JP2012139876A - Recording layer for optical information recording medium, and optical information recording medium - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、光情報記録媒体用の記録層、及び光情報記録媒体に関するものである。 The present invention relates to a recording layer for an optical information recording medium and an optical information recording medium.
光情報記録媒体(光ディスク)は、CD、DVD、BDといった光ディスクに代表され、記録再生方式により、再生専用型、追記型および書換え型の3種類に大別される。このうち追記型の光ディスクの記録方式は、主に、記録層を相変化させる相変化方式、複数の記録層を反応させる層間反応方式、記録層を構成する化合物を分解させる分解方式、記録層に孔やピットなどの記録マークを局所的に形成させる孔開け方式に大別される。 Optical information recording media (optical discs) are typified by optical discs such as CDs, DVDs, and BDs, and are roughly classified into three types according to recording and playback methods: read-only type, write once type, and rewritable type. Of these, the write-once type optical disc recording method mainly includes a phase change method for changing the phase of the recording layer, an interlayer reaction method for reacting a plurality of recording layers, a decomposition method for decomposing a compound constituting the recording layer, and a recording layer. It is roughly classified into a drilling method in which recording marks such as holes and pits are locally formed.
前記相変化方式では、記録層の結晶化による光学特性の変化を利用した材料が、記録層の材料として提案されている。例えば特許文献1では、Te−O−M(Mは金属元素、半金属元素及び半導体元素から選ばれる少なくとも1種の元素)を含む記録層が提案され、特許文献2ではSbおよびTeを含む記録層が提案されている。
In the phase change method, a material using a change in optical characteristics due to crystallization of the recording layer has been proposed as a material for the recording layer. For example, Patent Document 1 proposes a recording layer containing Te-OM (where M is at least one element selected from a metal element, a metalloid element, and a semiconductor element), and
前記層間反応方式の光情報記録媒体の記録層としては、例えば特許文献3に、第一記録層をIn−O−(Ni、Mn、Mo)を含む合金からなるものとし、かつ第二記録層をSe及び/又はTe元素、O(酸素)、及びTi、Pd、Zrの中から選ばれた一つの元素を含む合金からなるものとした記録層が提案されている。また特許文献4では、第一記録層:In主成分とする金属、第二記録層:5B族または6B族に属する少なくとも1種類の元素を含む、酸化物以外の金属あるいは非金属を積層して、加熱による反応または合金化により記録を行うことが提案されている。
As the recording layer of the interlayer reaction type optical information recording medium, for example, in
前記記録層を構成する化合物を分解する分解方式の記録層として、例えば特許文献5には、窒化物を主成分とした記録層が示されており、該窒化物を加熱により分解することで記録を行う材料や、有機色素材料が検討されている。
As a decomposition-type recording layer for decomposing a compound constituting the recording layer, for example,
前記孔開け方式の記録層としては、低融点金属材料からなるものが検討されている。例えば特許文献6では、Sn合金に3B族、4B族、5B族の元素を添加した合金からなるものが提案されている。また特許文献7では、Niおよび/またはCoを1〜50原子%の範囲で含有するSn基合金からなる記録層が提案されている。更に特許文献8には、Coを20〜65原子%含有するIn合金、さらにこれにSn、Bi、Ge、Siから選ばれる1種類以上の元素を19原子%以下含有するIn合金からなる記録層が示されている。また特許文献9には、Pd、Ag、Oからなり、これらPd、Ag、Oの原子数の比率が所定範囲内に制御された記録層が開示されている。 As the perforated recording layer, a recording layer made of a low melting point metal material has been studied. For example, Patent Document 6 proposes an alloy made of an alloy obtained by adding a 3B group, 4B group, or 5B group element to a Sn alloy. Patent Document 7 proposes a recording layer made of a Sn-based alloy containing Ni and / or Co in the range of 1 to 50 atomic%. Further, Patent Document 8 discloses a recording layer made of an In alloy containing 20 to 65 atomic percent of Co, and further containing an In alloy containing 19 atomic percent or less of one or more elements selected from Sn, Bi, Ge, and Si. It is shown. Patent Document 9 discloses a recording layer made of Pd, Ag, and O, in which the ratio of the number of Pd, Ag, and O atoms is controlled within a predetermined range.
光情報記録媒体に求められる要求特性には、書き込みレーザー光の入射によって、記録信号が再生に十分な信号振幅を有すること(高変調度であること)、および信号強度が高いこと(高C/N比であること)や、劣化や環境劣化が生じ難い高い耐久性が求められる。C/N比とは、Carrier to Noise ratioの意味で、読み取り時の信号とバックグラウンドのノイズ出力レベルの比である。 The required characteristics required for an optical information recording medium include that a recording signal has a signal amplitude sufficient for reproduction (high modulation degree) and a high signal intensity (high C / N durability), and high durability that is unlikely to cause degradation or environmental degradation. The C / N ratio means “Carrier to Noise ratio” and is a ratio between a signal at the time of reading and a background noise output level.
上記従来技術として開示されている記録材料は、これらの要求特性を記録材料単体で満たすことが難しかった。 The recording material disclosed as the above prior art has been difficult to satisfy these required characteristics with the recording material alone.
相変化方式では、記録層単独での反射率が低いため、光ディスク状態での反射率を高めるべく反射膜が必要であり、かつ変調度を増加させるため、記録層の上下にZnS−SiO2などの誘電体層(誘電膜)を設ける必要があり、光ディスクを構成する層数が多くなり、生産性が悪かった。層間反応方式でも複数の記録層が必要であることから、光ディスクを構成する層数が多くなり、生産性が悪かった。 In the phase change method, since the reflectance of the recording layer alone is low, a reflective film is necessary to increase the reflectance in the optical disk state, and ZnS-SiO 2 or the like is formed above and below the recording layer in order to increase the modulation degree. The dielectric layer (dielectric film) must be provided, and the number of layers constituting the optical disk is increased, resulting in poor productivity. Even in the interlayer reaction method, since a plurality of recording layers are necessary, the number of layers constituting the optical disk is increased, and the productivity is poor.
分解方式では、記録層として、有機色素材料を用いた光情報記録媒体が広く用いられているが、青色レーザーや青紫色レーザーのような短波長(400nm付近)の可視光線を吸収しにくいため、良好な記録情報が得られず、記録密度を向上させることができなかった。また有機色素材料を用いた光情報記録媒体は、日光などの光による劣化や長期保存による劣化を抑制することは困難であった。 In the decomposition method, an optical information recording medium using an organic dye material is widely used as a recording layer, but it is difficult to absorb visible light having a short wavelength (near 400 nm) such as a blue laser or a blue-violet laser. Good recording information could not be obtained, and the recording density could not be improved. Further, it has been difficult for optical information recording media using organic dye materials to suppress deterioration due to light such as sunlight or deterioration due to long-term storage.
