JP2012139918A - Method for manufacturing liquid jetting head, liquid jetting head, and liquid jetting apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置に関し、特にフィルム状の配線基板とアクチュエーターユニットとの接続部に適用して有用なものである。 The present invention relates to a method for manufacturing a liquid ejecting head, a liquid ejecting head, and a liquid ejecting apparatus, and is particularly useful when applied to a connection portion between a film-like wiring board and an actuator unit.
ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子である圧電アクチュエーターにより変形させて圧力発生室のインクを加圧して、ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電アクチュエーターのたわみ変形を用いたものが実用化されている。ここで、圧電アクチュエーターユニットを駆動する駆動信号を供給する駆動回路は、フレキシブルプリント基板等の配線基板に実装され、駆動回路からの駆動信号を配線基板を介して圧電アクチュエーターに供給するようになっている。 A part of the pressure generating chamber communicating with the nozzle opening is constituted by a diaphragm, and the diaphragm is deformed by a piezoelectric actuator that is a piezoelectric element to pressurize the ink in the pressure generating chamber and eject ink droplets from the nozzle opening. Ink jet recording heads have been put to practical use using a flexural deformation of a piezoelectric actuator comprising a lower electrode, a piezoelectric layer and an upper electrode. Here, a drive circuit that supplies a drive signal for driving the piezoelectric actuator unit is mounted on a wiring board such as a flexible printed circuit board, and the drive signal from the drive circuit is supplied to the piezoelectric actuator via the wiring board. Yes.
そこで、この種のインクジェット式記録ヘッドにおいては、配線基板を圧電アクチュエーターに電気的に接続する必要がある。従来、かかる接続は半田を用いて行われていたが、近年のインクジェット式記録ヘッドの小型化に伴い異方性導電膜（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）等の異方性導電材も用いられている（例えば特許文献１および特許文献２参照）。これに伴い、いずれにしても配線基板と圧電アクチュエーターとの電気的な接続部の良否を判定する必要がある。接続が不完全な場合には、当該インクジェット式記録ヘッドの機能が阻害され、寿命が短くなる等の問題が生起されるからである。 Therefore, in this type of ink jet recording head, it is necessary to electrically connect the wiring board to the piezoelectric actuator. Conventionally, such connection has been performed using solder, but with the recent miniaturization of ink jet recording heads, anisotropic conductive materials such as anisotropic conductive film (ACF) and anisotropic conductive paste (ACP) are used. (See, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2). Accordingly, in any case, it is necessary to determine the quality of the electrical connection between the wiring board and the piezoelectric actuator. This is because, when the connection is incomplete, the function of the ink jet recording head is hindered and problems such as a shortened life are caused.
このため半田の場合には目視検査等、異方性導電材の場合には破壊検査等で対応していた。 For this reason, a visual inspection or the like is used for solder, and a destructive inspection is used for anisotropic conductive materials.
しかしながら目視検査では見落としが発生するばかりでなく、異方性導電材料を用いるような微細化された接続部の検査方法としては事実上適用できない。すなわち、異方性導電材料を用いた接続部における良否は導通粒子の潰れ状態で判定する必要があるが、かかる判定を目視で行うことは不可能であり、検査方法としては破壊検査となってしまう。したがって、この場合にはインクジェット式記録ヘッドの全数保証を行うことができなくなる。また、電気的な検査（オープン・ショート検査）では検査可能であるが、粒子の潰れ状態を確認することはできない。 However, the visual inspection not only causes oversight, but is practically inapplicable as a method for inspecting a miniaturized connection using an anisotropic conductive material. That is, it is necessary to determine whether or not the connection portion using the anisotropic conductive material is good by the collapsed state of the conductive particles, but it is impossible to make such a determination visually, and the inspection method is a destructive inspection. End up. Therefore, in this case, it is impossible to guarantee the total number of ink jet recording heads. In addition, it can be inspected by electrical inspection (open / short inspection), but it cannot confirm the state of particle crushing.
なお、インクジェット式記録ヘッドのアクチュエーターユニットの中には、多数の圧電アクチュエーターを並設して列を形成し、この列を複数列有するものが提案されているが、かかるアクチュエーターユニットと配線基板とを接続する場合の接続部の検査においては、接続部が増加する分、上記問題点がさらに顕著になる。 In addition, among actuator units of ink jet recording heads, there have been proposed a plurality of piezoelectric actuators arranged side by side to form a row, and a plurality of rows of these rows are proposed. In the inspection of the connection portion in the case of connection, the above problem becomes more noticeable as the connection portion increases.
本発明はこのような事情に鑑み、配線基板とアクチュエーターユニットとの接続部の状態を容易且つ的確に把握し得る液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供することを目的とする。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a liquid ejecting head manufacturing method, a liquid ejecting head, and a liquid ejecting apparatus capable of easily and accurately grasping a state of a connection portion between a wiring board and an actuator unit. To do.
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を含む流路ユニットと、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる複数列の圧力発生手段を含むアクチュエーターユニットと、フィルム状の配線基板とを有し、前記配線基板から送出される制御信号に基づき前記圧力発生手段が駆動されて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせ、前記ノズル開口を介して前記液体を噴射させる液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記配線基板と前記アクチュエーターユニットとを電気的に接続する接続工程と、前記配線基板の一方の共通端子部から前記アクチュエーターユニットの一方の列の共通端子部を介して一方の列の共通電極に至り、さらに前記圧力発生手段の他方の列の共通電極及び他方の列の共通端子部を介して前記配線基板の他方の共通端子部に至る閉回路を形成して該閉回路の直列抵抗の抵抗値を計測する計測工程と、前記抵抗値に閾値を設け、該閾値以下の抵抗値を有する配線基板及びアクチュエーターユニットのみを良品として選別する選別工程とを有することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
本態様によれば、配線基板側からアクチュエーターユニットに至り、再度配線基板側に戻る閉回路の途中に配線基板とアクチュエーターユニットとの接続部が含まれているので、前記閉回路の直列抵抗を計測することにより、接続部の状態、すなわち良否を容易且つ的確に測定することができる。すなわち、目視検査が困難な微細な部分の接続状態であっても的確に判定し得る。また、前記閉回路の抵抗は接続部の抵抗を最も大きく反映する、すなわち電路自体の抵抗は無視できるので、その分正確に接続部の状態を把握し得る。
An aspect of the present invention that solves the above problem is an actuator unit including a flow path unit including a pressure generation chamber communicating with a nozzle opening for ejecting liquid, and a plurality of rows of pressure generation means for causing a pressure change in the pressure generation chamber. And a film-like wiring board, the pressure generating means is driven based on a control signal sent from the wiring board to cause a pressure change in the pressure generating chamber, and the liquid is supplied through the nozzle opening. A method of manufacturing a liquid ejecting head for ejecting a liquid, comprising: a connecting step of electrically connecting the wiring board and the actuator unit; and a common connection of one row of the actuator units from one common terminal portion of the wiring board. It reaches the common electrode of one row via the terminal portion, and further via the common electrode of the other row and the common terminal portion of the other row of the pressure generating means. A measuring step of forming a closed circuit reaching the other common terminal portion of the wiring board and measuring a resistance value of a series resistance of the closed circuit, and a wiring having a resistance value equal to or lower than the threshold value provided with a threshold value for the resistance value And a sorting step of sorting only the substrate and the actuator unit as non-defective products.
