変形しやすくすることで、多層セラミック基板に応力が生じた場合の破損を防ぎ、多層セラミック基板の内部に生じる応力を緩和して、多層セラミック基板の電気特性の変動を抑えることができる。   According to the above configuration, at least one groove is formed on the surface of the surface electrode layer on which the surface electrode is formed or on the surface of the external electrode layer on which the external electrode is formed, and the groove is formed on the outer surface of the multilayer ceramic substrate. The multilayer ceramic substrate can be easily deformed in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the groove portion because it is formed so as to cross between two opposing sides on the periphery. By making the multi-layer ceramic substrate easier to deform, it is possible to prevent damage when stress occurs in the multi-layer ceramic substrate, relieve stress generated inside the multi-layer ceramic substrate, and suppress fluctuations in the electrical characteristics of the multi-layer ceramic substrate. it can.

また、上記別の構成によれば、表面電極層の表面電極が形成してある面、又は外部電極層の外部電極が形成してある面に、第3溝部と第4溝部とが形成され、第3溝部が、多層セラミック基板の外周辺から形成され、第4溝部が、第3溝部が形成された多層セラミック基板の外周辺と対向する多層セラミック基板の外周辺から形成されているので、多層セラミック基板の外周辺の対向する二辺間を渡る直線上に、第3溝部及び第4溝部が形成され、第3溝部及び第4溝部の長手方向に対して直交する方向に多層セラミック基板を変形しやすくすることができる。多層セラミック基板を変形しやすくすることで、多層セラミック基板に応力が生じた場合の破損を防ぎ、多層セラミック基板の内部に生じる応力を緩和して、多層セラミック基板の電気特性の変動を抑えることができる。   Further, according to the another configuration, the third groove portion and the fourth groove portion are formed on the surface of the surface electrode layer on which the surface electrode is formed or on the surface of the external electrode layer on which the external electrode is formed. The third groove portion is formed from the outer periphery of the multilayer ceramic substrate, and the fourth groove portion is formed from the outer periphery of the multilayer ceramic substrate facing the outer periphery of the multilayer ceramic substrate in which the third groove portion is formed. The third groove portion and the fourth groove portion are formed on a straight line extending between two opposing sides on the outer periphery of the ceramic substrate, and the multilayer ceramic substrate is deformed in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the third groove portion and the fourth groove portion. Can be easier. By making the multi-layer ceramic substrate easier to deform, it is possible to prevent damage when stress occurs in the multi-layer ceramic substrate, relieve stress generated inside the multi-layer ceramic substrate, and suppress fluctuations in the electrical characteristics of the multi-layer ceramic substrate. it can.

本発明の実施の形態1に係る多層セラミック基板の構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the multilayer ceramic substrate which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る多層セラミック基板の下面に形成してある溝部の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the groove part currently formed in the lower surface of the multilayer ceramic substrate which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る多層セラミック基板の下面に形成してある溝部の別の構成を示す平面図である。It is a top view which shows another structure of the groove part currently formed in the lower surface of the multilayer ceramic substrate which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る多層セラミック基板の下面に形成してある溝部の別の構成を示す平面図である。It is a top view which shows another structure of the groove part currently formed in the lower surface of the multilayer ceramic substrate which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る多層セラミック基板の下面に形成してある溝部の別の構成を示す平面図である。It is a top view which shows another structure of the groove part currently formed in the lower surface of the multilayer ceramic substrate which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係る多層セラミック基板の下面に形成してある複数の溝部の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the several groove part currently formed in the lower surface of the multilayer ceramic substrate which concerns on Embodiment 1 of this invention. 下面の中央部に溝部を形成した従来の多層セラミック基板の外部電極の配置を示す平面図である。It is a top view which shows arrangement | positioning of the external electrode of the conventional multilayer ceramic substrate which formed the groove part in the center part of the lower surface. 本発明の実施の形態2に係る多層セラミック基板の構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the multilayer ceramic substrate which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態3に係る多層セラミック基板の下面に形成してある第1溝部及び第2溝部の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the 1st groove part and 2nd groove part which are formed in the lower surface of the multilayer ceramic substrate which concerns on Embodiment 3 of this invention. 本発明の実施の形態3に係る多層セラミック基板の上面に形成してある第1溝部及び下面に形成してある第2溝部の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the 1st groove part currently formed in the upper surface of the multilayer ceramic substrate which concerns on Embodiment 3 of this invention, and the 2nd groove part currently formed in the lower surface. 従来の多層セラミック基板の構成を示す概略図である。It is the schematic which shows the structure of the conventional multilayer ceramic substrate. 従来の多層セラミック基板の表面導体膜の配置を示す平面図である。It is a top view which shows arrangement | positioning of the surface conductor film of the conventional multilayer ceramic substrate.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に係る多層セラミック基板の構成を示す概略図である。図1に示すように、多層セラミック基板10は、セラミックからなる基材層1、基材層1の上面(一方の面)に積層され、複数の電子部品40、50を実装するための表面電極20が形成してある表面電極層2、基材層1の下面(他方の面)に積層され、図示していない実装基板(他の基板)と接続するための外部電極30が形成してある外部電極層3を備えている。さらに、多層セラミック基板10は、外部電極層3の外部電極30が形成してある面(多層セラミック基板10の下面)に、溝部4が形成されている。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic diagram showing a configuration of a multilayer ceramic substrate according to Embodiment 1 of the present invention. As shown in FIG. 1, a multilayer ceramic substrate 10 is laminated on a base material layer 1 made of ceramic, and an upper surface (one surface) of the base material layer 1, and a surface electrode for mounting a plurality of electronic components 40, 50 20 is formed on the lower surface (the other surface) of the surface electrode layer 2 and the base material layer 1, and an external electrode 30 for connecting to a mounting substrate (other substrate) (not shown) is formed. An external electrode layer 3 is provided. Further, the multilayer ceramic substrate 10 has the groove 4 formed on the surface of the external electrode layer 3 on which the external electrode 30 is formed (the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10).