これに対し前記孔開け方式は、記録層自体の反射率が高く、且つ、大きな変調度も確保できるため、光ディスクを構成する層の数を低減できるが、より高い記録感度を達成するにあたっては、更なる検討が必要である。 On the other hand, the perforation method has a high reflectivity of the recording layer itself and can secure a large degree of modulation, so that the number of layers constituting the optical disk can be reduced, but in achieving higher recording sensitivity, Further study is needed.
本発明はこの様な事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、光ディスクの層数を低減しながら上記要求特性を満たして、光情報記録媒体の生産性を高めることのできる光情報記録媒体用記録層と、該記録層を備えた光情報記録媒体を提供することにある。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide optical information capable of increasing the productivity of an optical information recording medium by satisfying the above required characteristics while reducing the number of layers of an optical disk. The object is to provide a recording layer for a recording medium and an optical information recording medium provided with the recording layer.
上記課題を解決し得た本発明は、レーザー光の照射により記録が行われる記録層であって、Mn酸化物を含み、前記記録層に含まれる酸化物を構成する全金属元素中に占めるMnの原子比が80原子%以下であると共に、金属Mnを含まないことに要旨を有する光情報記録媒体用記録層である。 The present invention that has solved the above-mentioned problems is a recording layer on which recording is performed by laser light irradiation, including Mn oxide, and Mn occupying in all metal elements constituting the oxide included in the recording layer Is a recording layer for an optical information recording medium having a gist of not containing metal Mn.
更に、In酸化物、Zn酸化物、Sn酸化物、およびCu酸化物よりなる群から選択される少なくとも一種の酸化物を含むことも好ましい実施態様である。 Furthermore, it is also a preferable embodiment that at least one oxide selected from the group consisting of In oxide, Zn oxide, Sn oxide, and Cu oxide is included.
本発明は、上記光情報記録媒体用記録層を備えている点に特徴を有する光情報記録媒体も含まれる。 The present invention also includes an optical information recording medium characterized in that the recording layer for an optical information recording medium is provided.
更に、前記光情報記録媒体用記録層の上および/または下に誘電体層が積層されたものである光情報記録媒体も本発明の好ましい実施形態である。 Furthermore, an optical information recording medium in which a dielectric layer is laminated on and / or below the recording layer for the optical information recording medium is also a preferred embodiment of the present invention.
本発明の前記光記録情報媒体は、金属層を含まないことが好ましい。 The optical recording information medium of the present invention preferably does not include a metal layer.
また前記光情報記録媒体は、複数の前記光情報記録媒体用記録層を有すると共に、前記複数の光情報記録媒体用記録層の層間に透明中間層を有することも好ましい実施態様である。 It is also a preferred embodiment that the optical information recording medium has a plurality of recording layers for the optical information recording medium and a transparent intermediate layer between the plurality of recording layers for the optical information recording medium.
本発明によれば、実用的な記録レーザーパワーでの記録感度に優れた光情報記録媒体用記録層(特に、追記型光情報記録媒体用記録層)、および該記録層を備えた光情報記録媒体(特に、追記型光情報記録媒体)を提供することができる。 According to the present invention, a recording layer for an optical information recording medium excellent in recording sensitivity at a practical recording laser power (particularly, a recording layer for a write once optical information recording medium), and an optical information recording provided with the recording layer A medium (particularly a write-once optical information recording medium) can be provided.
尚、本明細書において、「記録感度に優れる」とは、後記する実施例の欄で詳述する通り、記録層へのレーザー光(書き込みレーザー光)の照射によって、比較的低い記録レーザーパワー、おおむね5〜15mWであっても、高いC/N比および高変調度を実現できることを意味する。 In the present specification, “excellent recording sensitivity” means that, as will be described in detail in the Examples section described later, a relatively low recording laser power is obtained by irradiating the recording layer with laser light (writing laser light). This means that a high C / N ratio and a high degree of modulation can be realized even when the power is about 5 to 15 mW.
本発明者らは、書き込みレーザー光の照射によって記録感度に優れた追記型光情報記録媒体用記録層を実現すべく鋭意検討を行った。その結果、従来の記録層とは異なる材料、すなわち、Mn酸化物を含む記録層か、好ましくは、Mn酸化物と;In酸化物、Zn酸化物、Sn酸化物、およびCu酸化物よりなる群から選択される少なくとも一種の酸化物と、を含む記録層を用いれば、所期の目的が達成されることを見出した。上記記録層にレーザー光を照射すると、Mn酸化物がレーザー光により加熱され、分解して酸素(O2ガス)を放出し、レーザー照射された部分に気泡が生成するようになる。その結果、膜形状が変化し、マークが形成される。このようなレーザー照射に伴う気泡生成による不可逆的な記録方式を用いれば、従来よりも記録感度が高められることを見出し、本発明を完成した。 The inventors have intensively studied to realize a recording layer for a write-once optical information recording medium having excellent recording sensitivity by irradiation with a writing laser beam. As a result, a material different from the conventional recording layer, that is, a recording layer containing Mn oxide, or preferably Mn oxide; a group consisting of In oxide, Zn oxide, Sn oxide, and Cu oxide It was found that the intended purpose can be achieved by using a recording layer containing at least one oxide selected from: When the recording layer is irradiated with laser light, the Mn oxide is heated by the laser light, decomposes and releases oxygen (O 2 gas), and bubbles are generated in the laser irradiated portion. As a result, the film shape changes and a mark is formed. It has been found that if such an irreversible recording method using bubble generation accompanying laser irradiation is used, the recording sensitivity can be improved as compared with the prior art, and the present invention has been completed.
本発明の記録層による記録方式では、レーザー照射前の記録層の構造はアモルファスであり、レーザー照射後もアモルファスである点で、アモルファスがレーザー照射により結晶に変化することを利用した相変化方式と相違する。 In the recording system using the recording layer of the present invention, the structure of the recording layer before laser irradiation is amorphous, and the structure is amorphous after laser irradiation. Is different.
本発明の記録層が記録感度に優れている理由として、レーザー照射により気泡が発生し、マーク形成が行われた部分では、気泡の発生していない部分(すなわち、マークを形成していない部分)と比べて透過率が増加(即ち、反射率が低下)することで、変調度を大きくすることができたと考えられる。 The reason why the recording layer of the present invention is excellent in recording sensitivity is that a bubble is generated by laser irradiation and a portion where a mark is formed is a portion where no bubble is generated (that is, a portion where no mark is formed). It is considered that the degree of modulation could be increased by increasing the transmittance (that is, reducing the reflectance) as compared with the above.