According to this aspect, since the connection part of the wiring board and the actuator unit is included in the middle of the closed circuit that reaches the actuator unit from the wiring board side and returns to the wiring board side again, the series resistance of the closed circuit is measured. By doing so, the state of the connecting portion, that is, the quality can be measured easily and accurately. That is, it can be accurately determined even in a connection state of a minute portion where visual inspection is difficult. Further, the resistance of the closed circuit reflects the resistance of the connection portion to the greatest extent, that is, the resistance of the electric circuit itself can be ignored, so that the state of the connection portion can be accurately grasped accordingly.
ここで、前記計測工程は、前記一方の列の共通電極を介した後、前記配線基板の他の共通端子部に至り、該共通端子部を介して前記他方の列の共通電極に至る回路を含む閉回路を形成して該閉回路の直列抵抗の抵抗値を計測するものであることが望ましい。圧力発生手段の並設方向の一方の端部側のみならず、他方の端部側における接続状態も検出することができるからである。さらに、この場合には、圧力発生手段の並設方向の両端側の共通端子部間に存在するアクチュエーターユニット側の個別端子部と配線基板側の個別端子部との間の接続の良否も推測することができる。前記閉回路の抵抗値が正常であれば圧力発生手段の並設方向の両端側の共通端子部の接続状態が良好であるため、その間に存在する個別端子部との間の接続状態も同様に正常である確率が高いからである。 Here, the measurement step includes a circuit that reaches the other common terminal portion of the wiring board after passing through the common electrode of the one row, and reaches the common electrode of the other row via the common terminal portion. It is desirable to form a closed circuit including the measured resistance value of the series resistance of the closed circuit. This is because not only one end portion side of the pressure generating means in the juxtaposed direction but also a connection state on the other end portion side can be detected. Furthermore, in this case, the quality of the connection between the individual terminal part on the actuator unit side and the individual terminal part on the wiring board side existing between the common terminal parts on both ends in the direction in which the pressure generating means are arranged is also estimated. be able to. If the resistance value of the closed circuit is normal, the connection state of the common terminal portions on both ends in the juxtaposition direction of the pressure generating means is good, so the connection state between the individual terminal portions existing between them is similarly the same. This is because the probability of being normal is high.
また、前記配線基板と前記アクチュエーターユニットとの前記接続は、異方性導電材料を用いて行うのが望ましい。異方性導電材料は、その潰れ具合、ひいては接続部の状態が当該接続部分の抵抗に的確に反映されるからである。 The connection between the wiring board and the actuator unit is preferably performed using an anisotropic conductive material. This is because, in the anisotropic conductive material, the state of collapse, and thus the state of the connection portion, is accurately reflected in the resistance of the connection portion.
本発明の他の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室を含む流路ユニットと、前記圧力発生室に圧力変化を生じさせる複数列の圧力発生手段を含むアクチュエーターユニットと、フィルム状の配線基板とを有し、前記配線基板から送出される制御信号に基づき前記圧力発生手段が駆動されて前記圧力発生室に圧力変化を生じさせ、前記ノズル開口を介して前記液体を噴射させる液体噴射ヘッドであって、前記配線基板は、複数の共通端子部を有するとともに、前記アクチュエーターユニットは、一方の列の共通電極に一体的に導通されるとともに前記配線基板の前記共通端子部の一方に接続された一方の列の共通端子部と、他方の列の共通電極に一体的に導通されるとともに前記配線基板の前記共通端子部の他方に接続された他方の列の共通端子部とを有し、前記配線基板の一方の共通端子部から各列の前記共通電極を介して前記配線基板の他方の共通端子部に至る閉回路を形成し得る電路を有するものであることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
本態様によれば、配線基板側からアクチュエーターユニットに至り、再度配線基板側に戻る閉回路の途中に配線基板とアクチュエーターユニットとの接続部が含まれているので、前記閉回路の直列抵抗を計測することにより、接続部の状態、すなわち良否を容易且つ的確に測定することができる。この結果、所定の良好な機能を有する液体噴射ヘッドを容易且つ的確に選択でき、その機能の安定化を図ることが可能になる。
In another aspect of the present invention, a flow path unit including a pressure generation chamber communicating with a nozzle opening for ejecting liquid, an actuator unit including a plurality of rows of pressure generation means for causing a pressure change in the pressure generation chamber, and a film The pressure generating means is driven based on a control signal sent from the wiring board to cause a pressure change in the pressure generating chamber, and the liquid is ejected through the nozzle opening. In the liquid ejecting head, the wiring board has a plurality of common terminal portions, and the actuator unit is integrally connected to a common electrode of one row and one of the common terminal portions of the wiring board. Is connected to the common terminal portion of one row connected to the common electrode portion of the other row and the common electrode portion of the other row and is connected to the other of the common terminal portions of the wiring board. An electric circuit capable of forming a closed circuit from one common terminal portion of the wiring board to the other common terminal portion of the wiring board through the common electrode of each row. In the liquid ejecting head, the liquid ejecting head is provided.
According to this aspect, since the connection part of the wiring board and the actuator unit is included in the middle of the closed circuit that reaches the actuator unit from the wiring board side and returns to the wiring board side again, the series resistance of the closed circuit is measured. By doing so, the state of the connecting portion, that is, the quality can be measured easily and accurately. As a result, a liquid ejecting head having a predetermined good function can be selected easily and accurately, and the function can be stabilized.
ここで、前記配線基板は、前記共通端子部に対し前記圧力発生手段の並設方向の反対側にも他の共通端部を有し、該共通端子部を介して前記圧力発生手段の一方の列と他方の列との共通電極を接続するものであることが望ましい。圧力発生手段の並設方向の一方の端部側のみならず、他方の端部側における接続状態も検出することができるからである。 Here, the wiring board has another common end portion on the opposite side to the common terminal portion in the direction in which the pressure generating means are juxtaposed, and one of the pressure generating means is interposed via the common terminal portion. It is desirable to connect a common electrode between the column and the other column. This is because not only one end portion side of the pressure generating means in the juxtaposed direction but also a connection state on the other end portion side can be detected.