図2は、本発明の実施の形態1に係る多層セラミック基板10の下面に形成してある溝部4の構成を示す平面図である。図2に示すように、溝部4は、多層セラミック基板10の外周辺の対向する二辺間を渡るように形成されている。つまり、多層セラミック基板10の下面には、多層セラミック基板10の両端に渡る溝部4が形成されている。多層セラミック基板10の下面に溝部4を形成してあることで、溝部4の長手方向に対して直交する方向に多層セラミック基板10を変形しやすくすることができる。なお、多層セラミック基板10の下面に形成した溝部4は、外部電極30、内部導体膜等の配置により幅及び深さが制限される。   FIG. 2 is a plan view showing a configuration of the groove 4 formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10 according to Embodiment 1 of the present invention. As shown in FIG. 2, the groove 4 is formed so as to cross between two opposing sides on the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 10. That is, the groove 4 is formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10 across both ends of the multilayer ceramic substrate 10. By forming the groove 4 on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10, the multilayer ceramic substrate 10 can be easily deformed in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the groove 4. The width and depth of the groove 4 formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10 are limited by the arrangement of the external electrode 30 and the internal conductor film.

次に、多層セラミック基板10の製造方法について説明する。まず、基材層1となるセラミックグリーンシートを形成する。基材層1を構成するフェライトセラミックの原料粉末として、酸化第二鉄(Fe2 3 )、酸化亜鉛(ZnO)、酸化ニッケル(NiO)及び酸化銅(CuO)を所定の比率で調合することで、例えば1MHzでの比透磁率が150となるフェライトセラミックを得ることができる。フェライトセラミックの原料粉末に、バインダ、可塑剤、湿潤剤、分散剤等を加えてスラリー化し、シート状に成形してセラミックグリーンシートを形成する。 Next, a method for manufacturing the multilayer ceramic substrate 10 will be described. First, the ceramic green sheet used as the base material layer 1 is formed. Prepare ferric oxide (Fe 2 O 3 ), zinc oxide (ZnO), nickel oxide (NiO), and copper oxide (CuO) at a predetermined ratio as the raw material powder of the ferrite ceramic constituting the base material layer 1. Thus, for example, a ferrite ceramic having a relative permeability of 150 at 1 MHz can be obtained. A binder, plasticizer, wetting agent, dispersant and the like are added to the ferrite ceramic raw material powder to form a slurry, which is then formed into a sheet to form a ceramic green sheet.

次に、特定のセラミックグリーンシートに貫通孔を形成し、貫通孔に導電性ペーストを充填することで、未焼結の層間接続導体が形成され、特定のセラミックグリーンシート上に導電性ペーストを印刷することで、未焼結の内部導体膜及び表面導体膜が形成される。内部導体膜、表面導体膜及び層間接続導体を形成する導電性ペーストには、導電性金属として、銀又は銀/パラジウムが主成分として含まれていることが好ましい。   Next, by forming a through hole in a specific ceramic green sheet and filling the through hole with a conductive paste, an unsintered interlayer connection conductor is formed, and the conductive paste is printed on the specific ceramic green sheet By doing so, an unsintered inner conductor film and a surface conductor film are formed. The conductive paste forming the inner conductor film, the surface conductor film and the interlayer connection conductor preferably contains silver or silver / palladium as a main component as a conductive metal.

また、表面電極層2も、セラミックグリーンシートに貫通孔を形成し、貫通孔に導電性ペーストを充填することで、未焼結の層間接続導体が形成され、セラミックグリーンシート上に導電性ペーストを印刷することで、未焼結の表面電極が形成される。さらに、外部電極層3も、セラミックグリーンシートに貫通孔を形成し、貫通孔に導電性ペーストを充填することで、未焼結の層間接続導体が形成され、セラミックグリーンシート上に導電性ペーストを印刷することで、未焼結の外部電極が形成される。   The surface electrode layer 2 also has a through hole formed in the ceramic green sheet, and a conductive paste is filled in the through hole, whereby an unsintered interlayer connection conductor is formed, and the conductive paste is applied on the ceramic green sheet. By printing, an unsintered surface electrode is formed. Further, the external electrode layer 3 is also formed with a through hole in the ceramic green sheet, and a conductive paste is filled in the through hole to form an unsintered interlayer connection conductor. The conductive paste is applied on the ceramic green sheet. By printing, an unsintered external electrode is formed.

次に、所定の枚数のセラミックグリーンシートを所定の順序で積層して基材層1を形成し、基材層1の上面(一方の面)に表面電極層2、基材層1の下面(他方の面)に外部電極層3をそれぞれ積層した後に、圧着することで未焼結状態の多層セラミック基板10を形成する。なお、セラミックグリーンシートを積層して未焼結状態の多層セラミック基板10を形成した後に、多層セラミック基板10の下面に溝部4を形成しても、セラミックグリーンシートを積層する前に外部電極層3の下面(外部電極30を形成してある面)に溝部4を形成しておいても良い。   Next, a predetermined number of ceramic green sheets are laminated in a predetermined order to form the base material layer 1, and the surface electrode layer 2 and the lower surface of the base material layer 1 (on the one surface) After laminating the external electrode layers 3 on the other surface, the multilayer ceramic substrate 10 in an unsintered state is formed by pressure bonding. Even if the groove portion 4 is formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10 after the multilayer ceramic substrate 10 is formed by laminating the ceramic green sheets, the external electrode layer 3 is formed before the ceramic green sheets are laminated. The groove 4 may be formed on the lower surface (the surface on which the external electrode 30 is formed).

未焼結状態の多層セラミック基板10をオーブン等で焼成することで、焼結状態の多層セラミック基板10を形成することができる。焼結状態の多層セラミック基板10の表面電極20及び外部電極30にめっき処理を行う。具体的に、めっき処理としては、ニッケルめっき膜、金めっき膜の順に処理する。めっき処理後の表面電極20には、ハンダ等により電子部品40、50が接合され、多層セラミック基板10に電子部品40、50が実装される。   By firing the unsintered multilayer ceramic substrate 10 in an oven or the like, the sintered multilayer ceramic substrate 10 can be formed. The surface electrode 20 and the external electrode 30 of the sintered multilayer ceramic substrate 10 are plated. Specifically, the plating process is performed in the order of a nickel plating film and a gold plating film. The electronic components 40 and 50 are joined to the surface electrode 20 after the plating process by solder or the like, and the electronic components 40 and 50 are mounted on the multilayer ceramic substrate 10.