また、本発明のようにMn酸化物を記録層中に含有することにより、Mn酸化物を含有しない記録層と比較して、膜の光吸収率を大きくすることができるため、書き込み光のレーザーのエネルギーを効率よく熱エネルギーへと変換することができる。更に本発明では、記録層に含まれる酸化物を構成する全金属元素(好ましくは、Mnと;In、Zn、Sn、およびCuよりなる群から選択される少なくとも一種の元素)中に占めるMn量の比(原子比)を適切に制御しているため、記録に必要なレーザーパワーを制御することもできる。その結果、本発明によれば、実用的な記録レーザーのパワー(おおむね、5〜15mW)で上記酸化Mnの分解が促進されて、記録感度を向上させることができる。 Further, since the Mn oxide is contained in the recording layer as in the present invention, the light absorption rate of the film can be increased as compared with the recording layer not containing the Mn oxide. Can be efficiently converted into thermal energy. Furthermore, in the present invention, the amount of Mn in all metal elements (preferably Mn; at least one element selected from the group consisting of In, Zn, Sn and Cu) constituting the oxide contained in the recording layer. Since the ratio (atomic ratio) is appropriately controlled, the laser power necessary for recording can also be controlled. As a result, according to the present invention, decomposition of the Mn oxide can be promoted with practical recording laser power (generally 5 to 15 mW), and recording sensitivity can be improved.
なお、本発明の記録層は、金属Mnを含まない。これは金属Mnが記録層に含まれていると、金属Mnの酸化や分解が進行してしまい、耐久性が低下するからである。したがって、本発明の記録層は、金属Mnを含まないとすることで、記録層の環境劣化による長期信頼性低下を抑制できる。本発明者らの検討結果によれば、上記Mn量の比(原子比)を適切に制御しているため、後記する実施例に示すように、良好な特性が得られた。 The recording layer of the present invention does not contain metal Mn. This is because when the metal Mn is contained in the recording layer, the oxidation and decomposition of the metal Mn proceeds and the durability is lowered. Therefore, since the recording layer of the present invention does not contain metal Mn, it is possible to suppress long-term reliability deterioration due to environmental degradation of the recording layer. According to the examination results of the present inventors, since the ratio (atomic ratio) of the Mn amount was appropriately controlled, good characteristics were obtained as shown in the examples described later.
以下、本発明に係る記録層の構成を詳細に説明する。本明細書では、説明の便宜上、In、Zn、Sn、およびCuよりなる群から選択される少なくとも一種の元素を、X群元素と呼ぶ場合がある。 Hereinafter, the configuration of the recording layer according to the present invention will be described in detail. In this specification, for convenience of explanation, at least one element selected from the group consisting of In, Zn, Sn, and Cu may be referred to as an X group element.
前述したように本発明の記録層は、レーザー光の照射により記録が行われる記録層であって、Mn酸化物を含むところに特徴がある。好ましくは本発明の記録層は、Mn酸化物と;In酸化物、Zn酸化物、Sn酸化物、およびCu酸化物よりなる群から選択される少なくとも一種の酸化物を含んでいる。上記したように記録層には、金属Mnを含まない。 As described above, the recording layer of the present invention is a recording layer on which recording is performed by irradiation with laser light, and is characterized in that it contains a Mn oxide. Preferably, the recording layer of the present invention contains Mn oxide and at least one oxide selected from the group consisting of In oxide, Zn oxide, Sn oxide, and Cu oxide. As described above, the recording layer does not contain metal Mn.
本発明の記録層はMn酸化物を含む。Mn酸化物の形態は通常存在し得るものであれば特に限定されない。Mn酸化物としては、MnO、Mn3O4、Mn2O3、MnO2などのようにMnと酸素(O)とから構成される酸化物のほか、上記記録層に含まれ得る他の元素(X群元素=In、Zn、Sn、Cuの少なくとも一種)との複合酸化物(X−Mnx−Oy)が挙げられる。 The recording layer of the present invention contains Mn oxide. The form of the Mn oxide is not particularly limited as long as it can usually exist. Examples of the Mn oxide include oxides composed of Mn and oxygen (O) such as MnO, Mn 3 O 4 , Mn 2 O 3 , MnO 2, and other elements that can be included in the recording layer. And a composite oxide (X-Mnx-Oy) with (X group element = at least one of In, Zn, Sn, and Cu).
本発明の記録層には上記Mn酸化物を含むと共に、記録層に含まれる酸化物を構成する全金属元素中に占めるMnの原子比が80原子%以下であることが必要である。Mnが80原子%を超えて含まれていると、レーザー照射による気泡が良好に形成されず、記録信号が得られない。 The recording layer of the present invention contains the Mn oxide, and it is necessary that the atomic ratio of Mn in all metal elements constituting the oxide contained in the recording layer is 80 atomic% or less. When Mn is contained in excess of 80 atomic%, bubbles due to laser irradiation are not formed well, and a recording signal cannot be obtained.
本発明の記録層は、Mn酸化物の他に、In酸化物、Zn酸化物、Sn酸化物、およびCu酸化物よりなる群から選択される少なくとも一種の酸化物を含んでいても良い。これらの酸化物は、膜屈折率の制御や、記録感度(変調度やC/N比)の制御に有用である。In酸化物、Zn酸化物、Sn酸化物、およびCu酸化物の形態も通常存在し得るものであれば特に限定されず、例えば、In酸化物について、In2O3など、Zn酸化物について、ZnOなど、Sn酸化物について、SnOもしくはSnO2など、Cu酸化物について、CuO、Cu2Oなどが例示される。本発明では上記酸化物の少なくとも一種を含んでいればよく、In酸化物、Zn酸化物、Sn酸化物、およびCu酸化物をそれぞれ単独で含有しても良いし、2種以上の酸化物を含有してもよい。これらのうち好ましい酸化物はIn酸化物である。 The recording layer of the present invention may contain at least one oxide selected from the group consisting of In oxide, Zn oxide, Sn oxide, and Cu oxide in addition to Mn oxide. These oxides are useful for controlling the film refractive index and recording sensitivity (modulation degree and C / N ratio). The form of In oxide, Zn oxide, Sn oxide, and Cu oxide is not particularly limited as long as it can usually exist. For example, for In oxide, In 2 O 3 and the like, for Zn oxide, Examples of Sn oxides such as ZnO include SnO or SnO 2, and examples of Cu oxides include CuO and Cu 2 O. In the present invention, it is sufficient if it contains at least one of the above oxides, and each of them may contain In oxide, Zn oxide, Sn oxide, and Cu oxide alone, or two or more oxides may be contained. You may contain. Among these, a preferable oxide is In oxide.