また、前記配線基板と前記アクチュエーターユニットとの前記接続は、異方性導電材料を用いて行うのが望ましい。異方性導電材料は、その潰れ具合、ひいては接続部の状態が当該部分の抵抗に的確に反映されるからである。 The connection between the wiring board and the actuator unit is preferably performed using an anisotropic conductive material. This is because, in the anisotropic conductive material, the state of collapse, and thus the state of the connection portion, is accurately reflected in the resistance of the portion.
さらに本発明の他の態様は、上記液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
本態様によれば、駆動部の電気系統の機能が長期に亘り良好に維持される結果、当該液体噴射ヘッドの動作の安定化を向上させることができる。
According to another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head.
According to this aspect, as a result of maintaining the function of the electric system of the drive unit well for a long period of time, it is possible to improve the stabilization of the operation of the liquid jet head.
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施の形態に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図２は本形態に係るインクジェット式記録ヘッドの平面図で、（ａ）はアクチュエーターユニット部分、（ｂ）は配線基板部分の平面図であり、図３は本形態に係る記録ヘッドの断面図である。これらの図に示すように、本形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、アクチュエーターユニット２０と、アクチュエーターユニット２０が固定される１つの流路ユニット３０と、アクチュエーターユニット２０に接続されるフィルム状の配線基板５０とで構成されている。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is an exploded perspective view of an ink jet recording head which is an example of a liquid jet head according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view of the ink jet recording head according to the present embodiment. FIG. 3 is a cross-sectional view of the recording head according to the present embodiment. FIG. As shown in these drawings, the ink jet recording head 10 of this embodiment includes an actuator unit 20, one flow path unit 30 to which the actuator unit 20 is fixed, and a film-like wiring board connected to the actuator unit 20. And 50.
アクチュエーターユニット２０は、圧力発生手段として圧電アクチュエーター４０を具備するアクチュエーター装置であり、圧力発生室２１が形成された流路形成基板２２と、流路形成基板２２の一方面側に設けられた振動板２３と、流路形成基板２２の他方面側に設けられた圧力発生室底板２４とを有する。 The actuator unit 20 is an actuator device including a piezoelectric actuator 40 as a pressure generating unit, and includes a flow path forming substrate 22 in which a pressure generating chamber 21 is formed, and a diaphragm provided on one surface side of the flow path forming substrate 22. 23 and a pressure generation chamber bottom plate 24 provided on the other surface side of the flow path forming substrate 22.
流路形成基板２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）や、ジルコニア（ＺｒＯ２）などのセラミックス板からなり、本形態では、複数の圧力発生室２１がその幅方向に沿って並設された列が２列形成されている。そして、この流路形成基板２２の一方面に、例えば、厚さ１０μｍのジルコニアの薄板からなる振動板２３が固定され、圧力発生室２１の一方面はこの振動板２３により封止されている。 The flow path forming substrate 22 is made of, for example, a ceramic plate such as alumina (Al 2 O 3 ) or zirconia (ZrO 2 ) having a thickness of about 150 μm. In this embodiment, the plurality of pressure generating chambers 21 are arranged in the width direction. Two rows arranged side by side are formed. A vibration plate 23 made of, for example, a zirconia thin plate having a thickness of 10 μm is fixed to one surface of the flow path forming substrate 22, and one surface of the pressure generating chamber 21 is sealed by the vibration plate 23.
圧力発生室底板２４は、流路形成基板２２の他方面側に固定されて圧力発生室２１の他方面を封止すると共に、圧力発生室２１の長手方向一方の端部近傍に設けられて圧力発生室２１と後述するマニホールド３２とを連通する供給連通孔２５と、圧力発生室２１の長手方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口３４に連通するノズル連通孔２６とを有する。 The pressure generation chamber bottom plate 24 is fixed to the other surface side of the flow path forming substrate 22 to seal the other surface of the pressure generation chamber 21, and is provided in the vicinity of one end of the pressure generation chamber 21 in the longitudinal direction. A supply communication hole 25 that communicates between the generation chamber 21 and a manifold 32 that will be described later, and a nozzle communication hole 26 that is provided near the other end in the longitudinal direction of the pressure generation chamber 21 and communicates with a nozzle opening 34 that will be described later.
圧電アクチュエーター４０は、振動板２３上の各圧力発生室２１に対向する領域のそれぞれに設けられ、例えば、本形態では、圧力発生室２１が２列設けられているため、各圧力発生室２１に対応させて圧電アクチュエーター４０も２列設けられている。 The piezoelectric actuator 40 is provided in each of the regions facing the pressure generation chambers 21 on the vibration plate 23. For example, in this embodiment, two rows of the pressure generation chambers 21 are provided. Correspondingly, two rows of piezoelectric actuators 40 are also provided.
ここで、各圧電アクチュエーター４０は、振動板２３上に設けられた下電極膜４３と、各圧力発生室２１毎に独立して設けられた圧電体層４４と、各圧電体層４４上に設けられた上電極膜４５とで構成されている。圧電体層４４は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。また、下電極膜４３は、並設された圧電体層４４に亘って設けられて複数の圧電アクチュエーター４０の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。上電極膜４５は、各圧電体層４４毎に独立して設けられて各圧電アクチュエーター４０の個別電極となっている。なお、本実施形態では、下電極膜４３を複数の圧電アクチュエーター４０の共通電極とし、上電極膜４５を圧電アクチュエーター４０の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。 Here, each piezoelectric actuator 40 is provided on the lower electrode film 43 provided on the vibration plate 23, the piezoelectric layer 44 provided independently for each pressure generation chamber 21, and the piezoelectric layer 44. And the upper electrode film 45 thus formed. The piezoelectric layer 44 is formed by attaching or printing a green sheet made of a piezoelectric material. The lower electrode film 43 is provided across the piezoelectric layers 44 arranged side by side, serves as a common electrode for the plurality of piezoelectric actuators 40, and functions as a part of the diaphragm. The upper electrode film 45 is provided independently for each piezoelectric layer 44 and serves as an individual electrode for each piezoelectric actuator 40. In this embodiment, the lower electrode film 43 is used as a common electrode for a plurality of piezoelectric actuators 40, and the upper electrode film 45 is used as an individual electrode for the piezoelectric actuator 40. However, this may be reversed for the convenience of the drive circuit and wiring. There is no hindrance.