なお、集合基板を分断して複数の多層セラミック基板10を形成する場合、焼成前の集合基板に分割溝を形成しておき、焼成後の集合基板を分割溝で分断することで複数の多層セラミック基板10を形成しても良いし、焼成前の集合基板を分断して複数の未焼結状態の多層セラミック基板10を形成しても良い。なお、基材層1を構成するフェライトセラミックは、Fe−Ni−Zn−Cu系、及びFe−Zn−Cu系の組成に限定されるものではなく、例えば、Fe−Mn−Zn系等の組成であっても良い。また、基材層1を構成する材料は、セラミック系の材料であれば、フェライトセラミックに限定されるものではない。   When forming the plurality of multilayer ceramic substrates 10 by dividing the aggregate substrate, dividing grooves are formed in the aggregate substrate before firing, and the plurality of multilayer ceramics are divided by dividing the aggregate substrate after firing by the division grooves. The substrate 10 may be formed, or the aggregate substrate before firing may be divided to form a plurality of unsintered multilayer ceramic substrates 10. In addition, the ferrite ceramic which comprises the base material layer 1 is not limited to a composition of Fe-Ni-Zn-Cu type and Fe-Zn-Cu type, for example, composition of Fe-Mn-Zn type etc. It may be. Moreover, if the material which comprises the base material layer 1 is a ceramic material, it will not be limited to a ferrite ceramic.

多層セラミック基板10の下面に形成してある溝部4は、図2に示すように矩形に限定されるものではなく、溝部4が、多層セラミック基板10の外周辺の対向する二辺間を渡るように形成されていれば何れの形状であっても良い。図3乃至図5は、本発明の実施の形態1に係る多層セラミック基板10の下面に形成してある溝部4の別の構成を示す平面図である。図3に示す溝部4aは、多層セラミック基板10の外周辺の対向する二辺近傍の形状が、外部電極30の略2個分広くなったH字形状である。また、図4に示す溝部4bは、図2に示す溝部4の矩形の途中に外部電極30の略2個分広くなった部分を2箇所設けてある形状である。さらに、図5に示す溝部4cは、図2に示す溝部4の矩形の途中に外部電極30の略4個分広くなった部分を1箇所設けてある形状である。   The groove 4 formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10 is not limited to a rectangle as shown in FIG. 2, and the groove 4 crosses between two opposing sides on the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 10. Any shape may be used as long as it is formed. 3 to 5 are plan views showing another configuration of the groove 4 formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10 according to the first embodiment of the present invention. The groove 4 a shown in FIG. 3 has an H shape in which the shape in the vicinity of two opposing sides on the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 10 is widened by approximately two external electrodes 30. Further, the groove 4b shown in FIG. 4 has a shape in which two portions widened by approximately two external electrodes 30 are provided in the middle of the rectangle of the groove 4 shown in FIG. Further, the groove 4c shown in FIG. 5 has a shape in which one portion widened by about four external electrodes 30 is provided in the middle of the rectangle of the groove 4 shown in FIG.

また、多層セラミック基板10の下面に形成する溝部4は、図2に示すように多層セラミック基板10の下面に1つ形成してある場合に限定されるものではなく、複数形成してある場合であっても良い。図6は、本発明の実施の形態1に係る多層セラミック基板10の下面に形成してある複数の溝部の構成を示す平面図である。図6に示すように、多層セラミック基板10の下面には、溝部(第1溝部)4dと、該溝部4dと直交する溝部(第2溝部)4eとが形成されている。さらに、溝部4d及び溝部4eは、多層セラミック基板10の外周辺の対向する二辺間を渡るようにそれぞれ形成されている。そのため、図6に示す多層セラミック基板10は、直交する二方向に多層セラミック基板10を変形しやすくすることができる。   Further, the groove 4 formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10 is not limited to the case where one groove portion 4 is formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10 as shown in FIG. There may be. FIG. 6 is a plan view showing a configuration of a plurality of grooves formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10 according to Embodiment 1 of the present invention. As shown in FIG. 6, a groove (first groove) 4 d and a groove (second groove) 4 e orthogonal to the groove 4 d are formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10. Further, the groove 4d and the groove 4e are formed so as to cross between two opposing sides on the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 10. Therefore, the multilayer ceramic substrate 10 shown in FIG. 6 can easily deform the multilayer ceramic substrate 10 in two orthogonal directions.

次に、多層セラミック基板10の内部に応力が生じることで、多層セラミック基板10の電気特性が変動することについて説明する。具体的に、コイル導体の幅が200μm、コイル導体の巻数が8巻、コイル導体の全長が30mm、コイル電極の厚みが10μmであるコイルを3×3mmの多層セラミック基板10の内部に形成し、コイルを形成した多層セラミック基板10を実装基板(樹脂基板)に実装してDC−DCコンバータ回路を構成している。DC−DCコンバータ回路を構成している実装基板に、500gfの加重を印加するか否かで、1mAから100mAの範囲で出力電流を変化させた場合の最大電圧変換効率の差を測定する。   Next, the fact that the electrical characteristics of the multilayer ceramic substrate 10 fluctuate due to the stress generated in the multilayer ceramic substrate 10 will be described. Specifically, a coil conductor having a width of 200 μm, a number of turns of the coil conductor of 8, a total length of the coil conductor of 30 mm, and a thickness of the coil electrode of 10 μm is formed inside the 3 × 3 mm multilayer ceramic substrate 10, A multilayer ceramic substrate 10 on which a coil is formed is mounted on a mounting substrate (resin substrate) to constitute a DC-DC converter circuit. The difference in the maximum voltage conversion efficiency when the output current is changed in the range of 1 mA to 100 mA is measured depending on whether or not a weight of 500 gf is applied to the mounting board constituting the DC-DC converter circuit.