なお、記録層中に上記選択酸化物であるIn酸化物、Zn酸化物、Sn酸化物、Cu酸化物を含むときは、これらの金属元素(すなわち、金属In、金属Zn、金属Sn、金属Cu)は含まないことが望ましい。これらの金属元素は、他の酸化物から酸素を奪って酸化することがあるが、そのような場合、記録層の特性に影響を及ぼすからである。 In addition, when the recording layer contains In oxide, Zn oxide, Sn oxide, and Cu oxide, which are the selective oxides, these metal elements (that is, metal In, metal Zn, metal Sn, and metal Cu). ) Should not be included. These metal elements sometimes oxidize by depriving oxygen from other oxides. In such a case, the characteristics of the recording layer are affected.
記録感度に優れた記録層を得るためには、本発明の記録層を構成する酸化物(Mn酸化物と;好ましくはIn酸化物、Zn酸化物、Sn酸化物、およびCu酸化物よりなる群から選択される少なくとも一種の酸化物)を構成する金属元素(Mnと、X群元素)中に占めるMn量の原子比(下式で表わされる、以下、「Mn比」と略記する場合がある。)が、10原子%以上であることが好ましい。 In order to obtain a recording layer having excellent recording sensitivity, the oxide constituting the recording layer of the present invention (Mn oxide; preferably a group consisting of In oxide, Zn oxide, Sn oxide, and Cu oxide) The atomic ratio of the amount of Mn in the metal element (Mn and the X group element) constituting at least one oxide selected from the group (represented by the following formula, hereinafter may be abbreviated as “Mn ratio”). .) Is preferably 10 atomic% or more.
Mn量(原子%)
={[Mn]/([Mn]+[In]+[Zn]+[Sn]+[Cu])}×100
式中、[Mn]、[In]、[Zn]、[Sn]、および[Cu]はそれぞれ、
本発明の記録層に含まれるMn量(原子%)、In量(原子%)、
Zn量(原子%)、Sn量(原子%)、Cu量(原子%)を意味する。
なお、記録層中にIn、Zn、Sn、Cuを含まないときは、それぞれ0原子%
として計算する。
Mn content (atomic%)
= {[Mn] / ([Mn] + [In] + [Zn] + [Sn] + [Cu])} × 100
In the formula, [Mn], [In], [Zn], [Sn], and [Cu] are respectively
Mn content (atomic%), In content (atomic%) contained in the recording layer of the present invention,
It means Zn content (atomic%), Sn content (atomic%), and Cu content (atomic%).
When the recording layer does not contain In, Zn, Sn, or Cu, 0 atomic% each.
Calculate as
ここで、Mn比が10原子%未満になると、レーザー照射時に分解する酸化Mnが少ないため、放出される酸素量が十分でなく、生成する気泡が少なくなり、結果として信号強度(C/N比)が小さくなる。また記録層が2層以上存在する多層光ディスクでは、レーザー入射面から最も遠い記録層はある程度の透過率が要求される。Mn比が10原子%未満になると記録層の光吸収率も小さくなるため、記録に必要なレーザーパワーが大きくなり好ましくない。Mn比は、好ましくは10原子%以上、より好ましくは12原子%以上、更に好ましくは15原子%以上である。 Here, when the Mn ratio is less than 10 atomic%, the amount of released oxygen is not sufficient because the amount of Mn oxide decomposed during laser irradiation is small, resulting in fewer bubbles, resulting in signal strength (C / N ratio). ) Becomes smaller. Further, in a multilayer optical disc having two or more recording layers, a certain degree of transmittance is required for the recording layer farthest from the laser incident surface. If the Mn ratio is less than 10 atomic%, the light absorption rate of the recording layer is also reduced, which is not preferable because the laser power required for recording increases. The Mn ratio is preferably 10 atomic% or more, more preferably 12 atomic% or more, and further preferably 15 atomic% or more.
ところで、Mn比は酸化Mnが多いと変調度が小さくなるため、80原子%以下、好ましくは70原子%以下、より好ましくは60原子%以下である。 By the way, the Mn ratio is 80 atomic% or less, preferably 70 atomic% or less, more preferably 60 atomic% or less because the degree of modulation decreases when the amount of Mn oxide is large.
本発明の記録層は、上記の通りMn酸化物を含み、作製時に不可避的に混入する不可避的不純物が含まれ得る。また好ましくは本発明の記録層は、Mn酸化物と;In酸化物、Zn酸化物、Sn酸化物、およびCu酸化物よりなる群から選択される少なくとも一種の酸化物とを含み、作製時に不可避的に混入する不可避的不純物が含まれ得る。 The recording layer of the present invention contains Mn oxide as described above, and may contain inevitable impurities that are inevitably mixed during production. Preferably, the recording layer of the present invention contains Mn oxide; and at least one oxide selected from the group consisting of In oxide, Zn oxide, Sn oxide, and Cu oxide, and is unavoidable during production. Inevitable impurities may be included.
上記記録層の好ましい膜厚は、記録層の上および/または下に誘電体層等の他の層を挿入する場合と、これら他の層を有しない場合とで相違する。光情報記録媒体の構造によっても相違するが、主に記録層を単層で使用する場合(誘電体層を設けない場合)には、記録層の膜厚を10〜60nmとすることが好ましい。記録層の膜厚が薄すぎると、分解されるMn量が少なくなるため、記録による十分な反射率変化が得られにくいからである。より好ましくは20nm以上、特に好ましくは30nm以上である。一方、記録層の膜厚が厚すぎると、膜の形成に時間がかかり、生産性が低下すると共に、記録に必要なレーザーパワーが大きくなる。より好ましくは50nm以下、更に好ましくは45nm以下である。また記録層の上および/または下に誘電体層を設ける場合には、記録層の膜厚を2〜50nmとすることが好ましく、より好ましくは3nm以上、更に好ましくは5nm以上、より更に好ましくは10nm以上であって、より好ましくは40nm以下、更に好ましくは15nm以下である。 The preferred film thickness of the recording layer differs between the case where another layer such as a dielectric layer is inserted above and / or below the recording layer and the case where these other layers are not provided. Although it differs depending on the structure of the optical information recording medium, when the recording layer is mainly used as a single layer (when no dielectric layer is provided), the thickness of the recording layer is preferably 10 to 60 nm. This is because if the thickness of the recording layer is too thin, the amount of Mn to be decomposed decreases, and it is difficult to obtain a sufficient reflectance change due to recording. More preferably, it is 20 nm or more, and particularly preferably 30 nm or more. On the other hand, if the recording layer is too thick, it takes time to form the film, the productivity is lowered, and the laser power required for recording is increased. More preferably, it is 50 nm or less, More preferably, it is 45 nm or less. When a dielectric layer is provided on and / or below the recording layer, the thickness of the recording layer is preferably 2 to 50 nm, more preferably 3 nm or more, still more preferably 5 nm or more, and still more preferably It is 10 nm or more, More preferably, it is 40 nm or less, More preferably, it is 15 nm or less.