このようなアクチュエーターユニット２０の各層である流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室２１等を穿設後、積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化される。かくして振動板２３上に圧電アクチュエーター４０が形成される。 The flow path forming substrate 22, the vibration plate 23, and the pressure generation chamber bottom plate 24, which are each layer of the actuator unit 20, are formed of a clay-like ceramic material, a so-called green sheet, to a predetermined thickness, for example, pressure generation After the chamber 21 and the like are drilled, they are laminated and fired to integrate them without requiring an adhesive. Thus, the piezoelectric actuator 40 is formed on the vibration plate 23.
一方、流路ユニット３０は、アクチュエーターユニット２０の圧力発生室底板２４に接合されるインク供給口形成基板３１と、複数の圧力発生室２１の共通インク室となるマニホールド３２が形成されるマニホールド形成基板３３と、ノズル開口３４が形成されたノズルプレート３５とからなる。 On the other hand, the flow path unit 30 is a manifold forming substrate on which an ink supply port forming substrate 31 joined to the pressure generating chamber bottom plate 24 of the actuator unit 20 and a manifold 32 serving as a common ink chamber of the plurality of pressure generating chambers 21 are formed. 33 and a nozzle plate 35 in which nozzle openings 34 are formed.
インク供給口形成基板３１は、厚さ１５０μｍのジルコニアの薄板からなり、ノズル開口３４と圧力発生室２１とを接続するノズル連通孔３６と、前述の供給連通孔２５と共にマニホールド３２と圧力発生室２１とを接続するインク供給口３７を穿設して構成され、また、各マニホールド３２と連通し、外部のインクタンクからのインクを供給するインク導入口３８が設けられている。 The ink supply port forming substrate 31 is made of a zirconia thin plate having a thickness of 150 μm. The nozzle communication hole 36 connecting the nozzle opening 34 and the pressure generation chamber 21 and the manifold 32 and the pressure generation chamber 21 together with the supply communication hole 25 described above. And an ink supply port 37 for connecting the manifold 32 and supplying ink from an external ink tank is provided.
マニホールド形成基板３３は、インク流路を構成するに適した、例えば、１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を備えた板材に、外部のインクタンク（図示なし）からインクの供給を受けて圧力発生室２１にインクを供給するマニホールド３２と、圧力発生室２１とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔３９とを有する。 The manifold forming substrate 33 receives a supply of ink from an external ink tank (not shown) on a plate material having corrosion resistance such as 150 μm stainless steel, which is suitable for forming an ink flow path. And a nozzle communication hole 39 for communicating the pressure generating chamber 21 and the nozzle opening 34.
ノズルプレート３５は、例えば、ステンレス鋼からなる薄板に、圧力発生室２１と同一の配列ピッチでノズル開口３４が穿設されて形成されている。例えば、本形態における流路ユニット３０には、圧力発生室２１の列が２列設けられているため、ノズルプレート３５にも、ノズル開口３４の列が２列形成されている。また、このノズルプレート３５は、マニホールド形成基板３３の流路形成基板２２の反対面に接合されてマニホールド３２の一方面を封止している。 The nozzle plate 35 is formed, for example, by forming nozzle openings 34 in a thin plate made of stainless steel at the same arrangement pitch as the pressure generating chambers 21. For example, since the flow path unit 30 in this embodiment is provided with two rows of the pressure generating chambers 21, the nozzle plate 35 is also formed with two rows of nozzle openings 34. The nozzle plate 35 is bonded to the opposite surface of the flow path forming substrate 22 of the manifold forming substrate 33 to seal one surface of the manifold 32.
このような流路ユニット３０は、これらインク供給口形成基板３１、マニホールド形成基板３３及びノズルプレート３５を、接着剤や熱溶着フィルム等によって固定することで形成される。なお、本形態では、マニホールド形成基板３３及びノズルプレート３５をステンレス鋼によって形成しているが、例えば、セラミックスを用いて形成し、アクチュエーターユニット２０と同様に流路ユニット３０を一体的に形成することもできる。 Such a flow path unit 30 is formed by fixing the ink supply port forming substrate 31, the manifold forming substrate 33, and the nozzle plate 35 with an adhesive, a heat welding film, or the like. In this embodiment, the manifold forming substrate 33 and the nozzle plate 35 are formed of stainless steel. However, for example, the manifold forming substrate 33 and the nozzle plate 35 are formed of ceramics, and the flow path unit 30 is integrally formed in the same manner as the actuator unit 20. You can also.
そして、このような流路ユニット３０とアクチュエーターユニット２０とは、接着剤や熱溶着フィルムを介して接合されて固定されている。 And such a flow-path unit 30 and the actuator unit 20 are joined and fixed through the adhesive agent and the heat welding film.
特に図２及び図３に明示するように、各圧電アクチュエーター４０の長手方向一端部の圧力発生室２１の周壁に相対向する領域には、圧電アクチュエーター４０に導通する端子部として、個別端子部４６が設けられている。ここで、個別端子部４６は、圧電アクチュエーター４０毎に設けられて圧電アクチュエーター４０の上電極膜４５に導通させてある。また、圧電アクチュエーター４０の並設方向の端部側に引き出された下電極膜４３の端部には共通端子部４７が一体的に導通させてある。なお、図２（ａ）には下電極膜４３の一方の端部のみを示しているが、さらに詳細な構造に関しては後に詳述する。 In particular, as clearly shown in FIGS. 2 and 3, an individual terminal portion 46 is provided as a terminal portion conducting to the piezoelectric actuator 40 in a region opposite to the peripheral wall of the pressure generating chamber 21 at one longitudinal end portion of each piezoelectric actuator 40. Is provided. Here, the individual terminal portion 46 is provided for each piezoelectric actuator 40 and is electrically connected to the upper electrode film 45 of the piezoelectric actuator 40. Further, a common terminal portion 47 is integrally connected to the end portion of the lower electrode film 43 drawn to the end portion side in the juxtaposed direction of the piezoelectric actuators 40. FIG. 2A shows only one end of the lower electrode film 43, but a more detailed structure will be described in detail later.
かくして、圧電アクチュエーター４０の各上電極膜４５に導通する個別端子部４６には、配線基板５０に設けられた個別配線層５６の個別端子部５７がそれぞれ電気的に接続されており、下電極膜４３に一体的に導通する共通端子部４７には、ＧＮＤ電位となる共通配線層５８の共通端子部５９が電気的に接続されている。 Thus, the individual terminal portions 57 of the individual wiring layer 56 provided on the wiring substrate 50 are electrically connected to the individual terminal portions 46 conducted to the respective upper electrode films 45 of the piezoelectric actuator 40, and the lower electrode film 43 is electrically connected to a common terminal portion 59 of a common wiring layer 58 having a GND potential.