図2乃至図6に示すように、下面に溝部4、4a〜4eを形成してある多層セラミック基板10を実装基板に実装して構成したDC−DCコンバータ回路について測定した最大電圧変換効率の差を、表1に示す。なお、表1では、最大電圧変換効率の差を割合(%)で表している。表1には、比較する対象として、従来の多層セラミック基板を実装基板に実装して構成したDC−DCコンバータ回路について測定した最大電圧変換効率の差も示してある。従来例1は、図12に示すように、溝部を形成していない多層セラミック基板100を実装基板に実装して構成したDC−DCコンバータ回路について測定した最大電圧変換効率の差を示している。また、従来例2は、下面の中央部に溝部を形成した多層セラミック基板を実装基板に実装して構成したDC−DCコンバータ回路について測定した最大電圧変換効率の差を示している。図7は、下面の中央部に溝部を形成した従来の多層セラミック基板の外部電極の配置を示す平面図である。図7に示すように、多層セラミック基板200の下面には、外部電極201に囲まれるように、中央部に溝部202が形成されている。つまり、溝部202は、多層セラミック基板200の外周辺と接することのない、キャビティ形状である。   As shown in FIGS. 2 to 6, the difference in maximum voltage conversion efficiency measured for a DC-DC converter circuit configured by mounting a multilayer ceramic substrate 10 having grooves 4 and 4a to 4e formed on the lower surface on a mounting substrate. Is shown in Table 1. In Table 1, the difference in maximum voltage conversion efficiency is expressed as a percentage (%). Table 1 also shows a difference in maximum voltage conversion efficiency measured for a DC-DC converter circuit configured by mounting a conventional multilayer ceramic substrate on a mounting substrate as a comparison target. As shown in FIG. 12, Conventional Example 1 shows the difference in maximum voltage conversion efficiency measured for a DC-DC converter circuit configured by mounting a multilayer ceramic substrate 100 having no groove on a mounting substrate. Conventional example 2 shows a difference in maximum voltage conversion efficiency measured for a DC-DC converter circuit configured by mounting a multilayer ceramic substrate having a groove portion formed in the central portion of the lower surface on a mounting substrate. FIG. 7 is a plan view showing the arrangement of external electrodes of a conventional multilayer ceramic substrate in which a groove is formed at the center of the lower surface. As shown in FIG. 7, a groove 202 is formed in the center of the lower surface of the multilayer ceramic substrate 200 so as to be surrounded by the external electrode 201. That is, the groove 202 has a cavity shape that does not contact the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 200.

Figure 2012151243
Figure 2012151243

表1に示すように、下面に溝部4、4a〜4eを形成してある多層セラミック基板10は、従来例1及び従来例2に比べて、最大電圧変換効率の差が改善していることが分かる。具体的に、図2に示すように多層セラミック基板10の下面に矩形状の溝部4を形成してある場合、従来例1のように多層セラミック基板の下面に溝部を形成していない場合に比べて、最大電圧変換効率の差が0.4%改善している。また、多層セラミック基板10の下面に形成する溝部を、図3乃至図5に示す溝部4a〜4cのように面積を広げた場合、図6に示す溝部4d、4eのように複数の溝部を形成する場合等には、最大電圧変換効率の差がさらに改善していることが分かる。   As shown in Table 1, the multilayer ceramic substrate 10 having the grooves 4, 4a to 4e formed on the lower surface has improved difference in maximum voltage conversion efficiency as compared with Conventional Example 1 and Conventional Example 2. I understand. Specifically, as shown in FIG. 2, when the rectangular groove 4 is formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10, compared to the case where the groove is not formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate as in the first conventional example. Thus, the difference in maximum voltage conversion efficiency is improved by 0.4%. Further, when the groove portions formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10 are expanded in area as in the groove portions 4a to 4c shown in FIGS. 3 to 5, a plurality of groove portions are formed as the groove portions 4d and 4e shown in FIG. In such a case, it can be seen that the difference in the maximum voltage conversion efficiency is further improved.

以上のように、本発明の実施の形態1に係る多層セラミック基板10は、多層セラミック基板10の下面に、少なくとも一つの溝部4が形成され、溝部4は、多層セラミック基板10の外周辺の対向する二辺間を渡るように形成されているので、溝部4の長手方向に対して直交する方向に多層セラミック基板10を変形しやすくすることができる。多層セラミック基板10を変形しやすくすることで、多層セラミック基板10に応力が生じた場合の破損を防ぎ、多層セラミック基板10の内部に生じる応力を緩和して、多層セラミック基板10の電気特性の変動を抑えることができる。   As described above, in the multilayer ceramic substrate 10 according to Embodiment 1 of the present invention, at least one groove portion 4 is formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10, and the groove portion 4 is opposed to the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 10. Therefore, the multilayer ceramic substrate 10 can be easily deformed in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the groove portion 4. By making the multi-layer ceramic substrate 10 easily deformable, the multi-layer ceramic substrate 10 is prevented from being damaged when a stress is generated, and the stress generated in the multi-layer ceramic substrate 10 is relieved to change the electrical characteristics of the multi-layer ceramic substrate 10. Can be suppressed.

なお、多層セラミック基板10の下面に、溝部4を形成する場合に限定されるものではなく、表面電極層2の表面電極20が形成してある面(多層セラミック基板10の上面)に、溝部4を形成しても良い。溝部4を多層セラミック基板10の上面に形成する場合でも、溝部4を多層セラミック基板10の下面に形成する場合と同様に、多層セラミック基板10が変形しやすくなり、多層セラミック基板10に応力が生じた場合の破損を防ぎ、多層セラミック基板10の内部に生じる応力を緩和して、多層セラミック基板10の電気特性の変動を抑えることができる。また、溝部4は同一方向に複数形成されていても良い。複数の溝部4が形成される場合、それぞれの溝部4の幅及び深さは同一であっても良いし、異なっていても良い。   The groove 4 is not limited to the case where the groove 4 is formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10, and the groove 4 is formed on the surface of the surface electrode layer 2 where the surface electrode 20 is formed (the upper surface of the multilayer ceramic substrate 10). May be formed. Even when the groove 4 is formed on the upper surface of the multilayer ceramic substrate 10, the multilayer ceramic substrate 10 is easily deformed and stress is generated in the multilayer ceramic substrate 10 as in the case where the groove 4 is formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10. Damage can be prevented, stress generated in the multilayer ceramic substrate 10 can be relaxed, and fluctuations in the electrical characteristics of the multilayer ceramic substrate 10 can be suppressed. A plurality of groove portions 4 may be formed in the same direction. When a plurality of groove portions 4 are formed, the width and depth of each groove portion 4 may be the same or different.

(実施の形態2)
図8は、本発明の実施の形態2に係る多層セラミック基板の構成を示す概略図である。図8に示すように、多層セラミック基板11は、溝部4に樹脂41が充填してある以外は、図1に示す多層セラミック基板10と同じ構成であるため、同じ構成要素には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
(Embodiment 2)
FIG. 8 is a schematic diagram showing the configuration of the multilayer ceramic substrate according to Embodiment 2 of the present invention. As shown in FIG. 8, the multilayer ceramic substrate 11 has the same configuration as the multilayer ceramic substrate 10 shown in FIG. Therefore, detailed description is omitted.