本発明の記録層は、上記の通り、Mn酸化物(特定の割合のMn)を含み、好ましくは、Mn酸化物と;In酸化物、Zn酸化物、Sn酸化物、およびCu酸化物よりなる群から選択される少なくとも一種の酸化物を含むものであるが、この様な形態の記録層を得るには、スパッタリング法で記録層を形成することが好ましい。スパッタリング法によれば、ディスク面内での膜厚分布均一性も確保できるため好ましい。 As described above, the recording layer of the present invention contains Mn oxide (a specific proportion of Mn), preferably Mn oxide; and consists of In oxide, Zn oxide, Sn oxide, and Cu oxide. Although it contains at least one oxide selected from the group, in order to obtain such a recording layer, it is preferable to form the recording layer by sputtering. The sputtering method is preferable because the film thickness distribution uniformity within the disk surface can be secured.
上記酸化物を含む記録層をスパッタリング法で形成するには、反応性スパッタリングを行い、スパッタリング条件としてガス流量を調整して行なうことが好ましい。特に、Ar(アルゴン)流量に対する酸素流量の比を0.5倍以上とすることが好ましく、より好ましくは1.0倍以上である。また、Ar流量に対する酸素流量の比は5.0倍以下であることが好ましい。スパッタリング法におけるその他の条件は特に限定されず、汎用される方法を採用することができ、ガス圧を例えば0.1〜1.0Paの範囲、スパッタ電力を例えば0.5〜20W/cm2の範囲に制御すれば良い。 In order to form the recording layer containing the oxide by sputtering, it is preferable to perform reactive sputtering and adjust the gas flow rate as sputtering conditions. In particular, the ratio of the oxygen flow rate to the Ar (argon) flow rate is preferably 0.5 times or more, more preferably 1.0 times or more. The ratio of the oxygen flow rate to the Ar flow rate is preferably 5.0 times or less. Other conditions in the sputtering method are not particularly limited, and a widely used method can be adopted. The gas pressure is in the range of 0.1 to 1.0 Pa, for example, and the sputtering power is in the range of 0.5 to 20 W / cm 2 , for example. What is necessary is just to control to a range.
前記スパッタリング法で用いるスパッタリングターゲット(以下、単に「ターゲット」ということがある)としては、Mn酸化物を含み、残部:不可避的不純物であるターゲットが挙げられる。 Examples of the sputtering target used in the sputtering method (hereinafter sometimes simply referred to as “target”) include a target that contains Mn oxide and the balance is an inevitable impurity.
好ましいターゲットは、(A)Mn酸化物と;In酸化物、Zn酸化物、Sn酸化物、およびCu酸化物よりなる群から選択される少なくとも一種の酸化物を含み、残部:不可避的不純物であるターゲットである。あるいは上記(A)のターゲットの代わりに、(B)Mn金属ターゲットと;In、Zn、Sn、およびCuよりなる群から選択される少なくとも一種の元素を含有する金属ターゲットと、を用い、これらを同時放電させて多元スパッタリングを行っても良い。更に(C)金属と酸化物の混合ターゲットを用いてもよい。金属元素は、酸素を導入することによって酸化物となる。 Preferred targets include (A) Mn oxide; and at least one oxide selected from the group consisting of In oxide, Zn oxide, Sn oxide, and Cu oxide, and the balance: inevitable impurities Is the target. Alternatively, instead of the above target (A), (B) a Mn metal target; and a metal target containing at least one element selected from the group consisting of In, Zn, Sn, and Cu are used. Multiple source sputtering may be performed by simultaneous discharge. Further, (C) a mixed target of metal and oxide may be used. The metal element becomes an oxide by introducing oxygen.
上記(A)〜(C)のスパッタリングターゲットに含まれるMn原子と;In原子、Zn原子、Sn原子、およびCu原子よりなる群から選択される少なくとも一種の原子(実際に含まれている原子)の合計に対するMn原子の比率が10〜80原子%であるスパッタリングターゲットを用いることもできる。 Mn atoms contained in the sputtering targets of (A) to (C) above; at least one atom selected from the group consisting of In atoms, Zn atoms, Sn atoms, and Cu atoms (actually contained atoms) A sputtering target in which the ratio of Mn atoms to the total of 10 to 80 atomic% can also be used.
なお、上記(A)及び(C)のスパッタリングターゲットとしては、特に、Mnの金属粉末またはMn酸化物の粉末と;In酸化物、Zn酸化物、Sn酸化物、およびCu酸化物よりなる群から選択される少なくとも一種の酸化物または金属の粉末を混合し、焼結させたものを用いることが、生産性や形成された薄膜の組成の面内均一性や厚み制御の点で好ましい。上記スパッタリングターゲットの製造に当たり、微量ながら不純物がスパッタリングターゲット中に混入することがある。しかし、本発明のスパッタリングターゲットの成分組成は、それら不可避に混入してくる微量成分まで規定するものではなく、本発明の上記特性が阻害されない限り、それら不可避不純物の微量混入は許容される。 The sputtering targets (A) and (C) described above are particularly made from a group consisting of Mn metal powder or Mn oxide powder; and a group consisting of In oxide, Zn oxide, Sn oxide, and Cu oxide. It is preferable to use a powder obtained by mixing and sintering at least one selected oxide or metal powder in terms of productivity, in-plane uniformity of the composition of the formed thin film, and thickness control. In the production of the sputtering target, impurities may be mixed in the sputtering target with a small amount. However, the component composition of the sputtering target of the present invention does not prescribe even the trace components that are inevitably mixed, and the trace amounts of these unavoidable impurities are allowed as long as the above characteristics of the present invention are not impaired.
本発明の光情報記録媒体は、上記記録層を備えている点に特徴を有しており、Mnの酸化物が分解して発生するO2ガスの効果によってマークが形成される。 The optical information recording medium of the present invention is characterized in that the recording layer is provided, and a mark is formed by the effect of O 2 gas generated by decomposition of Mn oxide.
本発明では、上記記録層以外の構成は特に限定されず、光情報記録媒体の分野に公知の構成を採用することができる。 In the present invention, the configuration other than the recording layer is not particularly limited, and a configuration known in the field of optical information recording media can be employed.
本発明の光情報記録媒体は、上記記録層、更には記録層の上および/または下(少なくとも片面)に誘電体層を積層したものを備えることにより、従来、反射率を向上させるために必要とされていた金属層(Ag、Au、Cu、Al、Ni、Cr、Ti等の金属の層やそれらの合金の層)の形成を省略することができる。上記した様に本発明の記録層は、高い反射率、変化率を有しているため、特に反射層を設けなくても十分に信号再生が可能である。 The optical information recording medium of the present invention is conventionally required to improve the reflectance by including the above-mentioned recording layer, and further having a dielectric layer laminated on and / or below (at least one side) of the recording layer. The formation of a metal layer (a metal layer such as Ag, Au, Cu, Al, Ni, Cr, Ti, or an alloy thereof) can be omitted. As described above, since the recording layer of the present invention has a high reflectance and change rate, it is possible to sufficiently reproduce signals without providing a reflective layer.