ここで、個別配線層５６及び共通配線層５８と個別端子部４６及び共通端子部４７との接続は、例えば、異方性導電膜（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）等の異方性導電材を用いることができる。なお、異方性導電材としては、例えば、エポキシ系樹脂と、樹脂ボールにニッケルメッキを施したものなど、従来周知のものを用いることができる。本形態では、個別端子部４６及び共通端子部４７と個別端子部５７及び共通端子部５９とは、異方性導電接着剤からなる接着層５５を介して機械的及び電気的に接続されている。 Here, the connection between the individual wiring layer 56 and the common wiring layer 58 and the individual terminal portion 46 and the common terminal portion 47 is anisotropic, such as anisotropic conductive film (ACF) or anisotropic conductive paste (ACP). A conductive material can be used. In addition, as an anisotropic conductive material, conventionally well-known things, such as what plated the epoxy resin and the resin ball with nickel, can be used, for example. In this embodiment, the individual terminal portion 46 and the common terminal portion 47, and the individual terminal portion 57 and the common terminal portion 59 are mechanically and electrically connected via an adhesive layer 55 made of an anisotropic conductive adhesive. .
各圧電アクチュエーター４０には、配線基板５０を介して図示しない駆動回路からの駆動信号が供給される。なお、駆動回路は特に図示していないが、配線基板５０上に実装されていても、また、配線基板５０以外に実装されていてもよい。 A drive signal from a drive circuit (not shown) is supplied to each piezoelectric actuator 40 via the wiring board 50. Although the drive circuit is not particularly illustrated, it may be mounted on the wiring board 50 or may be mounted on other than the wiring board 50.
配線基板５０は、２列の圧電アクチュエーター４０に亘って１つ設けられた、例えば、フレキシブルプリンティングサーキット（ＦＰＣ）や、テープキャリアパッケージ（ＴＣＰ）などからなる。さらに詳言すると、配線基板５０には、例えば、ポリイミド等のベースフィルム５２の表面に銅箔をベースとして錫メッキ等を施した所定パターンの個別配線層５６及び共通配線層５８が形成され、個別端子部４６と接続される個別配線層５６の個別端子部５７以外の領域及び共通端子部４７と接続される共通配線層５８の共通端子部５９以外の領域等、他の部材との電気的な接続を確保する必要がない領域がレジスト等の絶縁材料５３で覆って形成されている。また、配線基板５０には、並設された圧電アクチュエーター４０の列と列の間に対向する領域に貫通孔５４が設けられており、個別配線層５６は、貫通孔５４側の端部で個別端子部４６と接続されている。 The wiring board 50 is formed of, for example, a flexible printing circuit (FPC), a tape carrier package (TCP), or the like, which is provided over the two rows of piezoelectric actuators 40. More specifically, on the wiring substrate 50, for example, an individual wiring layer 56 and a common wiring layer 58 of a predetermined pattern are formed on the surface of a base film 52 made of polyimide or the like by performing tin plating or the like using a copper foil as a base. Electrically connected to other members such as a region other than the individual terminal portion 57 of the individual wiring layer 56 connected to the terminal portion 46 and a region other than the common terminal portion 59 of the common wiring layer 58 connected to the common terminal portion 47. A region where it is not necessary to ensure the connection is formed by covering with an insulating material 53 such as a resist. Further, the wiring board 50 is provided with through holes 54 in regions facing each other between the rows of the piezoelectric actuators 40 arranged side by side, and the individual wiring layer 56 is individually provided at the end on the through hole 54 side. It is connected to the terminal portion 46.
このような構成のインクジェット式記録ヘッド１０では、インクカートリッジ（貯留手段）からインク導入口３８を介してマニホールド３２内にインクを取り込み、マニホールド３２からノズル開口３４に至るまでの液体流路内をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号を配線基板５０を介して圧電アクチュエーター４０に供給することで、各圧力発生室２１に対応する各圧電アクチュエーター４０に電圧を印加して圧電アクチュエーター４０と共に振動板２３をたわみ変形させることにより、各圧力発生室２１内の圧力が高まり各ノズル開口３４からインク滴が噴射される。 In the ink jet recording head 10 having such a configuration, ink is taken into the manifold 32 from the ink cartridge (storage unit) via the ink introduction port 38, and the ink is passed through the liquid flow path from the manifold 32 to the nozzle opening 34. Then, a recording signal from a drive circuit (not shown) is supplied to the piezoelectric actuator 40 via the wiring substrate 50, whereby a voltage is applied to each piezoelectric actuator 40 corresponding to each pressure generating chamber 21 to thereby apply the piezoelectric actuator 40. At the same time, the diaphragm 23 is bent and deformed to increase the pressure in each pressure generating chamber 21 and eject ink droplets from each nozzle opening 34.
本形態においては配線基板５０とアクチュエーターユニット２０との電気的な接続状態の良否を検査しているが、かかる接続状態の検査時の態様について説明しておく。本形態の場合、両者間の電気的接続は異方性導電膜（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）等の異方性導電材を用いて行っている。 In the present embodiment, the quality of the electrical connection state between the wiring board 50 and the actuator unit 20 is inspected. An aspect of the connection state inspection will be described. In the case of this embodiment, the electrical connection between them is performed using an anisotropic conductive material such as an anisotropic conductive film (ACF) or an anisotropic conductive paste (ACP).
図４は接続状態が検査される圧電アクチュエーターと配線基板との位置関係を示す説明図、図５は検査時の電流経路を説明するための説明図である。なお、図４及び図５中、図１〜図３と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。 FIG. 4 is an explanatory diagram showing the positional relationship between the piezoelectric actuator to be inspected for connection and the wiring board, and FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining the current path during the inspection. 4 and 5, the same parts as those in FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.
図４（ａ）に示すように、各列の圧電アクチュエーター４０に対応させて振動板２３上に設けてある共通電極である２列の下電極膜４３は、各列の両端部から図中の上方及び下方に引き出されており共通端子部４７，４８にそれぞれ一体的に導通させてある。ここで、図中左側の列と右側の列との共通端子部４７，４８はそれぞれが分離されて独立に形成されている。 As shown in FIG. 4 (a), two rows of lower electrode films 43, which are common electrodes provided on the diaphragm 23 in correspondence with the piezoelectric actuators 40 in each row, are formed from both ends of each row in the drawing. It is drawn out upward and downward, and is electrically connected to the common terminal portions 47 and 48, respectively. Here, the common terminal portions 47 and 48 in the left column and the right column in the figure are separated and formed independently.