また、多層セラミック基板11の製造方法も、ディスペンス、真空印刷等の方法を用いて溝部4に樹脂41を充填する以外は、本発明の実施の形態1に係る多層セラミック基板10の製造方法と同じ方法であるため、詳細な説明は省略する。なお、溝部4に充填する樹脂41は、例えばエポキシ樹脂である。   Also, the manufacturing method of the multilayer ceramic substrate 11 is the same as the manufacturing method of the multilayer ceramic substrate 10 according to the first embodiment of the present invention, except that the groove 41 is filled with the resin 41 using a method such as dispensing or vacuum printing. Since it is a method, detailed description is abbreviate | omitted. The resin 41 filling the groove 4 is, for example, an epoxy resin.

次に、多層セラミック基板11の内部に応力が生じることで、多層セラミック基板11の電気特性が変動することについて説明する。具体的には本発明の実施の形態1に係る多層セラミック基板10と同様に、コイル導体の幅が200μm、コイル導体の巻数が8巻、コイル導体の全長が30mm、コイル電極の厚みが10μmであるコイルを3×3mmの多層セラミック基板11の内部に形成し、コイルを形成した多層セラミック基板11を実装基板(樹脂基板)に実装してDC−DCコンバータ回路を構成している。DC−DCコンバータ回路を構成している実装基板に、500gfの加重を印加するか否かで、1mAから100mAの範囲で出力電流を変化させた場合の最大電圧変換効率の差を測定する。   Next, it will be described that electrical characteristics of the multilayer ceramic substrate 11 fluctuate due to stress generated in the multilayer ceramic substrate 11. Specifically, like the multilayer ceramic substrate 10 according to the first embodiment of the present invention, the width of the coil conductor is 200 μm, the number of turns of the coil conductor is 8, the total length of the coil conductor is 30 mm, and the thickness of the coil electrode is 10 μm. A certain coil is formed inside a 3 × 3 mm multilayer ceramic substrate 11, and the multilayer ceramic substrate 11 on which the coil is formed is mounted on a mounting substrate (resin substrate) to constitute a DC-DC converter circuit. The difference in the maximum voltage conversion efficiency when the output current is changed in the range of 1 mA to 100 mA is measured depending on whether or not a weight of 500 gf is applied to the mounting board constituting the DC-DC converter circuit.

図2乃至図6に示した多層セラミック基板10の下面に形成してある溝部4、4a〜4eに樹脂41を充填した多層セラミック基板を本発明の実施の形態2に係る多層セラミック基板11とし、該多層セラミック基板11を実装基板に実装して構成したDC−DCコンバータ回路について測定した最大電圧変換効率の差を、表2に示す。なお、表2においても、最大電圧変換効率の差を割合(%)で表している。表2には、比較する対象として、従来の多層セラミック基板を実装基板に実装して構成したDC−DCコンバータ回路について測定した最大電圧変換効率の差も示してある。従来例1は、図12に示すように、溝部を形成していない多層セラミック基板100を実装基板に実装して構成したDC−DCコンバータ回路について測定した最大電圧変換効率の差を示している。また、従来例2は、図7に示すように、下面の中央部に溝部202を形成し、形成した溝部202に樹脂を充填した多層セラミック基板200を実装基板に実装して構成したDC−DCコンバータ回路について測定した最大電圧変換効率の差を示している。   The multilayer ceramic substrate 11 according to the second embodiment of the present invention is a multilayer ceramic substrate in which the grooves 41, 4a to 4e formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10 shown in FIGS. Table 2 shows the difference in maximum voltage conversion efficiency measured for a DC-DC converter circuit configured by mounting the multilayer ceramic substrate 11 on a mounting substrate. In Table 2, the difference in maximum voltage conversion efficiency is expressed as a percentage (%). Table 2 also shows a difference in maximum voltage conversion efficiency measured for a DC-DC converter circuit configured by mounting a conventional multilayer ceramic substrate on a mounting substrate as a comparison target. As shown in FIG. 12, Conventional Example 1 shows the difference in maximum voltage conversion efficiency measured for a DC-DC converter circuit configured by mounting a multilayer ceramic substrate 100 having no groove on a mounting substrate. Further, in the conventional example 2, as shown in FIG. 7, a DC-DC is formed by forming a groove portion 202 in the central portion of the lower surface and mounting a multilayer ceramic substrate 200 in which the formed groove portion 202 is filled with resin on a mounting substrate. The difference of the maximum voltage conversion efficiency measured about the converter circuit is shown.

Figure 2012151243
Figure 2012151243

表2に示すように、多層セラミック基板11の下面に形成してある溝部4、4a〜4eに樹脂41を充填した場合は、溝部4、4a〜4eに樹脂41を充填していない場合と比べて最大電圧変換効率の差が改善していることが分かる。具体的に、図2に示すように多層セラミック基板11の下面に形成してある矩形状の溝部4に樹脂41を充填した場合、溝部4に樹脂41を充填していない場合と比べて最大電圧変換効率の差が0.1%改善している。   As shown in Table 2, when the resin 41 is filled in the grooves 4, 4a to 4e formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 11, the resin 41 is not filled in the grooves 4, 4a to 4e. It can be seen that the difference in maximum voltage conversion efficiency is improved. Specifically, as shown in FIG. 2, when the resin 41 is filled in the rectangular groove 4 formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 11, the maximum voltage is compared with the case where the resin 41 is not filled in the groove 4. The difference in conversion efficiency is improved by 0.1%.

以上のように、本発明の実施の形態2に係る多層セラミック基板11は、多層セラミック基板11の下面に形成してある溝部4に樹脂41を充填してあるので、溝部4に樹脂41を充填していない場合に比べて、多層セラミック基板11の内部に生じる応力を緩和することができ、多層セラミック基板11の電気特性の変動を抑えることができる。なお、多層セラミック基板11の下面に、溝部4を形成する場合に限定されるものではなく、多層セラミック基板11の上面に、溝部4を形成しても良い。   As described above, the multilayer ceramic substrate 11 according to the second embodiment of the present invention fills the groove 41 with the resin 41 in the groove 4 formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 11. Compared with the case where it does not, the stress which arises inside the multilayer ceramic substrate 11 can be relieved, and the fluctuation | variation of the electrical property of the multilayer ceramic substrate 11 can be suppressed. The groove portion 4 is not limited to the case where the groove portion 4 is formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 11, and the groove portion 4 may be formed on the upper surface of the multilayer ceramic substrate 11.