また上記記録層の上および/または下に誘電体層を設けることによって、信号強度を高めることができ、信号特性を更に改善できる。これはレーザー照射によって記録層が分解されて発生した酸素の逃散を防止することで、反射率の低下を抑制でき、記録層として必要な反射率を確保できるからである。 Further, by providing a dielectric layer above and / or below the recording layer, the signal strength can be increased and the signal characteristics can be further improved. This is because by preventing the escape of oxygen generated when the recording layer is decomposed by laser irradiation, it is possible to suppress a decrease in reflectance and to secure the reflectance necessary for the recording layer.
上記誘電体層の種類としては公知のものが挙げられ、例えば、Si、Al、In、Zn、Zr、Ti、Nb、Ta、Cr、Snなどの酸化物、Si、Al、In、Ge、Cr、Nb、Mo、Tiなどの窒化物、Zn硫化物、Cr、Si、Al、Ti、Zr、Taなどの炭化物、Mg、Ca、Laなどのフッ化物、或いはそれらの混合物などが例示される。生産性や記録感度の向上などを考慮すると、In2O3の使用が好ましい。 Examples of the dielectric layer include known ones such as Si, Al, In, Zn, Zr, Ti, Nb, Ta, Cr, and Sn, Si, Al, In, Ge, and Cr. Nb, Mo, Ti and other nitrides, Zn sulfide, Cr, Si, Al, Ti, Zr, Ta and other carbides, Mg, Ca, La and other fluorides, or a mixture thereof. In consideration of improvement in productivity and recording sensitivity, use of In 2 O 3 is preferable.
上記誘電体層の膜厚は、おおむね、2〜30nmであることが好ましい。誘電体層の膜厚が薄すぎると、発生したO2ガスのカバー性が十分でなく記録感度が低下する。一方、誘電体層の膜厚が厚すぎると、光の干渉により、積層膜(記録層+誘電体層)全体として吸収が低下するため、必要となる書き込みレーザーパワーが高くなると共に、マーク形成時の形態変化(気泡の生成)が起こり難くなるため、記録感度が低下する。このような事情を考慮すると、誘電体層を記録層の下層(レーザー非入射側)に設けるときの好ましい膜厚は、おおむね、3〜15nmであり、記録層の上層(レーザー入射側)に設けるときの好ましい膜厚は、おおむね、2〜30nmである。 The thickness of the dielectric layer is preferably about 2 to 30 nm. If the dielectric layer is too thin, the generated O 2 gas is not sufficiently covered and the recording sensitivity is lowered. On the other hand, if the film thickness of the dielectric layer is too large, the absorption of the entire laminated film (recording layer + dielectric layer) is reduced due to light interference, so that the required writing laser power is increased and the mark is formed. Change in form (bubble generation) is difficult to occur, and the recording sensitivity is lowered. Considering such circumstances, the preferable film thickness when the dielectric layer is provided on the lower layer (laser non-incident side) of the recording layer is generally 3 to 15 nm, and is provided on the upper layer (laser incident side) of the recording layer. The preferred film thickness is sometimes 2 to 30 nm.
また、光情報記録媒体(光ディスク)として、その構造が、レーザーのガイド用の溝が刻まれた基板上に記録層が積層され、更にその上に光透過層を積層したものが挙げられる。 Further, as an optical information recording medium (optical disk), a structure in which a recording layer is laminated on a substrate in which a laser guide groove is engraved, and a light transmission layer is further laminated thereon.
例えば、前記基板の素材としては、ポリカーボネート樹脂、ノルボルネン系樹脂、環状オレフィン系共重合体、非晶質ポリオレフィンなどが挙げられる。また、前記光透過層としては、ポリカーボネートや紫外線硬化樹脂を用いることができる。光透過層の材質としては記録再生を行うレーザーに対して高い透過率を持ち、光吸収率が小さいことが好ましい。前記基板の厚さは、例えば0.5〜1.2mmとすることが挙げられる。また前記光透過層の厚さは、例えば0.1〜1.2mmとすることが挙げられる。 For example, examples of the material for the substrate include polycarbonate resin, norbornene resin, cyclic olefin copolymer, and amorphous polyolefin. Further, as the light transmission layer, polycarbonate or ultraviolet curable resin can be used. As a material for the light transmission layer, it is preferable that the light transmission layer has a high transmittance with respect to a laser for recording and reproduction, and has a small light absorption rate. The thickness of the substrate is, for example, 0.5 to 1.2 mm. The thickness of the light transmission layer is, for example, 0.1 to 1.2 mm.
本発明の記録層は記録特性に優れているが、記録層の耐久性向上または記録特性の更なる向上のため、記録層の上層および/または下層に、酸化物層、窒化物層、硫化物層などを設けてもよい。これらの層を積層することにより、記録層の耐久性を改善できると共に、記録特性をさらに高めることができる。 The recording layer of the present invention is excellent in recording characteristics. However, in order to improve the durability of the recording layer or further improve the recording characteristics, an oxide layer, a nitride layer, and a sulfide are formed on the upper layer and / or lower layer of the recording layer. A layer or the like may be provided. By laminating these layers, the durability of the recording layer can be improved and the recording characteristics can be further enhanced.
なお、上記では、記録層および光透過層がそれぞれ1層ずつ形成された1層光ディスクを示しているが、これに限定されず、記録層および光透過層が複数積層された2層以上の光ディスクであってもよい。 In the above, a single-layer optical disc in which one recording layer and one light transmission layer are formed is shown. However, the present invention is not limited to this, and two or more optical discs in which a plurality of recording layers and light transmission layers are stacked are shown. It may be.
前記2層以上の光ディスクの場合、記録層と必要に応じて積層される光学調整層や誘電体層からなる記録層群と別の記録層群との間に、例えば紫外線硬化樹脂またはポリカーボネートなどの透明樹脂等からなる透明中間層を有していてもよい。透明中間層を設けることによって、多層記録のために深方向にレーザーの焦点をすることができる。 In the case of the two or more optical discs, for example, an ultraviolet curable resin or a polycarbonate is used between a recording layer and a recording layer group composed of an optical adjustment layer or a dielectric layer laminated as necessary. You may have the transparent intermediate | middle layer which consists of transparent resin etc. By providing the transparent intermediate layer, the laser can be focused in the depth direction for multilayer recording.