一方、図４（ｂ）に示すように、配線基板５０には図中下端部からその両側の縁部に沿って伸びる共通配線層５８が形成されるとともに、共通配線層５８に一体的に導通された共通端子部５９が上端部に形成されている。さらに、本形態では圧電アクチュエーター４０の並設方向における前記共通端子部５９の反対側の端部にも共通端子部６０が形成されている。 On the other hand, as shown in FIG. 4B, the wiring substrate 50 is formed with a common wiring layer 58 extending from the lower end portion in the drawing along the edges on both sides thereof, and is integrally connected to the common wiring layer 58. The common terminal portion 59 is formed at the upper end portion. Furthermore, in this embodiment, the common terminal portion 60 is also formed at the end portion on the opposite side of the common terminal portion 59 in the direction in which the piezoelectric actuators 40 are arranged.
かくして左側の列の共通配線層５８の共通端子部５９と左側の列の下電極膜４３の共通端子部４７とを位置的に対応させてあり、同様に、右側の列の共通端子部５９と右側の列の共通端子部４７とを位置的に対応させてある。また、共通端子部６０の両端部は左右両側の列の共通端子部４８にそれぞれ位置的に対応させてある。すなわち、左右両側の列の共通端子部４８は共通端子部６０で電気的に短絡し得るような構成となっている。 Thus, the common terminal portion 59 of the common wiring layer 58 in the left column and the common terminal portion 47 of the lower electrode film 43 in the left column are associated with each other in the same manner. Similarly, the common terminal portion 59 in the right column The common terminal portions 47 in the right column are associated with each other in position. Further, both end portions of the common terminal portion 60 are respectively associated with the common terminal portions 48 in the left and right rows. That is, the common terminal portions 48 in the left and right columns are configured to be electrically short-circuited by the common terminal portion 60.
かかる配線基板５０とアクチュエーターユニット２０とを電気的に接続した後の接続状態の良否の検査の際には図５に示すような電流の経路を形成することで配線基板５０の各列に対応する共通配線層５８間の抵抗を測定している。さらに詳言すると、配線基板５０の各列に対応する共通配線層５８の端部に抵抗計測器６１を接続して電流を供給すると、この場合の電流の経路は図５中に矢印で示す通りとなる。すなわち、左側の共通配線層５８の端部から左側の共通端子部５９に至り、この共通端子部５９から左側の共通端子部４７を介して左側の列の下電極膜４３を通って左側の共通端子部４８に至る。さらに、共通端子部６０から右側の共通端子部４８を介して右側の列の下電極膜４３を通って右側の共通端子部４７に至り、右側の共通端子部５９を介して右側の共通配線層５８から抵抗計測器６１に戻る。この結果、抵抗計測器６１では上述の経路の直列抵抗を測定することになる。したがって、測定された抵抗値の閾値を適切に決めておけば容易に圧電アクチュエーター４０と配線基板５０との接続状態の良否を判定することができる。この場合の閾値としては、例えば０．５（Ω）を用いることができる。すなわち、閾値を超えている場合には不良とする。なお、この場合の抵抗値は共通端子部４７と共通端子部５９との間、及び共通端子部４８と共通端子部６０との間の異方性導電膜（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）等の異方性導電材の潰れ具合を表す指標となるので、この場合の抵抗値により長期に亘り安定的に所定の電気的な接続状態を維持し得るか否かを的確且つ容易に判定し得る。 When inspecting the quality of the connection state after the wiring board 50 and the actuator unit 20 are electrically connected, a current path as shown in FIG. 5 is formed to correspond to each column of the wiring board 50. The resistance between the common wiring layers 58 is measured. More specifically, when a current is supplied by connecting a resistance measuring device 61 to the end of the common wiring layer 58 corresponding to each row of the wiring board 50, the current path in this case is as shown by arrows in FIG. It becomes. That is, from the end of the left common wiring layer 58 to the left common terminal portion 59, the common terminal on the left side passes through the lower electrode film 43 on the left column through the left common terminal portion 47. The terminal part 48 is reached. Furthermore, the common terminal portion 60 passes through the right common terminal portion 48 to the right common terminal portion 47 through the lower electrode film 43 in the right column, and the right common terminal portion 59 passes through the right common wiring layer. The process returns from 58 to the resistance measuring instrument 61. As a result, the resistance measuring instrument 61 measures the series resistance of the above-described path. Therefore, if the threshold value of the measured resistance value is appropriately determined, it is possible to easily determine whether the connection state between the piezoelectric actuator 40 and the wiring board 50 is good. As a threshold value in this case, for example, 0.5 (Ω) can be used. That is, if the threshold is exceeded, it is determined as defective. In this case, the resistance value is an anisotropic conductive film (ACF) or an anisotropic conductive paste (ACF) between the common terminal portion 47 and the common terminal portion 59 and between the common terminal portion 48 and the common terminal portion 60. ACP) is an index that indicates the degree of collapse of anisotropic conductive material, and it is easy and accurate to determine whether or not a predetermined electrical connection state can be stably maintained over a long period of time by the resistance value in this case. It can be determined.
（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施の形態では、２列の圧電アクチュエーター４０の列を有する場合であるが、各圧電アクチュエーター４０の列が２列以上であり、しかも各圧電アクチュエーター４０に対応する下電極膜４３に導通する共通端子部４７が隣接する列のものに対し分離されていれば列数に関するそれ以上の限定はない。かかる２条件を充足すれば、配線基板５０及びアクチュエーターユニット２０との組を隣接させて並設し、これらの各配線基板５０及びアクチュエーターユニット２０を順次直列に接続すれば良いからである。
(Other embodiments)
As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above. For example, in the above-described embodiment, there are two rows of piezoelectric actuators 40, but there are two or more rows of each piezoelectric actuator 40, and the lower electrode film 43 corresponding to each piezoelectric actuator 40 has a row. There is no further limitation on the number of columns as long as the common terminal portion 47 that conducts is separated from the adjacent columns. This is because, if these two conditions are satisfied, a set of the wiring board 50 and the actuator unit 20 may be arranged adjacent to each other, and the wiring board 50 and the actuator unit 20 may be sequentially connected in series.