(実施の形態3)
図9は、本発明の実施の形態3に係る多層セラミック基板の下面に形成してある第3溝部及び第4溝部の構成を示す平面図である。図9に示すように、多層セラミック基板12は、外部電極層3の外部電極30が形成してある面(多層セラミック基板12の下面)に、第3溝部4fと第4溝部4gとが形成され、第3溝部4fが、多層セラミック基板12の外周辺から形成され、第4溝部4gが、第3溝部4fが形成された多層セラミック基板12の外周辺と対向する多層セラミック基板12の外周辺から形成されている。つまり、第3溝部4f及び第4溝部4gは、多層セラミック基板12の下面に、多層セラミック基板12の外周辺の対向する二辺間を渡る直線上に形成されている。多層セラミック基板12の下面に第3溝部4f及び第4溝部4gを形成することで、溝部4f、4gの長手方向に対して直交する方向に多層セラミック基板12を変形しやすくすることができる。なお、第3溝部4f及び第4溝部4gの長さの合計が、多層セラミック基板12の外周辺の対向する二辺間を渡る直線の長さの1/3以上であることが好ましい。
(Embodiment 3)
FIG. 9 is a plan view showing configurations of third and fourth groove portions formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate according to Embodiment 3 of the present invention. As shown in FIG. 9, in the multilayer ceramic substrate 12, the third groove portion 4f and the fourth groove portion 4g are formed on the surface of the external electrode layer 3 on which the external electrode 30 is formed (the lower surface of the multilayer ceramic substrate 12). The third groove portion 4f is formed from the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 12, and the fourth groove portion 4g is formed from the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 12 facing the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 12 in which the third groove portion 4f is formed. Is formed. That is, the third groove portion 4 f and the fourth groove portion 4 g are formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 12 on a straight line extending between two opposing sides on the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 12. By forming the third groove portion 4f and the fourth groove portion 4g on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 12, the multilayer ceramic substrate 12 can be easily deformed in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the groove portions 4f, 4g. The total length of the third groove portion 4f and the fourth groove portion 4g is preferably 1/3 or more of the length of a straight line extending between two opposing sides on the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 12.

多層セラミック基板12は、下面に第3溝部4fと第4溝部4gとが形成されている以外は、図2に示す多層セラミック基板10と同じ構成であるため、同じ構成要素には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。   The multilayer ceramic substrate 12 has the same configuration as the multilayer ceramic substrate 10 shown in FIG. 2 except that the third groove portion 4f and the fourth groove portion 4g are formed on the lower surface. Therefore, detailed description is omitted.

また、多層セラミック基板12の製造方法も、第3溝部4fと第4溝部4gとを形成する以外は、本発明の実施の形態1に係る多層セラミック基板10の製造方法と同じ方法であるため、詳細な説明は省略する。   The method for manufacturing the multilayer ceramic substrate 12 is the same as the method for manufacturing the multilayer ceramic substrate 10 according to Embodiment 1 of the present invention, except that the third groove portion 4f and the fourth groove portion 4g are formed. Detailed description is omitted.

さらに、多層セラミック基板12を実装基板に実装して構成したDC−DCコンバータ回路について測定した最大電圧変換効率の差は、図2に示すように多層セラミック基板10の下面に矩形状の溝部4を形成した場合と溝部4f、4gの形状が近いため、同じ程度の最大電圧変換効率の差となる。   Further, the difference in the maximum voltage conversion efficiency measured for the DC-DC converter circuit configured by mounting the multilayer ceramic substrate 12 on the mounting substrate is that the rectangular groove 4 is formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 10 as shown in FIG. Since the shapes of the groove portions 4f and 4g are close to those of the formed case, the difference in maximum voltage conversion efficiency is the same.

以上のように、本発明の実施の形態2に係る多層セラミック基板12は、多層セラミック基板12の下面(同じ面)に、第3溝部4fと第4溝部4gとが形成され、第3溝部4fが、多層セラミック基板12の外周辺から形成され、第4溝部4gが第3溝部4fが形成された多層セラミック基板12の外周辺と対向する多層セラミック基板12の外周辺から形成されているので、多層セラミック基板12の下面に、多層セラミック基板12の外周辺の対向する二辺間を渡る直線上に、第3溝部4f及び第4溝部4gを形成して、第3溝部4f及び第4溝部4gの長手方向に対して直交する方向に多層セラミック基板12を変形しやすくすることができる。多層セラミック基板12を変形しやすくすることで、多層セラミック基板12に応力が生じた場合の破損を防ぎ、多層セラミック基板12の内部に生じる応力を緩和して、多層セラミック基板12の電気特性の変動を抑えることができる。   As described above, in the multilayer ceramic substrate 12 according to Embodiment 2 of the present invention, the third groove portion 4f and the fourth groove portion 4g are formed on the lower surface (the same surface) of the multilayer ceramic substrate 12, and the third groove portion 4f. Is formed from the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 12, and the fourth groove portion 4g is formed from the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 12 facing the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 12 in which the third groove portion 4f is formed. A third groove portion 4f and a fourth groove portion 4g are formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 12 on a straight line extending between two opposing sides of the outer periphery of the multilayer ceramic substrate 12, and the third groove portion 4f and the fourth groove portion 4g are formed. The multilayer ceramic substrate 12 can be easily deformed in a direction orthogonal to the longitudinal direction. By making the multi-layer ceramic substrate 12 easily deformable, the multi-layer ceramic substrate 12 is prevented from being damaged when stress is generated, and the stress generated in the multi-layer ceramic substrate 12 is relieved to change the electrical characteristics of the multi-layer ceramic substrate 12. Can be suppressed.