本発明の特徴は、前述した記録層、好ましくは記録層の上および/または下に誘電体層を設けた積層膜を採用した点にあり、記録層以外の基板や光透過層、更には、透明中間層などの形成方法については特に限定されず、通常行われている方法で形成して、光情報記録媒体を製造すればよい。 The feature of the present invention is that the recording layer described above, preferably a laminated film provided with a dielectric layer on and / or below the recording layer is employed. A substrate other than the recording layer, a light transmission layer, A method for forming the transparent intermediate layer or the like is not particularly limited, and an optical information recording medium may be manufactured by forming by a commonly used method.
光情報記録媒体としてCD、DVD、またはBDが挙げられ、例えば波長が約380nmから450nm、好ましくは約405nmの青色レーザー光を記録層に照射し、データの記録および再生を行うことが可能なBD−Rが具体例として挙げられる。 Examples of the optical information recording medium include CD, DVD, and BD. For example, a BD capable of recording and reproducing data by irradiating a recording layer with blue laser light having a wavelength of about 380 nm to 450 nm, preferably about 405 nm. -R is given as a specific example.
以下、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明するが、本発明はもとより下記実施例によって制限を受けるものではなく、前・後記の趣旨に適合し得る範囲で適当に変更を加えて実施することも勿論可能であり、それらはいずれも本発明の技術的範囲に包含される。 EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited by the following examples, but may be appropriately modified within a range that can meet the purpose described above and below. Of course, it is possible to implement them, and they are all included in the technical scope of the present invention.
本実施例では、Mn酸化物と、In酸化物、Zn酸化物、Sn酸化物、及びCu酸化物よりなる群から選択される少なくとも一種から構成される記録層を用い、記録層に含まれるMn元素の比率やX群元素との組み合わせが、記録特性などに及ぼす影響を調べた。 In this embodiment, a recording layer composed of Mn oxide and at least one selected from the group consisting of In oxide, Zn oxide, Sn oxide, and Cu oxide is used, and Mn contained in the recording layer is used. The influence of the element ratio and the combination with the X group element on the recording characteristics was examined.
(1)光ディスクの作製
本実施例に用いた光ディスクの構成の概略模式図を図1に示す。図1に示すように、光ディスクは、ポリカーボネート基板1の上に誘電体層2、Mn酸化物含有記録層3、誘電体層4、光透過層5が順次積層された構造を有している。
(1) Production of optical disc A schematic diagram of the configuration of the optical disc used in this example is shown in FIG. As shown in FIG. 1, the optical disc has a structure in which a
上記光ディスクの作製方法は以下のとおりである。 The method for producing the optical disc is as follows.
ディスク基板として、ポリカーボネート基板1(厚さ:1.1mm、直径:120mm、トラックピッチ:0.32μm、溝深さ:約25nm)を用い、基板1の上に、DCマグネトロンスパッタリング法により、表1記載の下側誘電体層2、表1に示すようにMn比の異なる記録層3、表1記載の上側誘電体層4を順次形成した。記録層3の膜厚は40nmとし、記録層の上・下にそれぞれ積層された誘電体層2、4の厚さは、上・下ともに10nmである。
As a disk substrate, a polycarbonate substrate 1 (thickness: 1.1 mm, diameter: 120 mm, track pitch: 0.32 μm, groove depth: about 25 nm) was used. The lower
記録層形成のためのスパッタリングは、以下のようにして行なった。このときのスパッタリング条件は、Ar流量:10sccm、かつ酸素流量:10sccm、ガス圧:0.2Pa、DCスパッタリングパワー:100〜200W、基板温度:室温とした。 Sputtering for forming the recording layer was performed as follows. The sputtering conditions at this time were Ar flow rate: 10 sccm, oxygen flow rate: 10 sccm, gas pressure: 0.2 Pa, DC sputtering power: 100 to 200 W, and substrate temperature: room temperature.
表1のNo.1、2について、純Mnターゲットを使用した。
表1のNo.3〜7について、純Mnと純Cuの2種類のターゲットを利用し、多元スパッタ法により成膜することによってMn比を変化させた。同様に表1のNo.8〜12、15、16については、純Mnと純Inの2種類のターゲット、No.13については、純Mnと純Snの2種類のターゲット、No.14については、純Mnと純Znの2種類のターゲットを利用した。
No. in Table 1 For 1 and 2, pure Mn targets were used.
No. in Table 1 About 3-7, Mn ratio was changed by using two types of target of pure Mn and pure Cu, and forming into a film by multi-source sputtering method. Similarly, No. 1 in Table 1 is used. Nos. 8 to 12, 15, and 16 are two types of targets, pure Mn and pure In. For No. 13, two types of targets, pure Mn and pure Sn, For No. 14, two types of targets, pure Mn and pure Zn, were used.
誘電体層2、4には、スパッタリングターゲットを用い、Ar流量:10sccm、かつ酸素流量:10sccm、ガス圧:0.2Pa、DCスパッタリングパワー:100〜200W、基板温度:室温とし、表1の成分組成の誘電体層を形成した(スパッタリングターゲットは表1の成分組成となる公知のものであって、No.2、4〜14はIn2O3、No.15はSnO2、No.16はZnO2)。
For the
次いで、誘電体層4の上に、紫外線硬化性樹脂(日本化薬社製「BRD−864」)をスピンコートした後、紫外線を照射して膜厚約0.1mmの光透過層を成膜し、光ディスクを得た。
Next, an ultraviolet curable resin (“BRD-864” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) is spin-coated on the
記録層の成分組成は、上記と同一条件で記録層単層膜(誘電体層なし)を成膜し、当該記録層単層膜についてICP発光分析法を用いて分析を行なった。 As for the component composition of the recording layer, a recording layer single layer film (without a dielectric layer) was formed under the same conditions as described above, and the recording layer single layer film was analyzed using an ICP emission analysis method.