また、一方の共通端子部４７間が分離されていれば、共通端子部４８間は必ずしも分離されている必要はない。図５に示すような抵抗計測器６１の一方の端子から出て他方に戻る閉回路を形成することはでき、共通端子部４７における接続状態は把握し得るからである。ただ、共通端子部４８間も分離させた上記形態のような構造によれば共通端子部４８側における接続状態も含めて検査することができる。さらに、この場合は圧電アクチュエーター４０の並設方向の両端部における接続状態を検出することになるので、共通端子部４７，４８との間に存在するアクチュエーターユニット２０側の個別端子部４６と配線基板５０側の個別端子部５７との間の接続の良否も推測することができる。前記閉回路の抵抗値が正常であれば圧電アクチュエーター４０の並設方向の両端側の共通端子部４７，４８の接続状態が良好であるため、その間に存在する個別端子部４６との間の接続状態も同様に正常である確率が高いからである。 Further, if the one common terminal portion 47 is separated, the common terminal portions 48 do not necessarily have to be separated. This is because it is possible to form a closed circuit that returns from one terminal of the resistance measuring device 61 and returns to the other as shown in FIG. 5, and the connection state at the common terminal portion 47 can be grasped. However, according to the structure as described above in which the common terminal portions 48 are also separated, the connection state on the common terminal portion 48 side can be inspected. Further, in this case, since the connection state at both ends of the piezoelectric actuator 40 in the juxtaposed direction is detected, the individual terminal portion 46 on the side of the actuator unit 20 existing between the common terminal portions 47 and 48 and the wiring board. The quality of the connection with the 50-side individual terminal portion 57 can also be estimated. If the resistance value of the closed circuit is normal, the connection state of the common terminal portions 47 and 48 on both ends of the piezoelectric actuator 40 in the juxtaposed direction is good, so that the connection between the individual terminal portions 46 existing between them is good. This is because the state is also likely to be normal.
さらに、共通端子部４７，４８は下電極膜４３と一体的に形成したが、下電極膜４３の両端部のバイパスする電路を別途振動板２３の幅方向の両端部に形成し、かかる電路と一体になるように形成しても勿論構わない。抵抗計測器６１の両端子間で閉回路が形成されていれば良いからである。 Furthermore, although the common terminal portions 47 and 48 are formed integrally with the lower electrode film 43, an electric circuit that bypasses both ends of the lower electrode film 43 is separately formed at both ends in the width direction of the diaphragm 23, Of course, it does not matter even if it forms so that it may become one. This is because it is sufficient that a closed circuit is formed between both terminals of the resistance measuring instrument 61.
上記実施の形態では、配線基板５０及びアクチュエーターユニット２０の電気的な接続は異方性導電膜（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）等の異方性導電材を用いたが、これに限るものではなく、半田を用いることも可能である。ただ、接続状態（異方性導電部材の潰れ具合）により微妙に抵抗値が変化する異方性導電材による接続部の検査に適用してより適切で効果的なものとなる。 In the above embodiment, the wiring substrate 50 and the actuator unit 20 are electrically connected using an anisotropic conductive material such as an anisotropic conductive film (ACF) or an anisotropic conductive paste (ACP). It is not limited, and solder can also be used. However, the present invention is more appropriate and effective when applied to the inspection of a connection portion using an anisotropic conductive material whose resistance value slightly changes depending on the connection state (the state of collapse of the anisotropic conductive member).
また、上述した実施の形態では、厚膜型の圧電アクチュエーター４０を用いたアクチュエーター装置を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、下電極、圧電体層及び上電極を成膜及びリソグラフィー法により順次積層する薄膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーター等でも同様に構成することができ、同様の効果を得る。 In the above-described embodiment, the actuator device using the thick film type piezoelectric actuator 40 is exemplified. However, the present invention is not particularly limited thereto. For example, the lower electrode, the piezoelectric layer, and the upper electrode are formed and lithographic methods are used. The same effect can be obtained with a thin film type piezoelectric actuator that is sequentially laminated in accordance with the above, or a longitudinal vibration type piezoelectric actuator that is alternately laminated with piezoelectric materials and electrode forming materials to expand and contract in the axial direction. .
これら実施の形態のインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図６は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。 The ink jet recording head of these embodiments constitutes a part of a recording head unit having an ink flow path communicating with an ink cartridge or the like, and is mounted on the ink jet recording apparatus. FIG. 6 is a schematic view showing an example of the ink jet recording apparatus.
図６に示すように、インクジェット式記録ヘッド１０を有する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。 As shown in FIG. 6, the recording head units 1A and 1B having the ink jet recording head 10 are detachably provided with cartridges 2A and 2B constituting ink supply means, and a carriage on which the recording head units 1A and 1B are mounted. 3 is provided on a carriage shaft 5 attached to the apparatus body 4 so as to be movable in the axial direction. The recording head units 1A and 1B, for example, are configured to eject a black ink composition and a color ink composition, respectively.
そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。 The driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 via a plurality of gears and timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 on which the recording head units 1A and 1B are mounted is moved along the carriage shaft 5. The On the other hand, the apparatus body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, and a recording sheet S that is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller (not shown) is wound around the platen 8. It is designed to be transported.
なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、インクジェット式記録ヘッド１０（ヘッドユニット１Ａ、１Ｂ）がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１０が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。 In the ink jet recording apparatus I described above, the ink jet recording head 10 (head units 1A, 1B) is mounted on the carriage 3 and moves in the main scanning direction. However, the present invention is not particularly limited thereto. The present invention can also be applied to a so-called line recording apparatus in which the ink jet recording head 10 is fixed and printing is performed simply by moving the recording sheet S such as paper in the sub-scanning direction.
また、上述した実施の形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッド１０を、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置Ｉを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。 In the above-described embodiment, the ink jet recording head 10 is described as an example of the liquid ejecting head, and the ink jet recording apparatus I is described as an example of the liquid ejecting apparatus. In addition, the present invention is intended for all liquid ejecting apparatuses, and can be applied to liquid ejecting heads and liquid ejecting apparatuses that eject liquids other than ink. Other liquid ejecting heads include, for example, various recording heads used in image recording apparatuses such as printers, color material ejecting heads used in the manufacture of color filters such as liquid crystal displays, organic EL displays, and FEDs (field emission displays). Examples thereof include an electrode material ejection head used for electrode formation, a bio-organic matter ejection head used for biochip production, and the like, and can also be applied to a liquid ejection apparatus provided with such a liquid ejection head.