なお、多層セラミック基板12の下面に、第3溝部4f及び第4溝部4gを形成する場合に限定されるものではなく、多層セラミック基板12の上面に、第3溝部4f及び第4溝部4gを形成しても良い。また、一対の第3溝部4f及び第4溝部4gが、多層セラミック基板12の上面又は多層セラミック基板12の下面に1つ形成してある場合に限定されるものではなく、多層セラミック基板12の上面又は多層セラミック基板12の下面に複数形成してある場合であっても良い。複数の溝部4が形成してある場合、それぞれの溝部4の幅及び深さは同一であっても良いし、異なっていても良い。   The third groove portion 4f and the fourth groove portion 4g are not limited to the case where the third groove portion 4f and the fourth groove portion 4g are formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 12. The third groove portion 4f and the fourth groove portion 4g are formed on the upper surface of the multilayer ceramic substrate 12. You may do it. Further, the present invention is not limited to the case where one pair of the third groove portion 4f and the fourth groove portion 4g is formed on the upper surface of the multilayer ceramic substrate 12 or the lower surface of the multilayer ceramic substrate 12. The upper surface of the multilayer ceramic substrate 12 is not limited thereto. Alternatively, a plurality of layers may be formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 12. When the some groove part 4 is formed, the width | variety and depth of each groove part 4 may be the same, and may differ.

さらに、第3溝部4f及び第4溝部4gは、多層セラミック基板12の上面又は多層セラミック基板12の下面のいずれか一面に形成されている場合に限定されるものではなく、第3溝部4fが多層セラミック基板12の上面に形成され、第4溝部4gが多層セラミック基板12の下面に形成されている場合であっても良い。図10は、本発明の実施の形態3に係る多層セラミック基板12の上面に形成してある第3溝部4f及び下面に形成してある第4溝部4gの構成を示す平面図である。図10に示す多層セラミック基板12は、図10(a)に示すように多層セラミック基板12の上面に第3溝部4fが形成され、図10(b)に示すように多層セラミック基板12の下面に第4溝部4gが形成されており、多層セラミック基板12の同じ面に第3溝部4fと第4溝部4gとが形成されていない。同じ面(例えば、多層セラミック基板12の下面)に第3溝部4fと第4溝部4gとが形成されていない場合であっても、同じ面に第3溝部4fと第4溝部4gとが形成されている場合と同様に、多層セラミック基板12に応力が生じた場合の破損を防ぎ、多層セラミック基板12の内部に生じる応力を緩和して、多層セラミック基板12の電気特性の変動を抑えることができる。   Further, the third groove portion 4f and the fourth groove portion 4g are not limited to the case where they are formed on either one of the upper surface of the multilayer ceramic substrate 12 or the lower surface of the multilayer ceramic substrate 12, and the third groove portion 4f is not multilayered. It may be formed on the upper surface of the ceramic substrate 12 and the fourth groove 4g may be formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 12. FIG. 10 is a plan view showing the configuration of the third groove 4f formed on the upper surface of the multilayer ceramic substrate 12 according to Embodiment 3 of the present invention and the fourth groove 4g formed on the lower surface. The multilayer ceramic substrate 12 shown in FIG. 10 has a third groove 4f formed on the upper surface of the multilayer ceramic substrate 12 as shown in FIG. 10A, and is formed on the lower surface of the multilayer ceramic substrate 12 as shown in FIG. The fourth groove portion 4g is formed, and the third groove portion 4f and the fourth groove portion 4g are not formed on the same surface of the multilayer ceramic substrate 12. Even if the third groove 4f and the fourth groove 4g are not formed on the same surface (for example, the lower surface of the multilayer ceramic substrate 12), the third groove 4f and the fourth groove 4g are formed on the same surface. As in the case where the multilayer ceramic substrate 12 is stressed, the multilayer ceramic substrate 12 can be prevented from being damaged when stress is generated, and the stress generated in the multilayer ceramic substrate 12 can be relieved to suppress fluctuations in the electrical characteristics of the multilayer ceramic substrate 12. .

1 基材層
2 表面電極層
3 外部電極層
4、4a〜4e 溝部
4f 第1溝部
4g 第2溝部
10、11、12 多層セラミック基板
20 表面電極
30 外部電極
40、50 電子部品
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base material layer 2 Surface electrode layer 3 External electrode layer 4, 4a-4e Groove part 4f 1st groove part 4g 2nd groove part 10, 11, 12 Multilayer ceramic substrate 20 Surface electrode 30 External electrode 40, 50 Electronic component

Claims (8)