(XPS分析)
表1の各試料について、記録層中に含まれるMn及びIn、Zn、Sn、Cu等の状態をXPS法により分析した。具体的には、physical Electronics社製X線光電子分光装置Quantera SXMを用い、最表面の広域光電子スペクトルによる定性分析を実施した。その後、Arスパッタにより表面から深さ方向にエッチングし、一定深さ毎に膜の構成元素と最表面で検出された元素の狭域光電子スペクトルを測定した。各深さで得られた狭域光電子スペクトルの面積強度比と相対感度係数から深さ方向組成分布(原子%)を算出した。また、各元素のモンタージュスペクトルのピーク位置から結合状態を推定した。その結果、No.3〜16の各試料について、記録層中にMnやX群原子が金属として存在していないことを確認した(記録層3はNo.1、2を除き、全てMn酸化物を含み、金属Mnを含んでおらず、更にNo.3〜16はX群元素の酸化物を含むものである)。
(XPS analysis)
About each sample of Table 1, the state of Mn contained in a recording layer, In, Zn, Sn, Cu, etc. was analyzed by XPS method. Specifically, qualitative analysis was performed using a broad photoelectron spectrum on the outermost surface using an X-ray photoelectron spectrometer Quantera SXM manufactured by physical Electronics. Thereafter, etching was performed in the depth direction from the surface by Ar sputtering, and narrow-area photoelectron spectra of the constituent elements of the film and the elements detected on the outermost surface were measured at constant depths. The composition distribution in the depth direction (atomic%) was calculated from the area intensity ratio of the narrow-range photoelectron spectrum obtained at each depth and the relative sensitivity coefficient. Moreover, the binding state was estimated from the peak position of the montage spectrum of each element. As a result, no. About each sample of 3-16, it confirmed that Mn and the X group atom did not exist as a metal in a recording layer (except for No. 1 and 2 and the
誘電体層2、4についても上記と同様に分析を行った。
The
(2)光ディスクの評価
作製した光ディスクの初期記録特性(記録レーザーのパワー、C/N比、変調度)を、以下のように評価した。
(2) Evaluation of optical disc The initial recording characteristics (recording laser power, C / N ratio, modulation factor) of the manufactured optical disc were evaluated as follows.
まず、パルステック工業社製「ODU−1000」)の光ディスク評価装置(記録レーザー中心波長:405nm、NA(開口数):0.85)を用いて再生・記録レーザーを照射し、光ディスクの読込、記録を行った。線速度は4.92m/sとして評価した。 First, using an optical disk evaluation apparatus (recording laser center wavelength: 405 nm, NA (numerical aperture): 0.85) manufactured by Pulstech Industrial Co., Ltd. “ODU-1000”) Recorded. The linear velocity was evaluated as 4.92 m / s.
変調度(C/N比が最大となる点での変調度)について、横河電機株式会社製デジタルオシロスコープ「DL1640」を用いて記録部分の最大反射率と最小反射率を測定し、下式に基づいて算出した。
変調度(比)=(最大反射率−最小反射率)/(最大反射率)
For the degree of modulation (the degree of modulation at the point where the C / N ratio is maximized), the maximum reflectance and the minimum reflectance of the recording portion are measured using a digital oscilloscope “DL1640” manufactured by Yokogawa Electric Corporation. Based on the calculation.
Modulation degree (ratio) = (maximum reflectance−minimum reflectance) / (maximum reflectance)
C/N比について、ADVANTEST社製R3131Aスペクトラム・アナライザーを用いて、最も高いC/N比が得られる記録パワーを測定した。詳細には、0.60μmのマーク(Blu−ray Diskの8Tに相当)を繰り返し記録し、再生レーザーパワー0.3mWでの信号読み取り時の4.12MHz周波数成分の信号強度(キャリアC/dB)と、その前後の周波数成分の信号強度(ノイズ N/dB)を測定し、C/N比を算出した。 For the C / N ratio, the recording power at which the highest C / N ratio was obtained was measured using an R3131A spectrum analyzer manufactured by ADVANTEST. Specifically, a 0.60 μm mark (equivalent to 8T of Blu-ray Disk) is repeatedly recorded, and the signal intensity (carrier C / dB) of the 4.12 MHz frequency component when reading the signal with a reproduction laser power of 0.3 mW Then, the signal intensity (noise N / dB) of the frequency components before and after that was measured, and the C / N ratio was calculated.
これらの結果を表1に併記する。表1には、最も高いC/N比が得られた時点での記録レーザーのパワー(記録パワー)と、当該最も高いC/N比を記載している。 These results are also shown in Table 1. Table 1 shows the power (recording power) of the recording laser when the highest C / N ratio is obtained, and the highest C / N ratio.
本実施例では、変調度(比)が0.4以上、C/N比が43以上のものを記録感度に優れているとした。 In this embodiment, the recording sensitivity is excellent when the modulation degree (ratio) is 0.4 or more and the C / N ratio is 43 or more.
表1より次のように考察できる。まず、本発明の規定を満たすNo.4〜16の記録層は変調度、及びC/N比の両方が良好であった。すなわち、良好な記録特性を発揮することが確認された。 From Table 1, it can be considered as follows. First, No. 1 satisfying the provisions of the present invention. The recording layers 4 to 16 were good in both the degree of modulation and the C / N ratio. That is, it was confirmed that good recording characteristics were exhibited.
No.1、2は記録層が酸化Mnのみで(100%)構成されている比較例であって、No.2は記録層の上下に誘電体層を設けた例である。そしてNo.1、2ではいずれも記録できなかったため、C/N比、変調度について測定できなかった。
No. Nos. 1 and 2 are comparative examples in which the recording layer is composed only of Mn oxide (100%).
また、No.3は誘電体層を形成しない例であり、一方、No.4〜16は、記録層の上下に誘電体層を形成した例である。No.3に対して誘電体層を形成したNo.5では、C/N比が向上し、変調度も4倍程度向上した。よって、記録層の上下に誘電体層を設けることにより、より高い変調度が得られることがわかった。その理由は、記録レーザー光が入力してMn酸化物が分解される際、誘電体層中に発生したO2を閉じ込めることにより、形態変化によるマーク形成がし易くなるためと考えられる。
No. No. 3 is an example in which no dielectric layer is formed.
また、記録層の組成をMn酸化物とIn酸化物ではなく、Mn酸化物と、SnまたはZnの酸化物の記録層(No.13、14)を用いたときも、Mn酸化物とIn酸化物を含む記録層(No.10)と同様に、良好な変調度、及びC/N比が得られた。またSn酸化物、Zn酸化物の誘電体層(No.15、16)を用いたときも、No.10(In酸化物の誘電体層)と同様に、良好な変調度、及びC/N比が得られた。 Further, when the recording layer composition is not Mn oxide and In oxide but Mn oxide and Sn or Zn oxide recording layers (Nos. 13 and 14), the Mn oxide and In oxide are also used. Similar to the recording layer (No. 10) containing the product, a good modulation degree and C / N ratio were obtained. In addition, when the Sn oxide and Zn oxide dielectric layers (Nos. 15 and 16) are used, As with 10 (In oxide dielectric layer), good modulation and C / N ratio were obtained.
1 基板
2、4 誘電体層
3 記録層
5 光透過層
1
Claims (6)
Mn酸化物を含み、前記記録層に含まれる酸化物を構成する全金属元素中に占めるMnの原子比が80原子%以下であると共に、金属Mnを含まないことを特徴とする光情報記録媒体用記録層。 A recording layer on which recording is performed by laser light irradiation,
An optical information recording medium comprising an Mn oxide, wherein the atomic ratio of Mn in all the metal elements constituting the oxide contained in the recording layer is 80 atomic% or less and does not contain metal Mn Recording layer.
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