Ｉ インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、 １０ インクジェット式記録ヘッド（液体噴射装置）、 ２０ アクチュエーターユニット、 ２１ 圧力発生室、 ２２ 流路形成基板、 ２３ 振動板、 ２４ 圧力発生室底板、 ３０ 流路ユニット、 ３１ インク供給口形成基板、 ３２ マニホールド、 ３３ マニホールド形成基板、 ３４ ノズル開口、 ３５ ノズルプレート、 ４０ 圧電アクチュエーター（圧力発生手段）、 ４３ 下電極膜（共通電極）、 ４４ 圧電体層、 ４５ 上電極膜（個別電極）、 ４６ 個別端子部、 ４７，４８ 共通端子部、 ５０ 配線基板、 ５２ ベースフィルム、 ５３ 絶縁材料、 ５４ 貫通孔、 ５５ 接着層、 ５６ 個別配線層、 ５７ 個別端子部、 ５８ 共通配線層、 ５９，６０ 共通端子部 ６１ 抵抗計測器 I ink jet recording apparatus (liquid ejecting apparatus), 10 ink jet recording head (liquid ejecting apparatus), 20 actuator unit, 21 pressure generating chamber, 22 flow path forming substrate, 23 vibration plate, 24 pressure generating chamber bottom plate, 30 flow path Unit, 31 Ink supply port forming substrate, 32 Manifold, 33 Manifold forming substrate, 34 Nozzle opening, 35 Nozzle plate, 40 Piezoelectric actuator (pressure generating means), 43 Lower electrode film (common electrode), 44 Piezoelectric layer, 45 Electrode film (individual electrode), 46 individual terminal part, 47, 48 common terminal part, 50 wiring board, 52 base film, 53 insulating material, 54 through hole, 55 adhesive layer, 56 individual wiring layer, 57 individual terminal part, 58 Common wiring layer, 59, 60 common Terminal part 61 resistance measuring instrument
Claims (7)
前記配線基板と前記アクチュエーターユニットとを電気的に接続する接続工程と、
前記配線基板の一方の共通端子部から前記アクチュエーターユニットの一方の列の共通端子部を介して一方の列の共通電極に至り、さらに前記圧力発生手段の他方の列の共通電極及び他方の列の共通端子部を介して前記配線基板の他方の共通端子部に至る閉回路を形成して該閉回路の直列抵抗の抵抗値を計測する計測工程と、
前記抵抗値に閾値を設け、該閾値以下の抵抗値を有する配線基板及びアクチュエーターユニットのみを良品として選別する選別工程とを有することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 A flow path unit including a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening for ejecting liquid, an actuator unit including a plurality of rows of pressure generating means for causing a pressure change in the pressure generating chamber, and a film-like wiring board. The method of manufacturing a liquid ejecting head, wherein the pressure generating means is driven based on a control signal sent from the wiring board to cause a pressure change in the pressure generating chamber and eject the liquid through the nozzle opening. And
A connection step of electrically connecting the wiring board and the actuator unit;
From one common terminal portion of the wiring board to the common electrode of one row via the common terminal portion of one row of the actuator unit, and further, the common electrode and the other row of the other row of the pressure generating means A measurement step of forming a closed circuit that reaches the other common terminal portion of the wiring board through the common terminal portion, and measuring a resistance value of a series resistance of the closed circuit;
A method of manufacturing a liquid jet head, comprising: providing a threshold value to the resistance value, and selecting only a wiring board and an actuator unit having a resistance value equal to or less than the threshold value as non-defective products.
前記計測工程は、前記一方の列の共通電極を介した後、前記配線基板の他の共通端子部に至り、該共通端子部を介して前記他方の列の共通電極に至る回路を含む閉回路を形成して該閉回路の直列抵抗の抵抗値を計測するものであることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 In the manufacturing method of the liquid jet head according to claim 1,
The measurement step includes a circuit that passes through the common electrode of the one row, then reaches the other common terminal portion of the wiring board, and reaches the common electrode of the other row through the common terminal portion. And measuring the resistance value of the series resistance of the closed circuit.
前記配線基板と前記アクチュエーターユニットとの前記接続は、異方性導電材料を用いて行うことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 In the manufacturing method of the liquid jet head according to claim 1 or 2,
The method of manufacturing a liquid jet head, wherein the connection between the wiring board and the actuator unit is performed using an anisotropic conductive material.
前記配線基板は、複数の共通端子部を有するとともに、
前記アクチュエーターユニットは、一方の列の共通電極に一体的に導通されるとともに前記配線基板の前記共通端子部の一方に接続された一方の列の共通端子部と、他方の列の共通電極に一体的に導通されるとともに前記配線基板の前記共通端子部の他方に接続された他方の列の共通端子部とを有し、前記配線基板の一方の共通端子部から各列の前記共通電極を介して前記配線基板の他方の共通端子部に至る閉回路を形成し得る電路を有するものであることを特徴とする液体噴射ヘッド。 A flow path unit including a pressure generating chamber communicating with a nozzle opening for ejecting liquid, an actuator unit including a plurality of rows of pressure generating means for causing a pressure change in the pressure generating chamber, and a film-like wiring board. A liquid ejecting head that drives the pressure generating means based on a control signal sent from the wiring board to cause a pressure change in the pressure generating chamber and ejects the liquid through the nozzle opening;
The wiring board has a plurality of common terminal portions,
The actuator unit is integrally connected to the common electrode of one row and is connected to the common terminal portion of one row connected to one of the common terminal portions of the wiring board and the common electrode of the other row. A common terminal portion of the other row connected to the other of the common terminal portions of the wiring board, and from one common terminal portion of the wiring board through the common electrode of each row. A liquid ejecting head having an electric circuit capable of forming a closed circuit reaching the other common terminal portion of the wiring board.
前記配線基板は、前記共通端子部に対し前記圧力発生手段の並設方向の反対側にも他の共通端部を有し、該共通端子部を介して前記圧力発生手段の一方の列と他方の列との共通電極を接続するものであることを特徴とする液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 4,
The wiring board has another common end on the opposite side to the common terminal portion in the direction in which the pressure generating means are juxtaposed, and one row and the other of the pressure generating means are interposed through the common terminal portion. A liquid ejecting head characterized in that a common electrode is connected to the other row.
前記配線基板と前記アクチュエーターユニットとの前記接続は、異方性導電材料を用いて行ったことを特徴とする液体噴射ヘッド。 In the liquid ejecting head according to claim 4 or 5,
The liquid ejecting head according to claim 1, wherein the connection between the wiring board and the actuator unit is performed using an anisotropic conductive material.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012139918A true JP2012139918A (en) | 2012-07-26 |
Family
ID=46676701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010294294A Pending JP2012139918A (en) | 2010-12-28 | 2010-12-28 | Method for manufacturing liquid jetting head, liquid jetting head, and liquid jetting apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2012139918A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2015037838A (en) * | 2013-08-17 | 2015-02-26 | セイコーエプソン株式会社 | Liquid jet head and liquid jet device |
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