セラミックからなる基材層と、
該基材層の一方の面に積層され、複数の電子部品を実装するための表面電極が形成してある表面電極層と、
前記基材層の他方の面に積層され、他の基板と接続するための外部電極が形成してある外部電極層と
を備える多層セラミック基板において、
前記表面電極層の前記表面電極が形成してある面と、前記外部電極層の前記外部電極が形成してある面との少なくとも一方に、溝部が形成され、
該溝部は、前記多層セラミック基板の外周辺の対向する二辺間を渡るように形成されていることを特徴とする多層セラミック基板。
A base material layer made of ceramic;
A surface electrode layer laminated on one surface of the base material layer, on which a surface electrode for mounting a plurality of electronic components is formed;
In a multilayer ceramic substrate comprising: an external electrode layer that is laminated on the other surface of the base material layer, and an external electrode for connection to another substrate is formed.
A groove is formed on at least one of the surface of the surface electrode layer where the surface electrode is formed and the surface of the external electrode layer where the external electrode is formed,
The multi-layer ceramic substrate, wherein the groove is formed so as to cross between two opposing sides on the outer periphery of the multi-layer ceramic substrate.
前記表面電極層の前記表面電極が形成してある面と、前記外部電極層の前記外部電極が形成してある面との少なくとも一方に、前記溝部として、第1溝部と、該第1溝部と直交する第2溝部とが形成されていることを特徴とする請求項1に記載の多層セラミック基板。   As at least one of the surface of the surface electrode layer on which the surface electrode is formed and the surface of the external electrode layer on which the external electrode is formed, the first groove portion, the first groove portion, The multilayer ceramic substrate according to claim 1, wherein a second groove portion that is orthogonal is formed. 前記溝部に樹脂が充填してあることを特徴とする請求項1又は2に記載の多層セラミック基板。   The multilayer ceramic substrate according to claim 1 or 2, wherein the groove is filled with a resin. セラミックからなる基材層と、
該基材層の一方の面に積層され、複数の電子部品を実装するための表面電極が形成してある表面電極層と、
前記基材層の他方の面に積層され、他の基板と接続するための外部電極が形成してある外部電極層と
を備える多層セラミック基板において、
前記表面電極層の前記表面電極が形成してある面と、前記外部電極層の前記外部電極が形成してある面との少なくとも一方に、第3溝部と第4溝部とが形成され、
前記第3溝部が、前記多層セラミック基板の外周辺から形成され、
前記第4溝部が、前記第3溝部が形成された前記多層セラミック基板の外周辺と対向する前記多層セラミック基板の外周辺から形成されていることを特徴とする多層セラミック基板。
A base material layer made of ceramic;
A surface electrode layer laminated on one surface of the base material layer, on which a surface electrode for mounting a plurality of electronic components is formed;
In a multilayer ceramic substrate comprising: an external electrode layer that is laminated on the other surface of the base material layer, and an external electrode for connection to another substrate is formed.
A third groove and a fourth groove are formed on at least one of the surface of the surface electrode layer on which the surface electrode is formed and the surface of the external electrode layer on which the external electrode is formed,
The third groove is formed from the outer periphery of the multilayer ceramic substrate;
The multilayer ceramic substrate, wherein the fourth groove portion is formed from an outer periphery of the multilayer ceramic substrate facing an outer periphery of the multilayer ceramic substrate in which the third groove portion is formed.
前記第3溝部が前記表面電極層の前記表面電極が形成してある面に形成され、前記第4溝部が前記外部電極層の前記外部電極が形成してある面に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の多層セラミック基板。   The third groove is formed on the surface of the surface electrode layer on which the surface electrode is formed, and the fourth groove is formed on the surface of the external electrode layer on which the external electrode is formed. The multilayer ceramic substrate according to claim 4. 一対の前記第3溝部及び前記第4溝部が、前記表面電極層の前記表面電極が形成してある面、又は前記外部電極層の前記外部電極が形成してある面に複数形成されていることを特徴とする請求項4又は5に記載の多層セラミック基板。   A plurality of pairs of the third groove portion and the fourth groove portion are formed on the surface of the surface electrode layer on which the surface electrode is formed or on the surface of the external electrode layer on which the external electrode is formed. The multilayer ceramic substrate according to claim 4 or 5, wherein: 前記第3溝部及び前記第4溝部に樹脂が充填してあることを特徴とする請求項4乃至6のいずれか一項に記載の多層セラミック基板。   The multilayer ceramic substrate according to any one of claims 4 to 6, wherein the third groove portion and the fourth groove portion are filled with a resin. 前記基材層は、フェライトセラミックからなることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の多層セラミック基板。   The multilayer ceramic substrate according to claim 1, wherein the base material layer is made of a ferrite ceramic.
JP2011008141A 2011-01-18 2011-01-18 Multilayer ceramic substrate Pending JP2012151243A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011008141A JP2012151243A (en) 2011-01-18 2011-01-18 Multilayer ceramic substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011008141A JP2012151243A (en) 2011-01-18 2011-01-18 Multilayer ceramic substrate

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2012151243A true JP2012151243A (en) 2012-08-09

Family

ID=46793241

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011008141A Pending JP2012151243A (en) 2011-01-18 2011-01-18 Multilayer ceramic substrate

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2012151243A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015122529A1 (en) * 2014-02-17 2015-08-20 京セラ株式会社 Electrochemical-cell package and electrochemical cell
US11935806B2 (en) 2020-07-10 2024-03-19 Nichia Corporation Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS609202U (en) * 1983-06-28 1985-01-22 松下電器産業株式会社 ceramic barista
JP2002076813A (en) * 2000-08-25 2002-03-15 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Surface mounting crystal resonator
JP2008288536A (en) * 2007-05-21 2008-11-27 Panasonic Electric Works Co Ltd Surface mounting type ceramic substrate
JP2010245088A (en) * 2009-04-01 2010-10-28 Murata Mfg Co Ltd Method for manufacturing multilayer ceramic electronic component

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS609202U (en) * 1983-06-28 1985-01-22 松下電器産業株式会社 ceramic barista
JP2002076813A (en) * 2000-08-25 2002-03-15 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Surface mounting crystal resonator
JP2008288536A (en) * 2007-05-21 2008-11-27 Panasonic Electric Works Co Ltd Surface mounting type ceramic substrate
JP2010245088A (en) * 2009-04-01 2010-10-28 Murata Mfg Co Ltd Method for manufacturing multilayer ceramic electronic component

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015122529A1 (en) * 2014-02-17 2015-08-20 京セラ株式会社 Electrochemical-cell package and electrochemical cell
US11935806B2 (en) 2020-07-10 2024-03-19 Nichia Corporation Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4905498B2 (en) Multilayer ceramic electronic components
US9251943B2 (en) Multilayer type inductor and method of manufacturing the same
JP4953988B2 (en) Multilayer capacitor and capacitor mounting board
KR101019323B1 (en) Multi-terminal type laminated capacitor and manufacturing method thereof
US9646767B2 (en) Ceramic electronic component and ceramic electronic apparatus including a split inner electrode
JP2015050452A (en) Multilayer ceramic electronic component to be embedded in board and printed circuit board having multilayer ceramic electronic component embedded therein
JP5621573B2 (en) Coil built-in board
JP2015026760A (en) Multilayer coil
JP2018067562A (en) Multilayer ceramic capacitor and mounting structure thereof
JP6458903B2 (en) Passive element array and printed wiring board
JP2012060013A (en) Electronic component module, electronic component and method for manufacturing the same
WO2012002133A1 (en) Multilayer ceramic electronic component and method for producing same
WO2012144103A1 (en) Laminated inductor element and method for manufacturing same
JP2008066672A (en) Substrate incorporating thin magnetic component, and switching power supply module employing it
JP2018206950A (en) Coil component
JP2014003269A (en) Multilayer chip electronic component
JP2009054974A (en) Multilayer capacitor and capacitor mounting substrate
JP2012151243A (en) Multilayer ceramic substrate
US6551426B2 (en) Manufacturing method for a laminated ceramic electronic component
KR101659212B1 (en) Method for manufacturing inductor device
JP2007123505A (en) Stacked capacitor
JP5617574B2 (en) Ceramic multilayer substrate
JP5893371B2 (en) Multilayer ceramic capacitor and manufacturing method thereof
JP2013016727A (en) Electronic component and manufacturing method of the same
JP5245645B2 (en) Manufacturing method of laminated coil component

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20131004

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140421

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140507

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20140916